JP6857184B2 - 親水性有機溶媒のための精製プロセス - Google Patents
親水性有機溶媒のための精製プロセス Download PDFInfo
- Publication number
- JP6857184B2 JP6857184B2 JP2018531319A JP2018531319A JP6857184B2 JP 6857184 B2 JP6857184 B2 JP 6857184B2 JP 2018531319 A JP2018531319 A JP 2018531319A JP 2018531319 A JP2018531319 A JP 2018531319A JP 6857184 B2 JP6857184 B2 JP 6857184B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exchange resin
- ion exchange
- hydrophilic organic
- resin
- mixed bed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J47/00—Ion-exchange processes in general; Apparatus therefor
- B01J47/02—Column or bed processes
- B01J47/04—Mixed-bed processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D15/00—Separating processes involving the treatment of liquids with solid sorbents; Apparatus therefor
- B01D15/08—Selective adsorption, e.g. chromatography
- B01D15/26—Selective adsorption, e.g. chromatography characterised by the separation mechanism
- B01D15/36—Selective adsorption, e.g. chromatography characterised by the separation mechanism involving ionic interaction, e.g. ion-exchange, ion-pair, ion-suppression or ion-exclusion
- B01D15/361—Ion-exchange
- B01D15/362—Cation-exchange
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D15/00—Separating processes involving the treatment of liquids with solid sorbents; Apparatus therefor
- B01D15/08—Selective adsorption, e.g. chromatography
- B01D15/26—Selective adsorption, e.g. chromatography characterised by the separation mechanism
- B01D15/36—Selective adsorption, e.g. chromatography characterised by the separation mechanism involving ionic interaction, e.g. ion-exchange, ion-pair, ion-suppression or ion-exclusion
- B01D15/361—Ion-exchange
- B01D15/363—Anion-exchange
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/04—Processes using organic exchangers
- B01J39/05—Processes using organic exchangers in the strongly acidic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/08—Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/16—Organic material
- B01J39/18—Macromolecular compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/04—Processes using organic exchangers
- B01J41/05—Processes using organic exchangers in the strongly basic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/08—Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/12—Macromolecular compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C41/00—Preparation of ethers; Preparation of compounds having groups, groups or groups
- C07C41/01—Preparation of ethers
- C07C41/34—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives
- C07C41/36—Separation; Purification; Stabilisation; Use of additives by solid-liquid treatment; by chemisorption
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
イオン性汚染物質を含まない純溶媒が、医薬品及び電子材料の製造などといった多くの工業目的のために必要とされる。特に、金属イオン性汚染物質のレベルがかなり低い有機溶媒が半導体製作プロセスに必要とされており、これは金属イオンによる汚染が半導体装置の性能に悪影響を与えることを理由とする。例えば、プロピレングリコールメチルエーテル(PGME)などのアルコール及びエーテルを含むいくつかの親水性有機溶媒が、半導体製作プロセスに有用である。したがって、親水性有機溶媒を半導体製作プロセスで使用する場合、かかる溶媒がかなり低いレベルの金属イオン性汚染物質を有することが望ましいであろう。
また、本明細書には以下の態様の発明も開示する。
[1]
親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記方法が、
前記親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm 3 /gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m 2 /gのBET表面積を有する、方法。
[2]
前記イオン交換樹脂の混床が、以下の方法:
前記イオン交換樹脂の混床を、25床体積(BV)の超純粋水で24時間洗浄した後、前記超純粋水の総有機炭素を分析すること、によって測定して、10ppb以下の総有機炭素を示す、上記[1]に記載の方法。
[3]
前記H型強陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、各々、前記イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として10mg/kg以下である、上記[1]に記載の方法。
[4]
前記イオン交換樹脂の混床と接触させた後の前記親水性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、上記[1]に記載の方法によって得られる親水性有機溶媒。
[5]
