JP6729970B2 - Evaluation device - Google Patents
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Description
本発明は、膜状体の特性を評価する評価装置に関する。 The present invention relates to an evaluation device that evaluates the characteristics of a film body.
試料の特性を評価する評価装置が普及している。このような評価装置として、試料に照射しても損傷が少ないという理由から、電磁波を用いるものが知られている。 An evaluation device for evaluating the characteristics of a sample is widely used. As such an evaluation device, a device that uses electromagnetic waves is known because it is less damaged even when the sample is irradiated.
特許文献1には、テラヘルツ時間領域分光法(THz−TDS法)と称される方式の評価装置が記載されている。当該評価装置は、周波数が0.1THz〜10THz、波長が300μm〜3mmの電磁波であるテラヘルツ波を用いている。テラヘルツ波は、光と電波の境界領域に属していることから、光が有する直進性と、電波が有する透過性と、の双方を兼ね備えている。 Patent Document 1 describes an evaluation device of a system called terahertz time domain spectroscopy (THz-TDS method). The evaluation apparatus uses a terahertz wave that is an electromagnetic wave having a frequency of 0.1 THz to 10 THz and a wavelength of 300 μm to 3 mm. Since the terahertz wave belongs to the boundary region between light and radio waves, it has both the straightness of light and the transparency of radio waves.
特許文献1記載の評価装置は、電磁波を発信する発信部と、当該電磁波を受信する受信部と、を備えている。発信部と受信部との間には、測定対象である試料が配置される。発信部が発信した電磁波が試料に照射されると、その一部が試料によって吸収され、他部が試料を透過する。評価装置は、受信部が当該電磁波の他部を受信することによって取得する電流波形と、試料を配置しない場合に受信部が電磁波を受信することによって取得する電流波形と、の差異に基づいて、当該試料の特性を評価する。 The evaluation device described in Patent Document 1 includes a transmitter that emits an electromagnetic wave and a receiver that receives the electromagnetic wave. A sample to be measured is placed between the transmitter and the receiver. When the sample is irradiated with the electromagnetic wave emitted from the transmitting unit, a part of the electromagnetic wave is absorbed by the sample and the other unit transmits the sample. The evaluation device, based on the difference between the current waveform acquired by the receiving unit receiving the other part of the electromagnetic wave and the current waveform acquired by the receiving unit receiving the electromagnetic wave when the sample is not arranged, The characteristics of the sample are evaluated.
ところで、試料による電磁波の吸収の程度は、電磁波が当該試料中を透過する距離や、当該試料の吸収係数に依存する。電磁波が試料中を透過する距離が小さいと、試料に吸収される電磁波が少なくなる。この場合、前述した2つの電流波形の差異が小さくなる。 The degree of electromagnetic wave absorption by the sample depends on the distance that the electromagnetic wave penetrates through the sample and the absorption coefficient of the sample. When the distance that the electromagnetic wave penetrates through the sample is small, the electromagnetic wave absorbed by the sample is small. In this case, the difference between the two current waveforms described above becomes small.
したがって、膜状体のように厚みが小さい試料では、電磁波の透過距離が小さいため、前述した2つの電流波形の差異も小さくなる。このため、特許文献1記載の装置では、膜状体の特性を精度よく評価できないという課題があった。 Therefore, in a sample having a small thickness such as a film body, since the electromagnetic wave transmission distance is small, the difference between the two current waveforms described above is also small. Therefore, the device described in Patent Document 1 has a problem that the characteristics of the film-shaped body cannot be evaluated accurately.
また、出荷前に、上記評価装置を用いて成形体の特性を評価したいというニーズも存在する。しかしながら、当該膜状体を評価装置にセットする煩わしい手間が必要になるという課題があった。 There is also a need to evaluate the characteristics of the molded product using the evaluation device before shipping. However, there is a problem in that the troublesome work of setting the film-shaped body in the evaluation device is required.
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、膜状体を搬送しながら、その特性を高い精度で評価することが可能な評価装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to provide an evaluation device capable of evaluating the characteristics of a film-shaped body with high accuracy while conveying the film-shaped body.
本発明は、膜状体の特性を評価する評価装置であって、外周面によって膜状体を支持するとともに、回転軸を中心として回転することによって該膜状体を搬送するローラと、電磁波を発信する発信部と、発信部が発信した電磁波を受信する受信部と、発信部と受信部との間に配置され、発信部が発信した電磁波を受信部側に導く導波部材と、受信部によって受信された電磁波に基づいて所定の演算を行うことにより、膜状体の特性を導出する演算部と、を備える。導波部材は、隙間を隔ててローラの外周面と対向し、該外周面との間に導波路を形成する反射面を有する。反射面は、発信部が発信した電磁波を、ローラの外周面との間で反射させながら受信部に導くように構成されている。 The present invention is an evaluation device for evaluating the characteristics of a film-shaped body, which supports the film-shaped body by an outer peripheral surface thereof and which conveys the film-shaped body by rotating about a rotation axis, and an electromagnetic wave. A transmitting unit for transmitting, a receiving unit for receiving the electromagnetic wave transmitted by the transmitting unit, a waveguide member arranged between the transmitting unit and the receiving unit for guiding the electromagnetic wave transmitted by the transmitting unit to the receiving unit side, and the receiving unit. And a calculation unit that derives the characteristics of the film-shaped body by performing a predetermined calculation based on the electromagnetic waves received by the electromagnetic wave. The waveguide member has a reflecting surface that faces the outer peripheral surface of the roller with a gap therebetween and forms a waveguide between the outer peripheral surface and the outer peripheral surface. The reflecting surface is configured to guide the electromagnetic wave emitted from the transmitting unit to the receiving unit while reflecting the electromagnetic wave with the outer peripheral surface of the roller.
上記構成によれば、膜状体はローラの外周面によって支持され、当該ローラの回転によって搬送される。本発明は、このように搬送中の膜状体の特性を評価する。このため、例えば、成形後の膜状体をローラによって成形機から搬送する際等に、膜状体の特性を評価することができる。したがって、少ない手間で膜状体の特性を評価することが可能になる。 According to the above configuration, the film-shaped body is supported by the outer peripheral surface of the roller and is conveyed by the rotation of the roller. The present invention thus evaluates the characteristics of the film-like material during transportation. Therefore, for example, the characteristics of the film-shaped body can be evaluated when the formed film-shaped body is conveyed from the molding machine by the roller. Therefore, it becomes possible to evaluate the characteristics of the film-shaped body with a little labor.
また、上記構成によれば、発信部が発した電磁波は、ローラの外周面と、導波部材の反射面との間で反射しながら受信部に導かれる。このため、電磁波は、膜状体を複数回透過する。この結果、膜状体における電磁波の透過距離を大きくし、膜状体の特性を精度よく評価することが可能になる。 Further, according to the above configuration, the electromagnetic wave emitted by the transmitting unit is guided to the receiving unit while being reflected between the outer peripheral surface of the roller and the reflecting surface of the waveguide member. Therefore, the electromagnetic wave passes through the film-shaped body a plurality of times. As a result, it becomes possible to increase the transmission distance of electromagnetic waves in the film and accurately evaluate the characteristics of the film.
本発明によれば、膜状体を搬送しながら、その特性を高い精度で評価することが可能な評価装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an evaluation device capable of evaluating the characteristics of a film-shaped body with high accuracy while transporting the film-shaped body.
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In order to facilitate understanding of the description, the same reference numerals are given to the same constituent elements in each drawing as much as possible, and overlapping description will be omitted.
[原理モデル]
まず、図1及び図2を参照しながら、評価装置の原理モデル1の概要について説明する。原理モデル1は、テラヘルツ時間領域分光法を用いて、膜状体Mの光学的特性(例えば、吸収率や、屈折率、透過率等。)を評価する装置である。膜状体Mは、厚さ寸法が他の寸法と比べて小さい物体である。評価対象にできる膜状体Mとして、例えば、綿織物や、キュプラ織物、樹脂フィルム等が挙げられる。図1に示されるように、原理モデル1は、発信部2と、受信部3と、導波部材4と、演算部7と、を備えている。
[Principle model]
First, an outline of the principle model 1 of the evaluation device will be described with reference to FIGS. 1 and 2. The principle model 1 is an apparatus that evaluates the optical characteristics (for example, absorptance, refractive index, transmittance, etc.) of the film M by using terahertz time domain spectroscopy. The film body M is an object whose thickness dimension is smaller than other dimensions. Examples of the film M that can be evaluated include cotton fabric, cupra fabric, and resin film. As shown in FIG. 1, the principle model 1 includes a transmission unit 2, a reception unit 3, a waveguide member 4, and a calculation unit 7.
