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JP6629447B2 - Method for manufacturing an electrical device having a coating - Google Patents
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Description

本発明は、被覆材により少なくとも部分的に被覆された電気構成部品を備える電気装置を製造するための方法及びこのような電気装置に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an electrical device comprising electrical components at least partially covered by a covering and to such an electrical device.

背景技術
パワーエレクトロニクスモジュール及び丈夫なセンサシステムの信頼性及び効率の向上並びにコストの低下は、今日では最も重要である。現行の被覆材(エポキシ化合物、シリコーン材)は、200℃未満の温度範囲に限定されている。被覆材に関して最高300℃乃至350℃の温度範囲を開発することにより、被覆材の付加機能(例えば環境条件に対する防護、サーマルの改善)を断念する必要なしに、最新の電力用半導体(例えばSiC)の動作範囲を200℃超に拡大することができる。
BACKGROUND ART Improving the reliability and efficiency of power electronics modules and rugged sensor systems and reducing costs is of paramount importance today. Current coating materials (epoxy compounds, silicone materials) are limited to a temperature range below 200 ° C. By developing a temperature range of up to 300 ° C. to 350 ° C. for coatings, modern power semiconductors (eg SiC) without having to give up additional functions of the coating (eg protection against environmental conditions, improved thermals) Can be extended to over 200 ° C.

独国特許出願公開第102013112267号明細書(DE102013112267A1)から、半導体部品を被覆する、様々な種類のセメントから成る被覆材を備えた半導体モジュールが公知である。この場合、被覆材は、付着仲介層を有しており、付着仲介層は、別個の製造ステップにおいて吹付けにより、半導体部品に被着される。   From DE 102013112267 A1 a semiconductor module with a coating of various types of cement is known for coating semiconductor components. In this case, the coating material has an adhesion-mediating layer, which is applied to the semiconductor component by spraying in a separate manufacturing step.

独国特許出願公開第102013112267号明細書German Patent Application Publication No. 1020131312267

発明の開示
本発明の対象は、セメント材を含む被覆材により少なくとも部分的に被覆された電気構成部品を備える電気装置を製造するための方法であって、当該方法は、
‐セメント材を準備するステップと、
‐セメント材に添加剤を混入するステップと、
‐添加剤が混入されたセメント材を含む被覆材を電気構成部品に被着して、電気構成部品が少なくとも部分的に被覆材により被覆されるようにするステップと、
‐被覆材を処理するステップであって、当該処理により、添加剤が、セメント材から被覆材と電気構成部品との間の境界面に到達して、当該境界面において機能層を形成する及び/又は被覆材により濡らされる境界面を拡大するようにする、ステップと、
を有する。
DISCLOSURE OF THE INVENTION An object of the present invention is a method for manufacturing an electrical device comprising an electrical component at least partially coated with a coating comprising a cement material, the method comprising:
-Preparing cement material;
Mixing an additive into the cement material;
Applying a coating comprising an entrained cement material to the electrical component such that the electrical component is at least partially covered by the coating;
The step of treating the cladding, whereby the additives reach the interface between the cement and the cladding and the electrical component to form a functional layer at the interface and / or Or to enlarge the interface wetted by the coating, and
Having.

本発明の対象はさらに、セメント材を含む被覆材により少なくとも部分的に被覆された電気構成部品を備える電気装置であり、被覆材と電気構成部品との間の境界面には添加剤が配置されており、当該添加剤が、セメント材の内部から、被覆材と電気構成部品との間の境界面に到達することにより、境界面に添加剤を含む機能層が形成され、及び/又は、被覆材により濡らされる境界面が拡大されることになる。   The subject of the present invention is further an electrical device comprising an electrical component at least partially coated by a coating comprising a cement material, wherein an additive is arranged at an interface between the coating and the electrical component. The additive reaches the interface between the coating material and the electrical component from inside the cement material, thereby forming a functional layer containing the additive at the interface, and / or The interface wetted by the material will be enlarged.

本発明の対象は他に、電気装置の電気構成部品の、セメント材を含む被覆材に機能層を形成するための添加剤の使用であり、添加剤は、被覆材の処理により、被覆材と電気構成部品との間の境界面に到達して、境界面に機能層を形成する、及び/又は、被覆材により濡らされる境界面を拡大する。   Another object of the invention is the use of additives for forming a functional layer on a coating, including a cement material, of an electrical component of an electrical device, wherein the additive is treated with the coating by treating the coating. The interface between the electrical components is reached, forming a functional layer on the interface and / or enlarging the interface wetted by the coating.

電気構成部品は、例えば、半導体構成素子、センサ素子、インダクタンス、キャパシタンス、バッテリセル、バッテリモジュール、又は、1つの回路全体であるものとするとよい。ただし、電気構成部品とは、本発明の枠内においては、あらゆる能動的・受動的構成素子又は高出力構成素子を意味し得る。この場合、電気装置は、電気構成部品が配置された支持体基板を有しているものとするとよい。   The electrical component may be, for example, a semiconductor component, a sensor element, an inductance, a capacitance, a battery cell, a battery module, or an entire circuit. However, the electrical component can mean any active / passive component or high power component within the framework of the present invention. In this case, the electric device may include a support substrate on which electric components are arranged.

