Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6835406B2 - Displacement sensor and displacement measuring device - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6835406B2 - Displacement sensor and displacement measuring device - Google Patents

Displacement sensor and displacement measuring device Download PDF

Info

Publication number
JP6835406B2
JP6835406B2 JP2017000533A JP2017000533A JP6835406B2 JP 6835406 B2 JP6835406 B2 JP 6835406B2 JP 2017000533 A JP2017000533 A JP 2017000533A JP 2017000533 A JP2017000533 A JP 2017000533A JP 6835406 B2 JP6835406 B2 JP 6835406B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
coil
metal shaft
displacement sensor
measurement result
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017000533A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018109572A (en
Inventor
成樹 櫻井
成樹 櫻井
将司 明神
将司 明神
聡一 西口
聡一 西口
和幸 林
和幸 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Platforms Ltd
Original Assignee
NEC Platforms Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Platforms Ltd filed Critical NEC Platforms Ltd
Priority to JP2017000533A priority Critical patent/JP6835406B2/en
Publication of JP2018109572A publication Critical patent/JP2018109572A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6835406B2 publication Critical patent/JP6835406B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

本発明は、変位センサ及び変位測定装置に関し、例えば橋梁等の変位量の測定に用いる変位センサ及び変位測定装置に関する。 The present invention relates to a displacement sensor and a displacement measuring device, for example, a displacement sensor and a displacement measuring device used for measuring a displacement amount of a bridge or the like.

近年、道路・鉄道の橋梁等のインフラ老朽化が社会問題となっており、これらの健全性を確認するための定期点検に多額の費用が費やされている。また、地震発生時には、橋梁等の健全性を確認するために、調査員が橋梁等の状態の確認に向かう必要があるが、すべての橋梁等を同時に確認することは困難である。このため、遠隔でのインフラの状態を常時モニタリングでき、特に、地震による橋梁等の構造設計値を超える変位量の有無が測定できるセンサが求められている。 In recent years, aging infrastructure such as road and railroad bridges has become a social problem, and a large amount of money is spent on regular inspections to confirm the soundness of these. In addition, when an earthquake occurs, it is necessary for the investigator to go to check the condition of the bridges, etc. in order to check the soundness of the bridges, etc., but it is difficult to check all the bridges, etc. at the same time. For this reason, there is a demand for a sensor that can constantly monitor the state of infrastructure remotely and can measure the presence or absence of a displacement exceeding the structural design value of a bridge or the like due to an earthquake.

例えば、平面アンテナを使用して橋梁等の変位量の測定を行うことが考えられる。しかし、平面アンテナを使用した場合、縦方向(Z軸)の変位量の測定時に、測定対象が不安定な状態でX軸方向・Y軸方向へのぶれや傾きが生じることにより、縦方向の変位量を正確に測定することが不可能となる。 For example, it is conceivable to measure the amount of displacement of a bridge or the like using a flat antenna. However, when a planar antenna is used, when measuring the amount of displacement in the vertical direction (Z-axis), the measurement target is unstable and the measurement target is unstable, causing blurring or tilting in the X-axis direction and the Y-axis direction. It becomes impossible to measure the amount of displacement accurately.

また、特許文献1には、コイル、円錐状の磁性体プローブ、インダクタンスメータ、及び変位量変換部を用いて対象物の変位量の検出を行う変位センサが開示されている。特許文献1の変位センサでは、磁性体プローブがコイルの空心部内を移動すると、コイルのインダクタンスが変化する。そして、インダクタンスメータが、コイルのインダクタンスの変化を検出し、変位量変換部が、その検出値を変位量に変換する。 Further, Patent Document 1 discloses a displacement sensor that detects the displacement amount of an object by using a coil, a conical magnetic probe, an inductance meter, and a displacement amount conversion unit. In the displacement sensor of Patent Document 1, when the magnetic probe moves in the air core portion of the coil, the inductance of the coil changes. Then, the inductance meter detects the change in the inductance of the coil, and the displacement amount conversion unit converts the detected value into the displacement amount.

しかし、特許文献1の変位センサでは、コイルと磁性体プローブとの摩擦が生じ得るため、コイルの耐久性に問題がある。 However, in the displacement sensor of Patent Document 1, friction between the coil and the magnetic probe may occur, so that there is a problem in the durability of the coil.

コイルとシャフトとが摩擦しないセンサの例が特許文献2に開示されている。特許文献2のポジションセンサでは、センサコイル部において、樹脂製のケースの中心部にシャフトを挿入する空間を設け、この空間を挟むように、コイル収納部を形成し、コイル収納部にコイルを収納している。 Patent Document 2 discloses an example of a sensor in which the coil and the shaft do not rub against each other. In the position sensor of Patent Document 2, in the sensor coil portion, a space for inserting the shaft is provided in the center of the resin case, a coil storage portion is formed so as to sandwich this space, and the coil is stored in the coil storage portion. doing.

特開2003−139562号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-139562 特開2000−161985号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-161985

特許文献2のセンサコイル部において、コイルとコイル以外の部分とでは、素材が異なる。このため、センサコイル部におけるコイルとコイル以外の部分とでは、熱膨張率が異なる。これにより、特許文献2のポジションセンサを温度変化が大きい環境にて使用する場合、センサコイル部のコイルとコイル以外の部分との熱膨張率の違いにより、コイルの断線が発生し得るという問題があった。 In the sensor coil portion of Patent Document 2, the material is different between the coil and the portion other than the coil. Therefore, the coefficient of thermal expansion differs between the coil in the sensor coil portion and the portion other than the coil. As a result, when the position sensor of Patent Document 2 is used in an environment where the temperature change is large, there is a problem that the coil may be broken due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the coil of the sensor coil portion and the portion other than the coil. there were.

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、測定精度の低下を防止し、且つ温度変化に伴うコイルの断線を防止することができる変位センサ及び変位測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and provides a displacement sensor and a displacement measuring device capable of preventing a decrease in measurement accuracy and a disconnection of a coil due to a temperature change. The purpose is to do.

本発明の第1の態様にかかる変位センサは、被測定物と接触する部分であるシャフトキャップと、前記シャフトキャップに接続された金属シャフトと、中空であり、前記金属シャフトが挿入されるコイルベースと、前記コイルベースの外周面に巻かれたコイルと、前記コイルに電流を流した状態で、前記金属シャフトが前記コイルベース内を動くことによる前記コイルのインダクタンス及び抵抗の変化を測定することにより、前記金属シャフトの変位量を測定する変位量測定部と、を備え、前記コイルベースの外周面に螺旋状の補助溝が設けられ、前記コイルは前記補助溝に巻かれるものである。 The displacement sensor according to the first aspect of the present invention is a coil base which is hollow and has a shaft cap which is a portion in contact with an object to be measured, a metal shaft connected to the shaft cap, and the metal shaft is inserted. By measuring the changes in the inductance and resistance of the coil as the metal shaft moves in the coil base with the coil wound around the outer peripheral surface of the coil base and the current flowing through the coil. A displacement amount measuring unit for measuring the displacement amount of the metal shaft is provided, and a spiral auxiliary groove is provided on the outer peripheral surface of the coil base, and the coil is wound around the auxiliary groove.

本発明の第2の態様にかかる変位測定装置は、被測定物におけるそれぞれ異なる方向の変位量を測定する複数の変位センサと、前記複数の変位センサにおける変位量の測定結果を受信する子局と、を備え、前記複数の変位センサの各々は、前記被測定物と接触する部分であるシャフトキャップと、前記シャフトキャップに接続された金属シャフトと、中空であり、前記金属シャフトが挿入されるコイルベースと、前記コイルベースの外周面に巻かれたコイルと、前記コイルに電流を流した状態で、前記金属シャフトが前記コイルベース内を動くことによる前記コイルのインダクタンス及び抵抗の変化を測定することにより、前記金属シャフトの変位量を測定する変位量測定部と、他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信するための第1のコネクタと、前記変位量測定部における前記金属シャフトの変位量の測定結果及び前記他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果の少なくとも一方を送信するための第2のコネクタと、前記第1のコネクタを介した変位量の測定結果の受信及び前記第2のコネクタを介した変位量の測定結果の送信の少なくとも一方を行う送受信部と、を備え、前記コイルベースの外周面に螺旋状の補助溝が設けられ、前記コイルは前記補助溝に巻かれ、前記複数の変位センサ及び前記子局は、数珠つなぎに接続されるものである。 The displacement measuring device according to the second aspect of the present invention includes a plurality of displacement sensors that measure the amount of displacement of the object to be measured in different directions, and a slave station that receives the measurement results of the amount of displacement in the plurality of displacement sensors. Each of the plurality of displacement sensors is hollow, has a shaft cap which is a portion in contact with the object to be measured, a metal shaft connected to the shaft cap, and a coil into which the metal shaft is inserted. Measuring changes in the inductance and resistance of the coil due to the movement of the metal shaft in the coil base with a base, a coil wound around the outer peripheral surface of the coil base, and a current flowing through the coil. A displacement amount measuring unit for measuring the displacement amount of the metal shaft, a first connector for receiving the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor, and the metal shaft in the displacement amount measuring unit. A second connector for transmitting at least one of the measurement result of the displacement amount of the metal shaft and the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the other displacement sensor, and the reception of the measurement result of the displacement amount via the first connector. A transmission / reception unit for transmitting at least one of the measurement results of the displacement amount via the second connector is provided, and a spiral auxiliary groove is provided on the outer peripheral surface of the coil base, and the coil is provided with the auxiliary groove. The plurality of displacement sensors and the slave station are connected in a string.

