JP6574555B2 - Horizontal dust remover - Google Patents
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Description
本発明は、フィルムやパネルなど平面状のワーク等の被除塵物体(以下、ワークということもある)に付着した異物を除去する横方向除塵装置に関する。 The present invention relates to a lateral dust removing apparatus that removes foreign matter adhering to a dust-deposited object (hereinafter sometimes referred to as a workpiece) such as a planar workpiece such as a film or panel.
従来はフィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を除去するためにエアナイフなどを用い、被除塵物体の斜め上方から鋭角にエアブローしていた。エアブローの方向は被除塵物体の進行方向に対し180度すなわち進行方向に対して逆方向にエアブローしていた。エアブローにより被除塵物体から剥離された異物を真空吸引してすくい上げ集塵していた。これらの従来技術を図8〜13を参照して以下に具体的に説明する。 Conventionally, an air knife or the like is used to remove foreign matter adhering to a planar dust-deposited object such as a film or panel, and air is blown at an acute angle from obliquely above the dust-deposited object. The direction of air blowing was 180 degrees with respect to the traveling direction of the object to be dusted, that is, the air was blown in the direction opposite to the traveling direction. The foreign matter peeled off from the object to be removed by air blow was sucked up by vacuum suction and collected. These conventional techniques will be specifically described below with reference to FIGS.
図8は従来の除塵方式の1つを示し、移動する平面状の被除塵物体(ワーク)10に付着した異物12を除去するために、エアブロー14でもって被除塵物体10の表面を吹き、被除塵物体10の進行方向に対し180度すなわち進行方向と逆方向に異物を押し戻している。このように、異物を押し戻すだけでは、異物は、エアブロー14の下流からは排除されるが、上流側に堆積し、除去されることはないので、堆積した異物が下流に流入する可能性が高い。すなわち、エアナイフにより異物を吹き飛ばして除去することは容易ではなかった。
FIG. 8 shows one of the conventional dust removal methods. In order to remove the
図9は同じく従来の除塵方式の1つを示し、被除塵物体10に付着した異物12を除去するために、エアブロー14でもって斜め上方より鋭角度に被除塵物体10を吹き、異物12を剥離して吹き飛ばしている。吹き飛ばした異物12を集塵機16ですくい上げて回収している。しかし、このすくい上げがうまく機能しないと言う問題があった。
FIG. 9 also shows one of the conventional dust removal methods. In order to remove the
図10は図9の異物のすくい上げがうまく機能しない理由を説明する図である。斜め上方よりエアブローすると反射したエア流18とワーク(被除塵物体)10の間に渦流ができ負圧が発生する。図11はこの負圧により、エア流18はワーク10に引き寄せられて離れない状況を示す。もしワークにテンションがかかっていない場合は、ワークがエア流に吸い上げられて、同様にエア流はワークから離れない(図示せず)。このようにワーク表面に沿ったエア流18は、異物を搬送方向の上流に押し戻すのみで、集塵機16に誘導しないので、異物はワーク上に堆積する。
FIG. 10 is a diagram for explaining the reason why the foreign material scooping in FIG. 9 does not work well. When air is blown obliquely from above, a vortex is generated between the
図11に示すように、反射したエア流18に含まれる(被除塵物体から剥離された)異物12は、ワーク10から少ししか浮き上がらないため、集塵機(図10参照)で吸い上げても回収できずにいくらかは残ってしまう状況を示す。残った異物は上流のワーク上に乗って再度流れて来て、再びエアブローされるが、やはり完全には回収されないため、除塵できなかった残留異物として残ってしまう。
As shown in FIG. 11, the
図12に示すように、異物12の一部が集塵機16で集塵されない場合がある。このことを避けるために、図13に示すように、残留異物を少なくするための集塵器16をワーク10に近付け真空吸引した場合、それによりワーク10と集塵器16が接触する恐れがある。接触によりワーク10に傷を付け不良品化する。以上のように、従来例では完全な異物除去は難しく異物が残り易かった。
As shown in FIG. 12, a part of the
その他、公開されている従来技術には、パネル体の除塵装置(実録2567191号明細書)、除塵ヘッド(特開平11−235559号公報)、除塵洗浄方法及び装置(特開2010−162445号公報)がある。 In addition, the publicly disclosed prior art includes a panel body dust removal device (actual specification 2567191), a dust removal head (Japanese Patent Laid-Open No. 11-235559), a dust removal cleaning method and device (Japanese Patent Laid-Open No. 2010-162445). There is.