セメントとは、本発明の枠内においては、無機的で金属を含まないハイドロバインダを意味し得る。この場合、セメントは、水中で硬化する、即ち、水と化学反応して、分解しない安定的な化合物を形成する。この場合、セメントは、当該方法の開始時又は水和前には、水又は添加水と反応して凝結し、硬化して水和物を形成する、微細に粉砕された粉末として形成されているものとするとよい。この場合、水和物は、互いに噛み合い、ひいてはセメントの高い強度をもたらすニードル及び/又は小板を形成しているものとするとよい。これに対して、リン酸セメントは、水中では硬化しない。酸・塩基反応が行われてソルトゲルが形成され、ソルトゲルは、後に凝結して大部分が非晶質の材料になる。酸・塩基反応では、H+(水素イオン)が交換される。   Cement can mean, in the context of the present invention, an inorganic, metal-free hydrobinder. In this case, the cement hardens in water, ie it chemically reacts with water to form a stable compound that does not decompose. In this case, at the beginning of the process or before hydration, the cement is formed as a finely ground powder, which reacts with water or added water to set and harden to form a hydrate. It is good. In this case, the hydrates may form needles and / or platelets that mesh with one another and thus provide a high strength of the cement. In contrast, phosphate cement does not harden in water. An acid-base reaction is performed to form a salt gel, which later condenses to a largely amorphous material. In the acid-base reaction, H + (hydrogen ion) is exchanged.

セメントは、主にカルシウムアルミネートから成るものとするとよく、水和中にカルシウムアルミネート水和物を形成するものとするとよい。セメント材が、アルミナセメントを含むものとすると、特にアルミナセメントから成るものとすると、有利である。アルミナセメント(略称CAC)は、DIN EN 14647に従って欧州式に調整されている。アルミナセメントは、主にモノカルシウムアルミネート(CaOAl)から成る。 The cement may consist primarily of calcium aluminate and may form calcium aluminate hydrate during hydration. It is advantageous if the cement material comprises alumina cement, in particular if it consists of alumina cement. Alumina cement (abbreviated CAC) has been prepared according to DIN EN 14647 in a European manner. Alumina cement consists mainly monocalcium aluminate (CaO * Al 2 O 3) .

アルミナセメントは、例えば、次の組成、即ち、
‐Al:67.8重量%以上
‐CaO:31.0重量%以下
‐SiO:0.8重量%以下
‐Fe:0.4重量%以下
を有しているものとするとよい。
Alumina cement has, for example, the following composition:
-Al 2 O 3 : 67.8% by weight or more-CaO: 31.0% by weight or less-SiO 2 : 0.8% by weight or less-Fe 2 O 3 : 0.4% by weight or less Good to do.

添加剤とは、本発明の枠内においては、混合剤又は層形成体を意味し得る。添加剤は、選択的又は付加的に、濡れを促進する特性を有しているものとするとよい。添加剤は、セメント材に混入するステップの前は、粉末状に形成されているものとするとよい。ただし、添加剤は、液体成分を含むものとしてもよい。よって、添加剤は、例えば、水分を含む溶液又は分散液又は懸濁液として存在しているものとするとよい。理想的には、添加剤は混合水に混入されている、又は、溶解している。添加剤は、乾いたセメント材又はセメント粉末混合物に、即ち、場合により添加水が加えられる前に混入されてよい。しかしまた添加剤は、湿ったセメント材又はセメント粉末混合物に、即ち、場合により添加水が加えられた後に混入されてもよい。   Additives can mean, within the framework of the present invention, admixtures or layer formers. The additive may optionally or additionally have properties that promote wetting. Prior to the step of mixing the additive into the cement material, the additive may be formed into a powder. However, the additive may include a liquid component. Thus, the additive may be present, for example, as a solution or dispersion or suspension containing water. Ideally, the additives are mixed or dissolved in the water mixture. Additives may be incorporated into the dry cement material or cement powder mixture, ie, optionally before the added water is added. However, the additives may also be incorporated into the wet cementitious material or the cement powder mixture, ie after the optional addition of water.

被覆材とは、本発明の枠内においては、あらゆる種類の密閉手段(パッケージ)を意味し得る。被覆材は、セメント複合材料として形成されているものとするとよい。即ち、換言すると、被覆材は、充填剤及び添加剤を含むセメント基質を含むものとするとよい。被覆材は、処理ステップの前に及び/又は後に、以下の組成、即ち、
‐バインダ アルミナセメント:8重量%以上47重量%以下(例えばSECAR71)
‐反応剤 水:10重量%以上28重量%以下
‐添加剤:1重量%以上25重量%以下
‐充填剤:25重量%以上82重量%以下
を有しているものとするとよい。
Coating material can mean any kind of sealing means (package) within the framework of the present invention. The dressing may be formed as a cement composite material. That is, in other words, the coating material may include a cement matrix including a filler and an additive. The coating, before and / or after the processing step, has the following composition:
-Binder Alumina cement: 8% by weight or more and 47% by weight or less (for example, SECAR71)
-Reactant water: 10 to 28% by weight-Additive: 1 to 25% by weight-Filler: 25 to 82% by weight.

