JP6909092B2 - 光源装置及びレーザ光照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、光源装置及びそれを具備するレーザ光照射装置に関する。

従来、光源装置に関する技術として、例えば特許文献１に記載された直線偏光光源が知られている。特許文献１に記載された直線偏光光源は、反射鏡を有する光源と、光源からの光束を偏光方向が互いに直交する２つの光束に分離する偏光ビームスプリッタと、光源と偏光ビームスプリッタとの間に配置された１／４波長板と、２つの光束の何れか一方を反射して光源の反射鏡に入射させる光束反射素子と、を備える。特許文献１に記載された直線偏光光源では、効率よく直線偏光光を発生することが図られている。

特開平２−２６４９０４号公報

上述したような光源装置では、例えば価格の安さ、出力の高さ、及び流通の多さ等から、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザを用いる場合がある。この場合、当該ファイバレーザに起因する次の課題が存在する。すなわち、ランダム偏光のレーザ光では、偏光方向が一定ではなく変化する。よって、直線偏光のレーザ光を得るべく、偏光ビームスプリッタを用いて偏光成分ごとにレーザ光を分岐すると、分岐後の各レーザ光の比率が一定ではなく変動する。その結果、得られた直線偏光のレーザ光のレーザ出力についても、変動する（不安定になる）おそれがある。

そこで、本発明は、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザを用いた光源装置及びレーザ光照射装置において、安定して直線偏光のレーザ光を得ることを課題とする。

本発明に係る光源装置は、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザと、ファイバレーザで出射したレーザ光を、偏光成分ごとに第１分岐レーザ光と第２分岐レーザ光とへ分岐する偏光ビームスプリッタと、第２分岐レーザ光の偏光方向を第１分岐レーザ光の偏光方向と同じになるように変える波長板と、偏光ビームスプリッタで分岐された第１分岐レーザ光と波長板で偏光方向を変えた第２分岐レーザ光とを、合波して合波レーザ光として出力するハーフミラーと、を備える。

この光源装置では、ファイバレーザから出射されたランダム偏光のレーザ光は、偏光ビームスプリッタで偏光成分ごとに分岐される。第２分岐レーザ光の偏光方向が、第１分岐レーザ光の偏光方向と同じになるように波長板により変えられる。そして、ハーフミラーによって、互いに同じ偏光方向となった第１及び第２分岐レーザ光が合波されて出力される。したがって、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザを用いた場合でも、当該ファイバレーザの偏光特性によらずに、安定して直線偏光のレーザ光を得ることが可能となる。

本発明に係る光源装置では、ファイバレーザは、種光を増幅する本体部と、本体部に導光ファイバを介して接続され、レーザ光を出射するレーザヘッド部と、を有していてもよい。この構成では、ファイバレーザは、いわゆるヘッド分離型のファイバレーザを構成する。この場合、導光ファイバの曲げ等により、ファイバレーザから出射するレーザ光の偏光に影響が出やすい。よって、用いたファイバレーザの偏光特性によらずに安定して直線偏光のレーザ光を得るという上記効果は、特に有効である。

本発明に係る光源装置では、第１分岐レーザ光の光路と第２分岐レーザ光の光路との光路差が、ファイバレーザの可干渉距離よりも長くてもよい。この構成によれば、ハーフミラーによって合波する第１及び第２分岐レーザ光が干渉するのを抑制することが可能となる。

本発明に係る光源装置では、合波レーザ光は、第１分岐レーザ光と同軸の第１合波レーザ光、及び、第２分岐レーザ光と同軸の第２合波レーザ光を含んでいてもよい。この構成によれば、２つの直線偏光のレーザ光が得られることから、種々の仕様等に適用させ易くなる。

本発明に係るレーザ光照射装置は、上記光源装置を具備するレーザ光照射装置であって、第１合波レーザ光が入射される第１偏光素子、及び第２合波レーザ光が入射される第２偏光素子を有する光学系を備える。

このレーザ光照射装置は、上記光源装置を具備することから、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザを用いた場合に安定して直線偏光のレーザ光を得るという上記効果を奏する。また、このレーザ光照射装置では、ハーフミラーによって合波されることで得られた２つの直線偏光のレーザ光の双方を利用したレーザ光照射が可能となる。

