JP6680337B2

JP6680337B2 - Crystal oscillator

Info

Publication number: JP6680337B2
Application number: JP2018218012A
Authority: JP
Inventors: 正一岸; 伊藤　秀; 秀伊藤; 伊東　雅之; 雅之伊東
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2018-11-21
Filing date: 2018-11-21
Publication date: 2020-04-15
Anticipated expiration: 2034-07-10
Also published as: JP2019050613A

Description

本開示は、水晶振動子に関する。 The present disclosure relates to a crystal resonator.

プローブの磁力により水晶振動用素子を吸着保持することができるように、強磁性体材料のみからなる電極膜を水晶振動片の片面に形成して水晶振動用素子を構成することが知られている（例えば、特許文献１参照）。 It is known that an element film made only of a ferromagnetic material is formed on one surface of a quartz crystal vibrating piece to form a quartz crystal vibrating element so that the crystal vibrating element can be attracted and held by the magnetic force of a probe. (For example, refer to Patent Document 1).

特開2008-271331号公報JP 2008-271331

ところで、近年、装置小型化の要求に応えるべく、部品やモジュールの小型化及び高密度実装化が進んでいる。クロック源となる水晶振動子についても例外ではなく、小型化が進んでいる。このような状況下において、水晶振動子の異常に起因して装置の機能不具合が発生したと思われる場合、実装状態のままで水晶振動子の電気的特性を測定できることは有用である。これは、高密実装が進むと、水晶振動子の取り外し時に周辺部品を破壊してしまう等の理由から、水晶振動子だけを取り出して測定することが困難であるためである。 By the way, in recent years, in order to meet the demand for miniaturization of devices, miniaturization and high-density mounting of components and modules have been advanced. The crystal unit that is the clock source is no exception, and is becoming smaller. In such a situation, when it is considered that the device malfunction occurs due to the abnormality of the crystal unit, it is useful to be able to measure the electrical characteristics of the crystal unit in the mounted state. This is because it is difficult to take out and measure only the crystal unit because the peripheral parts are destroyed when the crystal unit is removed as the high-density mounting progresses.

この点、水晶振動子の実装状態においては、ハイインピーダンスのプローブ測定が可能となり得る。しかしながら、近年の小型化に伴い、ＩＣ（Integrated Circuit）に発振状態が確認可能な端子が無く、水晶振動子も裏面端子化されるなど、プロービングポイントが皆無の状態になる場合がありうる。また、高密実装が進むことで、物理的にプローブを当てる場所が無い場合もありうる。また、プロービングポイントが存在する場合でも、プローブによりほんの数pF容量が付加されただけで発振状態が変わり、正確な測定が不能となる場合がありうる。 In this respect, high-impedance probe measurement may be possible when the crystal unit is mounted. However, with the recent miniaturization, there is a case where there is no probing point such as an IC (Integrated Circuit) having no terminal capable of confirming an oscillation state and a crystal resonator also having a rear surface terminal. Further, due to the progress of high-density mounting, there may be a case where there is no physical place to hit the probe. Even if a probing point is present, the probe may add only a few pF capacitance to change the oscillating state, making accurate measurement impossible.

開示の技術は、プローブを用いずに特性の測定が可能な水晶振動子の提供を目的とする。 The disclosed technique aims to provide a crystal resonator whose characteristics can be measured without using a probe.

本開示の一局面によれば、水晶片と、
前記水晶片の第１表面に配置され、非磁性材料により形成される励振電極と、
電導性を有する磁性材料により形成され、前記水晶片における前記第１表面とは逆側の第２表面に、前記励振電極に対向して配置された第２励振電極とを含み、
前記第２励振電極は、
前記磁性材料が磁化されていない周辺部と、
前記周辺部よりも前記水晶片の中心側に位置し、前記磁性材料が磁化された永久磁石の中央部と、
を含む、水晶振動子が提供される。
According to one aspect of the present disclosure, a crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
Is formed of a magnetic material having a conductivity, the second surface opposite to the first surface of the crystal piece, seen including a second excitation electrode disposed opposite to the excitation electrode,
The second excitation electrode is
A peripheral portion in which the magnetic material is not magnetized,
Located closer to the center of the crystal piece than the peripheral portion, and the central portion of the permanent magnet in which the magnetic material is magnetized,
Including, the crystal oscillator is providing.

本開示の技術によれば、プローブを用いずに特性の測定が可能な水晶振動子が得られる。 According to the technique of the present disclosure, it is possible to obtain a crystal resonator whose characteristics can be measured without using a probe.

参考例による水晶振動子１００を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the crystal oscillator 100 by a reference example. 水晶振動子１００に係る特性測定装置４００を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the characteristic measuring device 400 which concerns on the crystal oscillator 100. 交流波形の発生原理の説明図である。It is explanatory drawing of the generation principle of an alternating current waveform. 水晶振動子１００を組み込んだ回路構成の一例を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly an example of the circuit structure which incorporated the crystal oscillator 100. 水晶振動子１００の実装状態の一例を示す図である。3 is a diagram showing an example of a mounted state of the crystal unit 100. FIG. 上側励振電極２１の一例の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an example of the upper side excitation electrode 21. 上側励振電極２１の他の一例の説明図である。It is explanatory drawing of another example of the upper side excitation electrode 21. 上側励振電極２１の他の一例の説明図である。It is explanatory drawing of another example of the upper side excitation electrode 21. 一例（実施例）による水晶振動子１０２を概略的に示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a crystal resonator 102 according to an example (embodiment). 水晶振動子１０２に係る特性測定装置４０２を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the characteristic measuring device 402 which concerns on the crystal oscillator 102. 交流波形の発生原理の説明図である。It is explanatory drawing of the generation principle of an alternating current waveform. 上側励振電極２１Ａの他の一例の説明図である。It is explanatory drawing of another example of 21 A of upper side excitation electrodes. 上側励振電極２１Ａの他の一例の説明図である。It is explanatory drawing of another example of 21 A of upper side excitation electrodes.

以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。 Hereinafter, each embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、参考例による水晶振動子１００を概略的に示す図であり、（Ａ）は、上面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）におけるラインＢ−Ｂに沿った断面図である。尚、図１（Ａ）では、内部が見えるように、筐体３０の蓋の図示を省略している。以下では、説明の都合上、水晶片１０の厚み方向（図１（Ｂ）の上下方向）を上下方向とし、筐体３０の蓋のある方を「上側」とする。但し、水晶振動子１００の実装状態の向きは任意である。図２は、水晶振動子１００に係る特性測定装置４００を概略的に示す図である。 1A and 1B are diagrams schematically showing a crystal resonator 100 according to a reference example, FIG. 1A is a top view, and FIG. 1B is a sectional view taken along line BB in FIG. . In FIG. 1A, the lid of the housing 30 is not shown so that the inside can be seen. Hereinafter, for convenience of description, the thickness direction of the crystal blank 10 (vertical direction in FIG. 1B) is referred to as the vertical direction, and the side with the lid of the housing 30 is referred to as the “upper side”. However, the orientation of the mounted state of the crystal unit 100 is arbitrary. FIG. 2 is a diagram schematically showing a characteristic measuring device 400 related to the crystal unit 100.

水晶振動子１００は、水晶片１０と、励振電極２０と、筐体３０と、外部電極４１乃至４４とを含む。水晶振動子１００は、図１に示すように、表面実装タイプである。 The crystal unit 100 includes a crystal piece 10, an excitation electrode 20, a housing 30, and external electrodes 41 to 44. The crystal unit 100 is a surface mount type, as shown in FIG.

水晶片１０は、例えばＡＴカットされた人工水晶基板であってよい。水晶片１０は、筐体３０に片持ち構造で支持されてよい。図１に示す例では、水晶片１０は、筐体３０の土手部３１上に片持ち構造で支持される。 The crystal blank 10 may be, for example, an AT-cut artificial quartz substrate. The crystal blank 10 may be supported by the housing 30 in a cantilever structure. In the example shown in FIG. 1, the crystal blank 10 is supported on the bank portion 31 of the housing 30 in a cantilever structure.

励振電極２０は、水晶片１０を励振させる。水晶片１０の上側表面に設けられる上側励振電極（磁性体部の一例）２１と、水晶片１０の下側表面に設けられる下側励振電極２２とを含む。励振電極２０は、上側励振電極２１と下側励振電極２２との間の電位差により水晶片１０を励振させる。 The excitation electrode 20 excites the crystal blank 10. An upper excitation electrode (an example of a magnetic body portion) 21 provided on the upper surface of the crystal piece 10 and a lower excitation electrode 22 provided on the lower surface of the crystal piece 10 are included. The excitation electrode 20 excites the crystal blank 10 by the potential difference between the upper excitation electrode 21 and the lower excitation electrode 22.