パネル体の除塵装置は、移動するパネルに進行方向からエアを吐出し、逆方向から集塵する技術である。この技術では、異物の集塵残りは防げない。除塵ヘッドは移動するパネルに進行方向からエアを吐出し、両方向から集塵する技術である。やはり、異物の集塵残りは防げない。除塵洗浄方法および装置は移動するパネルの進行方向と逆方向にエアを中央から吐出し、両方向から直角方向に集塵する。あるいはエアを両側から吐出し、中央で直角方向に集塵する。除塵した塵の集塵残りは防げない。いずれもワークと平行方向に走る異物を垂直方向に吸い上げようとするが、異物、すなわち、エアの流速が早ければ早いほど吸い上げ残りが発生し、集塵残りが発生する。 A panel body dust remover is a technology that discharges air from a traveling direction to a moving panel and collects dust from the opposite direction. This technique cannot prevent foreign matter from collecting dust. The dust removal head is a technology that discharges air from a traveling direction to a moving panel and collects dust from both directions. After all, the dust collection residue of the foreign material cannot be prevented. The dust removal cleaning method and apparatus discharge air from the center in the direction opposite to the moving direction of the moving panel, and collect dust in a direction perpendicular to both directions. Alternatively, air is discharged from both sides and collected at a right angle in the center. The remaining dust collection cannot be prevented. In either case, the foreign matter running in the direction parallel to the workpiece tends to be sucked up in the vertical direction, but the faster the foreign matter, that is, the air flow rate, the more sucked up and the remaining dust collected.
本発明は、前述の従来技術に伴う諸欠点を解決することを課題とし、フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体(ワーク)に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくする除塵装置を提供する。 The present invention has an object to solve the above-mentioned disadvantages associated with the prior art, and a dust removing apparatus that efficiently removes foreign matters adhering to a planar dust-deposited object (work) such as a film or a panel to reduce residual foreign matters. I will provide a.
本発明に係る除塵装置は、移動する平面状の被除塵物体の表面に、斜め上方から、前記被除塵物体の進行方向に対して右方向のやや上流方向に向かってエアブローを吹き付けて前記表面に付着した異物を剥離する複数の第1吹出し孔であって、前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第1吹出し孔を有し、前記エアブローによって前記表面に略平行なエア流によって前記異物を前記表面から除去する第1のホコリ払い器と、前記第1のホコリ払い器によって前記表面から除去された異物を、前記被除塵物体表面の側方の前記エア流の下流側で、集塵する第1の集塵器と、前記被除塵物体の表面に、斜め上方から、前記被除塵物体の進行方向に対して左方向のやや上流方向に向かってエアブローを吹き付けて前記表面に付着した異物を剥離する複数の第2吹出し孔であって、前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第2吹出し孔を有し、前記エアブローによって前記表面に略平行なエア流によって前記異物を前記表面から除去する第2のホコリ払い器と、前記第2のホコリ払い器によって前記表面から除去された異物を、前記被除塵物体表面の側方の前記エア流の下流側で、集塵する第2の集塵器と、を備え、前記第1のホコリ払い器と前記第2のホコリ払い器との間には隙間が設けられ、前記第1のホコリ払い器は、エア流が左側縁にあたらず、左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、左側縁よりも右寄りの位置から左右中央の右寄りの範囲に、エア流が生じるようにエアブローを吹き付け、前記第1のホコリ払い器は、エア流が右側縁を煽ることなく、被除塵物体の右側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、前記第2のホコリ払い器は、エア流が左側縁を煽ることなく、被除塵物体の左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付ける。 The dust removing apparatus according to the present invention blows an air blow on the surface of a moving planar planar object to be removed from an obliquely upward direction toward the upstream side in the right direction with respect to the traveling direction of the object to be removed. A plurality of first blow holes for separating attached foreign matter, the first blow holes arranged linearly in a direction transverse to the traveling direction, and an air flow substantially parallel to the surface by the air blow A first dust remover that removes the foreign matter from the surface by the first dust remover, and the foreign matter removed from the surface by the first dust remover on the downstream side of the air flow on the side of the dust-deposited object surface. The air dust is blown on the surface of