JP6908161B2

JP6908161B2 - Vacuum pump

Info

Publication number: JP6908161B2
Application number: JP2020087183A
Authority: JP
Inventors: 裕章木村
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2016-08-29
Filing date: 2020-05-19
Publication date: 2021-07-21
Anticipated expiration: 2036-08-29
Also published as: JP2020122487A

Description

本発明は、真空ポンプに関する。 The present invention relates to a vacuum pump.

ターボ分子ポンプのロータは、一般的に回転軸であるシャフトにボルト等の締結部材を用いて締結されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のターボ分子ポンプでは、ロータの吸気口側端面に凹部が形成され、その凹部底面部分をシャフトにボルト締結している。 The rotor of a turbo molecular pump is generally fastened to a shaft, which is a rotating shaft, by using a fastening member such as a bolt (see, for example, Patent Document 1). In the turbo molecular pump described in Patent Document 1, a recess is formed on the intake port side end surface of the rotor, and the bottom surface portion of the recess is bolted to the shaft.

特許３９７４７７２号公報Japanese Patent No. 3974772

ところで、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプを、例えばエッチング装置等の半導体製造装置の排気ポンプとして使用した場合、プロセスガス排出時にプロセスガス中の成分の化学的変化により発生したパーティクルが、吸気口から真空ポンプ内に流入する。上述したように、ロータの吸気口側端面に凹部が形成されている場合、凹部にパーティクルが堆積しやすい。半導体製造装置チャンバへのガス流入を調節してチャンバ内の加減圧を繰り返すと、凹部に堆積したパーティクルがチャンバ側に反跳する。その結果、半導体製造における品質低下を招く。 By the way, when a vacuum pump such as a turbo molecular pump is used as an exhaust pump of a semiconductor manufacturing device such as an etching device, particles generated due to a chemical change in the components in the process gas when the process gas is discharged are evacuated from the intake port. It flows into the pump. As described above, when the recess is formed on the intake port side end surface of the rotor, particles are likely to be deposited in the recess. When the gas inflow into the chamber of the semiconductor manufacturing apparatus is adjusted and the pressurization and depressurization in the chamber are repeated, the particles deposited in the recesses recoil toward the chamber side. As a result, quality deterioration in semiconductor manufacturing is caused.

本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、モータにより回転駆動されるシャフトにポンプロータが締結された回転体と、前記ポンプロータの吸気口側端面に形成された凹部と、前記凹部を覆うカバー部を有するロータバランス修正部材とを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記カバー部のロータ軸方向位置は、前記カバー部の外面が前記凹部の内壁の縁と一致する位置から前記カバー部の内面が前記ポンプロータの吸気口側端面と一致する位置までの間に設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記ポンプロータは、前記凹部の内壁の縁と前記ポンプロータの吸気口側端面とを接続する上り勾配の斜面を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記ロータバランス修正部材は、前記凹部に配置される第１バランス修正部を備える第１部品と、前記カバー部が形成された第２部品とで構成されている。
さらに好ましい実施形態では、前記カバー部は第２バランス修正部を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記第１部品は、前記カバー部の外周側に配置されて前記凹部の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる第３修正部を有する。
さらに好ましい実施形態では、前記第１部品、前記ポンプロータおよび前記シャフトは、ボルトによる共締めによって互いに締結され、前記第２部品は、前記第１部品に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、前記ロータバランス修正部材は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記シャフトは前記ポンプロータを貫通して前記凹部に突出し、前記第２部品は前記シャフトの前記凹部に突出した部分に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記凹部と前記カバー部の外部空間とを接続する連通路
を備える。 The vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention has a rotating body in which a pump rotor is fastened to a shaft rotationally driven by a motor, a recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor, and a cover portion covering the recess. It is provided with a rotor balance correction member having.
In a more preferred embodiment, the rotor axial position of the cover portion is such that the inner surface of the cover portion coincides with the intake port side end surface of the pump rotor from the position where the outer surface of the cover portion coincides with the edge of the inner wall of the recess. It is set before the position.
In a more preferred embodiment, the pump rotor has an ascending slope connecting the edge of the inner wall of the recess and the intake port side end face of the pump rotor.
In a more preferred embodiment, the rotor balance correction member is composed of a first component having a first balance correction portion arranged in the recess and a second component having the cover portion formed therein.
In a more preferred embodiment, the cover portion has a second balance correction portion.
In a more preferred embodiment, the first component has a third modification portion that is arranged on the outer peripheral side of the cover portion and covers a part of the recess, and has both a cover function and a balance correction function.
In a more preferred embodiment, the first component, the pump rotor and the shaft are fastened together by bolting together, and the second component is fixed to the first component.
In a more preferred embodiment, the shaft penetrates the pump rotor and projects into the recess, and the rotor balance correcting member is fixed to the recessed portion of the shaft.
In a more preferred embodiment, the shaft penetrates the pump rotor and projects into the recess, and the second component is fixed to the recessed portion of the shaft.
In a more preferred embodiment, the recess is provided with a communication passage connecting the recess and the external space of the cover portion.

本発明によれば、半導体装置チャンバ内へのパーティクルの反跳を低減することができる。 According to the present invention, the recoil of particles into the semiconductor device chamber can be reduced.

図１は、本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a vacuum pump according to the present invention. 図２は、ポンプロータの凹部部分の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a recessed portion of the pump rotor. 図３は、バランスリングおよびカバー部の組み付け手順とバランス調整方法とを説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an assembling procedure of the balance ring and the cover portion and a balance adjusting method. 図４は、カバー部の軸方向位置を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating the axial position of the cover portion. 図５は、本実施の形態の第１の変形例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a first modification of the present embodiment. 図６は、本実施の形態の第２の変形例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a second modification of the present embodiment. 図７は、本実施の形態の第３の変形例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a third modification of the present embodiment. 図８は、本実施の形態の第４の変形例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a fourth modification of the present embodiment. 図９は、本実施の形態の第５の変形例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a fifth modification of the present embodiment. 図１０は、本実施の形態の第６の変形例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a sixth modification of the present embodiment. 図１１は、本実施の形態の第６の変形例の他の例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing another example of the sixth modification of the present embodiment.

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は、本発明に係る真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプ１の概略構成を示す断面図である。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a vacuum pump according to the present invention, and is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a turbo molecular pump 1.

