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JP6797889B2 - Curable composition, light-shielding film, solid-state image sensor, and color filter - Google Patents
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Curable composition, light-shielding film, solid-state image sensor, and color filter Download PDF

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Description

本発明は、硬化性組成物、遮光膜、固体撮像装置、および、カラーフィルタに関する。 The present invention relates to curable compositions, light-shielding films, solid-state image sensors, and color filters.

特許文献1にはアルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、特定の構造を有する化合物、および遮光剤を含有するブラックカラムスペーサ用感光性樹脂硬化性組成物が記載されている。 Patent Document 1 describes a photosensitive resin curable composition for a black column spacer containing an alkali-soluble resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a compound having a specific structure, and a light-shielding agent.

特開2013−231935号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-231935

デジタルカメラおよびスマートフォン等に搭載される固体撮像装置は、撮影レンズに加え、その背後にCCD(Charge-Coupled Device:電荷結合素子)およびCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor:相補性金属酸化膜半導体)等の固体撮像素子を有する。この固体撮像装置には、裏面側の遮光、画素間の赤外領域の遮光によるノイズ発生防止、および、画質の向上等の目的で、遮光膜が設けられている。 Solid-state image sensors mounted on digital cameras, smartphones, etc. include CCDs (Charge-Coupled Devices) and CMOSs (Complementary Metal Oxide Semiconductors) behind them in addition to shooting lenses. It has a solid-state image sensor. This solid-state image sensor is provided with a light-shielding film for the purpose of light-shielding the back surface side, preventing noise generation due to light-shielding in the infrared region between pixels, and improving image quality.

本発明者らは、特許文献1に記載された感光性樹脂硬化性組成物を硬化させて得られた膜の光線反射率(後述する方法により測定した光線反射率、以下では単に「反射率」という。)について検討したところ、反射率が高く、昨今、遮光膜に要求される低反射性のレベルに達していないことを知見した。 The present inventors have defined the light reflectance of a film obtained by curing the photosensitive resin curable composition described in Patent Document 1 (light reflectance measured by a method described later, hereinafter simply "reflectance". As a result of examining (), it was found that the reflectance is high and the level of low reflectance required for a light-shielding film has not been reached recently.

そこで、本発明は、優れた低反射性を有する硬化膜を作製することができる硬化性組成物を提供することを課題とする。また、本発明は、上述の硬化性組成物を硬化して得られる遮光膜、ならびに、上述の遮光膜を有する固体撮像装置、および、カラーフィルタを提供することも課題とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a curable composition capable of producing a cured film having excellent low reflectivity. Another object of the present invention is to provide a light-shielding film obtained by curing the above-mentioned curable composition, a solid-state image sensor having the above-mentioned light-shielding film, and a color filter.

本発明者らは、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、特定の成分を含有する硬化性組成物により上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、以下の構成により上記課題を達成することができることを見出した。
As a result of diligent studies to achieve the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by a curable composition containing a specific component, and have completed the present invention.
That is, it was found that the above problem can be achieved by the following configuration.

(1) 着色剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合性化合物と、塩基発生剤と、分散剤と、を含有する硬化性組成物。
(2) 塩基発生剤が光塩基発生剤を含有する、(1)に記載の硬化性組成物。
(3) 分散剤に対する光塩基発生剤の質量比が、0.08〜0.5である、(2)に記載の硬化性組成物。
(4) 光塩基発生剤が、後述する一般式(PBG)で表される(2)または(3)のいずれかに記載の硬化性組成物。
(5) 光塩基発生剤から発生する塩基がアミン化合物であって、アミン化合物の分子量が150以下である(2)〜(4)のいずれかに記載の硬化性組成物。
(6) 光ラジカル重合開始剤が、オキシム系開始剤である(1)〜(5)のいずれかに記載の硬化性組成物。
(7) 着色剤が、遮光性顔料である(1)〜(6)のいずれかに記載の硬化性組成物。
(8) 遮光性顔料が、チタン化合物である(7)に記載の硬化性組成物。
(9) さらに、含フッ素樹脂を含有する(1)〜(8)のいずれかに記載の硬化性組成物。
(10) さらに、2種以上の有機溶剤を含有する(1)〜(9)のいずれかに記載の硬化性組成物。
(11) (1)〜(10)のいずれかに記載の硬化性組成物を硬化して得られる遮光膜。
(12) (11)に記載の遮光膜を有する、固体撮像装置。
(13) (12)に記載の遮光膜を有する、カラーフィルタ。
(1) A curable composition containing a colorant, a photoradical polymerization initiator, a polymerizable compound, a base generator, and a dispersant.
(2) The curable composition according to (1), wherein the base generator contains a photobase generator.
(3) The curable composition according to (2), wherein the mass ratio of the photobase generator to the dispersant is 0.08 to 0.5.
(4) The curable composition according to any one of (2) and (3), wherein the photobase generator is represented by the general formula (PBG) described later.
(5) The curable composition according to any one of (2) to (4), wherein the base generated from the photobase generator is an amine compound, and the molecular weight of the amine compound is 150 or less.
(6) The curable composition according to any one of (1) to (5), wherein the photoradical polymerization initiator is an oxime-based initiator.
(7) The curable composition according to any one of (1) to (6), wherein the colorant is a light-shielding pigment.
(8) The curable composition according to (7), wherein the light-shielding pigment is a titanium compound.
(9) The curable composition according to any one of (1) to (8), which further contains a fluororesin.
(10) The curable composition according to any one of (1) to (9), which further contains two or more kinds of organic solvents.
(11) A light-shielding film obtained by curing the curable composition according to any one of (1) to (10).
(12) A solid-state image sensor having the light-shielding film according to (11).
(13) A color filter having the light-shielding film according to (12).

本発明によれば、優れた低反射性を有する硬化膜を作製することができる硬化性組成物を提供することができる。また、本発明によれば、上述の硬化性組成物を硬化して得られる遮光膜、ならびに、上述の遮光膜を有する固体撮像装置、および、カラーフィルタを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a curable composition capable of producing a cured film having excellent low reflectivity. Further, according to the present invention, it is possible to provide a light-shielding film obtained by curing the above-mentioned curable composition, a solid-state image sensor having the above-mentioned light-shielding film, and a color filter.

第1実施形態の固体撮像装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the solid-state image sensor of 1st Embodiment. 第1実施形態の固体撮像装置の分解斜視図である。It is an exploded perspective view of the solid-state image sensor of 1st Embodiment. 第1実施形態の固体撮像装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the solid-state image sensor of 1st Embodiment. 第2実施形態の固体撮像装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the solid-state image sensor of 2nd Embodiment. 第3実施形態の固体撮像装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the solid-state image sensor of 3rd Embodiment. 第4実施形態の固体撮像装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the solid-state image sensor of 4th Embodiment.

以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施形態に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施形態に限定されるものではない。
なお本明細書における基(原子群)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、本発明の効果を損ねない範囲で、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。このことは、各化合物についても同義である。
また、本明細書中における「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、および、電子線等を意味する。また、本明細書において光とは、活性光線または放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯およびエキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、ならびに、EUV光などによる露光のみならず、電子線およびイオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
また、本明細書において、「(メタ)アクリレート」はアクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」はアクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表す。
また、本明細書において、「単量体」と「モノマー」とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、特に断らない限り、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
また、本明細書において「準備」というときには、特定の材料を合成ないし調合等して備えることのほか、購入等により所定の物を調達することを含む意味である。
また、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The description of the constituent elements described below may be based on typical embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments.
In the notation of groups (atomic groups) in the present specification, notations that do not describe substitutions and non-substitutions include those that do not have a substituent and those that have a substituent as long as the effects of the present invention are not impaired. It includes. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group). This is synonymous with each compound.
Further, the term "radiation" in the present specification means, for example, the emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet rays typified by an excimer laser, extreme ultraviolet rays (EUV light), X-rays, electron beams, and the like. Further, in the present specification, light means active light rays or radiation. Unless otherwise specified, the term "exposure" as used herein refers to not only exposure with far ultraviolet rays such as mercury lamps and excimer lasers, X-rays, and EUV light, but also particle beams such as electron beams and ion beams. Drawing by is also included in the exposure.
Further, in the present specification, "(meth) acrylate" represents both acrylate and methacrylate, or either, and "(meth) acrylic" represents both acrylic and methacrylic, or either.
Further, in the present specification, "monomer" and "monomer" are synonymous. The monomer in the present specification is distinguished from an oligomer and a polymer, and refers to a compound having a weight average molecular weight of 2,000 or less unless otherwise specified. In the present specification, the polymerizable compound means a compound having a polymerizable functional group, and may be a monomer or a polymer. A polymerizable functional group is a group involved in a polymerization reaction.
In addition, the term "preparation" in the present specification includes not only synthesizing or blending a specific material to prepare the material, but also procuring a predetermined material by purchasing the material.
Further, in the present specification, the numerical range represented by using "~" means a range including the numerical values before and after "~" as the lower limit value and the upper limit value.

[硬化性組成物]
本発明の硬化性組成物は、着色剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合性化合物と、塩基発生剤と、分散剤と、を含有する。
[Curable composition]
The curable composition of the present invention contains a colorant, a photoradical polymerization initiator, a polymerizable compound, a base generator, and a dispersant.

このような構成を有する本発明の硬化性組成物によれは、優れた低反射性を有する硬化膜を作製することができる。
この効果が得られる機序は、詳細には明らかではないが、本発明者らは以下のように推測している。
According to the curable composition of the present invention having such a structure, a cured film having excellent low reflectivity can be produced.
The mechanism by which this effect is obtained is not clear in detail, but the present inventors speculate as follows.

後述する方法により基材上に本発明の硬化性組成物を塗布して塗膜を形成し、この塗膜を硬化させることにより硬化膜(以下、単に「硬化膜」ともいう。)を作製することができる。本発明の硬化性組成物は光ラジカル重合開始剤と、塩基発生剤と、を含有するため、上述の塗膜に所定波長の放射線を照射すると、光ラジカル重合開始剤による重合性化合物の重合反応と、塩基発生剤からの塩基の発生反応と、が競合的に進むと推測される。この傾向は、塩基発生剤が光塩基発生剤を含有する場合に、より顕著である。
放射線が入射した面に近い部分(塗膜中の浅い部分、すなわち、塗膜表面からの深さが浅い領域、以下、「上側領域」という。)では、上述の反応が進行し、硬化が進行するとともに、塩基発生剤が分解して塩基が発生し、塗膜中を塩基が拡散する。一方、放射線の入射面から遠い部分(塗膜中の深い部分、すなわち、基材表面に近い領域、以下、「下側領域」という。)においては、到達する放射線量が上側領域と比較して少ない。従って、上述のとおり、光ラジカル重合開始剤の反応(ラジカル発生)と、塩基発生剤による塩基発生が競合的に進行する系においては、下側領域における光ラジカル重合開始剤による重合性化合物の重合反応の進行速度は、上側領域と比較して遅いものと推測される。とくに、本発明の硬化性組成物が光塩基発生剤を含有する場合には、ラジカル発生に必要な放射線が塩基発生にも使われ得る。従って、相対的に到達する放射線量が少ない下側領域においては、光ラジカル重合開始剤による重合性化合物の重合反応の進行速度が、上側領域と比較してより遅いものと推測される。さらに、下側領域には、塩基発生剤から発生した塩基が上側領域から拡散してくるため、重合反応の進行がより抑制される。
上記のとおり、上側領域と下側領域で重合反応の速度および/または進行度合いが異なるものと推測される。そのため、この塗膜を硬化して得られた硬化膜は、上側領域と下側領域で硬化収縮により生じる応力が異なるため、上側領域に微細なシワが発生し、これが硬化膜の低反射性に寄与しているものと推測される。
The curable composition of the present invention is applied onto a substrate by a method described later to form a coating film, and the coating film is cured to prepare a cured film (hereinafter, also simply referred to as "cured film"). be able to. Since the curable composition of the present invention contains a photoradical polymerization initiator and a base generator, when the above-mentioned coating film is irradiated with radiation of a predetermined wavelength, the polymerization reaction of the polymerizable compound by the photoradical polymerization initiator It is presumed that the reaction of generating radicals from the base generator and the reaction of generating radicals proceed competitively. This tendency is more remarkable when the base generator contains a photobase generator.
In the portion close to the surface on which the radiation is incident (a shallow portion in the coating film, that is, a region having a shallow depth from the coating film surface, hereinafter referred to as "upper region"), the above reaction proceeds and curing proceeds. At the same time, the base generator is decomposed to generate a base, and the base diffuses in the coating film. On the other hand, in a portion far from the incident surface of radiation (a deep portion in the coating film, that is, a region close to the surface of the base material, hereinafter referred to as "lower region"), the amount of radiation reached is higher than that in the upper region. Few. Therefore, as described above, in a system in which the reaction of the photoradical polymerization initiator (radical generation) and the base generation by the base generator proceed competitively, the polymerization of the polymerizable compound by the photoradical polymerization initiator in the lower region The progress rate of the reaction is presumed to be slower than that in the upper region. In particular, when the curable composition of the present invention contains a photobase generator, the radiation required for radical generation can also be used for base generation. Therefore, in the lower region where the amount of radiation reaching is relatively small, it is presumed that the progress rate of the polymerization reaction of the polymerizable compound by the photoradical polymerization initiator is slower than in the upper region. Further, since the base generated from the base generator diffuses from the upper region to the lower region, the progress of the polymerization reaction is further suppressed.
As described above, it is presumed that the rate and / or the degree of progress of the polymerization reaction differs between the upper region and the lower region. Therefore, in the cured film obtained by curing this coating film, the stress generated by the curing shrinkage differs between the upper region and the lower region, so that fine wrinkles occur in the upper region, which causes the cured film to have low reflectivity. It is presumed that it is contributing.

以下では、本発明の硬化性組成物の各成分について詳述する。 In the following, each component of the curable composition of the present invention will be described in detail.

〔着色剤〕
本発明の硬化性組成物は、着色剤を含有する。着色剤は、公知の着色剤を用いることができるが、なかでも顔料を含有することが好ましい。顔料としては、例えば、カラーフィルタ製造に用いる場合であれば、カラーフィルタの色画素を形成するR(レッド)、G(グリーン)、および、B(ブルー)等の有彩色系の顔料(有彩色顔料)を用いることができる。また、硬化膜を遮光膜またはブラックマトリクスとして用いる場合、硬化膜が優れた遮光性を有する点で、着色剤は遮光性顔料を含有することが好ましい。
[Colorant]
The curable composition of the present invention contains a colorant. As the colorant, a known colorant can be used, but it is preferable to contain a pigment. As the pigment, for example, when used for manufacturing a color filter, chromatic pigments (chromatic colors) such as R (red), G (green), and B (blue) that form the color pixels of the color filter. Pigments) can be used. When the cured film is used as a light-shielding film or a black matrix, the colorant preferably contains a light-shielding pigment because the cured film has excellent light-shielding properties.

遮光性顔料としては、公知の遮光性顔料を用いることができ、少量で高い光学濃度(Optical Density:OD値)を実現できる観点から、カーボンブラック、チタン化合物、酸化鉄、酸化マンガン、および、グラファイト等が好ましく、なかでも、カーボンブラックおよびチタン化合物からなる群から選択される少なくとも1種を含有することがより好ましく、チタン化合物がさらに好ましい。なお、遮光性顔料の具体例としては、例えば、C.I.Pigment Black 1等の有機顔料、および、Pigment Black 7等の無機顔料が挙げられる。 As the light-shielding pigment, a known light-shielding pigment can be used, and carbon black, a titanium compound, iron oxide, manganese oxide, and graphite can be used from the viewpoint of achieving a high optical density (OD value) with a small amount. Etc. are preferable, and among them, it is more preferable to contain at least one selected from the group consisting of carbon black and titanium compounds, and titanium compounds are even more preferable. Specific examples of the light-shielding pigment include C.I. I. Examples thereof include organic pigments such as Pigment Black 1 and inorganic pigments such as Pigment Black 7.

チタン化合物は、公知のものを用いることができ、例えば、酸化チタンおよびチタンブラックなどが挙げられる。なかでも、400〜1000nmの広い範囲の光線に対して遮光性を有し、遮光膜のパターン形成に用いられることがある波長域(400nm未満)の光線透過率が高い点で、チタンブラックが好ましい。 As the titanium compound, known compounds can be used, and examples thereof include titanium oxide and titanium black. Of these, titanium black is preferable because it has a light-shielding property for a wide range of light rays of 400 to 1000 nm and has a high light transmittance in a wavelength range (less than 400 nm) that may be used for pattern formation of a light-shielding film. ..

チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子である。好ましくは低次酸化チタン酸窒化チタン、および、窒化チタン等である。チタンブラック粒子は、分散性向上および凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。チタンブラック粒子は、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、または、酸化ジルコニウムで表面を被覆することが可能である。また、特開2007−302836号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。
チタンブラックは、典型的には、チタンブラック粒子であり、個々の粒子の一次粒径および平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。
具体的には、チタンブラックの平均一次粒子径は、10nm〜45nmの範囲が好ましい。なお、本発明における粒径、即ち、粒子直径とは、粒子の外表面の投影面積と等しい面積をもつ円の直径である。粒子の投影面積は、電子顕微鏡写真での撮影により得られた300個の粒子の面積を測定して平均し、撮影倍率を補正することにより得られる。
Titanium black is black particles containing titanium atoms. Preferred are low-order titanium oxide titanium nitride, titanium nitride and the like. The surface of the titanium black particles can be modified as needed for the purpose of improving dispersibility and suppressing cohesiveness. The surface of the titanium black particles can be coated with silicon oxide, titanium oxide, germanium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, or zirconium oxide. Further, it is also possible to treat with a water-repellent substance as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-302836.
Titanium black is typically titanium black particles, and it is preferable that both the primary particle size and the average primary particle size of the individual particles are small.
Specifically, the average primary particle size of titanium black is preferably in the range of 10 nm to 45 nm. The particle size in the present invention, that is, the particle diameter, is the diameter of a circle having an area equal to the projected area of the outer surface of the particle. The projected area of the particles is obtained by measuring and averaging the areas of 300 particles obtained by photographing with an electron micrograph, and correcting the photographing magnification.

チタンブラックの比表面積は特に制限されないが、かかるチタンブラックを撥水化剤で表面処理した後の撥水性が所定の性能となるために、BET(Brunauer, Emmett, Teller)法にて測定した値が通常5m/g以上150m/g以下程度、特に20m/g以上120m/g以下であることが好ましい。
チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M−C、13R、13R−N、13M−T(商品名:以上、三菱マテリアル(株)製)、ティラック(Tilack)D(商品名:赤穂化成(株)製)などが挙げられる。
The specific surface area of titanium black is not particularly limited, but it is a value measured by the BET (Brunauer, Emmett, Teller) method because the water repellency after surface treatment of the titanium black with a water repellent agent has a predetermined performance. Is usually 5 m 2 / g or more and 150 m 2 / g or less, and particularly preferably 20 m 2 / g or more and 120 m 2 / g or less.
Examples of commercially available titanium black products include titanium black 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13RN, 13M-T (trade name: manufactured by Mitsubishi Materials Corporation), Tilak ( Tilak) D (trade name: manufactured by Ako Kasei Co., Ltd.) and the like.

さらに、チタンブラックを、チタンブラックおよびSi原子を含む被分散体として含有することも好ましい。
この形態において、チタンブラックは、硬化性組成物中において被分散体として含有されるものであり、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が質量換算で0.05以上であることが好ましい。
ここで、上記被分散体は、チタンブラックが一次粒子の状態であるもの、および、凝集体(二次粒子)の状態であるものの双方を包含する。
なお、本発明における被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)は、0.5(質量換算)を超えると被分散体を使用した硬化性組成物の製造が困難な傾向となる場合があるため、その上限は0.5であることが好ましい。
また、被分散体を使用した遮光膜を光リソグラフィー等によりパターニングした際に、除去部に残渣が残りにくく、遮光能が優れる点で、被分散体のSi/Tiは、0.05以上0.5以下であることがより好ましく、0.07以上0.4以下であることがさらに好ましい。
被分散体のSi/Tiを変更する(例えば、0.05以上とする)ためには、以下のような手段を用いることができる。
先ず、酸化チタンとシリカ粒子とを分散機を用いて分散することにより分散物を得て、この分散物を高温(例えば、850〜1000℃)にて還元処理することにより、チタンブラック粒子を主成分とし、SiとTiとを含有する被分散体を得ることができる。
ここで、被分散体のSi/Tiを変更するための具体的な態様について説明する。
Si/Tiが、例えば、0.05以上等に調整されたチタンブラックは、例えば、特開2008−266045号公報の段落番号〔0005〕および段落番号〔0016〕〜〔0021〕に記載の方法により作製することができる。
Further, it is also preferable to contain titanium black as a dispersant containing titanium black and Si atoms.
In this form, titanium black is contained as a dispersion in the curable composition, and the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion is 0 in terms of mass. It is preferably 05 or more.
Here, the dispersant includes both those in which titanium black is in the state of primary particles and those in which titanium black is in the state of aggregates (secondary particles).
If the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion in the present invention exceeds 0.5 (mass conversion), it is difficult to produce a curable composition using the dispersion. Therefore, the upper limit is preferably 0.5.
Further, when the light-shielding film using the disperse is patterned by optical lithography or the like, the residue is less likely to remain in the removed portion and the light-shielding ability is excellent. The Si / Ti of the disperse is 0.05 or more and 0. It is more preferably 5 or less, and further preferably 0.07 or more and 0.4 or less.
In order to change the Si / Ti of the dispersant (for example, to make it 0.05 or more), the following means can be used.
First, a dispersion is obtained by dispersing titanium oxide and silica particles using a disperser, and the dispersion is reduced at a high temperature (for example, 850 to 1000 ° C.) to mainly produce titanium black particles. A dispersant containing Si and Ti as components can be obtained.
Here, a specific embodiment for changing the Si / Ti of the dispersion to be dispersed will be described.
Titanium black in which Si / Ti is adjusted to, for example, 0.05 or more is prepared by, for example, the methods described in paragraph numbers [0005] and paragraph numbers [0016] to [0021] of JP-A-2008-266045. Can be made.

本発明においては、チタンブラックおよびSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)を好適な範囲(例えば0.05以上)に調整することで、この被分散体を含む硬化性組成物を用いて遮光膜を形成した際に、遮光膜の形成領域外における硬化性組成物由来の残渣物が低減される。なお、残渣物は、チタンブラック粒子、樹脂成分等の硬化性組成物に由来する成分を含むものである。
残渣物が低減される理由は未だ明確ではないが、上記のような被分散体は小粒径となる傾向があり(例えば、粒径が30nm以下)、さらに、この被分散体のSi原子が含まれる成分が増すことにより、膜全体の下地との吸着性が低減され、これが、遮光膜の形成における未硬化の硬化性組成物(特に、チタンブラック)の現像除去性の向上に寄与すると推測している。
また、チタンブラックは、紫外光から赤外光までの広範囲に亘る波長領域の光に対する遮光性に優れることから、上記したチタンブラックおよびSi原子を含む被分散体(好ましくはSi/Tiが質量換算で0.05以上であるもの)を用いて形成された遮光膜は優れた遮光性を発揮する。
なお、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)は、例えば、特開2013−249417号公報の段落0033に記載の方法(1−1)または方法(1−2)を用いて測定できる。
また、硬化性組成物を硬化して得られた遮光膜に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が0.05以上か否かを判断するには、特開2013−249417号公報の段落0035に記載の方法(2)を用いる。
In the present invention, the content ratio (Si / Ti) of Si atoms and Ti atoms in the dispersion containing titanium black and Si atoms is adjusted to a suitable range (for example, 0.05 or more). When the light-shielding film is formed using the curable composition containing the dispersion, the residue derived from the curable composition outside the region where the light-shielding film is formed is reduced. The residue contains components derived from a curable composition such as titanium black particles and a resin component.
The reason why the residue is reduced is not yet clear, but the dispersant as described above tends to have a small particle size (for example, the particle size is 30 nm or less), and the Si atom of the dispersant tends to be small. It is speculated that the increase in the contained components reduces the adsorptivity of the entire film to the substrate, which contributes to the improvement of the developability of the uncured curable composition (particularly titanium black) in the formation of the light-shielding film. doing.
Further, since titanium black is excellent in light-shielding property against light in a wide wavelength range from ultraviolet light to infrared light, the above-mentioned dispersant containing titanium black and Si atom (preferably Si / Ti is mass-converted). The light-shielding film formed by using (with a value of 0.05 or more) exhibits excellent light-shielding properties.
The content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion is determined by, for example, the method (1-1) or method (1-2) described in paragraph 0033 of JP2013-249417A. ) Can be used for measurement.
Further, regarding the dispersion to be contained in the light-shielding film obtained by curing the curable composition, is the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion to be 0.05 or more? To determine whether or not, the method (2) described in paragraph 0035 of JP2013-249417A is used.

チタンブラックおよびSi原子を含む被分散体において、チタンブラックは、上記したものを使用できる。
また、この被分散体においては、チタンブラックと共に、分散性および着色性等を調整する目的で、Cu、Fe、Mn、V、Ni等の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、および、アニリンブラック等からなる黒色顔料を、1種または2種以上を組み合わせて、被分散体として併用してもよい。
この場合、全被分散体中の50質量%以上をチタンブラックからなる被分散体が占めることが好ましい。
また、この被分散体においては、遮光性の調整等を目的として、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラックと共に、他の着色剤(有機顔料や染料など)を所望により併用してもよい。
以下、被分散体にSi原子を導入する際に用いられる材料について述べる。被分散体にSi原子を導入する際には、シリカなどのSi含有物質を用いればよい。
用いうるシリカとしては、沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、および、合成シリカなどを挙げることができ、これらを適宜選択して使用すればよい。
さらに、シリカ粒子の粒径が遮光膜を形成した際に膜厚よりも小さい粒径であると遮光性がより優れるため、シリカ粒子として微粒子タイプのシリカを用いることが好ましい。なお、微粒子タイプのシリカの例としては、例えば、特開2013−249417号公報の段落0039に記載のシリカが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の硬化性組成物は、チタンブラックを1種含有するものであってもよく、2種以上を含有してもよい。
In the dispersant containing titanium black and Si atom, the above-mentioned titanium black can be used.
Further, in this dispersion, in addition to titanium black, for the purpose of adjusting dispersibility, colorability, etc., composite oxides such as Cu, Fe, Mn, V, Ni, cobalt oxide, iron oxide, carbon black, and , Aniline black and the like may be used together as a dispersant by combining one type or two or more types.
In this case, it is preferable that the dispersed material made of titanium black accounts for 50% by mass or more of the total dispersed material.
Further, in this dispersion, for the purpose of adjusting the light-shielding property, other colorants (organic pigments, dyes, etc.) may be used in combination with titanium black as long as the effects of the present invention are not impaired. Good.
Hereinafter, the materials used when introducing Si atoms into the dispersion to be dispersed will be described. When introducing a Si atom into the dispersion, a Si-containing substance such as silica may be used.
Examples of silica that can be used include precipitated silica, fumed silica, colloidal silica, synthetic silica, and the like, and these may be appropriately selected and used.
Further, when the particle size of the silica particles is smaller than the film thickness when the light-shielding film is formed, the light-shielding property is more excellent. Therefore, it is preferable to use fine particle type silica as the silica particles. Examples of the fine particle type silica include the silica described in paragraph 0039 of JP2013-249417A, and the contents thereof are incorporated in the present specification.
The curable composition of the present invention may contain one type of titanium black, or may contain two or more types.

上記顔料を分散させるプロセスとしては、分散に用いる機械力として圧縮、圧搾、衝撃、剪断、およびキャビテーションなどを使用するプロセスなどが挙げられる。これらのプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散、およびマイクロフルイダイザーなどが挙げられる。また「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」および「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」に記載のプロセスおよび分散機を好適に使用できる。また、ソルトミリング工程による顔料の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理、および条件等は、例えば、特開2015−194521号公報、及び、特開2012−046629号公報等に記載のものを使用することができる。
なかでも、サンドミル(ビーズミル)が好ましい。またサンドミル(ビーズミル)における顔料の分散処理においては、径の小さいビーズを使用する、または、ビーズの充填率を大きくする等により分散効率を高めた条件で処理することが好ましく、更に分散処理後に濾過および/または遠心分離などで素粒子を除去することが好ましい。
Examples of the process for dispersing the pigment include a process using compression, squeezing, impact, shearing, cavitation and the like as the mechanical force used for dispersion. Specific examples of these processes include bead mills, sand mills, roll mills, ball mills, high speed impellers, sand grinders, flow jet mixers, high pressure wet atomization, ultrasonic dispersion, and microfluidizers. In addition, "Dispersion Technology Taizen, published by Information Organization Co., Ltd., July 15, 2005" and "Dispersion technology centered on suspension (solid / liquid dispersion system) and practical comprehensive data collection of industrial applications, Management Development Center Publishing Department The process and disperser described in "Published October 10, 1978" can be suitably used. Further, the pigment may be miniaturized by a salt milling step. As the materials, equipment, treatments, conditions and the like used in the salt milling step, for example, those described in JP-A-2015-194521 and JP-A-2012-046629 can be used.
Of these, a sand mill (bead mill) is preferable. Further, in the dispersion treatment of the pigment in the sand mill (bead mill), it is preferable to use beads having a small diameter or to treat under conditions in which the dispersion efficiency is increased by increasing the filling rate of the beads, and further filtering after the dispersion treatment. It is preferable to remove the elementary particles by centrifugation and / or centrifugation.

