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JP6605229B2 - Gas refinement device - Google Patents
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JP6605229B2 - Gas refinement device - Google Patents

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Description

本発明は、気体を微細化させて、液体に微細な気泡を発生させる、気体の微細化装置に係わる。   The present invention relates to a gas refining apparatus that generates a fine bubble in a liquid by refining the gas.

微細気泡は、微生物の培養による有用物質の生産や、高級仔魚の養殖、排水処理等、多くの分野にわたり利用が期待されている。   Microbubbles are expected to be used in many fields such as production of useful substances by culturing microorganisms, cultivation of high-quality larvae, and wastewater treatment.

液体槽の側面に連通した圧力槽に多孔ノズルを設けて、この多孔ノズルに振動源を密着させることにより、多孔ノズルを振動させて、多孔ノズルを通じて微細気泡を液体槽内に発生させる構成が提案されている(特許文献1を参照)。 A configuration is proposed in which a porous nozzle is provided in a pressure tank communicating with the side of the liquid tank, and a vibration source is brought into close contact with the porous nozzle, thereby vibrating the porous nozzle and generating fine bubbles in the liquid tank through the porous nozzle. (See Patent Document 1).

特開2009−78223号公報(図2)JP 2009-78223 A (FIG. 2)

しかしながら、特許文献1の構成では、液体槽に多孔ノズルが直接取り付けられており、多孔ノズルが振動している状態において、液体に対する封止性が考慮されていなかった。   However, in the configuration of Patent Document 1, the porous nozzle is directly attached to the liquid tank, and the sealing performance against the liquid is not taken into consideration when the porous nozzle is vibrating.

上述した問題の解決のために、本発明においては、液体に気泡を発生させることができ、液体に対する封止性を確保することができる、気体の微細化装置を提供するものである。   In order to solve the above-described problems, the present invention provides a gas micronization device that can generate bubbles in a liquid and ensure sealing performance against the liquid.

本発明の気体の微細化装置は、気体を微細化させて、微細な気泡を発生させる、気体微細化装置である。
そして、中央部に開口を有する圧電素子と、圧電素子の開口内に対応する部分に貫通孔を有し、圧電素子に重ねて配置され圧電素子の振動に伴い振動する、多孔振動板を有する。
また、圧電素子及び多孔振動板を収容する空間を備え、原料となる気体を多孔振動板に供給するための供給部を備えた、収容部を有する。
また、圧電素子及び/又は多孔振動板の少なくとも液体側を封止する封止材とを有し、この封止材は、圧電素子の開口側の端部に位置している。
さらに、圧電素子は、圧電素子及び/又は多孔振動板と封止材との接触部よりも外にある部分が、固定されていない自由端になっている。
The gas refining apparatus of the present invention is a gas refining apparatus that generates a fine bubble by refining a gas.
A piezoelectric element having an opening in the central portion and a perforated diaphragm having a through hole in a portion corresponding to the opening of the piezoelectric element and arranged so as to overlap with the piezoelectric element and vibrate with the vibration of the piezoelectric element.
Moreover, it has the accommodating part provided with the supply part for providing the space which accommodates a piezoelectric element and a porous diaphragm, and supplying the gas used as a raw material to a porous diaphragm.
In addition, a sealing material that seals at least the liquid side of the piezoelectric element and / or the porous diaphragm is provided, and this sealing material is located at the end of the opening side of the piezoelectric element.
Further, in the piezoelectric element, the portion outside the contact portion between the piezoelectric element and / or the porous diaphragm and the sealing material is a free end that is not fixed.

また、上述の本発明の気体の微細化装置において、さらに、多孔振動板が圧電素子の液体側に重ねて配置されている構成とすることも可能である。   Further, in the gas miniaturization apparatus of the present invention described above, it is also possible to adopt a configuration in which the porous diaphragm is arranged so as to overlap the liquid side of the piezoelectric element.

上述の本発明によれば、圧電素子及び/又は多孔振動板の液体側を封止する封止材を有する。これにより、封止材で十分な封止が得られ、液体に対する封止性を確保することができる。   According to the above-mentioned present invention, the sealing element for sealing the liquid side of the piezoelectric element and / or the porous diaphragm is provided. Thereby, sufficient sealing is obtained with the sealing material, and the sealing performance against the liquid can be ensured.

本発明の微細化装置の一実施の形態の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of an embodiment of a miniaturization apparatus of the present invention. 図1の微細化装置の圧電素子及び多孔振動板の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a piezoelectric element and a porous diaphragm of the miniaturization apparatus of FIG. 1. 図1の微細化装置の使用状態の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the use condition of the miniaturization apparatus of FIG. A、B 封止材の各種形態を示す図である。It is a figure which shows the various forms of A and B sealing materials. 封止材の各種形態を示す図である。It is a figure which shows the various forms of a sealing material. 封止材の各種形態を示す図である。It is a figure which shows the various forms of a sealing material. 本発明の微細化装置の他の実施の形態の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of other embodiment of the refinement | miniaturization apparatus of this invention. 本発明の微細化装置のさらに他の実施の形態の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of other embodiment of the refinement | miniaturization apparatus of this invention.

以下、発明を実施するための形態(以下、「実施の形態」とする)について説明する。   Hereinafter, modes for carrying out the invention (hereinafter referred to as “embodiments”) will be described.

