Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6922044B2 - Electronic components - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6922044B2 - Electronic components - Google Patents

Electronic components Download PDF

Info

Publication number
JP6922044B2
JP6922044B2 JP2020112757A JP2020112757A JP6922044B2 JP 6922044 B2 JP6922044 B2 JP 6922044B2 JP 2020112757 A JP2020112757 A JP 2020112757A JP 2020112757 A JP2020112757 A JP 2020112757A JP 6922044 B2 JP6922044 B2 JP 6922044B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode
electronic component
glass
porosity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020112757A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020170860A (en
Inventor
和田 幸一郎
幸一郎 和田
粕谷 雄一
雄一 粕谷
桑原 真志
真志 桑原
正慎 高橋
正慎 高橋
中田 佳成
佳成 中田
熊洞 哲郎
哲郎 熊洞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2017222976A external-priority patent/JP6748626B2/en
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP2020112757A priority Critical patent/JP6922044B2/en
Publication of JP2020170860A publication Critical patent/JP2020170860A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6922044B2 publication Critical patent/JP6922044B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)

Description

本発明は、電子部品に関し、特に、磁気コアを有し、回路基板上への面実装が可能な小型化されたインダクタ等の電子部品に関する。 The present invention relates to electronic components, and more particularly to electronic components such as miniaturized inductors which have a magnetic core and can be surface-mounted on a circuit board.

従来、携帯型の電子機器における電源の昇降圧回路用コイルや高周波回路で用いられるチョークコイル等として磁気コアを有するインダクタが知られている。
このようなインダクタとしては、例えば特許文献1に記載されているように、フェライトコアにコイル導線を巻回し、該コイル導線の両端をフェライトコアの該表面に設けられた一対の端子電極に接続した構造のものが知られている。ここで、フェライトコアは、巻芯部と該巻芯部の上端及び下端に設けられた一対の鍔部とを有する、いわゆるドラム型の形状を有している。このような構造を有するインダクタは、一般に外形寸法(特に高さ寸法)の小型化が可能であることから、回路基板上への高密度実装や低背実装に適しているという特長を有している。
Conventionally, inductors having a magnetic core are known as coils for buck-boost circuits of power supplies in portable electronic devices, choke coils used in high-frequency circuits, and the like.
As such an inductor, for example, as described in Patent Document 1, a coil conductor is wound around a ferrite core, and both ends of the coil conductor are connected to a pair of terminal electrodes provided on the surface of the ferrite core. The structure is known. Here, the ferrite core has a so-called drum-shaped shape having a winding core portion and a pair of flange portions provided at the upper end and the lower end of the winding core portion. An inductor having such a structure has a feature that it is suitable for high-density mounting or low-profile mounting on a circuit board because the external dimensions (particularly the height dimension) can be reduced in general. There is.

特開2011−009644号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-09644

近年、電子機器の小型薄型化や高機能化に伴って、インダクタ特性及び信頼性を向上させつつ、さらなる高密度実装や低背実装が可能な巻線型インダクタが求められている。
本発明は、所望の電気特性及び高い信頼性を有しつつ、回路基板上への良好な高密度実装や低背実装が可能なインダクタ等に良好に適用することができる電子部品を提供することを目的とする。
In recent years, as electronic devices have become smaller and thinner and have higher functionality, there has been a demand for wire-wound inductors capable of higher density mounting and lower profile mounting while improving inductor characteristics and reliability.
The present invention provides an electronic component that has desired electrical characteristics and high reliability, and can be satisfactorily applied to an inductor or the like capable of good high-density mounting or low-profile mounting on a circuit board. With the goal.

請求項1記載の発明に係る電子部品は、多孔質の基体を有する電子部品であって、前記基体はその表層にガラス材料よりなる層を有するとともに、前記ガラス材料よりなる層の一部が前記多孔質の基体の空孔部分に含浸されており、かつ、前記ガラス材料よりなる層が形成された前記多孔質の基体の表面の電極形成領域となるガラス層に電極材料もしくは前記電極材料と電極接合材料を含む電極を形成していること、及び、前記多孔質の基体は軟磁性合金の粒子からなり、前記空孔部分は前記多孔質の基体の粒子間の空孔部分であること、並びに、前記基体の空孔部分は、吸水率や空孔率がフェライトからなる基体の吸水率や空孔率を上回る空孔部分であること、さらに、前記電極は、前記電極材料もしくは前記電極材料と前記電極接合材料を焼成処理することにより形成されていることを特徴とする。 The electronic component according to the invention according to claim 1 is an electronic component having a porous substrate, and the substrate has a layer made of a glass material on its surface layer, and a part of the layer made of the glass material is said. The electrode material or the electrode material and the electrode are formed on the glass layer which is impregnated in the pores of the porous substrate and which is the electrode forming region on the surface of the porous substrate on which the layer made of the glass material is formed. The electrode containing the bonding material is formed, and the porous substrate is made of soft magnetic alloy particles, and the pore portion is a pore portion between the particles of the porous substrate. The vacant portion of the substrate is a vacant portion in which the water absorption rate and the porosity exceed the water absorption rate and the porosity of the substrate made of ferrite, and the electrode is the electrode material or the electrode material. It is characterized in that it is formed by firing the electrode bonding material.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の電子部品において、前記吸水率や空孔率がフェライトからなる基体の吸水率や空孔率を上回る基体の空孔部分は、吸水率が1.0%以上、又は、空孔率が10〜25%の金属粉の成形体であることを特徴とする。 According to the second aspect of the present invention, in the electronic component according to the first aspect, the water absorption rate and the porosity of the vacant portion of the substrate exceeding the water absorption rate and the porosity of the substrate made of ferrite have a water absorption rate of 1. It is a molded body of a metal powder having a porosity of 0% or more or a porosity of 10 to 25%.

請求項3記載の発明は、請求項1乃至2に記載の電子部品において、前記電子部品は、鉄、ケイ素、及び、鉄よりも酸化しやすい元素を含有する軟磁性合金の粒子群から構成され、各軟磁性合金粒子の表面には当該軟磁性合金粒子を酸化して形成した酸化層が生成され、当該酸化層は当該軟磁性合金粒子に比較して鉄より酸化しやすい元素を多く含み、粒子同士は前記酸化層を介して結合されていることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の電子部品において、前記鉄よりも酸化しやすい元素は、クロムであって、前記軟磁性合金は、少なくとも、クロムが2〜15wt%含有することを特徴とする。
The invention according to claim 3 is the electronic component according to claims 1 and 2, wherein the electronic component is composed of iron, silicon, and a group of particles of a soft magnetic alloy containing an element that is more easily oxidized than iron. , An oxide layer formed by oxidizing the soft magnetic alloy particles is formed on the surface of each soft magnetic alloy particle, and the oxide layer contains more elements that are more easily oxidized than iron as compared with the soft magnetic alloy particles. The particles are characterized in that they are bonded to each other via the oxide layer.
The invention according to claim 4 states that in the electronic component according to claim 3, the element that is more easily oxidized than iron is chromium, and the soft magnetic alloy contains at least 2 to 15 wt% of chromium. It is a feature.

本発明によれば、所望の電気特性及び高い信頼性を有しつつ、回路基板上への良好な高密度実装や低背実装が可能なインダクタ等の良好に適用することができる電子部品を提供することができ、当該電子部品を搭載する電子機器の小型薄型化や高機能化に加え、信頼性の向上に寄与することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, there is provided an electronic component which can be satisfactorily applied such as an inductor capable of good high-density mounting and low-profile mounting on a circuit board while having desired electrical characteristics and high reliability. In addition to making the electronic device on which the electronic component is mounted smaller and thinner and having higher functionality, it is possible to contribute to the improvement of reliability.

本発明に係る電子部品の電極形成方法の第1の実施形態を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows 1st Embodiment of the electrode forming method of the electronic component which concerns on this invention. 本発明に係る電子部品の電極形成方法の第2の実施形態を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the 2nd Embodiment of the electrode forming method of the electronic component which concerns on this invention. 本実施形態に係る電子部品の基体に適用される金属粉の成形体とフェライトとにおける、樹脂溶液の含浸に関する特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic about the impregnation of the resin solution in the molded body of the metal powder applied to the substrate of the electronic component which concerns on this embodiment, and ferrite. 本実施形態に係る基体と、フェライトからなる基体とにおける表面近傍の断面を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cross section in the vicinity of the surface of the substrate which concerns on this embodiment, and the substrate made of ferrite. 本実施形態に係る基体における表面近傍の断面を説明するための拡大模式図である。It is an enlarged schematic diagram for demonstrating the cross section in the vicinity of the surface of the substrate which concerns on this embodiment. 第1の実施形態に係る電子部品の電極形成方法を適用した場合の固着強度の測定結果を示す表である。It is a table which shows the measurement result of the sticking strength when the electrode forming method of the electronic component which concerns on 1st Embodiment is applied. 第2の実施形態に係る電子部品の電極形成方法を適用した場合の固着強度の測定結果を示す表である。It is a table which shows the measurement result of the sticking strength when the electrode forming method of the electronic component which concerns on 2nd Embodiment is applied. 本発明に係る電極形成方法を適用可能な電子部品の第1の構成例(第1の適用例)を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the 1st structural example (1st application example) of the electronic component to which the electrode forming method which concerns on this invention can apply. 第1の適用例に係る電子部品の内部構造を示す概略断面図である。It is schematic cross-sectional view which shows the internal structure of the electronic component which concerns on 1st application example. 本発明に係る電極形成方法を適用可能な電子部品の第2の構成例(第2の適用例)を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the 2nd structural example (2nd application example) of the electronic component to which the electrode forming method which concerns on this invention can apply. 第2の適用例に係る電子部品の分解斜視図である。It is an exploded perspective view of the electronic component which concerns on the 2nd application example.

以下、本発明に係る電子部品の電極形成方法について、実施形態を示して詳しく説明する。
ここで、本発明に係る電子部品の電極形成方法は、所定の吸水率、又は、所定の空孔率を有する多孔質の基体の表面に、電極材料や電極接合材料の浸透を防止する浸透防止材料を含浸又はコーティングすることでガラス材料もしくは樹脂材料よりなる層を形成し、多孔質の基体の表面の空孔部分にガラス材料もしくは樹脂材料よりなる層の一部を充填する下地処理を施した後、電極を形成することを特徴としている。
Hereinafter, the electrode forming method of the electronic component according to the present invention will be described in detail by showing embodiments.
Here, the method for forming an electrode of an electronic component according to the present invention is a permeation prevention method for preventing permeation of an electrode material or an electrode bonding material on the surface of a porous substrate having a predetermined water absorption rate or a predetermined porosity. A layer made of a glass material or a resin material was formed by impregnating or coating the material, and a base treatment was performed to fill the pores on the surface of the porous substrate with a part of the layer made of the glass material or the resin material. Later, it is characterized by forming an electrode.

まず、本発明に係る電子部品の電極形成方法が適用される多孔質の基体について説明する。
本発明に係る電子部品の電極形成方法が適用される電子部品は、吸水率が概ね1.0%以上、又は、空孔率が概ね10〜25%の多孔質の基体を有している。具体的には、電子部品の基体として、例えば鉄(Fe)と、ケイ素(Si)と、鉄よりも酸化しやすい元素を含有する軟磁性合金の粒子群から構成され、各軟磁性合金粒子の表面には、当該軟磁性合金粒子が酸化した酸化層が形成され、当該酸化層は当該軟磁性合金粒子に比較して、上記鉄より酸化しやすい元素を多く含み、粒子同士が当該酸化層を介して結合された、金属粉の成形体を良好に適用することができる。なお、本実施形態において、上記鉄よりも酸化しやすい元素としては、クロム(Cr)やアルミニウム(Al)等を適用することができる。
First, a porous substrate to which the electrode forming method for electronic components according to the present invention is applied will be described.
The electronic component to which the electrode forming method for the electronic component according to the present invention is applied has a porous substrate having a water absorption rate of about 1.0% or more or a porosity of about 10 to 25%. Specifically, the substrate of the electronic component is composed of, for example, iron (Fe), silicon (Si), and a group of soft magnetic alloy particles containing an element that is more easily oxidized than iron, and each soft magnetic alloy particle is composed of. An oxide layer obtained by oxidizing the soft magnetic alloy particles is formed on the surface, and the oxide layer contains more elements that are more easily oxidized than iron as compared with the soft magnetic alloy particles, and the particles form the oxide layer. A molded metal powder molded body bonded via the metal powder can be satisfactorily applied. In this embodiment, chromium (Cr), aluminum (Al), or the like can be applied as an element that is more easily oxidized than iron.

ここで、軟磁性合金粒子の組成や含有率等を適宜調整することにより、高い飽和磁束密度Bs(例えば1.2T以上)と高い透磁率μ(例えば37以上)を実現することができるとともに、100kHz以上の周波数においても、粒子内で渦電流損失が生じることを抑制することができる。したがって、このような磁気特性を有する多孔質の基体を、インダクタ等の電子部品のコア部材として良好に適用することができる。
このような多孔質の基体を有する電子部品において、電極を形成する方法の実施形態を次に示す。
Here, by appropriately adjusting the composition and content of the soft magnetic alloy particles, it is possible to realize a high saturation magnetic flux density Bs (for example, 1.2 T or more) and a high magnetic permeability μ (for example, 37 or more). Even at a frequency of 100 kHz or higher, it is possible to suppress the occurrence of eddy current loss in the particles. Therefore, a porous substrate having such magnetic characteristics can be satisfactorily applied as a core member of an electronic component such as an inductor.
An embodiment of a method for forming an electrode in an electronic component having such a porous substrate is shown below.

<第1の実施形態>
図1は、本発明に係る電子部品の電極形成方法の第1の実施形態を示すフローチャートである。
第1の実施形態に係る電子部品の電極形成方法は、図1に示すように、概略、ガラススラリー準備工程S101と、ガラスコーティング工程S102と、脱バインダ工程S103と、ガラス焼き付け工程S104と、電極形成工程S105と、を有している。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a flowchart showing a first embodiment of an electrode forming method for an electronic component according to the present invention.
As shown in FIG. 1, the method for forming electrodes of electronic parts according to the first embodiment is roughly a glass slurry preparation step S101, a glass coating step S102, a binder removal step S103, a glass baking step S104, and an electrode. It has a forming step S105.

ガラススラリー準備工程S101においては、バインダ樹脂及び溶剤に所定の比率でガラス粉末(ガラスフリット)を混合したものを、ボールミルにて所定時間攪拌させて、ガラススラリー(スラリー状のガラス)を生成する。具体的には、ガラススラリーに使用されるガラス粉末は、平均粒径が例えば0.1〜10μm程度であり、軟化点が概ね800℃以下であることが好ましい。また、バインダ樹脂としては、例えばポリビニルアルコールやその変性体を良好に適用することができる。また、溶剤としては、水を含んでいることが好ましく、さらに例えばエタノールやイソプロピルアルコール等の水溶性のアルコールを一定割合で混合したものであってもよい。また、ガラススラリー中のガラス粉末及びバインダ樹脂からなる固形分量は、例えばガラススラリーの重量に対して、0.1〜20wt%程度に設定されていることが好ましく、さらに、ガラス粉末及びバインダ樹脂の合計重量に対するバインダ樹脂の重量は、例えば1〜20wt%程度に設定されていることが好ましい。ボールミルによる攪拌時間は、例えば16時間程度に設定される。このようにして生成されるガラススラリーの粘度は、例えば0.001〜0.01Pa・s程度に設定される。 In the glass slurry preparation step S101, a glass powder (glass frit) mixed with a binder resin and a solvent at a predetermined ratio is stirred with a ball mill for a predetermined time to generate a glass slurry (slurry-like glass). Specifically, the glass powder used in the glass slurry preferably has an average particle size of, for example, about 0.1 to 10 μm and a softening point of about 800 ° C. or less. Further, as the binder resin, for example, polyvinyl alcohol or a modified product thereof can be satisfactorily applied. Further, the solvent preferably contains water, and may be a mixture of water-soluble alcohol such as ethanol and isopropyl alcohol at a constant ratio. The solid content of the glass powder and the binder resin in the glass slurry is preferably set to about 0.1 to 20 wt% with respect to the weight of the glass slurry, for example, and further, the glass powder and the binder resin. The weight of the binder resin with respect to the total weight is preferably set to, for example, about 1 to 20 wt%. The stirring time by the ball mill is set to, for example, about 16 hours. The viscosity of the glass slurry thus produced is set to, for example, about 0.001 to 0.01 Pa · s.

ガラスコーティング工程S102においては、上述したような電子部品の多孔質の基体を温調バレルスプレー装置のバレル内に投入し、当該バレルを所定の回転数で回転させつつ、基体にガラススラリーを吹き付けて基体表面に薄いガラス塗膜を形成する。具体的には、バレル内に例えば10000〜20000個の電子部品の基体を投入し、スプレー法により120ccのガラススラリーを30〜50分程度吹き付ける。ここで、基体にガラススラリーを吹き付ける際の、ガラススラリーの温度は、溶剤の組成にもよるが例えば40〜100℃程度に設定される。 In the glass coating step S102, the porous substrate of the electronic component as described above is put into the barrel of the temperature control barrel sprayer, and the glass slurry is sprayed on the substrate while rotating the barrel at a predetermined rotation speed. A thin glass coating is formed on the surface of the substrate. Specifically, for example, 1000 to 20000 electronic component substrates are put into the barrel, and 120 cc of glass slurry is sprayed by a spray method for about 30 to 50 minutes. Here, the temperature of the glass slurry when the glass slurry is sprayed onto the substrate is set to, for example, about 40 to 100 ° C., although it depends on the composition of the solvent.

脱バインダ工程S103においては、ガラス塗膜が形成された基体を焼成炉内で所定の温度で熱処理することにより、ガラス塗膜に含まれる樹脂成分を除去(脱バインダ処理)する。具体的には、基体の脱バインダ処理は、例えば600℃で120分程度熱処理を行う。 In the binder removal step S103, the resin component contained in the glass coating film is removed (binder removal treatment) by heat-treating the substrate on which the glass coating film is formed at a predetermined temperature in the firing furnace. Specifically, in the binder removal treatment of the substrate, for example, heat treatment is performed at 600 ° C. for about 120 minutes.