発信部2は、外部の空間に電磁波を発信する機器である。詳細には、発信部2は、周波数が0.1THz〜10THz、波長が300μm〜3mmの電磁波であるテラヘルツ波を発生させる。発信部2は、フェムト秒レーザ、光伝導アンテナや、テラヘルツ発信共鳴トンネルダイオード(RTD)、テラヘルツ量子カスケードレーザ等、テラヘルツ波を発信可能な機構を有している。図1はこれらを簡略し、発信部2を1つのユニットとして図示している。発信部2は、不図示の制御装置から受信する制御信号に基づいて電磁波を発信する。 The transmitter 2 is a device that transmits electromagnetic waves to the external space. Specifically, the transmitter 2 generates a terahertz wave that is an electromagnetic wave having a frequency of 0.1 THz to 10 THz and a wavelength of 300 μm to 3 mm. The transmission unit 2 has a mechanism capable of transmitting terahertz waves, such as a femtosecond laser, a photoconductive antenna, a terahertz transmission resonant tunneling diode (RTD), a terahertz quantum cascade laser, and the like. In FIG. 1, these are simplified and the transmission part 2 is illustrated as one unit. The transmitter 2 emits an electromagnetic wave based on a control signal received from a control device (not shown).
受信部3は、発信部2が発信した電磁波を受信する機器である。受信部3は、発信部2と間隔を空けて配置されている。受信部3は、光伝導素子等の複数の部材を有している。図2はこれらを簡略し、受信部3を1つのユニットとして図示している。受信部3は、発信部2が発信した電磁波を受信し、当該電磁波の電場強度を電流として検出することができる。 The receiving unit 3 is a device that receives the electromagnetic wave transmitted by the transmitting unit 2. The receiving unit 3 is arranged apart from the transmitting unit 2. The receiver 3 has a plurality of members such as photoconductive elements. FIG. 2 simplifies these and illustrates the receiving unit 3 as one unit. The receiving unit 3 can receive the electromagnetic wave emitted by the transmitting unit 2 and detect the electric field strength of the electromagnetic wave as a current.
導波部材4は、発信部2と受信部3との間に配置される部材である。導波部材4は、その内部に導波路40を有している。導波路40は、その端部が開放されている。詳細には、導波部材4は、隙間を隔てて対向する導波板5,6を有しており、当該隙間が導波路40に相当する。膜状体Mは、この導波路40の一部に配置されている。後述するように、発信部2が発信した電磁波はこの導波路40を通過することによって受信部3に導かれる。 The waveguide member 4 is a member arranged between the transmitter 2 and the receiver 3. The waveguide member 4 has a waveguide 40 inside. The waveguide 40 has an open end. Specifically, the waveguide member 4 has the waveguide plates 5 and 6 facing each other with a gap therebetween, and the gap corresponds to the waveguide 40. The film body M is arranged in a part of the waveguide 40. As will be described later, the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 is guided to the receiver 3 by passing through the waveguide 40.
尚、理解を容易にするため、図1に示されるように、導波板5,6が対向する方向をZ方向とし、当該Z方向に直交する方向をX方向、Y方向とする直交座標を用いて説明する。図3以降においても、当該直交座標と対応する座標が示される。 In order to facilitate understanding, as shown in FIG. 1, the orthogonal direction in which the direction in which the waveguide plates 5 and 6 face each other is the Z direction and the direction orthogonal to the Z direction is the X direction and the Y direction is shown. It will be explained using. Coordinates corresponding to the rectangular coordinates are also shown in FIG. 3 and subsequent figures.
演算部7は、膜状体Mの特性を導出する機器である。演算部7は、少なくとも受信部3と接続されている。演算部7は、受信部3が検出した電流に基づいて所定の演算を行うことにより、膜状体Mの特性を導出する。 The calculation unit 7 is a device that derives the characteristics of the film M. The calculation unit 7 is connected to at least the reception unit 3. The calculation unit 7 derives the characteristics of the film M by performing a predetermined calculation based on the current detected by the reception unit 3.
演算部7は、図2に示される電流波形を受信部3から取得する。図2は、発信部2から電磁波が発信された後に、受信部3が検出した電流の変化を示している。導波路40に膜状体Mが配置されていない場合に受信部3が検出する電流Erの波形は、実線によって示されている。一方、導波路40に膜状体Mが配置されている場合に受信部3が検出する電流Emの波形は、破線によって示されている。電流Er及び電流Emの波形は、電磁波が受信部3によって受信されたタイミングにピークを有している。 The calculation unit 7 acquires the current waveform shown in FIG. 2 from the reception unit 3. FIG. 2 shows a change in the current detected by the receiver 3 after the electromagnetic wave is emitted from the transmitter 2. The waveform of the current Er detected by the receiver 3 when the film M is not arranged in the waveguide 40 is indicated by the solid line. On the other hand, the waveform of the current Em detected by the receiver 3 when the film M is arranged in the waveguide 40 is indicated by a broken line. The waveforms of the current Er and the current Em have peaks at the timing when the electromagnetic wave is received by the receiving unit 3.
導波路40に膜状体Mが配置されていない場合、発信部2が発信した電磁波は、導波路40において殆ど吸収されることなく受信部3に至る。この場合、電流Erの波形のピークが明瞭に現れる。このような電流Erの波形は、膜状体Mの評価に先駆けて取得されている。 When the film M is not arranged in the waveguide 40, the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 reaches the receiver 3 with almost no absorption in the waveguide 40. In this case, the peak of the waveform of the current Er clearly appears. Such a waveform of the current Er has been acquired prior to the evaluation of the film body M.
一方、導波路40に膜状体Mが配置されている場合、発信部2が発信した電磁波の一部は、導波路40において当該膜状体Mによって吸収される。電磁波の他部は、当該膜状体Mを透過し、導波路40を通過して発信部2に至る。つまり、電流Emの波形は、多重反射も含めた透過後の電磁波のものを示している。このため、電流Emの波形のピークは、電流Erの波形のものよりも小さくなる。また、電流Emの波形のピークは、電流Erのピークが現れるタイミングからやや遅れて現れる。 On the other hand, when the film M is arranged in the waveguide 40, a part of the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 is absorbed by the film M in the waveguide 40. The other part of the electromagnetic wave passes through the film M, passes through the waveguide 40, and reaches the transmitter 2. That is, the waveform of the current Em shows that of the electromagnetic wave after the transmission including the multiple reflection. Therefore, the peak of the waveform of the current Em is smaller than that of the waveform of the current Er. The peak of the waveform of the current Em appears slightly behind the timing of the peak of the current Er.
演算部7は、このような電流Er,Emの波形のそれぞれに所定の処理を施す。詳細には、演算部7は、電流Er,Emの波形のそれぞれの複素フーリエ成分を計算し、両者の比を計算する。両者の比は複素振幅透過率に相当し、複素屈折率の関数として表される。したがって、演算部7は、予め実験で得られている複素振幅透過率に基づいて、膜状体Mの光学的特性の1つである複素屈折率を導出することができる。 The calculation unit 7 performs a predetermined process on each of the waveforms of the currents Er and Em. Specifically, the calculation unit 7 calculates each complex Fourier component of the waveforms of the currents Er and Em, and calculates the ratio of the two. The ratio of the two corresponds to the complex amplitude transmittance and is expressed as a function of the complex refractive index. Therefore, the calculation unit 7 can derive the complex refractive index, which is one of the optical characteristics of the film body M, based on the complex amplitude transmittance obtained in advance by an experiment.
このように構成された原理モデル1において、膜状体Mの特性を高い精度で評価するためには、電流Erの波形と電流Emの波形との差異が、有意なものでなければならない。換言すれば、導波路40における膜状体Mの有無に応じて、電流Er,Emの波形の差異が顕著となるように原理モデル1を構成する必要がある。 In the principle model 1 configured as described above, in order to evaluate the characteristics of the film M with high accuracy, the difference between the waveform of the current Er and the waveform of the current Em must be significant. In other words, it is necessary to configure the principle model 1 so that the difference between the waveforms of the currents Er and Em becomes remarkable depending on the presence or absence of the film M in the waveguide 40.
そこで、原理モデル1では、電流Er,Emの波形の差異を顕著なものとすべく、導波部材4の構成に工夫がなされている。次に図3から図7を参照しながら、この導波部材4の構成について説明する。 Therefore, in the principle model 1, the structure of the waveguide member 4 is devised so that the difference between the waveforms of the currents Er and Em is remarkable. Next, the configuration of the waveguide member 4 will be described with reference to FIGS. 3 to 7.
図3及び図4に示されるように、導波板5,6は、X軸方向を長手方向とし、Z軸方向を厚さ方向とする板形状を呈している。導波板5,6は、アルミニウムによって形成されている。X軸方向における導波板5,6の寸法Lxは、90mm程度である。図3に示されるように、導波板5,6は、その一側面に反射面50,60を有している。 As shown in FIGS. 3 and 4, the waveguide plates 5 and 6 have a plate shape having the X-axis direction as the longitudinal direction and the Z-axis direction as the thickness direction. The waveguide plates 5 and 6 are made of aluminum. The dimension Lx of the waveguide plates 5 and 6 in the X-axis direction is about 90 mm. As shown in FIG. 3, the waveguide plates 5 and 6 have reflecting surfaces 50 and 60 on one side surface thereof.
反射面50,60は、研磨が施されることにより凹凸が少ない滑らかな面となっている。これにより、後述するように反射面50,60において電磁波が反射する際の散乱が抑制される。反射面50,60は、入口側テーパ部51,61、平坦部52,62、及び出口側テーパ部53,63を有している。 The reflecting surfaces 50, 60 are smooth surfaces with little unevenness due to polishing. Thereby, as will be described later, scattering when the electromagnetic waves are reflected on the reflecting surfaces 50 and 60 is suppressed. The reflecting surfaces 50 and 60 have inlet side tapered portions 51 and 61, flat portions 52 and 62, and outlet side tapered portions 53 and 63.
平坦部52,62は、X軸方向において反射面50,60の中央部に位置する平坦な面である。X軸方向における平坦部52,62の寸法Lx1は30mm程度である。導波板5,6は、この平坦部52,62が、Z軸方向に隙間を隔てて互いに平行となるように配置されている。Z軸方向における隙間の寸法dは、発信部2が発信する電磁波の波長以下(例えば、200μm)に設定されている。導波路40のうち、この平坦部52と平坦部62との間に形成される部分は、膜状体配置部42と称される。尚、説明の理解の為、図3から図7では、導波路40を極端に大きく示している。 The flat portions 52 and 62 are flat surfaces located at the central portions of the reflecting surfaces 50 and 60 in the X-axis direction. The dimension Lx1 of the flat portions 52 and 62 in the X-axis direction is about 30 mm. The waveguide plates 5 and 6 are arranged such that the flat portions 52 and 62 are parallel to each other with a gap in the Z-axis direction. The dimension d of the gap in the Z-axis direction is set to be equal to or less than the wavelength of the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 (for example, 200 μm). A portion of the waveguide 40 formed between the flat portion 52 and the flat portion 62 is referred to as a film-shaped body disposing portion 42. In order to understand the explanation, the waveguide 40 is shown extremely large in FIGS.
膜状体Mは、この膜状体配置部42に、その厚さ方向がZ方向と直交しないように配置される。詳細には、膜状体Mは、その厚さ方向がZ方向と一致するとともに、平坦部52,62に沿って延びるように膜状体配置部42に配置される。膜状体Mは、平坦部52,62と接触しないように、Y軸方向の両端部が不図示の治具によって固定されている。 The film body M is arranged in the film body arrangement portion 42 such that the thickness direction thereof is not orthogonal to the Z direction. Specifically, the film body M is arranged in the film body arrangement portion 42 such that the thickness direction thereof coincides with the Z direction and extends along the flat portions 52 and 62. Both ends of the film body M in the Y-axis direction are fixed by jigs (not shown) so as not to come into contact with the flat portions 52 and 62.
入口側テーパ部51,61は、平坦部52,62よりも発信部2(図3では不図示)側に位置し、平坦部52,62に連続する面である。入口側テーパ部51,61は、導波路40に向かって突出するように湾曲している。導波路40のうち、この入口側テーパ部51と入口側テーパ部61との間に形成される部分は入口部41と称される。入口部41において、入口側テーパ部51,61は、X軸方向に向かうにつれて漸次近接するように形成されている。換言すれば、入口部41は、X軸方向に向かうにつれてその幅が漸次減少するように形成されている。 The inlet-side taper portions 51 and 61 are located closer to the transmitter 2 (not shown in FIG. 3) than the flat portions 52 and 62, and are surfaces that are continuous with the flat portions 52 and 62. The entrance-side tapered portions 51 and 61 are curved so as to project toward the waveguide 40. A portion of the waveguide 40 formed between the inlet-side tapered portion 51 and the inlet-side tapered portion 61 is referred to as an inlet portion 41. In the inlet portion 41, the inlet-side tapered portions 51 and 61 are formed so as to gradually approach each other in the X-axis direction. In other words, the inlet portion 41 is formed so that its width gradually decreases in the X-axis direction.
出口側テーパ部53,63は、平坦部52,62よりも受信部3(図3では不図示)側に位置し、平坦部52,62に連続する面である。出口側テーパ部53,63は、導波路40に向かって突出するように湾曲している。導波路40のうち、この出口側テーパ部53と出口側テーパ部63との間に形成される部分は出口部43と称される。出口部43において、出口側テーパ部53,63は、X軸方向に向かうにつれて漸次離反するように形成されている。換言すれば、出口部43は、X軸方向に向かうにつれてその幅が漸次増加するように形成されている。 The outlet taper portions 53 and 63 are surfaces that are located closer to the receiving unit 3 (not shown in FIG. 3) than the flat portions 52 and 62 and are continuous with the flat portions 52 and 62. The outlet side tapered portions 53 and 63 are curved so as to project toward the waveguide 40. A portion of the waveguide 40 formed between the outlet-side taper portion 53 and the outlet-side taper portion 63 is referred to as an outlet portion 43. In the outlet part 43, the outlet side tapered parts 53 and 63 are formed so as to gradually separate from each other in the X-axis direction. In other words, the outlet portion 43 is formed so that its width gradually increases as it goes in the X-axis direction.
図5に示されるように、発信部2(図5では不図示)によって発信された電磁波は、まず、導波路40の−X方向における端部から入口部41に進入する。図5は、電磁波の進行方向を、矢印A1によって模式的に示している。矢印A1で示されるように、電磁波は、入口側テーパ部51,61において繰り返し反射することにより、Z方向に往復する。 As shown in FIG. 5, the electromagnetic wave emitted by the transmitting unit 2 (not shown in FIG. 5) first enters the inlet 41 from the end of the waveguide 40 in the −X direction. FIG. 5 schematically shows the traveling direction of the electromagnetic wave by an arrow A1. As indicated by an arrow A1, the electromagnetic wave reciprocates in the inlet side tapered portions 51 and 61, and thus reciprocates in the Z direction.
また、前述したように、入口側テーパ部51,61は導波路40に向かって突出するように湾曲している。このため、入口側テーパ部51,61は、X方向を指向するように電磁波を反射させる。また、入口部41は、X軸方向に向かうにつれてその幅が漸次減少しているため、Z方向における電磁波の移動距離は漸次小さくなる。この結果、電磁波は収束しながら膜状体配置部42に向かって進行する。 Further, as described above, the inlet side tapered portions 51 and 61 are curved so as to project toward the waveguide 40. Therefore, the inlet-side tapered portions 51 and 61 reflect the electromagnetic waves so as to be directed in the X direction. Further, since the width of the entrance portion 41 gradually decreases in the X-axis direction, the moving distance of the electromagnetic wave in the Z direction gradually decreases. As a result, the electromagnetic wave advances toward the film-shaped member placement portion 42 while converging.
入口部41を通過した電磁波は、次に、図6に示されるように膜状体配置部42に進入する。前述したように、Z軸方向における膜状体配置部42の寸法dは、電磁波の波長よりも小さい。一般的に、電磁波は、その回折限界のため、寸法が波長よりも小さい隙間を通過することは困難である。 The electromagnetic wave that has passed through the inlet portion 41 then enters the film-shaped body arranging portion 42 as shown in FIG. As described above, the dimension d of the film body placement portion 42 in the Z-axis direction is smaller than the wavelength of electromagnetic waves. Generally, it is difficult for an electromagnetic wave to pass through a gap whose size is smaller than the wavelength due to its diffraction limit.
原理モデル1では、平坦部52,62は、金属材料であるアルミニウムによって形成されている。膜状体配置部42に進入した電磁波が平坦部52,62の近傍を進行する際は、当該電磁波の電場の成分のうち、表面に平行な成分は金属中の自由電子に遮蔽され存在せず、表面に垂直な成分のみが存在するという境界条件が満たされる。膜状体配置部42の寸法dを電磁波の回折限界以下とした場合でも、この境界条件は満たされ、電磁波は平坦部52,62で反射しながら進行することが可能である。 In principle model 1, the flat portions 52 and 62 are formed of aluminum, which is a metal material. When the electromagnetic wave that has entered the film-shaped member placement portion 42 travels in the vicinity of the flat portions 52 and 62, among the components of the electric field of the electromagnetic wave, the component parallel to the surface is not present because it is shielded by free electrons in the metal. , The boundary condition that only the component perpendicular to the surface exists is satisfied. Even when the dimension d of the film-shaped member arranging portion 42 is set to be equal to or smaller than the diffraction limit of the electromagnetic wave, this boundary condition is satisfied, and the electromagnetic wave can travel while being reflected by the flat portions 52 and 62.
電磁波は、矢印A2で示されるように、平坦部52,62において繰り返し反射し、Z方向に往復しながら膜状体配置部42を進行する。したがって、電磁波は、膜状体配置部42に配置されている膜状体Mを、その厚さ方向に繰り返し透過する。詳細には、膜状体Mに達した電磁波の一部が膜状体Mによって吸収され、他部が膜状体Mを透過する。 As shown by the arrow A2, the electromagnetic wave is repeatedly reflected by the flat portions 52 and 62 and travels in the film-shaped member placement portion 42 while reciprocating in the Z direction. Therefore, the electromagnetic waves repeatedly pass through the film body M arranged in the film body arrangement portion 42 in the thickness direction thereof. Specifically, a part of the electromagnetic wave reaching the film body M is absorbed by the film body M, and the other part is transmitted through the film body M.
膜状体配置部42を通過した電磁波は、次に、図7に示されるように出口部43に進入する。矢印A3で示されるように、電磁波は、出口側テーパ部53,63において繰り返し反射することにより、Z方向に往復する。 The electromagnetic wave that has passed through the film body placement portion 42 then enters the outlet portion 43 as shown in FIG. 7. As shown by an arrow A3, the electromagnetic wave reciprocates in the Z direction by being repeatedly reflected by the outlet side tapered portions 53 and 63.