本発明の気体の微細化装置(以下、「微細化装置」と略記する)の一実施の形態の概略断面図を、図1に示す。
図1に示す微細化装置10は、圧電素子11と、この圧電素子11の上側に重ねて配置された多孔振動板12を有して成る。
圧電素子11には、図中右端部に、圧電素子11に電圧を印加するための配線ケーブル14が接続されている。
多孔振動板12には、多数の微細な貫通孔13が形成されている。
FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of an embodiment of a gas refiner of the present invention (hereinafter abbreviated as “a refiner”).
A miniaturization apparatus 10 shown in FIG. 1 includes a piezoelectric element 11 and a porous diaphragm 12 disposed on the upper side of the piezoelectric element 11.
A wiring cable 14 for applying a voltage to the piezoelectric element 11 is connected to the piezoelectric element 11 at the right end in the figure.
A large number of fine through holes 13 are formed in the porous diaphragm 12.

圧電素子11としては、従来から公知の構成の圧電素子、例えば、セラミック製の圧電素子を使用することができる。
多孔振動板12の材料としては、金属材料を使用することができる。多孔振動板12に使用される金属材料としては、例えば、ステンレス、ニッケル、プラチナ族金属(パラジウム等)又はその合金(例えば、パラジウムとニッケルの合金)、金又はその合金、等が挙げられる。
多孔振動板12は、圧電素子11に接着や半田付けで固定される。
As the piezoelectric element 11, a piezoelectric element having a conventionally known configuration, for example, a ceramic piezoelectric element can be used.
As the material of the porous diaphragm 12, a metal material can be used. Examples of the metal material used for the porous diaphragm 12 include stainless steel, nickel, platinum group metal (such as palladium) or an alloy thereof (for example, an alloy of palladium and nickel), gold or an alloy thereof, and the like.
The porous diaphragm 12 is fixed to the piezoelectric element 11 by adhesion or soldering.

また、微細化装置10は、その本体が基材15によって構成されている。
基材15の中央部には、基材15の下部から上へ、縦に長く上端に開口を有する空間が形成されている。そして、基材15の上部には横に広い空間が形成されており、この空間に圧電素子11及び多孔振動板12が配置されており、基材15が圧電素子11及び多孔振動板12を収容する収容部となっている。
また、基材15の図中右側に、気体を多孔振動板12の下に供給する供給部16が設けられている。この供給部16は、基材15の外縁から基材15の中央部の空間への通路から成り、基材15の外縁において微細化装置10の外部から原料を供給する原料供給管(図3の原料供給管18を参照)に接続される。
基材15の材料としては、丈夫で化学的に安定した材料、例えば、ステンレス等の金属やエポキシ樹脂等の樹脂、又はシリコーンやゴム等の樹脂を使用することができる。
Further, the main body of the miniaturization apparatus 10 is constituted by a base material 15.
In the central portion of the base material 15, a space that is long in the vertical direction from the bottom of the base material 15 and has an opening at the upper end is formed. A wide space is formed in the upper part of the base material 15, and the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 are disposed in this space, and the base material 15 accommodates the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12. It is an accommodating part.
A supply unit 16 that supplies gas to the bottom of the porous diaphragm 12 is provided on the right side of the substrate 15 in the drawing. The supply unit 16 includes a passage from an outer edge of the base material 15 to a space in the center of the base material 15, and a raw material supply pipe (in FIG. Connected to the raw material supply pipe 18).
As the material of the base material 15, a strong and chemically stable material, for example, a metal such as stainless steel, a resin such as an epoxy resin, or a resin such as silicone or rubber can be used.

図1の微細化装置10の圧電素子11及び多孔振動板12の平面図を、図2に示す。
図1及び図2に示すように、圧電素子11は、中央に円形の開口11Aを有するドーナツ形状の円板とされている。
多孔振動板12は、ドーナツ形状の圧電素子11と一部が重なる円板である。多孔振動板12の貫通孔13は、多孔振動板12の中心付近の領域に形成され、圧電素子11の開口11Aに対応する部分に開口11Aの縁から内側に離れて形成されている。
A plan view of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 of the miniaturization apparatus 10 of FIG. 1 is shown in FIG.
As shown in FIGS. 1 and 2, the piezoelectric element 11 is a donut-shaped disk having a circular opening 11A in the center.
The porous diaphragm 12 is a disk that partially overlaps the doughnut-shaped piezoelectric element 11. The through hole 13 of the porous diaphragm 12 is formed in a region near the center of the porous diaphragm 12, and is formed in a portion corresponding to the opening 11A of the piezoelectric element 11 away from the edge of the opening 11A.

そして、本実施の形態の微細化装置10を使用する際には、基材15の供給部16から原料である気体を多孔振動板12の下に供給して、圧電素子11に電圧を印加して圧電素子11を振動させる。
これにより、圧電素子11に接続された多孔振動板12が振動して、多孔振動板12の貫通孔13から、気泡が多孔振動板12上の液体に供給される。
Then, when using the micronization apparatus 10 of the present embodiment, a gas as a raw material is supplied from the supply unit 16 of the base material 15 under the porous diaphragm 12 and a voltage is applied to the piezoelectric element 11. The piezoelectric element 11 is vibrated.
As a result, the porous diaphragm 12 connected to the piezoelectric element 11 vibrates, and bubbles are supplied from the through holes 13 of the porous diaphragm 12 to the liquid on the porous diaphragm 12.

