JP6595025B2

JP6595025B2 - プローブカード収納ケース

Info

Publication number: JP6595025B2
Application number: JP2018032731A
Authority: JP
Inventors: 守弘斉藤
Original assignee: Kyodo KK
Current assignee: Kyodo KK
Priority date: 2018-02-27
Filing date: 2018-02-27
Publication date: 2019-10-23
Anticipated expiration: 2038-02-27
Also published as: JP2019153604A

Description

本発明は、半導体ウエハ検査用のプローブカードを収納するための収納ケースに関するものである。

半導体製造分野において、後工程の最終検査で、製造された半導体チップ（ウエハ）に、プローバ検査機に取り付けたプローブカードを接触させて交信し、該半導体チップの良否を測定する。

近年シリコンウエハは、次第に大口径となり、このためプローブカードも大型化が進み、プローブカード自体の重量も２０ｋｇ以上となり、プローブカードの移動には、プローブカード収納ケースでの移動が必要となる。

また、スティフナー（補強材）を省略した極端に軽い１．５ｋｇ以下のプローブカードが、今後主流になった場合、より繊細に、プローブカードを移動、搬送する必要がある。

例えば、従来のプローブカード収納ケースとしては、特許文献１がある。

実用新案登録第３１７１６８７号公報

スティフナーを省略したプローブカードは、軽量にはなるが、より繊細となり、割れやヒビ等、破損しやすくなるため、プローブカード収納ケースにおいては、いかにプローブカードに衝撃を与えずに収納でき、持ち運びができるかが課題である。

特に、上記プローブカードに設けられた複数のプローブ（探針）のうち、一つでも、破損したり、使用できなくなったりした場合には、プローブカード自体が使用できなくなる可能性があり、いかに繊細に、持ち運び等ができるかが、課題である。

また、上記プローブカードは、上記収納ケース内に正確に位置決めされて、固定される必要がある。そのため、プローブカードの縁部に、複数の凹部などの一方の位置決め部が形成され、また、上記収納ケースには、該一方の位置決め部に嵌合される、例えば、凸部などの他方の位置決め部が形成され、これらが嵌り合うことにより、正確に位置決めされる。

また、プローブカードの固定には、収納ケースの下側ケース部内に、プローブカード固定装置を設けて、上記下側ケース部内に収納したプローブカードを固定していた。

しかしながら、プローブカードを製造する会社によって、その位置決め位置と数が異なり、その位置決め位置の数に対応した収納ケースをそれぞれ作成する必要があった。

本願の発明者は、簡単な構成で、プローブカードに衝撃を与えずに収納でき、持ち運びができるプローブカード収納ケースを提供することを目的とする。

また、プローブカードを載置して支持する載置台を、所望の複数の箇所に複数固定できるようにして、あらゆるプローブカードを固定できるようにすることを目的とする。

本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する、上面が開口した下側ケース部と、該下側ケース部の開口部を塞ぐ上側ケース部と、上記プローブカードの下面を載置する載置面を有する、上記下側ケース部に設けた載置台と、上記上側ケース部の下面に設けられた、プローブカード押え部材と、上記載置台の載置面に形成された緩衝部と、上記プローブカード押え部材の下端に形成された緩衝部とよりなり、上記プローブカードは、上記プローブカード押え部材と上記載置面とにより、挟み込まれて固定されて収納され、上記載置台を上記下側ケース部に固定できる載置台固定部を、上記下側ケース部の底面上面に複数設け、所望の種類のプローブカードに設けられた、上記載置台に載置される載置部に応じて、上記載置台は上記載置台固定部に固定され、上記所望の種類のプローブカードは、一方の位置決め部が設けられた載置部が３つあるプローブカードと、４つあるプローブカードの２種類であり、上記載置台固定部は、所望の位置の５か所に設けられ、上記一方の位置決め部に係合する他方の位置決め部を有する載置台は、上記プローブカードの種類に応じて、上記載置台固定部に固定されることを特徴とする。

