JP6913305B2 - 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 - Google Patents
樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6913305B2 JP6913305B2 JP2018524943A JP2018524943A JP6913305B2 JP 6913305 B2 JP6913305 B2 JP 6913305B2 JP 2018524943 A JP2018524943 A JP 2018524943A JP 2018524943 A JP2018524943 A JP 2018524943A JP 6913305 B2 JP6913305 B2 JP 6913305B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- resin
- mass
- resin composition
- compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- YTQGFOKBRNHANP-UHFFFAOYSA-N C(COc1c(CC(C(C2)C(C=C3)=CC=C2OCC2=[O]C2)=C3OCC2OCC2)c(cc(cc2)OCC3OC3)c2cc1)C1=CC2OC12 Chemical compound C(COc1c(CC(C(C2)C(C=C3)=CC=C2OCC2=[O]C2)=C3OCC2OCC2)c(cc(cc2)OCC3OC3)c2cc1)C1=CC2OC12 YTQGFOKBRNHANP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 0 CC(C)(c1ccc(*C(C=I)=O)cc1)c1ccc(*(C(C)=CC=C(C)**C(C=C)O)c2cc*(*C(C=CI)=O)cc2)cc1 Chemical compound CC(C)(c1ccc(*C(C=I)=O)cc1)c1ccc(*(C(C)=CC=C(C)**C(C=C)O)c2cc*(*C(C=CI)=O)cc2)cc1 0.000 description 1
- MYYLMIDEMAPSGH-UHFFFAOYSA-N COC(C(CC=CC1)C1C(O)=O)=O Chemical compound COC(C(CC=CC1)C1C(O)=O)=O MYYLMIDEMAPSGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/20—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the epoxy compounds used
- C08G59/32—Epoxy compounds containing three or more epoxy groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/42—Polycarboxylic acids; Anhydrides, halides or low molecular weight esters thereof
- C08G59/4223—Polycarboxylic acids; Anhydrides, halides or low molecular weight esters thereof aromatic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F290/00—Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers modified by introduction of aliphatic unsaturated end or side groups
- C08F290/08—Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers modified by introduction of aliphatic unsaturated end or side groups on to polymers modified by introduction of unsaturated side groups
- C08F290/14—Polymers provided for in subclass C08G
- C08F290/144—Polymers containing more than one epoxy group per molecule
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/20—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the epoxy compounds used
- C08G59/32—Epoxy compounds containing three or more epoxy groups
- C08G59/3218—Carbocyclic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
- C08G59/4007—Curing agents not provided for by the groups C08G59/42 - C08G59/66
- C08G59/4014—Nitrogen containing compounds
- C08G59/4042—Imines; Imides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
- C08J5/18—Manufacture of films or sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0313—Organic insulating material
- H05K1/032—Organic insulating material consisting of one material
- H05K1/0326—Organic insulating material consisting of one material containing O
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Description
〔1〕前記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、前記式(2)で表される化合物(C)及び前記式(2)で表される化合物(C)以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)を含有する、樹脂組成物。
〔2〕マレイミド化合物(E)を更に含有する、〔1〕に記載の樹脂組成物。
〔3〕充填材(F)を更に含む、〔1〕又は〔2〕に記載の樹脂組成物。
〔4〕シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、ベンゾオキサジン化合物及び前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂からなる群から選択されるいずれか一種以上の化合物(G)を更に含有する、〔1〕〜〔3〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔6〕成分(A)の含有量が、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、3質量部以上50質量部以下である、〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔7〕前記エチレン性不飽和基を有する化合物(D)が、(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び/又はビニル基を有する化合物である、〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔8〕前記充填材(F)が、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群から選択されるいずれか一種類以上である、〔3〕に記載の樹脂組成物。
