JP6638457B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、内部通路を有する部材を搬送する搬送装置に関する。

従来、搬送装置において搬送レール上を搬送されている部材に対して様々な検査や加工が行われている。例えば、特許文献１には、中空の部材を搬送するパレットに設けられ当該部材の内部と連通可能な連通路を有するジョイントブロック、及び、ジョイントブロックと接続可能な検査部を備え、部材の内部の気密を検査するとき、部材とジョイントブロックとを接続した後、ジョイントブロックと検査部とを接続する搬送装置が記載されている。

特開平６−２９８１４１号公報

特許文献１に記載の搬送装置が備える検査部は、部材の内部を加圧または減圧可能なポンプ、当該ポンプとジョイントブロックとを接続する配管を有する。しかしながら、ポンプが比較的重い場合、ポンプと搬送レール上のジョイントブロックとを接続するための配管をフレキシブルチューブにする必要がある。装置の構成上、ポンプとジョイントブロックとの距離が長くなると配管の長さが長くなる。配管の長さが長くなると繰り返して使用する場合、配管が劣化しやすくなり、配管の気密が低下するおそれがある。また、気密検査の精度を向上するために配管が固定されると、検査のために部材を搬送レール上から一旦取り出さなくてはならないため、当該検査に時間がかかる。

また、搬送レール上を移動する部材の内部を表面処理する場合、気密を保ちつつ部材の内部に所定の流体を導入しつつ部材の温度を当該表面処理に適した温度に制御可能なチャンバ内に部材を収容する必要がある。しかしながら、部材の内部に流体を導入可能な、例えば、特許文献１に記載の搬送装置が備える検査部と当該チャンバとは、装置の構成上、搬送レールを挟む位置に設けられるため、例えば、固定されているチャンバに昇降装置を用いて部材を収容させると、検査部が有する可撓性の配管の長さをさらに長くする必要がある。また、搬送レール上の部材の温度を制御するようチャンバを昇降させる場合、搬送装置の構成が複雑になる。

本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送されている部材の内部空間の気密を保ちつつ部材の内部空間に所定の流体を確実に導入可能な搬送装置を提供することである。

本発明は、搬送されている部材が有する内部空間の気密を保ちつつ内部空間に所定の流体を導入可能な搬送装置であって、部材を搬送可能な搬送レール、収容室形成部材、第一中継配管部、流体供給部、接続配管部、第一駆動部、及び、第二駆動部を備える。
収容室形成部材は、搬送レールに対して固定され、部材を収容可能な収容室を有する。
第一中継配管部は、搬送レールの収容室形成部材とは反対側に収容室形成部材に対して相対移動可能に設けられている。第一中継配管部は、搬送レール上の部材側に形成され内部空間に連通可能な接続用開口、搬送レール上を搬送されている部材が収容室に収容されるときに移動する方向である移動方向に交わる方向に開口する中継用開口、及び、接続用開口と中継用開口とを連通する第一中継通路を有する。
流体供給部は、第一中継通路を介して内部空間に所定の流体を供給可能である。
接続配管部は、第一中継配管部と流体供給部との間に設けられ、伸縮可能に形成され、第一中継通路と流体供給部内とを連通可能な接続通路を有する。
第一駆動部は、接続配管部を伸ばすことが可能な駆動力を発生する。
第二駆動部は、第一中継配管部を収容室形成部材に対して相対移動可能な駆動力を発生する。
本発明の搬送装置では、接続配管部は、内部空間と接続用開口とが連通しているとき、中継用開口と流体供給部内とが連通するよう移動方向に交わる方向に伸びる。

本発明の搬送装置では、第一中継配管部は、部材の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口を有している。
部材の内部空間の気密を保ちつつ部材の内部空間に所定の流体を導入するとき、搬送レールの一方の側に固定されている収容室形成部材内に部材を導入する。このとき、第一中継配管部の接続用開口と内部空間とが連通するよう第一中継配管部を収容室形成部材の方向に移動する。第一中継配管部が収容室形成部材の方向に移動し収容室形成部材内の部材の内部空間と接続用開口とが連通すると、接続配管部を部材の移動方向に交わる方向に伸ばし、中継用開口と流体供給部内とを連通する。これにより、部材の内部空間と流体供給部内とが連通し、流体供給部は、所定の流体を内部空間に供給することが可能となる。
このように、本発明の搬送装置では、伸縮可能に形成されている接続配管部は、部材の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口に連通するよう伸びることが可能である。これにより、部材が移動する距離以上に伸びるよう接続配管部が設けられている場合に比べ、伸縮する長さを比較的短くすることができるため、伸縮による接続配管部の劣化を防止することができる。したがって、本発明の搬送装置は、搬送されている部材の内部空間の気密を保ちつつ部材の内部空間の所定の流体を確実に導入することができる。

