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JP6604928B2 - Coloring composition, film and method for producing film - Google Patents
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Description

本発明は、着色組成物に関する。また、着色組成物を用いた膜およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a colored composition. The present invention also relates to a film using a colored composition and a method for producing the film.

近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子(CCD)イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。   In recent years, with the spread of digital cameras, camera-equipped mobile phones and the like, the demand for solid-state imaging devices such as charge coupled device (CCD) image sensors has greatly increased. Color filters are used as key devices for displays and optical elements.

カラーフィルタは、着色剤と樹脂と硬化性化合物と溶剤とを含む着色組成物を、支持体などに塗布して製造されている。   The color filter is manufactured by applying a coloring composition containing a colorant, a resin, a curable compound, and a solvent to a support or the like.

また、特許文献1には、着色剤、バインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤、溶剤および界面活性剤を含有する着色感光性樹脂組成物であって、23℃における着色感光性樹脂組成物の粘度が3.0mPa・s以上6.5mPa・s以下であり、かつ着色感光性樹脂組成物10μLをガラス基材上に滴下して0.2秒後および1秒後の接触角が10°以上20°以下である着色感光性樹脂組成物が記載されている。   Patent Document 1 discloses a colored photosensitive resin composition containing a colorant, a binder polymer, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, a solvent, and a surfactant, and a colored photosensitive resin composition at 23 ° C. The viscosity of the product is 3.0 mPa · s or more and 6.5 mPa · s or less, and 10 μL of the colored photosensitive resin composition is dropped on the glass substrate, and the contact angle after 0.2 seconds and after 1 second is 10 A colored photosensitive resin composition having a degree of 20 ° to 20 ° is described.

また、特許文献2には、基材と、基材上に、遮光部と、着色層と、スペーサとを有してなる液晶表示装置用カラーフィルタに用いられる着色層用樹脂組成物であって、スペーサが、遮光部上に、2色以上の着色層が積層されてなる積層柱であり、積層柱を形成する着色層用樹脂組成物が、以下の条件を満たすものであることが記載されている。
(I)遮光部上に第1の層を形成する第1の着色層用樹脂組成物が、遮光部に対して4.0度以上の接触角を有する。
(II)第1の層上に第2の層を形成する第2の着色層用樹脂組成物が、第1の層に対して4.0度以上の接触角を有する。
また、特許文献2の段落番号0049には接触角の測定方法が記載されており、特許文献2では、下層膜を形成した測定基板上にマイクロシリンジから着色層用樹脂組成物の液滴を滴下して30秒後の接触角を測定している。
Patent Document 2 discloses a resin composition for a colored layer used for a color filter for a liquid crystal display device comprising a substrate, a light shielding portion, a colored layer, and a spacer on the substrate. It is described that the spacer is a laminated column formed by laminating two or more colored layers on the light shielding portion, and the colored layer resin composition forming the laminated column satisfies the following conditions. ing.
(I) The 1st colored layer resin composition which forms a 1st layer on a light-shielding part has a contact angle of 4.0 degree | times or more with respect to a light-shielding part.
(II) The 2nd colored layer resin composition which forms a 2nd layer on a 1st layer has a contact angle of 4.0 degree | times or more with respect to a 1st layer.
Paragraph No. 0049 of Patent Document 2 describes a method for measuring a contact angle. In Patent Document 2, a droplet of a resin composition for a colored layer is dropped from a microsyringe onto a measurement substrate on which an underlayer film is formed. Then, the contact angle after 30 seconds is measured.

特開2004−318111号公報JP 2004-318111 A 特開2012−68512号公報JP 2012-68512 A

支持体上に着色組成物を塗布して膜を製造するにあたり、着色組成物においては塗布性のさらなる改善が望まれている。特に、凹凸などの段差を有する面上に着色組成物を塗布する場合において、ストリエーションといわれる放射状のスジの発生を抑制することが近年望まれている。   When a colored composition is applied on a support to produce a film, further improvement in coatability is desired in the colored composition. In particular, in the case where a colored composition is applied on a surface having steps such as unevenness, it has recently been desired to suppress the occurrence of radial streaks called striations.

また、本発明者が特許文献1、2に記載された着色組成物について検討したところ、ストリエーションが発生しやすいことが分かった。   Moreover, when this inventor examined the coloring composition described in patent document 1, 2, it turned out that a striation is easy to generate | occur | produce.

よって、本発明の目的は、塗布ムラおよびストリエーションの発生を抑制できる着色組成物、膜、および、膜の製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a coloring composition, a film, and a film manufacturing method capable of suppressing the occurrence of coating unevenness and striation.

本発明者が着色組成物の塗布性について鋭意検討した結果、着色組成物の支持体などに対する接触角が大きくなるに伴い、ストリエーションが発生しやすい傾向にあることを見出した。そして、本発明者は鋭意検討した結果、後述する接触角の特性を有する着色組成物は、種々の支持体上に塗布した際において、塗布ムラがなく塗布でき、さらには、ストリエーションの発生を効果的に抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下の通りである。
<1> 着色剤Aと、樹脂Bと、硬化性化合物Cと、界面活性剤Dと、溶剤Eとを含む着色組成物であって、
着色組成物の全固形分中における着色剤Aの含有量が40質量%以下であり、
下記工程1および工程2からなる方法で測定した着色組成物の接触角が0度を超え5.5度以下である、着色組成物;
工程1:ガラス基材上に、25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した水の有機物層に対する接触角が60〜80度である有機物層を形成する;
工程2:有機物層の温度を25℃に調整した後、有機物層の表面に25℃の着色組成物を2μL滴下して5秒後の着色組成物の有機物層に対する接触角を測定する。
<2> 界面活性剤Dがフッ素系界面活性剤であり、着色組成物の全固形分中における界面活性剤Dの含有量が0.001〜0.20質量%である、<1>に記載の着色組成物。
<3> 溶剤Eは、25℃における表面張力が26.0mN/m以上である溶剤E1と、25℃における表面張力が26.0mN/m未満である溶剤E2とを含む、<1>または<2>に記載の着色組成物。
<4> スピンコート用である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<5> <1>〜<4>のいずれか1つに記載の着色組成物を硬化してなる膜。
<6> 膜の温度を25℃に調整した後、膜の表面に25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した膜に対する水の接触角が70度以下である、<5>に記載の膜。
<7> <1>〜<4>のいずれか1つに記載の着色組成物を支持体に塗布する工程を含む、膜の製造方法。
<8> 更に、パターンを形成する工程を含む、<7>に記載の膜の製造方法。
As a result of intensive studies on the applicability of the colored composition, the present inventor has found that striation tends to occur as the contact angle of the colored composition with respect to the support increases. As a result of intensive studies, the present inventors have found that the coloring composition having the contact angle characteristics described below can be applied without application unevenness when applied on various supports, and further, the occurrence of striations. The present inventors have found that it can be effectively suppressed and have completed the present invention. That is, the present invention is as follows.
<1> A coloring composition comprising a coloring agent A, a resin B, a curable compound C, a surfactant D, and a solvent E,
The content of the coloring agent A in the total solid content of the coloring composition is 40% by mass or less,
The coloring composition whose contact angle of the coloring composition measured by the method which consists of the following process 1 and process 2 is more than 0 degree and 5.5 degrees or less;
Step 1: 2 μL of 25 ° C. water is dropped on a glass substrate to form an organic layer having a contact angle of 60 to 80 degrees with respect to the organic layer measured after 5 seconds;
Process 2: After adjusting the temperature of an organic substance layer to 25 degreeC, 2 microliters of 25 degreeC coloring compositions are dripped at the surface of an organic substance layer, and the contact angle with respect to the organic substance layer of the coloring composition 5 seconds after is measured.
<2> The surfactant D is a fluorosurfactant, and the content of the surfactant D in the total solid content of the coloring composition is 0.001 to 0.20% by mass, according to <1>. Coloring composition.
<3> The solvent E includes a solvent E1 having a surface tension at 25 ° C. of 26.0 mN / m or more and a solvent E2 having a surface tension at 25 ° C. of less than 26.0 mN / m, <1> or <1. The coloring composition as described in 2>.
<4> The colored composition according to any one of <1> to <3>, which is for spin coating.
<5> A film formed by curing the colored composition according to any one of <1> to <4>.
<6> After adjusting the temperature of the film to 25 ° C., 2 μL of 25 ° C. water is dropped on the surface of the film, and the contact angle of water with respect to the film measured 5 seconds later is 70 degrees or less. Membrane.
<7> A method for producing a film, comprising a step of applying the colored composition according to any one of <1> to <4> to a support.
<8> The method for producing a film according to <7>, further comprising a step of forming a pattern.

本発明によれば、塗布ムラおよびストリエーションの発生が抑制された膜を製造可能な着色組成物、膜、および、膜の製造方法を提供することが可能になった。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it became possible to provide the coloring composition, the film | membrane, and the manufacturing method of a film | membrane which can manufacture the film | membrane in which generation | occurrence | production of application | coating nonuniformity and striation were suppressed.

実施例における塗布性の評価の際に選択したシリコンウエハ上の段差の位置を説明する図である。It is a figure explaining the position of the level | step difference on the silicon wafer selected in the case of evaluation of the applicability | paintability in an Example.

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基と共に置換基を有する基を包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光を意味するのみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含まれる。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計量をいう。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程を意味するだけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定したポリスチレン換算値として定義される。
Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail.
In the notation of a group (atomic group) in this specification, the notation which does not describe substitution and unsubstituted includes the group which has a substituent with the group which does not have a substituent. For example, the “alkyl group” includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
In the present specification, “exposure” means not only exposure using light unless otherwise specified, but also exposure using particle beam such as electron beam and ion beam is included in exposure. The light used for the exposure generally includes an active ray or radiation such as an emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet rays represented by an excimer laser, extreme ultraviolet rays (EUV light), X-rays, or electron beams.
In the present specification, a numerical range expressed using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit value and an upper limit value.
In this specification, the total solid content refers to the total amount of components excluding the solvent from all the components of the composition.
In this specification, “(meth) acrylate” represents both and / or acrylate and methacrylate, and “(meth) acryl” represents both and / or acrylic and “(meth) acrylic”. ") Allyl" represents both and / or allyl and methallyl, and "(meth) acryloyl" represents both and / or acryloyl and methacryloyl.
In this specification, the term “process” not only means an independent process, but also if the intended action of the process is achieved even when it cannot be clearly distinguished from other processes, include.
In this specification, a weight average molecular weight (Mw) and a number average molecular weight (Mn) are defined as polystyrene conversion values measured by gel permeation chromatography (GPC).

<着色組成物>
本発明の着色組成物は、着色剤Aと、樹脂Bと、硬化性化合物Cと、界面活性剤Dと、溶剤Eとを含む着色組成物であって、
着色組成物の全固形分中における着色剤Aの含有量が40質量%以下であり、
下記工程1および工程2からなる方法で測定した着色組成物の接触角が0度を超え5.5度以下である、着色組成物;
工程1:ガラス基材上に、25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した水の有機物層に対する接触角が60〜80度である有機物層を形成する。
工程2:有機物層の表面温度を25℃に調整した後、有機物層の表面に25℃の着色組成物を2μL滴下して5秒後の着色組成物の有機物層に対する接触角を測定する。
<Coloring composition>
The coloring composition of the present invention is a coloring composition containing a coloring agent A, a resin B, a curable compound C, a surfactant D, and a solvent E,
The content of the coloring agent A in the total solid content of the coloring composition is 40% by mass or less,
The coloring composition whose contact angle of the coloring composition measured by the method which consists of the following process 1 and process 2 is more than 0 degree and 5.5 degrees or less;
Step 1: On a glass substrate, 2 μL of water at 25 ° C. is dropped, and an organic layer having a contact angle of 60 to 80 degrees with respect to the organic layer of water measured after 5 seconds is formed.
Process 2: After adjusting the surface temperature of an organic substance layer to 25 degreeC, 2 microliters of 25 degreeC coloring compositions are dripped at the surface of an organic substance layer, and the contact angle with respect to the organic substance layer of the coloring composition 5 seconds after is measured.

本発明の着色組成物によれば、各種の支持体に塗布して膜を形成する際において、塗布ムラやストリエーションの発生を抑制できる。また、本発明者の検討によれば、着色組成物における着色剤の濃度が低くなるに伴い、ストリエーションが発生しやすいことが分かった。しかしながら、本発明によれば、着色組成物の全固形分中における着色剤の含有量が40質量%以下であっても、着色組成物が上記の接触角の特性を有することで、ストリエーションの発生を抑制できる。また、着色組成物の全固形分中における着色剤の濃度を低くすることができるので、本発明の着色組成物を用いてイメージセンサなど固体撮像素子用のカラーフィルタを形成した場合において、高い分光透過率が得られ、デバイス感度を高めることができる。   According to the coloring composition of this invention, when apply | coating to various support bodies and forming a film | membrane, generation | occurrence | production of a coating nonuniformity and striation can be suppressed. Moreover, according to examination of this inventor, it became clear that striation is easy to generate | occur | produce as the density | concentration of the coloring agent in a coloring composition becomes low. However, according to the present invention, even if the content of the colorant in the total solid content of the colored composition is 40% by mass or less, the colored composition has the above-mentioned contact angle characteristics. Generation can be suppressed. In addition, since the concentration of the colorant in the total solid content of the colored composition can be lowered, when a color filter for a solid-state imaging device such as an image sensor is formed using the colored composition of the present invention, a high spectrum is obtained. Transmittance can be obtained and device sensitivity can be increased.

本発明の着色組成物は、上記工程1および工程2からなる方法で測定した着色組成物の接触角が0度を超え5.5度以下である。前述の接触角の下限値は、1度以上であることが好ましく、2度以上であることがより好ましく、2.5度以上であることが更に好ましい。接触角の上限値は、5度以下であることが好ましく、4.8度以下であることがより好ましく、4.5度以下であることが更に好ましい。着色組成物の接触角が上記範囲であれば、塗布ムラおよびストリエーションの発生を効果的に抑制できる。上記接触角は、接触角計を用いて測定できる。接触角計としては、協和界面科学株式会社製のDrop Master701などが挙げられる。工程1においてガラス基材上に形成する有機物層としては、例えば、CT−4000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)等の樹脂組成物を用いて形成することができる。   In the colored composition of the present invention, the contact angle of the colored composition measured by the method comprising the above steps 1 and 2 is more than 0 degree and not more than 5.5 degrees. The lower limit value of the contact angle is preferably 1 degree or more, more preferably 2 degrees or more, and further preferably 2.5 degrees or more. The upper limit value of the contact angle is preferably 5 degrees or less, more preferably 4.8 degrees or less, and further preferably 4.5 degrees or less. If the contact angle of the coloring composition is within the above range, it is possible to effectively suppress the occurrence of coating unevenness and striation. The contact angle can be measured using a contact angle meter. Examples of the contact angle meter include Drop Master 701 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. As an organic substance layer formed on a glass substrate in the process 1, it can form using resin compositions, such as CT-4000 (made by Fuji Film Electronics Materials), for example.

着色組成物の上記接触角は、着色組成物に含まれる各成分の種類や含有量を適宜変更することで調整できる。例えば、溶剤および/または界面活性剤の種類や含有量を適宜変更することで上記接触角を上述した範囲に調整しやすい。中でも界面活性剤としてフッ素系界面活性剤を用い、かつ、着色組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量を0.001〜0.20質量%(好ましくは0.0015〜0.1質量%、より好ましくは0.002〜0.05質量%)とすることで、上記接触角を上述した範囲に調整しやすい。   The said contact angle of a coloring composition can be adjusted by changing suitably the kind and content of each component which are contained in a coloring composition. For example, the contact angle can be easily adjusted to the above-described range by appropriately changing the type and content of the solvent and / or surfactant. Among these, a fluorosurfactant is used as the surfactant, and the surfactant content in the total solid content of the colored composition is 0.001 to 0.20% by mass (preferably 0.0015 to 0.1). Mass%, more preferably 0.002 to 0.05 mass%), the contact angle can be easily adjusted to the above-described range.

本発明の着色組成物を硬化して得られる膜は、膜の表面温度を25℃に調整した後、膜の表面に25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した膜に対する水の接触角が70度以下であることが好ましく、40〜67度であることがより好ましく、50〜65度であることが更に好ましい。この態様によれば、本発明の着色組成物を用いて膜を形成する際において、ストリエーションの発生をより効果的に抑制することができる。このような効果が得られる理由しては次によるものであると推測される。すなわち、得られる膜の水に対する接触角が低いということは、着色組成物が膜になったときの表面張力(膜/気体の界面張力)が大きくなっていると考えられる。その場合、例えばプリベークやポストベークで熱がかかった際に、膜表面が流動しやすく、このため、ストリエーションのような表面の凹凸が消失しやすくなると考えられる。このため、ストリエーションの発生を効果的に抑制することができたと考えられる。上記接触角は、接触角計を用いて測定できる。接触角計としては、協和界面科学株式会社製のDrop Master701などが挙げられる。   The film obtained by curing the colored composition of the present invention was prepared by adjusting the surface temperature of the film to 25 ° C., then dropping 2 μL of 25 ° C. water onto the film surface and contacting the water with the film measured 5 seconds later. The angle is preferably 70 degrees or less, more preferably 40 to 67 degrees, and still more preferably 50 to 65 degrees. According to this aspect, when forming a film | membrane using the coloring composition of this invention, generation | occurrence | production of striation can be suppressed more effectively. It is estimated that the reason why such an effect is obtained is as follows. That is, when the contact angle with respect to the water of the obtained film | membrane is low, it is thought that the surface tension (film | membrane / gas interfacial tension) when a coloring composition turns into a film | membrane becomes large. In this case, for example, when heat is applied during pre-baking or post-baking, the film surface tends to flow, and it is considered that surface irregularities such as striation are likely to disappear. For this reason, it is thought that generation | occurrence | production of striation was able to be suppressed effectively. The contact angle can be measured using a contact angle meter. Examples of the contact angle meter include Drop Master 701 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.