図１に示すターボ分子ポンプ１は、回転翼４１と固定翼３１とで構成されるターボポンプ段と、円筒部４２とステータ３２とで構成されるネジ溝ポンプ段とを有している。ネジ溝ポンプ段においては、ステータ３２または円筒部４２にネジ溝が形成されている。回転翼４１および円筒部４２はポンプロータ４ａに形成されている。ポンプロータ４ａはシャフト４ｂにボルト締結されている。ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとによって回転体ユニット４が構成される。 The turbo molecular pump 1 shown in FIG. 1 has a turbo pump stage composed of a rotary wing 41 and a fixed wing 31, and a thread groove pump stage composed of a cylindrical portion 42 and a stator 32. In the thread groove pump stage, a thread groove is formed in the stator 32 or the cylindrical portion 42. The rotor 41 and the cylindrical portion 42 are formed on the pump rotor 4a. The pump rotor 4a is bolted to the shaft 4b. The rotating body unit 4 is composed of the pump rotor 4a and the shaft 4b.

軸方向に配置された複数段の回転翼４１に対して、複数段の固定翼３１が交互に配置されている。各固定翼３１は、スペーサリング３３を介してポンプ軸方向に積層されている。シャフト４ｂは、ベース３に設けられたラジアル電磁石３４，３５およびアキシャル電磁石３６によって非接触支持される。シャフト４ｂの目標浮上位置からの変位は、ギャップセンサ３４ａ，３５ａ，３６ａによって検出される。 A plurality of stages of fixed blades 31 are alternately arranged with respect to a plurality of stages of rotary blades 41 arranged in the axial direction. Each fixed wing 31 is laminated in the pump axial direction via a spacer ring 33. The shaft 4b is non-contact supported by radial electromagnets 34 and 35 and axial electromagnets 36 provided on the base 3. The displacement of the shaft 4b from the target levitation position is detected by the gap sensors 34a, 35a, 36a.

回転体ユニット４はモータ１０により回転駆動される。磁気軸受が作動していない時には、シャフト４ｂは非常用のメカニカルベアリング３７ａ，３７ｂによって支持される。回転体ユニット４がモータ１０により高速回転されると、ポンプ吸気口３０から流入した気体分子は、ターボポンプ段（回転翼４１、固定翼３１）およびネジ溝ポンプ段（円筒部４２、ステータ３２）により順に排気され、排気ポート３８から排出される。ベース３には、ベース冷却用の冷却水パイプ３９が設けられている。 The rotating body unit 4 is rotationally driven by the motor 10. When the magnetic bearings are not operating, the shaft 4b is supported by emergency mechanical bearings 37a, 37b. When the rotating body unit 4 is rotated at high speed by the motor 10, the gas molecules flowing in from the pump intake port 30 are the turbo pump stage (rotary blade 41, fixed blade 31) and the thread groove pump stage (cylindrical portion 42, stator 32). Is discharged in order from the exhaust port 38. The base 3 is provided with a cooling water pipe 39 for cooling the base.

ポンプロータ４ａのポンプ吸気口側の端面４０２には、凹部４３が形成されている。凹部４３にはバランス修正部材６５が設けられている。バランス修正部材６５は、凹部４３を覆うカバー部６とバランス修正用のバランスリング５とを有している。ボルト７５によりカバー部６をバランスリング５のボス部５０２に固定することにより、それらはバランス修正部材６５として一体化される。バランスリング５は、ボルト７０によってポンプロータ４ａと共にシャフト４ｂに共締めされている。 A recess 43 is formed in the end surface 402 of the pump rotor 4a on the pump intake port side. A balance correction member 65 is provided in the recess 43. The balance correction member 65 has a cover portion 6 that covers the recess 43 and a balance ring 5 for balance correction. By fixing the cover portion 6 to the boss portion 502 of the balance ring 5 with the bolt 75, they are integrated as the balance correction member 65. The balance ring 5 is fastened to the shaft 4b together with the pump rotor 4a by bolts 70.

図２は、ポンプロータ４ａの凹部４３の部分の拡大図である。ポンプロータ４ａの凹部底面に形成された貫通孔４００に、シャフト４ｂの頂部に形成されたボス部４０１と、バランスリング５の裏面側に形成されたボス部５０１とが挿入される。また、バランスリング５のボス部５０２の頂部には凸部５０３が形成され、この凸部５０３がカバー部６の裏面側に形成された凹部６０１に嵌め合うことにより、カバー部６が位置決めされる。カバー部６の外面６０２の高さ（軸方向位置）については後述する。 FIG. 2 is an enlarged view of a portion of the recess 43 of the pump rotor 4a. The boss portion 401 formed at the top of the shaft 4b and the boss portion 501 formed on the back surface side of the balance ring 5 are inserted into the through hole 400 formed in the bottom surface of the recess of the pump rotor 4a. Further, a convex portion 503 is formed on the top of the boss portion 502 of the balance ring 5, and the cover portion 6 is positioned by fitting the convex portion 503 into the concave portion 601 formed on the back surface side of the cover portion 6. .. The height (axial position) of the outer surface 602 of the cover portion 6 will be described later.

凹部４３はカバー部６によって覆われているので、ポンプ吸気口３０（図１参照）から流入したパーティクルＰは、ポンプロータ４ａのポンプ吸気口側の端面４０２やカバー部６の外面６０２の上に落下する。ターボ分子ポンプ１の回転体ユニット４は高速回転するので、端面４０２や外面６０２に落下したパーティクルＰは、遠心力によって回転の軸Ｊから遠ざかるように回転翼４１の先端方向に移動する。回転翼４１の部分に移動したパーティクルＰは、回転翼４１および固定翼３１に通過してポンプ下流側へと移動する。よって、ポンプロータ４ａの端面におけるパーティクルＰの堆積を防止でき、半導体装置チャンバ内の圧力を加減圧した際の、パーティクルＰのチャンバ内への反跳を防止することができる。 Since the recess 43 is covered by the cover portion 6, the particles P flowing in from the pump intake port 30 (see FIG. 1) are placed on the end surface 402 of the pump rotor 4a on the pump intake port side and the outer surface 602 of the cover portion 6. Fall. Since the rotating body unit 4 of the turbo molecular pump 1 rotates at high speed, the particles P that have fallen on the end surface 402 and the outer surface 602 move toward the tip of the rotary blade 41 so as to move away from the axis J of rotation due to centrifugal force. The particles P that have moved to the portion of the rotary blade 41 pass through the rotary blade 41 and the fixed blade 31 and move to the downstream side of the pump. Therefore, it is possible to prevent the particles P from accumulating on the end surface of the pump rotor 4a, and to prevent the particles P from rebounding into the chamber when the pressure in the semiconductor device chamber is increased or decreased.

