JP6879030B2 - Measuring device and measuring method - Google Patents
Measuring device and measuring method Download PDFInfo
- Publication number
- JP6879030B2 JP6879030B2 JP2017082487A JP2017082487A JP6879030B2 JP 6879030 B2 JP6879030 B2 JP 6879030B2 JP 2017082487 A JP2017082487 A JP 2017082487A JP 2017082487 A JP2017082487 A JP 2017082487A JP 6879030 B2 JP6879030 B2 JP 6879030B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lubricating oil
- image information
- correlation
- thickness
- members
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
本発明は、潤滑油の厚さを求める測定装置及び測定方法に関する。 The present invention relates to a measuring device and a measuring method for determining the thickness of lubricating oil.
例えば金属製の二部材が転がり接触したり滑り接触したりする場合、潤滑油が用いられる。これにより二部材の接触面間に油膜が形成され、焼き付き等の損傷を防ぐことが可能となる。二部材間の油膜の厚さやその周囲の潤滑油の厚さを所定の値とすることによって好ましい潤滑状態が得られることから、潤滑油の研究では、潤滑油の厚さを測定する取り組みが行われている。 For example, when two metal members roll and make contact with each other, lubricating oil is used. As a result, an oil film is formed between the contact surfaces of the two members, and damage such as seizure can be prevented. Since a favorable lubricating state can be obtained by setting the thickness of the oil film between the two members and the thickness of the lubricating oil around it to a predetermined value, efforts are being made to measure the thickness of the lubricating oil in the research on lubricating oil. It has been damaged.
その測定方法として、例えば特許文献1に記載されているように、蛍光物質を分散させたオイルを二部材間に塗布し、レーザ光を照射することで蛍光物質から発せられる蛍光の輝度を測定する方法がある(レーザ誘起蛍光法)。これは、潤滑油の厚さが大きくなるにしたがって、蛍光物質の量が増大することから、潤滑油の厚さに比例して輝度が高くなることを利用した測定方法である。なお、前記のように二部材が潤滑油を介して接触する機械要素として、例えば転がり軸受や歯車がある。 As a measurement method thereof, for example, as described in Patent Document 1, an oil in which a fluorescent substance is dispersed is applied between two members, and the brightness of fluorescence emitted from the fluorescent substance is measured by irradiating the two members with laser light. There is a method (laser-induced fluorescence method). This is a measurement method utilizing the fact that the amount of the fluorescent substance increases as the thickness of the lubricating oil increases, so that the brightness increases in proportion to the thickness of the lubricating oil. As a mechanical element in which the two members come into contact with each other via the lubricating oil as described above, for example, there are rolling bearings and gears.
前記測定方法の場合、予めテストゲージを用いて潤滑油の厚さと輝度との相関が求められる。例えば図7(A)に示すように、蛍光物質を含む潤滑油93を平面91と透明な平板92とによって挟んだ状態とし、この平板92の端部を、規定厚さのブロックゲージ94に載せることで、平面91と平板92との間の水平方向の各位置Pnにおける隙間の値Dnが演算によって求められる。そして、レーザ光を照射し、平板92上のカメラ(図示せず)により、水平方向の各位置Pnにおける輝度を測定する(図7(B)参照)。これにより、潤滑油の厚さと輝度との相関を得ることができる。
In the case of the above-mentioned measuring method, the correlation between the thickness of the lubricating oil and the brightness is obtained in advance using a test gauge. For example, as shown in FIG. 7A, a lubricating
そして、例えば転がり軸受に蛍光物質を含む潤滑油を塗布し、レーザ光を照射し、転動体(第一部材)と軌道輪(第二部材)との間の輝度の分布を示す画像を取得する。取得した画像情報における輝度から、前記相関に基づいてこれら転動体と軌道輪との間における潤滑油の厚さを求めることが可能となる。 Then, for example, a rolling bearing is coated with a lubricating oil containing a fluorescent substance, irradiated with a laser beam, and an image showing the distribution of brightness between the rolling element (first member) and the raceway ring (second member) is acquired. .. From the brightness in the acquired image information, it is possible to obtain the thickness of the lubricating oil between these rolling elements and the raceway ring based on the correlation.
しかし、前記平板92(テストゲージ)を用いて相関を取得した状態と、実機である転がり軸受において転動体及び軌道輪の画像を取得した状態とが、時間や場所等の条件で異なるため、前記のようにして転がり軸受における潤滑油の厚さを求めても、その精度が低くなるおそれがある。その原因としては、例えば、レーザ光の強度が経時的に変化していたり、蛍光物質が経時的に劣化していたりするためである。また、潤滑油成分の付着や表面粗さの変化等といった表面の状態変化が生じて蛍光強度が変化する場合がある。 However, the state in which the correlation is acquired using the flat plate 92 (test gauge) and the state in which the images of the rolling element and the raceway ring are acquired in the rolling bearing which is the actual machine are different depending on the conditions such as time and place. Even if the thickness of the lubricating oil in the rolling bearing is obtained in this way, the accuracy may be lowered. The cause is, for example, that the intensity of the laser beam changes with time, or the fluorescent substance deteriorates with time. In addition, the fluorescence intensity may change due to changes in the surface state such as adhesion of lubricating oil components and changes in surface roughness.
そこで、本発明は、照射する光の強度が変化していたり蛍光物質が劣化したり、又は、表面の状態変化が生じても、求める潤滑油の厚さの精度が低下するのを防止することが可能となる測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention prevents the accuracy of the required lubricating oil thickness from being lowered even if the intensity of the irradiated light is changed, the fluorescent substance is deteriorated, or the state of the surface is changed. It is an object of the present invention to provide a measuring device and a measuring method that enable the above.
本発明は、蛍光物質を含む潤滑油を介して接触する幾何形状が既知の第一部材及び第二部材における潤滑油の厚さを求める測定装置であって、前記第一部材と前記第二部材との間の二部材間領域を含む領域に向けて光を照射する照射装置と、前記二部材間領域を含む対象領域を撮影する撮影装置と、前記撮影装置の撮影画像から前記対象領域の輝度の分布を含む画像情報を取得し当該画像情報に基づいて当該対象領域における潤滑油の厚さを求める演算装置と、を備え、前記演算装置は、取得した前記画像情報に基づいて前記幾何形状から前記二部材間の各位置における間隔と当該各位置における輝度との相関を求め、取得した前記画像情報から得られた前記対象領域中の各位置の輝度を前記相関により換算して当該各位置における潤滑油の厚さを求める。 The present invention is a measuring device for determining the thickness of the lubricating oil in the first member and the second member whose geometric shapes are known to come into contact with each other through the lubricating oil containing a fluorescent substance, and the first member and the second member. An irradiation device that irradiates light toward a region including a region between two members, a photographing device that photographs a target region including the region between the two members, and a brightness of the target region from an image captured by the photographing device. The computing device includes an arithmetic device that acquires image information including the distribution of the above and obtains the thickness of the lubricating oil in the target region based on the image information, and the arithmetic device is based on the acquired image information from the geometric shape. The correlation between the distance between the two members at each position and the brightness at each position is obtained, and the brightness at each position in the target region obtained from the acquired image information is converted by the correlation and at each position. Find the thickness of the lubricating oil.
この測定装置によれば、第一部材と第二部材との幾何形状が既知であることから、これら二部材の間隔(つまり、二部材間の隙間に存在する潤滑油の厚さ)と輝度との相関を、前記対象領域中の各位置における潤滑油の厚さを求めるために取得した画像情報から、求めることが可能となる。このため、例えば経時的に、照射する光の強度が変化したり蛍光物質が劣化したり、また、表面の状態変化が生じても、求める潤滑油の厚さの精度が低下するのを防止することができる。
なお、前記「第一部材及び第二部材における潤滑油の厚さ」は、これら二部材間の潤滑油の厚さの他に、二部材間周辺の潤滑油の厚さであり、例えば、二部材間領域の近傍であって、第一部材の表面に付着している潤滑油の厚さや第二部材の表面に付着している潤滑油の厚さである。
According to this measuring device, since the geometric shapes of the first member and the second member are known, the distance between these two members (that is, the thickness of the lubricating oil existing in the gap between the two members) and the brightness Correlation can be obtained from the image information acquired for obtaining the thickness of the lubricating oil at each position in the target region. Therefore, for example, even if the intensity of the irradiated light changes, the fluorescent substance deteriorates, or the state of the surface changes over time, it is possible to prevent the accuracy of the required lubricating oil thickness from decreasing. be able to.
The "thickness of the lubricating oil in the first member and the second member" is, in addition to the thickness of the lubricating oil between the two members, the thickness of the lubricating oil around the two members, for example, two. It is the thickness of the lubricating oil adhering to the surface of the first member and the thickness of the lubricating oil adhering to the surface of the second member in the vicinity of the inter-member region.
また、前記撮影装置は、前記潤滑油を介して接触した状態で相対移動する前記第一部材と前記第二部材との間の二部材間領域を含む前記対象領域を撮影するように構成することができる。このように、第一部材と第二部材とが相対移動する場合であっても、対象領域中の各位置の輝度を前記相関により換算し、各位置における潤滑油の厚さを求めることができる。 Further, the imaging device is configured to photograph the target region including the region between the two members between the first member and the second member that move relative to each other in contact with each other via the lubricating oil. Can be done. In this way, even when the first member and the second member move relative to each other, the brightness of each position in the target region can be converted by the correlation to obtain the thickness of the lubricating oil at each position. ..
ここで、相対移動する第一部材及び第二部材を撮影装置が経時的に撮影し、演算装置が経時的に連続する複数の画像情報を取得する場合、前記対象領域中の各位置における潤滑油の厚さを求めるために取得した画像情報の直前(又は直後)に取得された別の画像情報から、前記相関を求めてもよい。これは、経時的に連続する複数の画像情報の間では(これらを取得した時間間隔は短いことから)、光の強度が変化したり蛍光物質が劣化したりすることは考えにくいためであり、前記のように直前(又は直後)の別の画像情報から求めた前記相関を用いても、潤滑油の厚さを求める精度が低下するのを防止することが可能となる。 Here, when the imaging device photographs the first member and the second member that move relative to each other over time and the arithmetic unit acquires a plurality of image information that is continuous over time, the lubricating oil at each position in the target region is used. The correlation may be obtained from another image information acquired immediately before (or immediately after) the image information acquired in order to obtain the thickness of the image. This is because it is unlikely that the light intensity will change or the fluorescent substance will deteriorate between a plurality of image information that are continuous over time (because the time interval between these acquisitions is short). Even if the correlation obtained from another image information immediately before (or immediately after) is used as described above, it is possible to prevent the accuracy of obtaining the thickness of the lubricating oil from being lowered.
しかし、前記撮影装置は、前記対象領域を経時的に撮影し、前記演算装置は、前記撮影装置の撮影画像から複数の前記画像情報を取得し、複数の当該画像情報の内の一つの画像情報から得られた前記対象領域中の各位置の輝度を、当該一つの画像情報に基づいて前記幾何形状から求めた前記相関により換算して、当該各位置における潤滑油の厚さを求めるのが好ましい。このように、取得した複数の画像情報の内の一つの画像情報から、前記相関を求め、そして、当該一つの画像情報から得られた対象領域中の各位置の輝度をこの相関により換算して当該各位置における潤滑油の厚さを求めるのが好ましい。これにより、求める潤滑油の厚さの精度が低下するのをより一層確実に防止することができる。 However, the photographing device photographs the target area over time, and the computing device acquires a plurality of the image information from the captured images of the photographing device, and one of the plurality of the image information is the image information. It is preferable to obtain the thickness of the lubricating oil at each position by converting the brightness of each position in the target region obtained from the above by the correlation obtained from the geometric shape based on the one image information. .. In this way, the correlation is obtained from one of the acquired plurality of image information, and the brightness of each position in the target region obtained from the one image information is converted by this correlation. It is preferable to determine the thickness of the lubricating oil at each position. As a result, it is possible to more reliably prevent the accuracy of the required lubricating oil thickness from being lowered.
また、前記潤滑油を介して接触した状態で相対移動する前記第一部材と前記第二部材との間の二部材間領域を含む前記対象領域を、経時的に撮影し、前記演算装置は、前記撮影装置が異なるタイミングで撮影した撮影画像から複数の前記画像情報を取得し、取得した複数の当該画像情報のそれぞれから、前記撮影画像を撮影したそれぞれのタイミングにおける前記相関を求めると共に当該相関により換算して、前記撮影画像を撮影したそれぞれのタイミングにおける前記対象領域中の前記各位置における潤滑油の厚さを求めるのが好ましい。この構成によれば、第一のタイミングで撮影されたことで取得した画像情報と、別の第二のタイミングで撮影されたことで取得した画像情報とのそれぞれで、前記相関を求め、前記対象領域中の各位置における潤滑油の厚さを求めることができるため、例えば、各位置における潤滑油の厚さについて経時的な変化を示す情報を得ることが可能となる。 In addition, the target region including the region between the two members between the first member and the second member, which move relative to each other in contact with each other via the lubricating oil, is photographed over time, and the arithmetic unit may be used. A plurality of the image information is acquired from the captured images taken by the photographing device at different timings, and the correlation is obtained from each of the acquired plurality of the image information at each timing when the captured image is captured, and the correlation is obtained. In terms of conversion, it is preferable to obtain the thickness of the lubricating oil at each position in the target region at each timing when the captured image is taken. According to this configuration, the correlation is obtained for each of the image information acquired by being photographed at the first timing and the image information acquired by being photographed at another second timing, and the target is described. Since the thickness of the lubricating oil at each position in the region can be obtained, for example, it is possible to obtain information indicating a change over time with respect to the thickness of the lubricating oil at each position.
また、前記演算装置は、前記相関を求めると共に、前記二部材の間隔の最大値よりも大きい値と当該値の場合の輝度との推定相関を、前記相関の傾向に基づいて求めるのが好ましい。二部材の各位置における間隔はその各位置における潤滑油の厚さと同じであることから、この二部材の間隔の最大値までは、前記相関を求めることができるが、例えば、二部材間領域以外の領域の特定位置における潤滑油が、この最大値を越える厚さである場合、この特定位置の潤滑油の厚さについては、前記相関(のみ)では求めることができないが、前記推定相関を求めることにより、二部材の間隔の最大値を越える厚さの潤滑油についても、その厚さを求めることが可能となる。 Further, it is preferable that the arithmetic unit obtains the correlation and also obtains an estimated correlation between a value larger than the maximum value of the distance between the two members and the brightness in the case of the value based on the tendency of the correlation. Since the distance between the two members at each position is the same as the thickness of the lubricating oil at each position, the correlation can be obtained up to the maximum value of the distance between the two members. When the lubricating oil at a specific position in the region has a thickness exceeding this maximum value, the thickness of the lubricating oil at this specific position cannot be obtained by the correlation (only), but the estimated correlation is obtained. As a result, it is possible to obtain the thickness of the lubricating oil having a thickness exceeding the maximum value of the distance between the two members.
また、温度変化によって蛍光物質を含む潤滑油の輝度が変化する場合がある。このような場合において、前記撮影装置は、前記対象領域を経時的に撮影し、前記演算装置は、前記撮影装置の撮影画像から複数の前記画像情報を取得し、複数の当該画像情報それぞれに基づいて前記相関を求め、当該相関の変化を判定するように構成してもよい。この構成によれば、例えば、二部材間領域に含まれる同じ位置での二部材の間隔において前記相関の変化を判定することで、二部材間領域における潤滑油の温度変化を求めることが可能となる。 In addition, the brightness of the lubricating oil containing a fluorescent substance may change due to a temperature change. In such a case, the photographing device photographs the target area over time, and the arithmetic unit acquires a plurality of the image information from the captured images of the photographing device and is based on each of the plurality of the image information. The correlation may be obtained and the change in the correlation may be determined. According to this configuration, for example, by determining the change in the correlation at the distance between the two members at the same position included in the two-member region, it is possible to obtain the temperature change of the lubricating oil in the two-member region. Become.
また、本発明は、蛍光物質を含む潤滑油を介して接触する幾何形状が既知の第一部材及び第二部材における潤滑油の厚さを求める測定方法であって、前記第一部材と前記第二部材との間の二部材間領域を含む領域に向けて光を照射するステップと、前記二部材間領域を含む対象領域を撮影するステップと、前記撮影により得られた画像から前記対象領域の輝度の分布を含む画像情報を取得し当該画像情報に基づいて当該対象領域における潤滑油の厚さを求めるステップと、を含み、前記潤滑油の厚さを求めるステップでは、取得した前記画像情報に基づいて前記幾何形状から前記二部材間の各位置における間隔と当該各位置における輝度との相関を求め、取得した前記画像情報から得られた前記対象領域中の各位置の輝度を前記相関により換算して当該各位置における潤滑油の厚さを求める。 Further, the present invention is a measuring method for determining the thickness of the lubricating oil in the first member and the second member whose geometric shapes are known to come into contact with each other through the lubricating oil containing a fluorescent substance, and the first member and the first member. A step of irradiating light toward a region including a region between two members between the two members, a step of photographing a target region including the region between the two members, and a step of photographing the target region from an image obtained by the photographing. In the step of acquiring the image information including the distribution of the brightness and obtaining the thickness of the lubricating oil in the target region based on the image information, and in the step of obtaining the thickness of the lubricating oil, the acquired image information is included. Based on the geometric shape, the correlation between the distance between the two members at each position and the brightness at each position is obtained, and the brightness at each position in the target region obtained from the acquired image information is converted by the correlation. Then, the thickness of the lubricating oil at each position is obtained.
この測定方法は、前記測定装置によって実行され、前記測定装置と同様の作用効果を奏することができる。つまり、例えば経時的に、照射する光の強度が変化したり蛍光物質が劣化したりしても、求める潤滑油の厚さの精度が低下するのを防止することができる。 This measuring method is executed by the measuring device, and can exert the same effect as that of the measuring device. That is, for example, even if the intensity of the irradiated light changes or the fluorescent substance deteriorates over time, it is possible to prevent the accuracy of the required lubricating oil thickness from decreasing.
本発明によれば、経時的に、照射する光の強度が変化したり蛍光物質が劣化したりしても、求める潤滑油の厚さの精度が低下するのを防止することができる。 According to the present invention, it is possible to prevent the accuracy of the required lubricating oil thickness from being lowered even if the intensity of the irradiated light changes or the fluorescent substance deteriorates over time.
〔測定装置の概要及び測定対象となる機械要素について〕
図1は、本発明の測定装置の一例を示す構成図である。この測定装置10は、潤滑油を介して接触する第一部材及び第二部材を含む機械要素における潤滑油の厚さを求めるための装置である。以下において説明する本実施形態では、前記機械要素は転がり軸受(玉軸受)20であり、前記第一部材は外輪(第一の軌道輪)21であり、前記第二部材は玉(転動体)22である。玉22は、外輪21と内輪(第二の軌道輪)23との間に複数介在しており、内輪23が回転することによって、玉22は外輪21の内周側に設けられている外輪軌道24及び内輪23の外周側に設けられている内輪軌道25それぞれを転がり接触する。外輪21は静止状態として保持されており、内輪23の回転により外輪21に対して玉22が転がり接触して移動する。この移動方向(回転方向)を矢印Sで示している。各玉22は、図外の保持器によって等間隔で保持されている。なお、転がり軸受20は、玉軸受以外であってもよく、転動体がころであるころ軸受であってもよい。また、潤滑油26の厚さの測定の対象とする機械要素は、転がり軸受以外であってもよい。
[Outline of measuring device and mechanical elements to be measured]
FIG. 1 is a block diagram showing an example of the measuring device of the present invention. The measuring
この測定装置10では、玉22及び内輪23は鋼製(例えば軸受鋼)であるが、外輪21は(測定用として)光を透過させる透明材料(ガラス又は樹脂)によって構成されている。玉22は球体であり、図1に示すように、玉22の中心Cを通りかつ転がり軸受20の(図外の)中心線に直交する断面において、玉22の断面形状は半径Rの円形である。外輪21及び内輪23は環状であり、外輪軌道24及び内輪軌道25は前記半径Rよりも大きな所定の半径を有する環状の面となるが、ここでは、説明を容易とするために平面としている。このように、玉22の幾何形状、並びに、外輪21及び内輪23の幾何形状は既知である。外輪21及び玉22の幾何形状については、後にも説明する。なお、転がり軸受20を構成する玉22や外輪21等の各構成部材は、寸法精度が極めて高い。
In this measuring
転がり軸受20は潤滑油26により潤滑されており、外輪21と内輪23との間に形成されている空間Nにおける潤滑油26の厚さを測定装置10が求める。図1に示す形態では、主に外輪21に付着している潤滑油26の厚さを求める場合について説明する。潤滑油26としてオイル又はグリースを採用することができる。潤滑油26には蛍光物質27が添加され、潤滑油26において蛍光物質27が分散して存在しており、所定波長の光によって特定波長の蛍光を発する。蛍光物質27としては、蛍光染料や蛍光粒子とすることができ、ローダミンBやクマリン等を採用することが可能である。
The rolling
〔測定装置10の構成について〕
測定装置10は、照射装置11、撮影装置12、及び演算装置13を備えている。本実施形態の測定装置10は、更に、光学フィルタ14を備えている。
[About the configuration of the measuring device 10]
The measuring
照射装置11は、外輪21の径方向外側に設置されており、外輪21と玉22との間の二部材間領域30を含む領域Qに向けて、所定波長の光を照射する。本実施形態の照射装置11は所定波長のレーザ光(YAGレーザ)を照射する。つまり、本実施形態では、レーザ誘起蛍光法を用いて潤滑油26の厚さを求める。または、照射装置11はLEDにより構成されていてもよい。蛍光物質27を含む潤滑油26は、照射装置11からの照射光を受けて発光する。潤滑油26(蛍光物質27)の発光波長は、照射光の波長よりも長い。
The irradiation device 11 is installed on the outer side in the radial direction of the
光学フィルタ14は、撮影装置12が有するレンズ15と、転がり軸受20(外輪21)との間に設置されている。光学フィルタ14は、潤滑油26(蛍光物質27)の発光波長の光を透過させるが、前記照射光の反射光を透過させない(遮断する)。これにより、撮影装置12は、外輪21及び玉22の反射光の影響を除いた潤滑油26(蛍光物質27)の発光画像を撮影することができる。
The
本実施形態の撮影装置12は、CCDカメラにより構成されている。この撮影装置12は、外輪21の径方向外側に設置されており、発光する潤滑油26の画像を、透明である外輪21を通じて取得する。撮影装置12が有するイメージセンサによって二部材間領域30を含む対象領域31の二次元画像を取得することができる。撮影装置12が撮影する二部材間領域30を含む対象領域31と、照射装置11が光を照らす前記領域Qとは一致していてもよく、前記対象領域31が前記領域Qよりも狭くてもよい。撮影装置12は、イメージセンサの多数の受光素子それぞれが受光した光の輝度に応じた信号を、撮影画像として出力する。この出力信号(撮影画像)を演算装置13が取得し、演算装置13がこの出力信号に基づいて各種処理を実行する。
The photographing
演算装置13は、コンピュータにより構成されており、各種情報(データ)を記憶する記憶部16、CPUにより構成されている演算処理部17、及び、各種情報を出力する出力部18(例えば情報を画像として出力するディスプレイ)を備えている。演算装置13は、撮影装置12の撮影画像から前記対象領域31の輝度の分布を含む画像情報を取得し、この画像情報に基づいて対象領域31における潤滑油26の厚さを求める処理を実行する。演算装置13が行う具体的な処理については、後に説明する。
The
〔外輪21及び玉22の幾何形状について〕
図1において、外輪21及び玉22の既知である幾何形状から得られる形状情報について説明する。図1に示す転がり軸受20(その一部)の断面において、玉22の中心Cを原点とする平面直交座標が設定される。この直交座標の平面(前記断面)は、玉22の中心Cを通りかつ転がり軸受20の中心線に直交する面である。この平面直交座標では、外輪21と玉22との接触点P0を通過する玉22の半径方向をY軸方向とし、このY軸方向に直交する方向をX軸方向とする。図2は、前記平面直交座標における外輪21及び玉22の説明図である。なお、平面直交座標の原点は、他の点であってもよい。
[Geometry of
In FIG. 1, shape information obtained from known geometric shapes of the
玉22を基準として、この玉22の移動方向(矢印S)側の領域(図2では右側の領域)には、その反対側の領域(図2では左側の領域)よりも潤滑油26が多く(厚く)存在している。ここでは、玉22の移動方向(矢印S)側の領域における外輪21と玉22との間の二部材間領域30を対象として説明する。この二部材間領域30には(全体ではないが)潤滑油26が存在している。潤滑油26が存在している二部材間領域30において、Y軸から距離Xnだけ離れた位置Pnにおける外輪21と玉22との間隔(Y軸方向の間隔)Dnは、その位置Pnの潤滑油26の厚さtnと等しくなる。なお、このY軸方向の間隔Dnを、二部材間領域30の幾何すきまとも言う。
With the
外輪21及び玉22の幾何形状は既知であることから、Y軸から距離Xnについて離れた位置Pnにおける前記間隔Dnは、次の式(1)で表される。
Dn=R−(R2−Xn2)1/2 ・・・ (1)
Since the geometric shapes of the
Dn = R- (R 2- Xn 2 ) 1/2 ... (1)
式(1)において、Rは玉22の半径であり既知の値であることから、二部材間領域30における前記間隔Dnは、Y軸からの距離Xnの関数となる。図3は、この関数を示す説明図である。以上のように、この関数(式(1)、図3)は、幾何形状が既知である外輪21及び玉22により求められる。そして、間隔Dnは、二部材間領域30における潤滑油26の厚さtnと等しい(Dn=tn)。この関数(式(1)、図3)は、二部材間領域30の形状情報として演算装置13(図1参照)の記憶部16に記憶されている。演算装置13は、この形状情報、及び、撮影装置12から取得した撮影画像に基づいて、以下に説明するように、対象領域31(図1参照)中の各位置における潤滑油26の厚さを求める。
In the formula (1), since R is the radius of the
〔測定方法について〕
前記のように構成された測定装置10によって行われる潤滑油26の厚さを求める方法について説明する。なお、測定の対象となる転がり軸受20は(図1参照)内輪23が一定速度で回転した状態にある。図4は、測定方法のフロー図である。
[Measurement method]
A method for determining the thickness of the lubricating
この測定方法には、図4において、照射ステップS1、撮影ステップS2、及び演算ステップS3が含まれる。図1及び図4において、照射ステップS1では、外輪21と玉22との間の前記二部材間領域30を含む領域Qに向けて照射装置11が光を照射する。撮影ステップS2では、前記二部材間領域30を含む対象領域31を撮影装置12が撮影する。演算ステップS3では、前記撮影により得られた画像から対象領域31の輝度の分布を含む画像情報を取得し、この画像情報に基づいて対象領域31の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求める。以下、各ステップの具体例を説明する。
In FIG. 4, this measurement method includes an irradiation step S1, an imaging step S2, and a calculation step S3. In FIGS. 1 and 4, in the irradiation step S1, the irradiation device 11 irradiates light toward the region Q including the two-
照射ステップS1では、固定状態の照射装置11(図1参照)は、回転する転がり軸受20の一部に対して、前記のとおり二部材間領域30を含む領域Qに向けて所定波長の光を照射する。転がり軸受20(内輪23)は回転していることから、撮影ステップS2では、撮影装置12により、潤滑油26を介して接触した状態で相対移動する外輪21と玉22との間の二部材間領域30を含む対象領域31が、経時的に連続して撮影される。そして、演算ステップS3では、演算装置13が、次の第一測定条件と第二測定条件との内の一方の測定条件にしたがって画像情報を取得する。
In the irradiation step S1, the irradiation device 11 in the fixed state (see FIG. 1) emits light having a predetermined wavelength toward a region Q including the region between the two
<第一測定条件>・・・「玉22の公転周期毎の画像情報を取得する。」
<第二測定条件>・・・「玉22の公転周期を玉22の数で除算した値の時間間隔(周期)の画像情報を取得する。」
<First measurement condition> ... "Acquire image information for each orbital period of the
<Second measurement condition> ... "Acquire the image information of the time interval (cycle) of the value obtained by dividing the orbital period of the
第一測定条件の場合、(撮影装置12は固定されていることから)複数の玉22の内の、特定の一つの玉22と外輪21との間の二部材間領域30を含む対象領域31の画像情報が、複数取得される。
第二測定条件の場合、(撮影装置12は固定されていることから)複数の玉22それぞれと外輪21との間の二部材間領域30を含む対象領域31の画像情報が、複数取得される。
第一測定条件と第二測定条件とはいずれが選択されてもよく、この選択に応じて演算装置13は画像情報を取得する。なお、どちらの測定条件を選択しても、所得した画像情報から、後述する相関を求める処理(第一処理)及び潤滑油26の厚さを求める処理(第二処理)は同じである。
In the case of the first measurement condition, the target region 31 including the
In the case of the second measurement condition, a plurality of image information of the target region 31 including the region between the two
Either the first measurement condition or the second measurement condition may be selected, and the
演算装置13は、前記第一測定条件と前記第二測定条件との内の一方の測定条件に従って所定のタイミング毎に撮影装置12によって撮影された複数の撮影画像から、一つの画像情報を取得すると、第一処理及び第二処理を実行する。前記第一処理は、取得した画像情報に基づいて、外輪21及び玉22の幾何形状(つまり、前記形状情報)から、これら二部材21,22間の各位置(図2においてPn)における間隔(Dn)と各位置(Pn)における輝度との相関を求める処理である。前記第二処理は、取得した画像情報から得られた対象領域31中の各位置(Pm)の輝度を、前記相関により換算してこの各位置(Pm)における潤滑油26の厚さ(tm)を求める処理である。なお、以下において、特に主体を説明しない処理については、演算装置13が行う。
When the
前記第一処理について具体的に説明する。取得した画像情報には、二部材間領域30における輝度の分布が含まれている。このため、図5に示すような、二部材間領域30において、Y軸からの距離がXnである位置Pnと、画像情報により得られた輝度(値)Lnとの関係(グラフ)が得られる。この関係は、輝度情報として記憶部16に記憶される。この記憶部16に記憶されている図3に示す前記形状情報と図5に示す輝度情報とに基づいて、二部材21,22間の各位置Pnにおける間隔Dnと、各位置Pnにおける輝度Lnとの相関K0(図6の実線部分)が求められる。間隔Dnは、二部材間領域30における潤滑油26の厚さtnと等しい(Dn=tn)ことから、この相関K0は、潤滑油26の厚さtnと、その厚さtnの場合の輝度Lnとの相関となる。厚さtn(間隔Dn)と輝度Lnとの相関K0は、この相関K0を求める対象となった前記画像情報と対応付けられて、記憶部16に記憶される。
The first treatment will be specifically described. The acquired image information includes the distribution of the brightness in the
前記第二処理について具体的に説明する。取得した画像情報には、前記対象領域31(図1参照)における二部材間領域30以外の領域についても、輝度の分布が含まれている。このため、二部材間領域30以外の領域の位置Pm(図2参照)における輝度(値)の情報を、取得することができる。そこで、演算装置13は、この位置Pmでの輝度(値)に対応する潤滑油26の厚さtmを、前記相関K0(図6参照)から求める。つまり、位置Pmでの輝度(値)を、相関K0により換算してこの位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求める。例えば、画像情報によれば、対象領域31に含まれる、ある位置での輝度(値)がL1である場合、図6に示す相関K0によれば、この位置における潤滑油26の厚さはt1となる。以上のようにして、対象領域31中の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めることが可能となる。
The second process will be specifically described. The acquired image information also includes a luminance distribution in a region other than the two-
演算装置13は、対象領域31中の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めると、位置Pmと厚さtmとを対応させて記憶部16に記憶させる。演算装置13は、この位置Pmと厚さtmとを対応させた対応情報を複数取得すると、例えば、対象領域31における潤滑油26の厚さtmの分布を画像として出力部18(ディスプレイ)に出力することができる。
When the
以上のように、本実施形態の測定装置10が行う測定方法は、蛍光物質27を含む潤滑油26を介して接触する幾何形状が既知の外輪21及び玉22における潤滑油26の厚さtmを求める方法である。この方法によれば、外輪21と玉22との幾何形状が既知であることから、これら二部材21,22の間隔Dn(つまり、二部材21,22間の隙間に存在する潤滑油26の厚さtn)と輝度Lnとの相関K0を、対象領域31中の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めるために取得した画像情報から、求めることが可能となる。つまり、本実施形態では、画像情報を取得する毎に相関K0を求め、その相関K0により当該画像情報から潤滑油26の厚さtmを求める処理が行われる。このため、例えば経時的に、照射装置11が照射する光の強度が変化したり、潤滑油26中の蛍光物質27が劣化したり、外乱によって前記相関K0が経時的に変化するような場合であっても、求める潤滑油26の厚さtmの精度が低下するのを防止することができる。また、潤滑油成分の付着や表面粗さの変化等といった表面の状態変化が生じて蛍光強度が変化する場合であっても、本実施形態によれば、求める潤滑油26の厚さtmの精度が低下するのを防止することができる。
As described above, the measuring method performed by the measuring
前記のとおり、二部材21,22の各位置Pnにおける間隔Dnは、その各位置Pnにおける潤滑油26の厚さtnと同じであることから、理論上、この二部材21,22の間隔Dnの最大値(本実施形態では半径R)までは、前記相関K0を求めることができる。しかし、図2に示すように、二部材21,22間の全領域に潤滑油26が存在していない場合や、二部材間領域30以外の領域の特定位置における潤滑油が、前記最大値(R)を越える厚さである場合、この特定位置の潤滑油26の厚さについては、前記相関K0のみでは求めることができない。そこで、本実施形態では、演算装置13は、次に説明する推定相関K1(図6の二点鎖線部分)を追加的に求める。これにより、例えば、二部材21,22の間隔Dnの最大値(R)を越える厚さの潤滑油26についても、その厚さを求めることが可能となる。
すなわち、図6の実線で示す、二部材21,22の幾何形状により求めた前記相関K0を、所定の関数に近似することができ、演算装置13は、この近似する関数(以下、近似関数と呼ぶ。)を求める。更に、演算装置13は、相関K0では不足する図6の二点鎖線で示す範囲(つまり、値Rよりも大きい範囲)についての間隔Dnと輝度Lnとの関係(相関)を、前記近似関数に基づいて求め、これを前記推定相関K1とする。例えば、図6の場合、相関K0は線形であることから、その延長を前記推定相関K1とする。このように、演算装置13は、前記相関K0を求めると共に、二部材21,22の間隔Dnの最大値よりも大きい値と、その値の場合の輝度Lnとの推定相関K1を、相関K1の傾向に基づいて求める処理を行う。これにより、例えば、二部材21,22の間隔Dnの最大値(R)を越える厚さの潤滑油26についても、その厚さを演算装置13は求めることが可能となる。
As described above, since the interval Dn at each position Pn of the two
That is, the correlation K0 obtained from the geometric shapes of the two
そして、本実施形態では、撮影装置12は、対象領域31を経時的に連続して撮影しており、前記第一測定条件であっても前記第二測定条件であっても、演算装置13は、この撮影装置12の撮影画像から経時的に連続する複数の画像情報を取得する。そして、取得した複数の画像情報の内の一つの画像情報から得られた対象領域31中の各位置Pmの輝度を、この一つの画像情報に基づいて二部材21,22の前記幾何形状から求めた相関K0により換算して、各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めている。このように、取得した複数の画像情報の内の一つの画像情報から、相関K0を求め、そして、この一つの画像情報から得られた対象領域31中の各位置Pmの輝度を、この相関K0により換算して、各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めている。これにより、より一層確実に測定精度が低下するのを防止することができる。
Then, in the present embodiment, the photographing
なお、対象領域31中の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めるために取得した画像情報の直前(又は直後)に取得された別の画像情報から、相関K0を求めてもよい。これは、経時的に連続する複数の画像情報の間では、これらを取得した時間間隔は短い(例えば、前記時間間隔は数ミリ秒である)ことから、光の強度が変化したり蛍光物質が劣化したりすることは考えにくいためであり、前記のように直前(又は直後)の別の画像情報から求めた相関K0を用いても、測定精度が低下するのを防止することは可能である。
The correlation K0 may be obtained from another image information acquired immediately before (or immediately after) the image information acquired in order to obtain the thickness tm of the lubricating
また、本実施形態では、前記第一測定条件であっても前記第二測定条件であっても、演算装置13は、撮影装置12が異なるタイミングで撮影した撮影画像から複数の画像情報を取得することとなる。そして、取得した複数の画像情報のそれぞれから、相関K0を求めると共に、この相関K0により換算して対象領域31中の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めている。この構成によれば、例えば、第一のタイミングで撮影されたことで取得した画像情報と、別の第二のタイミングで撮影されたことで取得した画像情報とのそれぞれで、相関K0を求め、対象領域31中の各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmを求めることができるため、例えば、各位置Pmにおける潤滑油26の厚さtmについて、経時的な変化を示す情報を得ることが可能となる。
Further, in the present embodiment, regardless of the first measurement condition or the second measurement condition, the
ここで、前記測定装置10は、前記のような潤滑油26の厚さを求める機能以外として、潤滑油26の温度変化を求める機能も備えている。これは、温度変化によって蛍光物質27を含む潤滑油26の輝度が変化する場合に可能となる。この機能を実現するために、撮影装置12は、対象領域31を経時的に撮影する。そして、演算装置13は、撮影装置12の撮影画像から経時的に連続する複数の画像情報を取得する。演算装置13は、取得した複数の画像情報それぞれに基づいて相関K0を求める。以上の処理は、潤滑油26厚さを求める場合と同様である。潤滑油26の温度変化を求めるために、演算装置13は、求めた相関K0の変化を判定する。この相関K0の変化の判定は、二部材間領域30であって潤滑油26が存在している領域での所定位置において、輝度が変化しているか否かに基づいて行われる。つまり、所定位置において輝度が経時的に変化していることは、潤滑油26のその所定位置における温度が変化していることを意味する。したがって、この演算装置13によれば、二部材間領域30における潤滑油26の温度変化を求めることが可能となる。
Here, the measuring
なお、演算装置13が行う前記の各処理は、撮影装置12が撮影を行う時間帯と重なる時間帯において実行してもよいが、撮影画像を記録する等して、撮影を行う時間帯の後で実行してもよい。
Each of the above-mentioned processes performed by the
以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明の測定装置及び測定方法は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。
前記実施形態では、照射装置11及び撮影装置12をそれぞれ一台としたが、いずれか一方又は双方を複数台としてもよく、複数の領域を撮影及び測定の対象としてもよい。例えば撮影装置12を複数とする場合、一つの撮影装置12は第一部材(外輪21)を主に撮影し、他の撮影装置12が第二部材(玉22)を主に撮影するようにしてもよい。そして、照射装置11による光の照射方向、及び、撮影装置12の撮影方向は、転がり軸受20の半径方向のみならず、転がり軸受20の軸方向に平行な方向としてもよい。
The embodiments disclosed as described above are exemplary in all respects and are not restrictive. That is, the measuring device and the measuring method of the present invention are not limited to the illustrated form, and may be other forms within the scope of the present invention.
In the above-described embodiment, the irradiation device 11 and the photographing
前記実施形態では、蛍光物質27を含む潤滑油26を介して接触する幾何形状が既知の第一部材及び第二部材を、外輪21及び玉22とした場合について説明したが、それ以外であってもよく、玉22(転動体)と、玉22を保持する(図示していない)保持器としてもよい。
また、測定の対象を転がり軸受20としたが、相互が接触する一対の歯車であってもよい。歯車の場合、歯形状(インボリュート曲線)が既知であることから、これら歯車に蛍光物質を含む潤滑油を塗布すればよい。
In the above embodiment, the case where the first member and the second member whose geometric shapes are known to come into contact with each other via the lubricating
Further, although the object of measurement is the rolling
10:測定装置 11:照射装置 12:撮影装置
13:演算装置 21:外輪(第一部材) 22:玉(第二部材)
26:潤滑油 27:蛍光物質 30:二部材間領域
31:対象領域 K0:相関 K1:推定相関
tn,tm:潤滑油の厚さ Pn,Pm:位置
10: Measuring device 11: Irradiation device 12: Imaging device 13: Arithmetic device 21: Outer ring (first member) 22: Ball (second member)
26: Lubricating oil 27: Fluorescent substance 30: Area between two members 31: Target area K0: Correlation K1: Estimated correlation nt, tm: Lubricating oil thickness Pn, Pm: Position
Claims (7)
前記第一部材と前記第二部材との間の二部材間領域を含む領域に向けて光を照射する照射装置と、
前記二部材間領域を含む対象領域を撮影する撮影装置と、
前記撮影装置の撮影画像から前記対象領域の輝度の分布を含む画像情報を取得し当該画像情報に基づいて当該対象領域における潤滑油の厚さを求める演算装置と、を備え、
前記演算装置は、取得した前記画像情報に基づいて前記幾何形状から前記二部材間の各位置における間隔と当該各位置における輝度との相関を求め、取得した前記画像情報から得られた前記対象領域中の各位置の輝度を前記相関により換算して当該各位置における潤滑油の厚さを求める、測定装置。 A measuring device for determining the thickness of the lubricating oil in the first member and the second member whose geometric shapes are known to come into contact with each other through the lubricating oil containing a fluorescent substance.
An irradiation device that irradiates light toward a region including a region between two members between the first member and the second member, and an irradiation device.
An imaging device that photographs the target area including the area between the two members, and
It is provided with an arithmetic unit that acquires image information including the brightness distribution of the target region from the captured image of the imaging device and obtains the thickness of the lubricating oil in the target region based on the image information.
The arithmetic device obtains the correlation between the distance between the two members at each position and the brightness at each position from the geometric shape based on the acquired image information, and the target region obtained from the acquired image information. A measuring device that converts the brightness of each position in the inside by the correlation to obtain the thickness of the lubricating oil at each position.
前記演算装置は、前記撮影装置の撮影画像から複数の前記画像情報を取得し、複数の当該画像情報の内の一つの画像情報から得られた前記対象領域中の各位置の輝度を、当該一つの画像情報に基づいて前記幾何形状から求めた前記相関により換算して、当該各位置における潤滑油の厚さを求める、請求項1又は2に記載の測定装置。 The imaging device photographs the target area over time.
The arithmetic device acquires a plurality of the image information from the captured images of the photographing device, and sets the brightness of each position in the target region obtained from one of the plurality of the image information to the one. The measuring device according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the lubricating oil at each position is obtained by converting from the correlation obtained from the geometric shape based on the two image information.
前記演算装置は、前記撮影装置が異なるタイミングで撮影した撮影画像から複数の前記画像情報を取得し、取得した複数の当該画像情報のそれぞれから、前記撮影画像を撮影したそれぞれのタイミングにおける前記相関を求めると共に当該相関により換算して、前記撮影画像を撮影したそれぞれのタイミングにおける前記対象領域中の前記各位置における潤滑油の厚さを求める、請求項1〜3のいずれか一項に記載の測定装置。 The target region including the region between the two members between the first member and the second member, which move relative to each other in contact with each other via the lubricating oil, is photographed over time.
The calculation device acquires a plurality of the image information from the captured images taken by the photographing device at different timings, and from each of the acquired plurality of the image information, the correlation at each timing when the captured image is captured is obtained. The measurement according to any one of claims 1 to 3, wherein the thickness of the lubricating oil at each position in the target region at each timing when the captured image is captured is determined and converted by the correlation. apparatus.
前記演算装置は、前記撮影装置の撮影画像から複数の前記画像情報を取得し、複数の当該画像情報それぞれに基づいて前記相関を求め、当該相関の変化を判定する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の測定装置。 The imaging device photographs the target area over time.
Any of claims 1 to 5, wherein the arithmetic unit acquires a plurality of the image information from the captured images of the photographing device, obtains the correlation based on each of the plurality of the image information, and determines a change in the correlation. The measuring device according to item 1.
前記第一部材と前記第二部材との間の二部材間領域を含む領域に向けて光を照射するステップと、
前記二部材間領域を含む対象領域を撮影するステップと、
前記撮影により得られた画像から前記対象領域の輝度の分布を含む画像情報を取得し当該画像情報に基づいて当該対象領域における潤滑油の厚さを求めるステップと、
を含み、
前記潤滑油の厚さを求めるステップでは、取得した前記画像情報に基づいて前記幾何形状から前記二部材間の各位置における間隔と当該各位置における輝度との相関を求め、取得した前記画像情報から得られた前記対象領域中の各位置の輝度を前記相関により換算して当該各位置における潤滑油の厚さを求める、測定方法。 It is a measuring method for determining the thickness of the lubricating oil in the first member and the second member whose geometric shapes that come into contact with each other through the lubricating oil containing a fluorescent substance are known.
A step of irradiating a region including a region between two members between the first member and the second member, and a step of irradiating light.
The step of photographing the target area including the area between the two members, and
A step of acquiring image information including the brightness distribution of the target region from the image obtained by the photographing and obtaining the thickness of the lubricating oil in the target region based on the image information.
Including
In the step of obtaining the thickness of the lubricating oil, the correlation between the distance between the two members at each position and the brightness at each position is obtained from the geometric shape based on the acquired image information, and from the acquired image information. A measuring method in which the obtained brightness of each position in the target region is converted by the correlation to obtain the thickness of the lubricating oil at each position.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017082487A JP6879030B2 (en) | 2017-04-19 | 2017-04-19 | Measuring device and measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017082487A JP6879030B2 (en) | 2017-04-19 | 2017-04-19 | Measuring device and measuring method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018179864A JP2018179864A (en) | 2018-11-15 |
| JP6879030B2 true JP6879030B2 (en) | 2021-06-02 |
Family
ID=64276082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017082487A Expired - Fee Related JP6879030B2 (en) | 2017-04-19 | 2017-04-19 | Measuring device and measuring method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6879030B2 (en) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2917861B2 (en) * | 1995-05-15 | 1999-07-12 | ブリヂストンスポーツ株式会社 | Method and apparatus for measuring thickness of golf ball coating |
| GB9719856D0 (en) * | 1997-09-19 | 1997-11-19 | Aea Technology Plc | Monitoring oil films |
| JP2001264021A (en) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Nok Corp | Apparatus and method, for measuring fluid film thickness |
| JP2016188801A (en) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | Film thickness measuring apparatus and film thickness measuring method |
-
2017
- 2017-04-19 JP JP2017082487A patent/JP6879030B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2018179864A (en) | 2018-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9983149B2 (en) | Bore testing device | |
| RU2523092C2 (en) | Method and apparatus for measuring profile of spherical incurved, particularly, cylindrical bodies | |
| CN107003207B (en) | Method and apparatus for testing gears | |
| US20200064277A1 (en) | Method of detecting defects in work pieces having curved or cylindrical surfaces | |
| JP2012514193A (en) | Non-destructive inspection method for machine parts | |
| WO2014007246A1 (en) | Bearing part inspection method and bearing part inspection device | |
| JP2017207316A (en) | Oil film thickness measuring device and measuring method | |
| Schmidt et al. | FULL‐FIELD DYNAMIC DISPLACEMENT AND STRAIN MEASUREMENT‐SPECIFIC EXAMPLES USING ADVANCED 3D IMAGE CORRELATION. PHOTOGRAMMETRY: PART II | |
| US10766654B2 (en) | Inspection device and production management method | |
| CN111919085A (en) | Thread shape measuring device and measuring method | |
| JP6866661B2 (en) | Oil film thickness measuring device and oil film thickness measuring method | |
| CN103196381A (en) | Novel elastohydrodynamic lubricating film thickness measuring method based on light interference | |
| US20250139755A1 (en) | Unevenness measuring device for sheet-shaped material, and unevenness measuring method for sheet-shaped material | |
| CN112840206B (en) | Surface measuring method, part manufacturing method, part inspection method, and part measuring device | |
| JP6879030B2 (en) | Measuring device and measuring method | |
| CN112888531B (en) | Work inspection device and work inspection method | |
| JP2002333310A (en) | Oiling amount distribution measuring device and oiling amount distribution measuring method | |
| JP6911647B2 (en) | Measuring method | |
| JP2020051813A (en) | Measurement method and measurement device | |
| JP2019138717A (en) | Oil film thickness measuring method | |
| JP5768349B2 (en) | Slit light intensity distribution design method and light cutting uneven surface wrinkle detecting device | |
| JP2013156201A (en) | Roller behavior measurement method and roller behavior measurement apparatus | |
| JP2007177735A (en) | Gear pump | |
| FR3139895A1 (en) | Device and method for checking the flatness of a metal sheet. | |
| JP2020034347A (en) | Measuring device and measuring method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200317 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210113 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210126 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210311 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210330 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210412 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6879030 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |