JP6672771B2 - 吸着装置、及びワーク支持装置 - Google Patents

Description

本発明は、吸着装置、及びワーク支持装置に関する。

ワーク等の物体を吸着して支持する技術が知られている（例えば、下記の特許文献１参照）。特許文献１の板材搬送装置は、板材（ワーク）を把持する把持手段を備え、この把持手段は板材表面を吸着する吸着パッドを有する。吸着パッドの少なくとも一つは、小パッド群を含み、小パッドの吸引経路は絞りを有する。この絞りは、吸着パッドの流路面積に比べて十分に小さい開口面積に形成され、吸着パッドにおける負圧の漏れを抑制す。

特開２０００−１１７３７２号公報

上述のような吸着パッドを備える吸着装置は、絞りの開口面積が小さいため、絞りに粉塵などにより絞りが詰まりやすく、吸着パッドの交換あるいはメンテナンスに労力、時間、費用などのコストがかかる。本発明は、上述の事情に鑑みなされたものであり、絞りの詰まりを容易に解消することを目的とする。

本発明の態様に係る吸着装置は、内部流路を有し、ワークの表面に接触する吸着パッドと、吸着パッドを支持する吸着パッド支持体と、内部流路と連通するように配置される絞りを有し、吸着パッドとは別物であって吸着パッドと吸着パッド支持体との間に取り外し可能に設けられる板状の絞り部材と、を備え、内部流路は、連通する複数の流路と、ワーク側にむかうにつれて外径および内径が大きくなるテーパ状である部分とを有し、絞りは、複数の流路のいずれよりも開口面積が小さい。
本発明の態様に係る吸着装置は、内部流路を有する吸着パッドと、吸着パッドを支持する吸着パッド支持体と、内部流路と連通し内部流路よりも開口面積が小さい絞りを有し、吸着パッドと吸着パッド支持体との間に取り外し可能に設けられる板状の絞り部材と、を備える。

本発明のワーク支持装置は、ワークを支持する腕部と、腕部に設けられる上記の吸着装置と、を備える。

また、吸着パッドを複数備え、絞り部材は、吸着パッドごとに設けられる絞りを複数有するものでもよい。また、絞り部材に対して吸着パッド支持体と反対側に設けられ、絞り部材を吸着パッド支持体へ押圧する押さえ部材と、押さえ部材を吸着パッド支持体に固定し、押さえ部材の押圧力を可変な固定部材と、を備えるものでもよい。また、板状の絞り部材の面と平行な方向において固定部材と絞り部材とを相対的に移動可能なように、絞り部材に切り欠きが設けられているものでもよい。また、絞り部材は、絞り部材の厚み方向から見た場合に押さえ部材の外側に張り出す張り出し部を有するものでもよい。また、吸着パッド支持体と絞り部材とに挟まれるガスケットを備え、絞りの開口面積は、ガスケットにおいて絞り部材の絞りと連通する貫通孔の開口面積よりも小さいものでもよい。

本発明によれば、絞りを有する絞り部材が吸着パッドと吸着パッド支持体との間に取り外し可能に設けられるので、絞り部材を取り外して交換あるいはメンテナンスすることができ、絞りの詰まりを容易に解消することができる。

また、吸着パッドを複数備え、絞り部材は、吸着パッドごとに設けられる絞りを複数有するものでは、１つの絞り部材で複数の吸着パッドに対応可能であるので、例えば、装置構成をシンプルにすること、複数の吸着パッドに対して一括して絞りの詰まりを解消すること等ができる。また、絞り部材に対して吸着パッド支持体と反対側に設けられ、絞り部材を吸着パッド支持体へ押圧する押さえ部材と、押さえ部材を吸着パッド支持体に固定し、押さえ部材の押圧力を可変な固定部材と、を備えるものでは、押さえ部材の押圧力を固定部材によって弱めることで絞り部材を容易に取り外すことができ、絞り部材の交換あるいはメンテナンスを容易に行うことができる。また、板状の絞り部材の面と平行な方向において固定部材と絞り部材とを相対的に移動可能なように、絞り部材に切り欠きが設けられているものでは、固定部材が押さえ部材に付随したまま絞り部材を取り外すことができ、絞り部材の交換あるいはメンテナンスを容易に行うことができる。また、絞り部材は、絞り部材の厚み方向から見た場合に押さえ部材の外側に張り出す張り出し部を有するものは、張り出し部の操作によって押さえ部材を移動させることができ、絞り部材を取り外すことが容易になる。また、吸着パッド支持体と絞り部材とに挟まれるガスケットを備え、絞りの開口面積は、ガスケットにおいて絞り部材の絞りと連通する貫通孔の開口面積よりも小さいものでは、吸着パッド支持体と絞り部材との間の負圧漏れを抑制することができるので、負圧漏れによる吸着力の低下を抑制することができる。