上側励振電極２１は、電導性を有する磁性材料により形成される。上側励振電極２１は、例えば、鉄、ニッケル、コバルト等を用いて形成されてよい。上側励振電極２１は、膜の形態で形成（即ち成膜）されてよい。上側励振電極２１の構成のいくつかの例については後述する。 The upper excitation electrode 21 is made of a magnetic material having electrical conductivity. The upper excitation electrode 21 may be formed using, for example, iron, nickel, cobalt or the like. The upper excitation electrode 21 may be formed (that is, formed) in the form of a film. Some examples of the configuration of the upper excitation electrode 21 will be described later.

下側励振電極２２は、非磁性材料により形成される。例えば、下側励振電極２２は、金、銀、アルミニウム等により形成されてよい。 The lower excitation electrode 22 is made of a non-magnetic material. For example, the lower excitation electrode 22 may be made of gold, silver, aluminum or the like.

筐体３０は、水晶片１０を収容する。筐体３０は、例えばセラミック材料により形成される。筐体３０は、蓋３４（図２等参照）を含み、内部空間に水晶片１０を気密に封入する。例えば、筐体３０の内部空間は真空、又は、乾燥窒素で満たされ、蓋３４及びシール材３２（図２等参照）で密封される。尚、蓋３４は、金属板やセラミック板であってよい。 The housing 30 houses the crystal blank 10. The housing 30 is made of, for example, a ceramic material. The housing 30 includes a lid 34 (see FIG. 2, etc.), and hermetically seals the crystal blank 10 in the internal space. For example, the internal space of the housing 30 is filled with vacuum or dry nitrogen, and is sealed with the lid 34 and the sealing material 32 (see FIG. 2 and the like). The lid 34 may be a metal plate or a ceramic plate.

外部電極４１乃至４４は、筐体３０に設けられる。図１に示す例では、外部電極４１乃至４４は、筐体３０の下部の外表面に設けられる。外部電極４１、４３は、それぞれ上側励振電極２１及び下側励振電極２２に電気的に接続される。図１に示す例では、外部電極４１は、筐体３０の内層に形成された導体パターン４５、及び、水晶片１０の上面に形成された導体パターン４７を介して上側励振電極２１に電気的に接続される。導体パターン４５は、両端部において筐体３０の内層から表面に露出し、一端が外部電極４１に電気的に接続され、他端が導体パターン４７に電導性接着剤４９により電気的に接続される。同様に、外部電極４３は、筐体３０の内層に形成された導体パターン４６、及び、水晶片１０の下面に形成された導体パターン４８を介して下側励振電極２２に電気的に接続される。導体パターン４６は、両端部において筐体３０の内層から表面に露出し、一端が外部電極４３に電気的に接続され、他端が導体パターン４８に電導性接着剤４９により電気的に接続される。電導性接着剤４９は、水晶片１０の縁部（片持ち支持される側の縁部）に設けられる。尚、図１に示す例において、外部電極４２，４４は省略されてもよい。 The external electrodes 41 to 44 are provided on the housing 30. In the example shown in FIG. 1, the external electrodes 41 to 44 are provided on the outer surface of the lower portion of the housing 30. The external electrodes 41 and 43 are electrically connected to the upper excitation electrode 21 and the lower excitation electrode 22, respectively. In the example shown in FIG. 1, the external electrode 41 is electrically connected to the upper excitation electrode 21 via the conductor pattern 45 formed on the inner layer of the housing 30 and the conductor pattern 47 formed on the upper surface of the crystal blank 10. Connected. The conductor pattern 45 is exposed on the surface from the inner layer of the housing 30 at both ends, one end is electrically connected to the external electrode 41, and the other end is electrically connected to the conductor pattern 47 by a conductive adhesive 49. . Similarly, the external electrode 43 is electrically connected to the lower excitation electrode 22 via the conductor pattern 46 formed on the inner layer of the housing 30 and the conductor pattern 48 formed on the lower surface of the crystal blank 10. . The conductor pattern 46 is exposed on the surface from the inner layer of the housing 30 at both ends, one end is electrically connected to the external electrode 43, and the other end is electrically connected to the conductor pattern 48 by a conductive adhesive 49. . The electrically conductive adhesive 49 is provided on the edge of the crystal blank 10 (the edge on the cantilevered side). In addition, in the example shown in FIG. 1, the external electrodes 42 and 44 may be omitted.

水晶振動子１００の動作時、水晶片１０が、ある周波数で発振すると、その周波数で上側励振電極２１が振動することになる。このとき、図２に示すように、蓋３４の上方に配置された受信コイル７０においては、上側励振電極２１の振動に起因して水晶片１０の発振周波数に対応した周波数の交流波形が発生する。具体的には、図２に示す例では、受信コイル７０は、電磁石であり、通電時に、図３に模式的に示すように、コイル部７２により磁場Ｈ１が形成される。このとき、図３に模式的に示すように、上側励振電極２１が振動すると（矢印Ｒ１参照）、磁場Ｈ１が磁性体である上側励振電極２１の振動の影響を受ける。即ち、磁性体である上側励振電極２１の振動に合わせて磁束変化が発生し、それを妨げる方向でコイル部７２に起電力が発生する。この結果、コイル部７２に流れる電流Ｉ１において、水晶片１０の発振周波数に対応した周波数の交流波形が重畳される。従って、図２に模式的に示すように、水晶振動子１００の外部に受信コイル７０を設けることで、かかる交流波形を受信コイル７０に発生させることができ、水晶振動子１００の発振周波数を測定することが可能となる。以下、このような受信コイル７０に交流波形を発生させる機能を、外部への発振周波数情報の送信機能ともいう。尚、図２に示す例では、コイル部７２に発生する交流波形を含む受信信号は、直流成分がコンデンサ７３でカットされ、交流成分が増幅器７４にて増幅される。増幅された交流成分に基づいて、図示しない測定装置（例えば、オシロスコープ）により周波数（水晶振動子１００の発振周波数）が測定（解析）される。 When the crystal element 10 oscillates at a certain frequency during operation of the crystal unit 100, the upper excitation electrode 21 vibrates at that frequency. At this time, as shown in FIG. 2, in the receiving coil 70 arranged above the lid 34, an AC waveform having a frequency corresponding to the oscillation frequency of the crystal blank 10 is generated due to the vibration of the upper excitation electrode 21. . Specifically, in the example shown in FIG. 2, the receiving coil 70 is an electromagnet, and when energized, a magnetic field H1 is formed by the coil portion 72 as schematically shown in FIG. At this time, as schematically shown in FIG. 3, when the upper excitation electrode 21 vibrates (see arrow R1), the magnetic field H1 is affected by the vibration of the upper excitation electrode 21, which is a magnetic body. That is, the magnetic flux changes in accordance with the vibration of the upper excitation electrode 21, which is a magnetic body, and the electromotive force is generated in the coil portion 72 in the direction in which the magnetic flux changes. As a result, the AC waveform having a frequency corresponding to the oscillation frequency of the crystal blank 10 is superimposed on the current I1 flowing through the coil portion 72. Therefore, as shown schematically in FIG. 2, by providing the receiving coil 70 outside the crystal unit 100, such an AC waveform can be generated in the receiving coil 70, and the oscillation frequency of the crystal unit 100 is measured. It becomes possible to do. Hereinafter, the function of generating an AC waveform in the receiving coil 70 will also be referred to as a function of transmitting oscillation frequency information to the outside. In the example shown in FIG. 2, the received signal including the AC waveform generated in the coil section 72 has the DC component cut by the capacitor 73 and the AC component amplified by the amplifier 74. The frequency (oscillation frequency of the crystal unit 100) is measured (analyzed) by a measuring device (not shown) (for example, an oscilloscope) based on the amplified AC component.

図１に示す水晶振動子１００によれば、水晶振動子１００の上側励振電極２１を磁性材料により形成することで、水晶振動子１００の発振周波数を外部から測定することが可能となる。これにより、例えば実装状態の水晶振動子１００に対しても、実装状態のままで発振周波数を測定することが可能となる。発振周波数が測定可能となることで、良品との相対特性の比較なども可能となる。 According to the crystal unit 100 shown in FIG. 1, the oscillation frequency of the crystal unit 100 can be externally measured by forming the upper side excitation electrode 21 of the crystal unit 100 with a magnetic material. This makes it possible to measure the oscillation frequency of the mounted crystal oscillator 100 in the mounted state. Since the oscillation frequency can be measured, it becomes possible to compare the relative characteristics with non-defective products.