また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する、上面が開口した下側ケース部と、該下側ケース部の開口部を塞ぐ上側ケース部と、上記プローブカードの下面を載置する載置面を有する複数の載置台とよりなり、上記載置台を上記下側ケース部に固定できる載置台固定部を、上記下側ケース部の底面上面に複数設け、所望の種類のプローブカードに設けられた、上記載置台に載置される載置部に応じて、上記載置台は上記載置台固定部に固定され、上記所望の種類のプローブカードは、一方の位置決め部が設けられた載置部が３つあるプローブカードと、４つあるプローブカードの２種類であり、上記載置台固定部は、所望の位置の５か所に設けられ、上記一方の位置決め部に係合する他方の位置決め部を有する載置台は、上記プローブカードの種類に応じて、上記載置台固定部に固定されることを特徴とする。

また、上記載置台固定部は、位置決めして載置されるプローブカードの中心からそれぞれ半径方向に略等距離離間した位置に設けられると共に、時計回りに、０度、４５度、１３５度、２２５度、３１５度、離間してそれぞれ設けられ、プローブカードに設けられ一方の位置決め部が３か所の場合には、上記載置台は、０度、１３５度、２２５度の位置における載置台固定部にそれぞれ固定され、プローブカードに設けられ一方の位置決め部が４か所の場合には、上記載置台は、４５度、１３５度、２２５、３１５度の位置における載置台固定部にそれぞれ固定されることを特徴とする。

また、上記上側ケース部の下面に設けられた、プローブカード押え部材と、上記載置台の載置面に形成された緩衝部と、上記プローブカード押え部材の下端に形成された緩衝部とよりなり、上記プローブカードは、該押え部材と上記載置面とにより、挟み込まれて固定されて収納されることを特徴とする。

本発明によれば、複数の種類のプローブカードに対応したプローブカード収納ケースを提供することができるようになる。

また、簡単な構成で、プローブカードに衝撃を与えずに収納でき、持ち運びができるようになる。

本発明のプローブカード収納ケースの平面図である。本発明のプローブカード収納ケースの側面図である。本発明のプローブカード収納ケースの上側ケース部を開いた状態の下側ケース部の平面図である。本発明のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。プローブカードの平面図である。本発明のプローブカード収納ケースの上側ケース部を開いた状態の下側ケース部の平面図である。本発明のプローブカード収納ケースのプローブカードを収納した状態の縦断側面図である。

以下図面によって本発明の実施例を説明する。

図１〜図７に示すように、本発明のプローブカード収納ケース１は、プローブカード２を収納する、上面に開口部を有する下側ケース部３と、該下側ケース部３の開口部を開閉自在に塞ぐ上側ケース部４とよりなり、上記下側ケース部３と上記上側ケース部４とは、上記下側ケース部３の開口部を上記上側ケース部４により塞ぐことにより、プローブカード２を上記収納ケース１内に、収納できるように形成される。

上記下側ケース部３は、例えば、図４に示すように、矩形状の底板３ａとなる板体と、該底板３ａの外周縁部から立設した側壁部３ｂとよりなり、矩形箱状に形成される。

また、図３に示すように、上記底板３ａ上面の周辺部には、複数の載置台固定部が設けられ、例えば、５か所に、載置台固定部５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅが形成される。

上記載置台固定部５ａ〜５ｅは、例えば、位置決めして載置されるプローブカード２の中心からそれぞれ半径方向に略等距離離間した位置に設けられると共に、それぞれ、所望の角度で離間して設けられ、例えば、時計回りに、０度、４５度、１３５度、２２５度、３１５度、離間してそれぞれ設けられる。

そして、３か所で位置決めされるプローブカード２を収容する場合には、上記載置台固定部５のうち、図３に示すように、３か所の載置台固定部５ａ、５ｃ、５ｄに、プローブカード２を、上記底面３ａから所望の高さで載置して支持する載置台６ａ、６ｃ、６ｄをそれぞれネジ等により固定して設ける。

なお、上記３つの載置台固定部５ａ、５ｃ、５ｄは、それぞれ、収納されるプローブカード２を一義的に位置決めできる所望の角度に設けられる。

また、４か所で位置決めされるプローブカード２を収容する場合には、上記載置台固定部５のうち、図６に示すように、４か所の載置台固定部５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅに、プローブカード２を、上記底面３ａから所望の高さで載置して支持する載置台６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅをそれぞれネジ等により固定して設ける。

なお、上記４つの載置台固定部５ｂ、５ｃ、５ｄ、４ｄは、それぞれ、収納されるプローブカード２を一義的に位置決めできる所望の角度に設けられる。

上記載置台６は、例えば、断面Ｌ字状に形成された載置台であり、例えば、図３、図４に示すように、上記プローブカード２の縁部の下面を載置する載置面７と、図５に示すように、上記プローブカード２の外周に凹状に形成した一方の位置決め部２ａに篏合など係合する、凸部などの他方の位置決め部８とより形成される。なお、上記載置面７の上面は、ゴムなどの弾性部などの緩衝部１２により形成される。

上記緩衝部１２は、例えば、軟質シリコン部材などの軟質合成樹脂部材よりなり、プローブカードを挟持した際、傷つけないように固定すると共に、ケース外部からの振動が、上記プローブカード２に伝わらないようにして、外部からの衝撃から、該プローブカードの破損を防止するようにする。

そして、上記３つの載置台６ａ、６ｃ、６ｄの各載置面７に、上記プローブカード２の縁部を載置すると共に、上記一方の位置決め部２ａを、他方の位置決め部８に係合することにより、上記プローブカード２を、上記下側ケース部３に、上記底面３ａから所望の高さに位置して載置させると共に、位置決めできるようになる。

なお、上記各一方の位置決め部と、該各一方の位置決め部に対応する他方の位置決め部のうち、一対の位置決め部のみを篏合するようにして、他の一対の位置決め部は、単に、一方の位置決め部に、該位置決め部に対応する他方の位置決め部を当接するようにしてもよい。

この場合でも、プローブカードを収納ケースに一義的に位置決めすることができるようになる。

また、上記上側ケース部４は、例えば、図４に示すように、矩形状の天井板４ａとなる板体と、該天井板４ａの外周縁部から垂下した側壁部４ｂとよりなり、上記下側ケース部３の側壁部３ｂの上端と、上記上側ケース部４の側壁部４ｂの下端とが当接することにより、上記下側ケース部３の上面が、上記上側ケース部４により塞がれるようになる。

また、上記天井板４ａの下面には、下方に突出した、所望の長さの棒状の押え部材９が形成され、図７に示すように、上記下側ケース部３に上記上側ケース部４を塞いだ時に、上記押え部材９が、上記下側ケース部３の載置台６に載置されたプローブカード２を上から下に押圧して、上記プローブカード２を、上記押え部材９と上記載置台６の載置面７に挟持させて、上記プローブカード２を上記収納ケース１に固定できるように形成される。また、上記押え部材９の下端を、ゴムなどの弾性部などの緩衝部１０により形成する。

なお、上記各押え部材９は、上記載置台６の載置面７に対向する位置にそれぞれ設けられる。

また、上記緩衝部１０は、例えば、軟質シリコン部材などの軟質合成樹脂部材よりなり、プローブカードを挟持した際、傷つけないように固定すると共に、ケース外部からの振動が、上記プローブカードに伝わらないようにして、外部からの衝撃から、該プローブカードの破損を防止するようにする。

そして、上記緩衝部１２と上記緩衝部１０とにより挟持された上記プローブカードは、ケース外部からの振動が、より伝わらないようになり、プローブカードの破損を防止するようにする。

なお、１１は、上記収納ケース１の一側面に設けられたヒンジ部を示し、該ヒンジ部１１により、上記下側ケース部３の一側面と上記上側ケース部４の一側面が連結した状態で、上記上側ケース部４を開閉自在にできるようになる。

なお、上記下側ケース部３と、上記上側ケース部４とを、他の手段により、連結するようにしてもよく、分離可能となるように連結するようにしてもよい。

また、上記下側ケース部３が、上記上側ケース部４により閉じられた後は、図示しない固定手段により、上記下側ケース部３と上記上側ケース部４が固定されるようになる。

また、必要に応じて、上記収納ケース１の一側面又は他側面等に、取っ手（図示せず）を設けても良い。

本発明においては、プローブカードを３か所で位置決めする場合には、上記載置台固定部の所定の３か所に載置台６を固定し、また、４か所で位置決めする場合には、上記載置台固定部の所定の４か所に載置台を固定するようにする。

そして、上記下側ケース部にプローブカードを収納した後は、上記上側ケース部で塞げば、上記押え部材９が、上記下側ケース部３の載置台６に載置されたプローブカード２を上から下に押圧して、上記プローブカード２を上記収納ケース１に固定できるようになる。

また、上記プローブカード２は、上記載置面７の緩衝部１２と、上記押え部材９の緩衝部１０により挟持されて固定されるので、上記収納ケースに衝撃がかかっても、その衝撃は、収納されたプローブカードに影響を与えることが少なくなる。

本発明によれば、収納するプローブカードの位置決め位置の異なるプローブカードであっても、収納することができるようになる。

また、簡単な構成で、例えば、スティフナーを省略したプローブカードであっても、衝撃を与えずに収納でき、持ち運びができるようになる。

１プローブカード収納ケース
２プローブカード
２ａ一方の位置決め部
３下側ケース部
３ａ底板
３ｂ側壁部
４上側ケース部
４ａ天井板
４ｂ側壁部
５ａ載置台固定部
５ｂ載置台固定部
５ｃ載置台固定部
５ｄ載置台固定部
５ｅ載置台固定部
６ａ載置台
６ｂ載置台
６ｃ載置台
６ｄ載置台
６ｅ載置台
７載置面
８他方の位置決め部
９押え部材
１０緩衝部
１１ヒンジ部
１２緩衝部

Claims

プローブカードを収納する、上面が開口した下側ケース部と、該下側ケース部の開口部を塞ぐ上側ケース部と、
上記プローブカードの下面を載置する載置面を有する、上記下側ケース部に設けた載置台と、
上記上側ケース部の下面に設けられた、プローブカード押え部材と、
上記載置台の載置面に形成された緩衝部と、
上記プローブカード押え部材の下端に形成された緩衝部とよりなり、
上記プローブカードは、上記プローブカード押え部材と上記載置面とにより、挟み込まれて固定されて収納され、
上記載置台を上記下側ケース部に固定できる載置台固定部を、上記下側ケース部の底面上面に複数設け、
所望の種類のプローブカードに設けられた、上記載置台に載置される載置部に応じて、上記載置台は上記載置台固定部に固定され、
上記所望の種類のプローブカードは、一方の位置決め部が設けられた載置部が３つあるプローブカードと、４つあるプローブカードの２種類であり、
上記載置台固定部は、所望の位置の５か所に設けられ、
上記一方の位置決め部に係合する他方の位置決め部を有する載置台は、上記プローブカードの種類に応じて、上記載置台固定部に固定されることを特徴とするプローブカード収納ケース。
プローブカードを収納する、上面が開口した下側ケース部と、該下側ケース部の開口部を塞ぐ上側ケース部と、
上記プローブカードの下面を載置する載置面を有する複数の載置台とよりなり、
上記載置台を上記下側ケース部に固定できる載置台固定部を、上記下側ケース部の底面上面に複数設け、
所望の種類のプローブカードに設けられた、上記載置台に載置される載置部に応じて、上記載置台は上記載置台固定部に固定され、
上記所望の種類のプローブカードは、一方の位置決め部が設けられた載置部が３つあるプローブカードと、４つあるプローブカードの２種類であり、
上記載置台固定部は、所望の位置の５か所に設けられ、
上記一方の位置決め部に係合する他方の位置決め部を有する載置台は、上記プローブカードの種類に応じて、上記載置台固定部に固定されることを特徴とするプローブカード収納ケース。
上記載置台固定部は、位置決めして載置されるプローブカードの中心からそれぞれ半径方向に略等距離離間した位置に設けられると共に、時計回りに、０度、４５度、１３５度、２２５度、３１５度、離間してそれぞれ設けられ、
プローブカードに設けられた一方の位置決め部が３か所の場合には、上記載置台は、０度、１３５度、２２５度の位置における載置台固定部にそれぞれ固定され、
プローブカードに設けられた一方の位置決め部が４か所の場合には、上記載置台は、４５度、１３５度、２２５、３１５度の位置における載置台固定部にそれぞれ固定されることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブカード収納ケース。