JP6736643B2 - Multi-row lead frame, multi-row LED lead frame, manufacturing method thereof, and LED package manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、第1の帯状領域に備わる連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域と、を備えた、多列型リードフレーム、多列型LED用リードフレーム及びそれらの製造方法並びにLEDパッケージの製造方法に関する。 The present invention is positioned a first strip-like region having blocks in which the individual lead frame regions are arranged in a matrix are connected to the connecting portion, at least on both the outer side of the long sides of the first strip region, a second band-like region comprising a frame portion connected to the connecting portion provided in the first strip-like region, with a production of the multi-row leadframe, the leadframe and their preparation and LED package multi-row type LED Regarding the method.
従来、多列型リードフレームには、金属板に対しエッチング加工を行い、金属板から所定のリードフレーム形状を形成するとともに、必要なめっきを施すことにより製造されるタイプのものがある。 2. Description of the Related Art Conventionally, there is a multi-row lead frame of a type manufactured by etching a metal plate to form a predetermined lead frame shape from the metal plate and performing necessary plating.
このタイプの多列型リードフレームの製造では、例えば、金属板の表裏両面にドライフィルムレジストを貼付け、所定のパターンが形成されたマスクを用いて露光を行い、現像を行って金属板の表裏両面にエッチング用レジストマスクを形成し、エッチング処理により金属板を所望のリードフレーム形状に形成し、その後、金属板の表裏両面に形成されたエッチング用レジストマスクを除去し、めっき加工を行い、リードフレーム形状に形成された金属板の全面に同じめっき層を形成する。また、LEDパッケージ製品の製造に用いるLED用リードフレームの製造において、さらに、その後、反射樹脂を用いてリフレクタを形成する場合がある。 In the manufacture of this type of multi-row lead frame, for example, dry film resists are attached to both front and back surfaces of a metal plate, exposed using a mask with a predetermined pattern formed, and developed to develop both front and back surfaces of the metal plate. The resist mask for etching is formed on the metal plate, and the metal plate is formed into the desired lead frame shape by the etching process.After that, the resist mask for etching formed on both front and back surfaces of the metal plate is removed, and the plating process is performed. The same plating layer is formed on the entire surface of the metal plate formed in the shape. Further, in the production of the LED lead frame used for the production of the LED package product, the reflector may be subsequently used to form the reflector.
ところで、リードフレームの全面にめっき層を形成するタイプの多列型リードフレームの製造方法においては、半導体素子を搭載するパッド部や半導体素子の電極とのワイヤボンディングを行うリード部以外の箇所(例えば、個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、第1の帯状領域に備わる連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域)にもパッド部やリード部と同様にめっき層が形成されることになるため、パッド部やリード部の面に要求される反射特性や導電特性を持たせるための最表層のめっき層を構成する貴金属の使用量が増えてコスト高となるという問題がある。第2の帯状領域は、パッド部やリード部とは異なり、反射特性や導電特性を持たせる必要性がない。従って、このような第2の帯状領域に、最表層のめっき層を構成する貴金属を使用する分、無駄なコストが増えることになる。 By the way, in a method of manufacturing a multi-row lead frame of a type in which a plating layer is formed on the entire surface of a lead frame, a portion other than a lead portion for wire bonding with a pad portion for mounting a semiconductor element or an electrode of the semiconductor element (for example, a connecting portion for each of the lead frame area located outside the side of at least both of the long sides of the first strip-like region having blocks arranged with the connecting portion in a matrix, included in the first band-like region to become the pad portion and the lead portion as well as the plating layer in the second band-like region) that Do from the frame part to be connected is formed, the reflection characteristics and the conductive properties required for the surface of the pad portion and the lead portion There is a problem that the amount of the noble metal forming the outermost plating layer for increasing the amount used increases and the cost increases. Unlike the pad portion and the lead portion, the second strip-shaped region does not need to have a reflection characteristic or a conductive characteristic. Therefore, since the noble metal forming the outermost plating layer is used in such a second strip-shaped region, useless cost increases.
しかるに、従来、多列型LED用リードフレームの製造に際し、めっき層としての貴金属の使用量を削減する技術としては、例えば、次の特許文献1に記載されたものがある。
However, conventionally, as a technique for reducing the amount of the noble metal used as the plating layer when manufacturing a lead frame for a multi-row LED, there is, for example, one described in
特許文献1に記載のものには、多列型LED用リードフレームの製造において、金属板の表裏両面にエッチング用レジストマスクを形成し、エッチング加工を行い、金属板を所定のリードフレーム形状に形成した後、金属板の表裏それぞれに異なる電流によって貴金属めっき層を形成することで、LED素子搭載領域を有する表面側のめっき層に比べて裏面側のめっき層の厚みを薄くすることが提案されている。
In the manufacturing method of a lead frame for a multi-row LED, the one described in
しかし、特許文献1に記載の金属板の表裏それぞれに異なる電流によって貴金属めっき層を形成することで、LED素子搭載領域を有する表面側のめっき層に比べて裏面側のめっき層の厚みを薄くする技術では、LED素子搭載領域を有する表面側のめっき層において、パッド部やリード部以外の箇所の反射特性を持たせるための最表層のめっき層を構成する貴金属の使用量が増えてコスト高となるという問題を解消できない。また、特許文献1に記載の技術では、個々のリードフレーム領域が連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、第1の帯状領域に備わる連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域に形成される貴金属めっき層の削減余地が残されている。
However, by forming the noble metal plating layer on the front and back sides of the metal plate described in
第2の帯状領域は、リードフレーム領域のブロックを有する第1の帯状領域の外側に位置する。しかるに、電着めっきには、構造物の外周付近のめっき厚が厚くなり易いという特性があるため、第2の帯状領域は、めっき厚が厚くなり易い。その結果、多列型リードフレームの製造において、最表層に貴金属めっきを施した場合、第2の帯状領域に形成される、最表層のめっき層を構成する貴金属を使用する分の無駄なコストが大きくなり易い。
また、この第2の帯状領域のめっき厚が個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域のめっき厚よりも厚くなると、LEDパッケージ製品の製造に用いるLED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ形成工程で樹脂形成金型を金属板にクランプしたときに、第1の帯状領域に備わる個々のリードフレーム領域における表面側のパッド部及びリード部の面と金型との間に隙間を生じる虞がある。そして、第1の帯状領域に備わる個々のリードフレーム領域における表面側のパッド部及びリード部のめっき厚が第2の帯状領域のめっき厚より薄くなる分の隙間に沿ってリフレクタ樹脂のバリが生じて、個々のリードフレーム領域における反射面として機能する、LED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の面の一部を覆い、LED素子の組み込まれたLEDパッケージに輝度低下などの悪影響を及ぼす虞がある。
The second strip-shaped region is located outside the first strip-shaped region having the block of the lead frame region. However, since the electrodeposition plating has a characteristic that the plating thickness near the outer periphery of the structure is likely to be large, the second strip-shaped region is likely to be thick. As a result, in the production of the multi-row lead frame, when the noble metal plating is applied to the outermost layer, the useless cost of using the noble metal forming the outermost plated layer formed in the second strip-shaped region is reduced. Easy to grow.
Further, when the plating thickness of the second strip-shaped region becomes thicker than the plating thickness of the first strip-shaped region having the blocks in which the individual lead frame regions are arranged in a matrix, the LED leads used in the manufacture of the LED package product. In the case of manufacturing a frame, when the resin forming die is clamped on the metal plate in the reflector forming step, the surface of the pad portion and the lead portion on the front surface side of the individual lead frame regions provided in the first strip-shaped region and the die There is a risk of creating a gap between Then, burrs of the reflector resin occur along the gaps where the plating thickness of the pad portion and the lead portion on the front surface side in each lead frame region provided in the first strip-shaped region becomes thinner than the plating thickness of the second strip-shaped region. Cover part of the surface of the pad portion on the front side on which the LED element is mounted and the surface of the lead portion, which functions as a reflection surface in each lead frame area, and adversely affects the LED package incorporating the LED element such as a decrease in brightness. May affect.
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、最表層のめっき層を構成する貴金属の電着量を極力削減してコストを極力低減し、且つ、LEDパッケージ製品の製造に用いるLED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ樹脂のバリ発生を防止してLED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の反射面としての機能を良好に保つことが可能な多列型リードフレーム、多列型LED用リードフレーム及びそれらの製造方法並びにLEDパッケージの製造方法を提供することを目的としている。 The present invention, such has been made in view of the problems, as much as possible to reduce the cost by reducing the electrodeposition of noble metal constituting the plating layer of the outermost layer as much as possible, and, in the manufacture of the LED package products When manufacturing a lead frame for an LED to be used, it is a multi-row type capable of preventing the occurrence of burrs of the reflector resin and keeping the functions of the pad portion on the front surface on which the LED element is mounted and the reflection surface of the lead portion excellent. An object of the present invention is to provide a lead frame, a multi-row LED lead frame, manufacturing methods thereof, and an LED package manufacturing method.
上記の目的を達成するために、本発明による多列型リードフレームは、個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、前記第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、該第1の帯状領域に備わる前記連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域と、を備えた多列型リードフレームにおいて、リードフレーム基材をなす金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有し、半導体素子を搭載する表面側の前記積層めっき層は、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、外部と接続する裏面側の前記積層めっき層は、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、前記表面側、前記裏面側の夫々における、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みは、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みに比べて薄いことを特徴としている。 To achieve the above object, a multi-row lead frame according to the present invention includes a first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are connected to a connecting portion and arranged in a matrix, and the first strip-shaped region. At least both located outside the side of the long side, multi-row leadframe odor with a second strip-like region comprising a frame portion connected to said connecting portion provided in the strip-like regions of the first, the strip-like region of A laminated plating layer formed by electrolytic processing on the entire front and back surfaces and side surfaces of the metal plate forming the lead frame base material, with the same metal combination and stacking order, and the outermost plating layer being a noble metal plating layer. In the laminated plating layer on the front surface side on which the semiconductor element is mounted , the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the entire area of the second strip-shaped area is the entire area of the first strip-shaped area. The laminated plating layer on the back surface side that is thinner than the thickness of the formed noble metal plated layer of the outermost layer and is connected to the outside is the noble metal plated layer of the outermost layer formed over the entire second strip-shaped region. The thickness is smaller than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on the entire area of the first strip-shaped region, and is formed on the entire area of the second strip-shaped area on each of the front surface side and the back surface side. The thickness of the laminated plating layer formed is smaller than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region.
また、本発明による多列型リードフレームは、個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、前記第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、前記第1の帯状領域に備わる前記連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域と、を備えた多列型リードフレームにおいて、リードフレーム基材をなす金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有し、前記積層めっき層における前記最表層の貴金属めっき層以外のめっき層は、前記金属板の全面にわたって等しい厚みを有し、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層と、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層とが等しい厚みを有し、前記表面側、前記裏面側の夫々における、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みは、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、前記裏面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みと、前記表面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みとが等しい、ことを特徴としている。 Further, the multi-row lead frame according to the present invention includes a first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are connected to a connecting portion and arranged in a matrix, and at least both of the first strip-shaped region . located outside the side of the long side, and the second band-like region comprising a frame portion connected to the first of the connecting portions provided in the strip-like regions, Te multi-row leadframe odor with a lead frame base material Formed on both the front and back sides and the entire side surface of the eggplant metal plate, the combination of metals formed by electrolytic processing and the stacking order are the same, and the outermost plating layer has a laminated plating layer consisting of a noble metal plating layer. The plating layers other than the noble metal plating layer of the outermost layer in the layer have the same thickness over the entire surface of the metal plate, and the outermost layer of the outermost layer formed on the entire surface of the first strip-shaped region on the front surface side of the metal plate. The noble metal plating layer and the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate have the same thickness, and each of the front surface side and the back surface side, The thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire second strip-shaped region is smaller than the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire first strip-shaped region, and the thickness of the formed whole area of the second strip-like region of the back side outermost layer of the noble metal plating layer, the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the entire area of the second strip-like region of said surface side It is characterized by having the same thickness.
また、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記積層めっき層は、Ni/Pd/Au/Agの順に形成されためっき層であるのが好ましい。 Further, in the multi-row lead frame of the present invention, the laminated plating layer is preferably a plating layer formed in the order of Ni/Pd/Au/Ag.
また、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記積層めっき層は、Cu/Agの順に形成されためっき層またはNiを含む積層めっき層であるのが好ましい。 Further, in the multi-row lead frame of the present invention, the laminated plating layer is preferably a plated layer formed in the order of Cu/Ag or a laminated plating layer containing Ni.
また、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記Niを含む積層めっき層は、Ni/Au、Ni/Ag、Ni/Au/AgまたはNi/Pd/Auの順に形成されためっき層であるのが好ましい。 Further, in the multi-row lead frame of the present invention, the laminated plating layer containing Ni is a plating layer formed in the order of Ni/Au, Ni/Ag, Ni/Au/Ag or Ni/Pd/Au. Is preferred.
また、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みより薄い場合に、前記裏面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みは、前記表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みに比べて薄いのが好ましい。 Further, in the multi-row lead frame of the present invention, the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate is equal to that on the front surface side of the metal plate. When the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire first strip-shaped region is smaller than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped region on the back surface side, It is preferable that the thickness is smaller than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the front surface side.
また、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みと、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みとが等しい場合に、前記裏面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みは、前記表面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みと等しいのが好ましい。 Also, in the multi-row lead frame of the present invention, the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate and the thickness of the front surface side of the metal plate. When the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the first strip-shaped region is equal, the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire second strip-shaped region on the back surface side Is preferably equal to the thickness of the outermost noble metal plating layer formed on the entire surface of the second strip-shaped region on the front surface side.