本実施の形態の微細化装置10では、特に、圧電素子11及び多孔振動板12と、基材15との隙間を、封止材21で封止している。
封止材21は、圧電素子11又は多孔振動板12と接触し、圧電素子11及び多孔振動板12と基材15との隙間を埋めて形成されている。
封止材21は、圧電素子11の下面の一部と、多孔振動板12の上面の一部とにそれぞれ接触している。
それぞれの封止材21は、圧電素子11の開口11A側の端部(内周端部)に位置している。
そして、封止材21は、図示しないが、圧電素子11及び多孔振動板12と基材15との間を封止するために、圧電素子11の円形の開口11Aに沿って全周に形成されている。
In the miniaturization apparatus 10 of the present embodiment, in particular, the gap between the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 and the base material 15 is sealed with a sealing material 21.
The sealing material 21 is formed in contact with the piezoelectric element 11 or the porous diaphragm 12 and filling the gaps between the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 and the base material 15.
The sealing material 21 is in contact with part of the lower surface of the piezoelectric element 11 and part of the upper surface of the porous diaphragm 12.
Each sealing material 21 is located at an end (inner peripheral end) on the opening 11 </ b> A side of the piezoelectric element 11.
Although not shown, the sealing material 21 is formed on the entire circumference along the circular opening 11 </ b> A of the piezoelectric element 11 in order to seal between the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 and the base material 15. ing.

多孔振動板12とその上方の基材15との間の封止材21によって、多孔振動板12の液体側が封止されている。また、圧電素子11とその下方の基材15との間の封止材21によって、圧電素子11の気体側が封止されている。   The liquid side of the porous diaphragm 12 is sealed by a sealing material 21 between the porous diaphragm 12 and the base material 15 thereabove. Further, the gas side of the piezoelectric element 11 is sealed by a sealing material 21 between the piezoelectric element 11 and the base material 15 below the piezoelectric element 11.

圧電素子11のうち、封止材21との接触部よりも外の部分は、圧電素子11の外周端部まで空間に露出しており、圧電素子11の外周端部が自由端となっている。これにより、圧電素子11の封止材21との接触部よりも外の部分を十分に振動させることができる。
一方、圧電素子11の封止材21との接触部は、固定端となっているので、圧電素子11の振動の際には節となる。
Of the piezoelectric element 11, the portion outside the contact portion with the sealing material 21 is exposed to the space up to the outer peripheral end of the piezoelectric element 11, and the outer peripheral end of the piezoelectric element 11 is a free end. . Thereby, the part outside the contact part with the sealing material 21 of the piezoelectric element 11 can be sufficiently vibrated.
On the other hand, since the contact portion of the piezoelectric element 11 with the sealing material 21 is a fixed end, it becomes a node when the piezoelectric element 11 vibrates.

封止材21の材料としては、各種の樹脂やシリコーン、ゴム等を使用することができる。
さらに、封止材21は、強い振動や衝撃に対しても圧電素子11及び多孔振動板12との接触の状態を安定して保つことができるように、ある程度弾性を有していることが、より好ましい。このような弾性を有する材料としては、シリコーンやゴム等の弾性樹脂が適しており、上述したように基材15の材料としてシリコーンやゴム等の樹脂を使用すれば、封止材21を基材15と一体に形成することができる。
As the material of the sealing material 21, various resins, silicone, rubber and the like can be used.
Furthermore, the sealing material 21 has elasticity to some extent so that the state of contact with the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 can be stably maintained even against strong vibration or impact. More preferred. As such a material having elasticity, an elastic resin such as silicone or rubber is suitable. If a resin such as silicone or rubber is used as the material of the base material 15 as described above, the sealing material 21 is used as the base material. 15 can be formed integrally.

続いて、本実施の形態の微細化装置10の使用状態の一例を、図3に示す。
図3に示すように、水等の液体101が貯められた水槽100内の底部に、本実施の形態の微細化装置10が沈められている。
そして、原料である気体を、水槽100の外部から微細化装置10に供給する原料供給管18と、圧電素子11に電圧を印加するための配線ケーブル14が、水槽100内の微細化装置10に接続されている。
配線ケーブル14には、圧電素子11に印加する交流電圧を発振する、発振機17が接続されている。
原料供給管18には、圧力を調整する調圧器19を介して、原料容器20が接続されている。気体を原料として微細化装置10で気泡を作製する場合には、原料容器20にガスボンベ等を使用することができる。
Next, FIG. 3 shows an example of the usage state of the miniaturization apparatus 10 of the present embodiment.
As shown in FIG. 3, the miniaturization apparatus 10 of the present embodiment is submerged in the bottom of a water tank 100 in which a liquid 101 such as water is stored.
A raw material supply pipe 18 for supplying a gas as a raw material from the outside of the water tank 100 to the miniaturization apparatus 10 and a wiring cable 14 for applying a voltage to the piezoelectric element 11 are provided in the miniaturization apparatus 10 in the water tank 100. It is connected.
An oscillator 17 that oscillates an AC voltage applied to the piezoelectric element 11 is connected to the wiring cable 14.
A raw material container 20 is connected to the raw material supply pipe 18 via a pressure regulator 19 that adjusts the pressure. In the case where bubbles are produced by the micronizer 10 using gas as a raw material, a gas cylinder or the like can be used for the raw material container 20.

この状態で、原料容器20から調圧器19と原料供給管18を通じて、原料となる気体を微細化装置10に供給し、発振機17で発振された交流電圧を、配線ケーブル14を介して圧電素子11に印加する。これにより、多孔振動板12の貫通孔から気泡を発生させて、水槽100の液体101内に、気泡を供給することができる。   In this state, the raw material gas is supplied from the raw material container 20 to the micronizer 10 through the pressure regulator 19 and the raw material supply pipe 18, and the alternating voltage oscillated by the oscillator 17 is supplied to the piezoelectric element via the wiring cable 14. 11 is applied. Thereby, bubbles can be generated from the through holes of the porous diaphragm 12 and supplied to the liquid 101 of the water tank 100.

