JP6793966B2 - ワーク保持治具及び表面処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、連続メッキ装置等の表面処理装置に用いられるワーク保持治具及び表面処理装置等に関する。

連続メッキ装置等の表面処理装置では、ワーク保持治具にてワークを垂下して保持し、表面処理槽内の液中にてワークを連続搬送している。ワーク保持治具は、例えば特許文献１に示すように、ワークの上端をチャックしてワークを垂下して保持するのが一般的である。

また、ワーク保持治具の他の機能は、表面処理槽内に配置される陽極（アノード）に対してワークを陰極（カソード）に設定することにある。陰極−陽極間に電界を形成してメッキ液を電気分解してワーク表面をメッキする。そのために、ワークの上端をチャックするチャック部材は導電性部材にて形成され、ワーク保持治具を介してワークを陰極に設定している。

しかし、ワークの上端にて通電ルートを確保するだけでは、ワークの表面処理の面内均一性を確保するには限界がある。そこで、本願出願人は、ワークの上端及び下端をチャックするチャック部材を介して、ワークの上下方向から給電するワーク保持治具を開発した（特許文献２）。

特開２００９−１３２９５６号公報 特許第５８９８５４０号公報

特許文献２に開示された技術によれば、ワークの電流分布の面内均一性を向上させることはできるが、例えばワークの上下端部に通電する通電ルートの抵抗差をさらに小さくし、あるいはワークの表裏面に通電する通電ルートの抵抗差も小さくして、面内均一性をさらに向上させることが要望される。

本発明の幾つかの態様は、ワークの上下端部あるいは表裏面に通電する通電ルートの抵抗差をさらに小さくして、ワークの電流分布の面内均一性をさらに向上させることができるワーク保持治具及び表面処理装置を提供することを目的とする。

（１）本発明の一態様は、矩形のワークを処理槽内の処理液中にて垂直状態で保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定するワーク保持治具であって、
上枠部材及び下枠部材を含む横枠部材と、前記下枠部材と電気的に接続される一対の縦枠部材と、を含み、前記ワークを囲んで配置される導電性の枠状部材と、
前記上枠部材に支持され、前記ワークの上辺を把持する導電性の複数の第１チャック部材と、
前記下枠部材に支持され、前記ワークの下辺を把持する導電性の複数の第２チャック部材と、
共通給電部と、
前記共通給電部から前記上枠部材に通電する第１通電部と、
前記共通給電部から前記一対の縦枠部材に通電する、前記第１通電部よりも抵抗値が小さい第２通電部と、
を有し、
前記第１通電部は、
前記上枠部材の両端部に電気的に接続されて固定され、絶縁部材を介して前記一対の縦枠部材をそれぞれ上下動自在に案内する一対の第１導電部材と、
前記共通給電部と前記一対の第１導電部材とを電気的に接続する一対の第２導電部材と、
を含むワーク保持治具に関する。

本発明の一態様によれば、共通給電部から複数の第１チャック部材には、第１通電部である一対の第１，第２導電部材と、上枠部材とを介して通電され、共通給電部から複数の第２チャック部材には、第１通電部よりも抵抗値が小さい第２通電部と、一対の縦枠部材と、下枠部材とを介して通電される。

ここで、第１通電部は特許文献２のように直接に上枠部材に最短ルートで通電するのではなく、一対の縦枠部材の昇降ガイドを兼ねる一対の第１，第２導電部材を介して通電される。よって、第１通電部の抵抗値を、第２通電部及び一対の縦枠部材のトータル抵抗値とほぼ等しく設定することが容易となる。それにより、複数の第１チャック部材からワークに流れる電流と、複数の第２チャック部材からワークに流れる電流をほぼ等しくでき、ワークの電流分布の面内均一性をさらに向上させることができる。また、上枠部材の両端部に電気的に接続されて固定される一対の第１導電部材は、絶縁部材を介して一対の縦枠部材をそれぞれ上下動自在に案内する部材としても兼用される。それにより、一対の縦枠部材に支持される下枠部材及び複数の第２チャック部材は自重により下方に移動して、ワークに張力を付与して、特に薄板状のワークに生じ得る撓みを防止することができる。しかも、上枠部材及び一対の第１導電部材と、一対の縦枠部材とは、絶縁部材により電気的に絶縁されるので、第１，第２通電部の通電ルートを電気的に絶縁することができる。

（２）本発明の一態様では、 前記一対の第２導電部材の各々は、前記一対の第１導電部材の各々と共通給電部との間の各最短ルートを迂回して、冗長に形成することができる。こうすると、第１通電部の抵抗値を、第２通電部及び一対の縦枠部材のトータル抵抗値とほぼ等しく設定することがさらに容易となる。

（３）本発明の一態様では、前記一対の第１導電部材の各々に縦長穴を設け、前記一対の縦枠部材の各々に前記縦長穴に沿って案内される前記絶縁部材を設けることができる。こうすると、縦長穴を有する一対の第１導電部材の抵抗値が増大するので、第１通電部の抵抗値を、第２通電部及び一対の縦枠部材のトータル抵抗値とほぼ等しく設定することがさらに容易となる。

（４）本発明の一態様では、前記第２通電部は、前記共通給電部と前記一対の縦枠部材の上端部とを電気的に接続する２本の導電ケーブルを含むことができる。こうして、第２通電部の抵抗値を小さくすることで、第１通電部の抵抗値を、第２通電部及び一対の縦枠部材のトータル抵抗値とほぼ等しく設定することがさらに容易となる。

（５）本発明の一態様では、
前記ワーク保持治具は、前記ワークに通電して前記ワークの両面を処理するものであり、
前記複数の第１チャック部材及び複数の第２チャック部材の各々は、
前記横枠部材に固定される固定チャック片と、
前記固定チャック片に対して搖動自在に支持される可動チャック片と、
前記固定チャック片と前記可動チャック片とに挟まれる前記ワークの挟持状態を維持する弾性部材と、
を含み、
前記弾性部材は、少なくとも前記横枠部材と前記可動チャック片とに電気的に接続されて固定される導電性の板バネとすることができる。

（６）本発明の他の態様は、
ワークに通電して前記ワークの両面を処理するワーク保持治具であって、
導電部材に固定される固定チャック片と、
前記固定チャック片に対して搖動自在な可動チャック片と、
前記固定チャック片と前記可動チャック片とに挟まれるワークの挟持状態を維持する弾性部材と、
を含み、
前記弾性部材は、少なくとも前記導電部材と前記可動チャック片とに電気的に導通させて固定される導電性の板バネであるワーク保持治具に関する。

