JP6688966B2 - 粒子検出センサ - Google Patents
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Description
まず、実施の形態1に係る粒子検出センサ1について、図1を用いて説明する。図1は、実施の形態1に係る粒子検出センサ1の概略構成を模式的に示す断面図である。
次に、実施の形態2に係る粒子検出センサ2について、図5及び図6を用いて説明する。図5は、XZ平面における実施の形態2に係る粒子検出センサ2の光学系を説明するための図であり、図6は、XY平面における同粒子検出センサ2の光学系を説明するための図である。
以上、本発明に係る粒子検出センサについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
10 投光素子
20 受光素子
30 加熱装置
40 反射体
41e 第1楕円形部
42e 第2楕円形部
41c 第1円形部
42c 第2円形部
DA 検知領域
Claims (5)
- 投光素子と、
検知領域における気体中の粒子による前記投光素子からの光の散乱光を受光する受光素子と、
前記気体を加熱する加熱装置と、
前記散乱光を反射して当該散乱光を前記受光素子に導く反射体とを備え、
前記反射体は、
少なくとも一部が、前記検知領域と前記受光素子との間の領域に配置され、かつ、内面形状が回転楕円体の回転面の一部をなす第1楕円形部と、
前記検知領域を基準として前記受光素子側とは反対側の領域に配置され、かつ、内面形状が球体の球面の一部をなす第1円形部とを有し、
前記第1楕円形部は、前記回転楕円体を構成する楕円の2つの焦点のうちの一方の焦点である第1焦点が前記検知領域内に位置し、かつ、前記2つの焦点うちの他方の焦点である第2焦点が前記受光素子の近傍に位置するように形成されており、
前記第1円形部は、前記球体を構成する円の中心が前記検知領域内に位置するように形成されており、
前記第1円形部の直径は、前記第1楕円形部の短軸の長さよりも小さい
粒子検出センサ。 - 前記円の直径は、前記楕円の長径から焦点間距離を引いた値よりも大きい
請求項1に記載の粒子検出センサ。 - 前記第1円形部における前記円の前記中心と、前記第1楕円形部における前記楕円の前記第1焦点とは一致している
請求項1又は2に記載の粒子検出センサ。 - 前記反射体は、さらに、
少なくとも一部が、前記第2焦点を基準として前記検知領域側とは反対側の領域に配置され、かつ、内面形状が球体の球面の一部をなす第2円形部と、
前記検知領域を基準として前記受光素子側とは反対側の領域に配置され、かつ、内面形状が回転楕円体の回転面の一部をなす第2楕円形部とを有し、
前記第2円形部は、前記球体を構成する円の中心が前記検知領域内に位置するように形成されており、
前記第2楕円形部は、当該第2楕円形部の前記回転楕円体を構成する楕円の2つの焦点のうちの一方の焦点である第1焦点が前記検知領域内に位置し、かつ、当該第2楕円形部における前記2つの焦点のうちの他方の焦点である第2焦点が前記受光素子の近傍に位置するように形成されている
請求項1〜3のいずれか1項に記載の粒子検出センサ。 - 前記第2楕円形部を構成する前記楕円の前記第1焦点と前記第1楕円形部を構成する前記楕円の前記第1焦点とが一致し、
前記第2楕円形部を構成する前記楕円の前記第2焦点と前記第1楕円形部を構成する前記楕円の前記第2焦点とが一致している
請求項4に記載の粒子検出センサ。
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