このように微細化装置10を使用することにより、微細化装置10本体を小型化しても、水槽100の液体101内に十分な量の気泡を供給することが可能になる。
また、使用後に、微細化装置10を水槽100から取り出して、別の水槽に微細化装置10を沈めて使用することもできる。
By using the miniaturization device 10 in this way, it is possible to supply a sufficient amount of bubbles into the liquid 101 of the water tank 100 even if the miniaturization device 10 body is downsized.
Further, after use, the miniaturization apparatus 10 can be taken out of the water tank 100, and the miniaturization apparatus 10 can be submerged in another water tank for use.

微細化装置10に気泡を供給する場合に、原料となる気体としては、空気の他、酸素、オゾン、窒素、二酸化炭素等を使用することが可能である。   When supplying bubbles to the micronizer 10, oxygen, ozone, nitrogen, carbon dioxide or the like can be used as the raw material gas in addition to air.

上述の本実施の形態の微細化装置10によれば、圧電素子11及び多孔振動板12と接触して、圧電素子11及び多孔振動板12の液体側及び気体側をそれぞれ封止する封止材21を設けたことにより、液体に対して十分な封止が得られる。
また、封止材21により、圧電素子11と配線ケーブル等との接続部への液体の浸入を防ぐことができるので、絶縁性も実現することができる。
さらに、封止材21は、圧電素子11の開口側の端部(内周端部)に位置しているので、圧電素子11及び多孔振動板12の振動が抑制されることなく、微細な気泡を十分な量発生させることが可能になる。
According to the above-described miniaturization apparatus 10 of the present embodiment, the sealing material that contacts the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 and seals the liquid side and the gas side of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 respectively. By providing 21, sufficient sealing against the liquid can be obtained.
In addition, since the sealing material 21 can prevent liquid from entering the connecting portion between the piezoelectric element 11 and the wiring cable or the like, insulation can also be realized.
Furthermore, since the sealing material 21 is located at the end (inner peripheral end) on the opening side of the piezoelectric element 11, the fine bubbles are generated without suppressing the vibration of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12. Can be generated in a sufficient amount.

本発明の気体の微細化装置10に用いられる圧電素子11には、表面に電極(一般に、銀又は銀を主とするペーストを焼成して形成された厚膜電極)が形成されている。この電極は、電解性の液中では、圧電素子11の駆動のための電界がかかることにより、腐食が起こりやすい。
この為、本実施の形態の微細化装置10では、圧電素子11の上側(液体側)に多孔振動板12を重ねて配置して、封止材21で多孔振動板12の液体側を封止したことにより、圧電素子11の電極が直接液体に曝されることを回避できるので、腐食信頼性を高めることができる。
なお、汚濁水の浄化、発酵等の用途では、電解性が高い液体と接触させることから、特に腐食信頼性を高める効果が発揮される。
An electrode (generally a thick film electrode formed by firing silver or a paste mainly composed of silver) is formed on the surface of the piezoelectric element 11 used in the gas miniaturization apparatus 10 of the present invention. This electrode is easily corroded in an electrolytic solution by applying an electric field for driving the piezoelectric element 11.
For this reason, in the miniaturization apparatus 10 of the present embodiment, the porous diaphragm 12 is placed on the upper side (liquid side) of the piezoelectric element 11 and the liquid side of the porous diaphragm 12 is sealed with the sealing material 21. As a result, the electrodes of the piezoelectric element 11 can be prevented from being directly exposed to the liquid, so that the corrosion reliability can be improved.
In applications such as purification of polluted water, fermentation, and the like, the effect of increasing the corrosion reliability is particularly exhibited because it is brought into contact with a liquid having high electrolysis.

また、本実施の形態の微細化装置10は、多孔振動板12を用いているため、目的とする気泡のみを微細化でき、供給先の液体に負荷をかけない。そのため、例えば、供給先の液体内の微生物等に悪影響を与えないで、気泡を発生させることが可能になる。   Further, since the micronization device 10 of the present embodiment uses the porous diaphragm 12, only the target bubbles can be miniaturized, and no load is applied to the supply destination liquid. Therefore, for example, it is possible to generate bubbles without adversely affecting microorganisms in the supply destination liquid.

また、本実施の形態の微細化装置10は、基本的に、基材15と圧電素子11と多孔振動板12と封止材21で微細化装置10を構成することができる。そして、圧電素子11及び多孔振動板12は直径1cm〜数cm程度の大きさでも、気体の微細化には十分であるため、微細化装置10を小型化することができる。
そして、微細化装置10を多数並べることにより、スケールアップも可能になる。
In addition, the miniaturization apparatus 10 of the present embodiment can basically configure the miniaturization apparatus 10 with the base material 15, the piezoelectric element 11, the porous diaphragm 12, and the sealing material 21. And even if the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 are about 1 cm to several cm in diameter, they are sufficient for gas miniaturization, so the miniaturization apparatus 10 can be miniaturized.
Further, by arranging a large number of miniaturization devices 10, it is possible to scale up.

図1では、封止材21が圧電素子11の下面及び多孔振動板12の上面に接触した構成であったが、封止材21が接触する対象は、この組み合わせに限定されない。封止材21により、多孔振動板12の液体側が封止されており、かつ、圧電素子11の開口11A側の端部に封止材21が位置している構成であればよい。例えば、圧電素子11及び多孔振動板12の上側に設ける封止材21が、多孔振動板12の上面から圧電素子11の上面にわたって接触する構成としても良い。   In FIG. 1, the sealing material 21 is in contact with the lower surface of the piezoelectric element 11 and the upper surface of the porous diaphragm 12, but the target with which the sealing material 21 comes into contact is not limited to this combination. Any configuration may be used as long as the liquid side of the porous diaphragm 12 is sealed by the sealing material 21 and the sealing material 21 is located at the end of the piezoelectric element 11 on the opening 11A side. For example, the sealing material 21 provided on the upper side of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 may be configured to contact from the upper surface of the porous diaphragm 12 to the upper surface of the piezoelectric element 11.