上述の（５）及び（６）の態様によれば、横枠部材（導電部材）から板バネを介して可動チャック片に通電することができる。一般に可動チャック片は、固定チャック片に支持される軸部に搖動自在に支持され、固定チャック片と可動チャック片とに挟まれるワークの挟持状態を維持する弾性部材には、軸部に挿通される捩じりコイルスプリングが用いられる。この場合には、導電部材と可動チャック片との通電ルートには、固定チャック片と、軸部及び捩じりコイルスプリングが介在される。しかし、軸部及び捩じりコイルスプリングである介在部材は、固定チャック片及び可動チャック片と局所的に接触するだけである。よって、導電部材から介在部材を経て可動チャック片に至る通電ルートの抵抗値は、導電部材から固定チャック片に至る通電ルートの抵抗値よりも格段に大きくなる。ワークの両面に通電してワークの両面を表面処理する場合、上述の抵抗値の相違によりワーク表裏面での処理の均一性が確保できなかった。上述の（４）及び（５）の態様によれば、電部材から板バネを介して可動チャック片に通電することで、ワーク表裏面での処理の均一性を向上させることができる。しかも、固定チャック片７と可動チャック片とに挟まれるワークの挟持状態を維持する板バネを通電部材として兼用することで、部品点数は増大しない。

（７）本発明のさらに他の態様では、
前記板バネは、
前記可動チャック片に電気的に導通させて固定される第１固定部と、
前記導電部材に電気的に導通させて固定される第２固定部と、
前記第１固定部と前記第２固定部とを連結する一対の腕部と、
を含み、
前記一対の腕部は、平面視にて前記固定チャック片及び前記可動チャック片の両側に配置される一部が、Ｕ字状の湾曲部を含むことができる。

こうすると、板バネが平面視にて線対称形状となり、板バネの挟持力を線対称で均等に作用させることができると共に、導電部材から可動チャック片に至る板バネの通電ルートも線対称で確保することができる。それにより、ワークの電流分布の面内均一性が高まる。

（８）本発明のさらに他の態様では、
前記固定チャック片は前記導電部材に電気的に絶縁させて固定され、
前記板バネは、
前記可動チャック片に電気的に導通させて固定される第１固定部と、
前記導電部材に電気的に導通させて固定される第２固定部と、
前記固定チャック片に電気的に導通させて固定される第３固定部と、
前記第１固定部と前記第２固定部とを連結する一対の腕部と、
を含み、
前記第２固定部は、前記板バネの長手方向において前記第１固定部と前記第３固定部との間に位置し、
前記一対の腕部は、平面視にて前記固定チャック片及び前記可動チャック片の両側に配置される一部がＵ字状の湾曲部を含むことができる。

こうすると、導電部材から、第２固定部、一対の腕部及び第１固定部を介して可動チャック片に線対称で通電ルートが形成されるので、ワークの電流分布の面内均一性が高まる。さらに、固定チャック片とは電気的に絶縁された導電部材から、板バネの第２固定部及び第３固定部を介して固定チャック片に通電ルートが形成される。それにより、導電部材から固定チャック片への第１通電ルートと、導電部材から可動チャック片への第２通電ルートとの双方が板バネにより形成され、第１，第２通電ルート間の抵抗値の差をより小さくすることができる。それにより、ワーク表裏面での処理の均一性をさらに向上させることができる。

（９）本発明の他の態様では、前記固定チャック片に支持されて前記可動チャック片を揺動自在に支持する軸部を有し、前記第１固定部を、前記軸部の位置よりも前記可動チャック片のチャック端側に偏った位置にて前記可動チャック片に固定することができる。

こうすると、板バネにより可動チャック片のチャック端を固定チャック片側に移動付勢できる上に、板バネのＵ字状湾曲部を経由した第２通電ルートの抵抗値の増大を、第１固定部から可動チャック片のチャック端までの距離を短くすることで相殺することができる。

（１０）本発明の他の態様では、前記固定チャック片に支持されて前記可動チャック片を揺動自在に支持する軸部を有し、前記第１固定部は、前記平面視にて前記軸部の位置よりも前記可動チャック片のチャック端側に偏った位置にて、前記可動チャック片に固定され、前記第３固定部は、前記平面視にて前記軸部の位置よりも前記固定チャック片のチャック端とは反対の端部側に偏った位置にて、前記固定チャック片に固定することができる。

こうすると、板バネの第２固定部から第３固定部を経て固定チャック片のチャック端までの第１通電ルートの長さを長くすることで、板バネの第２固定部、Ｕ字状の湾曲部及び第１固定部を経て可動チャック片のチャック端までの第２通電ルートの抵抗値と、第１通電ルートの抵抗値との差を小さくすることができる。

（１１）本発明のさらに他の態様は、
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記処理液中に浸漬されるワークを垂下して保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定する（１）〜（１０）のいずれかに記載のワーク保持治具と、
前記表面処理槽内にて、前記ワークと対向する位置に配置される陽極電極と、
を有する表面処理装置を定義している。

本発明の実施形態に係る表面処理装置の縦断面図である。 図１の部分拡大図である。 比較例のワーク保持治具の斜視図である。 ２つの案内レールと比較例のワーク保持治具とを示す図である。 本発明の実施形態に係るワーク保持治具の被通電部を示す図である。 本発明の実施形態に係るワーク保持治具の通電部及びワーク保持部を示す正面図である。 図７（Ａ）は一対の縦枠部材を昇降可能に案内する一対の導電部材の支持構造を示す一部が接結された図であり、図７（Ｂ）は第１導電部材に形成される縦長穴を示す図である。 特許文献２の第２給電部を示す図である。 第１，第２チャック部材の側面図である。 第１，第２チャック部材の平面図である。 第１，第２チャック部材の底面図である。 図１の処理槽に配置される陽極電極部を示す模式図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。

１．表面処理装置の概要
図１は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置１０は、回路基板等のワーク２０をそれぞれ保持する複数の搬送治具３０Ａが、図１の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図１では、循環搬送路１００のうちのは平行な２つの直線搬送路１１０，１２０を示している。この２つの直線搬送路１１０，１２０は両端にて連結されてループ状の循環搬送路１００を形成している。