充填剤は、
‐Al:細d50 約1μm 乃至 粗d50 約150乃至200μm
‐α型Si:細 約1μm 乃至 粗 約100μm
‐Hex.BN:細 約15μm 乃至 粗 約250μm
‐SiC:細 約10乃至50μm 乃至 粗 約600μm
‐AlN:細 約1μm 乃至 粗 約100μm
から成る群から選択されているものとするとよい。
The filler is
-Al 2 O 3 : Fine d50 about 1 μm to coarse d50 about 150 to 200 μm
-Α-type Si 3 N 4 : Fine about 1 μm to coarse about 100 μm
-Hex. BN: about 15 μm to coarse about 250 μm
-SiC: Fine about 10 to 50 μm to coarse about 600 μm
-AlN: about 1 μm to coarse about 100 μm
Should be selected from the group consisting of:

処理するステップにより、添加剤をさらに刺激することができる。処理ステップは、多数の部分ステップを含んでいるものとしてもよい。処理ステップには、水和ステップ及び/又は凝結ステップ及び/又は乾燥ステップ及び/又は硬化ステップが含まれているものとするとよい。処理ステップには、例えば、「自発的な」プロセスを待つ又は進行させるために、待機ステップが含まれていてもよい。処理するステップにより、添加剤をセメント材の内部から、被覆材と電気構成部品との間の境界面に「追い込む」ことができる。ただし、処理するステップにより、引き続き何もせずに添加剤がセメント材の内部から、被覆材と電気構成部品との間の境界面に到達するまで待ってもよい。即ち、換言すると、処理ステップにおいては、添加剤が、例えば重力に基づき被覆材と電気構成部品との間の境界面に到達するまで待つことができる。処理するステップにより、前記境界面に機能層が形成される、及び/又は、被覆材により濡らされる境界面が拡大されるように、添加剤をさらに刺激することができる。この場合、境界面には好適には、被覆材と、場合により電気構成素子が配置された支持体基板との間の接触面も含まれる。   The processing step can further stimulate the additive. A processing step may include a number of sub-steps. The processing steps may include a hydration step and / or a setting step and / or a drying step and / or a curing step. The processing steps may include a waiting step, for example, to wait or advance a "voluntary" process. The treating step allows the additive to be "driven" from within the cement material to the interface between the cladding and the electrical component. However, the processing step may allow the additive to continue without doing anything from the interior of the cement material until it reaches the interface between the coating and the electrical component. That is, in other words, in the processing step, it is possible to wait until the additive reaches the interface between the cladding and the electrical component, for example due to gravity. The treating step may further stimulate the additive such that a functional layer is formed at the interface and / or the interface wetted by the coating material is enlarged. In this case, the interface preferably also includes the contact surface between the coating material and, if appropriate, the carrier substrate on which the electrical components are arranged.

今や本発明に基づく方法により、有利には被覆材の処理時又は処理中にセメント材に適当な添加剤を添加することにより、即ち、同一製造ステップにおいて同時に付加的に、被覆材と電気構成部品との間の境界面に機能層を形成すること、及び/又は、被覆材により濡らされる境界面を拡大することが可能である。即ち、換言すると、例えば被覆材の凝結又は乾燥時に、境界面に境界層が生ぜしめられ、この境界層は、電気構成部品に堆積又は沈積し、そこで硬化することにより、既にこの段階中に電気構成部材と、場合によっては別のコンポーネントのための防護手段を提供する。選択的又は付加的に、例えば被覆材の凝結又は乾燥時に、添加剤は境界面に沈積すると共に、その特性に基づいて、被覆材により濡らされる境界面を拡大する。よって、一方では、電気構成部品にセメント材を被着する前に電気構成部品をコーティングする追加的な加工ステップが完全に省略される。他方では、機能層の(防護)機能は、完成後に初めて提供されるのではなく、既に被覆材の処理中に提供される。   The coating according to the invention, advantageously by adding appropriate additives to the cementitious material during or during the treatment of the coating, i.e. additionally simultaneously in the same manufacturing step, simultaneously with the coating and the electrical component It is possible to form a functional layer at the interface between and and / or to enlarge the interface wetted by the coating. In other words, in other words, for example, during the setting or drying of the coating, a boundary layer is created at the interface, which deposits or deposits on the electrical components and hardens there, thereby already having an electrical effect during this stage. Provides protective means for the component and possibly another component. Alternatively or additionally, for example, during the setting or drying of the coating, the additives deposit on the interface and, based on their properties, enlarge the interface wetted by the coating. Thus, on the one hand, the additional processing step of coating the electrical component before applying the cement material to the electrical component is completely omitted. On the other hand, the (protective) function of the functional layer is not provided only after it is completed, but is already provided during the processing of the coating.