一般に、導波路の終端に頂角が形成されていると、当該頂角において電磁波の回折が生じる。この結果、導波路の終端から電磁波が拡散し、受信部3が受信できる電磁波が減少してしまう。 Generally, when an apex angle is formed at the end of the waveguide, electromagnetic waves are diffracted at the apex angle. As a result, the electromagnetic waves diffuse from the end of the waveguide, and the electromagnetic waves that the receiving unit 3 can receive decrease.
原理モデル1では、前述したように、出口側テーパ部53,63は導波路40に向かって突出するように湾曲している。これにより、導波路40の終端における電磁波の拡散が抑制される。このようにして出口部43を通過した電磁波は、受信部3によって受信される。 In the principle model 1, as described above, the outlet side tapered portions 53 and 63 are curved so as to project toward the waveguide 40. This suppresses the diffusion of electromagnetic waves at the end of the waveguide 40. The electromagnetic wave that has passed through the outlet 43 in this manner is received by the receiver 3.
以上の説明のように構成された原理モデル1によれば、発信部2が発した電磁波は、一対の反射面50,60の間で反射しながら受信部3に導かれる。膜状体Mは、その厚さ方向が、反射面50,60が対向する方向と直交しないように配置されている。このため、電磁波は、膜状体Mをその厚さ方向に複数回透過する。この結果、膜状体Mにおける電磁波の透過距離を大きくし、膜状体Mの特性を精度よく評価することが可能になる。 According to the principle model 1 configured as described above, the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 is guided to the receiver 3 while being reflected between the pair of reflecting surfaces 50 and 60. The film body M is arranged so that the thickness direction thereof is not orthogonal to the direction in which the reflecting surfaces 50 and 60 face each other. Therefore, the electromagnetic wave passes through the film body M multiple times in the thickness direction. As a result, it becomes possible to increase the transmission distance of the electromagnetic waves in the film M, and to evaluate the characteristics of the film M with high accuracy.
ところで、膜状体配置部42の寸法dが小さいほど、膜状体配置部42に電磁波を収束させ、評価精度を向上させることが可能になる。しかしながら、反射面50,60間の寸法dが電磁波の波長を下回ると、回折限界のため、電磁波が膜状体配置部42を通過できなくなる。 By the way, the smaller the dimension d of the film-shaped member arranging portion 42, the more the electromagnetic waves are converged on the film-shaped member arranging portion 42, and the evaluation accuracy can be improved. However, when the dimension d between the reflecting surfaces 50 and 60 is less than the wavelength of the electromagnetic wave, the electromagnetic wave cannot pass through the film body arranging portion 42 due to the diffraction limit.
そこで、原理モデル1では、反射面50,60は、金属材料によって形成されている。この構成によれば、反射面50,60間の寸法dが電磁波の波長よりも小さい場合であっても、電磁波は、反射面50,60に存在する自由電子との相互作用により、膜状体配置部42を通過することが可能になる。この結果、膜状体配置部42に電磁波を収束させ、特性の評価精度を向上させることが可能になる。この構成は、発信部2が発信する電磁波が、他の電磁波と比較して波長が長いテラヘルツ波である場合に特に好適である。 Therefore, in the principle model 1, the reflecting surfaces 50 and 60 are made of a metal material. According to this configuration, even when the dimension d between the reflecting surfaces 50 and 60 is smaller than the wavelength of the electromagnetic waves, the electromagnetic waves interact with the free electrons existing on the reflecting surfaces 50 and 60, and thus the film-shaped body. It becomes possible to pass through the arrangement portion 42. As a result, it is possible to focus the electromagnetic wave on the film-shaped member disposing portion 42 and improve the evaluation accuracy of the characteristics. This configuration is particularly suitable when the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 is a terahertz wave having a longer wavelength than other electromagnetic waves.
また、反射面50,60は、発信部2側から膜状体配置部42側に向かって導波路40の幅を漸次減少させる入口側テーパ部51,61を有している。この構成によれば、発信部2から発信された電磁波を、入口側テーパ部51,61によって収束させながら膜状体配置部42に導くことが可能になる。この結果、特性の評価精度をさらに高めることが可能になる。 Further, the reflecting surfaces 50, 60 have inlet-side taper portions 51, 61 for gradually reducing the width of the waveguide 40 from the transmitting portion 2 side toward the film-like body disposing portion 42 side. According to this configuration, it is possible to guide the electromagnetic wave emitted from the transmitting unit 2 to the film-shaped body disposing unit 42 while converging by the inlet-side taper portions 51 and 61. As a result, it becomes possible to further improve the evaluation accuracy of the characteristics.
また、入口側テーパ部51,61は、導波路40に向かって突出するように湾曲している。この構成によれば、発信部2から発信された電磁波を、より膜状体配置部42に指向させることができる。この結果、電磁波を高い効率で収束させ、特性の評価精度をさらに高めることが可能になる。 Further, the inlet side tapered portions 51 and 61 are curved so as to project toward the waveguide 40. According to this configuration, the electromagnetic wave transmitted from the transmission unit 2 can be further directed to the film body placement unit 42. As a result, the electromagnetic waves can be converged with high efficiency, and the evaluation accuracy of the characteristics can be further improved.
また、反射面50,60は、膜状体配置部42側から受信部3側に向かって導波路40の幅を漸次増加させる出口側テーパ部53,63を有している。この構成によれば、導波路40の終端における電磁波の回折を抑制し、膜状体配置部42を通過した電磁波を更に確実に受信部3に受信させることが可能になる。 Further, the reflecting surfaces 50 and 60 have outlet side taper portions 53 and 63 that gradually increase the width of the waveguide 40 from the film-shaped body disposing portion 42 side toward the receiving portion 3 side. According to this configuration, the diffraction of the electromagnetic wave at the end of the waveguide 40 can be suppressed, and the electromagnetic wave that has passed through the film body placement unit 42 can be more reliably received by the receiving unit 3.
次に、原理モデル1を応用した実施形態に係る評価装置について説明する。これから説明する評価装置は、膜状体の製造工程に適用される。具体的には、当該評価装置は、膜状体を不図示の成形機から搬送する工程に適用され、搬送中の膜状体の特性を評価する。 Next, an evaluation device according to the embodiment to which the principle model 1 is applied will be described. The evaluation device described below is applied to the manufacturing process of the film-shaped body. Specifically, the evaluation device is applied to a step of transporting a film-shaped body from a molding machine (not shown), and evaluates the characteristics of the film-shaped body being transported.
[第1実施形態]
図8及び図9を参照しながら、第1実施形態に係る評価装置1Aについて説明する。図8は、評価装置1Aを示す斜視図である。図9は、評価装置1Aを示す正面図であり、後述する導波板5Aの近傍を拡大して示している。評価装置1Aの構成のうち、原理モデル1の構成と同様の機能を有するものには同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。
[First Embodiment]
The evaluation apparatus 1A according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a perspective view showing the evaluation device 1A. FIG. 9 is a front view showing the evaluation apparatus 1A, and shows an enlarged vicinity of a waveguide plate 5A described later. Of the configurations of the evaluation device 1A, those having the same functions as those of the principle model 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be appropriately omitted.
評価装置1Aは、不図示の成形機によって成形された膜状体M1の光学的特性を評価し、それに基づいて膜状体M1に発生している不具合を検出する。膜状体M1は帯形状を呈し、成形機によってポリマーを架橋することによって成形されている。評価装置1Aは、この膜状体M1においてポリマーが適切に架橋されていない部位の有無を検出する。 The evaluation device 1A evaluates the optical characteristics of the film-shaped body M1 molded by a molding machine (not shown), and detects defects in the film-shaped body M1 based on the evaluation. The film body M1 has a strip shape and is formed by crosslinking a polymer with a molding machine. The evaluation device 1A detects whether or not there is a site where the polymer is not appropriately crosslinked in the film body M1.
評価装置1Aは、この膜状体M1を搬送する搬送装置に組み込まれる。評価装置1Aは、発信部2と、受信部3と、導波板5Aと、演算部7(図8参照)と、ローラ8と、入口側レンズ91と、出口側レンズ92を備えている。 The evaluation device 1A is incorporated in a transport device that transports the film body M1. The evaluation device 1A includes a transmitter 2, a receiver 3, a waveguide plate 5A, a calculator 7 (see FIG. 8), a roller 8, an inlet side lens 91, and an outlet side lens 92.
ローラ8は、膜状体M1を搬送する機器である。ローラ8は略円柱形状を呈しており、図8に示される回転軸81を中心として回転可能である。膜状体M1は、回転軸81が延びる方向と幅方向が一致するように配置され、一側面がローラ8の外周面831と当接して支持される。 The roller 8 is a device that conveys the film body M1. The roller 8 has a substantially columnar shape and is rotatable about a rotation shaft 81 shown in FIG. The film body M1 is arranged so that the direction in which the rotating shaft 81 extends and the width direction thereof match, and one side surface of the film body M1 abuts against the outer peripheral surface 831 of the roller 8 and is supported thereby.
不図示のアクチュエータが駆動すると、ローラ8は当該アクチュエータから力を受け、矢印R1で示される方向に回転する。この回転に伴い、膜状体M1は、矢印A4で示されるようにローラ8の外周面831を指向して進行する。膜状体M1は、外周面831に沿って折り返し、矢印A5で示される方向に進行する。 When an actuator (not shown) is driven, the roller 8 receives a force from the actuator and rotates in the direction indicated by arrow R1. With this rotation, the film body M1 advances toward the outer peripheral surface 831 of the roller 8 as indicated by an arrow A4. The film body M1 is folded back along the outer peripheral surface 831 and advances in the direction indicated by the arrow A5.
図9に示されるように、ローラ8は、骨格部82と、金属膜83と、を有している。骨格部82は、ローラ8の中央部に設けられ、略円柱形状のローラ8の骨格を成している。金属膜83は、骨格部82の外周部に設けられており、アルミニウムによって形成されている。ローラ8の外周面831でもある金属膜83の表面は、研磨が施されることにより、凹凸が少ない滑らかな面となっている。これにより、後述するように外周面831において電磁波が反射する際の散乱が抑制される。 As shown in FIG. 9, the roller 8 has a skeleton portion 82 and a metal film 83. The skeleton portion 82 is provided in the central portion of the roller 8 and forms the skeleton of the roller 8 having a substantially columnar shape. The metal film 83 is provided on the outer peripheral portion of the skeleton portion 82 and is made of aluminum. The surface of the metal film 83, which is also the outer peripheral surface 831 of the roller 8, is a smooth surface with few irregularities by being polished. Thereby, as will be described later, scattering when the electromagnetic wave is reflected on the outer peripheral surface 831 is suppressed.
導波板5Aは、板形状を呈する部材である。導波板5Aは、アルミニウムによって形成されており、ローラ8の外周面831の一部に沿うように湾曲している。また、図9に示されるように、導波板5Aは、外周面831と寸法dの隙間を隔てて対向している。当該隙間は導波路40Aに相当する。膜状体M1は、この導波路40Aに配置されている。発信部2及び受信部3は、ローラ8の周方向において、この導波路40Aを挟んで互いに対向するように配置されている。導波板5Aは、ローラ8の金属膜83とともに、前述した原理モデル1の導波部材4と同等の機能を発揮する。 The waveguide plate 5A is a plate-shaped member. The waveguide plate 5A is made of aluminum and is curved so as to extend along a part of the outer peripheral surface 831 of the roller 8. Further, as shown in FIG. 9, the waveguide plate 5A faces the outer peripheral surface 831 with a gap of dimension d therebetween. The gap corresponds to the waveguide 40A. The film body M1 is arranged in the waveguide 40A. The transmitter 2 and the receiver 3 are arranged so as to face each other across the waveguide 40A in the circumferential direction of the roller 8. The waveguide plate 5A, together with the metal film 83 of the roller 8, exhibits the same function as that of the waveguide member 4 of the principle model 1 described above.
図9に示されるように、導波板5Aは、その一側面に反射面50Aを有している。反射面50Aは、研磨が施されることにより、凹凸が少ない滑らかな面となっている。さらに、反射面50Aは、入口側テーパ部51A、中央部52A及び出口側テーパ部53Aを有している。 As shown in FIG. 9, the waveguide plate 5A has a reflecting surface 50A on one side surface thereof. The reflecting surface 50A is a smooth surface having few irregularities by being polished. Further, the reflecting surface 50A has an inlet side taper portion 51A, a central portion 52A and an outlet side taper portion 53A.
入口側テーパ部51Aは、中央部52Aよりも発信部2側に位置し、中央部52Aに連続する面である。入口側テーパ部51Aは、ローラ8の外周面831に向かって突出するように湾曲している。導波路40Aのうち、この入口側テーパ部51Aと外周面831との間に形成される部分は入口部41Aと称される。入口部41Aにおいて、入口側テーパ部51Aは、受信部3側に向かうにつれて外周面831に漸次近接するように形成されている。換言すれば、入口部41Aは、受信部3側に向かうにつれてその幅が漸次減少するように形成されている。 The inlet-side taper portion 51A is a surface that is located closer to the transmitter 2 than the central portion 52A and is continuous with the central portion 52A. The inlet-side tapered portion 51A is curved so as to project toward the outer peripheral surface 831 of the roller 8. A portion of the waveguide 40A formed between the inlet-side tapered portion 51A and the outer peripheral surface 831 is referred to as an inlet portion 41A. In the inlet portion 41A, the inlet-side taper portion 51A is formed so as to gradually approach the outer peripheral surface 831 toward the receiving portion 3 side. In other words, the inlet 41A is formed so that its width gradually decreases toward the receiving unit 3 side.
中央部52Aは、導波板5Aの中央部に位置する面である。中央部52Aは、ローラ8の外周面831との間に寸法dの隙間を形成するように配置される。寸法dは、発信部2が発信する電磁波の波長よりも小さい。導波路40Aのうち、この中央部52Aと、外周面831との間に形成される部分は、中央部42Aと称される。 The central portion 52A is a surface located at the central portion of the waveguide plate 5A. The central portion 52A is arranged so as to form a gap having a dimension d with the outer peripheral surface 831 of the roller 8. The dimension d is smaller than the wavelength of the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2. A portion of the waveguide 40A formed between the central portion 52A and the outer peripheral surface 831 is referred to as a central portion 42A.
出口側テーパ部53Aは、中央部52Aよりも受信部3側に位置し、中央部52Aに連続する面である。出口側テーパ部53Aは、ローラ8の外周面831に向かって突出するように湾曲している。導波路40Aのうち、この出口側テーパ部53Aと外周面831との間に形成される部分は出口部43Aと称される。出口部43Aにおいて、出口側テーパ部53Aは、受信部3側に向かうにつれて外周面831に漸次近接するように形成されている。換言すれば、出口部43は、受信部3側に向かうにつれてその幅が漸次増加するように形成されている。 The outlet-side taper portion 53A is a surface that is located closer to the receiving unit 3 side than the central portion 52A and is continuous with the central portion 52A. The outlet side tapered portion 53A is curved so as to project toward the outer peripheral surface 831 of the roller 8. A portion of the waveguide 40A formed between the outlet side tapered portion 53A and the outer peripheral surface 831 is referred to as an outlet portion 43A. In the outlet portion 43A, the outlet-side tapered portion 53A is formed so as to gradually approach the outer peripheral surface 831 toward the receiving portion 3 side. In other words, the outlet part 43 is formed so that its width gradually increases toward the receiving part 3 side.
入口側レンズ91及び出口側レンズ92は、電磁波を屈折させる素子である。入口側レンズ91及び出口側レンズ92は、一側面から入射させた電磁波を、収束又は発散させて他側面から出射させる。入口側レンズ91は、発信部2と導波路40Aとの間に配置されている。入口側レンズ91は、その平面が発信部2と対向するように配置されている。出口側レンズ92は、導波路40Aと受信部3との間に配置されている。出口側レンズ92は、その平面が受信部3と対向するように配置されている。 The entrance-side lens 91 and the exit-side lens 92 are elements that refract electromagnetic waves. The entrance-side lens 91 and the exit-side lens 92 converge or diverge the electromagnetic wave incident from one side surface and emit the electromagnetic wave from the other side surface. The entrance-side lens 91 is arranged between the transmitter 2 and the waveguide 40A. The entrance-side lens 91 is arranged so that the plane thereof faces the transmitting unit 2. The exit-side lens 92 is arranged between the waveguide 40A and the receiver 3. The exit-side lens 92 is arranged so that its plane surface faces the receiving unit 3.
図9に示されるように、発信部2によって発信された電磁波は、まず、入口側レンズ91の一側面に入射する。当該電磁波は、入口側レンズ91を透過することにより、ローラ8の回転軸81が延びる方向に発散し、他側面から出射する。これにより、電磁波は、膜状体M1の幅方向において広範囲に出射する。 As shown in FIG. 9, the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 first enters one side surface of the entrance-side lens 91. By passing through the entrance-side lens 91, the electromagnetic wave diverges in the direction in which the rotation shaft 81 of the roller 8 extends, and exits from the other side surface. Thereby, the electromagnetic wave is emitted in a wide range in the width direction of the film body M1.
入口側レンズ91を透過した電磁波は、導波路40Aの入口部41Aに進入する。図9は、電磁波の進行方向を、矢印A4によって模式的に示している。矢印A4で示されるように、電磁波は、入口側テーパ部51Aとローラ8の外周面831とにおいて繰り返し反射することにより、ローラ8の径方向に往復する。 The electromagnetic wave transmitted through the entrance lens 91 enters the entrance portion 41A of the waveguide 40A. FIG. 9 schematically shows the traveling direction of the electromagnetic wave by an arrow A4. As indicated by an arrow A4, the electromagnetic wave reciprocates in the radial direction of the roller 8 by being repeatedly reflected by the entrance-side tapered portion 51A and the outer peripheral surface 831 of the roller 8.
また、前述したように、入口側テーパ部51Aは導波路40Aに向かって突出するように湾曲している。このため、入口側テーパ部51Aは、受信部3を指向するように電磁波を反射させる。また、入口部41Aは、受信部3側に向かうにつれてその幅が漸次減少しているため、ローラ8の径方向における電磁波の移動距離は漸次小さくなる。この結果、電磁波は収束しながら導波路40Aの中央部42Aに向かって進行する。 Further, as described above, the inlet side tapered portion 51A is curved so as to project toward the waveguide 40A. Therefore, the entrance-side taper portion 51A reflects the electromagnetic wave so as to direct the receiving portion 3. Further, since the width of the entrance portion 41A gradually decreases toward the receiving portion 3 side, the moving distance of the electromagnetic wave in the radial direction of the roller 8 gradually decreases. As a result, the electromagnetic wave advances toward the central portion 42A of the waveguide 40A while converging.