上述したように回転体ユニット４は高速回転するので、バランス調整が重要となる。図３は、バランスリング５およびカバー部６の組み付け手順とバランス調整方法とを説明する図である。第１の工程では、図３（ａ）に示すように、ポンプロータ４ａとバランスリング５とを、ボルト７０によりシャフト４ｂに共締めする。これにより、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとが一体化されると共に、ポンプロータ４ａの凹部底面にバランスリング５が固定される。 Since the rotating body unit 4 rotates at high speed as described above, balance adjustment is important. FIG. 3 is a diagram illustrating an assembling procedure of the balance ring 5 and the cover portion 6 and a balance adjusting method. In the first step, as shown in FIG. 3A, the pump rotor 4a and the balance ring 5 are fastened together with the shaft 4b by bolts 70. As a result, the pump rotor 4a and the shaft 4b are integrated, and the balance ring 5 is fixed to the bottom surface of the recess of the pump rotor 4a.

第２の工程では、カバー部６が取り付けられていない状態において、回転試験機により回転体ユニット４のアンバランス量を計測する。計測されたアンバランス量が許容値を越えている場合には、アンバランス量を低減させるためにバランスリング５の修正部５０４の一部をドリル等で削り取る。逆に、修正部５０４に止めネジ等の質量を付加することで、アンバランスを修正しても良い。 In the second step, the unbalance amount of the rotating body unit 4 is measured by the rotation tester in a state where the cover portion 6 is not attached. When the measured unbalance amount exceeds the permissible value, a part of the correction portion 504 of the balance ring 5 is scraped off with a drill or the like in order to reduce the unbalance amount. On the contrary, the imbalance may be corrected by adding a mass such as a set screw to the correction portion 504.

第３の工程では、図３（ｂ）のように、カバー部６をバランスリング５に固定し、回転試験機により回転体ユニット４のアンバランス量を計測する。計測されたアンバランス量が許容値を越えている場合には、アンバランス量を低減させるためにカバー部６の外面６０２の一部を削り取る。なお、カバー部６の縁に近い領域を、削り取る部位としての修正部６０３に設定する。カバー部６の質量は回転体ユニット全体の質量に比べてはるかに小さいので、カバー部６を取り付けたことによるバランスの崩れは小さく、許容値を越えた場合の削除量は、第２工程における削除量に比べ非常に小さい。そのため、修正部６０３の厚さは、バランスリング５の修正部５０４の厚さに比べて薄くできる。 In the third step, as shown in FIG. 3B, the cover portion 6 is fixed to the balance ring 5, and the unbalance amount of the rotating body unit 4 is measured by a rotation tester. When the measured unbalance amount exceeds the permissible value, a part of the outer surface 602 of the cover portion 6 is scraped off in order to reduce the unbalance amount. A region near the edge of the cover portion 6 is set in the correction portion 603 as a portion to be scraped off. Since the mass of the cover portion 6 is much smaller than the mass of the entire rotating body unit, the imbalance caused by attaching the cover portion 6 is small, and the amount of deletion when the permissible value is exceeded is deleted in the second step. Very small compared to the quantity. Therefore, the thickness of the correction portion 603 can be made thinner than the thickness of the correction portion 504 of the balance ring 5.

一般的に、ポンプロータ４ａはアルミ合金で形成されるが、半導体装置用途のターボ分子ポンプでは耐食処理が施される。例えば、ニッケルメッキ等の耐食処理が施される。その場合、メッキ処理前に上述した第１の工程および第２の工程が行われる。なお、バランスリング５およびカバー部６には、ステンレス材のような耐食性の金属材料が用いられる。第２の工程のバランス修正後に、ポンプロータ４ａのメッキ処理を施す。メッキ処理後、シャフト４ｂにポンプロータ４ａを組み付けてカバー部６をバランスリング５に固定する。その後、上述した第３の工程の場合と同様に回転体ユニット４のバランス修正を行う。 Generally, the pump rotor 4a is made of an aluminum alloy, but a turbo molecular pump for semiconductor devices is subjected to corrosion resistance treatment. For example, corrosion resistance treatment such as nickel plating is applied. In that case, the first step and the second step described above are performed before the plating process. A corrosion-resistant metal material such as a stainless steel material is used for the balance ring 5 and the cover portion 6. After the balance is corrected in the second step, the pump rotor 4a is plated. After the plating process, the pump rotor 4a is assembled to the shaft 4b and the cover portion 6 is fixed to the balance ring 5. After that, the balance of the rotating body unit 4 is corrected in the same manner as in the third step described above.

図４は、カバー部６の軸方向位置を説明する図である。図４（ａ）は、カバー部６の軸方向位置の下限を説明する図である。カバー部６の外面６０２の下限位置は、凹部４３の内壁４３１の縁と一致する位置に設定される。ポンプロータ４ａには、凹部４３の内壁４３１の縁（上端）とポンプ吸気口側の端面４０２とを繋ぐ斜面４０３が形成されている。すなわち、凹部４３の縁には面取り加工が施されている。この場合には、内壁４３１の縁は斜面４０３の下端となる。 FIG. 4 is a diagram illustrating the axial position of the cover portion 6. FIG. 4A is a diagram illustrating a lower limit of the axial position of the cover portion 6. The lower limit position of the outer surface 602 of the cover portion 6 is set to a position that coincides with the edge of the inner wall 431 of the recess 43. The pump rotor 4a is formed with a slope 403 that connects the edge (upper end) of the inner wall 431 of the recess 43 and the end surface 402 on the pump intake port side. That is, the edge of the recess 43 is chamfered. In this case, the edge of the inner wall 431 is the lower end of the slope 403.

外面６０２上のパーティクルＰは、破線矢印で示すように斜面４０３を昇って端面４０２へ移動し、その後、回転翼４１の部分まで移動して排気されることになる。そのため、パーティクルＰが斜面４０３を乗り越え易いように、斜面４０３の勾配は小さい方が好ましい。 The particles P on the outer surface 602 climb the slope 403 as shown by the broken line arrow, move to the end face 402, and then move to the portion of the rotary blade 41 and are exhausted. Therefore, it is preferable that the slope of the slope 403 is small so that the particles P can easily get over the slope 403.

一方、二点鎖線Ｌ１で示すように、凹部４３の縁に面取りが形成されない場合、または、面取りが非常に小さい場合には、カバー部６の高さの下限位置は、軸方向位置に関して外面６０２と端面４０２とが一致するように設定される。 On the other hand, as shown by the alternate long and short dash line L1, when the chamfer is not formed on the edge of the recess 43 or the chamfer is very small, the lower limit position of the height of the cover portion 6 is the outer surface 602 with respect to the axial position. And the end face 402 are set to match.

図４（ｂ）は、カバー部６の軸方向位置の上限を説明する図である。ポンプ小型化のためには、回転体ユニット４の軸方向高さはなるべく低く抑えるのが好ましい。そのため、カバー部６の上限位置は、カバー部６の内面６０４が端面４０２に接触している場合の位置とするのが好ましい。このとき、カバー部６の外面６０２の軸方向位置は、端面４０２の軸方向位置にカバー部６の厚さ寸法ｔをプラスした値となる。 FIG. 4B is a diagram illustrating an upper limit of the axial position of the cover portion 6. In order to reduce the size of the pump, it is preferable to keep the axial height of the rotating body unit 4 as low as possible. Therefore, the upper limit position of the cover portion 6 is preferably a position when the inner surface 604 of the cover portion 6 is in contact with the end surface 402. At this time, the axial position of the outer surface 602 of the cover portion 6 is a value obtained by adding the thickness dimension t of the cover portion 6 to the axial position of the end surface 402.

（第１の変形例）
図５は、本実施の形態の第１の変形例を示す図である。図３で説明したように、カバー部６をバランスリング５に取り付けた後にもバランス調整を行い、アンバランス量が基準値を上回っていた場合には、カバー部６の修正部６０３を削ってバランス修正をする。そこで、図５に示す第１の変形例では、修正部６０３の厚さを厚くして、修正の余裕度を大きくするようにした。 (First modification)
FIG. 5 is a diagram showing a first modification of the present embodiment. As described with reference to FIG. 3, the balance is adjusted even after the cover portion 6 is attached to the balance ring 5, and if the unbalance amount exceeds the reference value, the correction portion 603 of the cover portion 6 is scraped to balance. Make corrections. Therefore, in the first modification shown in FIG. 5, the thickness of the correction portion 603 is increased to increase the margin for correction.

また、バランスリング５とカバー部６との締結部においては、カバー部６に凸部６０５を形成し、バランスリング５に凹部５０５を形成した。なお、斜面４０３とカバー部６の修正部６０３との間には隙間Ｇが形成される。この隙間Ｇを介して凹部４３の空間と外部空間とが連通される。これは、凹部４３を密閉空間とするとこの空間がエアポケットとなるため、真空排気したときに凹部４３内の気体が徐々にリークして真空環境に悪影響を及ぼす。しかし、図５のように隙間Ｇを形成することにより、真空排気時には凹部４３内の気体が速やかに排気されるので、上述のような問題は生じない。なお、隙間Ｇを形成する代わりに、カバー部６に貫通孔を形成しても良い。 Further, in the fastening portion between the balance ring 5 and the cover portion 6, a convex portion 605 is formed on the cover portion 6 and a concave portion 505 is formed on the balance ring 5. A gap G is formed between the slope 403 and the correction portion 603 of the cover portion 6. The space of the recess 43 and the external space are communicated with each other through the gap G. This is because when the recess 43 is a closed space, this space becomes an air pocket, so that the gas in the recess 43 gradually leaks when the vacuum is exhausted, which adversely affects the vacuum environment. However, by forming the gap G as shown in FIG. 5, the gas in the recess 43 is quickly exhausted at the time of vacuum exhaust, so that the above-mentioned problem does not occur. Instead of forming the gap G, a through hole may be formed in the cover portion 6.

（第２の変形例）
図６は、本実施の形態の第２の変形例を示す図である。図２に示した実施の形態では、ポンプロータ４ａとバランスリング５とを、ボルト７０によりシャフト４ｂに共締めして一体とする構成とした。一方、図６（ａ）に示す構成では、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとの締結はボルト７１で行い、ポンプロータ４ａとバランスリング５との締結はボルト７２で行うようにした。いずれの場合も凹部４３側からボルト締めが行われる。一方、図６（ｂ）に示す構成では、シャフト４ｂにフランジ４０４を形成して、このフランジ４０４の部分を、ボルト７３を用いてポンプロータ４ａに締結するようにした。ボルト７３の締め付けはシャフト側（図示下側）から行われる。 (Second modification)
FIG. 6 is a diagram showing a second modification of the present embodiment. In the embodiment shown in FIG. 2, the pump rotor 4a and the balance ring 5 are integrally fastened to the shaft 4b by bolts 70. On the other hand, in the configuration shown in FIG. 6A, the pump rotor 4a and the shaft 4b are fastened with the bolt 71, and the pump rotor 4a and the balance ring 5 are fastened with the bolt 72. In either case, bolts are tightened from the recess 43 side. On the other hand, in the configuration shown in FIG. 6B, a flange 404 is formed on the shaft 4b, and the portion of the flange 404 is fastened to the pump rotor 4a by using a bolt 73. The bolt 73 is tightened from the shaft side (lower side in the drawing).