本発明の第一実施形態による搬送装置の模式図である。 図１のＩＩ矢視図である。 図１のＩＩＩ矢視図である。 本発明の第一実施形態による搬送装置の模式図であって、図１とは異なる状態の模式図である。 図４のＶ矢視図である。 本発明の第一実施形態による搬送装置の模式図であって、図１、４とは異なる状態の模式図である。 図６のＶＩＩ矢視図である。 本発明の第二実施形態による搬送装置の模式図である。 図８のＩＸ矢視図である。 本発明の第三実施形態による搬送装置の模式図である。 図１０のＸＩ矢視図である。

以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づき説明する。
（第一実施形態）
第一実施形態による搬送装置１を図１〜７を参照して説明する。搬送装置１は、搬送レール１０によって部材９０を搬送しつつ、部材９０が有する「内部空間」としての内部通路９１の内壁を表面処理することが可能な装置である。搬送装置１は、搬送レール１０、「収容室形成部材」としてのチャンバ１５、パレット２０、第一中継配管部２５、接続配管部３１、３２、第二中継配管部３６、３７、「第一駆動部」としてのフレキ駆動部４１、４２、「第二駆動部」としてのリフタ４３、流体供給部４５などを備える。なお、図１、２、４〜７では、紙面の上側を「天」側とし、紙面の下側を「地」側として説明する。

最初に、搬送装置１で搬送される部材９０について説明する。部材９０は、内部通路９１を有する。内部通路９１は、二つの開口を介して部材９０の外部と連通している。図１に示す部材９０では、二つの開口である「一の開口」としての第一開口９１１及び「他の開口」としての第二開口９１２を有する。第一開口９１１及び第二開口９１２は、後述するパレット２０内に連通可能な位置に形成されている。本実施形態では、部材９０の地側に形成されている。搬送装置１では、内部通路９１の気密を保ちつつ部材９０の内壁を表面処理可能な所定の流体を導入可能である。

次に、搬送装置１の構成について、図１〜３を参照して説明する。図１、２には、部材９０が移動可能な方向である移動方向を示す移動軸Ｄ１を示す。なお、図２では、図面が煩雑になるため、図２の紙面手前側に位置する第二中継配管部３６、３７や流体供給部４５を省略している。また、図３では、図面が煩雑になるため、図３の紙面奥側に位置するパレット２０や第一中継配管部２５の形状を簡略化している。

搬送レール１０は、二本のレール１０１、１０２から形成されている。レール１０１、１０２のそれぞれは、水平方向に延びるよう形成され、レール１０１とレール１０２とは略平行に設けられている。

チャンバ１５は、搬送レール１０の天側に固定されている部材である。チャンバ１５は、地側に開口１６を有する収容室１５０を有する。収容室１５０は、部材９０を収容可能な大きさとなるよう形成されている。チャンバ１５は、後述する流体供給部４５が供給する所定の流体が部材９０の内壁を表面処理するのに適した温度に、部材９０の温度がなるよう部材９０を加熱可能である。

パレット２０は、ベース２１、地側フランジ２２、２３、天側フランジ２４を有する。パレット２０は、部材９０を支持しつつ二本のレール１０１、１０２の天側の面１１１、１１２を移動可能なよう設けられている。

ベース２１は、レール１０１とレール１０２との間の距離に比べ長くなるよう形成され、例えば、図示しない回転可能なローラを有する。当該ローラは、二本のレール１０１、１０２の天側の面１１１、１１２に当接し、パレット２０がレール１０１、１０２上をスムーズに移動することを可能とする。ベース２１の天側の面２１１の周縁部には、例えば、弾性材料から形成される当接部材２１２が設けられている。当接部材２１２は、パレット２０が天方向に移動するとき、チャンバ１５と当接しパレット２０の移動によるチャンバ１５及びベース２１の破損を防止する。

地側フランジ２２、２３は、ベース２１の地側の面２１３に設けられている。地側フランジ２２、２３は、それぞれ地方向に開口する開口２２１、２３１を有する。

天側フランジ２４は、ベース２１の天側に設けられている。天側フランジ２４の天側には部材９０を置くことが可能である。これにより、パレット２０は、部材９０を支持しつつ搬送レール１０上を移動可能である。天側フランジ２４は、天方向に開口する開口２４１、２４２を有する。開口２４１は、部材９０の第一開口９１１に連通可能に形成されている。開口２４２は、部材９０の第二開口９１２に連通可能に形成されている。

開口２２１と開口２４１とは、パレット２０が有する連通路２０１を介して連通している。また、開口２３１と開口２４２とは、パレット２０が有する連通路２０２を介して連通している。

第一中継配管部２５は、本体部２６、第一中継配管２７、２８を有する。

本体部２６は、略直方体形状の部材であって、第一中継配管２７、２８を所定の位置に支持するよう形成されている。本体部２６は、地側の面２６１においてリフタ４３と連結している。

第一中継配管２７、２８は、略Ｌ字状に形成されている筒状の部材である。第一中継配管２７と第一中継配管２８とは、図２に示すように、水平方向に隣り合うよう本体部２６に設けられている。

第一中継配管２７は、部材側フランジ２７１、鉛直部２７２、水平部２７３、供給側フランジ２７４から形成されている。
部材側フランジ２７１は、第一中継配管２７の天側の端部に設けられている。部材側フランジ２７１は、パレット２０側に開口する「一の接続用開口」としての接続用開口２７５を有する。接続用開口２７５は、パレット２０の開口２２１に連通可能に形成されている。
鉛直部２７２は、部材側フランジ２７１から地方向に延びるよう形成されている。
水平部２７３は、鉛直部２７２の地側の端部から水平方向に延びるよう形成されている。
供給側フランジ２７４は、水平部２７３の鉛直部２７２と接続する側とは反対側の端部に設けられている。供給側フランジ２７４は、部材９０の移動軸Ｄ１に交わる方向に開口する「一の中継用開口」としての中継用開口２７６を有する。本実施形態では、中継用開口２７６は、部材９０の移動軸Ｄ１と垂直に交わる方向、すなわち、水平方向に開口している。
第一中継配管２７は、接続用開口２７５と中継用開口２７６とを連通する「一の第一中継通路」としての第一中継通路２７０を有する。

第一中継配管２８は、部材側フランジ２８１、鉛直部２８２、水平部２８３、供給側フランジ２８４から形成されている。
部材側フランジ２８１は、第一中継配管２８の天側の端部に設けられている。部材側フランジ２８１は、パレット２０側に開口する「他の接続用開口」としての接続用開口２８５を有する。接続用開口２８５は、パレット２０の開口２３１に連通可能に形成されている。
鉛直部２８２は、部材側フランジ２８１から地方向に延びるよう形成されている。
水平部２８３は、鉛直部２８２の地側の端部から水平方向に延びるよう形成されている。
供給側フランジ２８４は、水平部２７３の鉛直部２８２と接続する側とは反対側の端部に設けられている。供給側フランジ２８４は、部材９０の移動軸Ｄ１に交わる方向に開口する「他の中継用開口」としての中継用開口２８６を有する。本実施形態では、中継用開口２８６は、部材９０の移動軸Ｄ１と垂直に交わる方向、すなわち、水平方向に開口している。
第一中継配管２８は、接続用開口２８５と中継用開口２８６とを連通する「他の第一中継通路」としての第一中継通路２８０を有する。

接続配管部３１、３２は、パレット２０及び第一中継配管部２５が移動可能な領域（図１に示す二つの二点鎖線ＶＬ１に挟まれた領域）の外の所定の位置に設けられている。本実施形態では、二つの接続配管部３１、３２を二つ有している。

接続配管部３１は、二つのフランジ３１１、３１２とフレキシブルホース３１３とから形成されている。フランジ３１１、３１２及びフレキシブルホース３１３は、「一の接続通路」としての接続通路３１０を有する。
フランジ３１１は、フレキシブルホース３１３の移動軸Ｄ１側に設けられている。フランジ３１１が有する接続通路３１０の開口は、第一中継配管部２５の中継用開口２７６と連通可能に形成されている。
フランジ３１２は、フレキシブルホース３１３の移動軸Ｄ１とは反対側に設けられている。フランジ３１２は、第二中継配管部３６に接続されている。
フレキシブルホース３１３は、二つのフランジ３１１、３１２の間に設けられている。フレキシブルホース３１３は、水平方向に伸縮可能に形成されている。

接続配管部３２は、二つのフランジ３２１、３２２とフレキシブルホース３２３とから形成されている。フランジ３２１、３２２及びフレキシブルホース３２３は、「他の接続通路」としての接続通路３２０を有する。
フランジ３２１は、フレキシブルホース３２３の移動軸Ｄ１側に設けられている。フランジ３１１が有する接続通路３２０の開口は、第一中継配管部２５の中継用開口２８６と連通可能に形成されている。
フランジ３２２は、フレキシブルホース３２３の移動軸Ｄ１とは反対側に設けられている。フランジ３２２は、第二中継配管部３７に接続されている。
フレキシブルホース３２３は、二つのフランジ３２１、３２２の間に設けられている。フレキシブルホース３２３は、水平方向に伸縮可能に形成されている

第二中継配管部３６、３７は、天地方向に延びるよう形成されている（図１の第二中継配管部３６参照）。
第二中継配管部３６の天側の端部には、接続配管部３１が設けられている。具体的には、第二中継配管部３６は、接続配管部３１が水平方向に伸びるとき中継用開口２７６と接続通路３１０とが連通可能な位置に接続配管部３１を支持している。第二中継配管部３６が有する第二中継通路３６０は、接続通路３１０と連通している。
第二中継配管部３７の天側の端部には、接続配管部３２が設けられている、具体的には、第二中継配管部３７は、接続配管部３２が水平方向に伸びるとき中継用開口２８６と接続通路３１０とが連通可能な位置に接続配管部３２に支持している。第二中継配管部３７が有する第二中継通路３７０は、接続通路３２０と連通している。

流体供給部４５は、第二中継配管部３６、３７の地側の端部に設けられる。流体供給部４５は、第二中継通路３６０、接続通路３１０、中継用開口２７６、第一中継通路２７０、接続用開口２７５、開口２２１、連通路２０１、及び、開口２４１を介して内部通路９１に所定の流体を供給することが可能である。また、流体供給部４５は、開口２４２、連通路２０２、開口２３１、接続用開口２８５、第一中継通路２８０、中継用開口２８６、接続通路３２０、及び、第二中継通路３７０を介して内部通路９１の気体を吸引することが可能である。