電磁波は、ローラ8の径方向に往復することにより、ローラ8の外周面831に支持されている膜状体M1を、その厚さ方向に繰り返し透過する。詳細には、膜状体Mに達した電磁波の一部が膜状体Mによって吸収され、他部が膜状体Mを透過する。 By reciprocating in the radial direction of the roller 8, the electromagnetic waves repeatedly pass through the film body M1 supported by the outer peripheral surface 831 of the roller 8 in the thickness direction thereof. Specifically, a part of the electromagnetic wave reaching the film body M is absorbed by the film body M, and the other part is transmitted through the film body M.
入口部41Aを通過した電磁波は、次に、中央部42Aに進入する。前述したように、中央部42Aの寸法dは、電磁波の波長よりも小さい。しかしながら、前述した電磁波と自由電子との相互作用により、電磁波は、中央部42Aを進行することができる。 The electromagnetic wave that has passed through the entrance portion 41A then enters the central portion 42A. As described above, the dimension d of the central portion 42A is smaller than the wavelength of electromagnetic waves. However, due to the interaction between the electromagnetic wave and the free electrons described above, the electromagnetic wave can travel through the central portion 42A.
中央部42Aを通過した電磁波は、次に、出口部43Aに進入する。矢印A4で示されるように、電磁波は、出口側テーパ部53Aとローラ8の外周面831とにおいて繰り返し反射することにより、ローラ8の径方向に往復する。 The electromagnetic wave that has passed through the central portion 42A then enters the outlet portion 43A. As indicated by an arrow A4, the electromagnetic wave reciprocates in the radial direction of the roller 8 by being repeatedly reflected by the outlet side tapered portion 53A and the outer peripheral surface 831 of the roller 8.
前述したように、出口側テーパ部53Aはローラ8の外周面831に向かって突出するように湾曲している。これにより、電磁波は、導波路40Aの終端において拡散することなく、出口部43Aを通過する。 As described above, the outlet side tapered portion 53A is curved so as to project toward the outer peripheral surface 831 of the roller 8. Thereby, the electromagnetic wave passes through the outlet 43A without being diffused at the end of the waveguide 40A.
出口部43Aを通過した電磁波は、次に、出口側レンズ92の一側面に入射する。当該電磁波は、出口側レンズ92を透過することによりローラ8の回転軸81が延びる方向に収束し、他側面から出射する。当該電磁波は、出口側レンズ92の他側面と対向するように配置されている受信部3によって受信される。 The electromagnetic wave that has passed through the outlet portion 43A then enters one side surface of the outlet-side lens 92. The electromagnetic waves pass through the exit side lens 92 and are converged in the direction in which the rotation shaft 81 of the roller 8 extends, and are emitted from the other side surface. The electromagnetic wave is received by the receiving unit 3 arranged so as to face the other side surface of the exit lens 92.
演算部7(図8参照)は、受信部3から電流波形を取得する。演算部7は、導波路40Aに膜状体M1が配置されている場合の電流波形と、配置されていない場合の電流波形と、差異に基づいて、膜状体M1の光学的特性を評価する。当該光学的特性に基づき、ポリマーが適切に架橋されていない部位が膜状体M1にあることを検出することができる。 The calculation unit 7 (see FIG. 8) acquires the current waveform from the reception unit 3. The calculation unit 7 evaluates the optical characteristics of the film body M1 based on the difference between the current waveform when the film body M1 is arranged in the waveguide 40A and the current waveform when the film body M1 is not arranged. .. Based on the optical characteristics, it can be detected that the polymer M1 has a site where the polymer is not appropriately crosslinked.
このような評価装置1Aの構成によれば、膜状体M1はローラ8の外周面831によって支持され、ローラ8の回転によって搬送される。評価装置1Aは、このように搬送中の膜状体M1の特性を評価する。このため、例えば、成形後の膜状体M1をローラ8によって成形機から搬送する際等に、膜状体M1の特性を評価することができる。したがって、少ない手間で膜状体M1の特性を評価することが可能になる。 According to such a configuration of the evaluation device 1A, the film body M1 is supported by the outer peripheral surface 831 of the roller 8 and is conveyed by the rotation of the roller 8. The evaluation device 1A thus evaluates the characteristics of the film-shaped body M1 being conveyed. Therefore, for example, the characteristics of the film-shaped body M1 can be evaluated when the formed film-shaped body M1 is conveyed from the molding machine by the roller 8. Therefore, it becomes possible to evaluate the characteristics of the film M1 with a small amount of time and effort.
また、評価装置1Aの構成によれば、発信部2が発した電磁波は、ローラ8の外周面831と、導波板5Aの反射面50Aとの間で反射しながら受信部3に導かれる。このため、電磁波は、膜状体M1を厚さ方向に複数回透過する。この結果、膜状体M1における電磁波の透過距離を大きくし、膜状体M1の特性を精度よく評価することが可能になる。 Further, according to the configuration of the evaluation device 1A, the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 is guided to the receiver 3 while being reflected between the outer peripheral surface 831 of the roller 8 and the reflection surface 50A of the waveguide plate 5A. Therefore, the electromagnetic waves pass through the film body M1 a plurality of times in the thickness direction. As a result, it becomes possible to increase the electromagnetic wave transmission distance in the film body M1 and accurately evaluate the characteristics of the film body M1.
また、ローラ8の外周面831、及び、導波板5Aの反射面50は、金属材料によって形成されている。この構成によれば、反射面50Aとローラ8の外周面831との間の寸法dが電磁波の波長よりも小さい場合であっても、電磁波は、反射面50及び外周面831に存在する自由電子との相互作用により、導波路40Aを通過することが可能になる。この結果、導波路40Aに電磁波を収束させ、特性の評価精度を向上させることが可能になる。この構成は、発信部2が発信する電磁波が、他の電磁波と比較して波長が長いテラヘルツ波である場合に特に好適である。 Further, the outer peripheral surface 831 of the roller 8 and the reflecting surface 50 of the waveguide plate 5A are made of a metal material. According to this configuration, even when the dimension d between the reflecting surface 50A and the outer peripheral surface 831 of the roller 8 is smaller than the wavelength of the electromagnetic wave, the electromagnetic waves are free electrons existing on the reflecting surface 50 and the outer peripheral surface 831. It becomes possible to pass through the waveguide 40A by the interaction with. As a result, it becomes possible to focus the electromagnetic wave on the waveguide 40A and improve the evaluation accuracy of the characteristics. This configuration is particularly suitable when the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 is a terahertz wave having a longer wavelength than other electromagnetic waves.
また、反射面50Aは、発信部2側から受信部3側に向かって導波路40Aの幅を漸次減少させる入口側テーパ部51Aを有している。この構成によれば、発信部2から発信された電磁波を、入口側テーパ部51Aによって収束させながら受信部3側に導くことが可能になる。この結果、特性の評価精度をさらに高めることが可能になる。 Further, the reflecting surface 50A has an inlet-side taper portion 51A that gradually reduces the width of the waveguide 40A from the transmitting portion 2 side toward the receiving portion 3 side. According to this configuration, it is possible to guide the electromagnetic wave emitted from the transmitting unit 2 to the receiving unit 3 side while converging it by the entrance-side taper portion 51A. As a result, it becomes possible to further improve the evaluation accuracy of the characteristics.
また、入口側テーパ部51Aは、外周面831側に向かって突出するように湾曲している。この構成によれば、発信部2から発信された電磁波を、より受信部3側に指向させることができる。この結果、電磁波を高い効率で収束させ、特性の評価精度をさらに高めることが可能になる。 Further, the inlet side tapered portion 51A is curved so as to project toward the outer peripheral surface 831 side. According to this configuration, the electromagnetic wave transmitted from the transmission unit 2 can be further directed to the reception unit 3 side. As a result, it becomes possible to converge the electromagnetic waves with high efficiency and further improve the accuracy of evaluation of the characteristics.
また、反射面50Aは、発信部2側から受信部3側に向かって導波路40Aの幅を漸次増加させる出口側テーパ部53Aを有している。この構成によれば、導波路40Aの終端における電磁波の回折を抑制し、導波路40Aを通過した電磁波を更に確実に受信部3に受信させることが可能になる。 Further, the reflecting surface 50A has an outlet side taper portion 53A that gradually increases the width of the waveguide 40A from the transmitting portion 2 side toward the receiving portion 3 side. According to this configuration, it is possible to suppress the diffraction of the electromagnetic wave at the end of the waveguide 40A and to make the receiving unit 3 more reliably receive the electromagnetic wave that has passed through the waveguide 40A.
また、評価装置1Aは、発信部2と導波路40Aとの間に、発信部2が発信した電磁波を発散させる入口側レンズ91を備えている。この構成によれば、電磁波を発散させることにより、膜状体M1の広範囲に電磁波を透過させることができる。したがって、膜状体M1の広範囲に亘って特性を評価することが可能になる。 Further, the evaluation device 1A includes an entrance-side lens 91 that disperses the electromagnetic wave emitted by the transmitter 2 between the transmitter 2 and the waveguide 40A. According to this configuration, the electromagnetic wave can be transmitted over a wide range of the film body M1 by diverging the electromagnetic wave. Therefore, it becomes possible to evaluate the characteristics of the film M1 over a wide range.
また、評価装置1Aは、導波路40Aと受信部3の間に、導波路40Aを通過した電磁波を収束させる出口側レンズ92を備えている。この構成によれば、入口側レンズ91を透過することによって発散し、導波路40Aを通過した電磁波を、受信部3に向かって収束させることが可能になる。これにより、膜状体M1の広範囲に電磁波を透過させながらも、当該電磁波を確実に受信部3に受信させることが可能になる。 Further, the evaluation device 1A includes an exit-side lens 92 between the waveguide 40A and the receiver 3 for converging the electromagnetic wave that has passed through the waveguide 40A. According to this configuration, it is possible to converge the electromagnetic waves that diverge by passing through the entrance side lens 91 and pass through the waveguide 40A toward the receiving unit 3. As a result, the electromagnetic wave can be reliably received by the receiving unit 3 while transmitting the electromagnetic wave over a wide range of the film body M1.
[変形例]
図10を参照しながら、第1実施形態の変形例に係る評価装置1Bについて説明する。図10は、評価装置1Bを示す斜視図である。評価装置1Bの構成のうち、原理モデル1及び評価装置1Aの構成と同様の機能を有するものには同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。
[Modification]
An evaluation device 1B according to a modified example of the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a perspective view showing the evaluation device 1B. Among the configurations of the evaluation device 1B, those having the same functions as those of the principle model 1 and the configuration of the evaluation device 1A are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be appropriately omitted.
評価装置1Bは、導波板5B1,5B2を備えている。導波板5B1,5B2は、アルミニウムによって形成されており、ローラ8の外周面831の一部に沿うように湾曲している。導波板5B1,5B2は、互いに独立しており、回転軸81が延びる方向に隣り合うように配置されている。導波板5B1,5B2は、それぞれ外周面831と寸法dの隙間を隔てて対向している。当該隙間は、互いに独立した導波路となる。膜状体M1は、それぞれの導波路を横断するように配置されている。 The evaluation device 1B includes waveguide plates 5B1 and 5B2. The waveguide plates 5B1 and 5B2 are made of aluminum and are curved so as to extend along a part of the outer peripheral surface 831 of the roller 8. The waveguide plates 5B1 and 5B2 are independent of each other and are arranged so as to be adjacent to each other in the direction in which the rotation shaft 81 extends. The waveguide plates 5B1 and 5B2 face the outer peripheral surface 831 with a gap of dimension d therebetween. The gap serves as a waveguide independent of each other. The film body M1 is arranged so as to cross each waveguide.
また、評価装置1Bは、発信部2及び受信部3をそれぞれ2つ備えている(図10では、1つの発信部2の図示が省略されている)。発信部2及び受信部3は、ローラ8の周方向において、各導波路を挟んで互いに対向するように配置されている。導波板5B1,5B2は、ローラ8の金属膜83とともに、前述した原理モデル1の導波部材4と同等の機能を発揮する。 Further, the evaluation device 1B includes two transmitters 2 and two receivers 3 (one transmitter 2 is not shown in FIG. 10). The transmitter 2 and the receiver 3 are arranged so as to face each other in the circumferential direction of the roller 8 with the waveguides in between. The waveguide plates 5B1 and 5B2, together with the metal film 83 of the roller 8, exhibit the same function as that of the waveguide member 4 of the principle model 1 described above.
また、導波板5B1,5B2が形成する各導波路の端部には、入口側レンズ911,912と、出口側レンズ921,922と、が配置されている。詳細には、導波板5B1が形成する導波路を挟んで入口側レンズ911と出口側レンズ921とが対向配置され、導波板5B2が形成する導波路を挟んで入口側レンズ912と出口側レンズ922とが対向配置される。 Further, entrance-side lenses 911 and 912 and exit-side lenses 921 and 922 are arranged at the ends of the respective waveguides formed by the waveguide plates 5B1 and 5B2. In detail, the entrance side lens 911 and the exit side lens 921 are arranged to face each other with the waveguide formed by the waveguide plate 5B1 interposed therebetween, and the entrance side lens 912 and the exit side lens 912 are provided with the waveguide formed by the waveguide plate 5B2 interposed therebetween. The lens 922 is arranged so as to face it.
このような評価装置1Bの構成によれば、2つの発信部2が発した電磁波は、それぞれ互いに異なる導波路を反射しながら進行するとともに、互いに異なる受信部3によって受信される。このため、回転軸81が延びる方向において異なる部位ごとに、膜状体M1の特性を評価することができる。したがって、膜状体M1に発生している不具合を検出する際等に、不具合が生じている箇所をより詳細に特定することが可能になる。 According to such a configuration of the evaluation device 1B, the electromagnetic waves emitted by the two transmitters 2 travel while reflecting on different waveguides, and are received by different receivers 3. Therefore, it is possible to evaluate the characteristics of the film body M1 for each part that differs in the direction in which the rotating shaft 81 extends. Therefore, when detecting a defect occurring in the film body M1 or the like, it is possible to specify the location of the defect in more detail.
[第2実施形態]
図11及び図12を参照しながら、第2実施形態に係る評価装置1Cについて説明する。図11は、評価装置1Cを示す斜視図である。図12は、図11のXII−XII断面を示す断面図であり、導波板5Cの近傍を拡大して示している。評価装置1Cの構成のうち、原理モデル1及び評価装置1A,1Bの構成と同様の機能を有するものには同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。
[Second Embodiment]
An evaluation device 1C according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 is a perspective view showing the evaluation device 1C. FIG. 12 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line XII-XII of FIG. 11, showing the vicinity of the waveguide plate 5C in an enlarged manner. Among the configurations of the evaluation device 1C, those having the same functions as those of the principle model 1 and the configurations of the evaluation devices 1A and 1B are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be appropriately omitted.
評価装置1Cでは、ローラ8Cは、回転軸81が延びる方向における両端部に、半径が漸次変化する部分を有している。詳細には、ローラ8Cの外周面831Cは、入口テーパ部61Cと、出口側テーパ部63Cと、を有しており、ローラ8Cは、その半径が入口テーパ部61Cと、出口側テーパ部63Cとにおいて変化するように構成されている。入口テーパ部61C及び出口側テーパ部63Cは、後述する導波路40Cに向かって突出するように湾曲している。 In the evaluation device 1C, the roller 8C has a portion whose radius gradually changes at both ends in the direction in which the rotation shaft 81 extends. Specifically, the outer peripheral surface 831C of the roller 8C has an inlet taper portion 61C and an outlet side taper portion 63C, and the roller 8C has a radius that is equal to the inlet taper portion 61C and the outlet side taper portion 63C. Is configured to change at. The inlet taper portion 61C and the outlet taper portion 63C are curved so as to project toward the waveguide 40C described later.
また、発信部2及び受信部3は、ローラ8Cの回転軸81が延びる方向に互いに離間して配置されている。また、図12に示されるように、導波板5Cは、ローラ8Cの外周面831Cと寸法dの隙間を隔てて対向している。当該隙間は、導波路40Cに相当し、回転軸81が延びる方向が長手方向となるように形成されている。発信部2及び受信部3は、当該方向において、導波路40Cを挟んで互いに対向するように配置されている。導波板5Cは、ローラ8Cの金属膜83Cとともに、前述した原理モデル1の導波部材4と同等の機能を発揮する。 Further, the transmitter 2 and the receiver 3 are arranged apart from each other in the direction in which the rotary shaft 81 of the roller 8C extends. Further, as shown in FIG. 12, the waveguide plate 5C faces the outer peripheral surface 831C of the roller 8C with a gap of dimension d therebetween. The gap corresponds to the waveguide 40C and is formed such that the direction in which the rotating shaft 81 extends is the longitudinal direction. The transmitting unit 2 and the receiving unit 3 are arranged so as to face each other with the waveguide 40C interposed therebetween in this direction. The waveguide plate 5C, together with the metal film 83C of the roller 8C, exhibits the same function as that of the waveguide member 4 of the principle model 1 described above.
図12に示されるように、導波板5Cは、その一側面に反射面50Cを有している。さらに、反射面50Cは、入口側テーパ部51C、中央部52C及び出口側テーパ部53Cを有している。入口側テーパ部51C、中央部52C及び出口側テーパ部53Cは、第1実施形態に係る入口側テーパ部51A、中央部52A及び出口側テーパ部53Aと同様に機能する。つまり、入口側テーパ部51C、中央部52C、出口側テーパ部53Cは、ローラ8Cの外周面831Cとの間に、入口部41C、中央部42C、出口部43Cを形成する。膜状体M1は、この導波路40Cのうち、中央部42Cのみに配置されている。 As shown in FIG. 12, the waveguide plate 5C has a reflecting surface 50C on one side surface thereof. Further, the reflecting surface 50C has an inlet side tapered portion 51C, a central portion 52C and an outlet side tapered portion 53C. The inlet-side taper portion 51C, the center portion 52C, and the outlet-side taper portion 53C function similarly to the inlet-side taper portion 51A, the center portion 52A, and the outlet-side taper portion 53A according to the first embodiment. That is, the inlet-side taper portion 51C, the central portion 52C, and the outlet-side taper portion 53C form the inlet portion 41C, the central portion 42C, and the outlet portion 43C between the outer peripheral surface 831C of the roller 8C. The film body M1 is arranged only in the central portion 42C of the waveguide 40C.
また、評価装置1Cは、入口側レンズ93及び出口側レンズ94を備えている。入口側レンズ93は、発信部2と導波路40Cとの間に配置されている。出口側レンズ94は、導波路40Cと受信部3との間に配置されている。 In addition, the evaluation device 1C includes an entrance side lens 93 and an exit side lens 94. The entrance-side lens 93 is arranged between the transmitter 2 and the waveguide 40C. The exit-side lens 94 is arranged between the waveguide 40C and the receiver 3.
図12に示されるように、発信部2によって発信された電磁波は、矢印A5で示されるように、導波路40Cの入口部41Cに進入する。入口部41Cは、中央部42Cに向かうにつれてその幅が漸次減少しているため、ローラ8Cの径方向における電磁波の移動距離は漸次小さくなる。この結果、電磁波は収束しながら中央部42Cに向かって進行する。 As shown in FIG. 12, the electromagnetic wave emitted by the transmitting unit 2 enters the inlet portion 41C of the waveguide 40C as indicated by an arrow A5. Since the width of the entrance portion 41C gradually decreases toward the central portion 42C, the moving distance of the electromagnetic wave in the radial direction of the roller 8C gradually decreases. As a result, the electromagnetic wave proceeds toward the central portion 42C while converging.
入口部41Cを通過した電磁波は、次に、中央部42Cに進入する。中央部42Cの寸法dは、電磁波の波長よりも小さい。しかしながら、前述した自由電子の作用により、電磁波は、導波板5Cの反射面50Cとローラ8Cの外周面831Cとにおいて繰り返し反射しながら、中央部42Cを進行することが可能である。電磁波は、ローラ8Cの外周面831Cに支持されている膜状体M1を、その厚さ方向に繰り返し透過する。当該電磁波は、導波路40Cを通過した後に受信部3によって受信される。 The electromagnetic wave that has passed through the inlet portion 41C then enters the central portion 42C. The dimension d of the central portion 42C is smaller than the wavelength of electromagnetic waves. However, due to the action of the free electrons described above, the electromagnetic wave can travel in the central portion 42C while being repeatedly reflected by the reflecting surface 50C of the waveguide plate 5C and the outer peripheral surface 831C of the roller 8C. The electromagnetic waves repeatedly pass through the film body M1 supported by the outer peripheral surface 831C of the roller 8C in the thickness direction thereof. The electromagnetic wave is received by the receiving unit 3 after passing through the waveguide 40C.
このように、評価装置1Cでは、発信部2及び受信部3は、回転軸81が延びる方向において互いに離間して配置されている。この構成によれば、導波路40Cに配置される膜状体M1の長さが安定しているため、特性の評価精度をさらに高めることが可能になる。 As described above, in the evaluation device 1C, the transmitter 2 and the receiver 3 are arranged apart from each other in the direction in which the rotary shaft 81 extends. According to this configuration, since the length of the film-shaped body M1 arranged in the waveguide 40C is stable, it is possible to further improve the evaluation accuracy of the characteristics.
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。 The embodiments described above are for facilitating the understanding of the present invention and are not for limiting the interpretation of the present invention. Each element included in the embodiment and its arrangement, material, condition, shape, size and the like are not limited to those illustrated, but can be appropriately changed. Further, the configurations shown in different embodiments can be partially replaced or combined.
上記実施形態では、アルミニウムによって形成された導波板5A,5B1,5B2,5Cの一側面において電磁波を反射させている。しかしながら、本発明はこの形態に限定されない。例えば、導波板を樹脂材料等によって形成するとともに、ローラ8の外周面831と対向する面に、金属材料によって形成された別部材を配置したり、金属材料の被膜を形成したりしてもよい。この場合、当該別部材や被膜が反射面として機能する。 In the above embodiment, the electromagnetic wave is reflected on one side surface of the waveguide plate 5A, 5B1, 5B2, 5C made of aluminum. However, the present invention is not limited to this form. For example, the waveguide plate may be formed of a resin material or the like, and another member formed of a metal material may be arranged on the surface of the roller 8 facing the outer peripheral surface 831 or a coating of a metal material may be formed. Good. In this case, the separate member and the coating function as a reflecting surface.
上記実施形態では、ローラ8の金属膜83がアルミニウムによって形成されている。しかしながら、本発明はこの形態に限定されない。例えば、金属膜83を、クロムメッキによって形成してもよい。この場合、アルミニウムによって形成した場合と比べて、膜状体M1との干渉による摩耗に対し、高い耐久性を発揮することが可能になる。 In the above embodiment, the metal film 83 of the roller 8 is made of aluminum. However, the present invention is not limited to this form. For example, the metal film 83 may be formed by chrome plating. In this case, it is possible to exhibit higher durability against wear due to interference with the film body M1, as compared with the case of being formed of aluminum.
1A,1B:評価装置
2:発信部
3:受信部
4:導波部材
40,40A,40B:導波路
50,50A,50B,60:反射面
51,51A,51B,61:入口側テーパ部
53,53A,53B,63:出口側テーパ部
7:演算部
8:ローラ
81:回転軸
831:外周面
91,93:入口側レンズ
92,94:出口側レンズ
M,M1:膜状体
1A, 1B: Evaluation device 2: Transmitter 3: Receiver 4: Waveguide members 40, 40A, 40B: Waveguides 50, 50A, 50B, 60: Reflective surfaces 51, 51A, 51B, 61: Inlet taper portion 53 , 53A, 53B, 63: outlet side taper portion 7: computing portion 8: roller 81: rotating shaft 831: outer peripheral surfaces 91, 93: inlet side lenses 92, 94: outlet side lenses M, M1: film-shaped body
Claims (7)
外周面によって膜状体を支持するとともに、回転軸を中心として回転することによって該膜状体を搬送するローラと、
電磁波を発信する発信部と、
前記発信部が発信した電磁波を受信する受信部と、
前記発信部と前記受信部との間に配置され、前記発信部が発信した電磁波を前記受信部側に導く導波部材と、
前記受信部によって受信された電磁波に基づいて所定の演算を行うことにより、膜状体の特性を導出する演算部と、を備え、
前記導波部材は、隙間を隔てて前記ローラの外周面と対向し、該外周面との間に導波路を形成する反射面を有し、
前記反射面は、前記発信部が発信した電磁波を、前記ローラの外周面との間で反射させながら前記受信部に導くように構成されており、
前記ローラの外周面、及び、前記導波部材の反射面は、金属材料によって形成され、
前記導波部材の反射面は、前記ローラの外周面との間の隙間が前記電磁波の波長以下に設定された平坦部を有していることを特徴とする評価装置。 An evaluation device for evaluating the characteristics of a film body,
A roller that supports the film-shaped body by the outer peripheral surface and conveys the film-shaped body by rotating around a rotation axis,
A transmitter that emits electromagnetic waves,
A receiver for receiving the electromagnetic waves transmitted by the transmitter,
A waveguide member that is disposed between the transmitter and the receiver, and guides the electromagnetic wave emitted by the transmitter to the receiver.
An arithmetic unit for deriving the characteristics of the film-shaped body by performing a predetermined arithmetic operation based on the electromagnetic wave received by the receiving unit,
The waveguide member has a reflecting surface facing the outer peripheral surface of the roller with a gap, and forming a waveguide between the outer peripheral surface and the reflecting surface.
The reflecting surface is configured to guide the electromagnetic wave emitted by the transmitting unit to the receiving unit while reflecting the electromagnetic wave with the outer peripheral surface of the roller ,
The outer peripheral surface of the roller and the reflecting surface of the waveguide member are formed of a metal material,
The evaluation device , wherein the reflection surface of the waveguide member has a flat portion in which a gap between the reflection member and the outer peripheral surface of the roller is set to be equal to or less than the wavelength of the electromagnetic wave .
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016208460A JP6729970B2 (en) | 2016-10-25 | 2016-10-25 | Evaluation device |
| JP2020112311A JP6926286B2 (en) | 2016-10-25 | 2020-06-30 | Evaluation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016208460A JP6729970B2 (en) | 2016-10-25 | 2016-10-25 | Evaluation device |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020112311A Division JP6926286B2 (en) | 2016-10-25 | 2020-06-30 | Evaluation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018072012A JP2018072012A (en) | 2018-05-10 |
| JP6729970B2 true JP6729970B2 (en) | 2020-07-29 |
Family
ID=62112689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016208460A Active JP6729970B2 (en) | 2016-10-25 | 2016-10-25 | Evaluation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6729970B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018124175A1 (en) * | 2018-10-01 | 2020-04-02 | Sikora Ag | Method and device for controlling a production plant for plate-like or strand-like bodies |
-
2016
- 2016-10-25 JP JP2016208460A patent/JP6729970B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2018072012A (en) | 2018-05-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190703 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200226 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200317 |
|
| A521 | Written amendment |
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|
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