JP6846594B2

JP6846594B2 - ファンフィルターユニット

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Publication number: JP6846594B2
Application number: JP2016254959A
Authority: JP
Inventors: 安井　伸行; 伸行安井; 忍織戸; 大輔小河; 隆志本庄
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2016-12-28
Filing date: 2016-12-28
Publication date: 2021-03-24
Anticipated expiration: 2036-12-28
Also published as: JP2018105576A

Description

本発明は、クリーン環境が必要とされる液晶パネル工場等のクリーンルームや、製造設備である半導体製造装置、クリーンブース等に設置され、送風部により粉塵や化学成分等を含む空気をフィルターに通過させて浄化し、浄化空気を必要な空間に供給するファンフィルターユニットに関するものである。

従来、ファンフィルターユニットは、浮遊粉塵や化学成分等を捕集するフィルターを搭載し、クリーン環境が必要となる領域に清浄化した空気を供給する目的で使用されるものである。ファンフィルターユニットの利用環境としては、液晶パネル工場等のクリーンルームや、製造設備である半導体製造装置、クリーンブース等の天井部に配置されることが多い。

近年、製造設備において設備外観の意匠性や製造のプロセスに合わせた風路の最適化のためファンフィルターユニットを製造設備内部に配置するケースが増えている。また、設備内部レイアウトに合わせてファンフィルターユニットの形状が、より複雑化する傾向にある。

従来のファンフィルターユニットの構成を図１６に示す。ファンフィルターユニット１００は、内部にファンとモータからなる送風ユニット１０１を収納し、天部に送風ユニット１０１と連通して外気等の非浄化領域から空気を吸い込むための給気口１０２を有し、底部が開口した箱形状のチャンバー１０３備えている。チャンバー１０３は底部縁部から内側に延設されるチャンバー曲げ部１０４を有しており、チャンバー曲げ部１０４にはチャンバー係止孔１０５を備えている。チャンバー曲げ部１０４は空気漏れを防止するパッキン１０６が貼られており、板状のカバー１０７と連結される。カバー１０７は外周にチャンバー係止孔１０５と合致するカバー係止孔１０９を備えており、ナットとネジ、もしくはリベット等の棒状留め具１１０でパッキン１０６を押し潰しながらチャンバー１０３と固定される。一体化したチャンバー１０３とカバー１０７の内壁は、浄化待機風路１１２を形成する。

カバー１０７は中央にカバー吐出口１１１を備えており、カバー吐出口１１１は浄化待機風路１１２の中の空気を浄化するフィルター１１３のフィルター給気口１１４と対面して圧着される。フィルターにより浄化された空気は、フィルターの下方に備えるフィルター排気口１１５より排出される。

従来のファンフィルターユニット製造設備内設置事例を図１７に示す。従来のファンフィルターユニット１００は、チャンバー１０３に備える給気口１０２と製造設備に備える給気口１１６と接合されて製造設備内１１７に設置される。

送風ユニット１０１により吸い込まれた非浄化空気はフィルター１１３により浄化され、製造設備内１１７に供給される。

上記の構成により、ファンフィルターユニット１００で外気等の非浄化空気を浄化し、クリーン環境が必要な空間に浄化空気を供給していた。上記のファンフィルターユニット１００に類似する技術として、特許文献１に記載の公報を例示する。

特開平１１−３０９３２５号公報

クリーン環境が必要となる半導体製造装置やクリーンブース、液晶パネル工場等のクリーンルームには、非浄化空気をフィルターで除去し、清浄度が必要とされる空間に送り込む為のファンフィルターユニットが必要となる。

従来、ファンフィルターユニットは外気等の非清浄空気を浄化して装置内に送り込む用途で使用された為、製造設備外側の天井部等に搭載されることが多かった。近年、製造設備外観の意匠性や製造プロセスに合わせた風路の最適化のためにファンフィルターユニットを製造設備内部に配置するケースが増えており、また製造設備内部のレイアウトに合わせた薄型化の要望もありファンフィルターユニットの形状が複雑化してきている。