〔10〕
下記式(5)で表されるナフタレン型エポキシ樹脂を更に含有する、〔1〕〜〔9〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
前記光硬化開始剤(B)が、下記式(6)で表されるホスフィンオキサイド化合物を含有する、〔1〕〜〔10〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
〔12〕支持体及び該支持体の表面に配された、〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、樹脂シート。
〔13〕〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、多層プリント配線板。
〔14〕〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、半導体装置。
本実施形態に用いるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)(成分(A)とも称す)は、前記式(1)の構造を有する、ビフェニルアラルキル骨格を有する化合物である。該樹脂(A)を含んで得られる硬化物は、高い銅めっき密着性を有しつつ、優れた現像性を有する保護膜、及び層間絶縁層を好適に形成することができる。
これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態に用いる光硬化開始剤(B)(成分(B)とも称す)は、特に限定されないが、一般に光硬化性樹脂組成物で用いられる分野で公知のものを使用することができる。
本実施形態に用いる化合物(C)(成分(C)とも称す)は、前記式(2)で表される化合物である。化合物(C)は、1種単独で用いてもよく、構造異性体および立体異性体などの異性体を含んでいてもよく、互いに構造が異なる化合物を2種以上適宜組み合わせて用いてもよい。
脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、ネオペンチル基、1,1−ジメチルプロピル基、1,1−ジエチルプロピル基、1−エチル−1−メチルプロピル基、1,1,2,2−テトラメチルプロピル基、1,1−ジメチルブチル基、1,1,3−トリメチルブチル基などの直鎖状または分岐状のアルキル基;ビニル基、アリル基、イソプロペニル基などの直鎖状または分岐状のアルケニル基;エチニル基、プロパルギル基などの直鎖状または分岐状のアルキニル基が挙げられる。
脂環族炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、1−メチル−1−シクロヘキシル基、アダマンチル基などの環状飽和炭化水素基;シクロペンタジエニル基、インデニル基、フルオレニル基などの環状不飽和炭化水素基が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、フェナントリル基、アントラセニル基などの非置換アリール基;トリル基、ジメチルフェニル基、イソプロピルフェニル基、t−ブチルフェニル基、ジ−t−ブチルフェニル基などのアルキル基置換アリール基;などのアリール基が挙げられる。
これら炭化水素基は、少なくとも一つの水素原子が他の炭化水素基で置換されていてもよい。少なくとも一つの水素原子が他の炭化水素基で置換された炭化水素基としては、例えば、ベンジル基、クミル基などのアリール基置換アルキル基、シクロヘキシルメチル基などの環状飽和炭化水素基置換アルキル基が挙げられる。
複数のR2は、硬化物の耐熱性を向上させる観点からメチル基を含むことが好ましく、より好ましくはR2の全てがメチル基である。
複数のR3は、各々独立に、前記式(3)で表される置換基、前記式(4)で表される置換基又はヒドロキシ基を表す。その中でも、耐熱性を向上させる観点から、ヒドロキシル基を含むことが好ましい。また、本実施形態では、複数のR3のうち、前記式(3)で表される置換基を含む化合物(C)を用いることも、現像性を向上させる観点から、好ましい。本実施形態では、複数のR3のうち、前記式(4)で表される置換基を含む化合物(C)を用いることも、耐熱性を向上させる観点から、好ましい。前記式(4)中、R4は水素原子又はメチル基を表す。その中でも、光硬化反応の反応性を向上させる観点から、水素原子であることが好ましい。
本実施形態の樹脂組成物は、活性エネルギー線(例えば、紫外線)に対する反応性を高め、耐熱性を向上させるために、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)(成分(D)とも称す)を含有する。本実施形態に用いるエチレン性不飽和基を有する化合物(D)は、前記式(2)で表される化合物(C)以外であり、1分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物であれば、特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基等を有する化合物が挙げられる。これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物においては、マレイミド化合物(E)(成分(E)とも称す)を用いることができる。以下にマレイミド化合物(E)について詳細に述べる。
これらのマレイミド化合物(C)は1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
これらのマレイミド化合物(E)は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物には、塗膜性や耐熱性等の諸特性を向上させるために、充填材(F)(成分(F)とも称す)を併用することも可能である。本実施形態に用いる充填材(F)は、絶縁性を有するものであれば、特に限定されないが、例えば、シリカ(例えば天然シリカ、溶融シリカ、アモルファスシリカ、中空シリカ等)、アルミニウム化合物(例えばベーマイト、水酸化アルミニウム、アルミナ等)、マグネシウム化合物(例えば酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム等)、カルシウム化合物(例えば炭酸カルシウム等)、モリブデン化合物(例えば酸化モリブデン、モリブデン酸亜鉛等)、バリウム化合物(例えば硫酸バリウム、ケイ酸バリウム等)、タルク(例えば天然タルク、焼成タルク等)、マイカ(雲母)、ガラス(例えば短繊維状ガラス、球状ガラス、微粉末ガラス(例えばEガラス、Tガラス、Dガラス等)等)、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムなどが挙げられる。
その中でも、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群から選択される一種以上であることが好ましい。
これらの充填材(F)は、後述のシランカップリング剤などで表面処理されていてもよい。
これらの充填材(F)は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物には、充填材の分散性、ポリマー及び/又は樹脂と、充填材との接着強度を向上させるために、シランカップリング剤及び/又は湿潤分散剤を併用することも可能である。
これらのシランカップリング剤としては、一般に無機物の表面処理に使用されているシランカップリング剤であれば、特に限定されるものではない。具体例としては、例えば、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン系;γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系;γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシラン系;N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩等のカチオニックシラン系;フェニルシラン系のシランカップリング剤が挙げられる。これらのシランカップリング剤は、1種単独又は2種以上を適宜組み合わせて使用することも可能である。
湿潤分散剤としては、塗料用に使用されている分散安定剤であれば、特に限定されるものではない。具体例としては、例えば、ビッグケミー・ジャパン(株)製のDISPERBYK(登録商標)−110、111、118、180、161、BYK(登録商標)−W996、W9010、W903等の湿潤分散剤が挙げられる。これらの湿潤分散剤は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物において、湿潤分散剤の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物100質量部に対して、0.1〜10質量部である。
本実施形態に用いる化合物(G)(成分(G)とも称す)は、成分(A)を用いることにより得られる銅めっき密着性等に加え、樹脂組成物が用いられる分野で求められる、硬化した硬化物の難燃性、耐熱性、熱膨張特性等の特性に応じて、様々な種類のものを用いることができる。例えば、耐熱性を求められる場合には、シアン酸エステル化合物、ベンゾオキサジン化合物等が挙げられ、他にフェノール樹脂、オキセタン樹脂等も用いることができる。ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、化合物(C)及び化合物(D)と共に、シアン酸エステル化合物を用いると、耐熱性(ガラス転移温度)、低熱膨張性、めっき密着性等に優れる樹脂組成物を得ることができる。さらに、シアン酸エステル化合物をマレイミド化合物と併用すると、めっき密着性により優れる樹脂組成物を得ることができるため、好ましい。前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と共に、該エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂を用いると、特に、現像性及びめっき密着性に優れる樹脂組成物を得ることができる。
以下、これらの化合物及び/又は樹脂(G)の詳細について説明する。
シアン酸エステル化合物としては、シアナト基(シアン酸エステル基)が少なくとも1個置換された芳香族部分を分子内に有する樹脂であれば特に限定されるものではない。
また、一般式(9)におけるアルキル基及びRaにおけるアリール基中の水素原子は、フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、フェノキシ基等のアルコキシル基、又はシアノ基等で置換されていてもよい。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−エチルプロピル基、2,2−ジメチルプロピル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、及びトリフルオロメチル基等が挙げられる。
アリール基の具体例としては、フェニル基、キシリル基、メシチル基、ナフチル基、フェノキシフェニル基、エチルフェニル基、o−,m−又はp−フルオロフェニル基、ジクロロフェニル基、ジシアノフェニル基、トリフルオロフェニル基、メトキシフェニル基、及びo−,m−又はp−トリル基等が挙げられる。更にアルコキシル基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、イソブトキシ基、及びtert−ブトキシ基等が挙げられる。
一般式(9)のXにおける窒素数1〜10の2価の有機基としては、イミノ基、ポリイミド基等が挙げられる。
一般式(10)のAr2及び一般式(11)のAr3の具体例としては、一般式(10)に示す2個の炭素原子、又は一般式(11)に示す2個の酸素原子が、1,4位又は1,3位に結合するベンゼンテトライル基、上記2個の炭素原子又は2個の酸素原子が4,4’位、2,4’位、2,2’位、2,3’位、3,3’位、又は3,4’位に結合するビフェニルテトライル基、及び、上記2個の炭素原子又は2個の酸素原子が、2,6位、1,5位、1,6位、1,8位、1,3位、1,4位、又は2,7位に結合するナフタレンテトライル基が挙げられる。
一般式(10)のRb、Rc、Rd、Re、Rf及びRg、並びに一般式(11)のRi、Rjにおけるアルキル基及びアリール基は、上記一般式(9)におけるものと同義である。
フェノール樹脂としては、1分子中に2個以上のヒドロキシル基を有するフェノール樹脂であれば、一般に公知のものを使用できる。例えば、ビスフェノールA型フェノール樹脂、ビスフェノールE型フェノール樹脂、ビスフェノールF型フェノール樹脂、ビスフェノールS型フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック型フェノール樹脂、グリシジルエステル型フェノール樹脂、アラルキルノボラック型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、多官能フェノール樹脂、ナフトール樹脂、ナフトールノボラック樹脂、多官能ナフトール樹脂、アントラセン型フェノール樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型フェノール樹脂、フェノールアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ビフェニル型フェノール樹脂、脂環式フェノール樹脂、ポリオール型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、重合性不飽和炭化水素基含有フェノール樹脂及び水酸基含有シリコーン樹脂類等が挙げられるが、特に制限されるものではない。これらのフェノール樹脂の中では、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、水酸基含有シリコーン樹脂が難燃性の点で好ましい。これらのフェノール樹脂は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
オキセタン樹脂としては、一般に公知のものを使用できる。例えば、オキセタン、2−メチルオキセタン、2,2−ジメチルオキセタン、3−メチルオキセタン、3,3−ジメチルオキセタン等のアルキルオキセタン、3−メチル−3−メトキシメチルオキセタン、3,3−ジ(トリフルオロメチル)パーフルオキセタン、2−クロロメチルオキセタン、3,3−ビス(クロロメチル)オキセタン、ビフェニル型オキセタン、OXT−101(東亞合成製、商品名)、OXT−121(東亞合成製、商品名)等が挙げられる、特に制限されるものではない。これらは、1種又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
ベンゾオキサジン化合物としては、1分子中に2個以上のジヒドロベンゾオキサジン環を有する化合物であれば、一般に公知のものを用いることができる。例えば、ビスフェノールA型ベンゾオキサジンBA−BXZ(小西化学製、商品名)ビスフェノールF型ベンゾオキサジンBF−BXZ(小西化学製、商品名)、ビスフェノールS型ベンゾオキサジンBS−BXZ(小西化学製、商品名)、フェノールフタレイン型ベンゾオキサジン等が挙げられるが、特に制限されるものではない。これらは、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物には、硬化物の耐熱性を向上させるために、前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂を併用することも可能である。
このようなエポキシ樹脂は、前記エポキシ樹脂(A)と異なり、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物であれば、特に限定されない。その具体例としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、キシレンノボラック型エポキシ樹脂、多官能フェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、3官能フェノール型エポキシ樹脂、4官能フェノール型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ポリオール型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、グリシジルアミン、ブタジエンなどの二重結合をエポキシ化した化合物、水酸基含有シリコーン樹脂類とエピクロルヒドリンとの反応により得られる化合物、及びこれらのハロゲン化物が挙げられる。
ナフタレン型エポキシ樹脂としては、下記式(5)で表される樹脂を用いることが、現像性およびめっき密着性がより向上するため、好ましい。このエポキシ樹脂としては、市販品を利用することができ、DIC(株)社製HP−4710(商品名)が挙げられる。下記式(5)で表されるナフタレン型エポキシ樹脂は、低分子でありかつ多官能であるため、現像液への溶解性に優れる。そのため、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)との併用により、現像性にも優れる樹脂組成物を得ることができると考えられる。
また、前記エポキシ樹脂(A)とエポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂との比率は、特に制限されないが、めっき密着性の点から、1〜10:1〜3が好ましく、2〜4:1〜2がより好ましい。
本実施形態の樹脂組成物においては、本実施形態の特性が損なわれない範囲において、熱硬化促進剤(H)(成分(H)とも称す)を用いることも可能である。本実施形態に用いる熱硬化促進剤(H)としては、特に限定されないが、例えば、過酸化ベンゾイル、ラウロイルパーオキサイド、アセチルパーオキサイド、パラクロロベンゾイルパーオキサイド、ジ−tert−ブチル−ジ−パーフタレート等で例示される有機過酸化物;アゾビスニトリル等のアゾ化合物;N,N−ジメチルベンジルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチルトルイジン、2−N−エチルアニリノエタノール、トリ−n−ブチルアミン、ピリジン、キノリン、N−メチルモルホリン、トリエタノールアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチルブタンジアミン、N−メチルピペリジンなどの第3級アミン類;フェノール、キシレノール、クレゾール、レゾルシン、カテコールなどのフェノール類;ナフテン酸鉛、ステアリン酸鉛、ナフテン酸亜鉛、オクチル酸亜鉛、オレイン酸錫、ジブチル錫マレート、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸コバルト、アセチルアセトン鉄などの有機金属塩;これら有機金属塩をフェノール、ビスフェノールなどの水酸基含有化合物に溶解してなるもの;塩化錫、塩化亜鉛、塩化アルミニウムなどの無機金属塩;ジオクチル錫オキサイド、その他のアルキル錫、アルキル錫オキサイドなどの有機錫化合物;2−エチル-4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、トリフェニルイミダゾール(TPIZ)等のイミダゾール化合物などが挙げられる。中でも、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、トリフェニルイミダゾール(TPIZ)等のイミダゾール化合物が、耐熱性の点から、好ましく、2−エチル−4−メチルイミダゾールが、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、化合物(C)及び化合物(D)との反応性が高く、より優れた耐熱性が得られる点から、より好ましい。
本実施形態の樹脂組成物において、熱硬化促進剤(H)の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、0.01〜10質量部であり、好ましくは0.05〜5質量部である。
本実施形態の樹脂組成物には、必要に応じて溶剤を含有していてもよい。例えば、有機溶剤を用いると、樹脂組成物の調製時における粘度を調整することができる。溶剤の種類は、樹脂組成物中の樹脂の一部又は全部を溶解可能なものであれば、特に限定されない。その具体例としては、特に限定されないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセルソルブ等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド等のアミド類;プロピレングリコールモノメチルエーテル及びそのアセテートが挙げられる。
これら有機溶剤は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物には、本実施形態の特性が損なわれない範囲において、これまでに挙げられていない熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂及びそのオリゴマー、エラストマー類等の種々の高分子化合物;これまでに挙げられていない難燃性の化合物;添加剤等の併用も可能である。これらは一般に使用されているものであれば、特に限定されるものではない。例えば、難燃性の化合物では、メラミンやベンゾグアナミン等の窒素含有化合物、オキサジン環含有化合物、及びリン系化合物のホスフェート化合物、芳香族縮合リン酸エステル、含ハロゲン縮合リン酸エステル等が挙げられる。添加剤としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、表面調整剤、光沢剤、重合禁止剤等が挙げられる。これらの成分は、1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。
本実施形態の樹脂組成物において、その他の成分の含有量は、特に限定されないが、通常、樹脂組成物100質量部に対して、それぞれ0.1〜10質量部である。
本実施形態の樹脂組成物は、前記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、前記式(2)で表される化合物(C)及び(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)と、必要に応じて、マレイミド化合物(E)、充填材(F)や化合物(G)及びその他の成分を適宜混合することにより調製される。本実施形態の樹脂組成物は、後述する本発明の樹脂シートを作製する際のワニスとして、好適に使用することができる。
本実施形態の樹脂組成物は、絶縁性の樹脂組成物が必要とされる用途に使用することができ、特に限定されないが、感光性フィルム、支持体付き感光性フィルム、プリプレグ等の絶縁樹脂シート、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等の用途に使用することができる。なかでも、多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物やソルダーレジストとして好適に使用することができる。
本実施形態の樹脂シートは、支持体と、該支持体の表面に形成され、本実施形態の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを備える、上述の樹脂組成物を支持体の片面又は両面に塗布した支持体付き樹脂シートである。樹脂シートは、樹脂組成物を支持体上に塗布、及び乾燥して製造することができる。
樹脂組成物層側を保護フィルムで保護することにより、樹脂組成物層表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。保護フィルムとしては上記の樹脂フィルムと同様の材料により構成されたフィルムを用いることができる。保護フィルムの厚さは特に限定されないが、1μm〜50μmの範囲であることが好ましく、5μm〜40μmの範囲であることがより好ましい。厚さが1μm未満では、保護フィルムの取り扱い性が低下する傾向があり、50μmを超えると廉価性に劣る傾向がある。なお、保護フィルムは、樹脂組成物層と支持体との接着力に対して、樹脂組成物層と保護フィルムとの接着力の方が小さいものが好ましい。
上記塗布は、例えば、ロールコーター、コンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、バーコーター、リップコーター、ナイフコーター、スクイズコーター等を用いた公知の方法で行うことができる。上記乾燥は、例えば、60〜200℃の乾燥機中で、1〜60分加熱させる方法などにより行うことができる。
樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する観点から、樹脂組成物層の総質量に対して5質量%以下とすることが好ましい。支持体に対する樹脂組成物層の厚みは、取り扱い性を向上させるという観点から、樹脂シートの樹脂組成物層厚で1.0μm以上とすることが好ましい。また、透過率を向上させて現像性を良好にするという観点から、300μm以下とすることが好ましい。
本実施形態の多層プリント配線板は、本実施形態の樹脂組成物を含む層間絶縁層を備え、例えば、上述の樹脂シートを1枚以上重ねて硬化して得ることもできる。具体的には以下の方法により製造することができる。
本実施形態の樹脂シートの樹脂組成物層側を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネートする。回路基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、セラミック基板、シリコン基板、半導体封止樹脂基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された基板をいう。また、導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっている基板も、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。ラミネート工程において、樹脂シートが保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを剥離除去した後、必要に応じて樹脂シート及び回路基板をプレヒートし、樹脂組成物層を加圧及び加熱しながら回路基板に圧着する。本実施形態の樹脂シートにおいては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。
ラミネート工程により、回路基板上に樹脂シートが設けられた後、樹脂組成物層の所定部分に活性エネルギー線を照射し、照射部の樹脂組成物層を硬化させる露光工程を行う。活性エネルギー線の照射は、マスクパターンを通してもよいし、直接活性エネルギー線を照射する直接描画法を用いてもよい。
露光工程後、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合にはその支持体を除去した後、ウエット現像で、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して現像することにより、絶縁層のパターンを形成することができる。
上記現像工程終了後、ポストベーク工程を行い、絶縁層(硬化物)を形成する。ポストベーク工程としては、高圧水銀ランプによる紫外線照射工程やクリーンオーブンを用いた加熱工程等が挙げられ、これらを併用することも可能である。紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.05J/cm2〜10J/cm2程度の照射量で照射を行うことができる。また加熱の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃〜220℃で20分間〜180分間の範囲、より好ましくは160℃〜200℃で30分間〜150分間の範囲で選択される。
次に、乾式めっき又は湿式めっきにより絶縁層表面に導体層を形成する。乾式めっきとしては、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の公知の方法を使用することができる。蒸着法(真空蒸着法)は、例えば、支持体を真空容器内に入れ、金属を加熱蒸発させることにより絶縁層上に金属膜形成を行うことができる。スパッタリング法も、例えば、支持体を真空容器内に入れ、アルゴン等の不活性ガスを導入し、直流電圧を印加して、イオン化した不活性ガスをターゲット金属に衝突させ、叩き出された金属により絶縁層上に金属膜形成を行うことができる。
本実施形態の半導体装置は、本実施形態の樹脂組成物を含む層間絶縁層を備え、具体的には以下の方法により製造することができる。本実施形態の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。ここで、導通箇所とは、多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所のことであって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
(シアン酸エステル化合物の合成)
1−ナフトールアラルキル樹脂(新日鉄住金化学株式会社製)300g(OH基換算1.28mol)及びトリエチルアミン194.6g(1.92mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.5mol)をジクロロメタン1800gに溶解させ、これを溶液1とした。
塩化シアン125.9g(2.05mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.6mol)、ジクロロメタン293.8g、36%塩酸194.5g(1.92mol)(ヒドロキシ基1モルに対して1.5モル)、水1205.9gを、撹拌下、液温−2〜−0.5℃に保ちながら、溶液1を30分かけて注下した。溶液1注下終了後、同温度にて30分撹拌した後、トリエチルアミン65g(0.64mol)(ヒドロキシ基1molに対して0.5mol)をジクロロメタン65gに溶解させた溶液(溶液2)を10分かけて注下した。溶液2注下終了後、同温度にて30分撹拌して反応を完結させた。
その後反応液を静置して有機相と水相を分離した。得られた有機相を水1300gで5回洗浄した。水洗5回目の廃水の電気伝導度は5μS/cmであり、水による洗浄により、除けるイオン性化合物は十分に除けられたことを確認した。
水洗後の有機相を減圧下で濃縮し、最終的に90℃で1時間濃縮乾固させて目的とするナフトールアラルキル型のシアン酸エステル化合物(SNCN)(橙色粘性物)を331g得た。得られたSNCNの質量平均分子量Mwは600であった。また、SNCNのIRスペクトルは2250cm-1(シアン酸エステル基)の吸収を示し、且つ、ヒドロキシ基の吸収は示さなかった。
(樹脂組成物及び樹脂シートの作成)
式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(式(1)中のnは、1〜3である。NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)22.4質量部、光硬化開始剤(B)として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(Irgacure(登録商標)369、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、PGMEAと略す場合がある)溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのメチルエチルケトン(以下、MEKと略す場合がある)スラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シートを得た。
内層回路を形成したガラス布基材BT樹脂両面銅張積層板(銅箔厚さ18μm、厚み0.2mm、三菱ガス化学(株)製CCL(登録商標)−HL832NS)の両面をメック(株)製CZ8100にて銅表面の粗化処理を行い内層回路基板を得た。
前記樹脂シートの樹脂面を内層回路基板上に配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ(株)製)を用いて、30秒間真空引き(5.0MPa以下)を行った後、圧力10kgf/cm2、温度70℃で30秒間の積層成形を行った。さらに圧力10kgf/cm2、温度70℃で60秒間の積層成形を行うことで内層回路基板と樹脂組成物層と支持体が積層された積層体を得た。得られた積層体に200mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、支持体をはがし取って、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液で現像し、さらに1000mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、180℃、120分間加熱処理するポストベーク工程を施した後、評価用積層体とした。
前記樹脂シートに200mJ/cm2の紫外線を照射し、さらに1000mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、180℃、120分間加熱処理するポストベーク工程を施した後、支持体をはがし取って評価用硬化物とした。
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)21.9質量部、光硬化開始剤(B)として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(Irgacure(登録商標)369、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)21.9質量部、光硬化開始剤(B)として、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)15.8質量部、成分(G)として、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4710(商品名)、DIC(株)社製)6.1質量部、光硬化開始剤(B)として、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
成分(A)として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L(商品名)、日本化薬(株)製)15.8質量部、成分(G)として、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4710(商品名)、DIC(株)社製)6.1質量部、光硬化開始剤(B)として、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、化合物(C)として、TrisP−PAエポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)77.5質量部(不揮発分換算で50.4質量部)、(C)成分以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD(登録商標)DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、マレイミド化合物(E)として、マレイミド化合物(BMI−2300(商品名)、大和化成工業(株)製)3.3質量部、充填材(F)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB(商品名)、平均粒径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)71.4質量部(不揮発分換算で50質量部)、化合物(G)として、合成例1で得られたシアン酸エステル化合物SNCN0.5質量部、熱硬化促進剤(H)として、2−エチル-4−メチルイミダゾール(2E4MZ(商品名)、四国化成(株)製)0.2質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。これらのワニスを厚さ38μmのPETフィルム(ユニピール(登録商標)TR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に自動塗工装置(PI−1210、テスター産業(株)製)を用いて塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが30μmである樹脂シート得た。これを用いて、実施例1と同様にして、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
化合物(C)の代わりに、ビスフェノールF型エポキシアクリレート(KAYARAD(登録商標)ZFR−1553H、不揮発分68質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)74.1質量部(不揮発分換算で50.4質量部)を用いた以外は実施例1と同様にしてワニスを調製し、樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
成分(A)の代わりに、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4710(商品名)、DIC(株)製)22.4質量部を用いた以外は実施例1と同様にしてワニスを調製し、樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
成分(A)の代わりに、多官能型エポキシ樹脂(1031S(商品名)、三菱化学(株)製)22.4質量部を用いた以外は実施例1と同様にしてワニスを調製し、樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を得た。
樹脂シート、評価用積層体及び評価用硬化物を、以下の方法により測定し、評価した。それらの結果を表1に示す。
A4サイズの各支持体付き樹脂シートの樹脂表面端部に指を軽く押し付け、指に対する張り付き程度を以下の基準で評価した。
○:指に対する張り付きがほとんど認められない。支持体付き樹脂シートの端部が指に張り付くが、高さ30mm未満で指から剥がれて落下する。
×:指に対する張り付きが認められる。支持体付き樹脂シートの端部が指に張り付き、高さ30mm以上浮き上がる。
評価用硬化物をDMA装置(TAインスツルメント社製動的粘弾性測定装置DMAQ800(商品名))を用いて10℃/分で昇温し、LossModulusのピーク位置をガラス転移温度(Tg、℃)とした。
評価用積層体の現像面を、現像工程が開始してから目視で残渣が無くなるまでの時間を測定した後、SEM(走査電子顕微鏡)にて観察(倍率1000倍)し、残渣の有無を下記基準で評価した。
◎:目視での現像残渣がなくなるまでの時間が50sec以下であり、SEM観察後も30mm角の範囲に現像残渣はなく、現像性が非常に優れている。
○:目視での現像残渣がなくなるまでの時間が50secを超えるが、SEM観察後も30mm角の範囲に現像残渣はなく、現像性が優れている。
×:30mm角の範囲に現像残渣があり、現像性が劣っている。
実施例1〜5及び比較例1〜3で得られた多層プリント配線板を、上村工業製の無電解銅めっきプロセス(使用薬液名:MCD−PL、MDP−2、MAT−SP、MAB−4−C、MEL−3−APEA
ver.2)にて、約0.8μmの無電解銅めっきを施し、130℃で1時間の乾燥を行った。続いて、電解銅めっきをめっき銅の厚みが18μmになるように施し、180℃で1時間の乾燥を行った。こうして、絶縁層上に厚さ18μmの導体層(めっき銅)が形成されたサンプルを作製し、以下の評価に供した。
上記手順により作製されたサンプルを用い、めっき銅の接着力をJIS
C6481に準じて3回測定し、平均値を求めた。電解銅めっき後の乾燥で膨れたサンプルに関しては、膨れていない部分を用いて評価を行った。
Claims (13)
- 下記式(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)、光硬化開始剤(B)、化合物(C)及び前記化合物(C)以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)を含有し、
前記光硬化開始剤(B)が、下記式(6)で表されるホスフィンオキサイド化合物を含み、
前記化合物(C)が、下記式(C1)で表される化合物と、下記式(C2)で表される化合物〜下記式(C5)で表される化合物のいずれか一種以上とを含む、樹脂組成物。
(式(1)中、nは0〜15の整数を示す。)
(式(6)中、R 5 〜R 10 は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R 11 は、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基を示す。)
- マレイミド化合物(E)を更に含有する、請求項1に記載の樹脂組成物。
- 充填材(F)を更に含有する、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。
- シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、ベンゾオキサジン化合物及び前記(1)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(A)と異なるエポキシ樹脂からなる群から選択されるいずれか一種以上の化合物(G)を更に含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 前記化合物(C)の酸価が、30mgKOH/g以上120mgKOH/g以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 成分(A)の含有量が、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、3質量部以上50質量部以下である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 前記エチレン性不飽和基を有する化合物(D)が、(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び/又はビニル基を有する化合物である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 前記充填材(F)が、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群から選択されるいずれか一種以上である、請求項3に記載の樹脂組成物。
- 熱硬化促進剤(H)を更に含有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
- 支持体及び該支持体の表面に配された、請求項1〜10のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、樹脂シート。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、多層プリント配線板。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の樹脂組成物を有する、半導体装置。
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016128722 | 2016-06-29 | ||
| JP2016128722 | 2016-06-29 | ||
| JP2017013316 | 2017-01-27 | ||
| JP2017013316 | 2017-01-27 | ||
| PCT/JP2017/018045 WO2018003314A1 (ja) | 2016-06-29 | 2017-05-12 | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2018003314A1 JPWO2018003314A1 (ja) | 2019-04-18 |
| JP6913305B2 true JP6913305B2 (ja) | 2021-08-04 |
Family
ID=60785117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018524943A Active JP6913305B2 (ja) | 2016-06-29 | 2017-05-12 | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6913305B2 (ja) |
| KR (1) | KR102324898B1 (ja) |
| CN (1) | CN109415491B (ja) |
| TW (1) | TWI744332B (ja) |
| WO (1) | WO2018003314A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7322877B2 (ja) * | 2018-06-01 | 2023-08-08 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、プリプレグ、金属箔張積層板、樹脂シート、及びプリント配線板 |
| KR20220030921A (ko) | 2019-06-28 | 2022-03-11 | 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 | 필름, 적층체, 필름층이 형성된 반도체 웨이퍼, 필름층이 형성된 반도체 탑재용 기판, 및 반도체 장치 |
| US12312323B2 (en) | 2019-12-11 | 2025-05-27 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Compound, method for producing same, resin composition, resin sheet, multilayer printed wiring board, and semiconductor device |
| JP7306343B2 (ja) * | 2020-07-17 | 2023-07-11 | 味の素株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| KR102454135B1 (ko) * | 2021-05-27 | 2022-10-14 | 한국화학연구원 | 지방산 개질된 산 무수물기반 에폭시 화합물을 포함하는 이액형 에폭시 접착제 조성물 및 이로부터 제조된 경화물 |
| JP7340904B1 (ja) * | 2022-03-08 | 2023-09-08 | 日本化薬株式会社 | 硬化性樹脂組成物、樹脂シート、およびその硬化物 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4514011B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2010-07-28 | 日本化薬株式会社 | 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 |
| JP2005062450A (ja) | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Kyocera Chemical Corp | 感光性熱硬化型樹脂組成物 |