また、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みより薄い場合に、前記表面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みは、前記裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みに比べて薄いのが好ましい。 Further, in the multi-row lead frame of the present invention, the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate is equal to that on the front surface side of the metal plate. When the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire first strip-shaped region is smaller than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped region on the front surface side, It is preferable that the thickness is smaller than the thickness of the laminated plating layer formed on the entire region of the first strip-shaped region on the back surface side.
なお、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みより薄い場合に、前記金属板の半導体素子搭載とワイヤボンディングを行う表面側の第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚さに対し、外部機器へ半田接続する裏面側の第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚さが50%〜90%、好ましくは70%、表面側の第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚さが26%〜49%、好ましくは30%、裏面側の第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚さが5%〜25%、好ましくは20%であるのが良い。 In the multi-row lead frame of the present invention, the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate is equal to that on the front surface side of the metal plate. If thinner than the thickness of said first strip-like region the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the entire area of, forming a first whole area of the strip-like regions of the surface side to perform the semiconductor element mounting and wire bonding of the metal plate With respect to the thickness of the laminated plating layer formed, the thickness of the laminated plating layer formed over the entire first strip-shaped region on the back surface side to be solder-connected to the external device is 50% to 90%, preferably 70% The thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped area on the side is 26% to 49%, preferably 30%, and the thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped area on the back surface side. Is 5% to 25%, preferably 20%.
更には、本発明の多列型リードフレームにおいては、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みと、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みとが等しい場合に、前記表面側、前記裏面側の夫々における、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚さに対し、前記表面側、前記裏面側の夫々における、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚さが5%〜49%、好ましくは30%であるのが良い。 Furthermore, in the multi-row lead frame of the present invention, the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate, and the front surface side of the metal plate. When the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire area of the first strip-shaped area is equal to the entire area of the first strip-shaped area on the front surface side and the back surface side, respectively. With respect to the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the entire area of the second strip region on the front surface side and the back surface side is 5%. It is good to be 49%, preferably 30%.
また、本発明による多列型LED用リードフレームは、上記本発明のいずれかの多列型リードフレームと、前記多列型リードフレームと一体に形成されるリフレクタ樹脂部とを備え、上面側に、前記リフレクタ樹脂部からなる内側面と前記リードフレーム領域が前記リフレクタ樹脂部から露出した内底面とで形成される複数の凹部を備えることを特徴としている。 A multi-row LED lead frame according to the present invention includes the multi-row lead frame according to any one of the above-mentioned present inventions and a reflector resin portion integrally formed with the multi-row lead frame. , A plurality of recesses formed by an inner side surface formed of the reflector resin portion and the inner bottom surface of the lead frame region exposed from the reflector resin portion.
また、本発明によるLEDパッケージの製造方法は、上記本発明の多列型LED用リードフレームを準備する工程と、前記多列型LED用リードフレームの前記凹部にLED素子を載置する工程と、前記LED素子が載置された前記多列型LED用リードフレームを個片化し、複数のLEDパッケージを得る工程と、を備えることを特徴としている。 Further, a method for manufacturing an LED package according to the present invention comprises a step of preparing the multi-row LED lead frame of the present invention, and a step of mounting an LED element in the recess of the multi-row LED lead frame, And a step of obtaining a plurality of LED packages by dividing the multi-row LED lead frame on which the LED elements are mounted into individual pieces.
また、本発明による多列型リードフレームの製造方法は、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域に形成する前記最表層の貴金属めっき層の厚みを、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域に形成する前記最表層の貴金属めっき層の厚みより薄くする場合に用いる、個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、前記第1の帯状領域の少なくとも長辺両側に第2の帯状領域を備えた多列型リードフレームの製造方法であって、リードフレーム基材をなす金属板の両面に、前記第1の帯状領域に個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応したエッチング用のレジストマスクを形成する工程と、エッチング加工を行い、前記金属板に前記多列型リードフレーム形状を形成する工程と、前記金属板の両面の前記レジストマスクを除去する工程と、前記金属板の全面に所定の電解加工により所定のめっき層を形成する工程と、前記金属板の一方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板を配置し、第1のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して、前記金属板の一方の面側の積層めっき層を完成させるとともに、前記金属板の他方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板を配置し、前記第1のアノードとは表面積が異なる第2のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して前記金属板の他方の面側の積層めっき層を完成させる工程と、を有することを特徴としている。 Further, in the method for manufacturing a multi-row lead frame according to the present invention, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate is set to the thickness on the front surface side of the metal plate. A first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are arranged in a matrix, which is used when making the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the first strip-shaped region, A method for manufacturing a multi-row lead frame comprising second strip-shaped regions at least on both sides of a long side of the strip-shaped region, wherein individual leads are provided in the first strip-shaped region on both sides of a metal plate that forms a lead frame base material. A step of forming a resist mask for etching corresponding to a predetermined multi-row lead frame shape having a block in which a frame region is arranged in a matrix, and an etching process is performed to form the multi-row lead frame shape on the metal plate. Forming, a step of removing the resist mask on both sides of the metal plate, a step of forming a predetermined plating layer on the entire surface of the metal plate by a predetermined electrolytic processing, one surface side of the metal plate , A first shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is disposed, and an outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the first anode. While completing the laminated plating layer on one surface side, a second shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is arranged on the other surface side of the metal plate, Forming the outermost noble metal plating layer by electrolytic processing using a second anode having a surface area different from that of the first anode to complete the laminated plating layer on the other surface side of the metal plate. It has a feature.
また、本発明による多列型リードフレームの製造方法は、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域に形成する前記最表層の貴金属めっき層の厚みと、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域に形成する前記最表層の貴金属めっき層の厚みとを等しくする場合に用いる、個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、前記第1の帯状領域の少なくとも長辺両側に第2の帯状領域を備えた多列型リードフレームの製造方法であって、リードフレーム基材をなす金属板の両面に、前記第1の帯状領域に個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応したエッチング用のレジストマスクを形成する工程と、エッチング加工を行い、前記金属板に前記多列型リードフレーム形状を形成する工程と、前記金属板の両面の前記レジストマスクを除去する工程と、前記金属板の全面に所定の電解加工により所定のめっき層を形成する工程と、前記金属板の一方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板を配置し、第1のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して、前記金属板の一方の面側の積層めっき層を完成させるとともに、前記金属板の他方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板を配置し、前記第1のアノードと表面積及び前記金属板からの距離が等しい第2のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して前記金属板の他方の面側の積層めっき層を完成させる工程と、を有することを特徴としている。 Further, the method for manufacturing a multi-row lead frame according to the present invention, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate, and the thickness of the front surface side of the metal plate A first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are arranged in a matrix, which is used when the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the first strip-shaped region is made equal; A method for manufacturing a multi-row lead frame having second strip-shaped regions on at least both sides of a long side of the strip-shaped region, the method comprising: A step of forming a resist mask for etching corresponding to a predetermined multi-row lead frame shape having blocks in which lead frame regions are arranged in a matrix, and an etching process for forming the multi-row lead frame on the metal plate. A step of forming a shape, a step of removing the resist masks on both sides of the metal plate, a step of forming a predetermined plating layer on the entire surface of the metal plate by a predetermined electrolytic processing, and one surface of the metal plate On the side, a first shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is arranged, and an outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the first anode, Completing the laminated plating layer on one surface side of the plate, and disposing a second shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region on the other surface side of the metal plate, The outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the second anode having the same surface area and the same distance from the metal plate as the first anode to complete the laminated plating layer on the other surface side of the metal plate. And a process.
本発明によれば、最表層のめっき層を構成する貴金属の電着量を極力削減してコストを極力低減し、且つ、LEDパッケージ製品の製造に用いるLED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ樹脂のバリ発生を防止してLED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の反射面としての機能を良好に保つことが可能な多列型リードフレーム、多列型LED用リードフレーム及びそれらの製造方法並びにLEDパッケージの製造方法が得られる。 According to the present invention, the electrodeposition of noble metal constituting the plating layer of the outermost layer as much as possible reduced as much as possible reduce the cost, and, in the case of manufacturing a lead frame for an LED used in the production of the LED package products, A multi-row lead frame, a multi-row LED lead frame and a multi-row LED lead frame capable of preventing the burr generation of the reflector resin and favorably maintaining the functions of the pad portion and the lead portion on the front surface side on which the LED elements are mounted. A manufacturing method thereof and an LED package manufacturing method can be obtained.
実施形態の説明に先立ち、本発明の作用効果について説明する。 Prior to the description of the embodiments, the effects of the present invention will be described.
本発明の第1の形態の多列型リードフレームは、個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、第1の帯状領域に備わる連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域と、を備えた多列型リードフレームにおいて、リードフレーム基材をなす金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有し、半導体素子を搭載する表面側の積層めっき層は、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、外部と接続する裏面側の積層めっき層は、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みは、第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みに比べて薄い構成となっている。
本発明の第1の形態の多列型リードフレームは、金属板の裏面側の第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、金属板の表面側の第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄い多列型リードフレームに好適である。
In the multi-row lead frame according to the first aspect of the present invention, at least a first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are connected to a connecting portion and arranged in a matrix, and at least the first strip-shaped region located outside the side of both long sides, and a second strip-like region comprising a frame portion connected to the connecting portion provided in the first strip-like region, Te multi-row leadframe odor with a lead frame base material Formed by electrolytic processing, the combination of metals and the order of lamination are the same, the outermost plating layer has a laminated plating layer consisting of a noble metal plating layer, and the semiconductor element The thickness of the outermost noble metal plating layer formed in the entire second strip-shaped region is equal to the thickness of the outermost noble metal plating layer formed in the entire first strip-shaped region in the laminated plating layer on the front surface side. In the laminated plating layer on the back surface side which is thinner than that of the above , the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the entire second strip-shaped region is the maximum thickness formed in the entire first strip-shaped region. thinner than the thickness of the surface layer of the noble metal plating layer, the surface side, the people back side of the husband, the thickness of the laminated plating layer formed on the whole area of the second strip-like region is formed in the entire area of the first strip region The structure is thinner than the thickness of the laminated plating layer.
The first multi-row leadframe in the form of the invention, the thickness of the back side first outermost layer of the noble metal plating layer formed on the whole area of the strip-like regions of the metallic plate, the surface side of the metallic plate it is suitable for thin multi-row leadframe than the thickness of the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the whole area of the first strip region.
本発明の第1の形態の多列型リードフレームのように、半導体素子を搭載する表面側の積層めっき層を、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、外部と接続する裏面側の積層めっき層が、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みに比べて薄い構成とすれば、パッド部やリード部の面に要求される反射特性や導電特性を持たせるための最表層のめっき層を構成する貴金属の使用量を大幅に低減することができる。そして、裏面側の第1の帯状領域の全域に形成される積層めっき層の厚みが、表面側の第1の帯状領域の全域に形成される積層めっき層の厚みに比べて薄い構成とすることで、最表層のめっき層を構成する貴金属の電着量を極力削減して、コストを極力低減することができるようになる。 As in the first multi-row leadframe in the form of the present invention, a laminated plating layer on the surface side for mounting the semiconductor element, the thickness of the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the whole area of the second strip-shaped regions The laminated plating layer on the back surface side that is connected to the outside and is thinner than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire first strip-shaped region is the outermost layer formed over the entire second strip-shaped region. the thickness of the precious metal plating layer is thinner than the thickness of the first strip-like region uppermost layer of the precious metal plating layer formed on the entire surface side, the back side of each, formed on the entire area of the second strip-shaped regions If the thickness of the laminated plating layer formed is thinner than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire first strip-shaped region , the reflection characteristics and the conductive characteristics required for the surface of the pad portion and the lead portion are obtained. It is possible to significantly reduce the amount of the noble metal that constitutes the outermost plating layer for providing the above. The thickness of the laminated plating layer formed over the entire first strip-shaped region on the back surface side is smaller than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire first strip-shaped region on the front surface side. in, to reduce the electrodeposition of noble metal constituting the plating layer of the outermost layer as much as possible, so the cost to be reduced as much as possible.
また、本発明の第1の形態の多列型リードフレームのように、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みに比べて薄い構成とすれば、LEDパッケージ製品の製造に用いる多列型LED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ形成工程で樹脂形成金型を金属板にクランプしたときに、第1の帯状領域に備わる個々のリードフレーム領域における表面側のパッド部及びリード部の面と樹脂形成金型との間に隙間が生じる虞がなく、個々のリードフレーム領域における表面側のパッド部及びリード部側にリフレクタ樹脂のバリが生じない。その結果、リフレクタ樹脂のバリがLED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の面の一部を覆ってLED素子の組み込まれたLEDパッケージに輝度低下などの悪影響を及ぼす虞がなく、LED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の反射面としての機能を良好に保つことができる。 Further, as in the multi-row lead frame of the first embodiment of the present invention, the thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped region on each of the front surface side and the back surface side is the first strip-shaped area. If the structure is thinner than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire area , the resin forming mold is used in the reflector forming step in the case of manufacturing the multi-row LED lead frame used for manufacturing the LED package product. When clamped on a metal plate, there is no possibility that a gap will occur between the surface of the pad portion and the surface of the lead portion in the individual lead frame regions provided in the first strip-shaped region and the resin forming mold, Burrs of the reflector resin do not occur on the pad portion and the lead portion side on the front surface side in the frame region. As a result, there is no possibility that the burr of the reflector resin may cover the pad portion on the front surface side on which the LED element is mounted and part of the surface of the lead portion, and may adversely affect the LED package incorporating the LED element such as a decrease in brightness. It is possible to favorably maintain the functions of the pad portion and the lead portion on the front surface side on which the element is mounted as the reflecting surface.