機能層が、電気的及び/又は化学的な絶縁層として、及び/又は、付着仲介層として形成されていると、さらに有利である。よって、機能層は、電気的及び/又は化学的に絶縁性の、及び/又は、付着を仲介する特性を有しているものとするとよい。境界面に形成された電気的に絶縁性の機能層又は電気的な絶縁層により、被覆材の処理ステップ中、即ち、水和プロセス及び/又は凝結プロセス及び/又は乾燥プロセス及び/又は硬化プロセス中の、まだ湿っている被覆材による電気的な短絡を防止することができる。境界面に形成された化学的に絶縁性の機能層又は化学的な絶縁層により、被覆材の処理ステップ中に、即ち、水和プロセス及び/又は凝結プロセス及び/又は乾燥プロセス及び/又は硬化プロセス中に、(傷みやすい)金属又はコンポーネントを、強い塩基性のセメント材から防護することができる。さらにこのような機能層は、電気装置の完成後又は動作中も、被覆材への異物の侵入から電気構成部品を付加的に防護する手段を提供する。選択的又は付加的に、機能層は、付着を仲介する又は付着を改善する特性をも有しているものとするとよく、これにより、電気構成部品、及び、場合によっては支持体基板における被覆材の最適な付着ひいては改善されたシール特性をも保証することができる。   It is furthermore advantageous if the functional layer is formed as an electrical and / or chemical insulating layer and / or as an adhesion-mediating layer. Therefore, the functional layer may have an electrically and / or chemically insulating property and / or a property of mediating adhesion. Due to the electrically insulating functional layer or the electrically insulating layer formed at the interface, during the treatment step of the coating material, ie during the hydration and / or setting and / or drying and / or curing processes However, it is possible to prevent an electric short circuit caused by the coating material that is still wet. Due to the chemically insulating functional layer or the chemical insulating layer formed at the interface, during the treatment step of the coating, i.e. during the hydration and / or setting and / or drying and / or curing processes In it, (perishable) metals or components can be protected from strong basic cementitious materials. Furthermore, such functional layers provide a means of additionally protecting the electrical components from the ingress of foreign matter into the coating, either after completion of the electrical device or during operation. Alternatively or additionally, the functional layer may also have the property of mediating or improving the adhesion, so that the electrical components and, if appropriate, the coating on the support substrate Optimum adhesion and thus improved sealing properties can also be guaranteed.

被覆材の処理ステップに、以下の各処理、即ち、
‐被覆材に振動、揺動運動及び/又は遠心運動を加える処理、
‐被覆材を熱処理する処理、
‐被覆材を所定のガス雰囲気中に曝露する処理、
‐被覆材に所定の圧力を加える処理、
‐被覆材に所定の波長及び強度の電磁線、例えばUV線、赤外線、可視光線を照射する処理
のうちの少なくとも1つが含まれていると、さらに有利である。
In the coating material processing step, each of the following processing, namely,
-Applying vibration, rocking movement and / or centrifugal movement to the covering material;
-Heat treatment of the coating material,
-A process of exposing the coating material to a predetermined gas atmosphere;
A process of applying a predetermined pressure to the coating material,
It is further advantageous if the coating comprises at least one of the treatments of radiating electromagnetic radiation of a predetermined wavelength and intensity, for example UV radiation, infrared radiation, visible radiation.

被覆材に振動、揺動運動及び/又は遠心運動を加えることにより、添加剤を境界面に到達させるために、極めて簡単に混合分離させることができる。   By applying vibrations, rocking movements and / or centrifugal movements to the coating, the additives can be very easily mixed and separated in order to reach the interface.

熱処理には、焼戻し炉内での焼戻しステップが含まれているものとするとよい。熱処理は、40℃以上95℃以下の温度範囲で行われるものとするとよい。   The heat treatment may include a tempering step in a tempering furnace. The heat treatment is preferably performed in a temperature range of 40 ° C. or more and 95 ° C. or less.

ガス雰囲気は、例えば最高100%に高められた空気湿度を有する大気又は空気として形成されているものとするとよい。ガス雰囲気は、触媒分子又は促進分子を含むものとしてもよい。   The gas atmosphere may be formed as air or air, for example, having an increased air humidity of up to 100%. The gas atmosphere may include catalyst molecules or promoter molecules.

この手段により、添加剤の機能を活性化させるためのパラメータを簡単に適合させることができるので、添加剤は、被覆材と電気構成部品との間の境界面に確実かつ効率的に到達して、この境界面に機能層を形成することができる、又は、被覆材により濡らされる境界面を拡大することができる。   By this means, the parameters for activating the function of the additive can be easily adapted, so that the additive reliably and efficiently reaches the interface between the coating and the electrical component. A functional layer can be formed on this interface, or the interface wetted by the coating can be enlarged.

さらに、被覆材の処理するステップにより、添加剤が、被覆材と電気構成部品との間の境界面に沈降又は浮上すると有利である。この場合、添加剤は、機能層を形成する、及び/又は、濡らされる境界面を拡大するために、被覆材と電気構成部品との間の境界面において濃縮され及び/又は被覆材と電気構成部品との間の境界面において反応するものとするとよい。よって、添加剤は、特定の条件枠(温度、UV照射、pH値)において反応するように形成されているものとするとよい。特に好適なのは、セメントスラリ内で例えば重力により被覆材と電気構成部品との間の境界面に向かって良好に沈下又は沈降し、そこで濃縮される物質又は粒子である。この場合、添加剤が密度差に基づき沈下可能であるようにするために、境界面は、被覆材の下側に位置していなければならない。配置を180°だけ回動させることにより、即ち、境界面が被覆材の上側に位置するように被覆材を配置することにより、セメントスラリ内で浮上して迅速にまとまって1つの層を形成する物質又は粒子が使用されるものとするとよい。添加剤が、電気構成部品に対する被覆材の被着時にはセメント材に臨界未満で密に溶解していて、処理時には濃縮される2つの反応物を含んでいることも考えられる。この手段により、添加剤は簡単に境界面に到達し、そこで、機能層を形成する、及び/又は、濡らされる境界面を拡大することができる。   Further, it is advantageous if the step of treating the coating material causes the additive to settle or float at the interface between the coating material and the electrical component. In this case, the additives are concentrated at the interface between the coating and the electrical component in order to enlarge the interface that forms the functional layer and / or is wetted and / or the coating and the electrical component The reaction may be at the interface between the component and the component. Therefore, it is preferable that the additive is formed so as to react in a specific condition frame (temperature, UV irradiation, pH value). Particularly suitable are substances or particles that settle or settle well in the cement slurry, for example by gravity, towards the interface between the cladding and the electrical component, where they are concentrated. In this case, the interface must be located below the coating in order for the additive to be able to settle based on the density difference. By rotating the arrangement by 180 °, i.e. by arranging the cladding so that the interface is above the cladding, it floats within the cement slurry and quickly forms one layer. Substances or particles may be used. It is also conceivable that the additive contains two reactants that are subcritical and densely dissolved in the cement material at the time of application of the coating to the electrical component and are concentrated during processing. By this means, the additives can easily reach the interface, where they can form a functional layer and / or enlarge the interface to be wetted.