フレキ駆動部４１は、シリンダ４１１、及び、ピストン４１２を有する。フレキ駆動部４１は、例えば、シリンダ４１１内に流体を加圧注入することによってピストン４１２を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン４１２は、フランジ３１１のフレキシブルホース３１３側の端面３１４に当接している当接部材３１５と連結している。フレキ駆動部４１は、フレキシブルホース３１３を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。

フレキ駆動部４２は、シリンダ４２１、及び、ピストン４２２を有する。フレキ駆動部４２は、例えば、シリンダ４２１内に流体を加圧注入することによってピストン４２２を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン４２２は、フランジ３２１のフレキシブルホース３２３側の端面３２４に当接している当接部材３２５と連結している。フレキ駆動部４２は、フレキシブルホース３２３を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。

リフタ４３は、シリンダ４３１、ピストン４３２を有する。リフタ４３は、例えば、シリンダ４３１内に気体を加圧注入することによってピストン４３２を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン４３２は、本体部２６の地側の面２６１と連結している。リフタ４３は、第一中継配管部２５を天方向に移動可能な駆動力を発生する。

次に、搬送装置１の作用について図１〜７を参照して説明する。
部材９０を支持するパレット２０がチャンバ１５の地方向に来ると、リフタ４３によって第一中継配管部２５を天方向に移動する。天方向に移動する第一中継配管部２５は、本体部２６の天側の面２６２がパレット２０の地側の面２１３と当接する。このとき、パレット２０の開口２２１と第一中継配管部２５の接続用開口２７５とが連通し、パレット２０の開口２３１と第一中継配管部２５の接続用開口２８５とが連通する。第一中継配管部２５がリフタ４３によってさらに天方向に移動すると、パレット２０は第一中継配管部２５とともに天方向に移動し、レール１０１、１０２から離間する。

第一中継配管部２５とともにパレット２０が天方向に移動すると、部材９０がチャンバ１５の収容室１５０に収容される。パレット２０の当接部材２１２が図４、５に示すように、チャンバ１５に当接すると、パレット２０及び第一中継配管部２５の天方向への移動が停止する。このとき、第一中継配管部２５の中継用開口２７６は、天地方向において接続配管部３１の接続通路３１０と同じ位置となる。また、第一中継配管部２５の中継用開口２８６は、天地方向において及び接続配管部３２の接続通路３２０と同じ位置となる。

パレット２０及び第一中継配管部２５の天方向への移動が停止した後、フレキ駆動部４１、４２によって接続配管部３１、３２のフレキシブルホース３１３、３２３が第一中継配管部２５に向かって伸びる。伸びたフレキシブルホース３１３、３２３に設けられているフランジ３１１、３２１は、図６、７に示すように、供給側フランジ２７４、２８４に当接する。これにより、接続通路３１０と第一中継通路２７０とが連通し、接続通路３２０と第一中継通路２８０とが連通する。したがって、第二中継通路３６０は、接続通路３１０及び連通路２０１を介して内部通路９１に連通する。また、第二中継通路３７０は、接続通路３２０及び連通路２０２を介して内部通路９１に連通する。

第二中継通路３６０、３７０と内部通路９１とが連通すると、流体供給部４５は、接続通路３２０側から内部通路９８の気体を吸引しつつ接続通路３１０側から内部通路９１に所定の流体を供給する。このとき、チャンバ１５は、部材９０の温度が部材９０の内壁の表面処理に適した温度となるよう部材９０を加熱する。これにより、内部通路９１の内壁が表面処理される。

内部通路９１の内壁の表面処理が終了すると、流体供給部４５によって内部通路９１に大気圧レベルまで空気を充填した後、フレキ駆動部４１、４２のピストン４１２、４２２を駆動し、接続配管部３１、３２を第一中継配管部２５から切り離す。
接続配管部３１、３２が第一中継配管部２５から切り離された後、リフタ４３のピストン４３２を駆動し、第一中継配管部２５及びパレット２０を地方向に移動する。地方向に移動するパレット２０は、レール１０１、１０２に当接し、レール１０１、１０２上に戻される。第一中継配管部２５は、さらに地方向に移動し、図１〜３に示す状態となる。
レール１０１、１０２上に戻されたパレット２０は、部材９０を支持しつつ次の工程のためにレール１０１、１０２上を移動する。

（ａ）搬送装置１では、第一中継配管部２５は、中継用開口２７６、２８６を部材９０の移動軸Ｄ１に交わる方向に開口するよう有している。
部材９０の内壁を表面処理するとき、部材９０は、パレット２０とともに搬送レール１０の一方の側に固定されているチャンバ１５内に導入するよう天方向に移動する。このとき、第一中継配管部２５は、第一中継配管部２５の接続用開口２７５、２８５と内部通路９１とが連通するようチャンバ１５の方向に移動する。第一中継配管部２５がチャンバ１５の方向に移動しチャンバ１５内の部材９０の内部通路９１と接続用開口２７５、２８５とが連通すると、接続配管部３１、３２は、移動軸Ｄ１に交わる方向に伸ばし、第一中継通路２７０、２８０と流体供給部４５内とを連通する。これにより、部材９０の内部通路９１と流体供給部４５内とが連通し、流体供給部４５は、所定の流体を内部通路９１に供給することが可能となる。
このように、搬送装置１では、伸縮可能に形成されている接続配管部３１、３２は、接続通路３１０、３２０が部材９０の移動軸Ｄ１に交わる方向に開口する中継用開口２７６、２８６に連通するよう伸びるため、伸縮する長さを比較的短くすることができる。これにより、伸縮による接続配管部３１、３２の劣化を防止することができる。したがって、搬送装置１は、搬送されている部材９０の内部通路９１の気密を保ちつつ所定の流体を導入することができる。

（ｂ）また、接続配管部３１、３２が伸縮する長さを比較的短くすることができるため、標準的なフレキシブルホース３１３、３２３によって接続配管部３１、３２を構成することができる。これにより、搬送レール１０によって搬送される部材が有する内部通路の気密を保つために特別にフレキシブルホースを用意することが不要となる。したがって、搬送装置１の設備費を低減することができる。

（ｃ）搬送装置１では、部材９０を加熱するチャンバ１５は、部材９０の温度を表面処理に適した温度となるよう搬送レール１０の天方向に固定されている。これにより、チャンバ１５が有するヒータの配線や冷却用の流体が流れる流路が固定されるため、チャンバ１５の構成を比較的簡素にすることができる。したがって、搬送装置１の構成を比較的簡素にすることができる。

（ｄ）搬送装置１は、流体供給部４５と部材９０の内部通路９１とを連通する通路の組み合わせを接続通路３１０側と接続通路３２０側との二つ有している。部材９０の内部通路９１の内壁に表面処理を施すとき、接続通路３２０側から内部通路９８の気体を吸引しつつ接続通路３１０側から内部通路９１に所定の流体を供給する。これにより、内部通路９１を比較的短時間で所定の流体で充満させることができるため、表面処理に要する時間を短くすることができる。したがって、部材９０の製造に要する時間を短くすることができる。

（ｅ）搬送装置１では、接続配管部３１、３２が接続する中継用開口２７６、２８６は、部材９０の移動軸Ｄ１と垂直に交わる方向に開口している。これにより、接続配管部３１、３２と供給側フランジ２７４、２８４とが接続するときに接続配管部３１、３２が伸びる必要がある長さをさらに短くすることができる。したがって、伸縮による接続配管部３１、３２の劣化をさらに防止することができる。

（ｆ）搬送装置１では、接続配管部３１、３２は、それぞれ図１に示す二点鎖線ＶＬ１で挟まれた領域の外に設けられている。これにより、パレット２０が移動するとき、接続配管部３１、３２とパレット２０との干渉を防止しつつ、接続配管部３１、３２が伸びる距離を比較的短くすることができる。したがって、伸縮による接続配管部３１、３２の劣化をさらに防止することができる。

（ｇ）搬送装置１では、パレット２０は、第一中継配管部２５を天方向に移動可能なリフタ４３によって第一中継配管部２５とともに天方向に移動可能に設けられている。これにより、パレット２０に支持されている部材９０をチャンバ１５内に導入するための駆動部が不要となる。したがって、搬送装置１の設備費をさらに低減することができる。

（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態による搬送装置を図８、９に基づいて説明する。第二実施形態は、第一中継通路、接続通路、及び、第二中継通路の数が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

第二実施形態による搬送装置２は、搬送レール１０で搬送されている部材９５を搬送しつつ、部材９５が有する「内部空間」としての内部通路９６の気密を検査可能な装置である。搬送装置２は、搬送レール１０、「収容室形成部材」としてのチャンバ１５、パレット２０、第一中継配管部６５、接続配管部３１、第二中継配管部３６、フレキ駆動部４１、リフタ４３、「加減圧部」としてのポンプ４７、「圧力検出手段」としての圧力センサ４８などを備える。なお、図８、９では、紙面の上側を「天」側とし、紙面の下側を「地」側として説明する。

部材９５は、例えば、ゴムなどの弾性部材によって気密を維持可能な部材である。部材９５は、内部に内部通路９６を有する。内部通路９６は、一つの開口９６１を介して部材９０の外部と連通している。部材９５では、開口９６１は、パレット２０の天側フランジ２４の開口２４１と連通するよう形成されている。搬送装置２では、内部通路９６の気密性を検査することが可能である。

チャンバ１５は、搬送レール１０の天側に固定されている部材である。チャンバ１５は、地側に開口１８を有する収容室１７０を有する。収容室１７０は、部材９５を収容可能な大きさとなるよう形成されている。チャンバ１５は、部材９５の内部の気密性を検査するとき、部材９５の温度が所定の温度となるよう部材９５を加熱可能である。

第一中継配管部６５は、本体部６６、第一中継配管６７を有する。

本体部６６は、略直方体形状の部材であって、第一中継配管６７を所定の位置に支持するよう形成されている。本体部６６は、地側の面６６１においてリフタ４３と連結している。

第一中継配管６７は、略Ｌ字状に形成されている筒状の部材である。第一中継配管６７は、部材側フランジ６７１、鉛直部６７２、水平部６７３、検査側フランジ６７４から形成されている。
部材側フランジ６７１は、第一中継配管６７の天側の端部に設けられている。部材側フランジ６７１は、パレット２０側に開口する接続用開口６７５を有する。接続用開口６７５は、パレット２０の開口２２１に連通可能に形成されている。
鉛直部６７２は、部材側フランジ６７１から地方向に延びるよう形成されている。
水平部６７３は、鉛直部６７２の地側の端部から水平方向に延びるよう形成されている。
検査側フランジ６７４は、水平部６７３の鉛直部６７２と接続する側とは反対側の端部に設けられている。検査側フランジ６７４は、部材９５の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口６７６を有する。本実施形態では、中継用開口６７６は、部材９５の移動方向と垂直に交わる方向、すなわち、水平方向に開口している。
第一中継配管６７は、接続用開口６７５と中継用開口６７６とを連通する第一中継通路６７０を有する。

搬送装置２は、一個の接続配管部３１を備える。すなわち、搬送装置２は、伸縮可能な接続通路３１０を一本有する。搬送装置２の接続配管部３１は、第二中継配管部３６に支持されている。接続配管部３１は、フレキ駆動部４１によって水平方向に延びることが可能である。
第二中継配管部３６は、接続通路３１０に連通する第二中継通路３６０を有している。

ポンプ４７は、第二中継配管部３６の地側の端部に設けられる。ポンプ４７は、第二中継通路３６０、接続通路３１０、中継用開口６７６、第一中継通路６７０、接続用開口６７５、開口２２１、連通路２０１、及び、開口２４１を介して内部通路９６の気体を吸引することが可能である。
圧力センサ４８は、ポンプ４７に設けられ、内部通路９６の圧力を検出可能である。

搬送装置２では、搬送レール１０上を移動している部材９５を所定の温度に加熱し、弾性部材の劣化による気密性の変化を検査することができる。このとき、接続配管部３１は、接続通路３１０が部材９５の移動方向に交わる方向に開口する中継用開口６７６に連通するよう伸びるため、伸縮する長さを比較的短くすることができる。これにより、搬送装置２は、第一実施形態の効果（ｂ）、（ｃ）、（ｅ）〜（ｇ）を奏するとともに、部材９５の気密検査を精度良く行うことができる。

（第三実施形態）
次に、本発明の第三実施形態による搬送装置を図１０、１１に基づいて説明する。第三実施形態は、接続配管部が設けられる場所が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

第三実施形態による搬送装置３は、搬送レール１０、チャンバ１５、パレット２０、第一中継配管部２５、接続配管部５１、５２、第二中継配管部３６、３７、フレキ駆動部５６、５７、リフタ４３、流体供給部４５などを備える。なお、図１０では、紙面の上側を「天」側とし、紙面の下側を「地」側として説明する。

接続配管部５１、５２は、レール１０１とレール１０２との間の領域（図１０に示す二点鎖線ＶＬ３で挟まれた領域）内に設けられている。本実施形態では、接続配管部５１、５２を二つ有している。

接続配管部５１は、フランジ５１２とフレキシブルホース５１３とから形成されている。接続配管部５１は、第一中継配管部２５の第二中継配管部３６に設けられている。フレキシブルホース５１３及びフランジ５１２は、「一の接続通路」としての接続通路５１０を有する。接続通路５１０は、中継用開口２７６と連通している。

フランジ５１２は、フレキシブルホース５１３の移動軸Ｄ１とは反対側に設けられている。フランジ５１２は、第二中継配管部３６の第二中継通路３６０と連通可能に形成されている。

フレキシブルホース５１３は、供給側フランジ２７４とフランジ５１２との間に設けられている。フレキシブルホース５１３は、水平方向に伸縮可能に形成されている。

接続配管部５２は、フランジ５２２とフレキシブルホース５２３とから形成されている。接続配管部５２は、第一中継配管部２５の第二中継配管部３７に設けられている。フレキシブルホース５２３及びフランジ５２２は、「他の接続通路」としての接続通路５２０が形成されている。接続通路５２０は、中継用開口２８６と連通している。

フランジ５２２は、フレキシブルホース５２３の移動軸Ｄ１とは反対側に設けられている。フランジ５２２は、第二中継配管部３７の第二中継通路３７０と連通可能に形成されている。

フレキシブルホース５２３は、供給側フランジ２８４とフランジ５２２との間に設けられている。フレキシブルホース５２３は、水平方向に伸縮可能に形成されている。

フレキ駆動部５６は、シリンダ５６１、ピストン５６２を有する。本実施形態では、フレキ駆動部５６は、第一中継配管部２５の地側に設けられている。フレキ駆動部５６は、例えば、シリンダ５６１内に流体を加圧注入することによってピストン５６２を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン５６２は、フランジ５１２のフレキシブルホース５１３側の端面５１４に当接している当接部材５１５と連結している。フレキ駆動部５６は、フレキシブルホース５１３を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。

フレキ駆動部５７は、シリンダ５７１、ピストン５７２を有する。本実施形態では、フレキ駆動部５７は、第一中継配管部２５の地側に設けられている。フレキ駆動部５７は、例えば、シリンダ５７１内に流体を加圧注入することによってピストン５７２を水平方向に移動可能に形成されている。ピストン５７２は、フランジ５２２のフレキシブルホース５２３側の端面５２４に当接している当接部材５２５と連結している。フレキ駆動部５７は、フレキシブルホース５２３を水平方向に伸ばすことが可能な駆動力を発生する。

搬送装置３では、二つの接続配管部５１、５２は、第一中継配管部２５に設けられている。部材９０の内壁に表面処理を施すとき、接続配管部５１、５２は、接続通路５１０、５２０が部材９０の移動軸Ｄ１に交わる方向に開口する中継用開口２７６、２８６に連通するよう伸びるため、伸縮する長さを比較的短くすることができる。これにより、搬送装置３は、第一実施形態と同じ効果を奏する。

（他の実施形態）
第一実施形態では、部材は二つの開口を有するとした。しかしながら、第二実施形態のように、一つの開口しか有していない部材に対しても表面処理を施すことは可能である。また、部材が有する開口が三つ以上となっても、第一中継通路、接続通路、及び、第二中継通路の組み合わせを部材が有する開口の数と同じだけ有することで表面処理を施すことが可能である。

上述の実施形態では、中継用開口が開口する方向は、部材の移動方向と垂直に交わるとした。しかしながら、垂直に交わらなくてもよい。中継用開口が開口する方向は、部材の移動方向と交わればよい。

上述の実施形態では、搬送装置は、第二中継配管部を備えるとした。しかしながら、第二中継配管部はなくてもよい。接続配管部が流体供給部またはポンプに直接接続してもよい。

上述の実施形態では、部材はパレットともに第一中継配管部を天方向に移動可能なリフタによって天方向に移動させるとした。しかしながら、部材を天方向に移動させる駆動部を別途備えてもよい。

上述の実施形態では、搬送装置は、部材を支持するパレットを備えるとした。パレットは、なくてもよい。部材が搬送レールから天側に移動可能に設けられていれば、第一中継配管部の接続用開口が直接部材の開口に連通されてもよい。

第一実施形態では、流体供給部４５は、接続通路３２０側から内部通路９８の気体を吸引しつつ接続通路３１０側から内部通路９１に所定の流体を供給するとした。しかしながら、接続通路３１０側から内部通路９８の気体を吸引しつつ接続通路３２０側から内部通路９１に所定の流体を供給してもよい。

第二実施態では、搬送装置は、弾性部材によって気密を維持可能な部材の気密性を検査可能であるとした。しかしながら、弾性部材を有していない部材に対しても気密性を検査することはできる。

第二実施形態において、第三実施形態のように、接続配管部を第一中継配管部に設けてもよい。

第二実施形態において、ポンプは、部材内を吸引するとした。しかしながら、加圧することによって気密を検査してもよい。

第一、三実施形態では、搬送装置は、部材の内部に表面処理を施すとした。また、第二実施形態では、搬送装置は、部材の気密検査を行うとした。しかしながら、搬送装置が実施可能な工程は、これに限定されない。搬送されている部材が有する内部通路の気密を保ちつつ内部通路に所定の流体を導入、または、内部通路を加減圧する工程であればよい。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。

１、２、３・・・搬送装置
９０・・・部材
９１・・・内部通路（内部空間）
１０・・・搬送レール
１５・・・チャンバ（収容室形成部材）
２５・・・第一中継配管部
２７０、２８０・・・第一中継通路
３１、３２、５１、５２・・・接続配管部
３１０、３２０、５１０、５２０・・・接続通路
４１、４２、５６、５７・・・フレキ駆動部（第一駆動部）
４３・・・リフタ（第二駆動部）

Claims (8)

1. 搬送されている部材（９０）が有する内部空間（９１）の気密を保ちつつ前記内部空間に所定の流体を導入可能な搬送装置であって、
   前記部材を搬送可能な搬送レール（１０）と、
   前記搬送レールに対して固定され、前記部材を収容可能な収容室（１５０）を有する収容室形成部材（１５）と、
   前記搬送レールの前記収容室形成部材とは反対側に前記収容室形成部材に対して相対移動可能に設けられ、前記搬送レール上の前記部材側に形成され前記内部空間に連通可能な接続用開口（２７５、２８５）、前記搬送レール上を搬送されている前記部材が前記収容室に収容されるときに移動する方向である移動方向に交わる方向に開口する中継用開口（２７６、２８６）、及び、前記接続用開口と前記中継用開口とを連通する第一中継通路（２７０、２８０）を有する第一中継配管部（２５）と、
   前記第一中継通路を介して前記内部空間に所定の流体を供給可能な流体供給部（４５）と、
   前記第一中継配管部と前記流体供給部との間に設けられ、伸縮可能に形成され、前記第一中継通路と前記流体供給部内とを連通可能な接続通路（３１０、３２０、５１０、５２０）を有する接続配管部（３１、３２、５１、５２）と、
   前記接続配管部を伸ばすことが可能な駆動力を発生する第一駆動部（４１、４２、５６、５７）と、
   前記第一中継配管部を前記収容室形成部材に対して相対移動可能な駆動力を発生する第二駆動部（４３）と、
   を備え、
   前記接続配管部は、前記内部空間と前記接続用開口とが連通しているとき、前記中継用開口と前記流体供給部内とが連通するよう前記移動方向に交わる方向に伸びる搬送装置。
2. 前記部材は、前記内部空間と外部とを連通する一の開口（９１１）、及び、前記一の開口とは別に前記内部空間と外部とを連通する他の開口（９１２）を有し、
   前記第一中継配管部は、前記一の開口に連通可能な前記接続用開口としての一の接続用開口（２７５）、前記一の接続用開口に連通する前記第一中継通路としての一の第一中継通路（２７０）、前記一の第一中継通路に連通する前記中継用開口としての一の中継用開口（２７６）、前記他の開口に連通可能な前記接続用開口としての他の接続用開口（２８５）、前記他の接続用開口に連通する前記第一中継通路としての他の第一中継通路（２８０）、及び、前記他の第一中継通路に連通する前記中継用開口の他の中継用開口（２８６）を有し、
   前記接続配管部は、前記一の中継用開口に連通可能な一の接続通路（３１０、５１０）、及び、前記他の中継用開口に連通可能な他の接続通路（３２０、５２０）を有し、
   前記流体供給部は、前記他の接続通路、前記他の中継用開口、前記他の第一中継通路、及び、前記他の接続用開口を介して前記内部空間の気体を吸引しつつ、前記一の接続用開口、前記一の第一中継通路、前記一の中継用開口、及び、前記一の接続通路を介して前記内部空間に所定の流体を供給可能な請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記接続通路を介して前記第一中継通路と前記流体供給部内とを連通可能な第二中継通路（３６０、３７０）を有する第二中継配管部（３６、３７）をさらに備え、
   前記接続配管部（３１、３２）は、前記第一中継配管部に接続可能なよう前記第二中継配管部に設けられる請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記接続配管部（５１、５２）は、前記第一中継配管部に設けられる請求項１または２に記載の搬送装置。
5. 搬送されている部材（９５）が有する内部空間（９６）の気密を保ちつつ前記内部空間を加圧または減圧可能な搬送装置であって、
   前記部材を搬送可能な搬送レール（１０）と、
   前記搬送レールに対して固定され、前記部材を収容可能な収容室（１７０）を有する収容室形成部材（１７）と、
   前記搬送レールの前記収容室形成部材とは反対側に前記収容室形成部材に対して相対移動可能に設けられ、前記搬送レール上の前記部材側に形成され前記内部空間に連通可能な接続用開口（６７５）、前記搬送レール上を搬送されている前記部材が前記収容室に収容されるときに移動する方向である移動方向に交わる方向に開口する中継用開口（６７６）、及び、前記接続用開口と前記中継用開口とを連通する第一中継通路（６７０）を有する第一中継配管部（６５）と、
   前記第一中継通路を介して前記内部空間を加圧または減圧可能な加減圧部（４７）と、
   前記内部空間の圧力検出可能な圧力検出手段（４８）と、
   前記第一中継配管部と前記加減圧部との間に設けられ、伸縮可能に形成され、前記第一中継通路と前記加減圧部内とを連通可能な接続通路（３１０）を有する接続配管部（３１）と、
   前記接続配管部を伸ばすことが可能な駆動力を発生する第一駆動部（４１）と、
   前記第一中継配管部を前記収容室形成部材に対して相対移動可能な駆動力を発生する第二駆動部（４３）と、
   を備え、
   前記接続配管部は、前記内部空間と前記接続用開口とが連通しているとき、前記中継用開口と前記加減圧部内とが連通するよう前記移動方向に交わる方向に伸びる搬送装置。
6. 前記接続通路を介して前記第一中継通路と前記加減圧部内とを連通可能な第二中継通路（３６０）を有する第二中継配管部（３６）をさらに備え、
   前記接続配管部は、前記第一中継配管部に接続可能なよう前記第二中継配管部に設けられる請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記部材を支持しつつ前記搬送レール上を移動可能に設けられ、前記収容室形成部材に対して相対移動可能なパレット（２０）をさらに備え、
   前記接続配管部は、前記パレットが移動可能な領域の外に設けられる請求項１〜３、５または６のいずれか一項に記載の搬送装置。
   
8. 前記第二駆動部は、前記第一中継配管部とともに前記部材を前記収容室形成部材に対して相対移動可能である請求項１〜７のいずれか一項に記載の搬送装置。

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