循環搬送路１００には、複数のワーク保持治具３０Ａの各々に保持されたワーク２０を表面処理例えばメッキ処理するメッキ槽（広義には表面処理槽）２００と、メッキ槽２００よりも循環搬送路１００の上流に設けられて未処理のワーク２０複数の搬送治具３０Ａに搬入する搬入部（図示せず）と、メッキ槽２００よりも循環搬送路１００の下流に設けられて処理済みのワーク２０を複数のワーク保持治具３０Ａから搬出する搬出部（図示せず）とが設けられている。

本実施形態では、メッキ槽２００は第２直線搬送路１２０に沿って設けられ、搬入部及び搬出部は第１直線搬送路１１０に設けられている。循環搬送路１００には、メッキ槽２００の上流側に配置される前処理槽群２３０と、メッキ槽２００の下流側に配置される後処理槽群（図示せず）とをさらに有する。

前処理槽群２３０は、搬入部とメッキ槽２００との間に、上流側から順に、例えば脱脂槽、湯洗槽、水洗槽、シャワー槽及び酸洗槽等を配置することで構成される。後処理槽は、メッキ槽２００と搬出部との間に、上流側から順に、例えばシャワー槽及び水洗槽を配置することで構成される。なお、前処理槽群２３０及び後処理槽群の数や種類は適宜変更可能である。

図１に示すように、連続メッキ処理装置１０は、メッキ液Ｑ（広義には処理液）が収容され、上端開口２０１を有するメッキ槽（広義には表面処理槽）２００を有する。連続メッキ処理装置１０はさらに、図１の一部を拡大して示す図２に示すように、メッキ槽２００の上端開口２０１の上方から外れた位置にて、メッキ槽２００の長手方向と平行な第１方向（紙面と垂直な方向）に沿って延設される例えば２本の第１案内レール１３０及び第２案内レール１４０を有する。複数の搬送治具３０Ａは、メッキ槽２００の処理液中に配置させてワーク２０をそれぞれ保持し、第１，第２案内レール１３０，１４０に支持される。案内レールは１本であっても良いし、３本以上であっても良い。

複数のワーク保持治具３０Ａの各々は、図３に示すように、大別して、搬送部３００と、ワーク保持部５００とを有する。なお、図１に示すワーク保持治具３０Ａのうちの搬送部３００は、後述する本実施形態のワーク保持治具３０Ｂと共用することができる。図１に示すワーク保持治具３０Ａのうちの通電部３３０及びワーク保持部５００は比較例を示し、図６に示す本実施形態のワーク保持治具３０Ｂの給電部６５０及びワーク保持部６００とは異なっている。

図１に示すワーク保持治具３０Ａは、搬送部３００と通電部３３０とを有する。搬送部３００として、水平アーム部３０１と、第１被案内部３１０と、第２被案内部３２０とを有する。水平アーム部３０１は、図３に示すように、第１方向（搬送方向）Ａと直交（広義には交差）する第２方向Ｂに沿って延びる例えば２本の第１，第２水平アーム３０１Ａ，３０１Ｂを有する。第１被案内部３１０は、図４に示すように、水平アーム部３０１の一端側に支持されて、第１案内レール１３０に案内される。第２被案内部３２０は、図４に示すように、水平アーム部３０１の他端側に支持されて、第２案内レール１４０に案内される。

通電部３３０は、図３に示すように、搬送部３００と兼用される導電性の水平アーム部３０１（３０１Ａ，３０１Ｂ）と、導電性の支持板３３１と、支持板３３１より垂下して支持された例えば２本の導電性の垂直アーム部３３２Ａ，３３２Ｂ（３３２）とを有する。支持板３３１は、図３に示すように、第１被案内部３１０と第２被案内部３２０との間の位置にて、水平アーム部３０１に固定されている。

このように、複数の治具３０Ａの各々は、ワーク２０を保持する垂直アーム部３３２を挟んで第２方向Ｂの両端側の第１，第２被案内部３１０，３２０が、第１，第２案内レール１３０，１４０に支持された両持ち梁の形態を有する。従って、本実施形態では、ワーク保持治具３０Ａの搬送中に亘って上下動を抑えて安定してワーク２０を保持搬送することができる。しかも、摺動部となる第１，第２案内レール１３０，１４０及び第１，第２被案内部３１０，３２０は、メッキ槽２００の上端開口２０１の上方から外れた位置にあるので、粉塵等がメッキ槽２００内に落下してメッキ液を汚染することがない。

メッキ処理装置１０では、ワーク２０をカソード（陰極）とし、メッキ槽２００がワーク２０の搬送経路を挟んだ両側にアノード（陽極：例えば銅系アノードボール）４１０Ｌ，４１０Ｒを収容する円筒網バック（収容部）２０２，２０３設け、カソード−アノード間に電界を形成してメッキ液を電気分解して、ワーク２０を電界メッキする。そのために、メッキ液Ｑに浸漬されて搬送されるワーク２０に通電する必要がある。ワーク２０に通電するためには、例えば、第１，第２案内レール１３０，１４０の少なくとも一方を通電レールとすることができる。この場合、ワーク保持治具３０Ａを構成する部材のうち、第１，第２案内レール１３０，１４０から通電部３３０を経てワーク２０に通電する経路の材料を、電気導体で形成すれば良い。

あるいは、図１及び図２に示すように、メッキ処理装置１０は、第１，第２案内レール１３０，１４０とは別個に少なくとも１本の通電レール２１０を設けることができる。特に、本実施形態の通電レール２１０は、特開２００９−１３２９９９に開示された電流制御方法を実施するために、図２に示すように、互いに絶縁された複数例えば４本の分割通電レール２１０Ａ〜２１０Ｄを有する。複数のワーク保持治具３０Ａの各々は、４本の分割通電レール２１０Ａ〜２１０Ｄのいずれか一つと接触して通電される被通電部３４０（図２及び図３）を有している。被通電部３４０は、通電部３３０の構成要素である水平アーム部３０１（３０１Ａ，３０１Ｂ）に固定されている。

このように、複数の治具３０Ａの各々は、被通電部３４０を挟んで第２方向Ｂの両端側の第１，第２被案内部３１０，３２０が、第１，第２案内レール１３０，１４０に支持された両持ち支持の形態を有する。従って、ワーク保持治具３０Ａの搬送中に亘って、被通電部３４０の上下動を抑えて安定して通電レール２１０との接触を維持することができる。