さらに、以下の付加的なステップが実施されると有利である。即ち、被覆材と電気構成部品との間の境界面に反応層を配置し、これにより、添加剤が境界面において反応層と反応して機能層を形成することができるようにするステップである。即ち、換言すると、電気構成部品に被覆材を被着する前に、電気構成部品に反応層が被着される。反応層は、例えば単分子ポリマー層として形成されているものとするとよい。反応層は、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)を含むものとするとよい。今や被覆材と電気構成部品との間の境界面には反応層が配置されているので、添加剤は境界面において反応面と反応して機能層を形成することができ、これにより、層形成が最適化されると共に、絶縁特性及び付着特性をさらに改善することができる。   Furthermore, it is advantageous if the following additional steps are performed. That is, placing a reactive layer at the interface between the coating and the electrical component, thereby allowing the additive to react with the reactive layer at the interface to form a functional layer. . That is, in other words, the reaction layer is applied to the electrical component before the coating is applied to the electrical component. The reaction layer may be formed, for example, as a monomolecular polymer layer. The reaction layer may contain hexamethyldisilazane (HMDS). Now that a reaction layer is located at the interface between the cladding and the electrical component, the additive can react with the reaction surface at the interface to form a functional layer, thereby forming a layer. Is optimized, and the insulating properties and adhesion properties can be further improved.

また、添加剤が、モノマー、ポリマー、特にシリコーン、及び、無機物質、特に酸化物、窒化物、シラン、セラミック、から成る群から選択されている場合も有利である。この場合、選択された各物質は、処理又は可鍛化時、及び、場合によっては動作中の要求温度を安定的に保持するように形成されている必要がある。添加剤は、特にビニルアルコール又はビニルアルコールから成る混合物を含むものとするとよい、又は、ビニルアルコールから成っているものとするとよい。前記各物質又は物質群は、極めて良好な電気的及び化学的絶縁特性を有しており、ひいては電気構成部品並びに傷みやすい金属及び別のコンポーネントを、短絡や、腐食作用を有する強い塩基性のセメント材から防護するために、特に良好に適している。   It is also advantageous if the additives are selected from the group consisting of monomers, polymers, especially silicones, and inorganic substances, especially oxides, nitrides, silanes, ceramics. In this case, each of the selected substances must be formed so as to stably maintain the required temperature during processing or malleability and, in some cases, during operation. The additive may comprise, in particular, vinyl alcohol or a mixture consisting of vinyl alcohol, or may consist of vinyl alcohol. Each of said substances or groups of substances has very good electrical and chemical insulation properties, and thus can be used to connect electrical components and perishable metals and other components to short-circuiting and strong basic cements with corrosive action. Particularly well-suited for protection from materials.

さらに、機能層及び添加剤は、処理ステップ後に分解又は溶解するように形成されていると有利である。このことは、例えば、動作中に生じる例えば250℃超の熱により行われるものとするとよい。即ち、換言すると、機能層は、湿ったセメント材における電気的な短絡を防止すると共に、腐食作用を有する強い塩基性のセメント材からの化学的な防護手段を提供するために、「臨界段階」、即ち、乾燥プロセス及び硬化プロセスのためだけに設けられた後に溶解する。このことは、長期の絶縁作用をもたらす必要のない、極めて薄い機能層で十分である、という利点をもたらす。乾燥したセメントは良好な絶縁性を有しているので、この場合、機能層はセメント材が乾くまで、極小さな電流だけを絶縁すれば済む。   Furthermore, it is advantageous if the functional layer and the additives are designed to decompose or dissolve after the processing step. This may be done, for example, by heat generated during operation, for example, above 250 ° C. That is, in other words, the functional layer is a "critical step" in order to prevent electrical short circuits in the wet cement material and to provide a means of chemical protection from the strongly basic cement material having a corrosive effect. That is, it dissolves after being provided only for the drying and curing processes. This has the advantage that very thin functional layers are sufficient, without having to provide a long-term insulating action. Since the dried cement has good insulation properties, the functional layer only needs to insulate a very small current until the cement material dries.

