JP6801700B2

JP6801700B2 - Manufacturing method of vapor chamber, electronic equipment and vapor chamber

Info

Publication number: JP6801700B2
Application number: JP2018186079A
Authority: JP
Inventors: 伸一郎高橋; 太田　貴之; 貴之太田; 和範小田; 小田　　和範; 武田　利彦; 利彦武田; 清隆竹松; 輝寿百瀬; 陽子中村
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2017-11-10
Filing date: 2018-09-28
Publication date: 2020-12-16
Anticipated expiration: 2038-09-28
Also published as: JP2021001723A; JP2021038918A; JP2022048148A; JP6803015B1; JP2023099540A; JP2019143960A; JP7579524B2; JP7269555B2; JP7002025B2

Description

本発明は、作動液が密封された密封空間を有するベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。 The present invention relates to a vapor chamber, an electronic device, a metal sheet for a vapor chamber, and a method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is sealed.

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１乃至５参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動液が封入されており、この作動液がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。 Devices that generate heat, such as central processing units (CPUs), light-emitting diodes (LEDs), and power semiconductors used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals, are cooled by heat-dissipating members such as heat pipes. For example, see Patent Documents 1 to 5). In recent years, in order to make mobile terminals and the like thinner, it has been required to make the heat radiating member thinner, and the development of a vapor chamber that can be made thinner than a heat pipe is being promoted. A hydraulic fluid is sealed in the vapor chamber, and the hydraulic fluid absorbs the heat of the device and releases it to the outside to cool the device.

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸気流路部において蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、凝縮して液状になった作動液は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発部に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。 More specifically, the working fluid in the vapor chamber receives heat from the device at a portion close to the device (evaporation portion) and evaporates to vapor, and then the vapor separates from the evaporation portion in the vapor flow path portion. It moves to the position where it is cooled, condenses and becomes liquid. A liquid flow path portion as a capillary structure (wick) is provided in the vapor chamber, and the condensed and liquefied working liquid enters the liquid flow path portion from the vapor flow path portion and enters the liquid flow path portion. Is transported toward the evaporation part. Then, the working liquid receives heat again in the evaporation section and evaporates. In this way, the working fluid recirculates in the vapor chamber while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, to transfer heat of the device and improve heat dissipation efficiency.

ところで、液流路部は、第１方向に延びる主流溝を複数有している。蒸気流路部において蒸気から凝縮した液状の作動液は、第１方向に交差する第２方向に延びる複数の連絡溝を通過して主流溝に入り込み、主流溝の毛細管作用を受けて蒸発部に向かう推進力を得る。このようにして、作動液は、主流溝内を蒸発部に向かって通過するようになっている。また、複数の連絡溝によって隣り合う主流溝同士で作動液が往来可能になっている。このようにして、液流路部においては複数の主流溝と複数の連絡溝が格子状に形成されており、液流路部内に均等に作動液が行き渡るようにしている。 By the way, the liquid flow path portion has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction. The liquid hydraulic fluid condensed from the vapor in the vapor flow path passes through a plurality of connecting grooves extending in the second direction intersecting the first direction, enters the mainstream groove, and is subjected to the capillary action of the mainstream groove to the evaporation part. Get the impetus to go. In this way, the working fluid passes through the mainstream groove toward the evaporation portion. In addition, a plurality of connecting grooves allow the hydraulic fluid to flow between adjacent mainstream grooves. In this way, a plurality of mainstream grooves and a plurality of connecting grooves are formed in a grid pattern in the liquid flow path portion so that the working liquid is evenly distributed in the liquid flow path portion.

特開２０１５−５９６９３号公報JP-A-2015-59693 特開２０１５−８８８８２号公報JP-A-2015-88882 特開２０１６−１７７０２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-17702 特開２０１６−５０６８２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-50682 特開２０１６−２０５６９３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-205693

しかしながら、蒸気から凝縮した作動液が連絡溝をスムースに通過することが困難な場合、蒸気流路部に近い側の主流溝や当該蒸気流路部から遠い側の主流溝に作動液が入り込み難くなり、主流溝への作動液の入り込み量が低減する。この場合、蒸発部への作動液の輸送量が低減し、熱輸送効率が低下するという問題が生じる。 However, when it is difficult for the hydraulic fluid condensed from the vapor to smoothly pass through the connecting groove, it is difficult for the hydraulic fluid to enter the mainstream groove on the side near the vapor flow path or the mainstream groove on the side far from the vapor flow path. As a result, the amount of hydraulic fluid entering the mainstream groove is reduced. In this case, there arises a problem that the amount of the hydraulic fluid transported to the evaporation portion is reduced and the heat transport efficiency is lowered.

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、液状の作動液の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such a point, and can improve the transport function of the liquid working fluid and the heat transport efficiency, and can improve the vapor chamber, the electronic device, the metal sheet for the vapor chamber, and the vapor. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a chamber.

本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シート上に積層された第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、ベーパーチャンバ、
を提供する。 The present invention
A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
The first metal sheet and
The second metal sheet laminated on the first metal sheet and
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet, the vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes, and the liquid flow path portion through which the liquid hydraulic liquid passes. With a sealed space,
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The width of the connecting groove is larger than the width of the mainstream groove, the vapor chamber,
I will provide a.

なお、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 In the above-mentioned vapor chamber,
The depth of the connecting groove is deeper than the depth of the mainstream groove.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記主流溝は、前記連絡溝と連通する交差部と、前記第１方向において前記交差部とは異なる位置に位置するとともに、互いに隣り合う一対の前記液流路凸部の間に位置する主流溝本体部と、を含み、
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記主流溝本体部の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The mainstream groove is located between an intersection communicating with the connecting groove and a pair of convex liquid flow paths adjacent to each other at a position different from the intersection in the first direction. Including the main body
The depth of the intersection of the mainstream groove is deeper than the depth of the mainstream groove main body.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記連絡溝の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The depth of the intersection of the mainstream groove is deeper than the depth of the connecting groove.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記液流路凸部の角部に、丸みを帯びた湾曲部が設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
A rounded curved portion is provided at a corner of the convex portion of the liquid flow path.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記主流溝に突出する複数の主流溝凸部を更に備える、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
A plurality of mainstream groove protrusions protruding into the mainstream groove are further provided.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記主流溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The cross section of the convex portion of the mainstream groove is formed in a curved shape.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記連絡溝に突出する複数の連絡溝凸部を更に備える、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
A plurality of connecting groove protrusions projecting from the connecting groove are further provided.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記連絡溝凸部の横断面は、湾曲状に形成されている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The cross section of the convex portion of the connecting groove is formed in a curved shape.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記連絡溝は、前記第１方向に交差する第２方向において整列している、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The connecting grooves are aligned in a second direction intersecting the first direction.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２金属シートは、前記第１金属シート上に設けられ、
前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The second metal sheet is provided on the first metal sheet and is provided on the first metal sheet.
The liquid flow path portion is provided on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートを更に備え、
前記蒸気流路部は、前記第２金属シートの前記第３金属シートの側の面および前記第３金属シートの前記第２金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に設けられた第２蒸気流路部を有し、
前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第３金属シートの側の面に設けられ、
前記第３金属シートに、前記第２蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
A third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet is further provided.
The steam flow path portion is provided on at least one of the surface of the second metal sheet on the side of the third metal sheet and the surface of the third metal sheet on the side of the second metal sheet. It has a flow path and
The liquid flow path portion is provided on the surface of the first metal sheet on the side of the third metal sheet.
The third metal sheet is provided with a communication portion for communicating the second vapor flow path portion and the liquid flow path portion.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートを更に備え、
前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
前記蒸気流路部は、前記第３金属シートの前記第２面に設けられ、
前記液流路部は、前記第３金属シートの前記第１面に設けられて、前記蒸気流路部と連通している、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
A third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet is further provided.
The third metal sheet includes a first surface provided on the side of the first metal sheet and a second surface provided on the side of the second metal sheet.
The steam flow path portion is provided on the second surface of the third metal sheet.
The liquid flow path portion is provided on the first surface of the third metal sheet and communicates with the vapor flow path portion.
You may do so.

また、本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シート上に設けられた第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に設けられ、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記主流溝にそれぞれ突出する複数の主流溝凸部を有している、ベーパーチャンバ、
を提供する。 In addition, the present invention
A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
The first metal sheet and
A second metal sheet provided on the first metal sheet and
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet, the vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes, and the liquid flow path portion through which the liquid hydraulic liquid passes. With a sealed space,
The liquid flow path portion is provided on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
The second metal sheet has a plurality of mainstream groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the mainstream groove of the first metal sheet, respectively. Chamber,
I will provide a.

また、本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シート上に設けられた第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に設けられた密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を有する密封空間と、を備え、
前記液流路部は、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に設けられ、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記連絡溝にそれぞれ突出する複数の連絡溝凸部を有している、ベーパーチャンバ、
を提供する。 In addition, the present invention
A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
The first metal sheet and
A second metal sheet provided on the first metal sheet and
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet, the vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes, and the liquid flow path portion through which the liquid hydraulic liquid passes. With a sealed space,
The liquid flow path portion is provided on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The second metal sheet has a plurality of connecting groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the connecting grooves of the first metal sheet, respectively. Chamber,
I will provide a.

また、本発明は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、上述のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。 In addition, the present invention
With the housing
With the device housed in the housing
An electronic device comprising the above-mentioned vapor chamber, which is in thermal contact with the device.
I will provide a.

また、本発明は、
作動液が封入された、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記第１面に、前記液流路部が設けられ、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、
ベーパーチャンバ用金属シート、
を提供する。 In addition, the present invention
A metal sheet for a vapor chamber for a vapor chamber having a sealed space containing a vapor flow path portion through which the vapor of the hydraulic fluid passes and a liquid flow path portion through which the liquid hydraulic fluid passes. There,
The first side and
A second surface provided on the side opposite to the first surface is provided.
The liquid flow path portion is provided on the first surface.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The width of the connecting groove is larger than the width of the mainstream groove.
Metal sheet for vapor chamber,
I will provide a.

また、本発明は、
第１金属シートと第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、
ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。 In addition, the present invention
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet in which the working liquid is sealed, and a vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes and a liquid through which the liquid working liquid passes. A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space including a flow path portion.
A half-etching step of forming the liquid flow path portion on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet by half-etching.
A joining step of joining the first metal sheet and the second metal sheet, the joining step of forming the sealing space between the first metal sheet and the second metal sheet.
A sealing step of sealing the working fluid in the sealed space is provided.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The width of the connecting groove is larger than the width of the mainstream groove.
How to make a vapor chamber,
I will provide a.

なお、上述したベーパーチャンバの製造方法において、
ハーフエッチングにより、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面および第３金属シートの前記第２金属シートの側の面のうちの少なくとも一方に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられた第３金属シートを形成する工程と、を更に備え、
前記接合工程において、前記第１金属シートと前記第２金属シートとは、前記第３金属シートを介して接合される、
ようにしてもよい。 In the method for manufacturing the vapor chamber described above,
A step of forming the vapor flow path portion on at least one of the surface on the side of the first metal sheet of the second metal sheet and the surface on the side of the second metal sheet of the third metal sheet by half etching. ,
A step of forming a third metal sheet provided with a communication portion for communicating the vapor flow path portion and the liquid flow path portion is further provided.
In the joining step, the first metal sheet and the second metal sheet are joined via the third metal sheet.
You may do so.

また、本発明は、
第１金属シートと第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有し、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に第３金属シートが介在されたベーパーチャンバの製造方法であって、
前記第３金属シートの前記第１金属シートの側の面に前記液流路部を形成するとともに、前記第３金属シートの前記第２金属シートの側の面に前記蒸気流路部を形成する工程と、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとを前記第３金属シートを介して接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。 In addition, the present invention
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet in which the working liquid is sealed, and a vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes and a liquid through which the liquid working liquid passes. A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space including a flow path portion and having a third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet.
The liquid flow path portion is formed on the surface of the third metal sheet on the side of the first metal sheet, and the vapor flow path portion is formed on the surface of the third metal sheet on the side of the second metal sheet. Process and
In a joining step of joining the first metal sheet and the second metal sheet via the third metal sheet, the sealed space is formed between the first metal sheet and the second metal sheet. Joining process and
A sealing step of sealing the working fluid in the sealed space is provided.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
A method for manufacturing a vapor chamber, wherein the width of the connecting groove is larger than the width of the mainstream groove.
I will provide a.

また、本発明は、
第１金属シートと第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記主流溝にそれぞれ突出する複数の主流溝凸部を有している、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。 In addition, the present invention
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet in which the working liquid is sealed, and a vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes and a liquid through which the liquid working liquid passes. A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space including a flow path portion.
A half-etching step of forming the liquid flow path portion on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet by half-etching.
A joining step of joining the first metal sheet and the second metal sheet, the joining step of forming the sealing space between the first metal sheet and the second metal sheet.
A sealing step of sealing the working fluid in the sealed space is provided.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
The second metal sheet has a plurality of mainstream groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the mainstream groove of the first metal sheet, respectively. How to make a chamber,
I will provide a.

また、本発明は、
第１金属シートと第２金属シートとの間に設けられた、作動液が封入される密封空間であって、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、液状の前記作動液が通る液流路部と、を含む密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
ハーフエッチングにより、前記第１金属シートの前記第２金属シートの側の面に前記液流路部を形成するハーフエッチング工程と、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとを接合する接合工程であって、前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備え、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の前記主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の液流路凸部を含む凸部列が設けられ、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記第２金属シートは、前記第２金属シートの前記第１金属シートの側の面から、前記第１金属シートの前記連絡溝にそれぞれ突出する複数の連絡溝凸部を有している、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。 In addition, the present invention
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet in which the working liquid is sealed, and a vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes and a liquid through which the liquid working liquid passes. A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space including a flow path portion.
A half-etching step of forming the liquid flow path portion on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet by half-etching.
A joining step of joining the first metal sheet and the second metal sheet, the joining step of forming the sealing space between the first metal sheet and the second metal sheet.
A sealing step of sealing the working fluid in the sealed space is provided.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The second metal sheet has a plurality of connecting groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the connecting grooves of the first metal sheet, respectively. How to make a chamber,
I will provide a.

本発明によれば、液状の作動液の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the transport function of the liquid working liquid and improve the heat transport efficiency.

図１は、本発明の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an electronic device according to the first embodiment of the present invention. 図２は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。FIG. 2 is a top view showing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ−Ａ線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA showing the vapor chamber of FIG. 図４は、図２の下側金属シートの上面図である。FIG. 4 is a top view of the lower metal sheet of FIG. 図５は、図２の上側金属シートの下面図である。FIG. 5 is a bottom view of the upper metal sheet of FIG. 図６は、図４の液流路部を示す拡大上面図である。FIG. 6 is an enlarged top view showing the liquid flow path portion of FIG. 図７は、図６のＢ−Ｂ線断面に、上側金属シートの上側流路壁部を追加して示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing an upper flow path wall portion of the upper metal sheet added to the cross section taken along the line BB of FIG. 図８は、図６のＣ−Ｃ線断面に、上側金属シートの上側流路壁部を追加して示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing an upper flow path wall portion of the upper metal sheet added to the CC line cross section of FIG. 図９は、図６のＤ−Ｄ線断面に、上側金属シートの上側流路壁部を追加して示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing an upper flow path wall portion of the upper metal sheet added to the DD line cross section of FIG. 図１０は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、下側金属シートの準備工程を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a step of preparing a lower metal sheet in the method for manufacturing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図１１は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、下側金属シートの第１ハーフエッチング工程を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a first half etching step of the lower metal sheet in the method for manufacturing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図１２は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、下側金属シートの第２ハーフエッチング工程を説明するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a second half etching step of the lower metal sheet in the method for manufacturing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図１３は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a temporary fixing step in the method for manufacturing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図１４は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、恒久接合工程を説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a permanent joining step in the method for manufacturing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図１５は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の封入工程を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining a step of filling a working liquid in the method for manufacturing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図１６は、図６に示す液流路凸部の変形例を示す上面図である。FIG. 16 is a top view showing a modified example of the convex portion of the liquid flow path shown in FIG. 図１７は、図６に示す液流路凸部の他の変形例を示す上面図である。FIG. 17 is a top view showing another modification of the liquid flow path convex portion shown in FIG. 図１８は、図６に示す液流路凸部の他の変形例を示す上面図である。FIG. 18 is a top view showing another modification of the liquid flow path convex portion shown in FIG. 図１９は、図６に示す液流路凸部の他の変形例を示す上面図である。FIG. 19 is a top view showing another modification of the liquid flow path convex portion shown in FIG. 図２０は、図３の他の変形例を示す図である。FIG. 20 is a diagram showing another modification of FIG. 図２１は、本発明の第２の実施の形態におけるベーパーチャンバにおいて、主流溝凸部を示す拡大断面図であって、図７に対応する図である。FIG. 21 is an enlarged cross-sectional view showing a mainstream groove convex portion in the vapor chamber according to the second embodiment of the present invention, and is a view corresponding to FIG. 7. 図２２は、本発明の第２の実施の形態におけるベーパーチャンバにおいて、連絡溝凸部を示す拡大断面図であって、図８に対応する図である。FIG. 22 is an enlarged cross-sectional view showing the convex portion of the connecting groove in the vapor chamber according to the second embodiment of the present invention, and is a view corresponding to FIG. 図２３は、本発明の第３の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 23 is a cross-sectional view showing a vapor chamber according to a third embodiment of the present invention. 図２４は、図２３の上側金属シートの下面図である。FIG. 24 is a bottom view of the upper metal sheet of FIG. 23. 図２５は、図２３の中間金属シートの上面図である。FIG. 25 is a top view of the intermediate metal sheet of FIG. 23. 図２６は、図２３のベーパーチャンバの変形例を示す断面図である。FIG. 26 is a cross-sectional view showing a modified example of the vapor chamber of FIG. 23. 図２７は、図２３に示すベーパーチャンバの変形例において、主流溝凸部を示す拡大断面図である。FIG. 27 is an enlarged cross-sectional view showing a mainstream groove convex portion in a modified example of the vapor chamber shown in FIG. 23. 図２８は、図２３に示すベーパーチャンバの変形例において、連絡溝凸部を示す拡大断面図である。FIG. 28 is an enlarged cross-sectional view showing the convex portion of the connecting groove in the modified example of the vapor chamber shown in FIG. 23. 図２９は、本発明の第４の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 29 is a cross-sectional view showing a vapor chamber according to a fourth embodiment of the present invention. 図３０は、図２９の中間金属シートの上面図である。FIG. 30 is a top view of the intermediate metal sheet of FIG. 29. 図３１は、本発明の第５の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 31 is a cross-sectional view showing a vapor chamber according to a fifth embodiment of the present invention. 図３２は、図３１の中間金属シートの下面図である。FIG. 32 is a bottom view of the intermediate metal sheet of FIG. 31. 図３３は、図３１の中間金属シートの上面図である。FIG. 33 is a top view of the intermediate metal sheet of FIG. 31. 図３４は、図３１のベーパーチャンバの変形例を示す断面図である。FIG. 34 is a cross-sectional view showing a modified example of the vapor chamber of FIG. 31. 図３５は、図３１に示すベーパーチャンバの変形例において、主流溝凸部を示す拡大断面図である。FIG. 35 is an enlarged cross-sectional view showing a mainstream groove convex portion in a modified example of the vapor chamber shown in FIG. 31. 図３６は、図３１に示すベーパーチャンバの変形例において、連絡溝凸部を示す拡大断面図である。FIG. 36 is an enlarged cross-sectional view showing the convex portion of the connecting groove in the modified example of the vapor chamber shown in FIG. 31.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, the scale, aspect ratio, etc. are appropriately changed from those of the actual product and exaggerated for the convenience of illustration and comprehension.

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。 In addition, as used in the present specification, the terms such as "parallel", "orthogonal", and "identical", and the length, angle, and physical characteristics that specify the shape, geometric conditions, and physical characteristics and their degrees are specified. The value of, etc. shall be interpreted including the range in which the same function can be expected without being bound by the strict meaning. Furthermore, in the drawings, for the sake of clarity, the shapes of a plurality of parts that can be expected to have the same function are regularly described, but the function should be expected without being bound by a strict meaning. The shapes of the portions may be different from each other as long as they can be formed. Further, in the drawings, the boundary line indicating the joint surface between members is shown by a simple straight line for convenience, but it is not limited to a strict straight line, and a desired joint performance can be expected. The shape of the boundary line is arbitrary as long as it is possible.

（第１の実施の形態）
図１乃至図２０を用いて、本発明の第１の実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。 (First Embodiment)
A method for manufacturing a vapor chamber, an electronic device, a metal sheet for a vapor chamber, and a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 20. The vapor chamber 1 in the present embodiment is a device mounted on the electronic device E in order to cool the device D as a heating element housed in the electronic device E. Examples of device D include central processing units (CPUs), light emitting diodes (LEDs), and electronic devices (cooled devices) that generate heat, such as power semiconductors, used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals. Be done.

ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動液２を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。 Here, first, the electronic device E on which the vapor chamber 1 according to the present embodiment is mounted will be described by taking a tablet terminal as an example. As shown in FIG. 1, the electronic device E (tablet terminal) includes a housing H, a device D housed in the housing H, and a vapor chamber 1. In the electronic device E shown in FIG. 1, a touch panel display TD is provided on the front surface of the housing H. The vapor chamber 1 is housed in the housing H and is arranged so as to be in thermal contact with the device D. As a result, the vapor chamber 1 can receive the heat generated in the device D when the electronic device E is used. The heat received by the vapor chamber 1 is released to the outside of the vapor chamber 1 via the hydraulic fluid 2 described later. In this way, device D is effectively cooled. When the electronic device E is a tablet terminal, the device D corresponds to a central processing unit or the like.

次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。ベーパーチャンバ１は、作動液２が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動液２が相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するようになっている。 Next, the vapor chamber 1 according to the present embodiment will be described. The vapor chamber 1 has a sealed space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed, and the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 repeatedly undergoes a phase change to effectively cool the device D of the electronic device E described above. It is designed to do.

ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。この場合、ベーパーチャンバ１は、平面外輪郭をなす４つの直線状の外縁１ａ、１ｂを有する。このうち２つの外縁１ａが、後述する第１方向Ｘに沿うように形成され、残りの２つの外縁１ｂが、後述する第２方向Ｙに沿うように形成される。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。また、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状など、任意の形状とすることができる。 The vapor chamber 1 is formed in a substantially thin flat plate shape. The planar shape of the vapor chamber 1 is arbitrary, but it may be rectangular as shown in FIG. In this case, the vapor chamber 1 has four linear outer edges 1a and 1b forming an out-plane contour. Of these, two outer edges 1a are formed along the first direction X described later, and the remaining two outer edges 1b are formed along the second direction Y described later. The planar shape of the vapor chamber 1 may be, for example, a rectangle having one side of 1 cm and another side of 3 cm, or a square having one side of 15 cm, and the planar dimension of the vapor chamber 1 is arbitrary. .. Further, the planar shape of the vapor chamber 1 is not limited to a rectangular shape, and may be any shape such as a circular shape, an elliptical shape, an L shape, and a T shape.

図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０（第１金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、下側金属シート１０に積層された上側金属シート２０（第２金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、を備えている。本実施の形態では、上側金属シート２０は、下側金属シート１０上に設けられている。下側金属シート１０は、上面１０ａ（第１面）と、上面１０ａとは反対側に設けられた下面１０ｂ（第２面）とを有している。上側金属シート２０は、下側金属シート１０の上面１０ａ（上側金属シート２０の側の面）に重ね合わされた下面２０ａ（下側金属シート１０の側の面）と、下面２０ａとは反対側に設けられた上面２０ｂと、を有している。下側金属シート１０の下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。 As shown in FIGS. 2 and 3, the vapor chamber 1 includes a lower metal sheet 10 (first metal sheet, metal sheet for vapor chamber) and an upper metal sheet 20 (second metal sheet 20) laminated on the lower metal sheet 10. It is equipped with a metal sheet and a metal sheet for a vapor chamber). In the present embodiment, the upper metal sheet 20 is provided on the lower metal sheet 10. The lower metal sheet 10 has an upper surface 10a (first surface) and a lower surface 10b (second surface) provided on the side opposite to the upper surface 10a. The upper metal sheet 20 is formed on the lower surface 20a (the surface on the lower metal sheet 10 side) superposed on the upper surface 10a (the surface on the upper metal sheet 20 side) of the lower metal sheet 10 and on the side opposite to the lower surface 20a. It has an upper surface 20b provided. The device D, which is the object to be cooled, is attached to the lower surface 10b of the lower metal sheet 10 (particularly, the lower surface of the evaporation portion 11 described later).

下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、作動液２が封入された密封空間３が形成されている。本実施の形態では、密封空間３は、主として作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０（後述する下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１）と、主として液状の作動液２が通る液流路部３０と、を有している。作動液２の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等が挙げられる。 A sealing space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. In the present embodiment, the sealed space 3 is mainly composed of a vapor flow path portion 80 (lower steam flow path recess 12 and upper steam flow path recess 21 described later) through which the vapor of the hydraulic fluid 2 passes, and a liquid hydraulic fluid 2 mainly. It has a liquid flow path portion 30 through which the vapor vapor passes. Examples of the working fluid 2 include pure water, ethanol, methanol, acetone and the like.

下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。図２および図３に示す形態では、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側金属シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側金属シート２０の上面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２参照）、または下方から見た状態に相当している。 The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined by diffusion joining, which will be described later. In the embodiment shown in FIGS. 2 and 3, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are both formed in a rectangular shape in a plan view, but the present invention is not limited to this. Here, the plan view is a direction orthogonal to the surface of the vapor chamber 1 that receives heat from the device D (lower surface 10b of the lower metal sheet 10) and the surface that releases the received heat (upper surface 20b of the upper metal sheet 20). The state viewed from above corresponds to, for example, a state in which the vapor chamber 1 is viewed from above (see FIG. 2) or a state in which the vapor chamber 1 is viewed from below.

なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受ける金属シートを下側金属シート１０と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート２０と称して、下側金属シート１０が下側に配置され、上側金属シート２０が上側に配置された状態で説明する。 When the vapor chamber 1 is installed in the mobile terminal, the vertical relationship between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be broken depending on the posture of the mobile terminal. However, in the present embodiment, for convenience, the metal sheet that receives heat from the device D is referred to as the lower metal sheet 10, the metal sheet that releases the received heat is referred to as the upper metal sheet 20, and the lower metal sheet 10 is referred to as the lower metal sheet 10. A state in which the upper metal sheet 20 is arranged on the lower side and the upper metal sheet 20 is arranged on the upper side will be described.

図４に示すように、下側金属シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路凹部、第１蒸気流路部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。 As shown in FIG. 4, the lower metal sheet 10 is provided on the evaporating portion 11 in which the working liquid 2 evaporates to generate steam and the upper surface 10a, and is formed in a rectangular shape in a plan view. It has a recess 12 (a first steam flow path recess, a first steam flow path portion). Of these, the lower steam flow path recess 12 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and is mainly configured to allow steam generated by the evaporation unit 11 to pass through.

蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。なお、蒸発部１１は、下側金属シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、デバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側金属シート１０の任意の場所に設けることができるが、図２および図４においては、下側金属シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢によらずに、ベーパーチャンバ１の動作の安定化を図ることができる。 The evaporation section 11 is arranged in the lower steam flow path recess 12, and the steam in the lower steam flow path recess 12 diffuses in the direction away from the evaporation section 11, and most of the steam is relatively large. It is transported toward the cold edge. The evaporation unit 11 is a portion where the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 evaporates by receiving heat from the device D attached to the lower surface 10b of the lower metal sheet 10. Therefore, the term evaporating unit 11 is used not only as a concept limited to a portion overlapping the device D, but also as a concept including a portion where the working fluid 2 can evaporate even if it does not overlap the device D. Here, the evaporation portion 11 can be provided at an arbitrary location on the lower metal sheet 10, but in FIGS. 2 and 4, an example in which the evaporation portion 11 is provided at the center of the lower metal sheet 10 is shown. .. In this case, the operation of the vapor chamber 1 can be stabilized regardless of the posture of the mobile terminal on which the vapor chamber 1 is installed.

本実施の形態では、図３および図４に示すように、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａ（後述）から上方（底面１２ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路壁部、第１流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、下側流路壁部１３が、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘ（長手方向、図４にける左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されている。この下側流路壁部１３は、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに当接する上面１３ａ（第１当接面、突出端面）を含んでいる。この上面１３ａは、後述する２つのエッチング工程によってエッチングされない面であり、下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。また、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, the lower steam flow path recess 12 of the lower metal sheet 10 is located above the bottom surface 12a (described later) of the lower steam flow path recess 12 (bottom surface 12a). A plurality of lower flow path wall portions 13 (first flow path wall portion, first flow path protrusion portion) projecting in a direction (perpendicular to the first flow path) are provided. In the present embodiment, an example is shown in which the lower flow path wall portion 13 extends in an elongated shape along the first direction X (longitudinal direction, left-right direction in FIG. 4) of the vapor chamber 1. The lower flow path wall portion 13 includes an upper surface 13a (first contact surface, protruding end surface) that contacts the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22, which will be described later. The upper surface 13a is a surface that is not etched by the two etching steps described later, and is formed on the same plane as the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. Further, the lower flow path wall portions 13 are arranged at equal intervals and parallel to each other.

図３および図４に示すように、下側蒸気流路凹部１２は、下側流路壁部１３によって区画された複数の下側蒸気通路８１（第１蒸気通路）を含んでいる。下側蒸気通路８１は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各下側蒸気通路８１の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる下側連絡蒸気通路８２に連通しており、各下側蒸気通路８１が、下側連絡蒸気通路８２を介して連通している。このようにして、各下側流路壁部１３の周囲（下側蒸気通路８１および下側連絡蒸気通路８２）を作動液２の蒸気が流れて、下側蒸気流路凹部１２の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３においては、下側蒸気流路凹部１２の下側蒸気通路８１の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、下側蒸気通路８１の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。下側連絡蒸気通路８２も同様である。下側蒸気通路８１の幅（第２方向Ｙの寸法）は、後述する下側流路壁部１３同士の間隔ｄに相当する。下側連絡蒸気通路８２の幅（第１方向Ｘの寸法）も同様である。 As shown in FIGS. 3 and 4, the lower steam flow path recess 12 includes a plurality of lower steam passages 81 (first steam passages) partitioned by the lower flow path wall portion 13. The lower steam passage 81 extends in an elongated shape along the first direction X and is arranged parallel to each other. Both ends of each lower steam passage 81 communicate with a lower connecting steam passage 82 extending in an elongated shape along the second direction Y, and each lower steam passage 81 passes through the lower connecting steam passage 82. Communicate with each other. In this way, the vapor of the working fluid 2 flows around each lower flow path wall portion 13 (lower steam passage 81 and lower connecting steam passage 82), and reaches the peripheral edge of the lower steam flow path recess 12. It is configured to transport steam toward it, which prevents the flow of steam from being obstructed. In FIG. 3, the cross section (cross section in the second direction Y) of the lower steam passage 81 of the lower steam passage recess 12 has a rectangular shape. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the lower steam passage 81 may be, for example, curved, semicircular, or V-shaped, and may diffuse the vapor of the working liquid 2. Optional if possible. The same applies to the lower connecting steam passage 82. The width of the lower steam passage 81 (dimension in the second direction Y) corresponds to the distance d between the lower flow path wall portions 13 described later. The width of the lower connecting steam passage 82 (dimension of the first direction X) is also the same.

下側流路壁部１３は、上側金属シート２０の対応する上側流路壁部２２（後述）に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。下側蒸気通路８１は、対応する上側蒸気通路８３（後述）に平面視で重なるように形成されている。同様に、下側連絡蒸気通路８２は、対応する上側連絡蒸気通路８４（後述）に平面視で重なるように形成されている。 The lower flow path wall portion 13 is arranged so as to overlap the corresponding upper flow path wall portion 22 (described later) of the upper metal sheet 20 in a plan view, in order to improve the mechanical strength of the vapor chamber 1. .. The lower steam passage 81 is formed so as to overlap the corresponding upper steam passage 83 (described later) in a plan view. Similarly, the lower connecting steam passage 82 is formed so as to overlap the corresponding upper connecting steam passage 84 (described later) in a plan view.

下側流路壁部１３の幅ｗ０は、例えば、０．１ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．１ｍｍ〜２．０ｍｍであり、互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔ｄは、０．１ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．１ｍｍ〜２．０ｍｍである。ここで、幅ｗ０は、下側流路壁部１３の第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおける下側流路壁部１３の寸法であって、下側金属シート１０の上面１０ａにおける寸法を意味しており、例えば、図４における上下方向の寸法に相当する。間隔ｄは、下側金属シート１０の上面１０ａにおける寸法を意味している。また、下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の最大深さ）ｈ０（図３参照）は、１０μｍ〜３００μｍであることが好適である。なお、下側流路壁部１３の延びる方向は、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａから突出していれば、上方（または垂直）に限られることはなく、任意である。 The width w0 of the lower flow path wall portion 13 is, for example, 0.1 mm to 30 mm, preferably 0.1 mm to 2.0 mm, and the distance d between the lower flow path wall portions 13 adjacent to each other is 0. It is 1 mm to 30 mm, preferably 0.1 mm to 2.0 mm. Here, the width w0 is the dimension of the lower flow path wall portion 13 in the second direction Y orthogonal to the first direction X of the lower flow path wall portion 13, and is the dimension on the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. Means, for example, corresponds to the vertical dimension in FIG. The interval d means the dimension on the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. Further, the height of the lower flow path wall portion 13 (in other words, the maximum depth of the lower steam flow path recess 12) h0 (see FIG. 3) is preferably 10 μm to 300 μm. The extending direction of the lower flow path wall portion 13 is not limited to the upper direction (or vertical) as long as it protrudes from the bottom surface 12a of the lower steam flow path recess 12, and is arbitrary.

図３および図４に示すように、下側金属シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。 As shown in FIGS. 3 and 4, a lower peripheral wall 14 is provided on the peripheral edge of the lower metal sheet 10. The lower peripheral wall 14 is formed so as to surround the sealing space 3, particularly the lower steam flow path recess 12, and defines the sealing space 3. Further, lower alignment holes 15 for positioning the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are provided at the four corners of the lower peripheral wall 14 in a plan view.

本実施の形態では、上側金属シート２０は、後述する液流路部３０が設けられていない点を除けば、下側金属シート１０と略同一の構造を有している。以下に、上側金属シート２０の構成についてより詳細に説明する。 In the present embodiment, the upper metal sheet 20 has substantially the same structure as the lower metal sheet 10 except that the liquid flow path portion 30 described later is not provided. The configuration of the upper metal sheet 20 will be described in more detail below.

図３および図５に示すように、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路凹部、第２蒸気流路部）を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気を拡散して冷却するように構成されている。より具体的には、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。また、図３に示すように、上側金属シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングＨ（図１参照）の一部を構成するハウジング部材Ｈａが配置される。このことにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈａを介して外部によって冷却される。 As shown in FIGS. 3 and 5, the upper metal sheet 20 has an upper steam flow path recess 21 (second steam flow path recess, second steam flow path portion) provided on the lower surface 20a. The upper steam flow path recess 21 constitutes a part of the sealed space 3, and is mainly configured to diffuse and cool the steam generated by the evaporation unit 11. More specifically, the steam in the upper steam flow path recess 21 diffuses in the direction away from the evaporation portion 11, and most of the steam is transported toward the peripheral portion where the temperature is relatively low. Further, as shown in FIG. 3, a housing member Ha forming a part of a housing H (see FIG. 1) of a mobile terminal or the like is arranged on the upper surface 20b of the upper metal sheet 20. As a result, the steam in the upper steam flow path recess 21 is cooled by the outside via the upper metal sheet 20 and the housing member Ha.

本実施の形態では、図２、図３および図５に示すように、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部、第２流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、上側流路壁部２２がベーパーチャンバ１の第１方向Ｘ（図５における左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されている。この上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の上面１０ａ（より具体的には、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａ）に当接するとともに液流路部３０を覆う平坦状の下面２２ａ（第２当接面、突出端面）を含んでいる。また、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 2, 3 and 5, the upper steam flow path recess 21 of the upper metal sheet 20 is located below the bottom surface 21a of the upper steam flow path recess 21 (perpendicular to the bottom surface 21a). A plurality of upper flow path wall portions 22 (second flow path wall portion, second flow path protrusion portion) projecting in the direction) are provided. In the present embodiment, an example is shown in which the upper flow path wall portion 22 extends in an elongated shape along the first direction X (left-right direction in FIG. 5) of the vapor chamber 1. The upper flow path wall portion 22 is in contact with the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 (more specifically, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 described above) and is flat and covers the liquid flow path portion 30. 22a (second contact surface, protruding end surface) is included. Further, the upper flow path wall portions 22 are arranged at equal intervals and parallel to each other.

図３および図５に示すように、上側蒸気流路凹部２１は、上側流路壁部２２によって区画された複数の上側蒸気通路８３（第２蒸気通路）を含んでいる。上側蒸気通路８３は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各上側蒸気通路８３の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる上側連絡蒸気通路８４に連通しており、各上側蒸気通路８３が、上側連絡蒸気通路８４を介して連通している。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲（上側蒸気通路８３および上側連絡蒸気通路８４）を作動液２の蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３においては、上側蒸気流路凹部２１の上側蒸気通路８３の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、上側蒸気通路８３の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。上側連絡蒸気通路８４の横断面形状も同様である。上側蒸気通路８３の幅（第２方向Ｙの寸法）および上側連絡蒸気通路８４の幅は、図３等に示すように、下側蒸気通路８１の幅および下側連絡蒸気通路８２の幅と同様であってもよいが、異なっていてもよい。 As shown in FIGS. 3 and 5, the upper steam flow path recess 21 includes a plurality of upper steam passages 83 (second steam passages) partitioned by the upper flow path wall portion 22. The upper steam passage 83 extends in an elongated shape along the first direction X and is arranged parallel to each other. Both ends of each upper steam passage 83 communicate with the upper connecting steam passage 84 extending in an elongated shape along the second direction Y, and each upper steam passage 83 communicates with the upper connecting steam passage 84. There is. In this way, the vapor of the working fluid 2 flows around each upper flow path wall portion 22 (upper steam passage 83 and upper connecting steam passage 84), and the vapor flows toward the peripheral portion of the upper steam flow path recess 21. It is configured to be transported and prevents the flow of steam from being obstructed. In FIG. 3, the cross section (cross section in the second direction Y) of the upper steam passage 83 of the upper steam flow path recess 21 is rectangular. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the upper steam passage 83 may be, for example, curved, semicircular, or V-shaped, as long as the vapor of the working fluid 2 can be diffused. It is optional. The same applies to the cross-sectional shape of the upper connecting steam passage 84. The width of the upper steam passage 83 (dimension in the second direction Y) and the width of the upper connecting steam passage 84 are the same as the width of the lower steam passage 81 and the width of the lower connecting steam passage 82, as shown in FIG. It may be, but it may be different.

上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。また、上側蒸気通路８３は、対応する下側蒸気通路８１に平面視で重なるように形成されている。同様に、上側連絡蒸気通路８４は、対応する下側連絡蒸気通路８２に平面視で重なるように形成されている。 The upper flow path wall portion 22 is arranged so as to overlap the corresponding lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10 in a plan view, in order to improve the mechanical strength of the vapor chamber 1. Further, the upper steam passage 83 is formed so as to overlap the corresponding lower steam passage 81 in a plan view. Similarly, the upper connecting steam passage 84 is formed so as to overlap the corresponding lower connecting steam passage 82 in a plan view.

なお、上側流路壁部２２の幅、高さは、上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一であることが好適である。ここで、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａは、図３等に示すような下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側蒸気流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では、底面２１ａと記す。 It is preferable that the width and height of the upper flow path wall portion 22 are the same as the width w0 and height h0 of the lower flow path wall portion 13 described above. Here, the bottom surface 21a of the upper steam flow path recess 21 can be said to be a ceiling surface in the vertical arrangement relationship between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 as shown in FIG. 3, etc., but the upper steam flow Since it corresponds to the inner surface of the road recess 21, it is referred to as the bottom surface 21a in this specification.

図３および図５に示すように、上側金属シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めが可能に構成されている。 As shown in FIGS. 3 and 5, an upper peripheral wall 23 is provided on the peripheral edge of the upper metal sheet 20. The upper peripheral wall 23 is formed so as to surround the sealed space 3, particularly the upper steam flow path recess 21, and defines the sealed space 3. Further, upper alignment holes 24 for positioning the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are provided at the four corners of the upper peripheral wall 23 in a plan view. That is, each upper alignment hole 24 is arranged so as to overlap each of the above-mentioned lower alignment holes 15 at the time of temporary fixing described later, and is configured to enable positioning of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. ..

このような下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図３に示すように、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが当接し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。このことにより、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、作動液２を密封した密封空間３が形成されている。また、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが当接し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。とりわけ、本実施の形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されているため、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等化させることができる。なお、下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側金属シート１０の上面１０ａと上側金属シート２０の下面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。 Such a lower metal sheet 10 and an upper metal sheet 20 are preferably diffusively bonded to each other permanently. More specifically, as shown in FIG. 3, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper metal sheet 20 are in contact with each other, and the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23 are joined to each other. As a result, a sealing space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Further, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 come into contact with each other and correspond to each lower flow path wall portion 13. The upper flow path wall portion 22 is joined to each other. As a result, the mechanical strength of the vapor chamber 1 is improved. In particular, since the lower flow path wall portion 13 and the upper flow path wall portion 22 according to the present embodiment are arranged at equal intervals, the mechanical strength at each position of the vapor chamber 1 can be equalized. The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be joined by another method such as brazing as long as they can be permanently joined instead of diffusion joining. The term "permanently joined" is not bound by a strict meaning, and the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 can maintain the sealing property of the sealing space 3 when the vapor chamber 1 is operated. It is used as a term meaning that the upper metal sheet 20 is joined to the extent that the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 can be maintained.

また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方の端部に、密封空間３に作動液２を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、下側金属シート１０の端面から突出する下側注入突出部１６と、上側金属シート２０の端面から突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部１７が形成され、上側注入突出部２５の下面に上側注入流路凹部２６が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側蒸気流路凹部１２に連通しており、上側注入流路凹部２６は、上側蒸気流路凹部２１に連通している。下側注入流路凹部１７および上側注入流路凹部２６は、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが接合された際、作動液２の注入流路を形成する。当該注入流路を通過して作動液２は密封空間３に注入される。なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。また、２つ以上の注入部４が設けられるようにしてもよい。 Further, as shown in FIG. 2, the vapor chamber 1 further includes an injection portion 4 for injecting the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 at one end of the pair of ends in the first direction X. .. The injection portion 4 has a lower injection protrusion 16 projecting from the end surface of the lower metal sheet 10 and an upper injection protrusion 25 projecting from the end surface of the upper metal sheet 20. Of these, the lower injection flow path recess 17 is formed on the upper surface of the lower injection protrusion 16, and the upper injection flow path recess 26 is formed on the lower surface of the upper injection protrusion 25. The lower injection flow path recess 17 communicates with the lower steam flow path recess 12, and the upper injection flow path recess 26 communicates with the upper steam flow path recess 21. The lower injection flow path recess 17 and the upper injection flow path recess 26 form an injection flow path for the hydraulic fluid 2 when the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined. The hydraulic fluid 2 is injected into the sealed space 3 through the injection flow path. In the present embodiment, an example is shown in which the injection unit 4 is provided at one end of a pair of ends in the first direction X of the vapor chamber 1, but the present invention is limited to this. It can be provided at any position. Further, two or more injection portions 4 may be provided.

次に、下側金属シート１０の液流路部３０について、図３、図４、図６乃至図９を用いてより詳細に説明する。 Next, the liquid flow path portion 30 of the lower metal sheet 10 will be described in more detail with reference to FIGS. 3, 4, 6 to 9.

図３および図４に示すように、下側金属シート１０の上面１０ａ（より具体的には、各下側流路壁部１３の上面１３ａ）に、液状の作動液２が通る液流路部３０が設けられている。液流路部３０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、上述した下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通している。なお、液流路部３０は、全ての下側流路壁部１３に設けられていることには限られない。例えば、液流路部３０が設けられていない下側流路壁部１３が存在してもよい。 As shown in FIGS. 3 and 4, the liquid flow path portion through which the liquid hydraulic fluid 2 passes through the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 (more specifically, the upper surface 13a of each lower flow path wall portion 13). 30 is provided. The liquid flow path portion 30 forms a part of the sealed space 3 described above, and communicates with the lower steam flow path recess 12 and the upper steam flow path recess 21 described above. The liquid flow path portion 30 is not limited to being provided on all the lower flow path wall portions 13. For example, there may be a lower flow path wall portion 13 in which the liquid flow path portion 30 is not provided.

図６に示すように、液流路部３０は、複数の主流溝３１を有している。各主流溝３１はそれぞれ、第１方向Ｘに延びて液状の作動液２が通るようになっており、上述した第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に配置されている。主流溝３１は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に向けて輸送するように構成されている。 As shown in FIG. 6, the liquid flow path portion 30 has a plurality of mainstream grooves 31. Each of the mainstream grooves 31 extends in the first direction X and allows the liquid hydraulic fluid 2 to pass therethrough, and is arranged at different positions in the second direction Y described above. The mainstream groove 31 is mainly configured to transport the hydraulic fluid 2 condensed from the vapor generated in the evaporation unit 11 toward the evaporation unit 11.

互いに隣り合う一対の主流溝３１の間に、凸部列４１が設けられている。この凸部列４１は、第１方向Ｘに配列された複数の液流路凸部４１ａを含んでいる。各凸部列４１において、液流路凸部４１ａは、一定のピッチで、第１方向Ｘに配列されている。また、一の凸部列４１の液流路凸部４１ａと、他の凸部列４１の液流路凸部４１ａは、第１方向Ｘにおいて同じ位置に配置されている。このようにして、液流路凸部４１ａの配置は、格子状になっている。各液流路部３０の全体にわたって、液流路凸部４１ａは格子状に配置されていてもよい。 A convex row 41 is provided between a pair of mainstream grooves 31 adjacent to each other. The convex portion row 41 includes a plurality of liquid flow path convex portions 41a arranged in the first direction X. In each convex portion row 41, the liquid flow path convex portions 41a are arranged in the first direction X at a constant pitch. Further, the liquid flow path convex portion 41a of one convex portion row 41 and the liquid flow path convex portion 41a of the other convex portion row 41 are arranged at the same position in the first direction X. In this way, the arrangement of the liquid flow path convex portions 41a is in a grid pattern. The liquid flow path convex portions 41a may be arranged in a grid pattern over the entire liquid flow path portion 30.

互いに隣り合う液流路凸部４１ａの間には、連絡溝５１が介在されている。連絡溝５１は、第２方向Ｙに延びるとともに、第２方向Ｙで整列している。本実施の形態では、連絡溝５１が整列する第２方向は、第１方向Ｘに直交する方向Ｙになっている。また、連絡溝５１は、対応する一対の主流溝３１（図６において上下方向で隣り合う主流溝３１）に連通しており、これらの主流溝３１の間で作動液２が往来可能になっている。連絡溝５１は、第１方向Ｘにおいて互いに隣り合う液流路凸部４１ａの間の領域であって、第２方向Ｙにおいて互いに隣り合う一対の主流溝３１の間の領域としている。 A connecting groove 51 is interposed between the liquid flow path convex portions 41a adjacent to each other. The connecting grooves 51 extend in the second direction Y and are aligned in the second direction Y. In the present embodiment, the second direction in which the connecting grooves 51 are aligned is the direction Y orthogonal to the first direction X. Further, the connecting groove 51 communicates with a pair of corresponding mainstream grooves 31 (mainstream grooves 31 adjacent in the vertical direction in FIG. 6), so that the hydraulic fluid 2 can flow between these mainstream grooves 31. There is. The connecting groove 51 is a region between the liquid flow path convex portions 41a adjacent to each other in the first direction X, and is a region between a pair of mainstream grooves 31 adjacent to each other in the second direction Y.

図６に示すように、主流溝３１は、連絡溝５１が連通する交差部Ｐと、主流溝本体部３１ａと、を含んでいる。 As shown in FIG. 6, the mainstream groove 31 includes an intersection P through which the connecting groove 51 communicates, and a mainstream groove main body portion 31a.

このうち交差部Ｐにおいて、第２方向Ｙにおいて主流溝３１の両側に位置する一対の連絡溝５１が、当該主流溝３１に連通している。当該一対の連絡溝５１は、第２方向Ｙで整列しており、一直線上に配置されている。このようにして、交差部Ｐにおいては、主流溝３１と連絡溝５１とが十字状に交差している。交差部Ｐは、第１方向Ｘにおいて互いに隣り合う主流溝本体部３１ａの間の領域であるとともに、第２方向Ｙにおいて互いに隣り合う連絡溝５１の間の領域としている。言い換えると、主流溝３１と、連絡溝５１の列とが交わる領域（すなわち、重なる領域）としている。 Of these, at the intersection P, a pair of connecting grooves 51 located on both sides of the mainstream groove 31 in the second direction Y communicate with the mainstream groove 31. The pair of connecting grooves 51 are aligned in the second direction Y and are arranged in a straight line. In this way, at the intersection P, the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 intersect in a cross shape. The intersection P is a region between the mainstream groove main bodies 31a adjacent to each other in the first direction X and a region between the connecting grooves 51 adjacent to each other in the second direction Y. In other words, it is a region where the mainstream groove 31 and the row of the connecting grooves 51 intersect (that is, an overlapping region).

主流溝本体部３１ａは、第１方向Ｘにおいて交差部Ｐとは異なる位置に配置されており、第２方向Ｙにおいて互いに隣り合う液流路凸部４１ａの間に位置する部分になっている。交差部Ｐと主流溝本体部３１ａとは、交互に配置されている。 The mainstream groove main body 31a is arranged at a position different from the intersection P in the first direction X, and is a portion located between the liquid flow path convex portions 41a adjacent to each other in the second direction Y. The intersection P and the mainstream groove main body 31a are arranged alternately.

主流溝３１の幅ｗ１（第２方向Ｙの寸法）は、液流路凸部４１ａの幅ｗ２（第２方向Ｙの寸法）よりも大きいことが好適である。この場合、下側流路壁部１３の上面１３ａに占める主流溝３１の割合を大きくすることができる。このため、当該上面１３ａにおける主流溝３１の流路密度を増大させて、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。例えば、主流溝３１の幅ｗ１を、３０μｍ〜２００μｍ、液流路凸部４１ａの幅ｗ２を、２０μｍ〜１８０μｍとしてもよい。 It is preferable that the width w1 (dimension of the second direction Y) of the mainstream groove 31 is larger than the width w2 (dimension of the second direction Y) of the liquid flow path convex portion 41a. In this case, the ratio of the mainstream groove 31 to the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 can be increased. Therefore, the flow path density of the mainstream groove 31 on the upper surface 13a can be increased to improve the transport function of the liquid hydraulic fluid 2. For example, the width w1 of the mainstream groove 31 may be 30 μm to 200 μm, and the width w2 of the liquid flow path convex portion 41a may be 20 μm to 180 μm.

図７に示す主流溝３１の深さｈ１は、上述した下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも小さいことが好適である。この場合、主流溝３１の毛細管作用を高めることができる。例えば、主流溝３１の深さｈ１は、ｈ０の半分程度が好ましく、５μｍ〜１８０μｍとしてもよい。 It is preferable that the depth h1 of the mainstream groove 31 shown in FIG. 7 is smaller than the depth h0 of the lower steam flow path recess 12 described above. In this case, the capillary action of the mainstream groove 31 can be enhanced. For example, the depth h1 of the mainstream groove 31 is preferably about half of h0, and may be 5 μm to 180 μm.

また、連絡溝５１の幅ｗ３が、主流溝３１の幅ｗ１（より詳細には、主流溝本体部３１ａの幅）よりも大きくなっている。連絡溝５１の幅ｗ３は、例えば４０μｍ〜３００μｍとしてもよい。 Further, the width w3 of the connecting groove 51 is larger than the width w1 of the mainstream groove 31 (more specifically, the width of the mainstream groove main body 31a). The width w3 of the connecting groove 51 may be, for example, 40 μm to 300 μm.

主流溝３１の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状は、特に限られることはなく、例えば矩形状、湾曲状、半円状、Ｖ字状にすることができる。連絡溝５１の横断面（第１方向Ｘにおける断面）形状も同様である。図７および図８においては、主流溝３１および連絡溝５１の横断面が、それぞれ湾曲状に形成されている例が示されている。この場合、主流溝３１および連絡溝５１の幅は、下側流路壁部１３の上面１３ａにおける溝の幅とする。液流路凸部４１ａの幅も同様に、上面１３ａにおける凸部の幅とする。 The cross-sectional shape (cross-section in the second direction Y) of the mainstream groove 31 is not particularly limited, and may be, for example, rectangular, curved, semicircular, or V-shaped. The shape of the cross section (cross section in the first direction X) of the connecting groove 51 is also the same. 7 and 8 show an example in which the cross sections of the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 are formed in a curved shape, respectively. In this case, the width of the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 is the width of the groove on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13. Similarly, the width of the liquid flow path convex portion 41a is also the width of the convex portion on the upper surface 13a.

ところで、図６においては、各液流路凸部４１ａは、大局的に見れば、平面視で、第１方向Ｘが長手方向となるように矩形状に形成されている。液流路凸部４１ａは、各液流路部３０の全体にわたって、同様の形状で形成されていてもよい。しかしながら、各液流路凸部４１ａの角部には、丸みを帯びた湾曲部４５が設けられている。これにより、各液流路凸部４１ａの角部が滑らかに湾曲状に形成され、液状の作動液２の流路抵抗の低減が図られている。なお、液流路凸部４１ａの図６における右側の端部および左側の端部ではそれぞれ、２つの湾曲部４５が設けられており、これら２つの湾曲部４５の間に直線状部分４６が設けられている例が示されている。このため、連絡溝５１の幅ｗ３は、第１方向Ｘに互いに隣り合う液流路凸部４１ａの直線状部分４６の間の距離とする。図示しないが、各液流路凸部４１ａの角部に湾曲部４５が形成されていない場合も同様である。しかしながら、液流路凸部４１ａの端部形状は、これに限られることはない。例えば、右側の端部および左側の端部のそれぞれに、直線状部分４６が設けられることなく、端部の全体が湾曲するように（例えば半円状のように）形成されていてもよい。この場合の各連絡溝５１の幅ｗ３は、第１方向Ｘにおいて互いに隣り合う液流路凸部４１ａの間の最小距離とする。 By the way, in FIG. 6, each liquid flow path convex portion 41a is formed in a rectangular shape so that the first direction X is the longitudinal direction in a plan view from a broad perspective. The liquid flow path convex portion 41a may be formed in the same shape over the entire liquid flow path portion 30. However, a rounded curved portion 45 is provided at a corner portion of each liquid flow path convex portion 41a. As a result, the corners of the convex portions 41a of each liquid flow path are smoothly formed in a curved shape, and the flow path resistance of the liquid hydraulic fluid 2 is reduced. Two curved portions 45 are provided at the right end portion and the left end portion of the liquid flow path convex portion 41a in FIG. 6, and a linear portion 46 is provided between the two curved portions 45. An example is shown. Therefore, the width w3 of the connecting groove 51 is the distance between the linear portions 46 of the liquid flow path convex portions 41a adjacent to each other in the first direction X. Although not shown, the same applies when the curved portion 45 is not formed at the corner of each liquid flow path convex portion 41a. However, the shape of the end portion of the liquid flow path convex portion 41a is not limited to this. For example, each of the right end and the left end may be formed so that the entire end is curved (for example, in a semicircular shape) without providing the linear portion 46. In this case, the width w3 of each connecting groove 51 is the minimum distance between the liquid flow path convex portions 41a adjacent to each other in the first direction X.

図８および図９に示すように、本実施の形態においては、連絡溝５１の深さｈ３は、主流溝３１の深さｈ１（より詳細には、主流溝本体部３１ａの深さ）よりも深くなっている。ここで、上述したように、各主流溝３１の横断面形状および各連絡溝５１の横断面形状が湾曲状に形成されている場合、溝３１、５１の深さは、その溝において最も深い位置における深さとする。連絡溝５１の深さｈ３は、例えば１０μｍ〜２５０μｍとしてもよい。 As shown in FIGS. 8 and 9, in the present embodiment, the depth h3 of the connecting groove 51 is larger than the depth h1 of the mainstream groove 31 (more specifically, the depth of the mainstream groove main body 31a). It's getting deeper. Here, as described above, when the cross-sectional shape of each mainstream groove 31 and the cross-sectional shape of each connecting groove 51 are formed in a curved shape, the depths of the grooves 31 and 51 are the deepest positions in the groove. Depth in. The depth h3 of the connecting groove 51 may be, for example, 10 μm to 250 μm.

本実施の形態においては、図９に示すように、主流溝３１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなっている。また、主流溝３１の交差部Ｐの深さｈ１’は、連絡溝５１の深さｈ３よりも深くなっていてもよい。このような交差部Ｐの深さｈ１’は、例えば２０μｍ〜３００μｍとしてもよい。交差部Ｐの深さｈ１’は、交差部Ｐにおいて最も深い位置における深さとする。 In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the depth h1'of the intersection P of the mainstream groove 31 is deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a. Further, the depth h1'of the intersection P of the mainstream groove 31 may be deeper than the depth h3 of the connecting groove 51. The depth h1'of such an intersection P may be, for example, 20 μm to 300 μm. The depth h1'of the intersection P is the depth at the deepest position in the intersection P.

上述したように、連絡溝５１の深さｈ３が、主流溝３１の主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなっているとともに、主流溝３１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなっている。このことにより、交差部Ｐから連絡溝５１を介して交差部Ｐにわたる領域に、主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深いバッファ領域Ｑが形成されている。このバッファ領域Ｑは、液状の作動液２を貯留可能になっている。通常、液流路部３０の各主流溝３１および各連絡溝５１には、液状の作動液２が充填されている。このため、バッファ領域Ｑの深さ（ｈ１’およびｈ３）が主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなっていることにより、バッファ領域Ｑに多くの作動液２を貯留することが可能になっている。上述のように、各主流溝３１および各連絡溝５１には作動液２が充填されることから、ベーパーチャンバ１の姿勢に関わることなく、バッファ領域Ｑには作動液２を貯留することができる。本実施の形態では、連絡溝５１が第２方向Ｙで整列されていることから、バッファ領域Ｑは、第２方向Ｙに連続状に延びるように形成される。 As described above, the depth h3 of the connecting groove 51 is deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a of the mainstream groove 31, and the depth h1'of the intersection P of the mainstream groove 31 is the mainstream. It is deeper than the depth h1 of the groove main body 31a. As a result, a buffer region Q deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a is formed in the region extending from the intersection P to the intersection P via the connecting groove 51. The buffer region Q is capable of storing the liquid working fluid 2. Normally, each mainstream groove 31 and each connecting groove 51 of the liquid flow path portion 30 are filled with the liquid working liquid 2. Therefore, since the depths (h1'and h3) of the buffer region Q are deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a, it is possible to store a large amount of the hydraulic fluid 2 in the buffer region Q. It has become. As described above, since the working fluid 2 is filled in each mainstream groove 31 and each connecting groove 51, the working fluid 2 can be stored in the buffer region Q regardless of the posture of the vapor chamber 1. .. In the present embodiment, since the connecting grooves 51 are aligned in the second direction Y, the buffer region Q is formed so as to extend continuously in the second direction Y.

なお、ベーパーチャンバ１の各液流路部３０には多数の交差部Ｐが形成されているが、そのうちの少なくとも１つの交差部Ｐの深さｈ１’が主流溝本体部３１ａの深さｈ１（または連絡溝５１の深さｈ３）よりも深くなっていれば、当該交差部Ｐにおける作動液２の貯留性能を向上させることができる。この貯留性能は、主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深いｈ１’を有する交差部Ｐの箇所数が増えるにつれて向上するため、全ての交差部Ｐの深さｈ１’が同様の深さを有していることが好ましい。しかしながら、製造誤差などによって、一部の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなくても、作動液２の貯留性能を向上させることができることは明らかである。連絡溝５１の深さｈ３についても同様である。 A large number of intersections P are formed in each liquid flow path portion 30 of the vapor chamber 1, and the depth h1'of at least one intersection P is the depth h1 of the mainstream groove main body portion 31a ( Alternatively, if the depth is deeper than the depth h3) of the connecting groove 51, the storage performance of the working fluid 2 at the intersection P can be improved. This storage performance improves as the number of intersections P having h1'deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a increases, so that the depths h1'of all intersections P have the same depth. It is preferable to have. However, it is clear that the storage performance of the working fluid 2 can be improved even if the depth h1'of a part of the intersection P is not deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a due to a manufacturing error or the like. Is. The same applies to the depth h3 of the connecting groove 51.

ここで、完成形のベーパーチャンバ１から主流溝３１の幅、深さおよび連絡溝５１の幅、深さを確認する方法について説明する。一般に、ベーパーチャンバ１の外部からは、主流溝３１および連絡溝５１は見えないようになっている。このため、完成形のベーパーチャンバ１を所望の位置で切断して得られた断面形状から、主流溝３１および連絡溝５１の幅、深さを確認する方法が挙げられる。 Here, a method of confirming the width and depth of the mainstream groove 31 and the width and depth of the connecting groove 51 from the completed vapor chamber 1 will be described. Generally, the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 are not visible from the outside of the vapor chamber 1. For this reason, there is a method of confirming the width and depth of the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 from the cross-sectional shape obtained by cutting the completed vapor chamber 1 at a desired position.

具体的には、まず、ベーパーチャンバ１を１０ｍｍ角片にワイヤーソーで切断して試料とした。続いて、蒸気流路凹部１２、２１および液流路部３０（主流溝３１および連絡溝５１）に樹脂が入り込むように、試料を真空脱泡しながら樹脂包埋する。次に、所望の断面が得られるようにダイヤモンドナイフでトリミング加工する。この際、例えば、ミクロトーム（例えばライカマイクロシステムズ社製のウルトラミクロトーム）のダイヤモンナイフを使用して、測定目的位置から４０μｍ離れた部分までトリミング加工する。例えば、連絡溝５１のピッチが２００μｍであるとすると、測定目的としている連絡溝５１の隣の連絡溝５１から１６０μｍ削ることにより、測定目的としている連絡溝５１から４０μｍ離れた部分を特定することができる。次に、トリミング加工を行った切断面を削ることにより、観察用の切断面を作製する。この際、断面試料作製装置（例えばＪＯＥＬ社製のクロスセクションポリッシャー）を使用して、飛び出し幅を４０μｍ、電圧を５ｋＶ、時間を６時間に設定し、イオンビーム加工にて切断面を削る。その後、得られた試料の切断面を観察する。この際、走査型電子顕微鏡（例えば、カールツァイス社製の走査型電子顕微鏡）を使用して、電圧を５ｋＶ、作動距離を３ｍｍ、観察倍率を２００倍または５００倍に設定し、切断面を観察する。このようにして、主流溝３１および連絡溝５１の幅、深さを測定することができる。なお、撮影時の観察倍率基準は、Ｐｏｌａｒｏｉｄ５４５とする。また、上述した方法は一例であり、サンプルの形状、構造等に応じて、使用する装置や、測定条件等は任意に決定することができる。 Specifically, first, the vapor chamber 1 was cut into 10 mm square pieces with a wire saw to prepare a sample. Subsequently, the sample is vacuum defoamed and embedded in the resin so that the resin enters the vapor flow path recesses 12 and 21 and the liquid flow path portion 30 (mainstream groove 31 and connecting groove 51). Next, trimming is performed with a diamond knife so that a desired cross section can be obtained. At this time, for example, using a microtome (for example, an ultramicrotome manufactured by Leica Microsystems), trimming is performed up to a portion 40 μm away from the measurement target position. For example, assuming that the pitch of the connecting groove 51 is 200 μm, it is possible to specify a portion 40 μm away from the connecting groove 51 intended for measurement by cutting 160 μm from the connecting groove 51 next to the connecting groove 51 intended for measurement. it can. Next, a cut surface for observation is produced by scraping the cut surface that has been trimmed. At this time, a cross-section sample preparation device (for example, a cross-section polisher manufactured by JOEL) is used to set the protrusion width to 40 μm, the voltage to 5 kV, and the time to 6 hours, and scrape the cut surface by ion beam processing. Then, the cut surface of the obtained sample is observed. At this time, using a scanning electron microscope (for example, a scanning electron microscope manufactured by Carl Zeiss), the voltage is set to 5 kV, the working distance is set to 3 mm, the observation magnification is set to 200 times or 500 times, and the cut surface is observed. To do. In this way, the width and depth of the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 can be measured. The observation magnification standard at the time of photographing is Polaroid 545. Further, the above-mentioned method is an example, and the apparatus to be used, the measurement conditions, and the like can be arbitrarily determined according to the shape, structure, and the like of the sample.

上述したように、連絡溝５１の幅ｗ３が、主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくなっている。このことにより、バッファ領域Ｑは、主流溝本体部３１ａよりも大きく開口した領域になっている。このため、図１２に示す第２ハーフエッチング工程において、エッチング液は、主流溝本体部３１ａよりも、バッファ領域Ｑに多く入り込むようになる。この結果、バッファ領域Ｑでのエッチング液による浸食が進み、バッファ領域Ｑの深さが深くなる。そして、バッファ領域Ｑのうち交差部Ｐに相当する部分は、主流溝本体部３１ａに連通しているため、連絡溝５１よりもエッチング液が入り込みやすくなっている。このことにより、交差部Ｐの深さｈ１’が、連絡溝５１の深さｈ３よりも深くなり得る。このようにして、図９に示すようなバッファ領域Ｑが形成される。 As described above, the width w3 of the connecting groove 51 is larger than the width w1 of the mainstream groove 31. As a result, the buffer region Q is a region that is wider than the mainstream groove main body 31a. Therefore, in the second half etching step shown in FIG. 12, the etching solution enters the buffer region Q more than the mainstream groove main body 31a. As a result, erosion by the etching solution in the buffer region Q progresses, and the depth of the buffer region Q becomes deeper. Since the portion of the buffer region Q corresponding to the intersecting portion P communicates with the mainstream groove main body portion 31a, the etching solution is more likely to enter than the connecting groove 51. As a result, the depth h1'of the intersection P can be deeper than the depth h3 of the connecting groove 51. In this way, the buffer area Q as shown in FIG. 9 is formed.

ところで、上述した液流路部３０は、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本実施の形態では、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａは、平坦状に形成されている。このことにより、液流路部３０の各主流溝３１は、平坦状の下面２２ａで覆われている。この場合、図７に示すように、主流溝３１の第１方向Ｘに延びる一対の側壁３５、３６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより、直角状あるいは鋭角状の２つの角部３７を形成することができ、これら２つの角部３７における毛細管作用を高めることができる。すなわち、主流溝３１の横断面が湾曲状に形成されている場合であっても、角部３７において毛細管作用を高めることができる。 By the way, the liquid flow path portion 30 described above is formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10. On the other hand, in the present embodiment, the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 is formed flat. As a result, each mainstream groove 31 of the liquid flow path portion 30 is covered with a flat lower surface 22a. In this case, as shown in FIG. 7, the pair of side walls 35 and 36 extending in the first direction X of the mainstream groove 31 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 form two right-angled or acute-angled corners 37. Can be formed, and the capillary action at these two corners 37 can be enhanced. That is, even when the cross section of the mainstream groove 31 is formed in a curved shape, the capillary action can be enhanced at the corner portion 37.

同様に、液流路部３０の各連絡溝５１は、平坦状の下面２２ａで覆われている。この場合、図６および図８に示すように、連絡溝５１の第２方向Ｙに延びる一対の側壁５５、５６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより、直角状あるいは鋭角状の２つの角部５７を形成することができ、これら２つの角部５７における毛細管作用を高めることができる。すなわち、連絡溝５１の横断面が湾曲状に形成されている場合であっても、角部５７において毛細管作用を高めることができる。 Similarly, each connecting groove 51 of the liquid flow path portion 30 is covered with a flat lower surface 22a. In this case, as shown in FIGS. 6 and 8, the pair of side walls 55 and 56 extending in the second direction Y of the connecting groove 51 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 form two right-angled or acute-angled ones. The corners 57 can be formed and the capillary action at these two corners 57 can be enhanced. That is, even when the cross section of the connecting groove 51 is formed in a curved shape, the capillary action can be enhanced at the corner portion 57.

ここで、蒸気から凝縮した液状の作動液２は、後述するように、連絡溝５１を通って主流溝３１に入り込む。このため、連絡溝５１の毛細管作用が高められることにより、凝縮した液状の作動液２をスムースに各主流溝３１に入り込ませることができる。すなわち、凝縮した液状の作動液２は、連絡溝５１の毛細管作用によって、蒸気流路凹部１２、２１に近い側の主流溝３１だけでなく、蒸気流路凹部１２、２１から遠い側の主流溝３１にもスムースに入り込むことができ、凝縮した液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。また、連絡溝５１の幅ｗ３を主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくしていることにより、連絡溝５１内における作動液２の流路抵抗を低減することができ、この点においても、凝縮した液状の作動液２を、各主流溝３１にスムースに入り込ませることができる。そして、各主流溝３１に入り込んだ作動液２は、主流溝３１の毛細管作用によって蒸発部１１に向かってスムースに輸送することができる。このため、液流路部３０全体として、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。 Here, the liquid hydraulic fluid 2 condensed from the vapor enters the mainstream groove 31 through the connecting groove 51, as will be described later. Therefore, by enhancing the capillary action of the connecting groove 51, the condensed liquid working liquid 2 can be smoothly entered into each mainstream groove 31. That is, the condensed liquid working liquid 2 is not only the mainstream groove 31 on the side close to the vapor flow path recesses 12 and 21, but also the mainstream groove on the side far from the vapor flow path recesses 12 and 21 due to the capillary action of the connecting groove 51. The 31 can also smoothly enter, and the transport function of the condensed liquid working liquid 2 can be improved. Further, by making the width w3 of the connecting groove 51 larger than the width w1 of the mainstream groove 31, the flow path resistance of the hydraulic fluid 2 in the connecting groove 51 can be reduced, and this point is also condensed. The liquid hydraulic fluid 2 can be smoothly introduced into each mainstream groove 31. Then, the working liquid 2 that has entered each mainstream groove 31 can be smoothly transported toward the evaporation portion 11 by the capillary action of the mainstream groove 31. Therefore, the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved as a whole of the liquid flow path portion 30.

なお、下側金属シート１０および上側金属シート２０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、銅（無酸素銅）または銅合金により形成されていることが好適である。このことにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。あるいは、所望の放熱効率を得ることができれば、これらの金属シート１０および２０には、アルミニウム等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。また、ベーパーチャンバ１の厚さは、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍである。図３では、下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側金属シート１０の厚さＴ１と上側金属シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。 The material used for the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 is not particularly limited as long as it is a material having good thermal conductivity. For example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are made of copper. It is preferably formed of (oxygen-free copper) or a copper alloy. As a result, the thermal conductivity of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be increased. Therefore, the heat dissipation efficiency of the vapor chamber 1 can be improved. Alternatively, other metal materials such as aluminum and other metal alloy materials such as stainless steel can be used for these metal sheets 10 and 20 as long as the desired heat dissipation efficiency can be obtained. The thickness of the vapor chamber 1 is 0.1 mm to 1.0 mm. FIG. 3 shows a case where the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 are equal, but the present invention is not limited to this, and the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the upper side are not limited to this. The thickness T2 of the metal sheet 20 does not have to be equal.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１０乃至図１５を用いて説明するが、上側金属シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１０乃至図１５では、図３の断面図と同様の断面を示している。 Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. Here, first, the manufacturing method of the vapor chamber 1 will be described with reference to FIGS. 10 to 15, but the description of the half-etching step of the upper metal sheet 20 will be simplified. In addition, in FIGS. 10 to 15, the cross section similar to the cross-sectional view of FIG. 3 is shown.

まず、図１０に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。 First, as shown in FIG. 10, as a preparatory step, a flat metal material sheet M is prepared.

続いて、図１１に示すように、金属材料シートＭがハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２が形成される。この場合、まず、金属材料シートＭの上面Ｍａに図示しない第１レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術によって、複数の下側流路壁部１３および下側周縁壁１４に対応するパターン状に形成される。続いて、第１ハーフエッチング工程として、金属材料シートＭの上面Ｍａがハーフエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭの上面Ｍａのうち第１レジスト膜のレジスト開口（図示せず）に対応する部分がハーフエッチングされて、図１１に示すような下側蒸気流路凹部１２、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４が形成される。この際、図２および図４に示す下側注入流路凹部１７も同時に形成され、また、図４に示すような外形輪郭形状を有するように金属材料シートＭが上面Ｍａおよび下面からエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。第１ハーフエッチング工程の後、第１レジスト膜が除去される。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側金属シート１０の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。 Subsequently, as shown in FIG. 11, the metal material sheet M is half-etched to form a lower steam flow path recess 12 that forms a part of the sealed space 3. In this case, first, a first resist film (not shown) is formed on the upper surface Ma of the metal material sheet M in a pattern corresponding to a plurality of lower flow path wall portions 13 and lower peripheral wall 14 by photolithography technology. .. Subsequently, as the first half etching step, the upper surface Ma of the metal material sheet M is half-etched. As a result, the portion of the upper surface Ma of the metal material sheet M corresponding to the resist opening (not shown) of the first resist film is half-etched, and the lower steam flow path recess 12 as shown in FIG. The side flow path wall portion 13 and the lower peripheral wall 14 are formed. At this time, the lower injection flow path recess 17 shown in FIGS. 2 and 4 is also formed at the same time, and the metal material sheet M is etched from the upper surface Ma and the lower surface so as to have the outer contour shape as shown in FIG. , A predetermined outer contour shape can be obtained. After the first half etching step, the first resist film is removed. The half-etching means etching for forming a recess that does not penetrate the material. Therefore, the depth of the recess formed by half-etching is not limited to half the thickness of the lower metal sheet 10. As the etching solution, for example, an iron chloride-based etching solution such as a ferric chloride aqueous solution or a copper chloride-based etching solution such as a copper chloride aqueous solution can be used.

下側蒸気流路凹部１２が形成された後、図１２に示すように、下側流路壁部１３の上面１３ａに液流路部３０が形成される。 After the lower vapor flow path recess 12 is formed, the liquid flow path portion 30 is formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 as shown in FIG.

この場合、まず、下側流路壁部１３の上面１３ａに、図示しない第２レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術によって、液流路部３０の液流路凸部４１ａに対応するパターン状に形成される。続いて、第２ハーフエッチング工程として、下側流路壁部１３の上面１３ａがハーフエッチングされる。このことにより、当該上面１３ａのうち第２レジスト膜のレジスト開口（図示せず）に対応する部分がハーフエッチングされて、下側流路壁部１３の上面１３ａに液流路部３０が形成される。すなわち、当該上面１３ａに、各液流路凸部４１ａが形成される。これらの液流路凸部４１ａによって、主流溝３１および連絡溝５１が画定される。第２ハーフエッチング工程の後、第２レジスト膜が除去される。 In this case, first, a second resist film (not shown) is formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 in a pattern corresponding to the liquid flow path convex portion 41a of the liquid flow path portion 30 by photolithography technology. To. Subsequently, as the second half etching step, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 is half-etched. As a result, the portion of the upper surface 13a corresponding to the resist opening (not shown) of the second resist film is half-etched, and the liquid flow path portion 30 is formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13. To. That is, each liquid flow path convex portion 41a is formed on the upper surface 13a. The mainstream groove 31 and the connecting groove 51 are defined by these liquid flow path convex portions 41a. After the second half etching step, the second resist film is removed.

このようにして、液流路部３０が形成された下側金属シート１０が得られる。なお、第１ハーフエッチング工程とは別の工程である第２ハーフエッチング工程として、液流路部３０を形成することにより、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０とは異なる深さで主流溝３１および連絡溝５１を容易に形成することが可能になる。しかしながら、下側蒸気流路凹部１２と、主流溝３１および連絡溝５１は、同一のハーフエッチング工程で形成するようにしてもよい。この場合には、ハーフエッチング工程の回数を削減することができ、ベーパーチャンバ１の製造コストを低減可能になる。 In this way, the lower metal sheet 10 on which the liquid flow path portion 30 is formed is obtained. By forming the liquid flow path portion 30 as the second half etching step, which is a step different from the first half etching step, the mainstream has a depth different from the depth h0 of the lower vapor flow path recess 12. The groove 31 and the connecting groove 51 can be easily formed. However, the lower steam flow path recess 12, the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 may be formed by the same half-etching step. In this case, the number of half-etching steps can be reduced, and the manufacturing cost of the vapor chamber 1 can be reduced.

一方、下側金属シート１０と同様にして、上側金属シート２０が下面２０ａからハーフエッチングされて、上側蒸気流路凹部２１、上側流路壁部２２および上側周縁壁２３が形成される。このようにして、上述した上側金属シート２０が得られる。 On the other hand, in the same manner as the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 is half-etched from the lower surface 20a to form the upper steam flow path recess 21, the upper flow path wall portion 22, and the upper peripheral wall 23. In this way, the above-mentioned upper metal sheet 20 is obtained.

次に、図１３に示すように、仮止め工程として、下側蒸気流路凹部１２を有する下側金属シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側金属シート２０とが仮止めされる。この場合、まず、下側金属シート１０の下側アライメント孔１５（図２および図４参照）と上側金属シート２０の上側アライメント孔２４（図２および図５参照）とを利用して、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが位置決めされる。続いて、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側金属シート１０と上側金属シート２０とを固定してもよい。この場合、図１１に示すように、電極棒４０を用いてスポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側金属シート１０と上側金属シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。 Next, as shown in FIG. 13, as a temporary fixing step, the lower metal sheet 10 having the lower steam flow path recess 12 and the upper metal sheet 20 having the upper steam flow path recess 21 are temporarily fixed. In this case, first, the lower alignment hole 15 (see FIGS. 2 and 4) of the lower metal sheet 10 and the upper alignment hole 24 (see FIGS. 2 and 5) of the upper metal sheet 20 are used to lower the lower side. The metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are positioned. Subsequently, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed. The method of fixing is not particularly limited, but for example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed by performing resistance welding to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. You may. In this case, as shown in FIG. 11, it is preferable to perform spot resistance welding using the electrode rod 40. Laser welding may be performed instead of resistance welding. Alternatively, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be ultrasonically bonded and fixed by irradiating ultrasonic waves. Further, although an adhesive may be used, it is preferable to use an adhesive having no organic component or having a small amount of organic component. In this way, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed in a positioned state.

仮止めの後、図１４に示すように、恒久接合工程として、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側金属シート１０と上側金属シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各金属シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各金属シート１０、２０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側注入流路凹部１７（図２および図４参照）と上側注入流路凹部２６（図２および図５参照）とによって、密封空間３に連通する作動液２の注入流路が形成される。さらに、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された液流路部３０は、液状の作動液２の流路として残存する。 After the temporary fixing, as shown in FIG. 14, as a permanent joining step, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are permanently joined by diffusion joining. Diffusion bonding means that the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to be bonded are brought into close contact with each other, and pressure is applied in a direction in which the metal sheets 10 and 20 are brought into close contact with each other in a controlled atmosphere such as in a vacuum or an inert gas. It is a method of joining by heating together and utilizing the diffusion of atoms generated on the joining surface. Diffusion bonding heats the materials of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to a temperature close to the melting point, but since it is lower than the melting point, it is possible to prevent the metal sheets 10 and 20 from melting and deforming. More specifically, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper metal sheet 20 are diffusively joined as joint surfaces. As a result, the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23 form a sealing space 3 between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Further, the lower injection flow path recess 17 (see FIGS. 2 and 4) and the upper injection flow path recess 26 (see FIGS. 2 and 5) form an injection flow path for the working liquid 2 communicating with the sealed space 3. Will be done. Further, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 are diffusively joined as joint surfaces to form the vapor chamber 1. Mechanical strength is improved. The liquid flow path portion 30 formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 remains as a flow path of the liquid working liquid 2.

恒久的な接合の後、図１５に示すように、封入工程として、注入部４（図２参照）から密封空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密封空間３が真空引きされて減圧され（例えば、５Ｐａ以下、好ましくは１Ｐａ以下）、その後に、作動液２が密封空間３に注入される。注入時、作動液２は、下側注入流路凹部１７と上側注入流路凹部２６とにより形成された注入流路を通過する。例えば、作動液２の封入量は、ベーパーチャンバ１内部の液流路部３０の構成にもよるが、密封空間３の全体積に対して１０％〜４０％としてもよい。 After permanent joining, as shown in FIG. 15, the hydraulic fluid 2 is injected from the injection section 4 (see FIG. 2) into the sealed space 3 as a sealing step. At this time, first, the sealed space 3 is evacuated and depressurized (for example, 5 Pa or less, preferably 1 Pa or less), and then the working fluid 2 is injected into the sealed space 3. At the time of injection, the working fluid 2 passes through the injection flow path formed by the lower injection flow path recess 17 and the upper injection flow path recess 26. For example, the filling amount of the working liquid 2 may be 10% to 40% with respect to the total volume of the sealed space 3, although it depends on the configuration of the liquid flow path portion 30 inside the vapor chamber 1.

作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。例えば、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入される。このようにして、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。なお、封止のためには、注入部４をかしめてもよく（押圧して塑性変形させてもよく）、またはろう付けしてもよい。 After injecting the working fluid 2, the above-mentioned injection flow path is sealed. For example, the injection unit 4 may be irradiated with a laser to partially melt the injection unit 4 to seal the injection flow path. As a result, the communication between the sealed space 3 and the outside is cut off, and the working fluid 2 is sealed in the sealed space 3. In this way, the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 is prevented from leaking to the outside. For sealing, the injection portion 4 may be crimped (pressed to be plastically deformed) or brazed.

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。 As described above, the vapor chamber 1 according to the present embodiment is obtained.

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。 Next, a method of operating the vapor chamber 1, that is, a method of cooling the device D will be described.

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置されるとともに、下側金属シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。密封空間３内に注入された作動液２の量は少ないため、密封空間３内の液状の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の壁面、上側蒸気流路凹部２１の壁面および液流路部３０の壁面に付着する。 The vapor chamber 1 obtained as described above is installed in the housing H of a mobile terminal or the like, and a device D such as a CPU, which is an object to be cooled, is attached to the lower surface 10b of the lower metal sheet 10. .. Since the amount of the hydraulic fluid 2 injected into the sealed space 3 is small, the liquid hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 is subjected to the surface tension of the wall surface of the sealed space 3, that is, the lower vapor flow path recess 12. It adheres to the wall surface, the wall surface of the upper vapor flow path recess 21, and the wall surface of the liquid flow path portion 30.

この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、作動液２の蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部１２内および上側蒸気流路凹部２１内で拡散する（図４の実線矢印参照）。上側蒸気流路凹部２１内および下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低いベーパーチャンバ１の周縁部に向かって輸送される。拡散した蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱して冷却される。下側金属シート１０および上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外部に伝達される。 When the device D generates heat in this state, the hydraulic fluid 2 existing in the evaporation portion 11 of the lower vapor flow path recess 12 receives heat from the device D. The received heat is absorbed as latent heat and the working liquid 2 evaporates (vaporizes) to generate vapor of the working liquid 2. Most of the generated steam diffuses in the lower steam flow path recess 12 and the upper steam flow path recess 21 constituting the sealed space 3 (see the solid line arrow in FIG. 4). The steam in the upper steam flow path recess 21 and the lower steam flow path recess 12 is separated from the evaporation portion 11, and most of the steam is transported toward the peripheral portion of the vapor chamber 1 having a relatively low temperature. The diffused steam dissipates heat to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 and is cooled. The heat received from the steam by the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 is transferred to the outside via the housing member Ha (see FIG. 3).

蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮する。凝縮して液状になった作動液２は、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、液流路部３０のうち蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって輸送される（図４の破線矢印参照）。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した液状の作動液２は、液流路部３０に向かって移動し、液流路部３０内に入り込む。すなわち、連絡溝５１を通過して主流溝３１に入り込む。ここで、上述したように、連絡溝５１の幅ｗ３が、主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくなっているため、各連絡溝５１内における作動液２の流路抵抗は小さくなっている。このため、各蒸気流路凹部１２、２１の壁面に付着した液状の作動液２は、連絡溝５１を通過して各主流溝３１にスムースに入り込む。そして、各主流溝３１および各連絡溝５１に、液状の作動液２が充填される。このため、充填された作動液２は、各主流溝３１の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。 By radiating heat to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, the steam loses the latent heat absorbed in the evaporation unit 11 and condenses. The condensed and liquefied working liquid 2 adheres to the wall surface of the lower vapor flow path recess 12 or the wall surface of the upper vapor flow path recess 21. Here, since the hydraulic fluid 2 continues to evaporate in the evaporation section 11, the hydraulic fluid 2 in the portion of the liquid flow path section 30 other than the evaporation section 11 is transported toward the evaporation section 11 (FIG. 4). See dashed arrow). As a result, the liquid working liquid 2 adhering to the wall surface of the lower vapor flow path recess 12 and the wall surface of the upper vapor flow path recess 21 moves toward the liquid flow path portion 30 and enters the liquid flow path portion 30. Get in. That is, it passes through the connecting groove 51 and enters the mainstream groove 31. Here, as described above, since the width w3 of the connecting groove 51 is larger than the width w1 of the mainstream groove 31, the flow path resistance of the working fluid 2 in each connecting groove 51 is small. Therefore, the liquid hydraulic fluid 2 adhering to the wall surfaces of the vapor flow path recesses 12 and 21 passes through the connecting groove 51 and smoothly enters each mainstream groove 31. Then, each mainstream groove 31 and each connecting groove 51 are filled with the liquid hydraulic fluid 2. Therefore, the filled hydraulic fluid 2 obtains a propulsive force toward the evaporation section 11 by the capillary action of each mainstream groove 31, and is smoothly transported toward the evaporation section 11.

液流路部３０においては、各主流溝３１が、対応する連絡溝５１を介して、隣り合う他の主流溝３１と連通している。このことにより、互いに隣り合う主流溝３１同士で、液状の作動液２が往来し、主流溝３１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各主流溝３１内の作動液２に毛細管作用が付与されて、作動液２は、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。 In the liquid flow path portion 30, each mainstream groove 31 communicates with another adjacent mainstream groove 31 via a corresponding connecting groove 51. As a result, it is possible to prevent the liquid hydraulic fluid 2 from coming and going between the mainstream grooves 31 adjacent to each other and causing dryout in the mainstream groove 31. Therefore, the hydraulic fluid 2 in each mainstream groove 31 is given a capillary action, and the hydraulic fluid 2 is smoothly transported toward the evaporation section 11.

蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。 The working liquid 2 that has reached the evaporation unit 11 receives heat again from the device D and evaporates. In this way, the working fluid 2 recirculates in the vapor chamber 1 while repeating phase change, that is, evaporation and condensation, and transfers and releases the heat of the device D. As a result, the device D is cooled.

ところで、蒸発部１１に向かう作動液２の一部は、交差部Ｐによって構成されるバッファ領域Ｑに引き込まれて貯留される。 By the way, a part of the working liquid 2 toward the evaporation portion 11 is drawn into and stored in the buffer region Q formed by the intersection portion P.

ここで、主流溝本体部３１ａでドライアウトが発生すると、バッファ領域Ｑに貯留されている作動液２が、このドライアウトの発生部に向かって移動する。より具体的には、主流溝本体部３１ａでドライアウトが発生した場合、そのドライアウトの発生部に最も近いバッファ領域Ｑから作動液２が、主流溝本体部３１ａの毛細管作用によってドライアウトの発生部に移動する。このことにより、ドライアウトの発生部に、作動液２が充填されてドライアウトが解消される。 Here, when a dryout occurs in the mainstream groove main body 31a, the working fluid 2 stored in the buffer region Q moves toward the dryout generation portion. More specifically, when a dryout occurs in the mainstream groove main body 31a, the hydraulic fluid 2 is generated from the buffer region Q closest to the dryout generation portion due to the capillary action of the mainstream groove main body 31a. Move to the department. As a result, the working liquid 2 is filled in the portion where the dryout is generated, and the dryout is eliminated.

また、主流溝本体部３１ａにおいて、液状の作動液２中にその蒸気による気泡が発生した場合、その気泡は、下流側（蒸発部１１の側）のバッファ領域Ｑに引き込まれて保持される。バッファ領域Ｑの深さが主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなっているため、バッファ領域Ｑに引き込まれた気泡は、バッファ領域Ｑから主流溝本体部３１ａに移動することが抑制される。このため、バッファ領域Ｑによって、主流溝本体部３１ａに発生した気泡を捕捉することができ、作動液２の蒸発部１１への流れが気泡によって妨げられることを抑制できる。 Further, in the mainstream groove main body 31a, when bubbles due to the vapor are generated in the liquid working liquid 2, the bubbles are drawn into and held in the buffer region Q on the downstream side (the side of the evaporation section 11). Since the depth of the buffer region Q is deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a, the air bubbles drawn into the buffer region Q are suppressed from moving from the buffer region Q to the mainstream groove main body 31a. To. Therefore, the buffer region Q can capture the air bubbles generated in the mainstream groove main body 31a, and can prevent the flow of the working liquid 2 to the evaporation unit 11 from being obstructed by the air bubbles.

このように、本実施の形態によれば、連絡溝５１の幅ｗ３が、主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくなっている。このことにより、各連絡溝５１内における作動液２の流路抵抗を低減することができる。このため、蒸気から凝縮した液状の作動液２をスムースに各主流溝３１に入り込ませることができる。すなわち、蒸気流路凹部１２、２１に近い側の主流溝３１だけでなく、蒸気流路凹部１２、２１から遠い側の主流溝３１にもスムースに入り込ませることができ、凝縮した液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。この結果、液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 As described above, according to the present embodiment, the width w3 of the connecting groove 51 is larger than the width w1 of the mainstream groove 31. As a result, the flow path resistance of the working fluid 2 in each connecting groove 51 can be reduced. Therefore, the liquid hydraulic fluid 2 condensed from the vapor can be smoothly entered into each mainstream groove 31. That is, not only the mainstream groove 31 on the side close to the vapor flow path recesses 12 and 21, but also the mainstream groove 31 on the side far from the vapor flow path recesses 12 and 21 can be smoothly entered, and the condensed liquid working liquid can be smoothly entered. The transportation function of 2 can be improved. As a result, the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved.

また、本実施の形態によれば、連絡溝５１の深さｈ３は、主流溝３１の深さｈ１よりも深くなっている。このことにより、各連絡溝５１に、作動液２を貯留するバッファ領域Ｑを形成することができる。このため、主流溝３１においてドライアウトが発生した場合には、バッファ領域Ｑに貯留された作動液２をドライアウトの発生部に移動させることができる。このため、ドライアウトを解消することができ、各主流溝３１における作動液２の輸送機能を回復させることができる。また、主流溝３１内に、気泡が発生した場合には、その気泡をバッファ領域Ｑに引き込ませて捕捉することができる。この点においても、各主流溝３１における作動液２の輸送機能を回復させることができる。 Further, according to the present embodiment, the depth h3 of the connecting groove 51 is deeper than the depth h1 of the mainstream groove 31. As a result, a buffer region Q for storing the working fluid 2 can be formed in each connecting groove 51. Therefore, when a dryout occurs in the mainstream groove 31, the working fluid 2 stored in the buffer region Q can be moved to the dryout generating portion. Therefore, the dryout can be eliminated, and the transport function of the working fluid 2 in each mainstream groove 31 can be restored. Further, when bubbles are generated in the mainstream groove 31, the bubbles can be drawn into the buffer region Q and captured. Also in this respect, the transport function of the working fluid 2 in each mainstream groove 31 can be restored.

また、本実施の形態によれば、主流溝３１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部３１ａの深さｈ１よりも深くなっている。このことにより、バッファ領域Ｑを、交差部Ｐに延ばすことができる。このため、バッファ領域Ｑにおける作動液２の貯留量を増大させることができ、ドライアウトをより一層解消させやすくすることができる。 Further, according to the present embodiment, the depth h1'of the intersection P of the mainstream groove 31 is deeper than the depth h1 of the mainstream groove main body 31a. As a result, the buffer area Q can be extended to the intersection P. Therefore, the amount of the hydraulic fluid 2 stored in the buffer region Q can be increased, and the dryout can be further eliminated.

また、本実施の形態によれば、液流路凸部４１ａの角部には、丸みを帯びた湾曲部４５が設けられている。このことにより、各液流路凸部４１ａの角部を滑らかに湾曲状に形成することができ、液状の作動液２の流路抵抗を低減することができる。 Further, according to the present embodiment, a rounded curved portion 45 is provided at a corner portion of the liquid flow path convex portion 41a. As a result, the corners of the convex portions 41a of each liquid flow path can be smoothly formed in a curved shape, and the flow path resistance of the liquid hydraulic fluid 2 can be reduced.

また、本実施の形態によれば、主流溝３１の交差部Ｐの深さｈ１’は、連絡溝５１の深さｈ３よりも深くなっている。このことにより、バッファ領域Ｑのうちドライアウトの発生部に近い側でバッファ領域Ｑの深さを深くすることができる。このため、貯留された作動液２を、ドライアウトの発生部にスムースに移動させることができ、ドライアウトをより一層解消させやすくすることができる。 Further, according to the present embodiment, the depth h1'of the intersection P of the mainstream groove 31 is deeper than the depth h3 of the connecting groove 51. As a result, the depth of the buffer area Q can be increased on the side of the buffer area Q closer to the dryout generation portion. Therefore, the stored hydraulic fluid 2 can be smoothly moved to the dry-out generating portion, and the dry-out can be more easily eliminated.

なお、上述した本実施の形態においては、連絡溝５１が整列する第２方向が、第１方向Ｘに直交する方向Ｙである例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、連絡溝５１が整列する第２方向Ｙは、第１方向Ｘに交差する方向であれば、第１方向に直交していなくてもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the second direction in which the connecting grooves 51 are aligned is the direction Y orthogonal to the first direction X has been described. However, the present invention is not limited to this, and the second direction Y in which the connecting grooves 51 are aligned does not have to be orthogonal to the first direction as long as it intersects the first direction X.

また、上述した本実施の形態においては、各液流路部３０の全体にわたって、液流路凸部４１ａが、矩形状で格子状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、各液流路部３０の一部の領域においては、液流路凸部４１ａが、図１６〜図１９に示すような形状で配置されていてもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the liquid flow path convex portions 41a are arranged in a rectangular and grid pattern over the entire liquid flow path portion 30 has been described. However, the present invention is not limited to this, and in a part of each liquid flow path portion 30, the liquid flow path convex portion 41a may be arranged in a shape as shown in FIGS. 16 to 19. ..

例えば、図１６に示すように、連絡溝５１が整列する方向が、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに対してそれぞれ傾斜していてもよい。この場合の連絡溝５１の第１方向Ｘに対する傾斜角度θは任意である。図１６に示す例では、各液流路凸部４１ａの平面形状は、平行四辺形になっている。このような形状を矩形状のベーパーチャンバ１に採用した場合には、ベーパーチャンバ１の平面外輪郭をなす４つの外縁１ａ、１ｂ（図２参照）と、連絡溝５１とが直交しなくなる。この場合には、第２方向Ｙに延びる折り線で折れ曲がるように変形することを防止することができ、液流路部３０の各溝３１、５１がつぶれることを防止できる。なお、図１６に示す液流路凸部４１ａの角部にも、図６に示す液流路凸部４１ａと同様にして丸みを帯びた湾曲部４５が形成されていてもよい。後述する図１７に示す液流路凸部４１ａおよび図１８に示す第２の液流路凸部６０においても同様である。 For example, as shown in FIG. 16, the directions in which the connecting grooves 51 are aligned may be inclined with respect to the first direction X and the second direction Y, respectively. In this case, the inclination angle θ of the connecting groove 51 with respect to the first direction X is arbitrary. In the example shown in FIG. 16, the planar shape of each liquid flow path convex portion 41a is a parallelogram. When such a shape is adopted for the rectangular vapor chamber 1, the four outer edges 1a and 1b (see FIG. 2) forming the outer planar contour of the vapor chamber 1 and the connecting groove 51 are not orthogonal to each other. In this case, it is possible to prevent the fold line extending in the second direction Y from being deformed so as to be bent, and it is possible to prevent the grooves 31 and 51 of the liquid flow path portion 30 from being crushed. The corner portion of the liquid flow path convex portion 41a shown in FIG. 16 may also have a rounded curved portion 45 similar to the liquid flow path convex portion 41a shown in FIG. The same applies to the liquid flow path convex portion 41a shown in FIG. 17, which will be described later, and the second liquid flow path convex portion 60 shown in FIG.

図１７においては、図１６に示すような形状の液流路凸部４１ａが、一の主流溝３１Ｓに対して、線対称に形成されている。すなわち、基準となる主流溝３１Ｓに対して、液流路凸部４１ａが左右対称に形成されている。主流溝３１Ｓの一方の側における連絡溝５１の列と、他方の側における連絡溝５１の列とが、Ｖ字状をなしている。この場合、連絡溝５１を流れる液状の作動液２は図１７における下側に向かう速度成分を有しながら流れる。このため、主流溝３１に入り込みやすくなっている。そして、主流溝３１Ｓの一方の側における連絡溝５１を流れる作動液２と、他方の側における連絡溝５１を流れる作動液２は、主流溝３１Ｓの交差部Ｐにおいて合流し、第２方向Ｙの速度成分が喪失される。このため、連絡溝５１を流れる際に有していた下側に向かう速度成分によって、主流溝３１Ｓに入り込みやすくなっている。図１７の下側に蒸発部１１が配置されている場合には、作動液２の蒸発部１１への流れを強めることができ、作動液２の輸送機能を向上させることができる。また、図１６に示す例と同様にして、ベーパーチャンバ１の変形を防止することができる。 In FIG. 17, the liquid flow path convex portion 41a having a shape as shown in FIG. 16 is formed line-symmetrically with respect to one mainstream groove 31S. That is, the liquid flow path convex portion 41a is formed symmetrically with respect to the reference mainstream groove 31S. The row of connecting grooves 51 on one side of the mainstream groove 31S and the row of connecting grooves 51 on the other side form a V shape. In this case, the liquid hydraulic fluid 2 flowing through the connecting groove 51 flows while having a downward velocity component in FIG. Therefore, it is easy to enter the mainstream groove 31. Then, the working fluid 2 flowing through the connecting groove 51 on one side of the mainstream groove 31S and the working fluid 2 flowing through the connecting groove 51 on the other side merge at the intersection P of the mainstream groove 31S and are in the second direction Y. The velocity component is lost. Therefore, it is easy to enter the mainstream groove 31S due to the downward velocity component that is possessed when flowing through the connecting groove 51. When the evaporation section 11 is arranged on the lower side of FIG. 17, the flow of the working fluid 2 to the evaporation section 11 can be strengthened, and the transport function of the working fluid 2 can be improved. Further, the deformation of the vapor chamber 1 can be prevented in the same manner as in the example shown in FIG.

図１８においては、液流路部３０に、液流路凸部４１ａの代わりに第２の液流路凸部６０が設けられており、この第２の液流路凸部６０の平面形状は、ひし形（または平行四辺形）になっている。互いに隣り合う第２の液流路凸部６０の間には、第１液流路溝６１と第２液流路溝６２とが形成されている。第１液流路溝６１が延びる方向と第２液流路溝６２が延びる方向は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに対してそれぞれ傾斜し、交差している。これにより、第１液流路溝６１の列と第２液流路溝６２の列とは、Ｘ字状をなしている。第１液流路溝６１および第２液流路溝６２は、第２の液流路凸部６０が形成された領域の外側に形成された主流溝３１または連絡溝５１に連通している。第２の液流路凸部６０を液流路部３０の一部に設けた場合には、図１６に示す例と同様にして、ベーパーチャンバ１の変形を防止することができる。 In FIG. 18, the liquid flow path portion 30 is provided with a second liquid flow path convex portion 60 instead of the liquid flow path convex portion 41a, and the planar shape of the second liquid flow path convex portion 60 is , It is a rhombus (or a parallelogram). A first liquid flow path groove 61 and a second liquid flow path groove 62 are formed between the second liquid flow path convex portions 60 adjacent to each other. The direction in which the first liquid flow path groove 61 extends and the direction in which the second liquid flow path groove 62 extends are inclined and intersect with respect to the first direction X and the second direction Y, respectively. As a result, the row of the first liquid flow path groove 61 and the row of the second liquid flow path groove 62 form an X shape. The first liquid flow path groove 61 and the second liquid flow path groove 62 communicate with the main flow groove 31 or the connecting groove 51 formed outside the region where the second liquid flow path convex portion 60 is formed. When the second liquid flow path convex portion 60 is provided in a part of the liquid flow path portion 30, deformation of the vapor chamber 1 can be prevented in the same manner as in the example shown in FIG.

さらに、図１８に示す第２の液流路凸部６０の平面形状は、図１９に示すように楕円形にしてもよい。図１９に示す例においても、ベーパーチャンバ１の変形を防止することができる。 Further, the planar shape of the second liquid flow path convex portion 60 shown in FIG. 18 may be elliptical as shown in FIG. Also in the example shown in FIG. 19, deformation of the vapor chamber 1 can be prevented.

また、上述した本実施の形態においては、上側金属シート２０の上側流路壁部２２が、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘに沿って細長状に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側流路壁部２２の形状は任意である。例えば、上側流路壁部２２は、円柱状のボスとして形成されていてもよい。この場合においても、上側流路壁部２２は、下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置して、上側流路壁部２２の下面２２ａを、下側流路壁部１３の上面１３ａに当接させることが好適である。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 extends in an elongated shape along the first direction X of the vapor chamber 1 has been described. However, the shape is not limited to this, and the shape of the upper flow path wall portion 22 is arbitrary. For example, the upper flow path wall portion 22 may be formed as a columnar boss. Also in this case, the upper flow path wall portion 22 is arranged so as to overlap the lower flow path wall portion 13 in a plan view, and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 is placed on the lower flow path wall portion 13. It is preferable to bring it into contact with the upper surface 13a.

また、上述した本実施の形態においては、上側金属シート２０が、上側蒸気流路凹部２１を有している例について説明したが、このことに限られることはなく、上側金属シート２０は、全体的に平板状に形成されて、上側蒸気流路凹部２１を有していなくてもよい。この場合には、上側金属シート２０の下面２０ａが、第２当接面として下側流路壁部１３の上面１３ａに当接するようになり、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。また、上側金属シート２０の下面２０ａのエッチング加工を不要にできる。 Further, in the above-described embodiment, the example in which the upper metal sheet 20 has the upper steam flow path recess 21 has been described, but the present invention is not limited to this, and the upper metal sheet 20 is the whole. It is not necessary to have the upper steam flow path recess 21 because it is formed in a flat plate shape. In this case, the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 comes into contact with the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 as the second contact surface, and the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved. .. Further, the etching process of the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 can be eliminated.

また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０が、下側蒸気流路凹部１２と、液流路部３０と、を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側金属シート２０が上側蒸気流路凹部２１を有していれば、下側金属シート１０は、下側蒸気流路凹部１２を有することなく、液流路部３０が、下側金属シート１０の上面１０ａに設けられていてもよい。この場合、図２０に示すように、上面１０ａのうち液流路部３０が形成される領域は、上側流路壁部２２に対向する領域に加えて、上側蒸気流路凹部２１に対向する領域のうち上側流路壁部２２を除く領域にも形成されていてもよい。この場合、液流路部３０を構成する主流溝３１の個数を増やすことができ、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。しかしながら、液流路部３０を形成する領域は、図２０に示す形態に限られることはなく、液状の作動液２の輸送機能を確保することができれば任意である。また、図２０に示す形態では、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａ（当接面）は、蒸気流路を確保するために、上側金属シート２０の下面２０ａのうちの一部の領域に形成されており、下側金属シート１０の上面１０ａのうち液流路部３０が形成された領域の一部に、上側流路壁部２２の下面２２ａが当接するようになる。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the lower metal sheet 10 has the lower vapor flow path recess 12 and the liquid flow path portion 30 has been described. However, the present invention is not limited to this, and if the upper metal sheet 20 has the upper steam flow path recess 21, the lower metal sheet 10 does not have the lower steam flow path recess 12 and the liquid flow. The road portion 30 may be provided on the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. In this case, as shown in FIG. 20, the region of the upper surface 10a where the liquid flow path portion 30 is formed is a region facing the upper vapor flow path recess 21 in addition to the region facing the upper flow path wall portion 22. It may also be formed in a region other than the upper flow path wall portion 22. In this case, the number of mainstream grooves 31 constituting the liquid flow path portion 30 can be increased, and the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved. However, the region forming the liquid flow path portion 30 is not limited to the form shown in FIG. 20, and is arbitrary as long as the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be ensured. Further, in the form shown in FIG. 20, the lower surface 22a (contact surface) of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 is one of the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 in order to secure the steam flow path. The lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 comes into contact with a part of the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 on which the liquid flow path portion 30 is formed.