親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
(i)水素(H)型強陽イオン性イオン交換樹脂及び強陰イオン性イオン交換樹脂を含む交換樹脂の混床イオンを調製するステップであって、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が40〜55重量%の保水力を有し、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm 3 /gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m 2 /gのBET表面積を有する、調製するステップと、
(ii)親水性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、方法。
[6]
前記方法が、(iii)前記イオン交換樹脂の混床を、1〜50BV/時間の流量で30〜50床体積(BV)の前記親水性有機溶媒によってすすぐことを更に含み、ステップ(iii)がステップ(i)と(ii)との間に実施される、上記[5]に記載の方法。
保水力=(含水イオン交換樹脂の重量−乾燥後のイオン交換樹脂の重量)×100/含水イオン交換樹脂の重量。
120mL(94g)の含水状態のDOWEX(商標)MONOSPERE(商標)650 C UPW(MS650C UPW、ゲル型強陽イオン交換樹脂)を、内径20mm及び長さ500mmのTeflonカラムに充填した。水をPMで置き換えるために、DOWANOL(商標)PM(PM)を40mL/分で3時間流す。次いで、流量を変化させながらサンプリングを開始する。
「比較例1」の試験を実施した後、流量を減少させ、2BV/時間でPMの供給を継続する。2BV/時間で48時間流した後、流量を16BV/時間に増加させ、試料を採取する。
含水状態のMAC−3樹脂(ゲル型弱陽イオン交換樹脂)を、内径20mm及び長さ500mmのTEFLONカラムに充填した。16BV/時間で3時間のPM流によって水を置き換えた後、第1のPM試料を採取する。
40mlの含水状態のAMBERLYST(商標)31WET(ゲル型強陽イオン交換樹脂)と80mlの含水状態のAMBERJET(商標)9000 OH(MR型強陰イオン交換樹脂)とを混合する。ΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で12.8ppb、24時間流した後では2.3ppbと測定される。
AMBERLITE 904Cl(MR型Cl−型強陽イオン交換樹脂)を、以下の様式でOH型に変換する。
40mlの含水AMBERLYST(商標)15WET(MR型H型強陽イオン交換樹脂)と80mlの含水状態のOH変換AMBERLITE(商標)904 Clとを均一に混合する。カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との上記の体積に基づく混合比は、当量比で1:1である。含水状態の混合樹脂のΔTOCは、25BV/時間の流量で2時間UPWを流した後で98ppb、24時間流した後では30ppbと測定される。
含水湿式陽イオン樹脂MS650 C UPWと、含水湿式陰イオン樹脂AMBERJET(商標)UP4000とを、当量比では1:1として、39:61の重量比で混合する。ΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で8.2ppb、UPWを24時間流した後では0.7ppbと測定される。混合樹脂中の乾燥樹脂に基づく金属含量は、Naについて0.13mg/Kg、Alについて0.12mg/Kg、Caについて0.17mg/Kg、Feについて1.44mg/Kg、Cuについて0.01mg/Kgと測定される。
PMを16BV/時間で3時間流して、水をPMで置き換えた後、一晩流れを止める。樹脂体積は、含水状態での120mLから、PMによる溶媒和状態で114mLに収縮する。次いで、翌日に16BV/時間で1時間流した後で、第1の試料を採取する。流量を変化させながら、他の試料を採取する。
試験した樹脂のΔTOCは、25BV/時間で2時間UPWを流した後で1.9ppb、24時間UPWを流した後では0.1ppb未満と測定される。
溶媒試料中の金属の濃度をICP−MS(誘導結合プラズマ質量分析)によって分析し、分析結果を表1〜6に示す。元の金属レベル(濃度)及び金属元素比は、供給溶媒ロット(feed solvent lot)により異なる。
Claims (9)
- エーテルを含む親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、前記方法が、
前記親水性有機溶媒を、陽イオン性イオン交換樹脂及び陰イオン性イオン交換樹脂を含むイオン交換樹脂の混床と接触させることを含み、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が、40〜55重量%の保水力を有する水素(H)型強酸陽イオン性イオン交換樹脂であり、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm3/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m2/gのBET表面積を有する、方法。 - 前記イオン交換樹脂の混床が、以下の方法:
前記イオン交換樹脂の混床を、25床体積(BV)の超純粋水で24時間洗浄した後、前記超純粋水の総有機炭素を分析すること、によって測定して、10ppb以下の総有機炭素を示す、請求項1に記載の方法。 - 前記H型強陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの含有量が、各々、前記イオン交換樹脂の乾燥重量を基準として10mg/kg以下である、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記イオン交換樹脂の混床と接触させた後の前記親水性有機溶媒中のNa、K、Ca、Al、Fe、Ni、Zn、Cu、Cr、及びSnの濃度が、各々、0.1ppb以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法によって得られる親水性有機溶媒。
- エーテルを含む親水性有機溶媒からイオン性汚染物質を除去するための方法であって、
(i)水素(H)型強陽イオン性イオン交換樹脂及び強陰イオン性イオン交換樹脂を含む交換樹脂の混床イオンを調製するステップであって、
(a)前記陽イオン性イオン交換樹脂が40〜55重量%の保水力を有し、
(b)前記陽イオン性イオン交換樹脂及び前記陰イオン性イオン交換樹脂の両方が、0.001〜0.1cm3/gの多孔性、0.001〜1.7nmの平均孔径、及び0.001〜10m2/gのBET表面積を有する、調製するステップと、
(ii)親水性有機溶媒を前記イオン交換樹脂の混床と接触させるステップと、を含む、方法。 - 前記方法が、(iii)前記イオン交換樹脂の混床を、1〜50BV/時間の流量で30〜50床体積(BV)の前記親水性有機溶媒によってすすぐことを更に含み、ステップ(iii)がステップ(i)と(ii)との間に実施される、請求項5に記載の方法。
- 前記親水性有機溶媒が、エーテルからなる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記エーテルが、プロピレングリコールモノ−メチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−メチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ブチルエーテル、又はそれらの混合物である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記エーテルが、プロピレングリコールモノ−メチルエーテルである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015256337 | 2015-12-28 | ||
| JP2015256337A JP2017119234A (ja) | 2015-12-28 | 2015-12-28 | 親水性有機溶媒のための精製プロセス |
