JP6910643B2

JP6910643B2 - Scribing wheel

Info

Publication number: JP6910643B2
Application number: JP2017144251A
Authority: JP
Inventors: 佑磨岩坪; 博之富本; 直哉木山; 聡也泉本; 正雄小森; 一馬飯澤
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2017-07-26
Filing date: 2017-07-26
Publication date: 2021-07-28
Anticipated expiration: 2037-07-26
Also published as: CN109305750A; TWI782044B; CN208649130U; KR20190012107A; JP2019025671A; CN109305750B; TW201910283A; KR102551257B1

Description

本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールに関する。 The present invention relates to a scribing wheel for forming a scribe line on a brittle material substrate such as a glass substrate.

ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板を分断するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールが基板表面に押し付けられつつ所定のラインに沿って移動される。これにより、スクライビングホイールが基板表面を転動し、スクライブラインが形成される。 The brittle material substrate such as a glass substrate is divided by a scribe step of forming a scribe line on the surface of the substrate and a break step of dividing the substrate along the formed scribe line. In the scribe process, the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the surface of the substrate. As a result, the scribing wheel rolls on the surface of the substrate to form a scribe line.

以下の特許文献１には、外周稜線に複数の溝が所定ピッチで形成されたスクライビングホイールが記載されている。この構成のスクライビングホイールを用いることにより、基板にスクライブ開始直後から確実に垂直クラックを形成できるとともに、深い垂直クラックを形成することができる。 The following Patent Document 1 describes a scribing wheel in which a plurality of grooves are formed at a predetermined pitch on the outer peripheral ridgeline. By using the scribing wheel having this configuration, vertical cracks can be reliably formed on the substrate immediately after the start of scribe, and deep vertical cracks can be formed.

特開平０９−１８８５３４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 09-188534

上記構成のスクライビングホイールを用いた場合、基板表面に、所定ピッチで間欠的に打痕が形成され、打痕直下に形成された垂直クラックが繋がることによって、スクライブラインが形成される。この場合、打痕間の間隔が狭いほど、打痕位置に形成された垂直クラックが繋がり易く、また、垂直クラックがより深く伸展する方が、より良好なスクライブラインを形成できる。 When the scribing wheel having the above configuration is used, dents are intermittently formed on the surface of the substrate at a predetermined pitch, and vertical cracks formed immediately below the dents are connected to form a scribe line. In this case, the narrower the distance between the dents, the easier it is for the vertical cracks formed at the dent positions to be connected, and the deeper the vertical cracks extend, the better the scribe line can be formed.

かかる課題に鑑み、本発明は、基板に垂直クラックをより深く且つ良好に形成することが可能なスクライビングホイールを提供することを目的とする。 In view of such a problem, it is an object of the present invention to provide a scribing wheel capable of forming vertical cracks deeper and better in a substrate.

本発明の主たる態様は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールに関する。この態様に係るスクライビングホイールは、外周縁に沿って形成された複数の刃部と、周方向に隣り合う前記刃部の間に設けられ中心軸側に凹んだ複数の溝部と、を備える。ここで、前記溝部は、前記中心軸に平行な方向に見て、最深部に対して前記周方向の両側の部分が、前記中心軸から離れる方向に凸の形状となっている。 A main aspect of the present invention relates to a scribing wheel for forming a scribe line on a substrate. Sukuraibin grayed wheel according to this embodiment includes a plurality of blade portions formed along the outer periphery, and a plurality of grooves recessed toward the central axis is provided between the cutting portions adjacent to each other in the circumferential direction. Here, the groove portion has a shape in which both side portions in the circumferential direction with respect to the deepest portion are convex in a direction away from the central axis when viewed in a direction parallel to the central axis.

本態様に係るスクライビングホイールによれば、スクライビングホイールが基板表面を転動する際に、刃部付近の部分が基板に食い込んで、基板表面に打痕が形成される。このとき、溝部が上記形状を有するため、刃部付近の基板に食い込む部分の範囲が周方向に広くなる。このため、基板に形成される打痕の間隔が狭くなり、打痕位置に形成された垂直クラックが繋がり易くなる。また、刃部付近の基板に食い込む部分の体積が大きくなるため、打痕位置において、垂直クラックをより深く伸展させることができる。よって、本態様に係るスクライビングホイールによれば、基板に垂直クラックをより深く且つ良好に形成することができる。 According to the scribing wheel according to this aspect, when the scribing wheel rolls on the surface of the substrate, the portion near the blade portion bites into the substrate, and dents are formed on the surface of the substrate. At this time, since the groove portion has the above-mentioned shape, the range of the portion that bites into the substrate near the blade portion becomes wider in the circumferential direction. Therefore, the interval between the dents formed on the substrate is narrowed, and the vertical cracks formed at the dent positions are easily connected. Further, since the volume of the portion that bites into the substrate near the blade portion becomes large, the vertical crack can be extended deeper at the dent position. Therefore, according to the scribing wheel according to this aspect, vertical cracks can be formed deeper and better on the substrate.

本態様に係るスクライビングホイールにおいて、前記溝部は、前記最深部に対して前記周方向の両側の部分が、前記中心軸に平行な方向に見て、曲線形状となるように形成され、前記曲線形状の曲率が、前記溝部の周方向の端部から前記最深部に向かって大きくなっている。こうすると、スクライビングホイールの転動に伴い、溝部が滑らかに基板に食い込んでいく。よって、基板に円滑に垂直クラックを形成できる。 In scribing wheel according to the present embodiment, the groove, the circumferential opposite sides of the relative to the deepest portion, as viewed in a direction parallel to the central axis, is formed so as to be curved, the curved shape The curvature of the groove increases from the circumferential end of the groove toward the deepest part . In this way, as the scribing wheel rolls, the groove smoothly bites into the substrate. Therefore, vertical cracks can be smoothly formed on the substrate.

本態様に係るスクライビングホイールは、前記周方向に隣り合う前記溝部の間に、前記周方向に沿って延びる前記刃部の稜線が存在するよう構成され得る。こうすると、周方向において刃部が所定の幅を持つため、基板に食い込む刃部付近の部分の体積がより大きくなる。よって、基板により深く垂直クラックを形成できる。 The scribing wheel according to this aspect may be configured such that the ridgeline of the blade portion extending along the circumferential direction exists between the grooves adjacent to each other in the circumferential direction. In this case, since the blade portion has a predetermined width in the circumferential direction, the volume of the portion near the blade portion that bites into the substrate becomes larger. Therefore, vertical cracks can be formed deeper on the substrate.

以上のとおり、本発明によれば、簡素な構成により、基板に垂直クラックをより深く且つ良好に形成することが可能なスクライビングホイールを提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribing wheel capable of forming vertical cracks deeper and better on a substrate with a simple configuration.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects or significance of the present invention will be further clarified by the description of the embodiments shown below. However, the embodiments shown below are merely examples when the present invention is put into practice, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.

図１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施の形態に係るスクライビングホイールを模式的に示す側面図および正面図である。図１（ｃ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールの外周付近の一部を拡大して示す図である。1 (a) and 1 (b) are a side view and a front view schematically showing a scribing wheel according to an embodiment, respectively. FIG. 1 (c) is an enlarged view showing a part of the vicinity of the outer circumference of the scribing wheel according to the embodiment. 図２（ａ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールを刃部の位置において中心軸に平行な平面で径方向に切断した断面図である。図２（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、実施の形態に係るスクライビングホイールを溝部の位置において中心軸に平行な平面で径方向に切断した断面図である。FIG. 2A is a cross-sectional view of the scribing wheel according to the embodiment cut in the radial direction in a plane parallel to the central axis at the position of the blade portion. 2 (b) and 2 (c) are cross-sectional views of the scribing wheel according to the embodiment cut in the radial direction in a plane parallel to the central axis at the position of the groove. 図３（ａ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を説明するための図である。図３（ｂ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。図３（ｃ）は、実施の形態に係る、実際に製造されたスクライビングホイールの溝部を中心軸に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。FIG. 3A is a diagram for explaining a shape when the groove portion of the scribing wheel according to the embodiment is viewed in a direction parallel to the central axis. FIG. 3B is a diagram schematically showing a shape when the groove portion of the scribing wheel according to the embodiment is viewed in a direction parallel to the central axis. FIG. 3C is a diagram schematically showing a shape when the groove portion of the actually manufactured scribing wheel according to the embodiment is viewed in a direction parallel to the central axis. 図４（ａ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールの刃部が基板に対向したときの垂直クラックの形成状態を模式的に示す図である。図４（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、実施の形態に係るスクライビングホイールの溝部が基板に対向したときの垂直クラックの形成状態を模式的に示す図である。FIG. 4A is a diagram schematically showing a state in which vertical cracks are formed when the blade portion of the scribing wheel according to the embodiment faces the substrate. 4 (b) and 4 (c) are diagrams schematically showing a state in which vertical cracks are formed when the groove portion of the scribing wheel according to the embodiment faces the substrate, respectively. 図５（ａ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールを基板に圧接させる前の状態を模式的に示す図である。図５（ｂ）は、比較例に係るスクライビングホイールを基板に圧接させる前の状態を模式的に示す図である。FIG. 5A is a diagram schematically showing a state before the scribing wheel according to the embodiment is pressed against the substrate. FIG. 5B is a diagram schematically showing a state before the scribing wheel according to the comparative example is pressed against the substrate. 図６（ａ）は、実施の形態に係るスクライビングホイールが基板に圧接された状態を模式的に示す図である。図６（ｂ）は、比較例に係るスクライビングホイールが基板に圧接された状態を模式的に示す図である。FIG. 6A is a diagram schematically showing a state in which the scribing wheel according to the embodiment is pressed against the substrate. FIG. 6B is a diagram schematically showing a state in which the scribing wheel according to the comparative example is pressed against the substrate.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、スクライビングホイールの中心軸に平行である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, the X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal to each other are added to each figure. The Z axis is parallel to the central axis of the scribing wheel.

図１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、スクライビングホイール１００の構成を模式的に示す側面図および正面図である。図１（ｃ）は、スクライビングホイール１００の外周付近の一部を拡大して示す図である。 1A and 1B are side views and front views schematically showing the configuration of the scribing wheel 100, respectively. FIG. 1 (c) is an enlarged view showing a part of the vicinity of the outer circumference of the scribing wheel 100.

スクライビングホイール１００は、外周部両側のエッジを斜めに切り落とした円板形状を有する。スクライビングホイール１００の外周部には、側面視において、互いに異なる方向に傾斜した２つの傾斜面１００ａが形成されている。２つの傾斜面１００ａが交差することにより、複数の刃部１０１が形成され、さらに、周方向に隣り合う刃部１０１の間に、中心軸Ｌ０側に凹んだ溝部１０２が形成されている。周方向における各刃部１０１の長さは互いに等しい。また、周方向における各溝部１０２の長さも互いに等しい。したがって、周方向における刃部１０１のピッチは一定であり、また、周方向における溝部１０２のピッチも一定である。 The scribing wheel 100 has a disk shape in which the edges on both sides of the outer peripheral portion are cut off diagonally. Two inclined surfaces 100a inclined in different directions are formed on the outer peripheral portion of the scribing wheel 100 in a side view. By intersecting the two inclined surfaces 100a, a plurality of blade portions 101 are formed, and further, a groove portion 102 recessed on the central axis L0 side is formed between the blade portions 101 adjacent to each other in the circumferential direction. The lengths of the blades 101 in the circumferential direction are equal to each other. Further, the lengths of the groove portions 102 in the circumferential direction are also equal to each other. Therefore, the pitch of the blade portion 101 in the circumferential direction is constant, and the pitch of the groove portion 102 in the circumferential direction is also constant.

スクライビングホイール１００は、超硬合金、焼結ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンドまたは多結晶ダイヤモンド等によって形成されている。スクライビングホイール１００の中央には、回転軸となるシャフトが挿入される円形の孔１００ｂが形成されている。スクライビングホイール１００の直径は、１ｍｍ〜５ｍｍ程度であり、厚みは、０．４〜１ｍｍ程度である。また、刃部１０１の角度、すなわち、２つの傾斜面１００ａのなす角は、１００〜１６０°程度であり、孔１００ｂの直径は、０．４〜１．５ｍｍ程度である。 The scribing wheel 100 is formed of cemented carbide, sintered diamond, single crystal diamond, polycrystalline diamond, or the like. A circular hole 100b into which a shaft serving as a rotation axis is inserted is formed in the center of the scribing wheel 100. The diameter of the scribing wheel 100 is about 1 mm to 5 mm, and the thickness is about 0.4 to 1 mm. Further, the angle of the blade portion 101, that is, the angle formed by the two inclined surfaces 100a is about 100 to 160 °, and the diameter of the hole 100b is about 0.4 to 1.5 mm.