また、添加剤がさらに、セメント材の内部に配置されている場合も有利である。この場合は、セメント材内に微量の添加剤しか存在していなくてもよい。セメント材内の「余剰」添加剤により、層形成後にセメント材内にはある程度の残留量が残存しており、これにより、添加剤の当初量が、好適には閉鎖式に形成される機能層を形成するために十分であることが保証されている。   It is also advantageous if the additive is further arranged inside the cement material. In this case, only a small amount of additive may be present in the cement material. Due to the "excess" additive in the cement material, some residual amount remains in the cement material after the layer is formed, so that the initial amount of the additive is reduced to a functional layer which is preferably formed in a closed manner. Is guaranteed to be sufficient to form

さらに、添加剤が湿潤助剤であると有利である。この場合、湿潤助剤又は付着仲介体又はプライマは、好適にはシラン付着仲介体であるものとするとよい。この手段により、セメントの付着を、濡らされる境界面の拡大により大幅に改善することができる。 Furthermore, it is advantageous if the additive is a wetting aid . In this case, the wetting aid or adhesion mediator or primer may suitably be a silane adhesion mediator. By this measure, the adhesion of the cement can be greatly improved by increasing the wetted interface.

以下に例示する添付図面について、本発明をより詳細に説明する。   The present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings illustrated below.

本発明の1つの実施例に基づく電気装置を示す図である。FIG. 2 illustrates an electrical device according to one embodiment of the present invention.

図1には、全体に符号10が付された、本発明に係る電気装置が示されている。   FIG. 1 shows an electrical device according to the invention, generally designated by the reference numeral 10.

電気装置10は、電気構成部品12を有している。電気構成部品12は、半導体構成素子12として形成されている。電気構成部品12は、支持体基板14上に配置されている。電気構成部品12と支持体基板14との間には、銅層16が配置されている。この場合、銅層16は複数の機能、即ち、熱接続及び放熱を改善する機能、電気構成部品12に対する電気的な接触接続手段を提供する機能、及び、場合により、被着時の被覆材の流れ止めとしての機能を有している。   The electrical device 10 has an electrical component 12. The electrical component 12 is formed as a semiconductor component 12. The electrical components 12 are arranged on a support substrate 14. A copper layer 16 is arranged between the electric component 12 and the support substrate 14. In this case, the copper layer 16 has a plurality of functions, i.e., a function of improving thermal connection and heat dissipation, a function of providing an electrical contact connection to the electrical component 12, and, in some cases, a coating material at the time of application. It has a function as a flow stop.

電気構成部品12は、ボンディングワイヤ18を介して、支持体基板14の、電気構成部品12とは反対の側に接続されており、これにより、外部から電気構成部品12に電気的に接触接続することが可能になる。この場合、支持体基板14は、例えば、内部に電気構成部品12の接触接続用の導体路又は電気コンタクトがさらに組み込まれ得るプレートとして形成されているものとするとよい。導体路は、支持体基板14の一方の表面上に配置されているものとしてもよい。支持体基板14は、チップを成すように形成されているものとするとよい。   The electric component 12 is connected to the side of the support substrate 14 opposite to the electric component 12 via the bonding wire 18, so that the electric component 12 is electrically connected to the electric component 12 from the outside. It becomes possible. In this case, the support substrate 14 may be formed, for example, as a plate into which a conductor path for contact connection of the electrical component 12 or an electrical contact can be further incorporated. The conductor tracks may be arranged on one surface of the support substrate 14. The support substrate 14 is preferably formed so as to form a chip.

電気装置10はさらに、セメント材22を含む被覆材20を有している。被覆材20又はセメント材22は、グロブトップ(Glob−Top)として形成されている。被覆材20又はセメント材22は、支持体基板14に配置されている。この場合、セメント材22は、電気構成部品12を、支持体基板14により覆われていない方の面において被覆している。よって、電気構成部品12は、全体的に、支持体基板14と被覆材20とにより被覆されている。セメント材22はさらに、支持体基板14の一部をも被覆しており、この部分を介して、セメント材22は支持体基板14と固く結合されている。   The electric device 10 further has a covering material 20 including a cement material 22. The coating material 20 or the cement material 22 is formed as a glob-top. The coating material 20 or the cement material 22 is disposed on the support substrate 14. In this case, the cement material 22 covers the electrical component 12 on the side not covered by the support substrate 14. Therefore, the electric component 12 is entirely covered with the support substrate 14 and the covering material 20. The cement material 22 also covers a part of the support substrate 14, via which the cement material 22 is firmly connected to the support substrate 14.