フィルターを通過する前の浄化待機風路内は常にファンで空気が送り込まれて陽圧化するため、隙間があれば非浄化空気が漏れ出てしまう。気密性の確保には各部材を隙間なく溶接する、もしくはコーキング材で各部材間の隙間を封止する等の手段が考えられるが、構造が複雑になる程作業に多大な時間が必要となり、作業者の力量不足や作業忘れ等のヒューマンエラーで漏れが生じる可能性がある。よって人の力量によらず安定して確実に気密を確保できるパッキンを用いた組立が行われるが、チャンバー係止孔、カバー係止孔、棒状留め具が浄化待機風路に存在する場合、これらが連通しないような対策が必要となり、チャンバー係止孔に先端が塞がれたブラインドナット等を取り付け、かつ、チャンバー径止孔とブラインドナットかしめ部の隙間にコーキングを施す等、人の力量に依存する追加対策が必要であった。

本発明は、気密保持のためのパッキンを用いながら、人の力量に依存せず安定した気密性を確保し、非浄化空気が製造装置内に漏れ出ることを防止したファンフィルターユニットを提供するものである。

本発明は、上記目的を達成するために、非浄化領域から空気を吸い込んで浄化待機風路に空気を吹き出す送風ユニットと、前記浄化待機風路の空気を浄化して浄化領域に排出するフィルターと、前記フィルターを着設するカバーと、前記カバーと係合して前記カバー及びフィルターとの間で前記浄化待機風路の内壁を形成するチャンバーと、前記カバーに設けられたカバー係止孔と、前記チャンバーに設けられたチャンバー係止孔と、前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔との間に設けられ前記浄化待機風路からの空気の漏れを防止するパッキンと、前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔とを貫通して前記カバーと前記パッキンと前記チャンバーとを圧着する棒状留め具と、を備え、前記棒状留め具の両端は、前記浄化待機風路の外部に位置し、前記パッキンは、前記棒状留め具の前記浄化待機風路側から前記棒状留め具の外周側に至る第一パッキンと、前記棒状留め具のさらに前記浄化待機風路側にのみ前記第一パッキンと重なる第二パッキンと、を備えたファンフィルターユニットとし、これにより所期の目的を達成するものである。

本発明によれば、係止具接合部の隙間等からフィルターで浄化する前の汚染された空気が製造設備内部に流出することを防止したファンフィルターユニットを提供することができる。

製造設備内部への設置斜視図ファンフィルターユニットの部品構成を示す分解図断面図断面分解図折辺説明断面図製造設備の側面断面図薄型化構造ファンフィルターユニット分解図薄型化構造ファンフィルターユニットＡ−Ａ断面図薄型化構造ファンフィルターユニットＡ−Ａ断面図分解図薄型構造ファンフィルターユニットの折辺説明断面図パッキン厚みを増やした場合の固定状態側面図パッキン厚みを増やした場合のＢ−Ｂ断面図パッキン強化構造の浄化待機風路の平面断面図パッキン強化構造の固定状態側面図パッキン強化構造のＣ−Ｃ断面図従来のファンフィルターユニットの構成を示す図従来のファンフィルターユニットの製造設備内設置事例を示す図

以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。なお、以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。また、全図面を通じて同一の符合を付して２度目以降の説明を省略している。
（実施の形態１）
まずは図１の製造設備１内部への設置斜視図を用いて本発明に係るファンフィルターユニット２の内部設置事例を説明する。

製造設備１の内部下方に発埃機器を搭載、もしくは下方に外気給気口を備える等、製造設備１下方に非浄化領域３が存在し、上方に浄化空気供給が必要な製品製造空間４を有する場合の設置事例を示すものである。ここで、非浄化領域とは、微細な埃などを含む可能性がある領域であり、埃など、後述のフィルターによる浄化対象物が存在し得る領域を指す。これに対して浄化領域とは、主にフィルターを介して排出された空気が存在する領域であり、フィルターによって浄化対象物が排除された領域を指す。

装置内部の一側壁にファンフィルターユニット２の背面平面部５が並立するように設置され、送風ユニット６で装置下方の非浄化領域３の空気、すなわち非浄化空気を給気し、上方に備えるフィルター７を介して浄化された浄化空気を製品製造空間４に排出する。ファンフィルターユニット構成の詳細は本図記載の断面位置の図を用いて追って説明する。

図２はファンフィルターユニット２の部品構成を示す分解図である。

ファンフィルターユニット２は、外気等の非浄化領域３から空気を吸い込む送風ユニット６が収納可能なチャンバー８を有し、チャンバー８に備わる開口９は、板状のカバー１０で覆われる。カバー１０は、中央に開口を有した環状矩形形状を有する。

チャンバー８とカバー１０は気密性確保の為のパッキンＡ１１を挟んで一体化され、浄化待機風路１２を構成する。カバー１０は排気口１３を有しており、内部に繊維状の濾材を備えて汚染物質を捕集もしくは吸着するフィルター７に連結される。

次に浄化待機風路１２の詳細を説明する。図３は図１に示す平面断面位置での断面図を、図４は断面分解図示したものである。

送風ユニット６と連通したチャンバー８は、箱形形状をしており、外周立ち上がりの縁より外側に位置する曲げ部１４を備えている。曲げ部１４にはチャンバー係止孔１５を有しており、気密性を確保するパッキンＡ１１が貼り付けられている。パッキンＡ１１は曲げ部１４のチャンバー係止孔１５と合致した穴を備えてもよいし、チャンバー係止孔１５を避け、チャンバー係止孔１５の内側直近に貼り付けられてもよい。

曲げ部１４の内側は開口となっているが板状のカバー１０によって塞がれ、浄化待機風路１２を形成する。カバー１０のカバー外周１６には、チャンバー係止孔１５と合致するカバー係止孔１７を有しており、チャンバー係止孔１５とカバー係止孔１７は、ナットとネジや、リベット等の棒状留め具１８で貫通され、パッキンＡ１１を圧着しながら固定される。

チャンバー係止孔１５、カバー係止孔１７が浄化待機風路１２の外に配置されれば、棒状留め具１８で貫通されたとしても陽圧領域である浄化待機風路１２の気密は隙間なく保たれることとなる。言い換えると、棒状留め具１８の両端が浄化待機風路１２の外部に位置することで、チャンバー係止孔１５、カバー係止孔１７の微小な隙間は浄化領域の中で連通するのみとなり気密性の保持とは無関係となる。

カバー１０は中央に排気口１３を備えており、フィルター７に備えるフィルター給気口１９と連結されてフィルター下方に備えるフィルター排気口５０より清浄化した空気を供給する。

また、図５の折辺説明断面図に示す通り、カバー１０の外周端にチャンバー８に向かって垂直な折辺２０を備えれば、カバー１０の外周部が補強され、パッキンＡ１１の潰しこみ力が増す効果を得ることができる。
（実施の形態２）
続いて図６に示す製造設備１の側面断面図を用いてファンフィルターユニット２の薄型化について説明する。

実施の形態１では、製造設備１の内部の一側壁にファンフィルターユニット２の背面平面部５が並立するように設置され、送風ユニット６で装置下方の非浄化領域３から空気を給気し、上方に備えるフィルター７を介して浄化空気を製品製造空間４に排出する。製品製造空間４を広く取るためにファンフィルターユニット２の製品製造空間部位２１の製品厚み２２の薄型化が望まれる。

図７は薄型化構造のファンフィルターユニット２３の部品構成を示す分解図である。

本実施の形態２では、ファンフィルターユニット２は、外気等の非浄化領域３から空気を吸い込む送風ユニット６が収納可能なチャンバー８を有する。チャンバー８に備わる開口９はパッキンＡ１１を介して板状のカバー１０で覆われる。カバー１０は接続開口２４を有しており、接続開口２４の風上側からパッキンＢ２５を介してフィルター配置部材２６に連結される。フィルター配置部材２６は正面が開口した箱形状を有し、背面に浄化開口２７を備えている。フィルター配置部材２６は、フィルター配置部材２６の正面縁部から内側に延設されたフィルター配置部材曲げ部２８を備えており、フィルター配置部材曲げ部２８はカバー１０の接続開口２４の外周と連結される。これによりチャンバー内壁、カバー内壁、フィルター配置部材の外壁（箱形状における外部）で浄化待機風路１２が形成される。

フィルター配置部材２６の背面では浄化開口２７がフィルター給気口１９と圧着される。フィルター配置部材２６に嵌め込んでフィルター７を配置することにより、嵌め込んだ深さ分、薄型構造のファンフィルターユニット２３の製品製造空間部位２１にて製品厚み２２の薄型化をはかることが可能となる。

次に薄型化構造のファンフィルターユニット２３の浄化待機風路１２の詳細を説明する。図８は図６に示す製品製造空間部位２１での薄型構造のファンフィルターユニット２３のＡ−Ａ断面図を、図９は断面分解図を示したものである。

送風ユニット６と連通したチャンバー８は、浄化待機風路１２の一部内壁を形成する箱形形状をしており、外周立ち上がりの縁より外側、すなわち浄化待機風路１２の外部に位置する曲げ部１４を備えている。曲げ部１４にはチャンバー係止孔１５を有しており、気密性を確保するパッキンＡ１１が貼り付けられている。パッキンＡ１１は曲げ部１４のチャンバー係止孔１５と合致した穴を備えてもよいし、チャンバー係止孔１５を避け、チャンバー係止孔１５の内側直近に貼り付けられてもよい。曲げ部１４の内側は開口となっているが板状のカバー１０によって塞がれる。カバー１０のカバー外周１６には、チャンバー係止孔１５と合致するカバー係止孔１７を有しており、チャンバー係止孔１５とカバー係止孔１７は、ナットとネジや、リベット等の棒状留め具１８で貫通され、パッキンＡ１１を圧着しながら固定される。

カバー１０には接続開口２４を備えており、フィルター配置部材２６と連結される。フィルター配置部材２６は正面が開口した箱形状と背面に浄化開口２７を有し、フィルター配置部材２６の正面縁部から内側に延設されたフィルター配置部材曲げ部２８を備えている。フィルター配置部材曲げ部２８にはフィルター配置部材係止孔２９を有しており、気密性を確保するパッキンＢ２５が貼り付けられている。パッキンＢ２５はフィルター配置部材係止孔２９と合致した穴を備えてもよいし、フィルター配置部材係止孔２９を避け、フィルター配置部材係止孔２９の外側直近に貼り付けられてもよい。

カバー１０の接続開口２４の外周には、フィルター配置部材係止孔２９と合致するカバー開口係止孔３０を有しており、フィルター配置部材係止孔２９とカバー開口係止孔３０は、ナットとネジや、リベット等の棒状留め具１８で貫通され、パッキンＢ２５を圧着しながら固定される。これによりチャンバー内壁、カバー内壁、フィルター配置部材の外壁で浄化待機風路１２が形成される。チャンバー係止孔１５とカバー係止孔１７、フィルター配置部材係止孔２９とカバー開口係止孔３０が浄化待機風路１２の外に配置されれば、棒状留め具１８で貫通されたとしても陽圧化する浄化待機風路１２の気密は隙間なく保たれることとなる。

フィルター配置部材２６には浄化開口２７を備えており、フィルター７に備えるフィルター給気口１９と連結されてフィルターの下方に備えるフィルター排気口５０より清浄化した空気を供給する。

また、図１０に示す通り、カバー１０の外周端と開口の内周端にチャンバー８に向かって垂直な折辺２０を備えれば、カバー１０の外周部と開口部が補強されパッキンＡ１１、パッキンＢ２５の潰し込み力が増す効果を得ることができる。

次にパッキンを追加したファンフィルターユニット２の気密性強化構造について説明する。まずは、事例として折辺のない板状のカバー１０にて、カバー外周１６とチャンバー８の曲げ部１４間に備えるパッキンＡ１１の厚みを増した場合の固定状態図を図１１に示す。パッキンＡ１１の厚みを増やして潰しこめれば気密性は向上するが、パッキンＡ１１の反発力が大きくなり、チャンバー８の曲げ部１４や、特に、折辺のないカバー外周１６の部材強度が弱ければパッキンＡ１１の反発力に負けてカバー外周１６が変形する。
棒状留め具の外周側３１は端部にて応力が集中するため、Ｃ−Ｃ断面に示す通り、棒状留め具隣接部３２でチャンバー８の曲げ部１４とカバー外周１６間の部材間距離は狭くなり、Ｂ−Ｂ断面に示す通り、棒状留め具非隣接部３３でパッキンＡ１１の反発力にカバー外周１６等の部材強度が負けてチャンバー８の曲げ部１４とカバー外周１６間の部材間距離が広くなる。一方、棒状留め具の浄化待機風路側３４では部材が広く連通しており応力が分散するため変形量は少なくなる。図１２に棒状留め具でチャンバー８とカバー１０を固定前のパッキンＡ１１の状態を示す。

次に棒状留め具の浄化待機風路側３４にのみ、第二パッキン３５を追加して重ねた場合の浄化待機風路１２の平面断面図を図１３に示す。本図はカバー係止孔の浄化待機風路側に第二パッキンを貼付け、チャンバー曲げ部に貼り付けた第一パッキンと棒状留め具の浄化待機風路側のみでパッキンを２重にかさねて厚みを増やしたものである。

次に第二パッキン３５を追加した場合の固定部状態を図１４に示す。棒状留め具の浄化待機風路側３４のみパッキン厚みを増やしていることとなるため、棒状留め具の外周側３１には、パッキンＡ１１の反力しかかからず、棒状留め具非隣接部３３、棒状留め具非隣接部３３共に大きな変形は生じない。結果としてＤ−Ｄ断面に示す棒状留め具非隣接部３３、Ｅ−Ｅ断面に示す棒状留め具隣接部３２の変形量は大きく変わらない。棒状留め具の浄化待機風路側３４においてもパッキン厚みが増すことになるが、部材が広く連通しており応力が分散するため変形量は少なくなる。よって本構造では外観的な不良を生じることなく気密性を強化することができる。本構造は図３、図８で示すチャンバー曲げ部とカバー外周部の事例であるが、図５、図１０で示すカバー開口外周とフィルター配置部材折り曲げ部においても同様の効果を得ることができる。図１５に棒状留め具でチャンバー８とカバー１０を固定前のパッキンＡ１１と第二パッキン３５の状態を示す。

よって本構造では外観的な不良を生じることなく気密性を強化することができる。

本構造は図３、図８で示すチャンバー曲げ部とカバー外周部の事例であるが、図８で示すカバー開口外周とフィルター配置部材折り曲げ部においても同様の効果を得ることができる。
（実施の形態の要旨）
本発明に係るファンフィルターユニットは、非浄化領域から空気を吸い込んで浄化待機風路に空気を吹き出す送風ユニットと、前記浄化待機風路の空気を浄化して浄化領域に排出するフィルターと、前記フィルターを着設するカバーと、前記カバーと係合して前記カバー及びフィルターとの間で前記浄化待機風路の内壁を形成するチャンバーと、前記カバーに設けられたカバー係止孔と、前記チャンバーに設けられたチャンバー係止孔と、前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔との間に設けられ前記浄化待機風路からの空気の漏れを防止するパッキンと、前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔とを貫通して前記カバーと前記パッキンと前記チャンバーとを圧着する棒状留め具と、を備え、前記棒状留め具の両端は、前記浄化待機風路の外部に位置するものとする。

また、前記チャンバーは、天面が開口した箱形状を有して当該箱形状の内部が前記浄化待機風路の内壁を形成し、前記箱形状における天面縁部から外側に延設されたチャンバー曲げ部を備え、前記チャンバー曲げ部は、前記チャンバー係止孔を備え、前記カバーは、板状を有して当該板状における中央に前記フィルターを配置する浄化開口と、前記板状の周囲に前記カバー係止孔と、を備え、前記棒状留め具は、前記外側に延設されたチャンバー曲げ部と前記カバー係止孔とを貫通して前記カバーと前記パッキンと前記チャンバーとを圧着する構成としてもよい。

また、前記カバーは、前記板状の周囲の縁部から前記チャンバー側に向かって立設する折辺を備える構成としてもよい。

また、前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔とを貫通する前記棒状留め具のさらに前記浄化待機風路側にのみ前記パッキンと重なる第二パッキンを備えた構成としてもよい。

また、本発明に係るファンフィルターユニットは、非浄化領域から空気を吸い込んで浄化待機風路に空気を吹き出す送風ユニットと、前記浄化待機風路の空気を浄化して浄化領域に排出するフィルターと、前記フィルターを着設するカバーと、前記カバー及びフィルターとの間で前記浄化待機風路の内壁を形成するチャンバーと、前記カバーと前記チャンバーとを係止する棒状留め具と、前記浄化待機風路からの空気の漏れを防止するパッキンと、を備え、前記チャンバーは、天面が開口した箱形状を有して当該箱形状の内部が前記浄化待機風路の内壁を形成し、前記チャンバーの箱形状における天面の縁部から外側に延設されたチャンバー曲げ部と、前記チャンバー曲げ部に備えられたチャンバー係止孔と、を備え、前記カバーは、前記フィルターを配置する浄化開口を備えたフィルター配置部材と、前記フィルター配置部材及び前記チャンバーと係合する係合部材と、を備え、前記フィルター配置部材は、天面が開口した箱形状を有して当該箱形状の外部が前記浄化待機風路の内壁を形成し、前記フィルター配置部材の箱形状における底面に前記浄化開口と、前記フィルター配置部材の箱形状における内部空間に前記フィルターが配置されるフィルター配置空間と、前記フィルター配置部材の天面縁部から前記フィルター配置部材の箱形状における内側に延設されたカバー曲げ部と、前記カバー曲げ部に設けられたカバー係止孔と、を備え、前記係合部材は、環状矩形を有して当該環状矩形の外周周囲に前記チャンバー係止孔と係止する外周側係止孔と、前記環状矩形の内周周囲に前記カバー係止孔と係止する内周側係止孔と、を備え、前記棒状留め具は、前記チャンバー係止孔と前記外周側係止孔とを貫通して前記係合部材と前記パッキンと前記チャンバーとを圧着し、前記カバー係止孔と前記内周側係止孔とを貫通して前記係合部材と前記パッキンと前記フィルター配置部材とを圧着し、前記棒状留め具の両端は、前記浄化待機風路の外部に位置する構成としてもよい。

また、前記係合部材は、前記環状矩形の外周周囲から前記チャンバー側に向かって立設する折辺を備える構成としてもよい。

また、前記チャンバー係止孔と前記外周側係止孔とを貫通する前記棒状留め具のさらに前記浄化待機風路側にのみ前記パッキンと重なる第二パッキンを備えた構成としてもよい。

また、前記カバー係止孔と前記内周側係止孔とを貫通する前記棒状留め具のさらに前記浄化待機風路側にのみ前記パッキンと重なる第三パッキンを備えた構成としてもよい。

本発明に係るファンフィルターユニットは、半導体製造装置やクリーンブース等、設備内部に搭載されるファンフィルターユニットとして有用である。

１製造設備
２ファンフィルターユニット
３非浄化領域
４製品製造空間
５背面平面部
６送風ユニット
７フィルター
８チャンバー
９開口
１０カバー
１１パッキンＡ
１２浄化待機風路
１３排気口
１４曲げ部
１５チャンバー係止孔
１６カバー外周
１７カバー係止孔
１８棒状留め具
１９フィルター給気口
５０フィルター排気口
２０折辺
２１製品製造空間部位
２２製品厚み
２３ファンフィルターユニット
２４接続開口
２５パッキンＢ
２６フィルター配置部材
２７浄化開口
２８フィルター配置部材曲げ部
２９フィルター配置部材係止孔
３０カバー開口係止孔
３１棒状留め具の外周側
３２棒状留め具隣接部
３３棒状留め具非隣接部
３４棒状留め具の浄化待機風路側
３５第二パッキン
１００ファンフィルターユニット
１０１送風ユニット
１０２給気口
１０３チャンバー
１０４チャンバー曲げ部
１０５チャンバー係止孔
１０６パッキン
１０７カバー
１０９カバー係止孔
１１０棒状留め具
１１１カバー吐出口
１１２浄化待機風路
１１３フィルター
１１４フィルター給気口
１１５フィルター排気口
１１６製造設備に備える給気口
１１７製造設備内

Claims

非浄化領域から空気を吸い込んで浄化待機風路に空気を吹き出す送風ユニットと、
前記浄化待機風路の空気を浄化して浄化領域に排出するフィルターと、
前記フィルターを着設するカバーと、
前記カバーと係合して前記カバー及びフィルターとの間で前記浄化待機風路の内壁を形成するチャンバーと、
前記カバーに設けられたカバー係止孔と、
前記チャンバーに設けられたチャンバー係止孔と、
前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔との間に設けられ前記浄化待機風路からの空気の漏れを防止するパッキンと、
前記カバー係止孔と前記チャンバー係止孔とを貫通して前記カバーと前記パッキンと前記チャンバーとを圧着する棒状留め具と、を備え、
前記棒状留め具の両端は、
前記浄化待機風路の外部に位置し、
前記パッキンは、
前記棒状留め具の前記浄化待機風路側から前記棒状留め具の外周側に至る第一パッキンと、
前記棒状留め具のさらに前記浄化待機風路側にのみ前記第一パッキンと重なる第二パッキンと、を備えたファンフィルターユニット。
前記チャンバーは、
天面が開口した箱形状を有して当該箱形状の内部が前記浄化待機風路の内壁を形成し、
前記箱形状における天面縁部から外側に延設されたチャンバー曲げ部を備え、
前記チャンバー曲げ部は、
前記チャンバー係止孔を備え、
前記カバーは、
板状を有して当該板状における中央に前記フィルターを配置する浄化開口と、
前記板状の周囲に前記カバー係止孔と、を備え、
前記棒状留め具は、
前記外側に延設されたチャンバー曲げ部と前記カバー係止孔とを貫通して前記カバーと
前記パッキンと前記チャンバーとを圧着する請求項１記載のファンフィルターユニット。
前記カバーは、
前記板状の周囲の縁部から前記チャンバー側に向かって立設する折辺を備える請求項２に記載のファンフィルターユニット。