さらに、上述した本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１を、主としてエッチングによって製造する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、３Ｄプリンタで製造してもよい。例えば、ベーパーチャンバ１をまとめて一度に３Ｄプリンタで製造してもよく、あるいは、各金属シート１０、２０を別々に３Ｄプリンタで製造して、その後に接合してもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the vapor chamber 1 is manufactured mainly by etching has been described. However, the present invention is not limited to this, and it may be manufactured by a 3D printer. For example, the vapor chambers 1 may be collectively manufactured by a 3D printer, or the metal sheets 10 and 20 may be manufactured separately by a 3D printer and then joined.

（第２の実施の形態）
次に、図２１および図２２を用いて、本発明の第２実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Second Embodiment)
Next, a method for manufacturing the vapor chamber, the electronic device, the metal sheet for the vapor chamber, and the vapor chamber according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 21 and 22.

図２１および図２２に示す第２の実施の形態においては、主流溝内に、主流溝凸部が突出しているとともに、連絡溝内に、連絡溝凸部が突出している点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２１および図２２において、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 In the second embodiment shown in FIGS. 21 and 22, the main difference is that the convex portion of the mainstream groove protrudes into the mainstream groove and the convex portion of the connecting groove protrudes into the connecting groove. Other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20. In FIGS. 21 and 22, the same parts as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図２１に示すように、本実施の形態においては、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた複数の主流溝凸部２７を有している。各主流溝凸部２７は、下面２０ａから下側金属シート１０の主流溝３１にそれぞれ突出している。主流溝凸部２７の下端は、主流溝３１の底部から離間しており、作動液２の流路は確保されている。また、各主流溝凸部２７は、対応する主流溝３１に沿って第１方向Ｘに延びるように形成されている。 As shown in FIG. 21, in the present embodiment, the upper metal sheet 20 has a plurality of mainstream groove convex portions 27 provided on the lower surface 20a. Each mainstream groove convex portion 27 projects from the lower surface 20a to the mainstream groove 31 of the lower metal sheet 10. The lower end of the mainstream groove convex portion 27 is separated from the bottom portion of the mainstream groove 31, and the flow path of the hydraulic fluid 2 is secured. Further, each mainstream groove convex portion 27 is formed so as to extend in the first direction X along the corresponding mainstream groove 31.

主流溝凸部２７の横断面は、湾曲状に形成されている。また、主流溝凸部２７の側縁は、図２１に示すように、主流溝３１の側壁３５、３６に接する、または近接している。これにより、主流溝３１の側壁３５、３６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより形成される角部３７が、楔状（または鋭角状）に形成されている。このようにして、主流溝３１と主流溝凸部２７とによって画定される流路断面（第２方向Ｙにおける流路断面）が、図２１に示すように三日月状に形成されている。 The cross section of the mainstream groove convex portion 27 is formed in a curved shape. Further, as shown in FIG. 21, the side edge of the mainstream groove convex portion 27 is in contact with or close to the side walls 35 and 36 of the mainstream groove 31. As a result, the corners 37 formed by the side walls 35 and 36 of the mainstream groove 31 and the lower surface 22a of the upper flow path wall 22 are formed in a wedge shape (or acute angle shape). In this way, the flow path cross section (the flow path cross section in the second direction Y) defined by the mainstream groove 31 and the mainstream groove convex portion 27 is formed in a crescent shape as shown in FIG.

また、図２２に示すように、本実施の形態においては、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた複数の連絡溝凸部２８を有している。各連絡溝凸部２８は、下面２０ａから下側金属シート１０の連絡溝５１にそれぞれ突出している。連絡溝凸部２８の下端は、連絡溝５１の底部から離間しており、作動液２の流路は確保されている。また、各連絡溝凸部２８は、対応する連絡溝５１に沿って第２方向Ｙに延びるように形成されている。主流溝３１の交差部Ｐにおいて、上述した主流溝凸部２７と連絡溝凸部２８とが十字状に交差している。 Further, as shown in FIG. 22, in the present embodiment, the upper metal sheet 20 has a plurality of connecting groove convex portions 28 provided on the lower surface 20a. Each of the connecting groove convex portions 28 projects from the lower surface 20a to the connecting groove 51 of the lower metal sheet 10. The lower end of the connecting groove convex portion 28 is separated from the bottom portion of the connecting groove 51, and the flow path of the hydraulic fluid 2 is secured. Further, each connecting groove convex portion 28 is formed so as to extend in the second direction Y along the corresponding connecting groove 51. At the intersection P of the mainstream groove 31, the above-mentioned mainstream groove convex portion 27 and the connecting groove convex portion 28 intersect in a cross shape.

連絡溝凸部２８の横断面は、主流溝凸部２７と同様に湾曲状に形成されている。また、連絡溝凸部２８の側縁は、図２２に示すように、連絡溝５１の第２方向Ｙに延びる一対の側壁５５、５６に接する、または当該側壁５５、５６に近接している。これにより、連絡溝５１の側壁５５、５６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより形成される角部５７が、楔状（または鋭角状）に形成されている。このようにして、連絡溝５１と連絡溝凸部２８とによって画定される流路断面（第１方向Ｘにおける流路断面）が、図２２に示すように三日月状に形成されている。なお、側壁５５、５６は、液流路凸部４１ａの上述した直線状部分４６に対応している。 The cross section of the connecting groove convex portion 28 is formed in a curved shape like the mainstream groove convex portion 27. Further, as shown in FIG. 22, the side edge of the connecting groove convex portion 28 is in contact with or close to the pair of side walls 55 and 56 extending in the second direction Y of the connecting groove 51. As a result, the corner portion 57 formed by the side walls 55 and 56 of the connecting groove 51 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 is formed in a wedge shape (or an acute angle shape). In this way, the flow path cross section (the flow path cross section in the first direction X) defined by the connecting groove 51 and the connecting groove convex portion 28 is formed in a crescent shape as shown in FIG. The side walls 55 and 56 correspond to the above-mentioned linear portion 46 of the liquid flow path convex portion 41a.

主流溝凸部２７および連絡溝凸部２８は、例えば、上側金属シート２０をハーフエッチングして上側流路壁部２２等を形成した後に、上側金属シート２０を単体でプレス加工することによって形成することができる。あるいは、図１４に示す恒久接合工程において、下側金属シート１０と上側金属シート２０とに与える加圧力を高めることによって主流溝凸部２７および連絡溝凸部２８を形成することができる。すなわち、加圧力を高めることにより、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の一部を、主流溝３１内および連絡溝５１内に入り込ませることができ、これにより、湾曲状の横断面を有する主流溝凸部２７および連絡溝凸部２８を形成することができる。 The mainstream groove convex portion 27 and the connecting groove convex portion 28 are formed, for example, by half-etching the upper metal sheet 20 to form the upper flow path wall portion 22 and the like, and then pressing the upper metal sheet 20 alone. be able to. Alternatively, in the permanent joining step shown in FIG. 14, the mainstream groove convex portion 27 and the connecting groove convex portion 28 can be formed by increasing the pressing force applied to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. That is, by increasing the pressing force, a part of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 can be made to enter the mainstream groove 31 and the connecting groove 51, thereby forming a curved cross section. The mainstream groove convex portion 27 and the connecting groove convex portion 28 can be formed.

このように、本実施の形態によれば、上側金属シート２０の下面２０ａから下側金属シート１０の主流溝３１のうち対応する主流溝３１に、主流溝凸部２７が突出している。このことにより、主流溝３１の側壁３５、３６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより形成される角部３７を、主流溝３１の側壁３５、３６と主流溝凸部２７とによって画定される微小な空間にすることができる。このため、角部３７における毛細管作用を高めることができる。この結果、各主流溝３１における液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。とりわけ、各主流溝３１の交差部Ｐを図６に示すようなバッファ領域Ｑとして構成する場合であっても、主流溝本体部３１ａにおける作動液２に、主流溝凸部２７による毛細管作用により、蒸発部１１に向かう高い推進力を与えることができ、作動液２の輸送機能を効果的に向上させることができる。 As described above, according to the present embodiment, the mainstream groove convex portion 27 projects from the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 to the corresponding mainstream groove 31 of the mainstream grooves 31 of the lower metal sheet 10. As a result, the corner portion 37 formed by the side walls 35 and 36 of the mainstream groove 31 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 is defined by the side walls 35 and 36 of the mainstream groove 31 and the convex portion 27 of the mainstream groove. It can be a very small space. Therefore, the capillary action at the corner 37 can be enhanced. As a result, the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 in each mainstream groove 31 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved. In particular, even when the intersection P of each mainstream groove 31 is configured as a buffer region Q as shown in FIG. 6, the hydraulic fluid 2 in the mainstream groove main body 31a is affected by the capillary action of the mainstream groove convex portion 27. A high propulsive force toward the evaporation unit 11 can be given, and the transport function of the working liquid 2 can be effectively improved.

また、本実施の形態によれば、主流溝凸部２７の横断面が湾曲状に形成されている。このことにより、角部３７を三日月形状の端部のような形状にすることができる。このため、角部３７における毛細管作用をより一層高めることができる。 Further, according to the present embodiment, the cross section of the mainstream groove convex portion 27 is formed in a curved shape. As a result, the corner portion 37 can be shaped like a crescent-shaped end portion. Therefore, the capillary action at the corner 37 can be further enhanced.

また、本実施の形態によれば、上側金属シート２０の下面２０ａから下側金属シート１０の対応する連絡溝５１に、連絡溝凸部２８が突出している。このことにより、連絡溝５１の側壁５５、５６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより形成される角部５７を、連絡溝５１の側壁５５、５６と連絡溝凸部２８とによって画定される微小な空間にすることができる。このため、角部５７における毛細管作用を高めることができる。 Further, according to the present embodiment, the connecting groove convex portion 28 projects from the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 to the corresponding connecting groove 51 of the lower metal sheet 10. As a result, the corner portion 57 formed by the side walls 55 and 56 of the connecting groove 51 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 is defined by the side walls 55 and 56 of the connecting groove 51 and the connecting groove convex portion 28. It can be a very small space. Therefore, the capillary action at the corner 57 can be enhanced.

ここで、蒸気から凝縮した液状の作動液２は、上述したように、連絡溝５１を通って主流溝３１に入り込む。このため、連絡溝５１の毛細管作用が高められることにより、凝縮した液状の作動液２をスムースに各主流溝３１に入り込ませることができる。すなわち、凝縮した液状の作動液２は、連絡溝５１の毛細管作用によって、蒸気流路凹部１２、２１に近い側の主流溝３１だけでなく、蒸気流路凹部１２、２１から遠い側の主流溝３１にもスムースに入り込むことができ、凝縮した液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。また、連絡溝５１の幅ｗ３を主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくしていることにより、連絡溝５１内における作動液２の流路抵抗を低減することができ、この点においても、凝縮した液状の作動液２を、各主流溝３１にスムースに入り込ませることができる。そして、各主流溝３１に入り込んだ作動液２は、主流溝３１の毛細管作用によって蒸発部１１に向かってスムースに輸送することができる。このため、液流路部３０全体として、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。また、上述したように、連絡溝５１の毛細管作用を高めることにより、ドライアウトが発生した場合には、連絡溝５１の毛細管作用によって、主流溝３１間で作動液２を往来させることができ、ドライアウトを解消することができる。 Here, the liquid hydraulic fluid 2 condensed from the vapor enters the mainstream groove 31 through the connecting groove 51 as described above. Therefore, by enhancing the capillary action of the connecting groove 51, the condensed liquid working liquid 2 can be smoothly entered into each mainstream groove 31. That is, the condensed liquid working liquid 2 is not only the mainstream groove 31 on the side close to the vapor flow path recesses 12 and 21, but also the mainstream groove on the side far from the vapor flow path recesses 12 and 21 due to the capillary action of the connecting groove 51. The 31 can also smoothly enter, and the transport function of the condensed liquid working liquid 2 can be improved. Further, by making the width w3 of the connecting groove 51 larger than the width w1 of the mainstream groove 31, the flow path resistance of the hydraulic fluid 2 in the connecting groove 51 can be reduced, and this point is also condensed. The liquid hydraulic fluid 2 can be smoothly introduced into each mainstream groove 31. Then, the working liquid 2 that has entered each mainstream groove 31 can be smoothly transported toward the evaporation portion 11 by the capillary action of the mainstream groove 31. Therefore, the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved as a whole of the liquid flow path portion 30. Further, as described above, when dryout occurs by enhancing the capillary action of the connecting groove 51, the hydraulic fluid 2 can be moved between the mainstream grooves 31 by the capillary action of the connecting groove 51. The dryout can be eliminated.

また、本実施の形態によれば、連絡溝凸部２８の横断面が湾曲状に形成されている。このことにより、角部５７を三日月形状の端部のような形状にすることができる。このため、角部５７における毛細管作用をより一層高めることができる。 Further, according to the present embodiment, the cross section of the connecting groove convex portion 28 is formed in a curved shape. As a result, the corner portion 57 can be shaped like a crescent-shaped end portion. Therefore, the capillary action at the corner 57 can be further enhanced.

なお、上述した本実施の形態においては、主流溝３１の横断面および連絡溝５１の横断面が湾曲状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、主流溝３１の横断面および連絡溝５１の横断面は、図示しないが、矩形状に形成されていてもよい。この場合においても、角部３７、５７における毛細管作用を高めることができ、主流溝３１および連絡溝５１における液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。横断面を矩形状にするためには、主流溝３１および連絡溝５１は、プレス加工や切削加工で形成されることが好ましい。 In the present embodiment described above, an example in which the cross section of the mainstream groove 31 and the cross section of the connecting groove 51 are formed in a curved shape has been described. However, the present invention is not limited to this, and the cross section of the mainstream groove 31 and the cross section of the connecting groove 51 may be formed in a rectangular shape, although not shown. Also in this case, the capillary action at the corners 37 and 57 can be enhanced, and the transport function of the liquid working fluid 2 at the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 can be improved. In order to make the cross section rectangular, the mainstream groove 31 and the connecting groove 51 are preferably formed by press working or cutting.

また、上述した本実施の形態においては、連絡溝５１の幅ｗ３が、主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくなっている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、各連絡溝５１の幅ｗ３は、各主流溝３１の幅ｗ１よりも大きくなくてもよい。すなわち、主流溝凸部２７によって主流溝３１の毛細管作用を高めて主流溝３１における液状の作動液２の輸送機能を高めるという効果は、連絡溝５１の幅ｗ３と主流溝３１の幅ｗ１との大小関係とは無関係に発揮することができる。同様に、連絡溝凸部２８によって連絡溝５１の毛細管作用を高めて、凝縮した液状の作動液２の輸送機能を高めるという効果も、連絡溝５１の幅ｗ３と主流溝３１の幅ｗ１との大小関係とは無関係に発揮することができる。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the width w3 of the connecting groove 51 is larger than the width w1 of the mainstream groove 31 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the width w3 of each connecting groove 51 does not have to be larger than the width w1 of each mainstream groove 31. That is, the effect of enhancing the capillary action of the mainstream groove 31 by the mainstream groove convex portion 27 and enhancing the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 in the mainstream groove 31 is the effect of the width w3 of the connecting groove 51 and the width w1 of the mainstream groove 31. It can be demonstrated regardless of the magnitude relationship. Similarly, the effect of enhancing the capillary action of the connecting groove 51 by the connecting groove convex portion 28 and enhancing the transport function of the condensed liquid working liquid 2 is also the effect of the width w3 of the connecting groove 51 and the width w1 of the mainstream groove 31. It can be demonstrated regardless of the magnitude relationship.

（第３の実施の形態）
次に、図２３乃至図２８を用いて、本発明の第３実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Third Embodiment)
Next, a method for manufacturing the vapor chamber, the electronic device, the metal sheet for the vapor chamber, and the vapor chamber according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 23 to 28.

図２３乃至図２８に示す第３の実施の形態においては、下側金属シートと上側金属シートとの間に中間金属シートが介在され、蒸気流路部が、上側金属シートの中間金属シートの側の面に設けられ、液流路部が、下側金属シートの中間金属シートの側の面に設けられ、中間金属シートに、蒸気流路部と液流路部とを連通する連通部が設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２３乃至図２８において、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 In the third embodiment shown in FIGS. 23 to 28, an intermediate metal sheet is interposed between the lower metal sheet and the upper metal sheet, and the steam flow path portion is on the side of the intermediate metal sheet of the upper metal sheet. The liquid flow path portion is provided on the surface of the lower metal sheet on the side surface of the intermediate metal sheet, and the intermediate metal sheet is provided with a communication portion for communicating the vapor flow path portion and the liquid flow path portion. The main difference is that the other configurations are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20. In FIGS. 23 to 28, the same parts as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図２３に示すように、本実施の形態においては、下側金属シート１０（第１金属シート）と上側金属シート２０（第２金属シート）との間に、中間金属シート７０（第３金属シート）が介在されている。すなわち、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０、中間金属シート７０および上側金属シート２０がこの順番で積層されている。中間金属シート７０は、下側金属シート１０上に設けられており、上側金属シート２０は、中間金属シート７０上に設けられている。なお、図２３においては、図面を明瞭にするために、作動液２の図示を省略している。後述する図２６、図３１および図３４においても同様である。 As shown in FIG. 23, in the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 (third metal sheet) is located between the lower metal sheet 10 (first metal sheet) and the upper metal sheet 20 (second metal sheet). ) Is intervened. That is, in the vapor chamber 1 according to the present embodiment, the lower metal sheet 10, the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 are laminated in this order. The intermediate metal sheet 70 is provided on the lower metal sheet 10, and the upper metal sheet 20 is provided on the intermediate metal sheet 70. In FIG. 23, the hydraulic fluid 2 is not shown in order to clarify the drawing. The same applies to FIGS. 26, 31 and 34, which will be described later.

中間金属シート７０は、下側金属シート１０の側に設けられた下面７０ａ（第１面）と、下面７０ａとは反対側に設けられ、上側金属シート２０の側に設けられた上面７０ｂ（第２面）と、を含んでいる。このうち下面７０ａが、下側金属シート１０の上面１０ａに重ね合わされ、上面７０ｂが、上側金属シート２０の下面２０ａに重ね合わされている。下側金属シート１０と中間金属シート７０とは、拡散接合によって接合されており、中間金属シート７０と上側金属シート２０とは、拡散接合によって接合されている。中間金属シート７０は、下側金属シート１０および上側金属シート２０と同様な材料で形成することができる。中間金属シート７０の厚さは、例えば、１０μｍ〜３００μｍである。 The intermediate metal sheet 70 is provided on the lower surface 70a (first surface) provided on the side of the lower metal sheet 10 and the upper surface 70b (first surface) provided on the side opposite to the lower surface 70a and provided on the side of the upper metal sheet 20. 2) and. Of these, the lower surface 70a is overlapped with the upper surface 10a of the lower metal sheet 10, and the upper surface 70b is overlapped with the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. The lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are joined by diffusion joining, and the intermediate metal sheet 70 and the upper metal sheet 20 are joined by diffusion joining. The intermediate metal sheet 70 can be formed of the same material as the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. The thickness of the intermediate metal sheet 70 is, for example, 10 μm to 300 μm.

密封空間３は、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に形成されており、中間金属シート７０にも密封空間３の一部が形成されている。本実施の形態では、密封空間３は、主として作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０と、主として液状の作動液２が通る液流路部３０と、を有している。蒸気流路部８０と液流路部３０は、作動液２が還流できるように連通している。蒸気流路部８０は、下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路部）および上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。 The sealing space 3 is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and a part of the sealing space 3 is also formed in the intermediate metal sheet 70. In the present embodiment, the sealed space 3 mainly has a vapor flow path portion 80 through which the vapor of the hydraulic fluid 2 passes, and a liquid flow path portion 30 through which the liquid hydraulic fluid 2 mainly passes. The vapor flow path portion 80 and the liquid flow path portion 30 communicate with each other so that the working liquid 2 can recirculate. The steam flow path portion 80 has a lower steam flow path recess 12 (first steam flow path portion) and an upper steam flow path recess 21 (second steam flow path portion).

下側蒸気流路凹部１２および液流路部３０を含む下側金属シート１０は、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態における下側金属シート１０と同様の構成とすることができる。このため、ここでは詳細な説明は省略する。 The lower metal sheet 10 including the lower vapor flow path recess 12 and the liquid flow path portion 30 can have the same configuration as the lower metal sheet 10 in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20. .. Therefore, detailed description thereof will be omitted here.

本実施の形態では、上側金属シート２０には、液流路部３０は設けられていない。また、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路突出部９０（第２流路突出部）が設けられている。上側流路突出部９０は、ハーフエッチング工程においてエッチングされることなく、上側金属シート２０の材料が残る部分である。 In the present embodiment, the upper metal sheet 20 is not provided with the liquid flow path portion 30. Further, the upper metal sheet 20 has an upper steam flow path recess 21 (second steam flow path portion) provided on the lower surface 20a. A plurality of upper flow path protrusions 90 (second flow path protrusions) are provided in the upper steam flow path recess 21 so as to project downward (direction perpendicular to the bottom surface 21a) from the bottom surface 21a of the upper steam flow path recess 21. ing. The upper flow path protrusion 90 is a portion where the material of the upper metal sheet 20 remains without being etched in the half etching step.

図２３に示すように、上側流路突出部９０は、上側金属シート２０の下面２０ａと同一平面上に位置する下面９０ａを有している。この下面９０ａは、中間金属シート７０の上面７０ｂに当接している。このことにより、密封空間３の減圧時におけるベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。 As shown in FIG. 23, the upper flow path protrusion 90 has a lower surface 90a located on the same plane as the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. The lower surface 90a is in contact with the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70. As a result, the mechanical strength of the vapor chamber 1 when the pressure in the sealed space 3 is reduced is improved.

図２４に示すように、本実施の形態では、上側流路突出部９０は、平面視で、千鳥状に配置されている。このことにより、上側流路突出部９０の周囲を作動液２の蒸気が流れるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。また、上側流路突出部９０の下面の平面形状が、円形状になっており、この点においても、作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、上側流路突出部９０の平面形状は、作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制できれば、円形状であることに限られない。 As shown in FIG. 24, in the present embodiment, the upper flow path protrusions 90 are arranged in a staggered manner in a plan view. As a result, the vapor of the working liquid 2 is configured to flow around the upper flow path protrusion 90, and the flow of the vapor is suppressed from being obstructed. Further, the planar shape of the lower surface of the upper flow path protrusion 90 is circular, and this point also suppresses the obstruction of the vapor flow of the working liquid 2. The planar shape of the upper flow path protrusion 90 is not limited to a circular shape as long as it can prevent the flow of vapor of the working liquid 2 from being obstructed.

図２５に示すように、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通孔７１（連通部）が設けられている。連通孔７１は、中間金属シート７０を貫通しており、上述した密封空間３の一部を構成している。また、連通孔７１は、平面視で、互いに隣り合う上側流路突出部９０の間に配置されており、連通孔７１は、平面視で、千鳥状に配置されている。 As shown in FIG. 25, the intermediate metal sheet 70 is provided with a communication hole 71 (communication portion) for communicating the upper vapor flow path recess 21 and the liquid flow path portion 30. The communication hole 71 penetrates the intermediate metal sheet 70 and forms a part of the sealing space 3 described above. Further, the communication holes 71 are arranged between the upper flow path protrusions 90 adjacent to each other in a plan view, and the communication holes 71 are arranged in a staggered pattern in a plan view.

図２３に示すように、連通孔７１は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａにわたって延びている。このことにより、上側蒸気流路凹部２１において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２は、連通孔７１を通って、液流路部３０の主流溝３１に入り込むように構成されている。一方、蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気は、下側蒸気流路凹部１２で拡散されるだけでなく、連通孔７１を通って上側蒸気流路凹部２１にも拡散できるようになっている。 As shown in FIG. 23, the communication hole 71 extends from the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70 to the lower surface 70a. As a result, the liquid working liquid 2 generated by condensing from the vapor of the working liquid 2 in the upper steam flow path recess 21 passes through the communication hole 71 and enters the main flow groove 31 of the liquid flow path portion 30. It is configured. On the other hand, the vapor of the working liquid 2 evaporated in the evaporation unit 11 can be diffused not only in the lower steam flow path recess 12 but also in the upper steam flow path recess 21 through the communication hole 71. There is.

連通孔７１は、中間金属シート７０の上面７０ｂからエッチングされることによって形成されてもよい。この場合、連通孔７１は、下面７０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。あるいは、連通孔７１は、中間金属シート７０の下面７０ａからエッチングされてもよく、この場合には、上面７０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。さらには、連通孔７１は、下面７０ａからのハーフエッチングと上面７０ｂからのハーフエッチングとで形成されていてもよい。この場合には、連通孔７１のうち上面７０ｂの側の部分と下面７０ａの側の部分とで、形状または大きさを異ならせてもよい。本実施の形態では、図２５に示すように、連通孔７１の平面形状が円形状になっている例が示されている。連通孔７１の直径φを、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小直径とした場合、連通孔７１の直径φは、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。なお、連通孔７１の平面形状は、円形状に限られることはない。 The communication hole 71 may be formed by etching from the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70. In this case, the communication hole 71 may be curved so as to bulge toward the lower surface 70a. Alternatively, the communication hole 71 may be etched from the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70, and in this case, the communication hole 71 may be curved so as to bulge toward the upper surface 70b. Further, the communication hole 71 may be formed by half-etching from the lower surface 70a and half-etching from the upper surface 70b. In this case, the shape or size of the communication hole 71 may be different between the portion on the upper surface 70b side and the portion on the lower surface 70a side. In the present embodiment, as shown in FIG. 25, an example in which the plane shape of the communication hole 71 is circular is shown. When the diameter φ of the communication hole 71 is the minimum diameter in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a, the diameter φ of the communication hole 71 may be, for example, 50 μm to 2000 μm. The planar shape of the communication hole 71 is not limited to the circular shape.

図２５に示すように、本実施の形態においては、連通孔７１は、平面視で、互いに隣り合う一対の下側蒸気通路８１のうちの一方の下側蒸気通路８１の一部と他方の下側蒸気通路８１の一部に重なっている。このことにより、互いに隣り合う一対の下側蒸気通路８１が、連通孔７１を介して連通している。このため、連通孔７１の流路断面積を増大させることができ、作動液２の蒸気を上側蒸気流路凹部２１にスムースに拡散させることができる。なお、連通孔７１は、３つ以上の下側蒸気通路８１の各々の一部に重なって、これらの下側蒸気通路８１を連通するようにしてもよい。 As shown in FIG. 25, in the present embodiment, the communication hole 71 is a part of one lower steam passage 81 of a pair of lower steam passages 81 adjacent to each other and below the other in a plan view. It overlaps a part of the side steam passage 81. As a result, a pair of lower steam passages 81 adjacent to each other communicate with each other through the communication hole 71. Therefore, the cross-sectional area of the flow path of the communication hole 71 can be increased, and the vapor of the working liquid 2 can be smoothly diffused into the upper steam flow path recess 21. The communication hole 71 may overlap a part of each of the three or more lower steam passages 81 and communicate with the lower steam passage 81.

また、図２５に示すように、中間金属シート７０には、各金属シート１０、２０、７０を位置決めするための中間アライメント孔７２が設けられている。すなわち、各中間アライメント孔７２は、仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５および上側アライメント孔２４にそれぞれ重なるように配置され、各金属シート１０、２０、７０の位置決めが可能になっている。 Further, as shown in FIG. 25, the intermediate metal sheet 70 is provided with intermediate alignment holes 72 for positioning the respective metal sheets 10, 20, and 70. That is, the intermediate alignment holes 72 are arranged so as to overlap the lower alignment holes 15 and the upper alignment holes 24 described above at the time of temporary fixing, and the metal sheets 10, 20 and 70 can be positioned. ..

なお、本実施の形態においては、注入部４は、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態の注入部４と同様に形成してもよい。この場合、中間金属シート７０に、注入突出部（図示せず）を設けて、この注入突出部に注入流路を設けてもよい。あるいは、下側金属シート１０または上側金属シート２０に注入孔を設けて、この注入孔から作動液２を注入するようにしてもよい。 In addition, in this embodiment, the injection part 4 may be formed in the same manner as the injection part 4 of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20. In this case, the intermediate metal sheet 70 may be provided with an injection protrusion (not shown), and the injection flow path may be provided in the injection protrusion. Alternatively, the lower metal sheet 10 or the upper metal sheet 20 may be provided with an injection hole, and the working liquid 2 may be injected through the injection hole.

また、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２および液流路部３０と、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１は、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と同様にして形成することができる。また、中間金属シート７０の連通孔７１も、エッチングによって形成することができる。その後、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、中間金属シート７０を介して接合する。すなわち、下側金属シート１０と中間金属シート７０とを拡散接合するとともに、上側金属シート２０と中間金属シート７０とを拡散接合する。このことにより、密封空間３が形成される。なお、下側金属シート１０と中間金属シート７０と上側金属シート２０とを一度に拡散接合するようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber 1 according to the present embodiment, the lower vapor flow path recess 12 and the liquid flow path portion 30 of the lower metal sheet 10 and the upper steam flow path recess 21 of the upper metal sheet 20 are shown in FIGS. It can be formed in the same manner as in the first embodiment shown in 20. Further, the communication hole 71 of the intermediate metal sheet 70 can also be formed by etching. After that, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined via the intermediate metal sheet 70. That is, the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion-bonded, and the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion-bonded. As a result, the sealed space 3 is formed. The lower metal sheet 10, the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 may be diffusion-bonded at once.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、上側金属シート２０の下面２０ａに上側蒸気流路凹部２１が設けられ、下側金属シート１０の上面１０ａに液流路部３０が設けられている。そして、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通孔７１が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。また、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１が広く連通しているため、作動液２の蒸気の拡散をスムースに行うことができ、熱輸送効率を向上させることができる。 As described above, according to the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the upper steam flow path recess 21 is provided on the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. A liquid flow path portion 30 is provided on the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. The intermediate metal sheet 70 is provided with a communication hole 71 for communicating the upper vapor flow path recess 21 and the liquid flow path portion 30. As a result, even when the vapor chamber 1 is composed of the three metal sheets 10, 20, and 70, the working fluid 2 is refluxed in the vapor chamber 1 while repeating the phase change in the sealed space 3. , The heat of the device D can be transferred and released. Further, since the upper steam flow path recess 21 of the upper metal sheet 20 is widely communicated with each other, the vapor of the working liquid 2 can be diffused smoothly, and the heat transport efficiency can be improved.

また、本実施の形態によれば、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と同様の液流路部３０が、下側金属シート１０の上面１０ａに設けられている。このことにより、液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 Further, according to the present embodiment, the same liquid flow path portion 30 as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 is provided on the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. As a result, the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved.

なお、図２３に示す例では、下側蒸気流路凹部１２の横断面形状および上側蒸気流路凹部２１の横断面形状が、矩形状に形成されている例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸気流路凹部１２、２１の横断面形状は、湾曲状に形成されていてもよい。また、液流路部３０の主流溝３１および連絡溝５１についても同様である。 In the example shown in FIG. 23, the cross-sectional shape of the lower steam flow path recess 12 and the cross-sectional shape of the upper steam flow path recess 21 are formed in a rectangular shape. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the steam flow path recesses 12 and 21 may be formed in a curved shape. The same applies to the main flow groove 31 and the connecting groove 51 of the liquid flow path portion 30.

また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、１つの中間金属シート７０が介在されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、２つ以上の中間金属シート７０が介在されていてもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which one intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 has been described. However, the present invention is not limited to this, and two or more intermediate metal sheets 70 may be interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20.

また、上述した本実施の形態においては、上側金属シート２０が、上側蒸気流路凹部２１を有している例について説明したが、このことに限られることはなく、図２６に示すように、中間金属シート７０の上面７０ｂに、中間蒸気流路凹部７５（第２蒸気流路部）が設けられるようにしてもよい。この中間蒸気流路凹部７５は、例えば、上側蒸気流路凹部２１を上下反転したような形状を有していてもよい。すなわち、中間蒸気流路凹部７５内に、上側流路壁部２２と同様な中間流路壁部７６が設けられていてもよい。中間蒸気流路凹部７５は、上述した連通孔７１と連通している。また、上側金属シート２０は、図２６に示すように、全体的に平板状に形成されて、上側蒸気流路凹部２１を有していないようにしてもよい。あるいは、図２３に示すような上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）が上側金属シート２０に設けられていてもよい。この場合、第２蒸気流路部が上側金属シート２０および中間金属シート７０の両方に設けられることになる。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the upper metal sheet 20 has the upper steam flow path recess 21 has been described, but the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. An intermediate steam flow path recess 75 (second steam flow path portion) may be provided on the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70. The intermediate steam flow path recess 75 may have, for example, a shape in which the upper steam flow path recess 21 is turned upside down. That is, an intermediate flow path wall portion 76 similar to the upper flow path wall portion 22 may be provided in the intermediate steam flow path recess 75. The intermediate steam flow path recess 75 communicates with the above-mentioned communication hole 71. Further, as shown in FIG. 26, the upper metal sheet 20 may be formed in a flat plate shape as a whole so as not to have the upper steam flow path recess 21. Alternatively, the upper steam flow path recess 21 (second steam flow path portion) as shown in FIG. 23 may be provided on the upper metal sheet 20. In this case, the second steam flow path portion is provided on both the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70.

また、上述した本実施の形態においては、図２７に示すように、中間金属シート７０が、下面７０ａに設けられた複数の主流溝凸部７７を有していてもよい。各主流溝凸部７７は、下面７０ａから下側金属シート１０の主流溝３１にそれぞれ突出している。主流溝凸部７７は、第２の実施の形態における主流溝凸部２７と同様に形成することができる。また、図２８に示すように、中間金属シート７０が、下面７０ａに設けられた複数の連絡溝凸部７８を有していてもよい。各連絡溝凸部７８は、下面７０ａから下側金属シート１０の連絡溝５１にそれぞれ突出している。連絡溝凸部７８は、第２の実施の形態における連絡溝凸部２８と同様に形成することができる。 Further, in the above-described embodiment, as shown in FIG. 27, the intermediate metal sheet 70 may have a plurality of mainstream groove convex portions 77 provided on the lower surface 70a. Each mainstream groove convex portion 77 projects from the lower surface 70a to the mainstream groove 31 of the lower metal sheet 10. The mainstream groove convex portion 77 can be formed in the same manner as the mainstream groove convex portion 27 in the second embodiment. Further, as shown in FIG. 28, the intermediate metal sheet 70 may have a plurality of connecting groove convex portions 78 provided on the lower surface 70a. Each of the connecting groove convex portions 78 projects from the lower surface 70a to the connecting groove 51 of the lower metal sheet 10. The connecting groove convex portion 78 can be formed in the same manner as the connecting groove convex portion 28 in the second embodiment.

（第４の実施の形態）
次に、図２９および図３０を用いて、本発明の第４実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Fourth Embodiment)
Next, a method for manufacturing a vapor chamber, an electronic device, a metal sheet for a vapor chamber, and a vapor chamber according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 29 and 30.

図２９および図３０に示す第４の実施の形態においては、上側流路突出部および連通孔が、第１方向に沿って細長状に延びている点が主に異なり、他の構成は、図２３乃至図２８に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２９および図３０において、図２３乃至図２８に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 In the fourth embodiment shown in FIGS. 29 and 30, the main difference is that the upper flow path protrusion and the communication hole extend in an elongated shape along the first direction, and the other configurations are shown in FIG. It is substantially the same as the third embodiment shown in 23 to 28. In FIGS. 29 and 30, the same parts as those in the third embodiment shown in FIGS. 23 to 28 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図２９に示すように、本実施の形態においては、上側金属シート２０に設けられた上側流路突出部９０（第２流路突出部）は、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態における上側流路壁部２２と同様に構成されている。このため、以下では、上側流路突出部９０を上側流路壁部２２と記し、上側流路突出部９０を含む上側金属シート２０についての詳細な説明は省略する。 As shown in FIG. 29, in the present embodiment, the upper flow path protrusion 90 (second flow path protrusion) provided on the upper metal sheet 20 is the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20. It is configured in the same manner as the upper flow path wall portion 22 in the form. Therefore, in the following, the upper flow path protrusion 90 will be referred to as the upper flow path wall portion 22, and detailed description of the upper metal sheet 20 including the upper flow path protrusion 90 will be omitted.

図３０に示すように、本実施の形態においては、中間金属シート７０に設けられた連通孔７１は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びるように形成されている。本実施の形態においても、連通孔７１は、平面視で、互いに隣り合う上側流路壁部２２の間に配置されている。連通孔７１の幅ｗ４（第２方向Ｙの寸法）は、例えば、５０μｍ〜１５００μｍとしてもよい。ここで、連通孔７１の幅ｗ４は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小幅とする。 As shown in FIG. 30, in the present embodiment, the communication hole 71 provided in the intermediate metal sheet 70 is formed so as to extend in an elongated shape along the first direction X. Also in the present embodiment, the communication holes 71 are arranged between the upper flow path wall portions 22 adjacent to each other in a plan view. The width w4 (dimension of the second direction Y) of the communication hole 71 may be, for example, 50 μm to 1500 μm. Here, the width w4 of the communication hole 71 is the minimum width in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a.

本実施の形態における連通孔７１は、平面視で、下側蒸気流路凹部１２の一の下側蒸気通路８１に重なっている。そして、連通孔７１には、平面視で、当該下側蒸気通路８１に重なる上側蒸気流路凹部２１の上側蒸気通路８３も重なっている。すなわち、互いに重なる下側蒸気通路８１と上側蒸気通路８３の間に、これらに重なるように連通孔７１が設けられている。このため、下側蒸気通路８１内の作動液２の蒸気は、速やかに連通孔７１を介して上側蒸気通路８３に達することができ、上側蒸気通路８３にスムースに拡散することができる。 The communication hole 71 in the present embodiment overlaps with one lower steam passage 81 of the lower steam passage recess 12 in a plan view. The communication hole 71 also overlaps the upper steam passage 83 of the upper steam passage recess 21 that overlaps the lower steam passage 81 in a plan view. That is, a communication hole 71 is provided between the lower steam passage 81 and the upper steam passage 83 that overlap each other so as to overlap them. Therefore, the vapor of the working fluid 2 in the lower steam passage 81 can quickly reach the upper steam passage 83 through the communication hole 71, and can be smoothly diffused into the upper steam passage 83.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、上側金属シート２０の下面２０ａに上側蒸気流路凹部２１が設けられ、下側金属シート１０の上面１０ａに液流路部３０が設けられている。そして、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通孔７１が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。 As described above, according to the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the upper steam flow path recess 21 is provided on the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. A liquid flow path portion 30 is provided on the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. The intermediate metal sheet 70 is provided with a communication hole 71 for communicating the upper vapor flow path recess 21 and the liquid flow path portion 30. As a result, even when the vapor chamber 1 is composed of the three metal sheets 10, 20, and 70, the working fluid 2 is refluxed in the vapor chamber 1 while repeating the phase change in the sealed space 3. , The heat of the device D can be transferred and released.

（第５の実施の形態）
次に、図３１乃至図３６を用いて、本発明の第５実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器、ベーパーチャンバ用金属シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Fifth Embodiment)
Next, a method for manufacturing the vapor chamber, the electronic device, the metal sheet for the vapor chamber, and the vapor chamber according to the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 31 to 36.

図３１乃至図３６に示す第５の実施の形態においては、下側金属シートと上側金属シートとの間に中間金属シートが介在され、蒸気流路部が、中間金属シートの上面に設けられ、液流路部が、中間金属シートの下面に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図２３乃至図２８に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図３１乃至図３６において、図２３乃至図２８に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 In the fifth embodiment shown in FIGS. 31 to 36, an intermediate metal sheet is interposed between the lower metal sheet and the upper metal sheet, and a steam flow path portion is provided on the upper surface of the intermediate metal sheet. The main difference is that the liquid flow path portion is provided on the lower surface of the intermediate metal sheet, and the other configurations are substantially the same as those of the third embodiment shown in FIGS. 23 to 28. In FIGS. 31 to 36, the same parts as those in the third embodiment shown in FIGS. 23 to 28 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図３１に示すように、本実施の形態においては、蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂに設けられている。すなわち、本実施の形態による蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されており、中間金属シート７０を貫通している。液流路部３０は、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている。このため、本実施の形態による中間金属シート７０は、ウィックシートと称する場合もある。蒸気流路部８０と液流路部３０は、作動液２が還流できるように連通している。 As shown in FIG. 31, in the present embodiment, the steam flow path portion 80 is provided on the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70. That is, the steam flow path portion 80 according to the present embodiment is formed so as to extend from the upper surface 70b to the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70, and penetrates the intermediate metal sheet 70. The liquid flow path portion 30 is provided on the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70. Therefore, the intermediate metal sheet 70 according to the present embodiment may be referred to as a wick sheet. The vapor flow path portion 80 and the liquid flow path portion 30 communicate with each other so that the working liquid 2 can recirculate.

図３２および図３３に示すように、中間金属シート７０は、平面視で矩形枠状に形成された枠体部７３と、枠体部７３内に設けられた複数のランド部７４と、を有している。枠体部７３およびランド部７４は、中間金属シート７０をエッチングする際にエッチングされることなく中間金属シート７０の材料が残る部分である。ランド部７４は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、蒸気流路部８０内に複数配置されている。ランド部７４は、図示しない支持部を介して、互いに支持されているとともに、枠体部７３に支持されている。支持部は、後述する中間蒸気通路８５内を流れる作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制するように形成されている。例えば、支持部は、図３１の上下方向において中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲の一部に形成されるようにしてもよい。 As shown in FIGS. 32 and 33, the intermediate metal sheet 70 has a frame body portion 73 formed in a rectangular frame shape in a plan view, and a plurality of land portions 74 provided in the frame body portion 73. doing. The frame body portion 73 and the land portion 74 are portions where the material of the intermediate metal sheet 70 remains without being etched when the intermediate metal sheet 70 is etched. The land portion 74 extends in an elongated shape along the first direction X, and a plurality of land portions 74 are arranged in the steam flow path portion 80. The land portion 74 is supported by each other via a support portion (not shown), and is also supported by the frame body portion 73. The support portion is formed so as to prevent the flow of the vapor of the working liquid 2 flowing in the intermediate steam passage 85, which will be described later, from being obstructed. For example, the support portion may be formed in a part of the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70 in the vertical direction of FIG.

蒸気流路部８０は、ランド部７４によって区画された複数の中間蒸気通路８５（第３蒸気通路）を含んでいる。中間蒸気通路８５は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各中間蒸気通路８５の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる中間連絡蒸気通路８６に連通しており、各中間蒸気通路８５が、中間連絡蒸気通路８６を介して連通している。このようにして、各ランド部７４の周囲（中間蒸気通路８５および中間連絡蒸気通路８６）を作動液２の蒸気が流れて、蒸気流路部８０の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３１においては、中間蒸気通路８５の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、中間蒸気通路８５の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。中間連絡蒸気通路８６も同様である。中間蒸気通路８５および中間連絡蒸気通路８６は、図２３乃至図２８に示す第３の実施の形態における連通孔７１と同様にエッチングで形成することができ、連通孔７１と同様な横断面形状を有することができる。 The steam flow path portion 80 includes a plurality of intermediate steam passages 85 (third steam passages) partitioned by the land portion 74. The intermediate steam passage 85 extends in an elongated shape along the first direction X and is arranged parallel to each other. Both ends of each intermediate steam passage 85 communicate with an intermediate connecting steam passage 86 extending in an elongated shape along the second direction Y, and each intermediate steam passage 85 communicates with the intermediate connecting steam passage 86 via the intermediate connecting steam passage 86. There is. In this way, the vapor of the working fluid 2 flows around each land portion 74 (intermediate steam passage 85 and intermediate connecting steam passage 86), and the vapor is transported toward the peripheral portion of the steam passage portion 80. It is configured to prevent the flow of steam from being obstructed. In FIG. 31, the cross section (cross section in the second direction Y) of the intermediate steam passage 85 is rectangular. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the intermediate steam passage 85 may be, for example, curved, semicircular, or V-shaped, as long as the vapor of the working fluid 2 can be diffused. It is optional. The same applies to the intermediate connecting steam passage 86. The intermediate steam passage 85 and the intermediate connecting steam passage 86 can be formed by etching in the same manner as the communication hole 71 in the third embodiment shown in FIGS. 23 to 28, and have a cross-sectional shape similar to that of the communication hole 71. Can have.

中間金属シート７０のランド部７４の幅ｗ５（第２方向Ｙの寸法）は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最大寸法とした場合、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。中間蒸気通路８５の幅ｗ６（第２方向Ｙの寸法）は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小寸法とした場合、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。中間連絡蒸気通路８６の幅（第１方向Ｘの寸法）も同様である。 The width w5 (dimension of the second direction Y) of the land portion 74 of the intermediate metal sheet 70 may be, for example, 50 μm to 2000 μm when the maximum dimension is in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a. The width w6 (dimension of the second direction Y) of the intermediate steam passage 85 may be, for example, 50 μm to 2000 μm when it is the minimum dimension in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a. The width (dimension of the first direction X) of the intermediate connecting steam passage 86 is also the same.

液流路部３０は、中間金属シート７０の下面７０ａにおいて、ランド部７４に設けられている。すなわち、ランド部７４の下面に液流路部３０が設けられている。 The liquid flow path portion 30 is provided on the land portion 74 on the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70. That is, the liquid flow path portion 30 is provided on the lower surface of the land portion 74.

本実施の形態における下側金属シート１０の上面１０ａには、下側蒸気流路凹部１２は設けられておらず、液流路部３０も設けられていない。当該上面１０ａは、平坦状に形成されている。同様に、上側金属シート２０の下面２０ａには、上側蒸気流路凹部２１は設けられておらず、液流路部３０も設けられていない。当該下面２０ａは、平坦状に形成されている。本実施の形態による下側金属シート１０の厚さおよび上側金属シート２０の厚さは、例えば、８μｍ〜１００μｍである。 The upper surface 10a of the lower metal sheet 10 in the present embodiment is not provided with the lower vapor flow path recess 12 and is not provided with the liquid flow path portion 30. The upper surface 10a is formed flat. Similarly, the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 is not provided with the upper vapor flow path recess 21 and the liquid flow path portion 30 is not provided. The lower surface 20a is formed flat. The thickness of the lower metal sheet 10 and the thickness of the upper metal sheet 20 according to the present embodiment are, for example, 8 μm to 100 μm.

また、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、中間金属シート７０の蒸気流路部８０と液流路部３０とを、エッチングによって形成することができる。その後、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、中間金属シート７０を介して接合する。すなわち、下側金属シート１０と中間金属シート７０とを拡散接合するとともに、上側金属シート２０と中間金属シート７０とを拡散接合する。このことにより、密封空間３が形成される。なお、下側金属シート１０と中間金属シート７０と上側金属シート２０とを一度に拡散接合するようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber 1 according to the present embodiment, the vapor flow path portion 80 and the liquid flow path portion 30 of the intermediate metal sheet 70 can be formed by etching. After that, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined via the intermediate metal sheet 70. That is, the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion-bonded, and the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion-bonded. As a result, the sealed space 3 is formed. The lower metal sheet 10, the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 may be diffusion-bonded at once.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、中間金属シート７０の上面７０ｂに蒸気流路部８０が設けられ、中間金属シート７０の下面７０ａに液流路部３０が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。 As described above, according to the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the steam flow path portion 80 is provided on the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70. A liquid flow path portion 30 is provided on the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70. As a result, even when the vapor chamber 1 is composed of the three metal sheets 10, 20, and 70, the working fluid 2 is refluxed in the vapor chamber 1 while repeating the phase change in the sealed space 3. , The heat of the device D can be transferred and released.

また、本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に介在された中間金属シート７０の上面７０ｂに、蒸気流路部８０が設けられ、下面７０ａに、液流路部３０が設けられている。このことにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０への、蒸気流路や液流路を形成するためのエッチング加工を不要にできる。すなわち、エッチング加工を行う部材の点数を削減することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程を簡素化し、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。また、蒸気流路部８０と液流路部３０が中間金属シート７０に形成されているため、蒸気流路部８０と液流路部３０とは、エッチング加工時に精度良く位置決めすることができる。このため、組立工程において、蒸気流路部８０と液流路部３０とを位置合わせすることを不要にできる。この結果、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。また、蒸気流路の高さ（あるいは深さ）を、中間金属シート７０の厚みで画定することができ、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。 Further, according to the present embodiment, the vapor flow path portion 80 is provided on the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70 interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the liquid is provided on the lower surface 70a. A flow path portion 30 is provided. As a result, it is possible to eliminate the need for etching processing for forming the vapor flow path and the liquid flow path on the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. That is, the number of members to be etched can be reduced. Therefore, the manufacturing process of the vapor chamber 1 can be simplified, and the vapor chamber 1 can be easily manufactured. Further, since the vapor flow path portion 80 and the liquid flow path portion 30 are formed on the intermediate metal sheet 70, the vapor flow path portion 80 and the liquid flow path portion 30 can be accurately positioned during the etching process. Therefore, in the assembly process, it is not necessary to align the vapor flow path portion 80 and the liquid flow path portion 30. As a result, the vapor chamber 1 can be easily manufactured. Further, the height (or depth) of the steam flow path can be defined by the thickness of the intermediate metal sheet 70, and the vapor chamber 1 can be easily manufactured.

また、本実施の形態によれば、図１乃至図２０に示す第１の実施の形態と同様の液流路部３０が、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている。このことにより、液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 Further, according to the present embodiment, the same liquid flow path portion 30 as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 20 is provided on the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70. As a result, the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved.

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びている。このことにより、蒸気流路部８０の流路抵抗を低減することができる。このため、蒸気流路部８０において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２を、スムースに液流路部３０の主流溝３１に入り込ませることができる。一方、蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気を、蒸気流路部８０にスムースに拡散することができる。 Further, according to the present embodiment, the steam flow path portion 80 extends from the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70 to the lower surface 70a. As a result, the flow path resistance of the steam flow path portion 80 can be reduced. Therefore, the liquid hydraulic solution 2 generated by condensing the vapor of the hydraulic fluid 2 in the vapor flow path portion 80 can be smoothly entered into the main flow groove 31 of the liquid flow path portion 30. On the other hand, the vapor of the working liquid 2 evaporated in the evaporation section 11 can be smoothly diffused into the steam flow path section 80.

なお、上述した本実施の形態においては、液流路部３０が、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図３４に示すように、液流路部３０は、下面７０ａだけでなく、上面７０ｂにも設けられていてもよい。この場合、液状の作動液２を蒸発部１１または中間金属シート７０のうち蒸発部１１に近い部分に輸送する流路を増やすことができ、液状の作動液２の輸送効率を向上させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を向上させることができる。 In the above-described embodiment, an example in which the liquid flow path portion 30 is provided on the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70 has been described. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 34, the liquid flow path portion 30 may be provided not only on the lower surface 70a but also on the upper surface 70b. In this case, it is possible to increase the number of flow paths for transporting the liquid hydraulic fluid 2 to the portion of the evaporation section 11 or the intermediate metal sheet 70 close to the evaporation section 11, and it is possible to improve the transport efficiency of the liquid hydraulic fluid 2. .. Therefore, the heat transport efficiency of the vapor chamber 1 can be improved.

また、上述した本実施の形態においては、蒸気流路部８０が、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸気流路部８０が、図１乃至図２０に示す下側蒸気流路凹部１２のように、あるいは、図２３および図２４に示す上側蒸気流路凹部２１のように、中間金属シート７０の上面７０ｂに凹状に形成されていてもよい。この場合、中間金属シート７０に、蒸気流路部８０を液流路部３０に連通する連通孔（図示せず）が設けられていてもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the steam flow path portion 80 is formed so as to extend from the upper surface 70b to the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the steam flow path portion 80 is formed like the lower steam flow path recess 12 shown in FIGS. 1 to 20 or the upper steam flow path recess shown in FIGS. 23 and 24. As in the case of 21, the intermediate metal sheet 70 may be formed in a concave shape on the upper surface 70b. In this case, the intermediate metal sheet 70 may be provided with a communication hole (not shown) for communicating the vapor flow path portion 80 with the liquid flow path portion 30.

また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、１つの中間金属シート７０が介在されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側金属シート１０と中間金属シート７０との間に、図示しない他の金属シートが介在されていてもよく、上側金属シート２０と中間金属シート７０との間に、図示しない他の金属シートが介在されていてもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which one intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 has been described. However, the present invention is not limited to this, and another metal sheet (not shown) may be interposed between the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 may be interposed. Other metal sheets (not shown) may be interposed between the two.

また、上述した本実施の形態においては、図３５に示すように、下側金属シート１０が、上面１０ａに設けられた複数の主流溝凸部１８を有していてもよい。各主流溝凸部１８は、上面１０ａから中間金属シート７０の主流溝３１にそれぞれ突出している。主流溝凸部１８は、第２の実施の形態における主流溝凸部２７と同様に形成することができる。また、図３６に示すように、下側金属シート１０が、上面１０ａに設けられた複数の連絡溝凸部１９を有していてもよい。各連絡溝凸部１９は、上面１０ａから中間金属シート7０の連絡溝５１にそれぞれ突出している。連絡溝凸部１９は、第２の実施の形態における連絡溝凸部２８と同様に形成することができる。 Further, in the above-described embodiment, as shown in FIG. 35, the lower metal sheet 10 may have a plurality of mainstream groove convex portions 18 provided on the upper surface 10a. Each mainstream groove convex portion 18 projects from the upper surface 10a into the mainstream groove 31 of the intermediate metal sheet 70. The mainstream groove convex portion 18 can be formed in the same manner as the mainstream groove convex portion 27 in the second embodiment. Further, as shown in FIG. 36, the lower metal sheet 10 may have a plurality of connecting groove convex portions 19 provided on the upper surface 10a. Each of the connecting groove convex portions 19 protrudes from the upper surface 10a into the connecting groove 51 of the intermediate metal sheet 70. The connecting groove convex portion 19 can be formed in the same manner as the connecting groove convex portion 28 in the second embodiment.

本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。また、上記各実施の形態および各変形例では、下側金属シート１０の構成と、上側金属シート２０の構成とを入れ替えてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications as they are, and at the implementation stage, the components can be modified and embodied without departing from the gist thereof. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining the plurality of components disclosed in each of the above-described embodiments and modifications. Some components may be removed from all the components shown in each embodiment and each modification. Further, in each of the above-described embodiments and modifications, the configuration of the lower metal sheet 10 and the configuration of the upper metal sheet 20 may be interchanged.

１ベーパーチャンバ
２作動液
３密封空間
１０下側金属シート
１２下側蒸気流路凹部
１２ａ底面
１３下側流路壁部
１３ａ上面
２０上側金属シート
２１上側蒸気流路凹部
２１ａ底面
２２上側流路壁部
２２ａ下面
２７主流溝凸部
２８連絡溝凸部
３０液流路部
３１主流溝
４１凸部列
４１ａ液流路凸部
５１連絡溝
７０中間金属シート
７０ａ下面
７０ｂ上面
７１連通孔
８０蒸気流路部
８１下側蒸気通路
９０上側流路突出部
Ｄデバイス
Ｅ電子機器
Ｈハウジング
Ｐ交差部
Ｑバッファ領域
Ｘ第１方向
Ｙ第２方向 1 Vapor chamber 2 Working fluid 3 Sealed space 10 Lower metal sheet 12 Lower vapor flow path recess 12a Bottom 13 Lower flow path wall 13a Upper surface 20 Upper metal sheet 21 Upper steam flow path recess 21a Bottom 22 Upper flow path wall 22a Lower surface 27 Main flow groove convex part 28 Connecting groove convex part 30 Liquid flow path part 31 Main flow groove 41 Convex part row 41a Liquid flow path convex part 51 Connecting groove 70 Intermediate metal sheet 70a Lower surface 70b Upper surface 71 Communication hole 80 Steam flow path Lower steam passage 90 Upper flow protrusion D Device E Electronic equipment H Housing P Intersection Q Buffer area X 1st direction Y 2nd direction

Claims

A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
The first metal sheet and
The second metal sheet laminated on the first metal sheet and
A third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet,
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet, the vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes, and the liquid flow path portion through which the liquid hydraulic liquid passes. With a sealed space,
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Before SL said liquid flow path portion is provided on the surface side of the first metal sheet of the third metal sheet, a plurality of main flow to the main grooves from the surface on the side of the third metal sheet of the first metal sheet Vapor chamber with protruding groove protrusions.

The vapor chamber according to claim 1, wherein the cross section of the convex portion of the mainstream groove is formed in a curved shape.

Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The vapor chamber according to claim 1 or 2, wherein the connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.

Wherein said plurality of contact Mizototsu portion on a surface or found the contact groove side of the third metal sheet of the first metal sheet is protruded respectively, vapor chamber according to claim 3.

The vapor chamber according to claim 4, wherein the cross section of the connecting groove convex portion is formed in a curved shape.

The vapor chamber according to any one of claims 3 to 5, wherein the depth of the connecting groove is deeper than the depth of the mainstream groove.

The mainstream groove is located between an intersection communicating with the connecting groove and a pair of convex liquid flow paths adjacent to each other at a position different from the intersection in the first direction. Including the main body
The vapor chamber according to any one of claims 3 to 6, wherein the depth of the intersection of the mainstream groove is deeper than the depth of the mainstream groove main body.

The vapor chamber according to claim 7, wherein the depth of the intersection of the mainstream groove is deeper than the depth of the connecting groove.

The vapor chamber according to any one of claims 3 to 8, wherein a rounded curved portion is provided at a corner of the convex portion of the liquid flow path.

The vapor chamber according to any one of claims 3 to 9, wherein the connecting grooves are aligned in a second direction intersecting the first direction.

The steam flow path portion is provided on at least one of the surface of the second metal sheet on the side of the third metal sheet and the surface of the third metal sheet on the side of the second metal sheet .
Before Symbol third metal sheet, the communicating portion communicating with said liquid flow path portion and the steam path portion is provided, vapor chamber according to any one of claims 1 to 10.

The third metal sheet includes a first surface provided on the side of the first metal sheet and a second surface provided on the side of the second metal sheet.
The steam flow path portion is provided on the second surface of the third metal sheet.
The vapor chamber according to any one of claims 1 to 10, wherein the liquid flow path portion is provided on the first surface of the third metal sheet and communicates with the vapor flow path portion.

The vapor chamber according to any one of claims 1 to 12, wherein the surface of the first metal sheet on the side of the third metal sheet is formed flat.

A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
The first metal sheet and
A second metal sheet provided on the first metal sheet and
A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet, the vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes, and the liquid flow path portion through which the liquid hydraulic liquid passes. With a sealed space,
The liquid flow path portion is provided on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
The second metal sheet has a plurality of mainstream groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the mainstream groove of the first metal sheet, respectively. Chamber.

Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The second metal sheet further has a plurality of connecting groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the connecting grooves of the first metal sheet. The vapor chamber according to claim 14 .

With the housing
With the device housed in the housing
An electronic device comprising the vapor chamber according to any one of claims 1 to 15 , which is in thermal contact with the device.

A first metal sheet, a second metal sheet laminated on the first metal sheet, a third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet, and the first metal sheet. A sealed space in which the hydraulic fluid is sealed, which is provided between the metal sheet and the second metal sheet, and is a steam flow path portion through which the vapor of the hydraulic fluid passes and a liquid flow path portion through which the liquid hydraulic fluid passes. A method of manufacturing a vapor chamber comprising a hermetically sealed space.
By half-etching, and a half-etching process for forming a pre-Symbol said liquid flow path portion on the surface side of the first metal sheet of the third metal sheet,
In a joining step of joining the first metal sheet and the second metal sheet via the third metal sheet, the sealed space is formed between the first metal sheet and the second metal sheet. Joining process and
A sealing step of sealing the working fluid in the sealed space is provided.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
Wherein said plurality of main Mizototsu portion on a surface or al the main groove side of the third metal sheet of the first metal sheet is protruded respectively, the production method of the vapor chamber.

Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
Wherein said plurality of contact Mizototsu portion on a surface or found the contact groove side of the third metal sheet of the first metal sheet is protruded respectively, the production method of the vapor chamber of claim 17.

A step of forming the steam flow path portion on at least one of the surface of the second metal sheet on the side of the third metal sheet and the surface of the third metal sheet on the side of the second metal sheet.
The method for manufacturing a vapor chamber according to claim 17 or 18 , further comprising a step of forming a communication portion for communicating the vapor flow path portion and the liquid flow path portion on the third metal sheet.

The third metal sheet includes a first surface provided on the side of the first metal sheet and a second surface provided on the side of the second metal sheet.
The vapor flow path portion is formed on the second surface of the third metal sheet, and the liquid flow path portion is formed on the first surface of the third metal sheet.
The method for manufacturing a vapor chamber according to claim 17 or 18 , wherein the vapor flow path portion and the liquid flow path portion communicate with each other.

The method for manufacturing a vapor chamber according to any one of claims 17 to 20, wherein the surface of the first metal sheet on the side of the third metal sheet is formed flat.

A sealed space provided between the first metal sheet and the second metal sheet in which the working liquid is sealed, and a vapor flow path portion through which the vapor of the working liquid passes and a liquid through which the liquid working liquid passes. A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space including a flow path portion.
A half-etching step of forming the liquid flow path portion on the surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet by half-etching.
A joining step of joining the first metal sheet and the second metal sheet, the joining step of forming the sealing space between the first metal sheet and the second metal sheet.
A sealing step of sealing the working fluid in the sealed space is provided.
Each of the liquid flow paths has a plurality of mainstream grooves extending in the first direction and through which the liquid hydraulic fluid passes.
The second metal sheet has a plurality of mainstream groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the mainstream groove of the first metal sheet, respectively. How to make a chamber.

Between the pair of mainstream grooves adjacent to each other, a convex row including a plurality of liquid flow path convex portions arranged in the first direction via a connecting groove is provided.
The connecting groove communicates with the corresponding pair of the mainstream grooves.
The second metal sheet further has a plurality of connecting groove protrusions protruding from the side surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet into the connecting grooves of the first metal sheet. The method for manufacturing a vapor chamber according to claim 22 .