溝部１０２のピッチｐ１（１つの溝部１０２の周方向の長さ（Ｌ１）と１つの刃部１０１の周方向の長さ（Ｌ２）の和）は、たとえば、１０〜１００μｍ程度である。溝の深さｄ１（刃部１０１の稜線と溝部１０２の最深部とのスクライビングホイール１００の径方向の距離の差）は、たとえば１〜１０μｍ程度である。スクライビングホイール１００の外周の刃部１０１の稜線よりもくぼんだ領域の長さである溝部１０２の周方向の長さ（Ｌ１）は、たとえば３〜４０μｍ程度である。溝部１０２の周方向の長さ（Ｌ１）の刃部１０１（隣り合う溝部１０２に挟まれた領域）の稜線の長さ（Ｌ２）に対する比（Ｌ１／Ｌ２）は、たとえば０．５〜５．０である。 The pitch p1 of the groove 102 (the sum of the circumferential length (L1) of one groove 102 and the circumferential length (L2) of one blade 101) is, for example, about 10 to 100 μm. The groove depth d1 (the difference in the radial distance of the scribing wheel 100 between the ridgeline of the blade portion 101 and the deepest portion of the groove portion 102) is, for example, about 1 to 10 μm. The circumferential length (L1) of the groove 102, which is the length of the region recessed from the ridge of the blade 101 on the outer circumference of the scribing wheel 100, is, for example, about 3 to 40 μm. The ratio (L1 / L2) of the circumferential length (L1) of the groove 102 to the ridge length (L2) of the blade 101 (the region sandwiched between the adjacent grooves 102) is, for example, 0.5 to 5. It is 0.

溝部１０２は、周方向に見て中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲面からなっている。また、溝部１０２と刃部１０１との境界から溝部１０２の周方向中央の最深部に向かってスクライビングホイール１００の径方向の断面における曲率半径が徐々に大きくなっている。 The groove 102 has a curved surface that is convex in the direction away from the central axis L0 when viewed in the circumferential direction. Further, the radius of curvature in the radial cross section of the scribing wheel 100 gradually increases from the boundary between the groove portion 102 and the blade portion 101 toward the deepest portion in the circumferential direction of the groove portion 102.

図２（ａ）は、スクライビングホイール１００を刃部１０１の位置において中心軸Ｌ０に平行な平面（Ｙ−Ｚ平面）で径方向に切断した断面図である。図２（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、スクライビングホイール１００を溝部１０２の位置において中心軸Ｌ０に平行な平面（Ｙ−Ｚ平面）で径方向に切断した断面図である。図２（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、図１（ｃ）のＡ−Ａ’位置、Ｂ−Ｂ’位置およびＣ−Ｃ’位置における断面図である。 FIG. 2A is a cross-sectional view of the scribing wheel 100 cut in the radial direction in a plane (YZ plane) parallel to the central axis L0 at the position of the blade portion 101. 2 (b) and 2 (c) are cross-sectional views of the scribing wheel 100 cut in the radial direction in a plane (YZ plane) parallel to the central axis L0 at the position of the groove 102, respectively. 2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views taken at the AA'position, the BB'position and the CC'position of FIG. 1C, respectively.

図２（ａ）に示すように、周方向に見たときの刃部１０１の断面形状は、所定角度のＶ字形状である。刃部１０１の断面形状がＶ字形状の角が丸められた円弧状の曲面形状と仮定しても、その曲率半径Ｒは２μｍ以下である。 As shown in FIG. 2A, the cross-sectional shape of the blade portion 101 when viewed in the circumferential direction is a V-shape having a predetermined angle. Even if the cross-sectional shape of the blade portion 101 is assumed to be an arc-shaped curved surface with V-shaped corners rounded, the radius of curvature R is 2 μm or less.

周方向の位置が刃部１０１から溝部１０２へと移行すると、周方向に見たときの溝部１０２の断面形状は、図２（ｂ）に示すように、Ｖ字形状の角が丸められた円弧状の曲面形状となる。図２（ｂ）は、周方向の位置が溝部１０２の肩上稜線位置にあるときのスクライビングホイールの径方向の断面図である。このときの肩上稜線位置の高さは、刃部１０１の稜線の高さよりもＤ１だけ低い。 When the position in the circumferential direction shifts from the blade portion 101 to the groove portion 102, the cross-sectional shape of the groove portion 102 when viewed in the circumferential direction is a circle with rounded V-shaped corners as shown in FIG. 2 (b). It has an arc-shaped curved surface. FIG. 2B is a radial cross-sectional view of the scribing wheel when the circumferential position is at the shoulder upper ridge line position of the groove 102. The height of the shoulder ridge line position at this time is lower than the height of the ridge line of the blade portion 101 by D1.

さらに、周方向の位置が刃部１０１の肩上稜線位置から刃部１０１中央の最深部の位置へと移行すると、周方向に見たときの溝部１０２の断面形状は、図２（ｃ）に示すように、溝部１０２の全範囲において最も曲率半径が大きい円弧形状となる。最深部の高さは、刃部１０１の稜線の高さよりもＤ２だけ低い。Ｄ２は、図１（ｃ）に示した深さｄ１に対応する。 Further, when the position in the circumferential direction shifts from the position of the shoulder upper ridge line of the blade portion 101 to the position of the deepest portion in the center of the blade portion 101, the cross-sectional shape of the groove portion 102 when viewed in the circumferential direction is shown in FIG. As shown, the arc shape has the largest radius of curvature in the entire range of the groove 102. The height of the deepest portion is lower than the height of the ridgeline of the blade portion 101 by D2. D2 corresponds to the depth d1 shown in FIG. 1 (c).