本発明に係るレーザ光照射装置は、上記光源装置を具備するレーザ光照射装置であって、第１合波レーザ光及び第２合波レーザ光の何れか一方が入射される偏光素子、及び、第１合波レーザ光及び第２合波レーザ光の何れか他方を遮蔽するビームダンパーを有する光学系を備える。

このレーザ光照射装置は、上記光源装置を具備することから、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザを用いた場合に安定して直線偏光のレーザ光を得るという上記効果を奏する。また、このレーザ光照射装置では、ハーフミラーによって合波されることで得られた２つの直線偏光のレーザ光の何れか一方のみを利用したレーザ光照射が可能となる。

本発明によれば、ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザを用いた光源装置及びレーザ光照射装置において、安定して直線偏光のレーザ光を得ることが可能となる。

第１実施形態に係るレーザ光照射装置を示す概略構成図である。 図１のファイバレーザから出射されるレーザ光を説明するためのグラフである。 図１の光源装置から出力される合波レーザ光を説明するためのグラフである。 第２実施形態に係るレーザ光照射装置を示す概略構成図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るレーザ光照射装置１００を示す概略構成図である。レーザ光照射装置１００は、対象物Ｔに直線偏光のレーザ光Ｌを照射する装置であって、光源装置１及び光学系３０を備える。直線偏光とは、電場（及び磁場）の振動方向が一定である偏光状態を意味する。

光源装置１は、ファイバレーザ１０と、偏光調整ユニット２０と、を備える。ファイバレーザ１０は、ランダム偏光のレーザ光Ｌ０を出射する。ランダム偏光とは、直線偏光ではあるが、偏光方向が一定ではなく時間と共に変化する偏光状態を意味する。ファイバレーザ１０は、種光を増幅する本体部１１と、本体部１１に導光ファイバ１２を介して接続されたレーザヘッド部１３と、を有する。ファイバレーザ１０は、増幅媒質に光ファイバを使った固体レーザである。ここでのファイバレーザ１０は、いわゆるヘッド分離型のファイバレーザである。本体部１１は、種光を発振するレーザダイオード１４と、種光を増幅して出力する増幅部１５と、含む。レーザヘッド部１３は、ランダム偏光のレーザ光Ｌ０を出射する。

偏光調整ユニット２０は、偏光ビームスプリッタ２１と、ミラー２２と、１／２波長板（波長板）２３と、ミラー２４と、ハーフミラー２５と、を有する。偏光ビームスプリッタ２１は、ファイバレーザ１０で出射したレーザ光Ｌ０を、偏光成分ごとに第１分岐レーザ光Ｌ１と第２分岐レーザ光Ｌ２とへ分岐する。換言すると、偏光ビームスプリッタ２１は、レーザ光Ｌ０の光路Ｐ０を、第１分岐レーザ光Ｌ１の光路である第１光路Ｐ１と、第２分岐レーザ光Ｌ２の光路である第２光路Ｐ２と、に分岐する。

第１分岐レーザ光Ｌ１と第２分岐レーザ光Ｌ２とは、偏光方向が互いに直交する。第１分岐レーザ光Ｌ１は、Ｐ偏光のレーザ光であり、例えば紙面上下方向を偏光方向として有する。第２分岐レーザ光Ｌ２は、Ｓ偏光のレーザ光であり、例えば紙面垂直方向を偏光方向として有する。Ｐ偏光とは、入射面内で電界が振動する直線偏光である。Ｓ偏光とは、Ｓ偏光は、入射面に垂直に電界が振動する直線偏光である。

ミラー２２は、第２光路Ｐ２に配置されている。ミラー２２は、第２分岐レーザ光Ｌ２を１／２波長板２３へ向かって反射する。１／２波長板２３は、第２光路Ｐ２においてミラー２２の下流側に配置されている。１／２波長板２３は、第２分岐レーザ光Ｌ２の偏光成分を回転させ、第２分岐レーザ光Ｌ２の偏光方向を、第１分岐レーザ光Ｌ１の偏光方向と同じになるように変える。

ミラー２４は、第２光路Ｐ２において１／２波長板２３の下流側に配置されている。ミラー２４は、第２分岐レーザ光Ｌ２をハーフミラー２５へ向かって反射する。ハーフミラー２５は、第１光路Ｐ１の下流側と第２光路Ｐ２の下流側との合流部分に配置されている。ハーフミラー２５は、偏光ビームスプリッタ２１で分岐された第１分岐レーザ光Ｌ１と１／２波長板２３で偏光方向を変えた第２分岐レーザ光Ｌ２とを、合波して合波レーザ光Ｌ３として出力する。ハーフミラー２５は、キューブ型の無偏光ハーフミラーである。ハーフミラー２５は、５０％の透過率及び５０％の反射率を有する。

合波レーザ光Ｌ３は、直線偏光のレーザ光であり、ここでは。Ｐ偏光のレーザ光である。合波レーザ光Ｌ３は、第１分岐レーザ光Ｌ１と同軸の第１合波レーザ光Ｌ３１、及び、第２分岐レーザ光Ｌ２と同軸の第２合波レーザ光Ｌ３２を含む。第１合波レーザ光Ｌ３１は、ハーフミラー２５を透過した第１分岐レーザ光Ｌ１の一部とハーフミラー２５で反射した第２分岐レーザ光Ｌ２の一部とが合波されてなるレーザ光である。第２合波レーザ光Ｌ３２は、ハーフミラー２５で反射した第１分岐レーザ光Ｌ１の一部とハーフミラー２５を透過した第２分岐レーザ光Ｌ２の一部とが合波されてなるレーザ光である。

第２光路Ｐ２は、偏光ビームスプリッタ２１からミラー２２までの第３光路Ｐ２１と、ミラー２４からハーフミラー２５までの第４光路Ｐ２２と、ミラー２２からミラー２４までの第５光路Ｐ２３を含む。第５光路Ｐ２３は、第１光路Ｐ１と同じ光路長を有する。第１光路Ｐ１と第２光路Ｐ２との光路差（つまり、第３光路Ｐ２１及び第４光路Ｐ２２の光路長）は、ファイバレーザ１０の可干渉距離よりも長い。可干渉距離は、第１分岐レーザ光Ｌ１と第２分岐レーザ光Ｌ２とを合波するときに光の干渉現象が現れる距離の上限である。

光学系３０は、空間光変調器（第１偏光素子）３１、４ｆ光学系３２、集光レンズ３３、空間光変調器（第２偏光素子）３５、４ｆ光学系３６、及び、集光レンズ３７を有する。空間光変調器３１，３５は、例えば反射型液晶（ＬＣＯＳ：Liquid Crystal on Silicon）の空間光変調器（ＳＬＭ：Spatial Light Modulator）である。空間光変調器３１は、第１合波レーザ光Ｌ３１が入射される偏光素子である。空間光変調器３１は、入射した第１合波レーザ光Ｌ３１を変調すると共に反射する。空間光変調器３５は、第２合波レーザ光Ｌ３２が入射される偏光素子である。空間光変調器３５は、入射した第２合波レーザ光Ｌ３２を変調すると共に反射する。

空間光変調器３１，３５は、変調パターンを表示可能な表示部を有する。空間光変調器３１は、第１合波レーザ光Ｌ３１を変調パターンに入射させることで、当該変調パターンに応じて第１合波レーザ光Ｌ３１の波面を調整する。空間光変調器３５は、第２合波レーザ光Ｌ３２を変調パターンに入射させることで、当該変調パターンに応じて第２合波レーザ光Ｌ３２の波面を調整する。空間光変調器３１，３５のそれぞれでは、表示させる各変調パターンを適宜設定することにより、第１及び第２合波レーザ光Ｌ３１，Ｌ３２それぞれの変調（例えば、強度、振幅、位相、偏光等の変調）が可能となる。

４ｆ光学系３２は、空間光変調器３１によって変調された第１合波レーザ光Ｌ３１の波面形状を調整（波面調整）する調整光学系である。４ｆ光学系３２は、空間光変調器３１と集光レンズ３３との間の光路上に配置されている。４ｆ光学系３６は、空間光変調器３５によって変調された第２合波レーザ光Ｌ３２の波面形状を調整する調整光学系である。４ｆ光学系３６は、空間光変調器３５と集光レンズ３７との間の光路上に配置されている。

集光レンズ３３は、第１合波レーザ光Ｌ３１を対象物Ｔに集光する。集光レンズ３７は、第２合波レーザ光Ｌ３２を対象物Ｔに集光する。集光レンズ３３，３７のそれぞれは、複数のレンズを含んで構成されていてもよい。

以上に説明したレーザ光照射装置１００では、光源装置１において、ファイバレーザ１０から出射されたランダム偏光のレーザ光Ｌ０は、偏光ビームスプリッタ２１で偏光成分ごとに分岐される。１／２波長板２３により、第２分岐レーザ光Ｌ２の偏光成分が回転させられ、第２分岐レーザ光Ｌ２の偏光方向が第１分岐レーザ光Ｌ１の偏光方向と同じ（平行）になるように変えられる。そして、ハーフミラー２５によって、互いに同じ偏光方向になった第１及び第２分岐レーザ光Ｌ１，Ｌ２が合波され、最終的に単一の直線偏光に揃えられた合波レーザ光Ｌ３として出力される。

合波レーザ光Ｌ３のうちの第１合波レーザ光Ｌ３１は、光学系３０において、空間光変調器３１に入射し、空間光変調器３１の表示部に表示された変調パターンに応じて変調された後、４ｆ光学系３２により波面調整される。４ｆ光学系３２で波面調整された第１合波レーザ光Ｌ３１は、集光レンズ３３により集光されて対象物Ｔに対してレーザ光Ｌとして照射される。合波レーザ光Ｌ３のうちの第２合波レーザ光Ｌ３２は、光学系３０において、空間光変調器３５に入射し、空間光変調器３５の表示部に表示された変調パターンに応じて変調された後、４ｆ光学系３６により波面調整される。４ｆ光学系３６で波面調整された第２合波レーザ光Ｌ３２は、集光レンズ３７により集光されて対象物Ｔに対してレーザ光Ｌとして照射される。

図２は、ファイバレーザ１０から出射されるレーザ光Ｌ０を説明するためのグラフである。縦軸は、レーザ出力を基準出力値で除算して得た規格化レーザ出力である。横軸は、時間（hour）である。「Ｐ偏光」のデータラベル値は、ファイバレーザ１０で出射されたレーザ光Ｌ０を偏光子等で分離してなるＰ偏光の偏光成分の規格化レーザ出力を示す。「Ｓ偏光」のデータラベル値は、ファイバレーザ１０で出射されたレーザ光Ｌ０を偏光子等で分離してなるＳ偏光の偏光成分の規格化レーザ出力を示す。「合計」のデータラベル値は、当該Ｐ偏光の偏光成分と当該Ｓ偏光の偏光成分との合計を示す。

図２に示されるように、合計のレーザ出力は、所定時間の経過後に安定している一方、Ｐ偏光及びＳ偏光のレーザ出力は、合計に比べて変動が大きい。これは、ファイバレーザ１０から出射されるレーザ光Ｌ０は、ランダム偏光の偏光を有しており、Ｐ偏光の偏光成分とＳ偏光の偏光成分との比率が変動する。よって、Ｐ偏光及びＳ偏光のレーザ出力が、当該ファイバレーザ１０の偏光特性に影響されて不安定になるためである。例えば、ファイバレーザ１０では、導光ファイバ１２等のファイバが曲がったり潰れたり等すると、出射したレーザ光Ｌ０の偏光に影響が発生する場合がある。導光ファイバ１２を動かすと動かしている間、偏光が揺らぐ場合がある。したがって、一般的には、光源装置においてランダム偏光のレーザ光Ｌ０を出射するファイバレーザ１０を用いると、得られる直線偏光のレーザ光に偏光素子（空間光変調器等）を利用することは困難であることがわかる。

これに対して、本実施形態に係る光源装置１によれば、上述したように、ファイバレーザ１０から出射されたランダム偏光のレーザ光Ｌ０が第１及び第２分岐レーザ光Ｌ１，Ｌ２に分岐され、第２分岐レーザ光Ｌ２の偏光方向が１／２波長板２３で第１分岐レーザ光Ｌ１の偏光方向と同じになるように変えられ、第１及び第２分岐レーザ光Ｌ１，Ｌ２がハーフミラー２５で合波されて合波レーザ光Ｌ３として出力される。よって、ランダム偏光のレーザ光Ｌ０を出射するファイバレーザ１０を用いた場合でも、当該ファイバレーザ１０の偏光特性によらずに、安定して直線偏光のレーザ光Ｌ（合波レーザ光Ｌ３）を得ることが可能となる。既存の光源装置よりも安価で高出力な光源装置１を得ることができる。

図３は、光源装置１から出力される合波レーザ光Ｌ３を説明するためのグラフである。縦軸は、レーザ出力を基準出力値で除算して得た規格化レーザ出力である。横軸は、時間（min）である。「元出力」のデータラベル値は、ファイバレーザ１０で出射されたランダム偏光のレーザ光Ｌ０の規格化レーザ出力を示す。

「第１分岐レーザ光」のデータラベル値は、ランダム偏光のレーザ光Ｌ０を偏光ビームスプリッタ２１で分岐しただけの第１分岐レーザ光Ｌ１の規格化レーザ出力を示す。ここでの「第１分岐レーザ光」のデータラベル値は、偏光調整（つまり、ハーフミラー２５により、第１分岐レーザ光Ｌ１と１／２波長板２３で偏光方向を変えた第２分岐レーザ光Ｌ２とを合波すること）の前におけるＰ偏光の第１分岐レーザ光Ｌ１の規格化レーザ出力である。「合波レーザ光」のデータラベル値は、合波レーザ光Ｌ３の規格化レーザ出力を示す。ここでの「合波レーザ光」のデータラベル値は、偏光調整の後におけるＰ偏光の第１合波レーザ光Ｌ３１の規格化レーザ出力である。図３に示される結果によれば、偏光調整後の合波レーザ光Ｌ３のレーザ出力が、元出力の安定したレーザ出力と同等の出力変動になることを確認することができる。

光源装置１では、ファイバレーザ１０は、本体部１１とレーザヘッド部１３とを有する、いわゆるヘッド分離型のファイバレーザを構成する。この場合、その導光ファイバ１２の曲げ等により、ファイバレーザ１０から出射するレーザ光Ｌ０の偏光に影響が出やすい。よって、用いたファイバレーザ１０の偏光特性によらずに安定して直線偏光のレーザ光Ｌを得るという上記効果は、特に有効である。

光源装置１では、第１分岐レーザ光Ｌ１の第１光路Ｐ１と第２分岐レーザ光Ｌ２の第２光路Ｐ２との光路差が、ファイバレーザ１０の可干渉距離よりも長い。この構成によれば、ハーフミラー２５によって合波する第１及び第２分岐レーザ光Ｌ１，Ｌ２が干渉するのを抑制することが可能となる。ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光Ｌ０と同じビームプロファイルの合波レーザ光Ｌ３を出力できる。

光源装置１では、合波レーザ光Ｌ３は、第１分岐レーザ光Ｌ１と同軸の第１合波レーザ光Ｌ３１、及び、第２分岐レーザ光Ｌ２と同軸の第２合波レーザ光Ｌ３２を含む。この構成によれば、２つの直線偏光の第１及び第２合波レーザ光Ｌ３１，Ｌ３２が得られることから、種々の仕様等に適用させ易くすることができる。

レーザ光照射装置１００においても、光源装置１により、ランダム偏光のレーザ光Ｌ０を出射するファイバレーザ１０を用いた場合に安定して直線偏光のレーザ光Ｌを得るという上記効果を奏する。また、レーザ光照射装置１００では、ハーフミラー２５によって合波されることで得られた２つの第１及び第２合波レーザ光Ｌ３１，Ｌ３２の双方を利用したレーザ光照射が可能となる。レーザ出力を２ポート有する（２ビーム利用する）仕様のレーザ光照射装置１００を得ることができる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態のレーザ光照射装置について説明する。本実施形態の説明では、第１実施形態と異なる点について説明する。

図４は、第２実施形態に係るレーザ光照射装置２００を示す概略構成図である。図４に示されるように、レーザ光照射装置２００は、光学系３０（図１参照）に代えて光学系４０を備える点で、第１実施形態と異なる。光学系４０は、空間光変調器（偏光素子）３１、４ｆ光学系３２、及び、集光レンズ３３及びビームダンパー４４を有する。ビームダンパー４４は、第２合波レーザ光Ｌ３２を遮蔽する。

レーザ光照射装置２００では、合波レーザ光Ｌ３のうちの第１合波レーザ光Ｌ３１は、光学系３０において、空間光変調器３１に入射し、空間光変調器３１の表示部に表示された変調パターンに応じて変調された後、４ｆ光学系３２により波面調整される。４ｆ光学系３２で波面調整された第１合波レーザ光Ｌ３１は、集光レンズ３３により集光されて対象物Ｔに対してレーザ光Ｌとして照射される。一方、合波レーザ光Ｌ３のうちの第２合波レーザ光Ｌ３２は、ビームダンパー４４により遮蔽されて終端させられる。

以上、レーザ光照射装置２００においても、光源装置１により、ランダム偏光のレーザ光Ｌ０を出射するファイバレーザ１０を用いた場合に安定して直線偏光のレーザ光Ｌを得るという上記効果を奏する。また、レーザ光照射装置２００では、ハーフミラー２５によって合波されることで得られた２つの第１及び第２合波レーザ光Ｌ３１，Ｌ３２の一方のみを利用したレーザ光照射が可能となる。レーザ出力を１ポート有する（１ビーム利用する）仕様のレーザ光照射装置２００を得ることができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用してもよい。

上記実施形態は、偏光素子として空間光変調器３１，３５を備えているが、レーザ光照射装置１００，２００に適用される偏光素子は特に限定されず、空間光変調器３１，３５に代えて又は加えて、他の偏光素子を備えていてもよい。

上記第２実施形態では、第１合波レーザ光Ｌ３１を空間光変調器３１に入射させ、第２合波レーザ光Ｌ３２をビームダンパー４４に入射させたが、これとは逆に、第２合波レーザ光Ｌ３２を空間光変調器３１に入射させ、第１合波レーザ光Ｌ３１をビームダンパー４４に入射させてもよい。この場合、第１合波レーザ光Ｌ３１はビームダンパー４４により遮蔽されて終端させられる一方、第２合波レーザ光Ｌ３２は、空間光変調器３１の表示部に表示された変調パターンに応じて変調された後、４ｆ光学系３２により波面調整され、集光レンズ３３により集光されて対象物Ｔに対してレーザ光Ｌとして照射される。

１…光源装置、１０…ファイバレーザ、１１…本体部、１２…導光ファイバ、１３…レーザヘッド部、２１…偏光ビームスプリッタ、２３…１／２波長板（波長板）、２５…ハーフミラー、３０…光学系、３１…空間光変調器（偏光素子，第１偏光素子）、３５…空間光変調器（第２偏光素子）、４０…光学系、４４…ビームダンパー、１００，２００…レーザ光照射装置、Ｐ１…第１光路（第１分岐レーザ光の光路）、Ｐ２…第２光路（第２分岐レーザ光の光路）。

Claims (6)

1. ランダム偏光のレーザ光を出射するファイバレーザと、
   前記ファイバレーザで出射した前記レーザ光を、偏光成分ごとに第１分岐レーザ光と第２分岐レーザ光とへ分岐する偏光ビームスプリッタと、
   前記第２分岐レーザ光の偏光方向を前記第１分岐レーザ光の偏光方向と同じになるように変える波長板と、
   前記偏光ビームスプリッタで分岐された前記第１分岐レーザ光と前記波長板で偏光方向を変えた前記第２分岐レーザ光とを、合波して合波レーザ光として出力するハーフミラーと、を備える光源装置。
2. 前記ファイバレーザは、
   種光を増幅する本体部と、
   前記本体部に導光ファイバを介して接続され、前記レーザ光を出射するレーザヘッド部と、を有する、請求項１に記載の光源装置。
3. 前記第１分岐レーザ光の光路と前記第２分岐レーザ光の光路との光路差が、前記ファイバレーザの可干渉距離よりも長い、請求項１又は２に記載の光源装置。
4. 前記合波レーザ光は、第１分岐レーザ光と同軸の第１合波レーザ光、及び、前記第２分岐レーザ光と同軸の第２合波レーザ光を含む、請求項１〜３の何れか一項に記載の光源装置。
5. 請求項４に記載の光源装置を具備するレーザ光照射装置であって、
   前記第１合波レーザ光が入射される第１偏光素子、及び前記第２合波レーザ光が入射される第２偏光素子を有する光学系を備える、レーザ光照射装置。
6. 請求項４に記載の光源装置を具備するレーザ光照射装置であって、
   前記第１合波レーザ光及び前記第２合波レーザ光の何れか一方が入射される偏光素子、及び、前記第１合波レーザ光及び前記第２合波レーザ光の何れか他方を遮蔽するビームダンパーを有する光学系を備える、レーザ光照射装置。

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