本発明により、測定精度の低下を防止し、且つ温度変化に伴うコイルの断線を防止することができる変位センサ及び変位測定装置を提供することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to provide a displacement sensor and a displacement measuring device capable of preventing a decrease in measurement accuracy and preventing disconnection of a coil due to a temperature change.

本発明の実施の形態1にかかる変位センサの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the displacement sensor which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図1の金属シャフトが被測定物の動きに連動してコイルベース内を動くことを示す図である。It is a figure which shows that the metal shaft of FIG. 1 moves in the coil base in conjunction with the movement of the object to be measured. 図1の金属シャフトが被測定物の動きに連動してコイルベース内を動くことを示す図である。It is a figure which shows that the metal shaft of FIG. 1 moves in the coil base in conjunction with the movement of the object to be measured. 図1のコイルが補助溝に巻かれた状態の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the state in which the coil of FIG. 1 is wound in an auxiliary groove. 本発明の実施の形態2にかかる変位センサにおけるコイルがコイルベースに巻かれた状態の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the state which the coil in the displacement sensor which concerns on Embodiment 2 of this invention is wound around a coil base. 本発明の実施の形態3にかかる変位センサにおけるシャフトキャップ、金属シャフト、及びスライダが接続された構成を示す図である。It is a figure which shows the structure which the shaft cap, the metal shaft, and the slider in the displacement sensor which concerns on Embodiment 3 of this invention are connected. 本発明の実施の形態3にかかる変位センサにおけるシャフトキャップ、金属シャフト、スライダ、及びコイルベースの側面断面図である。It is a side sectional view of the shaft cap, the metal shaft, the slider, and the coil base in the displacement sensor which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4にかかる変位センサの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the displacement sensor which concerns on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施の形態5にかかる変位センサの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the displacement sensor which concerns on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施の形態5にかかる変位測定装置の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the displacement measuring apparatus which concerns on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施の形態5にかかるネットワークセンサシステムの構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the network sensor system which concerns on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施の形態にかかる変位センサを格納するカバーの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover which stores the displacement sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態にかかる変位センサを格納するカバーの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the cover which stores the displacement sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態にかかる変位センサにおけるシャフトキャップ及び金属シャフトの変形例を示す側面断面図である。It is a side sectional view which shows the modification of the shaft cap and the metal shaft in the displacement sensor which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態にかかる変位センサにおけるシャフトキャップ又は第2のケースが第1の空気穴を備える例を示す側面断面図である。FIG. 5 is a side sectional view showing an example in which a shaft cap or a second case in the displacement sensor according to the embodiment of the present invention includes a first air hole. 本発明の実施の形態にかかる変位センサにおけるシャフトキャップ又は第2のケースが第1の空気穴を備える例を示す側面断面図である。FIG. 5 is a side sectional view showing an example in which a shaft cap or a second case in the displacement sensor according to the embodiment of the present invention includes a first air hole. 本発明の実施の形態にかかる変位センサにおけるシャフトキャップ又は第2のケースが第1の空気穴を備える例を示す側面断面図である。FIG. 5 is a side sectional view showing an example in which a shaft cap or a second case in the displacement sensor according to the embodiment of the present invention includes a first air hole.

以下では、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図面において、同一又は対応する要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each drawing, the same or corresponding elements are designated by the same reference numerals, and duplicate explanations are omitted as necessary for the sake of clarity of explanation.

実施の形態1
まず、図1を用いて、本発明の実施の形態1にかかる変位センサ100の構成例について説明する。本実施の形態1にかかる変位センサ100は、シャフトキャップ11と、金属シャフト12と、コイルベース21と、コイル22と、変位量測定部23と、を備えている。
Embodiment 1
First, a configuration example of the displacement sensor 100 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The displacement sensor 100 according to the first embodiment includes a shaft cap 11, a metal shaft 12, a coil base 21, a coil 22, and a displacement amount measuring unit 23.

シャフトキャップ11は、被測定物600と接触する部分である。なお、シャフトキャップ11に用いられる素材は、例えば樹脂である。 The shaft cap 11 is a portion that comes into contact with the object to be measured 600. The material used for the shaft cap 11 is, for example, resin.

金属シャフト12は、シャフトキャップ11に接続された状態で用いられる。金属シャフト12は、被測定物600とシャフトキャップ11とが接触した状態で動くことにより、被測定物600の動きに連動する。なお、金属シャフト12に用いられる素材は、例えばステンレスである。また、金属シャフト12は、中空であってもよい。金属シャフト12を中空とすることにより、金属シャフト12の内部を長手方向に通る磁界を形成することができる。 The metal shaft 12 is used in a state of being connected to the shaft cap 11. The metal shaft 12 moves in a state where the object to be measured 600 and the shaft cap 11 are in contact with each other, so that the metal shaft 12 is linked to the movement of the object to be measured 600. The material used for the metal shaft 12 is, for example, stainless steel. Further, the metal shaft 12 may be hollow. By making the metal shaft 12 hollow, a magnetic field that passes through the inside of the metal shaft 12 in the longitudinal direction can be formed.

コイルベース21は、中空であり、金属シャフト12が挿入される。すなわち、金属シャフト12は、被測定物600の動きに連動して、コイルベース21内を動く。なお、金属シャフト12が被測定物600の動きに連動してコイルベース21内を動くとは、変位センサ100が、例えば図2Aの状態から図2Bの状態へ遷移することである。なお、コイルベース21に用いられる素材は、例えば樹脂である。 The coil base 21 is hollow, and the metal shaft 12 is inserted into the coil base 21. That is, the metal shaft 12 moves in the coil base 21 in conjunction with the movement of the object to be measured 600. The movement of the metal shaft 12 in the coil base 21 in conjunction with the movement of the object to be measured 600 means that the displacement sensor 100 transitions from, for example, the state of FIG. 2A to the state of FIG. 2B. The material used for the coil base 21 is, for example, resin.

コイル22は、コイルベース21の外周面に巻かれる。具体的には、コイルベース21の外周面には螺旋状の補助溝24が設けられ、コイル22は補助溝24に巻かれる。なお、コイル22に用いられる素材は、例えば銅である。 The coil 22 is wound around the outer peripheral surface of the coil base 21. Specifically, a spiral auxiliary groove 24 is provided on the outer peripheral surface of the coil base 21, and the coil 22 is wound around the auxiliary groove 24. The material used for the coil 22 is, for example, copper.

変位量測定部23は、コイル22に電流を流した状態で、金属シャフト12がコイルベース21内を動くことによるコイル22のインダクタンス及び抵抗の変化を測定する。これにより、変位量測定部23は、金属シャフト12の変位量を測定する。 The displacement amount measuring unit 23 measures changes in the inductance and resistance of the coil 22 as the metal shaft 12 moves in the coil base 21 while a current is flowing through the coil 22. As a result, the displacement amount measuring unit 23 measures the displacement amount of the metal shaft 12.

続いて、図3を用いて、コイル22を補助溝24に巻くことについて説明する。図3の例では、コイルベース21とコイル22との間に隙間(gap)が設けられている。ここで、図3の例は、20℃の温度状況における状態を示しているものとする。 Subsequently, the winding of the coil 22 around the auxiliary groove 24 will be described with reference to FIG. In the example of FIG. 3, a gap (gap) is provided between the coil base 21 and the coil 22. Here, it is assumed that the example of FIG. 3 shows a state in a temperature condition of 20 ° C.

コイルベース21とコイル22との間に隙間を設ける理由について説明する。コイルベース21が、例えばポリカーボネート樹脂製である場合、コイルベース21の熱膨張係数は、70〜80である。また、コイル22が、例えば銅製である場合、コイル22の熱膨張係数は、16.6である。このような場合、温度が高くなることに伴う熱膨張係数は、コイルベース21の方がコイル22よりも大きい。このため、例えば20℃の温度状況において、コイルベース21とコイル22との間に隙間がない状態では、温度が高くなった際にコイルベース21の熱膨張による膨らみによって、コイル22を伸長させて断線させる可能性がある。コイルベース21とコイル22との間に隙間を設けることにより、このようなコイル22の断線を防ぐことができる。 The reason for providing a gap between the coil base 21 and the coil 22 will be described. When the coil base 21 is made of, for example, a polycarbonate resin, the coefficient of thermal expansion of the coil base 21 is 70 to 80. When the coil 22 is made of copper, for example, the coefficient of thermal expansion of the coil 22 is 16.6. In such a case, the coefficient of thermal expansion associated with the increase in temperature of the coil base 21 is larger than that of the coil 22. Therefore, for example, in a temperature condition of 20 ° C., when there is no gap between the coil base 21 and the coil 22, the coil 22 is extended by the swelling due to thermal expansion of the coil base 21 when the temperature rises. There is a possibility of disconnection. By providing a gap between the coil base 21 and the coil 22, such disconnection of the coil 22 can be prevented.

なお、熱膨張によるコイルベース21の変化量は、α×△T×2rによって算出することができる。ここで、αは熱膨張係数(単位[×10−6/℃])であり、ΔTは温度変化量(単位[℃])であり、rはコイルベース21の半径(単位[mm])である。例えば、コイルベース21の直径が26mmであり、50℃の温度上昇がある場合、コイルベース21は、0.091〜0.104mm直径が大きくなる。このため、コイルベース21の直径が26mmである場合には、コイルベース21とコイル22との間に0.104mm以上の隙間を設けるようにしてもよい。 The amount of change in the coil base 21 due to thermal expansion can be calculated by α × ΔT × 2r. Here, α is the coefficient of thermal expansion (unit [× 10 -6 / ° C]), ΔT is the amount of temperature change (unit [° C]), and r is the radius of the coil base 21 (unit [mm]). is there. For example, when the diameter of the coil base 21 is 26 mm and there is a temperature rise of 50 ° C., the diameter of the coil base 21 becomes 0.091 to 0.104 mm larger. Therefore, when the diameter of the coil base 21 is 26 mm, a gap of 0.104 mm or more may be provided between the coil base 21 and the coil 22.

補助溝24を設けずにコイルベース21とコイル22との間に隙間を設けた場合、コイル22の巻き線は、コイルベース21の長手方向に位置ずれすることがある。コイル22の巻き線の位置ずれは、金属シャフト12の変位量の測定精度を低下させる。このため、補助溝24を設けずにコイルベース21とコイル22との間に隙間を設けることは、金属シャフト12の変位量の測定精度を低下させ得る。 If a gap is provided between the coil base 21 and the coil 22 without providing the auxiliary groove 24, the winding of the coil 22 may be displaced in the longitudinal direction of the coil base 21. The misalignment of the winding of the coil 22 reduces the measurement accuracy of the displacement amount of the metal shaft 12. Therefore, if a gap is provided between the coil base 21 and the coil 22 without providing the auxiliary groove 24, the measurement accuracy of the displacement amount of the metal shaft 12 can be lowered.

これに対し、補助溝24を設けることにより、補助溝24の壁面が、コイル22の巻き線の位置ずれを抑止する。このため、補助溝24を設けることにより、コイルベース21とコイル22との間に隙間を設けた場合であっても、コイル22の巻き線がコイルベース21の長手方向に位置ずれすることを抑止することができる。 On the other hand, by providing the auxiliary groove 24, the wall surface of the auxiliary groove 24 suppresses the misalignment of the winding of the coil 22. Therefore, by providing the auxiliary groove 24, even if a gap is provided between the coil base 21 and the coil 22, the winding of the coil 22 is prevented from being displaced in the longitudinal direction of the coil base 21. can do.

すなわち、補助溝24を設けてコイル22を補助溝24に巻くことにより、金属シャフト12の変位量の測定精度の低下を防止し、且つ温度変化に伴うコイル22の断線を防止することができる。 That is, by providing the auxiliary groove 24 and winding the coil 22 around the auxiliary groove 24, it is possible to prevent a decrease in the measurement accuracy of the displacement amount of the metal shaft 12 and prevent the coil 22 from being disconnected due to a temperature change.

なお、補助溝24は、図3の例のように、例えばV字状に設けられるが、補助溝24の形状はV字状に限らない。例えば、補助溝24はU字状等でもよい。なお、補助溝24がV字状である場合、U字状である場合に比べて、コイル22に対するコイルベース21の膨張時の力が分散されるため、コイル22の断線をさらに防止することができる。 The auxiliary groove 24 is provided in a V shape, for example, as in the example of FIG. 3, but the shape of the auxiliary groove 24 is not limited to the V shape. For example, the auxiliary groove 24 may be U-shaped or the like. When the auxiliary groove 24 is V-shaped, the force of the coil base 21 on the coil 22 during expansion is dispersed as compared with the case where the auxiliary groove 24 is U-shaped, so that the disconnection of the coil 22 can be further prevented. it can.

以上のように、本発明の実施の形態1にかかる変位センサ100では、コイルベース21の外周面に螺旋状の補助溝24が設けられる構成としている。また、変位センサ100では、コイル22は補助溝24に巻かれる構成としている。これにより、変位センサ100では、金属シャフト12の変位量の測定精度の低下を防止し、且つ温度変化に伴うコイル22の断線を防止することができる。 As described above, the displacement sensor 100 according to the first embodiment of the present invention has a configuration in which a spiral auxiliary groove 24 is provided on the outer peripheral surface of the coil base 21. Further, in the displacement sensor 100, the coil 22 is configured to be wound around the auxiliary groove 24. As a result, the displacement sensor 100 can prevent a decrease in the measurement accuracy of the displacement amount of the metal shaft 12 and prevent a disconnection of the coil 22 due to a temperature change.

実施の形態2
続いて、本発明の実施の形態2にかかる変位センサ200の構成例について説明する。本実施の形態2にかかる変位センサ200は、シャフトキャップ11と、金属シャフト12と、コイルベース21と、コイル22と、変位量測定部23と、蓋25と、を備えている。なお、変位センサ200において、蓋25以外の構成は、実施の形態1の変位センサ100の構成と同様であり説明を省略する。なお、蓋25に用いられる素材は、例えばポリイミドテープである。
Embodiment 2
Subsequently, a configuration example of the displacement sensor 200 according to the second embodiment of the present invention will be described. The displacement sensor 200 according to the second embodiment includes a shaft cap 11, a metal shaft 12, a coil base 21, a coil 22, a displacement amount measuring unit 23, and a lid 25. The configuration of the displacement sensor 200 other than the lid 25 is the same as the configuration of the displacement sensor 100 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. The material used for the lid 25 is, for example, polyimide tape.

図4は、変位センサ200におけるコイル22がコイルベース21に巻かれた状態の一例を示す図である。図4に示すように、変位センサ200では、補助溝24に蓋25をかぶせる構成としている。これにより、変位センサ200では、コイル22を補助溝24及び蓋25により形成される空間内にとどめることができる。すなわち、コイル22の巻き線の位置ずれをさらに抑止することができる。 FIG. 4 is a diagram showing an example of a state in which the coil 22 of the displacement sensor 200 is wound around the coil base 21. As shown in FIG. 4, the displacement sensor 200 has a configuration in which the auxiliary groove 24 is covered with the lid 25. As a result, in the displacement sensor 200, the coil 22 can be kept in the space formed by the auxiliary groove 24 and the lid 25. That is, the misalignment of the winding of the coil 22 can be further suppressed.

以上のように、本発明の実施の形態2にかかる変位センサ200では、補助溝24に蓋25をかぶせる構成としている。これにより、変位センサ200では、コイル22の巻き線の位置ずれをさらに抑止することができる。 As described above, the displacement sensor 200 according to the second embodiment of the present invention has a configuration in which the auxiliary groove 24 is covered with the lid 25. As a result, the displacement sensor 200 can further suppress the misalignment of the winding of the coil 22.

実施の形態3
続いて、本発明の実施の形態3にかかる変位センサ300の構成例について説明する。本実施の形態3にかかる変位センサ300は、シャフトキャップ11と、金属シャフト12と、スライダ13と、コイルベース21と、コイル22と、変位量測定部23と、を備えている。なお、変位センサ300において、スライダ13以外の構成は、実施の形態1の変位センサ100の構成と同様であり説明を省略する。なお、変位センサ300は、蓋25をさらに備えるようにしてもよい。
Embodiment 3
Subsequently, a configuration example of the displacement sensor 300 according to the third embodiment of the present invention will be described. The displacement sensor 300 according to the third embodiment includes a shaft cap 11, a metal shaft 12, a slider 13, a coil base 21, a coil 22, and a displacement amount measuring unit 23. The configuration of the displacement sensor 300 other than the slider 13 is the same as the configuration of the displacement sensor 100 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. The displacement sensor 300 may further include a lid 25.

図5は、シャフトキャップ11、金属シャフト12、及びスライダ13が接続された構成を示す図である。スライダ13は、円柱状である。なお、スライダ13に用いられる素材は、例えばポリアセタール樹脂等の摺動性がよいものが好ましい。また、スライダ13は、中空であってもよい。スライダ13が中空である場合、金属シャフト12とスライダ13との接続は、例えば、スライダ13の中空に金属シャフト12を圧入することにより行う。 FIG. 5 is a diagram showing a configuration in which the shaft cap 11, the metal shaft 12, and the slider 13 are connected. The slider 13 has a columnar shape. The material used for the slider 13 is preferably a material having good slidability, such as polyacetal resin. Further, the slider 13 may be hollow. When the slider 13 is hollow, the connection between the metal shaft 12 and the slider 13 is performed, for example, by press-fitting the metal shaft 12 into the hollow of the slider 13.

続いて、図6を用いて、スライダ13の外周面が、コイルベース21の内周面に密着している状態について説明する。図6は、シャフトキャップ11、金属シャフト12、スライダ13、及びコイルベース21の側面断面図である。なお、図6の例では、金属シャフト12及びスライダ13は中空である。 Subsequently, a state in which the outer peripheral surface of the slider 13 is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base 21 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a side sectional view of the shaft cap 11, the metal shaft 12, the slider 13, and the coil base 21. In the example of FIG. 6, the metal shaft 12 and the slider 13 are hollow.