このように、溝部１０２の曲面形状は、刃部１０１との境界から最深部に向かうに従って徐々に曲率半径が大きくなっていく。また、溝部１０２の周方向の稜線は、刃部１０１との境界から最深部に向かうに従って徐々に、刃部１０１の稜線に対して低くなっていき、スクライビングホイール１００の中心軸Ｌ０に近づく方向（Ｙ軸負方向）に後退する。溝部１０２は、たとえば、全周に亘って刃部１０１が形成されたスクライビングホイール１００に対してレーザ光を用いたカッティング加工を施すことによって形成される。 As described above, the curved surface shape of the groove portion 102 gradually increases in radius of curvature from the boundary with the blade portion 101 toward the deepest portion. Further, the ridgeline in the circumferential direction of the groove portion 102 gradually becomes lower with respect to the ridgeline of the blade portion 101 toward the deepest portion from the boundary with the blade portion 101, and approaches the central axis L0 of the scribing wheel 100 (in the direction of approaching the central axis L0 of the scribing wheel 100). Retreat in the negative direction of the Y axis). The groove portion 102 is formed, for example, by subjecting the scribing wheel 100 on which the blade portion 101 is formed over the entire circumference to a cutting process using a laser beam.

図３（ａ）は、スクライビングホイール１００の溝部１０２を中心軸Ｌ０に平行な方向に見たときの形状を説明するための図である。図３（ｂ）は、スクライビングホイール１００の溝部１０２を中心軸Ｌ０に平行な方向に見たときの形状を模式的に示す図である。 FIG. 3A is a diagram for explaining the shape of the groove 102 of the scribing wheel 100 when viewed in a direction parallel to the central axis L0. FIG. 3B is a diagram schematically showing the shape of the groove 102 of the scribing wheel 100 when viewed in a direction parallel to the central axis L0.

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、隣り合う刃部１０１の間に、周方向の幅がＷ１の溝部１０２が形成されている。溝部１０２は、中心軸Ｌ０に平行な方向（Ｚ軸方向）に見て、最深部１０２ａに対して周方向の両側の部分が、中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の形状となっている。ここでは、最深部１０２ａに対して周方向の両側の部分が、中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲線形状となっている。また、この曲線形状の曲率が、溝部１０２の周方向の端部から最深部１０２ａに向かって大きくなっている。すなわち、最深部１０２ａ両側の部分の溝部１０２の稜線と、刃部１０１の境界位置Ｐ３、Ｐ４付近の稜線とのなす角θ１、θ２は、最深部１０２ａに向かうに従って大きくなっている。また、中心軸Ｌ０に平行な方向に見て、溝部１０２の刃部１０１側の端部は、境界位置Ｐ３、Ｐ４において、刃部１０１に所定の角度で屈曲状に繋がっている。 As shown in FIGS. 3A and 3B, a groove 102 having a width of W1 in the circumferential direction is formed between adjacent blades 101. The groove portion 102 has a shape in which both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102a are convex in a direction away from the central axis L0 when viewed in a direction parallel to the central axis L0 (Z-axis direction). Here, the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102a have a curved shape that is convex in the direction away from the central axis L0. Further, the curvature of this curved shape increases from the end portion of the groove portion 102 in the circumferential direction toward the deepest portion 102a. That is, the angles θ1 and θ2 formed by the ridges of the grooves 102 on both sides of the deepest portion 102a and the ridges near the boundary positions P3 and P4 of the blade portions 101 increase toward the deepest portion 102a. Further, when viewed in a direction parallel to the central axis L0, the end portion of the groove portion 102 on the blade portion 101 side is bently connected to the blade portion 101 at a predetermined angle at the boundary positions P3 and P4.

最深部１０２ａ両側の部分の境界位置Ｐ３、Ｐ４付近の稜線にＸ−Ｙ平面に平行な接線Ｌｎ１、Ｌｎ２を設定すると、接線Ｌｎ１、Ｌｎ２の交点の位置Ｐ２は、最深部１０２ａの位置Ｐ１よりも中心軸Ｌ０から離れる。すなわち、刃部１０１の稜線と位置Ｐ２との間の径方向の距離ｄ１２は、刃部１０１の稜線と位置Ｐ１との間の径方向の距離ｄ１１よりも小さい。 When tangents Ln1 and Ln2 parallel to the XY plane are set on the ridges near the boundary positions P3 and P4 on both sides of the deepest portion 102a, the position P2 at the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 is higher than the position P1 of the deepest portion 102a. Move away from the central axis L0. That is, the radial distance d12 between the ridgeline of the blade portion 101 and the position P2 is smaller than the radial distance d11 between the ridgeline of the blade portion 101 and the position P1.

図３（ｃ）は、図３（ｂ）と比較して、最深部１０２ａの両側の部分が中心軸Ｌ０から離れる方向により凸状に丸みを帯びた形状である場合の溝部１０２の形状を模式的に示す図である。 FIG. 3C illustrates the shape of the groove 102 when both side portions of the deepest portion 102a are convexally rounded in the direction away from the central axis L0 as compared with FIG. 3B. It is a figure which shows.

ここでは、境界位置Ｐ３、Ｐ４における外周形状も、図３（ｂ）のような急峻に屈曲した形状ではなく、図３（ｃ）に示すように、丸みを帯びた形状となっている。この場合、図３（ａ）と比較して、接線Ｌｎ１、Ｌｎ２の交点の位置Ｐ２と最深部１０２ａの位置Ｐ１との距離、すなわちｄ１１とｄ１２との差はより大きくなる。 Here, the outer peripheral shapes at the boundary positions P3 and P4 are not sharply bent as shown in FIG. 3B, but are rounded as shown in FIG. 3C. In this case, the distance between the position P2 at the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 and the position P1 at the deepest portion 102a, that is, the difference between d11 and d12 is larger than that in FIG. 3A.

次に、スクライブ動作時において、スクライビングホイール１００が基板２００の表面を転動するときの刃部１０１および溝部１０２の作用について説明する。 Next, the actions of the blade portion 101 and the groove portion 102 when the scribing wheel 100 rolls on the surface of the substrate 200 during the scribe operation will be described.

図４（ａ）は、スクライビングホイール１００の刃部１０１が基板２００に対向したときの垂直クラック２０１の形成状態を模式的に示す図である。図４（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、スクライビングホイール１００の溝部１０２が基板２００に対向したときの垂直クラック２０１の形成状態を模式的に示す図である。 FIG. 4A is a diagram schematically showing a state in which the vertical crack 201 is formed when the blade portion 101 of the scribing wheel 100 faces the substrate 200. 4 (b) and 4 (c) are diagrams schematically showing the formation state of the vertical crack 201 when the groove 102 of the scribing wheel 100 faces the substrate 200, respectively.

図４（ａ）に示すように、スクライビングホイール１００の刃部１０１が基板２００に対向すると、刃部１０１が基板２００にくい込んで、基板２００に塑性変形が生じるとともにその下方に垂直クラック２０１が形成される。基板２００は、たとえば、厚みが１ｍｍ以下のガラス基板である。刃部１０１が基板２００に対向している間は、刃部１０１による塑性変形と基板２００における垂直クラック２０１の伸展が継続する。 As shown in FIG. 4A, when the blade portion 101 of the scribing wheel 100 faces the substrate 200, the blade portion 101 gets stuck in the substrate 200, plastic deformation occurs in the substrate 200, and a vertical crack 201 is formed below the blade portion 101. Will be done. The substrate 200 is, for example, a glass substrate having a thickness of 1 mm or less. While the blade portion 101 faces the substrate 200, the plastic deformation by the blade portion 101 and the extension of the vertical crack 201 in the substrate 200 continue.

その後、スクライビングホイール１００の転動により、図４（ｂ）に示すように、スクライビングホイール１００の溝部１０２が基板２００に対向するようになると、溝部１０２の曲率半径の変化に伴い、緩やかに溝部１０２が垂直クラック２０１から退避した状態になっていく。そして、溝部１０２の曲率半径が所定の大きさに到達すると、溝部１０２は、垂直クラック２０１から完全に退避した状態で基板２００の上面に接するようになって、基板２００の上面を押圧するのみとなる。 After that, as shown in FIG. 4B, when the groove 102 of the scribing wheel 100 faces the substrate 200 due to the rolling of the scribing wheel 100, the groove 102 gently changes as the radius of curvature of the groove 102 changes. Is retracted from the vertical crack 201. Then, when the radius of curvature of the groove 102 reaches a predetermined size, the groove 102 comes into contact with the upper surface of the substrate 200 in a state of being completely retracted from the vertical crack 201, and only presses the upper surface of the substrate 200. Become.

溝部１０２が基板２００の上面を押圧する期間において、基板２００は、溝部１０２の押圧によって、図４（ｃ）に示すように、弾性変形する。この押圧により、刃部１０１によって直前に形成された垂直クラック２０１が伸展していく。こうして、溝部１０２の当接位置にも、垂直クラック２０１が形成される。 During the period in which the groove 102 presses the upper surface of the substrate 200, the substrate 200 is elastically deformed by the pressing of the groove 102, as shown in FIG. 4 (c). By this pressing, the vertical crack 201 formed immediately before by the blade portion 101 is extended. In this way, the vertical crack 201 is also formed at the contact position of the groove 102.

このように、溝部１０２が垂直クラック２０１から退避した後、溝部１０２は、基板２００の上面を押圧して、弾性変形を生じさせるとともに刃部１０１により形成された直前の垂直クラック２０１を伸展させるのみである。このため、少なくともこの期間は、塑性変形に基づくカレットの発生が少なくなる。また、溝部１０２の径方向の断面がスクライビングホイール１００の中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲面からなっており、溝部１０２内には鋭い稜線が形成されていないため、スクライビングホイール１００が転動して溝部１０２が基板２００に向き合ったときに、溝部１０２内においては鋭い稜線が基板２００にくい込んで塑性変形を生じさせるようなことがない。よって、カレットの発生を効果的に抑制できる。 In this way, after the groove 102 is retracted from the vertical crack 201, the groove 102 presses the upper surface of the substrate 200 to cause elastic deformation and only extend the vertical crack 201 immediately before being formed by the blade 101. Is. Therefore, at least during this period, the occurrence of cullet due to plastic deformation is reduced. Further, since the radial cross section of the groove portion 102 is a curved surface that is convex in the direction away from the central axis L0 of the scribing wheel 100 and no sharp ridge line is formed in the groove portion 102, the scribing wheel 100 rolls. When the groove portion 102 faces the substrate 200, a sharp ridge line does not get stuck in the substrate 200 and cause plastic deformation in the groove portion 102. Therefore, the generation of cullet can be effectively suppressed.

また、溝部１０２の径方向の断面が中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲面からなっているため、基板２００との接触位置が刃部１０１から溝部１０２へと移行する間に、刃部１０１がくい込んだ状態から溝部１０２が垂直クラック２０１から緩やかに抜けて退避した状態となり、垂直クラック２０１に大きな衝撃がかかることがない。よって、この期間においても、カレットの発生が抑制され得る。 Further, since the radial cross section of the groove portion 102 is a curved surface that is convex in the direction away from the central axis L0, the blade portion 101 is moved while the contact position with the substrate 200 shifts from the blade portion 101 to the groove portion 102. The groove 102 is gradually pulled out of the vertical crack 201 and retracted from the bitten state, so that the vertical crack 201 is not subjected to a large impact. Therefore, even during this period, the generation of cullet can be suppressed.

図５（ａ）は、上記構成のスクライビングホイール１００を基板２００に圧接させる前の状態を模式的に示す図である。図５（ｂ）は、比較例に係るスクライビングホイール１１０を基板２００に圧接させる前の状態を模式的に示す図である。 FIG. 5A is a diagram schematically showing a state before the scribing wheel 100 having the above configuration is pressed against the substrate 200. FIG. 5B is a diagram schematically showing a state before the scribing wheel 110 according to the comparative example is pressed against the substrate 200.

比較例に係るスクライビングホイール１１０では、中心軸Ｌ０に平行な方向に見たときに、中心軸Ｌ０に向かう方向に凹むように溝部１１２が形成され、隣り合う溝部１１２の間に刃部１１１が形成されている。このとき、最深部１１２ａ両側の部分の刃部１１１との境界位置Ｐ３、Ｐ４付近の稜線にＸ−Ｙ平面に平行な接線Ｌｎ１、Ｌｎ２を設定すると、接線Ｌｎ１、Ｌｎ２の交点の位置Ｐ２は、最深部１１２ａの位置Ｐ１よりも中心軸Ｌ０に近づくこととなる。すなわち、刃部１１１の稜線と位置Ｐ２との間の径方向の距離ｄ１２は、刃部１１１の稜線と位置Ｐ１との間の径方向の距離ｄ１１よりも大きくなる。刃部１１１の形状は、上記実施の形態のスクライビングホイール１００の刃部１０１と同様である。また、溝部１１２の径方向に平行な断面は、上記実施形態と同様、中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲面となっている。したがって、周方向に見たときの溝部１１２の曲率半径は、溝部１１２の最深部に向かうに従って大きくなっている。 In the scribing wheel 110 according to the comparative example, the groove portion 112 is formed so as to be recessed in the direction toward the central axis L0 when viewed in the direction parallel to the central axis L0, and the blade portion 111 is formed between the adjacent groove portions 112. Has been done. At this time, if the tangents Ln1 and Ln2 parallel to the XY plane are set on the ridges near the boundary positions P3 and P4 on both sides of the deepest portion 112a, the position P2 at the intersection of the tangents Ln1 and Ln2 is set. It will be closer to the central axis L0 than the position P1 of the deepest portion 112a. That is, the radial distance d12 between the ridgeline of the blade portion 111 and the position P2 is larger than the radial distance d11 between the ridgeline of the blade portion 111 and the position P1. The shape of the blade portion 111 is the same as that of the blade portion 101 of the scribing wheel 100 of the above embodiment. Further, the cross section of the groove portion 112 parallel to the radial direction is a curved surface convex in the direction away from the central axis L0, as in the above embodiment. Therefore, the radius of curvature of the groove portion 112 when viewed in the circumferential direction increases toward the deepest portion of the groove portion 112.

図６（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、スクライブ動作において、上記実施の形態に係るスクライビングホイール１００と比較例に係るスクライビングホイール１１０が基板２００に圧接された状態を模式的に示す図である。 6 (a) and 6 (b) are diagrams schematically showing a state in which the scribing wheel 100 according to the above embodiment and the scribing wheel 110 according to a comparative example are pressed against the substrate 200 in the scribe operation, respectively. ..

図６（ｂ）に示すように、比較例に係るスクライビングホイール１１０では、溝部１１２の最深部１１２ａに対して周方向の両側に部分が中心軸Ｌ０に向かう方向に凹んだ形状であるため、基板２００に食い込む部分Ｖ１が、刃部１１１とその前後に続く溝部１１２の一部に制限され、また、基板２００に食い込む部分Ｖ１の間隔Ｇ１が広くなっている。 As shown in FIG. 6B, the scribing wheel 110 according to the comparative example has a shape in which the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 112a of the groove portion 112 are recessed in the direction toward the central axis L0. The portion V1 that bites into the 200 is limited to a part of the blade portion 111 and the groove portions 112 that continue in front of and behind the blade portion 111, and the interval G1 of the portion V1 that bites into the substrate 200 is widened.

これに対し、実施の形態に係るスクライビングホイール１００では、図６（ａ）に示すように、溝部１０２の最深部１０２ａに対して周方向の両側に部分が中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の形状であるため、基板２００に食い込む部分Ｖ０が、最深部１０２ａ付近を除く範囲に広がっており、また、基板２００に食い込む部分Ｖ０の間隔Ｇ０が狭くなっている。 On the other hand, in the scribing wheel 100 according to the embodiment, as shown in FIG. 6A, the portions on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102a of the groove portion 102 are convex in the direction away from the central axis L0. Therefore, the portion V0 that bites into the substrate 200 extends to a range other than the vicinity of the deepest portion 102a, and the interval G0 of the portion V0 that bites into the substrate 200 is narrowed.

このように、スクライビングホイール１００とスクライビングホイール１１０とを比較すると、スクライビングホイール１１０に比べて、スクライビングホイール１００は、基板２００に食い込む部分Ｖ０の体積が顕著に大きくなり、且つ、基板２００に食い込む部分Ｖ０の間隔Ｇ０が顕著に狭くなっている。基板２００に食い込む部分の体積が大きいほど、基板２００に大きな塑性変形が生じ、その下方により深い垂直クラック２０１が形成される。また、基板２００に食い込む部分の間隔が狭いほど、塑性変形により生じた垂直クラック２０１が繋がり易くなり、スクライブラインがより良好に形成される。 As described above, when the scribing wheel 100 and the scribing wheel 110 are compared, the volume of the portion V0 that bites into the substrate 200 of the scribing wheel 100 is significantly larger than that of the scribing wheel 110, and the portion V0 that bites into the substrate 200. The interval G0 is remarkably narrowed. The larger the volume of the portion that bites into the substrate 200, the larger the plastic deformation occurs in the substrate 200, and a deeper vertical crack 201 is formed below the plastic deformation. Further, the narrower the distance between the portions that bite into the substrate 200, the easier it is for the vertical cracks 201 generated by the plastic deformation to be connected, and the better the scribing line is formed.

したがって、実施の形態に係るスクライビングホイール１００によれば、比較例に係るスクライビングホイール１１０よりも、打痕位置すなわち刃部１０１が食い込む位置の直下により深い垂直クラック２０１を形成でき、且つ、それぞれの刃部１０１の下方に形成された垂直クラック２０１が相互に繋がり易くなる。よって、実施の形態に係るスクライビングホイール１００によれば、より良好なスクライブラインを形成できる。 Therefore, according to the scribing wheel 100 according to the embodiment, a deeper vertical crack 201 can be formed immediately below the dent position, that is, the position where the blade portion 101 bites, and each blade can be formed as compared with the scribing wheel 110 according to the comparative example. The vertical cracks 201 formed below the portion 101 are easily connected to each other. Therefore, according to the scribing wheel 100 according to the embodiment, a better scribe line can be formed.

なお、実施の形態に係るスクライビングホイール１００では、基板２００に食い込む部分Ｖ０の体積が、比較例に係るスクライビングホイール１１０に比べて大きくなるため、比較例に比べて刃部１０１が基板２００に食い込みにくくなると考えられる。このため、実施の形態に係るスクライビングホイール１００では、上記のように、打痕位置の直下により深く垂直クラック２０１を伸展させることができるものの、刃部１０１を基板２００に食い込ませるための荷重が大きくなることが考えられ得る。 In the scribing wheel 100 according to the embodiment, the volume of the portion V0 that bites into the substrate 200 is larger than that of the scribing wheel 110 according to the comparative example, so that the blade portion 101 is less likely to bite into the substrate 200 than in the comparative example. It is considered to be. Therefore, in the scribing wheel 100 according to the embodiment, as described above, the vertical crack 201 can be extended deeper directly below the dent position, but the load for causing the blade portion 101 to bite into the substrate 200 is large. Can be considered.

そこで、発明者らは、実施の形態に係るスクライビングホイール１００と、比較例に係るスクライビングホイール１１０とについて、基板２００にリブマークを形成するのに必要な荷重を実験により計測した。実験では、基板２００として、厚さ０．５ｍｍのガラス基板を用いた。スクライブ速度は、１００ｍｍ／秒とした。中心軸Ｌ０の方向に見たときの溝部１０２の形状以外の構成は、スクライビングホイール１００とスクライビングホイール１１０とで同じとした。ここでは、実施の形態に係るスクライビングホイール１００と、比較例に係るスクライビングホイール１１０とについて、スクライブラインを形成するごとに荷重を変化させて、基板２００にリブマークを形成することができ、かつスクライブ品質が良好な荷重の範囲を確認した。 Therefore, the inventors measured the load required for forming the rib mark on the substrate 200 by the experiment with respect to the scribing wheel 100 according to the embodiment and the scribing wheel 110 according to the comparative example. In the experiment, a glass substrate having a thickness of 0.5 mm was used as the substrate 200. The scribe speed was 100 mm / sec. The configuration of the scribing wheel 100 and the scribing wheel 110 is the same except for the shape of the groove 102 when viewed in the direction of the central axis L0. Here, with respect to the scribing wheel 100 according to the embodiment and the scribing wheel 110 according to the comparative example, the load can be changed each time a scribing line is formed to form a rib mark on the substrate 200, and the scribing quality can be formed. Confirmed a good load range.

検証結果として、比較例に係るスクライビングホイール１１０を用いた場合にリブマークが形成され、スクライブ品質が良好な荷重は７．０〜１６．０Ｎであったのに対し、実施の形態に係るスクライビングホイール１００を用いた場合にリブマークが形成され、スクライブ品質が良好な荷重は５．０〜１５．０Ｎであった。このように、実施の形態に係るスクライビングホイール１００を用いることによって、比較例よりも低荷重で基板２００に垂直クラック２０１を形成できることが確認できた。よって、実施の形態に係るスクライビングホイール１００を用いることにより、より低荷重でも良好なスクライブラインを形成できることが確認できた。 As a result of verification, when the scribing wheel 110 according to the comparative example was used, rib marks were formed, and the load with good scribing quality was 7.0 to 16.0 N, whereas the scribing wheel 100 according to the embodiment was used. When was used, rib marks were formed, and the load with good scribing quality was 5.0 to 15.0 N. As described above, it was confirmed that by using the scribing wheel 100 according to the embodiment, the vertical crack 201 can be formed on the substrate 200 with a lower load than in the comparative example. Therefore, it was confirmed that a good scribe line can be formed even with a lower load by using the scribing wheel 100 according to the embodiment.

＜実施形態の効果＞
本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。 <Effect of embodiment>
According to this embodiment, the following effects are achieved.

図６（ａ）に示したように、スクライビングホイール１００が基板２００の表面を転動する際に、刃部１０１付近の部分が基板２００に食い込んで、基板２００の表面に打痕が形成される。このとき、溝部１０２が図３（ａ）〜（ｃ）の形状を有するため、刃部１０１付近の基板２００に食い込む部分Ｖ０の範囲が周方向に広くなる。このため、基板２００に形成される打痕の間隔Ｇ０が狭くなり、打痕位置に形成された垂直クラック２０１が繋がり易くなる。また、刃部１０１付近の基板２００に食い込む部分Ｖ０の体積が大きくなるため、打痕位置において、垂直クラック２０１をより深く伸展させることができる。よって、実施の形態に係るスクライビングホイール１００によれば、基板２００に垂直クラック２０１をより深く且つ良好に形成することができる。 As shown in FIG. 6A, when the scribing wheel 100 rolls on the surface of the substrate 200, the portion near the blade portion 101 bites into the substrate 200, and dents are formed on the surface of the substrate 200. .. At this time, since the groove portion 102 has the shapes shown in FIGS. 3A to 3C, the range of the portion V0 that bites into the substrate 200 near the blade portion 101 becomes wider in the circumferential direction. Therefore, the interval G0 of the dents formed on the substrate 200 becomes narrow, and the vertical cracks 201 formed at the dent positions are easily connected. Further, since the volume of the portion V0 that bites into the substrate 200 near the blade portion 101 becomes large, the vertical crack 201 can be extended deeper at the dent position. Therefore, according to the scribing wheel 100 according to the embodiment, the vertical crack 201 can be formed deeper and better on the substrate 200.

図３（ａ）〜（ｃ）に示したとおり、溝部１０２は、最深部１０２ａに対して周方向の両側の部分が、中心軸Ｌ０に平行な方向に見て、曲線形状となるように形成されている。これにより、スクライビングホイール１００の転動に伴い、溝部１０２が滑らかに基板２００に食い込んでいく。よって、基板２００に円滑に垂直クラック２０１を形成できる。 As shown in FIGS. 3A to 3C, the groove portion 102 is formed so that both side portions in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102a have a curved shape when viewed in a direction parallel to the central axis L0. Has been done. As a result, as the scribing wheel 100 rolls, the groove 102 smoothly bites into the substrate 200. Therefore, the vertical crack 201 can be smoothly formed on the substrate 200.

図３（ａ）〜（ｃ）に示したとおり、スクライビングホイール１００は、周方向に隣り合う溝部１０２の間に、周方向に沿って延びる刃部１０１の稜線が存在するよう構成されている。これにより、周方向において刃部１０１が所定の幅を持つため、基板２００に食い込む刃部１０１付近の部分Ｖ０の体積がより大きくなる。よって、基板２００により深く垂直クラック２０１を形成できる。 As shown in FIGS. 3A to 3C, the scribing wheel 100 is configured such that the ridge line of the blade portion 101 extending along the circumferential direction exists between the groove portions 102 adjacent to each other in the circumferential direction. As a result, since the blade portion 101 has a predetermined width in the circumferential direction, the volume of the portion V0 in the vicinity of the blade portion 101 that bites into the substrate 200 becomes larger. Therefore, the vertical crack 201 can be formed deeper in the substrate 200.

図２（ｂ）、（ｃ）に示したとおり、溝部１０２は、周方向に見て中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲面からなり、溝部１０２と刃部１０１との境界から溝部１０２の最深部１０２ａに向かって曲面の曲率半径が徐々に大きくなるよう構成されている。このように、溝部１０２がスクライビングホイール１００の中心軸Ｌ０から離れる方向に凸の曲面からなっていることにより、スクライビングホイールが転動して溝部１０２が基板２００に向き合ったときに、溝部１０２内の鋭い稜線が基板に深くくい込むようなことがない。このため、基板２００に溝部１０２が当接することによりカレットが発生することを抑制できる。 As shown in FIGS. 2 (b) and 2 (c), the groove 102 has a curved surface that is convex in the direction away from the central axis L0 when viewed in the circumferential direction, and is the deepest of the groove 102 from the boundary between the groove 102 and the blade 101. The radius of curvature of the curved surface gradually increases toward the portion 102a. As described above, since the groove 102 is formed of a curved surface that is convex in the direction away from the central axis L0 of the scribing wheel 100, when the scribing wheel rolls and the groove 102 faces the substrate 200, the inside of the groove 102 is formed. Sharp ridges do not dig deep into the substrate. Therefore, it is possible to suppress the generation of cullet due to the groove 102 coming into contact with the substrate 200.

＜変更例＞
本発明の実施の形態は、上記以外に種々の変更が可能である。 <Change example>
In addition to the above, various modifications can be made to the embodiments of the present invention.

たとえば、上記実施の形態では、図３（ａ）〜（ｃ）に示したとおり、中心軸Ｌ０に平行な方向に見たときに、最深部１０２ａの両側の部分の形状が、最深部１０２ａに向かって曲率が変化する曲線形状であったが、この部分の形状は、これに限定されるものではなく、中心軸Ｌ０から離れる方向に凸である限りにおいて、適宜変更可能である。たとえば、中心軸Ｌ０に平行な方向に見たときに、最深部１０２ａの両側の部分が、曲率一定の曲線形状であってもよく、あるいは、直線部分を含む形状であってもよい。 For example, in the above embodiment, as shown in FIGS. 3A to 3C, when viewed in a direction parallel to the central axis L0, the shapes of the portions on both sides of the deepest portion 102a are changed to the deepest portion 102a. Although it was a curved shape whose curvature changes toward it, the shape of this portion is not limited to this, and can be appropriately changed as long as it is convex in the direction away from the central axis L0. For example, when viewed in a direction parallel to the central axis L0, both side portions of the deepest portion 102a may have a curved shape having a constant curvature, or may have a shape including a straight portion.

また、上記実施の形態では、図３（ａ）〜（ｃ）に示したとおり、周方向に沿った刃部１０１の稜線が存在したが、周方向における刃部１０１の稜線の長さが顕著に短くてもよく、あるいは、溝部１０２の加工工程において、周方向に沿って延びる刃部１０１の稜線が実質的に消失した状態であってもよい。周方向における刃部１０１の稜線の長さは、スクライビングホイール１００の外周に形成される溝部１０２の数に応じて、適宜調整され得る。同様に、周方向における溝部１０２の幅Ｗ１も、スクライビングホイール１００の外周に形成される溝部１０２の数に応じて、適宜調整され得る。 Further, in the above embodiment, as shown in FIGS. 3A to 3C, the ridgeline of the blade portion 101 exists along the circumferential direction, but the length of the ridgeline of the blade portion 101 in the circumferential direction is remarkable. It may be short, or the ridge line of the blade portion 101 extending along the circumferential direction may be substantially eliminated in the processing step of the groove portion 102. The length of the ridgeline of the blade portion 101 in the circumferential direction can be appropriately adjusted according to the number of groove portions 102 formed on the outer periphery of the scribing wheel 100. Similarly, the width W1 of the groove 102 in the circumferential direction can be appropriately adjusted according to the number of grooves 102 formed on the outer periphery of the scribing wheel 100.

また、上記実施の形態では、図２（ｂ）、（ｃ）に示したとおり、周方向に見たときの溝部１０２の形状が、中心軸から離れる方向に凸の曲面形状であったが、周方向に見たときの溝部１０２の形状は、溝部１０２内に刃部１０１と同様の鋭い稜線が形成された形状や、径方向に垂直な平面等、他の形状であってもよい。 Further, in the above embodiment, as shown in FIGS. 2 (b) and 2 (c), the shape of the groove 102 when viewed in the circumferential direction is a curved surface shape that is convex in the direction away from the central axis. The shape of the groove 102 when viewed in the circumferential direction may be another shape such as a shape in which a sharp ridge line similar to that of the blade 101 is formed in the groove 102, or a plane perpendicular to the radial direction.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 In addition, various modifications of the embodiment of the present invention can be made as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

１００ … スクライビングホイール
１０１ … 刃部
１０２ … 溝部
１０２ａ … 最深部
２００ … 基板
２０１ … 垂直クラック 100 ... Scribing wheel 101 ... Blade 102 ... Groove 102a ... Deepest 200 ... Board 201 ... Vertical crack

Claims

A scribing wheel for forming a scribe line on a board.
With multiple blades formed along the outer periphery,
It is provided with a plurality of grooves provided between the blades adjacent to each other in the circumferential direction and recessed on the central axis side.
The groove portion has a shape in which both side portions in the circumferential direction with respect to the deepest portion are convex in a direction away from the central axis when viewed in a direction parallel to the central axis .
The groove portion has a curved shape when both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion are viewed in a direction parallel to the central axis.
A scribing wheel characterized in that the curvature of the curved shape increases from an end portion in the circumferential direction of the groove portion toward the deepest portion.

In the scribing wheel according to claim 1,
The ridgeline of the blade portion extending along the circumferential direction exists between the grooves adjacent to each other in the circumferential direction.
A scribing wheel that features that.