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JP6789271B2 - Board processing equipment - Google Patents
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  • Coating Apparatus (AREA)
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Description

この発明は、ノズルの吐出口から処理液を吐出させて基板の上面に処理液を供給する基板処理装置に関するものである。 The present invention relates to a substrate processing apparatus that discharges a processing liquid from a nozzle discharge port and supplies the processing liquid to the upper surface of the substrate.

ノズルから処理液を基板に供給する基板処理装置の一例として、例えば特許文献１に記載された塗布装置が知られている。この塗布装置では、ノズルの下方に設けられた吐出口を基板の上面に向けた状態でノズルは基板の上方で昇降可能となっている。そして、ノズルの下方端が基板の上面と近接するようにノズルを塗布位置に位置決めした状態でノズルに対して基板を相対的に水平移動さながらノズルの吐出口から処理液を基板の上面に供給する。こうして、基板の上面に処理液を塗布して塗布膜を形成する。 As an example of the substrate processing apparatus that supplies the processing liquid from the nozzle to the substrate, for example, the coating apparatus described in Patent Document 1 is known. In this coating device, the nozzle can be raised and lowered above the substrate with the discharge port provided below the nozzle facing the upper surface of the substrate. Then, with the nozzle positioned at the coating position so that the lower end of the nozzle is close to the upper surface of the substrate, the treatment liquid is supplied to the upper surface of the substrate from the discharge port of the nozzle while moving the substrate relatively horizontally with respect to the nozzle. .. In this way, the treatment liquid is applied to the upper surface of the substrate to form a coating film.

特開２０１８−１１４４７６号公報JP-A-2018-114476

特許文献１に記載の装置では、塗布処理はノズルを塗布位置に位置決めして行われる。このため、塗布処理中に停電が発生し、基板処理装置への電力供給が停止されると、ノズルが落下してノズルの下方端が基板と接触する可能性がある。そこで、例えばノズルを昇降させる駆動源としてブレーキ付電動モータを用い、停電時にブレーキを作動させる等の落下対策を採用することが考えられる。しかしながら、ブレーキに関する具体的な記載は特許文献１に含まれていない。 In the apparatus described in Patent Document 1, the coating process is performed by positioning the nozzle at the coating position. Therefore, if a power failure occurs during the coating process and the power supply to the substrate processing apparatus is stopped, the nozzle may fall and the lower end of the nozzle may come into contact with the substrate. Therefore, for example, it is conceivable to use an electric motor with a brake as a drive source for raising and lowering the nozzle, and to adopt a fall countermeasure such as operating the brake in the event of a power failure. However, the specific description about the brake is not included in Patent Document 1.

また、停電と同時にブレーキを作動させるようにブレーキ付電動モータに指令したとしても、直ちにブレーキを作用させることは難しく、指令受付から一定時間が経過した後でなければブレーキが有効に作用しない。つまり、停電からブレーキが作用するまでにはタイムラグが存在している。したがって、例えば図２の（ａ）欄に示すように、タイムラグΔＴの間にノズルが落下して基板と接触するという問題が発生する。 Further, even if the electric motor with a brake is instructed to operate the brake at the same time as a power failure, it is difficult to apply the brake immediately, and the brake does not operate effectively until a certain time has passed from the reception of the command. In other words, there is a time lag between the power failure and the braking action. Therefore, for example, as shown in the column (a) of FIG. 2, there arises a problem that the nozzle falls during the time lag ΔT and comes into contact with the substrate.

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルの下方に設けられた吐出口から処理液を吐出させて基板の上面に処理液を供給する基板処理装置において、停電によりノズルが落下して基板の上面と接触するのを効果的に防止することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems. In a substrate processing device that discharges a processing liquid from a discharge port provided below the nozzle and supplies the processing liquid to the upper surface of the substrate, the nozzle falls due to a power failure. The purpose is to effectively prevent contact with the upper surface of the substrate.

本発明の一態様は、基板処理装置であって、下方に吐出口を有し、吐出口を基板の上面に向けた状態で基板の上方において昇降自在に設けられるノズルと、ノズルを上下方向に昇降駆動する昇降部と、
ノズルに処理液を供給してノズルの吐出口から処理液を吐出させる処理液供給部とを備え、昇降部は、 上下方向に延設されるボールねじ軸と、ボールねじ軸に螺合した状態でノズルに連結されるブラケットとを有するボールねじ機構と、
ボールねじ軸を回転駆動する電動モータと、 停電時に電動モータまたはボールねじ軸にブレーキをかけるブレーキ機構と、ボールねじ軸に設けられ、停電時にノズルの自重による落下に伴って回転しようとするボールねじ軸に対して回転を規制する負荷イナーシャを付加してボールねじ軸の回転を抑制する第１イナーシャ部材とを有することを特徴としている。 One aspect of the present invention is a substrate processing apparatus, in which a nozzle having a discharge port at the bottom and being provided so as to be vertically movable above the substrate with the discharge port facing the upper surface of the substrate, and a nozzle in the vertical direction. Elevating part to drive up and down and
It is equipped with a processing liquid supply unit that supplies the processing liquid to the nozzle and discharges the processing liquid from the discharge port of the nozzle, and the elevating part is screwed to the ball screw shaft extending in the vertical direction and the ball screw shaft. With a ball screw mechanism having a bracket connected to the nozzle with
An electric motor that rotates and drives the ball screw shaft, a brake mechanism that brakes the electric motor or ball screw shaft in the event of a power failure , and a ball screw that is provided on the ball screw shaft and tries to rotate as the nozzle drops due to its own weight during a power failure. It is characterized by having a first inertia member that suppresses the rotation of the ball screw shaft by adding a load inertia that regulates the rotation of the shaft.

このように構成された発明では、停電の発生とともにブレーキ機構が電動モータまたはボールねじ軸にブレーキをかける。また、ブレーキが作用するまでにタイムラグが生じることがあり、その間、ノズルは自重により落下しようとする。しかしながら、第１イナーシャ部材がボールねじ軸に対して回転を規制する負荷イナーシャを付加してボールねじ軸の回転を抑制する。その結果、ブレーキが作用するまでの間にノズルが落下する落下量が低く抑えられる。 In the invention configured as described above, the brake mechanism brakes the electric motor or the ball screw shaft when a power failure occurs. In addition, a time lag may occur before the brake is applied, during which the nozzle tries to fall due to its own weight. However, the first inertia member adds a load inertia that regulates the rotation of the ball screw shaft to suppress the rotation of the ball screw shaft. As a result, the amount of drop of the nozzle before the brake is applied can be suppressed to a low level.

以上のように、停電によりノズルが落下して基板の上面と接触するのを効果的に防止することができる。 As described above, it is possible to effectively prevent the nozzle from falling and coming into contact with the upper surface of the substrate due to a power failure.

本発明に係る基板処理装置の一実施形態である塗布装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the coating apparatus which is one Embodiment of the substrate processing apparatus which concerns on this invention. 図１に示す塗布装置においてダミーイナーシャによるノズルの落下抑制効果を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the drop | drop suppressing effect of a nozzle by a dummy inertia in the coating apparatus shown in FIG.

図１は本発明に係る基板処理装置の一実施形態である塗布装置の構成を示す図である。この塗布装置１は、特許文献１に記載の塗布装置と同様に、水平姿勢で搬送される基板Ｓの上面Ｓｆに向けてスリットノズル（以下、単に「ノズル」という）２から塗布液（処理液）を吐出して上面Ｓｆ上に塗布膜を形成するスリットコータである。なお、以下の各図において装置各部の配置関係を明確にするために、基板Ｓの搬送方向を「Ｘ方向」と称し、Ｘ方向と直交する水平方向を「Ｙ方向」と称し、上下方向を「Ｚ方向」と称する。 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a coating device according to an embodiment of the substrate processing device according to the present invention. Similar to the coating device described in Patent Document 1, the coating device 1 is a coating liquid (treatment liquid) from a slit nozzle (hereinafter, simply referred to as “nozzle”) 2 toward the upper surface Sf of the substrate S conveyed in a horizontal posture. ) Is discharged to form a coating film on the upper surface Sf. In each of the following figures, in order to clarify the arrangement relationship of each part of the apparatus, the transport direction of the substrate S is referred to as "X direction", the horizontal direction orthogonal to the X direction is referred to as "Y direction", and the vertical direction is referred to as "Y direction". It is referred to as "Z direction".

塗布装置１は基板搬送部３を有しており、当該基板搬送部３により基板ＳをＸ方向に搬送する。また、ノズル２の下方、つまりノズル先端部には、Ｙ方向にスリット状の吐出口２１が延設されている。この吐出口２１を下方に向けた状態でノズル２はノズル支持部材２２により支持され、当該ノズル支持部材２２とともに基板Ｓの上面Ｓｆの上方でＺ方向に昇降自在に配置されており、昇降部４によって昇降駆動される。これによってノズル２は基板Ｓの上面Ｓｆに近接した塗布処理位置（図１で点線で示す位置）と、塗布処理位置から上方に離間して待機する待機位置（図１で実線で示す位置）との間を往復移動する。なお、昇降部４の詳しい構成および動作については後で詳述する。 The coating device 1 has a substrate transporting portion 3, and the substrate transporting portion 3 transports the substrate S in the X direction. Further, a slit-shaped discharge port 21 extends in the Y direction below the nozzle 2, that is, at the tip of the nozzle. The nozzle 2 is supported by the nozzle support member 22 with the discharge port 21 facing downward, and is arranged so as to be able to move up and down in the Z direction above the upper surface Sf of the substrate S together with the nozzle support member 22. Is driven up and down by. As a result, the nozzle 2 has a coating processing position (position shown by a dotted line in FIG. 1) close to the upper surface Sf of the substrate S and a standby position (position shown by a solid line in FIG. 1) that stands by at a distance upward from the coating processing position. Move back and forth between. The detailed configuration and operation of the elevating unit 4 will be described in detail later.

ノズル２には塗布液供給部５が接続されており、ノズル２が塗布処理位置に位置決めされた状態で塗布液供給部５から塗布液が圧送されると、吐出口２１から塗布液が基板Ｓに向けて吐出され、基板Ｓの上面Ｓｆに供給される。こうして、基板Ｓの上面Ｓｆに塗布液が塗布され、塗布膜が形成される。 A coating liquid supply unit 5 is connected to the nozzle 2, and when the coating liquid is pumped from the coating liquid supply unit 5 with the nozzle 2 positioned at the coating processing position, the coating liquid is discharged from the discharge port 21 to the substrate S. Is discharged toward the top surface Sf of the substrate S. In this way, the coating liquid is applied to the upper surface Sf of the substrate S to form a coating film.

昇降部４は、図１に示すように、Ｙ方向において基板搬送部３により水平搬送される基板Ｓよりも外側に設けられた左右対称（＋Ｙ側と−Ｙ側とで対称）構造を有するボールねじ機構４１Ｌ、４１Ｒを備えている。この実施形態では、一対のボールねじ機構４１Ｌ、４１Ｒでノズル支持部材２２を介してノズル２を上下方向Ｚに昇降させるように構成されている。より詳しくは、各ボールねじ機構４１Ｌ、４１Ｒは、柱状部材４２と、上下方向Ｚに平行に延びた状態で柱状部材４２に取り付けられたボールねじ軸４３とを有している。各ボールねじ軸４３に対してブラケット４４が螺合されている。これら２つのブラケット４４に対してノズル支持部材２２の両端部がそれぞれ取り付けられ、ノズル２の吐出口２１を下方に向けた状態でノズル２を支持しつつノズル支持部材２２は上下方向Ｚに昇降自在に設けられている。 As shown in FIG. 1, the elevating portion 4 is a ball having a left-right symmetric (symmetrical on the + Y side and −Y side) structure provided outside the substrate S horizontally transported by the substrate transport portion 3 in the Y direction. It is equipped with screw mechanisms 41L and 41R. In this embodiment, the pair of ball screw mechanisms 41L and 41R are configured to raise and lower the nozzle 2 in the vertical direction Z via the nozzle support member 22. More specifically, each of the ball screw mechanisms 41L and 41R has a columnar member 42 and a ball screw shaft 43 attached to the columnar member 42 in a state of extending parallel to the vertical direction Z. A bracket 44 is screwed into each ball screw shaft 43. Both ends of the nozzle support member 22 are attached to these two brackets 44, respectively, and the nozzle support member 22 can be raised and lowered in the vertical direction Z while supporting the nozzle 2 with the discharge port 21 of the nozzle 2 facing downward. It is provided in.

また、各ボールねじ軸４３の上端はカップリング４５および減速機４６を介してブレーキ機構付の電動モータ４７と連結されている。本実施形態では、電動モータ４７にブレーキ機構４８が内蔵されているが、ボールねじ機構４１Ｌ、４１Ｒ中の回転部分（例えば電動モータ４７の回転軸（図示省略）やボールねじ軸４３など）にブレーキをかけるブレーキ機構を独立して設けてもよい。 Further, the upper end of each ball screw shaft 43 is connected to an electric motor 47 with a brake mechanism via a coupling 45 and a speed reducer 46. In the present embodiment, the brake mechanism 48 is built in the electric motor 47, but the brake is applied to the rotating portion (for example, the rotating shaft (not shown) of the electric motor 47, the ball screw shaft 43, etc.) in the ball screw mechanisms 41L and 41R. The brake mechanism for applying the screw may be provided independently.

各ブレーキ機構４８はスイッチ６を介して整流回路７と接続されている。整流回路７は単相交流電力を整流して直流に変換する回路であり、整流回路７から出力されるブレーキ用電力はスイッチ６を介してブレーキ機構４８に入力され、ブレーキ機構４８を同時に駆動する。また、整流回路７の別の出力は電動モータ４７を駆動制御するサーボアンプ８の制御用電力として供給される。 Each brake mechanism 48 is connected to the rectifier circuit 7 via a switch 6. The rectifier circuit 7 is a circuit that rectifies single-phase AC power and converts it into direct current, and the brake power output from the rectifier circuit 7 is input to the brake mechanism 48 via the switch 6 and simultaneously drives the brake mechanism 48. .. Further, another output of the rectifier circuit 7 is supplied as power for controlling the servo amplifier 8 that drives and controls the electric motor 47.

サーボアンプ８では、整流回路７からの電力供給を受けて電動モータ４７を制御する制御部８１を有している。この制御部８１は、塗布装置１全体を制御する制御ユニット（図示省略）からの動作指令を受け、速度や位置のフィードバック制御や電流のフィードバック制御を行う。そして、それらのフィードバック制御に基づいて、制御部８１は、左側駆動出力部８２Ｌを駆動してボールねじ機構４１Ｌの駆動源たる電動モータ４７（以下「左側電動モータ４７Ｌ」という）を駆動制御するとともに、右側駆動出力部８２Ｒを駆動してボールねじ機構４１Ｒの駆動源たる電動モータ４７（以下「右側電動モータ４７Ｒ」という）を駆動制御する。なお、左側電動モータ４７Ｌおよび右側電動モータ４７Ｒを区別しないで説明する際には、単に「電動モータ４７」と称する。 The servo amplifier 8 has a control unit 81 that controls the electric motor 47 by receiving electric power from the rectifier circuit 7. The control unit 81 receives an operation command from a control unit (not shown) that controls the entire coating device 1, and performs feedback control of speed and position and feedback control of current. Then, based on these feedback controls, the control unit 81 drives the left side drive output unit 82L to drive and control the electric motor 47 (hereinafter referred to as “left side electric motor 47L”) which is the drive source of the ball screw mechanism 41L. , The right side drive output unit 82R is driven to drive and control the electric motor 47 (hereinafter referred to as “right side electric motor 47R”) which is the drive source of the ball screw mechanism 41R. When the left side electric motor 47L and the right side electric motor 47R are described without distinction, they are simply referred to as "electric motor 47".

これら左側駆動出力部８２Ｌおよび右側駆動出力部８２Ｒには、パワー供給部８３が接続されており、動力用電力が供給される。このパワー供給部８３は、サーボアンプ８に供給される三相交流電力を整流して直流電力を動力用電力として左側駆動出力部８２Ｌおよび右側駆動出力部８２Ｒに供給している。 A power supply unit 83 is connected to the left side drive output unit 82L and the right side drive output unit 82R, and power for power is supplied. The power supply unit 83 rectifies the three-phase AC power supplied to the servo amplifier 8 and supplies DC power as power to the left side drive output unit 82L and the right side drive output unit 82R.

また、パワー供給部８３には、三相交流電力の電圧低下を検出することで三相交流電源の停電を検出する電圧低下検出回路８３１が設けられている。この電圧低下検出回路８３１は停電を検出すると、停電検出信号ＳＧを制御部８１に出力する。一方、制御部８１は、停電検出信号ＳＧを受けると、スイッチ６に与えているブレーキ出力をＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替える。すなわち、通常運転時において制御部８１はブレーキ出力をＯＮ状態に設定し、スイッチ６を介して整流回路７のブレーキ用電力を各ブレーキ機構４８のコイル（図示省略）に供給して各コイルを励磁することで電動モータ４７にブレーキを作用していない非ブレーキ状態を作り出している。一方、停電発生時には、制御部８１はブレーキ出力をＯＦＦ状態に切り替えることで、上記励磁を停止して電動モータ４７にブレーキをかけてノズル２の上下移動を停止させる。 Further, the power supply unit 83 is provided with a voltage drop detection circuit 831 that detects a power failure of the three-phase AC power supply by detecting a voltage drop of the three-phase AC power. When the voltage drop detection circuit 831 detects a power failure, the voltage drop detection circuit 831 outputs a power failure detection signal SG to the control unit 81. On the other hand, when the control unit 81 receives the power failure detection signal SG, the control unit 81 switches the brake output given to the switch 6 from the ON state to the OFF state. That is, during normal operation, the control unit 81 sets the brake output to the ON state, supplies the brake power of the rectifier circuit 7 to the coils (not shown) of each brake mechanism 48 via the switch 6, and excites each coil. By doing so, a non-brake state in which the brake is not applied to the electric motor 47 is created. On the other hand, when a power failure occurs, the control unit 81 switches the brake output to the OFF state to stop the excitation and brake the electric motor 47 to stop the vertical movement of the nozzle 2.

このようにスイッチ６の開閉切替によってブレーキ機構４８を制御しているため、例えば図２に示すように、タイミングＴ１での停電発生に伴ってブレーキ出力をＯＦＦ状態に切り替えたとしても、ブレーキが作用するまでにタイムラグΔＴ（＝Ｔ２−Ｔ１）が生じてしまう。そのため、同図の（ａ）欄に示すように、ノズル２が塗布処理位置に位置決めされている、つまり基板Ｓの上面Ｓｆに近接している状態で停電が発生すると、次のような問題が発生する可能性がある。タイムラグΔＴの間ブレーキがかかっていないため、ボールねじ軸４３は回転自在な状態となっており、ノズル２の自重による落下を防ぐことができない。その結果、ノズル２は自重により落下し、タイミングＴ３（＜Ｔ２）でノズル２が基板Ｓの上面Ｓｆと接触することがある。 Since the brake mechanism 48 is controlled by switching the opening and closing of the switch 6 in this way, for example, as shown in FIG. 2, the brake operates even if the brake output is switched to the OFF state due to the occurrence of a power failure at the timing T1. A time lag ΔT (= T2-T1) will occur before this is done. Therefore, as shown in column (a) of the figure, if a power failure occurs while the nozzle 2 is positioned at the coating processing position, that is, close to the upper surface Sf of the substrate S, the following problems occur. It can occur. Since the brake is not applied during the time lag ΔT, the ball screw shaft 43 is in a rotatable state, and it is not possible to prevent the nozzle 2 from falling due to its own weight. As a result, the nozzle 2 may fall due to its own weight, and the nozzle 2 may come into contact with the upper surface Sf of the substrate S at the timing T3 (<T2).

そこで、本実施形態では、図１に示すように、ボールねじ機構４１Ｌ、４１Ｒのいずれにおいても、ボールねじ軸４３に対してボールねじ軸４３と一緒に回転する回転系のダミーイナーシャ４９が取り付けられている。タイムラグΔＴの間、ダミーイナーシャ４９はボールねじ軸４３に負荷イナーシャを付加し、これによってボールねじ軸４３の回転を抑制する。その結果、図２の（ｂ）欄に示すように、ノズル２の落下量Ｍを抑制し、タイムラグΔＴにおいてノズル２が基板Ｓの上面Ｓｆに衝突するのを防止することができる。 Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, in any of the ball screw mechanisms 41L and 41R, a rotary dummy inertia 49 that rotates together with the ball screw shaft 43 is attached to the ball screw shaft 43. ing. During the time lag ΔT, the dummy inertia 49 adds a load inertia to the ball screw shaft 43, thereby suppressing the rotation of the ball screw shaft 43. As a result, as shown in the column (b) of FIG. 2, it is possible to suppress the drop amount M of the nozzle 2 and prevent the nozzle 2 from colliding with the upper surface Sf of the substrate S in the time lag ΔT.

以上のように、停電の発生とともにブレーキ機構４８が電動モータ４７にブレーキをかけるとともに、ブレーキが作用するまでの間、つまりタイムラグΔＴにおいて、ダミーイナーシャ４９によりボールねじ軸４３に対して回転を規制する回転系の負荷イナーシャを与えている。このため、停電によりノズル２が落下して基板Ｓの上面Ｓｆと接触するのを効果的に防止することができる。 As described above, the brake mechanism 48 applies the brake to the electric motor 47 when a power failure occurs, and the dummy inertia 49 regulates the rotation of the ball screw shaft 43 until the brake acts, that is, in the time lag ΔT. It gives the load inertia of the rotating system. Therefore, it is possible to effectively prevent the nozzle 2 from falling and coming into contact with the upper surface Sf of the substrate S due to a power failure.

また、本実施形態によれば、以下のような作用効果が得られる。 Further, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.

停電時のノズル２の落下対策としては無停電電源の設置が考えられるが、昇降対象物（主としてノズル２とノズル支持部材２２）の重量が比較的大きいので
それに比例して電動モータ４７の容量も大きく、必然的に無停電電源のコストが高くなる。これに対し、本実施形態では、無停電電源が不要であり、コスト面で有利である。 An uninterruptible power supply can be considered as a countermeasure against falling of the nozzle 2 in the event of a power failure, but since the weight of the lifting object (mainly the nozzle 2 and the nozzle support member 22) is relatively large, the capacity of the electric motor 47 is proportionally increased. It is large and inevitably increases the cost of uninterruptible power supply. On the other hand, in the present embodiment, an uninterruptible power supply is not required, which is advantageous in terms of cost.

また、ノズル２の落下を防止するために、ノズル２を常時上方に押し上げるエアーシリンダーなどの追加設置やノズルを引っ張り上げるようなカウンター（バランス）ウェイト機構の追加なども考えられるが、いずれも装置構成が大掛かりになるので、コストの増大や装置の大型化を招いてしまう。これに対し、本実施形態では、単にダミーイナーシャ４９を追加するのみであり、コストや装置サイズの面で有利である。 Further, in order to prevent the nozzle 2 from falling, it is conceivable to additionally install an air cylinder or the like that constantly pushes the nozzle 2 upward, or to add a counter (balance) weight mechanism that pulls the nozzle up. Since it becomes a large scale, it leads to an increase in cost and an increase in size of the device. On the other hand, in the present embodiment, only the dummy inertia 49 is added, which is advantageous in terms of cost and device size.

このように上記した実施形態では、塗布液および塗布液供給部５がそれぞれ本発明の「処理液」および「処理液供給部」の一例に相当している。また、ダミーイナーシャ４９が本発明の「回転抑制機構」および「第１イナーシャ部材」の一例に相当している。 As described above, in the above-described embodiment, the coating liquid and the coating liquid supply unit 5 correspond to an example of the “treatment liquid” and the “treatment liquid supply unit” of the present invention, respectively. Further, the dummy inertia 49 corresponds to an example of the "rotation suppression mechanism" and the "first inertia member" of the present invention.

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、ダミーイナーシャ４９をボールねじ軸４３に配置しているが、ダミーイナーシャ４９の配設位置はこれに限定されるものではなく、電動モータ４７の回転軸とカップリング４５との間またはカップリング４５とボールねじ軸４３との間にダミーイナーシャ４９を介挿してもよく、これらの場合、ダミーイナーシャ４９は本発明の「第２イナーシャ部材」の一例に相当する。また、電動モータ４７の回転軸と減速機４６との間または減速機４６とボールねじ軸４３との間にダミーイナーシャ４９を介挿してもよく、これらの場合、ダミーイナーシャ４９は本発明の「第３イナーシャ部材」の一例に相当する。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications other than those described above can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the dummy inertia 49 is arranged on the ball screw shaft 43, but the arrangement position of the dummy inertia 49 is not limited to this, and the rotation shaft of the electric motor 47 and the coupling 45 A dummy inertia 49 may be inserted between the gap or between the coupling 45 and the ball screw shaft 43. In these cases, the dummy inertia 49 corresponds to an example of the “second inertia member” of the present invention. Further, a dummy inertia 49 may be inserted between the rotating shaft of the electric motor 47 and the speed reducer 46 or between the speed reducer 46 and the ball screw shaft 43. In these cases, the dummy inertia 49 is the "dummy inertia 49" of the present invention. It corresponds to an example of "third inertia member".

また、上記実施形態では、電動モータ４７の回転駆動力のボールねじ軸４３への伝達経路上にダミーイナーシャ４９を設けているが、当該伝達経路から離れた離間位置にダミーイナーシャ４９を設けてもよい。つまり、ボールねじ軸４３の回転力を昇降部４から離れた離間位置に伝達する駆動伝達部を設け、ダミーイナーシャ４９が離間位置で駆動伝達部により伝達される回転力を受けてボールねじ軸４３と連動して回転するように構成してもよく、この場合、ダミーイナーシャ４９は本発明の「第４イナーシャ部材」の一例に相当する。 Further, in the above embodiment, the dummy inertia 49 is provided on the transmission path of the rotational driving force of the electric motor 47 to the ball screw shaft 43, but the dummy inertia 49 may be provided at a position away from the transmission path. Good. That is, a drive transmission unit that transmits the rotational force of the ball screw shaft 43 to a separated position away from the elevating portion 4 is provided, and the dummy inertia 49 receives the rotational force transmitted by the drive transmission unit at the separated position and receives the ball screw shaft 43. The dummy inertia 49 may be configured to rotate in conjunction with the above, and in this case, the dummy inertia 49 corresponds to an example of the "fourth inertia member" of the present invention.

また、上記実施形態では、ボールねじ軸４３などの昇降部に設けられる回転部分の回転を抑制するために、ダミーイナーシャ４９を設けているが、本発明の「回転抑制機構」の構成はこれに限定されるものでなく、ボールねじ軸４３の直径が、昇降対象物（主としてノズル２とノズル支持部材２２）を昇降させるのに必要となるサイズよりも十分に太くなるように設定し、ボールねじ軸４３自身の回転系の負荷イナーシャを大きくするように構成してもよい。この場合、ボールねじ軸４３が本発明の「回転抑制機構」として機能する。 Further, in the above embodiment, a dummy inertia 49 is provided in order to suppress the rotation of the rotating portion provided in the elevating portion such as the ball screw shaft 43, but the configuration of the "rotation suppressing mechanism" of the present invention is this. The diameter of the ball screw shaft 43 is not limited, and the ball screw is set so that the diameter of the ball screw shaft 43 is sufficiently thicker than the size required for raising and lowering the lifting object (mainly the nozzle 2 and the nozzle support member 22). The load inertia of the rotation system of the shaft 43 itself may be increased. In this case, the ball screw shaft 43 functions as the "rotation suppression mechanism" of the present invention.

また、電動モータ４７についても同様に、昇降対象物を昇降させるのに必要となる容量よりも十分な容量を有する電動モータ４７を用い、モータ内部の回転子による負荷イナーシャを大きくするように構成してもよい。この場合、電動モータ４７が本発明の「回転抑制機構」として機能する。 Similarly, for the electric motor 47, an electric motor 47 having a capacity sufficient for raising and lowering an object to be raised and lowered is used, and the load inertia due to the rotor inside the motor is increased. You may. In this case, the electric motor 47 functions as the "rotation suppression mechanism" of the present invention.

また、上記実施形態では、ノズル２を塗布処理位置に位置決めしたまま基板ＳをＸ方向に移動させて基板Ｓの上面Ｓｆに塗布液を塗布する塗布装置１に本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されず、基板Ｓに対してノズル２をＸ方向に相対的に移動させる塗布装置全般に適用することができる。また、ノズルに処理液を送給することで当該ノズルから基板の上面に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理技術全般に対して本発明を適用することが可能である。 Further, in the above embodiment, the present invention is applied to the coating device 1 in which the substrate S is moved in the X direction while the nozzle 2 is positioned at the coating processing position to apply the coating liquid to the upper surface Sf of the substrate S. The application target of the present invention is not limited to this, and can be applied to all coating devices that move the nozzle 2 relative to the substrate S in the X direction. Further, the present invention can be applied to a general substrate processing technique in which a treatment liquid is supplied from the nozzle to the upper surface of the substrate to perform a predetermined treatment by supplying the treatment liquid to the nozzle.

この発明は、ノズルの吐出口から処理液を吐出させて基板の上面に処理液を供給する基板処理装置全般に適用可能である。 The present invention can be applied to a general substrate processing apparatus that discharges a processing liquid from a nozzle discharge port and supplies the processing liquid to the upper surface of the substrate.

１…塗布装置（基板処理装置）
２…（スリット）ノズル
４…昇降部
５…塗布液供給部（処理液供給部）
２１…吐出口
４１Ｌ，４１Ｒ…ボールねじ機構
４３…ボールねじ軸
４４…ブラケット
４５…カップリング
４６…減速機
４７…電動モータ
４７Ｌ…左側電動モータ
４７Ｒ…右側電動モータ
４８…ブレーキ機構
４９…ダミーイナーシャ（回転抑制機構）
Ｓ…基板
Ｓｆ…上面
Ｚ…上下方向
ΔＴ…タイムラグ 1 ... Coating device (board processing device)
2 ... (slit) nozzle 4 ... elevating part 5 ... coating liquid supply part (treatment liquid supply part)
21 ... Discharge port 41L, 41R ... Ball screw mechanism 43 ... Ball screw shaft 44 ... Bracket 45 ... Coupling 46 ... Reducer 47 ... Electric motor 47L ... Left side electric motor 47R ... Right side electric motor 48 ... Brake mechanism 49 ... Dummy inertia ( Rotation suppression mechanism)
S ... Substrate Sf ... Top surface Z ... Vertical direction ΔT ... Time lag

Claims (4)

下方に吐出口を有し、前記吐出口を基板の上面に向けた状態で前記基板の上方において昇降自在に設けられるノズルと、
前記ノズルを上下方向に昇降駆動する昇降部と、
前記ノズルに処理液を供給して前記ノズルの前記吐出口から前記処理液を吐出させる処理液供給部とを備え、
前記昇降部は、
前記上下方向に延設されるボールねじ軸と、前記ボールねじ軸に螺合した状態で前記ノズルに連結されるブラケットとを有するボールねじ機構と、
前記ボールねじ軸を回転駆動する電動モータと、
停電時に前記電動モータまたは前記ボールねじ軸にブレーキをかけるブレーキ機構と、
前記ボールねじ軸に設けられ、停電時に前記ノズルの自重による落下に伴って回転しようとする前記ボールねじ軸に対して回転を規制する負荷イナーシャを付加して前記ボールねじ軸の回転を抑制する第１イナーシャ部材と
を有することを特徴とする基板処理装置。 A nozzle having a discharge port at the bottom and being provided so as to be able to move up and down above the board with the discharge port facing the upper surface of the board.
An elevating part that drives the nozzle up and down in the vertical direction,
A treatment liquid supply unit for supplying the treatment liquid to the nozzle and discharging the treatment liquid from the discharge port of the nozzle is provided.
The elevating part
A ball screw mechanism having a ball screw shaft extending in the vertical direction and a bracket connected to the nozzle in a state of being screwed to the ball screw shaft.
An electric motor that rotationally drives the ball screw shaft and
A brake mechanism that applies a brake to the electric motor or the ball screw shaft in the event of a power failure,
A second ball screw shaft is provided to suppress rotation of the ball screw shaft by adding a load inertia that regulates rotation to the ball screw shaft that is provided on the ball screw shaft and tends to rotate due to the fall of the nozzle due to its own weight in the event of a power failure . 1 A substrate processing apparatus having an inertia member . 請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記昇降部は、前記電動モータの回転軸と前記ボールねじ軸とを連結するカップリングと、前記電動モータの回転軸と前記カップリングとの間または前記カップリングと前記ボールねじ軸との間に介挿され、前記ボールねじ軸の回転と連動して回転する第２イナーシャ部材とを有する基板処理装置。 The substrate processing apparatus according to claim 1 .
The elevating unit, between the rotating shaft of the electric motor and the coupling for connecting the said ball screw shaft, a front Symbol the ball screw shaft or between the coupling and the coupling with the rotating shaft of the electric motor inserted in, the substrate processing apparatus and a second inertia member which rotates in conjunction with rotation of the ball screw shaft. 請求項１または２に記載の基板処理装置であって、
前記昇降部は、前記電動モータの回転軸と前記ボールねじ軸との間に介挿された減速機と、前記電動モータの回転軸と前記減速機との間または前記減速機と前記ボールねじ軸との間に介挿され、前記ボールねじ軸の回転と連動して回転する第３イナーシャ部材とを有する基板処理装置。 The substrate processing apparatus according to claim 1 or 2 .
The lifting unit, said a speed reducer interposed between the rotating shaft of the electric motor and the ball screw shaft, or between the speed reducer and the ball screw and the rotation axis of the front SL electric motor the speed reducer interposed between the shaft, the substrate processing apparatus and a third inertia member that rotates in conjunction with rotation of the ball screw shaft. 請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記ボールねじ軸の回転力を前記昇降部から離れた離間位置に伝達する駆動伝達部と、
前記離間位置で前記駆動伝達部により伝達される前記回転力を受けて前記ボールねじ軸と連動して回転する第４イナーシャ部材と
を備える基板処理装置。 The substrate processing apparatus according to any one of claims 1 to 3 .
A drive transmission unit that transmits the rotational force of the ball screw shaft to a distance position away from the elevating portion ,
A fourth inertia member that rotates in conjunction with the ball screw shaft receiving the rotational force transmitted by said drive transmitting portion at the separation position
A substrate processing apparatus comprising a.
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