コイルベース21の中空部分は円柱状である。また、スライダ13の外周側面の円周寸法は、コイルベース21の内周側面の円周寸法と同じである。すなわち、スライダ13の外周面は、コイルベース21の内周面に密着する。さらに、スライダ13の素材として摺動性がよい素材を用いることにより、スライダ13は、コイルベース21の長手方向に動くことができる。すなわち、スライダ13の外周面がコイルベース21の内周面に密着した状態で、金属シャフト12はコイルベース21の長手方向に動くことができる。 The hollow portion of the coil base 21 is columnar. Further, the circumferential dimension of the outer peripheral side surface of the slider 13 is the same as the circumferential dimension of the inner peripheral side surface of the coil base 21. That is, the outer peripheral surface of the slider 13 is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base 21. Further, by using a material having good slidability as the material of the slider 13, the slider 13 can move in the longitudinal direction of the coil base 21. That is, the metal shaft 12 can move in the longitudinal direction of the coil base 21 while the outer peripheral surface of the slider 13 is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base 21.

スライダ13の外周面がコイルベース21の内周面に密着した状態であるため、金属シャフト12は、コイルベース21の長手方向にしか動かない。このため、変位センサ300では、被測定物600が測定方向(コイルベース21の長手方向)以外の方向へ動いたとしても、金属シャフト12がコイルベース21の長手方向以外には動かないようにすることができる。すなわち、変位センサ300では、被測定物600における測定方向の変位量を正確に測定することができる。 Since the outer peripheral surface of the slider 13 is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base 21, the metal shaft 12 moves only in the longitudinal direction of the coil base 21. Therefore, in the displacement sensor 300, even if the object to be measured 600 moves in a direction other than the measurement direction (longitudinal direction of the coil base 21), the metal shaft 12 is prevented from moving in a direction other than the longitudinal direction of the coil base 21. be able to. That is, the displacement sensor 300 can accurately measure the amount of displacement of the object to be measured 600 in the measurement direction.

以上のように、本発明の実施の形態3にかかる変位センサ300では、金属シャフト12にスライダ13が接続される構成としている。また、変位センサ300では、スライダ13の外周面が、コイルベース21の内周面に密着した構成としている。さらに、変位センサ300では、スライダ13の素材として摺動性がよい素材を用いる構成としている。これにより、変位センサ300では、金属シャフト12がコイルベース21の長手方向以外には動かないようにすることができる。すなわち、変位センサ300では、被測定物600における測定方向の変位量を正確に測定することができる。 As described above, in the displacement sensor 300 according to the third embodiment of the present invention, the slider 13 is connected to the metal shaft 12. Further, in the displacement sensor 300, the outer peripheral surface of the slider 13 is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base 21. Further, the displacement sensor 300 is configured to use a material having good slidability as the material of the slider 13. As a result, in the displacement sensor 300, the metal shaft 12 can be prevented from moving except in the longitudinal direction of the coil base 21. That is, the displacement sensor 300 can accurately measure the amount of displacement of the object to be measured 600 in the measurement direction.

実施の形態4
続いて、図7を用いて、本発明の実施の形態4にかかる変位センサ400の構成例について説明する。本発明の実施の形態4にかかる変位センサ400は、シャフトキャップ11と、金属シャフト12と、コイルベース21と、コイル22と、変位量測定部23と、第1のケース26と、第2のケース27と、を備えている。なお、変位センサ400において、第1のケース26及び第2のケース27以外の構成は、実施の形態1の変位センサ100の構成と同様であり説明を省略する。なお、変位センサ400は、蓋25をさらに備えるようにしてもよい。また、変位センサ400は、スライダ13をさらに備えるようにしてもよい。
Embodiment 4
Subsequently, a configuration example of the displacement sensor 400 according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 7. The displacement sensor 400 according to the fourth embodiment of the present invention includes a shaft cap 11, a metal shaft 12, a coil base 21, a coil 22, a displacement amount measuring unit 23, a first case 26, and a second case. It is provided with a case 27. The configuration of the displacement sensor 400 other than the first case 26 and the second case 27 is the same as the configuration of the displacement sensor 100 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. The displacement sensor 400 may further include a lid 25. Further, the displacement sensor 400 may further include a slider 13.

第1のケース26は、コイル22が巻かれた状態のコイルベース21を格納するケースである。なお、第1のケース26に用いられる素材は、例えばアルミニウム等の金属である。コイル22が巻かれた状態のコイルベース21を第1のケース26に格納することにより、金属シャフト12の変位量の測定における外部からのノイズの影響を防止することができる。 The first case 26 is a case for storing the coil base 21 in a state where the coil 22 is wound. The material used in the first case 26 is a metal such as aluminum. By storing the coil base 21 in which the coil 22 is wound in the first case 26, it is possible to prevent the influence of external noise in measuring the displacement amount of the metal shaft 12.

なお、第1のケース26とコイルベース21との間に、図示しない磁性体シートを配置するようにしてもよい。なお、磁性体シートに用いられる磁性体の種類は、例えばフェライトである。第1のケース26とコイルベース21との間に磁性体シートを配置することにより、金属シャフト12の変位量の測定における第1のケース26の金属の影響を軽減することができる。 A magnetic sheet (not shown) may be arranged between the first case 26 and the coil base 21. The type of magnetic material used for the magnetic material sheet is, for example, ferrite. By arranging the magnetic material sheet between the first case 26 and the coil base 21, it is possible to reduce the influence of the metal of the first case 26 on the measurement of the displacement amount of the metal shaft 12.

第2のケース27は、変位量測定部23を格納するケースである。なお、第2のケース27に用いられる素材は、例えば樹脂である。変位量測定部23を第2のケース27に格納することにより、降雨等による変位量測定部23への浸水を防止することができる。 The second case 27 is a case for storing the displacement amount measuring unit 23. The material used in the second case 27 is, for example, resin. By storing the displacement amount measuring unit 23 in the second case 27, it is possible to prevent water from entering the displacement amount measuring unit 23 due to rainfall or the like.

以上のように、本発明の実施の形態4にかかる変位センサ400では、コイル22が巻かれた状態のコイルベース21を格納する第1のケース26を備える構成としている。これにより、変位センサ400では、金属シャフト12の変位量の測定における外部からのノイズの影響を防止することができる。 As described above, the displacement sensor 400 according to the fourth embodiment of the present invention includes a first case 26 for storing the coil base 21 in which the coil 22 is wound. As a result, the displacement sensor 400 can prevent the influence of external noise in measuring the displacement amount of the metal shaft 12.

また、変位センサ400では、変位量測定部23を格納する第2のケース27を備える構成としている。これにより、変位センサ400では、降雨等による変位量測定部23への浸水を防止することができる。 Further, the displacement sensor 400 is configured to include a second case 27 for storing the displacement amount measuring unit 23. As a result, the displacement sensor 400 can prevent water from entering the displacement amount measuring unit 23 due to rainfall or the like.

実施の形態5
続いて、図8を用いて、本発明の実施の形態5にかかる変位センサ500の構成例について説明する。本発明の実施の形態5にかかる変位センサ500は、シャフトキャップ11と、金属シャフト12と、コイルベース21と、コイル22と、変位量測定部23と、第1のコネクタ28と、第2のコネクタ29と、送受信部30と、を備えている。なお、変位センサ500において、第1のコネクタ28、第2のコネクタ29、及び送受信部30以外の構成は、実施の形態1の変位センサ100の構成と同様であり説明を省略する。なお、変位センサ500は、蓋25をさらに備えるようにしてもよい。また、変位センサ500は、スライダ13をさらに備えるようにしてもよい。さらに、変位センサ500は、第1のケース26及び第2のケース27をさらに備えるようにしてもよい。
Embodiment 5
Subsequently, a configuration example of the displacement sensor 500 according to the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The displacement sensor 500 according to the fifth embodiment of the present invention includes a shaft cap 11, a metal shaft 12, a coil base 21, a coil 22, a displacement amount measuring unit 23, a first connector 28, and a second connector. It includes a connector 29 and a transmission / reception unit 30. The configuration of the displacement sensor 500 other than the first connector 28, the second connector 29, and the transmission / reception unit 30 is the same as the configuration of the displacement sensor 100 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. The displacement sensor 500 may further include a lid 25. Further, the displacement sensor 500 may further include a slider 13. Further, the displacement sensor 500 may further include a first case 26 and a second case 27.

第1のコネクタ28は、他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信するためのコネクタである。 The first connector 28 is a connector for receiving the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor.

第2のコネクタ29は、変位量測定部23における金属シャフト12の変位量の測定結果及び他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果の少なくとも一方を送信するためのコネクタである。 The second connector 29 is a connector for transmitting at least one of the measurement result of the displacement amount of the metal shaft 12 by the displacement amount measuring unit 23 and the measurement result of the displacement amount of the metal shaft by another displacement sensor.

送受信部30は、第1のコネクタ28を介した変位量の測定結果の受信及び第2のコネクタ29を介した変位量の測定結果の送信の少なくとも一方を行う送受信部である。 The transmission / reception unit 30 is a transmission / reception unit that receives at least one of the measurement result of the displacement amount via the first connector 28 and the transmission of the measurement result of the displacement amount via the second connector 29.

