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JP6785122B2 - Method for forming a photosensitive composition and a cured film - Google Patents
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JP6785122B2 - Method for forming a photosensitive composition and a cured film - Google Patents

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Description

本発明は、感光性組成物、及び硬化膜の形成方法に関する。 The present invention relates to a photosensitive composition and a method for forming a cured film.

液晶表示装置のような表示装置では、絶縁膜のような材料が、バックライトのような光源から発せられる光を効率よく透過させる必要がある。このため、絶縁膜を形成するためには、透明性に優れる膜を形成できる材料が求められる。 In a display device such as a liquid crystal display device, a material such as an insulating film needs to efficiently transmit light emitted from a light source such as a backlight. Therefore, in order to form an insulating film, a material capable of forming a film having excellent transparency is required.

このような透明絶縁膜は通常、基板上でパターン化されている。パターン化された透明絶縁膜を形成する方法としては、例えば、オキセタン環を有するアルカリ可溶性樹脂と、重合性多官能化合物と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤とを含むネガ型感光性組成物を用いる方法（特許文献１を参照。）が知られている。 Such a transparent insulating film is usually patterned on the substrate. As a method for forming a patterned transparent insulating film, for example, a negative photosensitive resin containing an alkali-soluble resin having an oxetane ring, a polymerizable polyfunctional compound, and an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator is included. A method using a composition (see Patent Document 1) is known.

ところで、近年、液晶表示ディスプレイの生産台数が増大するのに合わせてカラーフィルタの生産量も増大しており、より一層の生産性向上の観点から、低露光量でパターンを形成することのできる高感度の感光性組成物が要望されている。
しかし、カラーフィルタに含まれる種々の機能性膜には着色剤が含まれるところ、感光性組成物に着色剤が含まれる場合、特許文献１に記載されるα−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤を用いると十分に高い感度を得にくい問題がある。
このような状況において、本出願人は、高感度の感光性組成物として、特定の構造のオキシムエステル化合物を光重合開始剤として含む高感度の感光性組成物を提案している（特許文献２及び３を参照。）。 By the way, in recent years, the production volume of color filters has also increased in line with the increase in the production volume of liquid crystal display, and from the viewpoint of further improving productivity, the pattern can be formed with a low exposure dose. Sensitive photosensitive compositions are desired.
However, where various functional films contained in the color filter contain a colorant, when the photosensitive composition contains a colorant, the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization described in Patent Document 1 is initiated. There is a problem that it is difficult to obtain sufficiently high sensitivity when an agent is used.
Under such circumstances, the applicant has proposed as a highly sensitive photosensitive composition a highly sensitive photosensitive composition containing an oxime ester compound having a specific structure as a photopolymerization initiator (Patent Document 2). And 3).

特開２０１２−１７３６７８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-173678 特開２０１２−１８９９９６号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-189996 特開２０１２−１８９９９７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-18997

しかし、オキシムエステル化合物を光重合開始剤として含む感光性組成物においては、
感度が良好である一方で、感光性組成物中で異物が発生しやすかったり、現像時に微細なパターンを解像しにくかったりする問題がある。 However, in a photosensitive composition containing an oxime ester compound as a photopolymerization initiator,
While the sensitivity is good, there are problems that foreign substances are likely to be generated in the photosensitive composition and that it is difficult to resolve fine patterns during development.

本発明は、以上の状況に鑑みてなされたものであり、感光性組成物中での異物の発生が抑制され、微細なパターンを良好に解像できる感光性組成物と、当該感光性組成物を用いる硬化膜の形成方法とを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a photosensitive composition capable of suppressing the generation of foreign substances in the photosensitive composition and satisfactorily resolving a fine pattern, and the photosensitive composition. It is an object of the present invention to provide a method for forming a cured film using the above.

本発明者らは、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｓ）とを含む感光性組成物に、アミン（Ｅ）を配合し、光重合開始剤（Ｃ）として、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを組み合わせて用い、感光性組成物中の塩化物イオン量を１０００質量ｐｐｍ以下とすることにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のものを提供する。 The present inventors have added amine (E) to a photosensitive composition containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), and a solvent (S). The oxime ester compound (C1) and a compound other than the oxime ester compound (C2) are used in combination as the photopolymerization initiator (C), and the amount of chloride ion in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. It was found that the above-mentioned problems could be solved by the above, and the present invention was completed. Specifically, the present invention provides the following.

本発明の第１の態様は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｓ）と、アミン（Ｅ）とを含む感光性組成物であって、
光重合開始剤（Ｃ）が、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを含み、
感光性組成物中の塩化物イオン量が、１０００質量ｐｐｍ以下である、感光性組成物である。 The first aspect of the present invention is photosensitive containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), a solvent (S), and an amine (E). It ’s a composition,
The photopolymerization initiator (C) contains an oxime ester compound (C1) and a compound (C2) other than the oxime ester compound.
It is a photosensitive composition in which the amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less.

本発明の第２の態様は、第１の態様にかかる感光性組成物を基板上に塗布して、塗布膜を形成することと、
塗布膜を露光することと、を含む、硬化膜の形成方法である。 A second aspect of the present invention is to apply the photosensitive composition according to the first aspect onto a substrate to form a coating film.
A method for forming a cured film, which comprises exposing the coating film.

本発明によれば、感光性組成物中での異物の発生が抑制され、微細なパターンを良好に解像できる感光性組成物と、当該感光性組成物を用いる硬化膜の形成方法とを提供することができる。 According to the present invention, there are provided a photosensitive composition capable of suppressing the generation of foreign substances in the photosensitive composition and satisfactorily resolving a fine pattern, and a method for forming a cured film using the photosensitive composition. can do.

≪感光性組成物≫
感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｓ）と、アミン（Ｅ）とを含む。
光重合開始剤（Ｃ）は、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを含む。
また、感光性組成物中の塩化物イオン量は、１０００質量ｐｐｍ以下である。
塩化物イオン量は、以下の方法に従って、イオンクロマトグラフィーにより測定できる。
（イオンクロマトグラフィー測定条件）
カラム：ＩｏｎＰａｃ ＡＳ１７−Ｃ（Ｔｈｅｒｍｏ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｄｉｏｎｅｘ社製）
溶離液：水とアセトニトリルの混合溶液
注入量：１μＬ ≪Photosensitive composition≫
The photosensitive composition contains an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), a solvent (S), and an amine (E).
The photopolymerization initiator (C) contains an oxime ester compound (C1) and a compound (C2) other than the oxime ester compound.
The amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less.
The amount of chloride ion can be measured by ion chromatography according to the following method.
(Ion chromatography measurement conditions)
Column: IonPac AS17-C (manufactured by Thermo Scientific Dionex)
Eluent: Mixed solution of water and acetonitrile Injection volume: 1 μL

従来知られる、オキシムエステル化合物（Ｃ１）を含む感光性組成物は、オキシムエスエル化合物（Ｃ１）に主に由来する塩化物イオンを含んでいた。このため、従来の感光性組成物における塩化物イオンの含有量は１０００質量ｐｐｍを超える多量であることが多かった。
そこで、本発明者が検討を行ったところ、感光性組成物の高い塩化物イオン量が、感光性組成物中での異物の発生に関与していることが見出された。 Conventionally known photosensitive compositions containing an oxime ester compound (C1) contain chloride ions mainly derived from the oxime SL compound (C1). Therefore, the content of chloride ions in the conventional photosensitive composition is often a large amount exceeding 1000 mass ppm.
Therefore, as a result of the study by the present inventor, it was found that the high amount of chloride ions in the photosensitive composition is involved in the generation of foreign substances in the photosensitive composition.

また、オキシムエステル化合物（Ｃ１）のみを光重合開始剤（Ｃ）として含む感光性組成物は、感度が良好である反面、露光後の現像時に微細なパターンを解像しにくかった。
この点についても本発明者が検討したところ、光重合開始剤（Ｃ）について、オキシムエステル化合物（Ｃ１）を、オキシムエステル化合物（Ｃ１）以外の化合物と併用することにより、感光性組成物を用いて微細なパターンを解像できることが見出された。 Further, the photosensitive composition containing only the oxime ester compound (C1) as the photopolymerization initiator (C) has good sensitivity, but it is difficult to resolve fine patterns during development after exposure.
As a result of examination by the present inventor on this point as well, a photosensitive composition was used for the photopolymerization initiator (C) by using the oxime ester compound (C1) in combination with a compound other than the oxime ester compound (C1). It was found that fine patterns can be resolved.

以上の通り、上記の感光性組成物は、感光性組成物中での異物の発生が抑制され、微細なパターンを良好に解像できる。 As described above, in the above-mentioned photosensitive composition, the generation of foreign substances in the photosensitive composition is suppressed, and a fine pattern can be satisfactorily resolved.

以下、感光性組成物に含まれる必須、又は任意の成分について説明する。 Hereinafter, essential or arbitrary components contained in the photosensitive composition will be described.

＜アルカリ可溶性樹脂（Ａ）＞
アルカリ可溶性樹脂とは、樹脂濃度２０質量％の樹脂溶液（溶媒：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）により、膜厚１μｍの樹脂膜を基板上に形成し、濃度０．０５質量％のＫＯＨ水溶液に１分間浸漬した際に、膜厚０．０１μｍ以上溶解するものをいう。 <Alkali-soluble resin (A)>
The alkali-soluble resin is a resin solution having a resin concentration of 20% by mass (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate) to form a resin film having a thickness of 1 μm on a substrate, and a KOH aqueous solution having a concentration of 0.05% by mass for 1 minute. A solvent that dissolves in a film thickness of 0.01 μm or more when immersed.

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の好適な例としては、カルド構造を有する樹脂（Ａ１）が挙げられる。カルド構造を有する樹脂（Ａ１）をアルカリ可溶性樹脂（Ａ）として含有する感光性組成物を用いることにより、耐熱性、機械的特性、耐溶剤性、耐化学薬品性等がバランスよく優れる硬化膜を形成しやすい。 A preferable example of the alkali-soluble resin (A) is a resin (A1) having a cardo structure. By using a photosensitive composition containing a resin (A1) having a cardo structure as an alkali-soluble resin (A), a cured film having an excellent balance of heat resistance, mechanical properties, solvent resistance, chemical resistance, etc. can be obtained. Easy to form.

カルド構造を有する樹脂（Ａ１）としては、特に限定されるものではなく、従来公知の樹脂を用いることができる。その中でも、下記式（ａ−１）で表される樹脂が好ましい。 The resin (A1) having a cardo structure is not particularly limited, and conventionally known resins can be used. Among them, the resin represented by the following formula (a-1) is preferable.

Figure 0006785122
Figure 0006785122

上記式（ａ−１）中、Ｘａは、下記式（ａ−２）で表される基を示す。 In the formula (a-1), X a represents a group represented by the following formula (a-2).

Figure 0006785122
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上記式（ａ−２）中、Ｒａ１は、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１〜６の炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ｒａ２は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ｗａは、単結合又は下記式（ａ−３）で表される基を示す。 In the above formula (a-2), R a1 independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, and Ra 2 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, respectively. , W a represents a group represented by a single bond or the following formula (a-3).

Figure 0006785122
Figure 0006785122

また、上記式（ａ−１）中、Ｙａは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基（−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−）を除いた残基を示す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。 Further, in the above formula (a-1), Y a represents the residue obtained by removing dicarboxylic acid anhydride from the acid anhydride group (-CO-O-CO-). Examples of dicarboxylic acid anhydrides are maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydro. Examples thereof include phthalic anhydride and glutaric anhydride.

また、上記式（ａ−１）中、Ｚａは、テトラカルボン酸二無水物から２個の酸無水物基を除いた残基を示す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式（ａ−１）中、ｍは、０〜２０の整数を示す。 Further, in the above formula (a-1), Z a represents a residue obtained by removing two acid anhydride groups from a tetracarboxylic acid dianhydride. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and the like.
Further, in the above formula (a-1), m represents an integer of 0 to 20.

カルド構造を有する樹脂（Ａ１）の質量平均分子量（Ｍｗ：ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）のポリスチレン換算による測定値。本明細書において同じ。）は、１０００〜４００００であることが好ましく、２０００〜３００００であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、良好な現像性を得ながら、十分な耐熱性、膜強度を得ることができる。 The mass average molecular weight (Mw: measured value of gel permeation chromatography (GPC) in terms of polystyrene. The same applies in the present specification) of the resin (A1) having a cardo structure is preferably 1000 to 40,000, preferably 2000 to 30000. Is more preferable. Within the above range, sufficient heat resistance and film strength can be obtained while obtaining good developability.

機械的強度や基板への密着性に優れる膜を形成しやすいことから、不飽和カルボン酸（ａ１）を少なくとも重合させた共重合体（Ａ２）も、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として好適に使用することができる。 Since it is easy to form a film having excellent mechanical strength and adhesion to a substrate, a copolymer (A2) obtained by at least polymerizing an unsaturated carboxylic acid (a1) is also preferably used as an alkali-soluble resin (A). be able to.

不飽和カルボン酸（ａ１）としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸等のモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸；これらジカルボン酸の無水物；等が挙げられる。これらの中でも、共重合反応性、得られる樹脂のアルカリ溶解性、入手の容易性等の点から、（メタ）アクリル酸及び無水マレイン酸が好ましい。これらの不飽和カルボン酸（ａ１）は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Examples of the unsaturated carboxylic acid (a1) include monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid and crotonic acid; dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; and anhydrides of these dicarboxylic acids; And so on. Among these, (meth) acrylic acid and maleic anhydride are preferable from the viewpoints of copolymerization reactivity, alkali solubility of the obtained resin, easy availability, and the like. These unsaturated carboxylic acids (a1) can be used alone or in combination of two or more.

共重合体（Ａ２）は、不飽和カルボン酸（ａ１）と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）との共重合体であってもよい。脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）としては、脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物であれば特に限定されない。脂環式エポキシ基を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。これらの脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 The copolymer (A2) may be a copolymer of an unsaturated carboxylic acid (a1) and an alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2). The alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) is not particularly limited as long as it is an unsaturated compound having an alicyclic epoxy group. The alicyclic group constituting the alicyclic epoxy group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic group include a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, a tetracyclododecyl group and the like. These alicyclic epoxy group-containing unsaturated compounds (a2) can be used alone or in combination of two or more.

具体的に、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）としては、例えば下記式（ａ２−１）〜（ａ２−１５）で表される化合物が挙げられる。これらの中でも、現像性を適度なものするためには、下記式（ａ２−１）〜（ａ２−５）で表される化合物が好ましく、下記式（ａ２−１）〜（ａ２−３）で表される化合物がより好ましい。 Specifically, examples of the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) include compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-15). Among these, in order to obtain appropriate developability, compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-5) are preferable, and the following formulas (a2-1) to (a2-3) are used. The compound represented is more preferred.

Figure 0006785122
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Figure 0006785122
Figure 0006785122

上記式中、Ｒａ２０は水素原子又はメチル基を示し、Ｒａ２１は炭素原子数１〜６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ｒａ２２は炭素原子数１〜１０の２価の炭化水素基を示し、ｔは０〜１０の整数を示す。Ｒａ２１としては、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ｒａ２２としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロヘキシレン基、−ＣＨ２−Ｐｈ−ＣＨ２−（Ｐｈはフェニレン基を示す）が好ましい。 In the above formulas, R a20 represents a hydrogen atom or a methyl group, R a21 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, R a22 is a divalent 1 to 10 carbon atoms It represents a hydrocarbon group, where t represents an integer from 0 to 10. As R a21 , a linear or branched alkylene group, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group is preferable. Examples of Ra22 include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, a hexamethylene group, a phenylene group, a cyclohexylene group, and -CH 2 -Ph-CH 2- (Ph is (Indicating a phenylene group) is preferable.

共重合体（Ａ２）は、上記不飽和カルボン酸（ａ１）及び上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）とともに、エポキシ基を有さない脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）を共重合させたものであってもよい。
脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）としては、脂環式基を有する不飽和化合物であれば特に限定されない。脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、アダマンチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。これらの脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 The copolymer (A2) contains the unsaturated carboxylic acid (a1) and the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) together with the alicyclic group-containing unsaturated compound (a3) having no epoxy group. It may be copolymerized.
The alicyclic group-containing unsaturated compound (a3) is not particularly limited as long as it is an unsaturated compound having an alicyclic group. The alicyclic group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic group include an adamantyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, a tetracyclododecyl group and the like. These alicyclic group-containing unsaturated compounds (a3) can be used alone or in combination of two or more.

具体的に、脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）としては、例えば下記式（ａ３−１）〜（ａ３−７）で表される化合物が挙げられる。これらの中でも、現像性を適度なものするためには、下記式（ａ３−３）〜（ａ３−８）で表される化合物が好ましく、下記式（ａ３−３），（ａ３−４）で表される化合物がより好ましい。 Specifically, examples of the alicyclic group-containing unsaturated compound (a3) include compounds represented by the following formulas (a3-1) to (a3-7). Among these, compounds represented by the following formulas (a3-3) to (a3-8) are preferable in order to obtain appropriate developability, and the following formulas (a3-3) and (a3-4) are used. The compound represented is more preferred.

Figure 0006785122
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上記式中、Ｒａ２３は水素原子又はメチル基を示し、Ｒａ２４は単結合又は炭素原子数１〜６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ｒａ２５は水素原子又は炭素原子数１〜５のアルキル基を示す。Ｒａ２４としては、単結合、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ｒａ２５としては、例えばメチル基、エチル基が好ましい。 In the above formula, Ra 23 represents a hydrogen atom or a methyl group, Ra 24 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and Ra 25 represents a hydrogen atom or 1 carbon atom. Shows up to 5 alkyl groups. As Ra24 , a single bond, a linear or branched alkylene group, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group is preferable. As R a25 , for example, a methyl group and an ethyl group are preferable.

また、共重合体（Ａ２）は、上記不飽和カルボン酸（ａ１）及び上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）、さらには上記脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）とともに、脂環式基を有さないエポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）を重合させたものであってもよい。 Further, the copolymer (A2) is a fat together with the unsaturated carboxylic acid (a1), the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2), and the alicyclic group-containing unsaturated compound (a3). An epoxy group-containing unsaturated compound (a4) having no cyclic group may be polymerized.

エポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）としては、グリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エポキシアルキルエステル類；α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸６，７−エポキシヘプチル等のα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル類；等が挙げられる。これらの中でも、共重合反応性、硬化後の樹脂の強度等の点から、グリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、及び６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレートが好ましい。これらのエポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Examples of the epoxy group-containing unsaturated compound (a4) include glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, and 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate. (Meta) Acrylic Acid Epoxyalkyl Esters; α-, such as α-ethylacrylic acid glycidyl, α-n-propylacrylic acid glycidyl, α-n-butylacrylic acid glycidyl, α-ethylacrylic acid 6,7-epoxyheptyl Alkyl acrylic acid epoxy alkyl esters; etc. Among these, glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, and 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity, strength of the resin after curing, and the like. These epoxy group-containing unsaturated compounds (a4) can be used alone or in combination of two or more.

また、共重合体（Ａ２）は、上記以外の他の化合物をさらに重合させたものであってもよい。このような他の化合物としては、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチレン類等が挙げられる。これらの化合物は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Further, the copolymer (A2) may be obtained by further polymerizing a compound other than the above. Examples of such other compounds include (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylamides, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl esters, styrenes and the like. These compounds can be used alone or in combination of two or more.

（メタ）アクリル酸エステル類としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、アミル（メタ）アクリレート、ｔ−オクチル（メタ）アクリレート等の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレート；クロロエチル（メタ）アクリレート、２，２−ジメチルヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンモノ（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フルフリル（メタ）アクリレート；等が挙げられる。 Examples of (meth) acrylic acid esters include linear or branched chains such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate, and t-octyl (meth) acrylate. Alkyl (meth) acrylate; chloroethyl (meth) acrylate, 2,2-dimethylhydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, furfuryl (Meta) acrylate; and the like.

（メタ）アクリルアミド類としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−アルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−アリール（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−アリール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチル−Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。 Examples of (meth) acrylamides include (meth) acrylamide, N-alkyl (meth) acrylamide, N-aryl (meth) acrylamide, N, N-dialkyl (meth) acrylamide, N, N-aryl (meth) acrylamide, and N. Examples thereof include -methyl-N-phenyl (meth) acrylamide and N-hydroxyethyl-N-methyl (meth) acrylamide.

アリル化合物としては、酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳酸アリル等のアリルエステル類；アリルオキシエタノール；等が挙げられる。 Examples of the allyl compound include allyl esters such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, allyl palmitate, allyl stearate, allyl benzoate, allyl acetoacetate, and allyl lactate; allyloxyethanol; and the like. Can be mentioned.

ビニルエーテル類としては、ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテル、１−メチル−２，２−ジメチルプロピルビニルエーテル、２−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル等のアルキルビニルエーテル；ビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエーテル、ビニルクロロフェニルエーテル、ビニル−２，４−ジクロロフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテル、ビニルアントラニルエーテル等のビニルアリールエーテル；等が挙げられる。 Examples of vinyl ethers include hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethyl hexyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, 1-methyl-2,2-dimethylpropyl vinyl ether, 2-ethylbutyl vinyl ether, and hydroxyethyl vinyl ether. , Diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylaminoethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether and other alkyl vinyl ethers; vinyl phenyl ether, vinyl trill ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2,4-dichlorophenyl ether. , Vinyl aryl ethers such as vinyl naphthyl ethers and vinyl anthranyl ethers; and the like.

ビニルエステル類としては、ビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニルカプロエート、ビニルクロロアセテート、ビニルジクロロアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニルフエニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロロ安息香酸ビニル、テトラクロロ安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニル等が挙げられる。 Examples of vinyl esters include vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, vinyl chloro acetate, vinyl dichloro acetate, vinyl methoxy acetate, vinyl butoxy acetate, and vinyl phenyl. Examples thereof include enyl acetate, vinyl acetate acetate, vinyl lactate, vinyl-β-phenylbutyrate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate, vinyl naphthoate and the like.

スチレン類としては、スチレン；メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン等のアルキルスチレン；メトキシスチレン、４−メトキシ−３−メチルスチレン、ジメトキシスチレン等のアルコキシスチレン；クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、２−ブロモ−４−トリフルオロメチルスチレン、４−フルオロ−３−トリフルオロメチルスチレン等のハロスチレン；等が挙げられる。 Examples of styrenes include styrene; methylstyrene, dimethylstyrene, trimethylstyrene, ethylstyrene, diethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, hexylstyrene, cyclohexylstyrene, decylstyrene, benzylstyrene, chloromethylstyrene, trifluoromethylstyrene, ethoxy. Alkylstyrene such as methylstyrene and acetoxymethylstyrene; alkoxystyrene such as methoxystyrene, 4-methoxy-3-methylstyrene and dimethoxystyrene; chlorostyrene, dichlorostyrene, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, Examples thereof include halostyrene such as dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoromethylstyrene and 4-fluoro-3-trifluoromethylstyrene.

共重合体（Ａ２）に占める上記不飽和カルボン酸（ａ１）由来の構成単位の割合は、１〜５０質量％であることが好ましく、５〜４５質量％であることがより好ましい。
また、共重合体（Ａ２）が、上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）由来の構成単位と上記エポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）由来の構成単位とを含有する場合、共重合体（Ａ２）に占める脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）由来の構成単位の割合と上記エポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）由来の構成単位の割合との合計は、２０質量％以上であることが好ましく、４０〜９５質量％であることがより好ましく、５０〜８０質量％であることがさらに好ましい。特に、共重合体（Ａ２）に占める上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）由来の構成単位の割合が単独で１０質量％以上であることが好ましく、２０〜８０質量％であることがより好ましい。上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）由来の構成単位の割合を上記の範囲にすることにより、感光性組成物の経時安定性をより向上させることができる。
また、共重合体（Ａ２）が、脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）由来の構成単位を含有する場合、共重合体（Ａ２）に占める上記脂環式基含有不飽和化合物（ａ３）由来の構成単位の割合は、１〜３０質量％であることが好ましく、５〜２０質量％であることがより好ましい。 The ratio of the constituent unit derived from the unsaturated carboxylic acid (a1) to the copolymer (A2) is preferably 1 to 50% by mass, more preferably 5 to 45% by mass.
When the copolymer (A2) contains a structural unit derived from the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) and a structural unit derived from the epoxy group-containing unsaturated compound (a4), the copolymer weight. The total of the ratio of the constituent unit derived from the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) to the coalescence (A2) and the ratio of the constituent unit derived from the epoxy group-containing unsaturated compound (a4) is 20% by mass or more. It is preferably 40 to 95% by mass, more preferably 50 to 80% by mass. In particular, the proportion of the constituent unit derived from the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) in the copolymer (A2) is preferably 10% by mass or more, and is preferably 20 to 80% by mass. Is more preferable. By setting the ratio of the structural units derived from the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) to the above range, the stability of the photosensitive composition over time can be further improved.
When the copolymer (A2) contains a structural unit derived from the alicyclic group-containing unsaturated compound (a3), the alicyclic group-containing unsaturated compound (a3) occupies the copolymer (A2). The proportion of the derived constituent units is preferably 1 to 30% by mass, more preferably 5 to 20% by mass.

共重合体（Ａ２）の質量平均分子量は、２０００〜２０００００であることが好ましく、３０００〜３００００であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。 The mass average molecular weight of the copolymer (A2) is preferably 2000 to 20000, and more preferably 3000 to 30000. Within the above range, the film-forming ability of the photosensitive composition and the developability after exposure tend to be easily balanced.

また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としては、上記不飽和カルボン酸（ａ１）に由来する構成単位と、後述する光重合性化合物（Ｂ）との重合可能部位を有する構成単位とを少なくとも有する共重合体（Ａ３）、又は上記不飽和カルボン酸（ａ１）に由来する構成単位と、上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）及び／又はエポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）に由来する構成単位と、後述する光重合性化合物（Ｂ）との重合可能部位を有する構成単位とを少なくとも有する共重合体（Ａ４）を含む樹脂も好適に使用できる。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が共重合体（Ａ３）、又は共重合体（Ａ４）を含む場合、感光性組成物を用いて形成される膜の基板への密着性や、感光性組成物を用いて得られる硬化膜の機械的強度を高めることができる。 Further, the alkali-soluble resin (A) has at least a common weight having at least a structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid (a1) and a structural unit having a polymerizable site with the photopolymerizable compound (B) described later. A structural unit derived from the union (A3) or the unsaturated carboxylic acid (a1), and a configuration derived from the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) and / or the epoxy group-containing unsaturated compound (a4). A resin containing a copolymer (A4) having at least a unit and a structural unit having a polymerizable site with the photopolymerizable compound (B) described later can also be preferably used. When the alkali-soluble resin (A) contains the copolymer (A3) or the copolymer (A4), the adhesiveness of the film formed by using the photosensitive composition to the substrate and the photosensitive composition are used. The mechanical strength of the obtained cured film can be increased.