the first dust collector that collects dust and the surface of the object to be dusted from the upper side obliquely from the upper side toward the left side slightly upstream of the traveling direction of the object to be dusted. Adhered foreign matter A plurality of second blow-off holes to be peeled, the second blow-off holes being linearly arranged in a direction transverse to the traveling direction, and the foreign matter is removed by an air flow substantially parallel to the surface by the air blow. The second dust remover to be removed from the surface and the foreign matter removed from the surface by the second dust remover are collected on the downstream side of the air flow on the side of the surface of the object to be removed. A second dust collector, and a gap is provided between the first dust remover and the second dust remover, and the first dust remover has an air flow at a left edge. Air blow is blown so that the air flow is generated from the position on the right side of the left edge to the right side of the left and right center so that the air flow is generated from the vicinity of the left edge to the range beyond the left and right center of the object to be removed. The first dust remover is The second dust removal is performed by blowing an air blow on the surface of the dust removal object so that the air flow is generated from the vicinity of the right edge of the dust removal object to the range beyond the right and left center of the dust removal object without hitting the right edge. The container blows an air blow on the surface of the dust removal object so that the air flow is generated from the vicinity of the left edge of the dust removal object to the range beyond the left and right center of the dust removal object without rolling the left edge.
本発明によれば、第1、第2のホコリ払い器によって、平面状被除塵物体の表面に斜め上方からエアブローを吹いて異物を表面から剥離し、エアブローによって、表面に対して略平行に流れるエア流を生じさせ、このエア流によって、異物を被除塵物体表面側方に排除し、表面側方でエア流下流に配置された集塵装置で、集塵するので、異物を効率よく除去し得る。そして、被除塵物体表面側方で集塵するため、集塵装置が被除塵物体表面に接触する恐れはない。また、本発明によれば、フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物をも効率よく除去して残留異物を少なくできる。また、第1のホコリ払い器では、被除塵物体の進行方向に対して、右方向のやや上流方向に向かって、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、第2のホコリ払い器では、被除塵物体の進行方向に対して、左方向のやや上流方向に向かって、被除塵物体表面にエアブローを吹き付けるので、異物を上流に戻す作用があり、より効果的かつ確実に異物除去でき、第1ホコリ払い器は、エア流が右側縁を煽ることなく、被除塵物体の右側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付け、第2のホコリ払い器は、エア流が左側縁を煽ることなく、被除塵物体の左側縁近傍から被除塵物体の左右中央を超える範囲までエア流が生じるように、被除塵物体表面にエアブローを吹き付けるので、被除塵物体のバタつきを防止しつつその全幅を確実に除塵し得る。さらに、第1、第2のホコリ払い器は、それぞれ複数の第1、第2吹出し孔からエアブローを除塵物体表面に吹き付け、第1、第2吹出し孔は、除塵物体進行方向に対して横方向に直線的に配列されているので、第1、第2ホコリ払い器全体の設置面積を最小限に抑え得る。さらに、第1、第2ホコリ払い器は隙間を空けて配置されているので、両者のエア流によって渦気流が発生することはない。 According to the present invention, the first and second dust removers blow an air blow on the surface of the planar dust-deposited object obliquely from above to separate the foreign matter from the surface, and the air blow substantially flows parallel to the surface. An air flow is generated, and this air flow removes foreign objects to the side of the surface of the object to be removed, and dust is collected by a dust collector placed downstream of the air flow on the side of the surface. obtain. Since dust is collected on the side of the surface of the object to be removed, there is no possibility that the dust collector comes into contact with the surface of the object to be removed. In addition, according to the present invention, it is possible to efficiently remove foreign matter adhering to a planar dust-deposited object such as a film or a panel, thereby reducing residual foreign matter. In the first dust remover, an air blow is blown to the surface of the dust removal object in a direction slightly upstream in the right direction with respect to the traveling direction of the dust removal object. The air blow is blown to the surface of the object to be removed in a direction slightly upstream in the left direction with respect to the traveling direction of the dust, so that the foreign matter is returned to the upstream side, and the foreign matter can be removed more effectively and reliably. The air blower blows an air blow on the surface of the dust removal object so that the air flow is generated from the vicinity of the right edge of the dust removal object to the range beyond the left and right center of the dust removal object without hitting the right edge. The dust remover blows air on the surface of the object to be dust so that the air flows from the vicinity of the left edge of the object to be removed to the range beyond the left and right center of the object to be dusted without hitting the left edge. Since it may dedusted its entire width reliably while preventing fluttering of the dust removal object. Further, the first and second dust removers blow air blows from the plurality of first and second blowout holes to the surface of the dust removal object, respectively, and the first and second blowout holes are transverse to the dust removal object traveling direction. Therefore, it is possible to minimize the installation area of the entire first and second dust removers. Furthermore, since the first and second dust dispersers are arranged with a gap therebetween, vortex air current is not generated by the air flow of both.
フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくするために被除塵物体の面に平行なエア流が生じるように、横方向ないしやや上流に向かって、斜め上方からエアブローを発生し、エアブローは除塵装置全域において行い、エアブロー下流側横位置において集塵する。除塵装置はエアブローした異物を回収する集塵フードを有し、該フードはエアブロー上流側の断面積を下流側の断面積より小さくする。被除塵物体の進行方向に対し左右の中央を超えてエアブローし、集塵する側と反対側の先端側エアブロー風が被除塵物体の先端側の端をエアブローしないようにして、被除塵物体の側縁を煽ることを防止し、被除塵物体の表裏面を同時に除塵し、被除塵物体を進行方向に向かって左右両方向に同時に除塵し、左方向の除塵装置と右方向の除塵装置間に隙間を設け、除塵装置の上流と下流に空気イオンを満たして被除塵物体の静電気を中和するのが好ましい。 In order to efficiently remove foreign matter adhering to flat dust-deposited objects such as films and panels and reduce residual foreign matter, a horizontal or slightly upstream flow is generated so that an air flow parallel to the surface of the dust-deposited object is generated. The air blow is generated obliquely from above, the air blow is performed in the entire dust removing device, and the dust is collected in the lateral position on the downstream side of the air blow. The dust removing device has a dust collection hood that collects air blown foreign matter, and the hood has a sectional area on the upstream side of the air blow that is smaller than a sectional area on the downstream side. Air blows beyond the center of the left and right with respect to the traveling direction of the dust removal object, and the tip side air blow air on the side opposite to the dust collecting side does not blow the tip end side of the dust removal object. Prevents the edges from being scooped, removes both the front and back surfaces of the object to be removed at the same time, removes the object to be removed from the left and right at the same time in the direction of travel, and creates a gap between the dust removal device on the left and the dust removal on the right It is preferable to neutralize static electricity of the object to be removed by filling the air ions upstream and downstream of the dust removing device.
実施例1を、図1を参照して説明する。図1は本発明の除塵方式を説明する図である。フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体(ワーク)10に付着した異物12を横方向にエアブロー14して除去する。エアブロー14は、斜め上方から被除塵物体表面に吹き付けられて異物を表面から剥離し、さらに被除塵物体の進行方向に対して横方向ないしやや上流方向に向かって、表面に平行なエア流を生じさせ、このエア流により異物12を表面に沿って押送し、排除する。
Example 1 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram for explaining a dust removal system of the present invention.
実施例2を、図2を参照して説明する。図2aが正面図であり、図2bが側面図である。図2は本発明の被除塵物体に付着した異物をエアブロー14して除去する方法と装置の構造を示す。ホコリ払い器20にはエアが供給され、ワーク10と対峙した面に多くの吹出し孔(図示省略)があり、至近距離からワーク10に向かって、斜め上方からエアブロー14を吹き付け、エアブロー14によって、ワーク10の表面10Sに平行で、ワーク10の進行方向に対して横方向のエア流Aが発生する。ワーク10に付着して流れてきた異物12はこのエアブローにより横方向に払われて除去される。図2a、2bから明らかなように、ホコリ払い器20は、ワーク10を横切る棒状に形成され、エアブロー14を吹き出す吹出し孔は、ホコリ払い器20の長手方向、すなわち被除塵物体進行方向に対して横方向に直線的に複数配列されている。実施例2では、除塵装置は、移動する被除塵物体10の表面
10Sに向かって、斜め上方から表面10Sに吹き付けられて異物を表面から剥離し、さらに前記被除塵物体の進行方向に対して横方向にエアブロー14を発生し、表面10Sに略平行(図2における表面に平行な矢印)なエア流Aを生じさせ、このエア流Aにより、表面10Sに付着した異物12を表面10Sから除去するホコリ払い器20を備える。
Example 2 will be described with reference to FIG. 2a is a front view and FIG. 2b is a side view. FIG. 2 shows the structure of the method and apparatus for removing foreign matter adhering to the object to be removed of the present invention by air blowing 14. The
実施例3を、図3を参照して説明する。図3aが平面図で、図3bが側面図である。図3はホコリ払い器と集塵器を表わし、さらにホコリ払い機20のエアブロー方向の別の案を示す。この場合、ワーク10の進行方向に対し、右側(側方)に集塵装置22がある。前述の実施例1,2ではワークの進行方向に対して、横方向かつ真下にエアブローしていたが、この実施例3ではワークの進行方向に対し、右方向120度かつ下方向110度に向かってエアブローしている。すなわち、エアブローは斜め上方から、やや上流方向に向かってワーク10に吹き付けられる。この方が異物を実施例1,2よりより上流に戻す作用があるため、より高速に動くワークに対してより効果的かつ安全に異物除去ができる。そして、エアブローを吹き付ける吹出し孔は実施例2と同様、横方向に直線的に配列されている。
A third embodiment will be described with reference to FIG. 3a is a plan view and FIG. 3b is a side view. FIG. 3 shows a dust remover and a dust collector, and further shows another plan in the air blow direction of the
実施例4を、図4を参照して説明する。図4aが正面図であり、図4bが側面図である。図4は本案の集塵の方法と構造を示す。ワーク10の表面側にホコリ払い器20が対峙し、ワーク10の進行方向に対して右側に集塵器22がある。ワーク10に付着して流れてきた異物12はホコリ払い器20で斜め上方からエアブローされて、エア流Aによって右方向に払われ、集塵器22により回収される。そして、エアブローを吹き付ける吹出し孔は実施例2、3と同様、横方向に直線的に配列されている。
A fourth embodiment will be described with reference to FIG. 4a is a front view and FIG. 4b is a side view. FIG. 4 shows the dust collection method and structure of this proposal. A
実施例5を、図5を参照して説明する。図5aが平面図で、図5bが正面図で、図5cが側面断面図である。図5はワークの表面と裏面で同時に斜め上方からエアブローする構造を示す。ホコリ払い器20が表裏両面にあり、ワーク10の進行方向に対し右側、すなわちエア流の下流側に集塵器22がある。ワーク10の表裏を同時にエアブローすることにより、ワーク10を支持するロールなど機構物が不要になり、完全非接触な除塵動作が可能になる。そして、エアブローを吹き付ける吹出し孔は実施例2、3と同様、横方向に直線的に配列されている。
A fifth embodiment will be described with reference to FIG. 5a is a plan view, FIG. 5b is a front view, and FIG. 5c is a side sectional view. FIG. 5 shows a structure in which air is blown obliquely from above on the front and back surfaces of the workpiece.
上下のホコリ払い器20はそれぞれフード20aを有し、払ったホコリを辺りに飛散させることなく回収する。このフード20aの断面積は集塵機側が先端側より大きい。それは集塵器側の方が先端側より中を通る風量が大きいからである。またホコリ払い器20ないしフード20aの上流と下流に除電器24を配置してワーク10にイオン30をふりかけ静電気を除去することが好ましい。
Each of the upper and
実施例6を、図6を参照して説明する。図6は左右両方向のホコリ払いを同時に行う方式を示す。これによりワークの端の除塵を完全に行えるため異物残留を防ぐ。さらにワーク10が片方向のエアブローにより片側へ斜行するのを防止する。
A sixth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 shows a method of simultaneously performing dust removal in both the left and right directions. As a result, the dust at the edge of the workpiece can be completely removed to prevent foreign matter from remaining. Further, the
実施例7を、図7を参照して説明する。図7は平面図である。図7は第1のホコリ払い器20R、第2のホコリ払い器20Lによって、左右両方向のホコリ払いを同時に行う方式を表わす。ホコリ払い器20R、20Lは、実施例3〜5と同様に、斜め上方から被除塵物体10にエアブローを吹き付けるが、第1のホコリ払い器20Rは、進行方向に対して右方向のやや上流方向に向かって前記表面にエアブローを吹き付け、第2のホコリ払い器20Lは、進行方向に対して左方向のやや上流方向に向かって前記表面にエアブローを吹き付ける。ホコリ払い器20R、20Lは被除塵物体10の前記進行方向に対して横方向に直線的に配列された第1、第2の吹出し孔をそれぞれ有し、エアブローによって被除塵物体10表面に付着した異物を剥離する。そして、エアブローによって前記表面に略平行なエア流を発生し、異物を前記表面から左右に除去し、除去された異物を、エア流の下流側で、第1、第2の集塵器22R、22Lによって集塵する。左右どちらかの片側のみのエアブローをするとワーク10は片側へ斜行するため、左右両方向同時にエアブローするのが好ましい。またエアブローはワーク10の進行方向に対し(1)ワークの左右中央を超えて行い、(2)エアブロー風がワーク先端を超えないことが好ましい。(1)の条件を満たさない場合、即ち左右中央を超えない場合には中央に異物が残る。(2)の条件を満たさない場合には、ワーク左右側縁RS、LSに当たるエアブローによって、側縁RS、LSが煽られ、ワーク10がバタついて、ホコリ払い器20と接触事故を起こす。また左右のホコリ払い器20R、20L(フードを含む)間の間隔が十分にある事が好ましい。近すぎると両者の間に渦気流が発生するため、払った異物が回収できなくて残留する可能性がある。なお、第1、第2の吹出し孔がいずれも被除塵物体10進行方向の横方向に配列されているので、ホコリ払い器20R、20Lの占有面積は、被除塵物体10の幅に略比例する。
A seventh embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a plan view. FIG. 7 shows a method of simultaneously performing dust removal in both the left and right directions by the first dust remover 20R and the second dust remover 20L . The dust removers 20R and 20L blow an air blow to the
A エア流10 被除塵物体(ワーク)10S 表面 12 異物 14 エアブロー 20 ホコリ払い器 22 集塵器 24 イオナイザー 30 イオン
A
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