なお、本発明の第1の形態の多列型リードフレームにおいては、好ましくは、積層めっき層を、Ni/Pd/Au/Agの順に形成されためっき層で構成する。また、好ましくは、積層めっき層は、Cu/Agの順に形成されためっき層またはNiを含む積層めっき層で構成する。さらに、好ましくは、Niを含む積層めっき層は、Ni/Au、Ni/Ag、Ni/Au/AgまたはNi/Pd/Auの順に形成されためっき層で構成する。
また、本発明の第1の形態の多列型リードフレームにおいては、好ましくは、裏面側の第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みが、表面側の第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みに比べて薄い構成とする。
また、本発明の第1の形態の多列型リードフレームにおいては、好ましくは、表面側の第2の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みが、裏面側の第1の帯状領域の全域に形成された積層めっき層の厚みに比べて薄い構成とする。
In the multi-row lead frame according to the first aspect of the present invention, preferably, the laminated plating layer is composed of plating layers formed in the order of Ni/Pd/Au/Ag. Further, preferably, the laminated plating layer is formed of a Cu/Ag plated layer or a Ni-containing laminated plating layer. Further, preferably, the Ni-containing laminated plating layer is composed of a plating layer formed in the order of Ni/Au, Ni/Ag, Ni/Au/Ag or Ni/Pd/Au.
Further, in the multi-row lead frame of the first aspect of the present invention, preferably, the thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped region on the back surface side is equal to the first strip-shaped region on the front surface side. The thickness is thinner than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire area .
In the multi-row lead frame according to the first aspect of the present invention, preferably, the thickness of the laminated plating layer formed over the entire second strip-shaped region on the front surface side is equal to the first strip-shaped region on the back surface side. The thickness is thinner than the thickness of the laminated plating layer formed over the entire area .
このような本発明の第1の形態の多列型リードフレームは、リードフレーム基材をなす金属板の両面に、第1の帯状領域に個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応したエッチング用のレジストマスクを形成する工程と、エッチング加工を行い、金属板に多列型リードフレーム形状を形成する工程と、金属板の両面のレジストマスクを除去する工程と、金属板の全面に所定の電解加工により所定のめっき層を形成する工程と、金属板の一方の面側に、第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板を配置し、第1のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して、金属板の一方の面側の積層めっき層を完成させるとともに、金属板の他方の面側に、第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板を配置し、第1のアノードとは表面積が異なる第2のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して金属板の他方の面側の積層めっき層を完成させる工程と、を有することによって製造可能である。 In the multi-row lead frame according to the first embodiment of the present invention, blocks in which individual lead frame regions are arranged in a matrix in the first strip-shaped region are formed on both surfaces of the metal plate that forms the lead frame base material. A step of forming a resist mask for etching corresponding to a predetermined multi-row lead frame shape, a step of performing etching processing to form a multi-row lead frame shape on a metal plate, and a resist mask on both sides of the metal plate A step of removing a predetermined plating layer on the entire surface of the metal plate by a predetermined electrolytic processing, and a step of shielding only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region on one surface side of the metal plate. 1 shield plate is arranged, the outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the first anode to complete the laminated plating layer on one surface side of the metal plate, and the other of the metal plate A second shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is arranged on the surface side, and the noble metal of the outermost layer is formed by electrolytic processing using a second anode having a surface area different from that of the first anode. And a step of forming a plating layer to complete the laminated plating layer on the other surface side of the metal plate.
また、本発明の第1の形態の多列型リードフレームは、多列型リードフレームと一体に形成されるリフレクタ樹脂部とを備え、上面側に、リフレクタ樹脂部からなる内側面とリードフレーム領域がリフレクタ樹脂部から露出した内底面とで形成される複数の凹部を備える多列型LED用リードフレームとして構成することができる。 The multi-row lead frame according to the first embodiment of the present invention includes a multi-row lead frame and a reflector resin portion that is formed integrally with the multi-row lead frame, and the inner surface of the reflector resin portion and the lead frame region are provided on the upper surface side. Can be configured as a multi-row LED lead frame having a plurality of recesses formed by the inner bottom surface exposed from the reflector resin portion.
また、本発明の第1の形態のLEDパッケージは、本発明の第1の形態の多列型LED用リードフレームを準備する工程と、前記多列型LED用リードフレームの前記凹部にLED素子を載置する工程と、前記LED素子が載置された前記多列型LED用リードフレームを個片化し、複数のLEDパッケージを得る工程と、を備えることによって製造可能である。 The LED package according to the first aspect of the present invention includes a step of preparing the multi-row LED lead frame according to the first aspect of the present invention, and an LED element in the recess of the multi-row LED lead frame. It can be manufactured by including a step of mounting and a step of dividing the multi-row LED lead frame on which the LED elements are mounted into individual pieces to obtain a plurality of LED packages.
従って、本発明の第1の形態によれば、最表層のめっき層を構成する貴金属の電着量を極力削減してコストを極力低減し、且つ、LEDパッケージ製品の製造に用いるLED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ樹脂のバリ発生を防止してLED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の反射面としての機能を良好に保つことが可能な多列型リードフレーム、多列型LED用リードフレーム及びそれらの製造方法並びにLEDパッケージの製造方法が得られる。 Therefore, according to the first embodiment of the present invention, as much as possible to reduce the cost by reducing the electrodeposition of noble metal constituting the plating layer of the outermost layer as much as possible, and, LED lead used in the manufacture of the LED package products When manufacturing a frame, a multi-row lead frame capable of preventing the occurrence of burrs of the reflector resin and keeping the functions of the pad portion and the lead portion on the front surface on which the LED element is mounted as the reflecting surface in good condition, A lead frame for a row type LED, a manufacturing method thereof, and a manufacturing method of an LED package are obtained.
また、本発明の第2の形態の多列型リードフレームは、個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する第1の帯状領域と、第1の帯状領域の少なくとも両方の長辺の外側に位置し、第1の帯状領域に備わる連結部と接続する枠部からなる第2の帯状領域と、を備えた多列型リードフレームにおいて、リードフレーム基材をなす金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有し、積層めっき層における最表層の貴金属めっき層以外のめっき層は、金属板の全面にわたって等しい厚みを有し、金属板の表面側の第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層と、金属板の裏面側の第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層とが等しい厚みを有し、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みは、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、裏面側の第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みと、表面側の第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みとが等しい構成となっている。
本発明の第2の形態の多列型リードフレームは、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みと、前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みとが等しい多列型リードフレームに適用できる。
In the multi-row lead frame according to the second aspect of the present invention, a first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are connected to a connecting portion and arranged in a matrix, and a first strip-shaped region are provided. At least both located outside the side of the long side, Te second band-like region and the multi-row leadframe odor with consisting of frame portions connecting the connecting portion provided in the first strip-like region, a lead frame group On the front and back surfaces and the entire side surface of the metal plate forming the material, the combination of metals formed by electrolytic processing and the order of lamination are the same, and the outermost plating layer has a laminated plating layer consisting of a noble metal plating layer. The plating layers other than the noble metal plating layer on the outermost surface of the plating layer have the same thickness over the entire surface of the metal plate, and are the same as the noble metal plating layer on the outermost surface formed in the entire first strip-shaped region on the front surface side of the metal plate. , The outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped area on the back surface side of the metal plate has the same thickness, and is formed over the entire area of the second strip-shaped area on the front surface side and the back surface side, respectively. has been the thickness of the outermost layer of the noble metal plating layer is thinner than the thickness of the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the whole area of the first strip-like region, which is formed on the entire area of the second strip-like region of the back side The thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer is equal to the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire second strip-shaped region on the front surface side.
A multi-row lead frame according to a second mode of the present invention is the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region on the back surface side of the metal plate, and the surface of the metal plate. The present invention can be applied to a multi-row lead frame in which the thickness of the outermost noble metal plating layer formed over the entire first strip-shaped region on the side is equal.
本発明の第2の形態の多列型リードフレームのように、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄い構成とすれば、パッド部やリード部の面に要求される反射特性や導電特性を持たせるための最表層のめっき層を構成する貴金属の使用量を大幅に低減することができるようになる。 As in the multi-row lead frame of the second embodiment of the present invention, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire second strip-shaped region on each of the front surface side and the back surface side is If the structure is thinner than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire band area, the plating of the outermost layer is required to give the reflection and conductive characteristics required for the pad and lead surfaces. The amount of precious metal constituting the layer can be significantly reduced.
また、本発明の第2の形態の多列型リードフレームのように、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域の全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄い構成とすれば、LEDパッケージ製品の製造に用いる多列型LED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ形成工程で樹脂形成金型を金属板にクランプしたときに、第1の帯状領域に備わる個々のリードフレーム領域における表面側のパッド部及びリード部の面と樹脂形成金型との間に隙間が生じる虞がなく、個々のリードフレーム領域における表面側のパッド部及びリード部側にリフレクタ樹脂のバリが生じない。その結果、リフレクタ樹脂のバリがLED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の面の一部を覆ってLED素子の組み込まれたLEDパッケージに輝度低下などの悪影響を及ぼす虞がなく、LED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の反射面としての機能を良好に保つことができる。 Further, as in the multi-row lead frame of the second aspect of the present invention, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on the entire front surface side and the back surface side of the second strip-shaped region is In the case of manufacturing a lead frame for a multi-row LED used for manufacturing an LED package product, a reflector forming step can be performed if the structure is thinner than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire strip-shaped region of 1. When the resin-forming die is clamped to the metal plate by the above method, a gap may occur between the resin-forming die and the surface of the pad portion and the lead portion on the front surface side in each lead frame region provided in the first strip-shaped region. Therefore, the burr of the reflector resin does not occur on the pad portion on the front surface side and the lead portion side in each lead frame region. As a result, there is no possibility that the burr of the reflector resin may cover the pad portion on the front surface side on which the LED element is mounted and part of the surface of the lead portion, and may adversely affect the LED package incorporating the LED element such as a decrease in brightness. It is possible to favorably maintain the functions of the pad portion and the lead portion on the front surface side on which the element is mounted as the reflecting surface.
なお、本発明の第2の形態の多列型リードフレームにおいては、好ましくは、積層めっき層を、Ni/Pd/Au/Agの順に形成されためっき層で構成する。また、好ましくは、積層めっき層は、Cu/Agの順に形成されためっき層またはNiを含む積層めっき層で構成する。さらに、好ましくは、Niを含む積層めっき層は、Ni/Au、Ni/Ag、Ni/Au/AgまたはNi/Pd/Auの順に形成されためっき層で構成する。 In the multi-row lead frame of the second aspect of the present invention, preferably, the laminated plating layer is composed of plating layers formed in the order of Ni/Pd/Au/Ag. Further, preferably, the laminated plating layer is formed of a Cu/Ag plated layer or a Ni-containing laminated plating layer. Further, preferably, the Ni-containing laminated plating layer is composed of a plating layer formed in the order of Ni/Au, Ni/Ag, Ni/Au/Ag or Ni/Pd/Au.
このような本発明の第2の形態の多列型リードフレームは、リードフレーム基材をなす金属板の両面に、第1の帯状領域に個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応したエッチング用のレジストマスクを形成する工程と、エッチング加工を行い、金属板に多列型リードフレーム形状を形成する工程と、金属板の両面のレジストマスクを除去する工程と、金属板の全面に所定の電解加工により所定のめっき層を形成する工程と、金属板の一方の面側に、第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板を配置し、第1のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して、金属板の一方の面側の積層めっき層を完成させるとともに、金属板の他方の面側に、第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板を配置し、第1のアノードと表面積及び金属板からの距離が等しい第2のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して金属板の他方の面側の積層めっき層を完成させる工程と、を有することによって製造可能である。 In the multi-row lead frame according to the second embodiment of the present invention, blocks in which the individual lead frame regions are arranged in a matrix in the first strip-shaped region are formed on both surfaces of the metal plate forming the lead frame base material. A step of forming a resist mask for etching corresponding to a predetermined multi-row lead frame shape, a step of performing etching processing to form a multi-row lead frame shape on a metal plate, and a resist mask on both sides of the metal plate A step of removing a predetermined plating layer on the entire surface of the metal plate by a predetermined electrolytic processing, and a step of shielding only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region on one surface side of the metal plate. 1 shield plate is arranged, the outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the first anode to complete the laminated plating layer on one surface side of the metal plate, and the other of the metal plate On the surface side, a second shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is arranged, and electrolytic processing using the second anode having the same surface area and distance from the metal plate as the first anode is used. And a step of forming the outermost noble metal plating layer to complete the laminated plating layer on the other surface side of the metal plate.
また、本発明の第2の形態の多列型リードフレームは、多列型リードフレームと一体に形成されるリフレクタ樹脂部とを備え、上面側に、リフレクタ樹脂部からなる内側面とリードフレーム領域がリフレクタ樹脂部から露出した内底面とで形成される複数の凹部を備える多列型LED用リードフレームとして構成することができる。 Further, a multi-row lead frame according to a second aspect of the present invention includes a multi-row lead frame and a reflector resin portion that is integrally formed with the multi-row lead frame, and an inner surface formed of the reflector resin portion and a lead frame region on the upper surface side. Can be configured as a multi-row LED lead frame having a plurality of recesses formed by the inner bottom surface exposed from the reflector resin portion.
また、本発明の第2の形態のLEDパッケージは、本発明の第1の形態の多列型LED用リードフレームを準備する工程と、前記多列型LED用リードフレームの前記凹部にLED素子を載置する工程と、前記LED素子が載置された前記多列型LED用リードフレームを個片化し、複数のLEDパッケージを得る工程と、を備えることによって製造可能である。 Moreover, the LED package of the second aspect of the present invention comprises a step of preparing the lead frame for a multi-row LED of the first aspect of the present invention, and an LED element in the recess of the lead frame for a multi-row LED. It can be manufactured by including a step of mounting and a step of dividing the multi-row LED lead frame on which the LED elements are mounted into individual pieces to obtain a plurality of LED packages.