共重合体（Ａ３）、及び共重合体（Ａ４）は、共重合体（Ａ２）について他の化合物として記載される、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチレン類等をさらに共重合させたものであってもよい。 The copolymer (A3) and the copolymer (A4) are described as other compounds for the copolymer (A2), such as (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylamides, allyl compounds, vinyl ethers. , Vinyl esters, styrenes and the like may be further copolymerized.

光重合性化合物（Ｂ）との重合可能部位を有する構成単位は、光重合性化合物（Ｂ）との重合可能部位としてエチレン性不飽和基を有するものが好ましい。このような構成単位を有する共重合体化は、共重合体（Ａ３）については、上記不飽和カルボン酸（ａ１）に由来する構成単位を含む重合体に含まれるカルボキシル基の少なくとも一部と、上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）及び／又はエポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）とを反応させることにより、調製することができる。また、共重合体（Ａ４）は、上記不飽和カルボン酸（ａ１）に由来する構成単位と、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）及び／又はエポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）に由来する構成単位とを有する共重合体におけるエポキシ基の少なくとも一部と、不飽和カルボン酸（ａ１）とを反応させることにより、調製することができる。 The structural unit having a polymerizable moiety with the photopolymerizable compound (B) preferably has an ethylenically unsaturated group as the polymerizable moiety with the photopolymerizable compound (B). The copolymerization having such a structural unit includes at least a part of the carboxyl groups contained in the polymer containing the structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid (a1) for the copolymer (A3). It can be prepared by reacting the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) and / or the epoxy group-containing unsaturated compound (a4). Further, the copolymer (A4) is composed of a structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid (a1) and an alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) and / or an epoxy group-containing unsaturated compound (a4). It can be prepared by reacting at least a part of the epoxy group in the copolymer having the derived structural unit with the unsaturated carboxylic acid (a1).

共重合体（Ａ３）における、不飽和カルボン酸（ａ１）に由来する構成単位の占める割合は、１〜５０質量％が好ましく、５〜４５質量％がより好ましい。共重合体（Ａ３）における、光重合性化合物（Ｂ）との重合可能部位を有する構成単位の占める割合は、１〜４５質量％が好ましく、５〜４０質量％がより好ましい。共重合体（Ａ３）がこのような比率で各構成単位を含む場合、基板との密着性に優れる膜を形成可能な感光性組成物を得やすい。 The proportion of the constituent unit derived from the unsaturated carboxylic acid (a1) in the copolymer (A3) is preferably 1 to 50% by mass, more preferably 5 to 45% by mass. The proportion of the structural unit having a polymerizable site with the photopolymerizable compound (B) in the copolymer (A3) is preferably 1 to 45% by mass, more preferably 5 to 40% by mass. When the copolymer (A3) contains each structural unit in such a ratio, it is easy to obtain a photosensitive composition capable of forming a film having excellent adhesion to the substrate.

共重合体（Ａ４）における、不飽和カルボン酸（ａ１）に由来する構成単位の占める割合は、１〜５０質量％が好ましく、５〜４５質量％がより好ましい。共重合体（Ａ４）における、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）及び／又はエポキシ基含有不飽和化合物（ａ４）に由来する構成単位の占める割合は、２０質量％以上であることが好ましく、５０〜９５質量％であることがより好ましく、６０〜８０質量％であることがさらに好ましい。
共重合体（Ａ４）における、光重合性化合物（Ｂ）との重合可能部位を有する構成単位の占める割合は、１〜４５質量％が好ましく、５〜４０質量％がより好ましい。共重合体（Ａ４）がこのような比率で各構成単位を含む場合、基板との密着性に優れる膜を形成可能な感光性組成物を得やすい。 The proportion of the structural unit derived from the unsaturated carboxylic acid (a1) in the copolymer (A4) is preferably 1 to 50% by mass, more preferably 5 to 45% by mass. The proportion of the constituent units derived from the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound (a2) and / or the epoxy group-containing unsaturated compound (a4) in the copolymer (A4) is 20% by mass or more. It is preferably 50 to 95% by mass, more preferably 60 to 80% by mass.
The proportion of the structural unit having a polymerizable site with the photopolymerizable compound (B) in the copolymer (A4) is preferably 1 to 45% by mass, more preferably 5 to 40% by mass. When the copolymer (A4) contains each structural unit in such a ratio, it is easy to obtain a photosensitive composition capable of forming a film having excellent adhesion to the substrate.

共重合体（Ａ３）、及び共重合体（Ａ４）の質量平均分子量は、２０００〜５００００であることが好ましく、５０００〜３００００であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。 The mass average molecular weight of the copolymer (A3) and the copolymer (A4) is preferably 2000 to 50000, and more preferably 5000 to 30000. Within the above range, the film-forming ability of the photosensitive composition and the developability after exposure tend to be easily balanced.

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量は、後述する溶剤（Ｓ）の質量を除いた感光性組成物の質量に対して４０〜８５質量％であることが好ましく、４５〜７５質量％であることがより好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、アルカリ可溶性樹（Ａ）の含有量と、光重合性化合物（Ｂ）の含有量と、光重合開始剤（Ｃ）の含有量との合計量を１００質量部とする場合に、感光性組成物中の光重合性化合物（Ｂ）の含有量が５〜５０質量部となるように、感光性組成物に配合されるのが好ましい。 The content of the alkali-soluble resin (A) is preferably 40 to 85% by mass, preferably 45 to 75% by mass, based on the mass of the photosensitive composition excluding the mass of the solvent (S) described later. Is more preferable. Further, in the alkali-soluble resin (A), the total amount of the content of the alkali-soluble tree (A), the content of the photopolymerizable compound (B), and the content of the photopolymerization initiator (C) is 100 mass by mass. In the case of parts, it is preferable to add the photopolymerizable compound (B) to the photosensitive composition so that the content of the photopolymerizable compound (B) is 5 to 50 parts by mass.

前述の通り、感光性組成物中の塩化物イオン量は、１０００質量ｐｐｍ以下である。このため、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）中の塩化物イオン量もある程度低減されている必要がある。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）中の塩化物イオン量を低減する方法としては、水、有機溶剤、有機溶剤の水溶液等による洗浄や、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の溶液を調製した後、得られた溶液を陰イオン交換樹脂と接触させる方法等が挙げられる。 As described above, the amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. Therefore, the amount of chloride ions in the alkali-soluble resin (A) also needs to be reduced to some extent.
As a method for reducing the amount of chloride ions in the alkali-soluble resin (A), washing with water, an organic solvent, an aqueous solution of an organic solvent, or the like, or preparing a solution of the alkali-soluble resin (A), and then obtaining a solution. A method of contacting the resin with an anion exchange resin and the like can be mentioned.

＜光重合性化合物（Ｂ）＞
光重合性化合物（Ｂ）としては、エチレン性不飽和基を有するモノマーを好ましく用いることができる。このエチレン性不飽和基を有するモノマーには、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。 <Photopolymerizable compound (B)>
As the photopolymerizable compound (B), a monomer having an ethylenically unsaturated group can be preferably used. The monomer having an ethylenically unsaturated group includes a monofunctional monomer and a polyfunctional monomer.

単官能モノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、メチロール（メタ）アクリルアミド、メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、ｔｅｒｔ−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Examples of the monofunctional monomer include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxymethyl (meth) acrylamide, and N-methylol ( Meta) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamide- 2-Methylpropanesulfonic acid, tert-butylacrylamide sulfonic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (Meta) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, Glycerin mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3 -Tetrafluoropropyl (meth) acrylate, half (meth) acrylate of phthalic acid derivative and the like can be mentioned. These monofunctional monomers can be used alone or in combination of two or more.

一方、多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（すなわち、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、又はヘキサメチレンジイソシアネート等と２−ビドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応物）、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ−メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 On the other hand, as the polyfunctional monomer, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol Di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (meth) acrylate, trimethylpropantri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol Tetra acrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipenta Ellisritol hexa (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxidiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxipolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3 -(Meta) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diglycidyl phthalate di (meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin poly Glycidyl ether poly (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (ie, reaction product of tolylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, etc. and 2-vidroxyethyl (meth) acrylate), methylenebis (meth) acrylamide, Examples thereof include polyfunctional monomers such as (meth) acrylamide methylene ether, a condensate of polyhydric alcohol and N-methylol (meth) acrylamide, and triacrylic formal. These polyfunctional monomers can be used alone or in combination of two or more.

これらのエチレン性不飽和基を有するモノマーの中でも、感光性組成物の基板への密着性、感光性組成物の硬化後の強度を高める傾向にある点から、３官能以上の多官能モノマーが好ましく、４官能以上の多官能モノマーがより好ましく、５官能以上の多官能モノマーがさらに好ましい。 Among these monomers having an ethylenically unsaturated group, a trifunctional or higher functional monomer is preferable because it tends to increase the adhesion of the photosensitive composition to the substrate and the strength of the photosensitive composition after curing. A tetrafunctional or higher functional monomer is more preferable, and a pentafunctional or higher functional monomer is further preferable.

光重合性化合物（Ｂ）の組成物中の含有量は、後述する溶剤（Ｓ）の質量を除いた感光性組成物の質量に対して１〜５０質量％が好ましく、５〜４０質量％がより好ましい。上記の範囲とすることにより、感度、現像性、解像性のバランスがとりやすい傾向がある。 The content of the photopolymerizable compound (B) in the composition is preferably 1 to 50% by mass, preferably 5 to 40% by mass, based on the mass of the photosensitive composition excluding the mass of the solvent (S) described later. More preferred. Within the above range, it tends to be easy to balance sensitivity, developability, and resolution.

前述の通り、感光性組成物中の塩化物イオン量は、１０００質量ｐｐｍ以下である。このため、光重合性化合物（Ｂ）中の塩化物イオン量もある程度低減されている必要がある。
光重合性化合物（Ｂ）中の塩化物イオン量を低減する方法としては、水、有機溶剤、有機溶剤の水溶液等による洗浄や、蒸留、再結晶、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の溶液を調製した後、得られた溶液を陰イオン交換樹脂と接触させる方法等が挙げられる。 As described above, the amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. Therefore, the amount of chloride ions in the photopolymerizable compound (B) also needs to be reduced to some extent.
As a method for reducing the amount of chloride ions in the photopolymerizable compound (B), washing with water, an organic solvent, an aqueous solution of an organic solvent or the like, distillation, recrystallization, or a solution of an alkali-soluble resin (A) was prepared. After that, a method of contacting the obtained solution with an anion exchange resin and the like can be mentioned.

＜光重合開始剤（Ｃ）＞
感光性組成物は光重合開始剤（Ｃ）を含む。光重合開始剤（Ｃ）は、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを組み合わせて含む。以下、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、化合物（Ｃ２）とについて説明する。 <Photopolymerization initiator (C)>
The photosensitive composition contains a photopolymerization initiator (C). The photopolymerization initiator (C) contains a combination of an oxime ester compound (C1) and a compound (C2) other than the oxime ester compound. Hereinafter, the oxime ester compound (C1) and the compound (C2) will be described.

（オキシムエステル化合物（Ｃ１））
感光性組成物は、光重合開始剤としてオキシムエステル化合物（Ｃ１）を必須に含む。オキシムエステル化合物（Ｃ１）としては、光重合開始剤として作用する化合物であって、エステル化されたオキシム基を含み、且つ光重合開始剤として作用する化合物であれば特に限定されない。 (Oxime ester compound (C1))
The photosensitive composition essentially contains an oxime ester compound (C1) as a photopolymerization initiator. The oxime ester compound (C1) is not particularly limited as long as it is a compound that acts as a photopolymerization initiator, contains an esterified oxime group, and acts as a photopolymerization initiator.

典型的には、オキシムエステル化合物（Ｃ１）としては、下記式（１）で表される化合物が好適に用いられる。

Figure 0006785122
（式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、及びＲ３は、それぞれ独立に、炭素原子に結合する結合手を有する１価の有機基である。ｎ０は、０又は１である。）
で表される化合物を含む。このため、感光性組成物は感度に優れる。 Typically, as the oxime ester compound (C1), a compound represented by the following formula (1) is preferably used.
Figure 0006785122
 (In formula (1), R 1 , R 2 and R 3 are monovalent organic groups each independently having a bond bond to a carbon atom. N0 is 0 or 1.)
Includes compounds represented by. Therefore, the photosensitive composition is excellent in sensitivity.

しかし、光重合開始剤（Ｃ）としてオキシムエステル化合物（Ｃ１）のみを用いると、微細なパターンを解像しにくい。これに対して、光重合開始剤（Ｃ）として、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを併用すると、良好な感度を有しつつ、現像により微細なパターンを改造しやすい。 However, when only the oxime ester compound (C1) is used as the photopolymerization initiator (C), it is difficult to resolve a fine pattern. On the other hand, when the oxime ester compound (C1) and the compound (C2) other than the oxime ester compound are used in combination as the photopolymerization initiator (C), a fine pattern can be developed by development while having good sensitivity. Easy to modify.

光重合開始剤（Ｃ）は、オキシムエステル化合物（Ｃ１）を２種以上組み合わせて含んでいてもよい。 The photopolymerization initiator (C) may contain a combination of two or more oxime ester compounds (C1).

式（１）中、Ｒ１として好適な有機基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基等が挙げられる。
また、Ｒ１としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒ１に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。 In the formula (1), examples of suitable organic group as R 1 is an alkyl group, alkoxy group, cycloalkyl group, cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, a substituted group A phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent. A good benzoyloxy group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, A naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a heterocyclylcarbonyl group which may have a group, an amino group substituted with one or two organic groups, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group and the like.
Further, as R 1 , a cycloalkylalkyl group, a phenoxyalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, and a phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring are also preferable. The substituents that the phenoxyalkyl group and the phenylthioalkyl group may have are the same as the substituents that the phenyl group contained in R 1 may have.

Ｒ１がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜６がより好ましい。また、Ｒ１がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ１がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ１がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R 1 is an alkyl group, the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6. When R 1 is an alkyl group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where R 1 is an alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group and an n-pentyl group. , Isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, Examples thereof include an n-decyl group and an isodecyl group. Further, when R 1 is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group and the like.

Ｒ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜６がより好ましい。また、Ｒ１がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ１がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ−オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When R 1 is an alkoxy group, the number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6. When R 1 is an alkoxy group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where R 1 is an alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, a tert-butyloxy group and n. -Pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec-octyloxy group , Trt-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group, isodecyloxy group and the like. When R 1 is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include methoxyethoxy group, ethoxyethoxy group, methoxyethoxyethoxy group, ethoxyethoxyethoxy group, propyloxyethoxyethoxy group, methoxypropyloxy group and the like.

Ｒ１がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３〜１０が好ましく、３〜６がより好ましい。Ｒ１がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒ１がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When R 1 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms of the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group is preferably 3 to 10 and more preferably 3 to 6. Specific examples of the case where R 1 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group and the like. Specific examples of the case where R 1 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, a cyclooctyloxy group and the like.

Ｒ１が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２〜２１が好ましく、２〜７がより好ましい。Ｒ１が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ−ブタノイル基、２−メチルプロパノイル基、ｎ−ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロパノイル基、ｎ−ヘキサノイル基、ｎ−ヘプタノイル基、ｎ−オクタノイル基、ｎ−ノナノイル基、ｎ−デカノイル基、ｎ−ウンデカノイル基、ｎ−ドデカノイル基、ｎ−トリデカノイル基、ｎ−テトラデカノイル基、ｎ−ペンタデカノイル基、及びｎ−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒ１が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ−ブタノイルオキシ基、２−メチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ペンタノイルオキシ基、２，２−ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ヘキサノイルオキシ基、ｎ−ヘプタノイルオキシ基、ｎ−オクタノイルオキシ基、ｎ−ノナノイルオキシ基、ｎ−デカノイルオキシ基、ｎ−ウンデカノイルオキシ基、ｎ−ドデカノイルオキシ基、ｎ−トリデカノイルオキシ基、ｎ−テトラデカノイルオキシ基、ｎ−ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When R 1 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms of the saturated aliphatic acyl group or the saturated aliphatic acyloxy group is preferably 2 to 21, more preferably 2 to 7. Specific examples of the case where R 1 is a saturated aliphatic acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, an n-butanoyl group, a 2-methylpropanoyl group, an n-pentanoyl group, a 2,2-dimethylpropanoyl group and n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. Specific examples of the case where R 1 is a saturated aliphatic acyloxy group include an acetyloxy group, a propanoyloxy group, an n-butanoyloxy group, a 2-methylpropanoyloxy group, an n-pentanoyloxy group, 2, 2-Dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n -Dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, n-hexadecanoyloxy group and the like can be mentioned.

Ｒ１がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２〜２０が好ましく、２〜７がより好ましい。Ｒ１がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシカルボニル基、ｎ−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When R 1 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms of the alkoxycarbonyl group is preferably 2 to 20, more preferably 2 to 7. Specific examples of the case where R 1 is an alkoxycarbonyl group include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an n-propyloxycarbonyl group, an isopropyloxycarbonyl group, an n-butyloxycarbonyl group, an isobutyloxycarbonyl group, and sec-butyl. Oxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group Group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octyloxycarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group, and Examples thereof include an isodecyloxycarbonyl group.

Ｒ１がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７〜２０が好ましく、７〜１０がより好ましい。また、Ｒ１がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１〜２０が好ましく、１１〜１４がより好ましい。Ｒ１がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２−フェニルエチル基、３−フェニルプロピル基、及び４−フェニルブチル基が挙げられる。Ｒ１がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、２−（α−ナフチル）エチル基、及び２−（β−ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒ１が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒ１は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。 When R 1 is a phenylalkyl group, the number of carbon atoms of the phenylalkyl group is preferably 7 to 20, and more preferably 7 to 10. When R 1 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms of the naphthylalkyl group is preferably 11 to 20, more preferably 11 to 14. Specific examples of the case where R 1 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of the case where R 1 is a naphthylalkyl group include α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group, 2- (α-naphthyl) ethyl group, and 2- (β-naphthyl) ethyl group. .. R 1 is a phenyl group, or when it is naphthyl alkyl group, R 1 may have a substituent on the phenyl group, or naphthyl group.

Ｒ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Ｒ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。 When R 1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, O, or the monocycles are fused together, or the monocycle and the benzene ring are condensed. It is a heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is up to 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrol, oxazole, isooxazole, thiazole, thiaziazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, and indol. Isoindole, indridin, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperazine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyrane, tetrahydrofuran and the like. Be done. When R 1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

Ｒ１がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒ１がヘテロシクリル基である場合と同様である。 When R 1 is a heterocyclyl carbonyl group, the heterocyclyl group contained in the heterocyclyl carbonyl group is the same as when R 1 is a heterocyclyl group.

Ｒ１が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２１の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒ１と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ−プロピルアミノ基、ジ−ｎ−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ−ブチルアミノ基、ジ−ｎ−ブチルアミノ基、ｎ−ペンチルアミノ基、ｎ−ヘキシルアミノ基、ｎ−ヘプチルアミノ基、ｎ−オクチルアミノ基、ｎ−ノニルアミノ基、ｎ−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ−ブタノイルアミノ基、ｎ−ペンタノイルアミノ基、ｎ−ヘキサノイルアミノ基、ｎ−ヘプタノイルアミノ基、ｎ−オクタノイルアミノ基、ｎ−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。 When R 1 is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, suitable examples of the organic group are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and a carbon atom. Saturated aliphatic acyl group of number 2 to 21, phenyl group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, phenylalkyl which may have a substituent and has 7 to 20 carbon atoms. Examples thereof include a group, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent and has 11 to 20 carbon atoms, and a heterocyclyl group. .. Specific examples of these preferred organic groups are similar to those for R 1. Specific examples of the amino group substituted with the organic group 1 or 2 include a methylamino group, an ethylamino group, a diethylamino group, an n-propylamino group, a di-n-propylamino group, an isopropylamino group and an n-. Butylamino group, di-n-butylamino group, n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, Naftylamino group, acetylamino group, propanoylamino group, n-butanoylamino group, n-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n- Examples thereof include a decanoylamino group, a benzoylamino group, an α-naphthoylamino group, a β-naphthoylamino group and the like.

Ｒ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン原子、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 1 further have a substituent, the substituents include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, and a saturated fat. Group acyloxy group, alkoxycarbonyl group, phenyl group which may have a substituent, phenoxy group which may have a substituent, phenylthio group which may have a substituent, benzoyl which may have a substituent. A group, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a substituent. A naphthoxy group which may have a group, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthoyloxy group which may have a substituent, and a substituent. A naphthylalkyl group which may have, a heterocyclyl group which may have a substituent, a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group, an amino group substituted with one or two organic groups, morpholin-. Examples thereof include 1-yl group, piperazin-1-yl group, halogen atom, nitro group, cyano group and the like.

Ｒ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。Ｒ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 1 further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 1 to 4 is preferable. When the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group contained in R 1 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

置換基がアルキル基である場合、炭素原子数１〜２０が好ましく、炭素原子数１〜６がより好ましい。置換基がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。置換基がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、置換基がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When the substituent is an alkyl group, the number of carbon atoms is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6 carbon atoms. When the substituent is an alkyl group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where the substituent is an alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group and an n-pentyl group. , Isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, Examples thereof include an n-decyl group and an isodecyl group. When the substituent is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group and the like.

置換基がアルコキシ基である場合、炭素原子数１〜２０が好ましく、炭素原子数１〜６がより好ましい。また、置換基がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。置換基がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ−オクチオキシル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、置換基がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When the substituent is an alkoxy group, the number of carbon atoms is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6 carbon atoms. When the substituent is an alkoxy group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where the substituent is an alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, a tert-butyloxy group and n. -Pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec-octioxyl group, Examples thereof include a tert-octyloxy group, an n-nonyloxy group, an isononyloxy group, an n-decyloxy group, an isodecyloxy group and the like. When the substituent is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include methoxyethoxy group, ethoxyethoxy group, methoxyethoxyethoxy group, ethoxyethoxyethoxy group, propyloxyethoxyethoxy group, methoxypropyloxy group and the like.

置換基がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、炭素原子数３〜１０が好ましく、炭素原子数３〜６がより好ましい。置換基がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。置換基がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When the substituent is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms is preferably 3 to 10, and more preferably 3 to 6 carbon atoms. Specific examples of the case where the substituent is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group and the like. Specific examples of the case where the substituent is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, a cyclooctyloxy group and the like.

置換基が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、炭素原子数２〜２０が好ましく、炭素原子数２〜７がより好ましい。置換基が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ−ブタノイル基、２−メチルプロパノイル基、ｎ−ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロパノイル基、ｎ−ヘキサノイル基、ｎ−ヘプタノイル基、ｎ−オクタノイル基、ｎ−ノナノイル基、ｎ−デカノイル基、ｎ−ウンデカノイル基、ｎ−ドデカノイル基、ｎ−トリデカノイル基、ｎ−テトラデカノイル基、ｎ−ペンタデカノイル基、及びｎ−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。置換基が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ−ブタノイルオキシ基、２−メチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ペンタノイルオキシ基、２，２−ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ヘキサノイルオキシ基、ｎ−ヘプタノイルオキシ基、ｎ−オクタノイルオキシ基、ｎ−ノナノイルオキシ基、ｎ−デカノイルオキシ基、ｎ−ウンデカノイルオキシ基、ｎ−ドデカノイルオキシ基、ｎ−トリデカノイルオキシ基、ｎ−テトラデカノイルオキシ基、ｎ−ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When the substituent is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms is preferably 2 to 20, and more preferably 2 to 7 carbon atoms. Specific examples of the case where the substituent is a saturated aliphatic acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, an n-butanoyl group, a 2-methylpropanoyl group, an n-pentanoyl group, a 2,2-dimethylpropanoyl group and n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. Specific examples of the case where the substituent is a saturated aliphatic acyloxy group include an acetyloxy group, a propanoyloxy group, an n-butanoyloxy group, a 2-methylpropanoyloxy group, an n-pentanoyloxy group, 2, 2-Dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n -Dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, n-hexadecanoyloxy group and the like can be mentioned.

置換基がアルコキシカルボニル基である場合、炭素原子数２〜２０が好ましく、炭素原子数２〜７がより好ましい。置換基がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシカルボニル基、ｎ−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−オクチオキシルカルボニル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When the substituent is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms is preferably 2 to 20, and more preferably 2 to 7 carbon atoms. Specific examples of the case where the substituent is an alkoxycarbonyl group include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an n-propyloxycarbonyl group, an isopropyloxycarbonyl group, an n-butyloxycarbonyl group, an isobutyloxycarbonyl group, and sec-butyl. Oxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group Group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octioxylcarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group, and Examples thereof include an isodecyloxycarbonyl group.

置換基が置換基を有してもよいフェニルアルキル基である場合、炭素原子数７〜２０が好ましく、炭素原子数７〜１０がより好ましい。また、置換基が置換基を有してもよいナフチルアルキル基である場合、炭素原子数１１〜２０が好ましく、炭素原子数１１〜１４がより好ましい。置換基が置換基を有してもよいフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２−フェニルエチル基、３−フェニルプロピル基、及び４−フェニルブチル基が挙げられる。置換基が置換基を有してもよいナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、２−（α−ナフチル）エチル基、及び２−（β−ナフチル）エチル基が挙げられる。 When the substituent is a phenylalkyl group which may have a substituent, the number of carbon atoms is preferably 7 to 20, and more preferably 7 to 10 carbon atoms. When the substituent is a naphthylalkyl group which may have a substituent, the number of carbon atoms is preferably 11 to 20, and more preferably 11 to 14 carbon atoms. Specific examples of the case where the substituent is a phenylalkyl group which may have a substituent include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of the case where the substituent is a naphthylalkyl group which may have a substituent include α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group, 2- (α-naphthyl) ethyl group, and 2- (β). −naphthyl) Ethyl group is mentioned.

置換基が置換基を有してもよいヘテロシクリル基である場合、上記ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。上記ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。 When the substituent is a heterocyclyl group which may have a substituent, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, O, or such monocycles, or It is a heterocyclyl group in which such a monocyclic ring and a benzene ring are condensed. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is up to 3. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isooxazole, thiazole, thiaziazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indol, Examples thereof include isoindole, indolidin, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, and quinoxalin.