本発明の硬化性組成物は、着色剤に加えて、必要に応じて体質顔料を含んでいてもよい。このような体質顔料としては、例えば、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、シリカ、塩基性炭酸マグネシウム、アルミナ白、グロス白、および、ハイドロタルサイト等を挙げることができる。これらの体質顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。体質顔料の使用量は、着色剤100質量部に対して、通常、0〜100質量部、好ましくは5〜50質量部、より好ましくは10〜40質量部である。本発明において、着色剤および体質顔料は、場合により、それらの表面をポリマーで改質して使用することができる。 The curable composition of the present invention may contain an extender pigment, if necessary, in addition to the colorant. Examples of such extender pigments include barium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate, silica, basic magnesium carbonate, alumina white, gloss white, and hydrotalcite. These extender pigments can be used alone or in admixture of two or more. The amount of the extender pigment used is usually 0 to 100 parts by mass, preferably 5 to 50 parts by mass, and more preferably 10 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the colorant. In the present invention, colorants and extender pigments can be used by modifying their surfaces with a polymer, if necessary.

着色剤は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。着色剤としては、赤色、青色、黄色、緑色、および、紫色等の着色有機顔料を含有してもよい。遮光性顔料と着色有機顔料とを併用する場合には、着色有機顔料を遮光性顔料に対して1〜40質量%用いることが好ましい。色味を調整する観点で、赤色顔料と遮光性顔料とを併用することが好ましく、特に限定はされないが赤色顔料としてはピグメントレッド254であることが好ましい。また、遮光性を高める観点から黄色顔料と遮光性顔料とを併用することが好ましく、特に限定はされないが黄色顔料としてはピグメントイエロー150であることが好ましい。 One type of colorant may be used alone, or two or more types may be used in combination. As the colorant, a colored organic pigment such as red, blue, yellow, green, and purple may be contained. When the light-shielding pigment and the colored organic pigment are used in combination, it is preferable to use 1 to 40% by mass of the colored organic pigment with respect to the light-shielding pigment. From the viewpoint of adjusting the color, it is preferable to use a red pigment and a light-shielding pigment in combination, and the red pigment is preferably Pigment Red 254, although it is not particularly limited. Further, from the viewpoint of enhancing the light-shielding property, it is preferable to use the yellow pigment and the light-shielding pigment in combination, and the yellow pigment is preferably Pigment Yellow 150, although it is not particularly limited.

本発明の硬化性組成物中における着色剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、20〜80質量%が好ましく、30〜70質量%がより好ましく、35〜60質量%がさらに好ましい。 The content of the colorant in the curable composition of the present invention is preferably 20 to 80% by mass, more preferably 30 to 70% by mass, and 35 to 60% by mass with respect to the total solid content in the curable composition. % Is more preferable.

〔光ラジカル重合開始剤〕
本発明の硬化性組成物は、光ラジカル重合開始剤を含有する。光ラジカル重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光ラジカル重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視光領域において感光性を有するものが好ましい。また、光ラジカル重合開始剤は、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよい。また、光ラジカル重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmが好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
[Photoradical polymerization initiator]
The curable composition of the present invention contains a photoradical polymerization initiator. The photoradical polymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate the polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected from known photoradical polymerization initiators. For example, those having photosensitivity in the ultraviolet region to the visible light region are preferable. Further, the photoradical polymerization initiator may be an activator that produces an active radical by causing some action with the photoexcited sensitizer. Further, the photoradical polymerization initiator preferably contains at least one compound having a molecular extinction coefficient of at least about 50 in the range of about 300 nm to 800 nm (preferably 330 nm to 500 nm).

光ラジカル重合開始剤としては、少なくとも芳香族基を有する化合物であることが好ましく、例えば、(ビス)アシルホスフィンオキシドまたはそのエステル類、アセトフェノン系化合物、α−アミノケトン化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物、オキシムエステル化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、トリハロメチル化合物、アゾ化合物、有機過酸化物、ジアゾニウム化合物、ヨードニウム化合物、スルホニウム化合物、アジニウム化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、メタロセン化合物等のオニウム塩化合物、有機硼素塩化合物、および、ジスルホン化合物などが挙げられる。感度の観点から、オキシムエステル化合物、アシルホスフィンオキシド系化合物、アセトフェノン系化合物、α−アミノケトン化合物、トリハロメチル化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、または、チオール化合物が好ましく、オキシムエステル化合物(オキシム系開始剤、形態は後述する)がより好ましい。着色剤として黒色顔料を用いた場合においては、光ラジカル重合開始剤としてオキシムエステル化合物を用いることで、優れたリソグラフィ性が得られやすい。 The photoradical polymerization initiator is preferably a compound having at least an aromatic group, for example, (bis) acylphosphine oxide or an ester thereof, an acetophenone compound, an α-aminoketone compound, a benzophenone compound, a benzoin ether type. Compounds, Ketal derivative compounds, thioxanthone compounds, oxime ester compounds, hexaarylbiimidazole compounds, trihalomethyl compounds, azo compounds, organic peroxides, diazonium compounds, iodonium compounds, sulfonium compounds, azinium compounds, benzoin ether compounds, Ketal derivatives Examples thereof include compounds, onium salt compounds such as metallocene compounds, organic boron salt compounds, and disulfone compounds. From the viewpoint of sensitivity, an oxime ester compound, an acylphosphine oxide compound, an acetophenone compound, an α-aminoketone compound, a trihalomethyl compound, a hexaarylbiimidazole compound, or a thiol compound is preferable, and an oxime ester compound (oxime-based initiator, The form will be described later) is more preferable. When a black pigment is used as the colorant, excellent lithographic properties can be easily obtained by using the oxime ester compound as the photoradical polymerization initiator.

光ラジカル重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、および、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィンオキシド系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959、および、IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、および、IRGACURE−379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nmまたは405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE−819およびDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
As the photoradical polymerization initiator, a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, and an acylphosphine compound can also be preferably used. More specifically, for example, the aminoacetophenone-based initiator described in JP-A No. 10-291969 and the acylphosphine oxide-based initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
As the hydroxyacetophenone-based initiator, IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, and IRGACURE-127 (trade names: all manufactured by BASF) can be used. As the aminoacetophenone-based initiator, commercially available products IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379 (trade names: all manufactured by BASF) can be used. As the aminoacetophenone-based initiator, the compound described in JP-A-2009-191179, in which the absorption wavelength is matched with a long-wave light source such as 365 nm or 405 nm, can also be used. As the acylphosphine-based initiator, commercially available IRGACURE-819 and DAROCUR-TPO (trade names: both manufactured by BASF) can be used.

<オキシム系開始剤>
光ラジカル重合開始剤として、より好ましくはオキシム系開始剤が挙げられる。特にオキシム系開始剤は高感度で重合効率が高く、色材(着色剤)濃度によらず硬化でき、色材の濃度を高く設計しやすいため好ましい。
オキシム系開始剤の具体例としては、特開2001−233842号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報記載の化合物、および、特開2006−342166号公報記載の化合物を用いることができる。オキシム系開始剤の具体例としては、例えば、3−ベンゾイロキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイロキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、および2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどが挙げられる。
<Oxime-based initiator>
The photoradical polymerization initiator is more preferably an oxime-based initiator. In particular, an oxime-based initiator is preferable because it has high sensitivity, high polymerization efficiency, can be cured regardless of the concentration of the coloring material (coloring agent), and has a high concentration of the coloring material and is easy to design.
As specific examples of the oxime-based initiator, the compounds described in JP-A-2001-233842, the compounds described in JP-A-2000-80068, and the compounds described in JP-A-2006-342166 can be used. Specific examples of the oxime-based initiator include, for example, 3-benzoyloxyiminobutane-2-one, 3-acetoxyiminobutane-2-one, 3-propionyloxyiminobutane-2-one, and 2-acetoxyiminopentane. -3-one, 2-acetoxyimino-1-phenylpropane-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropane-1-one, 3- (4-toluenesulfonyloxy) iminobutane-2-one, And 2-ethoxycarbonyloxyimino-1-phenylpropane-1-one and the like.

オキシム系開始剤としては、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、および、特開2006−342166号公報の各公報に記載の化合物等が挙げられる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)も好適に用いられる。また、TRONLY TR−PBG−304、TRONLY TR−PBG−309、TRONLY TR−PBG−305(常州強力電子新材料有限公司社(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製)、アデカアークルズNCI−930(ADEKA社製)も用いることができる。
As an oxime-based initiator, J. C. S. Perkin II (1979) pp. 1653-1660), J. Mol. C. S. Perkin II (1979) pp. 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) pp. 202-232, the compounds described in JP-A-2000-66385, the compounds described in JP-A-2000-80068, JP-A-2004-534977, and JP-A-2006-342166. Be done.
As commercially available products, IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF) and IRGACURE-OXE02 (manufactured by BASF) are also preferably used. In addition, TRONLY TR-PBG-304, TRONLY TR-PBG-309, TRONLY TR-PBG-305 (manufactured by Changshu Powerful Electronics New Materials Co., Ltd. (CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO., LTD)) 930 (manufactured by ADEKA Corporation) can also be used.

また上記記載以外のオキシム系開始剤として、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報、米国特許公開2009−292039号記載の化合物、および、国際公開特許2009−131189号公報に記載のケトオキシム系開始剤、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落0274〜0275を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。 Further, as an oxime-based initiator other than the above, the compound described in JP-A-2009-5199004 in which an oxime is linked to the N-position of carbazole, and US Pat. No. 6,626,957 in which a hetero-substituent is introduced at the benzophenone moiety are described. Compounds, compounds described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-15025 in which a nitro group is introduced into a dye moiety, US Patent Publication No. 2009-292039, and ketooxime-based initiators and triazine skeletons described in International Publication Patent No. 2009-131189. The compound described in US Pat. No. 7,556,910, which contains the oxime skeleton in the same molecule, the compound described in JP-A-2009-221114, which has an absorption maximum at 405 nm and has good sensitivity to a g-ray light source, and the like. You may use it. Preferably, for example, paragraphs 0274 to 0275 of JP2013-29760A can be referred to, the contents of which are incorporated herein by reference.

光ラジカル重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム系開始剤を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム系開始剤の具体例としては、特開2014−137466号公報記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれることとする。 As the photoradical polymerization initiator, an oxime-based initiator having a fluorene ring can also be used. Specific examples of the oxime-based initiator having a fluorene ring include compounds described in JP-A-2014-137466. This content is incorporated herein by reference.

光ラジカル重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム系開始剤を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム系開始剤の具体例としては、特開2010−262028号公報記載の化合物、特表2014−500852号公報記載の化合物24、36〜40、および、特開2013−164471号公報記載の化合物(C−3)などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれることとする。 An oxime-based initiator having a fluorine atom can also be used as the photoradical polymerization initiator. Specific examples of the oxime-based initiator having a fluorine atom include the compounds described in JP-A-2010-262028, the compounds 24 and 36-40 described in JP-A-2014-500852, and JP-A-2013-164471. Examples thereof include the described compound (C-3). This content is incorporated herein by reference.

光ラジカル重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム系開始剤を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム系開始剤の具体例としては、特開2013−114249号公報の段落0031〜0047、特開2014−137466号公報の段落0008〜0012、0070〜0079に記載されている化合物、アデカアークルズNCI−831(ADEKA社製)が挙げられる。 As the photoradical polymerization initiator, an oxime-based initiator having a nitro group can be used. Specific examples of the oxime-based initiator having a nitro group include the compounds described in paragraphs 0031 to 0047 of JP2013-114249A and paragraphs 0008 to 0012 and 0070 to 0079 of JP2014-137466. ADEKA Arkuru's NCI-831 (manufactured by ADEKA) can be mentioned.

オキシム系開始剤の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the oxime-based initiator are shown below, but the present invention is not limited thereto.

光ラジカル重合開始剤としては、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、360nm〜480nmの波長領域に吸収波長を有する化合物がより好ましく、365nmおよび405nmの吸光度が高い化合物が特に好ましい。 As the photoradical polymerization initiator, a compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 350 nm to 500 nm is preferable, a compound having an absorption wavelength in the wavelength region of 360 nm to 480 nm is more preferable, and a compound having a high absorbance at 365 nm and 405 nm is particularly preferable. preferable.

光ラジカル重合開始剤の365nmまたは405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数の測定は、公知の方法を用いることができる。具体的には、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary−5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの化合物の濃度で測定することが好ましい。
光ラジカル重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。
From the viewpoint of sensitivity, the molar extinction coefficient of the photoradical polymerization initiator at 365 nm or 405 nm is preferably 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, and 5,000. It is particularly preferably ~ 200,000. A known method can be used for measuring the molar extinction coefficient of the compound. Specifically, for example, it is preferable to measure with an ultraviolet-visible spectrophotometer (Cary-5 spectrophotometer manufactured by Varian) at a compound concentration of 0.01 g / L using an ethyl acetate solvent.
Two or more kinds of photoradical polymerization initiators may be used in combination, if necessary.

光ラジカル重合開始剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、より好ましくは0.5〜30質量%であり、さらに好ましくは1〜20質量%である。この範囲で、より良好な感度とパターン形成性が得られる。 The content of the photoradical polymerization initiator is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 0.5 to 30% by mass, still more preferably 1 to 20% by mass, based on the total solid content of the curable composition. %. In this range, better sensitivity and pattern formation can be obtained.

〔重合性化合物〕
本発明の硬化性組成物は重合性化合物を含有する。重合性化合物は、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上である化合物が好ましい。重合性化合物中のエチレン性不飽和基の数は特に制限されないが、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、2以上が好ましく、4以上が好ましく、5以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、合成上の点から、10以下が好ましい。なお、エチレン性不飽和基としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリルアミド基、ビニル基などが挙げられる。
少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上である化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能のアクリレートおよびメタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンおよびトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、ペンタエリスリトールまたはジペンタエリスリトールのポリ(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号の各公報に記載のポリエステルアクリレート類、ならびに、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートおよびメタクリレートを挙げることができる。さらに、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
また、特開平10−62986号公報において一般式(1)および一般式(2)としてその具体例と共に記載の多官能アルコールに、エチレンオキサイドまたはプロピレンオキサイドを付加させた後に(メタ)アクリレート化した化合物も用いることができる。
なかでも、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、およびこれらのアクリロイル基がエチレングリコール残基、または、プロピレングリコール残基を介してジペンタエリスリトールに連結している構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。
また、特公昭48−41708号、特開昭51−37193号、特公平2−32293号、および特公平2−16765号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号、特公昭56−17654号、特公昭62−39417号、および特公昭62−39418号の各公報記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。さらに、特開昭63−277653号、特開昭63−260909号、および特開平1−105238号の各公報に記載される、分子内にアミノ構造またはスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性硬化性組成物を得ることができる。市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(商品名、日本製紙ケミカル(株)製)、UA−7200(新中村化学工業(株)製)、DPHA−40H(商品名、日本化薬(株)製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、および、AI−600(商品名、共栄社化学(株)製)などが挙げられる。
また、酸基を有するエチレン性不飽和化合物類も好適であり、市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のカルボキシル基含有3官能アクリレートであるTO−756、およびカルボキシル基含有5官能アクリレートであるTO−1382などが挙げられる。本発明に用いられる重合性化合物としては、4官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。
[Polymerizable compound]
The curable composition of the present invention contains a polymerizable compound. The polymerizable compound is preferably a compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. The number of ethylenically unsaturated groups in the polymerizable compound is not particularly limited, but 2 or more is preferable, 4 or more is preferable, and 5 or more is more preferable in that the cured film has more excellent low reflectivity. The upper limit is not particularly limited, but 10 or less is preferable from the viewpoint of synthesis. Examples of the ethylenically unsaturated group include a (meth) acryloyl group, a (meth) acrylamide group, and a vinyl group.
Examples of the compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure include polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxy. Monofunctional acrylates and methacrylates such as ethyl (meth) acrylates; polyethylene glycol di (meth) acrylates, trimethylol ethanetri (meth) acrylates, neopentyl glycol di (meth) acrylates, pentaerythritol tri (meth) acrylates, pentaerythritols. Tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, hexanediol (meth) acrylate, trimethylpropantri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, glycerin and trimethylolethane, etc. Polyfunctional alcohol to which ethylene oxide or propylene oxide is added and then (meth) acrylated, pentaerythritol or dipentaerythritol poly (meth) acrylated, Tokukousho 48-41708, Tokukousho 50-6034 No., urethane acrylates described in JP-A-51-37193, polyester acrylates described in JP-A-48-64183, JP-A-49-43191, JP-A-52-30490, In addition, polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates, which are reaction products of epoxy resins and (meth) acrylic acid, can be mentioned. Furthermore, the Journal of the Japan Adhesive Association Vol. Those introduced as photocurable monomers and oligomers on pages 20, No. 7, 300 to 308 can also be used.
Further, a compound obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to a polyfunctional alcohol described as a general formula (1) and a general formula (2) together with specific examples in JP-A-10-62986 and then (meth) acrylated. Can also be used.
Among them, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and a structure in which these acryloyl groups are linked to dipentaerythritol via ethylene glycol residues or propylene glycol residues. Is preferable. These oligomer types can also be used.
In addition, urethane acrylates as described in JP-A-48-41708, JP-A-51-37193, JP-F-2-32293, and JP-B-2-16765, and Urethane acrylates as described in JP-A-58- Urethane compounds having an ethylene oxide-based skeleton described in the publications of No. 49860, No. 56-17654, No. 62-39417, and No. 62-39418 are also suitable. Further, addition-polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule, which are described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238, are used. Thereby, a photopolymerizable curable composition having a very excellent photosensitive speed can be obtained. Commercially available products include urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (trade name, manufactured by Nippon Paper Chemicals Co., Ltd.), UA-7200 (manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.), DPHA-40H (trade name, manufactured by Nippon Paper Chemicals Co., Ltd.). Yakuhin Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, and AI-600 (trade name, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and the like.
Ethylene unsaturated compounds having an acid group are also suitable, and commercially available products include, for example, TO-756, which is a carboxyl group-containing trifunctional acrylate manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd., and a carboxyl group-containing pentafunctional acrylate. A certain TO-1382 and the like can be mentioned. As the polymerizable compound used in the present invention, a tetrafunctional or higher functional acrylate compound is more preferable.

重合性化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
2種以上の重合性化合物を組み合わせて用いる場合、その組み合わせ態様は、硬化性組成物に要求される物性等に応じて適宜設定することができる。重合性化合物の好適な組み合わせ態様の一つとしては、例えば、上述した多官能のアクリレート化合物から選択した2種以上の重合性化合物を組み合わせる態様が挙げられ、その一例としては、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびペンタエリスリトールトリアクリレートの組み合わせが挙げられる。
本発明の硬化性組成物における重合性化合物の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、3質量%〜55質量%が好ましく、10質量%〜50質量%がより好ましい。
The polymerizable compound may be used alone or in combination of two or more.
When two or more kinds of polymerizable compounds are used in combination, the combination mode can be appropriately set according to the physical properties required for the curable composition and the like. One of the preferred combinations of the polymerizable compounds includes, for example, combining two or more polymerizable compounds selected from the above-mentioned polyfunctional acrylate compounds, and one example thereof is dipentaerythritol hexaacrylate. And a combination of pentaerythritol triacrylate.
The content of the polymerizable compound in the curable composition of the present invention is preferably 3% by mass to 55% by mass, more preferably 10% by mass to 50% by mass, based on the total solid content in the curable composition.

〔塩基発生剤〕
本発明の硬化性組成物は塩基発生剤を含有する。塩基発生剤としては、熱塩基発生剤および光塩基発生剤が挙げられる。
[Base generator]
The curable composition of the present invention contains a base generator. Examples of the base generator include a thermal base generator and a photobase generator.

<熱塩基発生剤>
熱塩基発生剤の種類は特に制限されないが、例えば、40℃以上に加熱すると塩基を発生する酸性化合物(A1)、および、pKa1が0〜4のアニオンとアンモニウムカチオンとを有するアンモニウム塩(A2)から選ばれる少なくとも一種が挙げられる。
上記酸性化合物(A1)および上記アンモニウム塩(A2)は、加熱すると塩基を発生する。
なお、本明細書において、酸性化合物とは、化合物を容器に1g採取し、イオン交換水とテトラヒドロフランとの混合液(質量比は水/テトラヒドロフラン=1/4)を50mL加えて、室温で1時間攪拌する。その溶液をpHメーターを用いて、20℃にて測定した値が7未満である化合物を意味する。
<Thermal base generator>
The type of the thermobase generator is not particularly limited, but for example, an acidic compound (A1) that generates a base when heated to 40 ° C. or higher, and an ammonium salt (A2) having an anion having a pKa1 of 0 to 4 and an ammonium cation. At least one selected from.
The acidic compound (A1) and the ammonium salt (A2) generate a base when heated.
In the present specification, the acidic compound means that 1 g of the compound is collected in a container, 50 mL of a mixed solution of ion-exchanged water and tetrahydrofuran (mass ratio is water / tetrahydrofuran = 1/4) is added, and the compound is added at room temperature for 1 hour. Stir. It means a compound having a value of less than 7 measured at 20 ° C. using a pH meter for the solution.

酸性化合物(A1)およびアンモニウム塩(A2)の塩基発生温度は、40℃以上が好ましく、120〜200℃がより好ましい。塩基発生温度の上限は、190℃以下が好ましく、180℃以下がより好ましく、165℃以下がさらに好ましい。塩基発生温度の下限は、130℃以上が好ましく、135℃以上がより好ましい。
塩基発生温度は、例えば、示差走査熱量測定を用い、化合物を耐圧カプセル中5℃/分で250℃まで加熱し、最も温度が低い発熱ピークのピーク温度を読み取り、ピーク温度を塩基発生温度として測定することができる。
The base generation temperature of the acidic compound (A1) and the ammonium salt (A2) is preferably 40 ° C. or higher, more preferably 120 to 200 ° C. The upper limit of the base generation temperature is preferably 190 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower, and even more preferably 165 ° C. or lower. The lower limit of the base generation temperature is preferably 130 ° C. or higher, more preferably 135 ° C. or higher.
For the base generation temperature, for example, using differential scanning calorimetry, the compound is heated to 250 ° C. in a pressure resistant capsule at 5 ° C./min, the peak temperature of the lowest exothermic peak is read, and the peak temperature is measured as the base generation temperature. can do.

熱塩基発生剤により発生する塩基は、2級アミンまたは3級アミンが好ましく、3級アミンがより好ましい。また、熱塩基発生剤により発生する塩基の沸点は、80℃以上であることが好ましく、100℃以上であることが好ましく、140℃以上であることが最も好ましい。また、発生する塩基の分子量は、80〜2000が好ましい。下限は100以上がより好ましい。上限は500以下がより好ましい。なお、分子量の値は、構造式から求めた理論値である。 The base generated by the thermal base generator is preferably a secondary amine or a tertiary amine, and more preferably a tertiary amine. The boiling point of the base generated by the thermal base generator is preferably 80 ° C. or higher, preferably 100 ° C. or higher, and most preferably 140 ° C. or higher. The molecular weight of the generated base is preferably 80 to 2000. The lower limit is more preferably 100 or more. The upper limit is more preferably 500 or less. The value of the molecular weight is a theoretical value obtained from the structural formula.

上記酸性化合物(A1)は、アンモニウム塩および後述する一般式(TM1)で表されるカチオンを有する化合物から選ばれる1種以上を含むことが好ましい。 The acidic compound (A1) preferably contains one or more selected from ammonium salts and compounds having cations represented by the general formula (TM1) described later.

上記アンモニウム塩(A2)は、酸性化合物であることが好ましい。なお、上記アンモニウム塩(A2)は、40℃以上(好ましくは120〜200℃)に加熱すると塩基を発生する酸性化合物を含む化合物であってもよいし、40℃以上(好ましくは120〜200℃)に加熱すると塩基を発生する酸性化合物を除く化合物であってもよい。
以下、熱塩基発生剤について詳細に説明する。
The ammonium salt (A2) is preferably an acidic compound. The ammonium salt (A2) may be a compound containing an acidic compound that generates a base when heated to 40 ° C. or higher (preferably 120 to 200 ° C.), or 40 ° C. or higher (preferably 120 to 200 ° C.). ) May be a compound excluding an acidic compound that generates a base when heated.
Hereinafter, the thermobase generator will be described in detail.

(アンモニウム塩)
アンモニウム塩とは、下記一般式(TM1)、または一般式(TM2)で表されるアンモニウムカチオンと、アニオンとの塩を意味する。アニオンは、アンモニウムカチオンのいずれかの一部と共有結合を介して結合していてもよく、アンモニウムカチオンの分子外に有していてもよいが、アンモニウムカチオンの分子外に有していることが好ましい。なお、アニオンが、アンモニウムカチオンの分子外に有するとは、アンモニウムカチオンとアニオンが共有結合を介して結合していない場合をいう。以下、カチオン部の分子外のアニオンを対アニオンともいう。

上記一般式(TM1)および一般式(TM2)中において、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子または炭化水素基を表し、Rは炭化水素基を表す。RとR、RとR、RとR、RとRはそれぞれ結合して環を形成してもよい。
(Ammonium salt)
The ammonium salt means a salt of an ammonium cation represented by the following general formula (TM1) or general formula (TM2) and an anion. The anion may be bonded to any part of the ammonium cation via a covalent bond, may be present outside the molecule of the ammonium cation, but may be present outside the molecule of the ammonium cation. preferable. The fact that the anion is present outside the molecule of the ammonium cation means that the ammonium cation and the anion are not bonded via a covalent bond. Hereinafter, the non-molecular anion of the cation part is also referred to as a counter anion.

In the general formula (TM1) and the general formula (TM2), R 1 to R 6 independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group, and R 7 represents a hydrocarbon group. R 1 and R 2 , R 3 and R 4 , R 5 and R 6 , and R 5 and R 7 may be combined to form a ring, respectively.

アンモニウム塩は、pKa1が0〜4のアニオンとアンモニウムカチオンとを有することが好ましい。アニオンのpKa1の上限は、3.5以下がより好ましく、3.2以下が一層好ましい。下限は、0.5以上が好ましく、1.0以上がより好ましい。
アニオンの種類は、カルボン酸アニオン、フェノールアニオン、リン酸アニオンおよび硫酸アニオンから選ばれる1種が好ましく、塩の安定性と熱分解性を両立させられるという理由からカルボン酸アニオンがより好ましい。すなわち、アンモニウム塩は、アンモニウムカチオンとカルボン酸アニオンとの塩がより好ましい。
カルボン酸アニオンは、2個以上のカルボキシル基を持つ2価以上のカルボン酸のアニオンが好ましく、2価のカルボン酸のアニオンがより好ましい。
本発明において、カルボン酸アニオンは、pKa1が4以下のカルボン酸のアニオンであることが好ましい。pKa1は、3.5以下がより好ましく、3.2以下が更に好ましい。
ここでpKa1とは、酸の第一解離定数の逆数の対数を表し、Determination of Organic Structures by Physical Methods(著者:Brown, H. C., McDaniel, D. H., Hafliger, O., Nachod, F. C.; 編纂:Braude, E. A., Nachod, F. C.; Academic Press, New
York, 1955)や、Data for Biochemical Research(著者:Dawson, R.M.C.et al; Oxford, Clarendon Press, 1959)に記載の値を参照することができる。これらの文献に記載の無い化合物については、ACD/pKa(ACD/Labs製)のソフトを用いて構造式より算出した値を用いることとする。
The ammonium salt preferably has an anion having a pKa1 of 0 to 4 and an ammonium cation. The upper limit of pKa1 of the anion is more preferably 3.5 or less, and even more preferably 3.2 or less. The lower limit is preferably 0.5 or more, and more preferably 1.0 or more.
The type of anion is preferably one selected from carboxylic acid anion, phenol anion, phosphate anion and sulfate anion, and more preferably carboxylic acid anion because both salt stability and thermal decomposability can be achieved. That is, the ammonium salt is more preferably a salt of an ammonium cation and a carboxylic acid anion.
The carboxylic acid anion is preferably a divalent or higher carboxylic acid anion having two or more carboxyl groups, and more preferably a divalent carboxylic acid anion.
In the present invention, the carboxylic acid anion is preferably an anion of a carboxylic acid having a pKa1 of 4 or less. The pKa1 is more preferably 3.5 or less, and even more preferably 3.2 or less.
Here, pKa1 represents the logarithm of the reciprocal of the first dissociation constant of the acid, and is Determination of Organic Structures by Physical Methods (author: Brown, HC, McDaniel, D.H., Hafliger, O.H., Hafliger, O. F.C .; Compilation: Braude, E.A., Nachod, F.C .; Academic Press, New
You can refer to the values described in York, 1955) and Data for Biochemical Research (authors: Dawson, RMC et al; Oxford, Clarendon Press, 1959). For compounds not described in these documents, the values calculated from the structural formulas using software of ACD / pKa (manufactured by ACD / Labs) shall be used.

