JP6833287B2 - 基板処理装置、基板搬送装置 - Google Patents

Description

この発明は、基板に対して作業を実行するための作業範囲に基板を搬入する技術に関する。

特許文献１、２には、直列に配列された複数の部品実装機に順番に基板を搬入しつつ、各部品実装機により基板への部品実装を行う部品実装システムが記載されている。特許文献１に記載されているように、各部品実装機は、搬入コンベア、作業コンベアおよび搬出コンベアを備え、搬入コンベアが装置外部から受け取った基板を作業コンベアに受け渡し、作業コンベアがこの基板を作業位置に搬送する。そして、搭載ヘッドが作業位置の基板に部品実装を行い、部品実装を完了した基板は作業コンベアから搬出コンベアに受け渡されて、搬出コンベアにより装置外部に搬出される。

特開２００９−５４６１９号公報 特許４３８６３９６号公報

このような部品実装機では、作業位置への基板の搬入を速やかに行うことが重要となる。そこで、特許文献１の部品実装機は、先行基板が作業位置に位置する間は、基板の搬送方向の上流側で隣接する他の部品実装機の搬出コンベアと自身の搬入コンベアとを跨ぐ基板待機エリアに後続基板を待機させる。そして、作業位置から先行基板が搬出されるのに伴って、基板待機エリアから作業位置へ後続基板を搬入する。しかしながら、実装基板の生産効率を高めるためには、基板搬入のさらなる迅速化が求められていた。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、作業範囲への基板搬入の迅速化を実現可能とする技術の提供を目的とする。

本発明に係る基板処理装置は、基板の搬送方向に所定の長さを有する作業範囲内の基板に対して作業を実行する作業ヘッドと、作業範囲の搬送方向の上流側に設けられた第１コンベアと、作業範囲に対して設けられた第２コンベアと、作業範囲の搬送方向の下流側に設けられた第３コンベアとを有し、第１コンベア、第２コンベアおよび第３コンベアによって搬送方向に基板を搬送するコンベア部と、搬送方向に並んで作業範囲内に設けられて、基板に接触する接触位置と基板から離間する離間位置との間で移動可能なＮｔ個（Ｎｔは２以上の整数）の固定部材を有し、Ｎｔ個の固定部材のうち基板に対向する固定部材を接触位置に位置させることで基板を固定する基板固定部と、先行基板を作業範囲に搬入して固定するとともに先行基板より搬送方向の上流側の後続基板を作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する特定支持モードを、コンベア部および基板固定部を制御することで実行する制御部とを備え、制御部は、搬送方向において上流側から数えてＮｕ個（Ｎｕは１以上でＮｔ未満の整数）の固定部材より下流側の固定部材により先行基板を固定できる場合に特定支持モードを実行し、特定支持モードでは、搬送方向においてＮｕ個の固定部材よりも下流側に先行基板を搬送して先行基板に対向する固定部材により先行基板を固定するとともに、Ｎｕ個の固定部材を離間位置に位置させた状態で、搬送方向において後続基板の下流端をＮｕ番目の固定部材の上流端と（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ第１コンベアと第２コンベアとにより後続基板を支持する。

本発明に係る基板搬送装置は、基板の搬送方向に所定の長さを有する作業範囲の搬送方向の上流側に設けられた第１コンベアと、作業範囲に対して設けられた第２コンベアと、作業範囲の搬送方向の下流側に設けられた第３コンベアとを有し、第１コンベア、第２コンベアおよび第３コンベアによって搬送方向に基板を搬送するコンベア部と、搬送方向に並んで作業範囲内に設けられて、基板に接触する接触位置と基板から離間する離間位置との間で移動可能なＮｔ個（Ｎｔは２以上の整数）の固定部材を有し、Ｎｔ個の固定部材のうち基板に対向する固定部材を接触位置に位置させることで基板を固定する基板固定部と、 先行基板を作業範囲に搬入して固定するとともに先行基板より搬送方向の上流側の後続基板を作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する特定支持モードを、コンベア部および基板固定部を制御することで実行する制御部とを備え、制御部は、搬送方向において上流側から数えてＮｕ個（Ｎｕは１以上でＮｔ未満の整数）の固定部材より下流側の固定部材により先行基板を固定できる場合に特定支持モードを実行し、特定支持モードでは、搬送方向においてＮｕ個の固定部材よりも下流側に先行基板を搬送して先行基板に対向する固定部材により先行基板を固定するとともに、Ｎｕ個の固定部材を離間位置に位置させた状態で、搬送方向において後続基板の下流端をＮｕ番目の固定部材の上流端と（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ第１コンベアと第２コンベアとにより後続基板を支持する。

このように構成された本発明（基板処理装置、基板搬送装置）では、作業範囲より搬送方向の上流側に設けられた第１コンベアと、作業範囲に対して設けられた第２コンベアと、作業範囲より搬送方向の下流側に設けられた第３コンベアとにより、基板を搬送方向に搬送する。また、作業範囲内では、Ｎｔ個の固定部材が搬送方向に並んで設けられている。各固定部材は、基板に接触する接触位置と基板から離間する離間位置との間で移動可能であり、Ｎｔ個の固定部材のうち基板に対向する固定部材が接触位置に位置して基板に接触することで、基板を固定する。これによって、作業範囲に搬入された基板をしっかりと支持して、作業ヘッドによる基板への作業を確実に行うことができる。

また、本発明では、搬送方向において上流側から数えてＮｕ個の固定部材より下流側の固定部材により先行基板を固定できる場合には特定支持モードを実行する。特定支持モードでは、搬送方向においてＮｕ個の固定部材よりも下流側に先行基板を搬送して先行基板に対向する固定部材により先行基板を固定する。これによって、作業ヘッドによる先行基板への作業を確実に行うことができる。さらに、特定支持モードでは、Ｎｕ個の固定部材を離間位置に位置させた状態で、搬送方向において後続基板の下流端をＮｕ番目の固定部材の上流端と（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ第１コンベアと第２コンベアとにより後続基板を支持する。つまり、後続基板を作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する。したがって、先行基板への作業が完了して先行基板を作業範囲から搬出するのに伴って、後続基板を作業範囲に速やかに搬入することができる。こうして、作業範囲への基板搬入の迅速化が実現可能となっている。

また、特定支持モードでは、搬送方向において、先行基板の下流端をＮｔ個の固定部材のうち最下流の固定部材の上流端よりも下流側へ搬送して、先行基板を固定するように、基板処理装置を構成しても良い。このように先行基板を最下流の固定部材に対向する範囲にまで搬入しておくことで、作業が完了した先行基板を速やかに作業範囲から搬出しつつ、後続基板を作業範囲に速やかに搬入することができる。