尚、水晶振動子１００では、上側励振電極２１は、電導性を有する磁性材料により形成され、下側励振電極２２は、非磁性材料により形成される。これは、ＡＴカット型の場合、上側励振電極２１と下側励振電極２２とは、振動方向が逆（逆相で振動）であるので、下側励振電極２２が磁性材料により形成される場合には、上述のような交流波形が受信コイル７０で形成されないためである。 In the crystal unit 100, the upper excitation electrode 21 is made of a magnetic material having electrical conductivity, and the lower excitation electrode 22 is made of a non-magnetic material. This is because in the case of the AT-cut type, the upper excitation electrode 21 and the lower excitation electrode 22 have opposite vibration directions (vibrate in opposite phase), so that when the lower excitation electrode 22 is made of a magnetic material. This is because the AC waveform as described above is not formed in the receiving coil 70.

尚、図２に示す例では、特性測定時、受信コイル７０は蓋３４の上方に配置されているが、受信コイル７０は、磁場Ｈ１が上側励振電極２１の振動の影響を受ける限り、任意の位置に配置されてよい。例えば、受信コイル７０は、コイル部７２の中心軸上又は中心軸に近い位置に上側励振電極２１が位置するように、水晶振動子１００に対して配置されればよい。 In the example shown in FIG. 2, the receiving coil 70 is arranged above the lid 34 at the time of measuring the characteristics, but the receiving coil 70 may be any coil as long as the magnetic field H1 is affected by the vibration of the upper excitation electrode 21. May be placed in position. For example, the receiving coil 70 may be arranged with respect to the crystal unit 100 so that the upper excitation electrode 21 is located on or near the central axis of the coil portion 72.

図４は、水晶振動子１００を組み込んだ回路構成の一例を概略的に示す図である。 FIG. 4 is a diagram schematically showing an example of a circuit configuration incorporating the crystal unit 100.

図４に示す例では、水晶振動子１００は、ＩＣ２００に接続される。即ち、ＩＣ２００の入力端子２０２及び出力端子２０４に水晶振動子１００の外部電極４１、４３がそれぞれ接続される。水晶振動子１００は、ＩＣ２００で用いるクロックを生成する。ＩＣ２００は、反転増幅器２０６と、出力バッファ２０８とを含む。入力端子２０２に入力された信号は、反転増幅器２０６で反転増幅される。反転増幅された信号は、出力バッファ２０８に入力されると共に、外部電極４３を介して上側励振電極２１に供給される。尚、図４に示す例において、上側励振電極２１及び下側励振電極２２の配置は逆であってもよい。 In the example shown in FIG. 4, the crystal unit 100 is connected to the IC 200. That is, the external electrodes 41 and 43 of the crystal unit 100 are connected to the input terminal 202 and the output terminal 204 of the IC 200, respectively. The crystal unit 100 generates a clock used in the IC 200. IC 200 includes an inverting amplifier 206 and an output buffer 208. The signal input to the input terminal 202 is inverted and amplified by the inverting amplifier 206. The inverted and amplified signal is input to the output buffer 208 and also supplied to the upper excitation electrode 21 via the external electrode 43. In the example shown in FIG. 4, the arrangement of the upper excitation electrode 21 and the lower excitation electrode 22 may be reversed.

水晶振動子１００には、マッチングコンデンサ３００が接続される。具体的には、第１コンデンサ３０２が水晶振動子１００の外部電極４１とグランドの間に接続され、第２コンデンサ３０４が水晶振動子１００の外部電極４３とグランドの間に接続される。尚、図４においては、ＩＣ２００に関して、端子内部の容量、実装基板の配線パターンの浮遊容量、水晶振動子１００に流れる電流を制限する抵抗等は図示が省略されている。マッチングコンデンサ３００は、水晶振動子１００からＩＣ２００の回路を含むすべての容量合計（負荷容量値）を負荷とした時に水晶振動子１００の発振周波数が所望値（設計値）になるよう調整（マッチング調整）するために設けられる。尚、図４において、点線で囲まれた範囲が発振回路を形成する。 A matching capacitor 300 is connected to the crystal unit 100. Specifically, the first capacitor 302 is connected between the external electrode 41 of the crystal unit 100 and the ground, and the second capacitor 304 is connected between the external electrode 43 of the crystal unit 100 and the ground. Note that, in FIG. 4, with respect to the IC 200, illustration of the capacitance inside the terminals, the stray capacitance of the wiring pattern of the mounting substrate, the resistance that limits the current flowing through the crystal unit 100, etc. is omitted. The matching capacitor 300 is adjusted (matching adjustment) so that the oscillation frequency of the crystal unit 100 becomes a desired value (design value) when the total capacitance (load capacitance value) including the circuit of the crystal unit 100 to the IC 200 is used as a load. ) Is provided. In FIG. 4, the area surrounded by the dotted line forms the oscillation circuit.

ＩＣ２００は、発振回路をモニタする端子２２０，２２２を備えてもよいが、かかる端子２２０，２２２は省略されてもよい。これは、上述の如く、水晶振動子１００が備える外部への発振周波数情報の送信機能によって水晶振動子１００の発振周波数を測定（モニタ）できるためである。従って、図１に示す水晶振動子１００によれば、端子２２０，２２２を不要として、ＩＣ２００の簡素化を実現することも可能となる。 The IC 200 may include terminals 220 and 222 for monitoring the oscillation circuit, but the terminals 220 and 222 may be omitted. This is because, as described above, the oscillation frequency of the crystal unit 100 can be measured (monitored) by the function of transmitting the oscillation frequency information to the outside of the crystal unit 100. Therefore, according to the crystal unit 100 shown in FIG. 1, the terminals 220 and 222 are unnecessary and the IC 200 can be simplified.

図５は、水晶振動子１００の実装状態の一例を示す図である。 FIG. 5 is a diagram showing an example of a mounted state of the crystal unit 100.

水晶振動子１００は、図５に示すように、基板９０上に実装されてよい。図５に示す例では、水晶振動子１００の近傍に周辺部品９２が実装されている。 The crystal unit 100 may be mounted on the substrate 90, as shown in FIG. In the example shown in FIG. 5, the peripheral component 92 is mounted near the crystal unit 100.

ところで、近年、装置小型化の要求に応えるべく、部品やモジュールの小型化及び高密度実装化が進んでいる。クロック源となる水晶振動子についても例外ではなく、例えば3.2×2.5mm、2.5×2.0mm、2.0×1.6mmと小型化が進んでいる。このような状況下において、水晶振動子の異常に起因して装置の機能不具合が発生したと思われる場合、実装状態のままで水晶振動子の電気的特性を測定できることは有用である。これは、高密実装が進むと、水晶振動子だけを取り出して測定することは、取り外し時に周辺部品を破壊してしまう危険を伴うためである。 By the way, in recent years, in order to meet the demand for miniaturization of devices, miniaturization and high-density mounting of components and modules have been advanced. The crystal oscillator that serves as the clock source is no exception, and miniaturization is progressing to 3.2 x 2.5 mm, 2.5 x 2.0 mm, and 2.0 x 1.6 mm, for example. In such a situation, when it is considered that the device malfunction occurs due to the abnormality of the crystal unit, it is useful to be able to measure the electrical characteristics of the crystal unit in the mounted state. This is because if high-density mounting progresses, taking out only the crystal unit for measurement involves a risk of destroying peripheral components at the time of removal.

この点、水晶振動子１００の実装状態においては、ハイインピーダンスのプローブ測定が可能となり得る。しかしながら、近年の小型化に伴い、ＩＣ２００に発振状態が確認可能な端子（図４の端子２２０，２２２参照）が無く、BGA(Ball grid array)化により端子がICパッケージ裏面に隠れる場合がある。また、マッチングコンデンサ３００もＩＣ２００内部に取り込まれ、加えて水晶振動子１００も裏面端子化されるなど、プロービングポイントが皆無の状態になる場合がある。また、高密実装が進むことで、図５に模式的に示すように、物理的にプローブ７８を当てる場所が無い場合もある。また、プロービングポイントが存在する場合でも、発振回路の設計がマージン不足である場合、プローブ７８によりほんの数pF容量が付加されただけで発振状態が変わり（発振が不発振に、又はその逆も有り）、正確な測定が不能となる場合がある。 In this respect, when the crystal unit 100 is mounted, high impedance probe measurement may be possible. However, with the recent miniaturization, there is a case where the IC 200 does not have a terminal (see terminals 220 and 222 in FIG. 4) whose oscillation state can be confirmed, and the terminal may be hidden on the back surface of the IC package due to BGA (Ball grid array). In addition, the matching capacitor 300 is also taken into the inside of the IC 200, and in addition, the crystal resonator 100 is also made into a rear surface terminal. Further, as the high-density mounting progresses, there is a case where there is no physical place to hit the probe 78 as schematically shown in FIG. Further, even if there is a probing point, if the design of the oscillation circuit is insufficient, the probe 78 changes the oscillation state by adding only a few pF capacitance (oscillation becomes non-oscillation or vice versa). ), Accurate measurement may not be possible.

この点、図１に示す水晶振動子１００によれば、上述の如く、水晶振動子１００の上側励振電極２１を磁性材料により形成するので、プローブ測定が不能又は困難である場合でも、水晶振動子１００の発振周波数を精度良く測定できる。 In this respect, according to the crystal resonator 100 shown in FIG. 1, since the upper side excitation electrode 21 of the crystal resonator 100 is made of a magnetic material as described above, even if the probe measurement is impossible or difficult, the crystal resonator 100 is not required. The oscillation frequency of 100 can be measured accurately.

次に、上側励振電極２１の幾つかの構成例に説明する。 Next, some configuration examples of the upper excitation electrode 21 will be described.

図６は、上側励振電極２１の一例の説明図であり、上側励振電極２１と水晶片１０と下側励振電極２２の断面図を示す。尚、図６の断面図の切断面は、上面視における上側励振電極２１の幾何的な中心（又は重心）を通る。例えば、図６の断面図の切断面は、上面視における上側励振電極２１の幾何的な中心を通る上下方向の面であってよい。 FIG. 6 is an explanatory diagram of an example of the upper side excitation electrode 21, and shows a cross-sectional view of the upper side excitation electrode 21, the crystal blank 10 and the lower side excitation electrode 22. The cross section of the cross-sectional view of FIG. 6 passes through the geometric center (or center of gravity) of the upper excitation electrode 21 in top view. For example, the cross section of the cross-sectional view of FIG. 6 may be a vertical plane that passes through the geometric center of the upper excitation electrode 21 in a top view.

図６に示す例では、上側励振電極２１は、第１磁性体部位２１ｂと、第１磁性体部位よりも水晶片１０の中心側に位置する第２磁性体部位２１ａとを含み、第２磁性体部位２１ａは、第１磁性体部位２１ｂよりも厚さが大きい。即ち、図６に示す例では、上側励振電極２１は、中心領域の方が外側領域よりも厚さ（膜厚）ｔが大きい。この厚さの特性は、上側励振電極２１の中心を通る任意の断面において当てはまる特性であってもよい。厚さｔの変化態様は、図６に示すように、滑らかな変化態様であってもよいし、段差を伴ってもよい。 In the example shown in FIG. 6, the upper excitation electrode 21 includes a first magnetic body portion 21b and a second magnetic body portion 21a located closer to the center of the crystal blank 10 than the first magnetic body portion, and the second magnetic body portion 21b The body part 21a is thicker than the first magnetic body part 21b. That is, in the example shown in FIG. 6, the upper excitation electrode 21 has a larger thickness (film thickness) t in the central region than in the outer region. This thickness characteristic may be a characteristic that applies to any cross section passing through the center of the upper excitation electrode 21. The changing mode of the thickness t may be a smooth changing mode as shown in FIG. 6 or may involve a step.

上側励振電極２１における各位置の厚さｔは、対応する水晶片１０の位置（即ちその直下の水晶片１０の部位）における振動エネルギに比例する態様で決定されてよい。好ましい参考例では、水晶片１０の厚み方向に垂直な方向に沿った複数位置における上側励振電極２１の厚さは、水晶片１０の各対応する位置における発振時の振動エネルギに比例する。尚、水晶片１０は、一般的に、電荷密度が高い中心部が周辺部よりも大きくひずむ（振動する）ため、水晶片１０の振動エネルギは、中心部の方が周辺部よりも高い。水晶片１０の振動エネルギは、上側励振電極２１の占める割合や形状などに依存するが、ガウシアンに近い分布となる。 The thickness t at each position in the upper excitation electrode 21 may be determined in a manner proportional to the vibration energy at the corresponding position of the crystal blank 10 (that is, the portion of the crystal blank 10 immediately below it). In the preferred reference example, the thickness of the upper excitation electrode 21 at a plurality of positions along the direction perpendicular to the thickness direction of the crystal blank 10 is proportional to the vibration energy at the time of oscillation at each corresponding position of the crystal blank 10. In the crystal piece 10, generally, the central portion having a high charge density is distorted (vibrated) more greatly than the peripheral portion, so that the vibration energy of the crystal piece 10 is higher in the central portion than in the peripheral portion. The vibration energy of the crystal element 10 has a distribution close to that of Gaussian, although it depends on the ratio and shape of the upper excitation electrode 21.

図６に示す例によれば、上側励振電極２１は、水晶片１０の振動エネルギが高い中心部に対応した中心領域において、外側領域よりも大きい厚さｔを有する。厚さが大きいほど、体積が大きくなり、受信コイル７０のコイル部７２の形成する磁界が受ける影響（磁性体である上側励振電極２１の振動による影響）が大きくなる。水晶片１０の振動エネルギは、上述の如く中心部の方が周辺部よりも高いので、上側励振電極２１における厚さの大きい第２磁性体部位２１ａが厚さの小さい第１磁性体部位２１ｂよりも大きく振動することになる。従って、図６に示す例によれば、受信コイル７０に発生させる交流波形の振幅を効率的に増大することができ、この結果、水晶振動子１００の発振周波数の測定精度を高めることができる。 According to the example shown in FIG. 6, the upper excitation electrode 21 has a larger thickness t in the central region corresponding to the central portion of the quartz piece 10 where the vibration energy is higher than in the outer region. The larger the thickness, the larger the volume, and the greater the effect of the magnetic field formed by the coil portion 72 of the receiving coil 70 (the effect of the vibration of the upper excitation electrode 21 that is a magnetic body) becomes. Since the vibration energy of the crystal piece 10 is higher in the central portion than in the peripheral portion as described above, the second magnetic body portion 21a having a large thickness in the upper excitation electrode 21 is smaller than the first magnetic body portion 21b having a small thickness. Will also vibrate significantly. Therefore, according to the example shown in FIG. 6, the amplitude of the AC waveform generated in the receiving coil 70 can be efficiently increased, and as a result, the measurement accuracy of the oscillation frequency of the crystal unit 100 can be improved.

図７は、上側励振電極２１の他の一例の説明図であり、上側励振電極２１と水晶片１０と下側励振電極２２の断面図を示す。尚、図７の断面図の切断面は、図６と同様、上面視における上側励振電極２１の幾何的な中心（又は重心）を通る。図７において、上側励振電極２１におけるグレーの濃さは、密度の相違を模式的に表し、濃いグレーであるほど密度が高いことを意味する。 FIG. 7 is an explanatory view of another example of the upper side excitation electrode 21, and shows a cross-sectional view of the upper side excitation electrode 21, the crystal blank 10 and the lower side excitation electrode 22. The cross section of the cross-sectional view of FIG. 7 passes through the geometric center (or the center of gravity) of the upper excitation electrode 21 in a top view, as in FIG. In FIG. 7, the density of gray in the upper excitation electrode 21 schematically represents the difference in density, and the darker the gray, the higher the density.

図７に示す例では、上側励振電極２１は、第１磁性体部位２１ｂと、第１磁性体部位よりも水晶片１０の中心側に位置する第２磁性体部位２１ａとを含み、第２磁性体部位２１ａは、第１磁性体部位２１ｂよりも密度が大きい。即ち、図７に示す例では、上側励振電極２１は、中心領域の方が外側領域よりも密度が大きい（高い）。図７では、この密度の特性は、上側励振電極２１の中心を通る任意の断面において当てはまる特性であってもよい。尚、図７に示す例では、密度は、５段階で変化している。密度の変化態様は、図７に示すように、多段階であってもよいし、滑らかな変化態様（無段階）であってもよい。 In the example shown in FIG. 7, the upper excitation electrode 21 includes a first magnetic body portion 21b and a second magnetic body portion 21a located closer to the center of the crystal piece 10 than the first magnetic body portion, and the second magnetic body portion 21b The body part 21a has a higher density than the first magnetic body part 21b. That is, in the example shown in FIG. 7, the upper excitation electrode 21 has a higher density (higher) in the central region than in the outer region. In FIG. 7, this characteristic of density may be a characteristic that applies to any cross section passing through the center of the upper excitation electrode 21. In the example shown in FIG. 7, the density changes in 5 steps. As shown in FIG. 7, the change mode of the density may be in multiple steps or may be a smooth change step (no step).

上側励振電極２１における各位置の密度は、対応する水晶片１０の位置（即ちその直下の水晶片１０の部位）における振動エネルギに比例する態様で決定されてよい。好ましい参考例では、水晶片１０の厚み方向に垂直な方向に沿った複数位置における上側励振電極２１の密度は、水晶片１０の各対応する位置における発振時の振動エネルギに比例する。密度の変化は、上側励振電極２１を形成する材料における磁性材料の含有率を変化させることで実現されてもよい。 The density of each position in the upper excitation electrode 21 may be determined in a manner proportional to the vibration energy at the corresponding position of the crystal blank 10 (that is, the portion of the crystal blank 10 immediately below it). In the preferred reference example, the density of the upper excitation electrodes 21 at a plurality of positions along the direction perpendicular to the thickness direction of the crystal blank 10 is proportional to the vibration energy during oscillation at each corresponding position of the crystal blank 10. The change in density may be realized by changing the content rate of the magnetic material in the material forming the upper excitation electrode 21.

図７に示す例によれば、上側励振電極２１は、水晶片１０の振動エネルギが高い中心部に対応した中心領域において、外側領域よりも高い密度を有する。密度が高いほど、透磁率が大きくなり、受信コイル７０のコイル部７２の形成する磁界が受ける影響（磁性体である上側励振電極２１の振動による影響）が大きくなる。水晶片１０の振動エネルギは、上述の如く中心部の方が周辺部よりも高いので、上側励振電極２１における透磁率の大きい第２磁性体部位２１ａが透磁率の小さい第１磁性体部位２１ｂより大きく振動することになる。従って、図７に示す例によれば、受信コイル７０に発生させる交流波形の振幅を効率的に増大することができ、この結果、水晶振動子１００の発振周波数の測定精度を高めることができる。 According to the example shown in FIG. 7, the upper excitation electrode 21 has a higher density in the central region corresponding to the central portion of the crystal blank 10 where the vibration energy is higher than in the outer region. The higher the density, the higher the magnetic permeability, and the greater the influence of the magnetic field formed by the coil portion 72 of the receiving coil 70 (the influence of the vibration of the upper excitation electrode 21 that is a magnetic body). Since the vibration energy of the crystal piece 10 is higher in the central portion than in the peripheral portion as described above, the second magnetic material portion 21a having a high magnetic permeability in the upper excitation electrode 21 is more than the first magnetic material portion 21b having a low magnetic permeability. It will vibrate greatly. Therefore, according to the example shown in FIG. 7, the amplitude of the AC waveform generated in the receiving coil 70 can be efficiently increased, and as a result, the measurement accuracy of the oscillation frequency of the crystal unit 100 can be improved.

尚、図７に示す例は、図６に示した例と組み合わせることも可能である。例えば、上側励振電極２１は、第２磁性体部位２１ａの方が第１磁性体部位２１ｂよりも密度が高く、且つ、第２磁性体部位２１ａの方が第１磁性体部位２１ｂよりも厚さが大きくなるように、形成されてもよい。また、第２磁性体部位２１ａの方が第１磁性体部位２１ｂよりも透磁率が大きくなるように、異なる透磁率を持つ複数の磁性材料を用いて上側励振電極２１を形成することとしてもよい。この方法は、第２磁性体部位２１ａの方が第１磁性体部位２１ｂよりも密度が高くなるように上側励振電極２１を形成することに代えて又は加えて用いられてよい。 The example shown in FIG. 7 can be combined with the example shown in FIG. For example, in the upper excitation electrode 21, the second magnetic body portion 21a has a higher density than the first magnetic body portion 21b, and the second magnetic body portion 21a has a larger thickness than the first magnetic body portion 21b. May be formed to be large. Further, the upper excitation electrode 21 may be formed by using a plurality of magnetic materials having different magnetic permeability so that the magnetic permeability of the second magnetic body portion 21a is larger than that of the first magnetic body portion 21b. . This method may be used instead of or in addition to forming the upper excitation electrode 21 so that the second magnetic body portion 21a has a higher density than the first magnetic body portion 21b.

図８は、上側励振電極２１の他の一例の説明図であり、（Ａ）は、上側励振電極２１の上面図であり、（Ｂ）は、下側励振電極２２の上面図である。 8A and 8B are explanatory views of another example of the upper excitation electrode 21, where FIG. 8A is a top view of the upper excitation electrode 21 and FIG. 8B is a top view of the lower excitation electrode 22.

図８に示す例では、図７に示す例と同様、上側励振電極２１は、第１磁性体部位２１ｂと、第１磁性体部位よりも水晶片１０の中心側に位置する第２磁性体部位２１ａとを含み、第２磁性体部位２１ａは、第１磁性体部位２１ｂよりも密度が大きい。即ち、図８に示す例では、上側励振電極２１は、中心領域の方が外側領域よりも密度が大きい（高い）。図８に示す例では、上側励振電極２１は、図７に示した例のようなベタパターンではなく、下側励振電極２２（図８（Ｂ）参照）に対向する領域内に局所的に非形成部を備えるパターンで形成される。即ち、図７に示した例では、上側励振電極２１は、下側励振電極２２に対向する領域全体に亘って形成されるのに対して、図８に示す例では、上側励振電極２１は、下側励振電極２２に対向する領域内に部分的に形成される。この際、上側励振電極２１は、中心領域の方が外側領域よりも密度が高くなるパターンで形成される。図８に示す例では、上側励振電極２１は、同心円状の周パターン２１０乃至２１４と、各周パターン２１０乃至２１４を連結する連結パターン２１６とを有する。各周パターン２１０乃至２１４の径方向の間隔は、中心側に向かうほど小さく設定される。即ち、周パターン２１０と周パターン２１１との間の間隔は、周パターン２１１と周パターン２１２との間の間隔よりも小さく、周パターン２１１と周パターン２１２との間の間隔は、周パターン２１２と周パターン２１３との間の間隔よりも小さく、以下同様である。連結パターン２１６は、周パターン２１０乃至２１４に対して径方向に延在し、周パターン２１０乃至２１４同士を接続する。 In the example shown in FIG. 8, similarly to the example shown in FIG. 7, the upper excitation electrode 21 includes a first magnetic body portion 21b and a second magnetic body portion located closer to the center of the quartz piece 10 than the first magnetic body portion 21b. 21a, the second magnetic body portion 21a has a higher density than the first magnetic body portion 21b. That is, in the example shown in FIG. 8, the upper excitation electrode 21 has a higher density (higher) in the central region than in the outer region. In the example shown in FIG. 8, the upper excitation electrode 21 does not have a solid pattern as in the example shown in FIG. 7, but is locally non-exposed in a region facing the lower excitation electrode 22 (see FIG. 8B). It is formed in a pattern including a forming portion. That is, in the example shown in FIG. 7, the upper excitation electrode 21 is formed over the entire region facing the lower excitation electrode 22, whereas in the example shown in FIG. It is partially formed in a region facing the lower excitation electrode 22. At this time, the upper excitation electrode 21 is formed in a pattern in which the central region has a higher density than the outer region. In the example shown in FIG. 8, the upper excitation electrode 21 has concentric circular patterns 210 to 214 and a connecting pattern 216 that connects the peripheral patterns 210 to 214. The radial distance between the circumferential patterns 210 to 214 is set smaller toward the center side. That is, the distance between the circumferential pattern 210 and the circumferential pattern 211 is smaller than the distance between the circumferential pattern 211 and the circumferential pattern 212, and the distance between the circumferential pattern 211 and the circumferential pattern 212 is equal to that of the circumferential pattern 212. It is smaller than the distance between the peripheral pattern 213 and the same below. The connection pattern 216 extends in the radial direction with respect to the peripheral patterns 210 to 214 and connects the peripheral patterns 210 to 214 to each other.

図８に示す例によれば、図７に示した例と同様の上述した効果が奏される。加えて、図８に示す例によれば、密度の変化を膜の形成パターンにより実現するので、生産性が良好である。 According to the example shown in FIG. 8, the same effects as those of the example shown in FIG. 7 are obtained. In addition, according to the example shown in FIG. 8, since the change in density is realized by the film formation pattern, the productivity is good.

同様の、図８に示す例は、図６に示した例と組み合わせることも可能である。例えば、周パターン２１０乃至２１４は、第２磁性体部位２１ａに係るパターンの方が第１磁性体部位２１ｂに係るパターンよりも厚さが大きくなるように、形成されてもよい。例えば、周パターン２１０の方が周パターン２１１よりも厚さが大きく、周パターン２１１の方が周パターン２１２よりも厚さが大きく、以下同様である。また、第２磁性体部位２１ａに係るパターンの方が第１磁性体部位２１ｂに係るパターンよりも透磁率が大きくなるように、異なる透磁率を持つ複数の磁性材料を用いて周パターン２１０乃至２１４を形成することとしてもよい。例えば、周パターン２１０の方が周パターン２１１よりも透磁率が大きく、周パターン２１１の方が周パターン２１２よりも透磁率が大きく、以下同様である。 The similar example shown in FIG. 8 can be combined with the example shown in FIG. For example, the circumferential patterns 210 to 214 may be formed such that the pattern associated with the second magnetic body portion 21a is thicker than the pattern associated with the first magnetic body portion 21b. For example, the circumferential pattern 210 is thicker than the circumferential pattern 211, the circumferential pattern 211 is thicker than the circumferential pattern 212, and so on. Further, the circumferential patterns 210 to 214 are formed by using a plurality of magnetic materials having different magnetic permeability so that the pattern of the second magnetic body portion 21a has a higher magnetic permeability than the pattern of the first magnetic body portion 21b. May be formed. For example, the circumferential pattern 210 has a higher magnetic permeability than the circumferential pattern 211, the circumferential pattern 211 has a higher magnetic permeability than the circumferential pattern 212, and so on.

尚、上述した参考例では、上側励振電極２１は、励振電極としての機能を有するように、電導性を有する磁性材料により形成されている。これにより、上側励振電極２１には、励振電極としての機能と共に、上述した外部への発振周波数情報の送信機能を持たせることができ、効率的な構成を実現できる。しかしながら、他の参考例として、上側励振電極２１は、非磁性材料により形成され、励振電極としての機能のみを有してもよい。例えば、上側励振電極２１は下側励振電極２２と同様の態様で形成されてよい。この場合、上側励振電極２１の上面又は下面（水晶片１０との間）に、電導性を有さない磁性材料から形成される磁性体層（磁性体部の他の一例）が形成されてよい。これにより、磁性体層に、上述した外部への発振周波数情報の送信機能を持たせることができる。この場合、磁性体層は、材料以外について、上述した上側励振電極２１と同様の構成を有してよい。 In the reference example described above, the upper excitation electrode 21 is made of a magnetic material having electrical conductivity so as to have a function as an excitation electrode. As a result, the upper excitation electrode 21 can be provided with the function of the excitation electrode and the above-described function of transmitting the oscillation frequency information to the outside, and an efficient configuration can be realized. However, as another reference example, the upper excitation electrode 21 may be formed of a non-magnetic material and may only have a function as an excitation electrode. For example, the upper excitation electrode 21 may be formed in the same manner as the lower excitation electrode 22. In this case, a magnetic layer (another example of the magnetic portion) formed of a magnetic material having no electrical conductivity may be formed on the upper surface or the lower surface (between the crystal piece 10) of the upper excitation electrode 21. . This allows the magnetic layer to have the above-described function of transmitting oscillation frequency information to the outside. In this case, the magnetic layer may have the same configuration as the above-described upper excitation electrode 21 except for the material.

また、上述した参考例では、上側励振電極２１は、電導性を有する磁性材料により形成され、下側励振電極２２は、非磁性材料により形成される。しかしながら、逆であってもよい。即ち、上側励振電極２１は、非磁性材料により形成され、下側励振電極２２は、電導性を有する磁性材料により形成されてもよい。この場合、特性測定時、受信コイル７０は、筐体３０の下方に設置されてよい。 In the above-described reference example, the upper excitation electrode 21 is made of a magnetic material having electrical conductivity, and the lower excitation electrode 22 is made of a nonmagnetic material. However, the reverse is also possible. That is, the upper excitation electrode 21 may be made of a non-magnetic material, and the lower excitation electrode 22 may be made of a magnetic material having electrical conductivity. In this case, the receiver coil 70 may be installed below the housing 30 during the characteristic measurement.

図９は、一例（実施例）による水晶振動子１０２を概略的に示す断面図である。図９は、図１（Ｂ）に対応する断面を示す。本実施例による水晶振動子１０２は、上述した参考例における上側励振電極２１に代えて、上側励振電極２１Ａを備える点が異なる。本実施例における他の構成は、上述した参考例における構成と同様であってよく、説明を適宜省略し、また、図面において同一の参照符号を付す。図１０は、水晶振動子１０２に係る特性測定装置４０２を概略的に示す図である。 FIG. 9 is a sectional view schematically showing a crystal resonator 102 according to an example (embodiment). FIG. 9 shows a cross section corresponding to FIG. The crystal oscillator 102 according to the present example is different in that it includes an upper side excitation electrode 21A instead of the upper side excitation electrode 21 in the above-described reference example. Other configurations in the present embodiment may be the same as the configurations in the above-described reference example, description thereof will be appropriately omitted, and the same reference numerals will be given in the drawings. FIG. 10 is a diagram schematically showing a characteristic measuring device 402 related to the crystal unit 102.

水晶振動子１０２は、水晶片１０と、励振電極２０Ａと、筐体３０と、外部電極４１乃至４４とを含む。水晶振動子１００は、図１に示すように、表面実装タイプである。 The crystal unit 102 includes a crystal piece 10, an excitation electrode 20A, a housing 30, and external electrodes 41 to 44. The crystal unit 100 is a surface mount type, as shown in FIG.

励振電極２０Ａは、上側励振電極（磁石部の一例）２１Ａと、下側励振電極２２とを含む。 The excitation electrode 20A includes an upper excitation electrode (an example of a magnet section) 21A and a lower excitation electrode 22.

上側励振電極２１Ａは、電導性を有する磁性材料により形成され、磁化（残留磁化）される。即ち、上側励振電極２１Ａは、永久磁石を形成する。上側励振電極２１Ａは、例えば、鉄、ニッケル、コバルト等を磁化することで形成されてよい。上側励振電極２１Ａは、膜の形態で形成されてよい。 The upper excitation electrode 21A is made of a magnetic material having electrical conductivity and is magnetized (residual magnetization). That is, the upper excitation electrode 21A forms a permanent magnet. The upper excitation electrode 21A may be formed by magnetizing iron, nickel, cobalt, or the like, for example. The upper excitation electrode 21A may be formed in the form of a film.

水晶振動子１０２の動作時、水晶片１０が、ある周波数で発振すると、その周波数で上側励振電極２１Ａが振動することになる。このとき、図１０に示すように、蓋３４の上方に配置された受信コイル８０においては、上側励振電極２１Ａの振動に起因して水晶片１０の発振周波数に対応した周波数の交流波形が発生する。具体的には、図１０に示す例では、上側励振電極２１Ａが永久磁石を形成し、図１１に模式的に示すような磁場Ｈ２を形成する。そして、受信コイル８０のコイル部８２を通る磁束が形成される。このとき、上側励振電極２１Ａが振動すると、コイル部８２を通る磁束密度が周期的に変化し、電磁誘導によりコイル部８２に誘導起電力が発生する。例えば、図１１に矢印Ｒ２にて模式的に示すように、上側励振電極２１Ａが左側に変位すると、磁束変化を妨げる方向にコイル部８２に誘導起電力が発生し、誘導起電力による電流Ｉ２がコイル部８２に発生する。同様に、上側励振電極２１Ａが右側に変位すると、電流Ｉ２とは反対向きの電流（図示せず）が発生する。このようにして、受信コイル８０に水晶片１０の発振周波数に対応した周波数の交流波形が発生する。従って、図１０に模式的に示すように、水晶振動子１０２の外部に受信コイル８０を設けて、かかる交流波形を受信コイル８０に発生させることで、水晶振動子１０２の発振周波数を測定することが可能となる。以下、このような受信コイル８０に交流波形を発生させる機能を、外部への発振周波数情報の送信機能ともいう。尚、図１０に示す例では、コイル部８２に発生する交流波形を含む受信信号は、直流成分がコンデンサ８３でカットされ、交流成分が増幅器８４にて増幅される。増幅された交流成分に基づいて、図示しない測定装置（例えば、オシロスコープ）により周波数が測定（解析）される。 When the crystal element 10 oscillates at a certain frequency during operation of the crystal resonator 102, the upper excitation electrode 21A vibrates at that frequency. At this time, as shown in FIG. 10, in the receiving coil 80 arranged above the lid 34, an AC waveform having a frequency corresponding to the oscillation frequency of the crystal blank 10 is generated due to the vibration of the upper excitation electrode 21A. . Specifically, in the example shown in FIG. 10, the upper excitation electrode 21A forms a permanent magnet and forms a magnetic field H2 as schematically shown in FIG. Then, a magnetic flux passing through the coil portion 82 of the receiving coil 80 is formed. At this time, when the upper excitation electrode 21A vibrates, the magnetic flux density passing through the coil portion 82 changes periodically, and an induced electromotive force is generated in the coil portion 82 by electromagnetic induction. For example, as schematically shown by an arrow R2 in FIG. 11, when the upper side excitation electrode 21A is displaced to the left side, an induced electromotive force is generated in the coil portion 82 in a direction in which the magnetic flux change is disturbed, and the current I2 due to the induced electromotive force is generated. It is generated in the coil portion 82. Similarly, when the upper excitation electrode 21A is displaced to the right, a current (not shown) opposite to the current I2 is generated. In this way, an AC waveform having a frequency corresponding to the oscillation frequency of the crystal blank 10 is generated in the receiving coil 80. Therefore, as schematically shown in FIG. 10, the receiving coil 80 is provided outside the crystal oscillator 102, and the oscillation frequency of the crystal oscillator 102 is measured by generating such an AC waveform in the receiving coil 80. Is possible. Hereinafter, the function of generating an AC waveform in the receiving coil 80 will also be referred to as a function of transmitting oscillation frequency information to the outside. In the example shown in FIG. 10, the received signal including the AC waveform generated in the coil portion 82 has the DC component cut by the capacitor 83 and the AC component amplified by the amplifier 84. The frequency is measured (analyzed) by a measuring device (not shown) (for example, an oscilloscope) based on the amplified AC component.

図９に示す水晶振動子１０２によれば、水晶振動子１０２の上側励振電極２１Ａが永久磁石を含むことで、水晶振動子１０２の発振周波数を外部から測定することが可能となる。これにより、例えば実装状態の水晶振動子１０２に対しても発振周波数を測定することが可能となる。発振周波数が測定可能となることで、良品との相対特性の比較なども可能となる。 According to the crystal resonator 102 shown in FIG. 9, since the upper side excitation electrode 21A of the crystal resonator 102 includes a permanent magnet, the oscillation frequency of the crystal resonator 102 can be externally measured. As a result, it becomes possible to measure the oscillation frequency even for the mounted crystal oscillator 102, for example. Since the oscillation frequency can be measured, it becomes possible to compare the relative characteristics with non-defective products.

尚、水晶振動子１０２では、上側励振電極２１Ａが永久磁石を含み、下側励振電極２２は、非磁性材料により形成される。これは、ＡＴカット型の場合、上側励振電極２１Ａと下側励振電極２２とは、振動方向が逆（逆相で振動）であるので、下側励振電極２２も永久磁石を含む場合には、相殺により上述のような交流波形が受信コイル７０で形成されないためである。 In the crystal oscillator 102, the upper excitation electrode 21A includes a permanent magnet, and the lower excitation electrode 22 is made of a nonmagnetic material. This is because in the AT-cut type, the upper excitation electrode 21A and the lower excitation electrode 22 have opposite vibration directions (vibrate in opposite phase), so when the lower excitation electrode 22 also includes a permanent magnet, This is because the above-mentioned AC waveform is not formed in the receiving coil 70 due to the cancellation.

尚、図１０に示す例では、特性測定時、受信コイル８０は蓋３４の上方に配置されている。しかしながら、受信コイル８０は、コイル部８２を通る磁束が上側励振電極２１Ａにより形成される態様で水晶振動子１０２に対して配置される限り、任意の位置に配置されてもよい。 In the example shown in FIG. 10, the receiving coil 80 is arranged above the lid 34 during the characteristic measurement. However, the receiving coil 80 may be arranged at any position as long as the magnetic flux passing through the coil portion 82 is arranged with respect to the crystal resonator 102 in a form formed by the upper side excitation electrode 21A.

また、図４及び図５を参照して説明した水晶振動子１００に関する構成及び効果は、水晶振動子１０２に対しても同様に当てはまる。 The configurations and effects of the crystal unit 100 described with reference to FIGS. 4 and 5 are similarly applied to the crystal unit 102.

次に、上側励振電極２１Ａの幾つかの構成例に説明する。 Next, some configuration examples of the upper excitation electrode 21A will be described.

図１２は、上側励振電極２１Ａの一例の説明図であり、上側励振電極２１Ａと水晶片１０と下側励振電極２２の断面図を示す。尚、図１２の断面図の切断面は、上面視における上側励振電極２１Ａの幾何的な中心（又は重心）を通る。例えば、図１２の断面図の切断面は、上面視における上側励振電極２１Ａの幾何的な中心を通る上下方向の面であってよい。 FIG. 12 is an explanatory diagram of an example of the upper excitation electrode 21A, and shows a cross-sectional view of the upper excitation electrode 21A, the crystal blank 10, and the lower excitation electrode 22. The cross section of the cross-sectional view of FIG. 12 passes through the geometric center (or the center of gravity) of the upper excitation electrode 21A in top view. For example, the cross section of the cross-sectional view of FIG. 12 may be a plane in the up-down direction that passes through the geometric center of the upper excitation electrode 21A in a top view.

図１２に示す例では、上側励振電極２１Ａは、全体が磁化され、全体が永久磁石により形成される。 In the example shown in FIG. 12, the upper excitation electrode 21A is magnetized entirely and is entirely formed of a permanent magnet.

図１３は、上側励振電極２１Ａの他の一例の説明図であり、上側励振電極２１Ａと水晶片１０と下側励振電極２２の断面図を示す。尚、図１３の断面図の切断面は、図１２と同様、上面視における上側励振電極２１Ａの幾何的な中心（又は重心）を通る。 FIG. 13 is an explanatory view of another example of the upper side excitation electrode 21A and shows a cross-sectional view of the upper side excitation electrode 21A, the crystal blank 10 and the lower side excitation electrode 22. The cross section of the cross-sectional view of FIG. 13 passes through the geometric center (or the center of gravity) of the upper excitation electrode 21A in a top view, as in FIG.

図１３に示す例では、上側励振電極２１Ａは、一部のみが磁化され、一部のみが永久磁石により形成される。具体的には、上側励振電極２１Ａは、磁化された中央部２１０Ａと、磁化されていない周辺部２１２Ａとを含む。中央部２１０Ａは、上面視で矩形の外形であってよい。 In the example shown in FIG. 13, only a part of the upper excitation electrode 21A is magnetized and only a part is formed of a permanent magnet. Specifically, the upper excitation electrode 21A includes a magnetized central portion 210A and a non-magnetized peripheral portion 212A. The central portion 210A may have a rectangular outer shape in a top view.

図１３に示す例によれば、上側励振電極２１Ａは、水晶片１０の振動エネルギが高い中心部に対応した中心領域において、磁化された中央部２１０Ａを有する。これにより、受信コイル８０に発生させる交流波形の振幅を効率的に増大することができ、この結果、水晶振動子１０２の発振周波数の測定精度を高めることができる。 According to the example shown in FIG. 13, the upper excitation electrode 21A has a magnetized central portion 210A in the central region corresponding to the central portion of the quartz piece 10 where the vibration energy is high. As a result, the amplitude of the AC waveform generated in the receiving coil 80 can be efficiently increased, and as a result, the measurement accuracy of the oscillation frequency of the crystal oscillator 102 can be improved.

尚、上述した実施例では、上側励振電極２１Ａは、励振電極としての機能を有するように、電導性を有する磁性材料により形成されている。これにより、上側励振電極２１Ａには、励振電極としての機能と共に、上述した外部への発振周波数情報の送信機能を持たせることができ、効率的な構成を実現できる。しかしながら、他の実施例として、上側励振電極２１Ａは、非磁性材料により形成され、励振電極としての機能のみを有してもよい。例えば、上側励振電極２１Ａは下側励振電極２２と同様の態様で形成されてよい。この場合、上側励振電極２１Ａの上面又は下面（水晶片１０との間）に、電導性を有さない磁性材料を磁化して形成される磁石層（磁石部の他の一例）が形成されてよい。これにより、磁石層に、上述した外部への発振周波数情報の送信機能を持たせることができる。この場合、磁石層は、材料以外について、上述した上側励振電極２１Ａと同様の構成を有してよい。 In the above-described embodiment, the upper excitation electrode 21A is made of a magnetic material having electrical conductivity so as to have a function as an excitation electrode. As a result, the upper excitation electrode 21A can be provided with the function of the excitation electrode and the above-described function of transmitting the oscillation frequency information to the outside, and an efficient configuration can be realized. However, as another example, the upper excitation electrode 21A may be formed of a non-magnetic material and have only the function as an excitation electrode. For example, the upper excitation electrode 21A may be formed in the same manner as the lower excitation electrode 22. In this case, a magnet layer (another example of the magnet portion) formed by magnetizing a magnetic material having no electrical conductivity is formed on the upper surface or the lower surface (between the crystal piece 10) of the upper excitation electrode 21A. Good. As a result, the magnet layer can have the above-mentioned function of transmitting the oscillation frequency information to the outside. In this case, the magnet layer may have the same configuration as the above-described upper excitation electrode 21A except for the material.

また、上述した実施例では、上側励振電極２１Ａは、電導性を有する磁性材料を磁化して形成され、下側励振電極２２は、非磁性材料により形成される。しかしながら、逆であってもよい。即ち、上側励振電極２１Ａは、非磁性材料により形成され、下側励振電極２２は、電導性を有する磁性材料を磁化して形成されてもよい。この場合、測定時、受信コイル７０は、筐体３０の下方に設置されてよい。 Further, in the above-described embodiment, the upper excitation electrode 21A is formed by magnetizing a magnetic material having electrical conductivity, and the lower excitation electrode 22 is formed of a non-magnetic material. However, the reverse is also possible. That is, the upper excitation electrode 21A may be formed of a non-magnetic material, and the lower excitation electrode 22 may be formed by magnetizing a magnetic material having electrical conductivity. In this case, at the time of measurement, the receiving coil 70 may be installed below the housing 30.

以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。 Although the respective embodiments have been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. Further, it is possible to combine all or a plurality of the constituent elements of the above-described embodiments.

なお、以上の実施例に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
水晶片と、
前記水晶片の第１表面に配置され、非磁性材料により形成される励振電極と、
前記水晶片における前記第１表面とは逆側の第２表面に、前記励振電極に対向して配置され、磁性材料により形成される磁性体部とを含み、
前記磁性体部は、第１磁性体部位と、前記第１磁性体部位よりも前記水晶片の中心側に位置する第２磁性体部位とを含み、前記第２磁性体部位は、前記第１磁性体部位よりも、厚さ、密度及び透磁率のうちの少なくともいずれか１つが大きい、水晶振動子。
（付記２）
前記磁性体部は、電導性を有する磁性材料により形成され、前記励振電極に対向する第２励振電極を形成する、付記１に記載の水晶振動子。
（付記３）
前記水晶片の厚み方向に垂直な方向に沿った複数位置における前記磁性体部の厚さ、密度及び透磁率のうちの少なくともいずれか１つは、前記水晶片の各対応する位置における発振時の振動エネルギに比例する、付記１又は２に記載の水晶振動子。
（付記４）
水晶片と、
前記水晶片の第１表面に配置され、非磁性材料により形成される励振電極と、
前記水晶片における前記第１表面とは逆側の第２表面に、前記励振電極に対向して配置され、磁性材料により形成される磁性体部とを含み、
前記磁性体部は、前記水晶片の第１部位に対して設けられる第１磁性体部位と、前記水晶片の発振時の振動エネルギが前記第１部位よりも大きい前記水晶片の第２部位に対して設けられる第２磁性体部位とを含み、前記第２磁性体部位は、前記第１磁性体部位よりも、厚さ、密度及び透磁率のうちの少なくともいずれか１つが大きい、水晶振動子。
（付記５）
水晶片と、
前記水晶片の第１表面に配置され、非磁性材料により形成される励振電極と、
前記水晶片における前記第１表面とは逆側の第２表面に、前記励振電極に対向して配置された磁石部とを含む、水晶振動子。
（付記６）
前記磁石部は、電導性を有する磁性材料により形成され、前記励振電極に対向する第２励振電極を形成する、付記５に記載の水晶振動子。
（付記７）
水晶片と、
前記水晶片の第１表面に配置され、非磁性材料により形成される励振電極と、
前記水晶片における前記第１表面とは逆側の第２表面に、前記励振電極に対向して配置され、磁性材料により形成される磁性体部と、
前記水晶片の発振時に伴う前記磁性体部の振動により交流波形が発生するコイル部を備える受信コイルとを含む、水晶振動子の特性測定装置。
（付記８）
水晶片と、
前記水晶片の第１表面に配置され、非磁性材料により形成される励振電極と、
前記水晶片における前記第１表面とは逆側の第２表面に、前記励振電極に対向して配置された磁石部と
前記水晶片の発振時に伴う前記磁石部の振動により交流波形が発生するコイル部を備える受信コイルとを含む、水晶振動子の特性測定装置。 The following supplementary notes will be disclosed with respect to the above embodiments.
(Appendix 1)
A crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
A second surface of the crystal piece opposite to the first surface, the magnetic body section being arranged to face the excitation electrode and formed of a magnetic material;
The magnetic body portion includes a first magnetic body portion and a second magnetic body portion located closer to the center of the crystal piece than the first magnetic body portion, and the second magnetic body portion is the first magnetic body portion. A crystal resonator having at least one of thickness, density, and magnetic permeability larger than that of a magnetic body part.
(Appendix 2)
The crystal unit according to appendix 1, wherein the magnetic body portion is formed of a magnetic material having electrical conductivity, and forms a second excitation electrode facing the excitation electrode.
(Appendix 3)
At least one of the thickness, the density, and the magnetic permeability of the magnetic body portion at a plurality of positions along a direction perpendicular to the thickness direction of the crystal piece is determined by oscillation at each corresponding position of the crystal piece. 3. The crystal resonator according to appendix 1 or 2, which is proportional to vibration energy.
(Appendix 4)
A crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
A second surface of the crystal piece opposite to the first surface, the magnetic body section being arranged to face the excitation electrode and formed of a magnetic material;
The magnetic body portion includes a first magnetic body portion provided for the first portion of the crystal piece, and a second portion of the crystal piece having vibration energy at the time of oscillation of the crystal piece that is larger than that of the first portion. A crystal unit including a second magnetic body portion provided in a pair, the second magnetic body portion having at least one of thickness, density and magnetic permeability larger than that of the first magnetic body portion. .
(Appendix 5)
A crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
A crystal resonator, comprising: a magnet portion disposed on a second surface of the crystal piece opposite to the first surface, the magnet portion being opposed to the excitation electrode.
(Appendix 6)
6. The crystal unit according to appendix 5, wherein the magnet portion is formed of a magnetic material having electrical conductivity and forms a second excitation electrode facing the excitation electrode.
(Appendix 7)
A crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
A magnetic body portion formed of a magnetic material, disposed on the second surface of the crystal piece opposite to the first surface, facing the excitation electrode;
A characteristic measuring device for a crystal resonator, comprising: a receiving coil having a coil portion in which an AC waveform is generated by vibration of the magnetic body portion caused by oscillation of the crystal piece.
(Appendix 8)
A crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
A coil on the second surface of the crystal piece opposite to the first surface, the magnet section being arranged so as to face the excitation electrode and an AC waveform generated by the vibration of the magnet section accompanying the oscillation of the crystal piece. A characteristic measuring device for a crystal unit, including a receiving coil having a unit.

１０水晶片
２０励振電極
２１，２１Ａ上側励振電極
２２下側励振電極
３０筐体
３２シール材
３４蓋
４１乃至４４外部電極
１００，１０２水晶振動子 10 Crystal Piece 20 Excitation Electrode 21,21A Upper Excitation Electrode 22 Lower Excitation Electrode 30 Housing 32 Sealing Material 34 Lid 41 to 44 External Electrode 100,102 Crystal Oscillator

Claims

A crystal piece,
An excitation electrode disposed on the first surface of the quartz piece and formed of a non-magnetic material;
Is formed of a magnetic material having a conductivity, the second surface opposite to the first surface of the crystal piece, seen including a second excitation electrode disposed opposite to the excitation electrode,
The second excitation electrode is
A peripheral portion in which the magnetic material is not magnetized,
Located closer to the center of the crystal piece than the peripheral portion, and the central portion of the permanent magnet in which the magnetic material is magnetized,
The including, crystal oscillator.