実施形態に係る吸着装置を適用したワーク支持装置を示す図である。 実施形態に係るワーク支持装置の動作を示す図である。 実施形態に係る吸着部を示す図である。 実施形態に係る吸着部の一部を示す斜視図および平面図である。 実施形態に係る吸着部の一部を示す分解斜視図および断面図である。 実施形態に係る吸着部における絞り部材の取り外し方法を示す図である。

以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。また、ＸＹＺの各方向において、適宜、矢印と同じ側を＋側（例、＋Ｘ側）と称し、その反対側を−側（例、−Ｘ側）と称す。

図１（Ａ）は、実施形態に係る吸着装置を適用したワーク支持装置を示す図であり、図１（Ｂ）は加工パレットを示す図である。ここでは、ワーク支持装置の一例としてフォーク装置を説明する。フォーク装置１は、例えば、加工機によって切断加工が施されたワークＷを受け取り、このワークＷを支持する。切断加工は、レーザ光の照射によりワークＷを切断するレーザ加工機によるレーザ加工でもよいし、切断刃によりワークＷを切断するパンチプレスによるパンチ加工でもよく、レーザ加工機およびパンチプレス機を用いる複合加工でもよい。切断加工が施されたワークＷは、例えば、図１（Ｂ）に示す加工パレット２に保持され、所定の位置まで運ばれる。フォーク装置１は、例えば、所定の位置において、加工パレット２からワークＷを受け取る。

加工パレット２は、例えば、レール３に沿って移動可能な車輪（図示せず）を備える。レール３は、加工パレット２によりワークＷを搬送するワーク搬送システムは、加工パレット２を牽引することによって、レール３に沿って加工パレット２を移動させる。例えば、加工パレット２には、ワイヤと接続されたフックが掛けられ、このワイヤが駆動部に巻き取られることで加工パレット２が牽引される。なお、加工パレット２を移動させる機構は適宜変更可能であり、例えば、加工パレット２が自走式でもよい。

加工パレット２は、ベースプレート５および複数の支持プレート６を備える。複数の支持プレート６は、それぞれ板状であり、ベースプレート５の上面に対してほぼ垂直に設けられる。複数の支持プレート６は、それぞれワークＷの下面と平行な所定方向（例、Ｙ方向）に延びており、Ｘ方向に所定の間隔で並んでいる。複数の支持プレート６は、それぞれ、鋸歯状に形成された上端部を有する。複数の支持プレート６は、ワークＷの下面を複数の点（鋸歯の先端）で支持する。

切断加工にレーザ加工機を用いる場合、レーザ加工機は、例えば、加工パレット２に載置された加工前のワークＷに対してレーザ光を照射して、ワークＷにレーザ加工を施す。ワークＷは、切断加工により、例えば製品Ｗａと残材Ｗｂ（スケルトン、製品Ｗａの周辺部分）とに切り分けられる。

レーザ加工機は、レーザヘッドと、ヘッド駆動部とを備える。レーザヘッドは、光ファイバなどの光伝送体を介してレーザ光源に接続され、下方にレーザ光を射出する。レーザ光源は、例えばファイバーレーザなどの固体レーザの光源であり、炭酸ガスレーザなどに比べて熱密度の高いレーザ光が得られる。そのため、ファイバーレーザを用いたレーザ加工機は、高速で切断加工を行うことが可能である。レーザ加工によりワークＷと加工パレット２の支持プレート６とが溶着することがあるが、支持プレート６がワークＷを複数の点で支持するので、支持プレート６とワークＷとの溶着部を減らすことができる。

フォーク装置１は、基部１１と、複数の腕部１２と備える。基部１１は、Ｘ方向に延びる板状であり、複数の腕部１２は、それぞれ基部１１から＋Ｙ方向に延びる棒状である。複数の腕部１２は、例えば、加工パレット２の支持プレート６とほぼ等しいピッチ（中心間距離）でＸ方向に配列されている。各腕部１２の幅は、加工パレット２において隣り合う２つの支持プレート６のギャップよりも狭く設定され、各腕部１２は、隣り合う２つの支持プレート６の間に挿入可能である。各腕部１２の上面１２ａは、ワークＷが受け渡される際に、ワークＷの下面と対向する。腕部１２の上面１２ａには、実施形態に係る吸着装置として吸着部２０（後に図３等にも示す）が設けられる。フォーク装置１は、基部１１を駆動する駆動部、及びガイド１３を備える。ガイド１３は、Ｘ方向における基部１１の両側にそれぞれ配置され、Ｙ方向に延びている。フォーク装置１の駆動部は、基部１１および複数の腕部１２をガイド１３に沿って、Ｙ方向に移動させる。

