JP6700800B2 - ブレードカバー - Google Patents

Description

本発明は、ブレードカバーに関する。

表面にＩＣなどのデバイスが形成された半導体ウエーハや、複数のデバイスチップを樹脂封止したパッケージ基板などの被加工物は、例えば、回転する円環状の切削ブレードを備える切削装置（ダイシング装置）で切削されて、複数のチップへと分割される。この切削装置の切削ブレードを覆うブレードカバーは、被加工物や切削ブレードを冷却及び洗浄するための切削水を供給するノズルを有する。

ところで、パッケージ基板を分割する際は、例えば、分割後のチップに相当する領域のみをチャックテーブルで吸引保持し、不要な端材等を切削と同時に除去することが効率的である。そこで、切削によって発生し飛散した端材等が接触することを防止可能とするため、切削水を供給するノズルを備えたブレードカバーが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１５−１４５０４６号公報

特許文献１に記載の技術は、切削ブレードの外周端面に、切削水噴出口と補助切削水噴出口とから切削水を噴射するので、切削水が大量に必要である。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、少量の切削水で端材等を除去可能なブレードカバーを提供することにある。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレードカバーは、スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、該スピンドルにフランジを介して装着された切削ブレードを覆うブレードカバーであって、該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転によって、該切削ブレードと被加工物との接触部分から該切削水が主に飛散する側とは反対側に配設され、該切削ブレードの両側面と対面して切削水を噴射するノズルブロックを備え、該ノズルブロックは、該切削ブレードを装着する該フランジ及び該切削ブレードの両側面の形状に沿って隙間を持って形成された内壁と、該内壁に形成され該フランジの両側面に向けて切削水を噴射する複数の切削水噴射口と、該切削ブレードの径方向外側に該内壁に連通して該切削ブレードの外周形状に沿って形成された円環状の溝と、該溝と連通して該切削ブレードの回転方向下流側の端部に形成された該切削ブレードの両側面に向けてエアーを噴射する高圧エアー噴射口とを備え、該切削水噴射口から切削水が供給されると、該切削ブレードの回転に伴って該内壁との該隙間及び該溝に切削水が充満し、該スピンドルの回転による遠心力により該溝から高速で切削水が噴射されるとともに該高圧エアー噴射口から噴射された高圧エアーと混合されて２流体が噴射される。

本願発明のブレードカバーによれば、少量の切削水で端材等を除去することができる。

図１は、実施形態に係るブレードカバーを備えた切削装置を示す斜視図である。 図２は、実施形態に係るブレードカバーを示す斜視図である。 図３は、実施形態に係るブレードカバーを示す正面図である。 図４は、実施形態に係るブレードカバーを示す側面図である。 図５は、実施形態に係るブレードカバーを示す斜視図である。 図６は、実施形態に係るブレードカバーの内壁を示す正面図である。 図７は、実施形態に係るブレードカバーの内壁を示す部分拡大正面図である。 図８は、実施形態に係るブレードカバーを示す部分拡大断面図である。 図９は、実施形態に係るブレードカバーの高圧エアー噴射口の他の例を示す部分拡大図である。

以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

図１は、実施形態に係るブレードカバーを備えた切削装置を示す斜視図である。図２は、実施形態に係るブレードカバーを示す斜視図である。図３は、実施形態に係るブレードカバーを示す正面図である。図４は、実施形態に係るブレードカバーを示す側面図である。図５は、実施形態に係るブレードカバーを示す斜視図である。図６は、実施形態に係るブレードカバーの内壁を示す正面図である。図７は、実施形態に係るブレードカバーの内壁を示す部分拡大正面図である。図８は、実施形態に係るブレードカバーを示す部分拡大断面図である。図９は、実施形態に係るブレードカバーの高圧エアー噴射口の他の例を示す部分拡大図である。

被加工物Ｗは、切削装置１により加工される板状の加工対象である。本実施形態では、被加工物Ｗは、矩形状のパッケージ基板とする。被加工物Ｗは、複数の分割予定ラインＬによって区画された複数のデバイスＤを有する。

図１を用いて、本実施形態に係るブレードカバーを備えた切削装置１を説明する。切削装置１は、切削ブレード２２を有する切削手段２０と被加工物Ｗを保持した保持部１０とを相対移動させることで、被加工物Ｗを切削する。切削装置１は、被加工物Ｗを表面１１ａで吸引保持する保持部１０と、切削手段２０と、保持部１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段３０と、切削手段２０をＸ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段４０と、切削手段２０をＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段５０と、入力手段１００と、制御手段９０とを備えている。なお、切削装置１は、装置本体２上に門型の柱部３が設けられている。

保持部１０は、図１に示すように、表面１１ａを有した保持テーブル１１と、回転テーブル１９とを含んで構成されている。保持テーブル１１は、表面１１ａ上に被加工物Ｗを載置し、表面１１ａに設けられた図示しない吸引孔を通して吸引することで、負圧により被加工物Ｗを吸引保持する。吸引孔は、被加工物ＷのデバイスＤと１対１で対応して設けられている。保持テーブル１１の表面１１ａには、各分割予定ラインＬに対応した切削手段２０の切削ブレード２２用の図示しない逃げ溝が形成されている。逃げ溝には、被加工物Ｗを各デバイスＤに分割する際に、切削ブレード２２が挿入する。回転テーブル１９は、表面１１ａと直交するＺ軸方向と平行な図示しない軸線回りに保持テーブル１１を回転可能である。また、保持部１０は、Ｘ軸移動手段３０によりＸ軸方向に移動自在に設けられている。保持部１０の動作は、制御手段９０で制御する。

切削手段２０は、保持部１０に保持された被加工物Ｗを切削ブレード２２で切削する。切削手段２０は、Ｙ軸移動手段４０、Ｚ軸移動手段５０などを介して柱部３に設けられている。切削手段２０は、Ｙ軸移動手段４０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動手段５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削手段２０の動作は、制御手段９０で制御する。

切削手段２０は、中心軸線がＹ軸方向（割り出し方向に相当）と一致するスピンドル２１と、スピンドル２１の先端に装着された切削ブレード２２とを有する。スピンドル２１は、図示しないスピンドルハウジングに回転可能に支持され、スピンドルハウジングに収納されている図示しないブレード駆動源に連結されている。ブレード駆動源は、図示しない電源から供給される電力によりスピンドル２１を中心軸線回りに回転させる。

図２に示す切削ブレード２２は、略リング形状を有する極薄の切削砥石であり、スピンドル２１に着脱自在に装着される。切削ブレード２２は、ブレード駆動源により発生した回転力により回転駆動する。本実施形態では、切削ブレード２２の回転方向は、図２に示す回転方向Ｒである。本実施形態では、切削ブレード２２は、円盤状のフランジ２２１の外周部分に、被加工物Ｗを切削するリング状の切り刃２２２が固定されている。切削ブレード２２は、例えば、電鋳・電着ボンドをボンド剤とし、ダイヤモンド等の砥粒が固定されている。切削ブレード２２は、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを使用してもよい。

図１に戻って、Ｘ軸移動手段３０は、スピンドル２１の中心軸線方向に対して垂直で、かつ、保持部１０の表面１１ａに平行な方向にスピンドル２１に対して保持部１０を相対的に移動させる。

入力手段１００は、制御手段９０に接続され、加工動作の状態を表示する表示手段１０１に配置されている。表示手段１０１は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示パネルなどで構成される。表示手段１０１は、制御手段９０から入力される信号に応じて、文字、図形、画像等の情報を表示する。入力手段１００は、オペレータがキー操作するものであり、表示手段１０１の表示面全面に設けられたタッチパネルなどで構成される。入力手段１００は、受け付けた操作に応じた信号を制御手段９０へ入力する。

制御手段９０は、切削装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御する。制御手段９０は、被加工物Ｗに対する加工動作即ち切削動作を切削装置１に行わせる。なお、制御手段９０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されている。制御手段９０は、表示手段１０１や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力手段１００などと接続されている。

図２ないし図４に示すブレードカバー６０は、切削ブレード２２に切削水Ｆ１を供給する。ブレードカバー６０は、切削手段２０のスピンドル２１を回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、スピンドル２１にフランジ２３を介して装着された切削ブレード２２を覆う。ブレードカバー６０は、切削手段２０のスピンドルハウジングの前端部に固定され、切削ブレード２２の外周を覆う。ブレードカバー６０は、スピンドルハウジングの前端部に固定された支持部６１と、支持部６１に固定されたノズルブロック６２とを有する。

支持部６１は、切削手段２０のスピンドルハウジングの前端部に固定される。支持部６１は、切削手段２０のスピンドルハウジングの前端部に沿った板状のベース部６１１と、切削ブレード２２の外周の一部を覆うカバー部６１２とを有する。ベース部６１１は、貫通孔６１３と、切削手段２０のスピンドルハウジングの前端部に形成され、内周に雌ねじが形成された図示しない貫通孔とを重ね合わせた状態で雄ねじ６１４を挿通し切削手段２０のスピンドルハウジングに固定されている。カバー部６１２は、ベース部６１１からＹ軸方向に突出している。カバー部６１２は、切削ブレード２２の回転による切削水が飛散する方向に配設されている。カバー部６１２は、切削ブレード２２の外周のうち、ノズルブロック６２によって覆われない部分を覆って配置されている。

ノズルブロック６２は、切削手段２０の切削ブレード２２の両側面と対面して切削水Ｆ１を噴射する。ノズルブロック６２は、切削ブレード２２の外周の一部を覆い、切削ブレード２２の切り刃２２２の刃先２２２ａに切削水Ｆ１及び高圧エアーＦ２を噴射する。ノズルブロック６２は、支持部６１を介してスピンドルハウジングに固定されている。ノズルブロック６２は、切削ブレード２２の回転方向Ｒへの回転によって切削水が主に飛散する側とは反対側に配置されている。より詳しくは、ノズルブロック６２は、切削ブレード２２の回転方向Ｒへの回転によって、切削水が被加工物Ｗとの接触部分から主に飛散する側（図３における左側）とは反対側（図３における右側）に配置されている。ノズルブロック６２は、図４に図示するように、切削ブレード２２を装着するフランジ２３及び切削ブレード２２の両側面の形状に沿って隙間を持って形成された内壁６３２を有する本体部６３と、内壁６３２に形成され、切削ブレード２２のフランジ２２１の両側面に向けて切削水Ｆ１を噴射する複数の切削水噴射口６４と、切削ブレード２２の径方向外側に内壁６３２に連通して切削ブレード２２の外周形状に沿って形成された円環状の溝６５と、溝６５と連通して切削ブレード２２の回転方向下流側の端部に形成された切削ブレード２２の両側面に向けて高圧エアーＦ２を噴射する高圧エアー噴射口６６と、切削水噴射口６４から噴射する切削水Ｆ１が供給される切削水供給口６７と、高圧エアー噴射口６６から噴射する高圧エアーＦ２が供給される高圧エアー供給口６８とを有する。

本体部６３は、切削ブレード２２の外周の一部を覆う。本体部６３は、切削ブレード２２を装着するフランジ２３及び切削ブレード２２の両側面を挟んで位置する、一対の壁部６３１を有する。一対の壁部６３１は、切削ブレード２２を装着するフランジ２３及び切削ブレード２２の両側面の形状に沿って隙間を持つように、向かい合って配置されている。一対の壁部６３１は、壁部６３１に形成された貫通孔６３３同士を重ね合わせた状態で雄ねじ６９を挿通し締結することで組み付けられる。内壁６３２は、一対の壁部６３１の内側の壁部である。被加工物Ｗの切削中、一対の壁部６３１と、切削ブレード２２を装着するフランジ２３及び切削ブレード２２の両側面との隙間には、切削水Ｆ１が充満する。より詳しくは、切削ブレード２２の回転方向Ｒへの回転に伴って、内壁６３２と切削ブレード２２を装着するフランジ２３及び切削ブレード２２の両側面との隙間に切削水Ｆ１が充満する。

図５ないし図７に示す切削水噴射口６４は、切削ブレード２２のフランジ２２１に向かって切削水Ｆ１を供給することで、被加工物Ｗに向けて切削水Ｆ１を供給する切削水供給部である。切削水噴射口６４は、内壁６３２に複数形成されている。本実施形態において、内壁６３２には、３つの切削水噴射口６４がスピンドル２１の中心軸線から等距離で、周方向に等間隔で配置されている。切削水噴射口６４は、切削ブレード２２のフランジ２２１に向けて開口している。切削水噴射口６４は、切削ブレード２２のフランジ２２１の上側と向かい合う位置に配置されている。切削水噴射口６４は、切削ブレード２２のフランジ２２１を挟んでＹ軸方向の両側に配設されている。これにより、切削水噴射口６４は、切削ブレード２２の両側方に切削水Ｆ１を供給する。切削水噴射口６４は、円形状に形成されている。本実施形態において、切削水噴射口６４は、例えば直径１．５〜２ｍｍとする。切削水噴射口６４は、壁部６３１内に形成された第一供給路６４１を介して、切削水供給口６７と接続されている。切削水噴射口６４は、切削水供給口６７から供給された切削水Ｆ１を噴射する。

図７、図８に示す溝６５は、切削水噴射口６４から噴射されて切削ブレード２２のフランジ２２１に到達した切削水Ｆ１を、切削ブレード２２の径方向外側において収集する。溝６５は、内壁６３２の切削ブレード２２の径方向外側に形成されている。溝６５は、一対の壁部６３１を向かい合って配置した状態で、切削ブレード２２の径方向外側において、一対の壁部６３１の間に隙間を形成する。溝６５は、切削ブレード２２の外周形状に沿って円弧状に形成されている。より詳しくは、溝６５は、切削ブレード２２の径より大径を有する円弧状に形成されている。溝６５は、切削ブレード２２の径方向外側に、スピンドル２１の中心軸線方向に張り出した張り出し部６５１を有する。言い換えると、溝６５は、切削ブレード２２の径方向外側の端部において、深く形成されている。このような溝６５は、各切削水噴射口６４から噴射されてフランジ２３に接触した切削水Ｆ１が流入可能な大きさ、形状に形成されている。被加工物Ｗの切削中、溝６５には、切削ブレード２２の回転方向Ｒへの回転に伴って、切削水Ｆ１が充満する。溝６５に充満した切削水Ｆ１は、スピンドル２１の回転による遠心力により溝６５から高速で噴射される。

図２、図４に示す高圧エアー噴射口６６は、被加工物Ｗの切削中に高圧エアーＦ２を切削ブレード２２の切り刃２２２の刃先２２２ａ（図２参照）に向けて供給する。高圧エアー噴射口６６は、壁部６３１内に形成された第二供給路６６１を介して、高圧エアー供給口６８と接続されている。また、高圧エアー噴射口６６の上流側に配置された第二供給路６６１は、溝６５の下端と連通している。これらにより、高圧エアー噴射口６６は、溝６５から高速で噴射された切削水Ｆ１と、高圧エアー供給口６８から供給された高圧エアーＦ２とが混合された、２流体を含んだ混合流体Ｆ３を噴射する。高圧エアー噴射口６６は、混合流体Ｆ３を切り刃２２２の刃先２２２ａに向けて切削ブレード２２の両側面と平行に吹き付ける。高圧エアー噴射口６６は、混合流体Ｆ３を切り刃２２２の刃先２２２ａに吹き付けることで、切削屑を刃先２２２ａから除去する。高圧エアー噴射口６６は、切り刃２２２の刃先２２２ａと対面する。高圧エアー噴射口６６は、ノズルブロック６２の下側に配置されている。高圧エアー噴射口６６は、長方形状に形成されている。高圧エアー噴射口６６のＹ軸方向の幅は、切削ブレード２２の厚みよりも大きな幅に形成されている。本実施形態において、高圧エアー噴射口６６は、例えばＹ軸方向の幅１１ｍｍ、Ｚ軸方向の幅１．２ｍｍとする。本実施形態では、高圧エアー噴射口６６のＺ軸方向の幅が高圧エアー噴射口６６のＹ軸方向の幅より小さくなるように扁平状に形成されている。

なお、高圧エアー噴射口６６は、図９に示すように、Ｙ軸方向において切削ブレード２２を挟む一対として形成されていてもよい。これにより、切削ブレード２２の両側面に向けてより効果的にエアーを噴射することができる。

第二供給路６６１は、壁部６３１内に扁平状に形成され、高圧エアー噴射口６６と高圧エアー供給口６８とを連通する。第二供給路６６１は、溝６５の下端と連通している。これにより、第二供給路６６１において、溝６５から流入した切削水Ｆ１と、高圧エアー供給口６８から供給された高圧エアーＦ２とが混合した混合流体Ｆ３となる。溝６５から高速で噴射された切削水Ｆ１と、高圧エアー供給口６８から供給された高圧エアーＦ２とが混合されて、２流体を含んだ混合流体Ｆ３となる。混合流体Ｆ３は、切削水Ｆ１と高圧エアーＦ２とが扁平状の第二供給路６６１において混合することで、切削水Ｆ１や高圧エアーＦ２より高速になる。

切削水供給口６７は、ノズルブロック６２の上側に配置されている。切削水供給口６７は、図示しない切削水源から切削水Ｆ１が供給される。本実施形態では、加圧された例えば２．５Ｌ／ｍｉｎ〜５Ｌ／ｍｉｎ、好ましくは３Ｌ／ｍｉｎの切削水Ｆ１を使用している。

高圧エアー供給口６８は、ノズルブロック６２の下側に配置されている。高圧エアー供給口６８は、図示しないエアー供給源から高圧エアーＦ２が供給される。本実施形態では、加圧された例えば０．２ＭＰａ（ゲージ圧）〜０．６ＭＰａ（ゲージ圧）、好ましくは０．３ＭＰａ（ゲージ圧）の高圧エアーＦ２を使用している。

次に、本実施形態に係る切削装置１の加工動作について説明する。

まず、オペレータが加工内容情報を制御手段９０に登録して、切削手段２０から離間した保持部１０に被加工物Ｗを載置し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置１が加工動作を開始する。加工動作において、制御手段９０は、保持部１０に載置された被加工物Ｗを吸引保持し、被加工物Ｗを吸引保持した保持部１０を切削手段２０の下方に移動させる。

制御手段９０は、アライメントを実行した後、加工内容情報に基づいて、切削ブレード２２を回転させながら保持部１０と切削ブレード２２とを分割予定ラインＬに沿って相対的に移動させて被加工物Ｗを切削する。制御手段９０は、切削中は、切削水源を駆動状態とし、切削水Ｆ１を切削水噴射口６４から切削ブレード２２に供給する。また、制御手段９０は、切削中は、エアー供給源を駆動状態とし、高圧エアーＦ２を高圧エアー噴射口６６から切削ブレード２２に供給する。

このようにして、切削中は、切削水Ｆ１が切削水噴射口６４から切削ブレード２２のフランジ２２１に噴射される。そして、切削水噴射口６４から切削ブレード２２のフランジ２２１に供給された切削水Ｆ１は、切削ブレード２２の回転方向Ｒへの回転に伴って、内壁６３２との隙間及び溝６５に充満する。そして、スピンドル２１の回転による遠心力により溝６５から高速で切削水Ｆ１が噴射される。そして、第二供給路６６１において、溝６５から高速で噴射された切削水Ｆ１と高圧エアー供給口６８から供給された高圧エアーＦ２とが混合されて２流体を含んだ混合流体Ｆ３となって、混合流体Ｆ３が高圧エアー噴射口６６から噴射される。そして、混合流体Ｆ３は、高圧エアー噴射口６６から、切削ブレード２２の切り刃２２２の刃先２２２ａに吹き付けられる。そして、混合流体Ｆ３は、図示しない排出口を通して切削装置１外に排出される。

制御手段９０は、切削が終了したと判定すると、切削手段２０をＺ軸移動手段５０により被加工物Ｗから離間させた後、Ｘ軸移動手段３０により保持部１０を切削手段２０の下方から離間させる。制御手段９０は、保持部１０が切削手段２０の下方から離間すると、保持部１０の吸引保持を解除し、オペレータが保持部１０上の切削加工済みの被加工物Ｗを取り除き、切削加工前の被加工物Ｗを保持部１０に載置する。このような工程を繰返して、切削装置１は、被加工物Ｗを切削する。

以上のように、本実施形態に係るブレードカバー６０によれば、切削水Ｆ１が切削水噴射口６４から切削ブレード２２のフランジ２２１に噴射される。さらに、切削水噴射口６４から切削ブレード２２のフランジ２２１に供給された切削水Ｆ１は、切削ブレード２２の回転方向Ｒへの回転に伴って、内壁６３２との隙間及び溝６５に充満し、スピンドル２１の回転による遠心力により溝６５から高速で噴射される。第二供給路６６１において、溝６５から高速で噴射された切削水Ｆ１と高圧エアー供給口６８から供給された高圧エアーＦ２とは、混合されて混合流体Ｆ３となる。混合流体Ｆ３は、高圧エアー噴射口６６から、切削ブレード２２の切り刃２２２の刃先２２２ａに吹き付けられる。このため、切削ブレード２２の切り刃２２２の刃先２２２ａには、切削水Ｆ１や高圧エアーＦ２より高速となった混合流体Ｆ３が吹き付けられる。つまり、混合流体Ｆ３は、少量の切削水Ｆ１でも切削時に生じた端材等を除去することができる。このように、ブレードカバー６０は、切削水量を増加することなく、少量の切削水Ｆ１で端材等を除去することができる。

ブレードカバー６０には切削ブレード２２の外周形状に沿って溝６５が形成されているので、切削水噴射口６４から噴射されてフランジ２３に接触した切削水Ｆ１は、溝６５に流入する。これにより、溝６５に流入した切削水Ｆ１は、高圧エアー供給口６８から供給された高圧エアーＦ２とともに、端材等を吹き飛ばす混合流体Ｆ３として再利用することができる。このように、ブレードカバー６０は、切削水Ｆ１を再利用することで、省水効果を得ることができる。

しかも、ブレードカバー６０は、高圧エアー噴射口６６のＺ軸方向の幅が高圧エアー噴射口６６のＹ軸方向の幅より小さくなるように扁平状に形成されているので、切削屑が発生する、切削ブレード２２と被加工物Ｗとの接触部分（切削部分）に対して、より広い面積に、混合流体Ｆ３を吹き付けることができる。これにより、ブレードカバー６０は、少量の切削水Ｆ１で端材等を除去することができる。

ブレードカバー６０は、混合流体Ｆ３を、高圧エアー噴射口６６から、切削ブレード２２の切り刃２２２の刃先２２２ａ付近に吹き付けるので、少量の切削水Ｆ１で切削ブレード２２と被加工物Ｗとを洗浄することができる。

ブレードカバー６０は、切削ブレード２２を、切削ブレード２２と内壁６３２との隙間及び溝６５に充満し、溝６５内を高速で流れる切削水Ｆ１によって覆われた状態とすることで、高い洗浄力を得ることができる。これにより、ブレードカバー６０は、少量の切削水Ｆ１で切削ブレード２２を洗浄することができる。

ブレードカバー６０は、切削ブレード２２を、切削ブレード２２と内壁６３２との隙間及び溝６５に充満した切削水Ｆ１によって覆われた状態とすることで、冷却することができる。このように、切削ブレード２２は、その外周の一部が切削水Ｆ１で覆われた状態となるので、例えば冷却水をノズルなどから切削ブレード２２に噴射する場合に比べて、より高い冷却効果を得ることができる。

このように、ブレードカバー６０は、１系統の切削水源から供給された切削水Ｆ１を、切削ブレード２２の冷却と、端材等の除去と、切削ブレード２２と被加工物Ｗとの洗浄とに使用する。このように、ブレードカバー６０は、例えば切削水Ｆ１を切削ブレード２２の冷却と、端材等の除去と、切削ブレード２２と被加工物Ｗとの洗浄とに、別々に供給する構成に比べ、切削水Ｆ１の使用量を抑制することができる。

さらに、ブレードカバー６０は、上記のように混合流体Ｆ３によって端材等を除去することができるので、端材等との接触による、ブレードカバー６０自身の損傷、変形、位置ずれ等の不具合の発生を抑制することができる。このように、ブレードカバー６０は、飛散した端材等の接触に伴う不具合の発生を抑制可能である。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上記実施の形態では、矩形状のパッケージ基板等を切削する切削装置１にブレードカバー６０を適用しているが、一般的な半導体ウエーハ等を切削する切削装置にブレードカバー６０を適用してもよい。

１ 切削装置
１０ 保持部
２０ 切削手段
２１ スピンドル
２２ 切削ブレード
２２１ フランジ
２２２ 切り刃
２２２ａ 刃先
２３ フランジ
６０ ブレードカバー
６１ 支持部
６２ ノズルブロック
６３ 本体部
６３２ 内壁
６４ 切削水噴射口
６５ 溝
６６ 高圧エアー噴射口
６７ 切削水供給口
６８ 高圧エアー供給口
Ｆ１ 切削水
Ｆ２ 高圧エアー
Ｆ３ 混合流体
Ｒ 回転方向
Ｗ 被加工物

Claims (1)

1. スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、該スピンドルにフランジを介して装着された切削ブレードを覆うブレードカバーであって、
   該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転によって、該切削ブレードと被加工物との接触部分から該切削水が主に飛散する側とは反対側に配設され、該切削ブレードの両側面と対面して切削水を噴射するノズルブロックを備え、
   該ノズルブロックは、該切削ブレードを装着する該フランジ及び該切削ブレードの両側面の形状に沿って隙間を持って形成された内壁と、該内壁に形成され該フランジの両側面に向けて切削水を噴射する複数の切削水噴射口と、該切削ブレードの径方向外側に該内壁に連通して該切削ブレードの外周形状に沿って形成された円環状の溝と、該溝と連通して該切削ブレードの回転方向下流側の端部に形成された該切削ブレードの両側面に向けてエアーを噴射する高圧エアー噴射口とを備え、
   該切削水噴射口から切削水が供給されると、該切削ブレードの回転に伴って該内壁との該隙間及び該溝に切削水が充満し、該スピンドルの回転による遠心力により該溝から高速で切削水が噴射されるとともに該高圧エアー噴射口から噴射された高圧エアーと混合されて２流体が噴射されるブレードカバー。

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