Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6816282B2 - 部品装着機 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6816282B2 - 部品装着機 - Google Patents

部品装着機 Download PDF

Info

Publication number
JP6816282B2
JP6816282B2 JP2019530266A JP2019530266A JP6816282B2 JP 6816282 B2 JP6816282 B2 JP 6816282B2 JP 2019530266 A JP2019530266 A JP 2019530266A JP 2019530266 A JP2019530266 A JP 2019530266A JP 6816282 B2 JP6816282 B2 JP 6816282B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mover
mounting machine
slide
fixed
component mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019530266A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2019016864A1 (ja
Inventor
勇介 山蔭
勇介 山蔭
陽司 藤田
陽司 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPWO2019016864A1 publication Critical patent/JPWO2019016864A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6816282B2 publication Critical patent/JP6816282B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0406Drive mechanisms for pick-and-place heads, e.g. details relating to power transmission, motors or vibration damping
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408Incorporating a pick-up tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本発明は、電子部品等の部品を、配線基板等の基材に装着するための部品装着機に関する。
一般的な部品装着機は、基材保持装置によって保持された基材に、部品供給装置から供給された部品を、基材保持装置によって保持された基材に装着するものであり、部品を保持する部品保持デバイスを有する装着ヘッドを、部品供給装置と基材保持装置とに跨って移動させることによって、部品の装着作業を行う。装着ヘッドの移動は、ヘッド移動装置によって行われ、例えば、XYロボット型のヘッド移動装置では、一方向に装着ヘッドを移動させる移動装置と、その方向とは交差する別の一方向に装着ヘッドを移動させるもう1つの移動装置とを含んで構成される。昨今では、例えば、下記特許文献に記載されているように、移動装置にリニアモータ駆動の装置を採用することも検討されている。
特開2008−108951
発明の解決しようとする課題
可動子にコイルを有するリニアモータを採用する場合、可動子が移動する状態におけるコイルへの通電を可能とするため、例えば上記特許文献に記載されている部品装着機は、可動子が取り付けられるスライドにブラケットを立設し、そのブラケットに配線の一部分を保持するように構成されている。配線を引き摺る状態でスライドが移動する場合、その配線による抵抗荷重が生じる。その抵抗荷重は、スライドに回転モーメントを与えることになり、その回転モーメントは、スライドの適正な移動に対する障害となる可能性がある。つまり、配線の抵抗荷重に起因してスライドに付与される回転モーメントに配慮することによって、部品装着機の実用性を向上させることが可能となるのである。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い部品装着機を提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、本発明の部品装着機は、
基材を保持する基材保持装置と、
部品を供給する部品供給装置と、
その部品供給装置から供給される部品を保持して、その部品を前記基材保持装置に保持された基材に装着するための装着ヘッドと、
その装着ヘッドを移動させる移動装置と
を備えた部品装着機であって、
前記移動装置が、リニアモータによって前記装着ヘッドを一方向に移動させる一方向移動装置を含み、
その一方向移動装置が、
基体と、
前記一方向に平行に延びるようにして前記基体に敷設された1対のガイドレールと、
それら1対のガイドレールに案内されて前記一方向に移動可能に設けられ、前記装着ヘッドを保持するスライドと、
前記リニアモータを構成し、複数の磁石が前記一方向に並ぶようにして前記基体に保持された固定子と、
コイルを有して前記リニアモータを構成し、前記1対のガイドレールの間において前記スライドに配置された可動子と、