また、圧電素子11及び多孔振動板12は、封止材21によって基材15との間を封止することが可能である限り、様々な形状の構成を採用することができる。
例えば、圧電素子11の開口11Aは円形に限定されず、四角形等その他の形状でも良い。
また、図2では、多孔振動板12の貫通孔13が圧電素子11の開口11Aの縁から内側に離れて形成されていたが、例えば、多孔振動板12の貫通孔13を圧電素子11の開口11A内に均等に形成してもよい。
In addition, the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 can employ various configurations as long as the sealing material 21 can seal the substrate 15.
For example, the opening 11A of the piezoelectric element 11 is not limited to a circle, and may be other shapes such as a rectangle.
In FIG. 2, the through hole 13 of the porous diaphragm 12 is formed inwardly from the edge of the opening 11 </ b> A of the piezoelectric element 11. For example, the through hole 13 of the porous diaphragm 12 is formed at the opening of the piezoelectric element 11. You may form uniformly in 11A.

図1では、多孔振動板12の上側(液体側)の封止材21と、圧電素子11の下側(気体側)の封止材21とを、同じ構成としていた。
圧電素子11及び多孔振動板12から成る振動素子の上から水圧がかかる際には、水圧によって振動素子が下方に変位する。この為、水圧による振動素子の変位に対応して、振動素子の上下の封止材21を異なる構成とした方がよい。例えば、振動素子の上の封止材21を振動素子の下の封止材21よりも長くした構成や、振動素子の下の封止材21よりも振動素子の上の封止材21が低い硬度とした構成が考えられる。
In FIG. 1, the sealing material 21 on the upper side (liquid side) of the porous diaphragm 12 and the sealing material 21 on the lower side (gas side) of the piezoelectric element 11 have the same configuration.
When water pressure is applied from above the vibration element including the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12, the vibration element is displaced downward by the water pressure. For this reason, it is better that the upper and lower sealing materials 21 of the vibration element have different configurations corresponding to the displacement of the vibration element due to water pressure. For example, the sealing material 21 above the vibration element is longer than the sealing material 21 below the vibration element, or the sealing material 21 above the vibration element is lower than the sealing material 21 below the vibration element. A configuration with hardness is conceivable.

図1〜図2に示した実施の形態の微細化装置10では、封止材21が圧電素子11及び多孔振動板12に接触した構成であった。本発明の微細化装置において、封止材21の形状や振動素子(圧電素子及び多孔振動板)と封止材との接触状態は、図1〜図2に示した実施の形態の構成に限定されるものではない。   In the miniaturization apparatus 10 of the embodiment shown in FIGS. 1 to 2, the sealing material 21 is in contact with the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12. In the miniaturization apparatus of the present invention, the shape of the sealing material 21 and the contact state between the vibration element (piezoelectric element and porous diaphragm) and the sealing material are limited to the configuration of the embodiment shown in FIGS. Is not to be done.

次に、振動素子の液体側に設ける封止材の各種形態を、図4A〜図4B、図5、図6に、それぞれ示す。なお、これら各図において、気泡1と基材15と圧電素子11と多孔振動板12は図1と同じ符号を使用している。   Next, various forms of the sealing material provided on the liquid side of the vibration element are shown in FIGS. 4A to 4B, 5, and 6. In these drawings, the same reference numerals as those in FIG. 1 are used for the bubbles 1, the base material 15, the piezoelectric element 11, and the porous diaphragm 12.

図4Aに示す形態は、振動素子との接触部を細い二重の円筒表面とした、封止材41を使用したものである。
図4Bに示す形態は、図1と同じ封止材21を、弾性接着樹脂からなる接着材42で振動素子の多孔振動板12に固着したものである。この図4Bに示す形態のように、封止材21の接触部を弾性接着樹脂からなる接着材42で固着すれば、振動素子に対する接触幅を増やしたり、封止の耐圧を高めたりするなど、封止性を向上させることができるため、振動効率が高い状態で封止性(防水性)を維持することができる。
The form shown in FIG. 4A uses a sealing material 41 in which the contact portion with the vibration element is a thin double cylindrical surface.
In the form shown in FIG. 4B, the same sealing material 21 as in FIG. 1 is fixed to the porous diaphragm 12 of the vibration element with an adhesive 42 made of an elastic adhesive resin. As shown in FIG. 4B, if the contact portion of the sealing material 21 is fixed with the adhesive 42 made of an elastic adhesive resin, the contact width with respect to the vibration element is increased, the pressure resistance of the sealing is increased, Since the sealing performance can be improved, the sealing performance (waterproofness) can be maintained with high vibration efficiency.

図5に示す形態は、振動素子の上側を図1と同じ封止材21として、振動素子の下側を、振動素子と接触して下から保持するだけで封止しない、保持材43とした構成である。振動素子の上側は液体側であるので封止が必要であるが、振動素子の下側は気体側であるので封止していなくても構わない。図5では、振動素子の圧電素子11が保持材43の上に載置されている。
また、基材15は、上側の基材15Aと下側の基材15Bとがボルト50を用いて接合されている。基材15がこのような構成であるため、上下の基材15A,15Bを組み立てる際に、振動素子がずれないように、保持材43を活用することも考えられる。
In the form shown in FIG. 5, the upper side of the vibration element is the same sealing material 21 as that of FIG. It is a configuration. Since the upper side of the vibration element is on the liquid side, sealing is necessary. However, since the lower side of the vibration element is on the gas side, it may not be sealed. In FIG. 5, the piezoelectric element 11 of the vibration element is placed on the holding material 43.
In the base material 15, the upper base material 15 </ b> A and the lower base material 15 </ b> B are joined using bolts 50. Since the base material 15 has such a configuration, it is conceivable to use the holding material 43 so that the vibration elements do not shift when the upper and lower base materials 15A and 15B are assembled.