具体的には、送受信部30は、変位量測定部23における金属シャフト12の変位量の測定結果を変位量測定部23から受け取る。また、送受信部30は、第1のコネクタ28を介して、他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信した場合、変位量測定部23における金属シャフト12の変位量の測定結果と、他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果とを、第2のコネクタ29を介して送信する。また、送受信部30は、第1のコネクタ28を介して、他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信しない場合、変位量測定部23における金属シャフト12の変位量の測定結果のみを第2のコネクタ29を介して送信する。 Specifically, the transmission / reception unit 30 receives the measurement result of the displacement amount of the metal shaft 12 in the displacement amount measurement unit 23 from the displacement amount measurement unit 23. Further, when the transmission / reception unit 30 receives the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor via the first connector 28, the transmission / reception unit 30 and the measurement result of the displacement amount of the metal shaft 12 in the displacement amount measurement unit 23 , The measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor is transmitted via the second connector 29. Further, when the transmission / reception unit 30 does not receive the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the other displacement sensor via the first connector 28, only the measurement result of the displacement amount of the metal shaft 12 in the displacement amount measurement unit 23 Is transmitted via the second connector 29.

続いて、図9のブロック図を用いて、実施の形態5にかかる変位測定装置1の構成例について説明する。変位測定装置1は、第1の変位センサ500Aと、第2の変位センサ500Bと、第3の変位センサ500Cと、子局700と、を備えている。また、第1の変位センサ500Aと、第2の変位センサ500Bと、第3の変位センサ500Cと、子局700とは、数珠つなぎに接続される。 Subsequently, a configuration example of the displacement measuring device 1 according to the fifth embodiment will be described with reference to the block diagram of FIG. The displacement measuring device 1 includes a first displacement sensor 500A, a second displacement sensor 500B, a third displacement sensor 500C, and a slave station 700. Further, the first displacement sensor 500A, the second displacement sensor 500B, the third displacement sensor 500C, and the slave station 700 are connected in a string.

第1の変位センサ500A、第2の変位センサ500B、及び第3の変位センサ500Cは、被測定物600におけるそれぞれ異なる方向の変位量を測定する3つの変位センサである。なお、図9の例では、変位センサの数は3つであるが、変位センサの数は複数、すなわち2以上であればいくつでもよい。本例では、第1の変位センサ500Aが被測定物600のX方向の変位量を測定し、第2の変位センサ500Bが被測定物600のY方向の変位量を測定し、第3の変位センサ500Cが被測定物600のZ方向の変位量を測定する場合について説明する。 The first displacement sensor 500A, the second displacement sensor 500B, and the third displacement sensor 500C are three displacement sensors that measure the amount of displacement of the object to be measured 600 in different directions. In the example of FIG. 9, the number of displacement sensors is three, but the number of displacement sensors may be a plurality, that is, any number as long as it is two or more. In this example, the first displacement sensor 500A measures the amount of displacement of the object to be measured 600 in the X direction, the second displacement sensor 500B measures the amount of displacement of the object to be measured 600 in the Y direction, and the third displacement. A case where the sensor 500C measures the displacement amount of the object to be measured 600 in the Z direction will be described.

また、第1の変位センサ500A、第2の変位センサ500B、及び第3の変位センサ500Cは、それぞれ図8を用いて説明した変位センサ500により構成される。なお、図9における28A、28B、28Cの符号で示すコネクタは、それぞれ第1の変位センサ500A、第2の変位センサ500B、第3の変位センサ500Cにおける第1のコネクタである。また、図9における29A、29B、29Cの符号で示すコネクタは、それぞれ第1の変位センサ500A、第2の変位センサ500B、第3の変位センサ500Cにおける第2のコネクタである。 Further, the first displacement sensor 500A, the second displacement sensor 500B, and the third displacement sensor 500C are each composed of the displacement sensor 500 described with reference to FIG. The connectors indicated by the reference numerals 28A, 28B, and 28C in FIG. 9 are the first connectors in the first displacement sensor 500A, the second displacement sensor 500B, and the third displacement sensor 500C, respectively. Further, the connectors indicated by the reference numerals 29A, 29B, and 29C in FIG. 9 are the second connectors in the first displacement sensor 500A, the second displacement sensor 500B, and the third displacement sensor 500C, respectively.

第1の変位センサ500Aは、自身が備える変位量測定部23Aにより被測定物600のX方向の変位量を測定する。また、変位量測定部23Aは、被測定物600のX方向の変位量の測定結果を送受信部30Aへ出力する。そして、送受信部30Aは、被測定物600のX方向の変位量の測定結果を、第2のコネクタ29Aを介して第2の変位センサ500Bへ送信する。 The first displacement sensor 500A measures the displacement amount of the object to be measured 600 in the X direction by the displacement amount measuring unit 23A provided by the first displacement sensor 500A. Further, the displacement amount measuring unit 23A outputs the measurement result of the displacement amount of the object to be measured 600 in the X direction to the transmission / reception unit 30A. Then, the transmission / reception unit 30A transmits the measurement result of the displacement amount of the object to be measured 600 in the X direction to the second displacement sensor 500B via the second connector 29A.

第2の変位センサ500Bは、自身が備える変位量測定部23Bにより被測定物600のY方向の変位量を測定する。また、変位量測定部23Bは、被測定物600のY方向の変位量の測定結果を送受信部30Bへ出力する。また、送受信部30Bは、第1のコネクタ28Bを介して被測定物600のX方向の変位量の測定結果を受信する。そして、送受信部30Bは、被測定物600のX方向の変位量の測定結果及びY方向の変位量の測定結果を、第2のコネクタ29Bを介して第3の変位センサ500Cへ送信する。 The second displacement sensor 500B measures the displacement amount of the object to be measured 600 in the Y direction by the displacement amount measuring unit 23B provided by the second displacement sensor 500B. Further, the displacement amount measuring unit 23B outputs the measurement result of the displacement amount of the object to be measured 600 in the Y direction to the transmission / reception unit 30B. Further, the transmission / reception unit 30B receives the measurement result of the displacement amount of the object to be measured 600 in the X direction via the first connector 28B. Then, the transmission / reception unit 30B transmits the measurement result of the displacement amount in the X direction and the measurement result of the displacement amount in the Y direction of the object to be measured 600 to the third displacement sensor 500C via the second connector 29B.

第3の変位センサ500Cは、自身が備える変位量測定部23Cにより被測定物600のZ方向の変位量を測定する。また、変位量測定部23Cは、被測定物600のZ方向の変位量の測定結果を送受信部30Cへ出力する。また、送受信部30Cは、第1のコネクタ28Cを介して被測定物600のX方向の変位量の測定結果及びY方向の変位量の測定結果を受信する。そして、送受信部30Cは、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を、第2のコネクタ29Cを介して子局700へ送信する。 The third displacement sensor 500C measures the displacement amount of the object to be measured 600 in the Z direction by the displacement amount measuring unit 23C provided by the third displacement sensor 500C. Further, the displacement amount measuring unit 23C outputs the measurement result of the displacement amount of the object to be measured 600 in the Z direction to the transmission / reception unit 30C. Further, the transmission / reception unit 30C receives the measurement result of the displacement amount in the X direction and the measurement result of the displacement amount in the Y direction of the object to be measured 600 via the first connector 28C. Then, the transmission / reception unit 30C transfers the measurement result of the displacement amount in the X direction, the measurement result of the displacement amount in the Y direction, and the measurement result of the displacement amount in the Z direction of the object to be measured 600 via the second connector 29C. Send to station 700.

子局700は、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を受信する。 The slave station 700 receives the measurement result of the displacement amount in the X direction of the object to be measured 600, the measurement result of the displacement amount in the Y direction, and the measurement result of the displacement amount in the Z direction.

以上のように、実施の形態5にかかる変位測定装置1では、第1の変位センサ500Aと、第2の変位センサ500Bと、第3の変位センサ500Cと、子局700とは、数珠つなぎに接続される構成としている。また、変位測定装置1では、第1の変位センサ500Aが被測定物600のX方向の変位量を測定し、第2の変位センサ500Bが被測定物600のY方向の変位量を測定し、第3の変位センサ500Cが被測定物600のZ方向の変位量を測定する構成としている。これにより、変位測定装置1では、子局700が、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を受信することができる。 As described above, in the displacement measuring device 1 according to the fifth embodiment, the first displacement sensor 500A, the second displacement sensor 500B, the third displacement sensor 500C, and the slave station 700 are connected in a string. It is configured to be connected. Further, in the displacement measuring device 1, the first displacement sensor 500A measures the amount of displacement of the object to be measured 600 in the X direction, and the second displacement sensor 500B measures the amount of displacement of the object to be measured 600 in the Y direction. The third displacement sensor 500C is configured to measure the amount of displacement of the object to be measured 600 in the Z direction. As a result, in the displacement measuring device 1, the slave station 700 receives the measurement result of the displacement amount in the X direction, the measurement result of the displacement amount in the Y direction, and the measurement result of the displacement amount in the Z direction of the object to be measured 600. Can be done.

続いて、図10のブロック図を用いて、実施の形態5にかかるネットワークセンサシステム10について説明する。ネットワークセンサシステム10は、変位測定装置1と、親局2と、ネットワーク3と、サーバ4と、を備えている。 Subsequently, the network sensor system 10 according to the fifth embodiment will be described with reference to the block diagram of FIG. The network sensor system 10 includes a displacement measuring device 1, a master station 2, a network 3, and a server 4.

変位測定装置1は、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を親局2へ送信する。 The displacement measuring device 1 transmits the measurement result of the displacement amount in the X direction of the object to be measured 600, the measurement result of the displacement amount in the Y direction, and the measurement result of the displacement amount in the Z direction to the master station 2.

親局2は、例えばエッジコンピュータである。親局2は、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を、ネットワーク3を介してサーバ4へ送信する。なお、ネットワーク3は、例えば第3世代携帯電話のネットワークであるが、これに限らない。 The master station 2 is, for example, an edge computer. The master station 2 transmits the measurement result of the displacement amount in the X direction, the measurement result of the displacement amount in the Y direction, and the measurement result of the displacement amount in the Z direction of the object to be measured 600 to the server 4 via the network 3. The network 3 is, for example, a network of a third-generation mobile phone, but is not limited to this.

以上のように、実施の形態5にかかるネットワークセンサシステム10では、変位測定装置1が、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を、親局2及びネットワーク3を介してサーバ4へ送信する構成としている。これにより、ネットワークセンサシステム10では、変位測定装置1が、被測定物600のX方向の変位量の測定結果、Y方向の変位量の測定結果、及びZ方向の変位量の測定結果を、サーバ4へ提供することができる。すなわち、橋梁等のインフラを被測定物600として用いる場合、遠隔でのインフラの状態を常時モニタリングすることができる。 As described above, in the network sensor system 10 according to the fifth embodiment, the displacement measuring device 1 measures the displacement amount of the object 600 in the X direction, the displacement amount in the Y direction, and the Z direction. The displacement measurement result is transmitted to the server 4 via the master station 2 and the network 3. As a result, in the network sensor system 10, the displacement measuring device 1 transmits the measurement result of the displacement amount in the X direction, the measurement result of the displacement amount in the Y direction, and the measurement result of the displacement amount in the Z direction of the object to be measured 600 to the server. Can be provided to 4. That is, when an infrastructure such as a bridge is used as the object to be measured 600, the state of the infrastructure can be constantly monitored remotely.

以上、実施の形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施の形態によって限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。 Although the present invention has been described above with reference to the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. Various changes that can be understood by those skilled in the art can be made within the scope of the invention in the configuration and details of the invention of the present application.

例えば、変位センサ100〜変位センサ500は、図11A及び図11Bに示すカバー40に格納されるようにしてもよい。カバー40に格納されることにより、変位センサ100〜変位センサ500の防塵効果及び防水効果を奏することができる。なお、カバー40は蛇腹構造であり、被測定物600の測定方向の変位に応じて、図11Aに示す状態と図11Bに示す状態との間で遷移することができる。 For example, the displacement sensors 100 to 500 may be housed in the cover 40 shown in FIGS. 11A and 11B. By being stored in the cover 40, the displacement sensor 100 to the displacement sensor 500 can have a dustproof effect and a waterproof effect. The cover 40 has a bellows structure, and can transition between the state shown in FIG. 11A and the state shown in FIG. 11B according to the displacement of the object to be measured 600 in the measurement direction.

また、変位センサをカバー40に格納する構成とする場合に、シャフトキャップ11及び金属シャフト12を、図12に示すシャフトキャップ11A及び金属シャフト12Aに代えるようにしてもよい。シャフトキャップ11Aは、ベント14と、第1の空気穴15と、を備えている。また、金属シャフト12Aは、中空であり、第2の空気穴16を備えている。 Further, when the displacement sensor is housed in the cover 40, the shaft cap 11 and the metal shaft 12 may be replaced with the shaft cap 11A and the metal shaft 12A shown in FIG. The shaft cap 11A includes a vent 14 and a first air hole 15. Further, the metal shaft 12A is hollow and includes a second air hole 16.

ベント14は、空気を通すが水を通さないものである。図12の例では、第1の空気穴15は、ベント14との隣接位置に設けられている。また、第2の空気穴16は、金属シャフト12Aにおけるスライダ13との接続部分の近傍に設けられている。シャフトキャップ11A及び金属シャフト12Aでは、第2の空気穴16、金属シャフト12Aの中空部分、ベント14、及び第1の空気穴15からなる空気の通る経路を構成している。また、水はベント14により通さない構成としている。これにより、シャフトキャップ11A及び金属シャフト12Aを備えた変位センサでは、カバー40の蛇腹が収縮又は伸張した場合に、この経路によって空気を出入りさせることができる。また、シャフトキャップ11A及び金属シャフト12Aを備えた変位センサでは、この経路に水は通さないようにすることができる。 The vent 14 allows air to pass through but does not allow water to pass through. In the example of FIG. 12, the first air hole 15 is provided at a position adjacent to the vent 14. Further, the second air hole 16 is provided in the vicinity of the connecting portion of the metal shaft 12A with the slider 13. The shaft cap 11A and the metal shaft 12A form a path through which air passes, which is composed of a second air hole 16, a hollow portion of the metal shaft 12A, a vent 14, and a first air hole 15. In addition, water is not allowed to pass through the vent 14. As a result, in the displacement sensor provided with the shaft cap 11A and the metal shaft 12A, when the bellows of the cover 40 contracts or expands, air can be taken in and out by this path. Further, in the displacement sensor provided with the shaft cap 11A and the metal shaft 12A, water can be prevented from passing through this path.

また、変位センサをカバー40に格納する構成とする場合に、シャフトキャップ11又は第2のケース27が第1の空気穴を備える構成としてもよい。シャフトキャップ11又は第2のケース27が第1の空気穴を備える例を図13A〜図13Cに示す。なお、変位センサを設置する環境を想定して、第1の空気穴が地面方向(Z軸マイナス方向)となるように配置することが好ましい。 Further, when the displacement sensor is housed in the cover 40, the shaft cap 11 or the second case 27 may be provided with the first air hole. An example in which the shaft cap 11 or the second case 27 includes the first air hole is shown in FIGS. 13A to 13C. Assuming an environment in which the displacement sensor is installed, it is preferable to arrange the first air hole so as to be in the ground direction (Z-axis minus direction).

図13Aの例では、シャフトキャップ11Bは、第1の空気穴15Bを備えた構成としている。また、第1の空気穴15Bは、地面方向となるように配置されている。また、金属シャフト12Aは、中空であり、第2の空気穴16を備えている。シャフトキャップ11B及び金属シャフト12Aでは、第2の空気穴16、金属シャフト12Aの中空部分、及び第1の空気穴15Bからなる空気の通る経路を構成している。また、第1の空気穴15Bは、地面方向となるように配置されているため、降雨による水が入りにくい。これにより、シャフトキャップ11A及び金属シャフト12Bを備えた変位センサでは、カバー40の蛇腹が収縮又は伸張した場合に、この経路によって空気を出入りさせることができる。また、シャフトキャップ11A及び金属シャフト12Bを備えた変位センサでは、この経路に水を通しにくくすることができる。なお、変位センサを設置する環境を想定して、第1の空気穴15Bの配置を図13Bに示す位置としてもよい。 In the example of FIG. 13A, the shaft cap 11B has a configuration including a first air hole 15B. Further, the first air hole 15B is arranged so as to face the ground. Further, the metal shaft 12A is hollow and includes a second air hole 16. The shaft cap 11B and the metal shaft 12A form a path through which air passes, which is composed of a second air hole 16, a hollow portion of the metal shaft 12A, and a first air hole 15B. Further, since the first air hole 15B is arranged so as to face the ground, it is difficult for water due to rainfall to enter. As a result, in the displacement sensor provided with the shaft cap 11A and the metal shaft 12B, when the bellows of the cover 40 contracts or expands, air can be taken in and out by this path. Further, in the displacement sensor provided with the shaft cap 11A and the metal shaft 12B, it is possible to make it difficult for water to pass through this path. Assuming an environment in which the displacement sensor is installed, the arrangement of the first air hole 15B may be the position shown in FIG. 13B.

図13Cの例では、第2のケース27Bは、第1の空気穴31を備えた構成としている。また、第1の空気穴31は、地面方向となるように配置されている。また、金属シャフト12Aは、中空であり、第2の空気穴16を備えている。金属シャフト12A及び第2のケース27Bでは、第2の空気穴16、金属シャフト12Aの中空部分、コイルベース21の中空部分、及び第1の空気穴31からなる空気の通る経路を構成している。また、第1の空気穴31は、地面方向となるように配置されているため、降雨による水が入りにくい。これにより、金属シャフト12A及び第2のケース27Bを備えた変位センサでは、カバー40の蛇腹が収縮又は伸張した場合に、この経路によって空気を出入りさせることができる。また、金属シャフト12A及び第2のケース27Bを備えた変位センサでは、この経路に水を通しにくくすることができる。 In the example of FIG. 13C, the second case 27B is configured to include the first air hole 31. Further, the first air hole 31 is arranged so as to face the ground. Further, the metal shaft 12A is hollow and includes a second air hole 16. In the metal shaft 12A and the second case 27B, a path through which air passes is formed by the second air hole 16, the hollow portion of the metal shaft 12A, the hollow portion of the coil base 21, and the first air hole 31. .. Further, since the first air hole 31 is arranged so as to face the ground, it is difficult for water due to rainfall to enter. As a result, in the displacement sensor provided with the metal shaft 12A and the second case 27B, when the bellows of the cover 40 contracts or expands, air can be taken in and out by this path. Further, in the displacement sensor provided with the metal shaft 12A and the second case 27B, it is possible to make it difficult for water to pass through this path.