| PCT/US2016/067172 WO2017116755A1 (en) | 2015-12-28 | 2016-12-16 | Purification process for hydrophilic organic solvent |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019509882A JP2019509882A (ja) | 2019-04-11 |
| JP6857184B2 true JP6857184B2 (ja) | 2021-04-14 |
Family
ID=58266706
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015256337A Pending JP2017119234A (ja) | 2015-12-28 | 2015-12-28 | 親水性有機溶媒のための精製プロセス |
| JP2018531319A Active JP6857184B2 (ja) | 2015-12-28 | 2016-12-16 | 親水性有機溶媒のための精製プロセス |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015256337A Pending JP2017119234A (ja) | 2015-12-28 | 2015-12-28 | 親水性有機溶媒のための精製プロセス |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11759774B2 (ja) |
| EP (1) | EP3397385B1 (ja) |
| JP (2) | JP2017119234A (ja) |
| CN (1) | CN108430632A (ja) |
| BR (1) | BR112018012297B1 (ja) |
| ES (1) | ES2877091T3 (ja) |
| WO (1) | WO2017116755A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017119234A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | 親水性有機溶媒のための精製プロセス |
| WO2019123718A1 (ja) * | 2017-12-21 | 2019-06-27 | オルガノ株式会社 | 非水液状物質の精製方法及び外気遮断部材付きイオン交換樹脂充填カートリッジ |
| JP7083633B2 (ja) * | 2017-12-21 | 2022-06-13 | オルガノ株式会社 | 非水液状物質の精製方法及び外気遮断部材付きイオン交換樹脂充填カートリッジ |
| JP7451871B2 (ja) * | 2019-01-30 | 2024-03-19 | 東ソー株式会社 | フッ素樹脂及びその製造方法 |
| JP6819713B2 (ja) * | 2019-03-27 | 2021-01-27 | 栗田工業株式会社 | 有機溶媒の処理方法及び処理材 |
| WO2020217911A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | オルガノ株式会社 | 有機溶媒の精製方法及び有機溶媒の精製装置 |
| CA3144240A1 (en) * | 2019-07-04 | 2021-01-07 | Dow Global Technologies Llc | Process for purifying organic solvents |
| JP7379170B2 (ja) * | 2020-01-07 | 2023-11-14 | オルガノ株式会社 | 非水溶媒の精製方法及び非水溶媒の精製用のイオン交換樹脂の前処理方法 |
| JP7567484B2 (ja) * | 2020-02-03 | 2024-10-16 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
| JP7496709B2 (ja) * | 2020-04-27 | 2024-06-07 | オルガノ株式会社 | 精製イオン交換樹脂の製造方法および精製イオン交換樹脂の製造装置 |
| JP7437276B2 (ja) * | 2020-09-18 | 2024-02-22 | オルガノ株式会社 | イオン交換体の分析方法及びイオン交換体の前処理装置 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01228560A (ja) * | 1988-03-08 | 1989-09-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 不純金属成分の低減された溶液の製造法 |
| US5446125A (en) * | 1991-04-01 | 1995-08-29 | Ocg Microelectronic Materials, Inc. | Method for removing metal impurities from resist components |
| US5192446A (en) * | 1992-01-24 | 1993-03-09 | The Graver Company | Cation exchange resins having an enhanced capacity for iron oxides |
| US5518628A (en) | 1993-11-08 | 1996-05-21 | Shipley Company Inc. | Purification process |
| JPH07208166A (ja) | 1994-01-11 | 1995-08-08 | Tokyo Kaken:Kk | エンジン冷却排液の回生方法 |
| US5500127A (en) * | 1994-03-14 | 1996-03-19 | Rohm And Haas Company | Purification process |
| JP3715371B2 (ja) * | 1996-04-08 | 2005-11-09 | 三菱化学株式会社 | 過酸化水素水の精製方法 |
| US6576139B1 (en) * | 1996-07-30 | 2003-06-10 | Kenneth C. Hou | Process for purifying photoresist composition employing a filter sheet |
| US6200479B1 (en) * | 1997-01-14 | 2001-03-13 | Shipley Company, L.L.C. | Phenolic resin purification |
| FR2763330B1 (fr) | 1997-05-15 | 1999-07-30 | Atochem Elf Sa | Procede de purification de liquides organiques quasi anhydres |
| US7329354B2 (en) | 1998-06-09 | 2008-02-12 | Ppt Technologies, Llc | Purification of organic solvent fluids |
| JP4321792B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2009-08-26 | オルガノ株式会社 | 復水脱塩装置の運転方法 |
| US6733637B1 (en) | 2000-06-02 | 2004-05-11 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Process for producing ultra-high purity isopropanol |
| KR100390567B1 (ko) | 2000-12-30 | 2003-07-07 | 주식회사 동진쎄미켐 | 근적외선 분광기를 이용한 포토레지스트 박리공정제어방법 및 포토레지스트 박리액 조성물의 재생방법 |
| WO2003020393A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-13 | Ppt Technologies, Llc | Purification of organic solvent fluids |
| KR20070087702A (ko) * | 2005-04-04 | 2007-08-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | 금속 오염 억제를 위한 반도체웨이퍼의 세정방법 |
| JP5308645B2 (ja) | 2007-08-29 | 2013-10-09 | オルガノ株式会社 | 陽イオン性不純物を含むアルコールの精製方法 |
| JP5096907B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2012-12-12 | オルガノ株式会社 | エステルの精製方法 |
| JP5762862B2 (ja) | 2011-07-15 | 2015-08-12 | オルガノ株式会社 | アルコールの精製方法及び装置 |
| JP5762863B2 (ja) * | 2011-07-15 | 2015-08-12 | オルガノ株式会社 | アルコールの精製方法及び装置 |
| WO2017057320A1 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 高純度カルボン酸エステルおよびその製造方法 |
| WO2017116759A1 (en) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | Dow Global Technologies Llc | Purification process for hydrolysable organic solvent |
| JP2017119234A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | 親水性有機溶媒のための精製プロセス |
-
2015
- 2015-12-28 JP JP2015256337A patent/JP2017119234A/ja active Pending
-
2016
- 2016-12-16 ES ES16845332T patent/ES2877091T3/es active Active
- 2016-12-16 EP EP16845332.2A patent/EP3397385B1/en active Active
- 2016-12-16 WO PCT/US2016/067172 patent/WO2017116755A1/en not_active Ceased
- 2016-12-16 JP JP2018531319A patent/JP6857184B2/ja active Active
- 2016-12-16 US US16/067,031 patent/US11759774B2/en active Active
- 2016-12-16 BR BR112018012297-1A patent/BR112018012297B1/pt active IP Right Grant
- 2016-12-16 CN CN201680074603.3A patent/CN108430632A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BR112018012297A2 (pt) | 2019-10-01 |
| ES2877091T3 (es) | 2021-11-16 |
| CN108430632A (zh) | 2018-08-21 |
| BR112018012297B1 (pt) | 2021-02-02 |
| WO2017116755A1 (en) | 2017-07-06 |
| JP2017119234A (ja) | 2017-07-06 |
| JP2019509882A (ja) | 2019-04-11 |
| EP3397385A1 (en) | 2018-11-07 |
| CA3009876A1 (en) | 2017-07-06 |
| US20190009266A1 (en) | 2019-01-10 |
| EP3397385B1 (en) | 2021-06-02 |
| US11759774B2 (en) | 2023-09-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6857184B2 (ja) | 親水性有機溶媒のための精製プロセス | |
| TWI902945B (zh) | 有機溶劑之精製方法 | |
| EP3397386B1 (en) | Purification process for hydrolysable organic solvent | |
| JP2004181352A (ja) | 非水液状物の精製方法 | |
| JP2017008313A (ja) | イミノジ酢酸型キレート樹脂、およびその製造方法 | |
| JP2004181351A (ja) | 非水液状物の精製方法 | |
| TW202311217A (zh) | 用於純化二醇醚之方法 | |
| US20250186988A1 (en) | Process for purifying organic solvents | |
| JP2007297631A (ja) | ビーズポリマーから溶媒を除去する方法 | |
| CA3009876C (en) | Purification process for hydrophilic organic solvent | |
| JP2019521843A (ja) | 水性組成物からコロイド状コバルトを除去する方法 | |
| CN114805814A (zh) | 应用电子半导体领域有机硅材料提纯方法 | |
| JP2019522696A (ja) | ビニル芳香族樹脂 | |
| JP2019518833A (ja) | ビニル芳香族樹脂の処理 | |
| KR20230163544A (ko) | 비수액의 정제방법 및 정제장치, 그리고 이온교환수지의 제조방법 및 전처리장치 | |
| JP2023081615A (ja) | 有機溶媒の不純物除去方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180629 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180705 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20181001 |
|
| AA64 | Notification of invalidation of claim of internal priority (with term) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A241764 Effective date: 20181106 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190205 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191202 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200708 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200728 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201027 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210309 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210319 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6857184 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |