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JP6600971B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents
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Description

本発明は、アライメントマークを有する検知電極付きのカラーフィルタに関するものである。   The present invention relates to a color filter with a detection electrode having an alignment mark.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の表示装置が組み込まれた種々の装置に対する入力手段として、タッチパネルが広く用いられており、このようなタッチパネル付き表示装置の需要はさらに高まる傾向にある。
タッチパネル付き表示装置において、タッチパネルは表示装置の表示面上に配置され、上記表示装置に対する極めて直接的な入力を可能にする。
A touch panel is widely used as an input unit for various devices in which a display device such as a liquid crystal display or a plasma display is incorporated, and the demand for such a display device with a touch panel tends to be further increased.
In a display device with a touch panel, the touch panel is disposed on the display surface of the display device, and enables extremely direct input to the display device.

タッチパネルの中でも、光学的に明るいこと、意匠性があること、構造が容易であること、機能的にも優れていること等の理由から、静電容量方式のタッチパネルが注目されている。静電容量方式のタッチパネルとは、表面のタッチパネル面に微弱な電流を流して電界を形成し、画面に触れることで生じるタッチパネル面の静電容量値の変化を電圧の低下等に変換して検知することにより得られた接触位置を信号として出力し、検知位置を認識して作動するものである。   Among touch panels, electrostatic capacitive touch panels are attracting attention because they are optically bright, have good design properties, have a simple structure, and have excellent functions. Capacitive touch panel is a method that detects weakness by passing a weak current through the touch panel surface to form an electric field and converting the change in the capacitance value on the touch panel surface generated by touching the screen into a voltage drop. The contact position obtained by doing so is output as a signal, and the detection position is recognized to operate.

また、静電容量方式のタッチパネルの中でも、内蔵型は、基板上に外部導体の接近または接触を検出する検出パターンが設けられたタッチパネル基板が、表示装置の内部に組み込まれるものであり、上記タッチパネル基板における上記基板を、例えば、表示装置におけるカラーフィルタの基板と共通化させることができるため、軽量化や薄型化が図れ、安価な点で好適とされる。このような内蔵型のタッチパネルとしては、イン・セル型やオン・セル型が公知である(例えば特許文献1〜4参照)。   Among the capacitive touch panels, the built-in type includes a touch panel substrate provided with a detection pattern for detecting the approach or contact of an external conductor on the substrate. Since the substrate in the substrate can be made common with the substrate of the color filter in the display device, for example, it can be reduced in weight and thickness, and is preferable in terms of low cost. As such a built-in touch panel, an in-cell type and an on-cell type are known (for example, see Patent Documents 1 to 4).

検出パターンは、X方向を検知する検知電極とY方向を検知する検知電極との2方向の検知電極から構成される。検知電極は、タッチパネル付き表示装置の操作者から視認されにくくするために、一般に透明導電性材料が用いられているが、近年の高感度化の要請により、不透明な金属材料からなる電極も使用されている。しかし、金属材料からなる検知電極が表示領域に存在すると、上述したように視認されやすくなり表示を阻害してしまう。
そこで、一方の検知電極を、金属材料を用いてカラーフィルタの遮光部上に形成することで、表示領域においては遮光部により上記一方の検知電極を隠して見えなくし、他方の検知電極を、透明導電性材料を用いてカラーフィルタ上もしくは表示装置において上記カラーフィルタと対向して配置される基板(以下、対向基板とする。)上に形成することで、上記他方の検知電極が表示領域上に存在する場合であっても見えにくくする方法が採用される(特許文献4参照)。
The detection pattern is composed of two-direction detection electrodes, a detection electrode for detecting the X direction and a detection electrode for detecting the Y direction. As the detection electrode, a transparent conductive material is generally used in order to make it difficult for an operator of a display device with a touch panel to be visually recognized. However, in recent years, an electrode made of an opaque metal material is also used due to a demand for higher sensitivity. ing. However, when a detection electrode made of a metal material is present in the display area, it is easily recognized as described above, and the display is hindered.
Therefore, by forming one detection electrode on the light-shielding portion of the color filter using a metal material, the one detection electrode is hidden by the light-shielding portion in the display area, and the other detection electrode is made transparent. By forming a conductive material on a color filter or on a substrate (hereinafter referred to as a counter substrate) arranged to face the color filter in the display device, the other detection electrode is placed on the display region. A method of making it difficult to see even if it exists is used (see Patent Document 4).

上記一方の検知電極が遮光部上に形成されたカラーフィルタは、例えば、透明基板上に遮光部の形成と同時にアライメントマークを形成し、上記アライメントマークを基準にして上記遮光部上に上記一方の検知電極を形成し、さらに同一のアライメントマークを基準として遮光部内の開口部に各色の着色層を形成することで作製することができる。この方法によれば、上記遮光部と上記一方の検知電極および上記着色層との位置合わせを高精度に行うことができる。
そして、このようなカラーフィルタを備えるタッチパネル付き表示装置を製造する際には、上記カラーフィルタ上のアライメントマークと対向基板上のアライメントマークとを平面視上重ね合うようにして貼り合せることで、上記カラーフィルタと上記対向基板との位置合わせも高精度に行うことができる。このとき、対向基板上に形成される他方の検知電極は、上記カラーフィルタ上のアライメントマークに対峙する上記対向基板上のアライメントマークを基準として形成されることで、貼り合せの際に上記カラーフィルタ上の一方の検知電極と位置合わせすることができる。
In the color filter in which the one detection electrode is formed on the light shielding portion, for example, an alignment mark is formed simultaneously with the formation of the light shielding portion on the transparent substrate, and the one of the detection electrodes is formed on the light shielding portion with reference to the alignment mark. The detection electrode can be formed, and further, a colored layer of each color can be formed in the opening in the light shielding portion with reference to the same alignment mark. According to this method, alignment between the light shielding portion, the one detection electrode, and the colored layer can be performed with high accuracy.
Then, when manufacturing a display device with a touch panel including such a color filter, the alignment mark on the color filter and the alignment mark on the counter substrate are bonded so as to overlap each other in plan view. Position alignment between the filter and the counter substrate can also be performed with high accuracy. At this time, the other detection electrode formed on the counter substrate is formed with reference to the alignment mark on the counter substrate facing the alignment mark on the color filter. It can be aligned with one of the upper sensing electrodes.

また、最近では、2方向の検知電極の両方を備えるカラーフィルタ、すなわち、一方の検知電極と交差し且つ絶縁して形成された他方の検知電極を有するカラーフィルタの設計も進められている。この場合、上記他方の検知電極は、一方の検知電極と同様に、上記カラーフィルタ上の同一のアライメントマークを基準として形成されことで、検知電極同士の位置合わせを行っている。   Recently, the design of a color filter having both detection electrodes in two directions, that is, a color filter having the other detection electrode formed so as to intersect and insulate one of the detection electrodes has been advanced. In this case, the other detection electrode is formed with reference to the same alignment mark on the color filter as in the case of the one detection electrode, so that the detection electrodes are aligned with each other.

特開2013−97704号公報JP 2013-97704 A 特開2009−211531号公報JP 2009-211531 A 国際公開第2014−119002号International Publication No. 2014-119002 特開2013−164744号公報JP 2013-164744 A

ところで、モバイル電子機器等においては、タッチパネル付き表示装置の高精細化が進んでおり、また、タッチパネル画面にタッチペン等の指触よりも接触面積が小さいものでタッチすることで、より高度な操作を可能とすることが求められている。そして、このような要求に対応すべく検出パターンの検知分解能を向上するためには、各検知電極を従来よりも細幅に形成し、且つ、各検知電極の位置合わせを高精度に行う必要がある。   By the way, in mobile electronic devices and the like, display devices with a touch panel are becoming higher definition, and more advanced operations can be performed by touching the touch panel screen with a touch area smaller than the touch of a touch pen or the like. There is a need to make it possible. In order to improve the detection resolution of the detection pattern in order to meet such demands, it is necessary to form each detection electrode narrower than in the past and to align each detection electrode with high accuracy. is there.

しかし、上述した方法で2方向の検知電極をそれぞれ形成すると、検知電極同士の位置合わせ精度が低く、正確な検知位置を認識することができないという駆動上の問題が生じる。
これは、各検知電極を同一のアライメントマークを基準として形成する場合、各検知電極の上記アライメントマークに対する形成位置に、それぞれ誤差が必然的に生じてしまい、検知電極ごとのアライメントマークに対する形成位置の誤差が僅かであっても、検知電極同士の相対位置で見ると大きなズレが生じることになるからである。
検知電極が細幅である程、各検知位置の形成位置のズレは大きくなる傾向にあり、それに伴う検知電極同士の相対位置のズレも大きくなる。このため、検知電極の細幅化により、検知電極同士の位置合わせ精度がさらに低下することが予想される。
However, if each of the two-direction detection electrodes is formed by the above-described method, there is a driving problem that the alignment accuracy between the detection electrodes is low and the accurate detection position cannot be recognized.
This is because, when each detection electrode is formed with the same alignment mark as a reference, an error inevitably occurs in the formation position of each detection electrode with respect to the alignment mark. This is because even if the error is slight, a large shift occurs when viewed at the relative position between the detection electrodes.
The narrower the detection electrodes, the larger the displacement of the positions where the detection positions are formed, and the greater the displacement of the relative positions of the detection electrodes. For this reason, it is anticipated that the alignment accuracy of the detection electrodes is further reduced due to the narrowing of the detection electrodes.

また、遮光部上の一方の検知電極が、アライメントマークに対する形成位置の誤差が小さいものの、上記遮光部の面方向に対して傾きを有して形成されている場合、他方の検知電極は上記アライメントマークに対する位置を基準として形成されるため、上記一方の検知電極の傾き角度を考慮した位置で形成されない。このため、検知電極同士を直交して配置することができず、検知電極間に生じる静電容量の変化から正確な検知位置を認識することが困難となる。   In addition, when one detection electrode on the light shielding portion has a small formation position error with respect to the alignment mark but is formed to have an inclination with respect to the surface direction of the light shielding portion, the other detection electrode has the alignment Since it is formed on the basis of the position with respect to the mark, it is not formed at a position in consideration of the inclination angle of the one detection electrode. For this reason, the detection electrodes cannot be arranged orthogonally, and it becomes difficult to recognize an accurate detection position from a change in capacitance generated between the detection electrodes.