（第３の変形例）
図７は、本実施の形態の第３の変形例を示す図である。図２に示した実施の形態では、ポンプロータ４ａの貫通孔４００に、シャフト４ｂのボス部４０１およびバランスリング５のボス部５０１を嵌め合わせる構成とした。一方、図７に示す構成では、ポンプロータ４ａには、シャフト締結用の凹部４０５とバランスリング締結用のボス部４０６とが形成されている。また、バランスリング５の裏面側には、ボス部４０６が嵌め合わされる凹部５０６が形成されている。シャフト４ｂのボス部４０１を凹部４０５に嵌め合わせ、かつ、バランスリング５の凹部５０６にポンプロータ４ａのボス部４０６を嵌め合わせ、ボルト７０で共締めすることにより、ポンプロータ４ａ，シャフト４ｂおよびバランスリング５が一体とされる。 (Third variant)
FIG. 7 is a diagram showing a third modification of the present embodiment. In the embodiment shown in FIG. 2, the boss portion 401 of the shaft 4b and the boss portion 501 of the balance ring 5 are fitted into the through hole 400 of the pump rotor 4a. On the other hand, in the configuration shown in FIG. 7, the pump rotor 4a is formed with a recess 405 for fastening the shaft and a boss portion 406 for fastening the balance ring. Further, a recess 506 into which the boss portion 406 is fitted is formed on the back surface side of the balance ring 5. The boss portion 401 of the shaft 4b is fitted into the recess 405, and the boss portion 406 of the pump rotor 4a is fitted into the recess 506 of the balance ring 5 and fastened together with the bolt 70 to balance the pump rotor 4a, the shaft 4b and the balance. The ring 5 is integrated.

（第４の変形例）
図８は、本実施の形態の第４の変形例を示す図である。図８に示す構成では、バランスリング５の構成が図２に示したバランスリング５と異なり、それに応じてカバー部６の外径寸法を変更している。図３において説明したように、バランス調整作業においては、カバー部６を取り付ける前にバランスリング５を利用してバランス修正を行い、カバー部６を取り付けた後には、カバー部６を削ることで再度のバランス修正を行うようにしている。第４の変形例では、これら両方のバランス修正をバランスリング５だけで行えるような構成とした。 (Fourth modification)
FIG. 8 is a diagram showing a fourth modification of the present embodiment. In the configuration shown in FIG. 8, the configuration of the balance ring 5 is different from that of the balance ring 5 shown in FIG. 2, and the outer diameter dimension of the cover portion 6 is changed accordingly. As described with reference to FIG. 3, in the balance adjustment work, the balance is corrected by using the balance ring 5 before the cover portion 6 is attached, and after the cover portion 6 is attached, the cover portion 6 is scraped again. I am trying to correct the balance of. In the fourth modification, both of these balance corrections can be performed only with the balance ring 5.

バランスリング５では、修正部５０４の外周部分に凹部４３の開口方向に伸延する立設部５０７を形成し、立設部５０７の先端に修正部５０７ａを設けた。この修正部５０７ａはカバー部６の外周側に配置され、カバー部６と共に凹部４３の一部を覆っている。すなわち、修正部５０７ａは、バランス修正機能とカバー機能とを備えている。 In the balance ring 5, an upright portion 507 extending in the opening direction of the recess 43 is formed on the outer peripheral portion of the correction portion 504, and the correction portion 507a is provided at the tip of the upright portion 507. The correction portion 507a is arranged on the outer peripheral side of the cover portion 6 and covers a part of the recess 43 together with the cover portion 6. That is, the correction unit 507a has a balance correction function and a cover function.

カバー部６を取り付ける前のバランス修正では、図３（ａ）に示す場合と同様に、バランスリング５の修正部５０４の一部をドリル等で削り取る。そして、カバー部６を取り付けた後のバランス修正では、修正部５０７ａの一部をドリル等で削り取ることによりバランス修正を行う。この構成の場合、カバー部６にバランス修正用の削り代を設ける必要がないので、カバー部６の厚さを薄くすることが可能となる。 In the balance correction before attaching the cover portion 6, a part of the correction portion 504 of the balance ring 5 is scraped off with a drill or the like as in the case shown in FIG. 3A. Then, in the balance correction after the cover portion 6 is attached, the balance is corrected by scraping off a part of the correction portion 507a with a drill or the like. In the case of this configuration, it is not necessary to provide a cutting allowance for balance correction in the cover portion 6, so that the thickness of the cover portion 6 can be reduced.

（第５の変形例）
図９は、本実施の形態の第５の変形例を示す図である。上述した図２に示す例では、バランス修正部材６５をバランスリング５とカバー部との２部品で構成した。一方、図９（ａ）に示す構成では、バランス修正部材６５を一部品で構成した。バランス修正部材６５はカバー部６５０を有しており、カバー部６５０の外周側の肉厚を厚くして修正部６５０ａとした。 (Fifth variant)
FIG. 9 is a diagram showing a fifth modification of the present embodiment. In the example shown in FIG. 2 described above, the balance correction member 65 is composed of two parts, a balance ring 5 and a cover portion. On the other hand, in the configuration shown in FIG. 9A, the balance correction member 65 is composed of one component. The balance correction member 65 has a cover portion 650, and the thickness of the outer peripheral side of the cover portion 650 is increased to form the correction portion 650a.

第５の変形例では、バランス修正部材６５はバランス修正機能とカバー部機能とを備えているので、図２のように２部品で構成する場合と比べて、組立作業の工数低減を図ることができる。さらに、バランス調整作業においては、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとバランス修正部材６５とを一体とした後に行われるバランス修正の１回だけで済む。 In the fifth modification, since the balance correction member 65 has a balance correction function and a cover portion function, it is possible to reduce the man-hours for assembly work as compared with the case where the balance correction member 65 is composed of two parts as shown in FIG. can. Further, in the balance adjustment work, only one balance correction is performed after the pump rotor 4a, the shaft 4b, and the balance correction member 65 are integrated.

図９（ｂ）に示す構成は、バランス修正用の修正部６５０ａを、カバー部６５０で覆われた凹部４３の内部に配置した場合を示す。このように構成した場合、バランス修正の際に修正部６５０ａの貫通孔をカバー部６５０に形成する必要があり、２部品構成の方が好ましい。 The configuration shown in FIG. 9B shows a case where the correction portion 650a for balance correction is arranged inside the recess 43 covered with the cover portion 650. In the case of such a configuration, it is necessary to form a through hole of the correction portion 650a in the cover portion 650 at the time of balance correction, and a two-component configuration is preferable.

なお、図９（ａ），（ｂ）に示す例では、バランス修正部材６５をボルト７４でポンプロータ４ａに固定する構成としたが、図２の構成の場合と同様に、ポンプロータ４ａ，シャフト４ｂおよびバランス修正部材６５をボルトによる共締めで締結するようにしても良い。 In the examples shown in FIGS. 9A and 9B, the balance correction member 65 is fixed to the pump rotor 4a with bolts 74, but the pump rotor 4a and the shaft are similar to the configuration shown in FIG. 4b and the balance correction member 65 may be fastened together with bolts.

（第６の変形例）
図１０，１１は、本実施の形態の第６の変形例を示す図である。第６の変形例では、図１０（ａ）に示すように、シャフト４ｂのボス部４０１は、ポンプロータ４ａの貫通孔４００を貫通するように構成されている。図１０（ａ）に示す構成では、凹部４３側に突出したボス部４０１の先端は、バランスリング５に形成された凹部５０５に嵌め合わされている。カバー部６の構成は、図５に示すカバー部６と同様である。 (Sixth variant)
10 and 11 are diagrams showing a sixth modification of the present embodiment. In the sixth modification, as shown in FIG. 10A, the boss portion 401 of the shaft 4b is configured to penetrate the through hole 400 of the pump rotor 4a. In the configuration shown in FIG. 10A, the tip of the boss portion 401 protruding toward the recess 43 is fitted into the recess 505 formed in the balance ring 5. The configuration of the cover portion 6 is the same as that of the cover portion 6 shown in FIG.

図１０（ｂ）に示す構成では、バランスリング５は単純なリング状の板部材であり、その中心部をシャフト４ｂのボス部４０１が貫通している。また、カバー部６はポンプロータ４ａの端面４０２に固定される構成となっており、外周部分がポンプロータ４ａの端面４０２にボルト固定されている。カバー部６の裏面側中央に形成された凹部６０１は、シャフト４ｂの先端に嵌め合う構成となっている。 In the configuration shown in FIG. 10B, the balance ring 5 is a simple ring-shaped plate member, and the boss portion 401 of the shaft 4b penetrates the central portion thereof. Further, the cover portion 6 is configured to be fixed to the end surface 402 of the pump rotor 4a, and the outer peripheral portion is bolted to the end surface 402 of the pump rotor 4a. The recess 601 formed in the center of the back surface side of the cover portion 6 is configured to fit into the tip of the shaft 4b.

図１０（ｃ）に示す構成は、図８の構成において、シャフト４ｂのボス部４０１がポンプロータ４ａの貫通孔４００を貫通する構成としたものである。カバー部６は図８に示す場合と同一形状であり、バランスリング５についても図８に示す場合とほぼ同様の構成となっている。ただし、シャフト４ｂのボス部４０１がポンプロータ４ａを貫通しているので、バランスリング５の裏面側に凹部４０５が形成され、その凹部４０５にシャフト４ｂの先端が嵌め合わされている。 The configuration shown in FIG. 10C is such that the boss portion 401 of the shaft 4b penetrates the through hole 400 of the pump rotor 4a in the configuration of FIG. The cover portion 6 has the same shape as the case shown in FIG. 8, and the balance ring 5 has almost the same configuration as the case shown in FIG. However, since the boss portion 401 of the shaft 4b penetrates the pump rotor 4a, a recess 405 is formed on the back surface side of the balance ring 5, and the tip of the shaft 4b is fitted into the recess 405.

図１１（ａ）に示す構成は、図１０（ｂ）に示す構成において、カバー部６をシャフト４ｂのボス部４０１の先端に固定する構成としたものである。また、図１１（ｂ）に示す構成では、バランス修正機能とカバー部機能とを備えているバランス修正部材６５を、シャフト４ｂのボス部４０１の先端に固定する構成とした。ポンプロータ４ａはシャフト４ｂにボルト固定され、バランス修正部材６５はボス部４０１の先端にボルト固定される。バランス修正部材６５の裏面側中央にはボス部４０１と嵌め合わされる凹部６５１が形成され、カバー部６５０外周部分には厚肉の修正部６５０ａが形成されている。バランス調整作業は、ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとを締結し、バランス修正部材６５をシャフト４ｂの先端に固定した後に行われる。バランス修正では、バランス修正部材６５の修正部６５０ａの一部が削り取られる。 The configuration shown in FIG. 11A is a configuration in which the cover portion 6 is fixed to the tip of the boss portion 401 of the shaft 4b in the configuration shown in FIG. 10B. Further, in the configuration shown in FIG. 11B, the balance correction member 65 having the balance correction function and the cover portion function is fixed to the tip of the boss portion 401 of the shaft 4b. The pump rotor 4a is bolted to the shaft 4b, and the balance correction member 65 is bolted to the tip of the boss portion 401. A recess 651 that is fitted with the boss portion 401 is formed in the center of the back surface side of the balance correction member 65, and a thick correction portion 650a is formed in the outer peripheral portion of the cover portion 650. The balance adjustment work is performed after the pump rotor 4a and the shaft 4b are fastened and the balance correction member 65 is fixed to the tip of the shaft 4b. In the balance correction, a part of the correction portion 650a of the balance correction member 65 is scraped off.

以上説明したように本実施の形態は以下のような作用効果を奏する。
（１）図２や図９に示すように、ターボ分子ポンプ１は、凹部４３を覆うカバー部６を有するバランス修正部材６５を備える。その結果、ポンプ内に流入したパーティクルＰは、端面４０２やカバー部６の外面６０２の上に落下し、凹部４３に溜まるのを防止できる。端面４０２や外面６０２の上のパーティクルＰは、遠心力により回転翼４１の方向に移動しポンプ下流側に排気されるので、ポンプロータ端面上へのパーティクルＰの堆積を防止でき、半導体装置チャンバの加減圧によるチャンバ内へのパーティクルＰの反跳を防止することができる。 As described above, the present embodiment has the following effects.
(1) As shown in FIGS. 2 and 9, the turbo molecular pump 1 includes a balance correction member 65 having a cover portion 6 that covers the recess 43. As a result, the particles P that have flowed into the pump can be prevented from falling onto the end surface 402 and the outer surface 602 of the cover portion 6 and accumulating in the recess 43. Since the particles P on the end surface 402 and the outer surface 602 move in the direction of the rotary blade 41 by centrifugal force and are exhausted to the downstream side of the pump, it is possible to prevent the particles P from accumulating on the end surface of the pump rotor and to prevent the particles P from accumulating on the end surface of the pump rotor. It is possible to prevent the particles P from rebounding into the chamber due to pressurization and depressurization.

（２）図４に示すように、カバー部６のロータ軸方向位置は、カバー部６の外面６０２が凹部４３の内壁４３１の縁と一致する位置（図４（ａ）に示す位置）から、カバー部６の内面６０４がポンプロータ４ａの吸気口側の端面４０２と一致する位置（図４（ｂ）に示す位置）までの間に設定される。また、凹部４３の内壁４３１の縁とポンプロータ４ａの吸気口側の端面４０２とを接続する上り勾配の斜面４０３が設けられる場合には、設定範囲の下限位置である内壁４３１の縁は、斜面４０３と内壁４３１との交線である。 (2) As shown in FIG. 4, the rotor axial position of the cover portion 6 is from a position where the outer surface 602 of the cover portion 6 coincides with the edge of the inner wall 431 of the recess 43 (the position shown in FIG. 4A). The inner surface 604 of the cover portion 6 is set up to a position (position shown in FIG. 4B) that coincides with the end surface 402 on the intake port side of the pump rotor 4a. Further, when an ascending slope 403 connecting the edge of the inner wall 431 of the recess 43 and the end surface 402 on the intake port side of the pump rotor 4a is provided, the edge of the inner wall 431, which is the lower limit position of the set range, is a slope. This is the line of intersection between 403 and the inner wall 431.

このようにカバー部６のロータ軸方向位置を設定することにより、カバー部６の外面６０２上のパーティクルＰは、遠心力によって容易に回転翼方向に移動することができる。例えば、カバー部６の外面６０２が内壁４３１の縁よりも低い場合には、外面６０２上を移動するパーティクルＰは内壁４３１に堰き止められて、この部分にパーティクルＰが蓄積されてしまうことになる。一方、本実施の形態では、外面６０２の下限位置を内壁４３１の縁としているので、そのようなパーティクルＰの蓄積を防止することができる。また、垂直な内壁４３１が露出していないので、ポンプメンテナンス時に外面６０２上のパーティクルＰの拭き取りを行う際に、拭き取りが行いやすい。 By setting the rotor axial position of the cover portion 6 in this way, the particles P on the outer surface 602 of the cover portion 6 can be easily moved in the direction of the rotor blades by centrifugal force. For example, when the outer surface 602 of the cover portion 6 is lower than the edge of the inner wall 431, the particles P moving on the outer surface 602 are blocked by the inner wall 431, and the particles P are accumulated in this portion. .. On the other hand, in the present embodiment, since the lower limit position of the outer surface 602 is the edge of the inner wall 431, it is possible to prevent the accumulation of such particles P. Further, since the vertical inner wall 431 is not exposed, it is easy to wipe the particles P on the outer surface 602 during pump maintenance.

（３）また、図２に示すように、バランス修正部材６５を、凹部４３に配置されるバランスリング５とカバー部６との２部品で構成することにより、バランスリング５によるバランス修正作業が容易となる。また、バランスリング５には比重の大きな金属を使用し、カバー部６には比重の小さな金属材料を使用する等の、それぞれ部品に適した材料を用いることができる。 (3) Further, as shown in FIG. 2, by configuring the balance correction member 65 with two parts, the balance ring 5 and the cover portion 6 arranged in the recess 43, the balance correction work by the balance ring 5 is easy. It becomes. Further, a material suitable for each part can be used, such as using a metal having a large specific density for the balance ring 5 and using a metal material having a small specific density for the cover portion 6.

（４）さらに、図５に示すように、カバー部６にもバランス修正用の修正部６０３を設けることで、カバー部６を取り付けた後のバランス修正における修正可能量に余裕が生じる。 (4) Further, as shown in FIG. 5, by providing the correction portion 603 for balance correction in the cover portion 6, there is a margin in the amount that can be corrected in the balance correction after the cover portion 6 is attached.

（５）図８に示す構成では、バランスリング５は、カバー部６の外周側に配置されて凹部４３の一部を覆い、カバー機能とバランス修正機能とを兼ねる修正部５０７ａを有する。このような構成とすることで、カバー部６を取り付ける前のバランス修正およびカバー部６を取り付けた後のバランス修正のいずれにおいても、修正部５０７ａによりバランス修正を行うことができる。このように、バランス修正機能の部品（バランスリング５）とカバー機能の部品（カバー部６）とを厳密に別部品とすることで、それぞれに特化した構成とすることができる。例えば、カバー部６の厚さを可能な限り薄くかつ軽くすることができる。 (5) In the configuration shown in FIG. 8, the balance ring 5 is arranged on the outer peripheral side of the cover portion 6 to cover a part of the recess 43, and has a correction portion 507a having both a cover function and a balance correction function. With such a configuration, the balance correction can be performed by the correction unit 507a in both the balance correction before the cover portion 6 is attached and the balance correction after the cover portion 6 is attached. In this way, by strictly separating the balance correction function component (balance ring 5) and the cover function component (cover portion 6), a configuration specialized for each can be obtained. For example, the thickness of the cover portion 6 can be made as thin and light as possible.

（６）図２に示すように、バランスリング５、ポンプロータ４ａおよびシャフト４ｂを、ボルト７０による共締めによって互いに締結する構成とすることで、組立作業の工数低減を図ることができる。 (6) As shown in FIG. 2, the balance ring 5, the pump rotor 4a, and the shaft 4b are fastened to each other by joint tightening with bolts 70, so that the man-hours for the assembly work can be reduced.

（７）また、図５に示すように、凹部４３とカバー部６の外部空間とを接続する連通路（隙間Ｇ）を備えることで、真空排気時には凹部４３内の気体が速やかに排気される。その結果、凹部４３内の気体が徐々にリークして真空環境に悪影響を及ぼすという事態が発生しない。 (7) Further, as shown in FIG. 5, by providing a communication passage (gap G) connecting the recess 43 and the external space of the cover portion 6, the gas in the recess 43 is quickly exhausted at the time of vacuum exhaust. .. As a result, the situation that the gas in the recess 43 gradually leaks and adversely affects the vacuum environment does not occur.