ガラス焼き付け工程S104においては、脱バインダ処理された基体を焼成炉内で所定の温度で熱処理することにより、基体表面にガラス膜を形成(ガラス焼き付け処理)する。具体的には、ガラス焼き付け処理は、大気中又はN2ガス雰囲気中で、例えば700〜800℃で20分程度熱処理を行う。これにより、少なくとも基体の電極形成領域にガラス膜が形成される。すなわち、これにより、少なくとも基体の電極形成領域には、ガラス材料よりなる層が形成され、多孔質の基体の表面の空孔部分にはガラス材料よりなる層の一部が充填される。 In the glass baking step S104, a glass film is formed on the surface of the substrate (glass baking treatment) by heat-treating the debinder-treated substrate at a predetermined temperature in the firing furnace. Specifically, the glass baking process is performed by heat treatment in the atmosphere or N2 gas atmosphere at, for example, 700 to 800 ° C. for about 20 minutes. As a result, a glass film is formed at least in the electrode forming region of the substrate. That is, as a result, a layer made of a glass material is formed at least in the electrode forming region of the substrate, and a part of the layer made of the glass material is filled in the pores on the surface of the porous substrate.

電極形成工程S105においては、ガラス焼き付け処理された基体の所定の領域(電極形成領域)に、電極を形成する。具体的には、電極は、上記基体に、例えば電極材料にガラスを添加した電極ペーストを塗布し、所定の温度で焼成して得られる焼成電極を良好に適用することができる。また、電極の他の形態としては、例えば電極材料からなる導電性の板状部材(フレーム)を接着剤を用いて基体表面に接着して形成される電極フレームも良好に適用することができる。また、電極のさらに他の形態としては、例えば電極材料をスパッタリング法や蒸着法等を用いて、基体表面に金属薄膜を形成して得られる電極膜も良好に適用することができる。ここで、上述した焼成電極においては、電極材料として、例えば銀(Ag)、銀(Ag)とパラジウム(Pd)の合金、銀(Ag)と白金(Pt)の合金、銅(Cu)等を良好に適用することができる。また、上述した電極フレームにおいては、電極材料として、例えばリン青銅板等を良好に適用することができ、基体に接着するための接着剤として、例えばエポキシ系の樹脂を良好に適用することができる。さらに、上述した電極膜においては、電極材料として、例えばチタン(Ti)や、チタン(Ti)を含む合金等を良好に適用することができる。さらに、電極として、上述した焼成電極や電極膜を適用する場合には、その表面に電解メッキにより金属メッキ層が形成されているものであってもよい。 In the electrode forming step S105, an electrode is formed in a predetermined region (electrode forming region) of the glass-baked substrate. Specifically, as the electrode, a fired electrode obtained by applying, for example, an electrode paste obtained by adding glass to an electrode material to the substrate and firing at a predetermined temperature can be satisfactorily applied. Further, as another form of the electrode, for example, an electrode frame formed by adhering a conductive plate-shaped member (frame) made of an electrode material to the surface of a substrate using an adhesive can be satisfactorily applied. Further, as still another form of the electrode, for example, an electrode film obtained by forming a metal thin film on the surface of a substrate by using a sputtering method, a vapor deposition method, or the like for an electrode material can be satisfactorily applied. Here, in the above-mentioned fired electrode, as the electrode material, for example, silver (Ag), an alloy of silver (Ag) and palladium (Pd), an alloy of silver (Ag) and platinum (Pt), copper (Cu) and the like are used. It can be applied well. Further, in the above-mentioned electrode frame, for example, a phosphor bronze plate or the like can be satisfactorily applied as an electrode material, and for example, an epoxy resin can be satisfactorily applied as an adhesive for adhering to a substrate. .. Further, in the above-mentioned electrode film, for example, titanium (Ti), an alloy containing titanium (Ti), or the like can be satisfactorily applied as the electrode material. Further, when the above-mentioned fired electrode or electrode film is applied as the electrode, a metal plating layer may be formed on the surface thereof by electrolytic plating.

なお、本実施形態においては、電子部品の基体へのガラスコーティングの方法として、回転するバレル内で、基体にガラススラリーを吹き付けて、基体の全面にガラス塗膜を形成する手法を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、基体にガラス塗膜を形成する手法としては、上述したようなスプレー法のほか、印刷やローラー、刷毛塗り、真空含浸、ポッティング等の種々の手法を良好に適用することができる。そして、このような手法により、基体の全面、もしくは、少なくとも電極形成領域にガラス塗膜を良好に形成することができる。すなわち、このような手法により、基体の全面、もしくは、少なくとも電極形成領域には、ガラス材料よりなる層が形成され、多孔質の基体の表面の空孔部分にはガラス材料よりなる層の一部が充填される。 In the present embodiment, as a method of glass coating the substrate of an electronic component, a method of spraying a glass slurry on the substrate in a rotating barrel to form a glass coating film on the entire surface of the substrate has been described. The present invention is not limited to this. That is, as a method for forming a glass coating film on a substrate, various methods such as printing, rollers, brush coating, vacuum impregnation, and potting can be satisfactorily applied in addition to the spray method as described above. Then, by such a method, the glass coating film can be satisfactorily formed on the entire surface of the substrate or at least on the electrode forming region. That is, by such a method, a layer made of glass material is formed on the entire surface of the substrate, or at least on the electrode forming region, and a part of the layer made of glass material is formed on the pores on the surface of the porous substrate. Is filled.

<第2の実施形態>
図2は、本発明に係る電子部品の電極形成方法の第2の実施形態を示すフローチャートである。
第2の実施形態に係る電子部品の電極形成方法は、図2に示すように、概略、樹脂溶液準備工程S201と、樹脂含浸工程S202と、乾燥工程S203と、硬化工程S204と、電極形成工程S205と、を有している。
<Second embodiment>
FIG. 2 is a flowchart showing a second embodiment of the electrode forming method for electronic components according to the present invention.
As shown in FIG. 2, the method for forming electrodes of electronic components according to the second embodiment is roughly a resin solution preparation step S201, a resin impregnation step S202, a drying step S203, a curing step S204, and an electrode forming step. It has S205 and.

樹脂溶液準備工程S201においては、所定の比率の樹脂材料を含む樹脂溶液を準備する。ここで、樹脂溶液は、固形フィラーの添加がない、もしくは、添加が微少の有機系樹脂材料(例えばシリコン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等)や無機系材料からなることが好ましい。具体的には、例えば30wt%のシリコン樹脂をトルエンで希釈したものを樹脂溶液として良好に適用することができる。このような樹脂溶液には、適宜硬化剤等が添加される。 In the resin solution preparation step S201, a resin solution containing a resin material having a predetermined ratio is prepared. Here, the resin solution is preferably made of an organic resin material (for example, silicon resin, epoxy resin, acrylic resin, etc.) or an inorganic material to which no solid filler is added or to which a small amount of solid filler is added. Specifically, for example, a 30 wt% silicon resin diluted with toluene can be satisfactorily applied as a resin solution. A curing agent or the like is appropriately added to such a resin solution.

樹脂含浸工程S202においては、多孔質の電子部品の基体を樹脂溶液に浸し、基体を真空状態にすることにより、基体の内部の空気を追い出し、樹脂溶液を含浸(真空含浸)させる。具体的には、真空含浸時の圧力は、例えば20Torr(26hpa)以下まで減圧することが好ましい。 In the resin impregnation step S202, the substrate of the porous electronic component is immersed in the resin solution and the substrate is put into a vacuum state to expel the air inside the substrate and impregnate the resin solution (vacuum impregnation). Specifically, the pressure at the time of vacuum impregnation is preferably reduced to, for example, 20 Torr (26 hpa) or less.

乾燥工程S203においては、基体を乾燥処理して、表面及び内部の樹脂溶液を乾燥させる。具体的には、例えば1時間程度、自然放置することにより、基体表面及び内部の樹脂溶液を風乾する。 In the drying step S203, the substrate is dried to dry the resin solution on the surface and inside. Specifically, the resin solution on the surface and inside of the substrate is air-dried by allowing it to stand naturally for, for example, about 1 hour.

硬化工程S204においては、基体を所定の温度で熱処理することにより、基体に含浸した樹脂溶液を硬化させる。具体的には、湿気雰囲気中で、例えば200℃、1時間程度、基体を熱処理する。熱処理後、例えば30分以上、基体を放置して自然冷却する。これらの一連の工程(S201、S202、S203、S204)によって、基体の表層の電極作成領域の表面は、樹脂材料による層が形成された状態とでき、基体の表層の電極作成領域内部の空孔部分は、樹脂材料による層の一部が充填された状態とできる。 In the curing step S204, the substrate is heat-treated at a predetermined temperature to cure the resin solution impregnated in the substrate. Specifically, the substrate is heat-treated in a humid atmosphere at, for example, at 200 ° C. for about 1 hour. After the heat treatment, the substrate is left to cool naturally for, for example, 30 minutes or more. By a series of these steps (S201, S202, S203, S204), the surface of the electrode forming region on the surface layer of the substrate can be made into a state in which a layer made of a resin material is formed, and holes inside the electrode forming region on the surface layer of the substrate are formed. The portion can be in a state where a part of the layer made of the resin material is filled.

電極形成工程S205においては、樹脂溶液が含浸、硬化した基体の所定の領域(電極形成領域)に、電極を形成する。具体的には、電極は、上記基体に、例えば電極材料からなる導電性の板状部材(フレーム)を接着剤を用いて基体表面に接着して形成される電極フレームを良好に適用することができる。また、電極の他の形態としては、例えば電極材料をスパッタリング法や蒸着法等を用いて、基体表面に金属薄膜を形成して得られる電極膜も良好に適用することができる。ここで、上述した電極フレームにおいては、電極材料として、例えばリン青銅板等を良好に適用することができ、基体に接着するための接着剤として、例えばエポキシ系の樹脂を良好に適用することができる。また、上述した電極膜においては、電極材料として、例えばチタン(Ti)や、チタン(Ti)を含む合金等を良好に適用することができる。さらに、電極として、上述した電極膜を適用する場合には、その表面に電解メッキにより金属メッキ層が形成されているものであってもよい。 In the electrode forming step S205, an electrode is formed in a predetermined region (electrode forming region) of the substrate impregnated with the resin solution and cured. Specifically, as the electrode, an electrode frame formed by adhering a conductive plate-shaped member (frame) made of, for example, an electrode material to the surface of the substrate using an adhesive can be satisfactorily applied to the substrate. can. Further, as another form of the electrode, for example, an electrode film obtained by forming a metal thin film on the surface of a substrate by using a sputtering method, a vapor deposition method, or the like for an electrode material can be satisfactorily applied. Here, in the above-mentioned electrode frame, for example, a phosphor bronze plate or the like can be satisfactorily applied as the electrode material, and for example, an epoxy resin can be satisfactorily applied as the adhesive for adhering to the substrate. can. Further, in the above-mentioned electrode film, for example, titanium (Ti), an alloy containing titanium (Ti), or the like can be satisfactorily applied as the electrode material. Further, when the above-mentioned electrode film is applied as the electrode, a metal plating layer may be formed on the surface thereof by electrolytic plating.

なお、本実施形態においては、電子部品の基体への樹脂溶液の含浸方法として、基体を樹脂溶液に浸して真空含浸させ、基体の全面に樹脂溶液を含浸させる手法を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、基体に樹脂溶液を含浸させる手法としては、スプレーや印刷、ローラー、刷毛塗り、ポッティング等の種々の手法を良好に適用することができる。そして、このような手法により、基体の全面、もしくは、少なくとも電極形成領域に樹脂溶液を良好に含浸させることができる。すなわち、このような手法により、基体の表層の電極作成領域の表面は、樹脂材料による層が形成された状態とでき、基体の表層の電極作成領域内部の空孔部分は、樹脂材料による層の一部が充填された状態とできる。 In the present embodiment, as a method of impregnating the substrate of an electronic component with a resin solution, a method of immersing the substrate in a resin solution to vacuum impregnate the substrate and impregnating the entire surface of the substrate with the resin solution has been described. It is not limited to this. That is, as a method for impregnating the substrate with the resin solution, various methods such as spraying, printing, rollers, brush coating, and potting can be satisfactorily applied. Then, by such a method, the resin solution can be satisfactorily impregnated on the entire surface of the substrate, or at least the electrode forming region. That is, by such a method, the surface of the electrode forming region of the surface layer of the substrate can be in a state where a layer made of a resin material is formed, and the pore portion inside the electrode forming region of the surface layer of the substrate is a layer made of the resin material. It can be partially filled.

また、本実施形態においては、樹脂溶液としてシリコン樹脂を適用した場合について、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば75wt%のエポキシ樹脂を樹脂溶液として適用するものであってもよい。この場合、硬化工程における熱処理は、例えば180℃、1時間程度に設定される。 Further, in the present embodiment, the case where the silicon resin is applied as the resin solution has been described, but the present invention is not limited to this, and for example, 75 wt% epoxy resin is applied as the resin solution. You may. In this case, the heat treatment in the curing step is set to, for example, 180 ° C. for about 1 hour.

また、本発明においては、さらに他の樹脂溶液として、例えばシリコン樹脂の原料となるアルコキシシラン化合物を主成分とした無溶剤1液型の無機系封孔剤(例えば株式会社ディーアンドディ製の「パーミエイト HS−100」(商品名))を良好に適用することもできる。この種の無機系封孔剤は、アルコキシシラン化合物又はその部分加水分解縮合物と、無機顔料、無機添加剤、硬化触媒からなる。 Further, in the present invention, as yet another resin solution, for example, a solvent-free one-component inorganic pore-forming agent containing an alkoxysilane compound as a raw material of a silicon resin as a main component (for example, "D & D Co., Ltd." Permeate HS-100 (trade name)) can also be applied satisfactorily. This type of inorganic pore-forming agent comprises an alkoxysilane compound or a partially hydrolyzed condensate thereof, an inorganic pigment, an inorganic additive, and a curing catalyst.

そして、このような無機系封孔剤を樹脂溶液として使用した場合の、電子部品の基体への含浸方法は、まず、無機系封孔剤と基体を真空中で5〜10分程度、脱泡処理したのち、真空中で無機系封孔剤と基体を混合する。次いで、真空状態を解除させて、基体に無機系封孔剤を含浸させる。その後、基体の脱液処理を行い、湿気雰囲気中に例えば24時間放置することにより、基体に含浸した無機系封孔剤を良好に硬化させることができる。 When such an inorganic pore-forming agent is used as a resin solution, the method of impregnating the substrate of an electronic component is as follows: First, the inorganic pore-forming agent and the substrate are defoamed in a vacuum for about 5 to 10 minutes. After the treatment, the inorganic pore-forming agent and the substrate are mixed in vacuum. Next, the vacuum state is released and the substrate is impregnated with the inorganic pore-sealing agent. After that, the substrate is deliquesed and left in a humid atmosphere for, for example, 24 hours, so that the inorganic pore-forming agent impregnated in the substrate can be satisfactorily cured.

(作用効果の検証)
次に、上述した各実施形態に係る電子部品の電極形成方法における作用効果について説明する。
(Verification of action and effect)
Next, the action and effect in the electrode forming method of the electronic component according to each of the above-described embodiments will be described.

ここでは、本実施形態に係る電子部品の電極形成方法における作用効果を検証するために、比較対象として、電子部品の基体が周知のフェライトからなり、上述した各実施形態に示したような下地処理を施していない場合を示す。なお、フェライトからなる基体を有する電子部品は、例えばインダクタ等をはじめとして、既に一般に市販されて種々の電子機器に搭載されているものであって、固着強度をはじめ、様々な信頼性試験において、市場の高い評価を受けているものである。 Here, in order to verify the action and effect in the electrode forming method of the electronic component according to the present embodiment, as a comparison target, the substrate of the electronic component is made of a well-known ferrite, and the base treatment as shown in each of the above-described embodiments is performed. Indicates the case where is not applied. Electronic components having a substrate made of ferrite are those that are already commercially available and mounted on various electronic devices, such as inductors, and have been subjected to various reliability tests such as adhesion strength. It has received high praise from the market.

図3は、本実施形態に係る電子部品の基体に適用される金属粉の成形体とフェライトとにおける、樹脂溶液の含浸に関する特性を示す図である。ここで、図3(a)は、本実施形態に係る基体と、フェライトからなる基体とにおける吸水率、密度(見かけ密度、真密度)、空孔率の違いを示す表であり、図3(b)は、本実施形態に係る基体と、フェライトからなる基体とにおける吸水率の違いを示す図である。また、図4は、本実施形態に係る基体と、フェライトからなる基体とにおける表面近傍の断面を示す模式図である。図4(a)は、本実施形態に係る基体における表面近傍の断面を示す模式図であり、図4(b)は、フェライトからなる基体における表面近傍の断面を示す模式図である。図5は、本実施形態に係る基体における表面近傍の断面を説明するための拡大模式図である。 FIG. 3 is a diagram showing the characteristics of impregnation of the resin solution between the metal powder molded body and ferrite applied to the substrate of the electronic component according to the present embodiment. Here, FIG. 3A is a table showing the differences in water absorption rate, density (apparent density, true density), and porosity between the substrate according to the present embodiment and the substrate made of ferrite. b) is a diagram showing the difference in water absorption rate between the substrate according to the present embodiment and the substrate made of ferrite. Further, FIG. 4 is a schematic view showing a cross section in the vicinity of the surface of the substrate according to the present embodiment and the substrate made of ferrite. FIG. 4A is a schematic view showing a cross section near the surface of the substrate according to the present embodiment, and FIG. 4B is a schematic view showing a cross section near the surface of the substrate made of ferrite. FIG. 5 is an enlarged schematic view for explaining a cross section in the vicinity of the surface of the substrate according to the present embodiment.

上述したように、本実施形態に係る電子部品の基体に適用される金属粉の成形体は多孔質であるため、図3(a)、(b)に示すように、緻密な結晶構造を有する周知のフェライトと比較して、吸水率や空孔率が高い。具体的には、本実施形態に係る基体においては、真密度が7.6g/cmの基体が見かけ密度6.2g/cmのとき、吸水率が2%、空孔率が18.4%と高い値を示す。これに対して、フェライトからなる基体においては、真密度が5.35g/cmの基体が見かけ密度5.34g/cmのとき、吸水率が0.2%、空孔率が0.2%と、本実施形態に係る基体に比較して概ね1/10以下の低い値を示す。この状態を図4、図5に示す。 As described above, since the metal powder molded body applied to the substrate of the electronic component according to the present embodiment is porous, it has a dense crystal structure as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). Compared to well-known ferrite, it has a high water absorption rate and porosity. Specifically, in the substrate according to the present embodiment, when the substrate having a true density of 7.6 g / cm 3 has an apparent density of 6.2 g / cm 3 , the water absorption rate is 2% and the porosity is 18.4. It shows a high value of%. In contrast, in the substrate made of a ferrite, when true density of the density 5.34 g / cm 3 apparent substrate 5.35 g / cm 3, water absorption of 0.2%, a porosity of 0.2 %, Which is a low value of about 1/10 or less as compared with the substrate according to the present embodiment. This state is shown in FIGS. 4 and 5.

