JP6921375B2 - 撮像素子および撮像装置 - Google Patents
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Description
発明の第2の態様によると、撮像素子は、第1波長域の光を透過する第1透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、第1方向および第2方向に配置される複数の第1光電変換部と、第2波長域の光を透過する第2透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、前記第1方向および前記第2方向に配置される複数の第2光電変換部と、前記第1方向において2つの前記第2光電変換部の間に配置された前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2方向において2つの前記第2光電変換部の間に配置された前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも1つが出力される第1信号線と、前記第1方向において2つの前記第1光電変換部の間に配置された前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2方向において2つの前記第1光電変換部の間に配置された前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも1つが出力される第2信号線と、前記第1信号線と前記第2信号線とが配置される配線層と、を備える。
発明の第3の態様によると、撮像装置は、第1または第2の態様による撮像素子と、前記撮像素子から出力される信号に基づいて画像データを生成する生成部と、を備える。
図1は、一実施の形態による撮像素子101を備えるデジタルカメラの構成例を模式的に示す図である。デジタルカメラは、交換レンズ110とカメラボディ100とから構成され、交換レンズ110がレンズ取り付け部105を介してカメラボディ100に装着される。
なお、デジタルカメラをレンズ交換式ではなく、レンズ一体式のカメラとして構成してもよい。
レンズ制御部111は、CPUとメモリなどの周辺部品とを含む。レンズ制御部111は、フォーカスレンズ113および絞り115の駆動制御、ズームレンズ112やフォーカスレンズ113の位置検出、カメラボディ100へのレンズ情報の送信およびカメラボディ100からのカメラ情報の受信などを行う。
レンズ制御部111は、受信したデフォーカス量に基づいてフォーカスレンズ113の駆動量を算出する。そして、算出した駆動量に基づいて不図示のモーター等を駆動することにより、フォーカスレンズ113を合焦位置へ移動させる。
図2は、撮像素子101の概要を説明する模式図である。撮像素子101は、CMOSイメージセンサによって構成される。撮像素子101は、画素エリア201と、垂直制御部202と、水平制御部203と、出力部204と、制御部205とを有する。なお、図2では、電源部や詳細回路は省略している。
なお、本実施の形態では、フォトダイオードと、フォトダイオードで生成された電荷に基づく信号を読出す読出し部とを含めて「画素」と呼ぶ。読出し部は、後述する各転送トランジスタ、フローティングディフュージョン(FD)領域、増幅トランジスタ、および選択トランジスタを含む例を説明するが、読出し部の範囲は、必ずしも本例の通りでなくてもよい。
なお、本実施の形態ではベイヤー配列を例に説明するが、カラーフィルタ73をベイヤー配列以外の配列にしてもよい。ベイヤー配列では、異なる波長領域の光を透過するカラ−フィルタ73が設けられたフォトダイオードPDが隣接しているのに対し、ベイヤー配列以外の配列では、同じ波長領域の光を透過するカラ−フィルタ73が設けられたフォトダイオードPDが隣接する場合がある。
接合パッド75および複数の接合パッド76の数は、それぞれ上述したブロックの数と等しくすることができる。すなわち、一つのブロックに対応して一組の接合パッド75、接合パッド76が設けられる。以上のように構成することにより、ブロックごとの信号線の長さを略等しく構成できるので、配線のインピーダンスがブロック間でばらつくことを抑えるというメリットがある。
図5は、撮像素子101のブロックの構成を説明する回路図である。一つのブロックは、複数(例えばN個)の第1画素部30x−1〜30x−Nを含む。一つの第1画素部30xは、フォトダイオードPDと、4つのトランジスタ(転送トランジスタTx、リセットトランジスタRST、増幅トランジスタSF、選択トランジスタSEL)と、FD領域とを有する。第1画素部30xの各部は、図5に示すように接続されている。図5において符号VDDは、電源電圧を示す。
なお、選択トランジスタSEL−1〜SEL−Nのうち任意の組み合わせによりブロック信号線60を介して信号線210へ信号を出力させてもよい。この場合は、信号線210において第1画素部30x−1〜30x−Nのうちの一部から出力された信号が加算されるので、ブロック内の第1画素部30x−1〜30x−Nの任意の組み合わせによるビニングを行うことができる。
本実施の形態では、画素エリア201(図2)において空間的に重なり合う他色のブロックとの間で、ブロック内の配線が接触しないように、ブロックの色によって配線層72の異なる層で配線する。
なお、第1のG色ブロック303と第2のG色ブロック304とは、便宜上異なる色として扱うものとする。また、「空間的に重なり合う」とは、図6において異なる色のブロックとの間で上下部分または左右部分が重なり合う関係をいう。
図7(a)〜図7(d)に示されるように、配線61〜64は、各色のブロック301〜304の中心に位置する画素部30に対して点対称である。また、配線61〜64は、各色のブロック301〜304の中心に位置する画素部30を通る水平方向(行方向)または垂直方向(列方向)の直線に対して線対称である。
(1)撮像素子101は、光を光電変換する複数の画素30が行方向(x軸方向)および列方向(y軸)に配置された画素エリア201と、画素エリア201が共通の波長域の光を光電変換する複数の画素30に小分けされた複数のブロック301〜304と、複数のブロック301〜304にそれぞれ設けられた複数の信号線210と、複数のブロック301〜304にそれぞれ設けられ、ブロック301〜304毎の複数の画素30を相互に接続するブロック信号線60とを備える。
各ブロック301〜304が共通の波長域の光を光電変換する複数の画素30で構成されるので、各ブロック301〜304内の信号を加算するだけで同色の信号ビニングを簡単に行うことができる。例えば、ブロック内に異なる波長域の光を光電変換する画素が混在する従来技術に比べて、同色の信号ビニング処理が圧倒的に簡単になる。
また、信号線210をブロック301〜304毎に設けたので、色毎の信号を並行して出力させることができる。例えば、ブロック内に異なる波長域の光を光電変換する画素が混在する場合において色毎の信号を時分割で出力させる場合と比較して、短時間で出力させることができる。
このように構成したので、R画素、G画素、B画素がベイヤー配列されている場合はブロック301〜304の色重心もベイヤー配列を保つこととなるので、ビニングの有無にかかわらず、ベイヤー配列を前提とした画像処理エンジンをそのまま用いることができる。
このように構成したので、各ブロック301〜304におけるブロック信号線60が、空間的に重なり合う他色のブロックのブロック信号線60と接触しないように適切に接続することができる。
(変形例1)
変形例1では、画素エリア201においてブロック内の配線が、空間的に重なり合う他色のブロック内の配線と接触しないように配線を分け、配線層の1層に2色分の配線を行う。なお、上記実施の形態と同様に、G色の第1ブロックとG色の第2ブロックとは、便宜上異なる色として扱うものとする。
さらに、図8(b)に例示するように、G色の第1ブロックのG画素を接続する配線62−1と、G色の第2ブロックのG画素を接続する配線62−2とを同じ層に形成する。
配線62−1は、ドットで示される。配線62−2は、横縞で示される。
配線61−1および61−2と、配線62−1および62−2とは、配線層72において異なる層に形成される。
また、このように配線層72に形成する層数を減らしても、画素エリア201においてブロックが他色のブロックと空間的に重なり合う場合に、各ブロックにおいて同色のブロック内の画素部30のみを適切に接続することができる。
図8(a)、図8(b)に示されるように、配線61−1、2〜62−1、2は、各色のブロック301〜304の中心に位置する画素部30に対して点対称である。また、配線61−1、2〜62−1、2は、各色のブロック301〜304の中心に位置する画素部30を通る水平方向(行方向)または垂直方向(列方向)の直線に対して線対称である。
変形例2では、画素エリア201においてブロック内の配線が、空間的に重なり合う他色のブロック間の配線と接触しないように配線を分け、配線層の1層に4色分の配線を行う。なお、上記実施の形態や変形例1と同様に、G色の第1ブロックとG色の第2ブロックとは、便宜上異なる色として扱うものとする。
また、このように配線層72に形成する層数を減らしても、画素エリア201においてブロックが他色のブロックと空間的に重なり合う場合に、各ブロックにおいて同色のブロック内の画素部30のみを適切に接続することができる。
また、層間を接続するためのviaの数を減らすことにもつながるので、配線のインピーダンスのばらつきを抑えるというメリットを得ることもできる。
変形例1および変形例2では、ブロック301〜304は、画素エリア201において注目画素から2ピクセルの範囲内(ブロックのサイズは行方向5ピクセル×列方向5ピクセル)で、注目画素と同じ波長域の光を光電変換する画素30により構成したが、ブロックのサイズをさらに拡げてもよい。
ブロックのサイズをさらに大型にする場合は、配線層72を1層分使用するだけではブロック内の画素部30を相互に接続することが困難になる。このような場合には、配線層72を2層分使用してもよい。例えば、図10に例示したような行方向9ピクセル×列方向9ピクセルの小ブロックを、行方向に3個、列方向に3個の計9個を組み合わせて大ブロックを構成するものとする。この場合は、各小ブロックにおける画素部30を接続する配線(ローカル配線と称する)のために配線層72を1層分使用する。そして、9個の小ブロックの中心に位置する9個の画素部30を接続する配線(グローバル配線と称する)のために配線層72の他の層を使用する。グローバル配線は、ローカル配線と同様に、大ブロックの中心に位置する画素部30を起点に、渦巻き状に小ブロックの中心に位置する画素部30間をつないで配線する。
例えば、各色のブロックの中心に位置する画素部30に対して点対称な配線の形状として、上記「日」字状や「王」字状、渦巻き状の配線を例示したが、「N」字状や「Z」字状や「H」字状に配線してもよい。また、各色のブロックの中心に位置する画素部30に対して線対称な配線の形状として、上記「日」字状や「王」字状の配線を例示したが、「H」字状に配線してもよい。
日本国特許出願2017年第192212号(2017年9月29日出願)
30x−1〜30x−N…第1画素部
60…ブロック信号線
61〜64…配線
71…PD層
72…配線層
73…カラーフィルタ
100…カメラボディ
101…撮像素子
102…ボディ制御部
201…画素エリア
204…出力部
205…制御部
210…信号線
301〜304…ブロック
PD…フォトダイオード
SEL…選択トランジスタ
SF…増幅トランジスタ
Tx…転送トランジスタ
Claims (15)
- 第1波長域の光を透過する第1透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、第1方向および第2方向に配置される複数の第1光電変換部と、
第2波長域の光を透過する第2透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、前記第1方向および前記第2方向に配置される複数の第2光電変換部と、
点対称または線対称な配線を有し、前記第1方向において2つの前記第2光電変換部の間に配置された前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2方向において2つの前記第2光電変換部の間に配置された前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも1つが出力される第1信号線と、
点対称または線対称な配線を有し、前記第1方向において2つの前記第1光電変換部の間に配置された前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2方向において2つの前記第1光電変換部の間に配置された前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも1つが出力される第2信号線と、
を備える撮像素子。 - 請求項1に記載の撮像素子において、
前記第1信号線と前記第2信号線とが配置される配線層を備える撮像素子。 - 第1波長域の光を透過する第1透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、第1方向および第2方向に配置される複数の第1光電変換部と、
第2波長域の光を透過する第2透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、前記第1方向および前記第2方向に配置される複数の第2光電変換部と、
前記第1方向において2つの前記第2光電変換部の間に配置された前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2方向において2つの前記第2光電変換部の間に配置された前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも1つが出力される第1信号線と、
前記第1方向において2つの前記第1光電変換部の間に配置された前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2方向において2つの前記第1光電変換部の間に配置された前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも1つが出力される第2信号線と、
前記第1信号線と前記第2信号線とが配置される配線層と、
を備える撮像素子。 - 請求項3に記載の撮像素子において、
前記第1信号線と前記第2信号線とは、点対称または線対称な配線を有する撮像素子。 - 請求項2から4のいずれか一項に記載の撮像素子において、
複数の前記配線層を備え、
前記第1信号線と前記第2信号線とは、複数の前記配線層のうち第1配線層に配置される撮像素子。 - 請求項5に記載の撮像素子において、
前記第1信号線は、前記第1配線層において、前記第2信号線が設けられていない領域に配置される撮像素子。 - 請求項1から6いずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第1信号線は、複数の前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号を加算した信号が出力され、
前記第2信号線は、複数の前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号を加算した信号が出力される撮像素子。 - 請求項1から7いずれか一項に記載の撮像素子において、
複数の前記第1光電変換部をそれぞれ有する複数の第1画素群と、
複数の前記第2光電変換部をそれぞれ有する複数の第2画素群と、を備え、
複数の前記第1画素群のそれぞれの重心と、複数の前記第2画素群のそれぞれの重心とは等間隔に配置される撮像素子。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の撮像素子において、
複数の前記第1光電変換部と複数の前記第2光電変換部と前記第1信号線と前記第2信号線とを有する第1基板と、
前記第1信号線により出力された信号を処理する第1処理部と、前記第2信号線により出力された信号を処理する第2処理部とを有し、前記第1基板と積層される第2基板を備える撮像素子。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の撮像素子において、
複数の前記第1光電変換部と複数の前記第2光電変換部とを有する第1基板と、
複数の配線層と、前記第1信号線により出力された信号を処理する第1処理部と、前記第2信号線により出力された信号を処理する第2処理部とを有し、前記第1基板と積層される第2基板と、
を備える撮像素子。 - 請求項9または10に記載の撮像素子において、
前記第1信号線を含み、前記第1光電変換部と前記第1処理部とを接続する第1接続線と、
前記第2信号線を含み、前記第2光電変換部と前記第2処理部とを接続する第2接続線と、を備え、
前記第1接続線の長さと前記第2接続線の長さとは略同じである撮像素子。 - 請求項1から11のいずれか1項に記載の撮像素子において、
第3波長域の光を透過する第3透過部を透過した光を光電変換して電荷を生成し、第1方向および第2方向に配置される複数の第3光電変換部と、
複数の前記第3光電変換部で生成された電荷に基づく信号を出力し、前記第1信号線と前記第2信号線とが配置される配線層に配置される第3信号線と、
を備える撮像素子。 - 請求項12に記載の撮像素子において、
前記第3信号線は、点対称または線対称な配線を有する撮像素子。 - 請求項12または13に記載の撮像素子において、
前記第1光電変換部と前記第2光電変換部と前記第3光電変換部はベイヤー配列に基づいて配置される撮像素子。 - 請求項1から14のいずれか一項に記載の撮像素子と、
前記撮像素子から出力される信号に基づいて画像データを生成する生成部と、
を備える撮像装置。
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