電気装置10は、被覆材20又はセメント材22と電気構成部品との間に、境界面24を有している。この場合、境界面24には、被覆材20と支持体基板14との間の接触面も含まれる。境界面24には、機能層26が配置されている。本発明においては、機能層26は添加剤28を含む。この場合、添加剤28は、被覆材20の処理により又は処理中に、特にセメント材22の凝結時に、セメント材22の内部から、被覆材20と電気構成部品12との間の境界面24に到達する。このことは例えば、被覆材20と電気構成部品12との間の境界面24に対する添加剤28の沈降及び/又は浮上により行われているものとするとよい。この場合、添加剤28の堆積及び硬化と、場合によっては境界面24における化学反応とにより、本発明においては、機能層26が形成されることになる。この場合、機能層26は、好適には電気的かつ化学的に絶縁性であると共に付着を仲介するように形成されており、これにより、硬化プロセス中に、まだ湿った被覆材20による電気的な短絡を防止すると共に、塩基性のセメント材22から構成部品を防護する手段を提供することができ、さらに、電気構成部品12及び場合により支持体基板14における被覆材20の付着を改善することができる。 The electrical device 10 has an interface 24 between the covering 20 or cement 22 and the electrical component. In this case, the boundary surface 24 includes the contact surface between the coating material 20 and the support substrate 14. On the boundary surface 24, a functional layer 26 is arranged. In the present invention, the functional layer 26 includes an additive 28. In this case, the additives 28 are applied from the interior of the cement material 22 to or at the interface 24 between the coating material 20 and the electrical component 12 by or during the treatment of the coating material 20 , especially during the setting of the cement material 22. To reach. This may be done, for example, by settling and / or floating of the additive 28 on the interface 24 between the coating 20 and the electrical component 12. In this case, the functional layer 26 is formed in the present invention by the deposition and curing of the additive 28 and, in some cases, the chemical reaction at the interface 24. In this case, the functional layer 26 is preferably formed to be electrically and chemically insulative and to mediate the adhesion, so that during the curing process, the electrical insulation of the still wet coating 20 is achieved. Providing a means of preventing short circuits and protecting the components from the basic cementitious material 22, and further improving the adhesion of the coating 20 on the electrical components 12 and possibly the support substrate 14. Can be.

ただし、添加剤28は、境界面24に機能層を形成するのではなく、被覆材20によって濡らされる境界面24を拡大することも十分に考えられ、これによって、やはり、電気構成部品12、及び、場合により支持体基板14における被覆材20の付着改善を得ることができる。次いで、添加剤28は、被覆材20の塩基性のゲル相において溶解可能である。 However, it is also conceivable that the additive 28 does not form a functional layer on the interface 24, but rather enlarges the interface 24 that is wetted by the coating 20, thereby again providing the electrical component 12 and In some cases, the adhesion of the coating material 20 on the support substrate 14 can be improved. The additive 28 is then soluble in the basic gel phase of the dressing 20 .

電気装置10の製造に際しては、まず、セメント材22が、例えば粉末状で準備される。次いで、セメント材22に、例えばやはり粉末状であってよい添加剤28が混入される。次いで、液体成分、例えば水が、場合により溶剤メルフラックスと共に混合される。次いで、セメント材22、添加剤28及び水を含む湿った被覆材20が真空状態にされ、例えば型に射出又は注型することによって電気構成部品12に被着されかつ成形される。次いで、被覆材20は、例えば60℃で90%の相対空気湿度において処理され、特に熱処理又は可鍛化され、これにより、セメント材22のゲル形成、結晶化、ニードリング及び硬化が行われる。この場合、空気湿度が水分損失(水・セメント比)を防止し、熱が所望の構造体の形成を生ぜしめる。処理時又は処理中に、即ち、ゲル形成から硬化に到るまで、本発明においては、添加剤28が例えば沈降又は浮上により、被着された被覆材20の内部から被覆材20と電気構成部品12との間の境界面24に到達し、かつ、この境界面24において反応して硬化することにより、境界面24において機能層26を形成する。選択的又は付加的に、添加剤28は、被覆材20により濡らされる境界面24を拡大することもできる。最後に、被覆材20に防護層26が任意に施されてから離型され、例えば300℃で出庫させられる。   When manufacturing the electric device 10, first, the cement material 22 is prepared, for example, in a powder form. Next, an additive 28, which may also be in powder form, is mixed into the cement material 22. The liquid component, for example water, is then mixed, optionally with a solvent melflux. The wet coating 20, including the cement 22, additive 28 and water, is then evacuated and applied to the electrical component 12 and molded, for example, by injection or casting into a mold. The coating 20 is then treated, for example at 60 ° C. and 90% relative air humidity, in particular heat-treated or malleable, so that the cement 22 is gelled, crystallized, needled and hardened. In this case, the air humidity prevents moisture loss (water-cement ratio) and the heat causes the formation of the desired structure. During or during processing, i.e., from gel formation to hardening, in the present invention, the additive 28 is coated with the coating 20 and the electrical components from within the applied coating 20, for example by settling or floating. A functional layer 26 is formed at the interface 24 by reaching and reacting and hardening at the interface 24 between them. Alternatively or additionally, additive 28 may also enlarge interface 24 that is wetted by coating 20. Finally, the protective layer 26 is arbitrarily applied to the coating material 20 and then released, and the product is discharged, for example, at 300 ° C.