なお、第1の空気穴15B及び第1の空気穴31を両方備えるようにし、第1の空気穴15B及び第1の空気穴31にかぶせる蓋をさらに備える構成としてもよい。この場合、第1の空気穴15B及び第1の空気穴31のうちの使用しない一方の空気穴に蓋をすることにより、図13A〜図13Cの例と同様の効果を奏することができる。 In addition, a configuration may be configured in which both the first air hole 15B and the first air hole 31 are provided, and a lid is further provided to cover the first air hole 15B and the first air hole 31. In this case, by covering one of the unused air holes of the first air hole 15B and the first air hole 31 with a lid, the same effect as that of the examples of FIGS. 13A to 13C can be obtained.

また、上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。 In addition, some or all of the above embodiments may be described as in the following appendix, but are not limited to the following.

(付記1)
被測定物と接触する部分であるシャフトキャップと、
前記シャフトキャップに接続された金属シャフトと、
中空であり、前記金属シャフトが挿入されるコイルベースと、
前記コイルベースの外周面に巻かれたコイルと、
前記コイルに電流を流した状態で、前記金属シャフトが前記コイルベース内を動くことによる前記コイルのインダクタンス及び抵抗の変化を測定することにより、前記金属シャフトの変位量を測定する変位量測定部と、を備え、
前記コイルベースの外周面に螺旋状の補助溝が設けられ、
前記コイルは前記補助溝に巻かれる、
変位センサ。
(Appendix 1)
The shaft cap, which is the part that comes into contact with the object to be measured,
With the metal shaft connected to the shaft cap,
A coil base that is hollow and into which the metal shaft is inserted,
The coil wound around the outer peripheral surface of the coil base and
With a displacement amount measuring unit that measures the displacement amount of the metal shaft by measuring changes in the inductance and resistance of the coil as the metal shaft moves in the coil base while a current is flowing through the coil. With,
A spiral auxiliary groove is provided on the outer peripheral surface of the coil base.
The coil is wound in the auxiliary groove,
Displacement sensor.

(付記2)
前記補助溝は、V字状に設けられる、付記1に記載の変位センサ。
(Appendix 2)
The displacement sensor according to Appendix 1, wherein the auxiliary groove is provided in a V shape.

(付記3)
前記補助溝にかぶせる蓋をさらに備える、付記1又は2に記載の変位センサ。
(Appendix 3)
The displacement sensor according to Appendix 1 or 2, further comprising a lid that covers the auxiliary groove.

(付記4)
前記金属シャフトは中空である、付記1乃至3のいずれか一項に記載の変位センサ。
(Appendix 4)
The displacement sensor according to any one of Appendix 1 to 3, wherein the metal shaft is hollow.

(付記5)
前記金属シャフトに接続されるスライダをさらに備え、
前記スライダの素材は、摺動性がよい素材であり、
前記スライダの外周面は、前記コイルベースの内周面に密着している、
付記1乃至4のいずれか一項に記載の変位センサ。
(Appendix 5)
Further provided with a slider connected to the metal shaft
The material of the slider is a material having good slidability.
The outer peripheral surface of the slider is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base.
The displacement sensor according to any one of Appendix 1 to 4.

(付記6)
前記コイルが巻かれた状態の前記コイルベースを格納する第1のケースをさらに備え、
前記第1のケースは金属ケースである、
付記1乃至5のいずれか一項に記載の変位センサ。
(Appendix 6)
Further provided with a first case for accommodating the coil base with the coil wound.
The first case is a metal case,
The displacement sensor according to any one of Appendix 1 to 5.

(付記7)
磁性体シートをさらに備え、
前記磁性体シートは、前記第1のケースと前記コイルベースとの間に配置される、
付記6に記載の変位センサ。
(Appendix 7)
With a magnetic sheet,
The magnetic sheet is arranged between the first case and the coil base.
The displacement sensor according to Appendix 6.

(付記8)
前記変位量測定部を格納する第2のケースをさらに備える、付記1乃至7のいずれか一項に記載の変位センサ。
(Appendix 8)
The displacement sensor according to any one of Appendix 1 to 7, further comprising a second case for storing the displacement amount measuring unit.

(付記9)
カバーをさらに備え、
前記変位センサは前記カバーに格納される、
付記1に記載の変位センサ。
(Appendix 9)
With more covers
The displacement sensor is housed in the cover.
The displacement sensor according to Appendix 1.

(付記10)
前記カバーは蛇腹構造である、付記9に記載の変位センサ。
(Appendix 10)
The displacement sensor according to Appendix 9, wherein the cover has a bellows structure.

(付記11)
前記シャフトキャップは、ベントと、第1の空気穴と、を備え、
前記金属シャフトは、中空であり、第2の空気穴を備える、
付記10に記載の変位センサ。
(Appendix 11)
The shaft cap comprises a vent and a first air hole.
The metal shaft is hollow and comprises a second air hole.
The displacement sensor according to Appendix 10.

(付記12)
前記変位量測定部を格納する第2のケースをさらに備え、
前記シャフトキャップ又は前記第2のケースは、第1の空気穴を備え、
前記金属シャフトは、中空であり、第2の空気穴を備える、
付記10に記載の変位センサ。
(Appendix 12)
A second case for storing the displacement amount measuring unit is further provided.
The shaft cap or the second case comprises a first air hole.
The metal shaft is hollow and comprises a second air hole.
The displacement sensor according to Appendix 10.

(付記13)
前記変位量測定部を格納する第2のケースと、
第1の空気穴にかぶせる蓋と、をさらに備え、
前記シャフトキャップ及び前記第2のケースは、前記第1の空気穴を備え、
前記金属シャフトは、中空であり、第2の空気穴を備える、
付記10に記載の変位センサ。
(Appendix 13)
A second case for storing the displacement amount measuring unit and
Further equipped with a lid to cover the first air hole,
The shaft cap and the second case include the first air hole.
The metal shaft is hollow and comprises a second air hole.
The displacement sensor according to Appendix 10.

(付記14)
被測定物におけるそれぞれ異なる方向の変位量を測定する複数の変位センサと、
前記複数の変位センサにおける変位量の測定結果を受信する子局と、を備え、
前記複数の変位センサの各々は、
前記被測定物と接触する部分であるシャフトキャップと、
前記シャフトキャップに接続された金属シャフトと、
中空であり、前記金属シャフトが挿入されるコイルベースと、
前記コイルベースの外周面に巻かれたコイルと、
前記コイルに電流を流した状態で、前記金属シャフトが前記コイルベース内を動くことによる前記コイルのインダクタンス及び抵抗の変化を測定することにより、前記金属シャフトの変位量を測定する変位量測定部と、
他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信するための第1のコネクタと、
前記変位量測定部における前記金属シャフトの変位量の測定結果及び前記他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果の少なくとも一方を送信するための第2のコネクタと、
前記第1のコネクタを介した変位量の測定結果の受信及び前記第2のコネクタを介した変位量の測定結果の送信の少なくとも一方を行う送受信部と、を備え、
前記コイルベースの外周面に螺旋状の補助溝が設けられ、
前記コイルは前記補助溝に巻かれ、
前記複数の変位センサ及び前記子局は、数珠つなぎに接続される、
変位測定装置。
(Appendix 14)
Multiple displacement sensors that measure the amount of displacement in different directions on the object to be measured,
A slave station that receives the measurement result of the displacement amount in the plurality of displacement sensors is provided.
Each of the plurality of displacement sensors
The shaft cap, which is the part that comes into contact with the object to be measured,
With the metal shaft connected to the shaft cap,
A coil base that is hollow and into which the metal shaft is inserted,
The coil wound around the outer peripheral surface of the coil base and
With a displacement amount measuring unit that measures the displacement amount of the metal shaft by measuring changes in the inductance and resistance of the coil as the metal shaft moves in the coil base while a current is flowing through the coil. ,
A first connector for receiving the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor, and
A second connector for transmitting at least one of the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the displacement amount measuring unit and the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the other displacement sensor.
A transmission / reception unit for receiving at least one of a displacement measurement result via the first connector and a displacement measurement result transmission via the second connector is provided.
A spiral auxiliary groove is provided on the outer peripheral surface of the coil base.
The coil is wound in the auxiliary groove and
The plurality of displacement sensors and the slave station are connected in a string of beads.
Displacement measuring device.

(付記15)
前記複数の変位センサは、第1の変位センサ、第2の変位センサ、及び第3の変位センサであり、
前記第1の変位センサは、前記被測定物のX方向の変位量を測定し、
前記第2の変位センサは、前記被測定物のY方向の変位量を測定し、
前記第3の変位センサは、前記被測定物のZ方向の変位量を測定する、
付記14に記載の変位測定装置。
(Appendix 15)
The plurality of displacement sensors are a first displacement sensor, a second displacement sensor, and a third displacement sensor.
The first displacement sensor measures the amount of displacement of the object to be measured in the X direction.
The second displacement sensor measures the amount of displacement of the object to be measured in the Y direction.
The third displacement sensor measures the amount of displacement of the object to be measured in the Z direction.
The displacement measuring device according to Appendix 14.

1 変位測定装置
11、11A、11B シャフトキャップ
12、12A 金属シャフト
13 スライダ
14 ベント
15、15B、31 第1の空気穴
16 第2の空気穴
21 コイルベース
22 コイル
23 変位量測定部
24 補助溝
25 蓋
26 第1のケース
27、27B 第2のケース
28 第1のコネクタ
29 第2のコネクタ
30 送受信部
40 カバー
100、200、300、400、500 変位センサ
600 被測定物
700 子局
1 Displacement measuring device 11, 11A, 11B Shaft cap 12, 12A Metal shaft 13 Slider 14 Vent 15, 15B, 31 First air hole 16 Second air hole 21 Coil base 22 Coil 23 Displacement amount measuring unit 24 Auxiliary groove 25 Lid 26 1st case 27, 27B 2nd case 28 1st connector 29 2nd connector 30 Transmitter / receiver 40 Cover 100, 200, 300, 400, 500 Displacement sensor 600 Measured object 700 Slave station

Claims (10)

被測定物と接触する部分であるシャフトキャップと、
前記シャフトキャップに接続された金属シャフトと、
中空であり、前記金属シャフトが挿入されるコイルベースと、
前記コイルベースの外周面に巻かれたコイルと、
前記コイルに電流を流した状態で、前記金属シャフトが前記コイルベース内を動くことによる前記コイルのインダクタンス及び抵抗の変化を測定することにより、前記金属シャフトの変位量を測定する変位量測定部と、を備え、
前記コイルベースの外周面に螺旋状の補助溝が設けられ、
前記コイルは、前記コイルベースとの間に隙間を設けた状態で、前記補助溝に巻かれる、
変位センサ。
The shaft cap, which is the part that comes into contact with the object to be measured,
With the metal shaft connected to the shaft cap,
A coil base that is hollow and into which the metal shaft is inserted,
The coil wound around the outer peripheral surface of the coil base and
With a displacement amount measuring unit that measures the displacement amount of the metal shaft by measuring changes in the inductance and resistance of the coil as the metal shaft moves in the coil base while a current is flowing through the coil. With,
A spiral auxiliary groove is provided on the outer peripheral surface of the coil base.
The coil is wound in the auxiliary groove with a gap provided between the coil and the coil base.
Displacement sensor.
前記補助溝は、V字状に設けられる、請求項1に記載の変位センサ。 The displacement sensor according to claim 1, wherein the auxiliary groove is provided in a V shape. 前記補助溝にかぶせる蓋をさらに備える、請求項1又は2に記載の変位センサ。 The displacement sensor according to claim 1 or 2, further comprising a lid that covers the auxiliary groove. 前記金属シャフトは中空である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の変位センサ。 The displacement sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the metal shaft is hollow. 前記金属シャフトに接続されるスライダをさらに備え、
前記スライダの素材は、摺動性がよい素材であり、
前記スライダの外周面は、前記コイルベースの内周面に密着している、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の変位センサ。
Further provided with a slider connected to the metal shaft
The material of the slider is a material having good slidability.
The outer peripheral surface of the slider is in close contact with the inner peripheral surface of the coil base.
The displacement sensor according to any one of claims 1 to 4.
前記コイルが巻かれた状態の前記コイルベースを格納する第1のケースをさらに備え、
前記第1のケースは金属ケースである、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の変位センサ。
Further provided with a first case for accommodating the coil base with the coil wound.
The first case is a metal case,
The displacement sensor according to any one of claims 1 to 5.
磁性体シートをさらに備え、
前記磁性体シートは、前記第1のケースと前記コイルベースとの間に配置される、
請求項6に記載の変位センサ。
With a magnetic sheet,
The magnetic sheet is arranged between the first case and the coil base.
The displacement sensor according to claim 6.
前記変位量測定部を格納する第2のケースをさらに備える、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の変位センサ。 The displacement sensor according to any one of claims 1 to 7, further comprising a second case for storing the displacement amount measuring unit. 他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信するための第1のコネクタと、
前記変位量測定部における前記金属シャフトの変位量の測定結果及び前記他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果の少なくとも一方を送信するための第2のコネクタと、
前記第1のコネクタを介した変位量の測定結果の受信及び前記第2のコネクタを介した変位量の測定結果の送信の少なくとも一方を行う送受信部と、をさらに備える、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の変位センサ。
A first connector for receiving the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor, and
A second connector for transmitting at least one of the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the displacement amount measuring unit and the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the other displacement sensor.
A transmission / reception unit that receives at least one of the displacement measurement result via the first connector and the displacement measurement result via the second connector is further provided.
The displacement sensor according to any one of claims 1 to 8.
被測定物におけるそれぞれ異なる方向の変位量を測定する複数の変位センサと、
前記複数の変位センサにおける変位量の測定結果を受信する子局と、を備え、
前記複数の変位センサの各々は、
前記被測定物と接触する部分であるシャフトキャップと、
前記シャフトキャップに接続された金属シャフトと、
中空であり、前記金属シャフトが挿入されるコイルベースと、
前記コイルベースの外周面に巻かれたコイルと、
前記コイルに電流を流した状態で、前記金属シャフトが前記コイルベース内を動くことによる前記コイルのインダクタンス及び抵抗の変化を測定することにより、前記金属シャフトの変位量を測定する変位量測定部と、
他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果を受信するための第1のコネクタと、
前記変位量測定部における前記金属シャフトの変位量の測定結果及び前記他の変位センサにおける金属シャフトの変位量の測定結果の少なくとも一方を送信するための第2のコネクタと、
前記第1のコネクタを介した変位量の測定結果の受信及び前記第2のコネクタを介した変位量の測定結果の送信の少なくとも一方を行う送受信部と、を備え、
前記コイルベースの外周面に螺旋状の補助溝が設けられ、
前記コイルは、前記コイルベースとの間に隙間を設けた状態で、前記補助溝に巻かれ、
前記複数の変位センサ及び前記子局は、数珠つなぎに接続される、
変位測定装置。


Multiple displacement sensors that measure the amount of displacement in different directions on the object to be measured,
A slave station that receives the measurement result of the displacement amount in the plurality of displacement sensors is provided.
Each of the plurality of displacement sensors
The shaft cap, which is the part that comes into contact with the object to be measured,
With the metal shaft connected to the shaft cap,
A coil base that is hollow and into which the metal shaft is inserted,
The coil wound around the outer peripheral surface of the coil base and
With a displacement amount measuring unit that measures the displacement amount of the metal shaft by measuring changes in the inductance and resistance of the coil as the metal shaft moves in the coil base while a current is flowing through the coil. ,
A first connector for receiving the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in another displacement sensor, and
A second connector for transmitting at least one of the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the displacement amount measuring unit and the measurement result of the displacement amount of the metal shaft in the other displacement sensor.
A transmission / reception unit for receiving at least one of a displacement measurement result via the first connector and a displacement measurement result transmission via the second connector is provided.
A spiral auxiliary groove is provided on the outer peripheral surface of the coil base.
The coil is wound around the auxiliary groove with a gap provided between the coil and the coil base.
The plurality of displacement sensors and the slave station are connected in a string of beads.
Displacement measuring device.


JP2017000533A 2017-01-05 2017-01-05 Displacement sensor and displacement measuring device Active JP6835406B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017000533A JP6835406B2 (en) 2017-01-05 2017-01-05 Displacement sensor and displacement measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017000533A JP6835406B2 (en) 2017-01-05 2017-01-05 Displacement sensor and displacement measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018109572A JP2018109572A (en) 2018-07-12
JP6835406B2 true JP6835406B2 (en) 2021-02-24

Family

ID=62844333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017000533A Active JP6835406B2 (en) 2017-01-05 2017-01-05 Displacement sensor and displacement measuring device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6835406B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018109572A (en) 2018-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5678086B2 (en) Bearing management using fiber Bragg grating
AU2012377797B2 (en) Module for determining an operating characteristic of a bearing
RU2635016C2 (en) Intra-tube projectile with wireless data transmission system
US8130101B2 (en) Embedded power cable sensor array
EP2950109A1 (en) Calibration methods for voltage sensing devices
RU2755460C2 (en) System, method and device for tracking characteristics of fire-fighting, smoke-fighting, thermal or anti-water barrier device
JP2013537486A (en) Apparatus for measuring physical parameters of continuous casting molds.
EP3164688B1 (en) Flexible pipe body and sensing method
KR102682971B1 (en) Foreign Object Detection System and Method using FOD balanced coil with Temperature Sensor
EP3163288A2 (en) New probes and devices for cathodic protection inspection of subsea pipelines
JP6835406B2 (en) Displacement sensor and displacement measuring device
CN109963666B (en) Method for manufacturing a sensor system and method for manufacturing an umbilical
WO2020220286A1 (en) Power cable joint device and electric system
CN102645286A (en) Built-in ring support temperature measuring device
JP7687826B2 (en) Cables, sensing cables, and sensing systems
EP2881700B1 (en) Device and method for detecting ovality of circumferential cross section of a heat-exchanger tube
JP2025507421A (en) Vibration Technology Components
KR101604618B1 (en) Real-time apparatus for detecting deformation data of tank type structures
CN110520947B (en) Static electric induction device comprising a winding and a sensor system for monitoring the temperature in the winding
WO2017002020A1 (en) System and method for detecting a fault in an overhead power line
EP3676124B1 (en) A device in a cardan shaft, related cardan shaft and operation method of said device in the cardan shaft
US20150092818A1 (en) Apparatus and Method for Monitoring a Reactor Surface
JP5684694B2 (en) Cable characteristic measuring device
CN205280996U (en) Pipeline is revealed to detect and is used communication optical cable
CN219915376U (en) Mounting structure and concrete chloride ion monitoring device

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20170713

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191204

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200908

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200915

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201012

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210128

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6835406

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150