上述の課題は、カラーフィルタ内に2方向の検知電極を有する場合に限らず、カラーフィルタと貼り合わされる対向基板上に他方の検知電極を配置する場合にも生じる。すなわち、対向基板上に他方の検知電極を形成する場合、上記カラーフィルタ上のアライメントマークに対峙する上記対向基板上のアライメントマークを基準として形成される。このため、カラーフィルタと対向基板とを貼り合せる際に、各検知電極を同一のアライメントマークを基準として形成する場合と同様に、検知電極同士の相対位置にズレが生じることになる。   The above-described problem occurs not only when the two-direction detection electrodes are provided in the color filter but also when the other detection electrode is disposed on the counter substrate to be bonded to the color filter. That is, when the other detection electrode is formed on the counter substrate, it is formed with reference to the alignment mark on the counter substrate facing the alignment mark on the color filter. For this reason, when the color filter and the counter substrate are bonded to each other, a shift occurs in the relative position between the detection electrodes as in the case where the detection electrodes are formed with reference to the same alignment mark.

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタを用いたタッチパネル付き表示装置において、2方向の検知電極を高精度に位置合わせすることが可能なカラーフィルタを提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and mainly provides a color filter capable of aligning detection electrodes in two directions with high precision in a display device with a touch panel using a color filter. Objective.

上記課題を解決するために、本発明者等が鋭意検討を行った結果、カラーフィルタの基板上に、遮光部と同一材料で形成されたアライメントマークを基準として一方の検知電極を形成するのと同時に、一方の検知電極と同一材料からなる別のアライメントマークを形成し、上記別のアライメントマークを基準として他方の検知電極を形成し若しくは配置することで、2方向の検知電極同士を高精度に位置合わせすることが可能であることを見出した。本発明はこのような知得に基づくものである。   In order to solve the above-mentioned problem, the present inventors have conducted intensive studies, and as a result, one detection electrode is formed on the color filter substrate with reference to an alignment mark formed of the same material as the light shielding portion. At the same time, another alignment mark made of the same material as one of the detection electrodes is formed, and the other detection electrode is formed or arranged with reference to the other alignment mark, so that the two-direction detection electrodes can be accurately aligned. We found that it is possible to align. The present invention is based on such knowledge.

すなわち、本発明は、透明基板と、上記透明基板上にパターン状に形成され、開口部を有する遮光部と、上記遮光部上に一方向に沿って形成された、ストライプ状の第1の検知電極と、上記遮光部の上記開口部に形成された複数色の着色層と、上記透明基板の上記遮光部および上記着色層が形成された側の面に形成された2種類のアライメントマークと、を有するカラーフィルタであって、上記2種類のアライメントマークのうち一方は、上記第1の検知電極と同一の材料で形成された第1アライメントマークであり、他方は、上記遮光部と同一の材料で形成された第2アライメントマークであることを特徴とするカラーフィルタを提供する。   That is, the present invention relates to a transparent substrate, a light-shielding portion formed in a pattern on the transparent substrate and having an opening, and a stripe-shaped first detection formed on the light-shielding portion along one direction. An electrode, a colored layer of a plurality of colors formed in the opening of the light shielding part, and two types of alignment marks formed on the surface of the transparent substrate on which the light shielding part and the colored layer are formed, One of the two types of alignment marks is a first alignment mark formed of the same material as the first detection electrode, and the other is the same material as the light shielding portion. The color filter is characterized in that it is a second alignment mark formed in (1).

本発明によれば、第1の検知電極と同一の材料で形成された第1アライメントマークを基準として、カラーフィルタ上に第2の検知電極を形成し、もしくは第2の検知電極が形成された対向基板を貼り合せることで、第1の検知電極と平面視上交差するようにして第2の検知電極を配置することができ、検知電極同士を高精度に位置合わせすることが可能となる。   According to the present invention, the second detection electrode is formed on the color filter with reference to the first alignment mark formed of the same material as the first detection electrode, or the second detection electrode is formed. By bonding the counter substrate, the second detection electrodes can be arranged so as to intersect the first detection electrodes in plan view, and the detection electrodes can be aligned with high accuracy.

上記発明においては、上記透明基板の一方の面側に、上記第1の検知電極と絶縁された第2の検知電極を有していてもよい。第1アライメントマークを基準として、同一の透明基板上の所望の位置に第2の検知電極を形成することで、検知電極同士をより高精度に位置合わせすることができるからである。   In the said invention, you may have the 2nd sensing electrode insulated from the said 1st sensing electrode in the one surface side of the said transparent substrate. This is because the detection electrodes can be aligned with higher accuracy by forming the second detection electrodes at desired positions on the same transparent substrate with the first alignment mark as a reference.

本発明のカラーフィルタは、第1の検知電極と同一の材料で形成されたアライメントマークを備えることで、上記カラーフィルタを備えるタッチパネル付き表示装置において、2方向の検知電極を高精度に位置合わせすることが可能であるといった効果を奏する。   The color filter of the present invention includes an alignment mark formed of the same material as that of the first detection electrode, so that the two-direction detection electrode is aligned with high accuracy in the display device with a touch panel including the color filter. There is an effect that it is possible.

本発明のカラーフィルタの一例を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows an example of the color filter of this invention. 図1のX−X線断面図である。It is the XX sectional view taken on the line of FIG. 図1のY−Y線断面図である。It is the YY sectional view taken on the line of FIG. 本発明のカラーフィルタの他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the color filter of this invention. 第1アライメントマークを用いた第2の検知電極の形成方法を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the formation method of the 2nd detection electrode using a 1st alignment mark. 本発明における第1の検知電極を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the 1st detection electrode in this invention. 本発明のカラーフィルタの他の例を示す概略平面図および断面図である。It is the schematic plan view and sectional drawing which show the other example of the color filter of this invention.

以下、本発明のカラーフィルタについて詳細に説明する。
本発明のカラーフィルタは、透明基板と、上記透明基板上にパターン状に形成され、開口部を有する遮光部と、上記遮光部上に一方向に沿って形成された、ストライプ状の第1の検知電極と、上記遮光部の上記開口部に形成された複数色の着色層と、上記透明基板の上記遮光部および上記着色層が形成された側の面に形成された2種類のアライメントマークと、を有するカラーフィルタであって、上記2種類のアライメントマークのうち一方は、上記第1の検知電極と同一の材料で形成された第1アライメントマークであり、他方は、上記遮光部と同一の材料で形成された第2アライメントマークであることを特徴とするものである。
Hereinafter, the color filter of the present invention will be described in detail.
The color filter of the present invention includes a transparent substrate, a light shielding portion formed in a pattern on the transparent substrate, having an opening, and a stripe-shaped first formed on the light shielding portion along one direction. A detection electrode; a colored layer of a plurality of colors formed in the opening of the light shielding portion; and two types of alignment marks formed on a surface of the transparent substrate on which the light shielding portion and the colored layer are formed; , Wherein one of the two types of alignment marks is a first alignment mark formed of the same material as the first detection electrode, and the other is the same as the light shielding portion. The second alignment mark is made of a material.

本発明のカラーフィルタについて、図を参照しながら説明する。図1は本発明のカラーフィルタの一例を示す概略平面図であり、図2は図1のX−X線断面図であり、図3は図1のY−Y線断面図である。
本発明のカラーフィルタ10は、透明基板1と、透明基板1上にパターン状に形成され、開口部Pを有する遮光部2と、遮光部2上に一方向に沿って形成された、ストライプ状の第1の検知電極3と、遮光部2の開口部Pに形成された複数色の着色層4(赤色着色層4R、緑色着色層4Gおよび青色着色層4B)と、透明基板1の遮光部2および着色層4が形成された側の面に形成された第1アライメントマーク5および第2アライメントマーク6と、を有する。
第1アライメントマーク5は、第1の検知電極3と同一の材料で形成されており、第2アライメントマーク6は、遮光部2と同一の材料で形成されている。
The color filter of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a schematic plan view showing an example of the color filter of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line YY of FIG.
The color filter 10 of the present invention is a striped pattern formed on the transparent substrate 1, the transparent substrate 1 in a pattern shape, the light shielding portion 2 having the opening P, and the light shielding portion 2 along one direction. The first detection electrode 3, the colored layers 4 (the red colored layer 4 R, the green colored layer 4 G, and the blue colored layer 4 B) formed in the opening P of the light shielding portion 2, and the light shielding portion of the transparent substrate 1. 2 and the first alignment mark 5 and the second alignment mark 6 formed on the surface on which the colored layer 4 is formed.
The first alignment mark 5 is made of the same material as the first detection electrode 3, and the second alignment mark 6 is made of the same material as the light shielding part 2.

図4は、本発明のカラーフィルタの他の例を示す概略断面図である。図4に例示するカラーフィルタ10では、第1の検知電極3を覆うようにして遮光部2の開口部Pに着色層4が形成されている。図4に例示するように、遮光部2は、表示領域11に形成され画素を区分する画素区分用遮光部2Aと、非表示領域12に形成された額縁遮光部2Bとを有する。第1アライメントマーク5および第2アライメントマーク6の2種類のアライメントマークは、カラーフィルタの非表示領域12に形成される。
ここで、「表示領域」とは、本発明のカラーフィルタを表示装置に用いた場合に、画像表示に用いられる領域をいう。また、「非表示領域」とは、表示領域の外周に配置された領域をいう。
また、「表示領域」は、タッチパネル付き表示装置におけるタッチパネルのアクティブエリアに相当し、「非表示領域」は、タッチパネルの非アクティブエリアに相当する。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing another example of the color filter of the present invention. In the color filter 10 illustrated in FIG. 4, the colored layer 4 is formed in the opening P of the light shielding portion 2 so as to cover the first detection electrode 3. As illustrated in FIG. 4, the light shielding unit 2 includes a pixel classification light shielding unit 2 </ b> A that is formed in the display region 11 and segments pixels, and a frame light shielding unit 2 </ b> B formed in the non-display region 12. Two types of alignment marks, the first alignment mark 5 and the second alignment mark 6, are formed in the non-display area 12 of the color filter.
Here, the “display area” refers to an area used for image display when the color filter of the present invention is used in a display device. In addition, the “non-display area” refers to an area arranged on the outer periphery of the display area.
The “display area” corresponds to the active area of the touch panel in the display device with the touch panel, and the “non-display area” corresponds to the inactive area of the touch panel.

本発明によれば、第1の検知電極と同一の材料で形成された第1アライメントマークを基準として、カラーフィルタ上に第2の検知電極を形成し、もしくは第2の検知電極が形成された対向基板をカラーフィルタと貼り合せることで、第1の検知電極と平面視上交差するようにして第2の検知電極を配置することができ、検知電極同士を高精度に位置合わせすることが可能となる。   According to the present invention, the second detection electrode is formed on the color filter with reference to the first alignment mark formed of the same material as the first detection electrode, or the second detection electrode is formed. By bonding the counter substrate to the color filter, the second detection electrodes can be arranged so as to intersect the first detection electrodes in plan view, and the detection electrodes can be aligned with high accuracy. It becomes.

また、上記透明基板上に設けられた第2アライメントマークにより、本発明のカラーフィルタを備えたタッチパネル付き表示装置を作製する際に、上記第2アライメントマークを基準としてカラーフィルタと対向基板とを貼り合せることで、高精度に位置合わせすることが可能となる。   Further, when a display device with a touch panel provided with the color filter of the present invention is manufactured by using the second alignment mark provided on the transparent substrate, the color filter and the counter substrate are attached on the basis of the second alignment mark. By matching, it becomes possible to align with high accuracy.

ここで、第1アライメントマークによる第1の検知電極および第2の検知電極の位置合わせについて、図を参照して説明する。
図5は、第1アライメントマークを用いた第2の検知電極の形成方法を説明するための模式図であり、タッチパネルセンサの第1の検知電極が形成された面と同一面上に第2の検知電極を形成する例である。なお、図5は、タッチパネルセンサの第1の検知電極の形成方向に沿った断面図に相当する。
図5に示すように、本発明のカラーフィルタ10の第1の検知電極3が形成された面と同一面上に第2の検知電極を形成する場合、まず、図5(a)で示すように、遮光部2、第1の検知電極3および着色層上に、絶縁性を有するオーバーコート層8を介して透明導電性材料からなる透明導電層17を形成し、透明導電層17のアクティブエリアとなる領域上にフォトレジスト31を塗布する。
次に、図5(b)で示すように、フォトマスク32を用い、フォトレジスト31に対してパターン露光Lを行う。このときフォトマスク32を配置する位置は、フォトマスク32に予め設けたマークAがカラーフィルタ10の第1アライメントマーク5と重なるように調整する。フォトマスク32の位置調整は、例えば、カメラ33等によって第1アライメントマーク5の位置を確認し、フォトマスク32に設けたマークAが第1アライメントマーク5と重なるようにする。
次いで、フォトレジスト31を現像して透明導電層17をパターニングすることにより、図5(c)で示すように、第1の検知電極3と平面視上直交するようにして第2の検知電極7を形成することができる。
Here, the alignment of the first detection electrode and the second detection electrode by the first alignment mark will be described with reference to the drawings.
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a method of forming the second detection electrode using the first alignment mark, and the second detection electrode is formed on the same surface as the surface on which the first detection electrode of the touch panel sensor is formed. It is an example which forms a detection electrode. FIG. 5 corresponds to a cross-sectional view along the direction in which the first detection electrode of the touch panel sensor is formed.
As shown in FIG. 5, when the second detection electrode is formed on the same surface as the surface on which the first detection electrode 3 of the color filter 10 of the present invention is formed, first, as shown in FIG. In addition, a transparent conductive layer 17 made of a transparent conductive material is formed on the light shielding portion 2, the first detection electrode 3, and the colored layer via an insulating overcoat layer 8, and the active area of the transparent conductive layer 17 is formed. A photoresist 31 is applied on the region to be.
Next, as shown in FIG. 5B, pattern exposure L is performed on the photoresist 31 using a photomask 32. At this time, the position where the photomask 32 is arranged is adjusted so that the mark A provided in advance on the photomask 32 overlaps the first alignment mark 5 of the color filter 10. For the position adjustment of the photomask 32, for example, the position of the first alignment mark 5 is confirmed by the camera 33 or the like, and the mark A provided on the photomask 32 is overlapped with the first alignment mark 5.
Next, the photoresist 31 is developed and the transparent conductive layer 17 is patterned, so that the second detection electrode 7 is orthogonal to the first detection electrode 3 in plan view as shown in FIG. Can be formed.

従来は、第2の検知電極の形成に際し、フォトマスクに設けたマークと第2アライメントマークとが重なるようにしてフォトマスクが配置され、パターン露光がされる。このため、第1の検知電極の形成時に生じた位置ずれ、および第2の検知電極の形成時に生じた位置ずれにより、検知電極同士の相対位置に大きなずれが生じることとなる。
これに対し、本発明では、図5で示したように、第2の検知電極7の形成に際し、第2アライメントマーク6ではなく、第1の検知電極3と同時に形成された第1アライメントマーク5を基準として、フォトマスクを設けてパターン露光を行っているため、第2の検知電極7の第1の検知電極3に対する位置ずれを抑えることができる。これにより、第1の検知電極および第2の検知電極の位置合わせ精度の向上を図ることができる。
Conventionally, when forming the second detection electrode, the photomask is arranged so that the mark provided on the photomask and the second alignment mark overlap with each other, and pattern exposure is performed. For this reason, a large shift occurs in the relative positions of the detection electrodes due to a positional shift that occurs when the first detection electrode is formed and a positional shift that occurs when the second detection electrode is formed.
In contrast, in the present invention, as shown in FIG. 5, when forming the second detection electrode 7, not the second alignment mark 6 but the first alignment mark 5 formed simultaneously with the first detection electrode 3. Since the pattern exposure is performed with the photomask provided as a reference, the positional deviation of the second detection electrode 7 with respect to the first detection electrode 3 can be suppressed. Thereby, the alignment accuracy of the first detection electrode and the second detection electrode can be improved.

また、図示しないが、本発明のカラーフィルタと第2の検知電極が形成された対向基板とを貼り合せる際の、第1アライメントマークを用いた第1の検知電極および第2の検知電極の位置合わせ方法としては、例えば、対向基板上に第2の検知電極の形成と同時にアライメントマークを形成し、カラーフィルタと対極基板とを平面視上重ねた際に、カラーフィルタ側の第1アライメントマークと対極基板側のアライメントマークとが重なるようにカメラ等により位置を確認しながら配置することで、検知電極同士を高精度で位置合わせすることができる。   Although not shown, the positions of the first detection electrode and the second detection electrode using the first alignment mark when the color filter of the present invention and the counter substrate on which the second detection electrode is formed are bonded together. As an alignment method, for example, an alignment mark is formed simultaneously with the formation of the second detection electrode on the counter substrate, and when the color filter and the counter electrode substrate are overlapped in plan view, By arranging the electrodes while confirming the position with a camera or the like so that the alignment mark on the counter electrode substrate side overlaps, the detection electrodes can be aligned with high accuracy.

以下、本発明のカラーフィルタにおける各構成について説明する。   Hereinafter, each structure in the color filter of this invention is demonstrated.

1.アライメントマーク
本発明におけるアライメントマークは、上記透明基板の上記遮光部および上記着色層が形成された側の面に形成されたものであり、第1アライメントマークおよび第2アライメントマークの2種類を有する。
以下、各アライメントマークについて説明する。
1. Alignment Mark The alignment mark in the present invention is formed on the surface of the transparent substrate on which the light shielding portion and the colored layer are formed, and has two types, a first alignment mark and a second alignment mark.
Hereinafter, each alignment mark will be described.

(1)第1アライメントマーク
第1アライメントマークは、第1の検知電極と同一の材料で形成されたものである。
上記第1アライメントマークは、上記第1の検知電極と平面視上交差するようにしてストライプ状の第2の検知電極を形成しまたは配置する際の、位置決めの基準として機能する。
(1) First alignment mark The first alignment mark is made of the same material as the first detection electrode.
The first alignment mark functions as a positioning reference when forming or arranging the stripe-shaped second detection electrodes so as to intersect the first detection electrodes in plan view.

第1アライメントマークの材料については、後述する「2.第1の検知電極」の項で説明する第1の検知電極の材料と同様であるため、ここでの説明は省略する。   The material of the first alignment mark is the same as the material of the first detection electrode described in the section “2. First detection electrode” to be described later, and thus the description thereof is omitted here.

第1アライメントマークの平面視形状は、特に限定されず、一般にカラーフィルタに設けられるアライメントマークの形状と同様とすることができる。例えば、十字形状、×(バツ)印形状、田の字形状、井の字形状や、円形状、四角形状、三角形状等のドット形状、二重丸形状、二重四角形状、中抜きの四角形状等、およびこれらの形状を組み合わせたもの等を挙げることができる。   The shape of the first alignment mark in plan view is not particularly limited, and can be generally the same as the shape of the alignment mark provided on the color filter. For example, cross shape, x (cross) mark shape, paddle shape, well shape, dot shape such as circle shape, square shape, triangle shape, double round shape, double square shape, hollow square Examples include shapes and the like, and combinations of these shapes.

上記第1アライメントマークは、第1の検知電極に用いられる材料の種類に応じて、透明性を有していてもよく不透明であってもよい。
上記第1アライメントマークの透過率や光学濃度については、第2の検知電極を形成する際に検知可能であれば特に限定されず、第1の検知電極の材料に応じて適宜設定することができる。
The first alignment mark may be transparent or opaque depending on the type of material used for the first detection electrode.
The transmittance and optical density of the first alignment mark are not particularly limited as long as they can be detected when forming the second detection electrode, and can be appropriately set according to the material of the first detection electrode. .

第1アライメントマークの大きさとしては、露光機で読み取り可能な大きさであれば特に限定されず、例えば100μm×100μm程度とすることができる。
第1アライメントマークの厚さとしては、第1の検知電極の厚さと同様とすることができる。
また、第1アライメントマークの数は特に限定されない。
The size of the first alignment mark is not particularly limited as long as it can be read by an exposure machine, and can be, for example, about 100 μm × 100 μm.
The thickness of the first alignment mark can be the same as the thickness of the first detection electrode.
Further, the number of first alignment marks is not particularly limited.

第1アライメントマークの形成方法としては、第1の検知電極と同時に形成可能な方法であればよく、「2.第1の検知電極」の項で説明するため、ここでの説明は省略する。   The first alignment mark can be formed by any method that can be formed at the same time as the first detection electrode, and will be described in the section “2. First detection electrode”, and thus the description thereof is omitted here.

(2)第2アライメントマーク
上記第2アライメントマークは、上記遮光部と同一の材料で形成されたものである。
上記第2アライメントマークは、透明基板上に第1の検知電極や複数の着色層を形成する際の位置決めの基準として機能する。
また、上記第2アライメントマークは、本発明のカラーフィルタを用いたタッチパネル付き表示装置の製造において、上記カラーフィルタとTFT基板等の対向基板とを貼り合せる際の位置合わせに用いることもできる。
(2) Second alignment mark The second alignment mark is formed of the same material as the light shielding portion.
The second alignment mark functions as a positioning reference when forming the first detection electrode and the plurality of colored layers on the transparent substrate.
The second alignment mark can also be used for alignment when the color filter and a counter substrate such as a TFT substrate are bonded in the manufacture of a display device with a touch panel using the color filter of the present invention.

第2アライメントマークの材料については、後述する「3.遮光部」の項で説明する材料と同様であるため、ここでの説明は省略する。
また、第2アライメントマークの厚さとしては、遮光部の厚さと同様とすることができる。
The material of the second alignment mark is the same as the material described in the section “3.
Further, the thickness of the second alignment mark can be the same as the thickness of the light shielding portion.

第2アライメントマークの光学濃度(OD)については、透明基板上に第1の検知電極や複数の着色層を形成する際や、本発明のカラーフィルタと対向基板とを貼り合せる際に検出可能であれば特に限定されず、使用する材料に応じて適宜設定することができるが、遮光部の光学濃度(OD)と同じであることが好ましい。第2アライメントマークが遮光部と異なる光学濃度(OD)を示す場合、遮光部と第2アライメントマークとの厚さが異なることとなり、遮光部の形成時にハーフトーンマスク等を使用して第2アライメントマークを形成する必要が生じ、コストがかかってしまうからである。
具体的な第2アライメントマークの光学濃度(OD)としては、通常のカラーフィルタのブラックマトリクスに用いられる光学濃度(OD)である4程度が好ましい。
The optical density (OD) of the second alignment mark can be detected when the first detection electrode or the plurality of colored layers are formed on the transparent substrate, or when the color filter of the present invention is bonded to the counter substrate. There is no particular limitation as long as it can be set as appropriate according to the material to be used, but it is preferably the same as the optical density (OD) of the light shielding part. When the second alignment mark shows an optical density (OD) different from that of the light shielding portion, the light shielding portion and the second alignment mark have different thicknesses, and the second alignment is performed using a halftone mask or the like when forming the light shielding portion. This is because the mark needs to be formed, and costs are increased.
The specific optical density (OD) of the second alignment mark is preferably about 4 which is the optical density (OD) used for a black matrix of a normal color filter.

第2アライメントマークの平面視形状については、「(1)第1アライメントマーク」の項で説明した形状と同様とすることができる。
また、第2アライメントマークの数は特に限定されない。
The shape of the second alignment mark in plan view can be the same as the shape described in the section “(1) First alignment mark”.
Further, the number of second alignment marks is not particularly limited.

第2アライメントマークの形成方法としては、遮光部と同時に形成可能な方法であればよく、「3.遮光部」の項で説明するためここでの説明は省略する。   As a method for forming the second alignment mark, any method can be used as long as it can be formed at the same time as the light shielding portion, and the description thereof will be omitted because it will be described in the section “3.

(3)その他
第1および第2の各アライメントマークは、上記透明基板の上記遮光部および上記着色層が形成された側の面に形成される。中でも、本発明のカラーフィルタにおいて上記着色層が形成される有効領域を除く非有効領域、すなわち、本発明のカラーフィルタの非表示領域に形成されることが好ましい。本発明のカラーフィルタを備えるタッチパネル付き表示装置の操作者から、各アライメントマークを視認されにくくすることができるからである。
(3) Others The first and second alignment marks are formed on the surface of the transparent substrate on which the light shielding portion and the colored layer are formed. Especially, it is preferable to form in the non-effective area | region except the effective area | region where the said colored layer is formed in the color filter of this invention, ie, the non-display area | region of the color filter of this invention. This is because each alignment mark can be made difficult to be visually recognized by an operator of a display device with a touch panel including the color filter of the present invention.

2.第1の検知電極
本発明における第1の検知電極は、上記遮光部上に一方向に沿って形成された、ストライプ状のものである。
上記第1の検知電極は、第2の検知電極と共に検知パターンとして接触位置を検出するために用いられる。
2. 1st detection electrode The 1st detection electrode in this invention is a striped thing formed along one direction on the said light-shielding part.
The first detection electrode is used together with the second detection electrode to detect a contact position as a detection pattern.

第1の検知電極は、上記遮光部上に形成されることから、透明性を有していてもよく有さなくてもよく、使用する材料に応じて適宜選択することができる。
第1の検知電極を形成する材料としては、導電性を有するものであればよく、透明性の有無に応じて適宜選択が可能である。上記材料としては、金属材料、透明導電性材料等が用いられる。金属材料を用いることにより不透明な第1の検知電極とすることができ、一方、透明導電性材料を用いることにより透明性を有する第1の検知電極とすることができる。
金属材料としては、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、Al、Cr、Coといった金属、APC(Ag、Pd、Cuを含む合金)等の上述した金属の合金、またはMAM(モリブデン膜、アルミニウム・ネオジウム合金膜およびモリブデン膜がこの順に積層された複層金属膜)に代表される複層金属膜等を挙げることができる。
また、透明導電性材料としては、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物、これらの金属酸化物が2種以上複合された材料が挙げられる。さらに、例えばPEDOT−PSS等の、PEDOT等の樹脂材料に上述の金属を加えた導電性高分子や、上記導電性高分子から形成された有機導電膜を用いてもよい。
中でも第1の検知電極の材料としては、金属材料が好ましい。第1の検知電極を細幅にしても電気抵抗を小さくすることができ、検知感度を向上させることができるからである。上記金属材料の中でも、高い導電性を示すことから、APCが好適である。
Since the first detection electrode is formed on the light shielding portion, it may or may not have transparency, and can be appropriately selected according to the material to be used.
The material for forming the first detection electrode may be any material as long as it has conductivity, and can be appropriately selected according to the presence or absence of transparency. As the material, a metal material, a transparent conductive material, or the like is used. By using a metal material, an opaque first detection electrode can be obtained. On the other hand, by using a transparent conductive material, a transparent first detection electrode can be obtained.
Examples of the metal material include metals such as Cu, Ag, Au, Pt, Al, Cr, and Co, alloys of the above-described metals such as APC (alloys including Ag, Pd, and Cu), or MAM (molybdenum film, aluminum. A multilayer metal film represented by a multilayer metal film in which a neodymium alloy film and a molybdenum film are laminated in this order can be given.
Transparent conductive materials include indium tin oxide (ITO), zinc oxide, indium oxide, antimony-added tin oxide, fluorine-added tin oxide, aluminum-added zinc oxide, potassium-added zinc oxide, silicon-added zinc oxide, and zinc oxide. -Metal oxides such as tin oxide, indium oxide-tin oxide, and zinc oxide-indium oxide-magnesium oxide, and materials in which two or more of these metal oxides are combined. Further, for example, a conductive polymer obtained by adding the above metal to a resin material such as PEDOT, such as PEDOT-PSS, or an organic conductive film formed from the conductive polymer may be used.
Among these, a metal material is preferable as the material of the first detection electrode. This is because even if the first detection electrode is narrow, the electrical resistance can be reduced and the detection sensitivity can be improved. Among the metal materials, APC is preferable because it exhibits high conductivity.

第1の検知電極の線幅としては、接触位置を精度良く検出でき、上記遮光部の線幅以下であればよく、例えば1μm〜15μmの範囲内、中でも2μm〜14μmの範囲内、特に3μm〜13μmの範囲内が好ましい。第1の検知電極の線幅が上記範囲に満たない場合は、その電気抵抗を十分に小さくすることができない可能性がある。一方、上記線幅が上記範囲を超える場合、タッチパネル付き表示装置に要求される機能を発揮することができない可能性がある。
なお、第1の検知電極の線幅とは、ストライプ形状の幅をいい、図2においてdで示す部分である。
As the line width of the first detection electrode, the contact position can be accurately detected, and it may be equal to or smaller than the line width of the light shielding portion. For example, the line width is within a range of 1 μm to 15 μm. Within the range of 13 μm is preferable. When the line width of the first detection electrode is less than the above range, the electrical resistance may not be sufficiently reduced. On the other hand, when the said line width exceeds the said range, there exists a possibility that the function requested | required of the display apparatus with a touch panel cannot be exhibited.
Note that the line width of the first detection electrode refers to the width of the stripe shape and is a portion indicated by d in FIG.

第1の検知電極の厚さとしては、所望の導電性を有していれば特に限定されないが、例えば10nm〜1000nmの範囲内、中でも50nm〜800nmの範囲内、特に100nm〜500nmの範囲内であることが好ましい。第1の検知電極の厚さが上記範囲に満たないと、第1の検知電極の抵抗が大きくなり電極として十分に機能しない場合があり、一方上記範囲を超えると、第1の検知電極の形成時間が多くかかり、製造コストが高くなる場合や、第1の検知電極にクラックや剥離等が生じやすくなる場合がある。   The thickness of the first detection electrode is not particularly limited as long as it has a desired conductivity. For example, the thickness is within a range of 10 nm to 1000 nm, particularly within a range of 50 nm to 800 nm, and particularly within a range of 100 nm to 500 nm. Preferably there is. If the thickness of the first detection electrode is less than the above range, the resistance of the first detection electrode may increase and the electrode may not function sufficiently. On the other hand, if the thickness exceeds the above range, the first detection electrode is formed. It may take a lot of time and the manufacturing cost may be high, or the first detection electrode may be easily cracked or peeled off.

第1の検知電極の線幅や厚さの測定方法については、一般的な測定方法を用いることができ、例えば、透過型電子顕微鏡(TEM)の観察像を用いて測定することができる。他の部材についても同様の方法で測定することができる。   As a method for measuring the line width and thickness of the first detection electrode, a general measurement method can be used. For example, the measurement can be performed using an observation image of a transmission electron microscope (TEM). Other members can be measured by the same method.

第1の検知電極は、遮光部上に一方向に沿って形成されるため、通常、遮光部の開口部内に位置する着色層上には形成されない。
ここで、第1の検知電極が遮光部上に一方向に沿って形成されるとは、図6(a)で示すように、遮光部2がX方向およびY方向の2方向に形成されている場合に、第1の検知電極3が、X方向に延びる遮光部2上に形成されていてもよく、図示しないがY方向に延びる遮光部上に形成されていてもよい。
Since the first detection electrode is formed along one direction on the light shielding part, it is not usually formed on the colored layer located in the opening of the light shielding part.
Here, the first detection electrode is formed on the light shielding portion along one direction, as shown in FIG. 6A, the light shielding portion 2 is formed in two directions of the X direction and the Y direction. In this case, the first detection electrode 3 may be formed on the light shielding part 2 extending in the X direction, or may be formed on the light shielding part extending in the Y direction (not shown).

また、第1の検知電極がストライプ状であるとは、遮光部上に位置する第1の検知電極の平面視外形状がストライプ状であればよく、図6(a)で示すように、第1の検知電極3の平面視外形状がストライプ状であり、平面視外形内の形状(平面視形状)がメッシュ状であってもよい。第1の検知電極の平面視形状をメッシュ状とすることで、金属材料を用いる場合であっても透明性を有する第1の検知電極とすることができる。メッシュ形状を構成する最小単位形状としては、三角形、四角形、菱形、六角形等が挙げられる。
また、ストライプ状の細線電極が複数本束となって1本のストライプ状の第1の検知電極を構成していてもよい。
In addition, the first detection electrode having a stripe shape may be any shape as long as the first detection electrode located on the light-shielding portion is in a stripe shape, as shown in FIG. One detection electrode 3 may have a stripe shape in a plan view and a shape in a plan view outline (a plan view shape) may be a mesh shape. Even if it is a case where a metal material is used by making the planar view shape of the 1st detection electrode into mesh shape, it can be set as the 1st detection electrode which has transparency. Examples of the minimum unit shape constituting the mesh shape include a triangle, a quadrangle, a rhombus, and a hexagon.
Further, a plurality of striped thin wire electrodes may be bundled to form one striped first detection electrode.

第1の検知電極は、通常、非表示領域にて取出し配線と連結し、上記取出し配線の末端にて第1外部接続端子と接続する。上記第1外部接続端子は、第2の検知電極と連結された取出し配線と接続する第2外部接続端子とともに、表示装置の制御回路に接続され、静電容量値の変化を検知する。
各遮光部上に形成された第1の検知電極は、例えば、図6(a)で示すようにそれぞれが非表示領域12にて取出し配線13と連結してもよく、図6(b)で示すように、各遮光部2上の第1の検知電極3が非表示領域12にて複数本束ねられて1本の取出し配線13と連結してもよい。
なお、取出し配線および外部接続端子については、後述する。
The first detection electrode is usually connected to the extraction wiring in the non-display area, and is connected to the first external connection terminal at the end of the extraction wiring. The first external connection terminal is connected to the control circuit of the display device together with the second external connection terminal connected to the extraction wiring connected to the second detection electrode, and detects a change in the capacitance value.
For example, as shown in FIG. 6A, each of the first detection electrodes formed on each light-shielding portion may be connected to the extraction wiring 13 in the non-display area 12, as shown in FIG. 6B. As shown, a plurality of first detection electrodes 3 on each light shielding portion 2 may be bundled in the non-display area 12 and connected to one extraction wiring 13.
The extraction wiring and the external connection terminal will be described later.

第1の検知電極の形成方法としては、遮光部上の一方向に沿って形成可能であり、また、第1アライメントマークを同時に形成することが可能な方法であればよい。中でも第2アライメントマークを基準にして形成する方法が好ましい。遮光部と第1の検知電極とを高精度に位置合わせすることができるからである。
具体的には、透明基板の遮光部が形成された面に、蒸着法もしくはスパッタリング法等によって薄膜を形成後、上記薄膜上にレジストを塗布し、フォトマスクを第2アライメントマークとフォトマスクのマークとが重なるようにして配置してレジストのパターニングを行い、得られたレジストパターンを介して上記薄膜をエッチングすることで、第1の検知電極および第1アライメントマークを形成することができる。
As a method of forming the first detection electrode, any method can be used as long as it can be formed along one direction on the light shielding portion and can simultaneously form the first alignment mark. Among these, a method of forming with reference to the second alignment mark is preferable. This is because the light shielding portion and the first detection electrode can be aligned with high accuracy.
Specifically, after forming a thin film on the surface of the transparent substrate where the light-shielding portion is formed by vapor deposition or sputtering, a resist is applied on the thin film, and the photomask is used as a second alignment mark and a photomask mark. The first detection electrode and the first alignment mark can be formed by patterning the resist so that they overlap each other and etching the thin film through the obtained resist pattern.

3.遮光部
本発明における遮光部は、透明基板上にパターン状に形成され、開口部を有するものである。
上記遮光部は、通常、表示領域に形成され画素を区分する画素区分用遮光部と、非表示領域に形成された額縁遮光部とを有する。
3. Light-shielding part The light-shielding part in this invention is formed in a pattern shape on a transparent substrate, and has an opening part.
The light-shielding part usually has a pixel-partitioning light-shielding part that is formed in the display area and divides pixels, and a frame light-shielding part formed in the non-display area.

遮光部の有する開口部の形状としては、一般的なカラーフィルタに用いられるものと同様とすることができ、例えば、ストライプ形状、くの字形状、デルタ配列等を挙げることができる。
また、上記開口部の幅としては、一般的なカラーフィルタにおける開口部の幅と同様とすることができる。
The shape of the opening of the light-shielding portion can be the same as that used for a general color filter, and examples thereof include a stripe shape, a dogleg shape, and a delta arrangement.
The width of the opening can be the same as the width of the opening in a general color filter.

遮光部の線幅としては、本発明のカラーフィルタの用途に応じて適宜選択することができ、特に限定されないが、例えば1μm〜25μmの範囲内、中でも2μm〜20μmの範囲内、特に3μm〜15μmの範囲内であることが好ましい。遮光部の線幅が上記範囲に満たない場合は、遮光部を用いて十分に画素を画定することが困難となる可能性がある。また、上記範囲よりも大きい場合、本発明のカラーフィルタおよびそれを用いたタッチパネル付き表示装置の高精細化が図れない可能性がある。
ここで、「遮光部の線幅」とは、例えば、図1においてW1、W2で示す距離をいう。また、遮光部の線幅が、異なる線幅W1、W2を有する場合は、通常、両者が上記数値範囲に含まれるように、調整される。
The line width of the light-shielding part can be appropriately selected according to the use of the color filter of the present invention, and is not particularly limited. It is preferable to be within the range. When the line width of the light shielding portion is less than the above range, it may be difficult to sufficiently define pixels using the light shielding portion. Moreover, when larger than the said range, the high definition of the color filter of this invention and a display apparatus with a touch panel using the same may not be attained.
Here, the “line width of the light shielding portion” refers to, for example, distances indicated by W1 and W2 in FIG. Moreover, when the line width of the light-shielding part has different line widths W1 and W2, it is usually adjusted so that both are included in the numerical value range.

遮光部の材料としては、一般的なカラーフィルタにおける遮光部に用いられる材料と同様とすることができ、通常、黒色色材をバインダ樹脂に分散または溶解させたものが用いられる。このような遮光部の材料については、例えば、特開2008−90191号公報に記載された遮光部における黒色色材およびバインダ樹脂の材料を挙げることができる。   The material of the light shielding part can be the same as the material used for the light shielding part in a general color filter, and a material in which a black color material is dispersed or dissolved in a binder resin is usually used. Examples of such a light shielding part material include black color materials and binder resin materials in the light shielding part described in JP-A-2008-90191.

遮光部の厚さとしては、所望の遮光性を示すことができれば特に限定されず、例えば、0.5μm〜2.0μm程度とすることができる。
また、遮光部の光学濃度については、一般的なカラーフィルタにおける遮光部と同様とすることができる。
The thickness of the light shielding part is not particularly limited as long as a desired light shielding property can be exhibited, and can be, for example, about 0.5 μm to 2.0 μm.
Further, the optical density of the light shielding part can be the same as that of the light shielding part in a general color filter.

遮光部の形成方法としては、第2アライメントマークを同時に形成可能な方法であればよく、一般的なカラーフィルタに用いられる方法と同様とすることができ、例えば、フォトリソグラフィ法、印刷法、インクジェット法を挙げることができる。   The light shielding part may be formed by any method as long as the second alignment mark can be formed at the same time, and can be the same as a method used for a general color filter. For example, a photolithography method, a printing method, an inkjet method The law can be mentioned.

4.着色層
本発明における着色層は、上記遮光部の開口部に形成され、複数色の着色層を有するものである。
4). Colored layer The colored layer in the present invention is formed in the opening of the light shielding part and has a plurality of colored layers.

着色層は、例えば赤、緑、青の3色の着色層を有する。着色層の色としては、赤、緑、青の3色を少なくとも含むものであればよく、例えば、赤、緑、青の3色、赤、緑、青、黄の4色、または、赤、緑、青、黄、シアンの5色等とすることもできる。   The colored layer has, for example, three colored layers of red, green, and blue. The color of the colored layer may be any color as long as it contains at least three colors of red, green, and blue. For example, three colors of red, green, and blue, four colors of red, green, blue, and yellow, or red, Five colors such as green, blue, yellow, and cyan may be used.

着色層は、例えば色材をバインダ樹脂中に分散させたものである。
色材としては、各色の顔料や染料等を挙げることができる。赤色着色層に用いられる色材としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。緑色着色層に用いられる色材としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。青色着色層に用いられる色材としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。これらの顔料や染料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
バインダ樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する感光性樹脂が用いられる。
着色層には、光重合開始剤や、必要に応じて増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等を含有させてもよい。
The colored layer is, for example, a color material dispersed in a binder resin.
Examples of the color material include pigments and dyes of each color. Examples of the color material used for the red colored layer include perylene pigments, lake pigments, azo pigments, quinacridone pigments, anthraquinone pigments, anthracene pigments, and isoindoline pigments. Examples of the color material used in the green coloring layer include phthalocyanine pigments such as halogen polysubstituted phthalocyanine pigments or halogen polysubstituted copper phthalocyanine pigments, triphenylmethane basic dyes, isoindoline pigments, and isoindolinone pigments. And pigments. Examples of the color material used in the blue colored layer include copper phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, indanthrene pigments, indophenol pigments, cyanine pigments, dioxazine pigments, and the like. These pigments and dyes may be used alone or in combination of two or more.
As the binder resin, for example, a photosensitive resin having a reactive vinyl group such as acrylate, methacrylate, polyvinyl cinnamate, or cyclized rubber is used.
The colored layer may contain a photopolymerization initiator and, if necessary, a sensitizer, a coatability improver, a development improver, a crosslinking agent, a polymerization inhibitor, a plasticizer, a flame retardant, and the like.

着色層の配列は特に限定されるものではなく、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の公知の配列とすることができる。   The arrangement of the colored layers is not particularly limited, and may be a known arrangement such as a stripe type, a mosaic type, a triangle type, or a four-pixel arrangement type.

隣接する着色層の間には隙間があってもよく無くてもよいが、中でも隙間が無いほうが好ましい。   There may or may not be a gap between adjacent colored layers, but it is preferable that there is no gap among them.

また、着色層が形成されている同一平面上には、上記色材を含有せず、上記バインダ樹脂を含有する白色層が形成されていてもよい。   Moreover, the white layer which does not contain the said color material but contains the said binder resin may be formed on the same plane in which the colored layer is formed.

着色層の厚さとしては、カラーフィルタにおける一般的な着色層の膜厚と同様とすることができ、例えば1μm〜5μmの範囲内で設定することができる。   The thickness of the colored layer can be the same as the thickness of a general colored layer in a color filter, and can be set, for example, within a range of 1 μm to 5 μm.

着色層の形成方法としては、複数色の着色層を同一平面上に配列可能な方法であればよく、例えばフォトリソグラフィ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。
本発明において、着色層は、通常、透明基板上に遮光層を形成し、上記遮光層上の一方向に沿って第1の検知電極を形成した後に形成される。よって、上記着色層は、図4で例示したように、画素区分用遮光部2A上の第1の検知電極3を覆うようにして形成されていてもよい。中でも、着色層が遮光部上の第1の検知電極を覆うようにして形成されることが好ましい。遮光部上において着色層が第1の検知電極の下にある場合、額縁遮光部等の上に直接形成された第1の検知電極と段差が生じて断線する恐れがあるからである。
As a method for forming the colored layer, any method can be used as long as a plurality of colored layers can be arranged on the same plane, and examples thereof include a photolithography method, an inkjet method, and a printing method.
In the present invention, the colored layer is usually formed after forming a light shielding layer on a transparent substrate and forming a first detection electrode along one direction on the light shielding layer. Therefore, as illustrated in FIG. 4, the colored layer may be formed so as to cover the first detection electrode 3 on the pixel-segmenting light-shielding portion 2A. Especially, it is preferable that the colored layer is formed so as to cover the first detection electrode on the light shielding portion. This is because when the colored layer is below the first detection electrode on the light shielding portion, there is a possibility that a step is formed with the first detection electrode directly formed on the frame light shielding portion or the like, resulting in disconnection.

5.透明基板
本発明における透明基板は、本発明のカラーフィルタにおける各構成を支持するものである。
透明基板としては、一般的にカラーフィルタに用いられているものを用いることができ、例えば、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、合成石英板等の可撓性のない無機基板、および、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する樹脂基板等を挙げることができる。中でも無機基板を用いることが好ましく、無機基板の中でもガラス基板を用いることが好ましい。さらには、ガラス基板の中でも無アルカリタイプのガラス基板を用いることが好ましい。無アルカリタイプのガラス基板は寸度安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、かつ、ガラス中にアルカリ成分を含まないことから、表示装置用のカラーフィルタに好適に用いることができるからである。
なお、本明細書内において「フィルム」の語は狭義のフィルムの他に、フィルムよりも厚膜であるシートも包含する。
5). Transparent substrate The transparent substrate in this invention supports each structure in the color filter of this invention.
As the transparent substrate, those generally used for color filters can be used. For example, non-flexible inorganic substrates such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, synthetic quartz plate, and transparent Examples thereof include a resin substrate having flexibility such as a resin film and an optical resin plate. Among them, it is preferable to use an inorganic substrate, and it is preferable to use a glass substrate among inorganic substrates. Furthermore, it is preferable to use an alkali-free type glass substrate among the glass substrates. This is because the alkali-free glass substrate is excellent in dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and since it does not contain an alkali component in the glass, it can be suitably used for a color filter for a display device. .
In the present specification, the term “film” includes a sheet that is thicker than a film in addition to a narrowly defined film.

ここで、「透明」「透明性」という場合には、特段の断りがない限り、本発明のカラーフィルタが用いられたタッチパネル付き表示装置の操作者が、操作面からの視認を妨げない程度の透明性をいう。したがって、「透明」「透明性」は、無色透明、および視認性を妨げない程度の有色透明を含み、また厳密な透過率で定義されず、本発明のカラーフィルタの用途等に応じて透過性の度合いを決定することができる。   Here, in the case of “transparency” and “transparency”, unless otherwise specified, the operator of the display device with a touch panel using the color filter of the present invention does not hinder visual recognition from the operation surface. Say transparency. Therefore, “transparent” and “transparency” include colorless and transparent, and colored transparency that does not impede visibility, and are not defined by strict transmittance, and are transmissive depending on the use of the color filter of the present invention. The degree of can be determined.

透明基板の厚さとしては、各構成を支持できる厚さであればよく、本発明のカラーフィルタの用途等に応じて適宜設計が可能であるため特に限定されないが、例えば、一般的なカラーフィルタに用いられる基板の厚さと同様とすることができる。   The thickness of the transparent substrate is not particularly limited as long as it can support each component and can be appropriately designed according to the use of the color filter of the present invention. For example, a general color filter It can be the same as the thickness of the substrate used.

6.任意の構成
本発明のカラーフィルタは、上述した各構成を有していれば特に限定されず、必要に応じて任意の構成を適宜有していてもよい。
以下、本発明のカラーフィルタに想定される任意の構成について説明する。
6). Arbitrary Configuration The color filter of the present invention is not particularly limited as long as it has each configuration described above, and may optionally have an arbitrary configuration.
Hereinafter, an arbitrary configuration assumed for the color filter of the present invention will be described.

(1)オーバーコート層
本発明のカラーフィルタは、遮光部、着色層および第1の検知電極を覆うオーバーコート層を有していてもよい。オーバーコート層により、カラーフィルタの表面を平坦化することができるからである。
オーバーコート層については、一般的なカラーフィルタに用いられるものと同様とすることができ、オーバーコート層の材料として有機材料および無機材料のいずれも用いることができる。オーバーコート層が無機材料から構成される場合には、バリア性を付与することができる。また、オーバーコート層が絶縁性を有する材料から構成される場合は、後述する第2の検知電極を、透明基板の第1の検知電極が形成された面と同一面上に形成する際の絶縁層として用いることができる。
オーバーコート層の材料としては、例えば特開2014−186641号公報で開示されるものが挙げられる。
オーバーコート層の厚さおよび形成方法としては、一般にカラーフィルタに用いられる
オーバーコート層と同様とすることができる。
(1) Overcoat layer The color filter of this invention may have an overcoat layer which covers a light-shielding part, a colored layer, and a 1st detection electrode. This is because the surface of the color filter can be flattened by the overcoat layer.
The overcoat layer can be the same as that used for a general color filter, and any of an organic material and an inorganic material can be used as a material for the overcoat layer. When the overcoat layer is composed of an inorganic material, barrier properties can be imparted. Further, when the overcoat layer is made of a material having an insulating property, insulation when a second detection electrode described later is formed on the same surface as the surface on which the first detection electrode of the transparent substrate is formed. Can be used as a layer.
Examples of the material for the overcoat layer include those disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-186641.
The thickness of the overcoat layer and the forming method can be the same as those of the overcoat layer generally used for color filters.

(2)第2の検知電極
本発明のカラーフィルタは、上記透明基板の一方の面側に、上記第1の検知電極と絶縁された第2の検知電極を有していてもよい。上記第2の検知電極は、第1アライメントマークを基準として形成されまたは配置されるものである。第1アライメントマークを基準として、同一の透明基板上の所望の位置に第2の検知電極を形成または配置することで、検知電極同士を、より高精度に位置合わせすることができるからである。
(2) Second Detection Electrode The color filter of the present invention may have a second detection electrode insulated from the first detection electrode on one surface side of the transparent substrate. The second detection electrode is formed or arranged with reference to the first alignment mark. This is because the detection electrodes can be aligned with higher accuracy by forming or arranging the second detection electrodes at desired positions on the same transparent substrate with the first alignment mark as a reference.

第2の検知電極は、ストライプ状であり、上記第1の検知電極と平面視上交差するようにして形成または配置される。通常、上記第1の検知電極および上記第2の検知電極は、平面視上直交するように形成または配置される。本発明では、上記第2の検知電極が第1アライメントマークを基準として形成または配置されることで、両検知電極の直交精度をより向上させることができる。   The second detection electrode has a stripe shape, and is formed or arranged so as to intersect the first detection electrode in plan view. Usually, the first detection electrode and the second detection electrode are formed or arranged so as to be orthogonal in a plan view. In the present invention, since the second detection electrode is formed or arranged with reference to the first alignment mark, the orthogonal accuracy of both detection electrodes can be further improved.

ここで、上記透明基板の一方の面側に、上記第1の検知電極と絶縁された第2の検知電極を有するとは、透明基板の第1の検知電極が形成された側の面に、上記第1の検知電極と絶縁された第2の検知電極を有していてもよく、透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面、すなわち、本発明のカラーフィルタを用いたタッチパネル付き表示装置において操作者側に位置する透明基板の面に、第2の検知電極を有していてもよい。この場合、透明基板により上記第1の検知電極と第2の検知電極とを絶縁させることができる。
本発明においては、透明基板のどちらの面側においても、第1アライメントマークを基準として第2の検知電極を設けることで、第1の検知電極と第2の検知電極との位置合わせを高精度に行うことができる。
Here, having the second detection electrode insulated from the first detection electrode on one surface side of the transparent substrate means that the first detection electrode of the transparent substrate is formed on the surface on the side. The second sensing electrode may be insulated from the first sensing electrode, and the surface of the transparent substrate opposite to the surface having the first sensing electrode, that is, the color filter of the present invention is used. In the display device with a touch panel, the second detection electrode may be provided on the surface of the transparent substrate located on the operator side. In this case, the first detection electrode and the second detection electrode can be insulated by the transparent substrate.
In the present invention, on either surface side of the transparent substrate, the second detection electrode is provided with reference to the first alignment mark, so that the first detection electrode and the second detection electrode can be aligned with high accuracy. Can be done.

透明基板の第1の検知電極が形成された側の面に、上記第1の検知電極と絶縁された第2の検知電極を有するカラーフィルタとしては、例えば、上記遮光部、上記第1の検知電極および上記着色層上に、絶縁層またはオーバーコート層を介して第1の検知電極と平面視上交差するようにしてストライプ状の第2の検知電極を有する態様とすることができる。
図7(a)は、本発明のカラーフィルタの他の例を示す概略平面図であり、図7(b)は図7(a)のX−X線断面図、図7(c)は図7(a)のY−Y線断面図である。図7で示すように、ストライプ状の第2の検知電極7は、透明基板1上の遮光部2、第1の検知電極3および着色層4上に、オーバーコート層8を介して第1の検知電極3と平面視上直交するようにして形成される。
Examples of the color filter having a second detection electrode insulated from the first detection electrode on the surface of the transparent substrate on which the first detection electrode is formed include, for example, the light shielding portion and the first detection electrode. A striped second detection electrode may be provided on the electrode and the colored layer so as to intersect the first detection electrode in plan view via an insulating layer or an overcoat layer.
FIG. 7A is a schematic plan view showing another example of the color filter of the present invention, FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 7A, and FIG. It is the YY sectional view taken on the line 7 (a). As shown in FIG. 7, the stripe-shaped second detection electrode 7 is formed on the light shielding portion 2, the first detection electrode 3, and the colored layer 4 on the transparent substrate 1 via the overcoat layer 8. It is formed so as to be orthogonal to the detection electrode 3 in plan view.

第2の検知電極は、通常、着色層と平面視上重なる位置にも有することから、透明性を有することが好ましい。
第2の検知電極の材料としては、例えば「2.第1の検知電極」の項で説明した透明金属酸化物等の透明導電性材料が挙げられる。また、第2の検知電極の材料として金属材料を用い、第2の検知電極の平面視形状をメッシュ状とすることで、第2の検知電極に透明性を付与してもよい。上記金属材料については、「2.第1の検知電極」の項で説明した金属材料が挙げられる。
Since the second detection electrode usually has a position overlapping the colored layer in plan view, it is preferable to have transparency.
Examples of the material of the second detection electrode include transparent conductive materials such as the transparent metal oxide described in the section “2. First detection electrode”. Further, the second detection electrode may be made transparent by using a metal material as the material of the second detection electrode and making the shape of the second detection electrode in plan view a mesh shape. Examples of the metal material include the metal materials described in the section “2. First detection electrode”.

第2の検知電極の線幅としては、接触位置を精度良く検出できれば特に限定されるものではなく、第1の検知電極の線幅と同じであってもよく、異なってもよい。具体的には、第2の検知電極の線幅が3μm〜19μmの範囲内、中でも4μm〜14μmの範囲内であることが好ましい。   The line width of the second detection electrode is not particularly limited as long as the contact position can be accurately detected, and may be the same as or different from the line width of the first detection electrode. Specifically, the line width of the second detection electrode is preferably in the range of 3 μm to 19 μm, and more preferably in the range of 4 μm to 14 μm.

第2の検知電極の平面視形状および平面視外形状については、第1の検知電極と同様とすることができる。また、第2の検知電極は、非表示領域にて取出し配線と連結して第2外部接続端子と接続する。第2の検知電極と引出し配線との連結態様についても、「2.第1の検知電極」の項で説明した態様と同様とすることができる。   The planar shape and the planar external shape of the second detection electrode can be the same as those of the first detection electrode. In addition, the second detection electrode is connected to the extraction wiring in the non-display area and connected to the second external connection terminal. The connection mode between the second detection electrode and the lead-out wiring can be the same as the mode described in the section “2. First detection electrode”.

第2の検知電極の厚さとしては、所望の導電性を有することができ、接触位置の検出を精度良く行うことが可能であれば特に限定されるものではなく、使用する材料等に応じて適宜設定することができる。例えば10nm〜1000nmの範囲内、中でも50nm〜800nmの範囲内、特に100nm〜500nmの範囲内であることが好ましい。第2の検知電極の厚さを上記範囲内に設定することの理由については、「2.第1の検知電極」の項で説明した理由と同様とすることができる。   The thickness of the second detection electrode is not particularly limited as long as it can have a desired conductivity and can accurately detect the contact position, depending on the material used. It can be set appropriately. For example, it is preferably in the range of 10 nm to 1000 nm, particularly in the range of 50 nm to 800 nm, particularly in the range of 100 nm to 500 nm. The reason for setting the thickness of the second detection electrode within the above range can be the same as the reason described in the section “2. First detection electrode”.

第2の検知電極は、第1の検知電極と絶縁されていればよく、例えば、上述したように、遮光部、上記第1の検知電極および上記着色層上に、絶縁層やオーバーコート層を介して直接ストライプ状に形成されていてもよい。また、別途、透明フィルム基材や透明ガラス基材等の透明基材上にストライプ状の第2の検知電極を形成した透明電極層を用い、遮光部、上記第1の検知電極および上記着色層上に貼り付けることで配置してもよい。このとき絶縁層やオーバーコート層を介してもよい。
上記透明電極層は、従来公知の透明基材上に第1の検知電極の形成方法と同様の方法により第2の検知電極を形成することで得られる。
The second detection electrode only needs to be insulated from the first detection electrode. For example, as described above, an insulating layer or an overcoat layer is provided on the light shielding portion, the first detection electrode, and the colored layer. It may be directly formed in a stripe shape. Separately, using a transparent electrode layer in which a stripe-like second detection electrode is formed on a transparent substrate such as a transparent film substrate or a transparent glass substrate, the light shielding portion, the first detection electrode, and the colored layer are used. You may arrange by sticking on. At this time, an insulating layer or an overcoat layer may be interposed.
The transparent electrode layer can be obtained by forming the second detection electrode on a conventionally known transparent substrate by the same method as the method for forming the first detection electrode.

透明基板の第1の検知電極が形成された側の面に第2の検知電極を形成する場合の形成方法としては、第1アライメントマークを基準として形成可能な方法であれば特に限定されないが、例えば、フォトリソグラフィ法を用いた形成方法を好適に用いることができる。具体的な形成方法については、図5を参照しながら既に説明したため、ここでの説明は省略する。また、上述した透明電極層を貼り合せて透明基板の第1の検知電極が形成された側の面に第2の検知電極を配置する場合も同様に、第1アライメントマークを基準として貼り合せ可能な方法であれば特に限定されないが、例えば、透明電極層上にアライメントマークを形成し、透明基板上の第1アライメントマークと重なるようにして透明接着層を介して貼り合せる方法が挙げられる。   The formation method for forming the second detection electrode on the surface of the transparent substrate on which the first detection electrode is formed is not particularly limited as long as it can be formed on the basis of the first alignment mark. For example, a formation method using a photolithography method can be preferably used. Since the specific formation method has already been described with reference to FIG. 5, the description thereof is omitted here. Similarly, when the second detection electrode is arranged on the surface of the transparent substrate on which the first detection electrode is formed by bonding the above-described transparent electrode layer, it can be bonded using the first alignment mark as a reference. For example, a method of forming an alignment mark on the transparent electrode layer and pasting the first alignment mark on the transparent substrate through the transparent adhesive layer may be used.

また、第2の検知電極を有するカラーフィルタの別の態様(以下、本態様とする。)としては、透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面に、ストライプ状の第2の検知電極を有する態様が挙げられる。本態様では、透明基板を介することで、第1の検知電極と第2の検知電極とが絶縁される。
本態様においては、本発明における第1アライメントマークを基準として、透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面側に第2の検知電極を配置することで、透明基板を介して第1の検知電極と第2の検知電極との位置合わせを高精度に行うことができる。
Further, as another aspect (hereinafter referred to as this aspect) of the color filter having the second detection electrode, a second stripe-shaped surface is formed on the surface of the transparent substrate opposite to the surface having the first detection electrode. The aspect which has this detection electrode is mentioned. In this aspect, the first detection electrode and the second detection electrode are insulated by passing through the transparent substrate.
In this aspect, the second detection electrode is disposed on the surface of the transparent substrate opposite to the surface having the first detection electrode with the first alignment mark in the present invention as a reference, so that the transparent substrate is interposed therebetween. Positioning of the first detection electrode and the second detection electrode can be performed with high accuracy.

この様なカラーフィルタの態様としては、例えば、透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面に、ストライプ状の第2の検知電極が形成された第2の検知電極部が貼り合わされた態様が挙げられる。
第2の検知電極部は、例えば、透明フィルム基材や透明ガラス基材等の透明基材上にストライプ状の第2の検知電極が形成されたものが挙げられる。
As an example of such a color filter, for example, a second detection electrode portion in which a stripe-shaped second detection electrode is formed on the surface of the transparent substrate opposite to the surface having the first detection electrode is attached. Combined embodiments are mentioned.
As for the 2nd detection electrode part, what formed the striped 2nd detection electrode on transparent substrates, such as a transparent film substrate and a transparent glass substrate, is mentioned, for example.

本態様における第2の検知電極の配置方式としては、透明基板を介して第1の検知電極と高精度に位置合わせすることが可能な方式であればよく、例えば、アライメント付き精密枚葉貼合機(クライムプロダクツ(株)社製、P-SE650aaH、以下、装置と略する。)を用い、上記装置に備わるカメラで確認しながら上記装置側のアライメントマークと第1アライメントマークとが重なるようにして第1の検知電極が形成された透明基板を仮止めし、続いて、カメラで確認しながら第1の検知電極のパターンと第2の検知電極のパターンとが直交するように、上記第2の検知電極部を上記透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面上に貼り合わせる方式が挙げられる。また、第2の検知電極部上にもアライメントマークを設け、透明基板上の第1アライメントマークと第2の検知電極部側のアライメントマークとが重なるようにして、上記第2の検知電極部を上記透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面上に貼り合せる方式等も挙げられる。中でも第2の検知電極部上にアライメントマークを設け、透明基板上の第1アライメントマークと第2の検知電極部側のアライメントマークとが重なるようにして、上記第2の検知電極部を透明基板の第1の検知電極を有する面と反対側の面上に貼り合せる方式が好ましい。第1の検知電極と第2の検知電極とを、より優れた位置精度で位置合わせすることができるからである。
上記第2の検知電極部の貼り合せには、通常、透明接着層等が用いられる。
As an arrangement method of the second detection electrode in this aspect, any method can be used as long as it can be aligned with the first detection electrode with high accuracy via a transparent substrate. Device (P-SE650aaH, manufactured by Climb Products Co., Ltd., hereinafter abbreviated as “device”), while confirming with the camera provided in the above device, the alignment mark on the device side and the first alignment mark overlap. Then, the transparent substrate on which the first detection electrode is formed is temporarily fixed, and then the second detection electrode pattern and the second detection electrode pattern are orthogonally crossed while confirming with a camera. There is a method in which the detection electrode portion is bonded to the surface of the transparent substrate opposite to the surface having the first detection electrode. An alignment mark is also provided on the second detection electrode part, and the second detection electrode part is arranged so that the first alignment mark on the transparent substrate and the alignment mark on the second detection electrode part side overlap. The method etc. which are bonded on the surface on the opposite side to the surface which has the 1st detection electrode of the said transparent substrate are also mentioned. In particular, an alignment mark is provided on the second detection electrode portion, and the first alignment mark on the transparent substrate and the alignment mark on the second detection electrode portion side overlap so that the second detection electrode portion is transparent substrate. The method of bonding on the surface opposite to the surface having the first detection electrode is preferable. This is because the first detection electrode and the second detection electrode can be aligned with better positional accuracy.
A transparent adhesive layer or the like is usually used for bonding the second detection electrode part.

(3)絶縁層
本発明のカラーフィルタにおいて、遮光部、第1の検知電極および着色層上に第2の検知電極が形成される場合、第1の検知電極および第2の検知電極間の短絡を防止するために、上記第1の検知電極と第2の検知電極との間に絶縁層を有することが好ましい。
本発明のカラーフィルタが、遮光部、着色層および第1の検知電極を覆うオーバーコート層を有する場合は、オーバーコート層を絶縁層としてもよい。
(3) Insulating layer In the color filter of the present invention, when the second detection electrode is formed on the light shielding portion, the first detection electrode, and the colored layer, a short circuit between the first detection electrode and the second detection electrode. In order to prevent this, it is preferable to have an insulating layer between the first detection electrode and the second detection electrode.
When the color filter of the present invention has an overcoat layer that covers the light shielding portion, the colored layer, and the first detection electrode, the overcoat layer may be an insulating layer.

絶縁層を構成する材料としては、所望の絶縁性を有するものであれば特に限定されるものではなく、タッチパネルセンサ等に一般的に用いられるものを使用することができる。具体的には、光透過性のアクリル樹脂、シロキサン樹脂等を挙げることができ、中でも感光性シロキサン樹脂を好ましく用いることができる。   As a material which comprises an insulating layer, if it has desired insulation, it will not specifically limit, What is generally used for a touch panel sensor etc. can be used. Specific examples include light-transmitting acrylic resins and siloxane resins. Among these, photosensitive siloxane resins can be preferably used.

絶縁層の厚さとしては、第1の検知電極および第2の検知電極間の短絡を防止することができれば特に限定されるものではなく、例えば、0.5μm〜3.0μmの範囲内とすることができる。   The thickness of the insulating layer is not particularly limited as long as a short circuit between the first detection electrode and the second detection electrode can be prevented. For example, the thickness is in the range of 0.5 μm to 3.0 μm. be able to.

絶縁層の形成箇所としては、少なくとも第1の検知電極と第2の検知電極とが交差する箇所に形成されていればよく、例えば、遮光部、第1の検知電極および着色層上に全面に形成されていてもよく、第1の検知電極と第2の検知電極との間にアイランド状に形成されていてもよい。   The insulating layer may be formed at least at the location where the first detection electrode and the second detection electrode intersect. For example, the insulating layer may be formed on the entire surface of the light shielding portion, the first detection electrode, and the colored layer. It may be formed, and may be formed in an island shape between the first detection electrode and the second detection electrode.

絶縁層の厚さとしては、第1の検知電極および第2の検知電極間の短絡を防止することができるものであれば特に限定されるものではなく、タッチパネルセンサに一般的なものとすることができる。例えば、0.5μm〜3.0μmの範囲内とすることができる。   The thickness of the insulating layer is not particularly limited as long as it can prevent a short circuit between the first detection electrode and the second detection electrode, and is generally used for a touch panel sensor. Can do. For example, it can be in the range of 0.5 μm to 3.0 μm.

絶縁層の形成方法としては、所定の位置に絶縁層を精度良く形成できるものであれば特に限定されるものではなく、フォトリソグラフィ法や、スクリーン印刷等の印刷法等を挙げることができる。また、絶縁性を示し、適当な光透過性かつ光学等方性を示すフィルム等を所望の形状に加工し、絶縁層として積層させることも可能である。   The method for forming the insulating layer is not particularly limited as long as the insulating layer can be accurately formed at a predetermined position, and examples thereof include a photolithography method and a printing method such as screen printing. It is also possible to process a film or the like that exhibits insulating properties and appropriate optical transparency and optical isotropy into a desired shape and laminate it as an insulating layer.

(4)配線
本発明のカラーフィルタは、透明基板の第1の検知電極が形成された面側に、配線が形成されていてもよい。配線の種類としては、例えば、タッチパネルセンサに一般的に用いられるもの、具体的には、第1の検知電極と連結される取出し配線、取出し配線の末端に形成される外部接続端子等を挙げることができる。
本発明のカラーフィルタが第2の検知電極を備える場合は、透明基板の第2の検知電極が形成された側の面に、第2の検知電極用の配線が形成されていてもよい。
取出し配線および外部接続端子については、例えば特開2014−071734号公報等と同様とすることができる。
(4) Wiring In the color filter of the present invention, wiring may be formed on the side of the transparent substrate on which the first detection electrode is formed. Examples of wiring types include those commonly used for touch panel sensors, specifically, extraction wiring connected to the first detection electrode, external connection terminals formed at the ends of the extraction wiring, and the like. Can do.
When the color filter of the present invention includes the second detection electrode, a wiring for the second detection electrode may be formed on the surface of the transparent substrate on which the second detection electrode is formed.
The lead-out wiring and the external connection terminals can be the same as those disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-071734.

(5)その他の任意部材
本発明のカラーフィルタは、オーバーコート層上に配向膜を有していてもよく、遮光部上にスペーサを有していてもよい。
遮光部上にスペーサを有するとは、遮光部と平面視上重なる位置に、第1の検知電極や着色層等の他の部材を介してスペーサを有する場合を含む。具体的には、透明基板の、遮光部、第1の検知電極、および着色層を有する面側であり、上記第1の検知電極や上記着色層を含む上記遮光部上に、絶縁層またはオーバーコート層を介して上記遮光部と平面視上重なる位置にスペーサを有することができる。このとき、上記絶縁層または上記オーバーコート層と上記スペーサとの間に、上記第1の検知電極と平面視上交差するストライプ状の第2の検知電極を有していてもよく、上記透明基板の上記第1の検知電極を有する面と反対側の面に上記第2の検知電極を有していてもよい。
また、スペーサが遮光部上に形成される別の例としては、透明基板の、遮光部、第1の検知電極、および着色層を有する面側であり、上記第1の検知電極を含む上記遮光部上に、上記着色層が複数積層されて構成される積層スペーサを有していてもよい。上記積層スペーサ上には、さらに絶縁層またはオーバーコート層を有していてもよい。このとき、上記積層スペーサと上記絶縁層または上記オーバーコート層との間、もしくは上記絶縁層または上記オーバーコート層上に、上記第1の検知電極と平面視上交差するストライプ状の第2の検知電極を有していてもよく、上記透明基板の上記第1の検知電極を有する面と反対側の面に上記第2の検知電極を有していてもよい。
(5) Other optional members The color filter of the present invention may have an alignment film on the overcoat layer and may have a spacer on the light shielding portion.
Having the spacer on the light shielding part includes the case where the spacer is provided on the position overlapping the light shielding part in plan view via another member such as the first detection electrode or the colored layer. Specifically, on the surface side of the transparent substrate having the light shielding portion, the first detection electrode, and the colored layer, an insulating layer or an over layer is formed on the light shielding portion including the first detection electrode and the colored layer. A spacer can be provided at a position overlapping the light shielding portion in plan view via the coat layer. At this time, the transparent substrate may have a stripe-shaped second detection electrode that intersects the first detection electrode in plan view between the insulating layer or the overcoat layer and the spacer. The second detection electrode may be provided on a surface opposite to the surface having the first detection electrode.
Further, as another example in which the spacer is formed on the light shielding portion, the light shielding portion including the first sensing electrode on the surface side of the transparent substrate having the light shielding portion, the first sensing electrode, and the colored layer. On the part, you may have the lamination | stacking spacer comprised by laminating | stacking the said colored layer in multiple numbers. An insulating layer or an overcoat layer may be further provided on the laminated spacer. At this time, a stripe-shaped second detection that intersects the first detection electrode in plan view between the laminated spacer and the insulating layer or the overcoat layer, or on the insulating layer or the overcoat layer. An electrode may be provided, and the second detection electrode may be provided on the surface of the transparent substrate opposite to the surface having the first detection electrode.

7.製造方法
本発明のカラーフィルタの製造方法としては、上述の構成を有することが可能な方法であれば特に限定されず、従来公知のカラーフィルタの製造方法を用いることができる。
具体的には、透明基板の一方の面上に遮光部および第2アライメントマークをパターン状に形成する遮光部および第2アライメントマーク形成工程、上記第2アライメントマークを基準として、上記遮光部上に一方向に沿ってストライプ状の第1の検知電極を形成する第1の検知電極形成工程、上記第2アライメントマークを基準として、上記遮光部の開口部に複数の着色層を形成する着色層形成工程を経ることで、本発明のカラーフィルタを製造することができる。各構成の形成方法については、既に説明したため、ここでの説明は省略する。
7). Manufacturing Method The manufacturing method of the color filter of the present invention is not particularly limited as long as it can have the above-described configuration, and a conventionally known color filter manufacturing method can be used.
Specifically, the light shielding part and the second alignment mark forming step for forming the light shielding part and the second alignment mark in a pattern on one surface of the transparent substrate, and the second alignment mark on the light shielding part as a reference A first sensing electrode forming step for forming striped first sensing electrodes along one direction, and a colored layer forming for forming a plurality of colored layers in the opening of the light shielding portion with reference to the second alignment mark By passing through the process, the color filter of the present invention can be manufactured. Since the formation method of each structure has already been described, description thereof is omitted here.

8.用途
本発明のカラーフィルタは、各種表示装置に用いることができるが、中でも、タッチパネル付き表示装置、具体的には、タッチパネル付き液晶表示装置やタッチパネル付き有機EL表示装置等に用いることができる。
8). Applications The color filter of the present invention can be used for various display devices, and among others, it can be used for display devices with a touch panel, specifically, liquid crystal display devices with a touch panel, organic EL display devices with a touch panel, and the like.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

1 … 透明基板
2 … 遮光部
3 … 第1の検知電極
4 … 着色層
4R … 赤色着色層
4G … 緑色着色層
4B … 青色着色層
5 … 第1アライメントマーク
6 … 第2アライメントマーク
7 … 第2の検知電極
10 … カラーフィルタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transparent substrate 2 ... Light-shielding part 3 ... 1st detection electrode 4 ... Colored layer 4R ... Red colored layer 4G ... Green colored layer 4B ... Blue colored layer 5 ... 1st alignment mark 6 ... 2nd alignment mark 7 ... 2nd Detection electrode 10 ... color filter

Claims (2)

透明基板上にパターン状に形成され、開口部を有する遮光部を形成する遮光部形成工程と、A light-shielding part forming step of forming a light-shielding part having an opening formed in a pattern on a transparent substrate;
前記遮光部上に一方向に沿って配置された、ストライプ状の第1の検知電極を形成する第1の検知電極形成工程と、  A first detection electrode forming step of forming a stripe-shaped first detection electrode disposed along one direction on the light shielding portion;
前記遮光部の前記開口部に配置された複数色の着色層を形成する着色層形成工程と、  A colored layer forming step of forming a colored layer of a plurality of colors arranged in the opening of the light shielding portion;
前記透明基板の一方の面側に、前記第1の検知電極と絶縁された第2の検知電極を形成する第2の検知電極形成工程と、  A second detection electrode forming step of forming a second detection electrode insulated from the first detection electrode on one surface side of the transparent substrate;
を有するカラーフィルタの製造方法であって、  A method for producing a color filter having
前記遮光部形成工程では、前記カラーフィルタの非表示領域に、前記遮光部の形成と同時に前記遮光物と同一材料で形成された第2のアラインメントマークが形成され、  In the light shielding part forming step, a second alignment mark made of the same material as the light shielding object is formed simultaneously with the formation of the light shielding part in the non-display area of the color filter,
前記第1の検知電極形成工程では、前記非表示領域に、前記第1の検知電極の形成と同時に前記第1の検知電極と同一材料で形成された第1のアラインメントマークが形成され、  In the first detection electrode forming step, a first alignment mark made of the same material as the first detection electrode is formed in the non-display area simultaneously with the formation of the first detection electrode,
前記第1の検知電極形成工程では、前記第2のアラインメントマークを用いて、前記第1の検知電極を形成するための位置合わせが行われ、  In the first detection electrode formation step, alignment for forming the first detection electrode is performed using the second alignment mark,
前記第2の検知電極形成工程では、前記第1のアラインメントマークを用いて、前記第2の検知電極を形成するための位置合わせが行われることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。  In the second detection electrode formation step, alignment for forming the second detection electrode is performed using the first alignment mark.
前記第2の検知電極形成工程では、前記第1の検知電極と平面視上直交するようにして前記第2の検知電極が形成されることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。  2. The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein in the second detection electrode forming step, the second detection electrode is formed so as to be orthogonal to the first detection electrode in plan view. Method.
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