図6に示す形態は、振動素子の上側は図4Bと同様に、封止材21を接着材42で振動素子に固着しており、図5に示した保持材43を不要にしたものである。   In the form shown in FIG. 6, the sealing material 21 is fixed to the vibration element with the adhesive 42 on the upper side of the vibration element as in FIG. 4B, and the holding material 43 shown in FIG. 5 is not necessary. .

この形態では、振動素子と基材15との間に隙間があり、振動素子は基材15とは接していない。この為、振動素子を自由に振動しやすくすることができる。また、気体の微細化装置の構造や組み立てにとって設計の自由度が高まる。   In this embodiment, there is a gap between the vibration element and the base material 15, and the vibration element is not in contact with the base material 15. For this reason, the vibration element can be easily vibrated freely. In addition, the degree of design freedom is increased for the structure and assembly of the gas micronizer.

上述した図4A〜図4B、図5、図6に示した各形態は、いずれも、図1〜図2に示した微細化装置10と同様に、圧電素子11の開口11A側の端部に封止材21が位置している。   Each of the forms shown in FIGS. 4A to 4B, 5, and 6 described above is provided at the end of the piezoelectric element 11 on the opening 11 </ b> A side, similarly to the miniaturization apparatus 10 shown in FIGS. 1 to 2. The sealing material 21 is located.

次に、本発明の微細化装置の他の実施の形態の概略断面図を、図7に示す。
図7に示す微細化装置30は、図1〜図2の微細化装置10の封止材21の代わりに、Oリングを使用して、封止材45を構成している。
封止材45は、多孔振動板12の上側(液体側)と圧電素子11の下側(気体側)に設けられていて、多孔振動板12の液体側と圧電素子11の気体側を封止している。それぞれの封止材45は、圧電素子11の開口11A側の端部(内周端部)に位置している。
そして、Oリングからなる封止材45は、図示しないが、圧電素子11の円形の開口11Aに沿ってリング状に全周に形成されている。
Next, FIG. 7 shows a schematic cross-sectional view of another embodiment of the miniaturization apparatus of the present invention.
7 uses the O-ring instead of the sealing material 21 of the microfabrication apparatus 10 of FIGS. 1-2, and has comprised the sealing material 45. In FIG.
The sealing material 45 is provided on the upper side (liquid side) of the porous diaphragm 12 and the lower side (gas side) of the piezoelectric element 11, and seals the liquid side of the porous diaphragm 12 and the gas side of the piezoelectric element 11. is doing. Each sealing material 45 is located at the end (inner peripheral end) on the opening 11 </ b> A side of the piezoelectric element 11.
The sealing material 45 made of an O-ring is formed on the entire circumference in a ring shape along the circular opening 11A of the piezoelectric element 11 (not shown).

また、図7に示す微細化装置30は、圧電素子11の外側の基材15の上に、小さい径のOリング46を介して、上部の基材48を配置している。また、配線ケーブル14は、基材15に開けた穴に通して、穴を充填材47で埋めている。
その他の構成は、図1〜図2に示した実施の形態の微細化装置10と同様であるので、重複説明を省略する。
In the miniaturization apparatus 30 shown in FIG. 7, an upper base material 48 is disposed on the base material 15 outside the piezoelectric element 11 via an O-ring 46 having a small diameter. Further, the wiring cable 14 is passed through a hole formed in the base material 15, and the hole is filled with a filler 47.
Other configurations are the same as those of the miniaturization apparatus 10 of the embodiment shown in FIGS.

本実施の形態の微細化装置30によれば、圧電素子11及び多孔振動板12と接触して、圧電素子11及び多孔振動板12の液体側及び気体側をそれぞれ封止する封止材45を設けたことにより、液体に対して十分な封止が得られる。
また、封止材45により、圧電素子11と配線ケーブル等との接続部への液体の浸入を防ぐことができるので、絶縁性も実現することができる。
さらに、封止材45は、圧電素子11の開口11A側の端部(内周端部)に位置しているので、圧電素子11及び多孔振動板12の振動が抑制されることなく、微細な気泡を十分な量発生させることが可能になる。
According to the miniaturization apparatus 30 of the present embodiment, the sealing material 45 that contacts the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 and seals the liquid side and the gas side of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 respectively. By providing, sufficient sealing with respect to the liquid can be obtained.
In addition, since the sealing material 45 can prevent liquid from entering the connecting portion between the piezoelectric element 11 and the wiring cable or the like, insulation can also be realized.
Further, since the sealing material 45 is located at the end (inner peripheral end) of the piezoelectric element 11 on the opening 11A side, the vibration of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 is not suppressed, and the sealing material 45 is fine. A sufficient amount of bubbles can be generated.

本発明の微細化装置のさらに他の実施の形態の概略断面図を、図8に示す。
図8に示す微細化装置40は、図1〜図2の微細化装置10に対して、圧電素子11と多孔振動板12の上下を逆にして、圧電素子11を多孔振動板12の上側、即ち液体側に重ねて配置している。
FIG. 8 shows a schematic cross-sectional view of still another embodiment of the miniaturization apparatus of the present invention.
The micronization device 40 shown in FIG. 8 has the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 upside down with respect to the micronization apparatus 10 of FIGS. That is, they are arranged on the liquid side.

封止材21は、圧電素子11の上面の一部と、多孔振動板12の下面の一部とにそれぞれ接触している。
圧電素子11とその上方の基材15との間の封止材21によって、圧電素子11の液体側が封止されている。また、多孔振動板12とその下方の基材15との間の封止材21によって、多孔振動板12の気体側が封止されている。
The sealing material 21 is in contact with part of the upper surface of the piezoelectric element 11 and part of the lower surface of the porous diaphragm 12.
The liquid side of the piezoelectric element 11 is sealed by a sealing material 21 between the piezoelectric element 11 and the base material 15 thereabove. In addition, the gas side of the porous diaphragm 12 is sealed by a sealing material 21 between the porous diaphragm 12 and the base material 15 below the porous diaphragm 12.

本実施の形態の微細化装置40では、圧電素子11を液体側に配置しているため、圧電素子11の開口側の端部(特に、圧電素子11の上面の内周端部や開口の側面)が液体に露出している。そのため、圧電素子11のうち液体に露出している部分では、圧電素子の電極の腐食を防ぐために、電極を当該部分には設けないことや、液体が直接電極に触れないように当該部分に厚さ数μm〜数十μmの絶縁性のオーバーコートを設けることが考えられる。オーバーコートの材料としては、ガラス、耐水性樹脂が用いられる。
なお、このオーバーコートは、その剛性が振動の抵抗になり、振動効率を下げる原因となりうる。従って、圧電素子11の液体に露出していない部分には、オーバーコートを設けないことが望ましい。
In the miniaturization apparatus 40 of the present embodiment, since the piezoelectric element 11 is arranged on the liquid side, the end of the piezoelectric element 11 on the opening side (in particular, the inner peripheral end of the upper surface of the piezoelectric element 11 and the side surface of the opening). ) Is exposed to liquid. Therefore, in the portion of the piezoelectric element 11 exposed to the liquid, in order to prevent corrosion of the electrode of the piezoelectric element, the electrode is not provided in the portion, or the portion is thickened so that the liquid does not directly touch the electrode. It is conceivable to provide an insulating overcoat with a thickness of several μm to several tens of μm. As the overcoat material, glass or water-resistant resin is used.
In addition, the rigidity of this overcoat becomes resistance to vibration, which can cause a decrease in vibration efficiency. Therefore, it is desirable not to provide an overcoat on the portion of the piezoelectric element 11 that is not exposed to the liquid.

その他の構成は、図1〜図2に示した実施の形態の微細化装置10と同様であるので、重複説明を省略する。   Other configurations are the same as those of the miniaturization apparatus 10 of the embodiment shown in FIGS.

本実施の形態の微細化装置40によれば、圧電素子11及び多孔振動板12と接触して、圧電素子11及び多孔振動板12の液体側及び気体側をそれぞれ封止する封止材21を設けたことにより、液体に対して十分な封止が得られる。
また、封止材21により、圧電素子11と配線ケーブル等との接続部への液体の浸入を防ぐことができるので、絶縁性も実現することができる。
さらに、封止材21は、圧電素子11の開口11A側の端部(内周端部)に位置しているので、圧電素子11及び多孔振動板12の振動が抑制されることなく、微細な気泡を十分な量発生させることが可能になる。
According to the miniaturization apparatus 40 of the present embodiment, the sealing material 21 that contacts the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 and seals the liquid side and the gas side of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 respectively. By providing, sufficient sealing with respect to the liquid can be obtained.
In addition, since the sealing material 21 can prevent liquid from entering the connecting portion between the piezoelectric element 11 and the wiring cable or the like, insulation can also be realized.
Furthermore, since the sealing material 21 is located at the end (inner peripheral end) of the piezoelectric element 11 on the opening 11A side, the vibration of the piezoelectric element 11 and the porous diaphragm 12 is not suppressed, and the sealing material 21 is fine. A sufficient amount of bubbles can be generated.

なお、図1に示した微細化装置10のように、圧電素子11の上側(液体側)に多孔振動板12を重ねて配置して、封止材21で多孔振動板12の液体側を封止した場合には、圧電素子11の電極が直接液体に曝されることを回避できる。従って、図1に示した微細化装置10のように多孔振動板12を液体側に配置した場合には、圧電素子11にオーバーコートが形成されていない構成や、圧電素子11に薄いオーバーコートが形成されている構成であっても、腐食信頼性を高めることができる。   As in the miniaturization apparatus 10 shown in FIG. 1, the porous diaphragm 12 is placed on the upper side (liquid side) of the piezoelectric element 11, and the liquid side of the porous diaphragm 12 is sealed with the sealing material 21. When stopped, it can be avoided that the electrode of the piezoelectric element 11 is directly exposed to the liquid. Therefore, when the porous diaphragm 12 is arranged on the liquid side as in the miniaturization apparatus 10 shown in FIG. 1, the piezoelectric element 11 has no overcoat, or the piezoelectric element 11 has a thin overcoat. Even if it is the structure currently formed, corrosion reliability can be improved.

上述の各実施の形態の微細化装置10,30,40では、圧電素子11の右端部の上下に配線ケーブル14を接続し、配線ケーブル14を圧電素子11の右側の基材15に通していた。本発明の微細化装置において、圧電素子と配線ケーブルの接続位置や配線ケーブルの基材への通し方は、これらの実施の形態の構成に限定されるものではない。   In the miniaturization apparatuses 10, 30, and 40 of the above-described embodiments, the wiring cable 14 is connected above and below the right end portion of the piezoelectric element 11, and the wiring cable 14 is passed through the base material 15 on the right side of the piezoelectric element 11. . In the miniaturization apparatus of the present invention, the connection position of the piezoelectric element and the wiring cable and the way of passing the wiring cable through the base material are not limited to the configurations of these embodiments.