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。また、上述した変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。さらに、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、上述の実施形態ではターボ分子ポンプを例に説明したが、高速回転するロータを有する真空ポンプ、例えば、モレキュラードラッグポンプ等にも適用できる。カバー部を取り付けるためのボルトはカバー部より若干上方に飛び出した形であってもよい。また、バランスリングやカバーを腐食防止の為にメッキ処理を施しても良い。この場合、バランスリングやカバーの全面をメッキ処理してもよく、凹部から露出するカバー部の上面のみがメッキ処理されてもよい。 Although various embodiments and modifications have been described above, the present invention is not limited to these contents. It is also possible to combine one or more of the above-mentioned modifications with the above-described embodiment. Further, other aspects considered within the scope of the technical idea of the present invention are also included within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the turbo molecular pump has been described as an example, but it can also be applied to a vacuum pump having a rotor that rotates at high speed, for example, a molecular drag pump or the like. The bolt for attaching the cover portion may have a shape protruding slightly above the cover portion. Further, the balance ring and the cover may be plated to prevent corrosion. In this case, the entire surface of the balance ring or the cover may be plated, or only the upper surface of the cover portion exposed from the recess may be plated.

１…ターボ分子ポンプ、４…回転体ユニット、４ａ…ポンプロータ、４ｂ…シャフト、５…バランスリング、６，６５０…カバー部、１０…モータ、４３…凹部、６５…バランス修正部材、４０２…端面、４０３…斜面、４３１…内壁、５０４，５０７ａ，６０３，６５０ａ…修正部、６０２…外面、Ｇ…隙間、Ｐ…パーティクル 1 ... Turbo molecular pump, 4 ... Rotating body unit, 4a ... Pump rotor, 4b ... Shaft, 5 ... Balance ring, 6,650 ... Cover, 10 ... Motor, 43 ... Recess, 65 ... Balance correction member, 402 ... End face , 403 ... slope, 431 ... inner wall, 504,507a, 603,650a ... correction part, 602 ... outer surface, G ... gap, P ... particle

Claims

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
It has an upper surface that is a surface formed on the intake port side and a lower surface that is a surface formed on the side opposite to the intake port side, and is fixed to the second member described later to cover the recess. A first member having a first correction portion on the upper surface for correcting the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body by being fixed to the member.
A vacuum pump comprising a second member fixed to the rotating body in the recess and having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A first having a first correction portion on the outer surface which is fixed to the second member described later to cover the recess and is fixed to the second member described later to correct the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body. Members and
It is provided with a second member fixed to the rotating body in the recess and having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.
The rotor axial position of the first member is from a position where the outer surface of the first member coincides with the edge of the inner wall of the recess to a position where the inner surface of the first member coincides with the intake port side end surface of the pump rotor. A vacuum pump set in between.

In the vacuum pump according to claim 2.
The pump rotor is a vacuum pump having an ascending slope connecting the edge of the inner wall of the recess and the intake port side end surface of the pump rotor.

In the vacuum pump according to claim 3,
The first member is a vacuum pump having a cover portion arranged on the slope of the uphill slope.

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A first having a first correction portion on the outer surface which is fixed to the second member described later to cover the recess and is fixed to the second member described later to correct the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body. Members and
It is provided with a second member fixed to the rotating body in the recess and having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.
A vacuum pump in which the second member, the pump rotor, and the shaft are fastened to each other by joint tightening with bolts.

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A first having a first correction portion on the outer surface which is fixed to the second member described later to cover the recess and is fixed to the second member described later to correct the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body. Members and
It is provided with a second member fixed to the rotating body in the recess and having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.
The shaft penetrates the pump rotor and projects into the recess.
A vacuum pump in which the second member is fixed to a portion of the shaft protruding from the recess.

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A first having a first correction portion on the outer surface which is fixed to the second member described later to cover the recess and is fixed to the second member described later to correct the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body. Members and
It is provided with a second member fixed to the rotating body in the recess and having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.
The shaft penetrates the pump rotor and projects into the recess.
A vacuum pump in which the first member is fixed to a portion of the shaft protruding from the recess.

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A first having a first correction portion on the outer surface which is fixed to the second member described later to cover the recess and is fixed to the second member described later to correct the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body. Members and
It is provided with a second member fixed to the rotating body in the recess and having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.
A vacuum pump including a communication passage connecting the recess and the external space of the first member.

A rotating body in which a pump rotor is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor,
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A rotor balance correction member having a cover portion covering the recess is provided.
The rotor axial position of the cover portion is set between a position where the outer surface of the cover portion coincides with the edge of the inner wall of the recess and a position where the inner surface of the cover portion coincides with the intake port side end surface of the pump rotor. Has been
The rotor balance correction member is
It is composed of a first component having a first balance correction portion arranged in the recess and a second component on which the cover portion is formed.
The first component is a vacuum pump that is arranged on the outer peripheral side of the cover portion, covers a part of the recess, and has a third correction portion that has both a cover function and a balance correction function.

A rotating body in which a pump rotor is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor,
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A rotor balance correction member having a cover portion covering the recess is provided.
The pump rotor has an ascending slope connecting the edge of the inner wall of the recess and the intake port side end surface of the pump rotor.
The rotor balance correction member is
It is composed of a first component having a first balance correction portion arranged in the recess and a second component on which the cover portion is formed.
The first component is a vacuum pump that is arranged on the outer peripheral side of the cover portion, covers a part of the recess, and has a third correction portion that has both a cover function and a balance correction function.

A rotating body in which a pump rotor having a turbo pump stage is fastened to a shaft that is rotationally driven by a motor.
A recess formed on the intake port side end surface of the pump rotor and
A first having a first correction portion on the outer surface which is fixed to the second member described later to cover the recess and is fixed to the second member described later to correct the balance of the rotating body in a state of being fixed to the rotating body. Members and
A method for correcting the balance of a vacuum pump, which is fixed to the rotating body in the recess and includes a second member having a second correcting portion for correcting the balance of the rotating body.
The first step of fixing the second member to the recess of the pump rotor, and
A second step of measuring the amount of unbalance of the rotating body in a state where the first member is not attached and correcting the balance of the rotating body in the second correcting portion.
The third step of fixing the first member to the second member, measuring the unbalance amount of the rotating body, and correcting the balance of the rotating body in the first correction unit is executed in this order.
How to correct the balance of a vacuum pump.