置換基が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、上記で置換基について例示したものと同様である。１又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ−プロピルアミノ基、ジ−ｎ−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ−ブチルアミノ基、ジ−ｎ−ブチルアミノ基、ｎ−ペンチルアミノ基、ｎ−ヘキシルアミノ基、ｎ−ヘプチルアミノ基、ｎ−オクチルアミノ基、ｎ−ノニルアミノ基、ｎ−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ−ブタノイルアミノ基、ｎ−ペンタノイルアミノ基、ｎ−ヘキサノイルアミノ基、ｎ−ヘプタノイルアミノ基、ｎ−オクタノイルアミノ基、ｎ−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。 When the substituent is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, suitable examples of the organic group are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and carbon. Saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 atoms, phenyl group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, and phenyl which may have a substituent and which has 7 to 20 carbon atoms. Examples thereof include an alkyl group, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent and has 11 to 20 carbon atoms, and a heterocyclyl group. Be done. Specific examples of these suitable organic groups are the same as those exemplified for the substituents above. Specific examples of the amino group substituted with 1 or 2 organic groups include methylamino group, ethylamino group, diethylamino group, n-propylamino group, di-n-propylamino group, isopropylamino group and n-butyl. Amino group, di-n-butylamino group, n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, naphthyl Amino group, acetylamino group, propanoylamino group, n-butanoylamino group, n-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n-deca Examples thereof include a noylamino group, a benzoylamino group, an α-naphthoylamino group, a β-naphthoylamino group and the like.

上記置換基において、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等がさらに置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１〜６のアルキル基；炭素原子数１〜６のアルコキシ基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン−１−イル基；ピペラジン−１−イル基；ハロゲン原子；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。上記置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 Among the above-mentioned substituents, examples of the substituent when the phenyl group, the naphthyl group, the heterocyclyl group and the like further have a substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms; Saturated aliphatic acyl group with 2 to 7 carbon atoms; alkoxycarbonyl group with 2 to 7 carbon atoms; saturated aliphatic acyloxy group with 2 to 7 carbon atoms; phenyl group; naphthyl group; benzoyl group; naphthoyl group; carbon A benzoyl group substituted with a group selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 6 atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, and a phenyl group; an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. Examples thereof include a monoalkylamino group having 1 to 6 carbon atoms; a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; a morpholin-1-yl group; a piperazine-1-yl group; a halogen atom; a nitro group; a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group, heterocyclyl group and the like contained in the substituent further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 1 to 4 are preferable. When the phenyl group, the naphthyl group, the heterocyclyl group and the like have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

有機基の中でも、Ｒ１としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜８のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１〜４のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２−メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５〜１０が好ましく、５〜８がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２−（４−クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。 Among the organic groups, R 1 includes an alkyl group, a cycloalkyl group, a phenyl group which may have a substituent, or a cycloalkylalkyl group, and a phenylthio which may have a substituent on the aromatic ring. Alkyl groups are preferred. As the alkyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is particularly preferable, and a methyl group is most preferable. Among the phenyl groups that may have a substituent, a methylphenyl group is preferable, and a 2-methylphenyl group is more preferable. The number of carbon atoms of the cycloalkyl group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 5 to 10, more preferably 5 to 8, and particularly preferably 5 or 6. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 1 to 8, more preferably 1 to 4, and particularly preferably 2. Among the cycloalkylalkyl groups, a cyclopentylethyl group is preferable. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring is preferably 1 to 8, more preferably 1 to 4, and particularly preferably 2. Among the phenylthioalkyl groups that may have a substituent on the aromatic ring, a 2- (4-chlorophenylthio) ethyl group is preferable.

また、Ｒ１としては、−Ａｃ１−ＣＯ−Ｏ−Ａｃ２で表される基も好ましい。Ａｃ１は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａｂ２は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。 Further, as R 1 , a group represented by −A c1 −CO—O—A c2 is also preferable. Ac1 is a divalent organic group, preferably a divalent hydrocarbon group, and preferably an alkylene group. A b2 is a monovalent organic group, preferably a monovalent hydrocarbon group.

Ａｃ１がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａｃ１がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましく、１〜４が特に好ましい。 When A c1 is an alkylene group, the alkylene group may be linear or branched, preferably linear. When A c1 is an alkylene group, the number of carbon atoms of the alkylene group is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 6, and particularly preferably 1 to 4.

Ａｃ２の好適な例としては、炭素原子数１〜１０のアルキル基、炭素原子数７〜２０のアラルキル基、及び炭素原子数６〜２０の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａｃ２の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α−ナフチルメチル基、及びβ−ナフチルメチル基等が挙げられる。 Preferred examples of A c2 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. Suitable specific examples of A c2 are methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group and n-hexyl. Examples thereof include a group, a phenyl group, a naphthyl group, a benzyl group, a phenethyl group, an α-naphthylmethyl group, and a β-naphthylmethyl group.

−Ａｃ１−ＣＯ−Ｏ−Ａｃ２で表される基の好適な具体例としては、２−メトキシカルボニルエチル基、２−エトキシカルボニルエチル基、２−ｎ−プロピルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ブチルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ペンチルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２−ベンジルオキシカルボニルエチル基、２−フェノキシカルボニルエチル基、３−メトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−エトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−プロピルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ブチルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ペンチルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ヘキシルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ベンジルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、及び３−フェノキシカルボニル−ｎ−プロピル基等が挙げられる。 Preferable specific examples of the group represented by −A c1 −CO—O—A c2 are 2-methoxycarbonylethyl group, 2-ethoxycarbonylethyl group, 2-n-propyloxycarbonylethyl group, 2-n. -Butyloxycarbonylethyl group, 2-n-pentyloxycarbonylethyl group, 2-n-hexyloxycarbonylethyl group, 2-benzyloxycarbonylethyl group, 2-phenoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl Group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-propyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-butyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-pentyloxycarbonyl-n-propyl group , 3-n-hexyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-benzyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-phenoxycarbonyl-n-propyl group and the like.

以上、Ｒ１について説明したが、Ｒ１としては、下記式（ｃ１ａ）又は（ｃ１ｂ）で表される基が好ましい。

Figure 0006785122
（式（ｃ１ａ）及び（ｃ１ｂ）中、Ｒ７及びＲ８はそれぞれ有機基であり、ｐは０〜４の整数であり、Ｒ７及びＲ８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ７とＲ８とが互いに結合して環を形成してもよく、ｑは１〜８の整数であり、ｒは１〜５の整数であり、ｓは０〜（ｒ＋３）の整数であり、Ｒ９は有機基である。） Having described R 1, as the R 1, preferably a group represented by the following formula (c1a) or (c1b).
Figure 0006785122
 (In formulas (c1a) and (c1b), R 7 and R 8 are organic groups, respectively, p is an integer of 0 to 4, and R 7 and R 8 are present at adjacent positions on the benzene ring. , R 7 and R 8 may be coupled to each other to form a ring, where q is an integer of 1 to 8, r is an integer of 1 to 5, and s is an integer of 0 to (r + 3). Yes, R 9 is an organic group.)

式（ｃ１ａ）中のＲ７及びＲ８についての有機基の例は、Ｒ１と同様である。Ｒ７としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒ７がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましく、１〜３が特に好ましく、１が最も好ましい。つまり、Ｒ７はメチル基であるのが最も好ましい。
Ｒ７とＲ８とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（ｃ１ａ）で表される基であって、Ｒ７とＲ８とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン−１−イル基や、１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−５−イル基等が挙げられる。上記式（ｃ１ａ）中、ｐは０〜４の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。 Examples of organic groups for R 7 and R 8 in formula (c1a) are similar to R 1 . As R 7 , an alkyl group or a phenyl group is preferable. When R 7 is an alkyl group, the number of carbon atoms thereof is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 5, particularly preferably 1 to 3, and most preferably 1. That is, R 7 is most preferably a methyl group.
When R 7 and R 8 are combined to form a ring, the ring may be an aromatic ring or an aliphatic ring. Preferable examples of the group represented by the formula (c1a) in which R 7 and R 8 form a ring include a naphthalene-1-yl group and 1,2,3,4-. Examples thereof include a tetrahydronaphthalene-5-yl group. In the above formula (c1a), p is an integer of 0 to 4, preferably 0 or 1, and more preferably 0.

上記式（ｃ１ｂ）中、Ｒ９は有機基である。有機基としては、Ｒ１について説明した有機基と同様の基が挙げられる。
Ｒ９としての有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましく、１〜３が特に好ましい。Ｒ９としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。 In the above formula (c1b), R 9 is an organic group. Examples of the organic group include groups similar to the organic group described for R 1 .
Among the organic groups as R 9 , an alkyl group is preferable. The alkyl group may be linear or branched. The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 5, and particularly preferably 1 to 3. Examples of R 9 are preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group and the like, and among these, a methyl group is more preferable.

上記式（ｃ１ｂ）中、ｒは１〜５の整数であり、１〜３の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（ｃ１ｂ）中、ｓは０〜（ｒ＋３）であり、０〜３の整数が好ましく、０〜２の整数がより好ましく、０が特に好ましい。上記式（ｃ１ｂ）中、ｑは１〜８の整数であり、１〜５の整数が好ましく、１〜３の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。 In the above formula (c1b), r is an integer of 1 to 5, preferably an integer of 1 to 3, and more preferably 1 or 2. In the above formula (c1b), s is 0 to (r + 3), an integer of 0 to 3 is preferable, an integer of 0 to 2 is more preferable, and 0 is particularly preferable. In the above formula (c1b), q is an integer of 1 to 8, preferably an integer of 1 to 5, more preferably an integer of 1 to 3, and particularly preferably 1 or 2.

式（１）中、Ｒ２は有機基である。かかる有機基としては、置換基を有してもよいアリール基、又は置換基を有してもよいヘテロアリール基が好ましい。置換基を有してもよいアリール基としては、例えば、置換基を有してもよいフェニル基が挙げられる。置換基を有してもよいヘテロアリール基としては、例えば、置換基を有してもよいカルバゾリル基が挙げられる。 In formula (1), R 2 is an organic group. As such an organic group, an aryl group which may have a substituent or a heteroaryl group which may have a substituent is preferable. Examples of the aryl group which may have a substituent include a phenyl group which may have a substituent. Examples of the heteroaryl group which may have a substituent include a carbazolyl group which may have a substituent.

Ｒ２において、アリール基、ヘテロアリール基、フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。アリール基、ヘテロアリール基、フェニル基、又はカルバゾリル基が、炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン原子、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。 In R 2 , the substituent which the aryl group, the heteroaryl group, the phenyl group, or the carbazolyl group may have is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. Examples of suitable substituents in which the aryl group, heteroaryl group, phenyl group, or carbazolyl group may have on the carbon atom include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, and a saturated aliphatic group. It has an acyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, an alkoxycarbonyl group, a phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a phenylthio group which may have a substituent, and a substituent. It may have a benzoyl group, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent, or a substituent. A good naphthyl group, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, and a naphthoyloxy which may have a substituent. It was substituted with a group, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group, or an organic group of 1 or 2. Examples thereof include an amino group, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group, a halogen atom, a nitro group, a cyano group and the like.

Ｒ２がヘテロアリール基又はカルバゾリル基である場合、ヘテロアリール基が窒素原子等のヘテロ原子上に有してもよい好適な置換基、及び、カルバゾリル基が窒素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、アルキル基、シクロアルキル基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。これらの置換基の中では、アルキル基が好ましく、炭素原子数１〜２０のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１〜６のアルキル基がさらにより好ましく、エチル基が特に好ましい。 When R 2 is a heteroaryl group or a carbazolyl group, a suitable substituent which the heteroaryl group may have on a hetero atom such as a nitrogen atom and a suitable substituent where the carbazolyl group may have on a nitrogen atom Examples of such substituents include an alkyl group, a cycloalkyl group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, and a substituent. It may have a phenoxycarbonyl group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, or a substituent. Examples thereof include a good naphthoxycarbonyl group, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent. Among these substituents, an alkyl group is preferable, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is more preferable, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is even more preferable, and an ethyl group is particularly preferable.

アリール基、ヘテロアリール基、フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒ１について説明したのと同様である。 Specific examples of the substituent which the aryl group, heteroaryl group, phenyl group, or carbazolyl group may have are an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, and a saturated aliphatic acyloxy. Substituent with a group, an alkoxycarbonyl group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and one or two organic groups. for the amino group is the same as that described for R 1.

上記置換基において、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基等がさらに置換基を有する場合の置換基に関しては、Ｒ１について説明したのと同様である。 In the above substituents, for substituents when phenyl group, a naphthyl group, and heterocyclyl group further has a substituent, it is the same as described for R 1.

Ｒ２の中では、感光性組成物が感度に優れる点から、下記式（１−１）又は（１−２）で表される基が好ましく、下記式（１−１）で表される基がより好ましく、下記式（１−１）で表される基であって、ＡがＳである基が特に好ましい。 Among R 2, from the viewpoint of photosensitive composition excellent in sensitivity, is preferably a group represented by the following formula (1-1) or (1-2), a group represented by the following formula (1-1) Is more preferable, and a group represented by the following formula (1-1), in which A is S, is particularly preferable.

Figure 0006785122
（Ｒ４は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン原子、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、ＡはＳ又はＯであり、ｎは、０〜４の整数である。）
Figure 0006785122
 (R 4 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen atom, a nitro group, and a cyano group, A is S or O, and n is an integer of 0 to 4. Is.)

Figure 0006785122
（Ｒ５及びＲ６は、それぞれ、１価の有機基である。）
Figure 0006785122
 (R 5 and R 6 are monovalent organic groups, respectively.)

感光性組成物を用いてパターンを形成する場合、パターン形成時のポストベークの工程での加熱によって、パターンに着色が生じやすい。しかし、感光性組成物において、光重合開始剤として、Ｒ２が上記式（１−１）で表される基であって、ＡがＳである基である、式（１）で表されるオキシムエステル化合物を用いる場合、加熱によるパターンの着色を抑制しやすい。 When a pattern is formed using a photosensitive composition, the pattern is likely to be colored by heating in the post-baking step at the time of pattern formation. However, in the photosensitive composition, as a photopolymerization initiator, a radical R 2 is represented by the above formula (1-1), a group A is S, represented by formula (1) When an oxime ester compound is used, it is easy to suppress the coloring of the pattern due to heating.

式（１−１）におけるＲ４が有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式（１−１）においてＲ４が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数１〜６のアルキル基；炭素原子数１〜６のアルコキシ基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン−１−イル基；ピペラジン−１−イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。 When R 4 in the formula (1-1) is an organic group, it can be selected from various organic groups as long as the object of the present invention is not impaired. A preferred example of the case where R 4 is an organic group in the formula (1-1) is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms; and a saturation of 2 to 7 carbon atoms. Aliphatic acyl group; alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms; saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms; phenyl group; naphthyl group; benzoyl group; naphthoyl group; alkyl group having 1 to 6 carbon atoms , Morpholine-1-yl group, piperazin-1-yl group, and benzoyl group substituted with a group selected from the group consisting of phenyl group; monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; carbon Examples thereof include a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 atoms; a morpholin-1-yl group; a piperazin-1-yl group; a halogen; a nitro group; and a cyano group.

Ｒ４の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２−メチルフェニルカルボニル基；４−（ピペラジン−１−イル）フェニルカルボニル基；４−（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。 Among the R 4, benzoyl; substituted alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, morpholin-1-yl group, piperazin-1-yl group, and by a group selected from the group consisting of phenyl group; naphthoyl group Benzoyl group; nitro group is preferable, benzoyl group; naphthoyl group; 2-methylphenylcarbonyl group; 4- (piperazine-1-yl) phenylcarbonyl group; 4- (phenyl) phenylcarbonyl group is more preferable.

また、式（１−１）において、ｎは、０〜３の整数が好ましく、０〜２の整数がより好ましく、０又は１であるのが特に好ましい。ｎが１である場合、Ｒ４の結合する位置は、Ｒ４が結合するフェニル基が原子Ａと結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。 Further, in the formula (1-1), n is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and particularly preferably 0 or 1. when n is 1, the binding position of R 4 is, relative to the bond to the phenyl group R 4 is bonded is bonded to the atom A, is preferably in the para position.

式（１−２）におけるＲ５は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Ｒ５の好適な例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素原子数２〜２０のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。 R 5 in the formula (1-2), in a range that does not impair the object of the present invention can be selected from various organic groups. Preferable examples of R 5 are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, and a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms. An alkoxyalkyl group, an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent. A phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a group, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, and a naphthoxy which may have a substituent. Examples thereof include a carbonyl group, a naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent.

Ｒ５の中では、炭素原子数１〜２０のアルキル基、及び炭素原子数２〜２０のアルコキシアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜６、及び炭素原子数２〜６のアルコキシアルキル基のアルキル基がより好ましく、エチル基、及びエトキシエチル基が特に好ましい。 Among R 5, alkyl group, and preferably an alkoxyalkyl group having 2 to 20 carbon atoms, 1 to 6 carbon atoms, and alkoxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms having 1 to 20 carbon atoms The group is more preferable, and the ethyl group and the ethoxyethyl group are particularly preferable.

式（１−２）におけるＲ６は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒ６として好適な基の具体例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ６として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいチエニル基がより好ましく、２−メチルフェニル基、又はチエニル基が特に好ましい。 R 6 in the formula (1-2) is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention, and can be selected from various organic groups. Specific examples of a group suitable as R 6 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a substituent. Heterocyclyl groups may be mentioned. Among these groups, as R 6 , a phenyl group which may have a substituent or a thienyl group which may have a substituent is more preferable, and a 2-methylphenyl group or a thienyl group is particularly preferable.

Ｒ４、Ｒ５、又はＲ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ４、Ｒ５、又はＲ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。Ｒ４、Ｒ５、又はＲ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 4 , R 5 , or R 6 further have a substituent, the substituent includes an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and 1 to 1 carbon atoms. An alkoxy group of 6, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, and an alkyl having 1 to 6 carbon atoms. Examples thereof include a monoalkylamino group having a group, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, and a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 4 , R 5 , or R 6 further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired. 1 to 4 are preferable. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 4 , R 5 , or R 6 has a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

式（１）中、Ｒ３は有機基である。有機基としては特に限定されないが、アルキル基、アリール基が好ましい。アルキル基としては炭素原子数１〜１１のアルキル基が好ましい。アリール基としては、置換基を有してもよいフェニル基である。置換基を有してもよいフェニル基における置換基は、Ｒ１について説明した置換基と同様である。
Ｒ３としては炭素原子数１〜６のアルキル基、及びフェニル基がより好ましく、メチル基、エチル基、及びフェニル基が特に好ましく、メチル基、及びエチル基が最も好ましい。 In formula (1), R 3 is an organic group. The organic group is not particularly limited, but an alkyl group and an aryl group are preferable. As the alkyl group, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms is preferable. The aryl group is a phenyl group which may have a substituent. Substituent in a phenyl group which may have a substituent group is the same as the substituents described for R 1.
More preferably an alkyl group and a phenyl group, having 1 to 6 carbon atoms as R 3, methyl, particularly preferably an ethyl group and phenyl group, and most preferably a methyl group and an ethyl group.

以上説明した、式（１）で表されるオキシムエステル化合物の好適な具体例としては、以下の化合物が挙げられる。

Figure 0006785122
Preferable specific examples of the oxime ester compound represented by the formula (1) described above include the following compounds.
Figure 0006785122

式（１）で表される化合物としては、下記式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物を用いることも好ましい。

Figure 0006785122
（Ｒｃ１は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、
ｎ１は０〜４の整数であり、
ｎ２は０、又は１であり、
Ｒｃ２は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基であり、
Ｒｃ３は、炭素原子数１〜６のアルキル基である。） As the compound represented by the formula (1), it is also preferable to use the oxime ester compound represented by the following formula (c1).
Figure 0006785122
 (R c1 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group, and a cyano group.
n1 is an integer from 0 to 4,
n2 is 0 or 1,
R c2 is a phenyl group which may have a substituent or a carbazolyl group which may have a substituent.
R c3 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. )

式（ｃ１）中、Ｒｃ１は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒｃ１が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。ｎ１が２〜４の整数である場合、Ｒｃ１は同一であっても異なっていてもよい。また、置換基の炭素原子数には、置換基がさらに有する置換基の炭素原子数を含まない。 In the formula (c1), R c1 is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention, and is appropriately selected from various organic groups. Preferable examples of the case where R c1 is an organic group include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, an alkoxycarbonyl group and a substituent. A phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a benzoyloxy which may have a substituent. A group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, and a substituent. A naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, an amino group, 1 , Or an amino group substituted with 2 organic groups, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group, a halogen, a nitro group, a cyano group and the like. When n1 is an integer of 2 to 4, R c1 may be the same or different. Further, the number of carbon atoms of the substituent does not include the number of carbon atoms of the substituent further possessed by the substituent.

Ｒｃ１がアルキル基である場合、炭素原子数１〜２０が好ましく、炭素原子数１〜６がより好ましい。また、Ｒｃ１がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ１がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ１がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R c1 is an alkyl group, the number of carbon atoms is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6 carbon atoms. When R c1 is an alkyl group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where R c1 is an alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group and an n-pentyl group. , Isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, Examples thereof include an n-decyl group and an isodecyl group. Further, when R c1 is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group and the like.

Ｒｃ１がアルコキシ基である場合、炭素原子数１〜２０が好ましく、炭素原子数１〜６がより好ましい。また、Ｒｃ１がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ１がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ−オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒｃ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When R c1 is an alkoxy group, the number of carbon atoms is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6 carbon atoms. When R c1 is an alkoxy group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where R c1 is an alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, a tert-butyloxy group and n. -Pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec-octyloxy group , Trt-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group, isodecyloxy group and the like. When R c1 is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include methoxyethoxy group, ethoxyethoxy group, methoxyethoxyethoxy group, ethoxyethoxyethoxy group, propyloxyethoxyethoxy group, methoxypropyloxy group and the like.

Ｒｃ１がシクロアルキル基、又はシクロアルコキシ基である場合、炭素原子数３〜１０が好ましく、炭素原子数３〜６がより好ましい。Ｒｃ１がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒｃ１がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When R c1 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms is preferably 3 to 10, and more preferably 3 to 6 carbon atoms. Specific examples of the case where R c1 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group and the like. Specific examples of the case where R c1 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, a cyclooctyloxy group and the like.

Ｒｃ１が飽和脂肪族アシル基、又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、炭素原子数２〜２０が好ましく、炭素原子数２〜７がより好ましい。Ｒｃ１が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ−ブタノイル基、２−メチルプロパノイル基、ｎ−ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロパノイル基、ｎ−ヘキサノイル基、ｎ−ヘプタノイル基、ｎ−オクタノイル基、ｎ−ノナノイル基、ｎ−デカノイル基、ｎ−ウンデカノイル基、ｎ−ドデカノイル基、ｎ−トリデカノイル基、ｎ−テトラデカノイル基、ｎ−ペンタデカノイル基、及びｎ−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒｃ１が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ−ブタノイルオキシ基、２−メチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ペンタノイルオキシ基、２，２−ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ヘキサノイルオキシ基、ｎ−ヘプタノイルオキシ基、ｎ−オクタノイルオキシ基、ｎ−ノナノイルオキシ基、ｎ−デカノイルオキシ基、ｎ−ウンデカノイルオキシ基、ｎ−ドデカノイルオキシ基、ｎ−トリデカノイルオキシ基、ｎ−テトラデカノイルオキシ基、ｎ−ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When R c1 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms is preferably 2 to 20, and more preferably 2 to 7 carbon atoms. Specific examples of the case where R c1 is a saturated aliphatic acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, an n-butanoyl group, a 2-methylpropanoyl group, an n-pentanoyl group, a 2,2-dimethylpropanoyl group and n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. Specific examples of the case where R c1 is a saturated aliphatic acyloxy group include an acetyloxy group, a propanoyloxy group, an n-butanoyloxy group, a 2-methylpropanoyloxy group, an n-pentanoyloxy group, 2, 2-Dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n -Dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, n-hexadecanoyloxy group and the like can be mentioned.

Ｒｃ１がアルコキシカルボニル基である場合、炭素原子数２〜２０が好ましく、炭素原子数２〜７がより好ましい。Ｒｃ１がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシカルボニル基、ｎ−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−オクチルオキシルカルボニル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When R c1 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms is preferably 2 to 20, and more preferably 2 to 7 carbon atoms. Specific examples of the case where R c1 is an alkoxycarbonyl group include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an n-propyloxycarbonyl group, an isopropyloxycarbonyl group, an n-butyloxycarbonyl group, an isobutyloxycarbonyl group, and sec-butyl. Oxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group Group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octyloxylcarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group, and Examples thereof include an isodecyloxycarbonyl group.

Ｒｃ１がフェニルアルキル基である場合、炭素原子数７〜２０が好ましく、炭素原子数７〜１０がより好ましい。またＲｃ１がナフチルアルキル基である場合、炭素原子数１１〜２０が好ましく、炭素原子数１１〜１４がより好ましい。Ｒｃ１がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２−フェニルエチル基、３−フェニルプロピル基、及び４−フェニルブチル基が挙げられる。Ｒｃ１がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、２−（α−ナフチル）エチル基、及び２−（β−ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒｃ１が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒｃ１は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。 When R c1 is a phenylalkyl group, the number of carbon atoms is preferably 7 to 20, and more preferably 7 to 10 carbon atoms. When R c1 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms is preferably 11 to 20, and more preferably 11 to 14 carbon atoms. Specific examples of the case where R c1 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of the case where R c1 is a naphthylalkyl group include α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group, 2- (α-naphthyl) ethyl group, and 2- (β-naphthyl) ethyl group. .. When R c1 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, Rc1 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

Ｒｃ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。Ｒｃ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。 When R c1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, O, or such monocycles or such monocycles and benzene rings are condensed. It is a heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is up to 3. Examples of the heterocycle constituting such a heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isooxazole, thiazole, thiaziazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, and indol. Examples thereof include isoindole, indridin, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, and quinoxalin. When R c1 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

Ｒｃ１が１、又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒｃ１と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ−プロピルアミノ基、ジ−ｎ−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ−ブチルアミノ基、ジ−ｎ−ブチルアミノ基、ｎ−ペンチルアミノ基、ｎ−ヘキシルアミノ基、ｎ−ヘプチルアミノ基、ｎ−オクチルアミノ基、ｎ−ノニルアミノ基、ｎ−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ−ブタノイルアミノ基、ｎ−ペンタノイルアミノ基、ｎ−ヘキサノイルアミノ基、ｎ−ヘプタノイルアミノ基、ｎ−オクタノイルアミノ基、ｎ−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。 When R c1 is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, suitable examples of the organic group are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and carbon. Saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 atoms, phenyl group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, and phenyl which may have a substituent and which has 7 to 20 carbon atoms. Examples thereof include an alkyl group, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent and has 11 to 20 carbon atoms, and a heterocyclyl group. Be done. Specific examples of these suitable organic groups are the same as for R c1 . Specific examples of the amino group substituted with the organic group 1 or 2 include a methylamino group, an ethylamino group, a diethylamino group, an n-propylamino group, a di-n-propylamino group, an isopropylamino group and an n-. Butylamino group, di-n-butylamino group, n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, Naftylamino group, acetylamino group, propanoylamino group, n-butanoylamino group, n-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n- Examples thereof include a decanoylamino group, a benzoylamino group, an α-naphthoylamino group, a β-naphthoylamino group and the like.

Ｒｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。Ｒｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c1 further have a substituent, the substituents include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, and a carbon atom. A monoalkylamino group having a saturated aliphatic acyl group having a number of 2 to 7, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. , Dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, morpholin-1-yl group, piperazin-1-yl group, halogen, nitro group, cyano group and the like. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c1 further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 1 to 4 is preferable. When the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group contained in R c1 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

Ｒｃ１の中では、化学的に安定であることや、立体的な障害が少なく、オキシムエステル化合物の合成が容易であること等から、炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、及び炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基からなる群より選択される基が好ましく、炭素原子数１〜６のアルキルがより好ましく、メチル基が特に好ましい。 Among R c1 , alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms and 1 to 1 carbon atoms have an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and 1 to 6 carbon atoms because they are chemically stable, have few steric obstacles, and facilitate the synthesis of an oxime ester compound. A group selected from the group consisting of an alkoxy group of 6 and a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms is preferable, an alkyl having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and a methyl group is particularly preferable.

Ｒｃ１がフェニル基に結合する位置は、Ｒｃ１が結合するフェニル基について、フェニル基とオキシムエステル化合物の主骨格との結合手の位置を１位とし、メチル基の位置を２位とする場合に、４位、又は５位が好ましく、５位がよりに好ましい。また、ｎ１は、０〜３の整数が好ましく、０〜２の整数がより好ましく、０、又は１が特に好ましい。 Position R c1 is bonded to the phenyl group, the phenyl group R c1 are attached the position of the bond to the main chain of the phenyl group and the oxime ester compound as a 1-position, if the 2-position of the position of the methyl group In addition, the 4th or 5th position is preferable, and the 5th position is more preferable. Further, n1 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and particularly preferably 0 or 1.

Ｒｃ２は、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基である。また、Ｒｃ２が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基上の窒素原子は、炭素原子数１〜６のアルキル基で置換されていてもよい。 R c2 is a phenyl group which may have a substituent or a carbazolyl group which may have a substituent. When R c2 is a carbazolyl group which may have a substituent, the nitrogen atom on the carbazolyl group may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

Ｒｃ２において、フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。フェニル基、又はカルバゾリル基が、炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数１〜２０のアルコキシ基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルコキシ基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。 In R c2 , the substituent contained in the phenyl group or the carbazolyl group is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. Examples of suitable substituents that the phenyl group or carbazolyl group may have on the carbon atom include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, and 3 carbon atoms. Cycloalkyl group of 10 to 10, cycloalkoxy group of 3 to 10 carbon atoms, saturated aliphatic acyl group of 2 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group of 2 to 20 carbon atoms, saturation of 2 to 20 carbon atoms An aliphatic acyloxy group, a phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a phenylthio group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, and a substituent. It may have a phenoxycarbonyl group which may have a group, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent and has 7 to 20 carbon atoms, and a substituent. A naphthyl group, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, and a naphthoyloxy group which may have a substituent. , A naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group, 1, or 2 Examples thereof include an amino group substituted with an organic group of, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group, a halogen, a nitro group, a cyano group and the like.

Ｒｃ２がカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基が窒素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜２０のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。これらの置換基の中では、炭素原子数１〜２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜６のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。 When R c2 is a carbazolyl group, examples of suitable substituents that the carbazolyl group may have on the nitrogen atom include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms. , Saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, phenyl group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, and a substituent. A phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a phenylalkyl group which may have a substituent and has 7 to 20 carbon atoms, a naphthyl group which may have a substituent, and a naphthoyl group which may have a substituent. It has a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent and has 11 to 20 carbon atoms, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a substituent. A good heterocyclylcarbonyl group and the like can be mentioned. Among these substituents, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an ethyl group is particularly preferable.

フェニル基、又はカルバゾリル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１、又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒｃ１と同様である。 Specific examples of the substituent which the phenyl group or the carbazolyl group may have are an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, and a substituent. For phenylalkyl groups which may have groups, naphthylalkyl groups which may have substituents, heterocyclyl groups which may have substituents, and amino groups substituted with one or two organic groups. , R c1 is the same.

Ｒｃ２において、フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１〜６のアルキル基；炭素原子数１〜６のアルコキシ基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン−１−イル基；ピペラジン−１−イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。フェニル基、又はカルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 In R c2 , an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is an example of a substituent when the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group contained in the substituent of the phenyl group or the carbazolyl group further have a substituent. An alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms; a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms; an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms; a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms; a phenyl group. Naftyl group; benzoyl group; naphthoyl group; benzoyl substituted with a group selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group, and a phenyl group. Group; Monoalkylamino group having an alkyl group with 1 to 6 carbon atoms; Dialkylamino group with an alkyl group with 1 to 6 carbon atoms; Morphorin-1-yl group; Piperazin-1-yl group; Halogen; Nitro Group; cyano group can be mentioned. When the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group contained in the substituent of the phenyl group or the carbazolyl group further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired. 1 to 4 are preferable. When the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

Ｒｃ２の中では、感度に優れる光重合開始剤を得やすい点から、下記式（ｃ２）、又は（ｃ３）で表される基が好ましく、下記式（ｃ２）で表される基がより好ましく、下記式（ｃ２）で表される基であって、ＡがＳである基が特に好ましい。 Among R c2, the group represented by the following formula (c2) or (c3) is preferable, and the group represented by the following formula (c2) is more preferable, from the viewpoint that a photopolymerization initiator having excellent sensitivity can be easily obtained. , A group represented by the following formula (c2) in which A is S is particularly preferable.

Figure 0006785122
（Ｒｃ４は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、ＡはＳ又はＯであり、ｎ３は、０〜４の整数である。）
Figure 0006785122
 (R c4 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group, and a cyano group, A is S or O, and n3 is an integer of 0 to 4. is there.)

Figure 0006785122
（Ｒｃ５及びＲｃ６は、それぞれ、１価の有機基である。）
Figure 0006785122
 (R c5 and R c6 are monovalent organic groups, respectively.)

式（ｃ２）におけるＲｃ４が有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式（ｃ２）においてＲｃ４が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数１〜６のアルキル基；炭素原子数１〜６のアルコキシ基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン−１−イル基；ピペラジン−１−イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。 When R c4 in the formula (c2) is an organic group, it can be selected from various organic groups as long as the object of the present invention is not impaired. A preferred example of the case where R c4 is an organic group in the formula (c2) is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms; a saturated aliphatic group having 2 to 7 carbon atoms. Acyl group; alkoxycarbonyl group with 2 to 7 carbon atoms; saturated aliphatic acyloxy group with 2 to 7 carbon atoms; phenyl group; naphthyl group; benzoyl group; naphthoyl group; alkyl group with 1 to 6 carbon atoms, morpholin A benzoyl group substituted with a group selected from the group consisting of a -1-yl group, a piperazin-1-yl group, and a phenyl group; a monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; a monoalkylamino group having 1 to 6 carbon atoms; Examples thereof include a dialkylamino group having an alkyl group of 1 to 6; a morpholin-1-yl group; a piperazine-1-yl group; a halogen; a nitro group; a cyano group.

Ｒｃ４の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１〜６のアルキル基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２−メチルフェニルカルボニル基；４−（ピペラジン−１−イル）フェニルカルボニル基；４−（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。 In R c4 , it is substituted with a group selected from the group consisting of a benzoyl group; a naphthoyl group; an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group, and a phenyl group. Benzoyl group; nitro group is preferable, benzoyl group; naphthoyl group; 2-methylphenylcarbonyl group; 4- (piperazine-1-yl) phenylcarbonyl group; 4- (phenyl) phenylcarbonyl group is more preferable.

また、式（ｃ２）において、ｎ３は、０〜３の整数が好ましく、０〜２の整数がより好ましく、０、又は１であるのが特に好ましい。ｎ３が１である場合、Ｒｃ４の結合する位置は、Ｒｃ４が結合するフェニル基が酸素原子又は硫黄原子と結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。 Further, in the formula (c2), n3 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and particularly preferably 0 or 1. If n3 is 1, binding position of R c4, to the bond to the phenyl group R c4 is bonded is bonded to an oxygen atom or a sulfur atom, it is preferably in the para position.

式（ｃ３）におけるＲｃ５は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Ｒｃ５の好適な例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２０の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜２０のアルコキシアルキル基、炭素原子数２〜２０のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。 R c5 in the formula (c3) can be selected from various organic groups as long as the object of the present invention is not impaired . Preferable examples of R c5 are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, and a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms. An alkoxyalkyl group, an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent. A phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a group, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, and a naphthoxy which may have a substituent. Examples thereof include a carbonyl group, a naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent.

Ｒｃ５の中では、炭素原子数１〜２０のアルキル基又は炭素原子数２〜２０のアルコキシアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜６のアルキル基、又は炭素原子数２〜６のアルコキシアルキル基がより好ましく、エチル基、又はエトキシエチル基が特に好ましい。 Among R c5 , an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an alkoxyalkyl group having 2 to 20 carbon atoms is preferable, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms is preferable. Is more preferable, and an ethyl group or an ethoxyethyl group is particularly preferable.

式（ｃ３）におけるＲｃ６は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒｃ６として好適な基の具体例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ６として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいチエニル基がより好ましく、２−メチルフェニル基、又はチエニル基が特に好ましい。 R c6 in the formula (c3) is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention, and can be selected from various organic groups. Specific examples of a group suitable as R c6 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a substituent. Heterocyclyl groups may be mentioned. Among these groups, as R c6 , a phenyl group which may have a substituent or a thienyl group which may have a substituent is more preferable, and a 2-methylphenyl group or a thienyl group is particularly preferable.

Ｒｃ４、Ｒｃ５、又はＲｃ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ４、Ｒｃ５、又はＲｃ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。Ｒｃ４、Ｒｃ５、又はＲｃ６に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c4 , R c5 , or R c6 further have a substituent, the substituent includes an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and 1 to 1 carbon atoms. An alkoxy group of 6, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, and an alkyl having 1 to 6 carbon atoms. Examples thereof include a monoalkylamino group having a group, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, and a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c4 , R c5 , or R c6 further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired. 1 to 4 are preferable. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c4 , R c5 , or R c6 has a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

式（ｃ１）におけるＲｃ３は、炭素原子数１〜６のアルキル基である。Ｒｃ３としては、メチル基、又はエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。 R c3 in the formula (c1) is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. As R c3 , a methyl group or an ethyl group is preferable, and a methyl group is more preferable.

式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物は、ｐが０である場合、例えば、下記スキーム１に従って合成することができる。具体的には、下記式（ｃ１−１）で表される芳香族化合物を、下記式（ｃ１−２）で表されるハロカルボニル化合物を用いて、フリーデルクラフツ反応によりアシル化して、下記式（ｃ１−３）で表されるケトン化合物を得、得られたケトン化合物（ｃ１−３）を、ヒドロキシルアミンによりオキシム化して下記式（ｃ１−４）で表されるオキシム化合物を得、次いで式（ｃ１−４）のオキシム化合物中のヒドロキシ基をアシル化して、下記式（ｃ１−７）で表されるオキシムエステル化合物を得ることができる。アシル化剤としては、下記式（ｃ１−５）で表される酸無水物（（Ｒｃ３ＣＯ）２Ｏ）、又は下記式（ｃ１−６）で表される酸ハライド（Ｒｃ３ＣＯＨａｌ、Ｈａｌはハロゲン。）を用いるのが好ましい。なお、下記式（ｃ１−２）において、Ｈａｌはハロゲンであり、下記式（ｃ１−１）、（ｃ１−２）、（ｃ１−３）、（ｃ１−４）、及び（ｃ１−７）において、Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｃ３、及びｎ１は、式（ｃ１）と同様である。 The oxime ester compound represented by the formula (c1) can be synthesized, for example, according to the following scheme 1 when p is 0. Specifically, an aromatic compound represented by the following formula (c1-1) is acylated by a Friedel-Crafts reaction using a halocarbonyl compound represented by the following formula (c1-2), and the following formula is used. The ketone compound represented by (c1-3) was obtained, and the obtained ketone compound (c1-3) was oximeized with hydroxylamine to obtain an oxime compound represented by the following formula (c1-4), and then the formula was obtained. The hydroxy group in the oxime compound of (c1-4) can be acylated to obtain an oxime ester compound represented by the following formula (c1-7). As the acylating agent, an acid anhydride represented by the following formula (c1-5) ((R c3 CO) 2 O) or an acid halide represented by the following formula (c1-6) (R c3 COHal, Hal) Is a halogen.) Is preferably used. In the following formula (c1-2), H is a halogen, and in the following formulas (c1-1), (c1-2), (c1-3), (c1-4), and (c1-7). , R c1 , R c2 , R c3 , and n1 are the same as in equation (c1).

＜スキーム１＞

Figure 0006785122
<Scheme 1>
Figure 0006785122

式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物は、ｎ２が１である場合、例えば、下記スキーム２に従って合成することができる。具体的には、下記式（ｃ２−１）で表されるケトン化合物に、塩酸の存在下に下記式（ｃ２−２）で表される亜硝酸エステル（ＲＯＮＯ、Ｒは炭素原子数１〜６のアルキル基。）を反応させて、下記式（ｃ２−３）で表されるケトオキシム化合物を得、次いで、下記式（ｃ２−３）で表されるケトオキシム化合物中のヒドロキシ基をアシル化して、下記式（ｃ２−６）で表されるオキシムエステル化合物を得ることができる。アシル化剤としては、下記式（ｃ２−４）で表される酸無水物（（Ｒｃ３ＣＯ）２Ｏ）、又は下記式（ｃ２−５）で表される酸ハライド（Ｒｃ３ＣＯＨａｌ、Ｈａｌはハロゲン。）を用いるのが好ましい。なお、下記式（ｃ２−１）、（ｃ２−３）、（ｃ２−４）、（ｃ２−５）、及び（ｃ２−６）において、Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｃ３、及びｎ１は、式（ｃ１）と同様である。 The oxime ester compound represented by the formula (c1) can be synthesized, for example, according to the following scheme 2 when n2 is 1. Specifically, the ketone compound represented by the following formula (c2-1) is nitrite ester represented by the following formula (c2-2) in the presence of hydrochloric acid (RONO and R have 1 to 6 carbon atoms). The alkyl group of.) Is reacted to obtain a ketooxime compound represented by the following formula (c2-3), and then the hydroxy group in the ketooxime compound represented by the following formula (c2-3) is acylated. An oxime ester compound represented by the following formula (c2-6) can be obtained. Examples of the acylating agent include an acid anhydride ((R c3 CO) 2 O) represented by the following formula (c2-4) or an acid halide (R c3 COHal, Hal) represented by the following formula (c2-5). Is a halogen.) Is preferably used. In the following formulas (c2-1), (c2-3), (c2-4), (c2-5), and (c2-6), R c1 , R c2 , R c3 , and n1 are formulas. It is the same as (c1).

＜スキーム２＞

Figure 0006785122
<Scheme 2>
Figure 0006785122

また、式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物は、ｎ２が１であり、Ｒｃ１がメチル基であって、Ｒｃ１が結合するベンゼン環に結合するメチル基に対して、Ｒｃ１がパラ位に結合する場合、例えば、下記式（ｃ２−７）で表される化合物を、スキーム１と同様の方法で、オキシム化、及びアシル化することによって合成することもできる。なお、下記式（ｃ２−７）において、Ｒｃ２は、式（ｃ１）と同様である。 Further, in the oxime ester compound represented by the formula (c1), n2 is 1, R c1 is a methyl group, and R c1 is paralyzed with respect to the methyl group bonded to the benzene ring to which R c1 is bonded. In the case of binding to the position, for example, the compound represented by the following formula (c2-7) can be synthesized by oximeization and acylation in the same manner as in Scheme 1. In the following formula (c2-7), R c2 is the same as the formula (c1).

Figure 0006785122
Figure 0006785122

式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物の中でも特に好適な化合物としては、下記のＰＩ−１〜ＰＩ−４２が挙げられる。

Figure 0006785122
Among the oxime ester compounds represented by the formula (c1), the following PI-1 to PI-42 are particularly suitable compounds.
Figure 0006785122

Figure 0006785122
Figure 0006785122

Figure 0006785122
Figure 0006785122

Figure 0006785122
Figure 0006785122

Figure 0006785122
Figure 0006785122

Figure 0006785122
Figure 0006785122

また、下記式（ｃ４）で表されるオキシムエステル化合物も、光重合開始剤として好ましい。 An oxime ester compound represented by the following formula (c4) is also preferable as a photopolymerization initiator.

Figure 0006785122
（Ｒｃ７は水素原子、ニトロ基又は１価の有機基であり、Ｒｃ８及びＲｃ９は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子であり、Ｒｃ８とＲｃ９とは相互に結合して環を形成してもよく、Ｒｃ１０は１価の有機基であり、Ｒｃ１１は、置換基を有してもよい炭素原子数１〜１１のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、ｎ４は０〜４の整数であり、ｎ５は０又は１である。）
Figure 0006785122
 (R c7 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group, and R c8 and R c9 are a chain alkyl group which may have a substituent and a cyclic organic which may have a substituent, respectively. It may be a group or a hydrogen atom, and R c8 and R c9 may be bonded to each other to form a ring, R c10 may be a monovalent organic group, and R c11 may have a substituent. A good alkyl group having 1 to 11 carbon atoms or an aryl group which may have a substituent, n4 is an integer of 0 to 4, and n5 is 0 or 1.)

ここで、式（ｃ４）のオキシムエステル化合物を製造するためのオキシム化合物としては、下式（ｃ５）で表される化合物が好適である。 Here, as the oxime compound for producing the oxime ester compound of the formula (c4), the compound represented by the following formula (c5) is suitable.

Figure 0006785122
（Ｒｃ７、Ｒｃ８、Ｒｃ９、Ｒｃ１０、ｎ４、及びｎ５は、式（ｃ４）と同様である。）
Figure 0006785122
 (R c7 , R c8 , R c9 , R c10 , n4, and n5 are the same as in the formula (c4).)

式（ｃ４）及び（ｃ５）中、Ｒｃ７は、水素原子、ニトロ基又は１価の有機基である。Ｒｃ７は、式（ｃ４）中のフルオレン環上で、−（ＣＯ）ｎ５−で表される基に結合する６員芳香環とは、異なる６員芳香環に結合する。式（ｃ４）中、Ｒｃ７のフルオレン環に対する結合位置は特に限定されない。式（ｃ４）で表される化合物が１以上のＲｃ７を有する場合、式（ｃ４）で表される化合物の合成が容易であること等から、１以上のＲｃ７のうちの１つがフルオレン環中の２位に結合するのが好ましい。Ｒｃ７が複数である場合、複数のＲｃ７は同一であっても異なっていてもよい。 In formulas (c4) and (c5), R c7 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group. R c7 is attached to a 6-membered aromatic ring on the fluorene ring in the formula (c4), which is different from the 6-membered aromatic ring attached to the group represented by − (CO) n5- . In the formula (c4), the binding position of R c7 with respect to the fluorene ring is not particularly limited. When the compound represented by the formula (c4) has 1 or more R c7 , one of the 1 or more R c7 is a fluorene ring because the compound represented by the formula (c4) can be easily synthesized. It is preferable to bind to the 2-position of the inside. If R c7 is more, a plurality of R c7 is independently in may be the same or different.

Ｒｃ７が有機基である場合、Ｒｃ７は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒｃ７が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基等が挙げられる。 When R c7 is an organic group, R c7 is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention, and is appropriately selected from various organic groups. Preferable examples of the case where R c7 is an organic group include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, an alkoxycarbonyl group and a substituent. A phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a benzoyloxy which may have a substituent. A group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, and a substituent. It has a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a heterocyclylcarbonyl group, an amino group substituted with one or two organic groups, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group and the like.

Ｒｃ７がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜６がより好ましい。また、Ｒｃ７がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ７がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ７がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R c7 is an alkyl group, the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 6. When R c7 is an alkyl group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where R c7 is an alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group and an n-pentyl group. , Isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, Examples thereof include an n-decyl group and an isodecyl group. Further, when R c7 is an alkyl group, the alkyl group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group and the like.

Ｒｃ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜６がより好ましい。また、Ｒｃ７がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ７がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ｎ−ヘプチルオキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ−オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシ基、ｎ−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒｃ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When R c7 is an alkoxy group, the number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6. When R c7 is an alkoxy group, it may be a straight chain or a branched chain. Specific examples of the case where R c7 is an alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, a tert-butyloxy group and n. -Pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec-octyloxy group , Trt-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group, isodecyloxy group and the like. When R c7 is an alkoxy group, the alkoxy group may contain an ether bond (−O−) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include methoxyethoxy group, ethoxyethoxy group, methoxyethoxyethoxy group, ethoxyethoxyethoxy group, propyloxyethoxyethoxy group, methoxypropyloxy group and the like.

Ｒｃ７がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３〜１０が好ましく、３〜６がより好ましい。Ｒｃ７がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒｃ７がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When R c7 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms of the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group is preferably 3 to 10 and more preferably 3 to 6. Specific examples of the case where R c7 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group and the like. Specific examples of the case where R c7 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, a cyclooctyloxy group and the like.

Ｒｃ７が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２〜２１が好ましく、２〜７がより好ましい。Ｒｃ７が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ−ブタノイル基、２−メチルプロパノイル基、ｎ−ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロパノイル基、ｎ−ヘキサノイル基、ｎ−ヘプタノイル基、ｎ−オクタノイル基、ｎ−ノナノイル基、ｎ−デカノイル基、ｎ−ウンデカノイル基、ｎ−ドデカノイル基、ｎ−トリデカノイル基、ｎ−テトラデカノイル基、ｎ−ペンタデカノイル基、及びｎ−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒｃ７が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ−ブタノイルオキシ基、２−メチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ペンタノイルオキシ基、２，２−ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ−ヘキサノイルオキシ基、ｎ−ヘプタノイルオキシ基、ｎ−オクタノイルオキシ基、ｎ−ノナノイルオキシ基、ｎ−デカノイルオキシ基、ｎ−ウンデカノイルオキシ基、ｎ−ドデカノイルオキシ基、ｎ−トリデカノイルオキシ基、ｎ−テトラデカノイルオキシ基、ｎ−ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When R c7 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the number of carbon atoms of the saturated aliphatic acyl group or the saturated aliphatic acyloxy group is preferably 2 to 21, more preferably 2 to 7. Specific examples of the case where R c7 is a saturated aliphatic acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, an n-butanoyl group, a 2-methylpropanoyl group, an n-pentanoyl group, a 2,2-dimethylpropanoyl group and n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. Specific examples of the case where R c7 is a saturated aliphatic acyloxy group include an acetyloxy group, a propanoyloxy group, an n-butanoyloxy group, a 2-methylpropanoyloxy group, an n-pentanoyloxy group, 2, 2-Dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n -Dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, n-hexadecanoyloxy group and the like can be mentioned.

Ｒｃ７がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２〜２０が好ましく、２〜７がより好ましい。Ｒｃ７がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブチルオキシカルボニル基、ｎ−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニル基、ｎ−ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ−ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ−オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−オクチルオキシカルボニル基、ｎ−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When R c7 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms of the alkoxycarbonyl group is preferably 2 to 20, more preferably 2 to 7. Specific examples of the case where R c7 is an alkoxycarbonyl group include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an n-propyloxycarbonyl group, an isopropyloxycarbonyl group, an n-butyloxycarbonyl group, an isobutyloxycarbonyl group, and sec-butyl. Oxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group Group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octyloxycarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group, and Examples thereof include an isodecyloxycarbonyl group.

Ｒｃ７がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７〜２０が好ましく、７〜１０がより好ましい。また、Ｒｃ７がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１〜２０が好ましく、１１〜１４がより好ましい。Ｒｃ７がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２−フェニルエチル基、３−フェニルプロピル基、及び４−フェニルブチル基が挙げられる。Ｒｃ７がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、２−（α−ナフチル）エチル基、及び２−（β−ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒｃ７が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒｃ７は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。 When R c7 is a phenylalkyl group, the number of carbon atoms of the phenylalkyl group is preferably 7 to 20, more preferably 7 to 10. When R c7 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms of the naphthylalkyl group is preferably 11 to 20, more preferably 11 to 14. Specific examples of the case where R c7 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group. Specific examples of the case where R c7 is a naphthylalkyl group include α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group, 2- (α-naphthyl) ethyl group, and 2- (β-naphthyl) ethyl group. .. When R c7 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, Rc7 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。 When R c7 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, O, or such monocycles or such monocycles and benzene rings are condensed. It is a heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is up to 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrol, oxazole, isooxazole, thiazole, thiaziazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, and indol. Isoindole, indridin, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperazine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyrane, tetrahydrofuran and the like. Be done. When R c7 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

Ｒｃ７がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合と同様である。 When R c7 is a heterocyclylcarbonyl group, the heterocyclyl group contained in the heterocyclylcarbonyl group is the same as when Rc7 is a heterocyclyl group.

Ｒｃ７が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数３〜１０のシクロアルキル基、炭素原子数２〜２１の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７〜２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１〜２０のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒｃ７と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ−プロピルアミノ基、ジ−ｎ−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ−ブチルアミノ基、ジ−ｎ−ブチルアミノ基、ｎ−ペンチルアミノ基、ｎ−ヘキシルアミノ基、ｎ−ヘプチルアミノ基、ｎ−オクチルアミノ基、ｎ−ノニルアミノ基、ｎ−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ−ブタノイルアミノ基、ｎ−ペンタノイルアミノ基、ｎ−ヘキサノイルアミノ基、ｎ−ヘプタノイルアミノ基、ｎ−オクタノイルアミノ基、ｎ−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。 When R c7 is an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, suitable examples of the organic group are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and a carbon atom. Saturated aliphatic acyl group of number 2 to 21, phenyl group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, phenylalkyl which may have a substituent and may have 7 to 20 carbon atoms. Examples thereof include a group, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent and having 11 to 20 carbon atoms, and a heterocyclyl group. .. Specific examples of these suitable organic groups are the same as for R c7 . Specific examples of the amino group substituted with the organic group 1 or 2 include a methylamino group, an ethylamino group, a diethylamino group, an n-propylamino group, a di-n-propylamino group, an isopropylamino group and an n-. Butylamino group, di-n-butylamino group, n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, Naftylamino group, acetylamino group, propanoylamino group, n-butanoylamino group, n-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n- Examples thereof include a decanoylamino group, a benzoylamino group, an α-naphthoylamino group, a β-naphthoylamino group and the like.