従って、本発明の第2の形態によれば、最表層のめっき層を構成する貴金属の電着量を極力削減してコストを極力低減し、且つ、LEDパッケージ製品の製造に用いるLED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ樹脂のバリ発生を防止してLED素子を搭載する表面側のパッド部及びリード部の反射面としての機能を良好に保つことが可能な多列型リードフレーム、多列型LED用リードフレーム及びそれらの製造方法並びにLEDパッケージの製造方法が得られる。 Therefore, according to the second embodiment of the present invention, as much as possible to reduce the cost by reducing the electrodeposition of noble metal constituting the plating layer of the outermost layer as much as possible, and, LED lead used in the manufacture of the LED package products When manufacturing a frame, a multi-row lead frame capable of preventing the occurrence of burrs of the reflector resin and keeping the functions of the pad portion and the lead portion on the front surface on which the LED element is mounted as the reflecting surface in good condition, A lead frame for a row type LED, a manufacturing method thereof, and a manufacturing method of an LED package are obtained.
以下、本発明の多列型リードフレーム及びその製造方法の実施形態について図面を用いて説明する。 Embodiments of a multi-row lead frame and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1実施形態
図1は本発明の第1実施形態に係る多列型リードフレームの一例を概略的に示す説明図で、(a)は平面図、(b)は(a)の要部を模式的に示すA−A拡大断面図である。図2は図1の多列型リードフレームにおけるリードフレーム領域のパターンの一例を概略的に示す説明図で、(a)は部分平面図、(b)は(a)の要部を模式的に示すB−B断面図、(c)は(b)の部分拡大図である。図3は図2の多列型リードフレームの製造工程の一例を示す説明図である。図4は図3の製造工程における電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成するときの説明図で、(a)は最表層以外のめっき層が形成されたリードフレーム形状の金属板に対するアノード、遮蔽板の配置を金属板の短辺方向からみた断面図、(b)は(a)の金属板に対する遮蔽板の配置を示す平面図である。
なお、本発明における各実施形態の図面では、要部説明の便宜上、めっき層の厚みを、リードフレーム基材をなす金属板の厚みよりも大きく示すとともに、リードフレーム基材をなす金属板の厚みを各部で同じ、且つ、平面に示してある。なお、本発明の各実施形態に適用されるリードフレームにおけるリードフレーム領域のパターンは、図示のものに限定されず、どのようなパターンであってもよい。また、例えば、以下に示すパッド部やリード部におけるリードフレーム基材をなす金属板の外縁部にリフレクタ樹脂との密着性を向上させるための凹部を設けた構成であっても良いし、連結部におけるリードフレーム基材をなす金属板の厚みがパッド部やリード部におけるリードフレーム基材をなす金属板の厚みに比べて薄い構成であってもよい。
First Embodiment FIG. 1 is an explanatory view schematically showing an example of a multi-row lead frame according to a first embodiment of the present invention. (a) is a plan view, (b) is a main part of (a) It is an AA expanded sectional view which shows typically. 2A and 2B are explanatory views schematically showing an example of a pattern of a lead frame region in the multi-row lead frame of FIG. 1, where FIG. 2A is a partial plan view and FIG. 2B is a schematic view of a main part of FIG. The BB sectional drawing shown, (c) is a partially expanded view of (b). FIG. 3 is an explanatory view showing an example of a manufacturing process of the multi-row lead frame of FIG. FIG. 4 is an explanatory view of forming the outermost noble metal plating layer by electrolytic processing in the manufacturing process of FIG. 3, and (a) is an anode for a lead frame-shaped metal plate on which a plating layer other than the outermost layer is formed, FIG. 6 is a cross-sectional view of the arrangement of the shielding plate viewed from the short side direction of the metal plate, and FIG. 6B is a plan view showing the arrangement of the shielding plate with respect to the metal plate of FIG.
In the drawings of each embodiment of the present invention, the thickness of the plating layer is shown to be larger than the thickness of the metal plate that forms the lead frame base material, and the thickness of the metal plate that forms the lead frame base material Is the same in each part and is shown in a plane. The pattern of the lead frame area in the lead frame applied to each embodiment of the present invention is not limited to that shown in the drawing, and may be any pattern. Further, for example, a configuration may be adopted in which a recessed portion for improving the adhesion with the reflector resin is provided on the outer edge portion of the metal plate forming the lead frame base material in the pad portion or the lead portion shown below, or the connecting portion. The thickness of the metal plate forming the lead frame base material may be smaller than the thickness of the metal plate forming the lead frame base material in the pad portion or the lead portion.
第1実施形態の多列型リードフレーム1は、図1(a)、図1(b)に示すように、第1の帯状領域1−Aと、第2の帯状領域1−Bを備えている。
第1の帯状領域1−Aは、例えば、図2(a)に示すように、パッド部11とリード部12とを有する個々のリードフレーム領域1n(図2(a)においては、夫々一点鎖線の矩形で示すパッケージ外形ラインが相当する)が連結部13に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有している。なお、図2(a)の例では、個々のリードフレーム領域1nの間には、吊りリード及びダムバー等からなる連結部13を備えている。また、マトリックス状に配列されたリードフレーム領域1nのブロックの外周には、枠部2を備えている。
第2の帯状領域1−Bは、図1(a)に示すように、第1の帯状領域1−Aの両方の長辺の外側に位置する。
そして、図1の例の多列型リードフレーム1では、第1の帯状領域1−Aは、リードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有し、第2の帯状領域1−Bは、第1の帯状領域1−Aの両方の長辺の外側のリードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2のみを有した構成となっている。
なお、図1の例では、リードフレーム領域1nのブロックの配列を、リードフレーム基材の長辺方向に複数列、短辺方向に1行配列された態様としたが、リードフレーム領域1nのブロックの配列態様は、図1の例に限定されるものではなく、例えば、リードフレーム領域1nのブロックがリードフレーム基材の長辺方向に複数列、短辺方向に複数行配列された態様であってもよい。
リードフレーム領域1nのブロックがリードフレーム基材の長辺方向に複数列、短辺方向に複数行配列された態様の多列型リードフレームの場合、第1の帯状領域1−Aは、リードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2と、リードフレーム基材の長辺に沿う方向において、隣接するリードフレーム領域1nのブロック同士の間に位置する枠部2を有し、第2の帯状領域1−Bは、第1の帯状領域1−Aの両方の長辺の外側のリードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2のみを有した構成とする。
また、本実施形態の多列型リードフレーム1は、図1(b)、図2(b)、図2(c)に示すように、リードフレーム基材をなす金属板10における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層A1、A2、A3、A4を有している。なお、本実施形態では、積層めっき層A1、A2、A3、A4は、Ni/Pd/Au/Agの順に形成されためっき層で構成されている。なお、積層めっき層A1、A2、A3、A4は、上記の構成以外に、Cu/Agの順に形成されためっき層またはNiを含む積層めっき層であってもよい。Niを含む積層めっき層は、例えば、Ni/Au、Ni/Ag、Ni/Au/AgまたはNi/Pd/Auの順に形成されためっき層とすることができる。後で説明する第2実施形態についても同様である。
The
The first strip-shaped region 1-A is, for example, as shown in FIG. 2A, each
The second strip-like region 1-B, as shown in FIG. 1 (a), located outside the side of the long sides of both of the first strip-like region 1-A.
Then, in the
In the example of FIG. 1, the blocks of the
In the case of a multi-row lead frame in which the blocks of the
In addition, the
積層めっき層A1は、半導体素子を搭載する表面側の第1の帯状領域1−Aの全域の面の上に形成されている。
積層めっき層A2は、半導体素子を搭載する表面側の第2の帯状領域1−Bの全域の面の上に形成されている。
積層めっき層A3は、外部と接続する裏面側の第1の帯状領域1−Aの全域の面の上に形成されている。
積層めっき層A4は、外部と接続する裏面側の第2の帯状領域1−Bの全域の面の上に形成されている。
半導体素子を搭載する表面側の積層めっき層A1と積層めっき層A2とは、最表層の貴金属めっき層の厚みが異なっている。
また、外部と接続する裏面側の積層めっき層A3と積層めっき層A4とは、最表層の貴金属めっき層の厚みが異なっている。
また、積層めっき層A2の厚みは、積層めっき層A1の厚みに比べて薄く、積層めっき層A4の厚みは、積層めっき層A3の厚みに比べて薄くなっている。
即ち、表側の面、裏側の面の夫々において、第2の帯状領域1−Bの全域の面の上に形成され最表層の貴金属めっき層の厚みは、第1の帯状領域1−Aの全域の面の上に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄くなっている。
そして、本実施形態の多列型リードフレーム1においては、金属板10の半導体素子搭載とワイヤボンディングを行う表面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層A1の厚さに対し、外部機器へ半田接続する裏面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層A3の厚さが50%〜90%、好ましくは70%、表面側の第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A2の厚さが26%〜49%、好ましくは30%、裏面側の第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A4の厚さが5%〜25%、好ましくは20%となっている。なお、積層めっき層A1の厚さに対して積層めっき層A3の厚みが厚くてもよく、積層めっき層A2に対して積層めっき層A4の厚みが厚くてもよい。
なお、図2の例では、本実施形態の多列型リードフレーム1は、LEDパッケージ製品の製造に用いるための多列型LED用リードフレームとして構成されており、図2(a)において斜線のハッチングで示した領域には、リフレクタ樹脂部15が形成されている。
The laminated plating layer A1 is formed on the entire surface of the first strip-shaped region 1-A on the front surface side on which the semiconductor element is mounted.
The laminated plating layer A2 is formed on the entire surface of the second strip-shaped region 1-B on the front surface side on which the semiconductor element is mounted.
The laminated plating layer A3 is formed on the entire surface of the first strip-shaped area 1-A on the back surface side that is connected to the outside.
The laminated plating layer A4 is formed on the entire surface of the second strip-shaped area 1-B on the back surface side that is connected to the outside.
The thickness of the outermost noble metal plating layer is different between the laminated plating layer A1 and the laminated plating layer A2 on the surface side on which the semiconductor element is mounted.
Further, the laminated plating layer A3 and the laminated plating layer A4 on the back surface side that are connected to the outside are different in the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer.
The thickness of the laminated plating layer A2 is smaller than that of the laminated plating layer A1, and the thickness of the laminated plating layer A4 is smaller than that of the laminated plating layer A3.
That is, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on the entire surface of the second strip-shaped region 1-B on each of the front surface and the back surface is equal to the entire thickness of the first strip-shaped region 1-A . The thickness is smaller than the thickness of the noble metal plating layer which is the outermost layer formed on the surface.
Then, in the
In the example of FIG. 2, the
このように構成された第1実施形態の多列型リードフレーム1は、次のようにして製造することができる。なお、ここでは、便宜上、リードフレーム領域が図2に示したパターンに設計された多列型リードフレームの製造について説明することとする。
銅合金又はニッケル系合金からなるリードフレーム基材をなす金属板10を準備する(図3(a)参照)。次に、リードフレーム基材10の両面にレジスト層R1を形成する(図3(b)参照)。次に、第1の帯状領域にパッド部、リード部、連結部、枠部を有し、パッド部、リード部を有する個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応するパターンが描画されたガラスマスクを用いて、両面夫々のレジスト層R1を露光、現像し、エッチング用のレジストマスク30を形成する(図3(c)参照)。次に、両面からエッチング加工を施し、金属板10にパッド部11、リード部12、連結部13、枠部2を有し、パッド部11、リード部12を有する個々のリードフレーム領域が連結部13に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状を形成し(図3(d)参照)、エッチング加工後にエッチング用のレジストマスク30を除去する(図3(e)参照)。なお、多列型リードフレーム形状は、前記エッチング加工以外にプレス加工により形成してもよい。
次に、めっき槽内で、リードフレーム形状に形成された金属板10の全面に所定の電解加工(ここでは、金属板10の表裏両面側に、遮蔽板は配置せず、かつ、表面積及び金属板10からの距離の同じアノードを金属板10の表裏両側に配置して行った電解加工)により所定のめっき層を形成する。なお、ここでは、順に、Niめっき層とPdめっき層とAuめっき層を形成する。
次に、めっき槽内に、金属板10の一方の面側(ここでは、表面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板35を配置し(図4(a)、図4(b)参照)、第1のアノード37を用いた電解加工を行い、最表層の貴金属めっき層(ここでは、Agめっき層)を形成し、金属板10の一方の面側の積層めっき層A1、A2を完成させる。また、同時に、金属板10の他方の面側(ここでは、裏面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板36を配置し(図4(a)、図4(b)参照)、第1のアノード37とは表面積が異なる(ここでは、表面積が小さい)第2のアノード38を用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層(ここでは、Agめっき層)を形成して金属板10の他方の面側の積層めっき層A3、A4を完成させる。
これにより、LED素子を搭載する表面側の積層めっき層A1、A2は、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aに形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、外部と接続する裏面側の積層めっき層A3、A4は、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A2、A4の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層A1、A3の厚みに比べて薄い本実施形態の多列型リードフレームが得られる(図3(f)参照)。また、LED素子を搭載する表面側の積層めっき層A1、A2は、多列型リードフレーム1の短辺に沿う方向に位置する枠部2と、長辺に沿う方向に位置する枠部2とで、最表層の貴金属めっき層の厚みが異なり、短辺に沿う方向に位置する枠部2の積層めっき層の厚みが長辺に沿う方向に位置する枠部2の積層めっき層の厚みよりも厚くなっている。また、外部と接続する裏面側の積層めっき層A3、A4は、多列型リードフレーム1の短辺に沿う方向に位置する枠部2と、長辺に沿う方向に位置する枠部2とで、最表層の貴金属めっき層の厚みが異なり、短辺に沿う方向に位置する枠部2の積層めっき層の厚みが長辺に沿う方向に位置する枠部2の積層めっき層の厚みよりも厚くなっている。
また、図4(b)において、多列型リードフレームの短辺に沿う方向であって、リードフレーム領域1nの上面を通るいかなる切断面において、同様の切断面としてよい。
The
A
Next, in the plating tank, a predetermined electrolytic processing is performed on the entire surface of the
Next, in the plating tank, on one surface side (here, the front surface side) of the
As a result, in the laminated plating layers A1 and A2 on the front surface side on which the LED elements are mounted , the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire second strip-shaped region 1-B is the same as that of the first strip-shaped region 1-. The laminated plating layers A3, A4 on the back surface side , which are thinner than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on A and are connected to the outside, are the outermost layers formed on the entire second strip-shaped region 1-B. The thickness of the noble metal plating layer is smaller than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed over the entire first strip-shaped region 1-A , and the second strip-shaped region 1- The thickness of the laminated plating layers A2, A4 formed in the entire area of B is thinner than the thickness of the laminated plating layers A1, A3 formed in the entire area of the first strip-shaped region 1-A. A lead frame is obtained (see FIG. 3(f)). In addition, the laminated plating layers A1 and A2 on the front surface side on which the LED elements are mounted include a
Further, in FIG. 4(b), any cut surface along the short side of the multi-row lead frame and passing through the upper surface of the
上述のように、めっき工程内での最表層の貴金属めっき厚のコントロールは、カソードとなるリードフレーム形状に形成された金属板10に対し、金属板10の一方の面側の第1のアノード37の表面積と、金属板10の他方の面側の第2のアノード38の表面積とを、所望する最表層の貴金属めっき層の厚みの比率に応じて異ならせるとともに、金属板10の一方の面側に第1の遮蔽板35、金属板10の他方の面側の夫々に第2の遮蔽板36を配置することによって行う。めっき層の厚みの比率としては、金属板10のLED素子搭載とワイヤボンディングを行う表面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層A1の厚さに対し、外部機器へ半田接続する側の裏面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層A3の厚さが50%〜90%、好ましくは70%、表面側の第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A2の厚さが26%〜49%好ましくは30%、裏面側の第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A4の厚さが5%〜25%、好ましくは20%となるように、形成する最表層の貴金属めっき層の厚みを異ならせると良い。なお、積層めっき層A1の厚さに対して積層めっき層A3の厚みを厚くしてもよく、積層めっき層A2に対して積層めっき層A4の厚みを厚くしてもよい。
As described above, the control of the noble metal plating thickness of the outermost layer in the plating process is performed by controlling the
なお、図4に示した、めっき工程内での最表層の貴金属めっき厚のコントロールにおいては、金属板10の第2の帯状領域1−Bに対し、第1及び第2の遮蔽板35、36を、0.5mm以上20.0mm以下の範囲で離し、且つ、その位置において第1及び第2の遮蔽板35、36が、第1のアノード37及び、第2のアノード38の夫々から見た状態において、第2の帯状領域1−Bの全域を覆い、さらに第2の帯状領域1−Bよりも0.1mm以上20.0mm以下の範囲で第1の帯状領域1−Aにまで及ぶ幅を有するような配置構成にするのが好ましい。
金属板10の第2の帯状領域1−Bに対し、第1及び第2の遮蔽板35、36を、0.5mmを下回る距離に近づけると、製品と接触して傷が付く虞がある。一方、第1及び第2の遮蔽板35、36を、20.0mmを上回る距離に離すと、めっき厚が増えて第2の帯状領域1−Bにおいて極薄の状態が得られなくなる。
また、第2の帯状領域1−Bの全域を覆いさらに第1の帯状領域1−Aにまで及ぶ第1及び第2の遮蔽板35、36の幅が0.1mmを下回ると、第2の帯状領域1−Bのめっき厚が増えてしまう。一方、第2の帯状領域1−Bの全域を覆いさらに第1の帯状領域にまで及ぶ第1及び第2の遮蔽板35、36の幅が20.0mmを上回ると、めっき槽内の液流が乱れ易くなりめっきムラが生じてしまう。
In the control of the noble metal plating thickness of the outermost layer in the plating process shown in FIG. 4, the first and
When the first and
When the width of the first and
次に、パッド部11とリード部12との間及びパッド部11とリード部12の外周近傍から外側にわたりリフレクタ樹脂を充填し、連結部13を覆い、パッド部11とリード部12との間に介在するとともに、パッド部11及びリード部12の外周を、パッド部11のLED素子搭載面に搭載したときのLED素子20よりも上方に突出するように囲むリフレクタ樹脂部15を、モールド金型を用いて形成する(図3(g)参照)。これにより、リフレクタ樹脂部を備えた多列型LED用リードフレームとなる。
Next, a reflector resin is filled between the
第1実施形態の多列型リードフレーム1によれば、半導体素子を搭載する表面側の積層めっき層A1、A2が、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、外部と接続する裏面側の積層めっき層A3、A4が、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A2、A4の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層の厚みA1、A3に比べて薄い構成としたので、LED素子を搭載する表面側のパッド部11及びリード部12の反射面としての特性を良好に保ちつつ、パッド部11やリード部12の面に要求される反射特性や導電特性を持たせるためのめっき層としての貴金属の使用量を大幅に低減することができる。そして、裏面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成される積層めっき層A3の厚みが、表面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成される積層めっき層A1の厚みに比べて薄い構成とすることで、最表層のめっき層を構成する貴金属の電着量を極力削減してコストを極力低減することができる。
According to the
また、本実施形態の多列型リードフレーム1によれば、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された積層めっき層A2、A4の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された積層めっき層A1、A3の厚みに比べて薄い構成としたので、LEDパッケージ製品の製造に用いる多列型LED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ形成工程で樹脂形成金型を金属板にクランプしたときに、第1の帯状領域1−Aに備わる個々のリードフレーム領域1nにおける表面側のパッド部11及びリード部12の面と樹脂形成金型との間に隙間が生じる虞がなく、個々のリードフレーム領域1nにおける表面側のパッド部11及びリード部12側にリフレクタ樹脂のバリが生じない。その結果、リフレクタ樹脂のバリがLED素子を搭載する表面側のパッド部11及びリード部12の面の一部を覆ってLED素子の組み込まれたLEDパッケージに輝度低下などの悪影響を及ぼす虞がなく、LED素子を搭載する表面側のパッド部11及びリード部12の反射面としての機能を良好に保つことができる。
Further, according to the
また、図1(b)で示すように、断面視で矩形状の金属板10の表面にめっきを施す場合、角部の近傍にめっきが厚く形成されることがある。このような場合、例えば、多列型リードフレームまたは多列型LED用リードフレームを格納するマガジンに多列型リードフレーム等を挿入する際に、角部に形成された厚いめっき部分が欠け、リードフレーム領域1n上にその欠けためっき部分が配置される可能性がある。しかし、本発明の第1の形態の多列型リードフレームによると、金属板10の角部近傍のめっき厚みを薄くすることができるため、リードフレーム領域1n上に不要なめっき部分が意図せず配置される可能性を低減することができる。
また、図2(a)で示す多列型リードフレームの長辺に沿う方向に位置する枠部2には、めっき搬送装置やモールド金型等に固定するための孔部(図示省略)が形成されることがある。このような場合に、第2の帯状領域1−Bに対応する長辺に沿う方向に位置する枠部2の表面側および裏面側において、積層めっき層の厚みを薄くすることで、孔部内にめっきバリが生じる可能性を低減することができる。これにより、多列型リードフレームをめっき搬送装置等に固定する際に、位置決めの精度を向上させて固定することができる。
Further, as shown in FIG. 1B, when plating is applied to the surface of the
In addition, a hole portion (not shown) for fixing to a plating transfer device or a molding die is formed in the
第2実施形態
図5は本発明の第2実施形態に係る多列型リードフレームの一例を概略的に示す説明図で、(a)は平面図、(b)は(a)の要部を模式的に示すC−C拡大断面図である。図6は図5の多列型リードフレームにおけるリードフレーム領域のパターンの一例を概略的に示す説明図で、(a)は部分平面図、(b)は(a)の要部を模式的に示すD−D断面図、(c)は(b)の部分拡大図である。図7は図6の多列型リードフレームの製造工程の一例を示す説明図である。図8は図7の製造工程における電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成するときの説明図で、(a)はリードフレーム形状の金属板に対するアノード、遮蔽板の配置を金属板の短辺方向からみた断面図、(b)は(a)の金属板に対する遮蔽板の配置を示す平面図である。
Second Embodiment FIG. 5 is an explanatory view schematically showing an example of a multi-row lead frame according to a second embodiment of the present invention, where (a) is a plan view and (b) is a main part of (a). It is CC enlarged sectional view which shows typically. 6A and 6B are explanatory views schematically showing an example of a pattern of a lead frame area in the multi-row lead frame of FIG. 5, where FIG. 6A is a partial plan view and FIG. 6B is a schematic view of a main part of FIG. 6D is a sectional view taken along line D-D, and FIG. FIG. 7 is an explanatory view showing an example of a manufacturing process of the multi-row lead frame of FIG. FIG. 8 is an explanatory view of forming the outermost noble metal plating layer by electrolytic processing in the manufacturing process of FIG. 7, and (a) shows the arrangement of the anode and the shielding plate with respect to the lead frame-shaped metal plate on the short side of the metal plate. FIG. 6B is a cross-sectional view seen from the direction, and FIG. 6B is a plan view showing the arrangement of the shielding plate with respect to the metal plate of FIG.
第2実施形態の多列型リードフレーム1は、図5(b)に示す積層めっき層A1、A2、A3、A4における最表層の貴金属めっき層(ここではAgめっき層)以外のめっき層が、図5(a)に示す金属板10の全面にわたって等しい厚みを有している。
また、金属板10の表面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層と、金属板10の裏面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層とが等しい厚みを有している。
また、図5(b)に示す積層めっき層A2における最表層の貴金属めっき層の厚みは、積層めっき層A1における最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、積層めっき層A4における最表層の貴金属めっき層の厚みは、積層めっき層A2における最表層の貴金属めっき層の厚みと等しくなっている。
即ち、表側の面、裏側の面の夫々において、第2の帯状領域1−Bの全域の面の上に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みは、第1の帯状領域1−Aの全域の面の上に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄くなっている。
そして、本実施形態の多列型リードフレーム1においては、金属板10の表面側、裏面側の夫々における、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚さに対し、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚さが5%〜49%、好ましくは30%となっている。
また、本実施形態の多列型リードフレーム1は、図6(a)に示すように、LEDパッケージ製品の製造に用いるための多列型LED用リードフレームとして構成されており、図6(a)において斜線のハッチングで示した領域には、リフレクタ樹脂部15が形成されている。
その他の構成は、第1実施形態の多列型リードフレームと略同じである。
In the
In addition, the outermost noble metal plating layer formed on the entire surface of the first strip-shaped region 1-A on the front surface side of the
In addition, the thickness of the outermost noble metal plating layer in the laminated plating layer A2 shown in FIG. 5(b) is smaller than the thickness of the outermost noble metal plating layer in the laminated plating layer A1, The thickness of the noble metal plating layer is equal to the thickness of the outermost noble metal plating layer in the laminated plating layer A2.
That is, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on the entire surface of the second strip-shaped region 1-B on each of the front surface and the back surface is equal to that of the first strip region 1-A . It is thinner than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on the entire surface.
In the
Further, the
Other configurations are substantially the same as the multi-row lead frame of the first embodiment.