本発明の微細化装置の使用形態は、図3に示したように水槽100等の液体槽内の底部に沈めた形態に限定されるものではない。
例えば、特許文献1の構成のように、本発明の微細化装置を液体槽の側面に設けてもよい。
この場合、振動素子の圧電素子及び多孔振動板のうち、液体側の方が液体槽の内側に配置され、気体側の方が液体槽の外側に配置される。
微細化装置を液体槽の側面に設けた構成としては、基材を液体槽の側面に取り付けた構成や、液体槽の側面が基材を兼ねる構成が考えられる。いずれの構成の場合も、本発明の微細化装置を液体槽の側面に設けることにより、振動素子の液体側が封止材で封止されているので、液体槽の側面に直接多孔振動板を接続した特許文献1の構成と比較して、液体側の封止を確実に行うことができる。
The usage mode of the micronizing apparatus of the present invention is not limited to the mode of sinking in the bottom of a liquid tank such as the water tank 100 as shown in FIG.
For example, as in the configuration of Patent Document 1, the miniaturization apparatus of the present invention may be provided on the side surface of the liquid tank.
In this case, among the piezoelectric element and the porous diaphragm of the vibration element, the liquid side is disposed inside the liquid tank, and the gas side is disposed outside the liquid tank.
As a configuration in which the micronization device is provided on the side surface of the liquid tank, a configuration in which the base material is attached to the side surface of the liquid tank or a configuration in which the side surface of the liquid tank also serves as the base material can be considered. In any case, since the liquid side of the vibration element is sealed with the sealing material by providing the micronization device of the present invention on the side surface of the liquid tank, the porous diaphragm is directly connected to the side surface of the liquid tank. As compared with the configuration of Patent Document 1, the liquid-side sealing can be reliably performed.

本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various other configurations can be taken without departing from the gist of the present invention.

本発明の気体の微細化装置は、例えば、食品(酢醸造、微生物利用による有用物質生産)、養殖(特に高級魚の仔魚の生存率向上、病原菌の制菌効果の向上)、冷却水設備(微生物制御による熱交換効率向上)、飲料水(浄水膜の詰まり抑制、微生物制御)、廃水処理(送気により微生物の分解向上、微細オゾンにより分解性向上)等、様々な分野において有用である。   The gas refinement apparatus of the present invention includes, for example, food (vinegar brewing, production of useful substances using microorganisms), aquaculture (especially improving the survival rate of high-grade fish larvae, improving the bactericidal effect of pathogenic bacteria), cooling water equipment (microorganisms) It is useful in various fields such as heat exchange efficiency improvement by control), drinking water (inhibition of clogging of water purification membrane, microbial control), and wastewater treatment (improvement of decomposition of microorganisms by air supply, improvement of decomposability by fine ozone).

10,30,40 微細化装置、11 圧電素子、12 多孔振動板、13 貫通孔、14 配線ケーブル、15 基材、16 供給部、17 発振機、18 原料供給管、19 調圧器、20 原料容器、21,41 封止材、42 接着材、43 保持材、45 封止材(Oリング)、100 水槽、101 液体 10, 30, 40 Micronizer, 11 Piezoelectric element, 12 Porous diaphragm, 13 Through hole, 14 Wiring cable, 15 Substrate, 16 Supply unit, 17 Oscillator, 18 Raw material supply pipe, 19 Pressure regulator, 20 Raw material container 21, 41 Sealing material, 42 Adhesive material, 43 Holding material, 45 Sealing material (O-ring), 100 Water tank, 101 Liquid

Claims (2)

気体を微細化させて、微細な気泡を液体中に発生させる、気体の微細化装置であって、
中央部に開口を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記開口内に対応する部分に貫通孔を有し、前記圧電素子に重ねて配置され前記圧電素子の振動に伴い振動する、多孔振動板と、
前記圧電素子及び前記多孔振動板を収容する空間を備え、原料となる気体を前記多孔振動板に供給するための供給部を備えた、収容部と、
前記圧電素子及び/又は前記多孔振動板の少なくとも液体側を封止する封止材とを有し、
前記封止材は、前記圧電素子の前記開口側の端部に位置し、
前記圧電素子は、前記圧電素子及び/又は前記多孔振動板と前記封止材との接触部よりも外にある部分が、固定されていない自由端になっている
気体の微細化装置。
A gas refining device that generates a fine bubble in a liquid by refining a gas,
A piezoelectric element having an opening in the center;
A perforated diaphragm having a through hole in a portion corresponding to the opening of the piezoelectric element, and being arranged so as to overlap the piezoelectric element, and vibrates with vibration of the piezoelectric element;
A housing section comprising a space for housing the piezoelectric element and the porous diaphragm, and a supply section for supplying a gas as a raw material to the porous diaphragm;
A sealing material for sealing at least the liquid side of the piezoelectric element and / or the porous diaphragm;
The sealing material is located at an end of the piezoelectric element on the opening side ,
The piezoelectric element is a gas miniaturization apparatus in which a portion outside the contact portion between the piezoelectric element and / or the porous diaphragm and the sealing material is a free end that is not fixed .
前記多孔振動板が、前記圧電素子の前記液体側に重ねて配置されている請求項1に記載の気体の微細化装置。   The gas refining apparatus according to claim 1, wherein the porous diaphragm is disposed so as to overlap the liquid side of the piezoelectric element.
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