その可動子に固定され、前記リニアモータへの給電のための配線の一部分を保持するためのブラケットと
を備えたことを特徴とする。
なお、ここで言う「ブラケット」とは、いわゆる腕金,腕木を意味し、例えば、物体Aに物体Bを支持させる場合に用いられ、一端部が物体Aに取り付けられるとともに、他端部において物体Bを保持する支持具を意味する。
本発明の部品装着機では、上記配線の一部分を保持するブラケットが可動子に取り付けられている。つまり、可動子に比較的近い箇所において、ブラケットによる配線の支持がなされており、そのため、本発明の部品装着機によれば、可動子が配置されたスライドに付与される回転モーメントを小さくすることが可能であり、スライドの適正な移動を担保することが可能となるのである。
実施例の部品装着機の全体構成を示す斜視図である。 実施例の部品装着機における装着ヘッドおよびその装着ヘッドを移動させる移動装置を示す斜視図である。 実施例の部品装着機において移動装置を構成するX方向移動装置の要部を示す斜視図である。 実施例の部品装着機において移動装置を構成するX方向移動装置の正面一部断面図である。 従来のX方向移動装置を示す正面一部断面図である。
以下、本発明の部品装着機の実施形態を、実施例の部品装着機として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、本発明の部品装着機は、下記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。
実施例の部品装着機は、基材としての回路基板(以下、「基板」と略す場合がある)に、部品としての電子回路部品(以下、「部品」と略す場合がある)を装着するものであり、図1に全体を示す。図は、2つの部品装着機10が、システムベース12上に配置されたシステムを示している。ちなみに、2つの部品装着機10のうちの一方は、外装カバーが取り外された状態とされている。また、図示するように、以後の説明において、前後方向をX方向と,左右方向をY方向と,上下方向をZ方向と呼ぶ場合があることとする。
部品装着機10は、メインフレーム14を有しており、そのメインフレーム14は、ベース16と、ベース16の前後において立設された前支柱18および後支柱20と、それら前支柱18,後支柱20に上架されて当該部品装着機10の上部に配置されたアッパフレーム22とを含んで構成されている。ベース16には、基材保持装置として機能して基板Sを保持する基板保持装置24と、それぞれが部品供給装置として機能してテープ化された部品をそれぞれが順次供給する複数のパーツフィーダ26とが、配設されている。なお、基板保持装置24は、コンベヤを主体とするものであり、2レーンにおいてY方向に基板Sを搬送する機能をも有している。
パーツフィーダ26から供給された部品を、基板保持装置24によって保持された基板Sに装着するのであるが、その装着の作業は、部品保持デバイスである吸着ノズル28と、その吸着ノズル28をZ方向に移動させるノズル昇降装置30とを有する装着ヘッド32によって行われる(図2参照)。部品装着機10は、装着ヘッド32を水平面(XY平面)に沿って移動させるためのヘッド移動装置34を有している。
ヘッド移動装置34は、装着ヘッド32をX方向に移動させる一方向移動装置であるX方向移動装置36と、装着ヘッド32をY方向に移動させるもう1つの一方向移動装置であるY方向移動装置38とを含んで構成されている。X方向移動装置36は、Xスライド40をX方向に移動させるものであり、Y方向移動装置38は、そのXスライド40に保持されている。ちなみに、Y方向移動装置38は、簡単に説明すれば、基体となるベースプレートがXスライド40に固定され、駆動モータ,ボールねじ機構,リニアガイド等を含む移動機構によって、装着ヘッド32を保持するYスライドがXスライド40に対してY方向に移動するように構成されている。
X方向移動装置36は、リニアモータ駆動の移動装置であり、要部を示す図3,図4をも参照しつつ説明すれば、上述のアッパフレーム22が、当該X方向移動装置36の基体として機能するものとされている。ちなみに、図3では、アッパフレーム22は、2点鎖線で示されており、中央部に、X方向に延びる開口42を有した概して枠状のものとされている。アッパフレーム22の下面には、互いに平行な1対のガイドレール44が、X方向に延びる姿勢で敷設されている。Xスライド40には、それら1対のガイドレール44のそれぞれにベアリングボールを介して係合するスライダユニット46が固定されており、Xスライド40は、それら1対のガイドレール44によって案内されて、アッパフレーム22の下方において、X方向に移動可能とされている。ちなみに、ガイドレール44とスライダユニット46とによって、いわゆる直動ガイドが構成されている。
X方向移動装置36の駆動源となるリニアモータ48は、いわゆるシャフトモータであり、複数の磁石50がX方向に並ぶシャフト型の固定子52と、三相のコイル54を有し固定子52をそのコイル54に挿通させるようにして配置された可動子56とを含んで構成されている。固定子52は、複数の磁石50がそれらのうちの隣合うものが互いに同じ極が対向するようにして一体化されており、両端部の各々において、アッパフレーム22の上面に固定された保持筒58を介して、アッパフレーム22に保持されている。
可動子56は、上部が開口する薄い金属製のハウジング60内にコイル54を内在させたものとなっており、本X方向移動装置36では、固定子52が、可動子56を、それの移動方向であるX方向に貫くように構成されている。ハウジング60内には、樹脂62が、それぞれが金属製のバーである3本の支持バー64とともにコイル54を埋め込むようにして、充填されている。可動子56は、1対のガイドレール44の間において、Xスライド40の上部に固定配置されている。なお、Xスライド40と可動子56との間には、詳しくは、Xスライド40に固定される可動子56の1つの外面である下面との間には、断熱材である断熱シート66が介在させられており、可動子56の発熱の装着ヘッド32側への影響が緩和されている。また、図示は省略されているが、可動子56のXスライド40への固定は、下部に存在する2本の支持バー64に設けられたタップ穴を利用して、ボルト締めによって行われている。
本X方向移動装置36では、リニアモータ48への給電のための、すなわち、可動子56のコイル54への給電のための配線の一部分を固定するためのブラケット68が、可動子56に、詳しくは、可動子56の右側面に、直接固定されている。ちなみに、ブラケット68は、概してアングル形状、すなわち、L字形状をなしており、1つの辺となる部分において可動子56に取り付けられ、他の辺となる部分において、配線の一部が固定されている。詳しく言えば、ブラケット68は、1対のガイドレール44の間から、アッパフレーム22の開口42を通って、上方に向かってアッパフレーム22から突出するようにして可動子56に取り付けられているのである。
さらに詳しく説明すれば、図4に示すように、配線Cは、リニアモータ48への給電のための配線の他に、装着ヘッド32への給電のための配線等をも含んでおり、それら配線Cは、可動子56のX方向の移動に伴って屈曲部70がX方向に変位する配線保持具としての配線保護具(いわゆるケーブルベア(登録商標)と呼ばれるものである)72によってカバーされている。その配線保護具72の一端部がブラケット68に固定されることで、その一端部を介して、配線Cの一部分、詳しくは、可動子56若しくは装着ヘッド32から延びだすリード線に繋がる側の端部が、ブラケット68に保持されている。配線保護具72の他端部は、メインフレーム22の上面に固定され、その他端部に繋がる部分は、メインフレーム22の上面にX方向に延在させられている。なお、図3,図4では、可動子56若しくは装着ヘッド32と配線Cとの接続については、省略されている。また、図示は省略されているが、ブラケット68の可動子56への固定は、右側部に存在する2本の支持バー64に設けられたタップ穴を利用して、ボルト締めによって行われている。
また、可動子56の上面には、フィンを含んで構成されて可動子56を冷却するための冷却器74が、付設されている。言い換えれば、可動子56は、概して直方体をなすことで、移動方向であるX方向に平行な自身の軸線周りに4つの外面を有し、Xスライド40に固定される外面およびブラケット68が固定された外面とは別の1つの外面において、冷却器74が付設されており、それらブラケット68,冷却器74は、効率よく配置されているのである。なお、ブラケット68は、熱伝導性のよい材質のもの、詳しくは、アルミニウム合金製のものであり、ブラケット68自体も、可動子56の冷却に寄与している。
本X方向移動装置36では、リニアモータ48によってXスライド40をX方向に移動させる際に、一部分が固定された配線Cを引き摺るようにしてXスライド40が移動させられる。その引摺り、詳しくは、引摺りに伴う配線Cの変形抵抗は、Xスライド40の移動に対する抵抗となる。本X方向移動装置36では、配線Cは配線保護具72によってカバーされており、その配線保護具の変形抵抗も加わることで、Xスライド40の移動に対して、大きな抵抗が発生する。
図5は、従来から検討されているX方向移動装置90であるが、このX方向移動装置90では、ブラケット92は、1対のガイドレール44の外側においてXスライド40に立設させられている。言い換えれば、X方向移動装置90では、可動子56の中心、つまり、軸線から右側に距離L’離れた位置においてXスライド40に立設されているのである。このように比較的大きな距離L’だけ離れて立設されたブラケット92に、配線Cの一部、すなわち、配線保護具72が保持されている場合に、Xスライド40を移動させたときに、上述の抵抗に起因して、Xスライド40に、比較的大きな水平面内における回転モーメント、具体的には、ヨーモーメント(図3において白抜き矢印で示すモーメント)が作用することになる。この大きな回転モーメントは、例えば、装着ヘッド32による装着作業の精度等にも影響を与えるため、できるだけ少なくすることが望ましいのである。
本部品装着機10におけるX方向移動装置36では、図4に示すように、ブラケット68が、Xスライド40を介さずに可動子56に直接固定されている。つまり、軸線から水平方向に比較的小さな距離Lしか離れていない位置に、ブラケット68が位置させられている。したがって、Xスライド40に作用する上記回転モーメントが小さく、Xスライドの適正な移動が担保されるのである。なお、可動子56からブラケット68に熱が伝達されるのが好ましくない場合には、断熱材を介して可動子56にブラケット68を固定してもよい。
10:部品装着機 22:アッパフレーム〔基体〕 24:基板保持装置〔基材保持装置〕 26:パーツフィーダ〔部品供給装置〕 32:装着ヘッド 34:ヘッド移動装置 36:X方向移動装置〔一方向移動装置〕 40:Xスライド 44:ガイドレール 48:リニアモータ 50:磁石 52:固定子 54:コイル 56:可動子 66:断熱シート〔断熱材〕 68:ブラケット 70:屈曲部 72:配線保護具 74:冷却器 90:X方向移動装置 92:ブラケット S:基板〔基材〕 C:配線

Claims (9)

  1. 基材を保持する基材保持装置と、
    部品を供給する部品供給装置と、
    その部品供給装置から供給される部品を保持して、その部品を前記基材保持装置に保持された基材に装着するための装着ヘッドと、
    その装着ヘッドを移動させる移動装置と
    を備えた部品装着機であって、
    前記移動装置が、リニアモータによって前記装着ヘッドを一方向に移動させる一方向移動装置を含み、
    その一方向移動装置が、
    基体と、
    前記一方向に平行に延びるようにして前記基体に敷設された1対のガイドレールと、
    それら1対のガイドレールに案内されて前記一方向に移動可能に設けられ、前記装着ヘッドを保持するスライドと、
    前記リニアモータを構成し、複数の磁石が前記一方向に並ぶようにして前記基体に保持された固定子と、
    コイルを有して前記リニアモータを構成し、前記1対のガイドレールの間において前記スライドに配置された可動子と、
    その可動子に固定され、前記リニアモータへの給電のための配線の一部分を保持するためのブラケットと
    を備えた部品装着機。
  2. 前記一方向移動装置が、概して枠状をなす前記基体が当該部品装着機の上部に配置され、かつ、前記装着ヘッドを水平な方向に移動させるものであり、
    前記スライドが、上部において前記可動子が固定されたものであり、かつ、前記基体の下方において前記一方向に移動可能とされ、
    前記ブラケットが、前記1対のガイドレールの間から上方に向かって前記基体から突出するようにして前記可動子に固定された請求項1に記載の部品装着機。
  3. 前記配線が、当該配線をカバーするとともに前記可動子の移動に伴って屈曲部が前記一方向に変位する配線保持具に保持されており、その配線保持具の一端部が前記ブラケットに固定されるとともに他端部が前記基体に固定された請求項1または請求項2に記載の部品装着機。
  4. 前記リニアモータが、前記固定子が前記可動子を前記移動方向に貫くように構成された請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の部品装着機。
  5. 前記可動子が、前記移動方向に平行な自身の軸線周りに複数の外面を有し、それら複数の外面のうちの1つにおいて前記スライドに固定され、他の1つにおいて前記ブラケットが固定された請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載の部品装着機。
  6. 前記スライドと、そのスライドに固定される前記複数の外面のうちの前記1つとの間に、断熱材が介在させられている請求項5に記載の部品装着機。
  7. 前記可動子が、前記複数の外面として、3つ以上の外面を有し、それら3つ以上の外面のうちの前記スライドに固定される外面および前記ブラケットが固定された外面とは別の1つの外面に、当該可動子を冷却するための冷却器が付設されている請求項5または請求項6に記載の部品装着機。
  8. 前記ブラケットが、アルミニウム合金製である請求項1ないし請求項7のいずれか1つに記載の部品装着機。
  9. 前記ブラケットが、前記装着ヘッドへの給電のための配線の一部分をも保持するように構成された請求項1ないし請求項8のいずれか1つに記載の部品装着機。
JP2019530266A 2017-07-18 2017-07-18 部品装着機 Active JP6816282B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/025959 WO2019016864A1 (ja) 2017-07-18 2017-07-18 部品装着機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2019016864A1 JPWO2019016864A1 (ja) 2020-03-19
JP6816282B2 true JP6816282B2 (ja) 2021-01-20

Family

ID=65015400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019530266A Active JP6816282B2 (ja) 2017-07-18 2017-07-18 部品装着機

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11229148B2 (ja)
EP (1) EP3657925B1 (ja)
JP (1) JP6816282B2 (ja)
CN (1) CN110870399B (ja)
WO (1) WO2019016864A1 (ja)

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2201941A (en) * 1987-03-13 1988-09-14 Philips Nv Gripping device
JP2002185191A (ja) * 2000-12-12 2002-06-28 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品装着装置
DE10309879B4 (de) * 2003-03-06 2006-08-31 Siemens Ag Vorrichtung zum Bestücken von Substraten mit elektrischen Bauelementen
JP2005252073A (ja) * 2004-03-05 2005-09-15 Juki Corp 電子部品実装装置
EP1721755A1 (en) * 2005-05-09 2006-11-15 Agfa-Gevaert Controls for printhead positioning system
JP4670792B2 (ja) 2006-10-26 2011-04-13 パナソニック株式会社 直動装置および電子部品実装装置
WO2008056721A1 (en) * 2006-11-06 2008-05-15 Panasonic Corporation Moving device and electronic component mounting apparatus
CN201112370Y (zh) * 2007-10-12 2008-09-10 深圳市大族精密机电有限公司 二维运动平台
JP4669021B2 (ja) * 2008-03-28 2011-04-13 ヤマハ発動機株式会社 リニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置
WO2010079792A1 (ja) * 2009-01-09 2010-07-15 富士機械製造株式会社 電子回路部品装着機
JP5149942B2 (ja) * 2010-07-21 2013-02-20 ヤマハ発動機株式会社 ヘッド駆動装置および部品実装装置
EP2825013B1 (en) * 2012-03-06 2017-11-29 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Automated tape setting apparatus
JP6076355B2 (ja) * 2012-09-05 2017-02-08 富士機械製造株式会社 非接触給電装置
WO2014045661A1 (ja) * 2012-09-20 2014-03-27 富士機械製造株式会社 電子回路部品装着機
EP3021654B1 (en) * 2013-07-08 2019-04-03 FUJI Corporation Component holding state detection method and component mounting machine
JP6019410B2 (ja) * 2013-11-13 2016-11-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品実装装置及び電子部品実装方法
JP6435099B2 (ja) * 2014-02-26 2018-12-05 Juki株式会社 電子部品実装装置及び電子部品実装方法
CN204761853U (zh) * 2015-06-17 2015-11-11 深圳市朤科自动化设备有限公司 一种贴片机贴片模组的平板式驱动机构
JP6578509B2 (ja) * 2015-12-17 2019-09-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 作業装置および作業方法
JP6732038B2 (ja) * 2016-11-09 2020-07-29 株式会社Fuji 部品実装ラインの生産管理システム及び生産管理方法
WO2018112220A1 (en) * 2016-12-15 2018-06-21 Nlight, Inc. Fiber laser packaging
WO2018216132A1 (ja) * 2017-05-24 2018-11-29 株式会社Fuji 測定位置決定装置

Also Published As

Publication number Publication date
US11229148B2 (en) 2022-01-18
EP3657925A1 (en) 2020-05-27
JPWO2019016864A1 (ja) 2020-03-19
EP3657925B1 (en) 2023-04-05
EP3657925A4 (en) 2020-07-01
WO2019016864A1 (ja) 2019-01-24
CN110870399B (zh) 2021-03-12
US20200390011A1 (en) 2020-12-10
CN110870399A (zh) 2020-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8384253B2 (en) Positioning system for positioning a positioning unit along a longitudinal axis
US10906171B2 (en) Motor unit and robot
JP5355105B2 (ja) 直線駆動装置および電子回路部品装着機
KR101282165B1 (ko) 실장기
US9370793B2 (en) Component mounting device
JP6816282B2 (ja) 部品装着機
JP7223695B2 (ja) 部品装着機
KR101613142B1 (ko) 리니어 모터 및 부품 실장 장치
JP5901743B2 (ja) リニアモータ装置
JP4551014B2 (ja) 電子部品装着装置
US20190111525A1 (en) Actuator, mount head unit, mounting apparatus, and driving method of actuator
JP4848380B2 (ja) 部品移載装置
KR102865183B1 (ko) 다이 본딩 스테이지
JP2002299892A (ja) 電子部品装着装置
JP2005252073A (ja) 電子部品実装装置
JP4551015B2 (ja) 電子部品装着装置
JP2009231691A (ja) 部品供給システム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191029

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201215

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201223

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6816282

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250