このように構成された第2実施形態の多列型リードフレーム1は、次のようにして製造することができる。なお、ここでは、便宜上、リードフレーム領域が図6に示したパターンに設計された多列型リードフレームの製造について説明することとする。
本実施形態の多列型リードフレームの製造において、金属板10の準備(図7(a)参照)、レジスト層R1の形成(図7(b)参照)、エッチング用のレジストマスク30の形成(図7(c)参照)、エッチング加工による多列型リードフレーム形状の形成(図7(d)参照)、エッチング用のレジストマスク30の除去(図7(e)参照)までは、図3(a)〜図3(e)を用いて説明した第1実施形態の多列型リードフレームの製造工程におけるものと略同じであり、その次のめっき層の形成工程における最表層の貴金属めっき層の形成手法が第1実施形態の多列型リードフレームの製造におけるものとは異なる。
第2実施形態の多列型リードフレームの製造におけるめっき層の形成工程では、まず、めっき槽内で、リードフレーム形状に形成された金属板10の全面に所定の電解加工(ここでは、金属板10の表裏両面側に、遮蔽板は配置せず、かつ、表面積及び金属板10からの距離の同じアノードを金属板10の表裏両側に配置して行った電解加工)により所定のめっき層を形成する。なお、ここでは、順に、Niめっき層とPdめっき層とAuめっき層を形成する。
次に、めっき槽内に、金属板10の一方の面側(ここでは、表面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板35を配置し(図8(a)、図8(b)参照)、第1のアノード37を用いた電解加工を行い、最表層の貴金属めっき層(ここでは、Agめっき層)を形成し、金属板10の一方の面側の積層めっき層A1、A2を完成させる。また、同時に、金属板10の他方の面側(ここでは、裏面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板36を、第1の遮蔽板35と金属板10からの距離が等しい(L1=L2)位置に配置し(図8(a)、図8(b)参照)、第1のアノード37と表面積及び金属板10からの距離L3、L4が等しい第2のアノード38を用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層(ここでは、Agめっき層)を形成して金属板10の他方の面側の積層めっき層A3、A4を完成させる。
これにより、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、裏面側の第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みは、表面側の第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みと等しい、本実施形態の多列型リードフレームが得られる(図7(f)参照)。
The
In the manufacture of the multi-row lead frame of the present embodiment, the
In the step of forming the plating layer in the production of the multi-row lead frame of the second embodiment, first, a predetermined electrolytic processing (here, the metal plate is performed on the entire surface of the
Next, in the plating tank, on one surface side (here, the front surface side) of the
Thus, the surface side, the people backside husband, the thickness of the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the whole area of the second strip-like region 1-B, which is formed on the whole area of the first strip-like region 1-A The thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer, which is thinner than the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer and is formed over the entire second strip-shaped region 1-B on the back surface side, is equal to the thickness of the second strip-shaped
上述のように、めっき工程内での最表層の貴金属めっき厚のコントロールは、カソードとなるリードフレーム形状に形成された金属板10に対し、金属板10の一方の面側の第1のアノード37の表面積及び金属板10からの距離L3と、金属板10の他方の面側の第2のアノード38の表面積及び金属板10からの距離L4とを等しくするとともに、金属板10の一方の面側に配置する第1の遮蔽板35と、金属板10の他方の面側に配置する第2の遮蔽板36とを金属板10からの距離が等しい(L1=L2)位置に配置することによって行う。めっき層の厚みの比率としては、金属板10のLED素子搭載とワイヤボンディングを行う表面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚さ、外部機器へ半田接続する側の裏面側の第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚さに対し、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚さが5%〜49%好ましくは30%となるように、形成する最表層の貴金属めっき層の厚みを異ならせると良い。
As described above, the control of the noble metal plating thickness of the outermost layer in the plating process is performed by controlling the
なお、図8に示した、めっき工程内での最表層の貴金属めっき厚のコントロールにおいては、金属板10の第2の帯状領域1−Bに対し、第1及び第2の遮蔽板35、36を、0.5mm以上20.0mm以下の範囲で離し、且つ、その位置において第1及び第2の遮蔽板35、36が、第1のアノード37及び、第2のアノード38の夫々から見た状態において、第2の帯状領域1−Bの全域を覆い、さらに第2の帯状領域1−Bよりも0.1mm以上20.0mm以下の範囲で第1の帯状領域1−Aにまで及ぶ幅を有するような配置構成にするのが好ましい。
金属板10の第2の帯状領域1−Bに対し、第1及び第2の遮蔽板35、36を、0.5mmを下回る距離に近づけると、製品と接触して傷が付く虞がある。一方、第1及び第2の遮蔽板35、36を、20.0mmを上回る距離に離すと、めっき厚が増えて第2の帯状領域1−Bの全域において極薄の状態が得られなくなる。
また、第2の帯状領域1−Bの全域を覆いさらに第1の帯状領域1−Aにまで及ぶ第1及び第2の遮蔽板35、36の幅が0.1mmを下回ると、第2の帯状領域1−Bのめっき厚が増えてしまう。一方、第2の帯状領域1−Bの全域を覆いさらに第1の帯状領域にまで及ぶ第1及び第2の遮蔽板35、36の幅が20.0mmを上回ると、めっき槽内の液流が乱れ易くなりめっきムラが生じてしまう。
次に、第1実施形態と同様にして、リフレクタ樹脂部15を形成する(図7(g)参照)ことにより、リフレクタ樹脂部を備えた多列型LED用リードフレームとなる。
In the control of the noble metal plating thickness of the outermost layer in the plating process shown in FIG. 8, the first and
When the first and
When the width of the first and
Next, in the same manner as in the first embodiment, the
第2実施形態の多列型リードフレーム1によれば、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄い構成としたので、LED素子を搭載する表面側のパッド部11及びリード部12の反射面としての特性を良好に保ちつつ、貴金属の使用量を大幅に低減することができる。
According to the
また、本実施形態の多列型リードフレーム1によれば、表面側、裏面側の夫々における、第2の帯状領域1−Bの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みが、第1の帯状領域1−Aの全域に形成された最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄い構成としたので、LEDパッケージ製品の製造に用いる多列型LED用リードフレームを製造する場合において、リフレクタ形成工程で樹脂形成金型を金属板にクランプしたときに、第1の帯状領域1−Aに備わる個々のリードフレーム領域1nにおける表面側のパッド部11及びリード部12の面と樹脂形成金型との間に隙間が生じる虞がなく、個々のリードフレーム領域1nにおける表面側のパッド部11及びリード部12側にリフレクタ樹脂のバリが生じない。その結果、リフレクタ樹脂のバリがLED素子を搭載する表面側のパッド部11及びリード部12の面の一部を覆ってLED素子の組み込まれたLEDパッケージに輝度低下などの悪影響を及ぼす虞がなく、LED素子を搭載する表面側のパッド部11及びリード部12の反射面としての機能を良好に保つことができる。
Further, according to the
また、図5(b)で示すように、断面視で矩形状の金属板10の表面にめっきを施す場合、角部の近傍にめっきが厚く形成されることがある。このような場合、例えば、多列型リードフレームまたは多列型LED用リードフレームを格納するマガジンに多列型リードフレーム等を挿入する際に、角部に形成された厚いめっき部分が欠け、リードフレーム領域1n上にその欠けためっき部分が配置される可能性がある。しかし、本発明の第2の形態の多列型リードフレームによると、金属板10の角部近傍のめっき厚みを薄くすることができるため、リードフレーム領域1n上に不要なめっき部分が意図せず配置される可能性を低減することができる。
また、図6(a)で示す多列型リードフレームの長辺に沿う方向に位置する枠部2には、めっき搬送装置やモールド金型等に固定するための孔部(図示省略)が形成されることがある。このような場合に、第2の帯状領域1−Bに対応する長辺に沿う方向に位置する枠部2の表面側および裏面側において、積層めっき層の厚みを薄くすることで、孔部内にめっきバリが生じる可能性を低減することができる。これにより、多列型リードフレームをめっき搬送装置等に固定する際に、位置決めの精度を向上させて固定することができる。
Further, as shown in FIG. 5(b), when plating is performed on the surface of the
Further, in the
次に、本発明の各実施形態の多列型リードフレーム1を用いたLEDパッケージの製造について図面を用いて説明する。なお、ここでは便宜上、LEDパッケージの製造工程の説明に第1実施形態の多列型リードフレームを用いることとする。図9は図3の製造工程により製造した第1実施形態の多列型リードフレーム1を用いたLEDパッケージの製造工程の一例を示す説明図である。
Next, manufacturing of an LED package using the
まず、図3(g)に示した、リフレクタ樹脂部15を備えた多列型LED用リードフレーム1を準備する(図9(a)参照)。多列型LED用リードフレームは、上面側に複数の凹部を備える。凹部は、リフレクタ樹脂部15からなる内側面と、リードフレーム領域1nがリフレクタ樹脂部15から露出した内底面とで形成される。多列型LED用リードフレームにおいて、リフレクタ樹脂部15の一部は、第2の帯状領域1−Bに位置する積層めっき層A2および/または積層めっき層A4を被覆する。第2の帯状領域1−Bの全域に位置する積層めっき層の厚みを第1の帯状領域1−Aの全域に位置する積層めっき層の厚みよりも薄くすることで、第1の帯状領域1−Aと第2の帯状領域1−Bとの境界に高低差を設けることができ、多列型リードフレーム1にリフレクタ樹脂部15となる樹脂材料を成形する際に、第2の帯状領域1−Bにその樹脂材料が流れ込みやすくなる。これにより、リフレクタ樹脂部15が第2の帯状領域1−Bを広範囲に被覆することができ、密着強度の高い多列型LED用リードフレームとすることができる。なお、多列型LED用リードフレームは、上記の製造工程により製造して準備してもよく、また予め製造された多列型LED用リードフレームを購入する等により準備してもよい。
次に、多列型LED用リードフレーム1のパッド部11に形成された積層めっき層A1の上面にLED素子20を搭載するとともに、LED素子20の電極とパッド部12に形成された積層めっき層A1の上面とをボンディングワイヤ14を介して接続する(図9(b)参照)。LED素子20は、発光ダイオード素子などを用いることができ、可視域の発光が可能な窒化物半導体(InxAlyGa1−x−yN、0≦x、0≦y、x+y≦1)を好適に用いることができる。また、LED素子20は、一つの面に一対の電極を有し、一対の電極とリードフレーム領域1nの上面とが対向するようにリードフレーム領域1nの上面上に実装することもできる。
次に、多列型LED用リードフレーム1のリフレクタ樹脂部15で囲まれ、LED素子20が搭載された内部空間に透明樹脂を充填し、透明樹脂部16を形成して、リフレクタ樹脂部15で囲まれた内部空間を封止する(図9(c)参照)。
First, the multi-row
Next, the
Next, the transparent resin is filled in the internal space surrounded by the
次に、リフレクタ樹脂部15における、パッド部11及びリード部12の外周を囲む部位(図1(a)に示したパッケージ外形ライン)を連結部13、さらには、枠部2とともに切断する(図9(d)参照)。切断方法としては、例えば、リードカット金型、ダイシングソー又はレーザー光を用いて切断することができる。これにより、本実施形態の多列型LED用リードフレーム1を用いた製品単位のLEDパッケージが完成する(図9(e)参照)。
Next, the portion of the
ここで、LEDパッケージのパッド部11およびリード部12において、表面側にある最表層の貴金属めっきの厚みを、例えば、裏面側にある最表層の貴金属めっきの厚みよりも厚くした場合、表面側にある最表層の貴金属めっきの平坦度が高くなりLED素子20から出射される光を効果的に上方に反射しつつ、裏面側の最表層の貴金属めっきの厚みが薄いことによりLEDパッケージの1個にかかるコストを低減することができる。また、表面側にある最表層の貴金属めっきが厚いことで、凹部の開口部から入り込む硫黄等の成分による硫化の進行を抑制する、または遅らせることが可能となる。その結果、例えば、ボンディングワイヤ14の一端とリードフレーム領域1nとの接続部において、ボンディングワイヤ14が断線する可能性を低減することができる。また、LEDパッケージのパッド部11およびリード部12において、裏面側にある最表層の貴金属めっきの厚みを、例えば、表面側にある最表層の貴金属めっきの厚みよりも厚くした場合、裏面側にある最表層の貴金属めっきの表面に例えば母材の銅等の成分が析出する可能性を低減することができる。その結果、LEDパッケージを半田等の接合部材を介して実装基板に実装する際にLEDパッケージと接合部材との接合強度を向上することができる。なお、LEDパッケージのパッド部11およびリード部12において、表面側にある最表層の貴金属めっきの厚みは、裏面側にある最表層の貴金属めっきの厚みと同じであってもよい。
Here, in the
(実施例1)
次に、本発明の多列型リードフレームの実施例について説明する。なお、以下の各実施例の製造の各工程において実施される、薬液洗浄や水洗浄等を含む前処理・後処理等は、周知の処理であるので便宜上説明を省略する。
まず、リードフレームの基材となる金属板10として厚さ0.2mmの銅材を用いて(図3(a)参照)、LED素子が搭載される金属板10の両面に、レジスト層R1を形成し(図3(b)参照)、第1の帯状領域にパッド部、リード部、連結部、枠部を有し、パッド部、リード部を有する個々のリードフレーム領域が連結部に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状を形成するためのパターンが描画されたガラスマスクを用いて露光・現像を行い、エッチング用のレジストマスク30を形成した(図3(c)参照)。
次に、エッチング用のレジストマスク30から露出している金属板10の領域に対して、エッチング加工を行い、パッド部11、リード部12、連結部13、枠部2を有し、パッド部11、リード部12を有する個々のリードフレーム領域が連結部13に連結されてマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状を形成した(図3(d)参照)。
次に、金属板10の両面のエッチング用のレジストマスク30を除去した(図3(e)参照)。
次に、めっき槽内で、金属板10の全面に所定の電解加工(ここでは、金属板10の表裏両面側に、遮蔽板は配置せず、かつ、面積の同じアノードを用いた電解加工)により設定厚さ1μmのNiめっきと設定厚さ0.02μmのPdめっきと設定厚さ0.005μmのAuめっきを順に施した。
次に、めっき槽内に、金属板10の一方の面側(ここでは、表面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板35を配置し、第1のアノード37を用いた電解加工を行い、最表層の貴金属めっき層として、第1の帯状領域1−Aの全域に対しては2.5μm、第2の帯状領域1−Bの全域に対しては0.8μmの設定厚さのAgめっきを施し、また、同時に、金属板10の他方の面側(ここでは、裏面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板36を配置し、第1のアノード37とは表面積が異なる(ここでは、表面積が小さい)第2のアノード38を用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層として、第1の帯状領域1−Aの全域に対しては2.0μm、第2の帯状領域1−Bの全域に対しては0.5μmの設定厚さのAgめっき層を施して、リードフレーム形状に形成された金属板10の全面に、Ni/Pd/Au/Agの順に積層された4層構成のめっき層が形成された多列型リードフレームを得た(図3(f)参照)。実施例1の多列型リードフレームでは、Agめっき層は、表1に示す厚さに形成された。
Next, an example of the multi-row lead frame of the present invention will be described. It should be noted that the pre-treatment and post-treatment including the chemical cleaning and the water cleaning, which are carried out in the respective manufacturing steps of each of the following examples, are well-known processes, and therefore the description thereof will be omitted for convenience.
First, a copper material having a thickness of 0.2 mm is used as the
Next, to a region of the
Next, the resist
Next, in the plating tank, a predetermined electrolytic processing is performed on the entire surface of the metal plate 10 (here, electrolytic processing is performed by using anodes having the same area, with no shielding plate being provided on both front and back sides of the metal plate 10). Thus, Ni plating having a set thickness of 1 μm, Pd plating having a set thickness of 0.02 μm, and Au plating having a set thickness of 0.005 μm were sequentially applied.
Next, in the plating tank, on one surface side (here, the front surface side) of the
(実施例2)
最表層の貴金属めっき層を形成する前のNi/Pd/Auめっき層の形成までは、実施例1と同様の製造手法を用いた。
最表層の貴金属めっき層の形成に際し、金属板10の一方の面側(ここでは、表面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板35を配置し、第1のアノード37を用いた電解加工を行い、最表層の貴金属めっき層として、第1の帯状領域1−Aの全域に対しては2.5μm、第2の帯状領域1−Bの全域に対しては0.8μmの設定厚さのAgめっきを施し、また、同時に、金属板10の他方の面側(ここでは、裏面側)に、第2の帯状領域1−Bの全域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板36を配置し、第1のアノード37と表面積が等しい第2のアノード38を用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層として、第1の帯状領域1−Aの全域に対しては2.5μm、第2の帯状領域1−Bの全域に対しては0.8μmの設定厚さのAgめっき層を施して、リードフレーム形状に形成された金属板10の全面に、Ni/Pd/Au/Agの順に積層された4層構成のめっき層が形成された多列型リードフレームを得た(図7(f)参照)。実施例2の多列型リードフレームでは、Agめっき層は、表2に示す厚さに形成された。
The same manufacturing method as in Example 1 was used until the formation of the Ni/Pd/Au plated layer before forming the noble metal plated layer of the outermost layer.
A first shield that shields only a predetermined portion corresponding to the entire second strip-shaped region 1-B on one surface side (here, the front surface side) of the
(比較例1)
最表層の貴金属めっき層の形成に際し、金属板10の表裏両面側に、遮蔽板は配置せず、かつ、面積の同じアノードを用いた電解加工により全面に設定厚さ2.5μmのAgめっきを施す以外は、実施例1と同様の製造手法を用いて、比較例1の多列型リードフレームを製造した。比較例1の多列型リードフレームでは、Agめっき層は、表3に示す厚さに形成された。
When forming the noble metal plating layer of the outermost layer, a shielding plate is not placed on both front and back sides of the
(比較例2)
最表層の貴金属めっき層の形成に際し、金属板10の表裏両面側に、遮蔽板は配置せず、かつ、面積の異なるアノードを用いた電解加工により、表面側に設定厚さ2.5μmのAgめっきを施し、裏面側に設定厚さ2.0μmのAgめっきを施す以外は、実施例1と同様の製造手法を用いて、比較例2の多列型リードフレームを製造した。比較例2の多列型リードフレームでは、Agめっき層は、表4に示す厚さに形成された。
When the noble metal plating layer of the outermost layer is formed, a shielding plate is not arranged on both front and back sides of the
実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2の夫々の製造手法で多列型リードフレームのサンプルを夫々1000枚ずつ作成し、作成した夫々1000枚ずつのサンプルのAgめっき厚を測定し、平均値を算出した。作成した実施例1、比較例1及び比較例2の夫々の多列型リードフレームのサンプルのAgめっき厚の平均値は、実施例1が表1、実施例2が表2、比較例1が表3、比較例2が表4に示すとおりの数値となった。 1000 pieces of multi-row lead frame samples were prepared by the respective manufacturing methods of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2, and the Ag plating thickness of each of the prepared 1000 samples was measured. Then, the average value was calculated. The average values of the Ag plating thicknesses of the samples of the multi-row lead frames of the prepared Example 1, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are as follows: Example 1 is Table 1, Example 2 is Table 2, and Comparative Example 1 is The values in Table 3 and Comparative Example 2 were as shown in Table 4.
Agめっきの電着量削減効果の検証
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2の夫々の多列型リードフレームのサンプルに対し、測定したAgめっき厚から電着量を算出して、電着量削減の効果を検証した。比較例1のAgめっき厚さを異ならせるためのコントロールを行わない手法による電解加工を行って製造した多列型リードフレームにおけるAgめっきの電着量を100%とした場合、比較例2のAgめっき厚さを異ならせるためのコントロールを表面と裏面のみ行い、同じ側の面における箇所ごとには行わない手法による電解加工を行って製造した多列型リードフレームにおけるAgめっきの電着量は86%であった。
これに対し、実施例1のAgめっき厚さを異ならせるためのコントロールを同じ側の面における箇所ごとと、表面と裏面に対して行った手法による電解加工を行って製造した多列型リードフレームにおけるAgめっきの電着量は79%であり、表面側と裏面側のコントロールのみを行った比較例2の多列型リードフレームに比べて、Agめっきの電着量がさらに7%程度削減できることが確認された。
また、実施例2のAgめっき厚さを異ならせるためのコントロールを第1の帯状領域と第2の帯状領域と、に対して行った手法による電解加工を行って製造した多列型リードフレームにおけるAgめっきの電着量は83%であり、表面側と裏面側のコントロールのみを行った比較例2の多列型リードフレームに比べて、Agめっきの電着量がさらに3%程度削減できることが確認された。
Verification of Ag Electrodeposition Reduction Effect of Ag Plating For each of the multi-row lead frame samples of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2, the electrodeposition amount was calculated from the measured Ag plating thickness. The effect of reducing the electrodeposition amount was verified. When the electrodeposition amount of Ag plating in the multi-row lead frame manufactured by performing electrolytic processing by a method without control for making the Ag plating thickness of Comparative Example 1 different is 100%, Ag of Comparative Example 2 The electrodeposition amount of Ag plating in a multi-row lead frame manufactured by performing electrolytic processing by a method in which control for varying the plating thickness is performed only on the front surface and the back surface and not at each location on the same surface is 86. %Met.
On the other hand, a multi-row lead frame manufactured by performing electrolytic processing according to the method of controlling the Ag plating thickness in Example 1 at different positions on the same side and the front and back sides. The amount of electrodeposited Ag plating was 79%, and the amount of electrodeposited Ag plating can be further reduced by about 7% compared to the multi-row lead frame of Comparative Example 2 in which only the front surface side and the back surface side were controlled. Was confirmed.
In addition, in the multi-row lead frame manufactured by performing the electrolytic processing by the method performed on the first strip-shaped region and the second strip-shaped region, the control for varying the Ag plating thickness of Example 2 is performed. The electrodeposition amount of Ag plating is 83%, and the electrodeposition amount of Ag plating can be further reduced by about 3% as compared with the multi-row lead frame of Comparative Example 2 in which only the front surface side and the back surface side are controlled. confirmed.
リフレクタ樹脂形成による反射面へのバリ発生枚数の比較
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2の夫々1000枚ずつの多列型リードフレームのサンプルに対し、モールド金型を用いてリフレクタ樹脂部15を形成した(図3(g)参照)。
次に、リフレクタ樹脂部15を形成した実施例1、実施例2、比較例1、比較例2の夫々1000枚ずつの多列型LED用リードフレームのサンプルを50倍顕微鏡にて観察し、反射面へのリフレクタ樹脂のバリの発生の有無を調べ、実施例1、実施例2、比較例1、比較例2の多列型LED用リードフレームについて、反射面へのリフレクタ樹脂のバリの発生が確認されたサンプルの枚数を比較した。
その結果、Agめっき層が表1に示す厚さに形成された実施例1の多列型LED用リードフレームでは、LED素子搭載側の面へのリフレクタ樹脂のバリが発生したサンプルは0枚であった。
また、Agめっき層が表2に示す厚さに形成された実施例2の多列型LED用リードフレームにおいても、実施例1の多列型LED用リードフレームと同様、LED素子搭載側の面へのリフレクタ樹脂のバリが発生したサンプルは0枚であった。
これに対し、Agめっき層が表3に示す厚さに形成された比較例1の多列型LED用リードフレームでは、LED素子搭載側の面への樹脂バリの発生は、マトリックス状に配列されたリードフレーム領域1nのブロック内における中央に位置するリードフレーム領域1nに検出され、サンプル1000枚中で23枚に発生が認められた。
また、Agめっき層が表4に示す厚さに形成された比較例2の多列型LED用リードフレームでは、LED素子搭載側の面へのリフレクタ樹脂のバリの発生は、マトリックス状に配列されたリードフレーム領域1nのブロック内における中央に位置するリードフレーム領域1nに検出され、サンプル1000枚中で12枚に発生が認められた。
Comparison of the number of burrs generated on the reflecting surface due to the formation of the reflector resin Using a molding die for each of the 1000-row multi-row lead frame samples of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2. The
Next, 1000 samples of each of the multi-row LED lead frames of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 in which the
As a result, in the multi-row LED lead frame of Example 1 in which the Ag plating layer was formed to the thickness shown in Table 1, the number of samples in which the burr of the reflector resin on the surface on the LED element mounting side occurred was 0. there were.
Further, also in the multi-row LED lead frame of Example 2 in which the Ag plating layer is formed to have the thickness shown in Table 2, the surface on the LED element mounting side is similar to the multi-row LED lead frame of Example 1. The number of samples in which the burr of the reflector resin was generated was 0.
On the other hand, in the multi-row LED lead frame of Comparative Example 1 in which the Ag plating layer was formed to have the thickness shown in Table 3, the resin burrs on the LED element mounting side were arranged in a matrix. The
Further, in the multi-row LED lead frame of Comparative Example 2 in which the Ag plating layer was formed to the thickness shown in Table 4, the occurrence of burrs of the reflector resin on the surface on the LED element mounting side was arranged in a matrix. Further, it was detected in the
以上、本発明の好ましい実施形態及び実施例について詳説したが、本発明は、上述した各実施形態及び各実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した各実施形態及び各実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。 Although the preferred embodiments and examples of the present invention have been described above in detail, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and does not depart from the scope of the present invention. Various modifications and substitutions can be made to the embodiment and each example.
例えば、複数列でリードフレーム領域1nのブロックが長辺方向に複数列、短辺方向に複数行配列された態様の多列型リードフレームにおいて、行ごとに、第1の帯状領域1−Aが、リードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有し、第2の帯状領域1−Bが、夫々の行の第1の帯状領域1−Aの両方の長辺の外側のリードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2を有した構成とするとともに、夫々の行の第1の帯状領域1−Aの全域における、半導体素子を搭載する表面側の面に積層めっき層A1、外部と接続する裏面側の面に積層めっき層A3を形成するとともに、夫々の行の第2の帯状領域1−Bの全域における表面側の面に積層めっき層A2、裏面側の面に積層めっき層A4を形成してもよい。
For example, in a multi-row lead frame in which blocks of the
より詳しくは、例えば、図10(a)に示すように、リードフレーム領域1nのブロックがリードフレーム基材の長辺方向に3列、短辺方向に2行配列された態様の多列型リードフレームの場合、1行目における、リードフレーム基材の長辺方向に3列配列されたリードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有する領域を1行目の第1の帯状領域1−A(1)とし、2行目における、リードフレーム基材の長辺方向に3列配列されたリードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有してなる領域を2行目の第1の帯状領域1−A(2)とする。
そして、夫々の第1の帯状領域1−A(1)、1−A(2)における両方の長辺の外側のリードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2を、第2の帯状領域1−Bとする。
図10(a)の例では、第1の帯状領域1−A(1)の長辺におけるリードフレーム基材の端辺側(上辺側)の、リードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2が、1行目の第2の帯状領域1−B(1)となり、第1の帯状領域1−A(1)と第1の帯状領域1−A(2)との間に位置する枠部2が、2行目の第2の帯状領域1−B(2)となり、第1の帯状領域1−A(2)の長辺におけるリードフレーム基材の端辺側(下辺側)の、リードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2が、3行目の第2の帯状領域1−B(3)となる。
そして、図3、図4(あるいは図7、図8)を用いて説明したのと略同様の手法を用いて、図10(b)(あるいは図10(c))に示すように、夫々の行の第1の帯状領域1−A(1)、1−A(2)の全域における、半導体素子を搭載する表面側の面に積層めっき層A1、外部と接続する裏面側の面に積層めっき層A3を形成するとともに、夫々の行の第2の帯状領域1−B(1)〜1−B(3)の全域における表面側の面に積層めっき層A2、裏面側の面に積層めっき層A4を形成してもよい。
More specifically, for example, as shown in FIG. 10A, a multi-row lead in which the blocks of the
Then, each first strip-like region 1-A (1) of, 1-A both the
In the example of FIG. 10(a), the position is located on the long side of the first strip-shaped region 1-A(1) on the end side (upper side) of the lead frame base material along the long side of the lead frame base material. The second frame area 1-B(1) in the first row is formed between the first band area 1-A(1) and the first band area 1-A(2). The positioned
Then, as shown in FIG. 10(b) (or FIG. 10(c)), by using a method substantially similar to that described using FIG. 3 and FIG. 4 (or FIG. 7 and FIG. 8), In the entire area of the first strip-shaped regions 1-A(1) and 1-A(2) of the row, a laminated plating layer A1 is formed on the surface on the front surface side on which the semiconductor element is mounted, and a laminated plating layer is formed on the surface on the rear surface side connected to the outside. The layer A3 is formed, and the laminated plating layer A2 is formed on the front surface side and the laminated plating layer is formed on the rear surface side in the entire second strip regions 1-B(1) to 1-B(3) of the respective rows. A4 may be formed.
また、例えば、図11(a)に示すように、リードフレーム領域1nのブロックがリードフレーム基材の長辺方向に3列、短辺方向に3行配列された態様の多列型リードフレームの場合、1行目における、リードフレーム基材の長辺方向に3列配列されたリードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有する領域を1行目の第1の帯状領域1−A(1)とし、2行目における、リードフレーム基材の長辺方向に3列配列されたリードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有してなる領域を2行目の第1の帯状領域1−A(2)とし、3行目における、リードフレーム基材の長辺方向に3列配列されたリードフレーム領域1nのブロックと、リードフレーム基材の短辺に沿う方向に位置する枠部2を有してなる領域を3行目の第1の帯状領域1−A(3)とする。
そして、夫々の第1の帯状領域1−A(1)、1−A(2)、1−A(3)における両方の長辺の外側のリードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2を、第2の帯状領域1−Bとする。
図7(a)の例では、第1の帯状領域1−A(1)の長辺におけるリードフレーム基材の端辺側(上辺側)の、リードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2が、1行目の第2の帯状領域1−B(1)となり、第1の帯状領域1−A(1)と第1の帯状領域1−A(2)との間に位置する枠部2が、2行目の第2の帯状領域1−B(2)となり、第1の帯状領域1−A(2)と第1の帯状領域1−A(3)との間に位置する枠部2が、3行目の第2の帯状領域1−B(3)となり、第1の帯状領域1−A(3)の長辺におけるリードフレーム基材の端辺側(下辺側)の、リードフレーム基材の長辺に沿う方向に位置する枠部2が、4行目の第2の帯状領域1−B(4)となる。
そして、図3、図4(あるいは図7、図8)を用いて説明したのと略同様の手法を用いて、図11(b)(あるいは図11(c))に示すように、夫々の行の第1の帯状領域1−A(1)、1−A(2)、1−A(3)の全域における、半導体素子を搭載する表面側の面に積層めっき層A1、外部と接続する裏面側の面に積層めっき層A3を形成するとともに、夫々の行の第2の帯状領域1−B(1)、1−B(2)、1−B(3)、1−B(4)の全域における表面側の面に積層めっき層A2、裏面側の面に積層めっき層A4を形成してもよい。
Further, for example, as shown in FIG. 11A, a multi-row lead frame in which the blocks of the
Then, each of the first strip-like region 1-A (1), 1 -A (2), located in the direction along the long side of 1-A (3), both in the long side outer side of the lead frame substrate The
In the example of FIG. 7(a), the position is in the direction along the long side of the lead frame base material on the end side (upper side) of the lead frame base material on the long side of the first strip-shaped region 1-A(1). The second frame area 1-B(1) in the first row is formed between the first band area 1-A(1) and the first band area 1-A(2). The
Then, as shown in FIG. 11(b) (or FIG. 11(c)), as shown in FIG. 11(b) (or FIG. 11(c)), by using a method substantially similar to that described using FIG. 3 and FIG. 4 (or FIG. 7 and FIG. 8), In the entire area of the first strip-shaped regions 1-A(1), 1-A(2), 1-A(3) of the row, the laminated plating layer A1 is connected to the outside on the surface on which the semiconductor element is mounted. The laminated plating layer A3 is formed on the back surface, and the second strip regions 1-B(1), 1-B(2), 1-B(3), 1-B(4) of the respective rows are formed. The laminated plating layer A2 may be formed on the surface of the front surface and the laminated plating layer A4 may be formed on the surface of the back surface in the entire area .
また、本発明の各実施形態及び各実施例では、多列型LED用リードフレームの例を用いて説明したが、本発明の多列型LED用リードフレームは、LED素子の他の半導体素子を搭載するための多列型リードフレームにも適用できる。 Further, in each of the embodiments and examples of the present invention, the example of the lead frame for a multi-row LED has been described, but the lead frame for a multi-row LED of the present invention includes another semiconductor element other than the LED element. It can also be applied to a multi-row lead frame for mounting.
本発明の多列型リードフレーム、多列型LED用リードフレーム及びそれらの製造方法は、エッチング加工により所定のリードフレーム形状に形成された金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有する多列型リードフレームを製造することが必要とされる分野に有用である。 The multi-row lead frame, the multi-row LED lead frame and the manufacturing method thereof according to the present invention are formed by electrolytic processing on both the front and back surfaces and the entire side surface of a metal plate formed into a predetermined lead frame shape by etching. The present invention is useful in a field in which it is necessary to manufacture a multi-row lead frame in which the combination of metals and the order of lamination are the same and the outermost plating layer has a laminated plating layer composed of a noble metal plating layer.
1 多列型リードフレーム
1−A、1−A(1)、1−A(2)、1−A(3) 第1の帯状領域
1−B、1−B(1)、1−B(2)、1−B(3)、1−B(4) 第2の帯状領域
1n 個々のリードフレーム領域
2 枠部
10 リードフレーム基材(金属板)
11 パッド部
12 リード部
13 連結部
13a 吊りリード
13b ダムバー
14 ボンディングワイヤ
15 リフレクタ樹脂部
16 透明樹脂部
20 半導体素子
30 エッチング用レジストマスク
35 第1の遮蔽板
36 第2の遮蔽板
37 第1のアノード
38 第2のアノード
A1 LED素子を搭載する表面側の第1の帯状領域1−Aの面の上に形成された積層めっき層
A2 LED素子を搭載する表面側の第2の帯状領域1−Bの面の上に形成された積層めっき層
A3 外部と接続する裏面側の第1の帯状領域1−Aの面の上に形成された積層めっき層
A4 外部と接続する裏面側の第2の帯状領域1−Bの面の上に形成された積層めっき層
R1 レジスト層
1 Multi-row lead frame 1-A, 1-A(1), 1-A(2), 1-A(3) First strip-shaped region 1-B, 1-B(1), 1-B( 2), 1-B(3), 1-B(4) 2nd strip|belt-shaped
11
Claims (16)
リードフレーム基材をなす金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有し、
半導体素子を搭載する表面側の前記積層めっき層は、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、
外部と接続する裏面側の前記積層めっき層は、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みが、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、
前記表面側、前記裏面側の夫々における、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みは、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記積層めっき層の厚みに比べて薄いことを特徴とする多列型リードフレーム。 A first band-like region having blocks in which the individual lead frame regions are arranged in a matrix are connected to the connecting portion, located outside the side of at least both longer sides of the first strip region, said first of Te second multi-row leadframe odor having a band-like region, a consisting of a frame part to be connected to the connection portion provided in the strip-like region,
The metal plate forming the lead frame base material has a laminated plating layer formed by electrolytic processing with the same combination of metals and the same stacking order, and the outermost plating layer is a noble metal plating layer on the entire front and back surfaces and side surfaces. Then
In the laminated plating layer on the front surface side on which the semiconductor element is mounted, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the entire area of the second strip-shaped area is formed in the entire area of the first strip-shaped area. Thin compared to the thickness of the precious metal plating layer on the outermost layer ,
In the laminated plating layer on the back surface side that is connected to the outside, the thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed in the entire area of the second strip-shaped region is the same as the thickness of the noble metal plating layer formed in the entire area of the first strip-shaped region. Thin compared to the thickness of the precious metal plating layer on the surface ,
The thickness of the laminated plating layer formed over the entire area of the second strip-shaped region on each of the front surface side and the back surface side is equal to the thickness of the laminated plating layer formed over the entire area of the first strip-shaped region. A multi-row lead frame that is characterized by being thin.
前記多列型LED用リードフレームの前記凹部にLED素子を載置する工程と、
前記LED素子が載置された前記多列型LED用リードフレームを個片化し、複数のLEDパッケージを得る工程と、を備えることを特徴とするLEDパッケージの製造方法。 Preparing the multi-row LED lead frame according to claim 7;
Placing an LED element in the recess of the multi-row LED lead frame;
And a step of obtaining a plurality of LED packages by dividing the multi-row LED lead frame on which the LED elements are mounted into individual pieces, to obtain a plurality of LED packages.
リードフレーム基材をなす金属板の両面に、前記第1の帯状領域に個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応したエッチング用のレジストマスクを形成する工程と、
エッチング加工を行い、前記金属板に前記多列型リードフレーム形状を形成する工程と、
前記金属板の両面の前記レジストマスクを除去する工程と、
前記金属板の全面に所定の電解加工により所定のめっき層を形成する工程と、
前記金属板の一方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板を配置し、第1のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して、前記金属板の一方の面側の積層めっき層を完成させるとともに、前記金属板の他方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板を配置し、前記第1のアノードとは表面積が異なる第2のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して前記金属板の他方の面側の積層めっき層を完成させる工程と、
を有することを特徴とする多列型リードフレームの製造方法。 Method for manufacturing a multi-row lead frame including a first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are arranged in a matrix and second strip-shaped regions on both sides of at least long sides of the first strip-shaped region And
A resist mask for etching corresponding to a predetermined multi-row lead frame shape having blocks in which the individual lead frame areas are arranged in a matrix in the first strip-shaped area on both surfaces of a metal plate that forms the lead frame base material. A step of forming
A step of performing an etching process to form the multi-row lead frame shape on the metal plate;
Removing the resist mask on both sides of the metal plate,
A step of forming a predetermined plating layer on the entire surface of the metal plate by a predetermined electrolytic processing,
A first shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is arranged on one surface side of the metal plate, and an outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the first anode. To form a laminated plating layer on one surface side of the metal plate and to shield only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region on the other surface side of the metal plate. A shield plate is arranged, and a noble metal plating layer of the outermost layer is formed by electrolytic processing using a second anode having a surface area different from that of the first anode to complete a laminated plating layer on the other surface side of the metal plate. And the process of
A method for manufacturing a multi-row lead frame, comprising:
リードフレーム基材をなす金属板における表裏両面及び側面の全面に、電解加工により形成された、金属の組合せ及び積層順が同じで、最表層のめっき層が貴金属めっき層からなる積層めっき層を有し、
前記積層めっき層における前記最表層の貴金属めっき層以外のめっき層は、前記金属板の全面にわたって等しい厚みを有し、
前記金属板の表面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層と、前記金属板の裏面側の前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層とが等しい厚みを有し、
前記表面側、前記裏面側の夫々における、前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みは、前記第1の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みに比べて薄く、
前記裏面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みと、前記表面側の前記第2の帯状領域の全域に形成された前記最表層の貴金属めっき層の厚みとが等しい、
ことを特徴とする多列型リードフレーム。 A first band-like region having blocks in which the individual lead frame regions are arranged in a matrix are connected to the connecting portion, located outside the side of at least both longer sides of the first strip region, said first of Te second multi-row leadframe odor having a band-like region, a consisting of a frame part to be connected to the connection portion provided in the strip-like region,
The metal plate forming the lead frame base material has a laminated plating layer formed by electrolytic processing with the same combination of metals and the same stacking order, and the outermost plating layer is a noble metal plating layer on the entire front and back surfaces and side surfaces. Then
Plating layers other than the noble metal plating layer of the outermost layer in the laminated plating layer have an equal thickness over the entire surface of the metal plate,
Said outermost layer of the precious metal plating layer formed on the entire area of the first strip-like region on the surface side of the metal plate, the outermost layer formed on the whole area of the first strip-like region of the back surface side of the metal plate Has the same thickness as the precious metal plating layer of
The thickness of the noble metal plating layer of the outermost layer formed on the entire area of the second strip-shaped region on each of the front surface side and the back surface side is the same as that of the outermost layer formed on the entire area of the first strip-shaped region. Thin compared to the thickness of the precious metal plating layer,
The thickness of the back side of the second of the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the whole area of the strip-like regions, the outermost layer of the precious metal plating layer formed on the entire area of the second strip-like region of said surface side Is equal to the thickness of
A multi-row lead frame characterized in that
前記多列型LED用リードフレームの前記凹部にLED素子を載置する工程と、
前記LED素子が載置された前記多列型LED用リードフレームを個片化し、複数のLEDパッケージを得る工程と、を備えることを特徴とするLEDパッケージの製造方法。 Preparing a multi-row LED lead frame according to claim 14;
Placing an LED element in the recess of the multi-row LED lead frame;
And a step of obtaining a plurality of LED packages by dividing the multi-row LED lead frame on which the LED elements are mounted into individual pieces, to obtain a plurality of LED packages.
リードフレーム基材をなす金属板の両面に、前記第1の帯状領域に個々のリードフレーム領域がマトリックス状に配列されたブロックを有する所定の多列型リードフレーム形状に対応したエッチング用のレジストマスクを形成する工程と、
エッチング加工を行い、前記金属板に前記多列型リードフレーム形状を形成する工程と、
前記金属板の両面の前記レジストマスクを除去する工程と、
前記金属板の全面に所定の電解加工により所定のめっき層を形成する工程と、
前記金属板の一方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第1の遮蔽板を配置し、第1のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して、前記金属板の一方の面側の積層めっき層を完成させるとともに、前記金属板の他方の面側に、前記第2の帯状領域に対応する所定部位のみを遮蔽する第2の遮蔽板を配置し、前記第1のアノードと表面積及び前記金属板からの距離が等しい第2のアノードを用いた電解加工により最表層の貴金属めっき層を形成して前記金属板の他方の面側の積層めっき層を完成させる工程と、
を有することを特徴とする多列型リードフレームの製造方法。 Method for manufacturing a multi-row lead frame including a first strip-shaped region having blocks in which individual lead frame regions are arranged in a matrix and second strip-shaped regions on both sides of at least long sides of the first strip-shaped region And
A resist mask for etching corresponding to a predetermined multi-row lead frame shape having blocks in which the individual lead frame areas are arranged in a matrix in the first strip-shaped area on both surfaces of a metal plate that forms the lead frame base material. A step of forming
A step of performing an etching process to form the multi-row lead frame shape on the metal plate;
Removing the resist mask on both sides of the metal plate,
A step of forming a predetermined plating layer on the entire surface of the metal plate by a predetermined electrolytic processing,
A first shielding plate that shields only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region is arranged on one surface side of the metal plate, and an outermost noble metal plating layer is formed by electrolytic processing using the first anode. To form a laminated plating layer on one surface side of the metal plate and to shield only a predetermined portion corresponding to the second strip-shaped region on the other surface side of the metal plate. A shield plate is arranged, and a noble metal plating layer of the outermost layer is formed by electrolytic processing using a second anode having the same surface area and the same distance from the metal plate as the first anode, and the other surface side of the metal plate is formed. The step of completing the laminated plating layer of
A method for manufacturing a multi-row lead frame, comprising:
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