本発明の着色組成物は、25℃における粘度が1〜3mPa・sであることが好ましく、1.3〜2.5mPa・sであることがより好ましく、1.5〜2.1mPa・sであることが更に好ましい。着色組成物の粘度が上記範囲であれば塗布ムラおよびストリエーションの発生をより効果的に抑制できる。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製 粘度計 RE85L(ローター:1°34’×R24、測定範囲0.6〜1200mPa・s)を使用し、25℃に温度調整を施した状態で測定することができる。   The colored composition of the present invention preferably has a viscosity at 25 ° C. of 1 to 3 mPa · s, more preferably 1.3 to 2.5 mPa · s, and more preferably 1.5 to 2.1 mPa · s. More preferably it is. If the viscosity of the coloring composition is in the above range, the occurrence of coating unevenness and striation can be more effectively suppressed. As a method for measuring the viscosity, for example, a viscometer RE85L (rotor: 1 ° 34 ′ × R24, measuring range 0.6 to 1200 mPa · s) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. is used, and the temperature is adjusted to 25 ° C. Can be measured.

本発明の着色組成物は、25℃における表面張力が25〜30mN/mであることが好ましく、25.5〜29mN/mであることがより好ましく、26〜28mN/mであることが更に好ましい。着色組成物の表面張力が上記範囲であれば、塗布ムラおよびストリエーションの発生をより効果的に抑制できる。なお、着色組成物の表面張力は、白金プレートを用いてプレート法で測定した値である。プレート法の詳細については後述の溶剤の欄で説明する。   The colored composition of the present invention preferably has a surface tension at 25 ° C. of 25 to 30 mN / m, more preferably 25.5 to 29 mN / m, and still more preferably 26 to 28 mN / m. . If the surface tension of the coloring composition is in the above range, the occurrence of coating unevenness and striation can be more effectively suppressed. The surface tension of the coloring composition is a value measured by a plate method using a platinum plate. The details of the plate method will be described in the solvent column described later.

以下、本発明の着色組成物の各成分について説明する。   Hereinafter, each component of the coloring composition of the present invention will be described.

<<着色剤>>
本発明の着色組成物は、着色剤を含む。着色剤は、染料および顔料のいずれでもよく、両者を併用してもよい。顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を挙げることができる。顔料の平均粒子径は、0.01〜0.1μmが好ましく、0.01〜0.05μmがより好ましい。着色剤としては、顔料が好ましく、有機顔料がより好ましい。有機顔料を含む着色組成物の場合、一般的にストリエーションが発生しやすい傾向にあるが、本発明においては有機顔料を含む着色組成物を用いた場合であっても、ストリエーションの発生を効果的に抑制することができる。
<< Colorant >>
The coloring composition of the present invention contains a colorant. The colorant may be a dye or a pigment, or both may be used in combination. Examples of the pigment include conventionally known various inorganic pigments or organic pigments. The average particle diameter of the pigment is preferably from 0.01 to 0.1 μm, more preferably from 0.01 to 0.05 μm. As the colorant, a pigment is preferable, and an organic pigment is more preferable. In the case of a coloring composition containing an organic pigment, there is a general tendency that striations are likely to occur, but in the present invention, even when a coloring composition containing an organic pigment is used, the generation of striations is effective. Can be suppressed.

無機顔料としては、カーボンブラックおよびチタンブラック等の黒色顔料;鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属の酸化物、金属錯塩等が挙げられる。   Examples of the inorganic pigment include black pigments such as carbon black and titanium black; metal oxides such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, and antimony, and metal complex salts.

有機顔料として、以下を挙げることができる。
カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214(以上、黄色顔料);
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73(以上、オレンジ色顔料);
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279(以上、赤色顔料);
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59(以上、緑色顔料);
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42,58,59(以上、紫色顔料);
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80(以上、青色顔料)。
また、緑色顔料として、分子中のハロゲン原子数が平均10〜14個であり、臭素原子数が平均8〜12個であり、塩素原子数が平均2〜5個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることも可能である。具体例としては、WO2015/118720号公報に記載の化合物が挙げられる。
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開2012−247591号公報の段落番号0022〜0030、特開2011−157478号公報の段落番号0047に記載の化合物などが挙げられる。
これら有機顔料は、単独若しくは種々組合せて用いることができる。
Examples of the organic pigment include the following.
Color Index (CI) Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 72,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214 (or more, and yellow pigments);
C. I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73 ( Above, orange pigment);
C. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 2, 81: 3 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279 (above, red pigment) );
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58, 59 (above, green pigment);
C. I. Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42,58,59 (above, purple pigment);
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 80 (above, blue pigment).
Further, as a green pigment, a halogenated zinc phthalocyanine pigment having an average number of halogen atoms in the molecule of 10 to 14, a bromine atom number of 8 to 12 and an average number of chlorine atoms of 2 to 5 It is also possible to use it. Specific examples thereof include compounds described in WO2015 / 118720.
Moreover, the aluminum phthalocyanine compound which has a phosphorus atom can also be used as a blue pigment. Specific examples include compounds described in paragraph numbers 0022 to 0030 of JP2012-247491A and paragraph number 0047 of JP2011-157478A.
These organic pigments can be used alone or in various combinations.

染料としては、例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、米国特許4808501号明細書、米国特許505950号明細書、米国特許5667920号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に開示されている染料が挙げられる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等が挙げられる。   Examples of the dye include JP-A 64-90403, JP-A 64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, US Pat. No. 4,808,501 and US Pat. No. 505950. Examples thereof include dyes disclosed in US Pat. No. 5,667,920, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115, JP-A-6-194828, and the like. It is done. When classified as chemical structure, pyrazole azo compounds, pyromethene compounds, anilinoazo compounds, triarylmethane compounds, anthraquinone compounds, benzylidene compounds, oxonol compounds, pyrazolotriazole azo compounds, pyridone azo compounds, cyanine compounds, phenothiazine compounds, pyrrolopyrazole azomethine compounds, etc. Is mentioned.

また、着色剤として色素多量体を用いてもよい。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は、色素多量体を溶剤などに分散して用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができる。粒子状態の色素多量体としては、例えば、特開2015−214682号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、色素多量体として、特開2011−213925号公報、特開2013−041097号公報、特開2015−028144号公報、特開2015−030742号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。   Moreover, you may use a pigment | dye multimer as a coloring agent. The dye multimer is preferably a dye used by being dissolved in a solvent, but may form particles. When the dye multimer is a particle, the dye multimer is dispersed in a solvent or the like. The dye multimer in the particle state can be obtained, for example, by emulsion polymerization. As a pigment | dye multimer of a particle state, the compound described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2015-214682 is mentioned, for example. In addition, as the dye multimer, compounds described in JP2011-213925A, JP2013-041097A, JP2015-028144A, JP2015-030742A, and the like can also be used. .

また、黄色着色剤として、特開2013−54339号公報の段落番号0011〜0034に記載のキノフタロン化合物、特開2014−26228号公報の段落番号0013〜0058に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。   Further, as the yellow colorant, quinophthalone compounds described in paragraph numbers 0011 to 0034 of JP2013-54339A, quinophthalone compounds described in paragraph numbers 0013 to 0058 of JP2014-26228A, and the like can also be used. .

着色剤の含有量は、着色組成物中の全固形分に対して、40質量%以下であり、39質量%以下であることが好ましく、38質量%以下であることがより好ましく、37質量%以下であることが更に好ましい。下限は、5質量%以上であることが好ましく、7質量%以上がより好ましく、10質量%以上がさらに好ましい。
顔料の含有量は、着色組成物中の全固形分に対して、40質量%以下であり、39質量%以下であることが好ましく、38質量%以下であることがより好ましく、37質量%以下であることが更に好ましい。下限は、5質量%以上であることが好ましく、7質量%以上がより好ましく、10質量%以上がさらに好ましい。着色組成物の全固形分中における着色剤の含有量が少ないほどストリエーションが発生しやすい傾向にあるが、本発明によれば、着色剤の含有量が少なくてもストリエーションを効果的に抑制できる。
着色組成物に含まれる着色剤は、1種であってもよく、2種以上であってもよい。着色剤が2種以上含まれる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
The content of the colorant is 40% by mass or less, preferably 39% by mass or less, more preferably 38% by mass or less, and 37% by mass with respect to the total solid content in the coloring composition. More preferably, it is as follows. The lower limit is preferably 5% by mass or more, more preferably 7% by mass or more, and further preferably 10% by mass or more.
The content of the pigment is 40% by mass or less, preferably 39% by mass or less, more preferably 38% by mass or less, and more preferably 37% by mass or less based on the total solid content in the coloring composition. More preferably. The lower limit is preferably 5% by mass or more, more preferably 7% by mass or more, and further preferably 10% by mass or more. The lower the content of the colorant in the total solid content of the coloring composition, the more likely it is to cause striations. According to the present invention, the striations are effectively suppressed even if the content of the colorant is small. it can.
1 type may be sufficient as the coloring agent contained in a coloring composition, and 2 or more types may be sufficient as it. When two or more colorants are included, the total amount is preferably within the above range.

<<樹脂>>
本発明の着色組成物は、樹脂を含む。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
<< Resin >>
The coloring composition of the present invention contains a resin. The resin is blended, for example, for the purpose of dispersing particles such as pigments in the composition and the use of a binder. In addition, a resin that is mainly used for dispersing particles such as pigment is also referred to as a dispersant. However, such use of the resin is an example, and the resin can be used for purposes other than such use.

本発明の着色組成物において、樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、1〜95質量%であることが好ましい。下限は、5質量%以上であることがより好ましく、10質量%以上がさらに好ましい。上限は、93質量%以下であることがより好ましく、90質量%以下がさらに好ましい。   In the colored composition of the present invention, the resin content is preferably 1 to 95% by mass with respect to the total solid content of the colored composition. The lower limit is more preferably 5% by mass or more, and further preferably 10% by mass or more. The upper limit is more preferably 93% by mass or less, and still more preferably 90% by mass or less.

(分散剤)
本発明の着色組成物は、樹脂として分散剤を含むことが好ましい。特に、着色剤として顔料を用いた場合、分散剤を含むことが好ましい。分散剤は、酸性分散剤(酸性樹脂)、塩基性分散剤(塩基性樹脂)が挙げられる。
(Dispersant)
It is preferable that the coloring composition of this invention contains a dispersing agent as resin. In particular, when a pigment is used as the colorant, it is preferable to include a dispersant. Examples of the dispersant include an acidic dispersant (acidic resin) and a basic dispersant (basic resin).

ここで、酸性分散剤(酸性樹脂)とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤(酸性樹脂)としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、酸基の量が70モル%以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤(酸性樹脂)が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤(酸性樹脂)の酸価は、5〜105mgKOH/gが好ましい。
また、塩基性分散剤(塩基性樹脂)とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤(塩基性樹脂)としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、塩基性基の量が50モル%を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミンが好ましい。
Here, the acidic dispersant (acidic resin) represents a resin in which the amount of acid groups is larger than the amount of basic groups. The acidic dispersant (acidic resin) is preferably a resin in which the amount of acid groups occupies 70 mol% or more when the total amount of acid groups and basic groups is 100 mol%. A resin consisting only of acid groups is more preferred. The acid group possessed by the acidic dispersant (acidic resin) is preferably a carboxyl group. The acid value of the acidic dispersant (acidic resin) is preferably 5 to 105 mgKOH / g.
The basic dispersant (basic resin) represents a resin in which the amount of basic groups is larger than the amount of acid groups. The basic dispersant (basic resin) is preferably a resin in which the amount of basic groups exceeds 50 mol% when the total amount of acid groups and basic groups is 100 mol%. The basic group possessed by the basic dispersant is preferably an amine.

分散剤としては、例えば、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等が挙げられる。   Examples of the dispersant include a polymer dispersant [for example, polyamidoamine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified poly (meth) acrylate, (meth). Acrylic copolymer, naphthalenesulfonic acid formalin condensate], polyoxyethylene alkyl phosphate ester, polyoxyethylene alkylamine, alkanolamine and the like.

高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子を好ましい構造として挙げることができる。また、特開2011−070156号公報の段落番号0028〜0124に記載の分散剤や特開2007−277514号公報に記載の分散剤も好ましく用いられる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。   The polymer dispersant can be further classified into a linear polymer, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer from the structure thereof. The polymer dispersant acts to adsorb on the surface of the pigment and prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be cited as preferred structures. In addition, a dispersant described in paragraph numbers 0028 to 0124 of JP2011-070156A and a dispersant described in JP2007-277514A are also preferably used. These contents are incorporated herein.

樹脂(分散剤)は、グラフト共重合体を用いることもできる。グラフト共重合体の詳細は、特開2012−255128号公報の段落番号0025〜0094の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開2012−255128号公報の段落番号0072〜0094に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。   As the resin (dispersant), a graft copolymer may be used. Details of the graft copolymer can be referred to the description of paragraph numbers 0025 to 0094 of JP2012-255128A, the contents of which are incorporated herein. Further, resins described in paragraph numbers 0072 to 0094 of JP 2012-255128 A can be mentioned, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

また、樹脂(分散剤)として、主鎖および側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることもできる。オリゴイミン系分散剤としては、pKa14以下の官能基を有する部分構造Xを有する繰り返し単位と、原子数40〜10,000の側鎖Yを含む側鎖とを有し、かつ主鎖および側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。   Moreover, as the resin (dispersant), an oligoimine dispersant containing a nitrogen atom in at least one of the main chain and the side chain can be used. The oligoimine-based dispersant has a repeating unit having a partial structure X having a functional group of pKa14 or less, a side chain containing a side chain Y having 40 to 10,000 atoms, and a main chain and a side chain. A resin having at least one basic nitrogen atom is preferred. The basic nitrogen atom is not particularly limited as long as it is a basic nitrogen atom.

オリゴイミン系分散剤については、特開2012−255128号公報の段落番号0102〜0174の記載を参酌でき、本明細書には上記内容が組み込まれる。オリゴイミン系分散剤の具体例としては、例えば、特開2012−255128号公報の段落番号0168〜0174に記載の樹脂を挙げることができる。   Regarding the oligoimine-based dispersant, the description in paragraphs 0102 to 0174 of JP 2012-255128 A can be referred to, and the above contents are incorporated in this specification. Specific examples of the oligoimine dispersant include, for example, resins described in paragraph numbers 0168 to 0174 of JP 2012-255128 A.

分散剤は市販品を用いることもできる。例えば、特開2012−137564号公報の段落番号0129に記載された製品を分散剤として用いることもできる。なお、上記分散剤で説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。   A commercial item can also be used for a dispersing agent. For example, the product described in paragraph number 0129 of JP2012-137564A can also be used as a dispersant. In addition, resin demonstrated with the said dispersing agent can also be used for uses other than a dispersing agent. For example, it can be used as a binder.

分散剤の含有量は、顔料100質量部に対して1〜200質量部が好ましい。下限は、5質量部以上が好ましく、10質量部以上がより好ましい。上限は、150質量部以下が好ましく、100質量部以下がより好ましい。   As for content of a dispersing agent, 1-200 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of pigments. The lower limit is preferably 5 parts by mass or more, and more preferably 10 parts by mass or more. The upper limit is preferably 150 parts by mass or less, and more preferably 100 parts by mass or less.

(アルカリ可溶性樹脂)
本発明の着色組成物は、樹脂としてアルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性やパターン形成性が向上する。なお、アルカリ可溶性樹脂は、分散剤やバインダーとして用いることもできる。
(Alkali-soluble resin)
The coloring composition of this invention can contain alkali-soluble resin as resin. By containing an alkali-soluble resin, developability and pattern formability are improved. The alkali-soluble resin can also be used as a dispersant or a binder.

アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ溶解を促進する基を有する樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ溶解を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基の種類は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   The alkali-soluble resin can be appropriately selected from resins having a group that promotes alkali dissolution. Examples of the group that promotes alkali dissolution (hereinafter also referred to as an acid group) include a carboxyl group, a phosphate group, a sulfo group, and a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group is preferable. Only one type of acid group may be included in the alkali-soluble resin, or two or more types may be used.

アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、5000〜100,000が好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の数平均分子量(Mn)は、1000〜20,000が好ましい。   As for the weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin, 5000-100,000 are preferable. The number average molecular weight (Mn) of the alkali-soluble resin is preferably 1000 to 20,000.

アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。   The alkali-soluble resin is preferably a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, an acrylic resin, an acrylamide resin, or an acrylic / acrylamide copolymer resin from the viewpoint of heat resistance. From the viewpoint of control of developability, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable.

アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、2−カルボキシエチル(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、部分エステル化マレイン酸等のモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシル基を有するポリマーに酸無水物を付加させたポリマーが挙げられる。特に、(メタ)アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル(メタ)アクリレートおよびアリール(メタ)アクリレートとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどが挙げられる。ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また、他のモノマーとして、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の特開平10−300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマーが挙げられる。これらの(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   The alkali-soluble resin is preferably a polymer having a carboxyl group in the side chain. For example, a copolymer having a repeating unit derived from a monomer such as methacrylic acid, acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, 2-carboxyethyl (meth) acrylic acid, vinyl benzoic acid, partially esterified maleic acid, Examples thereof include alkali-soluble phenol resins such as novolac resins, acidic cellulose derivatives having a carboxyl group in the side chain, and polymers obtained by adding an acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group. In particular, a copolymer of (meth) acrylic acid and another monomer copolymerizable therewith is suitable as the alkali-soluble resin. Examples of other monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid include alkyl (meth) acrylates, aryl (meth) acrylates, and vinyl compounds. As alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, Hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, glycidyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, etc. Is mentioned. Examples of the vinyl compound include styrene, α-methylstyrene, vinyl toluene, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinyl pyrrolidone, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer, and the like. Examples of the other monomer include N-substituted maleimide monomers described in JP-A-10-300922, such as N-phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide. Only one kind of these other monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid may be used, or two or more kinds may be used.

アルカリ可溶性樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体を好ましく用いることができる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートと他のモノマーとを共重合した共重合体、特開平7−140654号公報に記載の、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。また、市販品としては、例えばFF−426(藤倉化成社製)などを用いることもできる。   Examples of the alkali-soluble resin include benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer, and benzyl (meth) acrylate. A multi-component copolymer composed of / (meth) acrylic acid / other monomers can be preferably used. Further, a copolymer obtained by copolymerizing 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and another monomer, described in JP-A-7-140654, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer / benzyl methacrylate / Methacrylic acid copolymer, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate / polystyrene macromonomer / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate / polystyrene macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer and the like can also be preferably used. Moreover, as a commercial item, FF-426 (made by Fujikura Kasei Co., Ltd.) etc. can also be used, for example.

アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。重合性基としては、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂の市販品としては、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン(株)製)、Photomer6173(カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Diamond Shamrock Co.,Ltd.製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(例えば、ACA230AA)、プラクセル CF200シリーズ(いずれも(株)ダイセル製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)、アクリキュアーRD−F8((株)日本触媒製)、DP−1305(富士ファインケミカルズ(株)製)などが挙げられる。   As the alkali-soluble resin, an alkali-soluble resin having a polymerizable group can also be used. Examples of the polymerizable group include a (meth) allyl group and a (meth) acryloyl group. As the alkali-soluble resin having a polymerizable group, an alkali-soluble resin having a polymerizable group in the side chain is useful. Commercially available products of the alkali-soluble resin having a polymerizable group include Dianal NR series (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), Photomer 6173 (carboxyl group-containing polyurethane acrylate oligomer, manufactured by Diamond Shamrock Co., Ltd.), Biscote R-264. KS resist 106 (all manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), Cyclomer P series (for example, ACA230AA), Plaxel CF200 series (all manufactured by Daicel Corporation), Ebecryl 3800 (manufactured by Daicel UCB Corporation), Examples include ACRYCURE RD-F8 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) and DP-1305 (manufactured by Fuji Fine Chemicals Co., Ltd.).

アルカリ可溶性樹脂は、下記式(ED1)で示される化合物および特開2010−168539号公報の式(1)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物(以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。)を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。   The alkali-soluble resin contains at least one compound selected from the compound represented by the following formula (ED1) and the compound represented by the formula (1) of JP 2010-168539 A (hereinafter referred to as “ether dimer”). It is also preferable to include a polymer obtained by polymerizing a monomer component including “.

Figure 0006604928
Figure 0006604928

式(ED1)中、R1およびR2は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基を表す。 In formula (ED1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent.

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0317を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   As a specific example of the ether dimer, for example, paragraph number 0317 of JP2013-29760A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. Only one type of ether dimer may be used, or two or more types may be used.

エーテルダイマーを含むモノマー成分を重合してなるポリマーとしては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。

Figure 0006604928
Examples of the polymer obtained by polymerizing a monomer component containing an ether dimer include polymers having the following structure.
Figure 0006604928

アルカリ可溶性樹脂は、下記式(X)で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。

Figure 0006604928
式(X)において、R1は、水素原子またはメチル基を表し、R2は炭素数2〜10のアルキレン基を表し、R3は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数1〜20のアルキル基を表す。nは1〜15の整数を表す。 The alkali-soluble resin may contain a repeating unit derived from a compound represented by the following formula (X).
Figure 0006604928
In the formula (X), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms, and R 3 represents a hydrogen atom or a benzene ring that may contain a benzene ring. Represents an alkyl group. n represents an integer of 1 to 15.

上記式(X)において、R2のアルキレン基の炭素数は、2〜3が好ましい。また、R3のアルキル基の炭素数は1〜10が好ましい。R3のアルキル基はベンゼン環を含んでもよい。R3で表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、2−フェニル(イソ)プロピル基等を挙げることができる。 In the formula (X), the number of carbon atoms of the alkylene group R 2 is preferably 2-3. The number of carbon atoms in the alkyl group of R 3 is from 1 to 10 are preferred. The alkyl group of R 3 may contain a benzene ring. Examples of the alkyl group containing a benzene ring represented by R 3 include a benzyl group and a 2-phenyl (iso) propyl group.

アルカリ可溶性樹脂は、特開2012−208494号公報の段落番号0558〜0571(対応する米国特許出願公開第2012/0235099号明細書の段落番号0685〜0700)の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開2012−32767号公報の段落番号0029〜0063に記載の共重合体(B)および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開2012−208474号公報の段落番号0088〜0098に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−137531号公報の段落番号0022〜0032に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2013−024934号公報の段落番号0132〜0143に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2011−242752号公報の段落番号0092〜0098および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−032770号公報の段落番号0030〜0072に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。   As for the alkali-soluble resin, the description in paragraph Nos. 0558 to 0571 of JP 2012-208494 A (corresponding to paragraph Nos. 0687 to 0700 of the corresponding US Patent Application Publication No. 2012/0235099) can be referred to. Embedded in the book. Further, the copolymer (B) described in paragraphs 0029 to 0063 of JP2012-32767A and the alkali-soluble resin used in Examples, paragraphs 0088 to 0098 of JP2012-208474A The binder resin described in the description and the binder resin used in the examples, the binder resin described in paragraphs 0022 to 0032 of JP2012-137531A and the binder resin used in the examples, JP2013-024934A Binder resin described in paragraph Nos. 0132 to 0143 of the gazette and the binder resin used in the examples, paragraph numbers 0092 to 0098 of the gazette of JP2011-242752 and the binder resin used in the examples, and JP2012 Paragraph No. 0030 of Publication No. 032770 0072 can also be used a binder resin according to. These contents are incorporated herein.

アルカリ可溶性樹脂の酸価は、30〜500mgKOH/gが好ましい。下限は、50mgKOH/g以上がより好ましく、70mgKOH/g以上が更に好ましい。上限は、400mgKOH/g以下がより好ましく、200mgKOH/g以下が更に好ましく、150mgKOH/g以下が一層好ましく、120mgKOH/g以下が特に好ましい。   The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 30 to 500 mgKOH / g. The lower limit is more preferably 50 mgKOH / g or more, and still more preferably 70 mgKOH / g or more. The upper limit is more preferably 400 mgKOH / g or less, still more preferably 200 mgKOH / g or less, still more preferably 150 mgKOH / g or less, and particularly preferably 120 mgKOH / g or less.

アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、1〜95質量%が好ましい。下限は、2質量%以上がより好ましく、3質量%以上がさらに好ましい。上限は、93質量%以下がより好ましく、90質量%以下がさらに好ましい。本発明の着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、1種のみ含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。2種以上含む場合は、その合計が上記範囲となることが好ましい。   As for content of alkali-soluble resin, 1-95 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition. The lower limit is more preferably 2% by mass or more, and further preferably 3% by mass or more. The upper limit is more preferably 93% by mass or less, and still more preferably 90% by mass or less. The coloring composition of the present invention may contain only one kind of alkali-soluble resin, or may contain two or more kinds. When two or more types are included, the total is preferably within the above range.

(その他の樹脂)
本発明の着色組成物は、樹脂として上述した分散剤やアルカリ可溶性樹脂の欄で説明した樹脂以外の樹脂(その他の樹脂ともいう)を含有することができる。その他の樹脂としては、例えば、(メタ)アクリル樹脂、(メタ)アクリルアミド樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルフォスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。他の樹脂は、これらの樹脂から1種を単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。
(Other resins)
The colored composition of the present invention may contain a resin other than the resin described above in the column of the dispersant and the alkali-soluble resin (also referred to as other resin). Examples of other resins include (meth) acrylic resin, (meth) acrylamide resin, ene / thiol resin, polycarbonate resin, polyether resin, polyarylate resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene resin, and polyarylene ether. Examples thereof include phosphine oxide resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyolefin resin, cyclic olefin resin, polyester resin, styrene resin, and siloxane resin. As for other resins, one kind of these resins may be used alone, or two or more kinds may be mixed and used.

<<硬化性化合物>>
本発明の着色組成物は、硬化性化合物を含有する。硬化性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。本発明において、硬化性化合物は、例えば、重合性化合物、エポキシ基を有する化合物などが挙げられる。重合性化合物としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などのエチレン性不飽和結合基を有する化合物が挙げられる。重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。
<< Curable compound >>
The coloring composition of the present invention contains a curable compound. As the curable compound, known compounds that can be cross-linked by radicals, acids, and heat can be used. In the present invention, examples of the curable compound include a polymerizable compound and a compound having an epoxy group. Examples of the polymerizable compound include compounds having an ethylenically unsaturated bond group such as a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group. The polymerizable compound is more preferably a radical polymerizable compound.

本発明の着色組成物において、硬化性化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、0.1〜50質量%が好ましい。下限は、例えば0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましい。上限は、例えば、45質量%以下がより好ましく、40質量%以下が更に好ましい。硬化性化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。   In the colored composition of the present invention, the content of the curable compound is preferably 0.1 to 50% by mass with respect to the total solid content of the colored composition. For example, the lower limit is more preferably 0.5% by mass or more, and further preferably 1% by mass or more. For example, the upper limit is more preferably 45% by mass or less, and still more preferably 40% by mass or less. One curable compound may be used alone, or two or more curable compounds may be used in combination. When using 2 or more types together, it is preferable that a total amount becomes the said range.

(重合性化合物)
重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、100〜3000が好ましい。上限は、2000以下がより好ましく、1500以下が更に好ましい。下限は、150以上がより好ましく、250以上が更に好ましい。
(Polymerizable compound)
The polymerizable compound may be any of chemical forms such as a monomer, a prepolymer, and an oligomer, but a monomer is preferable. The molecular weight of the polymerizable compound is preferably 100 to 3000. The upper limit is more preferably 2000 or less, and even more preferably 1500 or less. The lower limit is more preferably 150 or more, and further preferably 250 or more.

重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落番号0095〜0108、特開2013−29760号公報の段落0227、特開2008−292970号公報の段落番号0254〜0257に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。   The polymerizable compound is preferably a 3-15 functional (meth) acrylate compound, and more preferably a 3-6 functional (meth) acrylate compound. Specific examples of these compounds include those described in paragraph Nos. 0095 to 0108 of JP-A-2009-288705, paragraph 0227 of JP-A-2013-29760, and paragraph numbers 0254 to 0257 of JP-A 2008-292970. Compounds, the contents of which are incorporated herein.

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−330;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−320;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D−310;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA;日本化薬(株)製、NKエステルA−DPH−12E;新中村化学工業(株)製)、およびこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコールおよび/またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、重合性化合物として、KAYARAD RP−1040、DPCA−20(日本化薬(株)製)を使用することもできる。
また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどの3官能の(メタ)アクリレート化合物を用いることも好ましい。3官能の(メタ)アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスM−309、M−310、M−321、M−350、M−360、M−313、M−315、M−306、M−305、M−303、M−452、M−450(東亞合成(株)製)、NKエステル A9300、A−GLY−9E、A−GLY−20E、A−TMM−3、A−TMM−3L、A−TMM−3LM−N、A−TMPT、TMPT(新中村化学工業(株)製)、KAYARAD GPO−303、TMPTA、THE−330、TPA−330、PET−30(日本化薬(株)製)などが挙げられる。また、重合性化合物としては、下記化合物を使用することもできる。

Figure 0006604928
Polymerizable compounds are dipentaerythritol triacrylate (KAYARAD D-330 as a commercial product; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol tetraacrylate (KAYARAD D-320 as a commercial product; Nippon Kayaku Co., Ltd.) ), Dipentaerythritol penta (meth) acrylate (as a commercial product, KAYARAD D-310; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (as a commercial product, KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku ( Co., Ltd., NK ester A-DPH-12E; Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and a structure in which these (meth) acryloyl groups are bonded via an ethylene glycol and / or propylene glycol residue (for example, SR454, commercially available from Sartomer, SR499) is preferred. These oligomer types can also be used. Moreover, KAYARAD RP-1040 and DPCA-20 (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.) can also be used as a polymerizable compound.
In addition, as a polymerizable compound, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane propyleneoxy modified tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethyleneoxy modified tri (meth) acrylate, isocyanuric acid ethyleneoxy modified tri (meth) acrylate It is also preferable to use a trifunctional (meth) acrylate compound such as pentaerythritol tri (meth) acrylate. As a commercial item of a trifunctional (meth) acrylate compound, Aronix M-309, M-310, M-321, M-350, M-360, M-313, M-315, M-306, M-305 , M-303, M-452, M-450 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), NK ester A9300, A-GLY-9E, A-GLY-20E, A-TMM-3, A-TMM-3L, A -TMM-3LM-N, A-TMPT, TMPT (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), KAYARAD GPO-303, TMPTA, THE-330, TPA-330, PET-30 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) Etc. Moreover, the following compound can also be used as a polymeric compound.
Figure 0006604928

重合性化合物は、酸基を有していてもよい。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物としては、例えば下記化合物が挙げられる。市販品としては、アロニックスM−510、M−520、アロニックスTO−2349(東亞合成(株)製)等が挙げられる。

Figure 0006604928
The polymerizable compound may have an acid group. By using the polymerizable compound having an acid group, the unexposed portion of the polymerizable compound is easily removed during development, and the generation of development residues can be suppressed. Examples of the acid group include a carboxyl group, a sulfo group, and a phosphate group, and a carboxyl group is preferable. Examples of the polymerizable compound having an acid group include the following compounds. Examples of commercially available products include Aronix M-510, M-520, Aronix TO-2349 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), and the like.
Figure 0006604928

酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、0.1〜40mgKOH/gであり、より好ましくは5〜30mgKOH/gである。重合性化合物の酸価が0.1mgKOH/g以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、40mgKOH/g以下であれば、製造や取扱い上、有利である。さらには、光重合性能が良好で、硬化性に優れる。   A preferable acid value of the polymerizable compound having an acid group is 0.1 to 40 mgKOH / g, and more preferably 5 to 30 mgKOH / g. If the acid value of the polymerizable compound is 0.1 mgKOH / g or more, the solubility in the developer is good, and if it is 40 mgKOH / g or less, it is advantageous in production and handling. Furthermore, the photopolymerization performance is good and the curability is excellent.

重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物も好ましい態様である。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬(株)からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120等が挙げられる。   The polymerizable compound is also preferably a compound having a caprolactone structure. Polymerizable compounds having a caprolactone structure are commercially available from Nippon Kayaku Co., Ltd. as the KAYARAD DPCA series, and examples thereof include DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120 and the like.

重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および/またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を4〜20個有する3〜6官能(メタ)アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の具体例としては、下記化合物が挙げられる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を4個有する4官能(メタ)アクリレートであるSR−494、イソブチレンオキシ基を3個有する3官能(メタ)アクリレートであるKAYARAD TPA−330などが挙げられる。

Figure 0006604928
As the polymerizable compound, a polymerizable compound having an alkyleneoxy group can also be used. The polymerizable compound having an alkyleneoxy group is preferably a polymerizable compound having an ethyleneoxy group and / or a propyleneoxy group, more preferably a polymerizable compound having an ethyleneoxy group, and 3 to 4 having 4 to 20 ethyleneoxy groups. More preferred are hexafunctional (meth) acrylate compounds. Specific examples of the polymerizable compound having an alkyleneoxy group include the following compounds. Examples of commercially available polymerizable compounds having an alkyleneoxy group include SR-494, a tetrafunctional (meth) acrylate having four ethyleneoxy groups manufactured by Sartomer, and a trifunctional (meth) having three isobutyleneoxy groups. Examples thereof include KAYARAD TPA-330, which is an acrylate.
Figure 0006604928

重合性化合物としては、特公昭48−41708号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることも好ましい。市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学工業(株)製)、DPHA−40H(日本化薬(株)製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学(株))製などが挙げられる。   Examples of the polymerizable compound include urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP-B-58-49860, JP-B-56-17654, JP-B-62-39417, and JP-B-62-39418 are also suitable. It is also preferable to use a polymerizable compound having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Commercially available products include urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.), UA-7200 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA -306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) etc. are mentioned.

重合性化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、0.1〜50質量%が好ましい。下限は、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましい。上限は、45質量%以下がより好ましく、40質量%以下が更に好ましい。重合性化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計が上記範囲となることが好ましい。   As for content of a polymeric compound, 0.1-50 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition. The lower limit is more preferably 0.5% by mass or more, and further preferably 1% by mass or more. The upper limit is more preferably 45% by mass or less, and still more preferably 40% by mass or less. One type of polymerizable compound may be used alone, or two or more types may be used in combination. When using 2 or more types together, it is preferable that a sum total becomes the said range.

(エポキシ基を有する化合物)
エポキシ基を有する化合物(以下、エポキシ化合物ともいう)は、エポキシ基を1分子内に1〜100個有することが好ましい。下限は、2個以上がより好ましい。上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。
(Compound having an epoxy group)
The compound having an epoxy group (hereinafter also referred to as an epoxy compound) preferably has 1 to 100 epoxy groups in one molecule. The lower limit is more preferably 2 or more. For example, the upper limit may be 10 or less, and may be 5 or less.

エポキシ化合物は、エポキシ当量(=エポキシ化合物の分子量/エポキシ基の数)が500g/当量以下であることが好ましく、100〜400g/当量であることがより好ましく、100〜300g/当量であることが更に好ましい。   The epoxy compound preferably has an epoxy equivalent (= molecular weight of epoxy compound / number of epoxy groups) of 500 g / equivalent or less, more preferably 100 to 400 g / equivalent, and 100 to 300 g / equivalent. Further preferred.

エポキシ化合物は、低分子化合物(例えば、分子量1000未満)でもよいし、高分子化合物(macromolecule)(例えば、分子量1000以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が1000以上)でもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、200〜100000が好ましく、500〜50000がより好ましい。重量平均分子量の上限は、10000以下がさらに好ましく、5000以下が一層好ましく、3000以下がより一層好ましい。   The epoxy compound may be a low molecular compound (for example, a molecular weight of less than 1000) or a high molecular compound (for example, a molecular weight of 1000 or more, and in the case of a polymer, the weight average molecular weight is 1000 or more). The weight average molecular weight of the epoxy compound is preferably 200 to 100,000, and more preferably 500 to 50,000. The upper limit of the weight average molecular weight is more preferably 10,000 or less, still more preferably 5000 or less, and still more preferably 3000 or less.