図５は、被通電部３４０の詳細を示している。被通電部３４０は、水平アーム部３０１（３０１Ａ，３０１Ｂ）に固定される導電性の支持板３５０と導電性の接触部３４１とを導電性の例えば２本の平行リンク３４２Ａ，３４２Ｂで連結する四節回転連鎖の平行リンク機構３４２を有する。２本のリンク３４２Ａ，３４２Ｂは、付勢部材であるねじりコイルスプリング３４３，３４３により、常時時計廻り方向に移動付勢されている。この結果、接触部３４１を通電レール２１０に適度な接触圧にて接触させることができる。

また、２本の平行リンク３４２Ａ，３４２Ｂは、上側支点が先行し、下側支点が後行するように傾斜している。この結果、接触部３４１は搬送治具３０Ａに引っ張られる形態で走行するので、走行が安定する。

２．比較例の通電部及びワーク保持部
上述した通り、比較例のワーク保持治具３０Ａの通電部３３０は、図３に示すように、導電性の水平アーム部３０１と、導電性の支持板３３１と、導電性の垂直アーム部３３２Ａ，３３２Ｂ（３３２）とを有する。さらに、この２本の垂直アーム部３３２Ａ，３３２Ｂには、比較例としてのワーク保持部５００が垂下して支持される。

ワーク保持部５００は、図３に示すように、矩形ワーク２０の上辺２０ａを把持する導電性の複数の第１チャック部材５１０と、矩形ワーク２０の上辺２０ａと鉛直方向Ｃにて対向する下２０ｂを把持する導電性の複数の第２チャック部材５２０と、矩形ワーク２０を囲んで配置され、複数の第１チャック部材５１０及び複数の第２チャック部材５２０を支持する枠状部材５３０と、を有する。

枠状部材５３０は、複数の第１チャック部材５１０を支持する導電性の上枠部材５３１と、複数の第２チャック部材５２０を支持する導電性の下枠部材５３２と、上枠部材５３１の両端部と下枠部材５３２の両端部とそれぞれを連結する導電性の２つの縦枠部材５３３，５３４と、を有する。

このように、比較例の枠状部材５３０では、上枠部材５３１と下枠部材５３２とは２つの縦枠部材５３３，５３４により電気的に導通されている。通電部として機能する２本の垂直アーム部３３２Ａ，３３２Ｂから下枠部材５３２に通電するには上枠部材５３１を経由させていた。よって、従来では下枠部材５３２への通電ルートの抵抗値が上枠部材５３１への通電ルートの抵抗値よりも必然的に大きくなる。そのため、ワーク２０内の電流分布は、上辺２０ａほど電流値が高く、下辺２０ｂほど電流値が低くなり、面内均一性が良好でなかった。

３．本実施形態にワーク保持治具に係るワーク保持部
３．１．第１，第２チャック部材、枠状部材及び第１，第２通電部
図６は、本発明の実施形態にワーク保持治具３０Ｂを示し、特に比較例のワーク保持治具３０Ａとは異なる構成を有するワーク保持部６００を示している。なお、比較例のワーク保持治具３０Ａと本実施形態のワーク保持治具３０Ｂとは、図３に示す搬送部３００を共用することができる。図６のワーク保持治具３０Ｂは、共通給電部６５０を含むワーク保持部６００の構造が、図３のワーク保持治具３０Ａと異なる。なお、共通給電部６５０は、図３に示す搬送部３００における接触部３４１（図５）から支持板３５０、水平アーム部３０１（３０１Ａ，３０１Ｂ）、支持板３３１を経由してワーク保持部６００に至る通電ルートと接続される。図６は、図３に示す垂直アーム部３３２（３３２Ａ，３３２Ｂ）及びワーク保持部５００に代わる構造を示しており、図６に示す共通給電部６５０は図３に示す支持板３３１に連結される。

図６に示すワーク保持部６００は、矩形ワーク２０の上辺２０ａを把持する導電性の複数の第１チャック部材６１０と、矩形ワーク２０の下辺２０ｂを把持する導電性の複数の第２チャック部材６２０と、矩形ワーク２０を囲んで配置され、複数の第１チャック部材６１０及び複数の第２チャック部材６２０を支持する枠状部材６３０と、共通給電部６５０と、第１通電部６６０及び第２通電部６７０とを有する。本実施形態では、ワーク保持部６００は、共通給電部６５０と枠状部材６３０とを例えば２本の絶縁アーム６０１，６０１により連結している。

ここで、特にごく薄いワークを表面処理対象とする場合、処理槽２００にワーク２０を降下させて投入する時や、図３の搬送方向Ａに向けてワーク２０を処理槽２００内にて搬送する時、液圧によりワーク２０の垂下状態を保持できなくなる。

本実施形態のワーク保持部６００は、ワーク２０の上下辺２０ａ，２０ｂをチャックしているので、液圧が作用してもワーク２０の垂直姿勢を保持することができる。なお、第２チャック部材６２０を垂直方向にて可動としている。この点について後述する。

本実施形態は、ワーク２０の厚さが１００μｍ以下、好ましくは６０μｍ以下のように極薄のワーク２０でも変形を防止できる。本実施形態では、ワーク２０の厚さは例えば４０μｍ＝０．０４ｍｍである。なお、比較例のワーク保持部５００も上下の第１，第２チャック部材５１０，５２０を有することから、ワーク２０の変形を防止できる点については、本実施形態と同様である。

しかし、比較例のワーク保持部５００のように、枠状部材５３０及び第１，第２チャック部材５１０，５２０を導通させた場合には、第２チャック部材５２０を支持した下枠部材５３２への通電ルートの抵抗値が、第１チャック部材５１０を支持した上枠部材５３１への通電ルートの抵抗値よりも必然的に大きくなってしまう。なぜなら、下枠部材５３２への通電ルートは、上枠部材５３１への通電ルートを必ず経由するからである。また、特許文献１の従来技術のように、保持治具によりワークの上端のみをチャックした場合には、通電ルートは上枠部材にのみ限定される。従って、陽極から液中を介してワーク及び枠状部材に流れる電流（あるいはそれとは逆向きの電子の流れ）は、ワーク保持治具にチャックされたワークの上端側ほど流れ易くなり、ワーク内の電流分布はワーク面内にて不均一となる。ワークの電流分布の面内均一性は、ワークの表面処理品質に影響する。