図２は、実施形態に係るワーク支持装置の動作を示す図である。フォーク装置１は、図２（Ａ）に示すように、ワークＷを保持する加工パレット２に向かって、複数の腕部１２を−Ｙ側へ移動させる。この際に、複数の腕部１２の高さは、加工パレット２のベースプレート５の上面よりも上方、かつワークＷの下面よりも下方に設定されている。複数の腕部１２は、加工パレット２の支持プレートに対して所定方向（Ｙ方向）に相対的に移動して、加工パレット２において隣り合う２つの支持プレート６の間に挿入され、ワークＷの下方に配置される。

図２（Ａ）の状態では、ワークＷは、加工パレット２の複数の支持プレート６によって支持されている。図２（Ｂ）に示すように、複数の腕部１２がワークＷの下方に配置された状態で、加工パレット２は、複数の腕部１２に対して下方に移動し、ワークＷが複数の腕部１２上に渡される。このように、フォーク装置１は、加工パレット２に対して鉛直方向に相対的に移動して、加工パレット２からワークＷを受け取る。複数の腕部１２は、それぞれ、加工パレット２の複数の支持プレート６の間でワークＷの下面を支持する。なお、フォーク装置１は、複数の腕部１２が上方に移動することで加工パレット２からワークＷを受け取るものでもよい。

ところで、ワークＷと加工パレット２とがレーザ加工により溶着している場合、ワークＷが複数の腕部１２に支持された状態で加工パレット２が下方に移動することで、溶着を剥がして、ワークＷを加工パレット２から分離することができる。また、フォーク装置１は、加工パレット２と比べてレーザ加工に供する上での制約が少ないことから、加工パレット２と比べてワークＷを安定的に支持するように構成することができる。例えば、複数の腕部１２は、複数の支持プレート６と比べて、多点あるいは広い接触面積でワークＷを支持することが可能であり、ワークＷを安定的に保持することができる。

図３は、実施形態に係る吸着装置（吸着部２０）を示す図である。吸着部２０は、フォーク装置１の腕部１２に設けられる。図３には、吸着部２０のうち１つの腕部１２に設けられる部分を代表的に示した。吸着部２０は、ワークＷと対向する腕部１２の上面１２ａに設けられる。吸着部２０は、例えば、フォーク装置１に支持されたワークＷ（図２（Ｂ）参照）のうち少なくとも製品Ｗａを吸着する。吸着部２０は、複数の吸着パッド３１を備え、複数の吸着パッド３１は、腕部１２の長さ方向（Ｙ方向）に並んでいる。ここでは、複数の吸着パッド３１は、所定の数の吸着パッド３１ごとに一括して、腕部１２に取り付けられている。以下の説明において、所定の数の吸着パッド３１を含む部分を吸着ユニット３２と称する。ここでは、腕部１２の内部に気密性を有する流路Ｃ１（空洞）が設けられ、吸着パッド３１は、流路Ｃ１を介した減圧により、ワークＷを吸着する。流路Ｃ１は、腕部１２の長さ方向（Ｙ方向）に延びており、減圧装置（吸気装置、吸引装置）と接続される。

図４は、実施形態に係る吸着装置の一部（吸着ユニット３２）を示す斜視図および平面図であり、図５は、吸着ユニット３２を示す分解斜視図および断面図である。図４（Ａ）に示すように、吸着ユニット３２は、吸着パッド３１と、吸着パッド支持体３３と、押さえ部材３５と、絞り部材３６と、固定部材３７と、を備える。

吸着パッド３１は、吸着対象のワークＷと対向する位置に配置される。吸着パッド３１は、吸着パッド支持体３３に支持されている。ここでは、吸着パッド支持体３３は、フォーク装置１の腕部１２の上面１２ａを含む部分（天井部）である。吸着パッド３１は、腕部１２の長さ方向に所定の間隔で並んでいる。吸着パッド３１は、ワークＷの表面に接触する部分である。吸着パッド３１は、例えばゴムなどの変形容易な材質で形成される。

