JP6701782B2 - Hollow fiber membrane inner diameter measuring method and device - Google Patents
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Description
本発明は、製糸工程等における中空糸の内径を測定する方法および装置に関し、特に、糸条が走行される場合に適用して好適な測定方法および装置に関する。 The present invention relates to a method and an apparatus for measuring the inner diameter of a hollow fiber in a spinning process, etc., and particularly to a measuring method and an apparatus suitable for application when a yarn is running.
中空糸膜に代表される糸状製品などは、過去より色々な分野や用途において利用活用されてきた。 Filamentous products typified by hollow fiber membranes have been used and utilized in various fields and applications from the past.
近年、これら糸状製品にはコストダウンが求められる一方で、品質に対する要求も強くなっている。より具体的には、例えば中空糸膜は、一般的に高分子材料を原料として製造されるが、製造の過程で膜が薄くなったり、逆に厚くなったりする場合がある。そのような場合、中空糸膜の性能にバラツキが生じるため、製造の過程で中空糸膜の糸径を検査する必要がある。 In recent years, cost reductions have been demanded for these filamentous products, while demands for quality have been increasing. More specifically, for example, a hollow fiber membrane is generally manufactured by using a polymer material as a raw material, but the membrane may become thin or conversely thick in the manufacturing process. In such a case, since the performance of the hollow fiber membrane varies, it is necessary to inspect the diameter of the hollow fiber membrane during the manufacturing process.
特許文献1では、レーザー外径測定機を使用し、その変化を検知することで中空糸膜欠陥を検出する方法が開示されている。 Patent Document 1 discloses a method of detecting a hollow fiber membrane defect by using a laser outer diameter measuring machine and detecting the change.
特許文献2では、ライン型ファイバー照明装置で光を照射し、中空糸膜の内空部に導かれた光像をカメラで撮像し中空糸膜欠陥を検出する方法が開示されている。 Patent Document 2 discloses a method of detecting a hollow fiber membrane defect by irradiating light with a line type fiber illuminating device and capturing an optical image guided to the inner space of the hollow fiber membrane with a camera.
しかしながら特許文献1の方法では、外径を測定することはできても内径を測定することはできない。従って、膜の厚みを評価することができず、品質管理上限界があった。また、特許文献2の方法では、外径を測定することもできない。 However, with the method of Patent Document 1, it is possible to measure the outer diameter but not the inner diameter. Therefore, the thickness of the film could not be evaluated, and there was a limit in quality control. Further, the method of Patent Document 2 cannot measure the outer diameter.
そこで、本発明は、中空糸膜の内径を測定することを可能とする中空糸膜内径測定方法及び中空糸膜内径測定装置を提供することを目的とする。 Therefore, it is an object of the present invention to provide a hollow fiber membrane inner diameter measuring method and a hollow fiber membrane inner diameter measuring apparatus capable of measuring the inner diameter of a hollow fiber membrane.
本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
連続走行する中空糸膜の外径を光学的に測定する外径測定ステップと、
前記中空糸膜を比較用空洞共振器に貫通させない状態における前記比較用空洞共振器の第1の共振周波数を測定する第1の共振周波数測定ステップと、
連続走行する前記中空糸膜を空洞共振器に貫通させた状態における前記空洞共振器の第2の共振周波数を測定する第2の共振周波数測定ステップと、
前記第1の共振周波数と、前記第2の共振周波数と、前記中空糸膜の外径と、前記中空糸膜の内径との間の所定の関係を用いて、前記中空糸膜の内径を算出する算出ステップと、
を有し、
前記第1の共振周波数測定ステップと、前記第2の共振周波数測定ステップとは同時に行われる中空糸膜内径測定方法が提供される。
According to the present invention, as achieving the above-mentioned objects,
An outer diameter measuring step for optically measuring the outer diameter of the continuously running hollow fiber membrane,
A first resonance frequency measurement step of measuring the first resonant frequency of the comparative cavity resonator in a state that does not penetrate the hollow fiber membrane in Comparative cavity resonator,
A second resonant frequency measuring step of measuring a second resonance frequency of the cavity resonator of the hollow fiber membrane continuously traveling in a state of being through the cavity resonator,
The inner diameter of the hollow fiber membrane is calculated using a predetermined relationship among the first resonance frequency, the second resonance frequency, the outer diameter of the hollow fiber membrane, and the inner diameter of the hollow fiber membrane. Calculation step to
Have a,
There is provided a hollow fiber membrane inner diameter measuring method in which the first resonance frequency measuring step and the second resonance frequency measuring step are performed simultaneously .
また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
連続走行する中空糸膜の外径を光学的に測定する外径測定手段と、
前記中空糸膜を比較用空洞共振器に貫通させない状態における前記比較用空洞共振器の第1の共振周波数を測定する第1の共振周波数測定手段と、
連続走行する前記中空糸膜を空洞共振器に貫通させた状態における前記空洞共振器の第2の共振周波数を測定する第2の共振周波数測定手段と、
前記第1の共振周波数と、前記第2の共振周波数と、前記外径と、前記中空糸膜の内径との間の所定の関係を用いて、前記中空糸膜の内径を算出する算出手段と、
を備え、
前記第1の共振周波数測定手段による測定と、前記第2の共振周波数測定手段による測定とは同時に行われる中空糸膜内径測定装置が提供される。
Further, according to the present invention, as achieving the above objects,
Outer diameter measuring means for optically measuring the outer diameter of the continuously running hollow fiber membrane,
A first resonant frequency measuring means for measuring a first resonance frequency of the comparative cavity resonator in a state that does not penetrate the hollow fiber membrane in Comparative cavity resonator,
A second resonant frequency measuring means for measuring a second resonance frequency of the cavity resonator of the hollow fiber membrane continuously traveling in a state of being through the cavity resonator,
Calculating means for calculating the inner diameter of the hollow fiber membrane using a predetermined relationship among the first resonance frequency, the second resonance frequency, the outer diameter, and the inner diameter of the hollow fiber membrane. ,
Equipped with
There is provided a hollow fiber membrane inner diameter measuring device in which the measurement by the first resonance frequency measuring unit and the measurement by the second resonance frequency measuring unit are simultaneously performed .
本発明によれば、中空糸膜の内径が測定できることで、膜厚を評価することができ、より高度な品質管理が可能となる。 According to the present invention, since the inner diameter of the hollow fiber membrane can be measured, the membrane thickness can be evaluated, and higher quality control can be performed.
以下、図面を参照しながら本発明の具体的な実施形態を説明する。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[第1の実施の形態]
図1は、本発明による中空糸膜内径測定装置の第1の実施の形態を示す概略図である。図3は、空洞共振器の模式的斜視図である。図4は、側壁部に設けられた2つの貫通孔を分割する面の断面図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic view showing a first embodiment of a hollow fiber membrane inner diameter measuring device according to the present invention. FIG. 3 is a schematic perspective view of the cavity resonator. FIG. 4 is a cross-sectional view of a surface that divides the two through holes provided in the sidewall portion.
図1によれば、中空糸膜101は外径検出器103と空洞共振器105を通過するように連続走行している。外径検出器103はコントローラ107に接続されており、外径検出器103およびコントローラ107としては例えば透過型のグリーンLED寸法測定機((株)キーエンス製、LSシリーズ)を使用している。これは、中空糸膜101の外径を光学的に測定する。具体的には、これは、測定手段としてLED光源又はレーザー光源を持ち、中空糸膜101が光源を遮った長さから外径を測定する透過型外径測定装置である。外径検出器103は、他の方法によって、中空糸膜101の外径を測定するものであってもよい。空洞共振器105は円筒状の主体部105−1に1対の同軸型コネクタ105−3、105−5が取り付けてあり、それぞれが同軸ケーブル(図示せず)でネットワークアナライザ109に接続されている。ネットワークアナライザ109とは、高周波特性が測定可能な測定器であり、本実施形態では、空洞共振器105の内部に励起された共振モードの共振周波数を測定することを目的として利用されている。コントローラ107とネットワークアナライザ109は演算処理装置111に接続されており、演算処理装置111では外径寸法データと周波数変動率から内径を解析的に算出している。演算処理装置111は表示部113に接続されており、表示部113により周波数変動と走行している中空糸膜101の形状(特に内径と外径)をリアルタイムで確認することができる。
According to FIG. 1, the
ここで空洞共振器105の構造について詳しく説明する。本実施の形態において、空洞共振器105は、円筒状の金属内壁面を有する主体部105−1と、前記主体部105−1の軸方向の両端をとじる一対の金属内壁面を有する側壁部105−7、105−9とを有し、前記一対の側壁部105−7、105−9は対向する略中央部分に貫通孔105−11、105−13を有している。主体部105−1、側壁部105−7、105−9で利用される金属の種類は、例えば銅であり、これらの内壁面には例えば銀メッキが施してある。図4を参照すると、円筒状の主体部105−1の内壁寸法Dは例えば46.4mmであり、長さLは例えば23.2mmである。貫通孔105−11、105−13の直径は例えば5mmである。空洞共振器105の円筒状の主体部105−1又は一方の側壁部105−7又は105−9には入力および出力のコネクタ105−3、105−5が取り付けてある。図4においては、一例として、円筒状の主体部105−1にコネクタ105−3、105−5が取り付けてある場合を図示している。入出力コネクタ105−3、105−5は、同軸タイプであり、芯線の先端部付近が空洞共振器105の内部に露出している。入力コネクタ105−3、105−5の芯線の他端は、ネットワークアナライザ109に電気的に接続されている。また、空洞共振器105の主体部105−1と側壁部105−7、105−9は、同軸ケーブルのグランド側の網線によりネットワークアナライザ109のグランドに接続されている。そして、ネットワークアナライザ109から空洞共振器105に入力コネクタ105−3の芯線を介して入力される高周波電流により空洞共振器105の内部に構成されている空洞内に所定のモードの電磁界が形成されるようになっている。出力コネクタ105−5の芯線はネットワークアナライザ109に電気的に接続されており、ネットワークアナライザ109は空洞内に発生している電磁界と結合し、空洞共振器105の内部の各モードに対応する共振ピークの位置すなわち共振周波数を検出する。図4に示すように、貫通孔105−11、105−13には、中空糸膜101が挿入されている。また、図4に矢印201で示すように、中空糸膜101は、上から下に向かう方向に走行している。但し、逆方向に走行してもよい。
Here, the structure of the
本実施の形態において空洞内に形成させる電磁界モードは円形TM01nモードであり、本実施形態では、最も共振周波数が低い円形TM010モードの共振周波数を利用している。円形TM010モードは、図6に示すように、電界が円筒の軸方向の向きとなり、磁界が円筒内壁面に平行の向きとなる。電界強度は、貫通孔105−11、105−13の付近で最大となるため、中空糸膜101を挿入したときの周波数変動が大きくなり、従って、測定精度が向上する利点がある。
In this embodiment, the electromagnetic field mode formed in the cavity is the circular TM01n mode, and in this embodiment, the resonance frequency of the circular TM010 mode having the lowest resonance frequency is used. In the circular TM010 mode, as shown in FIG. 6, the electric field is oriented in the axial direction of the cylinder, and the magnetic field is oriented parallel to the inner wall surface of the cylinder. Since the electric field strength is maximized in the vicinity of the through holes 105-11 and 105-13, there is an advantage that the frequency fluctuation when the
中空糸膜101を空洞共振器105の内部に挿入し、変動した共振周波数を測定することで内径を算出する解析的な手法について説明する。空洞共振器105の内部に誘電率を持つ試料を挿入した場合、摂動理論を適応できる。TM010モードの円筒空洞共振器105の内部に、断面が円形の棒状試料を挿入した場合、試料挿入前と挿入後の共振周波数をそれぞれf1、f2とすると、共振周波数の変化δfは、マクスウェルの方程式からつぎのようになる。
An analytical method of calculating the inner diameter by inserting the
ここでεは中空糸膜101の比誘電率、Vは空洞共振器105の空洞の体積、ΔVは試料の体積である。αεは共振モードに依存する定数で、円形TM010モードの場合、αε=1.85517である。
Here, ε is the relative permittivity of the
なお、上記の式(1)、式(2)は、TM010モード以外のTM01nモードでも成立する。但し、nの値によりαεの値が異なる。 The above equations (1) and (2) are also valid in the TM01n mode other than the TM010 mode. However, the value of αε differs depending on the value of n.
中空糸膜の断面形状を図5に示すようなものとすると、 If the cross-sectional shape of the hollow fiber membrane is as shown in FIG. 5,
ここで、Dは主体部105−1の内壁寸法、d1は中空糸膜101の外径、d2は中空糸膜101の内径となる。式(1)、(2)、(3)より、
Here, D is the inner wall size of the main body portion 105-1, d1 is the outer diameter of the
となり、試料挿入前の共振周波数f1と比誘電率εをあらかじめ測定しておけば、中空糸膜の外径d1に対応して内径d2が以下のように求められる。 Therefore, if the resonance frequency f1 and the relative permittivity ε before inserting the sample are measured in advance, the inner diameter d2 corresponding to the outer diameter d1 of the hollow fiber membrane is obtained as follows.
「参考文献」小口文一、他 マイクロ波・ミリ波測定 コロナ社
つまり、既知の定数αε、予め測定しておいた共振周波数f1と比誘電率ε、それに、現在同時に測定されている共振周波数f2と外径d2を式(5)に代入することにより、内径d1を求められる。つまり、刻々と変化する可能性がある外径d1を外径検出機107でリアルタイムに測定することができるばかりではなく、刻々と変化する可能性がある内径d2もリアルタイムに測定することができる。
[Reference] Fumikazu Oguchi, et al. Microwave/millimeter wave measurement Corona Corporation In other words, known constant αε, resonance frequency f1 and relative permittivity ε measured in advance, and resonance frequency f2 currently measured at the same time. The inner diameter d1 can be obtained by substituting the outer diameter d2 and the outer diameter d2 into the equation (5). That is, not only the outer diameter d1 that may change momentarily can be measured in real time by the
[第2の実施の形態]
図2は、本発明による中空糸膜内径測定装置の第2の実施の形態を示す概略図である。主な第1の実施の形態との相違は、比較用共振器115を追加しているところである。本実施形態においてネットワークアナライザ109は、中空糸膜101が挿入された空洞共振器105の共振周波数と中空糸膜が挿入されていない比較用空洞共振器115の共振周波数が同時に測定できるように4ポートのタイプ(キーサイト・テクノロジー製、E5071C)を用いている。本実施形態において、比較用空洞共振器115により中空糸膜101を挿入しない状態における共振周波数f1を常時測定することができる。従って、温度等の環境変化で基準となる共振周波数f1が変動しても、この変動は、共振器105と比較用共振器115で共通であるため、この変動を随時補正できる機能を有している。
[Second Embodiment]
FIG. 2 is a schematic diagram showing a second embodiment of the hollow fiber membrane inner diameter measuring device according to the present invention. The main difference from the first embodiment is that a comparative resonator 115 is added. In this embodiment, the
つまり、第2の実施の形態では、既知の定数αε、予め測定しておいた比誘電率ε、それに、現在同時に測定されている共振周波数f1、共振周波数f2と外径d2を式(5)に代入することにより、内径d1を求められる。 That is, in the second embodiment, the known constant αε, the previously measured relative permittivity ε, and the resonance frequency f1, the resonance frequency f2 and the outer diameter d2 that are currently measured at the same time are calculated by the equation (5). The inner diameter d1 can be obtained by substituting into
図8は、本実施形態における、周波数変動を測定した結果を示したものである。横軸に時間を縦軸に周波数変動、δf=f2−f1を示している。このときの中空糸膜の走行速度は50m毎分である。図8によれば、中空糸膜を挿入すると、共振周波数は約0.6MHz低くなることが確認できる。 FIG. 8 shows the result of measuring the frequency fluctuation in the present embodiment. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents frequency fluctuation, δf=f2-f1. The running speed of the hollow fiber membrane at this time is 50 m/min. According to FIG. 8, it can be confirmed that when the hollow fiber membrane is inserted, the resonance frequency is lowered by about 0.6 MHz.
図9は、本実施形態における、中空糸膜の外径および内径の測定結果である。外径は、外径検出器103より測定された数値であり、内径は、図8で測定された周波数変動と外径寸法値から、演算式(5)より求めている。このときの中空糸膜101の比誘電率は、3.0である。図9からもわかるように、リアルタイムで外径および内径を確認することができるので、製造の過程で中空糸膜の膜厚を管理することができ品質の向上に格別な効果を奏する。
FIG. 9 shows the measurement results of the outer diameter and the inner diameter of the hollow fiber membrane in the present embodiment. The outer diameter is a numerical value measured by the
[第3の実施の形態]
図7は、本発明による中空糸膜内径測定装置の第3の実施形態を示す空洞共振器の断面図である。本実施形態によれば、対向する貫通孔を繋げるようにパイプ状のガイド105−15が挿入してある。ガイド105−15の寸法は、貫通孔105−11、105−13に隙間無く挿入するため、貫通孔105−11、105−13の穴径より僅かに小さく、長さは空洞共振器105の長さより長い。本実施形態では、貫通孔穴径105−11、105−13が5mmに対し、ガイド105−15の外径が4.9mmであり、長さはLが23.2mmに対し30mmである。またガイド105−15の肉厚は、0.5mmである。材質は、共振周波数の変動に与える影響が少なくなるように比誘電率の低い(つまり、比誘電率が出来る限り1に近い)樹脂が好適であり、たとえばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)が用いられる。PTFEの比誘電率は、2.1である。このように空洞共振器の貫通孔105−11、105−13にガイド105−15を設けることで、中空糸膜101の空洞共振器105への挿入がよりスムーズになり且つ空洞共振器105の内部にごみ等が混入するのを防止することができる。
[Third Embodiment]
FIG. 7 is a cross-sectional view of a cavity resonator showing a third embodiment of the hollow fiber membrane inner diameter measuring device according to the present invention. According to this embodiment, the pipe-shaped guide 105-15 is inserted so as to connect the through holes facing each other. The size of the guide 105-15 is slightly smaller than the hole diameter of the through holes 105-11 and 105-13 because the guide 105-15 is inserted into the through holes 105-11 and 105-13 without any gap, and the length thereof is the length of the
[その他追記事項]
本実施形態における周波数測定方法は、ネットワークアナライザ109を利用したものに限るものではなく、例えば、スイーパーと周波数カウンターの組み合わせでも良い。
[Additional information]
The frequency measuring method in the present embodiment is not limited to the one using the
空洞共振器105、比較用空洞共振器115の材質は導電性の材料であればよく、銅に限るものではない。
The material of the
ガイド105−15の材質は低誘電率であれば、PTFEに限るものではない。 The material of the guide 105-15 is not limited to PTFE as long as it has a low dielectric constant.
本実施形態における周波数測定方法は、中空糸膜が連続走行している状態において、中空糸膜の内径の測定を可能とするものであるが、外径検出器103で外径を測定した中空糸膜の長手方向の位置と、空洞共振器105で共振周波数を測定した中空糸膜の長手方向の位置との対応関係が取れる限り、中空糸膜が連続走行している状態でない状態においても中空糸膜の内径の測定をすることができる。
The frequency measuring method in the present embodiment enables the inner diameter of the hollow fiber membrane to be measured in a state where the hollow fiber membrane is continuously running. As long as the relationship between the position in the longitudinal direction of the membrane and the position in the longitudinal direction of the hollow fiber membrane whose resonance frequency is measured by the
Claims (9)
前記中空糸膜を比較用空洞共振器に貫通させない状態における前記比較用空洞共振器の第1の共振周波数を測定する第1の共振周波数測定ステップと、
連続走行する前記中空糸膜を空洞共振器に貫通させた状態における前記空洞共振器の第2の共振周波数を測定する第2の共振周波数測定ステップと、
前記第1の共振周波数と、前記第2の共振周波数と、前記中空糸膜の外径と、前記中空糸膜の内径との間の所定の関係を用いて、前記中空糸膜の内径を算出する算出ステップと、
を有し、
前記第1の共振周波数測定ステップと、前記第2の共振周波数測定ステップとは同時に行われる中空糸膜内径測定方法。 An outer diameter measuring step for optically measuring the outer diameter of the continuously running hollow fiber membrane,
A first resonance frequency measurement step of measuring the first resonant frequency of the comparative cavity resonator in a state that does not penetrate the hollow fiber membrane in Comparative cavity resonator,
A second resonant frequency measuring step of measuring a second resonance frequency of the cavity resonator of the hollow fiber membrane continuously traveling in a state of being through the cavity resonator,
The inner diameter of the hollow fiber membrane is calculated using a predetermined relationship among the first resonance frequency, the second resonance frequency, the outer diameter of the hollow fiber membrane, and the inner diameter of the hollow fiber membrane. Calculation step to
Have a,
A hollow fiber membrane inner diameter measuring method in which the first resonance frequency measuring step and the second resonance frequency measuring step are performed simultaneously .
前記所定の関係は、前記第1の共振周波数と、前記第2の共振周波数と、前記中空糸膜の外径と、前記中空糸膜の内径に加えて、前記中空糸膜の比誘電率と、前記空洞共振器における共振モードに対応した定数も用いて表されることを特徴とする中空糸膜内径測定方法。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring method according to claim 1 , wherein
The predetermined relationship is, in addition to the first resonance frequency, the second resonance frequency, the outer diameter of the hollow fiber membrane, the inner diameter of the hollow fiber membrane, a relative dielectric constant of the hollow fiber membrane. A hollow fiber membrane inner diameter measuring method, characterized in that it is also expressed by using a constant corresponding to a resonance mode in the cavity resonator.
前記中空糸膜の比誘電率は、一定の値を持つことを特徴とする中空糸膜内径測定方法。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring method according to claim 2 , wherein
The method for measuring the inner diameter of a hollow fiber membrane, wherein the relative permittivity of the hollow fiber membrane has a constant value.
測定手段としてLED光源又はレーザー光源を持ち、前記中空糸膜が前記光源を遮った長さから外径を測定する透過型外径測定手段を用いて外径測定ステップが行われることを特徴とする中空糸膜内径測定方法。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring method according to any one of claims 1 to 3 ,
An outer diameter measuring step is carried out by using a transmissive outer diameter measuring means having an LED light source or a laser light source as a measuring means, and measuring the outer diameter from the length of the hollow fiber membrane that interrupts the light source. Hollow fiber membrane inner diameter measuring method.
前記空洞共振器の共振周波数は、円形TM01nモードの共振モードにおける共振周波数であることを特徴とする中空糸膜内径測定方法。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring method according to any one of claims 1 to 4 ,
The method for measuring the inner diameter of a hollow fiber membrane, wherein the resonance frequency of the cavity resonator is a resonance frequency in a resonance mode of a circular TM01n mode.
前記空洞共振器の一対の貫通孔には、これらを貫通し、内部に前記中空糸膜を通すためのガイドが設けられていることを特徴とする中空糸膜内径測定方法。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring method according to claim 5 ,
A hollow fiber membrane inner diameter measuring method, characterized in that a guide for passing the hollow fiber membrane through the pair of through holes of the cavity resonator is provided inside.
前記中空糸膜を比較用空洞共振器に貫通させない状態における前記比較用空洞共振器の第1の共振周波数を測定する第1の共振周波数測定手段と、
連続走行する前記中空糸膜を空洞共振器に貫通させた状態における前記空洞共振器の第2の共振周波数を測定する第2の共振周波数測定手段と、
前記第1の共振周波数と、前記第2の共振周波数と、前記外径と、前記中空糸膜の内径との間の所定の関係を用いて、前記中空糸膜の内径を算出する算出手段と、
を備え、
前記第1の共振周波数測定手段による測定と、前記第2の共振周波数測定手段による測定とは同時に行われる中空糸膜内径測定装置。 Outer diameter measuring means for optically measuring the outer diameter of the continuously running hollow fiber membrane,
A first resonant frequency measuring means for measuring a first resonance frequency of the comparative cavity resonator in a state that does not penetrate the hollow fiber membrane in Comparative cavity resonator,
A second resonant frequency measuring means for measuring a second resonance frequency of the cavity resonator of the hollow fiber membrane continuously traveling in a state of being through the cavity resonator,
Calculating means for calculating the inner diameter of the hollow fiber membrane using a predetermined relationship among the first resonance frequency, the second resonance frequency, the outer diameter, and the inner diameter of the hollow fiber membrane. ,
Equipped with
A hollow fiber membrane inner diameter measuring device in which the measurement by the first resonance frequency measuring means and the measurement by the second resonance frequency measuring means are performed simultaneously .
前記空洞共振器は、円筒状の金属内壁面を有する主体部と、前記主体部の軸方向の両端を閉じる金属内壁面を有する一対の側壁部とを備え、前記一対の側壁部は相互に対向する部分にそれぞれ貫通孔を有し、前記中空糸膜は、一対の前記貫通孔を貫通し、前記空洞共振器の共振周波数は、円形TM01nモードの共振モードにおける共振周波数であることを特徴とする中空糸膜内径測定装置。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring device according to claim 7 ,
The cavity resonator includes a main body portion having a cylindrical metal inner wall surface, and a pair of side wall portions having metal inner wall surfaces that close both axial ends of the main body portion, and the pair of side wall portions face each other. The hollow fiber membrane penetrates the pair of through holes, and the resonance frequency of the cavity resonator is the resonance frequency in the resonance mode of the circular TM01n mode. Hollow fiber membrane inner diameter measuring device.
前記空洞共振器の前記一対の貫通孔には、これらを貫通し、内部に前記中空糸膜を通すためのガイドが設けられていることを特徴とする中空糸膜内径測定装置。 The hollow fiber membrane inner diameter measuring device according to claim 8 ,
A hollow fiber membrane inner diameter measuring device, wherein a guide for passing the hollow fiber membrane through the pair of through holes of the cavity resonator is provided inside the hollow resonator.
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