本発明において、カルボン酸アニオンは、下記一般式(X1)で表されることが好ましい。

上記一般式(X1)において、EWGは、電子吸引性基を表す。
In the present invention, the carboxylic acid anion is preferably represented by the following general formula (X1).

In the above general formula (X1), EWG represents an electron-withdrawing group.

電子吸引性基とは、ハメットの置換基定数σmが正の値を示すものを意味する。ここでσmは、都野雄甫による総説、有機合成化学協会誌第23巻第8号(1965)P.631−642に詳しく説明されている。なお、本発明の電子吸引性基は、上記文献に記載された置換基に限定されるものではない。
σmが正の値を示す置換基の例としては例えば、CF3基(σm=0.43)、CF3CO基(σm=0.63)、HC≡C基(σm=0.21)、CH2=CH基(σm=0.06)、Ac基(σm=0.38)、MeOCO基(σm=0.37)、MeCOCH=CH基(σm=0.21)、PhCO基(σm=0.34)、および、H2NCOCH2基(σm=0.06)などが挙げられる。なお、Meはメチル基を表し、Acはアセチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
The electron-withdrawing group means that the substituent constant σm of Hammett shows a positive value. Here, σm is a review by Yusuke Tono, Journal of Synthetic Organic Chemistry, Vol. 23, No. 8 (1965), p. It is described in detail in 631-642. The electron-withdrawing group of the present invention is not limited to the substituents described in the above documents.
Examples of substituents in which σm shows a positive value include CF 3 group (σm = 0.43), CF 3 CO group (σm = 0.63), HC≡C group (σm = 0.21), and the like. CH 2 = CH group (σm = 0.06), Ac group (σm = 0.38), MeOCO group (σm = 0.37), MeCOCH = CH group (σm = 0.21), PhCO group (σm = 0.34), two H 2 NCOCH groups (σm = 0.06) and the like can be mentioned. In addition, Me represents a methyl group, Ac represents an acetyl group, and Ph represents a phenyl group.

EWGは、下記一般式(EWG−1)〜(EWG−6)で表される基を表すことが好ましい。

式中、Rx1〜Rx3は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヒドロキシル基またはカルボキシル基を表し、Arは芳香族環基を表す。
アルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10が更に好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。アルキル基が有してもよい置換基(以下、「置換基群A」ともいう。)としては、例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等のハロゲン原子;メトキシ基、エトキシ基及びtert−ブトキシ基等のアルコキシ基;フェノキシ基及びp−トリルオキシ基等のアリールオキシ基;メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基及びフェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基;アセトキシ基、プロピオニルオキシ基及びベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基;アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基及びメトキサリル基等のアシル基;メチルスルファニル基及びtert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基;フェニルスルファニル基及びp−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基;メチル基、エチル基、tert−ブチル基及びドデシル基等のアルキル基;フッ化アルキル等のハロゲン化アルキル;シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、アダマンチル基等のシクロアルキル基;フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基及びフェナントリル基等のアリール基;ヒドロキシル基;カルボキシル基;ホルミル基;スルホン酸基;シアノ基;アルキルアミノカルボニル基;アリールアミノカルボニル基;スルホンアミド基;シリル基;アミノ基;モノアルキルアミノ基;ジアルキルアミノ基;アリールアミノ基;ジアリールアミノ基;チオキシ基;又はこれらの組み合わせが挙げられる。なかでも、カルボキシル基が好ましい。
アルケニル基の炭素数は、2〜30が好ましく、2〜20がより好ましく、2〜10が更に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニル基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。置換基としては、カルボキシル基が好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が更に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。置換基としては、カルボキシル基が好ましい。
芳香族環基としては、具体的には、置換または無置換のベンゼン環、ナフタレン環、ペンタレン環、インデン環、アズレン環、ヘプタレン環、インデセン環、ペリレン環、ペンタセン環、アセタフタレン環、フェナントレン環、アントラセン環、ナフタセン環、クリセン環、トリフェニレン環、フルオレン環、ビフェニル環、ピロール環、フラン環、チオフェン環、イミダゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、インドリジン環、インドール環、ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、イソベンゾフラン環、キノリジン環、キノリン環、フタラジン環、ナフチリジン環、キノキサリン環、キノキサゾリン環、イソキノリン環、カルバゾール環、フェナントリジン環、アクリジン環、フェナントロリン環、チアントレン環、クロメン環、キサンテン環、フェノキサチイン環、フェノチアジン環、および、フェナジン環が挙げられる。中でも、保存安定性と高感度化の観点から、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェノチアジン環、またはカルバゾール環が好ましく、ベンゼン環またはナフタレン環が最も好ましい。
芳香族環基が有していてもよい置換基の例としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。置換基としては、カルボキシル基が好ましい。
The EWG preferably represents a group represented by the following general formulas (EWG-1) to (EWG-6).

In the formula, R x1 to R x3 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, a hydroxyl group or a carboxyl group, and Ar represents an aromatic ring group.
The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 30, more preferably 1 to 20, and even more preferably 1 to 10. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, preferably linear or branched, more preferably linear. The alkyl group may have a substituent or may be unsubstituted. Substituents that the alkyl group may have (hereinafter, also referred to as “substituent group A”) include halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom; methoxy group, ethoxy group and tert. -Alkyl groups such as butoxy groups; aryloxy groups such as phenoxy groups and p-tolyloxy groups; alkoxycarbonyl groups such as methoxycarbonyl groups, butoxycarbonyl groups and phenoxycarbonyl groups; acetoxy groups, propionyloxy groups and benzoyloxy groups Acyloxy group; Acyl group such as acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group, methacryloyl group and methoxalyl group; alkylsulfanyl group such as methylsulfanyl group and tert-butylsulfanyl group; phenylsulfanyl group and p-tolylsulfonyl group etc. Alkyl sulfanyl group; alkyl group such as methyl group, ethyl group, tert-butyl group and dodecyl group; alkyl halide such as alkyl fluoride; cycloalkyl group such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, adamantyl group; Aryl groups such as phenyl group, p-tolyl group, xsilyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group and phenanthryl group; hydroxyl group; carboxyl group; formyl group; sulfonic acid group; cyano group; alkylaminocarbonyl group; arylamino Carbonyl group; sulfonamide group; silyl group; amino group; monoalkylamino group; dialkylamino group; arylamino group; diarylamino group; thioxy group; or a combination thereof. Of these, a carboxyl group is preferable.
The alkenyl group preferably has 2 to 30 carbon atoms, more preferably 2 to 20 carbon atoms, and even more preferably 2 to 10 carbon atoms. The alkenyl group may be linear, branched, or cyclic, preferably linear or branched, more preferably linear. The alkenyl group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A. As the substituent, a carboxyl group is preferable.
The aryl group preferably has 6 to 30 carbon atoms, more preferably 6 to 20 carbon atoms, and even more preferably 6 to 12 carbon atoms. The aryl group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A. As the substituent, a carboxyl group is preferable.
Specific examples of the aromatic ring group include substituted or unsubstituted benzene ring, naphthalene ring, pentalene ring, inden ring, azulene ring, heptalene ring, indecene ring, perylene ring, pentacene ring, acetaphthalene ring, and phenanthrene ring. Anthracene ring, naphthalene ring, chrysene ring, triphenylene ring, fluorene ring, biphenyl ring, pyrrole ring, furan ring, thiophene ring, imidazole ring, oxazole ring, thiazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyrimidine ring, pyridazine ring, indridin Ring, indole ring, benzofuran ring, benzothiophene ring, isobenzofuran ring, quinolidine ring, quinoline ring, phthalazine ring, naphthylidine ring, quinoxaline ring, quinoxazoline ring, isoquinoline ring, carbazole ring, phenanthrene ring, acrydin ring, phenanthrene ring , Thiantrene ring, chromene ring, xanthene ring, phenoxatiin ring, phenothiazine ring, and phenazine ring. Among them, from the viewpoint of storage stability and high sensitivity, a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenothiazine ring, or a carbazole ring is preferable, and a benzene ring or a naphthalene ring is most preferable.
Examples of the substituents that the aromatic ring group may have include those described as the above-mentioned Substituent Group A. As the substituent, a carboxyl group is preferable.

カルボン酸アニオンは、下記一般式(X)で表されることが好ましい。

一般式(X)において、L10は、単結合、または、アルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基、−NR−およびこれらの組み合わせから選ばれる2価の連結基を表し、Rは、水素原子、アルキル基、アルケニル基またはアリール基を表す。
The carboxylic acid anion is preferably represented by the following general formula (X).

In the general formula (X), L 10 represents a single bond or an alkylene group, an alkenylene group, an arylene group, -NR X - represents and divalent linking group selected from these combinations, R X is a hydrogen atom , Alkyl group, alkenyl group or aryl group.

10が表すアルキレン基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10が更に好ましい。アルキレン基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
10が表すアルケニレン基の炭素数は、2〜30が好ましく、2〜20がより好ましく、2〜10が更に好ましい。アルケニレン基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
10が表すアリーレン基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が更に好ましい。アリーレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
The carbon number of the alkylene group represented by L 10 is preferably 1 to 30, more preferably 1 to 20, and even more preferably 1 to 10. The alkylene group may be linear, branched, or cyclic, preferably straight or branched, more preferably straight. The alkylene group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.
The number of carbon atoms of the alkenylene group represented by L 10 is preferably 2 to 30, more preferably 2 to 20, and even more preferably 2 to 10. The alkenylene group may be linear, branched, or cyclic, preferably linear or branched, more preferably linear. The alkenylene group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.
The carbon number of the arylene group represented by L 10 is preferably 6 to 30, more preferably 6 to 20, and even more preferably 6 to 12. The arylene group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.

が表すアルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10が更に好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
が表すアルケニル基の炭素数は、2〜30が好ましく、2〜20がより好ましく、2〜10が更に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニル基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
が表すアリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が更に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
Number of carbon atoms of the alkyl group R X represents preferably 1 to 30, more preferably from 1 to 20, 1 to 10 is more preferable. The alkyl group may be linear, branched, or cyclic, preferably straight or branched, more preferably straight. The alkyl group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.
The number of carbon atoms of the alkenyl group R X represents preferably 2 to 30, more preferably from 2 to 20, more preferably 2 to 10. The alkenyl group may be linear, branched, or cyclic, preferably linear or branched, more preferably linear. The alkenyl group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.
R X number of carbon atoms of the aryl group represented by is preferably 6 to 30, more preferably 6 to 20, 6 to 12 is more preferable. The aryl group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.

カルボン酸アニオンの具体例としては、マレイン酸アニオン、フタル酸アニオン、N−フェニルイミノ二酢酸アニオンおよびシュウ酸アニオンが挙げられる。これらを好ましく用いることができる。 Specific examples of the carboxylic acid anion include maleic acid anion, phthalate anion, N-phenyliminodiacetic acid anion and oxalate anion. These can be preferably used.

アンモニウムカチオンは、下記一般式(Y1−1)〜(Y1−6)のいずれかで表されることが好ましい。
The ammonium cation is preferably represented by any of the following general formulas (Y1-1) to (Y1-6).

上記一般式において、R101は、n価の有機基を表し、
102〜R111は、それぞれ独立に水素原子、または、炭化水素基を表し、
150およびR151は、それぞれ独立に炭化水素基を表し、
104とR105、R104とR150、R107とR108、および、R109とR110は、互いに結合して環を形成していてもよく、
Ar101およびAr102は、それぞれ独立に、アリール基を表し、
nは、1以上の整数を表し、
mは、0〜5の整数を表す。
In the above general formula, R 101 represents an n-valent organic group.
R 102 to R 111 independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group, respectively.
R 150 and R 151 each independently represent a hydrocarbon group.
R 104 and R 105 , R 104 and R 150 , R 107 and R 108 , and R 109 and R 110 may be coupled to each other to form a ring.
Ar 101 and Ar 102 each independently represent an aryl group.
n represents an integer of 1 or more
m represents an integer from 0 to 5.

101は、n価の有機基を表す。1価の有機基としては、アルキル基、アルキレン基、芳香族環基などが挙げられる。2価以上の有機基としては、1価の有機基から水素原子を1個以上除いてn価の基としたものが挙げられる。
101は、芳香族環基であることが好ましい。芳香族環基の具体例としては、後述するAr10で説明したものが挙げられる。
R 101 represents an n-valent organic group. Examples of the monovalent organic group include an alkyl group, an alkylene group, and an aromatic ring group. Examples of the divalent or higher organic group include a monovalent organic group obtained by removing one or more hydrogen atoms to obtain an n-valent group.
R 101 is preferably an aromatic ring group. Specific examples of the aromatic ring group include those described in Ar 10 described later.

102〜R111は、それぞれ独立に水素原子、または、炭化水素基を表し、R150およびR151は、それぞれ独立に炭化水素基を表す。
102〜R111、およびR151が表す炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基またはアリール基が好ましい。アルキル基、アルケニル基およびアリール基はさらに置換基を有していてもよい。
150が表す炭化水素基としては、アルキレン基が挙げられる。なお、アルキレン基はさらに置換基を有していてもよい。なお、置換基としては、上述の置換基群Aとして説明したものが挙げられる。
R 102 to R 111 independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group, and R 150 and R 151 each independently represent a hydrocarbon group.
As the hydrocarbon group represented by R 102 to R 111 and R 151 , an alkyl group, an alkenyl group or an aryl group is preferable. The alkyl group, alkenyl group and aryl group may further have a substituent.
Examples of the hydrocarbon group represented by R 150 include an alkylene group. The alkylene group may further have a substituent. Examples of the substituent include those described as the above-mentioned Substituent Group A.

アルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましく、1〜10が更に好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。
アルケニル基の炭素数は、2〜30が好ましく、2〜20がより好ましく、2〜10が更に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、および、環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニル基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が更に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。
The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 30, more preferably 1 to 20, and even more preferably 1 to 10. The alkyl group may be linear, branched, or cyclic, preferably straight or branched, more preferably straight. The alkyl group may have a substituent or may be unsubstituted.
The alkenyl group preferably has 2 to 30 carbon atoms, more preferably 2 to 20 carbon atoms, and even more preferably 2 to 10 carbon atoms. The alkenyl group may be linear, branched, or cyclic, preferably linear or branched, more preferably linear. The alkenyl group may have a substituent or may be unsubstituted.
The aryl group preferably has 6 to 30 carbon atoms, more preferably 6 to 20 carbon atoms, and even more preferably 6 to 12 carbon atoms. The aryl group may have a substituent or may be unsubstituted.

Ar101およびAr102は、それぞれ独立に、アリール基を表す。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がより好ましく、6〜12が更に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。
Ar 101 and Ar 102 each independently represent an aryl group.
The aryl group preferably has 6 to 30 carbon atoms, more preferably 6 to 20 carbon atoms, and even more preferably 6 to 12 carbon atoms. The aryl group may have a substituent or may be unsubstituted.

104とR105、R104とR150、R107とR108、および、R109とR110は、互いに結合して環を形成していてもよい。環としては、脂環(非芳香性の炭化水素環)、芳香族環、および、複素環などが挙げられる。環は単環であってもよく、複環であってもよい。上記の基が結合して環を形成する場合の連結基としては、−CO−、−O−、−NH−、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基およびそれらの組み合わせからなる群より選ばれる2価の連結基で連結することができる。具体例としては、例えば、ピロリジン環、ピロール環、ピペリジン環、ピリジン環、イミダゾール環、ピラゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピラジン環、モルホリン環、チアジン環、インドール環、イソインドール環、ベンゾイミダゾール環、プリン環、キノリン環、イソキノリン環、キノキサリン環、シンノリン環、および、カルバゾール環、などが挙げられる。R 104 and R 105 , R 104 and R 150 , R 107 and R 108 , and R 109 and R 110 may be coupled to each other to form a ring. Examples of the ring include an alicyclic ring (non-aromatic hydrocarbon ring), an aromatic ring, and a heterocycle. The ring may be a single ring or a double ring. When the above groups are bonded to form a ring, the linking group comprises -CO-, -O-, -NH-, a divalent aliphatic group, a divalent aromatic ring group and a combination thereof. It can be linked with a divalent linking group selected from the group. Specific examples include, for example, pyrrolidine ring, pyrrole ring, piperidine ring, pyridine ring, imidazole ring, pyrazole ring, oxazole ring, thiazole ring, pyrazine ring, morpholine ring, thiazine ring, indole ring, isoindole ring, benzimidazole ring. , Pyrazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, quinoxalin ring, cinnoline ring, carbazole ring, and the like.

アンモニウムカチオンは、一般式(Y1−1)または(Y1−2)で表される構造が好ましく、一般式(Y1−1)または(Y1−2)で表され、R101が芳香族環基である構造がより好ましく、一般式(Y1−1)で表され、R101が芳香族環基である構造が特に好ましい。The ammonium cation preferably has a structure represented by the general formula (Y1-1) or (Y1-2), is represented by the general formula (Y1-1) or (Y1-2), and R 101 is an aromatic ring group. A certain structure is more preferable, and a structure represented by the general formula (Y1-1) in which R 101 is an aromatic ring group is particularly preferable.

上記熱塩基発生剤は、1種を単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。2種以上の熱塩基発生剤を組み合わせて用いる場合、その組み合わせ態様は、硬化性組成物に要求される物性等、例えば基材との密着性等に応じて適宜設定することができる。また、後述する光塩基発生剤と組み合わせて用いてもよい。 The above thermal base generator may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of thermobase generators are used in combination, the combination mode can be appropriately set according to the physical properties required for the curable composition, for example, the adhesion to the substrate. Further, it may be used in combination with a photobase generator described later.

本発明の硬化性組成物における熱塩基発生剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、0.1〜15質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましく、2〜7質量%がさらに好ましい。なお、2種以上の塩基発生剤を組み合わせて用いる場合、それぞれの含有量の合計が、上記範囲内であることが好ましい。 The content of the thermobase generator in the curable composition of the present invention is preferably 0.1 to 15% by mass, more preferably 1 to 10% by mass, based on the total solid content in the curable composition. It is more preferably ~ 7% by mass. When two or more kinds of base generators are used in combination, the total content of each is preferably within the above range.

<光塩基発生剤>
本発明の硬化性組成物はより優れた本発明の効果を有する点で、光塩基発生剤を含有することが好ましい。光塩基発生剤としては特に限定されず、その具体例としては、例えば、特開2015−087612号公報の段落0207〜0238、特開2008−247747号公報の段落0026〜0039、および、国際公開第2010/064631号の段落0009〜0052の記載を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。また、国際公開第2009/122664号の段落0018〜0105の記載、特許第5223633号の段落0025〜0072の記載を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。また、特開2015−28540号公報の段落0053〜0070の記載にあるイオン性光塩基発生剤であってもよく、この内容は本願明細書に組み込まれる。
<Photobase generator>
The curable composition of the present invention preferably contains a photobase generator in that it has more excellent effects of the present invention. The photobase generator is not particularly limited, and specific examples thereof include paragraphs 0207 to 0238 of JP2015-087612, paragraphs 0026 to 0039 of JP2008-247747, and International Publication No. The description of paragraphs 0009 to 0052 of 2010/064631 can be taken into consideration, the contents of which are incorporated herein by reference. Further, the description of paragraphs 0018 to 0105 of International Publication No. 2009/122664 and the description of paragraphs 0025 to 0072 of Japanese Patent No. 5223633 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. Further, the ionic photobase generator described in paragraphs 0053 to 0070 of JP-A-2015-28540 may be used, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

光塩基発生剤としては、硬化膜が優れた低反射性を有する点で、光でアミンを放出する化合物が好ましい。例えば、特開2013−80206号記載の光塩基発生剤が好ましく、この内容は本願明細書に組み込まれる。 As the photobase generator, a compound that emits amine by light is preferable because the cured film has excellent low reflectivity. For example, the photobase generator described in JP2013-80206 is preferable, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

光塩基発生剤の市販品としては、特に限定されないが、和光純薬工業(株)のWPBGシリーズ「WPBG−082」、「WPBG−167」、「WPBG−168」、「WPBG−018」、「WPBG−027」、「WPBG−140」等を使用することもできる。硬化膜が優れた低反射性を有する点で、「WPBG−018」「WPBG−027」を好ましく用いることができる。 The commercially available photobase generator is not particularly limited, but Wako Pure Chemical Industries, Ltd.'s WPBG series "WPBG-082", "WPBG-167", "WPBG-168", "WPBG-018", "" WPBG-027 "," WPBG-140 "and the like can also be used. "WPBG-018" and "WPBG-027" can be preferably used because the cured film has excellent low reflectivity.

光塩基発生剤としては、硬化膜が優れた低反射性を有する点で、下記一般式(PBG)で表される光塩基発生剤が好ましい。 As the photobase generator, a photobase generator represented by the following general formula (PBG) is preferable because the cured film has excellent low reflectivity.

上記一般式(PEG)中、RおよびRはそれぞれ独立に水素原子または1価の有機基を表し、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、芳香族炭化水素基、脂肪族炭化水素基、または、これらの組み合わせであることが好ましく、例えば、アルキル基およびアリール基などが挙げられる。中でも、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、RおよびRは、アルキル基が好ましく、炭素数1〜9の直鎖状または分岐鎖状のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜4の直鎖状または分岐鎖状のアルキル基がさらに好ましく、メチル基、エチル基、イソプロピル基がとくに好ましく、メチル基がもっとも好ましい。
また、RおよびRは互いに結合して環を形成してもよい。RおよびRが互いに結合して形成される環状アミノ基としては、たとえば、1−アジリジニル基、1−アゼチジニル基、1−ピロリジニル基、1−ピペリジニル基、1−ヘキサメチレンイミノ基、1−ヘプタメチレンイミノ基、1−オクタメチレンイミノ基、1−ノナメチレンイミノ基、1−1−イミダゾリル基、4,5−ジヒドロ−1−イミダゾリル基、1−ピロリル基、1−ピラゾリル基、1−イミダゾリジニル基、1−ピペラジニル基、および、モルホリノ基などが挙げられる。なかでも、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、不飽和結合を有さない炭素数2〜9の環状アミノ基が好ましく、1−アジリジニル基、1−アゼチジニル基、1−ピロリジニル基、または、1−ピペリジニル基がより好ましく、1−ピロリジニル基がさらに好ましい。
In the above general formula (PEG), Ra and R b independently represent hydrogen atoms or monovalent organic groups, respectively, and aromatic hydrocarbon groups and aliphatic groups in that the cured film has better low reflectivity. It is preferably a hydrocarbon group or a combination thereof, and examples thereof include an alkyl group and an aryl group. Among them, Ra and R b are preferably alkyl groups, more preferably linear or branched alkyl groups having 1 to 9 carbon atoms, and have more carbon atoms, in that the cured film has more excellent low reflectivity. 1 to 4 linear or branched alkyl groups are more preferable, methyl groups, ethyl groups and isopropyl groups are particularly preferable, and methyl groups are most preferable.
Further, Ra and R b may be combined with each other to form a ring. Examples of the cyclic amino group formed by bonding Ra and R b to each other include 1-aziridinyl group, 1-azetidinyl group, 1-pyrrolidinyl group, 1-piperidinyl group, 1-hexamethyleneimino group and 1-. Heptamethylene imino group, 1-octamethylene imino group, 1-nonamethylene imino group, 1-1-imidazolyl group, 4,5-dihydro-1-imidazolyl group, 1-pyrrolyl group, 1-pyrazolyl group, 1-imidazolidinyl Examples include a group, a 1-piperazinyl group, a morpholino group and the like. Among them, a cyclic amino group having 2 to 9 carbon atoms having no unsaturated bond is preferable because the cured film has more excellent low reflectivity, and a 1-aziridinyl group, a 1-azetidinyl group, and a 1-pyrrolidinyl group are preferable. , Or a 1-piperidinyl group is more preferred, and a 1-pyrrolidinyl group is even more preferred.

上記一般式(PBG)中、Arはアリール基またはヘテロアリール基を表す。アリール基およびヘテロアリール基はさらに1価の有機基を置換基として有していてもよい。なかでも、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、Arは縮環構造を有するアリール基またはヘテロアリール基であることが好ましい。硬化膜がさらに優れた低反射性を有する点で、Arの縮環数は2〜5が好ましく、3〜4がより好ましい。このとき、縮環にはヘテロ環を含んでもよく、各縮環は、置換基として1価の有機基を1つ以上有していてもよい。また、上述の縮環構造はπ共役系であることがさらに好ましい。縮環構造がπ共役系である場合、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有し、光ラジカル重合開始剤と競合的に反応するため、優れた低反射性を有する硬化膜が得られやすい。好ましいArの具体的態様としては、以下の一般式(CR1)〜(CR5)が挙げられ、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、一般式(CR1)〜(CR4)がより好ましく、一般式(CR1)〜(CR3)がさらに好ましい。なお、式中*は結合位置を示し、各環は置換基として1価の有機基を1つ以上有していてもよい。In the above general formula (PBG), Ar a represents an aryl group or a heteroaryl group. The aryl group and the heteroaryl group may further have a monovalent organic group as a substituent. Among them, Ar a is preferably an aryl group or a heteroaryl group having a condensed ring structure in that the cured film has more excellent low reflectivity. The number of fused rings of Ar a is preferably 2 to 5, and more preferably 3 to 4, in that the cured film has more excellent low reflectivity. At this time, the condensed ring may contain a heterocycle, and each condensed ring may have one or more monovalent organic groups as substituents. Further, it is more preferable that the condensed ring structure described above is a π-conjugated system. When the condensed ring structure is a π-conjugated system, it has a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 350 nm to 500 nm and reacts competitively with the photoradical polymerization initiator, so that a cured film having excellent low reflectivity can be obtained. Cheap. Specific embodiments of Preferable Ar a include the following general formulas (CR1) to (CR5), and the general formulas (CR1) to (CR4) are more preferable in that the cured film has better low reflectivity. Preferably, the general formulas (CR1) to (CR3) are more preferable. In the formula, * indicates a bond position, and each ring may have one or more monovalent organic groups as substituents.

上記光塩基発生剤に上述の所定の波長の光が照射されると、光塩基発生剤が分解し、塩基が生じる。発生する塩基は、より優れた低反射性を有する硬化膜を作製することができる点で、アミン化合物であることが好ましい。アミン化合物としては、第1級アミン、第2級アミン、および、第3級アミンが挙げられ、第1級アミン、または、第2アミンであることが好ましい。
なお、光塩基発生剤として一般式(PBG)で表される光塩基発生剤を用いた場合、下記一般式(BA)で表される第1級アミンまたは第2級アミンが塩基として発生する。この光塩基発生剤から発生する塩基の分子量は、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、150以下であることが好ましく、100以下であることがより好ましく、70以下であることがさらに好ましい。このメカニズムは定かではないが、分子量が低く、拡散し易い塩基が発生し、塗膜中を拡散することで、上側領域と下側領域で重合性化合物の重合反応の速度および/または進行度合いに差が生じる。そのため、上側領域と下側領域で硬化収縮により生じる応力が異なるため、上側領域に微細なシワが発生し、これが硬化膜の低反射性に寄与しているものと推測される。
なお、本明細書において、塩基の分子量とは、構造式から算出できる分子量を意味する。
When the photobase generator is irradiated with light having the above-mentioned predetermined wavelength, the photobase generator is decomposed to generate a base. The generated base is preferably an amine compound in that a cured film having better low reflectivity can be produced. Examples of the amine compound include a primary amine, a secondary amine, and a tertiary amine, and a primary amine or a secondary amine is preferable.
When a photobase generator represented by the general formula (PBG) is used as the photobase generator, a primary amine or a secondary amine represented by the following general formula (BA) is generated as a base. The molecular weight of the base generated from this photobase generator is preferably 150 or less, more preferably 100 or less, and more preferably 70 or less in that the cured film has better low reflectivity. More preferred. Although the mechanism is not clear, a base having a low molecular weight and easily diffusing is generated, and by diffusing in the coating film, the rate and / or the degree of progress of the polymerization reaction of the polymerizable compound in the upper region and the lower region is determined. There is a difference. Therefore, since the stress generated by the curing shrinkage differs between the upper region and the lower region, it is presumed that fine wrinkles are generated in the upper region, which contributes to the low reflectivity of the cured film.
In addition, in this specification, the molecular weight of a base means the molecular weight which can be calculated from the structural formula.

上記一般式(BA)中、RおよびRは一般式(PBG)中の定義と同様である。In the above general formula (BA), Ra and R b are the same as the definitions in the general formula (PBG).