すなわち、図4(a)に示すように、本実施形態に係る基体においては、金属粉の表面に酸化膜が形成され、該酸化膜を介して金属粉同士が結合した構造を有しているため、基体表面から内部にかけて略同様に、金属粉間に比較的大きな空孔が存在する。これに対して、図4(b)に示すように、周知のフェライトからなる基体においては、緻密な結晶構造を有しているため、基体内部には空孔が略皆無の状態になっている。 That is, as shown in FIG. 4A, the substrate according to the present embodiment has a structure in which an oxide film is formed on the surface of the metal powder and the metal powders are bonded to each other via the oxide film. Therefore, relatively large pores exist between the metal powders from the surface of the substrate to the inside. On the other hand, as shown in FIG. 4B, the well-known ferrite substrate has a dense crystal structure, so that there are almost no pores inside the substrate. ..

上述した各実施形態においては、このような多孔質の基体に対して、電極形成工程に先立って、ガラス又は樹脂を含浸又はコーティングし、焼き付け処理又は硬化処理を施すことにより、空孔部分にガラス又は樹脂が浸透して充填され、少なくとも基体の表面又は表層における多孔質性が改善される。 In each of the above-described embodiments, such a porous substrate is impregnated or coated with glass or resin prior to the electrode forming step, and is subjected to a baking treatment or a curing treatment to form glass in the pores. Alternatively, the resin permeates and fills, and at least the porosity on the surface or surface layer of the substrate is improved.

次に、多孔質の基体に電極を形成した場合の固着強度について検証する。
図6は、第1の実施形態に係る電子部品の電極形成方法を適用した場合の固着強度の測定結果を示す表であり、図7は、第2の実施形態に係る電子部品の電極形成方法を適用した場合の固着強度の測定結果を示す表である。
Next, the adhesion strength when the electrode is formed on the porous substrate will be verified.
FIG. 6 is a table showing the measurement results of the fixing strength when the method for forming electrodes of electronic components according to the first embodiment is applied, and FIG. 7 is a table showing the measurement results of the fixing strength when the method for forming electrodes of electronic components according to the second embodiment is applied. It is a table which shows the measurement result of the sticking strength when is applied.

まず、固着強度の測定方法について説明する。
まず、基体の表面に電極を形成し、例えばガラス−エポキシ樹脂基板上に形成された銅箔からなる実装ランド上に、上記電極を半田接合することにより、基体を基板上にして実装した。ここで、基板上への基体の実装方法は、基板上にクリーム半田を印刷した後、実装ランド上に基体を搭載し、245℃に加熱してリフロー半田付け処理して実装した。そして、基体が実装された基板に対して、基体の側面から基板の上面に平行な方向に剥離強度試験装置の治具で基体を加圧して、その剥離強度を測定し、これを固着強度として評価を行った。
First, a method for measuring the adhesion strength will be described.
First, an electrode was formed on the surface of the substrate, and the substrate was mounted on the substrate by solder-bonding the electrode onto a mounting land made of copper foil formed on, for example, a glass-epoxy resin substrate. Here, as a method of mounting the substrate on the substrate, after printing cream solder on the substrate, the substrate was mounted on the mounting land, heated to 245 ° C., and reflow soldered for mounting. Then, the substrate is pressed with the jig of the peel strength tester in a direction parallel to the upper surface of the substrate from the side surface of the substrate with respect to the substrate on which the substrate is mounted, the peel strength is measured, and this is used as the fixing strength. Evaluation was performed.

次に、第1の実施形態に係る電極形成方法を適用して得られた電極を有する基体の固着強度について、図6を参照しながら検証する。ここでは、多孔質の基体として金属粉の成形体を適用した場合について、下地処理の有無と固着強度、及び、基体として金属粉の成形体を適用した場合とフェライトを適用した場合の固着強度について検証した。 Next, the adhesion strength of the substrate having the electrodes obtained by applying the electrode forming method according to the first embodiment will be verified with reference to FIG. Here, regarding the case where the metal powder molded body is applied as the porous substrate, the presence or absence of the base treatment and the fixing strength, and the fixing strength when the metal powder molded body is applied as the substrate and when ferrite is applied. Verified.

第1の実施形態に示したように、基体として金属粉の成形体を適用し、下地処理としてガラスコーティングを行い、銅(Cu)からなる電極材料を所定の焼成条件(焼き付け温度、焼き付け雰囲気;図6参照)で焼成して、焼成電極を形成した場合の、基体の固着強度は、291Nであった。これに対して、基体として金属粉の成形体を適用し、下地処理を行わず、銅(Cu)からなる電極材料を所定の焼成条件(焼き付け温度、焼き付け雰囲気;図6参照)で焼成して、焼成電極を形成した場合の、基体の固着強度は、54N、95Nであった。すなわち、本実施形態に係る基体は、下地処理を行わなかった場合に比較して、概ね3倍以上の固着強度を有していることが確認された。 As shown in the first embodiment, a metal powder molded body is applied as a substrate, glass coating is performed as a base treatment, and an electrode material made of copper (Cu) is subjected to predetermined firing conditions (baking temperature, firing atmosphere; When the firing electrode was formed by firing in FIG. 6), the adhesion strength of the substrate was 291N. On the other hand, a metal powder molded body is applied as a substrate, and an electrode material made of copper (Cu) is fired under predetermined firing conditions (baking temperature, firing atmosphere; see FIG. 6) without performing a base treatment. When the fired electrode was formed, the adhesion strength of the substrate was 54N and 95N. That is, it was confirmed that the substrate according to the present embodiment has about three times or more the fixing strength as compared with the case where the base treatment is not performed.

また、基体としてフェライトを適用し、銀(Ag)又は銅(Cu)からなる電極材料を所定の焼成条件(焼き付け温度、焼き付け雰囲気;図6参照)で焼成して、焼成電極を形成した場合の、基体の固着強度は、それぞれ、244N、336Nであった。すなわち、本実施形態に係る基体は、フェライトを適用した場合と比較して、同等程度の固着強度を有していることが確認された。 Further, when ferrite is applied as a substrate and an electrode material made of silver (Ag) or copper (Cu) is fired under predetermined firing conditions (baking temperature, firing atmosphere; see FIG. 6) to form a firing electrode. The fixing strength of the substrate was 244N and 336N, respectively. That is, it was confirmed that the substrate according to the present embodiment has the same degree of fixing strength as that in the case where ferrite is applied.

次に、第2の実施形態に係る電極形成方法を適用して得られた電極を有する基体の固着強度について、図7を参照しながら検証する。ここでも、多孔質の基体として金属粉の成形体を適用した場合について、下地処理の有無と固着強度、及び、基体として金属粉の成形体を適用した場合とフェライトを適用した場合の固着強度について検証した。 Next, the adhesion strength of the substrate having the electrodes obtained by applying the electrode forming method according to the second embodiment will be verified with reference to FIG. 7. Again, regarding the case where the metal powder molded body is applied as the porous substrate, the presence or absence of the base treatment and the fixing strength, and the fixing strength when the metal powder molded body is applied as the substrate and when ferrite is applied. Verified.

第2の実施形態に示したように、基体として金属粉の成形体を適用し、下地処理としてエポキシ樹脂の含浸を行い、リン青銅からなる板状部材を、エポキシ系樹脂の接着剤を用いて接着して、電極フレームを形成した場合の、基体の固着強度は、141Nであった。また、同様に、下地処理としてシリコン樹脂の含浸を行い、リン青銅からなる板状部材を、エポキシ系樹脂の接着剤を用いて接着して、電極フレームを形成した場合の、基体の固着強度は、139Nであった。これに対して、基体として金属粉の成形体を適用し、下地処理を行わず、リン青銅からなる板状部材を、エポキシ系樹脂の接着剤を用いて接着して、電極フレームを形成した場合の、基体の固着強度は、69Nであった。すなわち、本実施形態に係る基体は、下地処理を行わなかった場合に比較して、概ね2倍以上の固着強度を有していることが確認された。 As shown in the second embodiment, a metal powder molded body is applied as a substrate, an epoxy resin is impregnated as a base treatment, and a plate-shaped member made of phosphor bronze is coated with an epoxy resin adhesive. When bonded to form an electrode frame, the adhesion strength of the substrate was 141N. Similarly, when an electrode frame is formed by impregnating a plate-shaped member made of phosphor bronze with an epoxy resin adhesive as a base treatment, the adhesion strength of the substrate is It was 139N. On the other hand, when a metal powder molded body is applied as a substrate and a plate-shaped member made of phosphor bronze is adhered using an epoxy resin adhesive to form an electrode frame without performing a base treatment. The adhesion strength of the substrate was 69N. That is, it was confirmed that the substrate according to the present embodiment has approximately twice or more the fixing strength as compared with the case where the surface treatment is not performed.

また、基体としてフェライトを適用し、リン青銅からなる板状部材を、エポキシ系樹脂の接着剤を用いて接着して、電極フレームを形成した場合の、基体の固着強度は、142Nであった。すなわち、本実施形態に係る基体は、フェライトを適用した場合と比較して、同等程度の固着強度を有していることが確認された。 Further, when ferrite was applied as the substrate and a plate-shaped member made of phosphor bronze was adhered using an epoxy resin adhesive to form an electrode frame, the adhesion strength of the substrate was 142 N. That is, it was confirmed that the substrate according to the present embodiment has the same degree of fixing strength as that in the case where ferrite is applied.

このように、上述した各実施形態に係る電子部品の電極形成方法によれば、電極形成前に、基体にガラス又は樹脂材料を含浸又はコーティングし、焼き付け又は硬化させる下地処理を施すことにより、ガラスや樹脂材料が多孔質の基体の空孔部分に浸透して充填されるため、基体の表面又は表層の多孔質性が改善される。これにより、電極形成時に電極材料や接着剤(電極接合材料)等が基体に浸透してしまい、基体と電極の接合性や密着性が低下することを抑制することができるので、概ねフェライトを基体に適用した場合と同等の固着強度を実現することができ、このような電子部品を搭載した電子機器の信頼性の向上に寄与することができる。 As described above, according to the electrode forming method of the electronic component according to each of the above-described embodiments, the substrate is impregnated or coated with a glass or resin material and subjected to a base treatment of baking or curing before forming the electrode. And the resin material permeates and fills the pores of the porous substrate, so that the porosity of the surface or surface layer of the substrate is improved. As a result, it is possible to prevent the electrode material, adhesive (electrode bonding material), and the like from permeating into the substrate during electrode formation, and to prevent the substrate from deteriorating the bondability and adhesion between the substrate and the electrode. It is possible to realize the same adhesive strength as when applied to, and it is possible to contribute to the improvement of the reliability of the electronic device equipped with such an electronic component.

(適用例)
上述した各実施形態に示した電極形成方法は、例えば面実装型のインダクタ等の電子部品に良好に適用することができる。以下、適用例について簡単に説明する。なお、ここで示す構成は、本発明が適用可能な一例を示すものであって、これに何ら限定されるものではない。
(Application example)
The electrode forming method shown in each of the above-described embodiments can be satisfactorily applied to electronic components such as surface-mounted inductors. An application example will be briefly described below. The configuration shown here is an example to which the present invention can be applied, and is not limited thereto.

図8は、本発明に係る電極形成方法を適用可能な電子部品の第1の構成例(第1の適用例)を示す概略斜視図である。ここで、図8(a)は、本適用例に係る電子部品を上面側(上鍔部側)から見た概略斜視図であり、図8(b)は、本適用例に係る電子部品を底面側(下鍔部側)から見た概略斜視図である。図9は、第1の適用例に係る電子部品の内部構造を示す概略断面図である。ここで、図9は、図8に示したA−A線に沿った電子部品の断面を示す図である。 FIG. 8 is a schematic perspective view showing a first configuration example (first application example) of an electronic component to which the electrode forming method according to the present invention can be applied. Here, FIG. 8A is a schematic perspective view of the electronic component according to the present application example as viewed from the upper surface side (upper collar side), and FIG. 8B is a schematic perspective view of the electronic component according to the present application example. It is a schematic perspective view seen from the bottom surface side (lower collar side). FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the internal structure of the electronic component according to the first application example. Here, FIG. 9 is a diagram showing a cross section of the electronic component along the line AA shown in FIG.

第1の適用例に係る電子部品は、図8、図9に示すように、ドラムコア構造を有する巻線型インダクタ10であって、コア部材11と、該コア部材11に巻回されたコイル導線12と、コイル導線12の端部13A、13Bが接続される一対の端子電極16A、16Bと、上記巻回されたコイル導線12の外周を被覆する、磁性粉含有樹脂からなる外装部材18と、を有している。 As shown in FIGS. 8 and 9, the electronic component according to the first application example is a winding inductor 10 having a drum core structure, and is a core member 11 and a coil conductor 12 wound around the core member 11. , A pair of terminal electrodes 16A and 16B to which the ends 13A and 13B of the coil conductor 12 are connected, and an exterior member 18 made of a magnetic powder-containing resin that covers the outer periphery of the wound coil conductor 12. Have.

コア部材11は、図8(a)、図9に示すように、コイル導線12が巻回される柱状の巻芯部11aと、該巻芯部11aの図面上端に設けられた上鍔部11bと、巻芯部11aの図面下端に設けられた下鍔部11cとを備え、その外観はドラム型の形状を有している。ここで、コア部材11は、上述した各実施形態に示した基体に対応し、例えば、鉄(Fe)と、ケイ素(Si)と、鉄よりも酸化しやすい元素を含有する軟磁性合金の粒子群から構成される多孔質の成形体が適用される。特に、本適用例に係る巻線型インダクタにおいては、上記鉄よりも酸化しやすい元素として、クロム(Cr)を2〜15wt%含有した軟磁性合金粒子を使用することにより、優れたインダクタ特性(インダクタンス−直流重畳特性:L−Idc特性)を実現することができる。 As shown in FIGS. 8A and 9, the core member 11 includes a columnar winding core portion 11a around which the coil conductor 12 is wound, and an upper flange portion 11b provided at the upper end of the drawing of the winding core portion 11a. And a lower collar portion 11c provided at the lower end of the drawing of the winding core portion 11a, and the appearance thereof has a drum-shaped shape. Here, the core member 11 corresponds to the substrate shown in each of the above-described embodiments, and is, for example, particles of a soft magnetic alloy containing iron (Fe), silicon (Si), and an element that is more easily oxidized than iron. A porous molded body composed of groups is applied. In particular, in the winding inductor according to this application example, excellent inductor characteristics (inductance) are obtained by using soft magnetic alloy particles containing 2 to 15 wt% of chromium (Cr) as an element that is more easily oxidized than iron. -DC superimposition characteristics: L-Idc characteristics) can be realized.

また、図8(b)、図9に示すように、コア部材11の下鍔部11cの底面(外表面)11Bには、巻芯部11aの中心軸CLの延長線を挟んで一対の端子電極16A、16Bが形成されている。ここで、底面11Bには、一対の端子電極16A、16Bが形成される領域(電極形成領域)に、例えば図8(b)、図9に示すように、溝15A、15Bが形成されているものであってもよい。 Further, as shown in FIGS. 8B and 9, a pair of terminals are placed on the bottom surface (outer surface) 11B of the lower collar portion 11c of the core member 11 with an extension line of the central axis CL of the winding core portion 11a interposed therebetween. Electrodes 16A and 16B are formed. Here, on the bottom surface 11B, grooves 15A and 15B are formed in the region where the pair of terminal electrodes 16A and 16B are formed (electrode forming region), for example, as shown in FIGS. 8B and 9. It may be a thing.

コイル導線12は、図9に示すように、銅(Cu)や銀(Ag)等からなる金属線13の外周に、ポリウレタン樹脂やポリエステル樹脂等からなる絶縁被覆14が形成された被覆導線が適用される。そして、コイル導線12は、上記コア部材11の柱状の巻芯部11aの周囲に巻回されるとともに、図8(b)、図9に示すように、一方及び他方の端部13A、13Bが、絶縁被覆14が除去された状態で、上記端子電極16A、16Bにそれぞれ半田17A、17Bにより導電接続されている。 As shown in FIG. 9, the coil conductor 12 is a coated conductor in which an insulating coating 14 made of polyurethane resin, polyester resin or the like is formed on the outer periphery of a metal wire 13 made of copper (Cu), silver (Ag) or the like. Will be done. Then, the coil conductor 12 is wound around the columnar core portion 11a of the core member 11, and as shown in FIGS. 8B and 9, one and the other end portions 13A and 13B are formed. With the insulating coating 14 removed, the terminal electrodes 16A and 16B are electrically connected to the terminal electrodes 16A and 16B by solders 17A and 17B, respectively.

ここで、コイル導線12は、例えば直径0.1〜0.2mmの被覆導線が、コア部材11の巻芯部11aの周囲に3.5〜15.5回巻回されている。コイル導線12に適用される金属線13は、単線に限定されるものではなく2本以上の線や、撚り線であってもよい。また、該コイル導線12の金属線13は、円形の断面形状を有するものに限定されるものではなく、例えば長方形の断面形状を有する平角線や、正方形の断面形状を有する四角線等を用いることもできる。また、上記端子電極16A、16Bが溝15A、15Bの内部に設けられる場合には、コイル導線12の端部13A、13Bの直径が、溝15A、15Bの深さよりも大きくなるように設定されていることが好ましい。 Here, in the coil conductor 12, for example, a coated conductor having a diameter of 0.1 to 0.2 mm is wound around the core portion 11a of the core member 11 3.5 to 15.5 times. The metal wire 13 applied to the coil conductor 12 is not limited to a single wire, and may be two or more wires or a stranded wire. Further, the metal wire 13 of the coil conducting wire 12 is not limited to one having a circular cross-sectional shape, and for example, a flat wire having a rectangular cross-sectional shape, a square wire having a square cross-sectional shape, or the like may be used. You can also. When the terminal electrodes 16A and 16B are provided inside the grooves 15A and 15B, the diameters of the ends 13A and 13B of the coil conductor 12 are set to be larger than the depth of the grooves 15A and 15B. It is preferable to have.

一対の端子電極16A、16Bには、コイル導線12の両端部13A、13Bが、絶縁被覆14が除去された状態で、それぞれ半田17A、17Bにより導電接続されている。ここで、端子電極16A、16Bは、上述した各実施形態に示した電極に対応し、基体である多孔質のコア部材11の底面11Bに、上述した各実施形態に示した電極形成方法を用いて形成される。すなわち、端子電極16A、16Bの形成工程に先立って、ガラス又は樹脂を含浸又はコーティングし、焼き付け又は硬化させる下地処理を施すことにより、多孔質のコア部材11の空孔部分にガラス又は樹脂が浸透して充填され、少なくとも電極形成領域のコア部材11の表面又は表層における多孔質性が改善される。ここで、端子電極16A、16Bは、上述したように、コア部材11の電極形背領域に電極ペーストを塗布し、所定の温度で焼成して得られる焼成電極や、導電性の板状部材を接着剤を用いて接着する電極フレーム、電極材料をスパッタリングや蒸着により薄膜形成して得られる電極膜を適用することができる。 Both ends 13A and 13B of the coil conducting wire 12 are conductively connected to the pair of terminal electrodes 16A and 16B by solders 17A and 17B, respectively, with the insulating coating 14 removed. Here, the terminal electrodes 16A and 16B correspond to the electrodes shown in the above-described embodiments, and the electrode forming method shown in each of the above-described embodiments is used on the bottom surface 11B of the porous core member 11 which is the substrate. Is formed. That is, prior to the forming steps of the terminal electrodes 16A and 16B, the glass or resin permeates the pores of the porous core member 11 by performing a base treatment of impregnating or coating the glass or resin and baking or curing the glass or resin. At least on the surface or surface layer of the core member 11 in the electrode forming region, the porosity is improved. Here, as described above, the terminal electrodes 16A and 16B are a fired electrode obtained by applying an electrode paste to the electrode-shaped spine region of the core member 11 and firing at a predetermined temperature, or a conductive plate-shaped member. An electrode frame to be bonded using an adhesive and an electrode film obtained by forming a thin film of an electrode material by sputtering or vapor deposition can be applied.

なお、端子電極16A、16Bとして、銅(Cu)や銀(Ag)の焼成電極を適用する場合、又は、純銅、リン青銅からなる電極フレームを適用する場合にあっては、コア部材11として、例えば粒度6〜23μmの金属粉(例えばアトミクス株式会社製の4.5Cr3SiFe)を成形(例えば6.0〜6.6g/cm→理論空孔率22〜13%)、研削、焼き付けしたものを用いることにより、上述した作用効果の検証に示したように、コア部材11と端子電極16A、16Bとの高い固着強度を実現することができる。 When a fired electrode of copper (Cu) or silver (Ag) is applied as the terminal electrodes 16A and 16B, or when an electrode frame made of pure copper or phosphor bronze is applied, the core member 11 is used. For example, a metal powder having a particle size of 6 to 23 μm (for example, 4.5Cr3SiFe manufactured by Atomics Co., Ltd.) is molded (for example, 6.0 to 6.6 g / cm 3theoretical porosity 22 to 13%), ground, and baked. As a result, as shown in the above-mentioned verification of the action and effect, it is possible to realize a high adhesion strength between the core member 11 and the terminal electrodes 16A and 16B.

図10は、本発明に係る電極形成方法を適用可能な電子部品の第2の構成例(第2の適用例)を示す概略構成図である。ここで、図10(a)は、第1の適用例に係る電子部品の概略斜視図であり、図10(b)は、図10(a)に示したB−B線に沿った電子部品の断面を示す図である。図11は、第2の適用例に係る電子部品の分解斜視図である。 FIG. 10 is a schematic configuration diagram showing a second configuration example (second application example) of an electronic component to which the electrode forming method according to the present invention can be applied. Here, FIG. 10A is a schematic perspective view of the electronic component according to the first application example, and FIG. 10B is an electronic component along the line BB shown in FIG. 10A. It is a figure which shows the cross section of. FIG. 11 is an exploded perspective view of the electronic component according to the second application example.

第2の適用例に係る電子部品は、図10、図11に示すように、積層型インダクタ20であって、直方体形状の部品本体21と、該部品本体21の長さ方向の両端部に設けられた一対の端子電極24、25と、を有している。 As shown in FIGS. 10 and 11, the electronic component according to the second application example is a laminated inductor 20, which is provided at a rectangular parallelepiped component body 21 and both ends of the component body 21 in the length direction. It has a pair of terminal electrodes 24, 25 and the like.

部品本体21は、図10(a)、(b)に示すように、直方体形状の磁性体部22と、該磁性体部22によって被覆された螺旋状のコイル部23と、を有しており、該コイル部23の一端は端子電極24に接続され、他端は端子電極25に接続されている。 As shown in FIGS. 10A and 10B, the component main body 21 has a rectangular parallelepiped-shaped magnetic material portion 22 and a spiral coil portion 23 covered with the magnetic material portion 22. One end of the coil portion 23 is connected to the terminal electrode 24, and the other end is connected to the terminal electrode 25.

磁性体部22は、図11に示すように、例えば計20層の磁性体層ML1〜ML6を積層して一体化した構造を有している。ここで、磁性体部22は、上述した各実施形態に示した基体に対応し、鉄(Fe)と、ケイ素(Si)と、クロム(Cr)を含有する軟磁性合金の粒子群から構成される多孔質の成形体が適用される。 As shown in FIG. 11, the magnetic material portion 22 has a structure in which, for example, a total of 20 magnetic material layers ML1 to ML6 are laminated and integrated. Here, the magnetic material portion 22 corresponds to the substrate shown in each of the above-described embodiments, and is composed of a particle group of a soft magnetic alloy containing iron (Fe), silicon (Si), and chromium (Cr). A porous molded body is applied.

また、コイル部23は、例えば銀(Ag)粒子群を主体として構成され、図11に示すように、複数のコイルセグメントCS1〜CS5と、該コイルセグメントCS1〜CS5を接続する中継セグメントIS1〜IS4とが、螺旋状に一体化してコイル構造を有している。 Further, the coil portion 23 is mainly composed of, for example, a silver (Ag) particle group, and as shown in FIG. 11, the coil portions CS1 to CS5 and the relay segments IS1 to IS4 connecting the coil segments CS1 to CS5. And have a coil structure integrated in a spiral shape.

各コイルセグメントCS1〜CS4は帯状を有し、図11に示すように、それぞれ所定の平面パターンを有している。また、各中継セグメントIS1〜IS4は磁性体層ML1〜ML4を貫通する柱状を有している。そして、図10(b)、図11に示すように、最上層のコイルセグメントCS1は、連続的に形成された引出部分LS1を介して端子電極24に接続され、また、最下層のコイルセグメントCS5は、連続的に形成された引出部分LS2を介して端子電極25に接続されている。 Each coil segment CS1 to CS4 has a strip shape, and as shown in FIG. 11, each has a predetermined plane pattern. Further, each relay segment IS1 to IS4 has a columnar shape penetrating the magnetic material layers ML1 to ML4. Then, as shown in FIGS. 10B and 11, the coil segment CS1 in the uppermost layer is connected to the terminal electrode 24 via the continuously formed extraction portion LS1, and the coil segment CS5 in the lowermost layer is also connected. Is connected to the terminal electrode 25 via a continuously formed drawer portion LS2.

一対の端子電極24、25は、コイル部23と同様に、例えば銀(Ag)粒子群を主体として構成され、図10(a)、(b)に示すように、部品本体21の長さ方向の各端面と該端面近傍の4側面に形成されている。ここで、端子電極24、25は、上述した各実施形態に示した電極に対応し、基体である多孔質の部品本体21の長さ方向の両端部に、上述した各実施形態に示した電極形成方法を用いて形成される。すなわち、端子電極24、25の形成工程に先立って、ガラス又は樹脂を含浸又はコーティングし、焼き付け又は硬化させる下地処理を施すことにより、多孔質の部品本体21の空孔部分にガラス又は樹脂が浸透して充填され、少なくとも電極形成領域の部品本体21の表面又は表層における多孔質性が改善される。 Similar to the coil portion 23, the pair of terminal electrodes 24 and 25 are mainly composed of, for example, a silver (Ag) particle group, and as shown in FIGS. 10A and 10B, the length direction of the component body 21 It is formed on each end face of the above and four side surfaces in the vicinity of the end face. Here, the terminal electrodes 24 and 25 correspond to the electrodes shown in the above-described embodiments, and the electrodes shown in the above-described embodiments are attached to both ends of the porous component body 21 which is the substrate in the length direction. It is formed using a forming method. That is, prior to the forming steps of the terminal electrodes 24 and 25, the glass or resin permeates the pores of the porous component body 21 by performing a base treatment of impregnating or coating the glass or resin and baking or curing the glass or resin. At least on the surface or surface layer of the component body 21 in the electrode forming region, the porosity is improved.

以上のように、上述した各適用例によれば、回路基板上への面実装が可能な各種のインダクタにおいて、電極形成時に電極材料又は電極接合材料又は接着剤等が基体であるコア部材や部品本体に浸透してしまい、端子電極の接合性や密着性が低下することを抑制することができる。したがって、インダクタの基体と端子電極との高い固着強度を実現することができるので、このようなインダクタを搭載した電子機器の製造歩留まりや信頼性の向上に寄与することができる。 As described above, according to the above-mentioned application examples, in various inductors that can be surface-mounted on a circuit board, core members and components in which an electrode material, an electrode bonding material, an adhesive, or the like is a substrate at the time of electrode formation. It is possible to prevent the terminal electrodes from penetrating into the main body and deteriorating the bondability and adhesion of the terminal electrodes. Therefore, since it is possible to realize a high adhesion strength between the inductor substrate and the terminal electrode, it is possible to contribute to the improvement of the manufacturing yield and reliability of the electronic device equipped with such an inductor.

なお、上述した適用例においては、インダクタの端子電極に本発明を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明に係る電子部品の電極形成方法は、多孔質の基体を有する電子部品に、電極材料や電極接合材料を用いて電極を形成するものであれば、他の電子部品であっても良好に適用することができる。 In the above-mentioned application example, the case where the present invention is applied to the terminal electrode of the inductor has been described, but the present invention is not limited to this. That is, the method for forming an electrode of an electronic component according to the present invention may be any other electronic component as long as the electrode is formed on the electronic component having a porous substrate by using an electrode material or an electrode bonding material. It can be applied well.

本発明は、回路基板上への面実装が可能な小型化されたインダクタ等の電子部品に適用して好適である。特に、多孔質の基体を有する電子部品において、当該基体に良好に電極を形成することができ極めて有効である。 The present invention is suitable for application to electronic components such as miniaturized inductors that can be surface-mounted on a circuit board. In particular, in an electronic component having a porous substrate, an electrode can be satisfactorily formed on the substrate, which is extremely effective.

10 巻線型インダクタ
11 コア部材
11a 巻芯部
11b 上鍔部
11c 下鍔部
12 コイル導線
16A、16B 端子電極
18 外装部材
20 積層型インダクタ
21 部品本体
22 磁性体部
23 コイル部
24、25 端子電極
S101 ガラススラリー準備工程
S102 ガラスコーティング工程
S103 脱バインダ工程
S104 ガラス焼き付け工程
S105 電極形成工程
S201 樹脂溶液準備工程
S202 樹脂含浸工程
S203 乾燥工程
S204 硬化工程
S205 電極形成工程
10 Winding type inductor 11 Core member 11a Winding core part 11b Upper collar part 11c Lower collar part 12 Coil conductor 16A, 16B Terminal electrode 18 Exterior member 20 Laminated inductor 21 Part body 22 Magnetic material part 23 Coil part 24, 25 Terminal electrode S101 Glass slurry preparation process S102 Glass coating process S103 Binder removal process S104 Glass baking process S105 Electrode forming process S201 Resin solution preparation process S202 Resin impregnation process S203 Drying process S204 Curing process S205 Electrode forming process

Claims (4)

多孔質の基体を有する電子部品であって、
前記基体はその表層にガラス材料よりなる層を有するとともに、前記ガラス材料よりなる層の一部が前記多孔質の基体の空孔部分に含浸されており、かつ、前記ガラス材料よりなる層が形成された前記多孔質の基体の表面の電極形成領域となるガラス層に電極材料もしくは前記電極材料と電極接合材料を含む電極を形成していること、及び、
前記多孔質の基体は軟磁性合金の粒子からなり、
前記空孔部分は前記多孔質の基体の粒子間の空孔部分であること、並びに、
前記基体の空孔部分は、吸水率や空孔率がフェライトからなる基体の吸水率や空孔率を上回る空孔部分であること、さらに、
前記電極は、前記電極材料もしくは前記電極材料と前記電極接合材料を焼成処理することにより形成されていること
を特徴とする電子部品。
An electronic component with a porous substrate
The substrate has a layer made of a glass material on its surface layer, a part of the layer made of the glass material is impregnated in a pore portion of the porous substrate, and a layer made of the glass material is formed. An electrode material or an electrode containing the electrode material and an electrode bonding material is formed in a glass layer serving as an electrode forming region on the surface of the porous substrate.
The porous substrate is composed of soft magnetic alloy particles.
The pores are pores between the particles of the porous substrate, and
The porosity of the substrate is a porosity whose water absorption rate and porosity exceed the water absorption rate and porosity of the substrate made of ferrite.
The electrode is an electronic component characterized in that it is formed by firing the electrode material or the electrode material and the electrode bonding material.
前記吸水率や空孔率がフェライトからなる基体の吸水率や空孔率を上回る基体の空孔部分は、吸水率が1.0%以上、又は、空孔率が10〜25%の金属粉の成形体であることを特徴とする請求項1記載の電子部品。 The pores of the substrate whose water absorption rate and porosity exceed the water absorption rate and porosity of the substrate made of ferrite are metal powders having a water absorption rate of 1.0% or more or a porosity of 10 to 25%. The electronic component according to claim 1, wherein the electronic component is a molded body of the above. 前記電子部品は、鉄、ケイ素、及び、鉄よりも酸化しやすい元素を含有する軟磁性合金の粒子群から構成され、各軟磁性合金粒子の表面には当該軟磁性合金粒子を酸化して形成した酸化層が生成され、当該酸化層は当該軟磁性合金粒子に比較して鉄より酸化しやすい元素を多く含み、粒子同士は前記酸化層を介して結合されていることを特徴とする請求項1乃至2に記載の電子部品。 The electronic component is composed of iron, silicon, and a group of soft magnetic alloy particles containing an element that is more easily oxidized than iron, and is formed by oxidizing the soft magnetic alloy particles on the surface of each soft magnetic alloy particle. The oxide layer is formed, and the oxide layer contains more elements that are more easily oxidized than iron as compared with the soft magnetic alloy particles, and the particles are bonded to each other via the oxide layer. The electronic component according to 1 or 2. 前記鉄よりも酸化しやすい元素は、クロムであって、
前記軟磁性合金は、少なくとも、クロムが2〜15wt%含有することを特徴とする請求項3記載の電子部品。
The element that is more easily oxidized than iron is chromium.
The electronic component according to claim 3, wherein the soft magnetic alloy contains at least 2 to 15 wt% of chromium.
JP2020112757A 2017-11-20 2020-06-30 Electronic components Active JP6922044B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020112757A JP6922044B2 (en) 2017-11-20 2020-06-30 Electronic components

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017222976A JP6748626B2 (en) 2017-11-20 2017-11-20 Electronic parts
JP2020112757A JP6922044B2 (en) 2017-11-20 2020-06-30 Electronic components

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017222976A Division JP6748626B2 (en) 2017-11-20 2017-11-20 Electronic parts

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020170860A JP2020170860A (en) 2020-10-15
JP6922044B2 true JP6922044B2 (en) 2021-08-18

Family

ID=72746052

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020112757A Active JP6922044B2 (en) 2017-11-20 2020-06-30 Electronic components

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6922044B2 (en)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6025114U (en) * 1983-07-25 1985-02-20 株式会社トーキン inductance element
JP2001011563A (en) * 1999-06-29 2001-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacturing method of composite magnetic material
JP4794929B2 (en) * 2005-07-15 2011-10-19 東光株式会社 Manufacturing method of multilayer inductor for high current
JP5099480B2 (en) * 2007-02-09 2012-12-19 日立金属株式会社 Soft magnetic metal powder, green compact, and method for producing soft magnetic metal powder
JP4872137B2 (en) * 2009-07-02 2012-02-08 Tdk株式会社 Coil parts
JP5341657B2 (en) * 2009-07-31 2013-11-13 株式会社日立産機システム Powder magnetic core molded body and rotating electric machine equipped with the molded body

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020170860A (en) 2020-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6034553B2 (en) Electrode electrode forming method
JP5769549B2 (en) Electronic component and manufacturing method thereof
US11752549B2 (en) Coil component
KR101370959B1 (en) Wire-wound inductor
CN105428001B (en) Chip electronic component and its manufacture method
US10290415B2 (en) Electronic component and manufacturing method therefor
KR20000035606A (en) Electric device chip and method for manufacturing the same
JP2001244116A (en) Electronic component and method of manufacturing the same
JP2012238840A (en) Multilayer inductor
JP2012238841A (en) Magnetic material and coil component
JP2013084701A (en) Electronic component and method of manufacturing the same
JP7177893B2 (en) electronic components
JP2008218950A (en) Surface-mounting coil component and method for manufacturing surface-mounting coil component
JP6748626B2 (en) Electronic parts
JP6922044B2 (en) Electronic components
JP6924881B2 (en) Electronic components
JP6250125B2 (en) Electronic components
JP2009158735A (en) Surface-mounting coil component
JPH0563928B2 (en)
JP2009010235A (en) Surface mount coil component
HK1182218B (en) Electronic component and manufacturing method thereof
KR101898834B1 (en) Metal magnetic materials and electronic parts
JPH1012443A (en) High current type multilayer chip inductor
JPH03161915A (en) Lc composite component

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200707

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210705

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210728

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6922044

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250