Ｒｃ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２〜７のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２〜７の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１〜６のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−１−イル基、ピペラジン−１−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１〜４が好ましい。Ｒｃ７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c7 further have a substituent, the substituents include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, and a carbon atom. A monoalkylamino group having a saturated aliphatic acyl group having a number of 2 to 7, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. , Dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, morpholin-1-yl group, piperazin-1-yl group, halogen, nitro group, cyano group and the like. When the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group contained in R c7 further have a substituent, the number of the substituent is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 1 to 4 is preferable. When the phenyl group, the naphthyl group, and the heterocyclyl group contained in R c7 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

以上説明した基の中でも、Ｒｃ７としては、ニトロ基、又はＲｃ１２−ＣＯ−で表される基であると、感度が向上する傾向があり好ましい。Ｒｃ１２は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒｃ１２として好適な基の例としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ１２として、これらの基の中では、２−メチルフェニル基、チオフェン−２−イル基、及びα−ナフチル基が特に好ましい。
また、Ｒｃ７が水素原子であると、透明性が良好となる傾向があり好ましい。なお、Ｒｃ７が水素原子であり且つＲｃ１０が後述の式（ｃ４ａ）又は（ｃ４ｂ）で表される基であると透明性はより良好となる傾向がある。 Among the groups described above, as R c7 , a nitro group or a group represented by R c12- CO- tends to improve the sensitivity and is preferable. R c12 is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention, and can be selected from various organic groups. Examples of suitable groups as R c12 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a substituent. A good heterocyclyl group is mentioned. Among these groups, 2-methylphenyl group, thiophen-2-yl group, and α-naphthyl group are particularly preferable as R c12 .
Further, when R c7 is a hydrogen atom, the transparency tends to be good, which is preferable. If R c7 is a hydrogen atom and R c10 is a group represented by the formula (c4a) or (c4b) described later, the transparency tends to be better.

式（ｃ４）中、Ｒｃ８及びＲｃ９は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Ｒｃ８とＲｃ９とは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、Ｒｃ８及びＲｃ９として、置換基を有してもよい鎖状アルキル基が好ましい。Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基を有してもよい鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。 In the formula (c4), R c8 and R c9 are a chain alkyl group which may have a substituent, a cyclic organic group which may have a substituent, or a hydrogen atom, respectively. R c8 and R c9 may be coupled to each other to form a ring. Among these groups, as R c8 and R c9 , a chain alkyl group which may have a substituent is preferable. When R c8 and R c9 are chain alkyl groups which may have a substituent, the chain alkyl group may be a linear alkyl group or a branched chain alkyl group.

Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基を持たない鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜１０がより好ましく、１〜６が特に好ましい。Ｒｃ８及びＲｃ９が鎖状アルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ８及びＲｃ９がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（−Ｏ−）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are chain alkyl groups having no substituent, the number of carbon atoms of the chain alkyl group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, and particularly preferably 1 to 6. Specific examples of the cases where R c8 and R c9 are chain alkyl groups include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group and tert-butyl group. , N-Pentyl group, Isopentyl group, sec-Pentyl group, tert-Pentyl group, n-Hexyl group, n-Heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl Examples thereof include a group, an isononyl group, an n-decyl group, and an isodecyl group. Further, when R c8 and R c9 are alkyl groups, the alkyl group may contain an ether bond (-O-) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group and the like.

Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基を有する鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜１０がより好ましく、１〜６が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有する鎖状アルキル基は、直鎖状であるのが好ましい。
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Ｒｃ７がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Ｒｃ７がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Ｒｃ７がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましい。 When R c8 and R c9 are chain alkyl groups having a substituent, the number of carbon atoms of the chain alkyl group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, and particularly preferably 1 to 6. In this case, the number of carbon atoms of the substituent is not included in the number of carbon atoms of the chain alkyl group. The chain alkyl group having a substituent is preferably linear.
The substituent that the alkyl group may have is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. Preferable examples of the substituent include a cyano group, a halogen atom, a cyclic organic group, and an alkoxycarbonyl group. Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. Among these, a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are preferable. Examples of the cyclic organic group include a cycloalkyl group, an aromatic hydrocarbon group, and a heterocyclyl group. Specific examples of the cycloalkyl group are the same as in the preferred example when R c7 is a cycloalkyl group. Specific examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, a phenanthryl group and the like. Specific examples of the heterocyclyl group are the same as in the preferred example when R c7 is a heterocyclyl group. When R c7 is an alkoxycarbonyl group, the alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group may be linear or branched chain, preferably linear. The number of carbon atoms of the alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group is preferably 1 to 10, and more preferably 1 to 6.

鎖状アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、１〜２０であり、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましい。 When the chain alkyl group has a substituent, the number of the substituent is not particularly limited. The preferred number of substituents depends on the number of carbon atoms in the chain alkyl group. The number of substituents is typically 1-20, preferably 1-10, more preferably 1-6.

Ｒｃ８及びＲｃ９が環状有機基である場合、環状有機基は、脂環式基であっても、芳香族基であってもよい。環状有機基としては、脂肪族環状炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ８及びＲｃ９が環状有機基である場合に、環状有機基が有してもよい置換基は、Ｒｃ８及びＲｃ９が鎖状アルキル基である場合と同様である。 When R c8 and R c9 are cyclic organic groups, the cyclic organic group may be an alicyclic group or an aromatic group. Examples of the cyclic organic group include an aliphatic cyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, and a heterocyclyl group. When R c8 and R c9 are cyclic organic groups, the substituents that the cyclic organic group may have are the same as when R c8 and R c9 are chain alkyl groups.

Ｒｃ８及びＲｃ９が芳香族炭化水素基である場合、芳香族炭化水素基は、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が炭素−炭素結合を介して結合して形成される基であるか、複数のベンゼン環が縮合して形成される基であるのが好ましい。芳香族炭化水素基が、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が結合又は縮合して形成される基である場合、芳香族炭化水素基に含まれるベンゼン環の環数は特に限定されず、３以下が好ましく、２以下がより好ましく、１が特に好ましい。芳香族炭化水素基の好ましい具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are aromatic hydrocarbon groups, is the aromatic hydrocarbon group a phenyl group or a group formed by bonding a plurality of benzene rings via a carbon-carbon bond? , It is preferable that the group is formed by condensing a plurality of benzene rings. When the aromatic hydrocarbon group is a phenyl group or a group formed by bonding or condensing a plurality of benzene rings, the number of rings of the benzene ring contained in the aromatic hydrocarbon group is not particularly limited. 3 or less is preferable, 2 or less is more preferable, and 1 is particularly preferable. Preferred specific examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, a phenanthryl group and the like.

Ｒｃ８及びＲｃ９が脂肪族環状炭化水素基である場合、脂肪族環状炭化水素基は、単環式であっても多環式であってもよい。脂肪族環状炭化水素基の炭素原子数は特に限定されないが、３〜２０が好ましく、３〜１０がより好ましい。単環式の環状炭化水素基の例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基、及びアダマンチル基等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are aliphatic cyclic hydrocarbon groups, the aliphatic cyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic. The number of carbon atoms of the aliphatic cyclic hydrocarbon group is not particularly limited, but is preferably 3 to 20, and more preferably 3 to 10. Examples of monocyclic cyclic hydrocarbon groups include cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, norbornyl group, isobornyl group, tricyclononyl group, tricyclodecyl group, Examples thereof include a tetracyclododecyl group and an adamantyl group.

Ｒｃ８及びＲｃ９がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are heterocyclyl groups, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, O, such monocyclic rings, or such monocyclic and benzene rings. Is a heterocyclyl group condensed with. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of rings is up to 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. Examples of the heterocycle constituting the heterocyclyl group include furan, thiophene, pyrrol, oxazole, isooxazole, thiazole, thiaziazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, and indol. Isoindole, indridin, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperazine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyrane, tetrahydrofuran and the like. Be done.

Ｒｃ８とＲｃ９とは相互に結合して環を形成してもよい。Ｒｃ８とＲｃ９とが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。Ｒｃ８とＲｃ９とが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、５員環〜６員環であるのが好ましく、５員環であるのがより好ましい。 R c8 and R c9 may be coupled to each other to form a ring. The group consisting of the ring formed by R c8 and R c9 is preferably a cycloalkylidene group. When R c8 and R c9 are bonded to form a cycloalkylidene group, the ring constituting the cycloalkylidene group is preferably a 5-membered ring to a 6-membered ring, and more preferably a 5-membered ring.

Ｒｃ８とＲｃ９とが結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、１以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。 When the group formed by combining R c8 and R c9 is a cycloalkylidene group, the cycloalkylidene group may be condensed with one or more other rings. Examples of rings that may be fused with a cycloalkylene group include a benzene ring, a naphthalene ring, a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, a cycloheptane ring, a cyclooctane ring, a furan ring, a thiophene ring, a pyrrole ring, and a pyridine. Rings, pyrazine rings, pyrimidine rings and the like can be mentioned.

以上説明したＲｃ８及びＲｃ９の中でも好適な基の例としては、式−Ａ１−Ａ２で表される基が挙げられる。式中、Ａ１は直鎖アルキレン基であり、Ａ２は、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である挙げられる。 Among the R c8 and R c9 described above, examples of suitable groups include groups represented by the formula −A 1 −A 2 . In the formula, A 1 is a linear alkylene group, and A 2 is an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, an alkyl halide group, a cyclic organic group, or an alkoxycarbonyl group.

Ａ１の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましい。Ａ２がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましい。Ａ２がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。Ａ２がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ２が環状有機基である場合、環状有機基の例は、Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基として有する環状有機基と同様である。Ａ２がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、Ｒｃ８及びＲｃ９が置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。 The number of carbon atoms of the linear alkylene group of A 1 is preferably 1 to 10, and more preferably 1 to 6. When A 2 is an alkoxy group, the alkoxy group may be linear or branched chain, preferably linear. The number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably 1 to 10, and more preferably 1 to 6. When A 2 is a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom are preferable, and a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are more preferable. When A 2 is an alkyl halide group, the halogen atom contained in the alkyl halide group is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom, and more preferably a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom. The alkyl halide group may be linear or branched, and is preferably linear. When A 2 is a cyclic organic group, examples of the cyclic organic group are the same as those of the cyclic organic group that R c8 and R c9 have as substituents. When A 2 is an alkoxycarbonyl group, examples of the alkoxycarbonyl group are similar to those of the alkoxycarbonyl group that R c8 and R c9 have as substituents.

Ｒｃ８及びＲｃ９の好適な具体例としては、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、及びｎ−オクチル基等のアルキル基；２−メトキシエチル基、３−メトキシ−ｎ−プロピル基、４−メトキシ−ｎ−ブチル基、５−メトキシ−ｎ−ペンチル基、６−メトキシ−ｎ−ヘキシル基、７−メトキシ−ｎ−ヘプチル基、８−メトキシ−ｎ−オクチル基、２−エトキシエチル基、３−エトキシ−ｎ−プロピル基、４−エトキシ−ｎ−ブチル基、５−エトキシ−ｎ−ペンチル基、６−エトキシ−ｎ−ヘキシル基、７−エトキシ−ｎ−ヘプチル基、及び８−エトキシ−ｎ−オクチル基等のアルコキシアルキル基；２−シアノエチル基、３−シアノ−ｎ−プロピル基、４−シアノ−ｎ−ブチル基、５−シアノ−ｎ−ペンチル基、６−シアノ−ｎ−ヘキシル基、７−シアノ−ｎ−ヘプチル基、及び８−シアノ−ｎ−オクチル基等のシアノアルキル基；２−フェニルエチル基、３−フェニル−ｎ−プロピル基、４−フェニル−ｎ−ブチル基、５−フェニル−ｎ−ペンチル基、６−フェニル−ｎ−ヘキシル基、７−フェニル−ｎ−ヘプチル基、及び８−フェニル−ｎ−オクチル基等のフェニルアルキル基；２−シクロヘキシルエチル基、３−シクロヘキシル−ｎ−プロピル基、４−シクロヘキシル−ｎ−ブチル基、５−シクロヘキシル−ｎ−ペンチル基、６−シクロヘキシル−ｎ−ヘキシル基、７−シクロヘキシル−ｎ−ヘプチル基、８−シクロヘキシル−ｎ−オクチル基、２−シクロペンチルエチル基、３−シクロペンチル−ｎ−プロピル基、４−シクロペンチル−ｎ−ブチル基、５−シクロペンチル−ｎ−ペンチル基、６−シクロペンチル−ｎ−ヘキシル基、７−シクロペンチル−ｎ−ヘプチル基、及び８−シクロペンチル−ｎ−オクチル基等のシクロアルキルアルキル基；２−メトキシカルボニルエチル基、３−メトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、４−メトキシカルボニル−ｎ−ブチル基、５−メトキシカルボニル−ｎ−ペンチル基、６−メトキシカルボニル−ｎ−ヘキシル基、７−メトキシカルボニル−ｎ−ヘプチル基、８−メトキシカルボニル−ｎ−オクチル基、２−エトキシカルボニルエチル基、３−エトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、４−エトキシカルボニル−ｎ−ブチル基、５−エトキシカルボニル−ｎ−ペンチル基、６−エトキシカルボニル−ｎ−ヘキシル基、７−エトキシカルボニル−ｎ−ヘプチル基、及び８−エトキシカルボニル−ｎ−オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基；２−クロロエチル基、３−クロロ−ｎ−プロピル基、４−クロロ−ｎ−ブチル基、５−クロロ−ｎ−ペンチル基、６−クロロ−ｎ−ヘキシル基、７−クロロ−ｎ−ヘプチル基、８−クロロ−ｎ−オクチル基、２−ブロモエチル基、３−ブロモ−ｎ−プロピル基、４−ブロモ−ｎ−ブチル基、５−ブロモ−ｎ−ペンチル基、６−ブロモ−ｎ−ヘキシル基、７−ブロモ−ｎ−ヘプチル基、８−ブロモ−ｎ−オクチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５−ヘプタフルオロ−ｎ−ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。 Preferable specific examples of R c8 and R c9 are alkyl groups such as ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, and n-octyl group; 2-methoxyethyl. Group, 3-methoxy-n-propyl group, 4-methoxy-n-butyl group, 5-methoxy-n-pentyl group, 6-methoxy-n-hexyl group, 7-methoxy-n-heptyl group, 8-methoxy -N-octyl group, 2-ethoxyethyl group, 3-ethoxy-n-propyl group, 4-ethoxy-n-butyl group, 5-ethoxy-n-pentyl group, 6-ethoxy-n-hexyl group, 7- Alkyl alkyl groups such as ethoxy-n-heptyl group and 8-ethoxy-n-octyl group; 2-cyanoethyl group, 3-cyano-n-propyl group, 4-cyano-n-butyl group, 5-cyano-n Cyanalkyl groups such as −pentyl group, 6-cyano-n-hexyl group, 7-cyano-n-heptyl group, and 8-cyano-n-octyl group; 2-phenylethyl group, 3-phenyl-n-propyl Phenyl such as group, 4-phenyl-n-butyl group, 5-phenyl-n-pentyl group, 6-phenyl-n-hexyl group, 7-phenyl-n-heptyl group, and 8-phenyl-n-octyl group. Alkyl group; 2-cyclohexylethyl group, 3-cyclohexyl-n-propyl group, 4-cyclohexyl-n-butyl group, 5-cyclohexyl-n-pentyl group, 6-cyclohexyl-n-hexyl group, 7-cyclohexyl-n -Heptyl group, 8-cyclohexyl-n-octyl group, 2-cyclopentylethyl group, 3-cyclopentyl-n-propyl group, 4-cyclopentyl-n-butyl group, 5-cyclopentyl-n-pentyl group, 6-cyclopentyl- Cycloalkylalkyl groups such as n-hexyl group, 7-cyclopentyl-n-heptyl group, and 8-cyclopentyl-n-octyl group; 2-methoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl group, 4-methoxy Carbonyl-n-butyl group, 5-methoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-methoxycarbonyl-n-hexyl group, 7-methoxycarbonyl-n-heptyl group, 8-methoxycarbonyl-n-octyl group, 2-ethoxy Carbonyl ethyl group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 4-ethoxycarbonyl-n-butyl group, 5-ethoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-ethoxycarbonyl-n-hexyl group, 7-etoki An alkoxycarbonylalkyl group such as a sicarbonyl-n-heptyl group and an 8-ethoxycarbonyl-n-octyl group; 2-chloroethyl group, 3-chloro-n-propyl group, 4-chloro-n-butyl group, 5- Chloro-n-pentyl group, 6-chloro-n-hexyl group, 7-chloro-n-heptyl group, 8-chloro-n-octyl group, 2-bromoethyl group, 3-bromo-n-propyl group, 4- Bromo-n-butyl group, 5-bromo-n-pentyl group, 6-bromo-n-hexyl group, 7-bromo-n-heptyl group, 8-bromo-n-octyl group, 3,3,3-tri Examples thereof include a fluoropropyl group and an alkyl halide group such as 3,3,4,4,5,5,5-heptafluoro-n-pentyl group.

Ｒｃ８及びＲｃ９として、上記の中でも好適な基は、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、２−メトキシエチル基、２−シアノエチル基、２−フェニルエチル基、２−シクロヘキシルエチル基、２−メトキシカルボニルエチル基、２−クロロエチル基、２−ブロモエチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５−ヘプタフルオロ−ｎ−ペンチル基である。 Among the above-mentioned suitable groups as R c8 and R c9 , ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, 2-methoxyethyl group, 2-cyanoethyl group, 2-phenylethyl group, 2-Cyclohexylethyl group, 2-methoxycarbonylethyl group, 2-chloroethyl group, 2-bromoethyl group, 3,3,3-trifluoropropyl group, and 3,3,4,5,5,5-hepta It is a fluoro-n-pentyl group.

Ｒｃ１０の好適な有機基の例としては、Ｒｃ７と同様に、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−１−イル基、及びピペラジン−１−イル基等が挙げられる。これらの基の具体例は、Ｒｃ７について説明したものと同様である。また、Ｒｃ１０としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒｃ７に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。 Examples of suitable organic groups for R c10 include alkyl groups, alkoxy groups, cycloalkyl groups, cycloalkoxy groups, saturated aliphatic acyl groups, alkoxycarbonyl groups, saturated aliphatic acyloxy groups and substituents, as in R c7. A phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent. A good benzoyloxy group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, A naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, a naphthyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a heterocyclylcarbonyl group which may have a group, an amino group substituted with one or two organic groups, a morpholin-1-yl group, a piperazine-1-yl group and the like. Specific examples of these groups are similar to those described for R c7 . Further, as R c10 , a cycloalkylalkyl group, a phenoxyalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, and a phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring are also preferable. The substituents that the phenoxyalkyl group and the phenylthioalkyl group may have are the same as the substituents that the phenyl group contained in R c7 may have.

有機基の中でも、Ｒｃ１０としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１〜２０のアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜８のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１〜４のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２−メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５〜１０が好ましく、５〜８がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２−（４−クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。 Among the organic groups, R c10 includes an alkyl group, a cycloalkyl group, a phenyl group which may have a substituent, or a cycloalkylalkyl group, and a phenylthio which may have a substituent on the aromatic ring. Alkyl groups are preferred. As the alkyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is particularly preferable, and a methyl group is most preferable. Among the phenyl groups that may have a substituent, a methylphenyl group is preferable, and a 2-methylphenyl group is more preferable. The number of carbon atoms of the cycloalkyl group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 5 to 10, more preferably 5 to 8, and particularly preferably 5 or 6. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 1 to 8, more preferably 1 to 4, and particularly preferably 2. Among the cycloalkylalkyl groups, a cyclopentylethyl group is preferable. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring is preferably 1 to 8, more preferably 1 to 4, and particularly preferably 2. Among the phenylthioalkyl groups that may have a substituent on the aromatic ring, a 2- (4-chlorophenylthio) ethyl group is preferable.

また、Ｒｃ１０としては、−Ａ３−ＣＯ−Ｏ−Ａ４で表される基も好ましい。Ａ３は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａ４は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。 As the R c10, a group represented by -A 3 -CO-O-A 4 are also preferred. A 3 is a divalent organic group, preferably a divalent hydrocarbon group, and preferably an alkylene group. A 4 is a monovalent organic group, preferably a monovalent hydrocarbon group.

Ａ３がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ３がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましく、１〜４が特に好ましい。 When A 3 is an alkylene group, the alkylene group may be linear or branched, preferably linear. When A 3 is an alkylene group, the number of carbon atoms of the alkylene group is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 6, and particularly preferably 1 to 4.

Ａ４の好適な例としては、炭素原子数１〜１０のアルキル基、炭素原子数７〜２０のアラルキル基、及び炭素原子数６〜２０の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａ４の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α−ナフチルメチル基、及びβ−ナフチルメチル基等が挙げられる。 Preferred examples of A 4 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. Specific preferable examples of A 4 is methyl group, ethyl group, n- propyl group, an isopropyl group, n- butyl group, isobutyl group, sec- butyl group, tert- butyl group, n- pentyl group, n- hexyl Examples thereof include a group, a phenyl group, a naphthyl group, a benzyl group, a phenethyl group, an α-naphthylmethyl group, a β-naphthylmethyl group and the like.

−Ａ３−ＣＯ−Ｏ−Ａ４で表される基の好適な具体例としては、２−メトキシカルボニルエチル基、２−エトキシカルボニルエチル基、２−ｎ−プロピルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ブチルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ペンチルオキシカルボニルエチル基、２−ｎ−ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２−ベンジルオキシカルボニルエチル基、２−フェノキシカルボニルエチル基、３−メトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−エトキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−プロピルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ブチルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ペンチルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ｎ−ヘキシルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、３−ベンジルオキシカルボニル−ｎ−プロピル基、及び３−フェノキシカルボニル−ｎ−プロピル基等が挙げられる。 Preferable specific examples of the group represented by −A 3 −CO—O—A 4 include 2-methoxycarbonylethyl group, 2-ethoxycarbonylethyl group, 2-n-propyloxycarbonylethyl group, 2-n. -Butyloxycarbonylethyl group, 2-n-pentyloxycarbonylethyl group, 2-n-hexyloxycarbonylethyl group, 2-benzyloxycarbonylethyl group, 2-phenoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl Group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-propyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-butyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-pentyloxycarbonyl-n-propyl group , 3-n-hexyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-benzyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-phenoxycarbonyl-n-propyl group and the like.

以上、Ｒｃ１０について説明したが、Ｒｃ１０としては、下記式（ｃ４ａ）又は（ｃ４ｂ）で表される基が好ましい。

Figure 0006785122
（式（ｃ４ａ）及び（ｃ４ｂ）中、Ｒｃ１３及びＲｃ１４はそれぞれ有機基であり、ｎ６は０〜４の整数であり、Ｒｃ１３及びＲ８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒｃ１３とＲｃ１４とが互いに結合して環を形成してもよく、ｎ７は１〜８の整数であり、ｎ８は１〜５の整数であり、ｎ９は０〜（ｎ８＋３）の整数であり、Ｒｃ１５は有機基である。） Although R c10 has been described above, the group represented by the following formula (c4a) or (c4b) is preferable as R c10 .
Figure 0006785122
 (In formulas (c4a) and (c4b), R c13 and R c14 are organic groups, respectively, n6 is an integer of 0 to 4, and R c13 and R 8 are present at adjacent positions on the benzene ring. , R c13 and R c14 may be combined with each other to form a ring, n7 is an integer of 1 to 8, n8 is an integer of 1 to 5, and n9 is an integer of 0 to (n8 + 3). Yes , R c15 is an organic group.)

式（ｃ４ａ）中のＲｃ１３及びＲｃ１４についての有機基の例は、Ｒｃ７と同様である。Ｒｃ１３としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒｃ１３がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましく、１〜３が特に好ましく、１が最も好ましい。つまり、Ｒｃ１３はメチル基であるのが最も好ましい。Ｒｃ１３とＲｃ１４とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（ｃ４ａ）で表される基であって、Ｒｃ１３とＲｃ１４とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン−１−イル基や、１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン−５−イル基等が挙げられる。上記式（ｃ４ａ）中、ｎ６は０〜４の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。 Examples of organic groups for R c13 and R c14 in formula (c4a) are similar to R c7 . As R c13 , an alkyl group or a phenyl group is preferable. When R c13 is an alkyl group, the number of carbon atoms thereof is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 5, particularly preferably 1 to 3, and most preferably 1. That is, R c13 is most preferably a methyl group. When R c13 and R c14 combine to form a ring, the ring may be an aromatic ring or an aliphatic ring. Preferable examples of the group represented by the formula (c4a) in which R c13 and R c14 form a ring include a naphthalene-1-yl group and 1,2,3,4-. Examples thereof include a tetrahydronaphthalene-5-yl group. In the above formula (c4a), n6 is an integer of 0 to 4, preferably 0 or 1, and more preferably 0.

上記式（ｃ４ｂ）中、Ｒｃ１５は有機基である。有機基としては、Ｒｃ７について説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましく、１〜３が特に好ましい。Ｒｃ１５としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。 In the above formula (c4b), R c15 is an organic group. Examples of the organic group include groups similar to the organic group described for R c7 . Among the organic groups, an alkyl group is preferable. The alkyl group may be linear or branched. The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 5, and particularly preferably 1 to 3. As R c15 , a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group and the like are preferably exemplified, and among these, a methyl group is more preferable.

上記式（ｃ４ｂ）中、ｎ８は１〜５の整数であり、１〜３の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（ｃ４ｂ）中、ｎ９は０〜（ｎ８＋３）であり、０〜３の整数が好ましく、０〜２の整数がより好ましく、０が特に好ましい。上記式（ｃ４ｂ）中、ｎ７は１〜８の整数であり、１〜５の整数が好ましく、１〜３の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。 In the above formula (c4b), n8 is an integer of 1 to 5, preferably an integer of 1 to 3, and more preferably 1 or 2. In the above formula (c4b), n9 is 0 to (n8 + 3), an integer of 0 to 3 is preferable, an integer of 0 to 2 is more preferable, and 0 is particularly preferable. In the above formula (c4b), n7 is an integer of 1 to 8, preferably an integer of 1 to 5, more preferably an integer of 1 to 3, and particularly preferably 1 or 2.

式（ｃ４）中、Ｒｃ１１は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１〜１１のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。Ｒｃ１１がアルキル基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。また、Ｒｃ７がアリール基である場合に有してもよい置換基としては、炭素原子数１〜５のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等が好ましく例示される。 In the formula (c4), R c11 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. As the substituent which may be possessed when R c11 is an alkyl group, a phenyl group, a naphthyl group and the like are preferably exemplified. Further, as the substituent which may be possessed when R c7 is an aryl group, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group, a halogen atom and the like are preferably exemplified.