| JP2007211143A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 樹脂組成物、カバーレイフィルム、および金属張積層板。 |
| JP2009132780A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 回路板用樹脂組成物、支持基材付き絶縁層、積層板及び回路板 |
| JP4782870B2 (ja) | 2008-07-31 | 2011-09-28 | 積水化学工業株式会社 | 硬化体、シート状成形体、積層板及び多層積層板 |
| KR101876697B1 (ko) * | 2010-04-08 | 2018-07-09 | 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 | 수지 조성물, 프리프레그 및 적층판 |
| JP2011256271A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Jnc Corp | 硬化性組成物およびその用途、ならびに新規化合物 |
| WO2013008684A1 (ja) * | 2011-07-14 | 2013-01-17 | 三菱瓦斯化学株式会社 | プリント配線板用樹脂組成物 |
| JP2013079326A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Adeka Corp | 樹脂組成物、該組成物を含有するビルドアップ用絶縁体、及び該組成物を用いたプリプレグ |
| US9351397B2 (en) * | 2012-01-31 | 2016-05-24 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Resin composition for printed wiring board material, and prepreg, resin sheet, metal foil clad laminate, and printed wiring board using same |
| JP6481610B2 (ja) * | 2013-06-03 | 2019-03-13 | 三菱瓦斯化学株式会社 | プリント配線板材料用樹脂組成物、並びにそれを用いたプリプレグ、樹脂シート、金属箔張積層板、及びプリント配線板 |
| JP6638887B2 (ja) * | 2014-12-01 | 2020-01-29 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂シート及びプリント配線板 |
-
2017
- 2017-05-12 JP JP2018524943A patent/JP6913305B2/ja active Active
- 2017-05-12 KR KR1020187033291A patent/KR102324898B1/ko active Active
- 2017-05-12 CN CN201780040875.6A patent/CN109415491B/zh active Active
- 2017-05-12 WO PCT/JP2017/018045 patent/WO2018003314A1/ja not_active Ceased
- 2017-05-24 TW TW106117074A patent/TWI744332B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109415491A (zh) | 2019-03-01 |
| TWI744332B (zh) | 2021-11-01 |
| WO2018003314A1 (ja) | 2018-01-04 |
| TW201800473A (zh) | 2018-01-01 |
| CN109415491B (zh) | 2022-05-03 |
| KR102324898B1 (ko) | 2021-11-10 |
| KR20190022480A (ko) | 2019-03-06 |
| JPWO2018003314A1 (ja) | 2019-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6939784B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 | |
| JP6880510B2 (ja) | 樹脂組成物、プリプレグ、金属箔張積層板、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置 | |
| JP6913305B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 | |
| JP6858351B2 (ja) | 樹脂組成物、支持体付き樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 | |
| JP7212301B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 | |
| KR20230154763A (ko) | 수지 조성물 | |
| JP6972495B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 | |
| JP6836740B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置 | |
| JP6857325B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置 | |
| TWI851753B (zh) | 樹脂組成物、半導體密封材料、預浸體、電路基板、增層膜、阻焊劑、乾膜及印刷配線板 | |
| JP7240586B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置 | |
| WO2022201620A1 (ja) | 樹脂組成物、硬化物、樹脂シート、プリプレグ、金属箔張積層板、多層プリント配線板、封止用材料、繊維強化複合材料、接着剤及び半導体装置 | |
| TW202400720A (zh) | 感光性樹脂膜、印刷線路板、半導體封裝體及印刷線路板的製造方法 | |
| TW202349121A (zh) | 感光性多層樹脂膜、印刷線路板、半導體封裝體及印刷線路板的製造方法 | |
| TW202519986A (zh) | 感光性多層樹脂薄膜、印刷線路板、半導體封裝體及印刷線路板的製造方法 | |
| TW202348640A (zh) | 感光性樹脂薄膜、印刷線路板、半導體封裝體及印刷線路板的製造方法 | |
| TW202519985A (zh) | 感光性樹脂薄膜、印刷線路板、半導體封裝體及印刷線路板的製造方法 | |
| TW202348427A (zh) | 感光性多層樹脂薄膜、印刷線路板、半導體封裝體及印刷線路板的製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181019 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200331 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210323 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210521 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210611 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210624 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6913305 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |