JP6892811B2 - 組成物、熱伝導材料、熱伝導層付きデバイス - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1では、窒化アルミニウム粒子の表面の少なくとも一部の領域が、αアルミナ(酸化アルミニウム)を含む被覆層で被覆された複合粒子、および、この複合粒子を含む樹脂組成物が開示されている。
本発明者らは特許文献1に記載の樹脂組成物を用いて得られる熱伝導材料の耐久性について検討したところ、更なる向上が必要であることを知見した。
また、本発明は、熱伝導材料および熱伝導層付きデバイスを提供することを課題とする。
すなわち、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。
表面被覆窒化アルミニウム粒子が、窒化アルミニウム粒子と、窒化アルミニウム粒子表面上に配置された酸化アルミニウム膜とを含み、
酸化アルミニウム膜の膜厚が5〜50nmである、組成物。
(2) 水酸基が、フェノール性水酸基である、(1)に記載の組成物。
(3) 化合物が、後述する式(A)で表される化合物である、(1)または(2)に記載の組成物。
(4) 酸化アルミニウム膜の膜厚が10〜20nmである、(1)〜(3)のいずれかに記載の組成物。
(5) 表面被覆窒化アルミニウム粒子の表面積に対する化合物の含有量の比が、8.0μmol/m2以上である、(1)〜(4)のいずれかに記載の組成物。
(6) 表面被覆窒化アルミニウム粒子の表面が化合物で被覆されている、(1)〜(5)のいずれかに記載の組成物。
(7) 熱伝導材料を形成するために用いられる、(1)〜(6)のいずれかに記載の組成物。
(8) (1)〜(7)のいずれかに記載の組成物を用いて形成された熱伝導材料。
(9) シート状である、(8)に記載の熱伝導材料。
(10) デバイスと、デバイス上に配置された(8)または(9)に記載の熱伝導材料を含む熱伝導層とを有する、熱伝導層付きデバイス。
また、本発明によれば、熱伝導材料および熱伝導層付きデバイスを提供できる。
なお、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
従来技術において、熱伝導材料の耐久性が劣る原因として、窒化アルミニウム粒子と、バインダーである樹脂との間の接着性の低下が考えられる。また、水分により窒化アルミニウム粒子の加水分解が生じることも考えられる。
それに対して、本発明においては、所定の膜厚の酸化アルミニウム膜を有する表面被覆窒化アルミニウム粒子と、水酸基およびカルボキシル基を有する化合物とを併用することにより、上記問題が解決でき、結果として所望の特性を示す組成物が得られたと推測される。つまり、本発明においては、熱伝導材料中における表面被覆窒化アルミニウム粒子とバインダーとがより強固に接続すると共に、表面被覆窒化アルミニウム粒子中の窒化アルミニウムの加水分解が抑制されていると推測される。
表面被覆窒化アルミニウム粒子(以後、単に「表面被覆AlN粒子」ともいう)は、窒化アルミニウム粒子と、窒化アルミニウム粒子表面上に配置された酸化アルミニウム膜とを含む。表面被覆AlN粒子は、窒化アルミニウム粒子の表面の少なくとも一部が酸化アルミニウム膜で被覆されてなる粒子であればよい。
表面被覆AlN粒子においては、窒化アルミニウム粒子の表面全域に酸化アルミニウム膜が配置されていることが好ましい。つまり、窒化アルミニウム粒子の表面全域が酸化アルミニウム膜で被覆されていることが好ましい。
酸化アルミニウム膜の膜厚が5nm未満および50nm超の場合、所望の効果が得られない。
酸化アルミニウム膜の膜厚は、Auger電子分光の深さ方向分析により求める。より具体的には、Auger電子分光により組成分析とAr(アルゴン)イオン銃を用いた表面エッチングとを繰り返して実施することにより、表面被覆AlN粒子中の酸化アルミニウム膜の膜厚を求める。なお、上記分析において、窒素原子と酸素原子との組成が同量の位置を酸化アルミニウムと窒化アルミニウムの界面として、酸化アルミニウムの膜厚を求める。
上記平均粒子径の測定方法としては、レーザー散乱式等の粒度分布測定装置を用いる方法、および、電子顕微鏡を用いて実測粒径を測定する方法が挙げられる。
また、粒度分布に関しては特に制限されず、単一分散であってもよいし、単一分散でなく、複数の粒度分布を持っていてもよい。
上記比表面積は、いわゆるBET比表面積であり、窒素ガス吸着法により求める。
後段で詳述するように、複合粒子は、組成物を調製する際に、表面被覆AlN粒子と特定化合物とを先に接触させることにより、調製できる。
窒化アルミニウム粒子を空気中にて加熱する方法の場合、加熱温度および加熱時間を調整することにより、酸化アルミニウム膜の膜厚を調整できる。
表面被覆AlN粒子は、1種単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。表面被覆AlN粒子が2種以上用いられる場合、その合計含有量が上記範囲であることが好ましい。
なお、組成物中の全固形分とは、熱伝導材料を形成し得る成分を意図し、溶媒は含まれない。なお、成分の性状が液体状であっても、熱伝導材料を形成し得る成分は、固形分として上記計算に含める。
エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂である。
エポキシ樹脂の種類は特に制限されず、公知のエポキシ樹脂が挙げられる。例えば、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、および、酸化型エポキシ樹脂が挙げられる。
グリシジルエーテル型エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、および、アルコール型エポキシ樹脂が挙げられる。
また、グリシジルエステル型エポキシ樹脂としては、例えば、ヒドロフタル酸型エポキシ樹脂、および、ダイマー酸型エポキシ樹脂が挙げられる。
また、グリシジルアミン型エポキシ樹脂としては、芳香族アミン型エポキシ樹脂、および、アミノフェノール型エポキシ樹脂が挙げられる。
また、酸化型エポキシ樹脂としては、脂環型エポキシ樹脂が挙げられる。
さらに、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、フェノール骨格とビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂(ビフェニルノボラックエポキシ樹脂)、および、リン変性エポキシ樹脂も挙げられる。
エポキシ樹脂の粘度(25℃)は特に制限されないが、溶媒への溶解性など取り扱い性がより優れる点から、0.1〜1000Pa・sが好ましい。
エポキシ樹脂は、1種単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。エポキシ樹脂が2種以上用いられる場合、その合計量と硬化剤の含有量との合計が上記範囲であることが好ましい。
水酸基およびカルボキシル基を有する化合物(特定化合物)は、少なくとも水酸基およびカルボキシル基の両方を有する化合物である。特定化合物は、エポキシ樹脂とは異なる成分である。
特定化合物中における水酸基の数は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、1〜3個が好ましく、1〜2個がより好ましく、1個がさらに好ましい。
特定化合物中におけるカルボキシル基の数は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、1〜3個が好ましく、1〜2個がより好ましく、1個がさらに好ましい。
特定化合物の好適態様としては、式(1)で表される化合物が挙げられる。
式(1) (HOOC−L1)n−Ar−(L2−OH)m
L1およびL2は、それぞれ独立に、単結合または2価の連結基を表す。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、単結合が好ましい。
2価の連結基としては特に制限されないが、例えば、−O−、−CO−、−NRA−、および、2価の炭化水素基からなる群より選ばれるいずれか1種または2種以上を組み合わせた基を表す。RAは、水素原子またはアルキル基を表す。
上記2価の炭化水素基としては、例えば、アルキレン基、アルケニレン基(例:−CH=CH−)、アルキニレン基(例:−C≡C−)、および、アリーレン基(例:フェニレン基)が挙げられる。上記アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状、および、環状のいずれであってもよい。また、その炭素数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜4がさらに好ましい。
2価の連結基としては、アルキレン基が好ましい。
芳香族炭化水素環としては、単環式芳香族炭化水素環および多環式芳香族炭化水素環のいずれであってもよい。
単環式芳香族炭化水素環基を構成する単環式芳香族炭化水素環としては、例えば、5員〜10員の環が挙げられ、5員または6員の環が好ましい。単環式芳香族炭化水素環としては、具体的には、ベンゼン環が挙げられる。
式(A) HOOC−L1−Ar−OH
L1は、単結合または2価の連結基を表す。Arは、2価の芳香族炭化水素環基を表す。
L1およびArの定義および好適態様は、上述した通りである。
なお、Ar中におけるHOOC−L1−で表される基およびOH基の結合位置は特に制限されず、Arがフェニレン基である場合、両者がオルト位、メタ位、および、パラ位のいずれの関係であってもよく、パラ位が好ましい。
特定化合物は、1種単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。特定化合物が2種以上用いられる場合、その合計含有量が上記範囲であることが好ましい。
上記比の算出において、特定化合物の含有量の単位はμmolであり、表面被覆AlN粒子の表面積の単位はm2である。
なお、上記表面被覆AlN粒子の表面積に対する特定化合物の含有量の比(R値)は、以下式(2)で表されるように、組成物中に含まれる表面被覆AlN粒子の含有量(g)と表面被覆AlN粒子のBET比表面積(m2/g)とを掛け合わせて得られる表面被覆AlN粒子の表面積(全表面積)に対する、特定化合物の含有量(μmol)の比を表す。
式(2) R値=(特定化合物の含有量(μmol))/{表面被覆AlN粒子の含有量(g)×表面被覆AlN粒子のBET比表面積(m2/g)}
硬化剤としては、上述したエポキシ樹脂を硬化させる化合物が挙げられ、例えば、フェノール系硬化剤(例:ノボラック樹脂)、芳香族アミン系硬化剤、脂肪族アミン系硬化剤、メルカプタン系硬化剤、酸無水物硬化剤、および、イソシアネート系硬化剤などの重付加型硬化剤、並びに、ブロックイソシアネート系硬化剤などの潜在性硬化剤が挙げられる。
組成物中における硬化剤の含有量は特に制限されないが、組成物中の全固形分に対して、1〜30質量%が好ましく、3〜15質量%がより好ましい。
また、エポキシ樹脂と硬化剤との含有量の関係としては、エポキシ樹脂中のエポキシ基1モルに対して硬化剤の化学当量が0.01〜5当量となることが好ましい。
組成物は、上述した表面被覆AlN粒子、エポキシ樹脂、特定化合物、および、硬化剤以外の他の成分を含んでいてもよい。
組成物は、硬化促進剤を含んでいてもよい。
硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、2−エチル−4−メチルイミダゾール、三フッ化ホウ素アミン錯体、および、1−ベンジル−2−メチルイミダゾールが挙げられる。
組成物中における硬化促進剤の含有量は特に制限されないが、組成物中の全固形分に対して、0.01〜10質量%が好ましい。
溶媒の種類は特に制限されず、有機溶媒であることが好ましい。有機溶媒としては、アルコール系溶媒、ハロゲン系溶媒、非プロトン性の極性溶媒、芳香族系溶媒、ケトン系溶媒、エーテル系溶媒、または、エステル系溶媒が挙げられる。
組成物の製造方法は特に制限されず、公知の方法を採用でき、例えば、上述した各種成分を公知の方法で混合することにより製造できる。混合する際には、各種成分を一括で混合しても、順次混合してもよい。
なかでも、上述したように、複合粒子が容易に得られる点で、表面被覆AlN粒子と特定化合物とを先に接触させて、その後、得られた生成物とエポキシ樹脂と硬化剤とを混合して、組成物を調製する方法が好ましい。
なお、表面被覆AlN粒子と特定化合物とを接触させる方法は特に制限されず、表面被覆AlN粒子と特定化合物とを溶液中に添加して、混合する方法が挙げられる。
組成物の硬化方法は特に限定されず、例えば、熱硬化反応であっても、光硬化反応であってもよく、熱硬化反応が好ましい。
熱硬化反応の際の加熱温度は特に限定されない。例えば、50〜200℃の範囲で適宜選択すればよい。また、熱硬化反応を行う際には、温度の異なる加熱処理を複数回にわたって実施してもよい。
また、塗布の方法としては、例えば、コンマコート法、ダイコート法、リップコート法、および、グラビアコート法が挙げられる。
また、組成物の塗布を行う際、組成物を塗布する支持体としては、例えば、離形フィルムが挙げられる。
上記のような半硬化させた硬化物をデバイスに接触するように配置した後、さらに加熱などによって本硬化させることにより、硬化物である熱伝導材料を含む層とデバイスとの接着性がより向上する。
上記組成物は、種々の用途に適用できる。例えば、熱伝導材料の形成に好適に用いることができる。つまり、組成物を用いて形成される硬化物は、熱伝導材料として好適に用いることができる。熱伝導材料中には、表面被覆AlN粒子、特定化合物、および、エポキシ樹脂を硬化させてなるバインダーが含まれる。
熱伝導材料の形状は特に限定されず、用途に応じて、様々な形状に成形されたものであってもよい。典型的には、熱伝導材料は、シート状であることが好ましい。
本発明の熱伝導材料は十分な熱伝導性を有するとともに、優れた耐久性を有しているため、パーソナルコンピュータ、および、一般家電などの様々な電子機器に用いられているパワー半導体デバイスの放熱用途に適している。
なお、上述したように、熱伝導材料は、完全に硬化した状態であってもよく、半硬化状態(上述したBステージ状態)であってもよい。
例えば、シート状の熱伝導材料は、シート状の支持体と組み合わせられていてもよい。シート状の支持体としては、プラスチックフィルム、金属フィルム、および、ガラス板が挙げられる。
合成空気中(20vol%O2−N2)にて、市販の窒化アルミニウム粒子((株)MARUWA製 S−30、平均粒子径:35μm)を700〜1000℃で5〜20時間保持することにより、窒化アルミニウム粒子の表面全域上に配置された酸化アルミニウム膜の厚みを調整した表面被覆AlN粒子を各種合成した。
なお、上記手順に従って、酸化アルミニウム膜の膜厚が3nm、5nm、7nm、10nm、20nm、50nm、および、70nmの表面被覆AlN粒子をそれぞれ合成した。酸化アルミニウム膜の膜厚は、Auger電子分光により組成分析とAr(アルゴン)イオン銃を用いた表面エッチングとを繰り返して実施し、窒素原子と酸素原子との組成が同量の位置を酸化アルミニウムと窒化アルミニウムの界面として、酸化アルミニウムの膜厚を求めた。また、透過型顕微鏡にて表面被覆AlN粒子を観察することで、窒化アルミニウム粒子の表面全域が酸化アルミニウム膜で被覆されていることを確認した。
表1に示す種類の表面被覆AlN粒子(23.5g)、表1に示す種類の化合物A〜Fのいずれかの特定化合物(配合量(μmol)は表1に示す通り)、EPPN−201(日本化薬社製、エポキシ樹脂)(1.5g)、エポトートZX−1059(新日鐵住金社製、エポキシ樹脂)(1.5g)、KAYAHARD GPH−65(日本化薬社製、硬化剤)(2g)、トリフェニルホスフィン(0.03g)、および、シクロヘキサノン(4g)を一括で混合して、組成物を得た。
塗膜の厚みが300μmとなるように、得られた組成物を基板上に塗布して、140℃で10分間乾燥させた。次に、得られた塗膜に対して、真空プレス(圧力:5MPa、温度:140℃、時間:20分間)を行い、さらに、150℃で20分間加熱して、シート状の熱伝導材料を得た。
熱伝導材料中の表面被覆AlN粒子の体積分率は、64体積%であった。
表1に示す化合物AまたはBの特定化合物(配合量は表1に示す通り)を溶解したエタノール溶液(濃度0.3mM)と、表1に示す表面被覆AlN粒子(23.5g)とを混合して、エタノールを揮発除去して、複合粒子を得た。
得られた複合粒子と、EPPN−201(日本化薬社製、エポキシ樹脂)(1.5g)、エポトートZX−1059(新日鐵住金社製、エポキシ樹脂)(1.5g)、KAYAHARD GPH−65(日本化薬社製、硬化剤)(2g)、トリフェニルホスフィン(0.03g)、および、シクロヘキサノン(4g)を混合して、組成物を得た。
つまり、本実施例では、事前に表面被覆AlN粒子と特定化合物とを混合させることにより、表面被覆AlN粒子の表面が特定化合物で被覆された複合粒子を得ている。
次に、得られた組成物を用いて、<実施例1〜10、比較例1〜比較例5>と同様の手順に従って、シート状の熱伝導材料を得た。
アイフェィズ社製熱拡散率測定装置(ai−Phase Mobile M3)を用いて、上記実施例および比較例にて得られたシート状の熱伝導材料の熱拡散率を測定した。得られた熱拡散率を、初期熱拡散率とする。
次に、シート状の熱伝導材料を空気中にて175℃で300時間放置した。
次に、加熱処理後のシート状の熱伝導材料の熱拡散率を測定した。得られた熱拡散率を、処理後熱拡散率とする。
初期熱拡散率に対する処理後熱拡散率の比率を求めた。結果を表1にまとめて示す。この比率が高いほど、熱伝導率が維持され、耐久性に優れる。
なお、上記比率は、以下の式によって求められる。以下式で求められる比率は、80%以上であることが実用上好ましい。
比率(%)={(処理後熱拡散率)/(初期熱拡散率)}×100
「R値(μmol/m2)」欄は、表面被覆AlN粒子の表面積(全表面積)(m2)に対する特定化合物の含有量(μmol)の比(μmol/m2)を表し、以下の式によって求められる比(R値)である。
R値=(配合量)/{(23.5)×(表面被覆AlN粒子のBET比表面積)}
なお、上記23.5は、表面被覆AlN粒子の使用量(g)を表す。
化合物A:4−ヒドロキシ安息香酸(C6H4OHCOOH(分子量138))
化合物B:3−(4−ヒドロキシフェニル)プロピオン酸(C6H4OH(CH2)2COOH(分子量166))
化合物C:6−ヒドロキシ−2−ナフタレンカルボン酸(C10H6OHCOOH(分子量188))
化合物D:4−(6−ヒドロキシヘキシルオキシ)安息香酸(C6H4O(CH2)6OHCOOH(分子量238))
化合物E:安息香酸(C6H5COOH(分子量122))
化合物F:ステアリン酸(C17H35COOH(分子量285))
実施例1〜5の比較より、酸化アルミニウム膜の膜厚が10〜20nmの場合、より効果が優れることが確認された。
実施例3、6〜8の比較より、水酸基がフェノール性水酸基の場合、より効果が優れることが確認された。
実施例3、9〜10の比較より、表面被覆AlN粒子の表面積に対する特定化合物の含有量の比が、8μmol/m2以上である場合、より効果が優れることが確認された。
実施例3と11(または、実施例6と12)の比較より、表面被覆AlN粒子の表面が特定化合物で被覆されている場合、より効果が優れることが確認された。
一方で、酸化アルミニウム膜の膜厚が所定の範囲外である比較例1および5、並びに、特定化合物を使用していない比較例2〜4では所望の効果が得られなかった。
なお、トリフェニルホスフィンを使用しない以外は、実施例1と同様の手順に従って熱伝導材料を作製したところ、得られた熱伝導材料は実施例1と略同様の耐久性評価を示した。
Claims (10)
- 表面被覆窒化アルミニウム粒子と、エポキシ樹脂と、硬化剤と、水酸基およびカルボキシル基を有する化合物と、を含み、
前記表面被覆窒化アルミニウム粒子が、窒化アルミニウム粒子と、前記窒化アルミニウム粒子表面上に配置された酸化アルミニウム膜とを含み、
前記酸化アルミニウム膜の膜厚が5〜50nmである、組成物。 - 前記水酸基が、フェノール性水酸基である、請求項1に記載の組成物。
- 前記化合物が、式(A)で表される化合物である、請求項1または2に記載の組成物。
式(A) HOOC−L1−Ar−OH
L1は、単結合または2価の連結基を表す。Arは、2価の芳香族炭化水素環基を表す。 - 前記酸化アルミニウム膜の膜厚が10〜20nmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記表面被覆窒化アルミニウム粒子の表面積に対する前記化合物の含有量の比が、8.0μmol/m2以上である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の組成物。
- 前記表面被覆窒化アルミニウム粒子の表面が前記化合物で被覆されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の組成物。
- 熱伝導材料を形成するために用いられる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の組成物。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の組成物を用いて形成された熱伝導材料。
- シート状である、請求項8に記載の熱伝導材料。
- デバイスと、前記デバイス上に配置された請求項8または9に記載の熱伝導材料を含む熱伝導層とを有する、熱伝導層付きデバイス。
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