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JP6697330B2 - Objective lens mount, objective lens unit, and optical measuring machine - Google Patents
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JP6697330B2 - Objective lens mount, objective lens unit, and optical measuring machine - Google Patents

Objective lens mount, objective lens unit, and optical measuring machine Download PDF

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Description

本発明は顕微鏡等の光学式測定機に対し取り付けられる対物レンズユニット、当該光学式測定機において対物レンズユニットを保持する対物レンズマウント、及び対物レンズユニットと対物レンズマウントを備える光学式測定機に関する。   The present invention relates to an objective lens unit attached to an optical measuring instrument such as a microscope, an objective lens mount that holds the objective lens unit in the optical measuring instrument, and an optical measuring instrument including the objective lens unit and the objective lens mount.

光学式測定機の一種である顕微鏡において、観察倍率を変更する方法は、1)ズーム光学系の様に顕微鏡内部の光学倍率を変更する方法、2)対物レンズを変更する方法、3)その両方を変更できる方法、の3種類に大別される。後者の2つの方法を採用する場合に、複数の対物レンズが予め取り付けられたレボルバを搭載する顕微鏡ではレボルバを回転させることによって倍率を変更し、レボルバを搭載しない顕微鏡においては変倍の都度、対物レンズを手動で脱着することによって倍率を変更する。   In a microscope, which is a type of optical measuring instrument, the method of changing the observation magnification is 1) the method of changing the optical magnification inside the microscope like a zoom optical system, 2) the method of changing the objective lens, and 3) both of them. Can be changed into three types. When the latter two methods are adopted, the magnification is changed by rotating the revolver in a microscope equipped with a revolver to which a plurality of objective lenses are preliminarily attached, and in a microscope not equipped with the revolver, the objective is changed each time the magnification is changed. The magnification is changed by manually attaching and detaching the lens.

図5は従来の顕微鏡1への対物レンズユニット20を取り付けるための取付機構の一例を示しており、図5(a)は、対物レンズユニット20が取り外された状態、図5(b)は対物レンズユニット20が取り付けられた状態を示している。図5に示したように、対物レンズユニット20は、鏡筒22の胴付き面222から突設した雄ネジ部221を、雄ネジ部221と螺合する雌ネジ部112を有する対物レンズマウント11にねじ込むことにより取り付けられるのが一般的である。この場合、対物レンズユニット20を対物レンズマウント11に取り付けるべく、雄ネジ部221を対物レンズマウント11に近づける際に、対物レンズユニット20の姿勢を注意深く目視して、対物レンズマウント11と対物レンズユニット20の仮想中心線を一致させ、ゆっくりとお互いのねじの先頭(引っ掛かり)を合わせつつ、対物レンズユニット20の胴付き面222が対物レンズマウント11のフランジ端面113に当接するまでねじ込むことで、取り付けが完了する。特許文献1には、このような対物レンズマウントを複数備えるレボルバを備え、当該レボルバに倍率の異なる複数の対物レンズを取り付け可能とした顕微鏡が開示されている。レボルバを備えない顕微鏡においても同様の対物レンズマウントが用いられる。   FIG. 5 shows an example of a mounting mechanism for mounting the objective lens unit 20 on the conventional microscope 1, FIG. 5 (a) shows a state in which the objective lens unit 20 is removed, and FIG. 5 (b) shows an objective. The state where the lens unit 20 is attached is shown. As shown in FIG. 5, the objective lens unit 20 includes an objective lens mount 11 having a female screw portion 112 for screwing a male screw portion 221 protruding from the body-attached surface 222 of the lens barrel 22 with the male screw portion 221. It is generally attached by screwing into. In this case, when the male screw portion 221 is brought close to the objective lens mount 11 in order to attach the objective lens unit 20 to the objective lens mount 11, the posture of the objective lens unit 20 is carefully visually checked to check the objective lens mount 11 and the objective lens unit 11. The virtual center lines of 20 are aligned, and the heads (hooks) of the screws are slowly aligned with each other, and screwed until the barrel surface 222 of the objective lens unit 20 contacts the flange end surface 113 of the objective lens mount 11 Is completed. Patent Document 1 discloses a microscope including a revolver including a plurality of such objective lens mounts, and a plurality of objective lenses having different magnifications can be attached to the revolver. A similar objective lens mount is used in a microscope without a revolver.

特開2009−047976号公報JP, 2009-047976, A

しかしながら、不注意等により雄ネジ部221と雌ネジ部112との引っ掛かりを確認しないでねじ込んだ場合や、対物レンズマウント11の周囲に視界を妨げる構造(例えばリング照明機構等)が存在することによって引っ掛かりを目視できず、手探りで姿勢調整をせざるを得ない場合等には、図6に示したように、対物レンズマウント11と対物レンズユニット20の仮想中心線が合っていない状態で雄ネジ部221を雌ネジ部112にねじ込んでしまい、雄ネジ部221及び/または雌ネジ部112を破損してしまうことがあった。   However, due to carelessness or the like, the male screw portion 221 and the female screw portion 112 are screwed in without being caught, or there is a structure (for example, a ring illumination mechanism) around the objective lens mount 11 that obstructs the field of view. When the catch cannot be visually observed and the posture must be adjusted by groping, as shown in FIG. 6, when the objective lens mount 11 and the objective lens unit 20 are not aligned with each other in the virtual center line, the male screw is used. The part 221 may be screwed into the female screw part 112, and the male screw part 221 and / or the female screw part 112 may be damaged.

本発明は、容易に正しく取り付けることが可能な対物レンズユニット、当該対物レンズユニットが取り付けられる対物レンズマウント、およびこれらの対物レンズユニットと対物レンズマウントとを備える光学式測定機を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an objective lens unit that can be easily and correctly attached, an objective lens mount to which the objective lens unit is attached, and an optical measuring machine including the objective lens unit and the objective lens mount. And

(1)上記課題を解決するために、本発明に係る対物レンズマウントは、被測定物を観察するための対物レンズを備える対物レンズユニットが取り付けられる対物レンズマウントであって、中心軸方向に沿って延出し、対物レンズマウントに取り付けられる対物レンズユニットを中心軸方向に沿ってガイドするガイド部を備えたことを特徴とする。 (1) In order to solve the above problems, an objective lens mount according to the present invention is an objective lens mount to which an objective lens unit including an objective lens for observing an object to be measured is attached, and the objective lens mount is arranged along a central axis direction. It is characterized in that it is provided with a guide portion which extends out and guides the objective lens unit attached to the objective lens mount along the central axis direction.

このような構成によれば、対物レンズユニットを対物レンズマウントに容易に正しく取り付けることができる。   With such a configuration, the objective lens unit can be easily and correctly attached to the objective lens mount.

(2)本発明の対物レンズマウントは、中心軸を中心とする円形の開口部である対物レンズ挿入口と、対物レンズ挿入口の内側面に対物レンズユニットと螺合する雌ネジが設けられた雌ネジ部と、対物レンズ挿入口の周縁部に設けられた円環状の平面であり、中心軸と直交するフランジ端面とをさらに備え、ガイド部は、フランジ端面の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部を備えるとよい。このようにすれば、直管部によって対物レンズユニットを中心軸に沿ってガイドし、雌ネジ部に対し正しい角度で雄ネジ部をアプローチさせることができる。その結果、雄ネジ部と雌ネジ部とを確実に正しく螺合させることができ、ネジの破損を防ぐことができる。 (2) The objective lens mount of the present invention is provided with an objective lens insertion opening which is a circular opening centered on the central axis and a female screw which is screwed into the objective lens unit on the inner surface of the objective lens insertion opening. The guide portion further comprises a female screw portion and an annular flat surface provided on the peripheral portion of the objective lens insertion opening and orthogonal to the central axis, and the guide portion extends from the outer edge portion of the flange end surface and has a constant inner diameter. It is preferable to provide a straight pipe section having. With this configuration, the objective lens unit can be guided along the central axis by the straight pipe portion, and the male screw portion can be approached at the correct angle with respect to the female screw portion. As a result, the male screw portion and the female screw portion can be securely screwed together properly, and the screw can be prevented from being damaged.

(3)本発明の対物レンズマウントにおいて、直管部のフランジ端面の近傍に、直管部の内部と外部とを連通する通気孔が設けられるとよい。これにより、対物レンズユニットが取り付けられることにより密閉される空間内の空気が圧縮され、その反発力によって光軸方向への移動に抵抗が生じることを防ぐことができる。 (3) In the objective lens mount of the present invention, it is preferable that a ventilation hole is provided near the flange end surface of the straight pipe portion so as to communicate the inside and outside of the straight pipe portion. As a result, it is possible to prevent the air in the space that is sealed by the attachment of the objective lens unit from being compressed, and the repulsive force from causing a resistance to the movement in the optical axis direction.

(4)本発明の対物レンズマウントにおいて、ガイド部は、直管部におけるフランジ端面とは反対側の端部に連設され、フランジ端面から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部をさらに備えるとよい。これにより、取り付けられる対物レンズユニットを中心軸が一致するようにガイドすることができる。 (4) In the objective lens mount of the present invention, the guide portion is continuously provided at an end portion of the straight pipe portion on the side opposite to the flange end surface, and the inner diameter is increased as the distance from the flange end surface increases. It is preferable to further include a taper portion. This allows the attached objective lens unit to be guided so that the central axes thereof coincide with each other.

(5)本発明に係る対物レンズユニットは、上記(2)から(4)のいずれかに記載の対物レンズマウントに着脱可能な対物レンズユニットであって、対物レンズと、対物レンズを収納する鏡筒とを備え、鏡筒は、鏡筒の中心軸方向に一定の外径で延伸し、当該対物レンズユニットが対物レンズマウントに取り付けられるときに、対物レンズマウントのガイド部における直管部によって、対物レンズマウントの中心軸方向に沿った移動のみを許容されるようガイドされる直胴部と、鏡筒の中心軸と直交し、直動部の一端において端面を成す胴付き面と、胴付き面から円筒状に延出し、外側面に周方向に沿って対物レンズマウントの雌ネジ部と螺合する雄ネジが形成された雄ネジ部と、を備え、直管部の中心軸方向の長さは、雄ネジ部の中心軸方向の長さ以上であることを特徴とする。 (5) An objective lens unit according to the present invention is an objective lens unit that is attachable to and detachable from the objective lens mount according to any one of (2) to (4) above, and includes an objective lens and a mirror that houses the objective lens. And a barrel, the barrel extends with a constant outer diameter in the direction of the central axis of the barrel, and when the objective lens unit is attached to the objective lens mount, by the straight tube portion in the guide portion of the objective lens mount, A straight barrel part that is guided so that it can be moved only along the central axis of the objective lens mount; a barrel face that is orthogonal to the central axis of the lens barrel and forms an end face at one end of the linear motion part; A cylindrical portion extending from the surface to the outer surface and having a male screw portion formed along the circumferential direction with a female screw portion of the objective lens mount to be threaded with the female screw portion of the objective lens mount. Is the central axis of the male thread Wherein the direction of not less than the length.

このような構成によれば、(2)から(4)のいずれかに記載の対物レンズマウントに取り付ける際に、直胴部が直管部によってガイドされ、雌ネジ部に対し正しい角度で雄ネジ部をアプローチさせることができる。その結果、雄ネジ部と雌ネジ部とを確実に正しく螺合させることができ、ネジの破損を防ぐことができる。   According to this structure, when the objective lens mount according to any one of (2) to (4) is attached, the straight barrel portion is guided by the straight pipe portion, and the male screw is formed at a correct angle with respect to the female screw portion. The department can be approached. As a result, the male screw portion and the female screw portion can be securely screwed together properly, and the screw can be prevented from being damaged.

(6)本発明の対物レンズユニットにおいて、直胴部の中心軸方向の長さは、対物レンズマウントの直管部の中心軸方向の長さ以上とするとよい。これにより、直胴部が直管部内に入ってから胴付き面がフランジ端面に当接するまで、直管部によって確実にガイドされることができる。 (6) In the objective lens unit of the present invention, the length of the straight barrel portion in the central axis direction may be equal to or longer than the length of the straight tube portion of the objective lens mount in the central axis direction. Accordingly, the straight body portion can be reliably guided by the straight body portion after the straight body portion enters the straight body portion until the body-attached surface abuts the flange end surface.

(7)本発明に係る対物レンズユニットの他の例では、上記(4)に記載の対物レンズマウントに着脱可能な対物レンズユニットであって、対物レンズと、対物レンズを収納する鏡筒とを備え、鏡筒は、鏡筒の中心軸方向に一定の外径で延伸し、当該対物レンズユニットが対物レンズマウントに取り付けられるときに、対物レンズマウントのガイド部における直管部によって、対物レンズマウントの中心軸方向に沿った移動のみを許容されるようガイドされる直胴部と、鏡筒の中心軸と直交し、直動部の一端において端面を成す胴付き面と、胴付き面から円筒状に延出し、外側面に周方向に沿って対物レンズマウントの雌ネジ部と螺合する雄ネジが形成された雄ネジ部と、を備え、対物レンズマウントが備える内テーパ部における内径の変化幅をL1、胴付き面の幅をL2としたとき、L1≧L2であることを特徴とする。 (7) In another example of the objective lens unit according to the present invention, the objective lens unit is attachable to and detachable from the objective lens mount according to the above (4), and the objective lens and the lens barrel that houses the objective lens are included. The lens barrel has a constant outer diameter extending in the central axis direction of the lens barrel, and when the objective lens unit is attached to the objective lens mount, the straight tube portion in the guide portion of the objective lens mount allows the objective lens mount to be mounted. A straight barrel part that is allowed to move only along the central axis direction of the lens barrel, a barrel face that is orthogonal to the center axis of the lens barrel and forms an end face at one end of the linear motion part, and a barrel face Change in inner diameter of the inner taper portion of the objective lens mount, which has a male thread portion that extends in a circular shape and has a male thread portion that is formed on the outer surface along the circumferential direction and that is threadedly engaged with the female thread portion of the objective lens mount. When the width is L1 and the width of the body-attached surface is L2, L1 ≧ L2.

このような構成によれば、内テーパ部によって対物レンズユニットの中心軸が対物レンズマウントの中心軸と一致するようにガイドすることができる。   With such a configuration, the inner taper portion can guide the central axis of the objective lens unit so as to coincide with the central axis of the objective lens mount.

(8)本発明の対物レンズユニットにおいて、直胴部と胴付き面との境界部に、テーパが形成された外テーパ部をさらに備えるとよい。これにより、外テーパ部が内テーパ部と当接して、対物レンズユニットの中心軸が対物レンズマウントの中心軸と一致するように滑らかにガイドすることが可能となる。 (8) The objective lens unit of the present invention may further include an outer taper portion having a taper formed at a boundary portion between the straight body portion and the body-attached surface. This allows the outer tapered portion to come into contact with the inner tapered portion, thereby smoothly guiding the central axis of the objective lens unit to coincide with the central axis of the objective lens mount.

(9)本発明に係る光学式測定機は、上記(2)から(4)のいずれかに記載の対物レンズマウントと、上記(5)または(6)に記載の対物レンズユニットと、対物レンズユニットが有する対物レンズとともに被測定物を観察するための光学系を構成する本体側光学系とを備え、対物レンズマウントは、当該対物レンズマウントの中心軸が本体側光学系の光軸と一致するように配置されることを特徴とする。 (9) An optical measuring instrument according to the present invention comprises an objective lens mount according to any one of (2) to (4), an objective lens unit according to (5) or (6), and an objective lens. The unit includes an objective lens included in the unit and a main body side optical system that constitutes an optical system for observing an object to be measured, and the center axis of the objective lens mount is the same as the optical axis of the main body side optical system. It is characterized by being arranged as follows.

(10)本発明に係る光学式測定機は、上記(4)に記載の対物レンズマウントと、上記(7)または(8)に記載の対物レンズユニットと、対物レンズユニットが有する対物レンズとともに被測定物を観察するための光学系を構成する本体側光学系とを備え、対物レンズマウントは、当該対物レンズマウントの中心軸が本体側光学系の光軸と一致するように配置されることを特徴とする。 (10) An optical measuring instrument according to the present invention is provided with an objective lens mount according to (4) above, an objective lens unit according to (7) or (8) above, and an objective lens included in the objective lens unit. The objective lens mount is provided so that the central axis of the objective lens mount coincides with the optical axis of the main body side optical system. Characterize.

顕微鏡1の本体10における、対物レンズマウント11の周辺の断面図である。3 is a cross-sectional view of the periphery of an objective lens mount 11 in the main body 10 of the microscope 1. FIG. 対物レンズユニット20の断面図である。3 is a cross-sectional view of the objective lens unit 20. FIG. 雄ネジ部221が直管部115に挿入され触れた状態を示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing the state where male screw part 221 was inserted in straight pipe part 115 and touched. 本体10に対物レンズユニット20を取り付ける様子を示す模式的な断面図である。3 is a schematic cross-sectional view showing how the objective lens unit 20 is attached to the main body 10. FIG. 従来の顕微鏡1への対物レンズユニット20を取り付けるための取付機構の一例を示している。An example of a mounting mechanism for mounting the objective lens unit 20 to the conventional microscope 1 is shown. 従来の取付機構において、対物レンズマウント11と対物レンズユニット20の仮想中心線が合っていないで取り付けようとした状態を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram showing a state in which a conventional mounting mechanism tries to mount an objective lens mount 11 and an objective lens unit 20 when their virtual center lines are not aligned.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the same members are designated by the same reference numerals, and the description of the members once described is omitted as appropriate.

顕微鏡1は、被測定物(図示略)を観察するための対物レンズ21が鏡筒22に収納された対物レンズユニット20と、対物レンズユニット20が取り付けられる本体10とを備える。   The microscope 1 includes an objective lens unit 20 in which an objective lens 21 for observing an object to be measured (not shown) is housed in a lens barrel 22, and a main body 10 to which the objective lens unit 20 is attached.

図1は、光学式測定機の一例である顕微鏡1の本体10における、対物レンズユニット20が取り付けられる対物レンズマウント11の周辺の断面図である。なお、図1では、本体側光学系12の光軸方向を通る平面で顕微鏡1を切断している。
本体10は、対物レンズユニット20が取り付けられる対物レンズマウント11と、本体側光学系12とを備える。本体側光学系12は、図1には詳細を図示しないが、ビームスプリッタ、レンズ、等により構成される。対物レンズマウント11に対物レンズユニット20が正しく取り付けられた状態において、本体側光学系12は、対物レンズ21とともに被測定物を観察するための光学系を構成する。
FIG. 1 is a cross-sectional view of the periphery of an objective lens mount 11 to which an objective lens unit 20 is attached in a main body 10 of a microscope 1 which is an example of an optical measuring instrument. In FIG. 1, the microscope 1 is cut along a plane that passes through the optical axis direction of the main body side optical system 12.
The main body 10 includes an objective lens mount 11 to which the objective lens unit 20 is attached and a main body side optical system 12. Although not shown in detail in FIG. 1, the main body side optical system 12 includes a beam splitter, a lens, and the like. When the objective lens unit 20 is properly attached to the objective lens mount 11, the main body side optical system 12 constitutes an optical system for observing an object to be measured together with the objective lens 21.

対物レンズマウント11は、対物レンズ挿入口111と、フランジ端面113と、ガイド部114とを備える。対物レンズマウント11は、その中心軸が本体側光学系12の光軸と一致するように配置される。
対物レンズ挿入口111は、中心軸を中心とする円形の開口部である。対物レンズ挿入口111の内側面には、対物レンズユニットの雄ネジ部221と螺合する雌ネジ部112が設けられる。フランジ端面113は、対物レンズ挿入口111の周縁部に設けられた円環状の平面であり、この平面は中心軸と直交する。
The objective lens mount 11 includes an objective lens insertion port 111, a flange end surface 113, and a guide portion 114. The objective lens mount 11 is arranged so that its central axis coincides with the optical axis of the main body side optical system 12.
The objective lens insertion port 111 is a circular opening centered on the central axis. On the inner surface of the objective lens insertion port 111, a female screw portion 112 that is screwed into the male screw portion 221 of the objective lens unit is provided. The flange end surface 113 is an annular plane provided on the peripheral portion of the objective lens insertion port 111, and this plane is orthogonal to the central axis.

ガイド部114は、対物レンズマウント11に取り付けられる対物レンズユニット20を対物レンズマウント11の中心軸方向(すなわち、本体側光学系12の光軸方向)に沿ってガイドする。ガイド部114は、中心軸に沿ってフランジ端面113の外縁部から延出する。ガイド部114は、フランジ端面113の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部115と、直管部115におけるフランジ端面113とは反対側の端部に連設され、フランジ端面113から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部116とを備える。直管部115の中心軸は対物レンズマウント11の中心軸である。内テーパ部116のテーパは、例えば45度の勾配角とするとよい。内テーパ部116によって、取り付けられる対物レンズユニット20を、その中心軸が対物レンズマウントの中心軸と一致するようにガイドすることができる。また、直管部115におけるフランジ端面113の近傍には、直管部115の内部と外部とを連通する通気孔117が設けられる。通気孔117を設けない場合、対物レンズユニット20をガイド部114でガイドしつつ中心軸方向に移動させる際に、対物レンズユニット20が取り付けられることにより密閉される空間内の空気が圧縮され、その反発力によって中心軸方向への移動に抵抗が生じる。通気孔117は、対物レンズユニット20が取り付けられることにより密閉される空間と外部とを連通させることにより、対物レンズユニット20の移動によって内圧が高まることを防ぎ、対物レンズユニット20が円滑に移動することを可能とする。   The guide unit 114 guides the objective lens unit 20 attached to the objective lens mount 11 along the central axis direction of the objective lens mount 11 (that is, the optical axis direction of the main body side optical system 12). The guide portion 114 extends from the outer edge portion of the flange end surface 113 along the central axis. The guide portion 114 is provided continuously with a straight pipe portion 115 extending from the outer edge portion of the flange end surface 113 and having a constant inner diameter, and an end portion of the straight pipe portion 115 opposite to the flange end surface 113, and separated from the flange end surface 113. And an inner taper portion 116 having a taper so that the inner diameter becomes larger. The central axis of the straight tube portion 115 is the central axis of the objective lens mount 11. The taper of the inner taper portion 116 is preferably 45 degrees, for example. The inner taper portion 116 can guide the attached objective lens unit 20 such that its central axis coincides with the central axis of the objective lens mount. Further, in the vicinity of the flange end surface 113 of the straight pipe portion 115, a ventilation hole 117 that communicates the inside and outside of the straight pipe portion 115 is provided. If the ventilation hole 117 is not provided, when the objective lens unit 20 is moved in the central axis direction while being guided by the guide portion 114, the air in the space sealed by the attachment of the objective lens unit 20 is compressed, The repulsive force causes resistance to the movement in the central axis direction. The ventilation hole 117 prevents the internal pressure from increasing due to the movement of the objective lens unit 20 by allowing the space sealed by the attachment of the objective lens unit 20 to communicate with the outside, and the objective lens unit 20 moves smoothly. It is possible.

図2は、対物レンズユニット20の断面図である。対物レンズユニット20は、被測定物を観察するための対物レンズ21と、この対物レンズ21を収納する鏡筒22とを備える。対物レンズ21は、本体側光学系12ととともに被測定物を観察するための光学系を構成する。対物レンズ21は1枚の場合もあるし複数枚のレンズによるレンズ群である場合もある。鏡筒22は、略円筒形に形成され、その中心軸と収納する対物レンズ21の光軸とが一致し、かつ、胴付き面222から中心軸方向に所定の距離に位置するように対物レンズ21を保持する。   FIG. 2 is a sectional view of the objective lens unit 20. The objective lens unit 20 includes an objective lens 21 for observing an object to be measured, and a lens barrel 22 that houses the objective lens 21. The objective lens 21 constitutes an optical system for observing the object to be measured together with the main body side optical system 12. The objective lens 21 may be a single lens or may be a lens group including a plurality of lenses. The lens barrel 22 is formed into a substantially cylindrical shape, and the central axis of the lens barrel 22 coincides with the optical axis of the objective lens 21 to be housed, and the objective lens is positioned at a predetermined distance from the barrel-attached surface 222 in the central axis direction. Hold 21.

鏡筒22は、本体10に取り付けられる側の端部に、周方向に沿って雄ネジが形成される雄ネジ部221を有している。この雄ネジ部221は、対物レンズマウント11の雌ネジ部112と螺合する。雄ネジ部221は、鏡筒22の中心軸と直交する胴付き面222から延出する。胴付き面222は鏡筒22の中心軸方向に一定の外径で延伸する直胴部223の一端において端面を成す。胴付き面222は、対物レンズユニット20が対物レンズマウント11に取り付けられたときに、フランジ端面113と当接する円環状の平面である。直胴部223と胴付き面222との境界部には、面取りされてテーパが形成された外テーパ部224が設けられる。外テーパ部224のテーパは、例えば45度の勾配角とするとよい。   The lens barrel 22 has a male threaded portion 221 formed with a male thread along the circumferential direction at the end on the side where it is attached to the main body 10. The male screw portion 221 is screwed with the female screw portion 112 of the objective lens mount 11. The male screw portion 221 extends from the body-attached surface 222 orthogonal to the central axis of the lens barrel 22. The body-attached surface 222 forms an end surface at one end of the straight body portion 223 extending in the central axis direction of the lens barrel 22 with a constant outer diameter. The body-attached surface 222 is an annular flat surface that comes into contact with the flange end surface 113 when the objective lens unit 20 is attached to the objective lens mount 11. An outer taper portion 224, which is chamfered to form a taper, is provided at a boundary portion between the straight body portion 223 and the body-attached surface 222. The taper of the outer taper portion 224 is preferably 45 degrees, for example.

直胴部223は、対物レンズユニット20が本体の対物レンズマウント11に取り付けられるときに、ガイド部114における直管部115によって、対物レンズマウント11の中心軸方向(すなわち、本体側光学系の光軸方向)に沿った移動のみを許容されるようガイドされる部位である。したがって、直胴部223の外径は、直管部115の内径よりも直管部115内を摺動可能な微小なクリアランスが得られる程度(例えば0.1mm)小さく形成される。直胴部223の他端には、直胴部223より大径の拡径部225が設けられる。拡径部225は、対物レンズユニット20を対物レンズマウント11に対する取り付け及び取り外しする際に、把持される部位である。把持しやすいように、拡径部225の外径はガイド部114の外径と同程度以上とするとよい。   When the objective lens unit 20 is attached to the objective lens mount 11 of the main body, the straight barrel portion 223 is moved by the straight tube portion 115 of the guide portion 114 in the central axis direction of the objective lens mount 11 (that is, the light of the main body side optical system). It is a portion that is guided so that only movement along the axial direction is allowed. Therefore, the outer diameter of the straight body portion 223 is formed smaller than the inner diameter of the straight pipe portion 115 to such an extent that a minute clearance capable of sliding in the straight pipe portion 115 is obtained (for example, 0.1 mm). An expanded diameter portion 225 having a diameter larger than that of the straight body portion 223 is provided at the other end of the straight body portion 223. The expanded diameter portion 225 is a portion to be gripped when the objective lens unit 20 is attached to or detached from the objective lens mount 11. The outer diameter of the enlarged diameter portion 225 may be equal to or larger than the outer diameter of the guide portion 114 so as to facilitate gripping.

ガイド部114が、対物レンズユニット20を円滑に対物レンズマウントの中心軸方向に沿ってガイドすることができるよう、ガイド部114と鏡筒22とは、次のような寸法関係を有する。   The guide portion 114 and the lens barrel 22 have the following dimensional relationship so that the guide portion 114 can smoothly guide the objective lens unit 20 along the central axis direction of the objective lens mount.

直管部115の中心軸方向の長さは、雄ネジ部221の中心軸方向の長さ以上とされる。このようにすれば、雄ネジ部221が対物レンズ挿入口111に螺入される直前の位置において、対物レンズユニット20を、その中心軸と対物レンズマウント11の中心軸(すなわち本体側光学系12の光軸)とが一致するようにガイドすることができる。したがって、直管部115によって対物レンズユニット20を中心軸に沿ってガイドし、雌ネジ部112に対し正しい角度で雄ネジ部221をアプローチさせることができる。その結果、雄ネジ部221と雌ネジ部112とを確実に正しく螺合させることができ、ネジの破損を防ぐことができる。実際の設計においては、直管部115の中心軸方向の長さは、ネジが破損しないために許容される対物レンズユニット20の中心軸と対物レンズマウント11の中心軸のずれ量、及び直管部115と直胴部223とのクリアランスに基づいて決定するとよい。   The length of the straight pipe portion 115 in the central axis direction is equal to or longer than the length of the male screw portion 221 in the central axis direction. With this configuration, the objective lens unit 20 is mounted on the central axis of the objective lens unit 20 and the central axis of the objective lens mount 11 (that is, the main body side optical system 12) at a position immediately before the male screw portion 221 is screwed into the objective lens insertion port 111. Can be guided so that they coincide with the optical axis of. Therefore, it is possible to guide the objective lens unit 20 along the central axis by the straight pipe portion 115 and allow the male screw portion 221 to approach the female screw portion 112 at a correct angle. As a result, the male screw portion 221 and the female screw portion 112 can be reliably screwed together properly, and the screw can be prevented from being damaged. In an actual design, the length of the straight tube portion 115 in the direction of the central axis is determined by the amount of deviation between the central axis of the objective lens unit 20 and the central axis of the objective lens mount 11, which is allowed because the screw is not damaged, and the straight tube. It may be determined based on the clearance between the portion 115 and the straight body portion 223.

直胴部223の中心軸方向の長さは、直管部115の中心軸方向の長さ以上とされる。このようにすれば、直胴部223が直管部115内に入ってから胴付き面222がフランジ端面113に当接するまで、直管部115によって確実にガイドすることができる。   The length of the straight body portion 223 in the central axis direction is equal to or longer than the length of the straight tube portion 115 in the central axis direction. With this configuration, the straight body portion 223 can be reliably guided by the straight pipe portion 115 after the straight body portion 223 enters the straight pipe portion 115 until the body-attached surface 222 contacts the flange end surface 113.

図3に示したように、雄ネジ部221が直管部115の内側面に触れた状態で、直胴部223と胴付き面222のエッジに設けられた外テーパ部224が、ガイド部114の内テーパ部116と当接することができる関係とされる。具体的には、内テーパ部116における内径の変化幅(つまり、直管部115の内径と内テーパ部116の最大内径との差)をL1、胴付き面222の幅(つまり、円環状である胴付き面222の内径と外径の差)をL2としたとき、L1≧L2とすることが好ましい。雄ネジ部221の外径は直管部115の内径よりも小さいため、比較的容易に雄ネジ部221を直管部115内に挿入することができる。しかし、直胴部223の外径と直管部115の内径はほぼ等しいため、直胴部223を直管部115内に挿入するのは必ずしも容易ではない。上記の寸法関係とすることで、外テーパ部224が内テーパ部116に沿ってガイドされ、対物レンズユニット20の中心軸が対物レンズマウント11の中心軸と一致するようにガイドされる。これにより、雄ネジ部221が直管部115に挿入された状態から直胴部223を直管部115内に円滑に導くことができる。なお、外テーパ部224を設けずとも、単にL1≧L2とすることもできるが、この場合、直管部115と胴付き面222の境界のエッジが内テーパ部116に当接することとなり、滑らかにガイドしにくい。これに対し、外テーパ部224を設けることで外テーパ部224が内テーパ部116と当接して滑らかにガイドすることが可能となる。   As shown in FIG. 3, with the male screw portion 221 touching the inner side surface of the straight pipe portion 115, the outer body taper portion 223 and the outer taper portion 224 provided at the edge of the body-attached surface 222 are connected to the guide portion 114. The inner taper portion 116 can be brought into contact with the inner taper portion 116. Specifically, the change width of the inner diameter of the inner tapered portion 116 (that is, the difference between the inner diameter of the straight pipe portion 115 and the maximum inner diameter of the inner tapered portion 116) is L1, and the width of the barrel surface 222 (that is, in an annular shape) It is preferable that L1 ≧ L2, where L2 is the difference between the inner diameter and the outer diameter of a body-attached surface 222. Since the outer diameter of the male screw portion 221 is smaller than the inner diameter of the straight pipe portion 115, the male screw portion 221 can be inserted into the straight pipe portion 115 relatively easily. However, since the outer diameter of the straight body portion 223 and the inner diameter of the straight pipe portion 115 are substantially equal to each other, it is not always easy to insert the straight body portion 223 into the straight pipe portion 115. With the above dimensional relationship, the outer tapered portion 224 is guided along the inner tapered portion 116, and the central axis of the objective lens unit 20 is guided so as to match the central axis of the objective lens mount 11. Accordingly, the straight body portion 223 can be smoothly guided into the straight pipe portion 115 from the state where the male screw portion 221 is inserted in the straight pipe portion 115. Note that L1 ≧ L2 may be simply satisfied without providing the outer taper portion 224, but in this case, the edge of the boundary between the straight pipe portion 115 and the body-attached surface 222 comes into contact with the inner taper portion 116, and thus smooth. Difficult to guide. On the other hand, by providing the outer taper portion 224, the outer taper portion 224 can be brought into contact with the inner taper portion 116 and smoothly guided.

また、内テーパ部116の勾配角と外テーパ部224の勾配角は等しく(例えば両方とも45度)するとよい。これにより、内テーパ部116と外テーパ部224とが接したときに、対物レンズユニット20の中心軸が対物レンズマウント11の中心軸と平行になり易く、内テーパ部116に沿って対物レンズユニット20をガイドしたときに、直胴部23を直管部115内に導くことができる。   Further, the inclination angle of the inner taper portion 116 and the inclination angle of the outer taper portion 224 may be equal (for example, both 45 degrees). Accordingly, when the inner taper portion 116 and the outer taper portion 224 come into contact with each other, the central axis of the objective lens unit 20 is likely to be parallel to the central axis of the objective lens mount 11, and the objective lens unit along the inner taper portion 116. When the body 20 is guided, the straight body portion 23 can be guided into the straight pipe portion 115.

図4は、本体10に対物レンズユニット20を取り付ける様子を示す模式的な断面図である。
はじめに、図4(a)に示したように、ガイド部114の端部に鏡筒22の雄ネジ部221が挿入される。このとき、対物レンズユニット20の中心軸が対物レンズマウント11の中心軸からずれていると、外テーパ部224が内テーパ部116に当接する。この状態から対物レンズユニット20を押し込もうとすると、内テーパ部116の勾配により対物レンズユニット20の中心軸が対物レンズマウント11の中心軸と一致するようにガイドされ、直胴部223が直管部115に入るように導かれる。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing how the objective lens unit 20 is attached to the main body 10.
First, as shown in FIG. 4A, the male screw portion 221 of the lens barrel 22 is inserted into the end portion of the guide portion 114. At this time, if the central axis of the objective lens unit 20 is deviated from the central axis of the objective lens mount 11, the outer tapered portion 224 contacts the inner tapered portion 116. When the objective lens unit 20 is pushed in from this state, the central axis of the objective lens unit 20 is guided by the gradient of the inner taper portion 116 so as to coincide with the central axis of the objective lens mount 11, and the straight body portion 223 is directly moved. It is guided to enter the tube portion 115.

図4(b)に示したように、直胴部223が直管部115に嵌ると、直胴部223は直管部115内を本体側光学系12の光軸方向に沿ってガイドされる。この状態で鏡筒22を摺動させ、雄ネジ部221が対物レンズ挿入口111の雌ネジ部112に当たる位置まで移動させる。対物レンズユニット20が取り付けられることにより密閉される空間は対物レンズユニット20の移動によって圧縮されるが、通気孔117によって内外の空間が連通しているため、内圧が高まることはなく、直胴部223はガイド部114内を円滑に摺動することができる。   As shown in FIG. 4B, when the straight barrel portion 223 is fitted into the straight pipe portion 115, the straight barrel portion 223 is guided in the straight pipe portion 115 along the optical axis direction of the main body side optical system 12. .. In this state, the lens barrel 22 is slid to move the male screw portion 221 to a position where it hits the female screw portion 112 of the objective lens insertion port 111. The space sealed by the attachment of the objective lens unit 20 is compressed by the movement of the objective lens unit 20, but since the inner and outer spaces are communicated by the ventilation hole 117, the internal pressure does not increase and the straight body portion 223 can slide smoothly in the guide portion 114.

続いて、図4(c)に示したように、対物レンズユニット20を回転させて雄ネジ部221と雌ネジ部112と螺合させ、胴付き面222とフランジ端面113とが当接するまでねじ込む。これにより、本体10への対物レンズユニット20の取り付けが完了する。対物レンズユニット20の取り付けが完了した状態では、通気孔117は直胴部223によって塞がれるので、対物レンズユニット20が取り付けられることにより密閉される空間に埃やオイルミスト等が混入するのを防ぐことができる。   Subsequently, as shown in FIG. 4C, the objective lens unit 20 is rotated to be screwed into the male screw portion 221 and the female screw portion 112, and screwed until the barrel surface 222 and the flange end surface 113 come into contact with each other. . This completes the attachment of the objective lens unit 20 to the main body 10. When the objective lens unit 20 is completely attached, the ventilation hole 117 is blocked by the straight body portion 223, so that dust, oil mist, or the like is not mixed into the space sealed by the attachment of the objective lens unit 20. Can be prevented.

なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、光学式測定機として顕微鏡を用いているが、画像測定装置等、対物レンズを着脱する光学式測定機であればその種類は問わず適用可能である。   Although the present embodiment has been described above, the present invention is not limited to these examples. For example, although a microscope is used as an optical measuring machine, any type of optical measuring machine, such as an image measuring device, in which an objective lens is attached and detached can be applied.

また、上記実施形態では通気孔117を直管部115におけるフランジ端面113の近傍に設けたが、対物レンズユニット20が取り付けられることにより密閉される空間の内外が連通すれば、他の場所に通気手段を設けてもよい。例えば、直管部115や直胴部223に中心軸方向に沿って通気用の溝を設けてもよいし、対物レンズユニット20が取り付けられた状態で塞がれない位置に通気孔を設けてもよい。   Further, although the ventilation hole 117 is provided in the vicinity of the flange end surface 113 of the straight pipe portion 115 in the above-described embodiment, if the inside and outside of the space sealed by the attachment of the objective lens unit 20 communicate with each other, the ventilation hole 117 is ventilated to another place. Means may be provided. For example, a groove for ventilation may be provided in the straight tube portion 115 or the straight body portion 223 along the central axis direction, or a ventilation hole may be provided at a position where the objective lens unit 20 is not blocked when attached. Good.

また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。   Further, those skilled in the art appropriately added, deleted, and changed the design of each of the above-described embodiments, and those obtained by appropriately combining the features of the respective embodiments have the gist of the present invention. As long as it is present, it is included in the scope of the present invention.

以上のように、本発明は、対物レンズユニットを着脱可能な光学式測定機に好適に利用できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention can be suitably used in an optical measuring machine in which an objective lens unit can be attached and detached.

1…顕微鏡
10…本体
11…対物レンズマウント
111…対物レンズ挿入口
112…雌ネジ部
113…フランジ端面
114…ガイド部
115…直管部
116…内テーパ部
117…通気孔
12…本体側光学系
20…対物レンズユニット
21…対物レンズ
22…鏡筒
221…雄ネジ部
222…胴付き面
223…直胴部
224…外テーパ部
225…拡径部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Microscope 10 ... Main body 11 ... Objective lens mount 111 ... Objective lens insertion port 112 ... Female thread part 113 ... Flange end surface 114 ... Guide part 115 ... Straight pipe part 116 ... Inner taper part 117 ... Vent hole 12 ... Main body side optical system 20 ... Objective lens unit 21 ... Objective lens 22 ... Lens barrel 221 ... Male screw part 222 ... Body part 223 ... Straight body part 224 ... Outer taper part 225 ... Expanded part

Claims (6)

対物レンズマウントに着脱可能に取り付けられて被測定物を観察するための対物レンズを備える対物レンズユニットであって、
前記対物レンズマウントは、
中心軸方向に沿って延出し、前記対物レンズマウントに取り付けられる前記対物レンズユニットを前記中心軸方向に沿ってガイドするガイド部と、
前記中心軸を中心とする円形の開口部である対物レンズ挿入口と、
前記対物レンズ挿入口の内側面に前記対物レンズユニットと螺合する雌ネジが設けられた雌ネジ部と、
前記対物レンズ挿入口の周縁部に設けられた円環状の平面であり、前記中心軸と直交するフランジ端面と、
を備え
前記ガイド部は、前記フランジ端面の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部を備えるとともに、前記直管部における前記フランジ端面とは反対側の端部に連設され、前記フランジ端面から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部をさらに備えるものであり、
前記対物レンズユニットは、
対物レンズと、
前記対物レンズを収納する鏡筒と
を備え、
前記鏡筒は、
前記鏡筒の中心軸方向に一定の外径で延伸し、当該対物レンズユニットが前記対物レンズマウントに取り付けられるときに、前記対物レンズマウントの前記ガイド部における直管部によって、対物レンズマウントの中心軸方向に沿った移動のみを許容されるようガイドされる直胴部と、
前記鏡筒の中心軸と直交し、前記直胴部の一端において端面を成す胴付き面と、
前記胴付き面から円筒状に延出し、外側面に周方向に沿って前記対物レンズマウントの雌ネジ部と螺合する雄ネジが形成された雄ネジ部と、
を備え、
前記対物レンズマウントが備える前記内テーパ部における内径の変化幅をL1、前記胴付き面の幅をL2としたとき、L1≧L2であることを特徴とする、対物レンズユニット。
An objective lens unit comprising an objective lens detachably attached to an objective lens mount for observing an object to be measured ,
The objective lens mount is
A guide portion that extends along the central axis direction and guides the objective lens unit attached to the objective lens mount along the central axis direction ;
An objective lens insertion opening which is a circular opening centered on the central axis,
A female screw portion provided with a female screw for screwing with the objective lens unit on the inner surface of the objective lens insertion opening;
A ring-shaped flat surface provided in the peripheral portion of the objective lens insertion opening, a flange end surface orthogonal to the central axis,
Equipped with
The guide portion includes a straight pipe portion that extends from the outer edge portion of the flange end surface and has a constant inner diameter, and is continuously provided at an end portion of the straight pipe portion opposite to the flange end surface, and from the flange end surface. It further comprises an inner taper portion in which a taper is formed so that the inner diameter increases as the distance from the
The objective lens unit,
An objective lens,
A lens barrel for housing the objective lens;
Equipped with
The lens barrel is
When the objective lens unit is attached to the objective lens mount, the straight tube portion in the guide portion of the objective lens mount allows the center of the objective lens mount to be extended by a constant outer diameter in the central axis direction of the lens barrel. A straight body part that is guided so that it can be moved only along the axial direction,
A body-attached surface that is orthogonal to the center axis of the lens barrel and forms an end surface at one end of the straight body portion;
A male screw portion extending in a cylindrical shape from the body-attached surface and having an external thread formed on the outer surface along the circumferential direction to be screwed with the female screw portion of the objective lens mount.
Equipped with
The objective lens unit is characterized in that L1 ≧ L2, where L1 is a change width of an inner diameter of the inner taper portion of the objective lens mount and L2 is a width of the body attachment surface.
前記直管部のフランジ端面の近傍に、直管部の内部と外部とを連通する通気孔が設けられたことを特徴とする、請求項に記載の対物レンズユニット。 The objective lens unit according to claim 1 , wherein a vent hole is provided in the vicinity of the flange end surface of the straight pipe portion so as to communicate the inside and the outside of the straight pipe portion . 前記直管部の中心軸方向の長さは、前記雄ネジ部の中心軸方向の長さ以上であることを特徴とする、請求項1または2に記載の対物レンズユニット。 The length of the central axis of the straight pipe portion, the features a central axis direction of the Der Rukoto over the length of the male screw portion, an objective lens unit according to claim 1 or 2. 前記直胴部の中心軸方向の長さは、前記直管部の中心軸方向の長さ以上であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の対物レンズユニット。 The objective lens unit according to any one of claims 1 to 3 , wherein the length of the straight barrel portion in the central axis direction is equal to or longer than the length of the straight tube portion in the central axis direction. 前記直胴部と前記胴付き面との境界部に、テーパが形成された外テーパ部をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の対物レンズユニット。 The objective lens unit according to any one of claims 1 to 4, further comprising an outer taper portion having a taper formed at a boundary portion between the straight body portion and the body-attached surface. 被測定物を観察するための対物レンズを備える対物レンズユニットが取り付けられる対物レンズマウントと、
請求項1から5のいずれか1項に記載の対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットが有する対物レンズとともに被測定物を観察するための光学系を構成する本体側光学系と
を備える光学式測定機であって
前記対物レンズマウントは、
中心軸方向に沿って延出し、前記対物レンズマウントに取り付けられる前記対物レンズユニットを前記中心軸方向に沿ってガイドするガイド部と、
前記中心軸を中心とする円形の開口部である対物レンズ挿入口と、
前記対物レンズ挿入口の内側面に前記対物レンズユニットと螺合する雌ネジが設けられた雌ネジ部と、
前記対物レンズ挿入口の周縁部に設けられた円環状の平面であり、前記中心軸と直交するフランジ端面と、
を備え、
前記ガイド部は、前記フランジ端面の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部を備えるとともに、前記直管部における前記フランジ端面とは反対側の端部に連設され、前記フランジ端面から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部をさらに備え、
当該対物レンズマウントの中心軸が前記本体側光学系の光軸と一致するように配置されることを特徴とする、光学式測定機。
An objective lens mount to which an objective lens unit having an objective lens for observing an object to be measured is attached,
An objective lens unit according to any one of claims 1 to 5 ,
Wherein an optical measuring instrument Ru and a body-side optical system constituting the optical system for observing the object to be measured together with the objective lens having an objective lens unit,
The objective lens mount is
A guide portion that extends along the central axis direction and guides the objective lens unit attached to the objective lens mount along the central axis direction;
An objective lens insertion opening which is a circular opening centered on the central axis,
A female screw portion provided with a female screw for screwing with the objective lens unit on the inner surface of the objective lens insertion opening;
A ring-shaped flat surface provided in the peripheral portion of the objective lens insertion opening, a flange end surface orthogonal to the central axis,
Equipped with
The guide portion includes a straight pipe portion that extends from the outer edge portion of the flange end surface and has a constant inner diameter, and is continuously provided at an end portion of the straight pipe portion opposite to the flange end surface, and from the flange end surface. It further comprises an inner taper portion in which a taper is formed so that the inner diameter increases as the distance increases,
An optical measuring instrument, wherein the center axis of the objective lens mount is arranged so as to coincide with the optical axis of the main body side optical system.
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