JP6699263B2 - Inspection equipment - Google Patents
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Description
この発明は、検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection device.
従来、塗装板、アルミニュウム板、漆器などの品質評価項目として、これらの物体の表面の質感を評価することが行われている。 Conventionally, the texture of the surface of these objects has been evaluated as a quality evaluation item such as a painted plate, an aluminum plate, and a lacquer ware.
これらの評価を行う装置として、被検査物の質感を検査する検査装置が知られている（特許文献１参照）。
かかる検査装置は、照明ランプと、第１拡散層と、第２拡散層と、第２拡散層に貼られたチャートスチールとを備えている。照明ランプから発光された照明光は第１,第２拡散層で拡散されてチャートスチールに達し、このチャートスチールを透過した光は資料面に投影する。すなわち、資料面にチャートスチール像が投影されることになる。
As an apparatus that performs these evaluations, an inspection apparatus that inspects the texture of an inspection object is known (see Patent Document 1).
The inspection apparatus includes an illumination lamp, a first diffusion layer, a second diffusion layer, and chart steel attached to the second diffusion layer. Illumination light emitted from the illumination lamp is diffused by the first and second diffusion layers to reach the chart steel, and the light transmitted through the chart steel is projected on the document surface. That is, the chart steal image is projected on the material surface.
検者は、資料面に投影されたチャートスチール像の状態から資料の質感を判断する。 The examiner judges the texture of the material from the state of the chart still image projected on the material surface.
このような検査装置にあっては、第１,第２拡散層を用いるため、光源から発光した照明光は２回拡散されるとともに２回広がって資料面に達するので、光利用効率が非常に悪いという問題がある。 In such an inspection device, since the first and second diffusion layers are used, the illumination light emitted from the light source is diffused twice and spread twice to reach the document surface, so that the light utilization efficiency is very high. There is a problem of being bad.
この発明の目的は、照明光の光利用効率のよい検査装置を提供することにある。 It is an object of the present invention to provide an inspection device with high light utilization efficiency of illumination light.
この発明は、検査チャートが描かれた検査チャート板に照明光を照射する検査チャート光学系と、前記検査チャート光学系で生成された検査チャート像を、前記検査チャート光学系と、被検査物との間に中間像として結像し、前記被検査物の表面に投影する投射光学系と、前記被検査物の表面で反射した前記検査チャート像の虚像を撮像する撮像光学系と、を備え、前記撮像光学系で撮像した前記検査チャート像の虚像に基づいて、前記被検査物の質感を検査することを特徴とする。 The present invention provides an inspection chart optical system for irradiating an inspection chart plate on which an inspection chart is drawn with illumination light, an inspection chart image generated by the inspection chart optical system, the inspection chart optical system, and an inspection object. A projection optical system that forms an intermediate image between the two and projects onto the surface of the inspection object, and an imaging optical system that captures a virtual image of the inspection chart image reflected on the surface of the inspection object, The texture of the object to be inspected is inspected based on a virtual image of the inspection chart image captured by the imaging optical system .
この発明によれば、照明光の光利用効率のよい検査装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an inspection device having a high light utilization efficiency of illumination light.
以下、この発明に係る検査装置の実施の形態である実施例を図面に基づいて説明する。 An embodiment, which is an embodiment of an inspection apparatus according to the present invention, will be described below with reference to the drawings.
［第１実施例］ [First embodiment]
図１に示す被検査物１０３の質感を検査する検査装置１００は、照明光源１０１の照明光により検査チャート像を生成する検査チャート光学系１１０と、撮像光学系１２０とを備えている。 The inspection apparatus 100 for inspecting the texture of the inspection object 103 shown in FIG. 1 includes an inspection chart optical system 110 that generates an inspection chart image by the illumination light of the illumination light source 101, and an imaging optical system 120.
検査チャート光学系１１０は、面光源である照明光源１０１と、検査チャートを形成した検査チャート板１０２Ａと一体化された拡散板１０２とを有している。照明光源１０１から発光された照明光は拡散板１０２を透過して被検査物１０３に達し、被検査物１０３に検査チャート像が投影されることになる。この検査チャート像の投影光は被検査物１０３で反射される。 The inspection chart optical system 110 includes an illumination light source 101 that is a surface light source, and a diffusion plate 102 that is integrated with an inspection chart plate 102A that forms an inspection chart. The illumination light emitted from the illumination light source 101 passes through the diffusion plate 102 and reaches the inspection object 103, and an inspection chart image is projected on the inspection object 103. The projection light of this inspection chart image is reflected by the inspection object 103.
撮像光学系１２０は、撮像レンズ１０４と撮像素子１０６とを有している。撮像レンズ１０４は、検査チャート像を撮像素子１０６上に結像させる。撮像光学系１２０は、虚像である検査チャート像１０５を撮像するものであり、検査チャート像１０５と検査チャート板１０２Ａとは共役関係にある。 The image pickup optical system 120 has an image pickup lens 104 and an image pickup element 106. The imaging lens 104 forms an inspection chart image on the imaging element 106. The imaging optical system 120 captures the inspection chart image 105 that is a virtual image, and the inspection chart image 105 and the inspection chart plate 102A have a conjugate relationship.
１３０は画像処理回路であり、この画像処理回路１３０は撮像素子１０６に結像された検査チャート像に基づいて被検査物１０３の質感を求める。１３１は画像処理回路１３０が求めた質感を表示する表示部である。
［作 用］
Reference numeral 130 denotes an image processing circuit, and the image processing circuit 130 obtains the texture of the inspection object 103 based on the inspection chart image formed on the image sensor 106. A display unit 131 displays the texture obtained by the image processing circuit 130.
[Work]
次に、上記のように構成される検査装置１００の作用について説明する。 Next, the operation of the inspection device 100 configured as described above will be described.
先ず、照明光源１０１を発光させる。この照明光源１０１の発光により、照明光源１０１から射出された照明光が拡散板１０２に達し、この拡散板１０２及び検査チャート板１０２Ａを透過して被検査物１０３に達する。そして、検査チャート板１０２Ａの透過の際に検査チャート像が生成され、この検査チャート像が被検査物１０３に投影される。検査チャート像は被検査物１０３で反射されて撮像光学系１２０へ入射する。 First, the illumination light source 101 is made to emit light. Due to the light emission of the illumination light source 101, the illumination light emitted from the illumination light source 101 reaches the diffusion plate 102, passes through the diffusion plate 102 and the inspection chart plate 102A, and reaches the inspection object 103. Then, an inspection chart image is generated when the inspection chart plate 102A is transmitted, and this inspection chart image is projected on the inspection object 103. The inspection chart image is reflected by the inspection object 103 and enters the imaging optical system 120.
撮像光学系１２０は、被検査物１０３で反射された検査チャート像を入射することにより、虚像である検査チャート像１０５を撮像する。すなわち、検査チャート像１０５が撮像素子１０６上に結像される。画像処理回路１３０は、検査チャート像１０５に基づいて被検査物１０３の質感を求める。 The imaging optical system 120 captures the inspection chart image 105, which is a virtual image, by entering the inspection chart image reflected by the inspection object 103. That is, the inspection chart image 105 is formed on the image sensor 106. The image processing circuit 130 determines the texture of the inspection object 103 based on the inspection chart image 105.
ここで、例えば検査チャートは、図２の（Ａ）に示すように明部８０１Ａと暗部８０１Ｂとの境界８０１ｅが明瞭なチャートを用いる。 Here, for example, as the inspection chart, as shown in FIG. 2A, a chart in which a boundary 801e between the bright portion 801A and the dark portion 801B is clear is used.
被検査物１０３の表面が鏡面となっている場合、撮像素子１０６上に結像される検査チャート像は図２の（Ａ）と同じとなる。しかし、その被検査物１０３の表面に微小な凹凸がある場合、その凹凸の面の傾斜により反射光が向かう方向がずれ、撮像光学系１２０へ入射しなかったり、撮像素子１０６上でその凹凸がなければ集光される領域からずれたところに集光したりする。この結果、撮像素子１０６で撮像された検査チャート像は、その凹凸の部分が平坦な表面であれば明部になる領域が、微小な凹凸があることで暗部になったり、逆に暗部になる領域が明部になったりする。 When the surface of the inspection object 103 is a mirror surface, the inspection chart image formed on the image pickup element 106 is the same as that in FIG. However, when the surface of the object 103 to be inspected has minute irregularities, the direction of reflected light deviates due to the inclination of the surface of the irregularities, and the incident light does not enter the imaging optical system 120, or the irregularities are formed on the image sensor 106. If it is not, the light will be collected at a position deviating from the area where light is collected. As a result, in the inspection chart image picked up by the image sensor 106, if the uneven portion has a flat surface, the area that becomes the bright portion becomes the dark portion due to the minute unevenness, or conversely becomes the dark portion. The area becomes a bright part.
このため、図２の（Ｂ）に示すように、明部８０１Ａと暗部８０１Ｂとの境界線８０２は波打ったように歪んでしまう。この歪み方と人間が感知する「つや感」や「光沢感」の間には相関があり、この歪み方を検出・数値化することで、「つや感」、「光沢感」に関する質感評価が可能となる。 Therefore, as shown in FIG. 2B, the boundary line 802 between the bright portion 801A and the dark portion 801B is distorted like a wave. There is a correlation between this way of distortion and the "glossiness" and "glossiness" perceived by humans, and by detecting and quantifying this way of distortion, it is possible to evaluate the texture of "glossiness" and "glossiness". It will be possible.
例えば、図２の（Ｂ）に示す境界線８０２部分を２値化して、その境界線８０２の形状すなわちエッジの形状を求め、この２値化したエッジの変動位置に対して最小二乗法により近似直線を求める。この近似直線に対するエッジの変動量を各位置（縦方向の位置）ごとに求め、各位置ごとの変動量から標準偏差を求め、この標準偏差から「つや感」、「光沢感」を評価するものである。 For example, the boundary line 802 portion shown in FIG. 2B is binarized to obtain the shape of the boundary line 802, that is, the edge shape, and the binarized edge fluctuation position is approximated by the least squares method. Find a straight line. The amount of edge variation with respect to this approximate straight line is obtained for each position (vertical position), the standard deviation is obtained from the amount of variation for each position, and the "luster" and "glossiness" are evaluated from this standard deviation. Is.
また、この第１実施例によれば、拡散板１０２は１つだけ用いている。また、撮像レンズ１０４は、被検査物１０３で反射した検査チャート像の投影光を集光して撮像素子１０６上に検査チャート像を結像させるものであるから、照明光源１０１の光利用効率はよいものとなる。そして、光利用効率がよいことにより、明るい照明光源１０１を使用しなくても、分光カメラのような検出感度の低いカメラを撮像光学系１２０として使用することができる。ちなみに、光利用効率が悪い場合、分光カメラのような検出感度の低いカメラを撮像光学系１２０として使用するには、より明るい照明光源１０１を用いなければならず、このためコストアップにつながる。
［第２実施例］
Further, according to the first embodiment, only one diffusion plate 102 is used. Further, since the imaging lens 104 collects the projection light of the inspection chart image reflected by the inspection object 103 and forms the inspection chart image on the image sensor 106, the light utilization efficiency of the illumination light source 101 is reduced. It will be good. Since the light utilization efficiency is high, a camera with low detection sensitivity such as a spectroscopic camera can be used as the imaging optical system 120 without using the bright illumination light source 101. By the way, when the light utilization efficiency is low, a brighter illumination light source 101 must be used in order to use a camera with low detection sensitivity such as a spectroscopic camera as the imaging optical system 120, which leads to an increase in cost.