光塩基発生剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
2種以上の光塩基発生剤を組み合わせて用いる場合、その組み合わせ態様は、硬化性組成物に要求される物性等、例えば基材との密着性等に応じて適宜設定することができる。
本発明の硬化性組成物における光塩基発生剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、0.1〜15質量%が好ましく、1〜10質量%がより好ましく、2〜7質量%がさらに好ましい。なお、2種以上の光塩基発生剤を組み合わせて用いる場合、それぞれの含有量の合計が、上記範囲内であることが好ましい。
The photobase generator may be used alone or in combination of two or more.
When two or more kinds of photobase generators are used in combination, the combination mode can be appropriately set according to the physical properties required for the curable composition, for example, the adhesion to the substrate.
The content of the photobase generator in the curable composition of the present invention is preferably 0.1 to 15% by mass, more preferably 1 to 10% by mass, based on the total solid content in the curable composition. It is more preferably ~ 7% by mass. When two or more kinds of photobase generators are used in combination, the total content of each is preferably within the above range.

光塩基発生剤の含有量は、後述する分散剤の含有量との関係で、分散剤に対する光塩基発生剤の質量比(光塩基発生剤の質量/分散剤の質量)が0.05〜0.7である場合が多く、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、0.08〜0.5であることが好ましい。 The content of the photobase generator is such that the mass ratio of the photobase generator to the dispersant (mass of the photobase generator / mass of the dispersant) is 0.05 to 0 in relation to the content of the dispersant described later. In many cases, it is 0.7, and it is preferably 0.08 to 0.5 in that the cured film has better low reflectivity.

〔分散剤〕
本発明の硬化性組成物は、分散剤を含有する。分散剤は着色剤、および、光塩基発生剤(以下、「被分散体」という。)の分散性向上に寄与する。
[Dispersant]
The curable composition of the present invention contains a dispersant. The dispersant contributes to improving the dispersibility of the colorant and the photobase generator (hereinafter, referred to as “dispersed body”).

分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤を適宜選択して用いることができる。なかでも、高分子化合物が好ましい。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、および、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子化合物は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、およびブロック型高分子に分類することができる。
As the dispersant, for example, a known pigment dispersant can be appropriately selected and used. Of these, polymer compounds are preferable.
Dispersants include polymer dispersants [for example, polyamide amines and their salts, polycarboxylic acids and their salts, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified poly (meth) acrylates, (meth) acrylics. Copolymer, naphthalene sulfonic acid formarin condensate], polyoxyethylene alkyl phosphate, polyoxyethylene alkyl amine, pigment derivative and the like can be mentioned.
Polymer compounds can be further classified into linear polymers, terminally modified polymers, graft-type polymers, and block-type polymers based on their structures.

高分子化合物は、被分散体および所望により併用する体質顔料等との相互作用性を有する。そのため、高分子化合物は、被分散体の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、着色剤表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、および、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。着色剤表面へのアンカー部位は、酸基または水酸基が好ましく、酸基がより好ましく、着色剤の分散安定性が良好で、現像が良好でパターン形成性に優れる観点から、カルボキシル基が特に好ましい。
一方で、チタンブラックや、上記したチタンブラックおよびSi原子を含む被分散体の表面を改質することにより、これらに対する高分子化合物の吸着性を促進させることもできる。
The polymer compound has an interaction with a dispersion to be dispersed and an extender pigment or the like to be used in combination if desired. Therefore, the polymer compound is adsorbed on the surface of the dispersion to be dispersed and acts to prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer having an anchor site on the surface of the colorant, a graft polymer, and a block polymer can be mentioned as preferable structures. The anchor site on the surface of the colorant is preferably an acid group or a hydroxyl group, more preferably an acid group, good dispersion stability of the colorant, good development, and excellent pattern formation, and a carboxyl group is particularly preferable.
On the other hand, by modifying the surface of titanium black or the above-mentioned titanium black and the dispersion to be dispersed containing Si atoms, the adsorptivity of the polymer compound to these can be promoted.

高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位を有することが好ましい。なお、本明細書において、「構造単位」とは「繰り返し単位」と同義である。
このようなグラフト鎖を有する構造単位を有する高分子化合物は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、被分散体の分散性、および、経時後の分散安定性に優れるものである。また、硬化性組成物においては、グラフト鎖の存在により重合性化合物またはその他の併用可能な樹脂などとの親和性を有するので、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり分散性は向上するが、一方グラフト鎖が長すぎると被分散体への吸着力が低下して分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が40〜10000の範囲であるものが好ましく、水素原子を除いた原子数が50〜2000であるものがより好ましく、水素原子を除いた原子数が60〜500であるものがさらに好ましい。
ここで、グラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元(主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子)から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。
The polymer compound preferably has a structural unit having a graft chain. In addition, in this specification, "structural unit" is synonymous with "repeating unit".
A polymer compound having a structural unit having such a graft chain has an affinity with a solvent due to the graft chain, and therefore has excellent dispersibility of the dispersant and dispersion stability after aging. Further, in the curable composition, the presence of the graft chain has an affinity with a polymerizable compound or other resin that can be used in combination, so that a residue is less likely to be generated by alkaline development.
When the graft chain is long, the steric repulsion effect is high and the dispersibility is improved, while when the graft chain is too long, the adsorption force to the disperse is lowered and the dispersibility tends to be lowered. Therefore, the graft chain preferably has an atomic number in the range of 40 to 10,000 excluding hydrogen atoms, more preferably 50 to 2000 atoms excluding hydrogen atoms, and atoms excluding hydrogen atoms. Those having a number of 60 to 500 are more preferable.
Here, the graft chain indicates from the root of the main chain of the copolymer (atom bonded to the main chain in the group branched from the main chain) to the end of the group branched from the main chain.

グラフト鎖は、ポリマー構造を有することが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリアクリレート構造(例えば、ポリ(メタ)アクリル構造)、ポリエステル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、および、ポリエーテル構造などを挙げることができる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより着色剤の分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造およびポリアクリレート構造からなる群から選ばれた少なくとも1種を有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル構造およびポリエーテル構造の少なくともいずれかを有するグラフト鎖であることがより好ましい。
The graft chain preferably has a polymer structure, and such polymer structures include, for example, a polyacrylate structure (for example, a poly (meth) acrylic structure), a polyester structure, a polyurethane structure, a polyurea structure, a polyamide structure, and the like. A polyether structure and the like can be mentioned.
In order to improve the interoperability between the graft chain and the solvent, thereby increasing the dispersibility of the colorant, the graft chain shall be at least one selected from the group consisting of polyester structure, polyether structure and polyacrylate structure. It is preferably a graft chain having, and more preferably a graft chain having at least one of a polyester structure and a polyether structure.

このようなポリマー構造をグラフト鎖として有するマクロモノマーとしては、特に限定されないが、好ましくは、反応性二重結合性基を有するマクロモノマーを好適に使用することができる。 The macromonomer having such a polymer structure as a graft chain is not particularly limited, but preferably a macromonomer having a reactive double bond group can be preferably used.

高分子化合物が有するグラフト鎖を有する構造単位に対応し、高分子化合物の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA−6(商品名、東亜合成(株))、AA−10(商品名、東亜合成(株)製)、AB−6(商品名、東亜合成(株)製)、AS−6(商品名、東亜合成(株))、AN−6(商品名、東亜合成(株)製)、AW−6(商品名、東亜合成(株)製)、AA−714(商品名、東亜合成(株)製)、AY−707(商品名、東亜合成(株)製)、AY−714(商品名、東亜合成(株)製)、AK−5(商品名、東亜合成(株)製)、AK−30(商品名、東亜合成(株)製)、AK−32(商品名、東亜合成(株)製)、ブレンマーPP−100(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPP−500(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPP−800(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPP−1000(商品名、日油(株)製)、ブレンマー55−PET−800(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPME−4000(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPSE−400(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPSE−1300(商品名、日油(株)製)、および、ブレンマー43PAPE−600B(商品名、日油(株)製)などが用いられる。このなかでも、好ましくは、AA−6(商品名、東亜合成(株)製)、AA−10(商品名、東亜合成(株))、AB−6(商品名、東亜合成(株)製)、AS−6(商品名、東亜合成(株))、AN−6(商品名、東亜合成(株)製)、および、ブレンマーPME−4000(商品名、日油(株)製)などが用いられる。 Commercially available macromonomers that correspond to the structural unit having the graft chain of the polymer compound and are preferably used for the synthesis of the polymer compound include AA-6 (trade name, Toa Synthesis Co., Ltd.) and AA-10 (AA-10). Product name, Toa Synthetic Co., Ltd.), AB-6 (Product name, Toa Synthetic Co., Ltd.), AS-6 (Product name, Toa Synthetic Co., Ltd.), AN-6 (Product name, Toa Synthetic Co., Ltd.) (Manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AW-6 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AA-714 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AY-707 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AY-714 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AK-5 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AK-30 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AK-32 (product name) Name, Toa Synthetic Co., Ltd., Blemmer PP-100 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PP-500 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), Brenmer PP-800 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) Nichiyu Co., Ltd.), Blemmer PP-1000 (trade name, Nissui Co., Ltd.), Blemmer 55-PET-800 (trade name, Nissui Co., Ltd.), Brenmer PME-4000 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) Blemmer PSE-400 (trade name, manufactured by Nissui Co., Ltd.), Blemmer PSE-1300 (trade name, manufactured by Nissui Co., Ltd.), and Blemmer 43PAPE-600B (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) Nichiyu Co., Ltd.) is used. Of these, preferably AA-6 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), AA-10 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), AB-6 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). , AS-6 (trade name, Toagosei Co., Ltd.), AN-6 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), and Blemmer PME-4000 (trade name, manufactured by Nichiyu Co., Ltd.), etc. Be done.

高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位として、下記一般式(1)〜一般式(4)のいずれかで表される構造単位を含むことが好ましく、下記一般式(1A)、下記一般式(2A)、一般式(3A)、一般式(3B)、および一般式(4)のいずれかで表される構造単位を含むことがより好ましい。 The polymer compound preferably contains a structural unit represented by any of the following general formulas (1) to (4) as a structural unit having a graft chain, and the following general formula (1A) and the following general formula (4). It is more preferable to include a structural unit represented by any one of (2A), the general formula (3A), the general formula (3B), and the general formula (4).

上記一般式(1)〜一般式(4)において、W、W、W、およびWはそれぞれ独立に酸素原子またはNHを表す。W、W、W、およびWは酸素原子であることが好ましい。
一般式(1)〜一般式(4)において、X、X、X、X、およびXは、それぞれ独立に、水素原子または1価の有機基を表す。X、X、X、X、およびXとしては、合成上の制約の観点からは、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜12のアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基であることがより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
In the above general formulas (1) to (4), W 1 , W 2 , W 3 and W 4 independently represent an oxygen atom or NH, respectively. W 1 , W 2 , W 3 and W 4 are preferably oxygen atoms.
In the general formulas (1) to (4), X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group. From the viewpoint of synthetic constraints, X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 are preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, respectively, and are independent of each other. In addition, a hydrogen atom or a methyl group is more preferable, and a methyl group is further preferable.

一般式(1)〜一般式(4)において、Y、Y、Y、およびYは、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Y、Y、Y、およびYで表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y−1)〜(Y−21)の連結基などが例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ、一般式(1)〜一般式(4)における左末端基、右末端基との結合位置を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y−2)または(Y−13)であることがより好ましい。In the general formulas (1) to (4), Y 1 , Y 2 , Y 3 and Y 4 each independently represent a divalent linking group, and the linking group is not particularly structurally restricted. Specific examples of the divalent linking group represented by Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 include the following linking groups (Y-1) to (Y-21). .. In the structure shown below, A and B mean the bonding positions with the left terminal group and the right terminal group in the general formulas (1) to (4), respectively. Of the structures shown below, (Y-2) or (Y-13) is more preferable because of the ease of synthesis.

一般式(1)〜一般式(4)において、Z、Z、Z、およびZは、それぞれ独立に1価の有機基を表す。有機基は、特に限定されないが、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、およびアミノ基などが挙げられる。これらの中でも、Z、Z、Z、およびZで表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を有するものが好ましく、各々独立に炭素数5から24のアルキル基またはアルコキシ基が好ましく、その中でも、特に各々独立に炭素数5から24の分岐アルキル基、炭素数5から24の環状アルキル基、または、炭素数5から24のアルコキシ基が好ましい。なお、アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。In the general formulas (1) to (4), Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 each independently represent a monovalent organic group. The organic group is not particularly limited, and specific examples thereof include an alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a heteroaryloxy group, an alkylthioether group, an arylthioether group, a heteroarylthioether group, and an amino group. Be done. Among these, as the organic group represented by Z 1 , Z 2 , Z 3 , and Z 4 , those having a steric repulsion effect are preferable from the viewpoint of improving dispersibility, and each of them has 5 to 24 carbon atoms independently. Of these, a branched alkyl group having 5 to 24 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 5 to 24 carbon atoms, or an alkoxy group having 5 to 24 carbon atoms are particularly preferable. The alkyl group contained in the alkoxy group may be linear, branched or cyclic.

一般式(1)〜一般式(4)において、n、m、p、およびqは、それぞれ独立に、1から500の整数である。
また、一般式(1)および一般式(2)において、jおよびkは、それぞれ独立に、2〜8の整数を表す。一般式(1)および一般式(2)におけるjおよびkは、分散安定性および現像性の観点から、4〜6の整数が好ましく、5がもっとも好ましい。
In the general formulas (1) to (4), n, m, p, and q are each independently an integer from 1 to 500.
Further, in the general formulas (1) and (2), j and k each independently represent an integer of 2 to 8. J and k in the general formula (1) and the general formula (2) are preferably integers of 4 to 6 and most preferably 5 from the viewpoint of dispersion stability and developability.

一般式(3)中、Rは分岐若しくは直鎖のアルキレン基を表し、炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素数2または3のアルキレン基がより好ましい。pが2〜500のとき、複数存在するRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
一般式(4)中、Rは水素原子または1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。Rとして好ましくは、水素原子、アルキル基、アリール基、およびヘテロアリール基が挙げられ、より好ましくは、水素原子、またはアルキル基である。Rがアルキル基である場合、アルキル基としては、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基、炭素数3〜20の分岐状アルキル基、または炭素数5〜20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基がさらに好ましい。一般式(4)において、qが2〜500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するXおよびRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
In the general formula (3), R 3 represents a branched or linear alkylene group, preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms. when p is 2 to 500, R 3 existing in plural numbers may be different from one another the same.
In the general formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and the monovalent organic group is not particularly structurally limited. Preferred as R 4, a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, and heteroaryl group, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group. When R 4 is an alkyl group, the alkyl group is preferably a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a branched alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a cyclic alkyl group having 5 to 20 carbon atoms. A linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is more preferable, and a linear alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is further preferable. In the general formula (4), when q is 2 to 500, a plurality of X 5 and R 4 present in the graft copolymer may be the same or different from each other.

また、高分子化合物は、2種以上の構造が異なる、グラフト鎖を有する構造単位を有することができる。即ち、高分子化合物の分子中に、互いに構造の異なる一般式(1)〜一般式(4)で示される構造単位を含んでいてもよい。また、一般式(1)〜一般式(4)においてn、m、p、およびqがそれぞれ2以上の整数を表す場合、一般式(1)および一般式(2)においては、側鎖中にjおよびkが互いに異なる構造を含んでいてもよい。一般式(3)および一般式(4)においては、分子内に複数存在するR、RおよびXは互いに同じであっても異なっていてもよい。In addition, the polymer compound can have two or more structural units having graft chains having different structures. That is, the molecule of the polymer compound may contain structural units represented by the general formulas (1) to (4) having different structures from each other. Further, when n, m, p, and q each represent an integer of 2 or more in the general formulas (1) to (4), in the general formulas (1) and (2), in the side chain. j and k may contain structures that differ from each other. In the general formula (3) and the general formula (4), R 3 , R 4 and X 5 existing in a plurality of molecules may be the same or different from each other.

一般式(1)で表される構造単位としては、分散安定性および現像性の観点から、下記一般式(1A)で表される構造単位であることがより好ましい。
また、一般式(2)で表される構造単位としては、分散安定性および現像性の観点から、下記一般式(2A)で表される構造単位であることがより好ましい。
The structural unit represented by the general formula (1) is more preferably the structural unit represented by the following general formula (1A) from the viewpoint of dispersion stability and developability.
Further, the structural unit represented by the general formula (2) is more preferably the structural unit represented by the following general formula (2A) from the viewpoint of dispersion stability and developability.

一般式(1A)中、X、Y、Zおよびnは、一般式(1)におけるX、Y、Zおよびnと同義であり、好ましい範囲も同様である。一般式(2A)中、X、Y、Zおよびmは、一般式(2)におけるX、Y、Zおよびmと同義であり、好ましい範囲も同様である。In the general formula (1A), X 1, Y 1, Z 1 and n, X 1 in the general formula (1), Y 1, have the same meaning as Z 1 and n, preferred ranges are also the same. In the general formula (2A), X 2, Y 2, Z 2 and m have the general formula (2) have the same meanings as X 2, Y 2, Z 2 and m in the preferred range is also the same.

また、一般式(3)で表される構造単位としては、分散安定性および現像性の観点から、下記一般式(3A)または一般式(3B)で表される構造単位であることがより好ましい。 Further, the structural unit represented by the general formula (3) is more preferably a structural unit represented by the following general formula (3A) or general formula (3B) from the viewpoint of dispersion stability and developability. ..

一般式(3A)または(3B)中、X、Y、Zおよびpは、一般式(3)におけるX、Y、Zおよびpと同義であり、好ましい範囲も同様である。In the general formula (3A) or (3B), X 3, Y 3, Z 3 and p, X 3 in the general formula (3), Y 3, have the same meaning as Z 3 and p, the preferable range is also the same ..

高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位として、一般式(1A)で表される構造単位を有することがより好ましい。 The polymer compound more preferably has a structural unit represented by the general formula (1A) as a structural unit having a graft chain.

高分子化合物において、グラフト鎖を有する構造単位(例えば、上記一般式(1)〜一般式(4)で表される構造単位)は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し2〜90%の範囲で含まれることが好ましく、5〜30%の範囲で含まれることがより好ましい。グラフト鎖を有する構造単位が、この範囲内で含まれると被分散体(特に、チタンブラック粒子)の分散性が高く、遮光膜を形成する際の現像性が良好である。 In the polymer compound, the structural unit having a graft chain (for example, the structural unit represented by the above general formulas (1) to (4)) is 2 to 90 with respect to the total mass of the polymer compound in terms of mass. It is preferably contained in the range of%, and more preferably contained in the range of 5 to 30%. When the structural unit having a graft chain is included in this range, the dispersible substance (particularly, titanium black particles) has high dispersibility, and the developability when forming a light-shielding film is good.

また、高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位とは異なる(すなわち、グラフト鎖を有する構造単位には相当しない)疎水性構造単位を有することが好ましい。ただし、本発明において、疎水性構造単位は、酸基(例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸基等)を有さない構造単位である。 Moreover, it is preferable that the polymer compound has a hydrophobic structural unit different from the structural unit having a graft chain (that is, it does not correspond to the structural unit having a graft chain). However, in the present invention, the hydrophobic structural unit is a structural unit having no acid group (for example, a carboxyl group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group, etc.).

疎水性構造単位は、好ましくは、ClogP値が1.2以上の化合物(モノマー)に由来する(対応する)構造単位であり、より好ましくは、ClogP値が1.2〜8の化合物に由来する構造単位である。これにより、本発明の効果をより確実に発現することができる。 The hydrophobic structural unit is preferably a (corresponding) structural unit derived from a compound (monomer) having a ClogP value of 1.2 or more, and more preferably derived from a compound having a ClogP value of 1.2 to 8. It is a structural unit. Thereby, the effect of the present invention can be more reliably exhibited.

ClogP値は、Daylight Chemical Information System, Inc.から入手できるプログラム“CLOGP”で計算された値である。このプログラムは、Hansch, Leoのフラグメントアプローチ(下記文献参照)により算出される“計算logP”の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造(フラグメント)に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたlogP寄与分を合計することにより化合物のlogP値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本発明では、プログラムCLOGP v4.82により計算したClogP値を用いる。
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol.4, C. Hansch, P. G. Sammnens, J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds., p.295, Pergamon Press, 1990 C. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A.J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev., 93, 1281−1306, 1993.
The ClogP value is determined by Daylight Chemical Information System, Inc. It is a value calculated by the program "CLOGP" available from. This program provides the value of "calculated logP" calculated by Hansch, Leo's fragment approach (see literature below). The fragment approach is based on the chemical structure of a compound, and the logP value of the compound is estimated by dividing the chemical structure into substructures (fragments) and summing the logP contributions assigned to the fragments. The details are described in the following documents. In the present invention, the ClogP value calculated by the program CLOGP v4.82 is used.
A. J. Leo, Comprehensive Medical Chemistry, Vol. 4, C.I. Hansch, P.M. G. Sammenens, J. Mol. B. Taylor and C.I. A. Ramsden, Eds. , P. 295, Pergamon Press, 1990 C.I. Hansch & A. J. Leo. Substituent Constituents For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A. J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev. , 93, 1281-1306, 1993.

logPは、分配係数P(Partition Coefficient)の常用対数を意味し、ある有機化合物が油(一般的には1−オクタノール)と水の2相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
logP=log(Coil/Cwater)
式中、Coilは油相中の化合物のモル濃度を、Cwaterは水相中の化合物のモル濃度を表す。
logPの値が0をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増すことを意味し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。
logP means the common logarithm of the partition coefficient P (Partition Cofficient), and quantitatively describes how an organic compound is distributed in the equilibrium of a two-phase system of oil (generally 1-octanol) and water. It is a physical property value expressed as a numerical value, and is expressed by the following formula.
logP = log (Coil / Water)
In the formula, Coil represents the molar concentration of the compound in the oil phase, and Water represents the molar concentration of the compound in the aqueous phase.
When the logP value increases positively across 0, it means that oil solubility increases, and when it becomes negative and the absolute value increases, it means that water solubility increases, and there is a negative correlation with the water solubility of organic compounds, and the intimacy of organic compounds. It is widely used as a parameter for estimating water content.

高分子化合物は、疎水性構造単位として、下記一般式(i)〜一般式(iii)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を有することが好ましい。 The polymer compound preferably has one or more structural units selected from structural units derived from the monomers represented by the following general formulas (i) to (iii) as hydrophobic structural units. ..

上記一般式(i)〜一般式(iii)中、R、R、およびRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素、塩素、臭素等)、または炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
、R、およびRは、好ましくは水素原子、または炭素数が1〜3のアルキル基であり、より好ましくは、水素原子またはメチル基である。RおよびRは、水素原子であることがさらに好ましい。
Xは、酸素原子(−O−)またはイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
In the general formulas (i) to (iii), R 1 , R 2 , and R 3 independently have a hydrogen atom, a halogen atom (for example, fluorine, chlorine, bromine, etc.), or a carbon number of 1. Represents an alkyl group of ~ 6 (eg, methyl group, ethyl group, propyl group, etc.).
R 1 , R 2 , and R 3 are preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably hydrogen atoms or methyl groups. It is more preferable that R 2 and R 3 are hydrogen atoms.
X represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.

Lは、単結合または2価の連結基である。2価の連結基としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、および、置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基または複素環基)、カルボニル基(−CO−)、および、これらの組合せ等が挙げられる。L is a single bond or divalent linking group. The divalent linking group includes a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, and a substituted alkynylene group), and a divalent aromatic group (for example, a substituted alkynylene group). arylene group, a substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31 -, where Examples of R 31 include an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl group (-CO-), and a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造または分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよいが、飽和脂肪族基であることが好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基および複素環基等が挙げられる。 The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. The aliphatic group may be an unsaturated aliphatic group or a saturated aliphatic group, but a saturated aliphatic group is preferable. In addition, the aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基および複素環基等が挙げられる。 The number of carbon atoms of the divalent aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. Moreover, the aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の複素環基は、複素環として5員環または6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環または芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基または複素環基)、脂肪族基、芳香族基、および、複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably has a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocycle. Moreover, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxyl group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is fat. Group groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups, and heterocyclic groups.

Lは、単結合、アルキレン基またはオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造またはオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造またはポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. Further, L may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more repeated oxyalkylene structures. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n−, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

Zとしては、脂肪族基(例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、および、置換不飽和アルキル基、)、芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基または複素環基)、カルボニル基(−CO−)、および、これらの組合せ等が挙げられる。Examples of Z include an aliphatic group (for example, an alkyl group, a substituted alkyl group, an unsaturated alkyl group, and a substituted unsaturated alkyl group), an aromatic group (for example, an arylene group and a substituted arylene group), a heterocyclic group, and the like. oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31 -, wherein R 31 represents an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group) , A carbonyl group (-CO-), and combinations thereof.

脂肪族基は、環状構造または分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。脂肪族基には、さらに環集合炭化水素基および架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、および、4−シクロヘキシルフェニル基などが含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環(ビシクロ[2.2.2]オクタン環、および、ビシクロ[3.2.1]オクタン環等)などの2環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、および、トリシクロ[4.3.1.12,5]ウンデカン環などの3環式炭化水素環、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、および、パーヒドロ−1,4−メタノ−5,8−メタノナフタレン環などの4環式炭化水素環などが挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン(デカリン)、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、および、パーヒドロフェナレン環などの5〜8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基および複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。
The aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. The aliphatic group further includes a ring-assembled hydrocarbon group and a crosslinked cyclic hydrocarbon group, and examples of the ring-assembled hydrocarbon group include a bicyclohexyl group, a perhydronaphthalenyl group, a biphenyl group, and 4 -Includes cyclohexylphenyl groups and the like. As the crosslinked cyclic hydrocarbon ring, for example, 2 such as pinan, bornan, norpinane, norbornane, bicyclooctane ring (bicyclo [2.2.2] octane ring, bicyclo [3.2.1] octane ring, etc.) Tricyclic hydrocarbon rings such as cyclic hydrocarbon rings, homobredane, adamantane, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane, and tricyclo [4.3.1.1 2,5 ] undecane rings. , Tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 17 and 10 ] Dodecane and tetracyclic hydrocarbon rings such as perhydro-1,4-methano-5,8-methanonaphthalene rings can be mentioned. In addition, the crosslinked cyclic hydrocarbon ring includes fused cyclic hydrocarbon rings such as perhydronaphthalene (decalin), perhydroanthracene, perhydrophenanthrene, perhydroacenaphthene, perhydrofluorene, perhydroindene, and the like. A fused ring in which a plurality of 5- to 8-membered cycloalkane rings such as a perhydrophenanthrene ring are condensed is also included.
As the aliphatic group, a saturated aliphatic group is preferable to an unsaturated aliphatic group. In addition, the aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aliphatic group does not have an acid group as a substituent.

芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基および複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。 The number of carbon atoms of the aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. Moreover, the aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aromatic group does not have an acid group as a substituent.

複素環基は、複素環として5員環または6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環または芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基または複素環基)、脂肪族基、芳香族基および複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。The heterocyclic group preferably has a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocycle. Moreover, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxyl group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is fat. Group groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the heterocyclic group does not have an acid group as a substituent.

上記一般式(iii)中、R、R、およびRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素、塩素、臭素等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、Z、またはL−Zを表す。ここでLおよびZは、上記におけるものと同義である。R、R、およびRとしては、水素原子、または炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In the general formula (iii), R 4, R 5, and R 6 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom (e.g., fluorine, chlorine, bromine), an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (e.g. , Methyl group, ethyl group, propyl group, etc.), Z, or LZ. Here, L and Z are synonymous with those in the above. As R 4 , R 5 , and R 6 , a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.

本発明においては、上記一般式(i)で表される単量体として、R、R、およびRが水素原子またはメチル基であって、Lが単結合またはアルキレン基若しくはオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子またはイミノ基であって、Zが脂肪族基、複素環基または芳香族基である化合物が好ましい。
また、上記一般式(ii)で表される単量体として、Rが水素原子またはメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zが脂肪族基、複素環基または芳香族基である化合物が好ましい。また、上記一般式(iii)で表される単量体として、R、R、およびRが水素原子またはメチル基であって、Zが脂肪族基、複素環基または芳香族基である化合物が好ましい。
In the present invention, as the monomer represented by the above general formula (i), R 1 , R 2 and R 3 are hydrogen atoms or methyl groups, and L is a single bond or an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound in which X is an oxygen atom or an imino group and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group is preferable as a divalent linking group containing.
Further, as the monomer represented by the above general formula (ii), R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, L is an alkylene group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group. Is preferred. Further, as the monomer represented by the above general formula (iii), R 4 , R 5 and R 6 are hydrogen atoms or methyl groups, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group. Certain compounds are preferred.

一般式(i)〜一般式(iii)で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、および、スチレン類などから選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
なお、一般式(i)〜一般式(iii)で表される代表的な化合物の例としては、特開2013−249417号公報の段落0089〜0093に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Examples of typical compounds represented by the general formulas (i) to (iii) include radically polymerizable compounds selected from acrylic acid esters, methacrylic acid esters, styrenes and the like.
As examples of the representative compounds represented by the general formulas (i) to (iii), the compounds described in paragraphs 089 to 093 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are described. Incorporated herein.

高分子化合物において、疎水性構造単位は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し10〜90%の範囲で含まれることが好ましく、20〜80%の範囲で含まれることがより好ましい。含有量が上記範囲において十分なパターン形成が得られる。 In the polymer compound, the hydrophobic structural unit is preferably contained in the range of 10 to 90%, more preferably 20 to 80%, based on the total mass of the polymer compound in terms of mass. Sufficient pattern formation can be obtained when the content is in the above range.

高分子化合物は、被分散体(特に、チタンブラック)と相互作用を形成しうる官能基を導入することができる。ここで、高分子化合物は、被分散体と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位をさらに有することが好ましい。
この被分散体と相互作用を形成しうる官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、および、反応性を有する官能基等が挙げられる。
高分子化合物が、酸基、塩基性基、配位性基、または、反応性を有する官能基を有する場合、それぞれ、酸基を有する構造単位、塩基性基を有する構造単位、配位性基を有する構造単位、または、反応性を有する構造単位を有することが好ましい。
特に、高分子化合物が、さらに、酸基として、カルボキシル基などのアルカリ可溶性基を有することで、高分子化合物に、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与することができる。
すなわち、高分子化合物にアルカリ可溶性基を導入することで、本発明の硬化性組成物は、被分散体の分散に寄与する分散剤としての高分子化合物がアルカリ可溶性を有することになる。このような高分子化合物を含有する硬化性組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、且つ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
また、高分子化合物が酸基を有する構造単位を有することにより、高分子化合物が溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を有する構造単位における酸基が被分散体と相互作用しやすく、高分子化合物が被分散体を安定的に分散すると共に、被分散体を分散する高分子化合物の粘度が低くなっており、高分子化合物自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。
The polymer compound can introduce a functional group capable of forming an interaction with the dispersion (particularly titanium black). Here, it is preferable that the polymer compound further has a structural unit having a functional group capable of forming an interaction with the dispersion.
Examples of the functional group capable of forming an interaction with the dispersant include an acid group, a basic group, a coordinating group, and a reactive functional group.
When the polymer compound has an acid group, a basic group, a coordinating group, or a functional group having reactivity, a structural unit having an acid group, a structural unit having a basic group, and a coordinating group, respectively. It is preferable to have a structural unit having the above, or a structural unit having reactivity.
In particular, when the polymer compound further has an alkali-soluble group such as a carboxyl group as an acid group, the polymer compound can be imparted with developability for pattern formation by alkali development.
That is, by introducing an alkali-soluble group into the polymer compound, in the curable composition of the present invention, the polymer compound as a dispersant that contributes to the dispersion of the dispersoid has alkali-solubility. The curable composition containing such a polymer compound has excellent light-shielding properties in the exposed portion, and the alkali developability of the unexposed portion is improved.
Further, since the polymer compound has a structural unit having an acid group, the polymer compound tends to be easily compatible with the solvent and the coatability tends to be improved.
This is because the acid group in the structural unit having an acid group easily interacts with the object to be dispersed, the polymer compound stably disperses the object to be dispersed, and the viscosity of the polymer compound that disperses the object to be dispersed is low. It is presumed that this is because the polymer compound itself is likely to be stably dispersed.

ただし、酸基としてのアルカリ可溶性基を有する構造単位は、上記したグラフト鎖を有する構造単位と同一の構造単位であっても、異なる構造単位であってもよいが、酸基としてのアルカリ可溶性基を有する構造単位は、上記した疎水性構造単位とは異なる構造単位である(すなわち、上記した疎水性構造単位には相当しない)。 However, the structural unit having an alkali-soluble group as an acid group may be the same structural unit as the structural unit having a graft chain described above or a different structural unit, but an alkali-soluble group as an acid group The structural unit having is a structural unit different from the above-mentioned hydrophobic structural unit (that is, does not correspond to the above-mentioned hydrophobic structural unit).

被分散体と相互作用を形成しうる官能基である酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、または、フェノール性水酸基などがあり、好ましくは、カルボキシル基、スルホン酸基、および、リン酸基のうち少なくとも1種であり、より好ましいものは、着色剤への吸着力が良好で、且つ、着色剤の分散性が高い点で、カルボキシル基である。
すなわち、高分子化合物は、カルボキシル基、スルホン酸基、および、リン酸基のうち少なくとも1種を有する構造単位をさらに有することが好ましい。
Examples of the acid group which is a functional group capable of forming an interaction with the dispersant include a carboxyl group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group and the like, and preferably a carboxyl group and a sulfonic acid group. , And at least one of the phosphoric acid groups, more preferably a carboxyl group, in that it has good adsorption to the colorant and high dispersibility of the colorant.
That is, the polymer compound preferably further has a structural unit having at least one of a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group.

高分子化合物は、酸基を有する構造単位を1種または2種以上有してもよい。
高分子化合物は、酸基を有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、酸基を有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは5〜80%であり、より好ましくは、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10〜60%である。
The polymer compound may have one or more structural units having an acid group.
The polymer compound may or may not contain a structural unit having an acid group, but when it is contained, the content of the structural unit having an acid group is based on the total mass of the polymer compound in terms of mass. It is preferably 5 to 80%, and more preferably 10 to 60% from the viewpoint of suppressing damage to the image intensity due to alkaline development.

被分散体と相互作用を形成しうる官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含むヘテロ環、および、アミド基などがあり、より好ましいものは、着色剤への吸着力が良好で、且つ、着色剤の分散性が高い点で、第3級アミノ基である。高分子化合物は、これらの塩基性基を1種或いは2種以上有することができる。
高分子化合物は、塩基性基を有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、塩基性基を有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは0.01%以上50%以下であり、より好ましくは、現像性阻害抑制という観点から、0.01%以上30%以下である。
Examples of the basic group which is a functional group capable of forming an interaction with the dispersant include a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, a heterocycle containing an N atom, and an amide. There are groups and the like, and more preferable ones are tertiary amino groups in that they have good adsorption power to the colorant and high dispersibility of the colorant. The polymer compound can have one or more of these basic groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit having a basic group, but when it is contained, the content of the structural unit having a basic group is the total mass of the polymer compound in terms of mass. On the other hand, it is preferably 0.01% or more and 50% or less, and more preferably 0.01% or more and 30% or less from the viewpoint of suppressing developmental inhibition.

被分散体と相互作用を形成しうる官能基である配位性基、および反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、酸塩化物などが挙げられる。より好ましいものは、着色剤への吸着力が良好で、着色剤の分散性が高い点で、アセチルアセトキシ基である。高分子化合物は、これらの基を1種または2種以上有してもよい。
高分子化合物は、配位性基を有する構造単位、または、反応性を有する官能基を有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、これらの構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは10%以上80%以下であり、より好ましくは、現像性阻害抑制という観点から、20%以上60%以下である。
Coordinating groups, which are functional groups capable of forming an interaction with the dispersant, and reactive functional groups include, for example, an acetylacetoxy group, a trialkoxysilyl group, an isocyanate group, an acid anhydride, and a acid compound. And so on. A more preferable one is an acetylacetoxy group in that it has a good adsorptivity to a colorant and has a high dispersibility of the colorant. The polymer compound may have one or more of these groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit having a coordinating group or a structural unit having a reactive functional group, but when it is contained, the content of these structural units is determined. In terms of mass, it is preferably 10% or more and 80% or less with respect to the total mass of the polymer compound, and more preferably 20% or more and 60% or less from the viewpoint of suppressing developmental inhibition.

本発明における高分子化合物が、グラフト鎖以外に、被分散体と相互作用を形成しうる官能基を有する場合、上述したような、各種の黒色顔料と相互作用を形成しうる官能基を含有していればよい。これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされないが、高分子化合物は、下記一般式(iv)〜一般式(vi)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を有することが好ましい。 When the polymer compound in the present invention has a functional group capable of forming an interaction with the dispersion to be dispersed in addition to the graft chain, it contains a functional group capable of forming an interaction with various black pigments as described above. You just have to. How these functional groups are introduced is not particularly limited, but the polymer compound is selected from structural units derived from monomers represented by the following general formulas (iv) to (vi). It is preferable to have one or more structural units.

一般式(iv)〜一般式(vi)中、R11、R12、およびR13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、または炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
一般式(iv)〜一般式(vi)中、R11、R12、およびR13は、より好ましくは、それぞれ独立に水素原子、または炭素数が1〜3のアルキル基であり、さらに好ましくは、それぞれ独立に水素原子またはメチル基である。一般式(iv)中、R12およびR13は、それぞれ水素原子であることがとくに好ましい。
In the general formula (iv) to the general formula (vi), R 11 , R 12 , and R 13 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (for example, fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, etc.), or carbon atoms. Represents 1 to 6 alkyl groups (eg, methyl group, ethyl group, propyl group, etc.).
In the general formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 , and R 13 are more preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, respectively, and even more preferably. , Each independently a hydrogen atom or a methyl group. In the general formula (iv), it is particularly preferable that R 12 and R 13 are hydrogen atoms, respectively.

一般式(iv)中のXは、酸素原子(−O−)またはイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
また、一般式(v)中のYは、メチン基または窒素原子を表す。
X 1 in the general formula (iv) represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.
Further, Y in the general formula (v) represents a methine group or a nitrogen atom.

また、一般式(iv)〜一般式(v)中のLは、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、および置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、および置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ結合(−NR31’−、ここでR31’は脂肪族基、芳香族基または複素環基)、カルボニル結合(−CO−)、および、これらの組合せ等が挙げられる。Further, L 1 in the general formula (iv) to the general formula (v) represents a single bond or a divalent linking group. Examples of divalent linking groups include divalent aliphatic groups (eg, alkylene group, substituted alkylene group, alkenylene group, substituted alkenylene group, alkynylene group, and substituted alkynylene group), and divalent aromatic group (eg, substituted alkynylene group). , an arylene group, and a substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), substituted imino bond (-NR 31 '- , wherein R 31 'represents an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), carbonyl bond (-CO-), and, combinations thereof and the like.

2価の脂肪族基は、環状構造または分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10がさらに好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、芳香族基および複素環基が挙げられる。 The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. As the aliphatic group, a saturated aliphatic group is preferable to an unsaturated aliphatic group. In addition, the aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxyl groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がさらに好ましく、6〜10がもっとも好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、脂肪族基、芳香族基および複素環基を挙げられる。 The number of carbon atoms of the divalent aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and most preferably 6 to 10. Moreover, the aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxyl groups, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の複素環基は、複素環として5員環または6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環または芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基または複素環基)、脂肪族基、芳香族基および複素環基を挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably has a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. One or more of other heterocycles, aliphatic rings or aromatic rings may be condensed on the heterocycle. Moreover, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxy group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is fat. Group groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

は、単結合、アルキレン基またはオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造またはオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造またはポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L 1 is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. Further, L may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more repeated oxyalkylene structures. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n−, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

一般式(iv)〜一般式(vi)中、Zは、グラフト鎖以外に着色剤と相互作用を形成しうる官能基を表し、カルボキシル基または第三級アミノ基であることが好ましく、カルボキシル基であることがより好ましい。In the general formula (iv) to the general formula (vi), Z 1 represents a functional group capable of forming an interaction with a colorant other than the graft chain, and is preferably a carboxyl group or a tertiary amino group, preferably a carboxyl group. More preferably it is a group.

一般式(vi)中、R14、R15、およびR16は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素、塩素、臭素等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、−Z、またはL−Zを表す。ここでLおよびZは、上記におけるLおよびZと同義であり、好ましい例も同様である。R14、R15、およびR16としては、それぞれ独立に水素原子、または炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In the general formula (vi), R 14 , R 15 and R 16 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (for example, fluorine, chlorine, bromine, etc.) and alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms (for example, for example). methyl group, ethyl group, propyl group, etc.), - represents a Z 1 or L 1 -Z 1,. Here, L 1 and Z 1 are synonymous with L 1 and Z 1 described above, and so are preferred examples. As R 14 , R 15 and R 16 , each independently has a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and a hydrogen atom is more preferable.

本発明においては、一般式(iv)で表される単量体として、R11、R12、およびR13がそれぞれ独立に水素原子またはメチル基であって、Lがアルキレン基またはオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子またはイミノ基であって、Zがカルボキシル基である化合物が好ましい。
また、一般式(v)で表される単量体として、R11が水素原子またはメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボキシル基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
さらに、一般式(vi)で表される単量体として、R14、R15、およびR16がそれぞれ独立に水素原子またはメチル基であって、Lが単結合またはアルキレン基であって、Zがカルボキシル基である化合物が好ましい。
In the present invention, as the monomers represented by the general formula (iv), R 11 , R 12 and R 13 are independently hydrogen atoms or methyl groups, and L 1 is an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound having a divalent linking group containing the above, in which X is an oxygen atom or an imino group and Z is a carboxyl group is preferable.
Further, as the monomer represented by the general formula (v), R 11 is a hydrogen atom or a methyl group, L 1 is an alkylene group, Z 1 is a carboxyl group, and Y is a methine group. The compound is preferable.
Further, as the monomers represented by the general formula (vi), R 14 , R 15 and R 16 are independently hydrogen atoms or methyl groups, L is a single bond or an alkylene group, and Z. A compound in which is a carboxyl group is preferable.

以下に、一般式(iv)〜一般式(vi)で表される単量体(化合物)の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合および水酸基を有する化合物(例えば、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル)とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合および水酸基を有する化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合および水酸基を有する化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合および水酸基を有する化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合および水酸基を有する化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4−ビニル安息香酸、ビニルフェノール、および、4−ヒドロキシフェニルメタクリルアミドなどが挙げられる。
Hereinafter, typical examples of the monomers (compounds) represented by the general formulas (iv) to the general formulas (vi) are shown.
Examples of monomers include methacrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, a reaction product of a compound having an addition-polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule (for example, 2-hydroxyethyl methacrylate) and succinic anhydride. , A reaction product of a compound having an addition-polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and phthalic acid anhydride, and a reaction product of a compound having an addition-polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and a tetrahydroxyphthalic acid anhydride. , A reaction product of a compound having an addition-polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and trimellitic anhydride, a reaction product of a compound having an addition-polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and pyromellitic acid anhydride, Examples thereof include acrylic acid, acrylic acid dimer, acrylic acid oligomer, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, 4-vinylbenzoic acid, vinylphenol, and 4-hydroxyphenylmethacrylate.

被分散体と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位の含有量は、被分散体との相互作用、分散安定性、および現像液への浸透性の観点から、高分子化合物の全質量に対して、0.05質量%〜90質量%が好ましく、1.0質量%〜80質量%がより好ましく、10質量%〜70質量%がさらに好ましい。 The content of the structural unit having a functional group capable of forming an interaction with the dispersion is the total mass of the polymer compound from the viewpoint of interaction with the dispersion, dispersion stability, and permeability to a developer. With respect to this, 0.05% by mass to 90% by mass is preferable, 1.0% by mass to 80% by mass is more preferable, and 10% by mass to 70% by mass is further preferable.

さらに、画像強度などの諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位、疎水性構造単位、および、着色剤と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位とは異なる、種々の機能を有する他の構造単位(例えば、分散物に用いられる分散媒との親和性を有する官能基などを有する構造単位)をさらに有していてもよい。
このような、他の構造単位としては、例えば、アクリロニトリル類、および、メタクリロニトリル類などから選ばれるラジカル重合性化合物に由来の構造単位が挙げられる。
高分子化合物は、これらの他の構造単位を1種或いは2種以上用いることができ、その含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは0%以上80%以下であり、とくに好ましくは、10%以上60%以下である。含有量が上記範囲において、十分なパターン形成性が維持される。
Further, for the purpose of improving various performances such as image intensity, the polymer compound forms an interaction with a structural unit having a graft chain, a hydrophobic structural unit, and a colorant as long as the effects of the present invention are not impaired. It further has other structural units having various functions (for example, structural units having functional groups having an affinity with the dispersion medium used for the dispersion), which are different from the structural units having possible functional groups. You may.
Examples of such other structural units include structural units derived from radically polymerizable compounds selected from acrylonitriles and methacrylonitriles.
The polymer compound can use one or more of these other structural units, and its content is preferably 0% or more and 80% or less with respect to the total mass of the polymer compound in terms of mass. It is particularly preferable that it is 10% or more and 60% or less. Sufficient pattern formation is maintained when the content is in the above range.

高分子化合物の酸価は、0mgKOH/g以上250mgKOH/g以下の範囲であることが好ましく、0mgKOH/g以上160mgKOH/g以下の範囲であることがより好ましく、さらに好ましくは10mgKOH/g以上140mgKOH/g以下の範囲であり、とくに好ましくは20mgKOH/g以上120mgKOH/g以下の範囲である。
高分子化合物の酸価が160mgKOH/g以下であれば、遮光膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、高分子化合物の酸価が10mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、高分子化合物の酸価が20mgKOH/g以上であれば、被分散体の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくすることができ、硬化性組成物の経時安定性をより向上できる。
The acid value of the polymer compound is preferably in the range of 0 mgKOH / g or more and 250 mgKOH / g or less, more preferably in the range of 0 mgKOH / g or more and 160 mgKOH / g or less, and further preferably 10 mgKOH / g or more and 140 mgKOH / g. The range is g or less, and particularly preferably 20 mgKOH / g or more and 120 mgKOH / g or less.
When the acid value of the polymer compound is 160 mgKOH / g or less, pattern peeling during development when forming a light-shielding film can be more effectively suppressed. Further, when the acid value of the polymer compound is 10 mgKOH / g or more, the alkali developability becomes better. Further, when the acid value of the polymer compound is 20 mgKOH / g or more, the precipitation of the dispersion to be dispersed can be further suppressed, the number of coarse particles can be further reduced, and the stability over time of the curable composition can be further improved. ..

本発明において、高分子化合物の酸価は、例えば、高分子化合物中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、高分子化合物の構成成分である酸基を含有する構造単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。 In the present invention, the acid value of the polymer compound can be calculated, for example, from the average content of acid groups in the polymer compound. Further, a resin having a desired acid value can be obtained by changing the content of the structural unit containing an acid group which is a constituent component of the polymer compound.

本発明における高分子化合物の重量平均分子量は、遮光膜を形成する際において、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー、Gel Permeation Chromatography)法によるポリスチレン換算値として、4,000以上300,000以下であることが好ましく、5,000以上200,000以下であることがより好ましく、6,000以上100,000以下であることがさらに好ましく、10,000以上50,000以下であることがとくに好ましい。
GPC法は、HLC−8020GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM−H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
The weight average molecular weight of the polymer compound in the present invention is a polystyrene-equivalent value obtained by the GPC (Gel Permeation Chromatography) method from the viewpoint of suppressing pattern peeling during development and developability when forming a light-shielding film. , 4,000 or more and 300,000 or less, more preferably 5,000 or more and 200,000 or less, further preferably 6,000 or more and 100,000 or less, 10,000 or more and 50 or less. It is particularly preferable that it is 000 or less.
In the GPC method, HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh Corporation) is used, TSKgel SuperHZM-H, TSKgel SuperHZ4000, and TSKgel SuperHZ2000 (manufactured by Tosoh Corporation, 4.6 mm ID x 15 cm) are used as columns, and THF (tetrahydrofuran, manufactured by Tosoh Corporation) is used as an eluent. ) Is used.

高分子化合物は、公知の方法に基づいて合成でき、高分子化合物を合成する際に用いられる溶剤としては、例えば、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、および、乳酸エチルなどが挙げられる。これらの溶剤は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。 The polymer compound can be synthesized based on a known method, and examples of the solvent used in synthesizing the polymer compound include ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, propanol, butanol, and ethylene glycol monomethyl. Ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, 1-methoxy-2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, toluene, Examples thereof include ethyl acetate, methyl lactate, and ethyl lactate. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明に用いうる高分子化合物の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−161、162、163、164、165、166、170、190(商品名、高分子共重合物)」、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(商品名、ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(商品名、ブロック共重合体)」等が挙げられる。
これらの高分子化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
Specific examples of the polymer compound that can be used in the present invention include "Disperbyk-161, 162, 163, 164, 165, 166, 170, 190 (trade name, polymer copolymer)" manufactured by BYK Chemie, EFKA. Examples thereof include "EFKA4047, 4050, 4010, 4165 (trade name, polyurethane type), EFKA4330, 4340 (trade name, block copolymer)" and the like.
These polymer compounds may be used alone or in combination of two or more.

なお、高分子化合物の具体例の例としては、特開2013−249417号公報の段落0127〜0129に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。 As a specific example of the polymer compound, the polymer compounds described in paragraphs 0127 to 0129 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

また、分散剤としては、上述した高分子化合物以外に、特開2010−106268号公報の段落0037〜0115(対応するUS2011/0124824の段落0075〜0133欄)のグラフト共重合体が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
また、上記以外にも、特開2011−153283号公報の段落0028〜0084(対応するUS2011/0279759の段落0075〜0133欄)の酸性基が連結基を介して結合してなる側鎖構造を有する構成成分を含む高分子化合物が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
Further, as the dispersant, in addition to the above-mentioned polymer compound, the graft copolymers of paragraphs 0037 to 0115 of JP-A-2010-106268 (paragraphs 0075 to 0133 of the corresponding US2011 / 0124824) can be used. The contents of are hereby incorporated into this specification.
In addition to the above, it has a side chain structure in which the acidic groups of paragraphs 0028 to 0084 of JP2011-153283 (corresponding paragraphs 0075 to 0133 of US2011 / 0279759) are bonded via a linking group. High molecular weight compounds containing the constituents can be used, the contents of which can be incorporated and incorporated herein by reference.

本発明の硬化性組成物における分散剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましい。 The content of the dispersant in the curable composition of the present invention is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 0.5 to 30% by mass, based on the total solid content of the curable composition.

〔その他の成分〕
<含フッ素樹脂>
本発明の硬化性組成物は、より優れた低反射性を有する硬化膜が得られる点から、さらに含フッ素樹脂を含有してもよい。本明細書において、含フッ素樹脂とは、フッ素原子を有するオリゴマーまたはポリマーのことを言う。なお、含フッ素樹脂は、前述の分散剤および後述のバインダーポリマーには含まれないものとする。含フッ素樹脂としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781F(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC1068、同SC−381、同SC−383、同S393、および、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)等が挙げられる。
含フッ素樹脂は、1種を用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。
含フッ素樹脂の添加量は、硬化膜がより優れた低反射性を有する点で、硬化性組成物の全質量に対して、0.01〜3質量%が好ましく、0.5〜1.5質量%がより好ましい。
[Other ingredients]
<Fluororesin>
The curable composition of the present invention may further contain a fluororesin from the viewpoint of obtaining a cured film having better low reflectivity. In the present specification, the fluororesin refers to an oligomer or polymer having a fluorine atom. The fluororesin is not included in the above-mentioned dispersant and the below-mentioned binder polymer. Examples of the fluororesin include Megafuck F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F144, R30, F437, F475, F479, and F482. , F554, F780, F781F (all manufactured by DIC Corporation), Florard FC430, FC431, FC171 (all manufactured by Sumitomo 3M Ltd.), Surflon S-382, SC-101, SC -103, SC-104, SC-105, SC1068, SC-381, SC-383, S393, KH-40 (all manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and the like.
One type of fluororesin may be used, or two or more types may be combined.
The amount of the fluororesin added is preferably 0.01 to 3% by mass, preferably 0.5 to 1.5% by mass, based on the total mass of the curable composition, in that the cured film has better low reflectivity. More preferably by mass.

なお、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を含フッ素樹脂として用いることもできる。具体例としては、特開2010−164965号公報の段落0050〜0090および段落0289〜0295に記載された化合物、例えばDIC社製のメガファックRS−101、RS−102、および、RS−718K等が挙げられる。
エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体と含フッ素樹脂とを併用する場合、その添加量は両者の合計が上述の好適範囲となるようにすることが好ましい。
A fluoropolymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain can also be used as the fluororesin. Specific examples include the compounds described in paragraphs 0050 to 0090 and paragraphs 0289 to 0295 of JP2010-164965, such as Megafuck RS-101, RS-102, and RS-718K manufactured by DIC Corporation. Can be mentioned.
When a fluoropolymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain and a fluororesin are used in combination, it is preferable that the total amount of the fluoropolymer added is within the above-mentioned preferable range.

<バインダーポリマー>
本発明の硬化性組成物は、バインダーポリマーを含有していてもよい。
バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用することができる。好ましくは、水現像または弱アルカリ水現像を可能とするために、水または弱アルカリ水に可溶性または膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。なかでも、バインダーポリマーとしては、アルカリ可溶性樹脂(アルカリ可溶性を促進する基を有する樹脂)がとくに好ましい。
バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーであって、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、または、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、または、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられるこれら酸基は、1種であってもよいし、2種以上であってもよい。
<Binder polymer>
The curable composition of the present invention may contain a binder polymer.
As the binder polymer, it is preferable to use a linear organic polymer. As such a linear organic polymer, known ones can be arbitrarily used. Preferably, a linear organic polymer that is soluble or swellable in water or weak alkaline water is selected to allow water or weak alkaline water development. Among them, as the binder polymer, an alkali-soluble resin (a resin having a group that promotes alkali solubility) is particularly preferable.
The binder polymer is a linear organic polymer and is an alkali having at least one group that promotes alkali solubility in a molecule (preferably a molecule having an acrylic copolymer or a styrene copolymer as a main chain). It can be appropriately selected from the soluble resins. From the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resin, polysiloxane resin, acrylic resin, acrylamide resin, or acrylic / acrylamide copolymer resin is preferable, and from the viewpoint of developability control, acrylic resin, An acrylamide resin or an acrylic / acrylamide copolymer resin is preferable.
Examples of the group that promotes alkali solubility (hereinafter, also referred to as an acid group) include a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, a phenolic hydroxyl group, and the like, and these acid groups may be one kind. There may be two or more types.

バインダーポリマーとしては、例えば、側鎖にカルボキシル基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独或いは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独或いは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解若しくはハーフエステル化若しくはハーフアミド化させた樹脂、および、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸および酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーの例としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、および、4−カルボキシルスチレン等が挙げられ、酸無水物を有するモノマーの例としては、無水マレイン酸等が挙げられる。また、同様に側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体も例として挙げられる。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
また、欧州特許第993966号、欧州特許第1204000号、特開2001−318463号等の各公報に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度および現像性のバランスに優れており、好適である。
さらに、この他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンおよびポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロン、および、2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンとの反応物であるポリエーテル等も有用である。
Examples of the binder polymer include radical polymers having a carboxyl group in the side chain, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-44615, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-34327, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-125777, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-25957, Japanese Patent Application Laid-Open No. Those described in JP-A-54-92723, JP-A-59-53836, and JP-A-59-71048, that is, resins having a monomer having a carboxyl group alone or copolymerized, and a monomer having an acid anhydride. Examples thereof include a resin obtained by hydrolyzing, half-esterifying or half-amidizing an acid anhydride unit by itself or copolymerizing the above, and an epoxy acrylate obtained by modifying an epoxy resin with an unsaturated monocarboxylic acid and an acid anhydride. Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, 4-carboxystyrene and the like, and examples of the monomer having an acid anhydride include Maleic anhydride and the like can be mentioned. Similarly, an acidic cellulose derivative having a carboxyl group in the side chain is also mentioned as an example. In addition to this, a polymer having a hydroxyl group to which a cyclic acid anhydride is added is useful.
Further, the acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder polymer having an acid group described in each of the publications such as European Patent No. 9993966, European Patent No. 1204000, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-318436 has an excellent balance between film strength and developability. It is suitable.
Further, as the water-soluble linear organic polymer, polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide and the like are useful. Further, in order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, a polyether which is a reaction product of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.

特に、これらの中でも、〔ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体、および〔アリル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体は、膜強度、感度、および、現像性のバランスに優れており、好適である。
市販品としては、例えばアクリベースFF−187、FF−426(藤倉化成社製)、アクリキュア−RD−F8(日本触媒(株))、ダイセルオルネクス(株)製サイクロマーP(ACA)230AAなどが挙げられる。
なお、バインダーポリマーには、上述したグラフト鎖を有する構造単位(上記一般式(1)〜一般式(4)のいずれかで表される構造単位)が含まれていてもよい。
In particular, among these, [benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / other addition-polymerizable vinyl monomer if necessary] copolymer and [allyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / necessary Other Additive Polymeric Vinyl Monopolymers] Copolymers are suitable because they have an excellent balance of film strength, sensitivity, and developability.
Examples of commercially available products include Acrybase FF-187, FF-426 (manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.), Acrycure-RD-F8 (Nippon Shokubai Co., Ltd.), and Cyclomer P (ACA) 230AA manufactured by Daicel Ornex Co., Ltd. Can be mentioned.
The binder polymer may contain the structural unit having the above-mentioned graft chain (the structural unit represented by any of the above general formulas (1) to (4)).

バインダーポリマーの製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類およびその量、ならびに、溶剤の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。 For the production of the binder polymer, for example, a known radical polymerization method can be applied. Polymerization conditions such as temperature, pressure, type and amount of radical initiator, and type of solvent when producing an alkali-soluble resin by a radical polymerization method can be easily set by those skilled in the art and are experimental conditions. It is also possible to determine.

本発明の硬化性組成物におけるバインダーポリマーの含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1〜30質量%であることが好ましく、0.3〜25質量%であることがより好ましい。 The content of the binder polymer in the curable composition of the present invention is preferably 0.1 to 30% by mass, preferably 0.3 to 25% by mass, based on the total solid content of the curable composition. Is more preferable.

<溶剤>
本発明の硬化性組成物は、溶剤を含有していてもよい。
溶剤としては、水または有機溶剤が挙げられる。
有機溶剤の例としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、酢酸エチル、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、および、乳酸エチルなどが挙げられるが、これらに限定されない。
<Solvent>
The curable composition of the present invention may contain a solvent.
Examples of the solvent include water and organic solvents.
Examples of organic solvents include, for example, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexane, ethyl acetate, ethylene dichloride, tetrahydrofuran, toluene, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether. , Acetylacetone, cyclohexanone, cyclopentanone, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxypropanol, methoxymethoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxypropyl acetate, N, N-dimethylformamide, dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, ethyl acetate, butyl acetate , Methyl Lactate, Ethyl Lactate, and the like, but are not limited thereto.

溶剤は、1種単独で用いてもよいが、硬化物がより優れた低反射性を有する点で、2種以上の有機溶剤を組み合わせて用いることが好ましい。2種以上の有機溶剤を組み合わせて用いることにより、塩基発生剤の溶解性が向上すると考えられ、硬化物の低反射性が向上する。
有機溶剤を2種以上組み合わせて用いる場合、とくに好ましくは、上記の3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテートからなる群から選択される2種以上で構成される。
硬化性組成物に含まれる溶剤の量としては、硬化性組成物の全質量に対し、10〜90質量%であることが好ましく、20〜85質量%であることがより好ましい。
The solvent may be used alone, but it is preferable to use two or more kinds of organic solvents in combination because the cured product has more excellent low reflectivity. It is considered that the solubility of the base generator is improved by using two or more kinds of organic solvents in combination, and the low reflectivity of the cured product is improved.
When two or more kinds of organic solvents are used in combination, the above-mentioned methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate are particularly preferable. , 2-Heptanone, cyclohexanone, cyclopentanone, ethylcarbitol acetate, butylcarbitol acetate, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl ether acetate.
The amount of the solvent contained in the curable composition is preferably 10 to 90% by mass, more preferably 20 to 85% by mass, based on the total mass of the curable composition.

<その他>
本発明の硬化性組成物には、紫外線吸収剤が含まれていてもよい。これにより、パターンの形状をより優れた(精細な)ものにすることができる。
紫外線吸収剤としては、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、および、トリアジン系の紫外線吸収剤を使用することができる。これらの具体例としては、特開2012−068418号公報の段落0137〜0142(対応するUS2012/0068292の段落0251〜0254)の化合物が使用でき、これらの内容が援用でき、本明細書に組み込まれる。
他にジエチルアミノ−フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学製、商品名:UV−503)なども好適に用いられる。
紫外線吸収剤としては、特開2012−32556号公報の段落0134〜0148に例示される化合物が挙げられる。
硬化性組成物が紫外線吸収剤を含む場合、紫外線吸収剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜15質量%が好ましく、0.01〜10質量%がより好ましく、0.1〜5質量%がさらに好ましい。
<Others>
The curable composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber. As a result, the shape of the pattern can be made more excellent (fine).
As the ultraviolet absorber, salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, substituted acrylonitrile-based, and triazine-based ultraviolet absorbers can be used. As specific examples thereof, compounds of paragraphs 0137 to 0142 of JP2012-068418A (corresponding paragraphs 027 to 0254 of US2012 / 0068292) can be used, and these contents can be incorporated and incorporated in the present specification. ..
In addition, a diethylamino-phenylsulfonyl UV absorber (manufactured by Daito Chemical Co., Ltd., trade name: UV-503) and the like are also preferably used.
Examples of the ultraviolet absorber include compounds exemplified in paragraphs 0134 to 0148 of JP2012-32556A.
When the curable composition contains an ultraviolet absorber, the content of the ultraviolet absorber is preferably 0.001 to 15% by mass, preferably 0.01 to 10% by mass, based on the total solid content of the curable composition. More preferably, 0.1 to 5% by mass is further preferable.

硬化性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤が含まれていてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、および、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。特に、本発明の硬化性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、液特性(特に、流動性)がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
なお、本発明の硬化性組成物において、上述の含フッ素樹脂が界面活性剤としての機能を有していてもよい。本発明の硬化性組成物に好適に使用することができるフッ素系界面活性剤は、上述の含フッ素樹脂として例示したものと同様である。
界面活性剤は、1種を用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。
界面活性剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%が好ましく、0.005〜1.0質量%がより好ましい。
The curable composition may contain various surfactants from the viewpoint of further improving the coatability. As the surfactant, various surfactants such as a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and a silicone-based surfactant can be used. In particular, the curable composition of the present invention further improves the liquid characteristics (particularly, fluidity) by containing a fluorine-based surfactant, and thus further improves the uniformity of coating thickness and liquid saving property. be able to.
In the curable composition of the present invention, the above-mentioned fluororesin may have a function as a surfactant. The fluorine-based surfactant that can be suitably used for the curable composition of the present invention is the same as that exemplified as the above-mentioned fluororesin.
One type of surfactant may be used, or two or more types may be combined.
The content of the surfactant is preferably 0.001 to 2.0% by mass, more preferably 0.005 to 1.0% by mass, based on the total solid content of the curable composition.

<重合禁止剤>
本発明の硬化性組成物においては、組成物の製造中または保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、重合禁止剤が含まれることが望ましい。本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。本発明の組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.01〜5質量%が好ましい。重合禁止剤は、1種を用いてもよいし、2種以上を組み合わせてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
<Polymerization inhibitor>
It is desirable that the curable composition of the present invention contains a polymerization inhibitor in order to prevent unnecessary thermal polymerization of the polymerizable compound during the production or storage of the composition. Examples of the polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-tert-butyl-p-cresol, pyrogallol, tert-butylcatechol, benzoquinone, and 4,4'-thiobis (3-methyl-6-). tert-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine first cerium salt and the like. When the composition of the present invention contains a polymerization inhibitor, the content of the polymerization inhibitor is preferably 0.01 to 5% by mass with respect to the total solid content of the curable composition. One type of polymerization inhibitor may be used, or two or more types may be combined. When two or more types are included, the total amount is preferably in the above range.

上記成分以外にも、本発明の硬化性組成物には、以下の成分が含まれていてもよい。例えば、増感剤、共増感剤、架橋剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤、希釈剤、および、感脂化剤などが挙げられる。さらに基材表面への密着促進剤およびその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)等の公知の添加剤が、必要に応じて、硬化性組成物に含まれていてもよい。
これらの成分は、例えば、特開2012−003225号公報の段落番号0183〜0228(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の[0237]〜[0309])、特開2008−250074号公報の段落番号0101〜0102、段落番号0103〜0104、段落番号0107〜0109、および、特開2013−195480号公報の段落番号0159〜0184等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
In addition to the above components, the curable composition of the present invention may contain the following components. Examples thereof include sensitizers, co-sensitizers, cross-linking agents, curing accelerators, fillers, thermosetting accelerators, plasticizers, diluents, and fat sensitizers. Furthermore, adhesion promoters and other auxiliaries on the surface of the substrate (eg, conductive particles, fillers, defoamers, flame retardants, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, surface tension modifiers, etc. Known additives such as (chain transfer agent, etc.) may be included in the curable composition, if necessary.
These components are, for example, paragraph Nos. 0183 to 0228 of JP2012-003225A ([0237] to [0309] of the corresponding US Patent Application Publication No. 2013/0034812), JP-A-2008-250074. The description of paragraph numbers 0101 to 0102, paragraph numbers 0103 to 0104, paragraph numbers 0107 to 0109, and paragraph numbers 0159 to 0184 of JP2013-195480 can be referred to, and the contents thereof are described in the present specification. Be incorporated.

〔硬化性組成物の調製方法〕
本発明の硬化性組成物は、上述した各種成分を公知の混合方法(例えば、攪拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、湿式分散機)により混合して調製することができる。
各種成分の混合方法については、特に制限されないが、着色剤の分散性を向上する目的で、予め着色剤を他の成分(例えば樹脂や溶剤等)に分散してから他の成分と混合してもよく、分散性がより向上する点で、着色剤を上記分散剤に予め分散させてから他の成分と混合することが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタで濾過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)、ナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.1〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.2〜2.5μm程度、より好ましくは0.2〜1.5μm程度、さらに好ましくは0.3〜0.7μmである。この範囲とすることにより、顔料を含有する着色剤のろ過詰まりを抑えつつ、顔料を含有する着色剤に含まれる不純物や凝集物など、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回でもよいし、2回以上行ってもよい。異なるフィルタを組み合わせて2回以上フィルタリングを行う場合は1回目のフィルタリングの孔径より2回目以降の孔径が同じ、または、大きい方が好ましい。また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)または株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。第2のフィルタの孔径は、0.2〜10.0μm程度が適しており、好ましくは0.2〜7.0μm程度、より好ましくは0.3〜6.0μm程度である。
本発明の硬化性組成物は、金属、ハロゲンを含む金属塩、酸、アルカリ等の不純物を含まないことが好ましい。これら材料に含まれる不純物の含有量としては、1ppm以下が好ましく、1ppb以下がより好ましく、100ppt以下が更に好ましく、10ppt以下が特に好ましく、実質的に含まないこと(測定装置の検出限界以下であること)が最も好ましい。
[Method for preparing curable composition]
The curable composition of the present invention can be prepared by mixing the above-mentioned various components by a known mixing method (for example, a stirrer, a homogenizer, a high-pressure emulsifier, a wet pulverizer, a wet disperser).
The method of mixing the various components is not particularly limited, but for the purpose of improving the dispersibility of the colorant, the colorant is previously dispersed in another component (for example, resin or solvent) and then mixed with the other component. It is also preferable to disperse the colorant in the dispersant in advance and then mix it with other components in terms of further improving the dispersibility.
The curable composition of the present invention is preferably filtered through a filter for the purpose of removing foreign substances and reducing defects. The filter can be used without particular limitation as long as it has been conventionally used for filtration purposes and the like. For example, a filter made of a fluororesin such as PTFE (polytetrafluoroethylene), a polyamide resin such as nylon, a polyolefin resin such as polyethylene and polypropylene (PP) (including high density and ultrahigh molecular weight) and the like can be mentioned. Among these materials, polypropylene (including high-density polypropylene) and nylon are preferable.
The pore size of the filter is preferably about 0.1 to 7.0 μm, preferably about 0.2 to 2.5 μm, more preferably about 0.2 to 1.5 μm, and further preferably about 0.3 to 0. It is 7 μm. Within this range, it is possible to reliably remove fine foreign substances such as impurities and agglomerates contained in the pigment-containing colorant while suppressing filtration clogging of the pigment-containing colorant.
When using filters, different filters may be combined. At that time, the filtering by the first filter may be performed once or twice or more. When filtering is performed twice or more by combining different filters, it is preferable that the pore diameters of the second and subsequent filters are the same or larger than the pore diameter of the first filtering. Further, first filters having different pore diameters within the above-mentioned range may be combined. For the hole diameter here, the nominal value of the filter manufacturer can be referred to. As a commercially available filter, for example, it can be selected from various filters provided by Nippon Pole Co., Ltd., Advantech Toyo Co., Ltd., Japan Entegris Co., Ltd. (formerly Nippon Microlith Co., Ltd.), KITZ Microfilter Co., Ltd. ..
As the second filter, one formed of the same material as the first filter described above can be used. The pore size of the second filter is preferably about 0.2 to 10.0 μm, preferably about 0.2 to 7.0 μm, and more preferably about 0.3 to 6.0 μm.
The curable composition of the present invention preferably does not contain impurities such as metals, metal salts containing halogens, acids and alkalis. The content of impurities contained in these materials is preferably 1 ppm or less, more preferably 1 ppb or less, further preferably 100 pt or less, particularly preferably 10 pt or less, and substantially not contained (below the detection limit of the measuring device). That) is the most preferable.

[遮光膜]
本発明の硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜は、着色剤として遮光性顔料を使用した場合には、優れた低反射性を有する遮光膜として使用するこができる。
遮光膜の膜厚としては特に限定はないが、遮光膜の反射特性がより優れる点で、乾燥後の膜厚で、0.2〜50μmが好ましく、0.5〜30μmがより好ましく、0.7〜25μmがさらに好ましく、1.0〜10μmがとくに好ましい。
上記厚みは平均厚みであり、遮光膜の任意の5点以上の厚みを測定し、それらを算術平均した値である。
[Shading film]
The cured film obtained by curing the curable composition of the present invention can be used as a light-shielding film having excellent low reflectivity when a light-shielding pigment is used as a colorant.
The film thickness of the light-shielding film is not particularly limited, but the film thickness after drying is preferably 0.2 to 50 μm, more preferably 0.5 to 30 μm, and 0. 7 to 25 μm is more preferable, and 1.0 to 10 μm is particularly preferable.
The above-mentioned thickness is an average thickness, which is a value obtained by measuring the thicknesses of any five or more points of the light-shielding film and arithmetically averaging them.

〔遮光膜の製造方法〕
遮光膜の製造方法は特に制限されないが、上述した硬化性組成物を基板上に塗布して塗膜を形成して、塗膜に対して硬化処理を施し、遮光膜を製造する方法が挙げられる。
硬化処理の方法は特に制限されないが、通常、光硬化処理が選択される。
なお、使用される基板の種類は特に制限されず、固体撮像装置内の各種部材(例えば、赤外光カットフィルタ、固体撮像素子の外周部、ウェハレベルレンズ外周部、および、固体撮像素子裏面など)などが好ましく挙げられる。
[Manufacturing method of light-shielding film]
The method for producing the light-shielding film is not particularly limited, and examples thereof include a method in which the above-mentioned curable composition is applied onto a substrate to form a coating film, and the coating film is cured to produce a light-shielding film. ..
The method of the curing treatment is not particularly limited, but a photocuring treatment is usually selected.
The type of substrate used is not particularly limited, and various members in the solid-state image sensor (for example, an infrared light cut filter, an outer peripheral portion of the solid-state image sensor, a wafer level lens outer peripheral portion, a back surface of the solid-state image sensor, etc.) ) Etc. are preferably mentioned.

パターン状の遮光膜を製造する場合の好適態様としては、基板上に、本発明の硬化性組成物を塗布して硬化性組成物層を形成する工程(以下、適宜「硬化性組成物層形成工程」と略称する。)と、マスクを介して硬化性組成物層を露光する工程(以下、適宜「露光工程」と略称する。)と、露光後の硬化性組成物層を現像して遮光膜(パターン状遮光膜)を形成する工程(以下、適宜「現像工程」と略称する。)と、を含む態様が挙げられる。
具体的には、本発明の硬化性組成物を、直接または他の層を介して基板上に塗布して、硬化性組成物層を形成し(硬化性組成物層形成工程)、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された硬化性組成物層部分だけを硬化させ(露光工程)、現像液で現像することによって(現像工程)、パターン状の遮光膜を製造することができる。
以下、上記態様における各工程について説明する。
A preferred embodiment in the case of producing a patterned light-shielding film is a step of applying the curable composition of the present invention on a substrate to form a curable composition layer (hereinafter, appropriately "curable composition layer formation"). The process is abbreviated as "step"), the step of exposing the curable composition layer through a mask (hereinafter, appropriately abbreviated as "exposure step"), and the process of developing the curable composition layer after exposure to block light. Examples thereof include a step of forming a film (patterned light-shielding film) (hereinafter, appropriately abbreviated as “development step”).
Specifically, the curable composition of the present invention is applied directly or via another layer onto a substrate to form a curable composition layer (curable composition layer forming step), and a predetermined mask is formed. A patterned light-shielding film can be produced by exposing through a pattern, curing only the light-irradiated curable composition layer portion (exposure step), and developing with a developing solution (development step).
Hereinafter, each step in the above embodiment will be described.

<硬化性組成物層形成工程>
硬化性組成物層形成工程では、基板上に、本発明の硬化性組成物を塗布して硬化性組成物層を形成する。
基板としては、例えば、固体撮像装置内の各種部材(例えば、赤外光カットフィルタ、固体撮像素子の外周部、ウェハレベルレンズ外周部、固体撮像素子裏面など)などが挙げられる。
基板上への本発明の硬化性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、および、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
基板上に塗布された硬化性組成物は、通常、70℃以上110℃以下で2分以上4分以下程度の条件下で乾燥されることが好ましく、硬化性組成物層が形成される。
<Curable composition layer forming step>
In the curable composition layer forming step, the curable composition of the present invention is applied onto a substrate to form a curable composition layer.
Examples of the substrate include various members in the solid-state image sensor (for example, an infrared light cut filter, an outer peripheral portion of the solid-state image sensor, a wafer-level lens outer peripheral portion, a back surface of the solid-state image sensor, and the like).
As a method for applying the curable composition of the present invention onto a substrate, various coating methods such as slit coating, inkjet method, rotary coating, cast coating, roll coating, and screen printing can be applied. ..
The curable composition applied on the substrate is usually dried at 70 ° C. or higher and 110 ° C. or lower under the conditions of about 2 minutes or more and 4 minutes or less, and a curable composition layer is formed.

<露光工程>
露光工程では、硬化性組成物層形成工程において形成された硬化性組成物層をマスクを介して露光し、光照射された硬化性組成物層部分だけを硬化させる。
露光は放射線の照射により行うことが好ましく、露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられ、光源としては高圧水銀灯が好まれる。照射強度は5mJ/cm以上1500mJ/cm以下が好ましく、10mJ/cm以上1000mJ/cm以下がより好ましい。
<Exposure process>
In the exposure step, the curable composition layer formed in the curable composition layer forming step is exposed through a mask, and only the light-irradiated curable composition layer portion is cured.
The exposure is preferably performed by irradiation with radiation, and as the radiation that can be used for the exposure, ultraviolet rays such as g-line, h-line, and i-line are particularly preferably used, and a high-pressure mercury lamp is preferred as the light source. The irradiation intensity is preferably 5 mJ / cm 2 or more 1500 mJ / cm 2 or less, 10 mJ / cm 2 or more 1000 mJ / cm 2 or less being more preferred.

<現像工程>
露光工程に次いで、現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分を現像液(例えば、アルカリ水溶液)に溶出させる。
現像液としては、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃以上30℃以下が好ましく、現像時間は20秒以上90秒以下が好ましい。
アルカリ水溶液としては、例えば、無機系現像液としては水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウムを、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.005〜0.5質量%となるように溶解したアルカリ水溶液が挙げられる。有機系現像液としては、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5,4,0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.005〜0.5質量%となるように溶解したアルカリ水溶液が挙げられる。アルカリ水溶液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤および/または界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、このようなアルカリ水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水等で洗浄(リンス)することが好ましい。
<Development process>
Following the exposure step, a development process (development step) is performed to elute the unirradiated portion of the light in the exposure step into a developer (for example, an alkaline aqueous solution).
As the developing solution, an organic alkaline developing solution is desirable. The developing temperature is usually preferably 20 ° C. or higher and 30 ° C. or lower, and the developing time is preferably 20 seconds or longer and 90 seconds or lower.
As the alkaline aqueous solution, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium silicate, and sodium metasilicate are used as the inorganic developing solution in a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.001 to 10% by mass. An alkaline aqueous solution dissolved so as to have a concentration of 0.005 to 0.5% by mass can be mentioned. Organic developing solutions include aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, benzyltrimethylammonium hydroxide, choline, and pyrrole. , Piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene and the like so that the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.005 to 0.5% by mass. An alkaline aqueous solution dissolved in is mentioned. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol and / or a surfactant can be added to the alkaline aqueous solution. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally preferable to wash (rinse) it with pure water or the like after development.

なお、硬化性組成物層形成工程、露光工程、および現像工程を行った後に、必要により、形成されたパターン状の遮光膜を加熱および/または露光により硬化する硬化工程を実施してもよい。 After performing the curable composition layer forming step, the exposure step, and the developing step, if necessary, a curing step of curing the formed patterned light-shielding film by heating and / or exposure may be performed.

[遮光膜付き赤外光カットフィルタ、固体撮像装置]
着色剤として遮光性顔料を用いた場合は、上述した硬化膜はいわゆる遮光膜として好適に適用できる。また、このような遮光膜は、固体撮像装置に好適に適用することができる。
以下では、まず、本発明の遮光膜を有する固体撮像装置の第1実施形態について詳述する。
図1および図2に示すように、固体撮像装置2は、固体撮像素子としてCMOSセンサ3と、このCMOSセンサ3が実装される回路基板4と、回路基板4を保持するセラミック製のセラミック基板5とを備えている。また、固体撮像装置2は、セラミック基板5に保持され、CMOSセンサ3に向かう赤外光(IR)をカットするIRカットフィルタ6と、撮影レンズ7と、この撮影レンズ7を保持するレンズホルダ8と、このレンズホルダ8を移動自在に保持する保持筒9とを備えている。また、CMOSセンサ3に代えて、CCDセンサや有機CMOSセンサを設けてもよい。
セラミック基板5は、CMOSセンサ3が挿入される開口5aが形成され、枠状となっており、CMOSセンサ3の側面を囲んでいる。この状態で、CMOSセンサ3が実装された回路基板4は、接着剤(例えば、エポキシ系接着剤、以下同様)によりセラミック基板5に固定されている。回路基板4には、各種回路パターンが形成されている。
[Infrared light cut filter with light-shielding film, solid-state image sensor]
When a light-shielding pigment is used as the colorant, the cured film described above can be suitably applied as a so-called light-shielding film. Further, such a light-shielding film can be suitably applied to a solid-state image sensor.
In the following, first, the first embodiment of the solid-state image sensor having the light-shielding film of the present invention will be described in detail.
As shown in FIGS. 1 and 2, the solid-state image pickup device 2 includes a CMOS sensor 3 as a solid-state image pickup element, a circuit board 4 on which the CMOS sensor 3 is mounted, and a ceramic ceramic substrate 5 that holds the circuit board 4. And have. Further, the solid-state image sensor 2 is held on a ceramic substrate 5, an IR cut filter 6 that cuts infrared light (IR) directed toward the CMOS sensor 3, a photographing lens 7, and a lens holder 8 that holds the photographing lens 7. And a holding cylinder 9 for movably holding the lens holder 8. Further, a CCD sensor or an organic CMOS sensor may be provided instead of the CMOS sensor 3.
The ceramic substrate 5 has an opening 5a into which the CMOS sensor 3 is inserted and has a frame shape, and surrounds the side surface of the CMOS sensor 3. In this state, the circuit board 4 on which the CMOS sensor 3 is mounted is fixed to the ceramic substrate 5 with an adhesive (for example, an epoxy adhesive, the same applies hereinafter). Various circuit patterns are formed on the circuit board 4.

IRカットフィルタ6は、板状のガラスや青ガラスに赤外光を反射する反射膜が形成され、この反射膜が形成された面が入射面6aとなる。IRカットフィルタ6は、開口5aよりも一回り大きいサイズで形成され、開口5aを覆うように接着剤によりセラミック基板5に固定されている。
撮影レンズ7の背後(図2および図3における下方)に、CMOSセンサ3が配され、撮影レンズ7とCMOSセンサ3との間に、IRカットフィルタ6が配されている。被写体光は、撮影レンズ7、IRカットフィルタ6を通ってCMOSセンサ3の受光面に入射する。このとき、赤外光は、IRカットフィルタ6によりカットされる。
回路基板4は、固体撮像装置2が搭載される電子機器(例えば、デジタルカメラ)に設けられた制御部に接続され、電子機器から固体撮像装置2に電力が供給される。CMOSセンサ3は、受光面上に多数のカラー画素が二次元に配列されており、各カラー画素は入射光を光電変換し、発生した信号電荷を蓄積する。
In the IR cut filter 6, a reflective film that reflects infrared light is formed on a plate-shaped glass or blue glass, and the surface on which the reflective film is formed becomes an incident surface 6a. The IR cut filter 6 is formed in a size one size larger than the opening 5a, and is fixed to the ceramic substrate 5 with an adhesive so as to cover the opening 5a.
A CMOS sensor 3 is arranged behind the photographing lens 7 (lower in FIGS. 2 and 3), and an IR cut filter 6 is arranged between the photographing lens 7 and the CMOS sensor 3. The subject light enters the light receiving surface of the CMOS sensor 3 through the photographing lens 7 and the IR cut filter 6. At this time, the infrared light is cut by the IR cut filter 6.
The circuit board 4 is connected to a control unit provided in an electronic device (for example, a digital camera) on which the solid-state image sensor 2 is mounted, and power is supplied from the electronic device to the solid-state image sensor 2. In the CMOS sensor 3, a large number of color pixels are two-dimensionally arranged on a light receiving surface, and each color pixel photoelectrically converts incident light and accumulates the generated signal charge.

図2および図3に示すように、IRカットフィルタ6の入射面6aの端部には、全周に亘って上述した遮光膜(遮光層)11が配置されており、遮光膜付き赤外光カットフィルタが形成されている。撮影レンズ7から出射され、セラミック基板5の前面(図2および図3における上面)で反射した反射光R1が、装置内で反射や屈折を繰り返した後にCMOSセンサ3に入射した場合、および、撮影レンズ7から出射されたレンズホルダ8の内壁面で反射した反射光R2が、CMOSセンサ3に入射した場合には、撮影画像でフレアが発生する原因となる。遮光膜11は、CMOSセンサ3に向かう反射光R1、R2等の有害光を遮光する。遮光膜11は、例えばスピンコート法、スプレーコート法で塗布されている。なお、図2および図3では、遮光膜11の厚みを誇張して描いている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the above-mentioned light-shielding film (light-shielding layer) 11 is arranged over the entire circumference of the incident surface 6a of the IR cut filter 6, and infrared light with a light-shielding film is provided. A cut filter is formed. When the reflected light R1 emitted from the photographing lens 7 and reflected on the front surface of the ceramic substrate 5 (upper surface in FIGS. 2 and 3) is repeatedly reflected and refracted in the apparatus and then enters the CMOS sensor 3, and the image is taken. When the reflected light R2 reflected from the inner wall surface of the lens holder 8 emitted from the lens 7 is incident on the CMOS sensor 3, it causes flare in the captured image. The light-shielding film 11 blocks harmful light such as reflected light R1 and R2 directed toward the CMOS sensor 3. The light-shielding film 11 is applied by, for example, a spin coating method or a spray coating method. In addition, in FIG. 2 and FIG. 3, the thickness of the light-shielding film 11 is exaggerated.

図4に第2実施形態の固体撮像装置20を示す。なお、第1実施形態のものと同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
固体撮像装置20は、CMOSセンサ3と、回路基板4と、セラミック基板5と、IRカットフィルタ6と、撮影レンズ7と、レンズホルダ8と、保持筒9とを備えている。IRカットフィルタ6の側端面に、全周に亘って上述した遮光膜(遮光層)21が形成されている。撮影レンズ7から出射され、セラミック基板5の前面で反射した反射光R3が、装置内で反射や屈折を繰り返した後にCMOSセンサ3に入射した場合には、撮影画像でフレアが発生する原因となる。遮光膜21は、CMOSセンサ3に向かう反射光R3等の有害光を遮光する。
FIG. 4 shows the solid-state image sensor 20 of the second embodiment. The same components as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
The solid-state image sensor 20 includes a CMOS sensor 3, a circuit board 4, a ceramic substrate 5, an IR cut filter 6, a photographing lens 7, a lens holder 8, and a holding cylinder 9. The above-mentioned light-shielding film (light-shielding layer) 21 is formed on the side end surface of the IR cut filter 6 over the entire circumference. If the reflected light R3 emitted from the photographing lens 7 and reflected on the front surface of the ceramic substrate 5 enters the CMOS sensor 3 after repeated reflection and refraction in the apparatus, it causes flare in the photographed image. .. The light-shielding film 21 blocks harmful light such as reflected light R3 directed toward the CMOS sensor 3.

図5に第3実施形態の固体撮像装置30を示す。なお、第1実施形態のものと同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
固体撮像装置30は、CMOSセンサ3と、回路基板4と、セラミック基板5と、IRカットフィルタ6と、撮影レンズ7と、レンズホルダ8と、保持筒9とを備えている。IRカットフィルタ6の入射面6aの端部および側端面に、全周に亘って上述した遮光膜(遮光層)31が形成されている。すなわち、第1、第2実施形態を組み合わせたものとなっている。この実施形態では、第1、第2実施形態よりも遮光性能が高くなるので、フレアの発生が確実に抑制される。
FIG. 5 shows the solid-state image sensor 30 of the third embodiment. The same components as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
The solid-state image sensor 30 includes a CMOS sensor 3, a circuit board 4, a ceramic substrate 5, an IR cut filter 6, a photographing lens 7, a lens holder 8, and a holding cylinder 9. The above-mentioned light-shielding film (light-shielding layer) 31 is formed on the end and side end faces of the incident surface 6a of the IR cut filter 6 over the entire circumference. That is, it is a combination of the first and second embodiments. In this embodiment, the light-shielding performance is higher than that in the first and second embodiments, so that the occurrence of flare is surely suppressed.

図6に第4実施形態の固体撮像装置40を示す。なお、第1実施形態のものと同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
固体撮像装置40は、CMOSセンサ3と、回路基板4と、セラミック基板5と、IRカットフィルタ6と、撮影レンズ7と、レンズホルダ8と、保持筒9とを備えている。IRカットフィルタ6の入射面6aの端部および側端面に、全周に亘って上述した遮光膜(遮光層)31が形成されている。
また、セラミック基板5の内壁面には、遮光膜(遮光層)41が形成されている。撮影レンズ7から出射され、IRカットフィルタ6を通過してセラミック基板5の内壁面で反射した反射光がCMOSセンサ3に入射した場合には、撮影画像のフレアが発生する原因となる。遮光膜41は、セラミック基板5の内壁面よりも遮光性能が高くなるので、フレアの発生が確実に抑制される。
FIG. 6 shows the solid-state image sensor 40 of the fourth embodiment. The same components as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
The solid-state image sensor 40 includes a CMOS sensor 3, a circuit board 4, a ceramic substrate 5, an IR cut filter 6, a photographing lens 7, a lens holder 8, and a holding cylinder 9. The above-mentioned light-shielding film (light-shielding layer) 31 is formed on the end and side end faces of the incident surface 6a of the IR cut filter 6 over the entire circumference.
Further, a light-shielding film (light-shielding layer) 41 is formed on the inner wall surface of the ceramic substrate 5. When the reflected light emitted from the photographing lens 7, passing through the IR cut filter 6 and reflected by the inner wall surface of the ceramic substrate 5 is incident on the CMOS sensor 3, it causes flare of the photographed image. Since the light-shielding film 41 has higher light-shielding performance than the inner wall surface of the ceramic substrate 5, flare generation is surely suppressed.

[画像表示装置、カラーフィルタ]
本発明の硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、液晶表示装置および有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。また、硬化膜は、カラーフィルタに用いることができる。
また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。
この場合の隔壁は各色画素に対して低屈折率であることが好ましい。
[Image display device, color filter]
The cured film obtained by curing the curable composition of the present invention can be used in an image display device such as a liquid crystal display device and an organic electroluminescence display device. Further, the cured film can be used as a color filter.
Further, the color filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned by a partition wall, for example, in a grid pattern.
In this case, the partition wall preferably has a low refractive index for each color pixel.

表示装置の定義および各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。 For details on the definition of display devices and the details of each display device, see, for example, "Electronic Display Device (Akio Sasaki, Kogyo Chosakai Co., Ltd., 1990)", "Display Device (Junaki Ibuki, Sangyo Tosho Co., Ltd.)" (Issued in the first year) ”etc. Further, the liquid crystal display device is described in, for example, "Next Generation Liquid Crystal Display Technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Chosakai Co., Ltd. in 1994)". The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and for example, it can be applied to various types of liquid crystal display devices described in the above-mentioned "next-generation liquid crystal display technology".

本発明におけるカラーフィルタは、カラーTFT(Thin Film Transistor)方式の液晶表示装置に用いてもよい。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに、本発明はIPS(In Plane Switching)などの横電界駆動方式、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)などの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置、STN(Super−Twist Nematic)、TN(Twisted Nematic)、VA(Vertical Alignment)、OCS(on−chip spacer)、FFS(fringe field switching)、および、R−OCB(Reflective Optically Compensated Bend)等にも適用できる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color−filter On Array)方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタに対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率および剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタは、耐光性などに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開2012−227478号公報、特開2014−179577号公報に記載の装置が挙げられる。
The color filter in the present invention may be used in a color TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal display device. A color TFT liquid crystal display device is described in, for example, "Color TFT liquid crystal display (published by Kyoritsu Publishing Co., Ltd. in 1996)". Further, the present invention is a liquid crystal display device having an enlarged viewing angle such as a transverse electric field drive method such as IPS (In Plane Switching) and a pixel division method such as MVA (Multi-domine Vertical Alginment), STN (Super-Twisted Nematic). , TN (Twisted Nematic), VA (Vertical Alignment), OCS (on-chip spacer), FFS (fringe field switching), and R-OCB (Reflective Optical Protect) can also be applied.
Further, the color filter in the present invention can also be used in a bright and high-definition COA (Color-filter On Array) system. In the COA type liquid crystal display device, the required characteristics for the color filter are required for the interlayer insulating film, that is, low dielectric constant and resistance to the stripping liquid, in addition to the usual required characteristics as described above. Sometimes. Since the color filter of the present invention is excellent in light resistance and the like, it is possible to provide a COA type liquid crystal display device having high resolution and excellent long-term durability. In order to satisfy the required characteristics of low dielectric constant, a resin film may be provided on the color filter layer.
These image display methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD Display-Latest Trends in Technology and Market- (Toray Research Center Research Division, 2001)". Further, the color filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned by a partition wall, for example, in a grid pattern. In this case, the partition wall preferably has a low refractive index for each color pixel. Examples of the image pickup apparatus having such a structure include the apparatus described in JP-A-2012-227478 and JP-A-2014-179757.

本発明の液晶表示装置は、本発明におけるカラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、および、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成される。本発明のカラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「'94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
In addition to the color filter of the present invention, the liquid crystal display device of the present invention is composed of various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The color filter of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. Regarding these materials, for example, "'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (Kentaro Shima Co., Ltd., published in 1994)", "2003 Liquid Crystal Related Market Current Status and Future Prospects (Vol. 2)" Fuji Chimera Research Institute, Inc., published in 2003) ”.
Regarding the backlight, see SID meeting Digest 1380 (2005) (A.Konno et.al), Monthly Display December 2005 issue, pages 18-24 (Yasuhiro Shima), and pages 25-30 (Takaaki Yagi). Have been described.

また、硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォン、デジタルカメラなどのポータブル機器;プリンタ複合機、スキャナなどのOA(Office Automation)機器;監視カメラ、バーコードリーダ、現金自動預け払い機(ATM)、ハイスピードカメラ、顔画像認証を使用した本人認証などの産業用機器;車載用カメラ機器;内視鏡、カプセル内視鏡、カテーテルなどの医療用カメラ機器;生体センサー、バイオセンサー、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象及び海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラ、宇宙の天文及び深宇宙ターゲット用の探査カメラなどの宇宙用機器などに使用される光学フィルターやモジュールの遮光部材や遮光層、さらには反射防止部材や反射防止層に用いることができる。 In addition, the cured film obtained by curing the curable composition is a portable device such as a personal computer, a tablet, a mobile phone, a smartphone, or a digital camera; an OA (Office Automation) device such as a printer compound machine or a scanner; a surveillance camera. , Bar code readers, automatic cash deposit machines (ATMs), high-speed cameras, personal authentication using facial image authentication, and other industrial equipment; in-vehicle camera equipment; medical care such as endoscopes, capsule endoscopes, and catheters. Camera equipment; used for space equipment such as biosensors, biosensors, military reconnaissance cameras, stereoscopic map cameras, meteorological and ocean observation cameras, land resource exploration cameras, exploration cameras for space astronomical and deep space targets, etc. It can be used as a light-shielding member or a light-shielding layer of an optical filter or module, and further as an antireflection member or an antireflection layer.

また、硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、マイクロLED(Light Emitting Diode)およびマイクロOLED(Organic Light Emitting Diode)などの用途にも用いることができる。特に限定されないが、マイクロLEDおよびマイクロOLEDに使用される光学フィルタおよび光学フィルムのほか、遮光機能および反射防止機能を付与する部材に対して好適に用いられる。
マイクロLEDおよびマイクロOLEDの例としては特表2015−500562および特表2014−533890のものが挙げられる。
Further, the cured film obtained by curing the curable composition can also be used for applications such as micro LED (Light Emitting Diode) and micro OLED (Organic Light Emitting Diode). Although not particularly limited, it is preferably used for optical filters and optical films used for micro LEDs and micro OLEDs, as well as members for imparting a light shielding function and an antireflection function.
Examples of the micro LED and the micro OLED include those of the special table 2015-500562 and the special table 2014-533890.

また、硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、量子ドットディスプレイなどの用途にも用いることができる。特に限定されないが、量子ドットディスプレイに使用される光学フィルターおよび光学フィルムのほか、遮光機能および反射防止機能を付与する部材に対して好適に用いられる。
量子ドットディスプレイの例としては、米国特許出願公開第2013/0335677号、米国特許出願公開第2014/0036536号、米国特許出願公開第2014/0036203号、および、米国特許出願公開第2014/0035960号のものが挙げられる。
Further, the cured film obtained by curing the curable composition can also be used for applications such as quantum dot displays. Although not particularly limited, it is suitably used for an optical filter and an optical film used in a quantum dot display, as well as a member imparting a light shielding function and an antireflection function.
Examples of quantum dot displays include US Patent Application Publication No. 2013/0335677, US Patent Application Publication No. 2014/0036536, US Patent Application Publication No. 2014/0036203, and US Patent Application Publication No. 2014/0035960. Things can be mentioned.

以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は質量基準である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples as long as the gist of the present invention is not exceeded. Unless otherwise specified, "parts" and "%" are based on mass.

〔チタンブラックA−1の作製〕
平均粒径15nmの酸化チタンMT−150A(商品名:テイカ(株)製)を100g、BET比表面積300m/gのシリカ粒子AEROSIL300(登録商標)300/30(エボニック社製)を25g、および、Disperbyk190(商品名:ビックケミー社製)を100g秤量し、これらをイオン電気交換水71gに加えて、混合物を得た。その後、KURABO製MAZERSTAR KK−400Wを使用して、公転回転数1360rpm、自転回転数1047rpmにて混合物を30分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。この混合物水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン(株式会社モトヤマ製)を用いて酸素雰囲気中で920℃に加熱した。その後、小型ロータリーキルン内を窒素で雰囲気を置換し、同温度でアンモニアガスを100mL/minで5時間流すことにより窒化還元処理を実施した。終了後回収した粉末を乳鉢で粉砕し、Si原子を含み、粉末状の比表面積73m2/gのチタンブラック〔チタンブラック粒子およびSi原子を含む被分散体〕を得た(以下では、「チタンブラック」と表記する。ただし、表1中では「着色剤1」と表記する。)。
[Production of Titanium Black A-1]
100 g of titanium oxide MT-150A (trade name: manufactured by TAYCA Corporation) having an average particle diameter of 15 nm, 25 g of silica particles AEROSIL 300 (registered trademark) 300/30 (manufactured by Ebonic) having a BET specific surface area of 300 m 2 / g, and , Silica190 (trade name: manufactured by Big Chemie) was weighed and added to 71 g of ion electroexchanged water to obtain a mixture. Then, using MAZERSTAR KK-400W manufactured by KURABO, the mixture was treated at a revolution speed of 1360 rpm and a rotation speed of 1047 rpm for 30 minutes to obtain a uniform aqueous mixture solution. The aqueous mixture solution was filled in a quartz container and heated to 920 ° C. in an oxygen atmosphere using a small rotary kiln (manufactured by Motoyama Co., Ltd.). Then, the atmosphere was replaced with nitrogen in the small rotary kiln, and the nitriding reduction treatment was carried out by flowing ammonia gas at 100 mL / min at the same temperature for 5 hours. After completion, the recovered powder was pulverized in a mortar to obtain a powdery titanium black [titanium black particles and a dispersion containing Si atoms] having a specific surface area of 73 m 2 / g containing Si atoms (hereinafter, "titanium"). It is described as "black". However, it is described as "colorant 1" in Table 1).

〔チタンブラック分散物(TB分散液1)の調製〕
下記組成1に示す成分を、攪拌機(IKA社製EUROSTAR)を使用して、15分間混合し、分散物aを得た。
なお、以下に記載の顔料分散樹脂(分散剤に該当する)は特開2013−249417号公報の記載を参照して合成した。また、顔料分散樹脂の重量平均分子量は30000であり、酸価は60mgKOH/gであり、グラフト鎖の原子数(水素原子を除く)は117であった。
[Preparation of Titanium Black Dispersion (TB Dispersion Solution 1)]
The components shown in composition 1 below were mixed for 15 minutes using a stirrer (Eurostar manufactured by IKA) to obtain a dispersion a.
The pigment dispersion resin (corresponding to the dispersant) described below was synthesized with reference to the description in JP2013-249417A. The weight average molecular weight of the pigment-dispersed resin was 30,000, the acid value was 60 mgKOH / g, and the number of atoms in the graft chain (excluding hydrogen atoms) was 117.

<組成1>
・上記のようにして得られたチタンブラック ・・・25.0質量部
・顔料分散樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート20質量%溶液
・・・37.5質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)(溶剤)
・・・10.5質量部
・酢酸ブチル(溶剤) ・・・27.0質量部
<Composition 1>
-Titanium black obtained as described above: 25.0 parts by mass-Propylene glycol monomethyl ether acetate 20% by mass solution of pigment dispersion resin
... 37.5 parts by mass-Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) (solvent)
・ ・ ・ 10.5 parts by mass ・ Butyl acetate (solvent) ・ ・ ・ 27.0 parts by mass

上述の顔料分散樹脂の構造は下記式のとおりである。
The structure of the pigment-dispersed resin described above is as follows.

得られた分散物aに対し、(株)シンマルエンタープライゼス製のNPM−Pilotを使用して下記条件にて分散処理を行い、チタンブラック分散物(以下、TB分散液1と表記する。)を得た。 The obtained dispersion a was subjected to a dispersion treatment using NPM-Pilot manufactured by Symmul Enterprises Co., Ltd. under the following conditions, and a titanium black dispersion (hereinafter referred to as TB dispersion 1). Got

<分散条件>
・ビーズ径:φ0.05mm、ジルコニア製
・ビーズ充填率:65体積%
・ミル周速:10m/sec
・セパレータ周速:11m/s
・分散処理する混合液量:15kg
・循環流量(ポンプ供給量):60kg/hour
・処理液温度:19〜21℃
・冷却水:水
・パス回数:90パス
<Dispersion condition>
-Bead diameter: φ0.05 mm, made of zirconia-Bead filling rate: 65% by volume
・ Mill peripheral speed: 10 m / sec
・ Separator peripheral speed: 11 m / s
・ Amount of mixed liquid to be dispersed: 15 kg
・ Circulation flow rate (pump supply amount): 60 kg / hour
-Treatment liquid temperature: 19 to 21 ° C
・ Cooling water: Water ・ Number of passes: 90 passes

〔チタンブラック分散物(TB分散液2)の調製〕
顔料分散樹脂に代えて、以下に記載の分散剤aを用いた以外はTB分散液1と同様にして、TB分散液2を得た。なお、分散剤aは特開2014−177614号公報の記載を参照して合成し、式中、nは15を表し、*は左側構造式中のZ部との連結部を表す。
[Preparation of Titanium Black Dispersion (TB Dispersion Liquid 2)]
The TB dispersion liquid 2 was obtained in the same manner as the TB dispersion liquid 1 except that the dispersant a described below was used instead of the pigment dispersion resin. The dispersant a was synthesized with reference to the description in JP-A-2014-177614, where n represents 15 and * represents a connecting portion with the Z portion in the left structural formula.

〔チタンブラック分散物(TB分散物3)の調製〕
顔料分散樹脂に代えて、以下に記載の分散剤bを用いた以外はTB分散液1と同様にして、TB分散液3を得た。なお、分散剤bは特開2010−6932号公報の記載を参照して合成し、式中、*は連結部分を表す。
[Preparation of Titanium Black Dispersion (TB Dispersion 3)]
The TB dispersion liquid 3 was obtained in the same manner as the TB dispersion liquid 1 except that the dispersant b described below was used instead of the pigment dispersion resin. The dispersant b was synthesized with reference to the description in JP-A-2010-6932, and * in the formula represents a connecting portion.

〔カーボンブラック分散物(CB分散液)の調製〕
上記のTB分散液1の調製において、チタンブラックに代えて、カーボンブラック(商品名「カラーブラック S170」、デグサ社製、平均一次粒子径17nm、BET比表面積200m2/g、ガスブラック方式により製造されたカーボンブラック、表1中では、「着色剤2」と表記する。)を使用した以外は同様の方法により、分散物bを作製し、カーボンブラック分散物(以下、CB分散液と表記する。)を得た。
[Preparation of carbon black dispersion (CB dispersion)]
In the preparation of the above TB dispersion liquid 1, instead of titanium black, carbon black (trade name "Color Black S170", manufactured by Degussa, average primary particle diameter 17 nm, BET specific surface area 200 m 2 / g, produced by gas black method). The dispersion b was prepared by the same method except that the carbon black was used, which is referred to as “colorant 2” in Table 1), and the carbon black dispersion (hereinafter referred to as CB dispersion) was prepared. .) Was obtained.

〔チタンブラックおよびカーボンブラック分散物(TB/CB分散液)の調製〕
上記のTB分散液1の調製において、チタンブラックに代えて、チタンブラック35部と、上記カーボンブラック10部との混合部を使用した以外は同様の方法により、分散物cを作製し、チタンブラックおよびカーボンブラック分散物(以下、TB/CB分散液と表記する。)を得た。
[Preparation of titanium black and carbon black dispersion (TB / CB dispersion)]
In the preparation of the TB dispersion liquid 1, the dispersion c was prepared by the same method except that 35 parts of titanium black and 10 parts of carbon black were used instead of titanium black, and titanium black was prepared. And a carbon black dispersion (hereinafter referred to as TB / CB dispersion) were obtained.

〔チタンブラックおよびピグメントイエロー(TB/PY分散液)の調製〕
上記のTB分散液1の調製において、チタンブラック45部に代えて、チタンブラック40部とピグメントイエロー150(Hangzhou Star-up Pigment Co., Ltd.製、商品名6150顔料黄5GN、表1中では「着色剤3」と表記する。)5部との混合物を使用した以外は同様の方法により、分散物dを作製し、チタンブラックおよびピグメントイエロー分散物(以下、TB/PY分散液と表記する。)を得た。
[Preparation of titanium black and pigment yellow (TB / PY dispersion)]
In the preparation of the above TB dispersion 1, instead of 45 parts of titanium black, 40 parts of titanium black and 150 parts of Pigment Yellow 150 (manufactured by Hangzhou Star-up Pigment Co., Ltd., trade name 6150 pigment yellow 5GN, in Table 1 Dispersion d was prepared by the same method except that a mixture with 5 parts was used, and titanium black and pigment yellow dispersion (hereinafter referred to as TB / PY dispersion) were prepared. .) Was obtained.

〔光塩基発生剤の合成〕
下記一般式(PBG1)〜(PBG13)に示した光塩基発生剤は、特開2015−087612号公報、特開2008−247747号公報、および、国際公開第2010/064631号の記載を参照して合成した。なお、PBG1については和光純薬工業(株)の「WPBG−018」(製品名)としても入手可能である。
[Synthesis of photobase generator]
For the photobase generators represented by the following general formulas (PBG1) to (PBG13), refer to JP-A-2015-087612, JP-A-2008-247747, and International Publication No. 2010/064631. Synthesized. PBG1 is also available as "WPBG-018" (product name) of Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

〔実施例1:硬化性組成物1の調製〕
下記組成を混合することで硬化性組成物1を得た。なお、下記のチタンブラックは上述の方法により作製し、上述の方法により顔料分散樹脂を用いてチタンブラックを分散させたTB分散液1を作製してから、TB分散液1と他の材料と混合した。また、硬化性組成物1の固形分は30%となるよう、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(有機溶剤に該当する。)により希釈した。
[Example 1: Preparation of curable composition 1]
The curable composition 1 was obtained by mixing the following compositions. The titanium black described below is prepared by the above method, and a TB dispersion liquid 1 in which titanium black is dispersed using a pigment dispersion resin is prepared by the above method, and then the TB dispersion liquid 1 and other materials are mixed. did. Further, the curable composition 1 was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate (corresponding to an organic solvent) so as to have a solid content of 30%.

・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 20.49質量部(KAYARAD DPHA(商品名)、日本化薬社製)重合性化合物に該当する。表1中では、「重合性化合物1」と表記する。)
・OXE−02 5.90質量部(BASF社製、オキシム系開始剤に該当する。表1中では、「光ラジカル重合開始剤1」と表記する。)
・PBG1 2.95質量部(光塩基発生剤に該当する。)
・含フッ素樹脂1: 0.07質量部(以下の化学式で表される混合物(重量平均分子量(Mw)=14000))
-Dipentaerythritol hexaacrylate 20.49 parts by mass (KAYARAD DPHA (trade name), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) Corresponds to a polymerizable compound. In Table 1, it is referred to as "polymerizable compound 1". )
OXE-02 5.90 parts by mass (corresponds to an oxime-based initiator manufactured by BASF. In Table 1, it is referred to as "photoradical polymerization initiator 1").
-PBG1 2.95 parts by mass (corresponds to a photobase generator)
Fluororesin 1: 0.07 parts by mass (mixture represented by the following chemical formula (weight average molecular weight (Mw) = 14000))

・メガファックRS−72−K 1.00質量部(DIC社製、固形分30%、溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、含フッ素樹脂に該当する。表1中では、「含フッ素樹脂2」と表記する。)
・p−メトキシフェノール 0.01質量部(関東化学社製、重合禁止剤)
・バインダーポリマー 11.5質量部(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体、各構造単位の比率60/20/20wt%、重量平均分子量:14,000、アルカリ可溶性樹脂に該当する。)
・顔料分散樹脂 13.46質量部(上述の顔料分散樹脂、分散剤に該当する。)
・チタンブラック 45.00質量部(上述のチタンブラック、着色剤に該当する。)
-Megafuck RS-72-K 1.00 parts by mass (manufactured by DIC, solid content 30%, solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate, corresponding to fluororesin. In Table 1, "fluororesin 2" write.)
-0.01 parts by mass of p-methoxyphenol (manufactured by Kanto Chemical Co., Inc., polymerization inhibitor)
Binder polymer 11.5 parts by mass (benzyl methacrylate / methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer, ratio of each structural unit 60/20/20 wt%, weight average molecular weight: 14,000, corresponds to alkali-soluble resin .)
13.46 parts by mass of pigment dispersion resin (corresponding to the above-mentioned pigment dispersion resin and dispersant)
-Titanium black 45.00 parts by mass (corresponding to the above-mentioned titanium black and colorant)

〔実施例2〜12:硬化性組成物2〜12の調製〕
実施例1のPBG1に代えて、PBG2〜12(いずれも光塩基発生剤に該当する。)を使用した以外は同様の方法により、硬化性組成物2〜12を得た。
[Examples 2-12: Preparation of curable compositions 2-12]
Curable compositions 2 to 12 were obtained by the same method except that PBGs 2 to 12 (both correspond to photobase generators) were used instead of PBG1 of Example 1.

〔実施例13:硬化性組成物13の調製〕
実施例1のOXE−02に代えて、IRGACURE379(BASF社製、光ラジカル重合開始剤に該当する。表1中では、「光ラジカル重合開始剤2」と表記する。)を使用した以外は同様の方法により、硬化性組成物13を得た。
[Example 13: Preparation of curable composition 13]
The same applies except that IRGACURE379 (manufactured by BASF, which corresponds to a photoradical polymerization initiator. In Table 1, it is referred to as “photoradical polymerization initiator 2”) is used instead of OXE-02 of Example 1. The curable composition 13 was obtained by the method of.

〔実施例14:硬化性組成物14の調製〕
PBG1の使用量を1.09質量部、バインダーポリマーの使用量を13.01質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物14を得た。
[Example 14: Preparation of curable composition 14]
The curable composition 14 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of PBG1 used was 1.09 parts by mass and the amount of binder polymer used was 13.01 parts by mass.

〔実施例15:硬化性組成物15の調製〕
PBG1の使用量を1.07質量部、バインダーポリマーの使用量を13.03質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物15を得た。
[Example 15: Preparation of curable composition 15]
The curable composition 15 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of PBG1 used was 1.07 parts by mass and the amount of binder polymer used was 13.03 parts by mass.

〔実施例16:硬化性組成物16の調製〕
PBG1の使用量を6.60質量部、バインダーポリマーの使用量を7.50質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物16を得た。
[Example 16: Preparation of curable composition 16]
The curable composition 16 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of PBG1 used was 6.60 parts by mass and the amount of binder polymer used was 7.50 parts by mass.

〔実施例17:硬化性組成物17の調製〕
PBG1の使用量を6.85質量部、バインダーポリマーの使用量を7.25質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物17を得た。
[Example 17: Preparation of curable composition 17]
A curable composition 17 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of PBG1 used was 6.85 parts by mass and the amount of binder polymer used was 7.25 parts by mass.

〔実施例18:硬化性組成物18の調製〕
含フッ素樹脂1の使用量を0.07質量部、メガファックRS−72−Kの使用量を0.93質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物18を得た。
[Example 18: Preparation of curable composition 18]
The curable composition 18 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of the fluororesin 1 used was 0.07 parts by mass and the amount of Megafuck RS-72-K used was 0.93 parts by mass. It was.

〔実施例19:硬化性組成物19の調製〕
含フッ素樹脂1の使用量を0.07質量部、メガファックRS−72−Kの使用量を0.90質量部、バインダーポリマーの使用量を11.25質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物19を得た。
[Example 19: Preparation of curable composition 19]
Example 1 except that the amount of the fluororesin 1 used was 0.07 parts by mass, the amount of Megafuck RS-72-K used was 0.90 parts by mass, and the amount of the binder polymer used was 11.25 parts by mass. A curable composition 19 was obtained by the same method.

〔実施例20:硬化性組成物20の調製〕
含フッ素樹脂1の使用量を0質量部、メガファックRS−72−Kの使用量を0質量部、バインダーポリマーの使用量を12.22質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物20を得た。
[Example 20: Preparation of curable composition 20]
By the same method as in Example 1 except that the amount of the fluororesin 1 used was 0 parts by mass, the amount of Megafuck RS-72-K used was 0 parts by mass, and the amount of the binder polymer used was 12.22 parts by mass. , A curable composition 20 was obtained.

〔実施例21:硬化性組成物21の調製〕
p−メトキシフェノールの使用量を0質量部、バインダーポリマーの使用量を11.16質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物21を得た。
[Example 21: Preparation of curable composition 21]
The curable composition 21 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of p-methoxyphenol used was 0 parts by mass and the amount of binder polymer used was 11.16 parts by mass.

〔実施例22:硬化性組成物22の調製〕
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの使用量を31.64質量部、バインダーポリマーの使用量を0質量部とした以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物22を得た。
[Example 22: Preparation of curable composition 22]
The curable composition 22 was obtained by the same method as in Example 1 except that the amount of dipentaerythritol hexaacrylate used was 31.64 parts by mass and the amount of binder polymer used was 0 parts by mass.

〔実施例23:硬化性組成物23の調製〕
TB分散液1に代えて、上述の方法により作製したCB分散液を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物23を得た。
[Example 23: Preparation of curable composition 23]
The curable composition 23 was obtained by the same method as in Example 1 except that the CB dispersion prepared by the above method was used instead of the TB dispersion 1.

〔実施例24:硬化性組成物24の調製〕
TB分散液1に代えて、上述の方法により作製したTB/CB分散液を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物24を得た。
[Example 24: Preparation of curable composition 24]
The curable composition 24 was obtained by the same method as in Example 1 except that the TB / CB dispersion prepared by the above method was used instead of the TB dispersion 1.

〔実施例25:硬化性組成物25の調製〕
TB分散液1に代えて、上述の方法により作製したTB/PY分散液を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物25を得た。
[Example 25: Preparation of curable composition 25]
The curable composition 25 was obtained by the same method as in Example 1 except that the TB / PY dispersion prepared by the above method was used instead of the TB dispersion 1.

〔実施例26:硬化性組成物26の調製〕
有機溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートおよびシクロペンタノンを用い、硬化性組成物中におけるシクロペンタノンの含有量が10質量%となり、かつ硬化性組成物の固形分が30%となるよう希釈した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物26を得た。
[Example 26: Preparation of curable composition 26]
Propylene glycol monomethyl ether acetate and cyclopentanone were used as the organic solvent, and the mixture was diluted so that the content of cyclopentanone in the curable composition was 10% by mass and the solid content of the curable composition was 30%. The curable composition 26 was obtained by the same method as in Example 1 except for the above.

〔実施例27:硬化性組成物27の調製〕
TB分散液1に代えて、上述の方法により作製したTB分散液2を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物27を得た。
[Example 27: Preparation of curable composition 27]
The curable composition 27 was obtained by the same method as in Example 1 except that the TB dispersion 2 prepared by the above method was used instead of the TB dispersion 1.

〔実施例28:硬化性組成物28の調製〕
TB分散液1に代えて、上述の方法により作製したTB分散液3を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物28を得た。
[Example 28: Preparation of curable composition 28]
The curable composition 28 was obtained by the same method as in Example 1 except that the TB dispersion 3 prepared by the above method was used instead of the TB dispersion 1.

〔実施例29:硬化性組成物29の調製〕
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートに代えて、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(重合性化合物に該当する。表1中では、「重合性化合物2」と表記する。)を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物29を得た。
[Example 29: Preparation of curable composition 29]
By the same method as in Example 1 except that pentaerythritol tetraacrylate (corresponding to a polymerizable compound; referred to as “polymerizable compound 2” in Table 1) was used instead of dipentaerythritol hexaacrylate. , A curable composition 29 was obtained.

〔実施例30:硬化性組成物30の調製〕
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートに代えて、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート10.00質量部およびペンタエリスリトールテトラアクリレート10.49質量部を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物30を得た。
[Example 30: Preparation of curable composition 30]
The curable composition 30 was obtained by the same method as in Example 1 except that 10.00 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate and 10.49 parts by mass of pentaerythritol tetraacrylate were used instead of dipentaerythritol hexaacrylate. It was.

〔実施例31:硬化性組成物31の調製〕
OXE−02に代えて、OXE−01(BASF社製、オキシム系開始剤に該当する。表1中では、「光ラジカル重合開始剤3」と表記する。)を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物31を得た。
[Example 31: Preparation of curable composition 31]
Example 1 except that OXE-01 (manufactured by BASF, which corresponds to an oxime-based initiator. In Table 1, it is referred to as "photoradical polymerization initiator 3") was used instead of OXE-02. The curable composition 31 was obtained by the same method.

〔実施例32:硬化性組成物32の調製〕
OXE−02に代えて、下記式(I−1)で表される化合物(オキシム系開始剤に該当する。表1中では、「光ラジカル開始剤4」と表記する。)を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物33を得た。なお、下記式(I−1)は特表2014−500852号公報の段落0344〜0345に記載されている方法を参考にして合成した。
[Example 32: Preparation of curable composition 32]
Except for the use of a compound represented by the following formula (I-1) (corresponding to an oxime-based initiator. In Table 1, it is referred to as "photoradical initiator 4") instead of OXE-02. The curable composition 33 was obtained by the same method as in Example 1. The following formula (I-1) was synthesized with reference to the methods described in paragraphs 0344 to 0345 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-500852.

〔実施例33:硬化性組成物33の調製〕
PBG1に代えて、PEG13を使用した以外は実施例1と同様の方法により、硬化性組成物34を得た。
[Example 33: Preparation of curable composition 33]
A curable composition 34 was obtained by the same method as in Example 1 except that PEG13 was used instead of PBG1.

〔比較例1〕
PEG1に代えて、バインダーポリマーを使用した(バインダーポリマーを合計14.10質量部)使用した以外は実施例1と同様の方法により、比較硬化性組成物を得た。
[Comparative Example 1]
A comparatively curable composition was obtained by the same method as in Example 1 except that a binder polymer was used instead of PEG1 (14.10 parts by mass in total of the binder polymer).

〔評価方法〕
<硬化膜の作製>
厚さ0.7mm、大きさ100mm×100mmガラス板(コーニング1737、コーニング社製)上に乾燥膜厚が2.0μmとなるよう、各硬化性組成物をスピンコート法により塗布した。その後、硬化性組成物が塗布されたガラス板に対して、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行い、塗膜を形成した。次いで、高圧水銀灯にて1000mJ/cmの露光量で塗膜に対して全面露光した。その後、全面露光された塗膜を有するガラス板をホットプレート上にて200℃で300秒間加熱し、硬化膜を得た。
〔Evaluation method〕
<Preparation of cured film>
Each curable composition was applied by a spin coating method on a glass plate (Corning 1737, manufactured by Corning Inc.) having a thickness of 0.7 mm and a size of 100 mm × 100 mm so that the dry film thickness was 2.0 μm. Then, the glass plate coated with the curable composition was heat-treated (prebaked) for 120 seconds using a hot plate at 100 ° C. to form a coating film. Next, the entire surface of the coating film was exposed to an exposure amount of 1000 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp. Then, a glass plate having a coating film exposed on the entire surface was heated on a hot plate at 200 ° C. for 300 seconds to obtain a cured film.

<反射率の測定>
上述の方法により形成したガラス板上の硬化膜に、入射角度5°で光を入射し、正反射測定を行った。測定は、日立ハイテクノロジー製分光光度計U−4100を用いて実施、入射光の波長を、400〜1100nm範囲で変化させて、最大反射率を確認した。
<Measurement of reflectance>
Light was incident on the cured film on the glass plate formed by the above method at an incident angle of 5 °, and specular reflection measurement was performed. The measurement was carried out using a spectrophotometer U-4100 manufactured by Hitachi High-Technology, and the wavelength of the incident light was changed in the range of 400 to 1100 nm to confirm the maximum reflectance.

反射率の測定結果、および、各硬化性組成物の組成を以下の表1にまとめて示す。なお、表1中の各成分欄の数値は、質量部を表す。また、表1中、「発生塩基の分子量」とは、光塩基発生剤が分解して発生する塩基(第1級アミンまたは第2級アミン)の、構造式から算出した分子量を意味する。また、「量比」とは、光塩基発生剤と分散剤との質量比(光塩基発生剤の質量/分散剤の質量)を意味する。 The measurement results of the reflectance and the composition of each curable composition are summarized in Table 1 below. The numerical values in each component column in Table 1 represent parts by mass. Further, in Table 1, the "molecular weight of the generated base" means the molecular weight of the base (primary amine or secondary amine) generated by the decomposition of the photobase generator, calculated from the structural formula. Further, the "quantity ratio" means the mass ratio of the photobase generator and the dispersant (mass of the photobase generator / mass of the dispersant).

表1に示すように、所定の成分を含有する硬化性組成物により形成される硬化膜は優れた低反射性を有していた。また、各硬化膜は優れた遮光性を有するため、遮光膜として用いることができることがわかった。
一方、所定の光塩基発生剤を含有しない比較例1の硬化性組成物により形成される硬化膜は、所望の効果は得られなかった。
As shown in Table 1, the cured film formed by the curable composition containing a predetermined component had excellent low reflectivity. It was also found that each cured film has an excellent light-shielding property and can be used as a light-shielding film.
On the other hand, the cured film formed by the curable composition of Comparative Example 1 containing no predetermined photobase generator did not have the desired effect.

光塩基発生剤と分散剤の質量比(光塩基発生剤の質量/分散剤の質量)を0.081、0.079、0.49、0.51に変更した実施例14〜17と実施例1とを比較すると、上記質量比が0.08〜0.5である硬化性組成物により形成される遮光膜は、より優れた低反射性を有していることがわかった。 Examples 14 to 17 and Examples in which the mass ratio of the photobase generator to the dispersant (mass of the photobase generator / mass of the dispersant) was changed to 0.081, 0.079, 0.49, 0.51. Comparing with No. 1, it was found that the light-shielding film formed by the curable composition having a mass ratio of 0.08 to 0.5 had better low reflectivity.

実施例6〜8に対し、実施例1および実施例9〜12を比較すると、発生する第2級アミンの分子量が同じである場合には、一般式(PBG)におけるArが縮環構造を有する光塩基発生剤を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射性を有していることがわかった。Comparing Examples 1 and 9 to 12 with respect to Examples 6 to 8, when the molecular weights of the generated secondary amines are the same, Ar a in the general formula (PBG) has a condensed ring structure. It was found that the light-shielding film formed by the curable composition containing the photobase generator having a photobase generator has better low reflectivity.

光塩基発生剤の一般式(PBG)におけるAr基が式(CR1)である実施例1〜5を比較すると、発生する塩基の分子量が小さい光塩基発生剤を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射性を有していることがわかった。
また、実施例1と33とを比較すると、一般式(PBG)中、RおよびRがアルキル基である光塩基発生剤を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射性を有していることがわかった。
Comparing Examples 1 to 5 in which the Ar a group in the general formula (PBG) of the photobase generator is the formula (CR1), it is formed by a curable composition containing a photobase generator having a small molecular weight of the generated base. It was found that the light-shielding film to be used had better low reflectivity.
Further, comparing Examples 1 and 33, in the general formula (PBG), the light-shielding film formed by the curable composition containing a photobase generator in which Ra and R b are alkyl groups is better. It was found to have better low reflectivity.

実施例1と実施例20とを比較すると、含フッ素樹脂を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射性を有していることがわかった。 Comparing Example 1 and Example 20, it was found that the light-shielding film formed of the curable composition containing a fluororesin had better low reflectivity.

実施例1、実施例13、実施例31、および、実施例32を比較すると、ラジカル開始剤としてオキシム系開始剤を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射性を有していることがわかった。 Comparing Example 1, Example 13, Example 31, and Example 32, the light-shielding film formed by the curable composition containing an oxime-based initiator as a radical initiator is more excellent and lower. It was found to have reflectivity.

実施例1と実施例26とを比較すると、2種以上の有機溶剤を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射率を有していることがわかった。 Comparing Example 1 and Example 26, it was found that the light-shielding film formed of the curable composition containing two or more kinds of organic solvents had a better low reflectance. ..

実施例1と実施例23とを比較すると、チタン化合物(チタンブラック)を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射率を有していることがわかった。
実施例1、実施例27、および、実施例28を比較すると、一般式(1)で表される構造単位を有する高分子化合物を分散剤として含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射率を有していることがわかった。
実施例1と実施例29とを比較すると、エチレン性不飽和基を5個以上有する重合性化合物を含有する硬化性組成物により形成される遮光膜の方が、より優れた低反射率を有していることがわかった。
Comparing Example 1 and Example 23, it was found that the light-shielding film formed of the curable composition containing a titanium compound (titanium black) had better low reflectance. ..
Comparing Example 1, Example 27, and Example 28, a light-shielding film formed of a curable composition containing a polymer compound having a structural unit represented by the general formula (1) as a dispersant. It was found that the one had better low reflectance.
Comparing Example 1 and Example 29, the light-shielding film formed of the curable composition containing a polymerizable compound having 5 or more ethylenically unsaturated groups has a better low reflectance. I found out that I was doing it.

〔ウェハレベルレンズ用遮光膜の作製および評価〕
以下の操作により、レンズ膜を形成した。
[Manufacturing and evaluation of light-shielding film for wafer level lens]
A lens film was formed by the following operations.

<レンズ膜の形成>
脂環式エポキシ樹脂(ダイセル化学社製EHPE−3150)にアリールスルホニウム塩誘導体(ADEKA社製SP−172)を1質量%添加したレンズ膜形成用組成物2mLを5×5cmのガラス基板(厚さ1mm、Schott社製、BK7)上に塗布し、塗膜を200℃で1分間加熱して硬化させ、厚さ80μmのレンズ膜を形成した。
<Formation of lens film>
A 5 × 5 cm glass substrate (thickness) containing 2 mL of a lens film forming composition obtained by adding 1% by mass of an aryl sulfonium salt derivative (SP-172 manufactured by ADEKA) to an alicyclic epoxy resin (EHPE-3150 manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.). It was applied on 1 mm, BK7) manufactured by Schott, and the coating film was heated at 200 ° C. for 1 minute to be cured to form a lens film having a thickness of 80 μm.

<硬化性組成物層形成工程>
レンズ膜を形成したガラス基板(以下「支持体」という。)のレンズ膜上に、実施例1の硬化性組成物を塗布し、表面温度120℃のホットプレートにより硬化性組成物1が塗布された支持体を120秒間加熱した。このようにして、膜厚2.0μmの塗膜(硬化性組成物層に該当する。)を得た。
<Curable composition layer forming step>
The curable composition of Example 1 is applied onto the lens film of a glass substrate (hereinafter referred to as “support”) on which the lens film is formed, and the curable composition 1 is applied by a hot plate having a surface temperature of 120 ° C. The support was heated for 120 seconds. In this way, a coating film having a film thickness of 2.0 μm (corresponding to the curable composition layer) was obtained.

<露光工程>
次いで、高圧水銀灯を用い、10mmのホールパターンを有するフォトマスクを介して露光量500mJ/cmで、得られた硬化性組成物層を露光した。
<Exposure process>
Next, the obtained curable composition layer was exposed with an exposure amount of 500 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a hole pattern of 10 mm.

<現像工程>
上記露光後の硬化性組成物層に対し、現像液としてテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド0.3%水溶液を用い、23℃の温度で60秒間パドル現像を行った。その後、現像処理が施された硬化性組成物層のリンス処理をスピンシャワーにて行い、更に、リンス処理が施された組成物層を純水にて洗浄し、パターン状の遮光膜を得た。
<Development process>
The curable composition layer after the exposure was paddle-developed at a temperature of 23 ° C. for 60 seconds using a 0.3% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide as a developing solution. Then, the developed curable composition layer was rinsed by a spin shower, and the rinsed composition layer was washed with pure water to obtain a patterned light-shielding film. ..

<固体撮像装置の作製>
上述の方法により作製したパターン状の遮光膜上に、上述のレンズ膜形成用組成物を用いて、塗膜を形成した。その後、レンズ形状を持つ石英モールドで形状を転写して高圧水銀ランプにより400mJ/cmの露光量で塗膜を硬化させることにより、ウェハレベルレンズを複数有するウェハレベルレンズアレイを作製した。
作製されたウェハレベルレンズアレイを切断し、得られたウェハレベルレンズを用いてレンズモジュールを作製した後に、撮像素子およびセンサ基板を取り付け、撮像ユニット(固体撮像装置に該当する。)を作製した。
<Manufacturing of solid-state image sensor>
A coating film was formed on the patterned light-shielding film produced by the above-mentioned method by using the above-mentioned lens film-forming composition. Then, the shape was transferred with a quartz mold having a lens shape, and the coating film was cured with an exposure amount of 400 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp to prepare a wafer level lens array having a plurality of wafer level lenses.
After cutting the produced wafer level lens array and producing a lens module using the obtained wafer level lens, an image sensor and a sensor substrate were attached to produce an image pickup unit (corresponding to a solid-state image pickup device).

<評価>
得られたウェハレベルレンズは、レンズ開口部に残渣物が無く良好な透過性を有していた。また、遮光層は、低反射であり、塗布面の均一性が高く、遮光性が高いものであった。
<Evaluation>
The obtained wafer level lens had good transparency with no residue in the lens opening. Further, the light-shielding layer had low reflection, high uniformity of the coated surface, and high light-shielding property.

〔ブラックマトリクスを有するカラーフィルタの作製および評価〕
以下の操作によりブラックマトリクスを有するカラーフィルタを作製した。
[Manufacturing and evaluation of color filters having a black matrix]
A color filter having a black matrix was produced by the following operation.

<ブラックマトリクスの形成>
実施例1の硬化性組成物をガラスウエハにスピンコート法で塗布し、その後ホットプレート上にて、硬化性組成物が塗布されたガラスウエハを120℃で2分加熱して、塗膜(硬化性組成物層に該当する)を得た。得られた塗膜の膜厚は2.0μmであった。
次いで、i線ステッパーを用い、パターンが0.1mmのIslandパターンを有するフォトマスクを通して500mJ/cmの露光量で、硬化性組成物層を露光した。
上記露光後の硬化性組成物層に対し、現像液としてテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド0.3%水溶液を用い、23℃60秒間パドル現像を行った。その後、現像処理が施された硬化性組成物層のリンス処理をスピンシャワーにて行い、更にリンス処理が施された硬化性組成物層を純水にて洗浄し、パターン状の遮光膜(ブラックマトリクス)を得た。
<Formation of black matrix>
The curable composition of Example 1 is applied to a glass wafer by a spin coating method, and then the glass wafer coated with the curable composition is heated at 120 ° C. for 2 minutes on a hot plate to obtain a coating film (cured). (Corresponding to the sex composition layer) was obtained. The film thickness of the obtained coating film was 2.0 μm.
The curable composition layer was then exposed using an i-line stepper through a photomask having an Island pattern with a pattern of 0.1 mm at an exposure of 500 mJ / cm 2 .
The curable composition layer after the exposure was paddle-developed at 23 ° C. for 60 seconds using a 0.3% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide as a developing solution. After that, the developed curable composition layer is rinsed by a spin shower, and the rinsed curable composition layer is washed with pure water to obtain a patterned light-shielding film (black). Matrix) was obtained.

<有彩色硬化性組成物の調製>
実施例1の硬化性組成物において、チタンブラックを、下記有彩色系顔料に替えたほかは同様にして、それぞれ赤色(R)用着色硬化性組成物R−1、緑色(G)用着色硬化性組成物G−1、および青色(B)用着色硬化性組成物B−1を調製した。
〜RGB各色着色画素形成用の有彩色系顔料〜
・赤色(R)用顔料
C.I.ピグメント・レッド254
・緑色(G)用顔料
C.I.ピグメント・グリーン36とC.I.ピグメント・イエロー219との30/70〔質量比〕混合物
・青色(B)用顔料
C.I.ピグメント・ブルー15:6とC.I.ピグメント・バイオレット23との30/70〔質量比〕混合物
<Preparation of chromatic color curable composition>
In the curable composition of Example 1, titanium black was replaced with the following chromatic pigment, and the same was true for the red (R) color curable composition R-1 and the green (G) color curable composition, respectively. A sex composition G-1 and a color curable composition B-1 for blue (B) were prepared.
~ RGB chromatic pigments for forming colored pixels of each color ~
-Red (R) pigment C. I. Pigment Red 254
-Pigment for green (G) C. I. Pigment Green 36 and C.I. I. Pigment Yellow 219 and 30/70 [mass ratio] mixture, blue (B) pigment C.I. I. Pigment Blue 15: 6 and C.I. I. 30/70 [mass ratio] mixture with Pigment Violet 23

<カラーフィルタの作製>
上記で作製したブラックマトリクス内に、上記赤色(R)用着色硬化性組成物R−1を用いて、上記で作製したブラックマトリクスの作製方法と同じ要領で80×80μmの赤色(R)の着色パターンを形成した。更に、同様にして緑色(G)用着色硬化性組成物G−1を用いて緑色(G)の有彩色着色パターンを、および青色(B)用着色硬化性組成物B−1を用いて青色(B)の有彩色着色パターンを順次形成して液晶表示装置用のブラックマトリクスを有するカラーフィルタを作製した。
<Making color filters>
In the black matrix produced above, the coloring curable composition R-1 for red (R) is used to color 80 × 80 μm red (R) in the same manner as in the method for producing the black matrix produced above. Formed a pattern. Further, similarly, a green (G) coloring curable composition G-1 is used to obtain a green (G) chromatic coloring pattern, and a blue (B) coloring curable composition B-1 is used to obtain a blue color. The chromatic coloring pattern of (B) was sequentially formed to prepare a color filter having a black matrix for a liquid crystal display device.

<評価>
得られたカラーフィルタを搭載した液晶表示装置は高コントラストで鮮明な画像が得られ、外光下でも視認性に極めて優れることが分かった。
遮光層は、光学濃度が高く、バックライトの光を通さないための十分な遮光性が実現できるため、高コントラストで鮮明な画像が得られるばかりでなく、反射率が低いために外光下でも視認性に極めて優れることが推定される。
<Evaluation>
It was found that the liquid crystal display device equipped with the obtained color filter obtained a clear image with high contrast and was extremely excellent in visibility even under external light.
The light-shielding layer has a high optical density and can realize sufficient light-shielding property to prevent the light from the backlight from passing through, so that not only a high-contrast and clear image can be obtained, but also the low reflectance makes it possible to obtain a clear image even under external light. It is presumed that the visibility is extremely excellent.

2,20,30,40 固体撮像装置
3 CMOSセンサ
4 回路基板
5 セラミック基板
5a 開口
5b 内壁面
6 IRカットフィルタ
6a 入射面
7 撮影レンズ
8 レンズホルダ
9 保持筒
10,11,21,31,41 遮光膜(遮光層)
2,20,30,40 Solid-state image sensor 3 CMOS sensor 4 Circuit board 5 Ceramic board 5a Aperture 5b Inner wall surface 6 IR cut filter 6a Incident surface 7 Shooting lens 8 Lens holder 9 Holding cylinder 10,11,21,31,41 Shading Film (light-shielding layer)

Claims (17)

着色剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合性化合物と、塩基発生剤と、分散剤と、2種以上の有機溶剤と、を含有する硬化性組成物であって、
前記光ラジカル重合開始剤が、オキシム系開始剤であり、
前記分散剤に対する前記塩基発生剤の質量比が、0.08〜0.5であり、
前記着色剤が、チタン化合物を含有する、硬化性組成物。
A curable composition containing a colorant, a photoradical polymerization initiator, a polymerizable compound, a base generator, a dispersant, and two or more kinds of organic solvents.
The photoradical polymerization initiator is an oxime-based initiator.
Weight ratio before Kishio radical generator to said dispersing agent, Ri 0.08 to 0.5 der,
The colorant is, you containing a titanium compound, a curable composition.
着色剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合性化合物と、塩基発生剤と、分散剤と、2種以上の有機溶剤と、を含有する硬化性組成物であって、 A curable composition containing a colorant, a photoradical polymerization initiator, a polymerizable compound, a base generator, a dispersant, and two or more kinds of organic solvents.
前記光ラジカル重合開始剤が、フッ素原子を有するオキシム系開始剤であり、 The photoradical polymerization initiator is an oxime-based initiator having a fluorine atom.
前記分散剤に対する前記塩基発生剤の質量比が、0.08〜0.5である、硬化性組成物。 A curable composition in which the mass ratio of the base generator to the dispersant is 0.08 to 0.5.
ただし、前記硬化性組成物は、下記式(1)で表される化合物を含有しない。 However, the curable composition does not contain the compound represented by the following formula (1).

式(1)中、R In equation (1), R 1 及びRAnd R 2 は、それぞれ独立に水素原子又は有機基を示す。ただし、RIndependently indicate a hydrogen atom or an organic group. However, R 1 及びRAnd R 2 の少なくとも一方は有機基を示す。RAt least one of them represents an organic group. R 1 及びRAnd R 2 は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。RThey may be bonded to form a cyclic structure or may contain a heteroatom bond. R 3 は、単結合又は有機基を示す。RIndicates a single bond or an organic group. R 4 及びRAnd R 5 は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。RAre independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato. Indicates a group or an organic group. R 6 、R, R 7 、R, R 8 、及びR, And R 9 は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。ただし、R6及びR7が水酸基となることはない。RAre independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato. Indicates a group, amino group, ammonio group, or organic group. However, R6 and R7 do not become hydroxyl groups. R 6 、R, R 7 、R, R 8 、及びR, And R 9 は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。RMay form a cyclic structure in which two or more of them are bonded to each other, and may contain a heteroatom bond. R 1010 は、水素原子又は有機基を示す。Indicates a hydrogen atom or an organic group.
着色剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合性化合物と、塩基発生剤と、分散剤と、2種以上の有機溶剤と、を含有する硬化性組成物であって、 A curable composition containing a colorant, a photoradical polymerization initiator, a polymerizable compound, a base generator, a dispersant, and two or more kinds of organic solvents.
前記光ラジカル重合開始剤が、オキシム系開始剤であり、 The photoradical polymerization initiator is an oxime-based initiator.
前記分散剤に対する前記塩基発生剤の質量比が、0.08〜0.5であり、 The mass ratio of the base generator to the dispersant is 0.08 to 0.5.
前記着色剤が、黄色顔料および遮光性顔料を含有する、硬化性組成物。 A curable composition in which the colorant contains a yellow pigment and a light-shielding pigment.
ただし、前記硬化性組成物は、下記式(1)で表される化合物を含有しない。 However, the curable composition does not contain the compound represented by the following formula (1).

式(1)中、R In equation (1), R 1 及びRAnd R 2 は、それぞれ独立に水素原子又は有機基を示す。ただし、RIndependently indicate a hydrogen atom or an organic group. However, R 1 及びRAnd R 2 の少なくとも一方は有機基を示す。RAt least one of them represents an organic group. R 1 及びRAnd R 2 は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。RThey may be bonded to form a cyclic structure or may contain a heteroatom bond. R 3 は、単結合又は有機基を示す。RIndicates a single bond or an organic group. R 4 及びRAnd R 5 は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。RAre independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato. Indicates a group or an organic group. R 6 、R, R 7 、R, R 8 、及びR, And R 9 は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。ただし、R6及びR7が水酸基となることはない。RAre independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato. Indicates a group, amino group, ammonio group, or organic group. However, R6 and R7 do not become hydroxyl groups. R 6 、R, R 7 、R, R 8 、及びR, And R 9 は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。RMay form a cyclic structure in which two or more of them are bonded to each other, and may contain a heteroatom bond. R 1010 は、水素原子又は有機基を示す。Indicates a hydrogen atom or an organic group.
着色剤と、光ラジカル重合開始剤と、重合性化合物と、塩基発生剤と、分散剤と、2種以上の有機溶剤と、含フッ素樹脂と、を含有する硬化性組成物であって、 A curable composition containing a colorant, a photoradical polymerization initiator, a polymerizable compound, a base generator, a dispersant, two or more kinds of organic solvents, and a fluororesin.
前記光ラジカル重合開始剤が、オキシム系開始剤であり、 The photoradical polymerization initiator is an oxime-based initiator.
前記分散剤に対する前記塩基発生剤の質量比が、0.08〜0.5である、硬化性組成物。 A curable composition in which the mass ratio of the base generator to the dispersant is 0.08 to 0.5.
ただし、前記硬化性組成物は、下記式(1)で表される化合物を含有しない。 However, the curable composition does not contain the compound represented by the following formula (1).

式(1)中、R In equation (1), R 1 及びRAnd R 2 は、それぞれ独立に水素原子又は有機基を示す。ただし、RIndependently indicate a hydrogen atom or an organic group. However, R 1 及びRAnd R 2 の少なくとも一方は有機基を示す。RAt least one of them represents an organic group. R 1 及びRAnd R 2 は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。RThey may be bonded to form a cyclic structure or may contain a heteroatom bond. R 3 は、単結合又は有機基を示す。RIndicates a single bond or an organic group. R 4 及びRAnd R 5 は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。RAre independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato. Indicates a group or an organic group. R 6 、R, R 7 、R, R 8 、及びR, And R 9 は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。ただし、R6及びR7が水酸基となることはない。RAre independently hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato. Indicates a group, amino group, ammonio group, or organic group. However, R6 and R7 do not become hydroxyl groups. R 6 、R, R 7 、R, R 8 、及びR, And R 9 は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。RMay form a cyclic structure in which two or more of them are bonded to each other, and may contain a heteroatom bond. R 1010 は、水素原子又は有機基を示す。Indicates a hydrogen atom or an organic group.
前記オキシム系開始剤が、フッ素原子を有するオキシム系開始剤である請求項1、3および4のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 , 3 and 4 , wherein the oxime-based initiator is an oxime-based initiator having a fluorine atom. 前記オキシム系開始剤が、下記式(I−1)で表される化合物である、請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性組成物。
The curable composition according to any one of claims 1 to 5 , wherein the oxime-based initiator is a compound represented by the following formula (I-1).
前記着色剤が、遮光性顔料である請求項2または4に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 2 or 4 , wherein the colorant is a light-shielding pigment. 前記着色剤が、黄色顔料および遮光性顔料を含む、請求項2、4および7のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 2, 4 and 7 , wherein the colorant contains a yellow pigment and a light-shielding pigment. 前記遮光性顔料が、チタン化合物である請求項3、7および8のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 3, 7 and 8 , wherein the light-shielding pigment is a titanium compound. さらに、含フッ素樹脂を含有する請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 3 , further comprising a fluororesin. 前記塩基発生剤が光塩基発生剤を含有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 10 , wherein the base generator contains a photobase generator. 前記光塩基発生剤が、下記の一般式(PBG)で表される請求項11に記載の硬化性組成物。

一般式(PBG)中、RおよびRはそれぞれ独立に水素原子または1価の有機基を表し、RおよびRは互いに結合して環を形成してもよく、Arはアリール基またはヘテロアリール基を表す。
The curable composition according to claim 11 , wherein the photobase generator is represented by the following general formula (PBG).

In the general formula (PBG), Ra and R b independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, Ra and R b may be bonded to each other to form a ring, and Ar a may be an aryl group. Or represents a heteroaryl group.
前記一般式(PBG)中、RおよびRがそれぞれ独立に水素原子またはアルキル基を表し、RおよびRが互いに結合して環を形成してもよい、請求項12に記載の硬化性組成物。 The curing according to claim 12 , wherein in the general formula (PBG), Ra and R b each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group, and Ra and R b may be bonded to each other to form a ring. Sex composition. 前記光塩基発生剤から発生する塩基がアミン化合物であって、前記アミン化合物の分子量が150以下である請求項11〜13のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 11 to 13 , wherein the base generated from the photobase generator is an amine compound, and the molecular weight of the amine compound is 150 or less. 請求項1〜14のいずれか一項に記載の硬化性組成物を硬化して得られる遮光膜。 A light-shielding film obtained by curing the curable composition according to any one of claims 1 to 14 . 請求項15に記載の遮光膜を有する、固体撮像装置。 A solid-state image sensor having the light-shielding film according to claim 15 . 請求項15に記載の遮光膜を有する、カラーフィルタ。 A color filter having the light-shielding film according to claim 15 .
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