また、基板固定部は、基板を固定部材により第２コンベアから離間させた状態で先行基板を固定部材により固定するように、基板処理装置を構成しても良い。かかる構成では、先行基板は、固定部材により固定された状態において第２コンベアから離間する。したがって、先行基板の固定後においても第２コンベアによる後続基板の搬送を実行でき、後続基板の搬送動作の自由度が向上する。そこで、特定支持モードでは、基板固定部が先行基板を固定部材により固定した後に、第２コンベアによる後続基板の搬送を実行するように、基板処理装置を構成しても良い。

また、コンベア部は、搬送方向に直交する幅方向において、第１コンベア、第２コンベアおよび第３コンベアそれぞれの幅を基板の幅に応じて変更可能であり、制御部は、先行基板と後続基板との幅方向への幅が異なる場合には、特定支持モードを禁止するように、基板処理装置を構成しても良い。これによって、幅の異なる先行基板と後続基板とが同時に第２コンベアへ搬入されるのを防止することができる。

また、基板の位置を検出する検出器をさらに備え、制御部は、Ｎｕ番目の固定部材の上流端と（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間において後続基板の下流端を停止させる位置を、検出器が後続基板の位置を検出した結果に基づき実行するように、基板処理装置を構成しても良い。かかる構成では、検出器による検出結果に基づき、後続基板を停止させる位置を的確に制御することができる。

また、作業ヘッドは、基板固定部によって作業範囲に固定された基板に対して部品を実装する実装ヘッドであるように、基板処理装置を構成しても良い。かかる構成では、基板を作業範囲へ速やかに搬入して、実装基板を効率的に生産することができる。

本発明によれば、作業範囲への基板搬入の迅速化を実現することが可能となる。

本発明に係る基板処理装置の一例である部品実装機を模式的に示す部分平面図。 本発明に係る基板搬送装置の一例を模式的に示す平面図。 図２の基板搬送装置の部分的構成を模式的に示す正面図。 図２の基板搬送装置の部分的構成を模式的に示す正面図。 図２の基板搬送装置の部分的構成を模式的に示す側面図。 図２の基板搬送装置の部分的構成を模式的に示す側面図。 図２の基板搬送装置の電気的構成を示すブロック図。 図２の基板搬送装置が実行する対象基板の搬送制御の一例を示すフローチャート。 図２の基板搬送装置が実行する後続基板の搬送制御の一例を示すフローチャート。 図８および図９のフローチャートに従って実行される第１動作例を模式的に示す図。 図８および図９のフローチャートに従って実行される第２動作を模式的に示す図。 図８および図９のフローチャートに従って実行される第３動作を模式的に示す図。

図１は本発明に係る基板処理装置の一例である部品実装機を模式的に示す部分平面図である。同図および以下の図では、鉛直方向に平行なＺ方向、それぞれ水平方向に平行なＸ方向およびＹ方向からなるＸＹＺ直交座標を適宜示す。この部品実装機１は、Ｘ方向（基板搬送方向）に所定範囲を有する作業範囲Ｒｏに対して基板Ｂを搬入・搬出する基板搬送装置２を、基台１１の上に備える。そして、部品実装機１は、基板搬送装置２によりＸ方向の上流側から作業範囲Ｒｏに搬入した基板Ｂに対してヘッドユニット３により部品Ｃを実装し、部品実装を完了した基板Ｂを基板搬送装置２により作業範囲ＲｏからＸ方向の下流側へ搬出する。

部品実装機１は、２個のヘッドユニット３それぞれをＸＹ方向に個別に駆動するＸＹ駆動機構４を備える。このＸＹ駆動機構４は、それぞれＸ方向に平行に延設されてヘッドユニット３をＸ方向に移動可能に支持する一対のＸビーム４１、４１を有する。各Ｘビーム４１には、Ｘ方向に平行に延設されたボールネジ４２と、ボールネジ４２を回転駆動するＸモーター４３とが取り付けられている。Ｘモーター４３は、ここの例ではサーボモーターである。そして、ボールネジ４２のナットにヘッドユニット３が取り付けられている。さらに、ＸＹ駆動機構４は、それぞれＹ方向に平行に延設された一対のＹビーム４４、４４を有する。各Ｘビーム４１の一端は一方のＹビーム４４によりＹ方向に移動可能に支持され、各Ｘビーム４１の他端は他方のＹビーム４４によりＹ方向に移動可能に支持される。各Ｙビーム４４には、Ｘビーム４１、４１をＹ方向に駆動するＹモーター４５が取り付けられている。各Ｙモーター４５は、ここの例ではリニアモーターであり、Ｘビーム４１、４１の端に取り付けられた可動子４５１、４５１と、Ｙ方向に平行に延設された固定子４５２とを有する。そして、可動子４５１と固定子４５２との間に働く磁力によって可動子４５１とともにＸビーム４１がＹ方向に駆動される。かかるＸＹ駆動機構４によれば、Ｘモーター４３およびＹモーター４５によって、ヘッドユニット３をＸＹ方向に移動させることができる。

部品供給部５は、基板搬送装置２のＹ方向の両側のそれぞれに配設されている。部品供給部５では、Ｘ方向に並ぶ複数のテープフィーダー５１（以下、単に「フィーダー５１」と称する）が着脱可能に装着されている。各フィーダー５１は集積回路、トランジスター、コンデンサ等の小片状の部品Ｃ（チップ部品）を所定間隔おきに収納したテープをＹ方向に間欠的に送り出すことによって、テープ内の部品Ｃを部品供給位置に供給する。

ヘッドユニット３は、Ｘ方向に平行に配列された複数の実装ヘッド３１を有している。各実装ヘッド３１はＺ方向（鉛直方向）に延びた長尺形状を有し、その下端に係脱可能に取り付けられた吸着ノズルによって部品Ｃを吸着・保持することが可能となっている。そして、ヘッドユニット３はフィーダー５１の上方へ移動して、フィーダー５１により供給される部品Ｃを吸着ノズルで吸着して保持する。それに続いて、ヘッドユニット３は作業範囲Ｒｏの基板Ｂの上方に移動して部品Ｃの吸着を解除することで、基板Ｂに部品Ｃを実装する。

また、部品供給部５と基板搬送装置２との間には、部品認識カメラ６およびノズル保管部７が配置されている。部品認識カメラ６は、部品供給部５において吸着ノズルにより吸着された部品Ｃを撮像し、部品情報および位置ずれ情報を取得するための画像情報を提供する。この部品撮像は、部品供給部５から基板Ｂへの移動中にヘッドユニット３が部品認識カメラ６の上方を通過することで実行される。こうして取得された画像を解析することで、吸着された部品ＣのＸＹ平面における位置ずれ量および回転角度を求めることが可能となっている。また、上記画像情報から部品Ｃが吸着ノズルに保持されているか否かを確認することも可能となる。