[Second Embodiment]
図３は、第２実施例の検査装置２００の光学系の構成を示す。この検査装置２００は、検査チャート光学系２１０と、投射光学系２０３と、撮像光学系２２０とを備えている。 FIG. 3 shows the configuration of the optical system of the inspection device 200 of the second embodiment. The inspection apparatus 200 includes an inspection chart optical system 210, a projection optical system 203, and an imaging optical system 220.
検査チャート光学系２１０は、照明光源２０１と、検査チャート板２０２Ａと一体化された拡散板２０２とを有しており、その構成は第１実施例と同じであるので、その説明は省略する。 The inspection chart optical system 210 has an illumination light source 201 and a diffusion plate 202 integrated with the inspection chart plate 202A, and the configuration thereof is the same as that of the first embodiment, and therefore its explanation is omitted.
投射光学系２０３は、拡大光学系となっており、検査チャート光学系２１０で生成された検査チャート像を中間像形成位置２０４の空間上に中間像として結像させる。 The projection optical system 203 is a magnifying optical system, and forms the inspection chart image generated by the inspection chart optical system 210 as an intermediate image on the space of the intermediate image forming position 204.
撮像光学系２２０は、撮像レンズ２０６と撮像素子２０８とを有し、第１実施例と同様な構成となっている。また、撮像光学系２２０は、中間像形成位置２０４に結像される中間像に焦点が合わせられている。このため、中間像形成位置２０４に拡散板等の物体を用いておらず、その反射率/透過率による減衰の影響を受けない。さらに、投射光学系２０３を設けていることにより、第１実施例よりも高い光利用効率が得られる。 The image pickup optical system 220 has an image pickup lens 206 and an image pickup element 208, and has the same configuration as that of the first example. Further, the imaging optical system 220 is focused on the intermediate image formed at the intermediate image forming position 204. Therefore, an object such as a diffuser plate is not used at the intermediate image forming position 204, and it is not affected by attenuation due to its reflectance/transmittance. Further, by providing the projection optical system 203, higher light utilization efficiency than that of the first embodiment can be obtained.
なお、この第２実施例よれば、投射光学系２０３によって検査チャート像が拡大されるので、撮像レンズ２０６は口径の大きいものを使用する必要がある。なお、２０７は虚像の検査チャート像である。
［第３実施例］
According to the second embodiment, the inspection chart image is enlarged by the projection optical system 203, so that it is necessary to use the imaging lens 206 having a large aperture. 207 is an inspection chart image of a virtual image.
[Third Embodiment]
図４は、第３実施例の検査装置３００の光学系の構成を示す。この検査装置３００は、検査チャート光学系３１０と、投射光学系３０３と、撮像光学系３２０とを備えている。 FIG. 4 shows the configuration of the optical system of the inspection device 300 of the third embodiment. The inspection apparatus 300 includes an inspection chart optical system 310, a projection optical system 303, and an imaging optical system 320.
検査チャート光学系３１０は、照明光源３０１と、検査チャート板３０２Ａに一体化された拡散板３０２とを有しており、その構成は第１実施例と同じであり、その説明は省略する。 The inspection chart optical system 310 includes an illumination light source 301 and a diffusion plate 302 integrated with the inspection chart plate 302A, and the configuration thereof is the same as that of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
撮像光学系３２０は、撮像レンズ３０６と撮像素子３０８とを有し、第１実施例と同様な構成となっている。 The image pickup optical system 320 has an image pickup lens 306 and an image pickup element 308, and has the same configuration as that of the first example.
投射光学系３０３は縮小光学系として用いており、このため撮像レンズ３０６の口径を小さくすることができる。他の構成は第２実施例と同様なのでその説明は省略する。この第３実施例は第２実施例と同様な効果を得ることができる。なお、３０７は虚像の検査チャート像である。
［第４実施例］
The projection optical system 303 is used as a reduction optical system, and therefore the aperture of the imaging lens 306 can be reduced. The rest of the configuration is similar to that of the second embodiment, so its explanation is omitted. The third embodiment can obtain the same effect as the second embodiment. 307 is a virtual image inspection chart image.
[Fourth Embodiment]
図５は、第４実施例の検査装置４００の光学系の構成を示す。この検査装置４００は、検査チャート光学系４１０と、投射光学系４０３と、中間像形成位置（結像位置）に配置された拡散板４０４と、撮像光学系４２０とを備えている。４０７は、虚像の検査チャート像である。 FIG. 5 shows the configuration of the optical system of the inspection device 400 of the fourth embodiment. The inspection apparatus 400 includes an inspection chart optical system 410, a projection optical system 403, a diffusion plate 404 arranged at an intermediate image forming position (image forming position), and an imaging optical system 420. Reference numeral 407 is a virtual image inspection chart image.
検査チャート光学系４１０は、照明光源４０１と、検査チャート板４０２Ａに一体化された拡散板４０２とを有しており、その構成は第１実施例と同じであり、その説明は省略する。 The inspection chart optical system 410 has an illumination light source 401 and a diffusion plate 402 integrated with the inspection chart plate 402A, and the configuration thereof is the same as that of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
撮像光学系４２０は、撮像レンズ４０６と撮像素子４０８とを有し、第１実施例と同様な構成となっている。 The image pickup optical system 420 has an image pickup lens 406 and an image pickup element 408, and has the same configuration as that of the first example.
この第４実施例では、中間像形成位置に拡散板４０４を配置したことにより、撮像光学系４２０の口径（撮像レンズ４０６の径）を小さくすることができる。 In the fourth example, by disposing the diffusion plate 404 at the intermediate image forming position, the aperture of the imaging optical system 420 (the diameter of the imaging lens 406) can be reduced.
これは、図６に示すように、拡散板４０４に入射する上下光線４００ａ,４００ｂの広がりを持つ入射光束は、拡散板４０４によって鎖線の矢印４００ｃ,４００ｄで示す上下光線範囲まで拡大されて拡散板４０４から出射される光束となる。拡散板４０４がない場合、入射光束は、上下光線４００ａ,４００ｂの入射角とそのままの方向に進み、破線で示す上下光線４００ｅ,４００ｆの広がりを持つ光束となる。 This is because, as shown in FIG. 6, the incident light flux having the spread of the upper and lower light beams 400a and 400b incident on the diffuser plate 404 is expanded by the diffuser plate 404 to the upper and lower light beam range indicated by chained arrows 400c and 400d. It becomes a light flux emitted from 404. Without the diffuser plate 404, the incident light flux travels in the same direction as the incident angles of the upper and lower light beams 400a and 400b, and becomes a light flux having the spread of the upper and lower light beams 400e and 400f shown by the broken line.
撮像光学系４２０に入射する光束は、図５及び図６の上下光線Ｐ１,Ｐ２で示す方向に進む光束であり、上下光線４００ｅ,４００ｆの広がりを持つ光束は撮像光学系４２０に入射しない。このため、拡散板４０４を配置しない場合、この矢印４００ｅ,４００ｆの光線を撮像光学系４２０に入射させるためには、撮像光学系４２０の口径を大きくする必要がある。 The light flux that enters the imaging optical system 420 is a light flux that travels in the directions indicated by the upper and lower light rays P1 and P2 in FIGS. 5 and 6, and the light flux having the spread of the upper and lower light rays 400e and 400f does not enter the imaging optical system 420. For this reason, in the case where the diffusion plate 404 is not arranged, in order to make the light rays of the arrows 400e and 400f enter the imaging optical system 420, it is necessary to increase the aperture of the imaging optical system 420.
この第４実施例の検査装置４００では、２つの拡散板４０２,４０４を用いているが、投射光学系４０３と撮像光学系４２０とを備えているので、照明光源４０１の照明光の高い光利用効率が得られる。
［第５実施例］
The inspection apparatus 400 of the fourth embodiment uses the two diffusion plates 402 and 404, but since the projection optical system 403 and the imaging optical system 420 are provided, the illumination light source 401 uses high illumination light. Efficiency is obtained.
[Fifth Embodiment]
図７は、第５実施例の検査装置６００の光学系の構成を示す。この検査装置６００は、検査チャート光学系６１０と、投射光学系６０３と、撮像光学系６２０とを備えている。６０４は投射光学系６０３によって形成される中間像の形成位置を示す。６０７は虚像の検査チャート像である。 FIG. 7 shows the configuration of the optical system of the inspection device 600 of the fifth embodiment. The inspection device 600 includes an inspection chart optical system 610, a projection optical system 603, and an imaging optical system 620. Reference numeral 604 indicates the formation position of the intermediate image formed by the projection optical system 603. Reference numeral 607 is a virtual image inspection chart image.
検査チャート光学系６１０は、照明光源６０１と、検査チャート板６０２Ａに一体化された拡散板６０２とを有しており、その構成は第１実施例と同じであり、その説明は省略する。 The inspection chart optical system 610 has an illumination light source 601 and a diffusion plate 602 integrated with the inspection chart plate 602A. The configuration thereof is the same as that of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
撮像光学系６２０は、撮像レンズ６０６と撮像素子６０８とを有し、第１実施例と同様な構成となっている。 The image pickup optical system 620 has an image pickup lens 606 and an image pickup element 608, and has the same configuration as that of the first example.
投射光学系（略テレセントリック光学系）６０３は、像面側にテレセントリック性の強い光学系を用いたものであり、これにより、撮像光学系６２０の口径を小さくすることが可能となる。他は、第３実施例と同様な効果を得ることができる。
［光 源］
The projection optical system (substantially telecentric optical system) 603 uses an optical system having a strong telecentricity on the image plane side, which makes it possible to reduce the aperture of the imaging optical system 620. Other than that, the same effect as the third embodiment can be obtained.
[Light source]
図８は、光利用率を高めることのできる光源光学系７００の構成の一例を示す。この光源光学系７００は、第１〜第５実施例の照明光源に適用できるものであり、面発光光源７０１と、テーパ付きロッドレンズ７０２とを有している。このテーパ付きロッドレンズ７０２は、テーパにより入射側の面よりも出射側の面が大きくなっている。 FIG. 8 shows an example of the configuration of a light source optical system 700 capable of increasing the light utilization rate. This light source optical system 700 can be applied to the illumination light sources of the first to fifth examples, and has a surface emitting light source 701 and a tapered rod lens 702. The tapered rod lens 702 has a larger surface on the output side than that on the incident side due to the taper.
面発光光源７０１から発せられた光のうち、テーパ付ロッドレンズ７０２に入射した光は、側面で反射されると、正面方向へ進む光となる。すなわち発光の開口数NAが変わることを意味する。このようなロッドレンズを光源として用いることで、光軸方向への光の指向性を高めて投射光学系へ入射することで、光利用効率の高い質感評価装置が得られる。またロッドレンズ出射面上での光の均一性が向上する、すなわち照度ムラが均一化される。 Of the light emitted from the surface emitting light source 701, the light incident on the tapered rod lens 702 becomes light that advances in the front direction when reflected by the side surface. That is, it means that the numerical aperture NA of light emission changes. By using such a rod lens as a light source, the directivity of light in the optical axis direction is enhanced and is incident on the projection optical system, whereby a texture evaluation device with high light utilization efficiency can be obtained. Further, the uniformity of light on the emission surface of the rod lens is improved, that is, the illuminance unevenness is uniformized.
その他の手段としてフライアイレンズでも同様の効果を得ることが可能である。 As another means, a fly-eye lens can also obtain the same effect.
また投射光学系や撮像光学系によっては、ロッドレンズやフライアイレンズを光源に用いた場合、前者は複数回の内部反射が起因で、後者はアレイ状に設けられたレンズの結像に起因して、同一の物体上の点から射出した光線が、異なる撮像素子上の位置に集光する現象が発生することがある。この場合、多数のアレイ状の画像が得られてしまう。これを避けるためには、ロッドレンズやフライアイレンズから射出された光線を結像可能な投射光学系で集光・結像させ、その結像点に焦点が合うように撮像光学系を調整する。もしくはその拡散板に焦点が合うように撮像光学系を調整するとよい。 Depending on the projection optical system or the imaging optical system, when a rod lens or fly-eye lens is used as a light source, the former is caused by multiple internal reflections, and the latter is caused by the image formation of the lenses arranged in an array. As a result, a light ray emitted from a point on the same object may be condensed at a position on a different image sensor. In this case, many array-shaped images are obtained. In order to avoid this, a light beam emitted from a rod lens or a fly-eye lens is condensed and imaged by a projection optical system capable of forming an image, and the imaging optical system is adjusted so that the image formation point is focused. . Alternatively, the image pickup optical system may be adjusted so that the diffuser plate is in focus.
上記実施例では、いずれも拡散板１０２,２０２,３０２,４０２,６０２は透過型の素子として説明したが、これに限らず反射型の素子でもよい。また、投射光学系２０３,３０３，４０３,６０３や撮像レンズ１０４,２０６,３０６,４０６,６０６は１枚の透過レンズとして説明したが、これは簡略化したものであり、いずれも複数枚の透過型もしくは反射型の光学素子を用いる光学系を用いてもよい。 In the above embodiments, the diffuser plates 102, 202, 302, 402, 602 are all described as transmissive elements, but the present invention is not limited to this and may be reflective elements. Further, the projection optical systems 203, 303, 403, 603 and the imaging lenses 104, 206, 306, 406, 606 have been described as one transmission lens, but this is a simplification, and each of them has a plurality of transmission lenses. An optical system using an optical element of reflective type or reflective type may be used.
なお、第２実施例〜第５実施例では、第１実施例と同様に画像処理回路１３０及び表示部１３１を備えているが、ここでは省略してある。 In addition, in the second to fifth embodiments, the image processing circuit 130 and the display unit 131 are provided as in the first embodiment, but they are omitted here.
この発明は、上記実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲の発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications and additions of the design are allowed without departing from the gist of the invention of the claims.
１００、２００、３００、４００、６００ 検査装置
１０１、２０１、３０１、４０１、６０１ 照明光源
１０２、２０２、３０２、４０２、６０２ 拡散板
１０２Ａ、２０２Ａ、３０２Ａ、４０２Ａ、６０２Ａ 検査チャート板
１０３、２０５、３０５、４０５、６０５ 被検査物
１１０、２１０、３１０、４１０、６１０ 検査チャート光学系
１２０、２２０、３２０、４２０、６２０ 撮像光学系
100, 200, 300, 400, 600 Inspection device 101, 201, 301, 401, 601 Illumination light source 102, 202, 302, 402, 602 Diffusion plate 102A, 202A, 302A, 402A, 602A Inspection chart plate 103, 205, 305 , 405, 605 Inspection object 110, 210, 310, 410, 610 Inspection chart optical system 120, 220, 320, 420, 620 Imaging optical system
Claims (8)
前記検査チャート光学系で生成された検査チャート像を、前記検査チャート光学系と、被検査物との間に中間像として結像し、前記被検査物の表面に投影する投射光学系と、
前記被検査物の表面で反射した前記検査チャート像の虚像を撮像する撮像光学系と、を備え、
前記撮像光学系で撮像した前記検査チャート像の虚像に基づいて、前記被検査物の質感を検査することを特徴とする検査装置。 An inspection chart optical system that irradiates the inspection chart plate on which the inspection chart is drawn with illumination light,
An inspection chart image generated by the inspection chart optical system is formed as an intermediate image between the inspection chart optical system and the inspection object, and a projection optical system that projects on the surface of the inspection object,
An image pickup optical system for picking up a virtual image of the inspection chart image reflected on the surface of the object to be inspected,
An inspection apparatus for inspecting a texture of the inspection object based on a virtual image of the inspection chart image captured by the imaging optical system .
The inspection apparatus according to claim 3, wherein the inspection chart optical system has uniform illuminance unevenness of the illumination light source.
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