式（ｃ４）中、Ｒｃ１１としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。 In the formula (c4), as R c11 , a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a phenyl group, a benzyl group, a methylphenyl group, a naphthyl group and the like are preferably exemplified. Of these, a methyl group or a phenyl group is more preferable.

式（ｃ４）で表される化合物は、前述の式（ｃ５）で表される化合物に含まれるオキシム基（＞Ｃ＝Ｎ−ＯＨ）を、＞Ｃ＝Ｎ−Ｏ−ＣＯＲｃ１１で表されるオキシムエステル基に変換する工程を含む方法により製造される。Ｒｃ１１は、式（ｃ４）中のＲｃ１１と同様である。 The compound represented by the formula (c4) has an oxime group (> C = N-OH) contained in the compound represented by the above formula (c5) represented by> C = NO-COR c11. Manufactured by a method comprising the step of converting to an oxime ester group. R c11 are the same as R c11 in formula (c4).

オキシム基（＞Ｃ＝Ｎ−ＯＨ）の、＞Ｃ＝Ｎ−Ｏ−ＣＯＲｃ１１で表されるオキシムエステル基への変換は、前述の式（ｃ５）で表される化合物と、アシル化剤とを反応させることにより行われる。
−ＣＯＲｃ１１で表されるアシル基を与えるアシル化剤としては、（Ｒｃ１１ＣＯ）２Ｏで表される酸無水物や、Ｒｃ１１ＣＯＨａｌ（Ｈａｌはハロゲン原子）で表される酸ハライドが挙げられる。 The conversion of the oxime group (> C = N-OH) to the oxime ester group represented by> C = NO-COR c11 is carried out by using the compound represented by the above formula (c5) and an acylating agent. It is done by reacting.
The acylating agent to give the acyl group represented by -COR c11, (R c11 CO) or an acid anhydride represented by 2 O, R c11 COHal (Hal is a halogen atom) include acid halide represented by Be done.

一般式（ｃ４）で表される化合物は、ｎ５が０である場合、例えば、下記スキーム３に従って合成することができる。スキーム３では、下記式（ｃ３−１）で表されるフルオレン誘導体を原料として用いる。Ｒｃ７がニトロ基又は１価の有機基である場合、式（ｃ３−１）で表されるフルオレン誘導体は、９位をＲｃ８及びＲｃ９で置換されたフルオレン誘導体に、周知の方法によって、置換基Ｒｃ７を導入して得ることができる。９位をＲｃ８及びＲｃ９で置換されたフルオレン誘導体は、例えば、Ｒｃ８及びＲｃ９がアルキル基である場合、特開平０６−２３４６６８号公報に記載されるように、アルカリ金属水酸化物の存在下に、非プロトン性極性有機溶媒中で、フルオレンとアルキル化剤とを反応させて得ることができる。また、フルオレンの有機溶媒溶液中に、ハロゲン化アルキルのようなアルキル化剤と、アルカリ金属水酸化物の水溶液と、ヨウ化テトラブチルアンモニウムやカリウムｔｅｒｔ−ブトキシドのような相間移動触媒とを添加してアルキル化反応を行うことで、９，９−アルキル置換フルオレンを得ることができる。 The compound represented by the general formula (c4) can be synthesized, for example, according to the following scheme 3 when n5 is 0. In Scheme 3, a fluorene derivative represented by the following formula (c3-1) is used as a raw material. When R c7 is a nitro group or a monovalent organic group, the fluorene derivative represented by the formula (c3-1) is replaced with a fluorene derivative in which the 9-position is substituted with R c8 and R c9 by a well-known method. It can be obtained by introducing a substituent R c7 . A fluorene derivative in which the 9-position is substituted with R c8 and R c9 is, for example, an alkali metal hydroxide as described in JP-A-06-234668 when R c8 and R c9 are alkyl groups. It can be obtained by reacting fluorene with an alkylating agent in the presence of an aprotic polar organic solvent. Further, an alkylating agent such as an alkyl halide, an aqueous solution of an alkali metal hydroxide, and a phase transfer catalyst such as tetrabutylammonium iodide or potassium tert-butoxide are added to an organic solvent solution of fluorene. By carrying out the alkylation reaction, a 9,9-alkyl substituted fluorene can be obtained.

式（ｃ３−１）で表されるフルオレン誘導体に、フリーデルクラフツアシル化反応により、−ＣＯ−Ｒｃ１０で表されるアシル基を導入し、式（ｃ３−３）で表されるフルオレン誘導体が得られる。を、−ＣＯ−Ｒｃ１０で表されるアシル基を導入するためのアシル化剤は、ハロカルボニル化合物であってもよく、酸無水物であってもよい。アシル化剤としては、式（ｃ３−２）で表されるハロカルボニル化合物が好ましい。式（ｃ３−２）中、Ｈａｌはハロゲン原子である。フルオレン環上にアシル基が導入される位置は、フリーデルクラフツ反応の条件を適宜変更したり、アシル化される位置の他の位置に保護及び脱保護を施したりする方法で、選択することができる。 An acyl group represented by -CO-R c10 is introduced into the fluorene derivative represented by the formula (c3-1) by a Friedel-Crafts acylation reaction, and the fluorene derivative represented by the formula (c3-3) is obtained. can get. The acylating agent for introducing an acyl group represented by -CO-R c10 may be a halocarbonyl compound or an acid anhydride. As the acylating agent, a halocarbonyl compound represented by the formula (c3-2) is preferable. In formula (c3-2), H is a halogen atom. The position where the acyl group is introduced on the fluorene ring can be selected by appropriately changing the conditions of the Friedel-Crafts reaction or by providing protection and deprotection to other positions of the acylated position. it can.

次いで、得られる式（ｃ３−３）で表されるフルオレン誘導体中の−ＣＯ−Ｒｃ１０で表される基を、−Ｃ（＝Ｎ−ＯＨ）−Ｒｃ１０で表される基に変換し、式（ｃ３−４）で表されるオキシム化合物を得る。−ＣＯ−Ｒｃ１０で表される基を、−Ｃ（＝Ｎ−ＯＨ）−Ｒｃ１０で表される基に変換する方法は特に限定されないが、ヒドロキシルアミンによるオキシム化が好ましい。式（ｃ３−４）のオキシム化合物と、下式（ｃ３−５）で表される酸無水物（（Ｒｃ１１ＣＯ）２Ｏ）、又は下記式（ｃ３−６）で表される酸ハライド（Ｒｃ１１ＣＯＨａｌ、Ｈａｌはハロゲン原子。）とを反応させて、下記式（ｃ３−７）で表される化合物を得ることができる。 Next, the group represented by -CO-R c10 in the obtained fluorene derivative represented by the formula (c3-3) is converted into a group represented by -C (= N-OH) -R c10 . The oxime compound represented by the formula (c3-4) is obtained. The method for converting the group represented by -CO-R c10 to the group represented by -C (= N-OH) -R c10 is not particularly limited, but oxime formation with hydroxylamine is preferable. The oxime compound of the formula (c3-4) and the acid anhydride ((R c11 CO) 2 O) represented by the following formula (c3-5), or the acid halide represented by the following formula (c3-6) ( R c11 COHal, Hal is a halogen atom.) To obtain a compound represented by the following formula (c3-7).

なお、式（ｃ３−１）、（ｃ３−２）、（ｃ３−３）、（ｃ３−４）、（ｃ３−５）、（ｃ３−６）、及び（ｃ３−７）において、Ｒｃ７、Ｒｃ８、Ｒｃ９、Ｒｃ１０、及びＲｃ１１は、式（ｃ４）と同様である。 In addition, in the formulas (c3-1), (c3-2), (c3-3), (c3-4), (c3-5), (c3-6), and (c3-7), R c7 , R c8 , R c9 , R c10 , and R c11 are the same as in the formula (c4).

また、スキーム３において、式（ｃ３−２）、式（ｃ３−３）、及び式（ｃ３−４）それぞれに含まれるＲｃ１０は、同一であっても異なってもいてもよい。つまり、式（ｃ３−２）、式（ｃ３−３）、及び式（ｃ３−４）中のＲｃ１０は、スキーム３として示される合成過程において、化学修飾を受けてもよい。化学修飾の例としては、エステル化、エーテル化、アシル化、アミド化、ハロゲン化、アミノ基中の水素原子の有機基による置換等が挙げられる。Ｒｃ１０が受けてもよい化学修飾はこれらに限定されない。 Further, in Scheme 3, R c10 included in each of the formula (c3-2), the formula (c3-3), and the formula (c3-4) may be the same or different. That is, R c10 in the formulas (c3-2), formula (c3-3), and formula (c3-4) may undergo chemical modification in the synthetic process represented as Scheme 3. Examples of chemical modifications include esterification, etherification, acylation, amidation, halogenation, substitution of hydrogen atoms in amino groups with organic groups, and the like. The chemical modifications that R c10 may undergo are not limited to these.

＜スキーム３＞

Figure 0006785122
<Scheme 3>
Figure 0006785122

式（ｃ４）で表される化合物は、ｎ５が１である場合、例えば、下記スキーム４に従って合成することができる。スキーム４では、下記式（ｃ４−１）で表されるフルオレン誘導体を原料として用いる。式（ｃ４−１）で表されるフルオレン誘導体は、スキーム３と同様の方法によって、式（ｃ３−１）で表される化合物に、フリーデルクラフツ反応によって−ＣＯ−ＣＨ２−Ｒｃ１０で表されるアシル基を導入して得られる。アシル化剤としては、式（ｃ３−８）：Ｈａｌ−ＣＯ−ＣＨ２−Ｒｃ１０で表されるカルボン酸ハライドが好ましい。次いで、式（ｃ４−１）で表される化合物中の、Ｒｃ１０とカルボニル基との間に存在するメチレン基をオキシム化して、下式（ｃ４−３）で表されるケトオキシム化合物を得る。メチレン基をオキシム化する方法は特に限定されないが、塩酸の存在下に下記一般式（ｃ４−２）で表される亜硝酸エステル（ＲＯＮＯ、Ｒは炭素原子数１〜６のアルキル基。）を反応させる方法が好ましい。次いで、下記式（ｃ４−３）で表されるケトオキシム化合物と、下記式（ｃ４−４）で表される酸無水物（Ｒｃ１１ＣＯ）２Ｏ）、又は下記式（ｃ４−５）で表される酸ハライド（Ｒｃ１１ＣＯＨａｌ、Ｈａｌはハロゲン原子。）とを反応させて、下記式（ｃ４−６）で表される化合物を得ることができる。なお、下記式（ｃ４−１）、（ｃ４−３）、（ｃ４−４）、（ｃ４−５）、及び（ｃ４−６）において、Ｒｃ７、Ｒｃ８、Ｒｃ９、Ｒｃ１０、及びＲｃ１１は、式（ｃ４）と同様である。
ｎ５が１である場合、式（ｃ４）で表される化合物を含有する感光性組成物を用いて形成されるパターン中での異物の発生をより低減できる傾向がある。 The compound represented by the formula (c4) can be synthesized, for example, according to the following scheme 4 when n5 is 1. In Scheme 4, a fluorene derivative represented by the following formula (c4-1) is used as a raw material. Table fluorene derivative represented by the formula (C4-1) carries out the same method as in Scheme 3, the compound represented by the formula (c3-1), with -CO-CH 2 -R c10 by Friedel-Crafts reaction It is obtained by introducing the acyl group to be used. As the acylating agent, a carboxylic acid halide represented by the formula (c3-8): Hal-CO-CH 2- R c10 is preferable. Next, the methylene group existing between the R c10 and the carbonyl group in the compound represented by the formula (c4-1) is oxime-ized to obtain the ketooxime compound represented by the following formula (c4-3). The method for oxime-forming the methylene group is not particularly limited, but in the presence of hydrochloric acid, a nitrite ester represented by the following general formula (c4-2) (RONO and R are alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms) is used. The method of reacting is preferable. Next, the ketooxime compound represented by the following formula (c4-3) and the acid anhydride (R c11 CO) 2 O) represented by the following formula (c4-4), or the following formula (c4-5). The compound represented by the following formula (c4-6) can be obtained by reacting with the acid halide (R c11 COHal, Hal is a halogen atom). In the following formulas (c4-1), (c4-3), (c4-4), (c4-5), and (c4-6), R c7 , R c8 , R c9 , R c10 , and R c11 is the same as the equation (c4).
When n5 is 1, there is a tendency that the generation of foreign substances in the pattern formed by using the photosensitive composition containing the compound represented by the formula (c4) can be further reduced.

また、スキーム４において、式（ｃ３−８）、式（ｃ４−１）、及び式（ｃ４−３）それぞれに含まれるＲｃ１０は、同一であっても異なってもいてもよい。つまり、式（ｃ３−８）、式（ｃ４−１）、及び式（ｃ４−３）中のＲｃ１０は、スキーム４として示される合成過程において、化学修飾を受けてもよい。化学修飾の例としては、エステル化、エーテル化、アシル化、アミド化、ハロゲン化、アミノ基中の水素原子の有機基による置換等が挙げられる。Ｒｃ１０が受けてもよい化学修飾はこれらに限定されない。 Further, in Scheme 4, R c10 contained in each of the formula (c3-8), the formula (c4-1), and the formula (c4-3) may be the same or different. That is, R c10 in formula (c3-8), formula (c4-1), and formula (c4-3) may undergo chemical modification in the synthetic process represented as Scheme 4. Examples of chemical modifications include esterification, etherification, acylation, amidation, halogenation, substitution of hydrogen atoms in amino groups with organic groups, and the like. The chemical modifications that R c10 may undergo are not limited to these.

＜スキーム４＞

Figure 0006785122
<Scheme 4>
Figure 0006785122

式（ｃ４）で表される化合物の好適な具体例としては、以下のＰＩ−４３〜ＰＩ−８３が挙げられる。

Figure 0006785122
Preferable specific examples of the compound represented by the formula (c4) include the following PI-43 to PI-83.
Figure 0006785122

Figure 0006785122
Figure 0006785122

前述の通り、感光性組成物中の塩化物イオン量は、１０００質量ｐｐｍ以下である。このため、光重合開始剤（Ｃ）中の塩化物イオン量もある程度低減されている必要がある。
この点、オキシムエステル化合物（Ｃ１）は、その製造方法に起因して特に塩化物イオンを含みやすい。このためオキシムエステル化合物（Ｃ１）の精製は重要である。
オキシムエステル化合物（Ｃ１）中の塩化物イオン量を低減する方法としては、
１）塩化アルミニウムを用いてフリーデルクラフツ反応を行う工程を含む方法によりオキシムエステル化合物（Ｃ１）を合成し、且つ、オキシムエステル化合物の塩化物イオンの含有量が極力低減されるように、塩化アルミニウムの使用量を調整する方法、
２）オキシムエステル化合物（Ｃ１）で表される化合物の合成において、塩素原子を含まない酸を用いる方法、
３）オキシムエステル化合物（Ｃ１）で表される化合物の合成において、フリーデルクラフツアシル化反応又はオキシム基のアシル化にて、アシル化剤として酸無水物を用いる方法、
４）オキシムエステル化合物（Ｃ１）で表される化合物の粗精製品を、蒸留、再結晶、水洗、及びカラムクロマトグラフィーからなる群より選択される１以上の方法により精製する方法、
５）オキシムエステル化合物（Ｃ１）で表される化合物の粗精製品を疎水性有機溶剤に溶かした溶液を水洗した後に、洗浄された溶液からオキシムエステル化合物（Ｃ１）で表される化合物を回収する方法、及び
６）オキシムエステル化合物（Ｃ１）で表される化合物の粗精製品を疎水性有機溶剤に溶かした溶液を陰イオン交換樹脂により処理した後、オキシムエステル化合物（Ｃ１）を回収する方法が挙げられる。 As described above, the amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. Therefore, the amount of chloride ions in the photopolymerization initiator (C) also needs to be reduced to some extent.
In this respect, the oxime ester compound (C1) is particularly liable to contain chloride ions due to its production method. Therefore, purification of the oxime ester compound (C1) is important.
As a method for reducing the amount of chloride ions in the oxime ester compound (C1),
1) Aluminum chloride so that the oxime ester compound (C1) is synthesized by a method including a step of performing a Friedel-Crafts reaction using aluminum chloride and the chloride ion content of the oxime ester compound is reduced as much as possible. How to adjust the usage of
2) A method using an acid containing no chlorine atom in the synthesis of the compound represented by the oxime ester compound (C1).
3) A method of using an acid anhydride as an acylating agent in the Friedel-Crafts acylation reaction or the acylation of an oxime group in the synthesis of the compound represented by the oxime ester compound (C1).
4) A method for purifying a crude product of a compound represented by an oxime ester compound (C1) by one or more methods selected from the group consisting of distillation, recrystallization, washing with water, and column chromatography.
5) After washing a solution of a crude product of the compound represented by the oxime ester compound (C1) in a hydrophobic organic solvent with water, the compound represented by the oxime ester compound (C1) is recovered from the washed solution. A method and 6) a method of recovering the oxime ester compound (C1) after treating a solution obtained by dissolving a crude product of the compound represented by the oxime ester compound (C1) in a hydrophobic organic solvent with an anion exchange resin. Can be mentioned.

（化合物（Ｃ２）） (Compound (C2))

感光性組成物は、光重合開始剤（Ｃ）として、前述のオキシムエステル化合物（Ｃ１）とともに、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを含む。化合物（Ｃ２）の種類は、オキシムエステル化合物ではなく、光重合開始剤として作用し得る限り特に限定されない。 The photosensitive composition contains, as the photopolymerization initiator (C), the above-mentioned oxime ester compound (C1) and a compound (C2) other than the oxime ester compound. The type of compound (C2) is not an oxime ester compound and is not particularly limited as long as it can act as a photopolymerization initiator.

化合物（Ｃ２）として具体的には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（４−ジメチルアミノフェニル）ケトン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−（ベンゾイルオキシイミノ）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１−オクタノン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、４−ベンゾイル−４’−メチルジメチルスルフィド、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４−ジメチルアミノ−２−エチルヘキシル安息香酸、４−ジメチルアミノ−２−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、２−クロロチオキサンテン、２，４−ジエチルチオキサンテン、２−メチルチオキサンテン、２−イソプロピルチオキサンテン、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンヒドロペルオキシド、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−イミダゾリル二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、α，α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス−（９−アクリジニル）ヘプタン、１，５−ビス−（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス−（９−アクリジニル）プロパン、ｐ−メトキシトリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（フラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Specifically, as the compound (C2), 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2- Hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2 -Methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]- 2-Morphorinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1-one, 2- (benzoyloxyimino) -1- [4- (phenylthio) ) Phenyl] -1-octanone, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphenyl oxide, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino Ethyl benzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexyl benzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamyl benzoic acid, benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyl dimethyl ketal, o-benzoyl benzoate Methyl acid, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2- Methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoylperoxide, cumenehydroperoxide, 2-mercapto Benzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4, 5-Diphenylimidazolyl dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobe Nzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, Acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, p-dimethylaminoacetonone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosverone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, 9-phenylaclydin, 1, 7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9-acridinyl) propane, p-methoxytriazine, 2,4,6-tris ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (fran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methyl) Phenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 -(4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-) n-Butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4- Bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylph Examples thereof include enyl-s-triazine and 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine. These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

これらの中では、良好な感度を保ちつつ、解像性を向上させやすいことから、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−イミダゾリル二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体等のイミダゾール化合物や、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアルキルフェノン化合物が好ましい。アルキルフェノン化合物の中では、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のα−アミノアルキルフェノン化合物が好ましい。 Among these, 2- (o-chlorophenyl) 4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, 2- (, because it is easy to improve the resolution while maintaining good sensitivity. O-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer and other imidazole compounds, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2- Alkylphenone compounds such as morpholinopropane-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1-one are preferred. Among the alkylphenone compounds, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) Α-Aminoalkylphenone compounds such as −butane-1-one are preferred.

化合物（Ｃ２）について、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と同様に精製され、塩化物イオンが低減されるのが好ましい。 It is preferable that the compound (C2) is purified in the same manner as the oxime ester compound (C1) to reduce chloride ions.

光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、後述する溶剤（Ｓ）の質量を除いた感光性組成物の質量に対して０．５〜３０質量％であることが好ましく、１〜２０質量％であることがより好ましい。光重合開始剤（Ｃ）の含有量を上記の範囲とすることにより、パターン形状の不良が生じにくい感光性組成物を得ることができる。 The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 0.5 to 30% by mass, preferably 1 to 20% by mass, based on the mass of the photosensitive composition excluding the mass of the solvent (S) described later. Is more preferable. By setting the content of the photopolymerization initiator (C) in the above range, it is possible to obtain a photosensitive composition in which defects in the pattern shape are unlikely to occur.

光重合開始剤（Ｃ）中のオキシムエステル化合物（Ｃ１）の含有量は、良好な感度と良好な解像性とを両立させやすい点から、光重合開始剤（Ｃ）の質量に対して、１０〜９９．５質量％が好ましく、３０〜９７質量％がより好ましく、５０〜９５質量％が特に好ましい。光重合開始剤（Ｃ）中の化合物（Ｃ２）の含有量は、０．５〜９０質量％が好ましく、１〜６０質量％がより好ましく、１０〜４０質量％が特に好ましい The content of the oxime ester compound (C1) in the photopolymerization initiator (C) is relative to the mass of the photopolymerization initiator (C) because it is easy to achieve both good sensitivity and good resolution. It is preferably 10 to 99.5% by mass, more preferably 30 to 97% by mass, and particularly preferably 50 to 95% by mass. The content of the compound (C2) in the photopolymerization initiator (C) is preferably 0.5 to 90% by mass, more preferably 1 to 60% by mass, and particularly preferably 10 to 40% by mass.

また、光重合開始剤（Ｃ）に、光開始助剤を組み合わせてもよい。光開始助剤としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−５−メトキシベンゾチアゾール、３−メルカプトプロピオン酸、３−メルカプトプロピオン酸メチル、ペンタエリストールテトラメルカプトアセテート、３−メルカプトプロピオネート等のチオール化合物等が挙げられる。これらの光開始助剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Further, the photopolymerization initiator (C) may be combined with the photoinitiator aid. Photoinitiator aids include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminobenzoate 2-. Ethylhexyl, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9, 10-Diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercapto-5-methoxybenzothiazole, 3-mercaptopropion Examples thereof include thiol compounds such as acid, methyl 3-mercaptopropionate, pentaeristol tetramercaptoacetate and 3-mercaptopropionate. These photoinitiator aids can be used alone or in combination of two or more.

＜着色剤（Ｄ）＞
感光性組成物は着色剤（Ｄ）を含んでいてもよい。着色剤（Ｄ）としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ社発行）において、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを用いるのが好ましい。 <Colorant (D)>
The photosensitive composition may contain a colorant (D). The colorant (D) is not particularly limited, but for example, a compound classified as Pigment in the Color Index (CI; published by The Society of Dyers and Colorists), specifically, a compound. It is preferable to use one having a color index (CI) number as shown below.

好適に使用できる黄色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。）、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３，７４、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５、１８０、及び１８５が挙げられる。 Examples of preferably usable yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, "CI Pigment Yellow" is the same and only the number is described), 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53. , 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116 , 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180. , And 185.

好適に使用できる橙色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。）、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、５５、５９、６１、６３、６４、７１、及び７３が挙げられる。 Examples of preferably usable orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, "CI Pigment Orange" is the same and only the number is described), 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46. , 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, and 73.

好適に使用できる紫色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。）、１９、２３、２９、３０、３２、３６、３７、３８、３９、４０、及び５０が挙げられる。 Examples of suitably usable purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, "CI Pigment Violet" is the same and only the number is described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, and 50. Can be mentioned.

好適に使用できる赤色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。）２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、及び２６５が挙げられる。 Examples of preferably usable red pigments include C.I. I. Pigment Red 1 (hereinafter, "CI Pigment Red" is the same and only the number is described.) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: 1, 63: 2, 64: 1, 81: 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, and 265.

好適に使用できる青色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。）、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、及び６６が挙げられる。 Examples of preferably usable blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, "CI Pigment Blue" is the same, and only the number is described.) 2, 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64 , And 66.

好適に使用できる、上記の他の色相の顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７等の緑色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８等の茶色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７等の黒色顔料が挙げられる。 Examples of pigments of the above other hues that can be suitably used include C.I. I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Green 37 and other green pigments, C.I. I. Pigment Brown 23, C.I. I. Pigment Brown 25, C.I. I. Pigment Brown 26, C.I. I. Pigment Brown 28 and other brown pigments, C.I. I. Pigment Black 1, C.I. I. Examples thereof include black pigments such as Pigment Black 7.

また、感光性組成物は、着色剤（Ｄ）として遮光剤を含んでいてもよい。遮光剤を含む感光性組成物は、液晶表示パネルにおけるブラックマトリックス又はブラックカラムスペーサの形成や、有機ＥＬ素子における発光層の区画用のバンクの形成に好適に用いられる。 Further, the photosensitive composition may contain a light-shielding agent as the colorant (D). The photosensitive composition containing a light-shielding agent is suitably used for forming a black matrix or a black column spacer in a liquid crystal display panel, or forming a bank for partitioning a light emitting layer in an organic EL element.

着色剤（Ｄ）を遮光剤とする場合、遮光剤としては黒色顔料や紫顔料を用いることが好ましい。黒色顔料や紫顔料の例としては、カーボンブラック、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。 When the colorant (D) is used as a light-shielding agent, it is preferable to use a black pigment or a purple pigment as the light-shielding agent. Examples of black pigments and purple pigments include carbon blacks, perylene pigments, lactam pigments, titanium blacks, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium, silver and other metal oxides and composite oxides. , Metal sulfides, metal sulfates, metal carbonates, and other pigments, regardless of whether they are organic or inorganic.

カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができる。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。 As the carbon black, known carbon blacks such as channel black, furnace black, thermal black, and lamp black can be used. Moreover, you may use resin-coated carbon black.

カーボンブラックとしては、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックも好ましい。カーボンブラックに導入される酸性基は、ブレンステッドの定義による酸性を示す官能基である。酸性基の具体例としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。カーボンブラックに導入された酸性基は、塩を形成していてもよい。酸性基と塩を形成するカチオンは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カチオンの例としては、種々の金属イオン、含窒素化合物のカチオン、アンモニウムイオン等が挙げられ、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン等のアルカリ金属イオンや、アンモニウムイオンが好ましい。 As the carbon black, carbon black that has been subjected to a treatment for introducing an acidic group is also preferable. The acidic group introduced into carbon black is a functional group that exhibits acidity as defined by Bronsted. Specific examples of the acidic group include a carboxy group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group and the like. The acidic group introduced into the carbon black may form a salt. The cation forming a salt with the acidic group is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. Examples of the cation include various metal ions, cations of nitrogen-containing compounds, ammonium ions and the like, and alkali metal ions such as sodium ion, potassium ion and lithium ion, and ammonium ion are preferable.

以上説明した酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックの中では、感光性組成物を用いて形成される遮光性の硬化膜の高抵抗を達成する観点で、カルボン酸基、カルボン酸塩基、スルホン酸基、及びスルホン酸塩基からなる群より選択される１種以上の官能基を有するカーボンブラックが好ましい。 Among the carbon blacks that have been subjected to the treatment for introducing the acidic groups described above, carboxylic acid groups and carboxylic acid bases are used from the viewpoint of achieving high resistance of the light-shielding cured film formed by using the photosensitive composition. , A sulfonic acid group, and a carbon black having one or more functional groups selected from the group consisting of a sulfonic acid base are preferable.

カーボンブラックに酸性基を導入する方法は特に限定されない。酸性基を導入する方法としては、例えば以下の方法が挙げられる。
１）濃硫酸、発煙硫酸、クロロスルホン酸等を用いる直接置換法や、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩等を用いる間接置換法により、カーボンブラックにスルホン酸基を導入する方法。
２）アミノ基と酸性基とを有する有機化合物と、カーボンブラックとをジアゾカップリングさせる方法。
３）ハロゲン原子と酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとをウィリアムソンのエーテル化法により反応させる方法。
４）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとを反応させる方法。
５）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物を用いて、カーボンブラックに対してフリーデルクラフツ反応を行った後、脱保護する方法。 The method for introducing an acidic group into carbon black is not particularly limited. Examples of the method for introducing an acidic group include the following methods.
1) A method of introducing a sulfonic acid group into carbon black by a direct substitution method using concentrated sulfuric acid, fuming sulfuric acid, chlorosulfonic acid or the like, or an indirect substitution method using sulfite, hydrogen sulfite or the like.
2) A method of diazo-coupling an organic compound having an amino group and an acidic group with carbon black.
3) A method in which an organic compound having a halogen atom and an acidic group and carbon black having a hydroxyl group are reacted by Williamson's etherification method.
4) A method of reacting an organic compound having a halocarbonyl group and an acidic group protected by a protecting group with carbon black having a hydroxyl group.
5) A method of deprotecting carbon black after carrying out a Friedel-Crafts reaction using an organic compound having a halocarbonyl group and an acidic group protected by a protecting group.

これらの方法の中では、酸性基の導入処理が、容易且つ安全であることから、方法２）が好ましい。方法２）で使用されるアミノ基と酸性基とを有する有機化合物としては、芳香族基にアミノ基と酸性基とが結合した化合物が好ましい。このような化合物の例としては、スルファニル酸のようなアミノベンゼンスルホン酸や、４−アミノ安息香酸のようなアミノ安息香酸が挙げられる。 Among these methods, method 2) is preferable because the process of introducing an acidic group is easy and safe. As the organic compound having an amino group and an acidic group used in the method 2), a compound in which an amino group and an acidic group are bonded to an aromatic group is preferable. Examples of such compounds include aminobenzenesulfonic acids such as sulfanilic acid and aminobenzoic acids such as 4-aminobenzoic acid.

カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、カーボンブラック１００ｇに対して、１〜２００ｍｍｏｌが好ましく、５〜１００ｍｍｏｌがより好ましい。 The number of moles of acidic groups introduced into carbon black is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. The number of moles of the acidic group introduced into the carbon black is preferably 1 to 200 mmol, more preferably 5 to 100 mmol with respect to 100 g of the carbon black.

酸性基を導入されたカーボンブラックは、樹脂による被覆処理を施されていてもよい。
樹脂により被覆されたカーボンブラックを含む感光性組成物を用いる場合、遮光性及び絶縁性に優れ、表面反射率が低い遮光性の硬化膜を形成しやすい。なお、樹脂による被覆処理によって、感光性組成物を用いて形成される遮光性の硬化膜の誘電率に対する悪影響は特段生じない。カーボンブラックの被覆に使用できる樹脂の例としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、グリプタル樹脂、エポキシ樹脂、アルキルベンゼン樹脂等の熱硬化性樹脂や、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリスルフォン、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアミノビスマレイミド、ポリエーテルスルフォポリフェニレンスルフォン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。カーボンブラックに対する樹脂の被覆量は、カーボンブラックの質量と樹脂の質量の合計に対して、１〜３０質量％が好ましい。 The carbon black into which an acidic group has been introduced may be coated with a resin.
When a photosensitive composition containing carbon black coated with a resin is used, it is easy to form a light-shielding cured film having excellent light-shielding properties and insulating properties and low surface reflectance. The coating treatment with the resin does not cause any adverse effect on the dielectric constant of the light-shielding cured film formed by using the photosensitive composition. Examples of resins that can be used for coating carbon black include thermosetting resins such as phenol resin, melamine resin, xylene resin, diallyl phthalate resin, glyptal resin, epoxy resin, and alkylbenzene resin, and polystyrene, polycarbonate, polyethylene terephthalate, and poly. Examples thereof include thermoplastic resins such as butylene terephthalate, modified polyphenylene oxide, polysulphon, polyparaphenylene terephthalamide, polyamideimide, polyimide, polyaminobismaleimide, polyether sulfopolyphenylensulphon, polyarylate, and polyether ether ketone. The coating amount of the resin on the carbon black is preferably 1 to 30% by mass with respect to the total of the mass of the carbon black and the mass of the resin.

また、遮光剤としてはペリレン系顔料も好ましい。ペリレン系顔料の具体例としては、下記式（ｄ−１）で表されるペリレン系顔料、下記式（ｄ−２）で表されるペリレン系顔料、及び下記式（ｄ−３）で表されるペリレン系顔料が挙げられる。市販品では、ＢＡＳＦ社製の製品名Ｋ００８４、及びＫ００８６や、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等を、ペリレン系顔料として好ましく用いることができる。 Further, a perylene-based pigment is also preferable as the light-shielding agent. Specific examples of the perylene-based pigment include a perylene-based pigment represented by the following formula (d-1), a perylene-based pigment represented by the following formula (d-2), and a perylene-based pigment represented by the following formula (d-3). Perylene-based pigments can be mentioned. In the commercially available products, product names K0084 and K0083 manufactured by BASF, Pigment Black 21, 30, 31, 32, 33, 34 and the like can be preferably used as the perylene-based pigment.

Figure 0006785122
式（ｄ−１）中、Ｒｄ１及びＲｄ２は、それぞれ独立に炭素原子数１〜３のアルキレン基を表し、Ｒｄ３及びＲｄ４は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、メトキシ基、又はアセチル基を表す。
Figure 0006785122
 In formula (d-1), R d1 and R d2 independently represent an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and R d3 and R d4 independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, a methoxy group, or a hydrogen atom, respectively. Represents an acetyl group.

Figure 0006785122
式（ｄ−２）中、Ｒｄ５及びＲｄ６は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜７のアルキレン基を表す。
Figure 0006785122
 In the formula (d-2), R d5 and R d6 each independently represent an alkylene group having 1 to 7 carbon atoms.

Figure 0006785122
式（ｄ−３）中、Ｒｄ７及びＲｄ８は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１〜２２のアルキル基であり、Ｎ，Ｏ、Ｓ、又はＰのヘテロ原子を含んでいてもよい。Ｒｄ７及びＲｄ８がアルキル基である場合、当該アルキル基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
Figure 0006785122
 In formula (d-3), R d7 and R d8 are independently hydrogen atoms and alkyl groups having 1 to 22 carbon atoms, and may contain heteroatoms of N, O, S, or P, respectively. Good. When R d7 and R d8 are alkyl groups, the alkyl groups may be linear or branched.

上記の式（ｄ−１）で表される化合物、式（ｄ−２）で表される化合物、及び式（ｄ−３）で表される化合物は、例えば、特開昭６２−１７５３号公報、特公昭６３−２６７８４号公報に記載の方法を用いて合成することができる。すなわち、ペリレン−３，５，９，１０−テトラカルボン酸又はその二無水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒中で再結晶させることによって目的物を得ることができる。 The compound represented by the above formula (d-1), the compound represented by the formula (d-2), and the compound represented by the formula (d-3) are, for example, JP-A-62-1753. , No. 63-26784 can be synthesized by using the method described in Japanese Patent Publication No. 63-26784. That is, a heating reaction is carried out in water or an organic solvent using perylene-3,5,9,10-tetracarboxylic acid or its dianhydride or amines as raw materials. Then, the desired product can be obtained by reprecipitating the obtained crude product in sulfuric acid or recrystallizing it in water, an organic solvent or a mixed solvent thereof.

感光性組成物中においてペリレン系顔料を良好に分散させるためには、ペリレン系顔料の平均粒子径は１０〜１０００ｎｍであるのが好ましい。 In order to disperse the perylene-based pigment well in the photosensitive composition, the average particle size of the perylene-based pigment is preferably 10 to 1000 nm.

また、遮光剤としては、ラクタム系顔料を含ませることもできる。ラクタム系顔料としては、例えば、下記式（ｄ−４）で表される化合物が挙げられる。 Further, as the light shielding agent, a lactam pigment may be included. Examples of the lactam pigment include compounds represented by the following formula (d-4).

Figure 0006785122
Figure 0006785122

式（ｄ−４）中、Ｘｄは二重結合を示し、幾何異性体としてそれぞれ独立にＥ体又はＺ体であり、Ｒｄ９は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ニトロ基、メトキシ基、臭素原子、塩素原子、フッ素原子、カルボキシ基、又はスルホ基を示し、Ｒｄ１０は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、又はフェニル基を示し、Ｒｄ１１は、各々独立に、水素原子、メチル基、又は塩素原子を示す。
式（ｄ−４）で表される化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
Ｒｄ９は、式（ｄ−４）で表される化合物の製造が容易である点から、ジヒドロインドロン環の６位に結合するのが好ましく、Ｒｄ１１はジヒドロインドロン環の４位に結合するのが好ましい。同様の観点から、Ｒｄ９、Ｒｄ１０、及びＲｄ１１は、好ましくは水素原子である。
式（ｄ−４）で表される化合物は、幾何異性体としてＥＥ体、ＺＺ体、ＥＺ体を有するが、これらのいずれかの単一の化合物であってもよいし、これらの幾何異性体の混合物であってもよい。
式（ｄ−４）で表される化合物は、例えば、国際公開第２０００／２４７３６号，国際公開第２０１０／０８１６２４号に記載された方法により製造することができる。 In formula (d-4), X d represents a double bond and is independently E or Z as geometric isomers, and R d9 is independently hydrogen atom, methyl group, nitro group, methoxy. A group, a bromine atom, a chlorine atom, a fluorine atom, a carboxy group, or a sulfo group, R d10 independently represents a hydrogen atom, a methyl group, or a phenyl group, and R d11 independently represents a hydrogen atom. , Methyl group, or hydrogen atom.
The compound represented by the formula (d-4) can be used alone or in combination of two or more.
R d9 is preferably bonded to the 6-position of the dihydroindron ring because the compound represented by the formula (d-4) can be easily produced, and R d11 is bonded to the 4-position of the dihydroindron ring. It is preferable to do so. From the same viewpoint, R d9 , R d10 , and R d11 are preferably hydrogen atoms.
The compound represented by the formula (d-4) has an EE form, a ZZ form, and an EZ form as geometric isomers, but may be a single compound of any one of these, or these geometric isomers. May be a mixture of.
The compound represented by the formula (d-4) can be produced, for example, by the method described in International Publication No. 2000/24736 and International Publication No. 2010/081624.

組成物中においてラクタム系顔料を良好に分散させるためには、ラクタム系顔料の平均粒子径は１０〜１０００ｎｍであるのが好ましい。 In order to disperse the lactam pigment well in the composition, the average particle size of the lactam pigment is preferably 10 to 1000 nm.

さらに、銀錫（ＡｇＳｎ）合金を主成分とする微粒子（以下、「ＡｇＳｎ合金微粒子」という。）も遮光剤として好ましく用いられる。このＡｇＳｎ合金微粒子は、ＡｇＳｎ合金が主成分であればよく、他の金属成分として、例えば、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ等が含まれていてもよい。
このＡｇＳｎ合金微粒子の平均粒子径は、１〜３００ｎｍが好ましい。 Further, fine particles containing silver-tin (AgSn) alloy as a main component (hereinafter, referred to as "AgSn alloy fine particles") are also preferably used as a light-shielding agent. The AgSn alloy fine particles may be mainly composed of the AgSn alloy, and may contain, for example, Ni, Pd, Au, etc. as other metal components.
The average particle size of the AgSn alloy fine particles is preferably 1 to 300 nm.

ＡｇＳｎ合金は、化学式ＡｇｘＳｎにて表した場合、化学的に安定したＡｇＳｎ合金が得られるｘの範囲は１≦ｘ≦１０であり、化学的安定性と黒色度とが同時に得られるｘの範囲は３≦ｘ≦４である。
ここで、上記ｘの範囲でＡｇＳｎ合金中のＡｇの質量比を求めると、
ｘ＝１の場合、 Ａｇ／ＡｇＳｎ＝０．４７６２
ｘ＝３の場合、 ３・Ａｇ／Ａｇ３Ｓｎ＝０．７３１７
ｘ＝４の場合、 ４・Ａｇ／Ａｇ４Ｓｎ＝０．７８４３
ｘ＝１０の場合、１０・Ａｇ／Ａｇ１０Ｓｎ＝０．９００８
となる。
従って、このＡｇＳｎ合金は、Ａｇを４７．６〜９０質量％含有した場合に化学的に安定なものとなり、Ａｇを７３．１７〜７８．４３重量％含有した場合にＡｇ量に対し効果的に化学的安定性と黒色度とを得ることができる。 When the AgSn alloy is represented by the chemical formula AgxSn, the range of x in which a chemically stable AgSn alloy can be obtained is 1 ≦ x ≦ 10, and the range of x in which both chemical stability and blackness can be obtained at the same time is. 3 ≦ x ≦ 4.
Here, when the mass ratio of Ag in the AgSn alloy is obtained in the range of x above,
When x = 1, Ag / AgSn = 0.4762
When x = 3, 3.Ag / Ag3Sn = 0.7317
When x = 4, 4. Ag / Ag4Sn = 0.7843
When x = 10, 10 · Ag / Ag10Sn = 0.9008
Will be.
Therefore, this AgSn alloy becomes chemically stable when it contains 47.6 to 90% by mass of Ag, and is effective with respect to the amount of Ag when it contains 73.17 to 78.43% by weight of Ag. Chemical stability and blackness can be obtained.

このＡｇＳｎ合金微粒子は、通常の微粒子合成法を用いて作製することができる。微粒子合成法としては、気相反応法、噴霧熱分解法、アトマイズ法、液相反応法、凍結乾燥法、水熱合成法等が挙げられる。 The AgSn alloy fine particles can be produced by using a usual fine particle synthesis method. Examples of the fine particle synthesis method include a gas phase reaction method, a spray pyrolysis method, an atomizing method, a liquid phase reaction method, a freeze-drying method, and a hydrothermal synthesis method.

ＡｇＳｎ合金微粒子は絶縁性の高いものであるが、感光性組成物の用途によっては、さらに絶縁性を高めるため、表面を絶縁膜で覆うようにしても構わない。このような絶縁膜の材料としては、金属酸化物又は有機高分子化合物が好適である。
金属酸化物としては、絶縁性を有する金属酸化物、例えば、酸化ケイ素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、酸化イットリウム（イットリア）、酸化チタン（チタニア）等が好適に用いられる。
また、有機高分子化合物としては、絶縁性を有する樹脂、例えば、ポリイミド、ポリエーテル、ポリアクリレート、ポリアミン化合物等が好適に用いられる。 The AgSn alloy fine particles have high insulating properties, but depending on the use of the photosensitive composition, the surface may be covered with an insulating film in order to further improve the insulating properties. As a material for such an insulating film, a metal oxide or an organic polymer compound is suitable.
As the metal oxide, insulating metal oxides such as silicon oxide (silica), aluminum oxide (alumina), zirconium oxide (zirconia), yttrium oxide (itria), titanium oxide (titania) and the like are preferably used. Be done.
Further, as the organic polymer compound, a resin having an insulating property, for example, a polyimide, a polyether, a polyacrylate, a polyamine compound or the like is preferably used.

絶縁膜の膜厚は、ＡｇＳｎ合金微粒子の表面の絶縁性を十分に高めるためには１〜１００ｎｍの厚みが好ましく、より好ましくは５〜５０ｎｍである。
絶縁膜は、表面改質技術あるいは表面のコーティング技術により容易に形成することができる。特に、テトラエトキシシラン、アルミニウムトリエトキシド等のアルコキシドを用いれば、比較的低温で膜厚の均一な絶縁膜を形成することができるので好ましい。 The thickness of the insulating film is preferably 1 to 100 nm, more preferably 5 to 50 nm in order to sufficiently enhance the insulating property on the surface of the AgSn alloy fine particles.
The insulating film can be easily formed by a surface modification technique or a surface coating technique. In particular, it is preferable to use an alkoxide such as tetraethoxysilane or aluminum triethoxyde because an insulating film having a uniform film thickness can be formed at a relatively low temperature.

遮光剤としては、上述のペリレン系顔料、ラクタム系顔料、ＡｇＳｎ合金微粒子単独でも用いてもよいし、これらを組み合わせて用いてもよい。
その他、遮光剤は、色調の調整の目的等で、上記の黒色顔料や紫顔料とともに、赤、青、緑、黄等の色相の色素を含んでいてもよい。黒色顔料や紫顔料の他の色相の色素は、公知の色素から適宜選択することができる。例えば、黒色顔料や紫顔料の他の色相の色素としては、上記の種々の顔料を用いることができる。黒色顔料や紫顔料以外の他の色相の色素の使用量は、遮光剤の全質量に対して、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましい。 As the light-shielding agent, the above-mentioned perylene-based pigment, lactam-based pigment, and AgSn alloy fine particles may be used alone, or these may be used in combination.
In addition, the light-shielding agent may contain a pigment having a hue such as red, blue, green, or yellow in addition to the above-mentioned black pigment or purple pigment for the purpose of adjusting the color tone. The pigments having other hues of the black pigment and the purple pigment can be appropriately selected from known pigments. For example, as the pigments having other hues of black pigments and purple pigments, the above-mentioned various pigments can be used. The amount of the pigment having a hue other than the black pigment and the purple pigment is preferably 15% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, based on the total mass of the light-shielding agent.

上記の着色剤を組成物において均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤として、カーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。
なお、分散剤の分解に起因して、感光性組成物の硬化膜から腐食性のガスが発生する場合がある。このため、着色剤が、分散剤を用いることなく分散処理されるのも好ましい。 Further dispersants may be used to evenly disperse the colorants in the composition. As such a dispersant, it is preferable to use a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant. In particular, when carbon black is used as the colorant, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as the dispersant.
In addition, corrosive gas may be generated from the cured film of the photosensitive composition due to the decomposition of the dispersant. Therefore, it is also preferable that the colorant is dispersed without using a dispersant.

また、無機顔料と有機顔料はそれぞれ単独又は２種以上併用してもよいが、併用する場合には、無機顔料と有機顔料との総量１００質量部に対して、有機顔料を１０〜８０質量部の範囲で用いることが好ましく、２０〜４０質量部の範囲で用いることがより好ましい。 Further, the inorganic pigment and the organic pigment may be used alone or in combination of two or more, but when they are used in combination, 10 to 80 parts by mass of the organic pigment is used with respect to 100 parts by mass of the total amount of the inorganic pigment and the organic pigment. It is preferable to use it in the range of 20 to 40 parts by mass, and it is more preferable to use it in the range of 20 to 40 parts by mass.

なお、感光性組成物は、着色剤（Ｄ）として顔料以外にも染料を用いることができる。この染料は公知の材料のなかから適宜選択すればよい。
本実施形態の感光性組成物に適用可能な染料としては、例えば、アゾ染料、金属錯塩アゾ染料、アントラキノン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料、シアニン染料、ナフトキノン染料、キノンイミン染料、メチン染料、フタロシアニン染料等を挙げることができる。
また、これら染料については、レーキ化（造塩化）することで有機溶剤等に分散させ、これを着色剤（Ｄ）として用いることができる。
これらの染料以外にも、例えば、特開２０１３−２２５１３２号公報、特開２０１４−１７８４７７号公報、特開２０１３−１３７５４３号公報、特開２０１１−３８０８５号公報、特開２０１４−１９７２０６号公報等に記載の染料等も好ましく用いることができる。
これら染料もまた、前述の顔料（例えば、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料、ＡｇＳｎ合金微粒子等）と組み合わせて使用することもできる。 In the photosensitive composition, a dye other than the pigment can be used as the colorant (D). This dye may be appropriately selected from known materials.
Examples of dyes applicable to the photosensitive composition of the present embodiment include azo dyes, metal complex salt azo dyes, anthraquinone dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, cyanine dyes, naphthoquinone dyes, quinoneimine dyes, methine dyes, and phthalocyanines. Dyes and the like can be mentioned.
Further, these dyes can be dispersed in an organic solvent or the like by rake (chlorination) and used as a colorant (D).
In addition to these dyes, for example, JP2013-225132A, JP2014-178477A, JP2013-137543A, JP2011-38085, JP2014-197206, etc. The dyes and the like described can also be preferably used.
These dyes can also be used in combination with the above-mentioned pigments (for example, perylene-based pigments, lactam-based pigments, AgSn alloy fine particles, etc.).

感光性組成物における着色剤（Ｄ）の使用量は、本発明の目的を阻害しない範囲で適宜選択でき、典型的には、感光性組成物の固形分全体の質量に対して、５〜７０質量％が好ましく、２５〜６０質量％がより好ましい。 The amount of the colorant (D) used in the photosensitive composition can be appropriately selected within a range that does not impair the object of the present invention, and is typically 5 to 70 with respect to the total mass of the solid content of the photosensitive composition. It is preferably by mass, more preferably 25 to 60% by mass.

着色剤（Ｄ）は分散剤の存在下又は不存在下に適当な濃度で分散させた分散液とした後、感光性組成物に添加することが好ましい。
尚、本明細書においては、上述の着色剤（Ｄ）の使用量について、この存在する分散剤も含む値として定義することができる。 The colorant (D) is preferably added to the photosensitive composition after being prepared as a dispersion liquid dispersed at an appropriate concentration in the presence or absence of the dispersant.
In this specification, the amount of the above-mentioned colorant (D) used can be defined as a value including the existing dispersant.

前述の通り、感光性組成物中の塩化物イオン量は、１０００質量ｐｐｍ以下である。このため、着色剤（Ｄ）中の塩化物イオン量もある程度低減されている必要がある。
着色剤（Ｄ）中の塩化物イオン量を低減する方法としては、水、有機溶剤、有機溶剤の水溶液等による洗浄が挙げられる。着色剤が染料である場合、染料の溶液を調製した後、得られた溶液を陰イオン交換樹脂と接触させた後、溶液から染料を回収することでも塩化物イオン量を低減することができる。 As described above, the amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. Therefore, the amount of chloride ions in the colorant (D) also needs to be reduced to some extent.
Examples of the method for reducing the amount of chloride ions in the colorant (D) include cleaning with water, an organic solvent, an aqueous solution of an organic solvent, or the like. When the colorant is a dye, the amount of chloride ions can also be reduced by preparing a solution of the dye, contacting the obtained solution with an anion exchange resin, and then recovering the dye from the solution.

＜アミン（Ｅ）＞
感光性組成物は、アミン（Ｅ）を含む。感光性組成物がアミン（Ｅ）を含むことにより、微細なパターンを解像できる良好な解像性を有する感光性組成物を調製しやすい。 <Amine (E)>
The photosensitive composition contains amine (E). Since the photosensitive composition contains an amine (E), it is easy to prepare a photosensitive composition having good resolution capable of resolving a fine pattern.

アミン（Ｅ）は、感光性組成物に単独で配合されてもよく、アミン（Ｅ）以外の他の成分に含まれる不純物として感光性組成物に配合されてもよい。
アミン（Ｅ）を含む不純物としては、例えば、アミド結合のような形態で窒素原子を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、含窒素化合物を含む光重合性化合物（Ｂ）、含窒素化合物を含む光重合開始剤（Ｃ）、窒素を含有する化合物を含む着色剤（Ｄ）、アミド結合（−ＣＯ−ＮＨ−）、ウレタン結合（−Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−）、ウレイド結合（−ＮＨ−ＣＯ−ＮＨ−）等を含む樹脂等の着色剤（Ｄ）用の分散剤又は分散助剤等の添加剤、及び含窒素極性有機溶剤を含む溶剤（Ｓ）等が挙げられる。
アミン（Ｅ）を、光重合開始剤（Ｃ）に含まれる不純物として感光性組成物に配合する場合、化合物（Ｃ２）として、イミダゾール化合物や、アルキルフェノン化合物であるα−アミノアルキルフェノン化合物を用いるのが好ましい。 The amine (E) may be blended alone in the photosensitive composition, or may be blended in the photosensitive composition as an impurity contained in a component other than the amine (E).
Examples of impurities containing an amine (E) include an alkali-soluble resin (A) containing a nitrogen atom in the form of an amide bond, a photopolymerizable compound (B) containing a nitrogen-containing compound, and photopolymerization containing a nitrogen-containing compound. Initiator (C), colorant containing nitrogen-containing compound (D), amide bond (-CO-NH-), urethane bond (-O-CO-NH-), ureido bond (-NH-CO-NH-NH) Examples thereof include an additive such as a dispersant or a dispersion aid for a colorant (D) such as a resin containing −) and the like, and a solvent (S) containing a nitrogen-containing polar organic solvent.
When the amine (E) is blended in the photosensitive composition as an impurity contained in the photopolymerization initiator (C), an imidazole compound or an α-aminoalkylphenone compound which is an alkylphenone compound is used as the compound (C2). Is preferable.

アミン（Ｅ）の好適な具体例としては、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、エタノールアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、ジ−ｎ−ヘキシルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ヘキシルアミント、エチレンジアミン、１，３−プロパンジアミン、１，４−ブタンジアミン、１，５−ペンタンジアミン、及び１，６−ヘキサンジアミン等の鎖状脂肪族アミン；ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピロール、及びイミダゾール等の乾式アミン；アニリン、トルイジン、及びフェニレンジアミン等の芳香族アミン等が挙げられる。 Preferable specific examples of the amine (E) include ammonia, methylamine, ethylamine, ethanolamine, propylamine, isopropylamine, n-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, dimethylamine, diethylamine, diethanolamine and diethanolamine. -N-propylamine, diisopropylamine, din-butylamine, din-pentylamine, din-hexylamine, trimethylamine, triethylamine, triethanolamine, tri-n-propylamine, triisopropylamine, tri- n-butylamine, tri-n-pentyamine, tri-n-hexylamine, ethylenediamine, 1,3-propanediamine, 1,4-butanediamine, 1,5-pentanediamine, 1,6-hexanediamine, etc. Chain aliphatic amines; dry amines such as pyrrolidine, piperidine, piperazine, morpholin, pyrrol, and imidazole; aromatic amines such as aniline, toluidine, and phenylenediamine.

感光性組成物中のアミン（Ｅ）の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。
感光性組成物中のアミン（Ｅ）の含有量は、５０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、３０００質量ｐｐｍ以下がより好ましい。感光性組成物中のアミン（Ｅ）の含有量は２０００質量ｐｐｍ以下であってもよく、１０００質量ｐｐｍ以下であってもよく、５００質量ｐｐｍ以下であってもよい。
感光性組成物中のアミン（Ｅ）の含有量は、所望する効果を得やすい点から、５０質量ｐｐｍ以上が好ましく、１００質量ｐｐｍ以上がより好ましく２００質量ｐｐｍ以上が特に好ましい。
感光性組成物中のアミン（Ｅ）の含有量が５０００質量ｐｐｍ以下であると、感光性組成物を用いて塗布膜を形成する際の塗布膜の膜厚のばらつきを小さくしやすい。 The content of amine (E) in the photosensitive composition is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention.
The content of the amine (E) in the photosensitive composition is preferably 5000 mass ppm or less, and more preferably 3000 mass ppm or less. The content of the amine (E) in the photosensitive composition may be 2000 mass ppm or less, 1000 mass ppm or less, or 500 mass ppm or less.
The content of the amine (E) in the photosensitive composition is preferably 50 mass ppm or more, more preferably 100 mass ppm or more, and particularly preferably 200 mass ppm or more, from the viewpoint of easily obtaining the desired effect.
When the content of the amine (E) in the photosensitive composition is 5000 mass ppm or less, it is easy to reduce the variation in the film thickness of the coating film when forming the coating film using the photosensitive composition.

感光性組成物中のアミン（Ｅ）の含有量は、イオンクロマトグラフィーにより測定することができる。 The content of amine (E) in the photosensitive composition can be measured by ion chromatography.

＜溶剤（Ｓ）＞
感光性組成物は、塗布性の改善や、粘度調整の目的で溶剤（Ｓ）を含む。なお、溶剤（Ｓ）には、液状のアミン化合物は含まれない。 <Solvent (S)>
The photosensitive composition contains a solvent (S) for the purpose of improving coatability and adjusting viscosity. The solvent (S) does not contain a liquid amine compound.

溶剤（Ｓ）として具体的には、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、蟻酸ｎ−ペンチル、酢酸ｉ−ペンチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸ｉ−プロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルイソブチルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ−メチルカプロラクタム、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、ピリジン、及びＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルウレア等含窒素極性有機溶剤；等が挙げられる。 Specifically, as the solvent (S), ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono- n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n -Butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether, etc. Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), propylene glycol monoethyl ether acetate, etc. (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates; other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone; 2-hydroxy Lactate alkyl esters such as methyl propionate and ethyl 2-hydroxypropionate; ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3 -Ethyl ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3 -Methoxybutyl propionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, butyric acid Other esters such as n-propyl, i-propyl butyrate, n-butyl butylate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate; toluene, Aromatic hydrocarbons such as xylene; N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylisobutylamide, N, N-diethylacetamide, N, N- Diethylformamide, N-methylcaprolactam, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, pyridine, and nitrogen-containing polar organic solvents such as N, N, N', N'-tetramethylurea; and the like.

これらの中でも、アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、上述した他のエーテル類、乳酸アルキルエステル類、上述した他のエステル類が好ましく、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、上述した他のエーテル類、上述した他のエステル類がより好ましい。
また、各成分の溶解性や、着色剤（Ｄ）の分散性等の点で、溶剤（Ｓ）が、含窒素極性有機溶剤を含むのも好ましい。含窒素極性有機溶剤としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルウレアが好ましい。
これらの溶剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。 Among these, alkylene glycol monoalkyl ethers, alkylene glycol monoalkyl ether acetates, other ethers described above, lactic acid alkyl esters, and other esters described above are preferable, and alkylene glycol monoalkyl ether acetates, described above. Other ethers and other esters described above are more preferred.
Further, it is also preferable that the solvent (S) contains a nitrogen-containing polar organic solvent in terms of the solubility of each component and the dispersibility of the colorant (D). As the nitrogen-containing polar organic solvent, N, N, N', N'-tetramethylurea are preferable.
These solvents can be used alone or in combination of two or more.

上記溶剤の中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３−メトキシブチルアセテートが好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテートを用いることが特に好ましい。 Among the above solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, and 3-methoxybutyl acetate are preferable, and propylene glycol monomethyl It is particularly preferable to use ether acetate and 3-methoxybutyl acetate.

溶剤（Ｓ）の含有量は、感光性組成物の固形分濃度が５〜９９質量％である量が好ましく、１５〜５０質量％である量がより好ましい。 The content of the solvent (S) is preferably an amount in which the solid content concentration of the photosensitive composition is 5 to 99% by mass, and more preferably 15 to 50% by mass.

前述の通り、感光性組成物中の塩化物イオン量は、１０００質量ｐｐｍ以下である。このため、溶剤（Ｓ）中の塩化物イオン量もある程度低減されている必要がある。
溶剤（Ｓ）中の塩化物イオン量を低減する方法としては、蒸留、陰イオン交換樹脂による処理等が挙げられる。 As described above, the amount of chloride ions in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. Therefore, the amount of chloride ions in the solvent (S) also needs to be reduced to some extent.
Examples of the method for reducing the amount of chloride ions in the solvent (S) include distillation, treatment with an anion exchange resin, and the like.

＜その他の成分＞
感光性組成物には、必要に応じて、界面活性剤、密着性向上剤、熱重合禁止剤、消泡剤、シランカップリング剤等の添加剤を含有させることができる。いずれの添加剤も、従来公知のものを用いることができる。
感光性組成物は、形状が良好で、基板への密着性に優れる硬化膜を形成しやすいことから、シランカップリング剤を含むものが好ましい。シランカップリング剤としては、従来知られるものを特に制限なく使用することができる。
界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系等の化合物が挙げられ、熱重合禁止剤としては、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等が挙げられ、消泡剤としては、シリコーン系、フッ素系化合物等が挙げられる。 <Other ingredients>
The photosensitive composition may contain additives such as a surfactant, an adhesion improver, a thermal polymerization inhibitor, an antifoaming agent, and a silane coupling agent, if necessary. As any of the additives, conventionally known ones can be used.
The photosensitive composition preferably contains a silane coupling agent because it has a good shape and easily forms a cured film having excellent adhesion to a substrate. As the silane coupling agent, conventionally known ones can be used without particular limitation.
Examples of the surfactant include anionic, cationic, nonionic and the like compounds, examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone and hydroquinone monoethyl ether, and examples of the defoaming agent include silicone and fluorine. Examples include compounds.

＜感光性組成物の調製方法＞
以上説明した感光性組成物は、上記各成分を、それぞれ所定量混合した後、撹拌機で均一に混合することにより得られる。なお、得られた混合物がより均一なものとなるようフィルタを用いて濾過してもよい。
また、感光性組成物の塩化物イオン含有量を所望する値まで低減する目的で、感光性組成物を陰イオン交換樹脂により処理してもよい。 <Method for preparing photosensitive composition>
The photosensitive composition described above can be obtained by mixing each of the above components in a predetermined amount and then uniformly mixing them with a stirrer. In addition, you may filter using a filter so that the obtained mixture becomes more uniform.
Further, the photosensitive composition may be treated with an anion exchange resin for the purpose of reducing the chloride ion content of the photosensitive composition to a desired value.

≪感光性組成物を用いて形成さる膜における異物を抑制する方法≫
感光性組成物を用いて形成される膜における異物を抑制する方法において用いられる感光性組成物は、それぞれ前述の、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｓ）と、アミン（Ｅ）とを含む。感光性組成物は、着色剤（Ｄ）等の任意成分をさらに含んでいてもよい。
かかる感光性組成物中の塩化物イオンを量を１０００質量％以下とすることにより、感光性組成物を用いて形成される膜における異物の発生が抑制される。 << Method of suppressing foreign matter in the film formed by using the photosensitive composition >>
The photosensitive composition used in the method for suppressing foreign substances in the film formed by using the photosensitive composition is the above-mentioned alkali-soluble resin (A), photopolymerizable compound (B), and photopolymerization initiation, respectively. The agent (C), the solvent (S), and the amine (E) are contained. The photosensitive composition may further contain an optional component such as the colorant (D).
By setting the amount of chloride ions in the photosensitive composition to 1000% by mass or less, the generation of foreign substances in the film formed by using the photosensitive composition is suppressed.

異物の数は、感光性組成物を１０ｃｍ×１０ｃｍの基板上にスピン塗布した後に乾燥した膜厚１μｍの膜において、異物検知器により検知される異物の数である。
上記方法によれば、以上説明した異物の数が１０００未満に抑制される。 The number of foreign substances is the number of foreign substances detected by the foreign matter detector in a film having a film thickness of 1 μm, which is dried after spin-coating the photosensitive composition on a substrate of 10 cm × 10 cm.
According to the above method, the number of foreign substances described above is suppressed to less than 1000.

≪硬化膜の形成方法≫
以上説明した、感光性組成物を用いて形成された薄膜を、露光により硬化させることにより、硬化膜が形成される。
硬化膜の用途としては、絶縁膜が挙げられる。感光性組成物が着色剤（Ｄ）を含まない場合には、透明絶縁膜が形成される。感光性樹脂組成物が着色剤（Ｄ）を含む場合には、着色された絶縁膜が形成される。特に、着色剤（Ｄ）が遮光剤である場合、遮光性の絶縁膜が形成される。
遮光性の黒色絶縁膜の好適な例としては、種々の画像表示装置用のパネルが備える、ブラックマトリクス中の黒色の隔壁や、ブラックカラムスペーサが挙げられる。
また、感光性樹脂組成物がＲＧＢ等の有彩色の着色剤（Ｄ）を含む場合、ブラックマトリクスにより区画された領域に着色された硬化膜を形成してカラーフィルタを製造することができる。
例えば、上記のブラックマトリクスや、有彩色の硬化膜を含むカラーフィルタは、種々の表示装置において好適に使用される。 << Method of forming a cured film >>
A cured film is formed by curing the thin film formed by using the photosensitive composition described above by exposure.
Applications of the cured film include an insulating film. When the photosensitive composition does not contain the colorant (D), a transparent insulating film is formed. When the photosensitive resin composition contains the colorant (D), a colored insulating film is formed. In particular, when the colorant (D) is a light-shielding agent, a light-shielding insulating film is formed.
Preferable examples of the light-shielding black insulating film include a black partition wall in a black matrix and a black column spacer provided in panels for various image display devices.
Further, when the photosensitive resin composition contains a chromatic colorant (D) such as RGB, a colored cured film can be formed in a region partitioned by a black matrix to manufacture a color filter.
For example, the above-mentioned black matrix and a color filter containing a chromatic cured film are suitably used in various display devices.

硬化膜の好適な製造方法としては、
前述の感光性組成物を基板上に塗布して、塗布膜を形成することと、
塗布膜を露光することと、を含む方法が挙げられる。 A suitable method for producing the cured film is
By applying the above-mentioned photosensitive composition on a substrate to form a coating film,
Examples include exposing the coating film and including.

感光性組成物を用いて硬化膜を形成するには、感光性組成物を、硬化膜の用途に応じて選択された基板上に塗布して塗布膜を形成する。塗布膜の形成方法は特に限定されないが、例えば、ロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて行われる。 To form a cured film using the photosensitive composition, the photosensitive composition is applied onto a substrate selected according to the application of the cured film to form a coating film. The method for forming the coating film is not particularly limited, but for example, a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, or a bar coater, or a non-contact type coating device such as a spinner (rotary coating device) or a curtain flow coater is used. Be told.

塗布された感光性組成物は、必要に応じて乾燥され、塗布膜を構成する。乾燥方法は、特に限定されず、例えば、（１）ホットプレートにて８０〜１２０℃、好ましくは９０〜１００℃の温度にて６０〜１２０秒間乾燥させる方法、（２）室温にて数時間〜数日間放置する方法、（３）温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分間〜数時間入れて溶剤を除去する方法等が挙げられる。 The applied photosensitive composition is dried, if necessary, to form a coating film. The drying method is not particularly limited, for example, (1) a method of drying on a hot plate at a temperature of 80 to 120 ° C., preferably 90 to 100 ° C. for 60 to 120 seconds, and (2) several hours at room temperature. Examples include a method of leaving the solvent for several days, and (3) a method of removing the solvent by putting it in a warm air heater or an infrared heater for several tens of minutes to several hours.

次いで塗布膜に対する露光が行われる。露光は、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して行われる。露光は、例えば、ネガ型のマスクを介して露光を行う方法等により、位置選択的に行われてもよい。照射するエネルギー線量は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば４０〜２００ｍＪ／ｃｍ２程度が好ましい。 Next, the coating film is exposed. The exposure is performed by irradiating with active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light. The exposure may be regioselective, for example, by a method of performing exposure through a negative mask. The energy dose to be irradiated varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 40 to 200 mJ / cm 2 , for example.

塗布膜が位置選択的に露光された場合、露光後の膜を、現像液により現像することによって所望の形状にパターニングする。現像方法は、特に限定されず、例えば、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液は、感光性組成物の組成に応じて適宜選択される。現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等の塩基性の水溶液を用いることができる。 When the coating film is exposed in a regioselective manner, the exposed film is patterned with a developing solution to form a desired shape. The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spraying method, or the like can be used. The developer is appropriately selected according to the composition of the photosensitive composition. As the developing solution, for example, a basic aqueous solution such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and a quaternary ammonium salt can be used.

全面露光により形成された硬化膜、又は現像されたパターン化された硬化膜は、必要に応じて１２０〜２５０℃の温度でポストベークされる。 The cured film formed by full exposure or the developed patterned cured film is post-baked at a temperature of 120-250 ° C., if necessary.

以上のようにして形成される硬化膜は、異物の含有量が少なく、また微細にパターン化され得るため、種々の用途に好適に使用される。 The cured film formed as described above has a low content of foreign matter and can be finely patterned, and is therefore suitably used for various purposes.

以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the scope of the present invention is not limited to these Examples.

〔実施例〕
実施例、比較例及び参考例において、表１に記載の種類のオキシムエステル化合物（Ｃ１）を１００質量部、表１に記載の種類の化合物（Ｃ２）を２５質量部、アルカリ可溶性樹脂（固形分５５質量％、溶剤３−メトキシブチルアセテート）３１０質量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製）１７５質量部、及びカーボンブラック分散液（ＣＦブラック、御国色素（株）製）４５０質量部の混合物に、固形分が１５質量％となるように、３−メトキシブチルアセテートを加え、均一になるまで撹拌して、感光性組成物を得た。
アルカリ可溶性樹脂は、特開２０１０−３２９４０号公報の段落［００６３］〜［００６４］に記載荒れた樹脂Ａ−１と同じ樹脂を用いた。 〔Example〕
In Examples, Comparative Examples and Reference Examples , 100 parts by mass of the oxime ester compound (C1) of the type shown in Table 1, 25 parts by mass of the compound (C2) of the type shown in Table 1, and an alkali-soluble resin (solid content). 55% by mass, solvent 3-methoxybutyl acetate) 310 parts by mass, dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 175 parts by mass, and carbon black dispersion (CF black, manufactured by Gokoku Dye Co., Ltd.) ) To 450 parts by mass of the mixture, 3-methoxybutyl acetate was added so that the solid content was 15% by mass, and the mixture was stirred until uniform to obtain a photosensitive composition.
As the alkali-soluble resin, the same resin as the rough resin A-1 described in paragraphs [0063] to [0064] of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-32940 was used.

得られた感光性組成物について、イオンクロマトグラフィーによりアミンの含有量を測定し、イオンクロマトグラフィーにより塩化物イオンの含有量を測定した。各感光性組成物のアミンの含有量と、塩化物イオンの含有量とを表１に記す。
表１中のアミンの種類Ｅ１、Ｅ２、及びＥ３は以下の通りである。
Ｅ１：モルホリン
Ｅ２：トリエチルアミン
Ｅ３：イミダゾール The amine content of the obtained photosensitive composition was measured by ion chromatography, and the chloride ion content was measured by ion chromatography. Table 1 shows the amine content and the chloride ion content of each photosensitive composition.
The types of amines E1, E2, and E3 in Table 1 are as follows.
E1: Morpholine E2: Triethylamine E3: Imidazole

なお、実施例２〜３、参考例１、実施例７、９、１１、参考例６、８、１０、比較例１〜６、及び比較例８〜１２の感光性組成物中のアミン含有量は、化合物（Ｃ２）の精製の程度により調整した。
参考例４、実施例５、比較例７の感光性組成物中のアミン含有量は、実質的にアミンを含まない化合物（Ｃ２）を用いたうえで、トリエチルアミンを所定量感光性組成物に加えることにより調整した。
また、各感光性組成物中の塩化物イオン含有量は、オキシムエステル化合物（Ｃ１）の精製の程度により調整した。 The amine content in the photosensitive compositions of Examples 2 to 3, Reference Example 1, Examples 7, 9, 11 , Reference Examples 6 , 8 and 10 , Comparative Examples 1 to 6, and Comparative Examples 8 to 12. Was adjusted according to the degree of purification of compound (C2).
As for the amine content in the photosensitive compositions of Reference Example 4, Example 5, and Comparative Example 7, a predetermined amount of triethylamine is added to the photosensitive composition after using the compound (C2) which does not substantially contain amine. Adjusted by.
The chloride ion content in each photosensitive composition was adjusted according to the degree of purification of the oxime ester compound (C1).

実施例、比較例及び参考例において、オキシムエステル化合物（Ｃ１）としては、下記Ｃ１ａ及び下記Ｃ１ｂを用いた。 In Examples , Comparative Examples and Reference Examples , the following C1a and the following C1b were used as the oxime ester compound (C1).

実施例、比較例及び参考例において、化合物（Ｃ２）として、以下のＣ２ａ、Ｃ２ｂ、及びＣ２ｃを用いた。
Ｃ２ａ：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン
Ｃ２ｂ：２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン
Ｃ２ｃ：２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体 The following C2a, C2b, and C2c were used as the compound (C2) in Examples , Comparative Examples, and Reference Examples .
C2a: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1-one C2b: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1 -On C2c: 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer

得られた感光性組成物について、以下の方法に従って、異物と、解像性と、感度と、塗布性とについて評価を行った。これらの評価結果を表１に記す。 The obtained photosensitive composition was evaluated for foreign matter, resolution, sensitivity, and coatability according to the following method. The results of these evaluations are shown in Table 1.

（異物評価）
スピンコーターを用いて、１０ｃｍ×１０ｃｍのガラスに、感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を形成した。次いで、１００℃で１２０秒間ホットプレートにより塗布膜を加熱して塗布膜から溶剤を除去し、膜厚１μｍの塗布膜を得た。
得られた塗布膜中の異物数を、異物検知器により計測し、異物数１０００以上を×と判定し、異物数１００未満を○と判定した。 (Foreign matter evaluation)
A photosensitive resin composition was applied to 10 cm × 10 cm glass using a spin coater to form a coating film. Next, the coating film was heated at 100 ° C. for 120 seconds with a hot plate to remove the solvent from the coating film, and a coating film having a film thickness of 1 μm was obtained.
The number of foreign substances in the obtained coating film was measured by a foreign matter detector, and a foreign matter number of 1000 or more was determined to be x, and a foreign matter number of less than 100 was determined to be ◯.

（解像性評価）
スピンコーターを用いて、１０ｃｍ×１０ｃｍのガラスに、感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を形成した。次いで、１００℃で１２０秒間ホットプレートにより塗布膜を加熱して塗布膜から溶剤を除去し、膜厚１μｍの塗布膜を得た。
得られた塗布膜に、線幅、２、４、６、８、１０、１２、１４、１６、１８、及び２０μｍの線が描かれたフォトマスクを介して、露光量５０ｍＪ／ｃｍ２で露光を行った。
露光後、塗布膜を濃度０．０５質量％のＫＯＨ水溶液を用いて６０秒間現像し、描かれたパターン中の最小の線幅を確認した。
最小の線幅が１０μｍ以上である場合を×と判定し、最小の線幅が１０μｍ未満である場合を○と判定した。 (Resolution evaluation)
A photosensitive resin composition was applied to 10 cm × 10 cm glass using a spin coater to form a coating film. Next, the coating film was heated at 100 ° C. for 120 seconds with a hot plate to remove the solvent from the coating film, and a coating film having a film thickness of 1 μm was obtained.
The obtained coating film was exposed to an exposure amount of 50 mJ / cm 2 via a photomask in which lines having line widths of 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18, and 20 μm were drawn. Was done.
After the exposure, the coating film was developed with a KOH aqueous solution having a concentration of 0.05% by mass for 60 seconds, and the minimum line width in the drawn pattern was confirmed.
When the minimum line width was 10 μm or more, it was judged as x, and when the minimum line width was less than 10 μm, it was judged as ◯.

（感度評価）
スピンコーターを用いて、１０ｃｍ×１０ｃｍのガラスに、感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を形成した。次いで、１００℃で１２０秒間ホットプレートにより塗布膜を加熱して塗布膜から溶剤を除去し、膜厚１μｍの塗布膜を得た。
得られた塗布膜に、線幅２０μｍの線が描かれたフォトマスクを介して、露光量５０ｍＪ／ｃｍ２で露光を行った。
露光後、塗布膜を濃度０．０５質量％のＫＯＨ水溶液を用いて６０秒間現像し、描かれたパターンを確認した。
同様の操作を、露光量２５ｍＪ／ｃｍ２、７５ｍＪ／ｃｍ２、１００ｍＪ／ｃｍ２で行った。
７５ｍＪ／ｃｍ２以上の露光量で所望する寸法のパターンが得られた場合を×と判定し、５０ｍＪ／ｃｍ２以下の露光量で所望する寸法のパターンが得られた場合を○と判定した。 (Sensitivity evaluation)
A photosensitive resin composition was applied to 10 cm × 10 cm glass using a spin coater to form a coating film. Next, the coating film was heated at 100 ° C. for 120 seconds with a hot plate to remove the solvent from the coating film, and a coating film having a film thickness of 1 μm was obtained.
The obtained coating film was exposed to an exposure amount of 50 mJ / cm 2 via a photomask on which a line having a line width of 20 μm was drawn.
After the exposure, the coating film was developed with a KOH aqueous solution having a concentration of 0.05% by mass for 60 seconds, and the drawn pattern was confirmed.
The same operation was conducted with an exposure dose 25mJ / cm 2, 75mJ / cm 2, 100mJ / cm 2.
A case where a pattern having a desired size was obtained with an exposure amount of 75 mJ / cm 2 or more was judged as x, and a case where a pattern with a desired size was obtained with an exposure amount of 50 mJ / cm 2 or less was judged as ◯.

（塗布性評価）
異物測定に用いた塗布膜の膜厚を１０点測定し、最大膜厚と最小膜厚との差を算出した。なお、いずれの感光性組成物についても塗布性は問題のない水準であり、この評価は問題のないでの塗布性の優劣を比較するものである。
膜厚差が０．１μｍ以上である場合を○と判定し、膜厚差が０．１μｍ未満である場合を◎と判定した。 (Evaluation of coatability)
The film thickness of the coating film used for measuring the foreign matter was measured at 10 points, and the difference between the maximum film thickness and the minimum film thickness was calculated. The coatability of each of the photosensitive compositions is at a level that does not cause any problem, and this evaluation compares the superiority or inferiority of the coatability without any problem.
When the film thickness difference was 0.1 μm or more, it was judged as ◯, and when the film thickness difference was less than 0.1 μm, it was judged as ⊚.

Figure 0006785122
Figure 0006785122

表１によれば、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｓ）と、アミン（Ｅ）とを含む感光性組成物であって、光重合開始剤（Ｃ）が、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを含み、感光性組成物中の塩化物イオン量が、１０００質量ｐｐｍ以下である、実施例の感光性組成物では、異物の抑制と、良好な解像性とが両立されていることが分かる。 According to Table 1, a photosensitive composition containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), a solvent (S), and an amine (E). Therefore, the photopolymerization initiator (C) contains an oxime ester compound (C1) and a compound (C2) other than the oxime ester compound, and the amount of chloride ion in the photosensitive composition is 1000 mass ppm or less. It can be seen that in the photosensitive composition of a certain example, suppression of foreign substances and good resolution are compatible with each other.

Claims (4)

アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、溶剤（Ｓ）と、アミン（Ｅ）とを含む感光性組成物であって、
前記光重合開始剤（Ｃ）が、オキシムエステル化合物（Ｃ１）と、前記オキシムエステル化合物以外の化合物（Ｃ２）とを含み、
前記化合物（Ｃ２）が、アルキルフェノン化合物、及びイミダゾール化合物からなる群より選択される１種以上であり、
前記感光性組成物中の塩化物イオン量が、１０００質量ｐｐｍ以下であり、
前記感光性組成物中の前記アミン（Ｅ）の含有量が、５０００質量ｐｐｍ以下である、感光性組成物。 A photosensitive composition containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C), a solvent (S), and an amine (E).
The photopolymerization initiator (C) contains an oxime ester compound (C1) and a compound (C2) other than the oxime ester compound.
The compound (C2) is at least one selected from the group consisting of an alkylphenone compound and an imidazole compound.
Chloride ion content of the photosensitive composition is state, and are less 1,000 mass ppm,
A photosensitive composition in which the content of the amine (E) in the photosensitive composition is 5000 mass ppm or less . さらに、着色剤（Ｄ）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。 The photosensitive composition according to claim 1, further comprising a colorant (D). 請求項１又は２に記載の感光性組成物を基板上に塗布して、塗布膜を形成することと、
前記塗布膜を露光することと、を含む、硬化膜の形成方法。 The photosensitive composition according to claim 1 or 2 is applied onto a substrate to form a coating film.
A method for forming a cured film, which comprises exposing the coating film. 前記塗布膜が位置選択的に露光され、
さらに、露光された前記塗布膜を現像することを含む、請求項３に記載の硬化膜の形成方法。 The coating film is regioselectively exposed.
The method for forming a cured film according to claim 3 , further comprising developing the exposed coating film.
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