ノズル保管部７は互いに異なる種類の複数の吸着ノズルを保管する機能を有している。部品Ｃに対応した吸着ノズルを取り付けるように指示された場合、ヘッドユニット３がノズル保管部７の上方まで移動した後に実装ヘッド３１が鉛直方向Ｚに昇降して吸着ノズルを交換する。

図２は本発明に係る基板搬送装置の一例を模式的に示す平面図である。図３および図４は図２の基板搬送装置の部分的構成を模式的に示す正面図である。図５および図６は図２の基板搬送装置の部分的構成を模式的に示す側面図である。図７は図２の基板搬送装置の電気的構成を示すブロック図である。続いては、これらの図を用いて基板搬送装置２について説明する。

基板搬送装置２は、図７に示すように制御部２０を備える。制御部２０は、例えばＣＰＵ(Central Processing Unit)やＲＡＭ(Random Access Memory)で構成されたプロセッサーと、例えばＨＤＤ(Hard Disk Drive)で構成された記憶部とを有する。そして、制御部２０が基板搬送装置２の各部を制御する機能を一括して担当する。

この基板搬送装置２は、Ｘ方向に直列に配列された搬入コンベア２１、作業コンベア２２および搬出コンベア２３を有するコンベア部２４を備え、これらのコンベア２１、２２、２３によってＸ方向に平行な搬送路Ｐｘに沿って基板Ｂを搬送する。搬入コンベア２１は作業範囲ＲｏのＸ方向の上流側に設けられ、作業コンベア２２は作業範囲Ｒｏに対して設けられ、搬出コンベア２３は作業範囲ＲｏのＸ方向の下流側に設けられている。

搬入コンベア２１は、コンベアハウジング２１１と、コンベアハウジング２１１の内側（搬送路Ｐｘ側）に取り付けられたベルトコンベア２１２とを有する。これらコンベアハウジング２１１は搬送路Ｐｘに沿って搬送される基板ＢのＹ方向の両端のそれぞれに対して設けられ、基板ＢのＹ方向の両端のそれぞれはベルトコンベア２１２によって支持される。

作業コンベア２２は、コンベアハウジング２２１と、コンベアハウジング２２１の内側（搬送路Ｐｘ側）に取り付けられたベルトコンベア２２２とを有する。これらコンベアハウジング２２１は搬送路Ｐｘに沿って搬送される基板ＢのＹ方向の両端のそれぞれに対して設けられ、基板ＢのＹ方向の両端のそれぞれはベルトコンベア２２２によって支持される。

搬出コンベア２３は、コンベアハウジング２３１と、コンベアハウジング２３１の内側（搬送路Ｐｘ側）に取り付けられたベルトコンベア２３２とを有する。これらコンベアハウジング２３１は搬送路Ｐｘに沿って搬送される基板ＢのＹ方向の両端のそれぞれに対して設けられ、基板ＢのＹ方向の両端のそれぞれはベルトコンベア２３２によって支持される。

そして、制御部２０からの指令に応じてコンベア２１、２２がそれぞれのベルトコンベア２１２、２２２をＸ方向に駆動することで、搬入コンベア２１がＸ方向の上流側から搬入した基板Ｂを作業コンベア２２に受け渡し、作業コンベア２２が当該基板Ｂを作業範囲Ｒｏ内に搬入する。また、制御部２０からの指令に応じてコンベア２２、２３がそれぞれのベルトコンベア２２２、２３２をＸ方向に駆動することで、作業範囲Ｒｏでの部品実装が完了した基板Ｂを作業コンベア２２が搬出コンベア２３に受け渡し、搬出コンベア２３が当該基板ＢをＸ方向の下流側へ搬出する。

さらに、基板搬送装置２は、作業範囲Ｒｏに搬入された基板Ｂを固定するための基板固定部２６を備える。この基板固定部２６は、作業範囲ＲｏにおいてＸ方向に直列に配列された４個のクランプ機構２７を、基板ＢのＹ方向の両端それぞれに対応して有する。なお、４個のクランプ機構２７を区別する際には、図３および図４に示すように、クランプ機構２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄと表記する。４個のクランプ機構２７は同一の構成を具備するため、ここでは１個のクランプ機構２７で代表してその構成を説明する。

クランプ機構２７は、クランプシリンダー２７１と、クランプシリンダー２７１に取り付けられた基板クランプ２７３とを有する。クランプシリンダー２７１のシリンダーボディは、コンベアハウジング２２１に収容されており、クランプシリンダー２７１のシリンダーロッド２７１ａがコンベアハウジング２２１の下面から下方に突出する。そして、コンベアハウジング２２１に取り付けられたシリンダーポート２７１ｂに対するエアーの供給を制御することで、シリンダーロッド２７１ａをＺ方向に駆動することができる。

基板クランプ２７３は、このシリンダーロッド２７１ａに取り付けられている。この基板クランプ２７３は、コンベアハウジング２２１の内壁（搬送路Ｐｘ側の壁）に沿って垂直に延設された平板状の作用部２７３ａと、作用部２７３ａの下端をシリンダーロッド２７１ａに取り付ける取付部２７３ｂとを有する。基板クランプ２７３の作用部２７３ａは、ベルトコンベア２２２に支持される基板Ｂに下側から対向する。

そして、シリンダーロッド２７１ａを下降させる（伸張させる）と、基板クランプ２７３が図３および図５の離間位置Ｐａに位置して、作用部２７３ａの上端が基板Ｂの下面から離れる。一方、シリンダーロッド２７１ａを上昇させる（収縮させる）と、基板クランプ２７３が図４および図６の接触位置Ｐｃに位置して、作用部２７３ａの上端が基板Ｂの下面に接触して、さらに基板Ｂを上昇させる。また、クランプ機構２７では、コンベアハウジング２２１の上端からＹ方向の内側（搬送路Ｐｘ側）に突出したフランジ部材２７４が設けられており、接触位置Ｐｃに位置する基板クランプ２７３の作用部２７３ａは、フランジ部材２７４との間に基板Ｂを挟み込んで、基板Ｂを固定する。なお、フランジ部材２７４は、４個のクランプ機構２７ａ〜２７ｄに対して共通に延設されている。

この基板固定部２６は、基板ＢのＹ方向の一方側に設けられた４個のクランプ機構２７ａ〜２７ｄと、基板ＢのＹ方向の他方側に設けられた４個のクランプ機構２７ａ〜２７ｄとを一対一の対応関係で有する。対応関係にある２個のクランプ機構２７、２７（例えばクランプ機構２７ａ、２７ａ）は、Ｘ方向において同じ位置に配置されており、Ｙ方向から搬送路Ｐｘを挟んで対向する。そして、対応関係にある２個のクランプ機構２７は、基板クランプ２７３を離間位置Ｐａに位置させる動作と、基板クランプ２７３を接触位置Ｐｃに位置させる動作とを同期して行う。

クランプ機構２７ａ〜２７ｄの駆動は、それぞれのクランプシリンダー２７１へのエアーの供給を制御するバルブＶ１〜Ｖ３（図７）を制御部２０により制御することで実行される。つまり、クランプ機構２７ａのクランプシリンダー２７１のシリンダーポート２７１ｂにはバルブＶ１が接続されており、制御部２０はバルブＶ１を開閉することでクランプ機構２７ａの基板クランプ２７３を駆動する。クランプ機構２７ｂのクランプシリンダー２７１のシリンダーポート２７１ｂにはバルブＶ２が接続されており、制御部２０はバルブＶ２を開閉することでクランプ機構２７ｂの基板クランプ２７３を駆動する。また、クランプ機構２７ｃ、２７ｄそれぞれのクランプシリンダー２７１のシリンダーポート２７１ｂにはバルブＶ３が接続されており、制御部２０はバルブＶ３を開閉することでクランプ機構２７ｃ、２７ｄそれぞれの基板クランプ２７３を駆動する。このように、クランプ機構２７ａと、クランプ機構２７ｂと、クランプ機構２７ｃ、２７ｄとを独立して駆動することが可能となっている。

さらに、基板搬送装置２は、基板Ｂを検出する３個の基板センサーＳｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３を有する。基板センサーＳｂ１は、搬入コンベア２１に対して設けられており、Ｙ方向において２個のコンベアハウジング２１１の間に配置されている。この基板センサーＳｂ１は光学式センサーであり、その上方に到達した基板Ｂを検出する。したがって、制御部２０は、基板センサーＳｂ１の検出結果に基づき、搬入コンベア２１が搬送する基板Ｂの位置を認識することができる。基板センサーＳｂ２、Ｓｂ３は作業コンベア２２に対して設けられており、基板センサーＳｂ２はＹ方向において２個のクランプ機構２７ｂ、２７ｂの間に配置され、基板センサーＳｂ３はＹ方向において２個のクランプ機構２７ｄ、２７ｄの間に配置されている。基板センサーＳｂ２、Ｓｂ３は光学式センサーであり、それぞれの上方に到達した基板Ｂを検出する。したがって、制御部２０は、基板センサーＳｂ２、Ｓｂ３の検出結果に基づき、作業コンベア２２が搬送する基板Ｂの位置を認識することができる。

基板センサーＳｂ１は後述するように、基板Ｂを待機させる位置を制御するために用いられる。一方、基板センサーＳｂ２、Ｓｂ３は、部品実装の対象となる基板Ｂを作業範囲Ｒｏ内に停止させる位置を制御するために用いられる。つまり、制御部２０は、作業コンベア２２により搬送される基板Ｂの下流端が基板センサーＳｂ３により検出されてから所定時間後に基板Ｂを停止させる。これによって、基板Ｂの下流端が作業範囲Ｒｏの下流端に位置した状態で、基板Ｂが停止する。また、順次搬入される基板Ｂの長さがＸ方向において作業範囲Ｒｏの長さの半分未満である場合は、さらに１枚の基板Ｂが作業範囲Ｒｏに搬入される。つまり、制御部２０は、作業コンベア２２により搬送される基板Ｂの下流端が基板センサーＳｂ２により検出されてから所定時間後に基板Ｂを停止させる。これによって、基板Ｂの下流端が作業範囲Ｒｏの中央に位置した状態で、基板Ｂが停止する。こうして、２枚の基板Ｂを作業範囲Ｒｏ内に搬入することができる。

また、基板搬送装置２は、搬入コンベア幅調整機構２８１、作業コンベア幅調整機構２８２および搬出コンベア幅調整機構２８３を備える。搬入コンベア幅調整機構２８１は、搬入コンベア２１の２個のコンベアハウジング２１１の少なくとも一方をＹ方向に駆動することで、Ｙ方向において２個のベルトコンベア２１２の幅を基板Ｂの幅に応じて調整する。作業コンベア幅調整機構２８２は、作業コンベア２２の２個のコンベアハウジング２２１の少なくとも一方をＹ方向に駆動することで、Ｙ方向において２個のベルトコンベア２２２の幅を基板Ｂの幅に応じて調整する。搬出コンベア幅調整機構２８３は、搬出コンベア２３の２個のコンベアハウジング２３１の少なくとも一方をＹ方向に駆動することで、Ｙ方向において２個のベルトコンベア２３２の幅を基板Ｂの幅に応じて調整する。

そして、基板搬送装置２は、複数の基板Ｂを順番に作業範囲Ｒｏに搬入する。具体的には、ヘッドユニット３による部品実装の対象となる対象基板Ｂ１が作業範囲Ｒｏに搬入される。さらに、対象基板Ｂ１の次にヘッドユニット３による部品実装の対象となる後続基板Ｂ２（すなわち、対象基板Ｂ１よりＸ方向の上流側の後続基板Ｂ２）を待機させる位置が、対象基板Ｂ１のＸ方向の長さに応じて調整される。

図８は図２の基板搬送装置が実行する対象基板の搬送制御の一例を示すフローチャートである。図９は図２の基板搬送装置が実行する後続基板の搬送制御の一例を示すフローチャートである。図１０は図８および図９のフローチャートに従って実行される第１動作例である。これら図８および図９のフローチャートは、制御部２０の制御により実行される。

図８の対象基板搬送では、ステップＳ１０１において、４個のクランプ機構２７ａ〜２７ｄそれぞれの基板クランプ２７３が離間位置Ｐａに位置決めされて、基板Ｂの搬送路Ｐｘから下方へ退避する。ステップＳ１０２では、基板搬送装置２が対象基板Ｂ１の搬送を開始する。そして、Ｘ方向において４個のクランプ機構２７ａ〜２７ｄのうち最下流のクランプ機構２７ｄの基板クランプ２７３の上流端２７３ｕより下流側に、対象基板Ｂ１の下流端Ｂｄが進入して、対象基板Ｂ１がクランプ機構２７ｄの基板クランプ２７３の全体に対向すると、基板搬送装置２が対象基板Ｂ１の搬送を停止する（ステップＳ１０３）。かかる対象基板Ｂ１の搬送停止は、上述の基板センサーＳｂ３の検出結果に基づき制御される。こうして、図１０の「ステップＳ１０３」の欄に示すように、Ｘ方向において、対象基板Ｂ１の下流端Ｂｄが作業範囲Ｒｏの下流端に一致した状態で、対象基板Ｂ１が停止する。

続いて、制御部２０は、Ｘ方向において、対象基板Ｂ１の基板長さＬｂが、下流側から数えて２個のクランプ機構２７ｃ、２７ｄで固定可能な基板Ｂの長さＬ２以下であるかを判断する（ステップＳ１０４）。図１０に示す第１動作例では、基板長さＬｂが長さＬ２より大きい（ステップＳ１０４で「ＮＯ」）。そのため、制御部２０は、ステップＳ１０５に進んで、対象基板Ｂ１の基板長さＬｂがＸ方向において、下流側から数えて３個のクランプ機構２７ｂ、２７ｃ、２７ｄで固定可能な基板Ｂの長さＬ３以下であるかを判断する。図１０の第１動作例では、基板長さＬｂが長さＬ３より大きい（ステップＳ１０５で「ＮＯ」）。この場合、制御部２０は、４個のクランプ機構２７ａ〜２７ｄの全ての基板クランプ２７３を離間位置Ｐａから接触位置Ｐｃに移動させる（ステップＳ１０６）。これによって、図１０の「ステップＳ１０６」の欄に示すように、対象基板Ｂ１は、４個の基板クランプ２７３によって固定される。

こうして対象基板Ｂ１の作業範囲Ｒｏへの搬入が完了すると、図９の待機基板搬送が開始される。ステップＳ２０１では、後続基板Ｂ２を作業範囲Ｒｏに搬入可能であるかが判断される。具体的には、Ｘ方向において最上流のクランプ機構２７ａの基板クランプ２７３が対象基板Ｂ１の固定に用いられていない場合には、搬入可能（ＹＥＳ）と判断される一方、クランプ機構２７ａの基板クランプ２７３が対象基板Ｂ１の固定に用いられている場合には、搬入不可（ＮＯ）と判断される。図１０の第１動作例では、搬入不可と判断されて、ステップＳ２０２、Ｓ２０３が実行される。つまり、搬入コンベア２１は、後続基板Ｂ２のＸ方向の搬送を開始し（ステップＳ２０２）、後続基板Ｂ２が作業範囲Ｒｏに到達する手前で後続基板Ｂ２の搬送を停止する（ステップＳ２０３）。具体的には、上述の基板センサーＳｂ１が後続基板Ｂ２を検出したのに伴って後続基板Ｂ２の搬送を停止することで、後続基板Ｂ２の停止位置が制御される。これによって、図１０の「ステップＳ２０３」の欄に示すように、後続基板Ｂ２は搬入コンベア２１に支持された状態で、作業範囲ＲｏのＸ方向の上流側で待機する。

図８および図９に図１１を併用して、説明を続ける。ここで、図１１は図８および図９のフローチャートに従って実行される第２動作を模式的に示す図である。この第２動作例では、第１動作例と比較して対象基板Ｂ１の基板長さＬｂが短い。この第２動作例においても、第１動作例と同様にステップＳ１０１〜Ｓ１０３が実行され、対象基板Ｂ１は、Ｘ方向においてその下流端Ｂｄが作業範囲Ｒｏの下流端に一致した状態で停止する。ただし、図１１の「ステップＳ１０３」の欄に示すように、この対象基板Ｂ１は、Ｘ方向において、下流側から数えて３個のクランプ機構２７ｂ、２７ｃ、２７ｄの基板クランプ２７３に対向する一方、最上流のクランプ機構２７ａの基板クランプ２７３には対向しない。

ステップＳ１０４では、制御部２０は、Ｘ方向において、対象基板Ｂ１の基板長さＬｂが、下流側から数えて２個のクランプ機構２７ｃ、２７ｄで固定可能な基板Ｂの長さＬ２以下であるかを判断する。図１１に示す第２動作例では、基板長さＬｂが長さＬ２より大きい（ステップＳ１０４で「ＮＯ」）。そのため、制御部２０は、ステップＳ１０５に進んで、対象基板Ｂ１の基板長さＬｂがＸ方向において、下流側から数えて３個のクランプ機構２７ｂ、２７ｃ、２７ｄで固定可能な基板Ｂの長さＬ３以下であるかを判断する。図１１の第２動作例では、基板長さＬｂが長さＬ３以下である（ステップＳ１０５で「ＹＥＳ」）。この場合、制御部２０は、３個のクランプ機構２７ｂ〜２７ｄの基板クランプ２７３を離間位置Ｐａから接触位置Ｐｃに移動させる（ステップＳ１０７）。これによって、図１１の「ステップＳ１０７」の欄に示すように、対象基板Ｂ１は、３個の基板クランプ２７３によって固定される。

こうして対象基板Ｂ１の作業範囲Ｒｏへの搬入が完了すると、図９の待機基板搬送が開始される。ステップＳ２０１では、後続基板Ｂ２を作業範囲Ｒｏに搬入可能であるかが判断される。ここの例では、Ｘ方向において最上流のクランプ機構２７ａの基板クランプ２７３が対象基板Ｂ１の固定に用いられていないため、搬入可能（ＹＥＳ）と判断されて、ステップＳ２０４に進む。ステップＳ２０４では、基板搬送装置２が後続基板Ｂ２のＸ方向への搬送を開始する。そして、基板センサーＳｂ１が後続基板Ｂ２を検出してから（ステップＳ２０５で「ＹＥＳ」）、基板搬送装置２は後続基板Ｂ２を所定距離さらに搬送する（ステップＳ２０６）。つまり、搬入コンベア２１が後続基板Ｂ２を作業コンベア２２に受け渡し、作業コンベア２２が当該後続基板Ｂ２をさらにＸ方向を搬送する。こうして基板搬送装置２は、作業範囲Ｒｏに進入した後続基板Ｂ２をＸ方向にさらに進行させてから後続基板Ｂ２を停止させる（ステップＳ２０７）。これによって、図１１の「ステップＳ２０７」の欄に示すように、基板搬送装置２は、Ｘ方向において後続基板Ｂ２の下流端Ｂｄを１番目のクランプ機構２７ａの基板クランプ２７３の上流端２７３ｕと２番目のクランプ機構２７ｂの基板クランプ２７３の上流端２７３ｕとの間に進入させつつ、搬入コンベア２１と作業コンベア２２とにより後続基板Ｂ２を支持する。

ちなみに、上述の第１動作例および第２動作例では、いずれもステップＳ１０４で「ＮＯ」と判断される場合を示した。しかしながら、対象基板Ｂ１の基板長さＬｂが長さＬ２以下である場合には、ステップＳ１０４で「ＹＥＳ」と判断されて、制御部２０は、２個のクランプ機構２７ｃ、２７ｄの基板クランプ２７３を離間位置Ｐａから接触位置Ｐｃに移動させる（ステップＳ１０８）。これによって、対象基板Ｂ１は２個の基板クランプ２７３によって固定される。続いて、第２動作例と同様にステップＳ２０１、Ｓ２０４〜Ｓ２０７が実行され、後続基板Ｂ２が搬入コンベア２１と作業コンベア２２とにより支持される。

以上のように本実施形態では、作業範囲ＲｏよりＸ方向の上流側に設けられた搬入コンベア２１と、作業範囲Ｒｏに対して設けられた作業コンベア２２と、作業範囲ＲｏよりＸ方向の下流側に設けられた搬出コンベア２３とにより、基板ＢをＸ方向に搬送する。また、作業範囲Ｒｏ内では、４個の基板クランプ２７３がＸ方向に並んで設けられている。各基板クランプ２７３は、基板Ｂに接触する接触位置Ｐｃと基板Ｂから離間する離間位置Ｐａとの間で移動可能であり、４個の基板クランプ２７３のうち基板Ｂに対向する基板クランプ２７３が接触位置Ｐｃに位置して基板Ｂに接触することで、基板Ｂを固定する。これによって、作業範囲Ｒｏに搬入された基板Ｂをしっかりと支持して、実装ヘッド３１による基板Ｂへの作業（部品実装）を確実に行うことができる。

また、本実施形態では、Ｘ方向において上流側から数えて１番目の基板クランプ２７３（すなわち、４個の基板クランプ２７３のうち最上流の基板クランプ２７３）より下流側の３個の基板クランプ２７３により対象基板Ｂ１を固定できる場合には、ステップＳ１０７、Ｓ１０８、Ｓ２０４〜Ｓ２０７で構成されるモード（特定支持モード）を実行する。この特定支持モードでは、Ｘ方向において１番目の基板クランプ２７３（クランプ機構２７ａの基板クランプ２７３）より下流側の基板クランプ２７３へ対象基板Ｂ１を搬送して対象基板Ｂ１に対向する基板クランプ２７３により対象基板Ｂ１を固定する（ステップＳ１０７、Ｓ１０８）。具体的には、ステップＳ１０７を実行する場合には、対象基板Ｂ１に対向する３個の基板クランプ２７３（クランプ機構２７ｂ〜２７ｄの基板クランプ２７３）が対象基板Ｂ１を固定し、ステップＳ１０８を実行する場合には、対象基板Ｂ１に対向する２個の基板クランプ２７３（クランプ機構２７ｃ、２７ｄの基板クランプ２７３）が対象基板Ｂ１を固定する。これによって、実装ヘッド３１による対象基板Ｂ１への作業（部品実装）を確実に行うことができる。さらに、特定支持モードでは、１番目の基板クランプ２７３を離間位置Ｐａに位置させた状態で、Ｘ方向において後続基板Ｂ２の下流端を１番目の基板クランプ２７３の上流端２７３ｕと２番目の基板クランプ２７３の上流端２７３ｕとの間に進入させつつ搬入コンベア２１と作業コンベア２２とにより後続基板Ｂ２を支持する（ステップＳ２０４〜Ｓ２０７）。つまり、後続基板Ｂ２を作業範囲Ｒｏに部分的に進入させた状態で待機させる。したがって、対象基板Ｂ１への作業が完了して対象基板Ｂ１を作業範囲Ｒｏから搬出するのに伴って、後続基板Ｂ２の全体を作業範囲Ｒｏに速やかに搬入することができる。こうして、作業範囲Ｒｏへの基板Ｂの搬入の迅速化が実現可能となっている。その結果、部品実装済みの基板Ｂを効率的に生産することも可能となっている。

例えば図１１の第２動作例では、対象基板Ｂ１への部品実装が完了すると、クランプ機構２７ｂ〜２７ｄの基板クランプ２７３を離間位置Ｐａに移動させて、対象基板Ｂ１を作業コンベア２２のベルトコンベア２２２に載置する。続いて、作業コンベア２２が対象基板Ｂ１を搬出コンベア２３に受け渡して、搬出コンベア２３が当該対象基板Ｂ１を搬出するとともに、作業コンベア２２が搬入コンベア２１から受け取った後続基板Ｂ２の全体を、上述の対象基板Ｂ１の搬入と同様にして作業範囲Ｒｏに搬入する。こうして、Ｘ方向において、後続基板Ｂ２は、その下流端が作業範囲Ｒｏの下流端に一致した状態で停止する。この際、後続基板Ｂ２の搬送開始前に既に後続基板Ｂ２の一部が作業範囲Ｒｏに進入しているため、作業範囲Ｒｏへの後続基板Ｂ２の搬入に要する後続基板Ｂ２の搬送距離が抑えられ、作業範囲Ｒｏへの後続基板Ｂ２の搬入を迅速に行える。

また、特定支持モードでは、Ｘ方向において、対象基板Ｂ１の下流端Ｂｄを４個の基板クランプ２７３のうち最下流の基板クランプ２７３の上流端２７３ｕよりも下流側へ搬送して、対象基板Ｂ１を固定する。このように対象基板Ｂ１を最下流の基板クランプ２７３（クランプ機構２７ｄの基板クランプ２７３）に対向する範囲にまで搬入しておくことで、作業が完了した対象基板Ｂ１を速やかに作業範囲Ｒｏから搬出しつつ、後続基板Ｂ２の全体を作業範囲Ｒｏに速やかに搬入することができる。

また、基板固定部２６は、基板Ｂを基板クランプ２７３により作業コンベア２２から離間させた状態で対象基板Ｂ１を基板クランプ２７３により固定する。かかる構成では、対象基板Ｂ１の固定後においても作業コンベア２２による後続基板Ｂ２の搬送を実行でき、後続基板Ｂ２の搬送動作の自由度が向上する。そこで、本実施形態の特定支持モードでは、基板固定部２６が対象基板Ｂ１を基板クランプ２７３により固定した後に、作業コンベア２２による後続基板Ｂ２の搬送を実行して、搬送動作の自由度を活用している。

また、基板Ｂの位置を検出する基板センサーＳｂ１が設けられている。そして、制御部２０は、１番目の基板クランプ２７３の上流端２７３ｕと２番目の基板クランプ２７３の上流端２７３ｕとの間において後続基板Ｂ２の下流端２７３ｄを停止させる位置を、基板センサーＳｂ１が後続基板Ｂ２の位置を検出した結果に基づき実行する。かかる構成では、基板センサーＳｂ１による検出結果に基づき、対象基板Ｂ１を停止させる位置を的確に制御することができる。

このように本実施形態では、部品実装機１が本発明の「基板処理装置」の一例に相当し、実装ヘッド３１が本発明の「作業ヘッド」および「実装ヘッド」の一例に相当し、基板搬送装置２が本発明の「基板搬送装置」の一例に相当し、コンベア部２４が本発明の「コンベア部」の一例に相当し、搬入コンベア２１が本発明の「第１コンベア」の一例に相当し、作業コンベア２２が本発明の「第２コンベア」の一例に相当し、搬出コンベア２３が本発明の「第３コンベア」の一例に相当し、基板固定部２６が本発明の「基板固定部」の一例に相当し、基板クランプ２７３が本発明の「固定部材」の一例に相当し、離間位置Ｐａが本発明の「離間位置」の一例に相当し、接触位置Ｐｃが本発明の「接触位置」の一例に相当し、制御部２０が本発明の「制御部」の一例に相当し、ステップＳ１０７、Ｓ１０８、Ｓ２０４〜Ｓ２０７が本発明の「特定支持モード」の一例に相当し、クランプ機構２７ａ〜２７ｄの基板クランプ２７３が本発明の「Ｎｔ個の固定部材」の一例に相当し（Ｎｔ＝４）、クランプ機構２７ａの基板クランプ２７３が本発明の「Ｎｕ個の固定部材」および「Ｎｕ番目の固定部材」の一例に相当し（Ｎｕ＝１）、クランプ機構２７ｂの基板クランプ２７３が本発明の「（Ｎｕ＋１）番目の固定部材」の一例に相当し、基板センサーＳｂ１が本発明の「検出器」の一例に相当し、基板Ｂが本発明の「基板」の一例に相当し、対象基板Ｂ１が本発明の「先行基板」の一例に相当し、後続基板Ｂ２が本発明の「後続基板」の一例に相当し、Ｘ方向が本発明の「搬送方向」の一例に相当し、作業範囲Ｒｏが本発明の「作業範囲」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態では、Ｎｕ＝１の場合が例示されていた。しかしながら、Ｎｕの具体的値はこれに限られない。そこで、図１２に示すように基板搬送装置２を構成しても良い。ここで、図１２は図８および図９のフローチャートに従って実行される第３動作を模式的に示す図である。第３動作例では、Ｎｕは２であり、対象基板Ｂ１の基板長さＬｂは長さＬ２以下である。

かかる第３動作例では、対象基板Ｂ１が作業範囲Ｒｏに搬入されると（ステップＳ１０３）、制御部２０は、２個のクランプ機構２７ｃ、２７ｄの基板クランプ２７３を離間位置Ｐａから接触位置Ｐｃに移動させる（ステップＳ１０８）。これによって、図１２の「ステップＳ１０８」の欄に示すように、対象基板Ｂ１は、２個の基板クランプ２７３によって固定される。

こうして対象基板Ｂ１の作業範囲Ｒｏへの搬入が完了すると、図９の待機基板搬送が開始される。つまり、ステップＳ２０４で後続基板Ｂ２の搬送が開始され、基板センサーＳｂ１が後続基板Ｂ２を検出してから（ステップＳ２０５で「ＹＥＳ」）、基板搬送装置２は後続基板Ｂ２を所定距離さらに搬送する（ステップＳ２０６）。こうして基板搬送装置２は、作業範囲Ｒｏに進入した後続基板Ｂ２をＸ方向にさらに進行させてから後続基板Ｂ２を停止させる（ステップＳ２０７）。なお、この第３動作例では、ステップＳ２０６での後続基板Ｂ２の搬送距離が第２動作例より長く設定されている。これによって、図１２の「ステップＳ２０７」の欄に示すように、基板搬送装置２は、Ｘ方向において後続基板Ｂ２の下流端Ｂｄを２番目のクランプ機構２７ｂの基板クランプ２７３の上流端２７３ｕと３番目のクランプ機構２７ｃの基板クランプ２７３の上流端２７３ｕとの間に進入させつつ、搬入コンベア２１と作業コンベア２２とにより後続基板Ｂ２を支持する。

このように第３動作例においても、後続基板Ｂ２を作業範囲Ｒｏに部分的に進入させた状態で待機させる。したがって、対象基板Ｂ１への作業が完了して対象基板Ｂ１を作業範囲Ｒｏから搬出するのに伴って、後続基板Ｂ２の全体を作業範囲Ｒｏに速やかに搬入することができる。こうして、作業範囲Ｒｏへの基板Ｂの搬入の迅速化が実現可能となっている。その結果、実装基板を効率的に生産することも可能となっている。

また、第２動作例のように後続基板Ｂ２を１番目の基板クランプ２７３まで進入させる制御と、第３動作例のように後続基板Ｂ２を２番目の基板クランプ２７３まで進入させる制御とを、ステップＳ１０４、Ｓ１０５の判断結果に応じて切り換えても良い。つまり、ステップＳ１０４で「ＮＯ」と判断され、ステップＳ１０５で「ＹＥＳ」と判断された場合には、下流側の３個の基板クランプ２７３が対象基板Ｂ１の固定に用いられているため、第２動作例を実行する。一方、ステップＳ１０４で「ＹＥＳ」と判断された場合は、下流側の２個の基板クランプ２７３が対象基板Ｂ１の固定に用いられるため、第３動作例を実行する。換言すれば、４個の基板クランプ２７３のうち、上流側から数えて、対象基板Ｂ１の固定に用いられない基板クランプ２７３の個数に応じて、後続基板Ｂ２を作業範囲Ｒｏに進入させる距離を変えれば良い。さらに具体的に言うと、上流側から数えて、対象基板Ｂ１の固定に用いられない基板クランプ２７３の個数の増大に応じて、後続基板Ｂ２を作業範囲Ｒｏに進入させる距離を長くする。

また、上述の例では、対象基板Ｂ１と後続基板Ｂ２とがＹ方向（幅方向）に同じ幅を有するとの前提で説明を行った。しかしながら、これらの幅が異なる場合も想定される。このように対象基板Ｂ１と後続基板Ｂ２とのＹ方向の幅が異なる場合には、制御部２０は、ステップＳ２０１で、後続基板Ｂ２の作業範囲Ｒｏへの搬入を不可と判断し、ステップＳ２０４〜Ｓ２０７の実行を禁止する一方、ステップＳ２０２、Ｓ２０３を実行すればよい。これによって、幅の異なる対象基板Ｂ１と後続基板Ｂ２とが同時に作業コンベア２２へ搬入されるのを防止することができる。

また、基板クランプ２７３に関する具体的な構成も適宜変更が可能である。つまり、基板クランプ２７３の個数（Ｎｔ）は４に限られず、２以上であれば良い。また、各基板クランプ２７３がＸ方向に同一の長さを有する必要も無い。

また、上述の４個の基板クランプ２７３のそれぞれを個別に駆動できるように構成しても良いし、２〜４番目の基板クランプ２７３は一括で駆動する一方、１番目の基板クランプ２７３を２〜４番目の基板クランプ２７３と個別で駆動するように構成しても良い。

また、作業範囲Ｒｏへの対象基板Ｂ１の搬入態様は上記の例に限られない。したがって、Ｘ方向において、対象基板Ｂ１の下流端が作業範囲Ｒｏの下流端より上流側に位置する状態で、対象基板Ｂ１の搬送を停止しても良い。

また、基板センサーＳｂ１についても種々の変更が可能である。例えば、基板センサーＳｂ１を配置する位置を変更してもよい。

また、上述の基板搬送装置２を搭載可能な基板処理装置は、部品実装機１に限られない。したがって、基板Ｂ上の半田等の外観を検査する外観検査装置に上述の基板搬送装置２を搭載することもできる。

１…部品実装機、２…基板搬送装置、２０…制御部、２１…搬入コンベア（第１コンベア）、２２…作業コンベア（第２コンベア）、２３…搬出コンベア（第３コンベア）、２４…コンベア部、２６…基板固定部（基板固定部）、２７，２７ａ〜２７ｄ…クランプ機構、２７３…基板クランプ（固定部材）、３１…実装ヘッド（作業ヘッド）、Ｂ…基板、Ｂ１…対象基板（先行基板）、Ｂ２…後続基板、Ｐａ…離間位置、Ｐｃ…接触位置、Ｒｏ…作業範囲、Ｓ１０７、Ｓ１０８、Ｓ２０４〜Ｓ２０７…特定支持モード、Ｓｂ１…基板センサー（検出器）、Ｘ…Ｘ方向（搬送方向）、Ｙ…Ｙ方向（幅方向）

Claims (8)

1. 基板の搬送方向に所定の長さを有する作業範囲内の前記基板に対して作業を実行する作業ヘッドと、
   前記作業範囲の前記搬送方向の上流側に設けられた第１コンベアと、前記作業範囲に対して設けられた第２コンベアと、前記作業範囲の前記搬送方向の下流側に設けられた第３コンベアとを有し、前記第１コンベア、前記第２コンベアおよび前記第３コンベアによって前記搬送方向に前記基板を搬送するコンベア部と、
   前記搬送方向に並んで前記作業範囲内に設けられて、前記基板に接触する接触位置と前記基板から離間する離間位置との間で移動可能なＮｔ個（Ｎｔは２以上の整数）の固定部材を有し、前記Ｎｔ個の固定部材のうち前記基板に対向する前記固定部材を前記接触位置に位置させることで前記基板を固定する基板固定部と、
   先行基板を前記作業範囲に搬入して固定するとともに前記先行基板より前記搬送方向の上流側の後続基板を前記作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する特定支持モードを、前記コンベア部および前記基板固定部を制御することで実行する制御部と
   を備え、
   前記制御部は、前記搬送方向において上流側から数えてＮｕ個（Ｎｕは１以上でＮｔ未満の整数）の固定部材より下流側の前記固定部材により前記先行基板を固定できる場合に前記特定支持モードを実行し、
   前記特定支持モードでは、前記搬送方向において前記Ｎｕ個の固定部材よりも下流側に前記先行基板を搬送して前記先行基板に対向する前記固定部材により前記先行基板を固定するとともに、前記Ｎｕ個の固定部材を前記離間位置に位置させた状態で、前記搬送方向において前記後続基板の下流端を前記Ｎｕ番目の固定部材の上流端と（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ前記第１コンベアと前記第２コンベアとにより前記後続基板を支持する基板処理装置。
2. 前記特定支持モードでは、前記搬送方向において、前記先行基板の下流端を前記Ｎｔ個の固定部材のうち最下流の固定部材の上流端よりも下流側へ搬送して、前記先行基板を固定する請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記基板固定部は、前記基板を前記固定部材により前記第２コンベアから離間させた状態で前記先行基板を前記固定部材により固定する請求項１または２に記載の基板処理装置。
4. 前記特定支持モードでは、前記基板固定部が前記先行基板を前記固定部材により固定した後に、前記第２コンベアによる前記後続基板の搬送を実行する請求項３に記載の基板処理装置。
5. 前記コンベア部は、前記搬送方向に直交する幅方向において、前記第１コンベア、前記第２コンベアおよび前記第３コンベアそれぞれの幅を前記基板の幅に応じて変更可能であり、
   前記制御部は、前記先行基板と前記後続基板との前記幅方向への幅が異なる場合には、前記特定支持モードを禁止する請求項１ないし４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
6. 前記基板の位置を検出する検出器をさらに備え、
   前記制御部は、前記Ｎｕ番目の固定部材の上流端と前記（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間において前記後続基板の下流端を停止させる位置を、前記検出器が前記後続基板の位置を検出した結果に基づき実行する請求項１ないし５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
7. 前記作業ヘッドは、前記基板固定部によって前記作業範囲に固定された前記基板に対して部品を実装する実装ヘッドである請求項１ないし６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
8. 基板の搬送方向に所定の長さを有する作業範囲の前記搬送方向の上流側に設けられた第１コンベアと、前記作業範囲に対して設けられた第２コンベアと、前記作業範囲の前記搬送方向の下流側に設けられた第３コンベアとを有し、前記第１コンベア、前記第２コンベアおよび前記第３コンベアによって前記搬送方向に前記基板を搬送するコンベア部と、
   前記搬送方向に並んで前記作業範囲内に設けられて、前記基板に接触する接触位置と前記基板から離間する離間位置との間で移動可能なＮｔ個（Ｎｔは２以上の整数）の固定部材を有し、前記Ｎｔ個の固定部材のうち前記基板に対向する前記固定部材を前記接触位置に位置させることで前記基板を固定する基板固定部と、
   先行基板を前記作業範囲に搬入して固定するとともに前記先行基板より前記搬送方向の上流側の後続基板を前記作業範囲に部分的に進入させた状態で支持する特定支持モードを、前記コンベア部および前記基板固定部を制御することで実行する制御部と
   を備え、
   前記制御部は、前記搬送方向において上流側から数えてＮｕ個（Ｎｕは１以上でＮｔ未満の整数）の固定部材より下流側の前記固定部材により前記先行基板を固定できる場合に前記特定支持モードを実行し、
   前記特定支持モードでは、前記搬送方向において前記Ｎｕ個の固定部材よりも下流側に前記先行基板を搬送して前記先行基板に対向する前記固定部材により前記先行基板を固定するとともに、前記Ｎｕ個の固定部材を前記離間位置に位置させた状態で、前記搬送方向において前記後続基板の下流端を前記Ｎｕ番目の固定部材の上流端と（Ｎｕ＋１）番目の固定部材の上流端との間に進入させつつ前記第１コンベアと前記第２コンベアとにより前記後続基板を支持する基板搬送装置。

Images