吸着パッド３１（図５（Ｂ）参照）は、上部３１ａおよび下部３１ｂを有し、内部流路（流路Ｃ２、流路Ｃ３）を有する中空構造である。吸着パッド３１の上部３１ａは、その内部に流路Ｃ２（空洞）を有する。上部３１ａは、下方から上方にむかうにつれて外径および内径が大きくなるテーパ状である。吸着パッド３１の下部３１ｂは、その内部に流路Ｃ３（空洞）を有する中空構造であり、流路Ｃ３は上部３１ａの流路Ｃ２と連通している。下部３１ｂは、概ね円筒状である。

絞り部材３６は、例えば金属製あるいは樹脂製であり、板状（薄板状、シート状）の部材である。絞り部材３６は、吸着パッド３１と吸着パッド支持体３３との間に取り外し可能に設けられる。絞り部材３６は、吸着パッド３１ごとに設けられる絞り３６ａ（ノズル）を有する。絞り３６ａは、絞り部材３６を貫通する貫通孔であり、エアのリーク（負圧の漏れ）を抑制可能である。本実施形態において吸着部２０は吸着パッド３１を複数備えており、絞り部材３６は、吸着パッド３１ごとに設けられる絞り３６ａを複数有する。例えば、絞り３６ａと吸着パッド３１とが１対１の対応で設けられ、１つの絞り部材３６が複数の吸着パッド３１に対応して設けられる。

絞り３６ａは、吸着パッド３１の内部流路（流路Ｃ２、流路Ｃ３）と連通するように配置され、流路Ｃ２、流路Ｃ３のいずれよりも開口面積が小さい。例えば、流路Ｃ２、流路Ｃ３および絞り３６ａは、それぞれ開口形状が円形であり、絞り３６ａの内径は、流路Ｃ２、流路Ｃ３の内径よりも小さい。吸着パッド３１の流路Ｃ２、流路Ｃ３の開口面積がＺ方向の位置によって変化する場合、その最小値を吸着パッド３１における内部流路（流路Ｃ２、流路Ｃ３）の開口面積とする。絞り３６ａの開口面積についても同様に、Ｚ方向の位置によって変化する場合、その最小値を絞り３６ａの開口面積とする。絞り３６ａは、例えば微小な孔であり、その平均内径が１ｍｍ以下でもよいし、０．５ｍｍ以下でもよく、０．１ｍｍ以下でもよい。このような絞り部材３６は、例えば、金属シートあるいは樹脂シートなどの母材に、加工パレット２上のワークにレーザ加工を施すレーザ加工機を用いて絞り３６ａを形成したものでもよい。

吸着パッド支持体３３と絞り部材３６との間には、ガスケット３８が設けられる。ガスケット３８は、吸着パッド支持体３３と絞り部材３６とに挟み込まれている。ガスケット３８は、その上面が絞り部材３６の下面と接しており、その下面が吸着パッド支持体３３の上面（腕部１２の上面１２ａ）と接している。ガスケット３８は、板状（例、薄板状、シート状）の部材であり、絞り３６ａと連通する貫通孔３８ａを有する。吸着パッド支持体３３には、腕部１２の流路Ｃ１と通じる貫通孔３３ａが設けられており、ガスケット３８の貫通孔３８ａは、吸着パッド支持体３３の貫通孔３３ａとも連通している。絞り部材３６の絞り３６ａの絞り３６ａの開口面積は、ガスケット３８の貫通孔３８ａの開口面積よりも小さい。

ガスケット３８は、吸着パッド支持体３３と絞り部材３６との間のエアのリーク（負圧漏れ）を抑制するシール部材として利用される。例えば、吸着パッド支持体３３と絞り部材３６とが金属製である場合、ガスケット３８は、吸着パッド支持体３３および絞り部材３６のそれぞれと密着するように、可撓性を有するゴムあるいは樹脂などで形成される。

ここで、吸着部２０による吸着動作について説明する。腕部１２の流路Ｃ１と接続される減圧装置（図示せず）は、腕部１２の流路Ｃ１を減圧する。すると、吸着パッド支持体３３の貫通孔３３ｃ、ガスケット３８の貫通孔３８ａ、及び絞り部材３６の絞り３６ａを介して、吸着パッド３１の内部流路（流路Ｃ２、流路Ｃ３）が減圧される。これにより、吸着パッド３１とワークＷの表面との間が負圧となり、この負圧によって吸着パッド３１の上のワークＷが吸着（吸引）される。

ところで、絞り部材３６の絞り３６ａは、開口面積が小さいことから粉塵等が詰まることがある。絞り３６ａに粉塵等が詰まった場合、絞り３６ａを介した吸引を十分に行うことができず、吸着不良を生じる。本実施形態に係る吸着装置（吸着部２０）は、押さえ部材３５による絞り部材３６の押圧を弱めて絞り部材３６を取り外し、絞り部材３６の交換、あるいは絞り３６ａの詰まりを開通するメンテナンス等を行うことができる。以下、絞り部材３６の取り付け構造、及び取り外し方法について説明する。

押さえ部材３５（図５参照）は、絞り部材３６に対して、吸着パッド支持体３３と反対側（−Ｚ側）に設けられる。押さえ部材３５は、板状の部材であり、吸着パッド３１が取り付けられる取り付け孔３５ａを有する。取り付け孔３５ａは、吸着パッド３１ごとに設けられる。押さえ部材３５は、吸着ユニット３２ごとに設けられ、複数の吸着パッド３１（図５では３個）に共通で設けられる。

吸着パッド３１は、例えば、上部３１ａをすぼめて、取り付け孔３５ａに対して下方から挿入されて、押さえ部材３５に取り付けられる。取り付け孔３５ａは、例えば、その周囲に部分が吸着部２０の下部３１ｂに引っかかるように、その内径が吸着パッド３１の下部３１ｂの外径よりも小さく設定される。なお、押さえ部材３５に、取り付け孔３５ａの代わりに切り欠きを設けておき、この切り欠きに沿って吸着パッド３１をスライドさせて取り付けてもよい。押さえ部材３５は、吸着パッド支持体３３に向かって押しつけられて固定され、吸着パッド３１の下部３１ｂを介して、絞り部材３６およびガスケット３８を吸着パッド支持体３３へ押圧する。

固定部材３７は、押さえ部材３５を吸着パッド支持体３３と固定する。固定部材３７は、例えば、吸着パッド３１の配列方向（Ｙ方向）において、吸着パッド３１よりも外側（＋Ｙ側、−Ｙ側）のそれぞれに設けられる。固定部材３７は、例えばネジ（締結部材）などであり、そのネジの軸にスペーサ４１が挿通され、吸着パッド支持体３３のネジ穴３３ｂにねじ込まれる。固定部材３７は、ネジ穴３３ｂから緩めることで、押さえ部材３５を吸着パッド支持体３３へ押し付ける力が弱くなり、これにより、押さえ部材３５が吸着パッド３１の下部３１ｂを介して絞り部材３６を押圧する押圧力が弱くなる。このように、固定部材３７は、押さえ部材３５の押圧力を可変である。なお、固定部材３７は、バネなどにより押さえ部材３５を吸着パッド支持体３３に向けて押圧して、押さえ部材３５を固定するものでもよい。

図５（Ａ）に示すように、絞り部材３６には、絞り部材３６と平行な方向において固定部材３７と絞り部材３６とを相対的に移動可能なように、切り欠き３６ｂが設けられている。切り欠き３６ｂは、例えば、絞り部材３６の短手方向（Ｘ方向）の片側（−Ｘ側）が外部へ開放されている。固定部材３７は、切り欠き３６ｂを通してネジ穴３３ｂにねじ込まれる。また、図４（Ｂ）に示すように、絞り部材３６は、絞り部材３６の厚み方向（Ｚ方向）から見た場合に押さえ部材３５の外側に張り出す張り出し部３６ｃを有する。張り出し部３６ｃは、絞り部材３６をＸ方向に移動させる際のツマミ（タブ）として利用される。

図６は、実施形態に係る吸着装置における絞り部材の取り外し方法を示す図である。絞り部材３６を取り外すには、まず、固定部材３７を緩めて、押さえ部材３５による絞り部材３６の押圧を弱める。固定部材３７は、絞り部材３６を移動可能なレベルに緩められていればよく、その軸部の一部がネジ穴３３ｂ（図５（Ａ）参照）にねじ込まれたままでよい。そして、作業者は、絞り部材３６の張り出し部３６ｃを掴んで、絞り部材３６を＋Ｘ側に引っ張ることにより、絞り部材３６を押さえ部材３５と吸着パッド支持体３３（腕部１２）との間から引き出すことができる。このように、絞り部材３６は、固定部材３７がネジ穴３３ｂにねじ込まれ、かつ緩められた状態において、切り欠き３６ｂが固定部材３７に対する逃げ部となって＋Ｘ側に引き出すことができる。この場合、吸着部２０の部品がバラバラになることを避けることができる。

また、作業者は、絞り部材３６を取り外した後、絞り３６ａが詰まっていない他の絞り部材３６を、押さえ部材３５と吸着パッド支持体３３（腕部１２）との間に挿入し、固定部材３７を締めることで絞り部材３６を交換することができる。交換用の絞り部材３６は、新品であってもよいし、また、取り外された絞り部材３６を、詰まりを開通するメンテナンスを行った後に再利用するものでもよい。なお、絞り部材３６を挿入する際に、固定部材３７を絞り部材３６の位置決めに用いることもできる。例えば、絞り部材３６を固定部材３７に接触するまで挿入することで、絞り部材３６が所定の位置に配置されるように、切り欠き３６ｂの形状、寸法、配置を設定してもよい。

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

上述の実施形態では、吸着部２０をフォーク装置１に適用した例を説明したが、実施形態に係る吸着装置は、フォーク装置１以外の装置にも適用可能である。例えば、実施形態に係る吸着装置は、特開２０１５−１９９０７８号公報に開示されているローダ装置などに適用することもできる。例えば、実施形態に係る吸着装置は、製品Ｗａを吸着して移載する移載装置（製品アンローダ）に適用することもできる。また、特開２０１５−１０４７９３号公報に開示されている板材搬送システム、板材加工システム、及び仕分け装置などに適用することもできる。例えば、実施形態に係る吸着装置は、加工前のワークＷを吸着して加工パレット２に供給（載置）するワーク供給装置に適用することもできる。

なお、吸着ユニット３２において、上述の実施形態では吸着パッド３１が１次元的に配列されているが、吸着パッド３１が２次元的に配列されていてもよい。また、上述の実施形態において、１つの絞り部材３６が複数の吸着パッド３１に対応して設けられるが、絞り部材３６が吸着パッド３１ごとに設けられてもよい。

１・・・フォーク装置（ワーク支持装置）
１２・・・腕部
１２ａ・・・腕部の上面
２０・・・吸着部（吸着装置）
３１・・・吸着パッド
３３・・・吸着パッド支持体
３３ａ・・・貫通孔
３５・・・押さえ部材
３５ａ・・・取り付け孔
３６・・・絞り部材
３６ａ・・・絞り
３６ｂ・・・切り欠き
３６ｃ・・・張り出し部
３７・・・固定部材
３８・・・ガスケット
Ｃ１・・・流路
Ｃ２、Ｃ３・・・流路（内部流路）
Ｗ・・・ワーク

Claims (7)

1. 内部流路を有し、ワークの表面に接触する吸着パッドと、
   前記吸着パッドを支持する吸着パッド支持体と、
   前記内部流路と連通するように配置される絞りを有し、前記吸着パッドとは別物であって前記吸着パッドと前記吸着パッド支持体との間に取り外し可能に設けられる板状の絞り部材と、を備え、
   前記内部流路は、連通する複数の流路と、前記ワーク側にむかうにつれて外径および内径が大きくなるテーパ状である部分とを有し、
   前記絞りは、前記複数の流路のいずれよりも開口面積が小さい、吸着装置。
2. 前記吸着パッドを複数備え、
   前記絞り部材は、前記吸着パッドごとに設けられる前記絞りを複数有する、請求項１に記載の吸着装置。
3. 前記絞り部材に対して前記吸着パッド支持体と反対側に設けられ、前記絞り部材を前記吸着パッド支持体へ押圧する押さえ部材と、
   前記押さえ部材を前記吸着パッド支持体に固定し、前記押さえ部材の押圧力を可変な固定部材と、を備える、請求項１または請求項２に記載の吸着装置。
4. 板状の前記絞り部材の面と平行な方向において前記固定部材と前記絞り部材とを相対的に移動可能なように、前記絞り部材に切り欠きが設けられている、請求項３に記載の吸着装置。
5. 前記絞り部材は、前記絞り部材の厚み方向から見た場合に前記押さえ部材の外側に張り出す張り出し部を有する、請求項３または請求項４に記載の吸着装置。
6. 前記吸着パッド支持体と前記絞り部材とに挟まれるガスケットを備え、
   前記絞りの開口面積は、前記ガスケットにおいて前記絞り部材の前記絞りと連通する貫通孔の開口面積よりも小さい、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の吸着装置。
7. ワークを支持する腕部と、
   前記腕部に設けられる、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の吸着装置と、を備えるワーク支持装置。

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