エポキシ化合物としては、特開2013−011869号公報の段落番号0034〜0036、特開2014−043556号公報の段落番号0147〜0156、特開2014−089408号公報の段落番号0085〜0092に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。市販品としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、jER825、jER827、jER828、jER834、jER1001、jER1002、jER1003、jER1055、jER1007、jER1009、jER1010(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON860、EPICLON1050、EPICLON1051、EPICLON1055(以上、DIC(株)製)等が挙げられる。ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、jER806、jER807、jER4004、jER4005、jER4007、jER4010(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON830、EPICLON835(以上、DIC(株)製)、LCE−21、RE−602S(以上、日本化薬(株)製)等が挙げられる。フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、jER152、jER154、jER157S70、jER157S65(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON N−740、EPICLON N−770、EPICLON N−775(以上、DIC(株)製)等が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、EPICLON N−660、EPICLON N−665、EPICLON N−670、EPICLON N−673、EPICLON N−680、EPICLON N−690、EPICLON N−695(以上、DIC(株)製)、EOCN−1020(日本化薬(株)製)等が挙げられる。脂肪族エポキシ樹脂としては、ADEKA RESIN EP−4080S、同EP−4085S、同EP−4088S(以上、(株)ADEKA製)、セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド2083、セロキサイド2085、EHPE3150、EPOLEAD PB 3600、同PB 4700(以上、(株)ダイセル製)、デナコール EX−212L、EX−214L、EX−216L、EX−321L、EX−850L(以上、ナガセケムテックス(株)製)等が挙げられる。その他にも、ADEKA RESIN EP−4000S、同EP−4003S、同EP−4010S、同EP−4011S(以上、(株)ADEKA製)、NC−2000、NC−3000、NC−7300、XD−1000、EPPN−501、EPPN−502(以上、(株)ADEKA製)、jER1031S(三菱化学(株)製)等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound are described in paragraph numbers 0034 to 0036 of JP2013-011869A, paragraph numbers 0147 to 0156 of JP2014043556A, and paragraphs 0085 to 0092 of JP2014089408A. Compounds can also be used. These contents are incorporated herein. As commercially available products, for example, as bisphenol A type epoxy resins, jER825, jER827, jER828, jER834, jER1001, jER1002, jER1003, jER1055, jER1007, jER1009, jER1010 (above, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), EPICLON860, EPICLON1050 , EPICLON 1051, EPICLON 1055 (above, manufactured by DIC Corporation) and the like. As bisphenol F type epoxy resin, jER806, jER807, jER4004, jER4005, jER4007, jER4010 (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), EPICLON830, EPICLON835 (above, DIC Corporation), LCE-21, RE-602S (Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like. Examples of the phenol novolac type epoxy resin include jER152, jER154, jER157S70, jER157S65 (above, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), EPICLON N-740, EPICLON N-770, EPICLON N-775 (above, manufactured by DIC Corporation), etc. Is mentioned. As cresol novolac type epoxy resin, EPICLON N-660, EPICLON N-665, EPICLON N-670, EPICLON N-673, EPICLON N-680, EPICLON N-690, EPICLON N-695 (above, manufactured by DIC Corporation) ), EOCN-1020 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like. As the aliphatic epoxy resin, ADEKA RESIN EP-4080S, EP-4085S, EP-4088S (manufactured by ADEKA Corporation), Celoxide 2021P, Celoxide 2081, Celoxide 2083, Celoxide 2085, EHPE3150, EPOLEAD PB 3600, PB 4700 (above, manufactured by Daicel Corporation), Denacol EX-212L, EX-214L, EX-216L, EX-321L, EX-850L (above, manufactured by Nagase ChemteX Corporation), and the like. In addition, ADEKA RESIN EP-4000S, EP-4003S, EP-4010S, EP-4010S, EP-4011S (above, manufactured by ADEKA Corporation), NC-2000, NC-3000, NC-7300, XD-1000, EPPN-501, EPPN-502 (above, manufactured by ADEKA Corporation), jER1031S (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.

また、エポキシ化合物として、下記式(EP1)で表される化合物を用いることもできる。

Figure 0006604928
Moreover, the compound represented by a following formula (EP1) can also be used as an epoxy compound.
Figure 0006604928

式(EP1)中、REP1〜REP3は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子またはアルキル基を表す。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。また、アルキル基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。REP1とREP2、REP2とREP3は、互いに結合して環を形成していてもよい。QEPは単結合またはnEP価の有機基を表す。REP1〜REP3は、QEPと結合して環を形成していても良い。nEPは1以上の整数を表し、2〜10の整数が好ましく、2〜6の整数がより好ましい。但しQEPが単結合の場合、nEPは2である。REP1〜REP3、QEPの詳細について、特開2014−089408号公報の段落番号0087〜0088の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。式(EP1)で表される化合物の具体例としては、特開2014−089408号公報の段落番号0090に記載の化合物などが挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。 In the formula (EP1), R EP1 to R EP3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. The alkyl group may be linear, branched or cyclic. Further, the alkyl group may be unsubstituted or may have a substituent. R EP1 and R EP2 , R EP2 and R EP3 may be bonded to each other to form a ring. QEP represents a single bond or an nEP- valent organic group. R EP1 to R EP3 is combined with Q EP may form a ring. n EP represents an integer of 1 or more, preferably an integer of 2 to 10, an integer of from 2 to 6 is more preferable. However, n EP is 2 when Q EP is a single bond. Details of R EP1 to R EP3 and Q EP can be referred to the description of paragraph numbers 0087 to 0088 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-089408, the contents of which are incorporated herein. Specific examples of the compound represented by the formula (EP1) include compounds described in paragraph No. 0090 of JP2014-089408A, the contents of which are incorporated herein.

本発明の着色組成物がエポキシ化合物を含有する場合、エポキシ化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、0.1〜40質量%が好ましい。下限は、例えば0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましい。上限は、例えば、30質量%以下がより好ましく、20質量%以下が更に好ましい。エポキシ化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計が上記範囲となることが好ましい。   When the coloring composition of this invention contains an epoxy compound, 0.1-40 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition. For example, the lower limit is more preferably 0.5% by mass or more, and further preferably 1% by mass or more. For example, the upper limit is more preferably 30% by mass or less, and still more preferably 20% by mass or less. One epoxy compound may be used alone, or two or more epoxy compounds may be used in combination. When using 2 or more types together, it is preferable that a sum total becomes the said range.

<<光重合開始剤>>
本発明の着色組成物は、硬化性化合物として重合性化合物を含有する場合、更に光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する化合物であってもよい。
<< photopolymerization initiator >>
When the coloring composition of this invention contains a polymeric compound as a sclerosing | hardenable compound, it is preferable to contain a photoinitiator further. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators. For example, a compound having photosensitivity to light in the ultraviolet region to the visible region is preferable. Moreover, the compound which produces | generates an active radical and some effect | action with a photoexcited sensitizer may be sufficient.

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物などが挙げられる。また、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0265〜0268の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。   Examples of the photopolymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives (for example, compounds having a triazine skeleton and compounds having an oxadiazole skeleton), acylphosphine compounds such as acylphosphine oxide, hexaarylbiimidazoles, oxime derivatives, and the like. Oxime compounds, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketoxime ethers, aminoacetophenone compounds, hydroxyacetophenone compounds, and the like. From the viewpoint of exposure sensitivity, trihalomethyltriazine compounds, benzyldimethylketal compounds, α-hydroxyketone compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, metallocene compounds, oxime compounds, triarylimidazole dimers, oniums A compound selected from the group consisting of a compound, a benzothiazole compound, a benzophenone compound, a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, a cyclopentadiene-benzene-iron complex and a salt thereof, a halomethyloxadiazole compound, and a 3-aryl-substituted coumarin compound preferable. As specific examples of the photopolymerization initiator, for example, the description in paragraph Nos. 0265 to 0268 of JP2013-29760A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

光重合開始剤は、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、および、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン化合物、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィン化合物も用いることができる。ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959、IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、および、IRGACURE−379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン化合物として、365nmまたは405nm等の光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン化合物としては市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。   As the photopolymerization initiator, a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, and an acylphosphine compound can also be suitably used. For example, aminoacetophenone compounds described in JP-A-10-291969 and acylphosphine compounds described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used. As the hydroxyacetophenone compound, IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, IRGACURE-127 (trade names: all manufactured by BASF) can be used. As the aminoacetophenone compound, commercially available products IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379 (trade names: all manufactured by BASF) can be used. As the aminoacetophenone compound, a compound described in JP-A No. 2009-191179 whose absorption wavelength is matched with a light source of 365 nm or 405 nm can also be used. As the acylphosphine compound, commercially available products such as IRGACURE-819 and DAROCUR-TPO (trade names: both manufactured by BASF) can be used.

光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。本発明の着色組成物をカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが好ましい。   More preferred examples of the photopolymerization initiator include oxime compounds. When the colored composition of the present invention is used for the production of a color filter, it is necessary to form a fine pattern with a sharp shape, so it is important that the unexposed area is developed with no residue as well as curability. It is. From such a viewpoint, it is preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator.

オキシム化合物としては、例えば、特開2001−233842号公報に記載の化合物、特開2000−80068号公報に記載の化合物、特開2006−342166号公報に記載の化合物を用いることができる。オキシム化合物の具体例としては、例えば、3−ベンゾイルオキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、および2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどが挙げられる。   As the oxime compound, for example, compounds described in JP-A No. 2001-233842, compounds described in JP-A No. 2000-80068, and compounds described in JP-A No. 2006-342166 can be used. Specific examples of the oxime compound include, for example, 3-benzoyloxyiminobutan-2-one, 3-acetoxyiminobutane-2-one, 3-propionyloxyiminobutan-2-one, 2-acetoxyiminopentane-3- ON, 2-acetoxyimino-1-phenylpropan-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropan-1-one, 3- (4-toluenesulfonyloxy) iminobutan-2-one, and 2-ethoxy And carbonyloxyimino-1-phenylpropan-1-one.

オキシム化合物としては、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653−1660、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232、特開2000−66385号公報、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、特開2006−342166号公報に記載された化合物等を用いることもできる。市販品ではIRGACURE−OXE01、IRGACURE−OXE02、IRGACURE−OXE03、IRGACURE−OXE04(以上、BASF社製)も好適に用いられる。また、TRONLY TR−PBG−304、TRONLY TR−PBG−309、TRONLY TR−PBG−305(常州強力電子新材料有限公司(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製)、アデカアークルズNCI−930、アデカオプトマーN−1919(特開2012−14052号公報の光重合開始剤2)(以上、(株)ADEKA製)も用いることができる。   Examples of oxime compounds include J.M. C. S. Perkin II (1979) pp. 1653-1660, J. MoI. C. S. Perkin II (1979) pp. 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) pp. The compounds described in 202-232, JP-A 2000-66385, JP-A 2000-80068, JP-T 2004-534797, JP-A 2006-342166 can also be used. IRGACURE-OXE01, IRGACURE-OXE02, IRGACURE-OXE03, IRGACURE-OXE04 (above, manufactured by BASF) are also preferably used as commercial products. In addition, TRONLY TR-PBG-304, TRONLY TR-PBG-309, TRONLY TR-PBG-305 (manufactured by CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO., LTD), Adeka Arcles 30 Adekaoptomer N-1919 (photopolymerization initiator 2 of JP 2012-14052 A) (manufactured by ADEKA, Inc.) can also be used.

また上記以外のオキシム化合物として、カルバゾール環のN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報および米国特許公開2009−292039号に記載の化合物、国際公開WO2009/131189号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有し、g線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報に記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0274〜0306を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。   Further, as oxime compounds other than the above, compounds described in JP-T 2009-519904, in which an oxime is linked to the N-position of the carbazole ring, and compounds described in US Pat. No. 7,626,957 in which a hetero substituent is introduced into the benzophenone moiety A nitro group introduced into the dye moiety, a compound described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-15025 and US Patent Publication No. 2009-292039, a ketoxime compound described in International Publication No. WO2009 / 131189, and a triazine skeleton identical to an oxime skeleton Even if the compound described in US Pat. No. 7,556,910 contained in the molecule, the compound described in JP2009-221114A having an absorption maximum at 405 nm and good sensitivity to a g-ray light source, etc. may be used. Good. Preferably, for example, paragraph numbers 0274 to 0306 in JP 2013-29760 A can be referred to, the contents of which are incorporated herein.

本発明は、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2014−137466号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明は、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開WO2015/036910号公報に記載の化合物OE−01〜OE−75が挙げられる。
In the present invention, an oxime compound having a fluorene ring can also be used as a photopolymerization initiator. Specific examples of the oxime compound having a fluorene ring include compounds described in JP-A No. 2014-137466. This content is incorporated herein.
In the present invention, an oxime compound having a benzofuran skeleton can also be used as a photopolymerization initiator. Specific examples thereof include compounds OE-01 to OE-75 described in International Publication WO2015 / 036910.

本発明は、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010−262028号公報に記載の化合物、特表2014−500852号公報に記載の化合物24、36〜40、特開2013−164471号公報に記載の化合物(C−3)などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。   In the present invention, an oxime compound having a fluorine atom can also be used as a photopolymerization initiator. Specific examples of the oxime compound having a fluorine atom include compounds described in JP 2010-262028 A, compounds 24 and 36 to 40 described in JP-A-2014-500852, and JP-A 2013-164471. (C-3) and the like. This content is incorporated herein.

本発明は、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2013−114249号公報の段落番号0031〜0047、特開2014−137466号公報の段落番号0008〜0012、0070〜0079に記載の化合物、特許4223071号公報の段落番号0007〜0025に記載の化合物、アデカアークルズNCI−831((株)ADEKA製)などが挙げられる。   In the present invention, an oxime compound having a nitro group can be used as a photopolymerization initiator. The oxime compound having a nitro group is also preferably a dimer. Specific examples of the oxime compound having a nitro group include compounds described in JP-A No. 2013-114249, paragraph numbers 0031 to 0047, JP-A No. 2014-137466, paragraph numbers 0008 to 0012 and 0070 to 0079, and Japanese Patent No. 4223071. And the compounds described in paragraph Nos. 0007 to 0025 of the publication, Adeka Arcles NCI-831 (manufactured by ADEKA Corporation), and the like.

本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Specific examples of the oxime compound preferably used in the present invention are shown below, but the present invention is not limited thereto.

Figure 0006604928
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オキシム化合物は、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、360nm〜480nmの波長領域に吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物は、365nmおよび405nmの吸光度が高い化合物が好ましい。   The oxime compound is preferably a compound having a maximum absorption wavelength in a wavelength region of 350 nm to 500 nm, and more preferably a compound having an absorption wavelength in a wavelength region of 360 nm to 480 nm. The oxime compound is preferably a compound having high absorbance at 365 nm and 405 nm.

オキシム化合物の365nmまたは405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary−5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用しても良い。
From the viewpoint of sensitivity, the molar extinction coefficient at 365 nm or 405 nm of the oxime compound is preferably 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, and 5,000 to 200,000. 000 is particularly preferred. The molar extinction coefficient of the compound can be measured using a known method. For example, it is preferable to measure with a UV-visible spectrophotometer (Cary-5 spectrophotometer manufactured by Varian) using an ethyl acetate solvent at a concentration of 0.01 g / L.
You may use a photoinitiator in combination of 2 or more type as needed.

光重合開始剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が更に好ましい。光重合開始剤の含有量が上記範囲であれば、良好な感度と良好なパターン形成性が得られる。本発明の着色組成物は、光重合開始剤を、1種のみ含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。光重合開始剤を2種以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。   The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 0.5 to 30% by mass, and still more preferably 1 to 20% by mass with respect to the total solid content of the colored composition. When the content of the photopolymerization initiator is within the above range, good sensitivity and good pattern formability can be obtained. The colored composition of the present invention may contain only one type of photopolymerization initiator, or may contain two or more types. When two or more photopolymerization initiators are included, the total amount is preferably within the above range.

<<溶剤>>
本発明の着色組成物は、溶剤を含有する。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や着色組成物の塗布性を満足させるものであれば特に制限はない。エステル系溶剤、エーテル系溶剤、ケトン系溶剤、芳香族炭化水素系溶剤などの各種溶剤を用いることができる。
<< Solvent >>
The coloring composition of the present invention contains a solvent. The solvent is preferably an organic solvent. The solvent is not particularly limited as long as it satisfies the solubility of each component and the coating property of the coloring composition. Various solvents such as an ester solvent, an ether solvent, a ketone solvent, and an aromatic hydrocarbon solvent can be used.

本発明において、溶剤としては、25℃における表面張力が26.0mN/m以上である溶剤E1(以下、溶剤E1ともいう)と、25℃における表面張力が26.0mN/m未満である溶剤E2(以下、溶剤E2ともいう)とを含むことが好ましい。溶剤E1と溶剤E2とを併用することで、ストリエーションの発生を効果的に抑制することができる。   In the present invention, the solvent includes a solvent E1 having a surface tension at 25 ° C. of 26.0 mN / m or more (hereinafter also referred to as solvent E1), and a solvent E2 having a surface tension at 25 ° C. of less than 26.0 mN / m. (Hereinafter also referred to as solvent E2). By using the solvent E1 and the solvent E2 in combination, the occurrence of striation can be effectively suppressed.

なお、本発明において、溶剤の表面張力は、白金プレートを用いてプレート法で測定した値である。ここで、プレート法による表面張力の測定とは以下である。測定子(プレート)が液体の表面に触れると、液体がプレートに対して濡れ上がる。このとき、プレートの周囲に沿って表面張力がはたらき、プレートを液中に引き込もうとする。この引き込む力を読み取り、液体の表面張力を測定する。表面張力の測定装置としては、協和界面科学(株)製表面張力計CBVP−Zを用いることができる。   In the present invention, the surface tension of the solvent is a value measured by a plate method using a platinum plate. Here, the measurement of the surface tension by the plate method is as follows. When the probe (plate) touches the surface of the liquid, the liquid wets the plate. At this time, the surface tension acts along the periphery of the plate and tries to draw the plate into the liquid. The pulling force is read and the surface tension of the liquid is measured. As a surface tension measuring device, a surface tension meter CBVP-Z manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. can be used.

溶剤中における、溶剤E1の質量と溶剤E2の質量との比は、溶剤E1の質量:溶剤E2の質量=80:20〜30:70であることが好ましく、70:30〜35:65であることがより好ましく、60:40〜40:60であることが更に好ましい。溶剤E1と溶剤E2とを上述した割合で併用することで、ストリエーションの発生を効果的に抑制することができる。さらには、着色組成物の乾燥性も良好である。   In the solvent, the ratio of the mass of the solvent E1 to the mass of the solvent E2 is preferably the mass of the solvent E1: the mass of the solvent E2 = 80: 20 to 30:70, and is 70:30 to 35:65. It is more preferable that the ratio is 60:40 to 40:60. Generation | occurrence | production of striation can be effectively suppressed by using together the solvent E1 and the solvent E2 in the ratio mentioned above. Furthermore, the drying property of the coloring composition is also good.

溶剤E1の25℃における表面張力は、26mN/m以上35mN/m以下であることが好ましい。上限は、34mN/m以下が好ましく、30mN/m以下がより好ましく、28mN/m以下がさらに好ましい。下限は、26.5mN/m以上が好ましい。溶剤E1の表面張力が上記範囲であれば、着色組成物の支持体に対する濡れ性や、着色組成物の乾燥性などが良好である。   The surface tension of the solvent E1 at 25 ° C. is preferably 26 mN / m or more and 35 mN / m or less. The upper limit is preferably 34 mN / m or less, more preferably 30 mN / m or less, and even more preferably 28 mN / m or less. The lower limit is preferably 26.5 mN / m or more. When the surface tension of the solvent E1 is in the above range, the wettability of the colored composition to the support, the drying property of the colored composition, and the like are good.

溶剤E1の沸点は、140〜180℃が好ましい。上限は、175℃以下がより好ましく、170℃以下がさらに好ましく、165℃以下が一層好ましい。下限は、143℃以上がより好ましく、145℃以上がより好ましい。溶剤E1の沸点が上記範囲であれば、着色組成物の乾燥性が良好である。
また、溶剤E1の沸点は、溶剤E2の沸点よりも高いことが好ましく、溶剤E2の沸点よりも5℃以上高いことがより好ましく、10℃以上高いことがさらに好ましい。この態様によれば、ストリエーションの発生をより効果的に抑制することができる。
The boiling point of the solvent E1 is preferably 140 to 180 ° C. The upper limit is more preferably 175 ° C. or less, still more preferably 170 ° C. or less, and even more preferably 165 ° C. or less. The lower limit is more preferably 143 ° C. or higher, and more preferably 145 ° C. or higher. If the boiling point of the solvent E1 is in the above range, the drying property of the colored composition is good.
Further, the boiling point of the solvent E1 is preferably higher than the boiling point of the solvent E2, more preferably 5 ° C. or higher, more preferably 10 ° C. or higher than the boiling point of the solvent E2. According to this aspect, the occurrence of striation can be more effectively suppressed.

溶剤E1は25℃の水100gに対する溶解度が30g以下であることが好ましく、25g以下であることがより好ましく、20g以下であることが更に好ましい。溶剤E1として、水に対する溶解度の小さい溶剤を用いることで、着色組成物に用いる他の成分の溶解性などを高めることができる。   The solvent E1 has a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of preferably 30 g or less, more preferably 25 g or less, and even more preferably 20 g or less. By using a solvent having a low solubility in water as the solvent E1, the solubility of other components used in the coloring composition can be enhanced.

溶剤E1としては、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、ケトン系溶剤が挙げられる。具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどのエステル結合とエーテル結合とを有する化合物(エステル系溶剤);ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルなどのエステル結合を有さないエーテル化合物(エーテル系溶剤);メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノンなどのケトン系溶剤などが挙げられる。溶剤E1としては、着色組成物に含まれる他の成分の溶解性や、取り扱いの容易性などの観点から、エステル系溶剤が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチルがより好ましい。また、エステル系溶剤とケトン系溶剤とを併用することも好ましい。ケトン系溶剤をさらに含有させることで、着色組成物に含まれる他の成分の溶解性を向上できる。   Examples of the solvent E1 include ester solvents, ether solvents, and ketone solvents. Specific examples include compounds having an ester bond and an ether bond such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl 3-ethoxypropionate and ethyl lactate (ester solvent); diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether , Dipropylene Ether compound having no ester bond, such as recall dimethyl ether (ether solvent); methyl ethyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, 2-heptanone, and ketone solvents such as 3-heptanone. The solvent E1 is preferably an ester solvent from the viewpoints of the solubility of other components contained in the colored composition and the ease of handling, such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-ethoxy. More preferred is ethyl propionate. It is also preferable to use an ester solvent and a ketone solvent in combination. By further containing a ketone solvent, the solubility of other components contained in the colored composition can be improved.

溶剤の全質量中における溶剤E1の含有量は15質量%以上であることが好ましい。溶剤E1の含有量の下限は20質量%以上がより好ましく、25質量%以上がさらに好ましく、30質量%以上が一層好ましい。含有量の上限は90質量%以下が好ましく、85質量%以下がより好ましく、80質量%以下が更に好ましい。   The content of the solvent E1 in the total mass of the solvent is preferably 15% by mass or more. The lower limit of the content of the solvent E1 is more preferably 20% by mass or more, further preferably 25% by mass or more, and further preferably 30% by mass or more. 90 mass% or less is preferable, as for the upper limit of content, 85 mass% or less is more preferable, and 80 mass% or less is still more preferable.

溶剤E2の25℃における表面張力は、25mN/m以下であることが好ましく、24.8mN/m以下であることがより好ましく、24.6mN/m以下であることがさらに好ましく、24.4mN/m以下であることが特に好ましい。下限は、20mN/m以上が好ましく、21mN/m以上がより好ましく、22mN/m以上がさらに好ましい。溶剤E2の表面張力が上記範囲であれば、着色組成物の支持体に対する濡れ性や、着色組成物の乾燥性などが良好である。   The surface tension of the solvent E2 at 25 ° C. is preferably 25 mN / m or less, more preferably 24.8 mN / m or less, further preferably 24.6 mN / m or less, and 24.4 mN / m. It is particularly preferable that it is m or less. The lower limit is preferably 20 mN / m or more, more preferably 21 mN / m or more, and further preferably 22 mN / m or more. When the surface tension of the solvent E2 is in the above range, the wettability of the colored composition to the support and the drying property of the colored composition are good.

溶剤E2の沸点は、50〜135℃が好ましい。上限は、133℃以下がより好ましく、130℃以下がさらに好ましく、127℃以下が一層好ましい。下限は、70℃以上がより好ましく、90℃以上がさらに好ましく、110℃以上が一層好ましい。   The boiling point of the solvent E2 is preferably 50 to 135 ° C. The upper limit is more preferably 133 ° C. or less, further preferably 130 ° C. or less, and still more preferably 127 ° C. or less. The lower limit is more preferably 70 ° C. or higher, more preferably 90 ° C. or higher, and still more preferably 110 ° C. or higher.

溶剤E2は25℃の水100gに対する溶解度が30g以下であることが好ましく、10g以下であることがより好ましく、5g以下であることが更に好ましい。溶剤E2として、水に対する溶解度の小さい有機溶剤を用いることで、着色組成物に用いる他の成分の溶解性などを高めることができる。また、着色組成物への水分の混入を抑制することができ、水を原因とする経時安定性の悪化を抑制することができる。   Solvent E2 has a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of preferably 30 g or less, more preferably 10 g or less, and even more preferably 5 g or less. By using an organic solvent having a low solubility in water as the solvent E2, it is possible to enhance the solubility of other components used in the coloring composition. Moreover, mixing of the water | moisture content into a coloring composition can be suppressed, and the deterioration with time stability resulting from water can be suppressed.

溶剤E2は、エステル結合を有する化合物(溶剤)であることが好ましい。溶剤E2は、エーテル結合を有さない化合物(溶剤)であることが好ましく、エステル結合を有し、かつ、エーテル結合を有さない化合物(溶剤)であることがより好ましい。溶剤E2は、下記式(E2−1)で表される化合物(溶剤)であることが好ましい。
e1−C(=O)−O−Re2 ・・・(E2−1)
式中、Re1およびRe2は、それぞれ独立して、炭化水素基を表す。
The solvent E2 is preferably a compound (solvent) having an ester bond. The solvent E2 is preferably a compound (solvent) that does not have an ether bond, and more preferably a compound (solvent) that has an ester bond and does not have an ether bond. The solvent E2 is preferably a compound (solvent) represented by the following formula (E2-1).
R e1 —C (═O) —O—R e2 (E2-1)
In the formula, R e1 and R e2 each independently represent a hydrocarbon group.

e1およびRe2における炭化水素基は、炭素原子と水素原子のみからなる基である。Re1およびRe2が表す炭化水素基の具体例としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基が挙げられ、アルキル基、アルケニル基およびアルキニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。
アルキル基の炭素数は、1〜10が好ましく、1〜5がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は、無置換のアルキル基であることが好ましい。
アルケニル基の炭素数は、2〜10が好ましく、2〜5がより好ましい。アルケニル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニル基は、無置換のアルケニル基であることが好ましい。
アルキニル基の炭素数は、2〜10が好ましく、2〜5がより好ましい。アルキニル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキニル基は、無置換のアルケニル基であることが好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。アリール基は、無置換のアリール基であってもよく、アルキル基、アルケニル基またはアルキニル基を置換基として有していてもよい。
The hydrocarbon group in R e1 and R e2 is a group consisting of only a carbon atom and a hydrogen atom. Specific examples of the hydrocarbon group represented by R e1 and R e2 include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, and an aryl group. An alkyl group, an alkenyl group, and an alkynyl group are preferable, and an alkyl group is more preferable.
1-10 are preferable and, as for carbon number of an alkyl group, 1-5 are more preferable. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched, more preferably linear. The alkyl group is preferably an unsubstituted alkyl group.
2-10 are preferable and, as for carbon number of an alkenyl group, 2-5 are more preferable. The alkenyl group is preferably linear or branched, and more preferably linear. The alkenyl group is preferably an unsubstituted alkenyl group.
2-10 are preferable and, as for carbon number of an alkynyl group, 2-5 are more preferable. The alkynyl group is preferably linear or branched, and more preferably linear. The alkynyl group is preferably an unsubstituted alkenyl group.
6-20 are preferable and, as for carbon number of an aryl group, 6-12 are more preferable. The aryl group may be an unsubstituted aryl group, and may have an alkyl group, an alkenyl group, or an alkynyl group as a substituent.

溶剤E2の具体例としては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酪酸エチル、プロピオン酸エチルなどが挙げられ、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピルおよび酢酸ブチルが好ましく、酢酸プロピル、酢酸イソプロピルおよび酢酸ブチルがより好ましく、酢酸ブチルがさらに好ましい。   Specific examples of the solvent E2 include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, ethyl butyrate, ethyl propionate and the like, preferably methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate and butyl acetate. Propyl acetate, isopropyl acetate and butyl acetate are more preferred, and butyl acetate is more preferred.

溶剤の全質量中における溶剤E2の含有量は、10質量%以上であることが好ましい。下限は20質量%以上がより好ましく、30質量%以上がさらに好ましく、40質量%以上が一層好ましい。上限は90質量%以下が好ましく、80質量%以下がより好ましく、70質量%以下が更に好ましい。   The content of the solvent E2 in the total mass of the solvent is preferably 10% by mass or more. The lower limit is more preferably 20% by mass or more, further preferably 30% by mass or more, and further preferably 40% by mass or more. The upper limit is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, and still more preferably 70% by mass or less.

溶剤の全質量中における、エステル系溶剤の溶剤E1(以下、エステル系溶剤E1ともいう)と、溶剤E2との合計の含有量は、50質量%以上であることが好ましい。下限は55質量%以上が好ましく、60質量%以上がより好ましく、65質量%以上が更に好ましい。上限は、95質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましく、85質量%以下が更に好ましい。   The total content of the ester solvent E1 (hereinafter also referred to as ester solvent E1) and the solvent E2 in the total mass of the solvent is preferably 50% by mass or more. The lower limit is preferably 55% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and still more preferably 65% by mass or more. The upper limit is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and still more preferably 85% by mass or less.

溶剤中における、エステル系溶剤E1の質量と溶剤E2の質量との比は、エステル系溶剤E1の質量:溶剤E2の質量=80:20〜30:70であることが好ましく、70:30〜35:65であることがより好ましく、60:40〜40:60であることが更に好ましい。エステル系溶剤E1と溶剤E2とを上述した割合で併用することで、ストリエーションの発生を効果的に抑制することができる。さらには、着色組成物の乾燥性も良好である。   The ratio of the mass of the ester solvent E1 and the mass of the solvent E2 in the solvent is preferably such that the mass of the ester solvent E1: the mass of the solvent E2 = 80: 20 to 30:70, and 70:30 to 35 : 65 is more preferable, and 60:40 to 40:60 is still more preferable. Generation | occurrence | production of striation can be effectively suppressed by using together the ester solvent E1 and the solvent E2 in the ratio mentioned above. Furthermore, the drying property of the coloring composition is also good.

本発明で用いる溶剤の25℃における表面張力は、22mN/m以上29mN/m以下であることが好ましい。上限は、27.5mN/m以下がより好ましく、27.2mN/m以下がさらに好ましく、27.0mN/m以下が一層好ましい。下限は、24mN/m以上がより好ましく、24.5mN/m以上がさらに好ましく、25.0mN/m以上が一層好ましい。なお、溶剤の表面張力とは、溶剤が2種以上の溶剤を含む場合は、2種以上の溶剤の混合液での表面張力の値であって、下記式で定義される。

Figure 0006604928
上記式中、γiは、溶剤に含まれる溶剤Eiの表面張力の値(単位:mN/m)であり、Aiは、溶剤に含まれる溶剤Eiの質量分率である。nは2以上の整数である。 The surface tension at 25 ° C. of the solvent used in the present invention is preferably 22 mN / m or more and 29 mN / m or less. The upper limit is more preferably 27.5 mN / m or less, further preferably 27.2 mN / m or less, and further preferably 27.0 mN / m or less. The lower limit is more preferably 24 mN / m or more, further preferably 24.5 mN / m or more, and further preferably 25.0 mN / m or more. In addition, when the solvent contains two or more kinds of solvents, the surface tension of the solvent is a value of the surface tension in a mixed liquid of two or more kinds of solvents, and is defined by the following formula.
Figure 0006604928
In the above formula, gamma i is the surface tension of the solvent E i contained in the solvent (unit: mN / m) is, A i is the mass fraction of solvent E i contained in the solvent. n is an integer of 2 or more.

本発明において、溶剤は、過酸化物の含有率が0.8mmol/L以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。また、溶剤としては、金属含有量が少ない有機溶剤を用いることが好ましく、例えば有機溶剤の金属含有量は、10質量ppb以下であることが好ましい。必要に応じて有機溶剤の金属含有量が質量pptレベルのものを用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している(化学工業日報、2015年11月13日)。   In the present invention, the solvent preferably has a peroxide content of 0.8 mmol / L or less, and more preferably contains substantially no peroxide. Moreover, it is preferable to use the organic solvent with few metal contents as a solvent, for example, it is preferable that the metal content of an organic solvent is 10 mass ppb or less. If necessary, an organic solvent having a metal content of mass ppt may be used, and such a high-purity solvent is provided, for example, by Toyo Gosei Co., Ltd. (Chemical Industry Daily, November 13, 2015). .

本発明の着色組成物は、溶剤を40〜95質量%含むことが好ましい。含有量の下限は、45質量%以上がより好ましく、50質量%以上がさらに好ましい。含有量の上限は、90質量%以下がより好ましく、85質量%以下がさらに好ましく、80質量%以下が一層好ましい。   It is preferable that the coloring composition of this invention contains 40-95 mass% of solvents. The lower limit of the content is more preferably 45% by mass or more, and further preferably 50% by mass or more. 90 mass% or less is more preferable, as for the upper limit of content, 85 mass% or less is further more preferable, and 80 mass% or less is still more preferable.

<<硬化促進剤>>
本発明の着色組成物は、パターンの硬度を向上させる目的や、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を含んでもよい。硬化促進剤としては、チオール化合物などが挙げられる。
<< Curing accelerator >>
The colored composition of the present invention may contain a curing accelerator for the purpose of improving the hardness of the pattern or for decreasing the curing temperature. Examples of the curing accelerator include thiol compounds.

チオール化合物としては、分子内に2個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は、安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、2級のアルカンチオール類であることが好ましく、下記式(T1)で表される構造を有する化合物であることがより好ましい。
式(T1)

Figure 0006604928
(式(T1)中、nは2〜4の整数を表し、Lは2〜4価の連結基を表す。) Examples of the thiol compound include polyfunctional thiol compounds having two or more mercapto groups in the molecule. The polyfunctional thiol compound may be added for the purpose of improving stability, odor, resolution, developability, adhesion and the like. The polyfunctional thiol compound is preferably a secondary alkanethiol, and more preferably a compound having a structure represented by the following formula (T1).
Formula (T1)
Figure 0006604928
(In the formula (T1), n represents an integer of 2 to 4, and L represents a 2 to 4 valent linking group.)

上記式(T1)において、Lは炭素数2〜12の脂肪族基であることが好ましい。上記式(T1)において、nが2であり、Lが炭素数2〜12のアルキレン基であることがより好ましい。多官能チオール化合物の具体例としては、下記の構造式(T2)〜(T4)で表される化合物が挙げられ、式(T2)で表される化合物が好ましい。チオール化合物は1種を用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   In the above formula (T1), L is preferably an aliphatic group having 2 to 12 carbon atoms. In the above formula (T1), n is preferably 2, and L is more preferably an alkylene group having 2 to 12 carbon atoms. Specific examples of the polyfunctional thiol compound include compounds represented by the following structural formulas (T2) to (T4), and a compound represented by the formula (T2) is preferable. One thiol compound may be used, or two or more thiol compounds may be used in combination.

Figure 0006604928
Figure 0006604928

また、硬化促進剤は、メチロール系化合物(例えば特開2015−34963号公報の段落番号0246において、架橋剤として例示されている化合物)、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物(以上、例えば特開2013−41165号公報の段落番号0186に記載の硬化剤)、塩基発生剤(例えば、特開2014−55114号公報に記載のイオン性化合物)、イソシアネート化合物(例えば、特開2012−150180号公報の段落番号0071に記載の化合物)、アルコキシシラン化合物(例えば、特開2011−253054号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物)、オニウム塩化合物(例えば、特開2015−34963号公報の段落番号0216に酸発生剤として例示されている化合物、特開2009−180949号公報に記載の化合物)などを用いることもできる。   Further, the curing accelerator is a methylol compound (for example, a compound exemplified as a crosslinking agent in paragraph No. 0246 of JP-A-2015-34963), amines, phosphonium salts, amidine salts, amide compounds (above, for example, JP-A-2013-41165, curing agent described in paragraph No. 0186), base generator (for example, ionic compound described in JP-A-2014-55114), isocyanate compound (for example, JP-A-2012-150180). Compounds described in paragraph No. 0071 of the publication), alkoxysilane compounds (for example, alkoxysilane compounds having an epoxy group described in JP2011-255304A), onium salt compounds (for example, JP2015-34963A). The chemicals exemplified as acid generators in paragraph 0216 Things, compounds described in JP-A-2009-180949) or the like can be used.

本発明の着色組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して0.3〜8.9質量%が好ましく、0.8〜6.4質量%がより好ましい。   When the coloring composition of this invention contains a hardening accelerator, 0.3-8.9 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition, and 0.8-6 More preferably, 4% by mass.

<<顔料誘導体>>
本発明の着色組成物は、顔料誘導体を含有することが好ましい。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸性基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。
<< Pigment derivative >>
The colored composition of the present invention preferably contains a pigment derivative. Examples of the pigment derivative include a compound having a structure in which a part of the chromophore is substituted with an acidic group, a basic group, or a phthalimidomethyl group.

顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アントラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開2011−252065号公報の段落番号0162〜0183の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。   The chromophores constituting the pigment derivatives include quinoline skeleton, benzoimidazolone skeleton, diketopyrrolopyrrole skeleton, azo skeleton, phthalocyanine skeleton, anthraquinone skeleton, quinacridone skeleton, dioxazine skeleton, and perinone skeleton. Perylene skeleton, thioindigo skeleton, isoindoline skeleton, isoindolinone skeleton, quinophthalone skeleton, selenium skeleton, metal complex skeleton, etc., quinoline skeleton, benzimidazolone skeleton, diketopyrrolo A pyrrole skeleton, an azo skeleton, a quinophthalone skeleton, an isoindoline skeleton, and a phthalocyanine skeleton are preferable, and an azo skeleton and a benzimidazolone skeleton are more preferable. As an acidic group which a pigment derivative has, a sulfo group and a carboxyl group are preferable, and a sulfo group is more preferable. As a basic group which a pigment derivative has, an amino group is preferable and a tertiary amino group is more preferable. As specific examples of the pigment derivative, for example, the description of paragraph numbers 0162 to 0183 in JP 2011-252065 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

本発明の着色組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料100質量部に対し、1〜30質量部が好ましく、3〜20質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   When the coloring composition of this invention contains a pigment derivative, 1-30 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of pigments, and 3-20 mass parts is more preferable. Only one pigment derivative may be used, or two or more pigment derivatives may be used in combination.

<<界面活性剤>>
本発明の着色組成物は、界面活性剤を含有する。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用でき、塗布性をより向上できるという理由からフッ素系界面活性剤が好ましい。
<< Surfactant >>
The coloring composition of the present invention contains a surfactant. Various surfactants such as fluorosurfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants, and silicone surfactants can be used as surfactants, further improving coatability. A fluorosurfactant is preferable because it can be used.

本発明の着色組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性が向上し、塗布厚の均一性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、塗布膜表面の界面張力が低下して、乾燥の均一性が向上する。このため、塗布ムラの少ない膜形成をより好適に行うことができる。   By containing the fluorosurfactant in the colored composition of the present invention, the liquid properties when prepared as a coating liquid can be improved, and the uniformity of the coating thickness can be further improved. That is, in the case of forming a film using a coating liquid to which a coloring composition containing a fluorosurfactant is applied, the interfacial tension on the surface of the coating film is lowered and drying uniformity is improved. For this reason, film formation with little coating nonuniformity can be performed more suitably.

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好ましく、より好ましくは5〜30質量%であり、特に好ましくは7〜25質量%である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色組成物中における溶解性も良好である。   3-40 mass% is preferable, as for the fluorine content rate in a fluorochemical surfactant, More preferably, it is 5-30 mass%, Most preferably, it is 7-25 mass%. A fluorine-based surfactant having a fluorine content within the above range is effective in terms of uniformity of coating film thickness and liquid-saving properties, and has good solubility in a colored composition.

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、FC431、FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、SC−101、SC−103、SC−104、SC−105、SC−1068、SC−381、SC−383、S−393、KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上、OMNOVA社製)等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開2015−117327号公報の段落番号0015〜0158に記載の化合物、特開2011−132503号公報の段落番号0117〜0132に記載の化合物を用いることもできる。フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開2011−89090号公報に記載された化合物が挙げられる。   Examples of the fluorosurfactant include Megafac F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F144, R30, F437, F475, F479, F482, F554, F780 (and above, DIC Corporation). Manufactured), FLORARD FC430, FC431, FC171 (manufactured by Sumitomo 3M Limited), Surflon S-382, SC-101, SC-103, SC-104, SC-105, SC-1068, SC-381, SC -383, S-393, KH-40 (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656, PF6320, PF6520, PF7002 (above, manufactured by OMNOVA). As the fluorine-based surfactant, the compounds described in JP-A-2015-117327, paragraphs 0015 to 0158, and the compounds described in JP-A-2011-132503, paragraphs 0117 to 0132 can also be used. A block polymer can also be used as the fluorosurfactant, and specific examples thereof include compounds described in JP-A-2011-89090.

フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、DIC(株)製のメガファックDSシリーズ(化学工業日報、2016年2月22日)(日経産業新聞、2016年2月23日)、例えばメガファックDS−21が挙げられ、これらを用いてもよい。   The fluorine-based surfactant has a molecular structure having a functional group containing a fluorine atom, and an acrylic compound in which the fluorine atom is volatilized by cleavage of the functional group containing the fluorine atom when heat is applied can be suitably used. . Examples of such a fluorosurfactant include Megafac DS series manufactured by DIC Corporation (Chemical Industry Daily, February 22, 2016) (Nikkei Sangyo Shimbun, February 23, 2016). -21, and these may be used.

フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位とを含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%は質量%である。

Figure 0006604928
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜50,000であり、例えば、14,000である。 The fluorine-based surfactant has a repeating unit derived from a (meth) acrylate compound having a fluorine atom and 2 or more (preferably 5 or more) alkyleneoxy groups (preferably ethyleneoxy group or propyleneoxy group) (meta). ) A fluorine-containing polymer compound containing a repeating unit derived from an acrylate compound can also be preferably used, and the following compounds are also exemplified as the fluorine-based surfactant used in the present invention. In the following formula,% indicating the ratio of repeating units is mass%.
Figure 0006604928
The weight average molecular weight of the above compound is preferably 3,000 to 50,000, for example, 14,000.

フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和結合を有する基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開2010−164965号公報の段落番号0050〜0090および段落番号0289〜0295に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばDIC(株)製のメガファックRS−101、RS−102、RS−718−K、RS−72−K等が挙げられる。   As the fluorosurfactant, a fluoropolymer having a group having an ethylenically unsaturated bond in the side chain can also be used. Specific examples thereof include compounds described in paragraph numbers 0050 to 0090 and paragraph numbers 0289 to 0295 of JP2010-164965A. Examples of commercially available products include Megafac RS-101, RS-102, RS-718-K, and RS-72-K manufactured by DIC Corporation.

ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF社製)、テトロニック304、701、704、901、904、150R1(BASF社製)、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製)、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002(和光純薬工業(株)製)、パイオニンD−6112、D−6112−W、D−6315(竹本油脂(株)製)、オルフィンE1010、サーフィノール104、400、440(日信化学工業(株)製)などが挙げられる。   Nonionic surfactants include glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane and their ethoxylates and propoxylates (for example, glycerol propoxylate, glycerol ethoxylate, etc.), polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, Polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester, Pluronic L10, L31, L61, L62, 10R5, 17R2, 25R2 (BASF ), Tetronic 304, 701, 704, 901, 904, 150R1 (BAS) ), Solsperse 20000 (manufactured by Nippon Lubrizol Co., Ltd.), NCW-101, NCW-1001, NCW-1002 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), Pionein D-6112, D-6112-W, D -6315 (manufactured by Takemoto Yushi Co., Ltd.), Olphine E1010, Surfynol 104, 400, 440 (manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) and the like.

カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株)製)等が挙げられる。   Examples of the cationic surfactant include organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid (co) polymer polyflow No. 75, no. 90, no. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.) and the like.

アニオン系界面活性剤としては、W004、W005、W017(裕商(株)製)、サンデットBL(三洋化成(株)製)等が挙げられる。   Examples of the anionic surfactant include W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), Sandet BL (manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd.), and the like.

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA、トーレシリコーンSH21PA、トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400(以上、東レ・ダウコーニング(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4460、TSF−4452(以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、KP341、KF6001、KF6002(以上、信越シリコーン株式会社製)、BYK307、BYK323、BYK330(以上、ビックケミー社製)等が挙げられる。   Examples of silicone-based surfactants include Torre Silicone DC3PA, Torre Silicone SH7PA, Torre Silicone DC11PA, Torre Silicone SH21PA, Torree Silicone SH28PA, Torree Silicone SH29PA, Torree Silicone SH30PA, Torree Silicone SH8400 (above, Toray Dow Corning Co., Ltd.) )), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4460, TSF-4442 (above, manufactured by Momentive Performance Materials), KP341, KF6001, KF6002 (above, manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) , BYK307, BYK323, BYK330 (above, manufactured by BYK Chemie) and the like.

界面活性剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.001〜0.2質量%が好ましく、0.0015〜0.1質量%がより好ましく、0.002〜0.05質量%が更に好ましい。
また、フッ素系界面活性剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.001〜0.2質量%が好ましく、0.0015〜0.1質量%がより好ましく、0.002〜0.05質量%が更に好ましい。
界面活性剤の含有量が上記範囲であれば、着色組成物の塗布性が良好であり、塗布ムラやストリエーションの発生をより効果的に抑制できる。
界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。2種類以上含む場合は合計量が上記範囲であることが好ましい。
The content of the surfactant is preferably 0.001 to 0.2% by mass, more preferably 0.0015 to 0.1% by mass, and more preferably 0.002 to 0.1% by mass with respect to the total solid content of the coloring composition. 05 mass% is still more preferable.
Moreover, 0.001-0.2 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition, and, as for content of a fluorochemical surfactant, 0.0015-0.1 mass% is more preferable, and 0.001. More preferably, it is 002 to 0.05% by mass.
If content of surfactant is the said range, the applicability | paintability of a coloring composition will be favorable, and generation | occurrence | production of a coating nonuniformity and striation can be suppressed more effectively.
Only one type of surfactant may be used, or two or more types may be combined. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

<<シランカップリング剤>>
本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応および/または縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられる。
<< Silane coupling agent >>
The coloring composition of the present invention can contain a silane coupling agent. In the present invention, the silane coupling agent means a silane compound having a hydrolyzable group and other functional groups. The hydrolyzable group refers to a substituent that is directly bonded to a silicon atom and can form a siloxane bond by a hydrolysis reaction and / or a condensation reaction. Examples of the hydrolyzable group include a halogen atom, an alkoxy group, and an acyloxy group.

シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも1種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、例えば、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業社製、KBM−602)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、KBM−603)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業社製、KBE−602)、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、KBM−903)、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業社製、KBE−903)、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、KBM−503)、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、KBM−403)等が挙げられる。シランカップリング剤の詳細については、特開2013−254047号公報の段落番号0155〜0158の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。   The silane coupling agent is composed of at least one group selected from a vinyl group, an epoxy group, a styryl group, a methacryl group, an amino group, an isocyanurate group, a ureido group, a mercapto group, a sulfide group, and an isocyanate group, and an alkoxy group. A silane compound having Specific examples of the silane coupling agent include, for example, N-β-aminoethyl-γ-aminopropylmethyldimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM-602), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyltri Methoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM-603), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyltriethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBE-602), γ-aminopropyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Industrial company KBM-903), γ-aminopropyltriethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., KBE-903), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., KBM-503), 3- Examples thereof include glycidoxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM-403). For details of the silane coupling agent, the description of paragraph numbers 0155 to 0158 in JP2013-254047A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

本発明の着色組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.001〜20質量%が好ましく、0.01〜10質量%がより好ましく、0.1〜5質量%が特に好ましい。本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を1種のみ含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。シランカップリング剤を2種以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。   When the coloring composition of this invention contains a silane coupling agent, 0.001-20 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition, and, as for content of a silane coupling agent, 0.01- 10 mass% is more preferable and 0.1-5 mass% is especially preferable. The coloring composition of this invention may contain only 1 type of silane coupling agents, and may contain 2 or more types. When two or more silane coupling agents are included, the total amount is preferably within the above range.

<<重合禁止剤>>
本発明の着色組成物は、重合禁止剤を含有することも好ましい。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)等が挙げられる。
本発明の着色組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.01〜5質量%が好ましい。本発明の着色組成物は、重合禁止剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
<< Polymerization inhibitor >>
The coloring composition of the present invention preferably contains a polymerization inhibitor. As a polymerization inhibitor, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine salt (ammonium salt, primary cerium salt, etc.) and the like.
When the coloring composition of this invention contains a polymerization inhibitor, 0.01-5 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition. The coloring composition of the present invention may contain only one type of polymerization inhibitor, or may contain two or more types. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

<<紫外線吸収剤>>
本発明の着色組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、共役ジエン系化合物が好ましい。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、UV−503(大東化学(株)製)などが挙げられる。また、紫外線吸収剤として、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。具体例としては特開2013−68814号公報に記載の化合物が挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)を用いてもよい。
<< UV absorber >>
The coloring composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber. The ultraviolet absorber is preferably a conjugated diene compound. As a commercial item of a ultraviolet absorber, UV-503 (Daito Chemical Co., Ltd. product) etc. are mentioned, for example. Further, as the ultraviolet absorber, an aminodiene compound, a salicylate compound, a benzophenone compound, a benzotriazole compound, an acrylonitrile compound, a triazine compound, or the like can be used. Specific examples thereof include compounds described in JP2013-68814A. Moreover, as a benzotriazole compound, you may use the MYUA series (Chemical Industry Daily, February 1, 2016) made from Miyoshi oil and fat.

本発明の着色組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.1〜10質量%が好ましく、0.1〜5質量%がより好ましく、0.1〜3質量%が特に好ましい。また、紫外線吸収剤は、1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。   When the coloring composition of this invention contains a ultraviolet absorber, 0.1-10 mass% is preferable with respect to the total solid of a coloring composition, and, as for content of a ultraviolet absorber, 0.1-5 mass % Is more preferable, and 0.1 to 3% by mass is particularly preferable. Moreover, only 1 type may be used for an ultraviolet absorber and 2 or more types may be used for it. When using 2 or more types, it is preferable that a total amount becomes the said range.

<<その他添加剤>>
本発明の着色組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加剤としては、特開2004−295116号公報の段落番号0155〜0156に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物(例えば特開2011−90147号公報の段落番号0042に記載の化合物)、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば(株)ADEKA製のアデカスタブシリーズ(AO−20、AO−30、AO−40、AO−50、AO−50F、AO−60、AO−60G、AO−80、AO−330など)が挙げられる。酸化防止剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。本発明の着色組成物は、特開2004−295116号公報の段落番号0078に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落番号0081に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
<< Other additives >>
Various additives, for example, fillers, adhesion promoters, antioxidants, anti-aggregation agents, and the like can be blended with the colored composition of the present invention as necessary. Examples of these additives include additives described in JP-A No. 2004-295116, paragraph numbers 0155 to 0156, the contents of which are incorporated herein. As the antioxidant, for example, a phenol compound, a phosphorus compound (for example, a compound described in paragraph No. 0042 of JP 2011-90147 A), a thioether compound, or the like can be used. Examples of commercially available products include ADEKA Corporation's ADK STAB series (AO-20, AO-30, AO-40, AO-50, AO-50F, AO-60, AO-60G, AO-80, AO- 330). Only one type of antioxidant may be used, or two or more types may be used. The coloring composition of the present invention can contain a sensitizer and a light stabilizer described in paragraph No. 0078 of JP-A No. 2004-295116 and a thermal polymerization inhibitor described in paragraph No. 0081 of the publication.

用いる原料等により着色組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、着色組成物中の第2族元素(カルシウム、マグネシウム等)の含有量は50質量ppm(perts per million)以下であることが好ましく、0.01〜10質量ppmがより好ましい。また、着色組成物中の無機金属塩の総量は100質量ppm以下であることが好ましく、0.5〜50質量ppmがより好ましい。   Depending on the raw materials used, the colored composition may contain a metal element, but from the viewpoint of suppressing the occurrence of defects, the content of the Group 2 elements (calcium, magnesium, etc.) in the colored composition is 50 ppm by mass ( pers per million) or less, more preferably 0.01 to 10 ppm by mass. Moreover, it is preferable that the total amount of the inorganic metal salt in a coloring composition is 100 mass ppm or less, and 0.5-50 mass ppm is more preferable.

<着色組成物の調製方法>
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に、溶解および/または分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解および/または分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜2つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して調製してもよい。
<Method for preparing colored composition>
The coloring composition of the present invention can be prepared by mixing the aforementioned components. In preparing the coloring composition, the respective components may be blended together, or may be blended sequentially after each component is dissolved and / or dispersed in a solvent. In addition, there are no particular restrictions on the charging order and working conditions when blending. For example, the composition may be prepared by dissolving and / or dispersing all the components in a solvent at the same time. If necessary, each component may be appropriately used as two or more solutions or dispersions at the time of use (application). May be prepared by mixing them.

着色組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素樹脂、ナイロン(例えばナイロン−6、ナイロン−6,6)等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度および/または超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む)等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)およびナイロンが好ましい。   In preparation of the coloring composition, it is preferable to filter with a filter for the purpose of removing foreign substances or reducing defects. Any filter can be used without particular limitation as long as it is a filter that has been conventionally used for filtration. For example, fluororesins such as polytetrafluoroethylene (PTFE), polyamide resins such as nylon (eg nylon-6, nylon-6,6), polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene (PP) (high density and / or super And a filter using a material such as a high molecular weight polyolefin resin). Among these materials, polypropylene (including high density polypropylene) and nylon are preferable.

フィルタの孔径は、0.01〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01〜3.0μm程度、より好ましくは0.05〜0.5μm程度である。   The pore size of the filter is suitably about 0.01 to 7.0 μm, preferably about 0.01 to 3.0 μm, more preferably about 0.05 to 0.5 μm.

また、フィルタとしては、ファイバ状のろ材を用いたフィルタを用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。ファイバ状のろ材を用いたフィルタとしては、具体的にはロキテクノ社製のSBPタイプシリーズ(SBP008など)、TPRタイプシリーズ(TPR002、TPR005など)、SHPXタイプシリーズ(SHPX003など)のフィルタカートリッジが挙げられる。   Moreover, it is also preferable to use the filter using a fiber-like filter medium as a filter. Examples of the fiber-shaped filter medium include polypropylene fiber, nylon fiber, and glass fiber. Specific examples of filters using fiber-shaped filter media include filter cartridges of SBP type series (SBP008, etc.), TPR type series (TPR002, TPR005, etc.), and SHPX type series (SHPX003, etc.) manufactured by Loki Techno. .

フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。
例えば、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社(DFA4201NXEYなど)、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)または株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
また、第1のフィルタでのろ過は、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタでろ過を行ってもよい。第2のフィルタとしては、第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
When using filters, different filters may be combined. In that case, filtration with each filter may be performed only once or may be performed twice or more.
For example, you may combine the filter of a different hole diameter within the range mentioned above. The pore diameter here can refer to the nominal value of the filter manufacturer. As a commercially available filter, for example, select from various filters provided by Nippon Pole Co., Ltd. (DFA4201NXEY, etc.), Advantech Toyo Co., Ltd., Japan Integris Co., Ltd. (formerly Nihon Microlith Co., Ltd.) or KITZ Micro Filter Co., Ltd. can do.
Moreover, filtration with a 1st filter may be performed only with a dispersion liquid, and after mixing other components, it may filter with a 2nd filter. As the second filter, a filter formed of the same material as the first filter can be used.

本発明の着色組成物の含水率は、通常3質量%以下であり、0.01〜1.5質量%が好ましく、0.1〜1.0質量%の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。   The water content of the colored composition of the present invention is usually 3% by mass or less, preferably 0.01 to 1.5% by mass, and more preferably 0.1 to 1.0% by mass. The water content can be measured by the Karl Fischer method.

<着色組成物の用途>
本発明の着色組成物はスピンコート用の組成物として好ましく用いることができる。また、本発明の着色組成物は、カラーフィルタにおける着色層の形成などに好ましく用いることができる。例えば、CCD(電荷結合素子)やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)などの固体撮像素子や、画像表示装置などのカラーフィルタ用として好ましく用いることができる。
<Use of colored composition>
The colored composition of the present invention can be preferably used as a composition for spin coating. The colored composition of the present invention can be preferably used for forming a colored layer in a color filter. For example, it can be preferably used for a solid-state imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device) or CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) or a color filter such as an image display device.

カラーフィルタの膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、20μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましい。   The film thickness of the color filter can be appropriately adjusted according to the purpose. The film thickness is preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less, and even more preferably 5 μm or less. The lower limit of the film thickness is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.2 μm or more, and further preferably 0.3 μm or more.

本発明の着色組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、70%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用(例えばイオン性不純物の低減)や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開2011−008004号公報の段落0243、特開2012−224847号公報の段落0123〜0129に記載の方法等で測定することができる。   When the colored composition of the present invention is used as a color filter for a liquid crystal display device, the voltage holding ratio of the liquid crystal display element provided with the color filter is preferably 70% or more, and more preferably 90% or more. . Known means for obtaining a high voltage holding ratio can be appropriately incorporated. Typical examples include the use of high-purity materials (for example, reduction of ionic impurities) and control of the amount of acidic functional groups in the composition. Is mentioned. The voltage holding ratio can be measured by, for example, the method described in paragraph 0243 of JP2011-008004A, paragraphs 0123 to 0129 of JP2012-224847A, and the like.

<膜>
本発明の膜は、本発明の着色組成物を硬化してなる膜である。本発明の膜は、膜の表面温度を25℃に調整した後、膜の表面に25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した膜に対する水の接触角が70度以下であることが好ましく、40〜67度であることがより好ましく、50〜65度であることが更に好ましい。この態様によれば、本発明の着色組成物を用いて膜を形成する際において、ストリエーションの発生をより効果的に抑制することができる。
<Membrane>
The film of the present invention is a film formed by curing the colored composition of the present invention. In the membrane of the present invention, after adjusting the surface temperature of the membrane to 25 ° C., 2 μL of 25 ° C. water was dropped on the membrane surface, and the contact angle of water with respect to the membrane measured 5 seconds later was 70 degrees or less. Preferably, it is 40 to 67 degrees, more preferably 50 to 65 degrees. According to this aspect, when forming a film | membrane using the coloring composition of this invention, generation | occurrence | production of striation can be suppressed more effectively.

<膜の製造方法>
本発明の膜の製造方法は、本発明の着色組成物を支持体に塗布する工程を含む。
<Method for producing membrane>
The manufacturing method of the film | membrane of this invention includes the process of apply | coating the coloring composition of this invention to a support body.

支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基材、CCDやCMOS等の固体撮像素子(受光素子)が設けられた固体撮像素子用基材、シリコン基材等が挙げられる。また、これらの基材上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。下塗り層としては、例えば、樹脂などの有機物を含むことが好ましい。すなわち、下塗り層は有機物層であることが好ましい。従来は、有機物層上に着色組成物を塗布した場合、ストリエーションが発生しやすい傾向にあったが、本発明の着色組成物によれば、有機物層などの下塗り層が形成された支持体上に着色組成物を塗布した場合であっても塗布ムラおよびストリエーションの発生を効果的に抑制できる。このため、本発明は着色組成物の塗布面に有機物層などの下塗り層が形成された支持体を用いた場合において特に効果的である。また、支持体における着色組成物の塗布面に段差がある場合、ストリエーションが特に発生しやすい傾向にあるが、本発明の着色組成物によれば、このような段差を有する支持体を用いた場合であってもストリエーションの発生を効果的に抑制できる。このため、本発明は段差を有する支持体を用いた場合において特に効果的である。   There is no limitation in particular as a support body, According to a use, it can select suitably. Examples thereof include a glass substrate, a substrate for a solid-state image sensor provided with a solid-state image sensor (light receiving element) such as a CCD or CMOS, a silicon substrate, and the like. In addition, an undercoat layer may be provided on these base materials, if necessary, for improving adhesion with the upper layer, preventing diffusion of substances, or flattening the surface. The undercoat layer preferably contains an organic substance such as a resin. That is, the undercoat layer is preferably an organic layer. Conventionally, when a colored composition is applied on an organic material layer, striations tend to occur. However, according to the colored composition of the present invention, on a support on which an undercoat layer such as an organic material layer is formed. Even when a colored composition is applied to the coating, it is possible to effectively suppress the occurrence of coating unevenness and striation. Therefore, the present invention is particularly effective when a support having an undercoat layer such as an organic layer formed on the coating surface of the colored composition is used. Further, when there is a step on the coating surface of the colored composition on the support, striations tend to occur particularly easily, but according to the colored composition of the present invention, a support having such a step was used. Even if it is a case, generation | occurrence | production of striation can be suppressed effectively. For this reason, the present invention is particularly effective when a support having a step is used.

着色組成物の塗布方法としては、スピンコート法、スリットコート法、インクジェット法などが挙げられる。従来は、塗布面に凹凸などの段差がある支持体上にスピンコート法で塗布した場合、ストリエーションが発生しやすい傾向にあったが、本発明によれば、スピンコート法で塗布した場合であっても、ストリエーションの発生を抑制できる。このため、スピンコート法で塗布する場合において特に顕著な効果が得られる。
また、スピンコート法での塗布は、50〜3000rpmでスピン塗布することが好ましく、500〜2000rpmでスピン塗布することがより好ましい。また、スピンコート時における支持体の温度は、10〜30℃が好ましく、15〜25℃がより好ましい。上記の範囲であれば、ストリエーションの発生をより効果的に抑制しやすい。
Examples of the method for applying the coloring composition include spin coating, slit coating, and ink jet. Conventionally, when applied by spin coating on a support having a step such as unevenness on the coated surface, striations tend to occur, but according to the present invention, when applied by spin coating. Even if it exists, generation | occurrence | production of striation can be suppressed. For this reason, a particularly remarkable effect can be obtained in the case of applying by spin coating.
In addition, the spin coating method is preferably performed by spin coating at 50 to 3000 rpm, and more preferably by spin coating at 500 to 2000 rpm. Moreover, 10-30 degreeC is preferable and the temperature of the support body at the time of spin coating has more preferable 15-25 degreeC. If it is said range, it will be easy to suppress generation | occurrence | production of striation more effectively.

塗布膜厚としては特に限定はない。用途により適宜調整できる。塗布膜厚は、0.2〜50μmが好ましい。下限は0.5μm以上がより好ましく、1.0μm以上がさらに好ましい。上限は、30μm以下がより好ましく、10μm以下がさらに好ましい。   There is no limitation in particular as a coating film thickness. It can be appropriately adjusted depending on the application. The coating film thickness is preferably 0.2 to 50 μm. The lower limit is more preferably 0.5 μm or more, and further preferably 1.0 μm or more. The upper limit is more preferably 30 μm or less, and further preferably 10 μm or less.

本発明の膜の製造方法においては、支持体上に塗布した着色組成物(着色組成物層)に対し、更に乾燥を行ってもよい。乾燥条件は、特に限定はない。例えば、乾燥温度は、150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、110℃以下がさらに好ましい。乾燥温度の下限は、例えば、50℃以上とすることができ、80℃以上とすることもできる。乾燥時間は、10秒〜300秒が好ましく、40〜250秒がより好ましく、80〜220秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。   In the manufacturing method of the film | membrane of this invention, you may dry further with respect to the coloring composition (coloring composition layer) apply | coated on the support body. The drying conditions are not particularly limited. For example, the drying temperature is preferably 150 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or lower, and even more preferably 110 ° C. or lower. The lower limit of the drying temperature can be, for example, 50 ° C. or higher, and can be 80 ° C. or higher. The drying time is preferably 10 seconds to 300 seconds, more preferably 40 to 250 seconds, and further preferably 80 to 220 seconds. Drying can be performed with a hot plate, oven, or the like.

本発明の膜の製造方法は、更にパターンを形成する工程を有していてもよい。なお、本発明の膜の製造方法により得られた膜を平坦膜として用いる場合には、パターンを形成する工程を行わなくてもよい。パターン形成方法としては、フォトリソグラフィ法や、ドライエッチング法を用いたパターン形成方法が挙げられる。   The method for producing a film of the present invention may further include a step of forming a pattern. In addition, when using the film | membrane obtained by the manufacturing method of the film | membrane of this invention as a flat film, the process of forming a pattern does not need to be performed. Examples of the pattern forming method include a photolithography method and a pattern forming method using a dry etching method.

フォトリソグラフィ法を用いたパターン形成方法としては、支持体上に形成された着色組成物層をパターン状に露光する工程(露光工程)と、着色組成物層の未露光部を現像除去してパターンを形成する工程(現像工程)とを含むことが好ましい。また、ドライエッチング法によるパターン形成は、支持体上に形成された着色組成物層を硬化して硬化物層を形成する工程と、硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして硬化物層をドライエッチングしてパターンを形成する工程とを含むことが好ましい。   As a pattern forming method using a photolithography method, a patterning process is performed by exposing a colored composition layer formed on a support in a pattern (exposure process), and an unexposed portion of the colored composition layer is developed and removed. It is preferable that the process (development process) is formed. The pattern formation by the dry etching method includes a step of curing the colored composition layer formed on the support to form a cured product layer, a step of forming a photoresist layer on the cured product layer, exposure and It is preferable to include a step of patterning the photoresist layer by development to obtain a resist pattern and a step of forming a pattern by dry etching the cured product layer using the resist pattern as an etching mask.

パターンを形成する工程を行った場合において、パターン形成後の膜(画素)は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、表面粗さRaが100nm以下であることが好ましく、40nm以下であることがより好ましく、15nm以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば0.1nm以上であることが好ましい。膜の表面粗さは、例えばVeeco社製のAFM(原子間力顕微鏡) Dimension3100を用いて測定することができる。   When the pattern forming step is performed, it is preferable that the film (pixel) after the pattern formation has high flatness. Specifically, the surface roughness Ra is preferably 100 nm or less, more preferably 40 nm or less, and even more preferably 15 nm or less. Although a minimum is not prescribed | regulated, it is preferable that it is 0.1 nm or more, for example. The surface roughness of the film can be measured using, for example, AFM (Atomic Force Microscope) Dimension 3100 manufactured by Veeco.

画素の体積抵抗値は高いことが望まれる。具体的には、画素の体積抵抗値は109Ω・cm以上であることが好ましく、1011Ω・cm以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば1014Ω・cm以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計5410(アドバンテスト社製)を用いて測定することができる。 It is desirable that the pixel has a high volume resistance value. Specifically, the volume resistance value of the pixel is preferably 10 9 Ω · cm or more, and more preferably 10 11 Ω · cm or more. The upper limit is not defined, for example, preferably not more than 10 14 Ω · cm. The volume resistance value of the pixel can be measured using, for example, an ultrahigh resistance meter 5410 (manufactured by Advantest).

(フォトリソグラフィ法)
フォトリソグラフィ法でパターン形成する場合、支持体上に形成された着色組成物層をパターン状に露光する。例えば、着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cm2が好ましく、0.05〜1.0J/cm2がより好ましい。
露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(例えば、15体積%、5体積%、実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(例えば、22体積%、30体積%、50体積%)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常1000W/m2〜100000W/m2(例えば、5000W/m2、15000W/m2、35000W/m2)の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m2、酸素濃度35体積%で照度20000W/m2などとすることができる。
(Photolithography method)
When pattern formation is performed by photolithography, the colored composition layer formed on the support is exposed in a pattern. For example, the colored composition layer can be exposed in a pattern by exposing it through a mask having a predetermined mask pattern using an exposure apparatus such as a stepper. Thereby, an exposed part can be hardened.
As radiation (light) that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-line and i-line are preferable (particularly preferably i-line). Irradiation dose (exposure dose), for example, preferably 0.03~2.5J / cm 2, 0.05~1.0J / cm 2 is more preferable.
The oxygen concentration at the time of exposure can be appropriately selected. In addition to being performed in the atmosphere, for example, in a low oxygen atmosphere having an oxygen concentration of 19% by volume or less (for example, 15% by volume, 5% by volume, substantially oxygen-free). ), Or in a high oxygen atmosphere (for example, 22% by volume, 30% by volume, 50% by volume) with an oxygen concentration exceeding 21% by volume. The exposure intensity is can be set appropriately, usually 1000W / m 2 ~100000W / m 2 ( e.g., 5000W / m 2, 15000W / m 2, 35000W / m 2) can be selected from the range of . Oxygen concentration and exposure illuminance may appropriately combined conditions, for example, illuminance 10000 W / m 2 at an oxygen concentration of 10 vol%, oxygen concentration of 35 vol% can be such illuminance 20000W / m 2.

次に、着色組成物層の未露光部を現像除去してパターンを形成する。着色組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上させるため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。   Next, the unexposed portion of the colored composition layer is developed and removed to form a pattern. The development removal of the unexposed part of the colored composition layer can be performed using a developer. The developer is preferably an organic alkali developer that does not damage the underlying solid-state imaging device or circuit. As for the temperature of a developing solution, 20-30 degreeC is preferable, for example. The development time is preferably 20 to 180 seconds. Moreover, in order to improve residue removability, the process of shaking off the developer every 60 seconds and supplying a new developer may be repeated several times.

現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス(2−ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、0.001〜10質量%が好ましく、0.01〜1質量%がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、上述した着色組成物で説明した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後、純水で洗浄(リンス)することが好ましい。   As the developer, an alkaline aqueous solution obtained by diluting an alkaline agent with pure water is preferably used. Examples of the alkaline agent include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, diglycolamine, diethanolamine, hydroxyamine, ethylenediamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxy. Organic alkaline compounds such as water, benzyltrimethylammonium hydroxide, dimethylbis (2-hydroxyethyl) ammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene, water Inorganic acids such as sodium oxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, sodium silicate, sodium metasilicate Potassium compounds may be mentioned. The concentration of the alkaline agent in the alkaline aqueous solution is preferably 0.001 to 10% by mass, and more preferably 0.01 to 1% by mass. Further, the developer may further contain a surfactant. Examples of the surfactant include the surfactant described in the above-described coloring composition, and a nonionic surfactant is preferable. In addition, when the developing solution which consists of such alkaline aqueous solution is used, it is preferable to wash | clean (rinse) with a pure water after image development.

現像後、乾燥を施した後に加熱処理(ポストベーク)を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば100〜240℃が好ましい。膜硬化の観点から、200〜230℃がより好ましい。ポストベーク後の膜のヤング率は0.5〜20GPaが好ましく、2.5〜15GPaがより好ましい。また、発光光源として有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合においては、ポストベーク温度としては、150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、100℃以下が更に好ましく、90℃以下が特に好ましい。下限は、例えば、50℃以上とすることができる。
ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、低温プロセスによりパターンを形成する場合は、ポストベークは行わなくてもよい。
After the development, after drying, a heat treatment (post-bake) can be performed. Post-baking is a heat treatment after development for complete film curing. When performing post-baking, the post-baking temperature is preferably 100 to 240 ° C, for example. From the viewpoint of film curing, 200 to 230 ° C. is more preferable. The Young's modulus of the film after post-baking is preferably 0.5 to 20 GPa, more preferably 2.5 to 15 GPa. Further, when an organic electroluminescence (organic EL) element is used as the light source or when the photoelectric conversion film of the image sensor is composed of an organic material, the post-bake temperature is preferably 150 ° C. or lower, preferably 120 ° C. or lower. Is more preferable, 100 ° C. or lower is further preferable, and 90 ° C. or lower is particularly preferable. The lower limit can be, for example, 50 ° C. or higher.
Post-baking can be carried out continuously or batchwise using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater, etc., so that the film after development is in the above-mentioned condition. . Further, when a pattern is formed by a low temperature process, post baking is not necessary.

(ドライエッチング法でパターン形成する場合)
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上に形成された着色組成物層を硬化して硬化物層を形成する工程と、硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして硬化物層をドライエッチングしてパターンを形成する工程とを含むことが好ましい。
(When pattern is formed by dry etching method)
The pattern formation by the dry etching method includes a step of curing a colored composition layer formed on a support to form a cured product layer, a step of forming a photoresist layer on the cured product layer, and exposure and development. Preferably, the method includes a step of patterning the photoresist layer to obtain a resist pattern and a step of forming a pattern by dry etching the cured product layer using the resist pattern as an etching mask.

フォトレジスト層は、硬化物層上にポジ型またはネガ型の感放射線性組成物を塗布し、これを乾燥させることによりフォトレジスト層を形成することが好ましい。フォトレジスト層の形成に用いる感放射線性組成物としては、ポジ型の感放射線性組成物が好ましく用いられる。ポジ型の感放射線性組成物としては、紫外線(g線、h線、i線)、KrF線、ArF線等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびX線等の放射線に感応する感放射線性組成物が好ましい。上述のポジ型の感放射線性組成物は、KrF線、ArF線、i線、X線)に感応する感放射線性組成物が好ましく、微細加工性の観点からKrF線に感応する感放射線性組成物がより好ましい。ポジ型の感光性樹脂組成物としては、特開2009−237173号公報や特開2010−134283号公報に記載のポジ型レジスト組成物が好適に用いられる。   The photoresist layer is preferably formed by applying a positive-type or negative-type radiation-sensitive composition on the cured product layer and drying it. As the radiation-sensitive composition used for forming the photoresist layer, a positive radiation-sensitive composition is preferably used. The positive radiation sensitive composition includes radiation sensitive to radiation such as ultraviolet rays (g rays, h rays, i rays), far ultraviolet rays including KrF rays, ArF rays, electron rays, ion beams and X rays. Is preferred. The above-mentioned positive radiation sensitive composition is preferably a radiation sensitive composition sensitive to KrF rays, ArF rays, i rays, X rays), and is sensitive to KrF rays from the viewpoint of fine workability. More preferred. As the positive photosensitive resin composition, positive resist compositions described in JP2009-237173A and JP2010-134283A are preferably used.

フォトレジスト層の形成において、感放射線性組成物の露光工程は、KrF線、ArF線、i線、X線などで行うことが好ましく、KrF線、ArF線、X線などで行うことがより好ましく、KrF線で行うことが更に好ましい。   In the formation of the photoresist layer, the exposure step of the radiation sensitive composition is preferably performed with KrF rays, ArF rays, i rays, X rays, etc., and more preferably with KrF rays, ArF rays, X rays, etc. More preferably, KrF line is used.

ドライエッチング法でのパターン形成については、特開2013−064993号公報の段落番号0010〜0067の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。   Regarding the pattern formation by the dry etching method, the description of paragraph numbers 0010 to 0067 of JP2013-064993A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

本発明の膜の製造方法を用いて、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置などを製造することもできる。   A color filter, a solid-state image sensor, an image display device, etc. can also be manufactured using the film manufacturing method of the present invention.

固体撮像素子の構成としては、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。   The configuration of the solid-state imaging device is not particularly limited as long as it is a configuration that functions as a solid-state imaging device, and examples thereof include the following configurations.

支持体上に、固体撮像素子(CCD(電荷結合素子)イメージセンサ、CMOS(相補型金属酸化膜半導体)イメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各画素を形成する膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する固体撮像素子の例としては、特開2012−227478号公報、特開2014−179577号公報に記載の装置が挙げられる。   A transfer electrode made of a plurality of photodiodes, polysilicon, and the like constituting a light receiving area of a solid-state imaging device (CCD (charge coupled device) image sensor, CMOS (complementary metal oxide semiconductor) image sensor, etc.)) on a support. Device protection consisting of silicon nitride, etc., which has a light-shielding film that opens only on the photodiode and the transfer electrode on the photodiode and the transfer electrode, and is formed on the light-shielding film so as to cover the entire surface of the light-shielding film and the photodiode light-receiving part It has a film, and has a color filter on the device protective film. Further, a configuration having a light condensing means (for example, a microlens, etc., the same applies hereinafter) on the device protective film and below the color filter (on the side close to the support), a structure having the light condensing means on the color filter, etc. It may be. In addition, the color filter may have a structure in which a film forming each pixel is embedded in a space partitioned by a partition, for example, in a lattice shape. The partition in this case preferably has a low refractive index for each pixel. Examples of the solid-state imaging device having such a structure include apparatuses described in JP 2012-227478 A and JP 2014-179577 A.

画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置は、特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。   Examples of the image display device include a liquid crystal display device and an organic electroluminescence display device. For the definition of the image display device and details of each image display device, refer to, for example, “Electronic Display Device (Akio Sasaki, published by Kogyo Kenkyukai 1990)”, “Display Device (written by Junaki Ibuki, Sangyo Tosho Co., Ltd.) ) "Issued in 1989"). The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to, for example, various types of liquid crystal display devices described in the “next-generation liquid crystal display technology”.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は、質量基準である。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.

<重量平均分子量の測定>
樹脂の重量平均分子量は、以下の方法で測定した。
カラムの種類:TOSOH TSKgel Super HZM−Hと、TOSOH TSKgel Super HZ4000と、TOSOH TSKgel Super HZ2000とを連結したカラム
展開溶媒:テトラヒドロフラン
カラム温度:40℃
流量(サンプル注入量):1.0μL(サンプル濃度:0.1質量%)
装置名:東ソー製 HLC−8220GPC
検出器:RI(屈折率)検出器
検量線ベース樹脂:ポリスチレン樹脂
<Measurement of weight average molecular weight>
The weight average molecular weight of the resin was measured by the following method.
Column type: TOSOH TSKgel Super HZM-H, TOSOH TSKgel Super HZ4000, and TOSOH TSKgel Super HZ2000 linked column developing solvent: Tetrahydrofuran Column temperature: 40 ° C.
Flow rate (sample injection amount): 1.0 μL (sample concentration: 0.1% by mass)
Device name: Tosoh HLC-8220GPC
Detector: RI (refractive index) detector Calibration curve Base resin: Polystyrene resin

<溶剤の表面張力の測定>
溶剤の表面張力は、測定装置として表面張力計CBVP−Z(協和界面科学(株)製)を用い、白金プレートを用いたプレート法で測定した。上記方法で測定した下記溶剤の25℃における表面張力は以下の通りである。

Figure 0006604928
PGMEAは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの略称である。
EEPは、3−エトキシプロピオン酸エチルの略称である。
PGMEはプロピレングリコールモノメチルエーテルの略称である。
PEは、プロピレングリコールモノエチルエーテルの略称である。
PnPは、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテルの略称である。
PnBは、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテルの略称である。
DMMは、ジプロピレングリコールジメチルエーテルの略称である。 <Measurement of surface tension of solvent>
The surface tension of the solvent was measured by a plate method using a platinum plate using a surface tension meter CBVP-Z (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) as a measuring device. The surface tension at 25 ° C. of the following solvents measured by the above method is as follows.
Figure 0006604928
PGMEA is an abbreviation for propylene glycol monomethyl ether acetate.
EEP is an abbreviation for ethyl 3-ethoxypropionate.
PGME is an abbreviation for propylene glycol monomethyl ether.
PE is an abbreviation for propylene glycol monoethyl ether.
PnP is an abbreviation for propylene glycol mono-n-propyl ether.
PnB is an abbreviation for propylene glycol mono-n-butyl ether.
DMM is an abbreviation for dipropylene glycol dimethyl ether.

[分散液1の調製]
C.I.ピグメントブルー15:6の10.2質量部と、C.I.ピグメントバイオレット23の1.27質量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)の24.42質量部と、シクロヘキサノンの14.62質量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルの1.03質量部と、樹脂P−1の2.54質量部とを混合し、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製))で、3時間、混合および分散して、分散液1を調製した。
樹脂P−1:下記構造の樹脂(重量平均分子量=14000、主鎖に付記した数値はモル比である)

Figure 0006604928
[Preparation of Dispersion 1]
C. I. Pigment blue 15: 6, 10.2 parts by mass; I. 1.27 parts by mass of Pigment Violet 23, 24.42 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), 14.62 parts by mass of cyclohexanone, 1.03 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether, and resin P 1 is mixed with 2.54 parts by mass and mixed and dispersed for 3 hours with a bead mill (high-pressure disperser NANO-3000-10 with a decompression mechanism (manufactured by Nippon BEE Co., Ltd.)). Prepared.
Resin P-1: Resin having the following structure (weight average molecular weight = 14000, the numerical values attached to the main chain are molar ratios)
Figure 0006604928

[着色組成物の調製]
下記表に示した材料を下記表に記載の質量部で配合して着色組成物を製造した。着色組成物の全固形分中における着色剤の含有量および界面活性剤の含有量をあわせて記す。

Figure 0006604928
[Preparation of colored composition]
The material shown in the following table | surface was mix | blended in the mass part as described in the following table | surface, and the coloring composition was manufactured. The content of the colorant and the content of the surfactant in the total solid content of the coloring composition are also described.
Figure 0006604928

上記表に記載の原料は以下の通りである。
(樹脂)
P−2:アクリキュアーRD−F8((株)日本触媒製)
(重合性化合物)
M−1:アロニックスTO−2349(東亞合成(株)製)
M−2:NKエステルA−DPH−12E(新中村化学工業(株)製)
(界面活性剤)
S−1:下記混合物(Mw=14000、繰り返し単位の割合を示す%は質量%である。)

Figure 0006604928
(光重合開始剤)
I−1:IRGACURE−OXE01(BASF社製) The raw materials described in the above table are as follows.
(resin)
P-2: ACRYCURE RD-F8 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.)
(Polymerizable compound)
M-1: Aronix TO-2349 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
M-2: NK ester A-DPH-12E (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
(Surfactant)
S-1: The following mixture (Mw = 14000,% indicating the ratio of repeating units is% by mass)
Figure 0006604928
(Photopolymerization initiator)
I-1: IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF)

<着色組成物の有機物層に対する接触角(接触角1)の測定>
ガラス基材上に、CT−4000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)を塗布し、220℃で5分加熱して形成した膜厚0.1μmの有機物層を形成した。この有機物層は、25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した水の有機物層に対する接触角が60〜80度であった。
次いで、形成した有機物層の表面温度を25℃に調整した後、有機物層の表面に25℃の着色組成物を2μL滴下した。有機物層の表面に着色組成物を滴下してから5秒後の着色組成物の有機物層に対する接触角を、接触角計(Drop Master701、協和界面科学株式会社製)を用いて測定した。
<Measurement of contact angle (contact angle 1) with respect to organic layer of colored composition>
On the glass substrate, CT-4000 (manufactured by Fuji Film Electronics Materials) was applied and heated at 220 ° C. for 5 minutes to form an organic layer having a thickness of 0.1 μm. This organic layer had a contact angle of 60 to 80 degrees with respect to the organic layer measured 5 seconds after dropping 2 μL of water at 25 ° C.
Subsequently, after adjusting the surface temperature of the formed organic layer to 25 ° C., 2 μL of a colored composition at 25 ° C. was dropped on the surface of the organic layer. The contact angle of the colored composition with respect to the organic layer 5 seconds after dropping the colored composition on the surface of the organic layer was measured using a contact angle meter (Drop Master 701, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.).

<着色組成物を用いて形成した膜に対する水の接触角(接触角2)の測定>
シリコンウエハ上に着色組成物を塗布し、100℃で180秒加熱して膜厚0.6μmの膜を形成した。この膜の表面温度を25℃に調整した後、膜の表面に25℃の水を2μL滴下した。膜表面に水を滴下してから5秒後の膜に対する水の接触角を、接触角計(Drop Master701、協和界面科学株式会社製)を用いて測定した。
<Measurement of water contact angle (contact angle 2) with respect to the film formed using the colored composition>
The coloring composition was applied onto a silicon wafer and heated at 100 ° C. for 180 seconds to form a film having a thickness of 0.6 μm. After adjusting the surface temperature of this film to 25 ° C., 2 μL of 25 ° C. water was dropped on the surface of the film. The contact angle of water to the membrane 5 seconds after dropping water on the membrane surface was measured using a contact angle meter (Drop Master 701, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.).

<ストリエーションおよび塗布ムラの評価>
エッチング法を用いて、大きさ3000μm×4000μm、深さ1.5μmの段差(凹部)パターンを、エッチング法を用いて8インチ(1インチ=2.54cm)シリコンウエハの全面に碁盤目状に形成した。段差と段差の間隔は100μmとした。
段差パターンを形成したシリコンウエハ上に、着色組成物をスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて100℃で120秒加熱した。その後、さらにホットプレートを用いて200℃で300秒加熱した。
図1に示す1〜28の箇所に位置する段差を選択し、この段差の角部を光学顕微鏡(50倍)で観察した。段差の角部は、4箇所ある角部のうち、シリコンウエハの中心から最も離れた部分の角部を観察し、以下の基準でストリエーションおよび塗布ムラを評価した。
(ストリエーションの評価)
A:図1における1〜28のいずれの部位においてもストリエーションが観察されなかった。
B:図1における1〜28のいずれかの部位においてストリエーションが観察された。
(塗布ムラの評価)
A:図1における1〜28のいずれの部位においても塗布ムラが観察されなかった。
B:図1における1〜28のいずれかの部位において塗布ムラが観察された。
<Evaluation of striation and coating unevenness>
Using an etching method, a step (recess) pattern having a size of 3000 μm × 4000 μm and a depth of 1.5 μm is formed in a grid pattern on the entire surface of an 8-inch (1 inch = 2.54 cm) silicon wafer using the etching method. did. The gap between the steps was set to 100 μm.
The colored composition was applied onto the silicon wafer on which the step pattern was formed by spin coating, and heated at 100 ° C. for 120 seconds using a hot plate. Thereafter, it was further heated at 200 ° C. for 300 seconds using a hot plate.
Steps located at 1 to 28 shown in FIG. 1 were selected, and the corners of the steps were observed with an optical microscope (50 times). Of the four corners, the corner of the step that was farthest from the center of the silicon wafer was observed, and the striation and coating unevenness were evaluated according to the following criteria.
(Evaluation of striation)
A: No striation was observed in any part of 1 to 28 in FIG.
B: Striation was observed at any one of sites 1 to 28 in FIG.
(Evaluation of coating unevenness)
A: Coating unevenness was not observed in any part of 1 to 28 in FIG.
B: Coating unevenness was observed in any one of 1 to 28 in FIG.

<分光特性の評価>
ガラス基材上に、着色組成物をスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて100℃で180秒加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、500mJ/cm2の露光量で露光した。次いで、ホットプレートを用いて220℃で300秒間加熱して膜厚0.6μmの平坦膜を製造した。得られた平坦膜について、大塚電子株式会社製マルチチャンネル分光器MCPD−3000を用い、波長400〜700nmの範囲の光の透過率を測定した。上記範囲における透過率の最も低い値が1.8%以上である場合をAとし、1.8%未満である場合をBとした。
<Evaluation of spectral characteristics>
The colored composition was applied onto a glass substrate by a spin coat method, and heated at 100 ° C. for 180 seconds using a hot plate. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), exposure was performed at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 . Subsequently, it heated at 220 degreeC for 300 second using the hotplate, and the flat film | membrane with a film thickness of 0.6 micrometer was manufactured. About the obtained flat film, the transmittance | permeability of the light of the wavelength range of 400-700 nm was measured using the Otsuka Electronics Co., Ltd. multichannel spectrometer MCPD-3000. The case where the lowest value of the transmittance in the above range was 1.8% or more was designated as A, and the case where it was less than 1.8% was designated as B.

Figure 0006604928
Figure 0006604928

上記結果より、実施例は、塗布性が良好で、塗布ムラおよびストリエーションの発生を抑制できた。さらには、分光特性も良好であった。   From the above results, the examples had good coating properties and could suppress the occurrence of coating unevenness and striation. Furthermore, the spectral characteristics were also good.

Claims (10)

着色剤Aと、樹脂Bと、硬化性化合物Cと、界面活性剤Dと、溶剤Eとを含む着色組成物であって、
前記着色組成物の全固形分中における前記着色剤Aの含有量が40質量%以下であり、
前記溶剤Eは、25℃における表面張力が26.0mN/m以上28.0mN/m以下の溶剤E1と、25℃における表面張力が26.0mN/m未満である溶剤E2とを含み、
下記工程1および工程2からなる方法で測定した着色組成物の接触角が0度を超え5.5度以下である、着色組成物;
工程1:ガラス基材上に、25℃の水を2μL滴下して5秒後に測定した水の有機物層に対する接触角が60〜80度である有機物層を形成する;
工程2:有機物層の温度を25℃に調整した後、有機物層の表面に25℃の着色組成物を2μL滴下して5秒後の着色組成物の有機物層に対する接触角を測定する。
A coloring composition comprising a coloring agent A, a resin B, a curable compound C, a surfactant D, and a solvent E,
The content of the colorant A in the total solid content of the coloring composition is 40% by mass or less,
The solvent E includes a solvent E1 having a surface tension at 25 ° C. of 26.0 mN / m or more and 28.0 mN / m or less, and a solvent E2 having a surface tension at 25 ° C. of less than 26.0 mN / m,
The coloring composition whose contact angle of the coloring composition measured by the method which consists of the following process 1 and process 2 is more than 0 degree and 5.5 degrees or less;
Step 1: 2 μL of 25 ° C. water is dropped on a glass substrate to form an organic layer having a contact angle of 60 to 80 degrees with respect to the organic layer measured after 5 seconds;
Process 2: After adjusting the temperature of an organic substance layer to 25 degreeC, 2 microliters of 25 degreeC coloring compositions are dripped at the surface of an organic substance layer, and the contact angle with respect to the organic substance layer of the coloring composition 5 seconds after is measured.
前記界面活性剤Dがフッ素系界面活性剤であり、前記着色組成物の全固形分中における前記界面活性剤Dの含有量が0.001〜0.20質量%である、請求項1に記載の着色組成物。   The said surfactant D is a fluorine-type surfactant, and content of the said surfactant D in the total solid of the said colored composition is 0.001-0.20 mass%. Coloring composition. スピンコート用である、請求項1または2に記載の着色組成物。 The coloring composition according to claim 1 or 2 , which is used for spin coating. 着色剤Aは青色顔料を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の着色組成物。The coloring composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the colorant A contains a blue pigment. 前記溶剤E2が酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸エチルおよび酢酸メチルから選ばれる少なくとも1種である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色組成物。The colored composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the solvent E2 is at least one selected from butyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate, ethyl acetate, and methyl acetate. 前記溶剤E2が酢酸ブチルである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色組成物。The coloring composition of any one of Claims 1-4 whose said solvent E2 is butyl acetate. 前記溶剤E1がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルから選ばれる少なくとも1種である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の着色組成物。The coloring composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the solvent E1 is at least one selected from propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monomethyl ether. 前記溶剤E1がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルから選ばれる少なくとも1種であり、前記溶剤E2が酢酸ブチルである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色組成物。The colored composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the solvent E1 is at least one selected from propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monomethyl ether, and the solvent E2 is butyl acetate. 請求項1〜のいずれか1項に記載の着色組成物を支持体に塗布する工程を含む、膜の製造方法。 The manufacturing method of a film | membrane including the process of apply | coating the coloring composition of any one of Claims 1-8 to a support body. 更に、パターンを形成する工程を含む、請求項に記載の膜の製造方法。 Furthermore, the manufacturing method of the film | membrane of Claim 9 including the process of forming a pattern.
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