本実施形態では、矩形ワーク２０を囲んで配置される枠状部材６３０は、複数の第１チャック部材６１０を支持する導電性の上枠部材（横枠部材）６３１と、複数の第２チャック部材６２０を支持する導電性の下枠部材（横枠部材）６３２と、導電性の一対の縦枠部材６３３，６３４と、を有することができる。なお、複数の第１チャック部材６１０は上枠部材（横枠部材）６３１に対して、複数の第２チャック部材６２０は上枠部材（横枠部材）６３２に対して、それぞれ枠状部材６３０の縦軸中心線に対して線対称で配置される。また、本実施形態では、共通給電部６５０から上枠部材６３１に給電する第１通電部６６０は、上枠部材６３１の両端部に設けられた一対の第１導電部材６６１，６６２と、共通給電部６５０と一対の第１導電部材６４０Ａ，６４０Ｂとを電気的に接続する一対の第２導電部材６６３，６６４とを有することができる。共通給電部６５０から一対の縦枠部材６３３，６３４に給電する第２通電部６７０は、例えば２本の縦枠通電ケーブル６７１Ａ，６７１Ｂを有する。

共通給電部６５０から第１通電部６６０を介した第１チャック部材６１０への通電ルートと、共通給電部６５０から第２通電部６７０を介して第２チャック部材６２０への通電ルートとは、後述する絶縁部材６４０により電気的に絶縁され、抵抗値を独立して設定できる。それにより、ワーク２０の電流分布の面内均一性を向上させて、ワーク２０の表面処理品質をさらに高める改善するようにしている。

本実施形態では、複数の第１チャック部材６１０と複数の第２チャック部材６２０とは、電気的に絶縁されている。しかも、共通給電部６５０から第１，第２チャック部材６１０，６２０への通電も、互いに電気的に絶縁された第１，第２通電部６６０，６７０に分離されている。第１通電部６６０は、共通給電部６５０から枠状部材６３０の一部である上枠部材５３１を介して複数の第１チャック部材６１０に通電する。第２通電部６７０は、共通給電部６５０から枠状部材６３０の他の一部である一対の縦枠部材５３３，５３４及び下枠部材５３２を介して複数の第２チャック部材６２０に通電する。

よって、共通給電部６５０から第１通電部６６０を介した第１チャック部材６１０への通電ルートと、共通給電部６５０から第２通電部６７０を介して第２チャック部材６２０への通電ルートとは、抵抗値を独立して設定できる。それにより、共通給電部６５０から複数の第１チャック部材６１０に至る通電ルートの抵抗値と、共通給電部６５０から複数の第２チャック部材６２０に至る通電ルートの抵抗値とを、実質的に等しく設定できる。この結果、ワーク２０の電流分布の面内均一性を向上させて、ワーク２０の表面処理品質をさらに高めることができる。

特に、本実施形態では、共通給電部６５０から上枠部材６３１に通電する第１通電部６６０は、一対の第１導電部材６６１，６６２と、一対の第２導電部材６６３，６６４とを有する。一対の第１導電部材６６１，６６２は、上枠部材６３１の両端部に電気的に接続されて固定され、後述する絶縁部材６４０を介して一対の縦枠部材５３３，５３４をそれぞれ上下動自在に案内する。一対の第２導電部材６６３，６６４は、共通給電部６５０と一対の第１導電部材６６１，６６２とを電気的に接続する。このように、第１通電部６６０は冗長に形成される。さらに、一対の第２導電部材６６３，６６４の各々は、一対の第１導電部材６６１，６６２の各々と、共通給電部６５０との間の各最短ルートを迂回して冗長に形成されている。本実施形態では、一対の第２導電部材６６３，６６４の各々は、上端が共通給電部６５０に接続された垂直片６６５と、一端が一対の第１導電部材６６１，６６２の一方に接続される水平片６６６と、垂直片６６５の下端と水平片６６６の他端とを接続する傾斜片６６７とを有して、冗長に形成されている。

ここで、特許文献２の図６によれば、第１通電部６６０は共通通電部３０１Ａ，３０１Ｂから上枠部材６３１に直接通電しており、しかも、第１通電部６６０の一部の構成要素である導電性の連結部６６２（６６２Ａ，６６２Ｂ）は、共通通電部３０１Ａ，３０１Ｂを支持する絶縁性の連結部６６１と上枠部材６３１との間の最短ルートである鉛直下方に向けて直線状に延びている。これに対して、本実施形態の第１通電部６６０は、図６に示すように、共通給電部６５０から直接に上枠部材６３１に給電せずに、一対の第１導電部材６６１，６６２を介在させて上枠部材６３１に給電している。加えて、共通給電部６５０から一対の第１導電部材６６１，６６２に給電する一対の第２導電部材６６３，６６４は、上述のように冗長に形成されている。従って、特許文献２の第１通電部６６０よりも本実施形態の第１通電部６６０の方が、共通給電部６５０から上枠部材６３１に至る給電経路の抵抗値を容易に大きく設定することができる。

一方、特許文献２でも本実施形態でも、第２通電部６７０は２本の縦枠通電ケーブル６７１Ａ，６７１Ｂを有する点で共通している。しかし、特許文献２の第２通電部６７０は、図８に示すように、縦枠通電ケーブル６７１Ａ（６７１Ｂ）は、圧縮コイルスプリング６４３及び固定部材６４４を介して縦枠部材６３３（６３４）に連結されている。固定部材６４４は、上枠部材６３１に固定された絶縁性案内部材６４１に縦枠通電ケーブル６７１Ａ，６７１Ｂを固定する。絶縁性案内部材６４１は、垂直片６４１Ａに２つの水平片６４１Ｂ，６４１Ｃが連結され、縦枠通電ケーブル６７１Ａ，６７１Ｂは水平片６４１Ｃに、ボルト６４４Ａ、ナット６４４Ｂ及びワッシャー６４４Ｃ，６４４Ｄにより固定される。水平片６４１Ｂの下方には、縦枠部材６３３（６３４）の上端部６３３Ａ（６３４Ａ）を上下動自在に案内する絶縁性筒状部材６４２が設けられる。上端部６３３Ａ（６３４Ａ）は絶縁性筒状部材６４２の穴６４２Ａ等に挿通されて水平片６４１Ｂより上方に突出した位置にフランジ６３３Ｂ（６３４Ｂ）を有する。圧縮コイルスプリング６４３は、ワッシャー６４４Ｄとフランジ６３３Ｂ（６３４Ｂ）との間に配置され、縦枠部材６３３（６３４）を押し下げることでワーク２０にテンションを付与している。よって、第２通電部６７０は、共通給電部６５０から一対の縦枠部材６３３，６３４に至る給電経路に圧縮コイルスプリング６４３等を要する特許文献２よりも、本実施形態の方が、給電経路の抵抗値を容易に小さく設定することができる。

以上のことから、本実施形態の第１通電部６６０における抵抗値を、第２通電部６７０及び縦枠部材６３３（６３４）のトータル抵抗値と実質的に等しく設定することができる。これにより、共通給電部６５０から複数の第１チャック部材６１０に至る通電ルートの抵抗値と、共通給電部６５０から複数の第２チャック部材６２０に至る通電ルートの抵抗値とを、実質的に等しく設定できる。

３．２．一対の縦枠部材の昇降可能な支持構造
一対の縦枠部材６３３，６３４は、一対の第１導電部材６６１，６６２に昇降自在に支持されている。図７（Ａ）は昇降可能な支持構造を示し、図７（Ｂ）は第１導電部材６６１に形成される少なくとも一つ、例えば２つの縦長穴６６１Ａを示している。なお、第１導電部材６６２にも同様に縦長穴６６２Ａ（図７（Ａ）参照）が設けられる。

図７（Ａ）は、第１導電部材６６２に昇降可能に支持される縦枠部材６３４を示している。縦枠部材６３３も、図７（Ａ）と同じ支持構造により第１導電部材６６１に支持されている。縦枠部材６６４は、第１導電部材６６２に形成された縦長穴６６２Ａに沿って案内される絶縁部材６３５を有する。この絶縁部材６３５により、縦枠部材６６４は第１導電部材６６２に形成された縦長穴６６２Ａに沿って昇降自在となり、かつ、第１導電部材６６２から電気的に絶縁される。

絶縁部材６３５は、例えばフランジ６３５Ａ付きの軸部６３５Ｂと、絶縁ワッシャー６３５Ｃとを含むことができる。フランジ６３５Ａが縦枠部材６３４と第１導電部材６６２との間に配置されて、軸部６３５Ｂが縦長穴６６２Ａに挿通される。軸部６３５Ｂの軸長さは第１導電部材６６２の厚さｔよりも長く設定される。縦長穴６６２Ａより僅かに突出する軸部６３５Ｂの自由端面に、絶縁ワッシャー６３５Ｃが配置される。この状態で、絶縁部材６３５が縦枠部材６３４に固定される。例えば、ネジ、タッピングスクリューまたはボルト等の締結具６３６が、絶縁ワッシャー６３５Ｃ、軸部６３５Ｂ及びフランジ６３５Ａに形成されている孔を介して、縦枠部材６３４と締結される。

図７（Ａ）に示す通り、絶縁部材６３５の軸部６３５Ｂは縦長穴６６２Ａに沿って昇降できる自由度が確保されている。よって、縦枠部材６３４、下枠部材６３２及び第２チャック部材６２０の自重により、縦長穴６６２Ａの範囲内で縦枠部材６３４が移動することで、ワーク２０にテンションを付与することできる。液中で移動されるワーク２０を撓ませないためには、ワーク２０に付与するテンションは、縦枠部材６３４、下枠部材６３２及び第２チャック部材６２０の自重で十分である。よって、本実施形態では、ワーク２０にテンションを付与するバネ等の弾性部材は不要である。

図７（Ａ）に示す昇降支持構造の利点として、縦枠部材６３３，６３４の電気抵抗を増大させる加工が不要または最小限となることである。なぜなら、締結具６３６としてネジ又はボルトを用いる場合には、縦枠部材６３３，６３４にはネジ孔を設けるだけでよく、しかもネジ孔にはネジ又はボルトが螺合される。締結具６３６としてタッピングスクリューを用いる場合には、縦枠部材６３３，６３４には下孔を設けるだけでよく、しかも下孔にはタッピングスクリューが螺合される。この他、絶縁部材６３５のフランジ６３５Ａを縦枠部材６３３，６３４に接着等で固定する場合には、縦枠部材６３３，６３４の加工は不要となる。

ここで、第２通電部６７０と縦枠部材６３３，６３４とは、共通給電部６５０と下枠部材６３２との間に配置される導電部材であり、共通給電部６５０と上枠部材６３１との間に配置される第１通電部６６０と同程度の電気抵抗とすることが求められる。そのためには、縦枠部材６３３，６３４の電気抵抗を小さくする必要がある。本実施形態では、縦枠部材６３３，６３４は全長に亘って例えば一定の矩形断面となり、長穴やバネ等を設けて電気抵抗を増大させるような異形断面とする必要がない。

３．３．チャック構造
第１，第２チャック部材６１０，６２０の構造を図９〜図１１を参照して説明する。本実施形態では、図９〜図１１に示すように、複数の第１チャック部材６１０及び複数の第２チャック部材６２０の各々は、導電部材である横枠部材７００（上枠部材６３１または下枠部材６３２）に固定される固定チャック片７１０と、固定チャック片７１０に対して可動である可動チャック片７２０と、を有する。可動チャック片７２０は、固定チャック片７１０に支持される軸部７４０に搖動自在に支持される。図９に示すように、固定チャック片７１０のチャック端７１１と可動チャック片７２０のチャック端７２１とが閉じた状態により、チャック端７１１，７２１間にワーク２０を挟持することができる。軸部７４０に対してチャック端７２１と反対側に位置する操作部７２２を操作して、チャック端７２１をチャック端７１１から遠ざけることで、ワーク２０の挟持状態を解除することができる。

ワーク２０の例えば表面と接触する固定チャック片７１０と、ワーク２０の例えば裏面と接触する可動チャック片７２０とにより、ワーク２０は挟持される。このワーク２０の挟持状態は、弾性部材７３０により維持することができる。本実施形態では、弾性部材７３０は、少なくとも横枠部材７００（上枠部材６３１または下枠部材６３２）と可動チャック片７２０とに電気的に接続されて固定される導電性の板バネとすることができる。

ここで、固定チャック片７１０と可動チャック片７２０とに挟まれるワークの挟持状態を維持する弾性部材には、一般には軸部７４０に挿通される捩じりコイルスプリングが用いられる。この場合には、導電部材７００と可動チャック片７２０との通電ルートには、固定チャック片７１０と、軸部７４０と、捩じりコイルスプリングが介在されることになる。しかし、軸部７４０及び捩じりコイルスプリングである介在部材は、固定チャック片７１０及び可動チャック片７２０と局所的に接触するだけである。よって、導電部材７００から介在部材を経て可動チャック片７２０に至る第２通電ルートの抵抗値は、導電部材７００から固定チャック片７１０に至る第１通電ルートの抵抗値よりも格段に大きくなる。ワーク２０の両面に通電してワーク２０の両面を表面処理する場合、上述の抵抗値の相違によりワーク２０の表裏面での処理の均一性が確保できなかった。本実施形態の構造によれば、導電部材７００（上枠部材６３１または下枠部材６３２）から板バネ７３０を介して可動チャック片７２０に通電することで、ワーク２０の表裏面での処理の均一性を向上させることができる。しかも、固定チャック片７１０と可動チャック片７２０とに挟まれるワーク２０の挟持状態を維持する板バネ７３０を通電部材として兼用することで、部品点数は増大しない。

ここで、板バネ７３０は、第１固定部７３１と、第２固定部７３２と、第１固定部７３１及び第２固定部７３２を連結する一対の腕部７３３Ａ，７３３Ｂと、を少なくとも有することができる。板バネ７３０の第１固定部７３１はボルト７５０により可動チャック片７２０に電気的に導通させて固定される。板バネ７３０の第２固定部７３２は、ボルト７５１と、必要により第２固定部７３２の表裏面側の導電プレート７５２，７５３とにより、導電部材７００（上枠部材６３１または下枠部材６３２）と、電気的に導通させて固定される。なお、導電部材７００と固定チャック片７１との間に、導電性または絶縁性のプレート７５４を設けても良い。プレート７５４を絶縁プレートとした場合には、図９または図１１に示すように、板バネ７３０の第３固定部７３３を固定チャック片７１０と電気的に導通させて固定することができる。ただし、プレート７５４を導電性プレートとするか、あるいはプレート７５４を設けない場合には、第３固定部７３３は必ずしも設ける必要はない。第３固定部７３３を経由せずとも、固定チャック片７１０は導電部材７００と導通するからである。いずれの場合でも、一対の腕部７３３Ａ，７３３Ｂは、図１０または図１１に示す平面視にて、固定チャック片７１０及び可動チャック片７２０の両側に配置される一部が、図９に示すようにＵ字状に湾曲した湾曲部を形成している。

こうすると、板バネ７３０が平面視で線対称形状となり、板バネ７３０の挟持力を線対称で均等に作用させることができると共に、導電部材７００から可動チャック片７２０に至る板バネ７３０の通電ルートも線対称で確保することができる。それにより、ワーク２０の電流分布の面内均一性が高まる。

ここで、図９に示す例では、第２固定部７３２は、板バネ７３０の展開時の長手方向において第１固定部７３１と第３固定部７３３との間に位置する。そして、固定チャック片７１０とは電気的に絶縁された導電部材７００から、板バネ７３０の第２固定部７３２及び第３固定部７３３を介して固定チャック片７１０に通電ルートが形成される。それにより、導電部材７００から固定チャック片７１０への第１通電ルートと、導電部材７００から可動チャック片７２０への第２通電ルートとの双方が板バネ７３０により形成され、第１，第２通電ルート間の抵抗値の差をより小さくすることができる。それにより、ワーク２０の表裏面での処理の均一性をさらに向上させることができる。

また、本実施形態では、図９及び図１０から明らかなように、平面視にて軸部７４０の位置よりも可動チャック片７２０のチャック端７２１側に偏った位置に第１固定部７３１を設けている。こうすると、板バネ７３０により可動チャック片７２０のチャック端７２１を固定チャック片７１０側に移動付勢できる。その上、板バネ７３０の一対の腕部７３３Ａ，７３３ＢのＵ字状湾曲部を経由した第２通電ルートの抵抗値の増大を、第１固定部７３１から可動チャック片７２０のチャック端７２１までの距離を短くすることで相殺または緩和することができる。

また、本実施形態では、図９及び図１１から明らかなように、平面視にて軸部７４０の位置よりも固定チャック片７１０のチャック端７１１とは反対の端部側に偏った位置に、第３固定部７３３を設けている。こうすると、板バネ７３０の第２固定部７３２から第３固定部７３３を経て固定チャック片７１０のチャック端７１１までの第１通電ルートの長さを長くすることができる。それにより、板バネ７３０の第２固定部７３２、一対の腕部７３３Ａ，７３３ＢのＵ字状の湾曲部及び第１固定部７３１を経て可動チャック片７２０のチャック端までの第２通電ルートの抵抗値と、第１通電ルートの抵抗値との差を小さくすることができる。

４．ワーク内の電流分布の面内均一性を向上させる陽極電極
図１２は、図１に示すワーク２０の搬送路の両側に配置される陽極電極（アノード）４１０Ｒ（４１０Ｌ）を模式的に示している。この陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）は、処理槽２００の長手方向に沿って延びる陽極バー４００より通電される。通常は、陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）は陽極バー４００に直接接続されるが、本実施形態では、陽極バー４００と陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）との間に絶縁体４３０を介在させて、陽極バー４００に陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）を固定している。陽極バー４００から垂下する中継通電部４２０が設けられている。中継通電部４２０の下端部の接点部材４２０Ａが、処理槽２００内の処理液Ｑの液面Ｑ１よりも低い位置に設けられる。接点部材４２０Ａは、例えば陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）の垂直方向の中間位置に接続されて、陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）に通電するように構成している。

中継通電部４２０が接続される陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）の垂直方向の中間位置とは、ワーク保持治具３０Ｂにて垂下して保持されたワーク２０の縦寸法を２分する位置が好ましい。ワーク２０として縦寸法が異なる複数種が使用される場合には、中継通電部４２０を周知の昇降機構を利用して接点部材４２０Ａの上下位置を調整することができる。なお、接点部材４２０Ａは図１２の紙面と垂直な方向で、所定長さで陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）と接触させることができる。

陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）では、接点部材４２０Ａからの電流は、処理槽２００内の処理液を介して、陰極（カソード）であるワーク２０に泣けて流れる際に、陽極電極４１０Ｌ（４１０Ｒ）上を接点部材４２０Ａの高さ位置から上方向Ｅ１と下方向Ｅ２とに分岐して流れる。図９に示す陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）を、上述したワーク保持部６００を有するワーク保持治具３０Ｂと組み合わせて使用することで、陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）の中継通電部４２０と対向するワーク２０の上下方向の中心位置から陰極側の第１チャック部材６１０及び第２チャック部材６２０へと均等に電流が流れ、ワーク２０に対して流れる電流は、その垂直方向での電流分布の不均一性が改善される。

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。

例えば、治具３０Ｂの通電部３３０は、水平アーム部３０１等を経由させずに、被通電部３４０と共通給電部６５０とをケーブルで接続することもできる。

１０ 表面処理装置（連続メッキ処理装置）、２０ ワーク、２０ａ 上辺、
２０ｂ 下辺、３０Ａ，３０Ｂ ワーク保持治具、２００ 表面処理槽（メッキ槽）、
２０１ 上端開口、２１０ 通電レール、２１０Ａ〜２１０Ｄ 分割通電レール、
３０１，３０１Ａ，３０１Ｂ 第１，第２水平アーム、３４０ 被通電部、
４１０Ｌ，４１０Ｒ 陽極電極、６００ ワーク保持部、６１０ 第１チャック部材、
６２０ 第２チャック部材、６３０ 枠状部材、
６３１ 上枠部材（横枠部材、導電部材）、６３２ 下枠部材（横枠部材、導電部材）、６３３，６３４ 一対の縦枠部材、６３５ 絶縁部材、６４０ 絶縁部材、
６４１ 絶縁板、６４２ 絶縁ピン、６４３ 抜け止めフランジ、６５０ 共通給電部、
６６０ 第１通電部、６６１，６６２ 一対の第１導電部材、
６６３，６６４ 一対の第２導電部材、６７０ 第２通電部、
６７１Ａ，６７１Ｂ 縦枠通電ケーブル、７００ 導電部材（上枠部材、下枠部材）、
７１０ 固定チャック片、７１１ チャック端、７２０ 可動チャック片、
７２１ チャック端、７３０ 弾性部材（板バネ）、７３１ 第１固定部、
７３２ 第２固定部、７３３Ａ，７３３Ｂ 一対の腕部、７４０ 軸部、
Ａ 第１方向（搬送方向）、Ｂ 第２方向、Ｃ 鉛直方向、Ｑ 処理液（メッキ液）、
Ｑ１ 液面

Claims (9)

1. 矩形のワークを処理槽内の処理液中にて垂直状態で保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定するワーク保持治具であって、
   上枠部材及び下枠部材を含む横枠部材と、前記下枠部材と電気的に接続される一対の縦枠部材と、を含み、前記ワークを囲んで配置される導電性の枠状部材と、
   前記上枠部材に支持され、前記ワークの上辺を把持する導電性の複数の第１チャック部材と、
   前記下枠部材に支持され、前記ワークの下辺を把持する導電性の複数の第２チャック部材と、
   共通給電部と、
   前記共通給電部から前記上枠部材に通電する第１通電部と、
   前記共通給電部から前記一対の縦枠部材に通電する、前記第１通電部よりも抵抗値が小さい第２通電部と、
   を有し、
   前記第１通電部は、
   前記上枠部材の両端部に電気的に接続されて固定され、絶縁部材を介して前記一対の縦枠部材をそれぞれ上下動自在に案内する一対の第１導電部材と、
   前記共通給電部と前記一対の第１導電部材とを電気的に接続する一対の第２導電部材と、
   を含むことを特徴とするワーク保持治具。
2. 請求項１に記載のワーク保持治具において、
   前記一対の第２導電部材の各々は、前記一対の第１導電部材の各々と共通給電部との間の各最短ルートを迂回して、冗長に形成されることを特徴とするワーク保持治具。
3. 請求項１または２に記載のワーク保持治具において、
   前記一対の第１導電部材の各々に縦長穴が設けられ、
   前記一対の縦枠部材の各々に、前記縦長穴に沿って案内される前記絶縁部材が設けられていることを特徴とするワーク保持治具。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載のワーク保持治具において、
   前記第２通電部は、前記共通給電部と前記一対の縦枠部材の上端部とを電気的に接続する２本の導電ケーブルを含むことを特徴とするワーク保持治具。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載のワーク保持治具において、
   前記ワーク保持治具は、前記ワークに通電して前記ワークの両面を処理するものであり、
   前記複数の第１チャック部材及び複数の第２チャック部材の各々は、
   前記横枠部材に固定される固定チャック片と、
   前記固定チャック片に対して搖動自在に支持される可動チャック片と、
   前記固定チャック片と前記可動チャック片とに挟まれる前記ワークの挟持状態を維持する弾性部材と、
   を含み、
   前記弾性部材は、少なくとも前記横枠部材と前記可動チャック片とに電気的に接続されて固定される導電性の板バネであることを特徴とするワーク保持治具。
6. ワークに通電して前記ワークの両面を処理するワーク保持治具であって、
   導電部材に電気的に絶縁させて固定される固定チャック片と、
   前記固定チャック片に対して搖動自在な可動チャック片と、
   前記固定チャック片と前記可動チャック片とに挟まれる前記ワークの挟持状態を維持する板バネと、
   を含み、
   前記板バネは、
   前記可動チャック片に電気的に導通させて固定される第１固定部と、
   前記導電部材に電気的に導通させて固定される第２固定部と、
   前記固定チャック片に電気的に導通させて固定される第３固定部と、
   前記第１固定部と前記第２固定部とを連結する一対の腕部と、
   を含み、
   前記第２固定部は、前記板バネの長手方向において前記第１固定部と前記第３固定部との間に位置し、
   前記一対の腕部は、平面視にて前記固定チャック片及び前記可動チャック片の両側に配置される一部がＵ字状の湾曲部を含むことを特徴とするワーク保持治具。
7. 請求項６において、
   前記固定チャック片に支持されて前記可動チャック片を揺動自在に支持する軸部を有し、
   前記第１固定部は、前記平面視にて前記軸部の位置よりも前記可動チャック片のチャック端側に偏った位置にて、前記可動チャック片に固定されていることを特徴とするワーク保持治具。
8. 請求項６において、
   前記固定チャック片に支持されて前記可動チャック片を揺動自在に支持する軸部を有し、
   前記第１固定部は、前記平面視にて前記軸部の位置よりも前記可動チャック片のチャック端側に偏った位置にて、前記可動チャック片に固定され、
   前記第３固定部は、前記平面視にて前記軸部の位置よりも前記固定チャック片のチャック端とは反対の端部側に偏った位置にて、前記固定チャック片に固定されていることを特徴とするワーク保持治具。
9. 処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
   前記表面処理槽の前記処理液中に浸漬される矩形のワークを垂下して保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定する請求項１乃至８のいずれか一項に記載のワーク保持治具と、
   前記表面処理槽内にて、前記ワークと対向する位置に配置される陽極電極と、
   を有することを特徴とする表面処理装置。