Claims (12)

セメント材を含む被覆材(20)により少なくとも部分的に被覆される電気構成部品(12)を備えた電気装置(10)を製造するための方法であって、
‐前記セメント材(22)を準備するステップと、
‐前記セメント材(22)に添加剤(28)を混入するステップと、
‐前記添加剤(28)が混入された前記セメント材(22)を含む前記被覆材(20)を前記電気構成部品(12)に被着するステップと、
‐前記被覆材(20)を処理するステップであって、当該処理により、前記添加剤(28)が、前記セメント材(22)から前記被覆材(20)と前記電気構成部品(12)との間の境界面(24)に到達して、前記境界面(24)において機能層(26)を形成する及び/又は前記被覆材(20)により濡らされる前記境界面(24)を拡大するようにする、ステップと、
を有する、方法。
A method for manufacturing an electrical device (10) comprising an electrical component (12) at least partially covered by a coating (20) comprising a cement material, comprising:
Providing the cement material (22);
-Mixing an additive (28) with the cement material (22);
Applying the coating material (20) including the cement material (22) mixed with the additive (28) to the electric component (12);
A step of treating said coating material (20), whereby said additive (28) converts said cement material (22) from said coating material (20) to said electrical component (12); To reach the interface (24) between them, to form a functional layer (26) at the interface (24) and / or to enlarge the interface (24) wetted by the coating (20). The steps
A method comprising:
前記セメント材(22)は、アルミナセメントを含む、請求項1に記載の方法。   The method of claim 1, wherein the cement material (22) comprises alumina cement. 前記機能層(26)は、絶縁層(26)及び/又は付着仲介層(26)として形成されている、請求項1又は2に記載の方法。   The method according to claim 1 or 2, wherein the functional layer (26) is formed as an insulating layer (26) and / or an adhesion mediating layer (26). 前記被覆材(20)を処理するステップに、以下の各処理、即ち、
‐前記被覆材(20)に振動、揺動運動及び/又は遠心運動を加える処理、
‐前記被覆材(20)を熱処理する処理、
‐前記被覆材(20)を所定のガス雰囲気中に曝露する処理、
‐前記被覆材(20)に所定の圧力を加える処理、
‐前記被覆材(20)に電磁線を照射する処理
のうちの少なくとも1つが含まれる、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。
In the step of processing the covering material (20), each of the following processes is performed:
-Applying vibration, rocking movement and / or centrifugal movement to said covering material (20);
A treatment of heat treating the coating material (20);
-A process of exposing the coating material (20) to a predetermined gas atmosphere;
A process of applying a predetermined pressure to the coating material (20);
Method according to any of the preceding claims, wherein at least one of the treatments of irradiating the coating (20) with electromagnetic radiation is included.
前記被覆材(20)を処理するステップにより、前記添加剤(28)が、前記被覆材(20)と前記電気構成部品(12)との間の前記境界面(24)に沈降又は浮上する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。   Treating the coating (20) causes the additive (28) to settle or float at the interface (24) between the coating (20) and the electrical component (12); The method according to claim 1. 前記添加剤(28)は、前記機能層(26)を形成する及び/又は濡らされる前記境界面(24)を拡大するために、前記被覆材(20)と前記電気構成部品(12)との間の前記境界面(24)において濃縮され及び/又は前記被覆材(20)と前記電気構成部品(12)との間の前記境界面(24)において反応する、請求項5に記載の方法。   The additive (28) forms a layer of the functional layer (26) and / or expands the interface (24) to be wetted by the coating (20) and the electrical component (12). The method of claim 5, wherein the interface (24) is concentrated at the interface (24) and / or reacts at the interface (24) between the cladding (20) and the electrical component (12). 付加的なステップにおいて、前記被覆材(20)と前記電気構成部品(12)との間の前記境界面(24)に反応層を配置し、これにより、前記添加剤(28)が前記境界面において前記反応層と反応して前記機能層(26)を形成することを可能にする、請求項6に記載の方法。   In an additional step, a reaction layer is arranged at the interface (24) between the cladding (20) and the electrical component (12) so that the additive (28) The method according to claim 6, wherein the method enables the formation of the functional layer (26) by reacting with the reaction layer. 前記添加剤(28)は、モノマー、ポリマー、及び、無機物質から成る群から選択される、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any of the preceding claims, wherein the additive (28) is selected from the group consisting of monomers, polymers, and inorganic substances. 前記ポリマーは、シリコーンであり、前記無機物質は、酸化物、窒化物、シラン、セラミックから成る群から選択された物質を含む、請求項8に記載の方法。   The method of claim 8, wherein the polymer is silicone and the inorganic material comprises a material selected from the group consisting of oxides, nitrides, silanes, and ceramics. 前記添加剤(28)は、湿潤助剤である、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any of the preceding claims, wherein the additive (28) is a wetting aid. 前記機能層(26)及び/又は前記添加剤(28)は、前記被覆材(20)を処理するステップの後に、分解するように形成されている、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any of the preceding claims, wherein the functional layer (26) and / or the additive (28) are configured to degrade after the step of treating the coating (20). The described method. 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の方法により製造された気装置(10)の電気構成部品(12)の、セメント材(22)を含む被覆材(20)に機能層(26)を形成するための、添加剤(28)の使用方法であって、当該添加剤(28)は、前記被覆材(20)の処理により、前記被覆材(20)と前記電気構成部品(12)との間の境界面(24)に到達して、前記境界面(24)に前記機能層(26)を形成し及び/又は前記被覆材(20)により濡らされる前記境界面(24)を拡大する、添加剤(28)の使用方法。 The electrical components of the electrical device produced by the method according to any one of claims 1 to 11 (10) (12), the functional layer in the dressing (20) comprising a cement material (22) (26 ), Wherein the additive (28) is treated with the coating (20) and the electrical component (12) by treating the coating (20). ) To form the functional layer (26) on the interface (24) and / or to wet the interface (24) with the coating (20). Use of the additive (28) to expand.
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