JP6923148B2 - 通信方法、搬送システム及び通信デバイス - Google Patents

Description

本発明は、搬送システムの通信方法、搬送システム及び通信デバイスに関する。

半導体ウエハ等を搬送する天井走行台車と、半導体ウエハ等を処理する半導体製造装置と、を備えるシステムが開示されている（例えば、特許文献１、２参照）。天井走行台車は、半導体製造装置に設けられた載置ポートの上方で走行を停止し、載置ポートとの間で半導体ウエハ等を移載する。天井走行台車の停止位置の上方には、半導体製造装置に接続されている光通信端末が設けられている。天井走行台車は、走行を停止すると、半導体ウエハ等を移載するための通信（インターロック処理を行うための通信、いわゆるインターロック通信）を光通信端末と実行する。これにより、例えば、天井走行台車より半導体ウエハ等を載置ポートに移載する際、特定の条件が成立しないと次の工程には移行しないようにでき、天井走行台車から載置ポートへの半導体ウエハ等の移載を安全かつ確実に行うことができる。

国際公開第２０１１／１５５０４０号 特許第４４７１１１８号公報

上記のシステムにおけるインターロック通信は、光通信により実行される。光通信では、天井走行台車及び光通信端末の間で光軸を合わせる必要がある。そのため、光軸のずれによる通信不良が発生する可能性がある。

そこで、本発明者らは、光通信に代えて、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）等の無線通信を利用することを検討した。具体的には、半導体製造装置に通信デバイスが設置され、天井走行台車が、通信デバイスとの無線通信によりインターロック通信を実行する。無線通信によれば、光軸を合わせる必要がないため、光軸のずれによる通信不良が解消される。

しかし、無線通信では、周囲環境等による電波の反射等により通信障害が発生する可能性があり、無線通信を冗長化する必要がある。

本発明では、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる通信方法等を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信方法は、搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムの通信方法であって、前記複数の通信デバイスは、予め互いに通信可能に接続されており、前記通信方法は、（ａ）前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの特定の通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信するステップと、（ｂ）前記特定の通信デバイスが、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信するステップと、を含み、前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である。

これによれば、特定の通信デバイスは、通信障害により特定の搬送台車から第１の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路で第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

また、前記複数の通信デバイスは、互いに有線ケーブルで接続されていてもよい。

これによれば、複数の通信デバイス間の通信を、無線接続の場合と比べて安定させることができる。

また、前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信するための時間を特定する時間情報を含み、前記（ｂ）では、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記時間情報によって特定される時間に前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信してもよい。

これによれば、他の通信デバイスのそれぞれが同じタイミングで第１の信号を特定の通信デバイスに送信することを抑制できるため、コリジョンの発生を抑制できる。

また、前記（ｂ）では、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信し、前記通信方法は、さらに、（ｃ）前記特定の通信デバイスが、前記他の通信デバイスを介する通信経路で、前記第１の信号に対する応答信号である第２の信号を前記特定の搬送台車に送信するステップを含んでいてもよい。

これによれば、特定の搬送台車は、通信障害により特定の通信デバイスから第２の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路で第２の信号を間接的に受信できる。

また、前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する際の電波強度を含み、前記（ｂ）では、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記電波強度を含む前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信し、前記（ｃ）では、前記特定の通信デバイスが、前記他の通信デバイスのうち、前記他の通信デバイスのそれぞれから送信された前記第１の信号に含まれる前記電波強度のうちの最も強い電波強度に対応する通信デバイスを介する通信経路で、前記第２の信号を前記特定の搬送台車に送信してもよい。

これによれば、他の通信デバイスを介する通信経路のうち、電波強度の最も強い通信経路で第２の信号が送信されるため、特定の搬送台車と特定の通信デバイスとの通信が成功する可能性を高めることができる。

また、本発明の一態様に係る搬送システムは、搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムであって、前記複数の通信デバイスは、予め互いに通信可能に接続されており、前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車は、前記複数の通信デバイスのうちの特定の通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信し、前記特定の通信デバイスは、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である。

これによれば、特定の通信デバイスは、通信障害により特定の搬送台車から第１の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路で第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

また、前記複数の通信デバイスは、互いに有線ケーブルで接続されていてもよい。

これによれば、複数の通信デバイス間の通信を、無線接続の場合と比べて安定させることができる。

また、前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信するための時間を特定する時間情報を含み、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記時間情報によって特定される時間に前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信することで、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信してもよい。

これによれば、他の通信デバイスのそれぞれが同じタイミングで第１の信号を特定の通信デバイスに送信することを抑制できるため、コリジョンの発生を抑制できる。

また、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信することで、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で、前記第１の信号に対する応答信号である第２の信号を前記特定の搬送台車に送信してもよい。

これによれば、特定の搬送台車は、通信障害により特定の通信デバイスから第２の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路で第２の信号を間接的に受信できる。

また、前記複数の通信デバイスは、３台以上のデバイスであり、前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する際の電波強度を含み、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記電波強度を含む前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信することで、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスのうち、前記他の通信デバイスのそれぞれから送信された前記第１の信号に含まれる前記電波強度のうちの最も強い電波強度に対応する通信デバイスを介する通信経路で、前記第２の信号を前記特定の搬送台車に送信してもよい。

これによれば、他の通信デバイスを介する通信経路のうち、電波強度の最も強い通信経路で第２の信号が送信されるため、特定の搬送台車と特定の通信デバイスとの通信が成功する可能性を高めることができる。

また、本発明の一態様に係る通信デバイスは、搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムにおける通信デバイスであって、前記複数の通信デバイスは、予め互いに通信可能に接続されており、前記通信デバイスは、前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの前記通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信したときに、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である。

これによれば、通信デバイスは、通信障害により特定の搬送台車から第１の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路で第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

また、前記複数の通信デバイスは、互いに有線ケーブルで接続されていてもよい。

これによれば、複数の通信デバイス間の通信を、無線接続の場合と比べて安定させることができる。

また、前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが前記第１の信号を前記通信デバイスに送信するための時間を特定する時間情報を含み、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記時間情報によって特定される時間に前記第１の信号を前記通信デバイスに送信することで、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信してもよい。

これによれば、他の通信デバイスのそれぞれが同じタイミングで第１の信号を通信デバイスに送信することを抑制できるため、コリジョンの発生を抑制できる。

また、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記第１の信号を前記通信デバイスに送信することで、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で、前記第１の信号に対する応答信号である第２の信号を前記特定の搬送台車に送信してもよい。

これによれば、特定の搬送台車は、通信障害により通信デバイスから第２の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路で第２の信号を間接的に受信できる。

また、前記複数の通信デバイスは、３台以上のデバイスであり、前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する際の電波強度を含み、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記電波強度を含む前記第１の信号を前記通信デバイスに送信することで、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスのうち、前記他の通信デバイスのそれぞれから送信された前記第１の信号に含まれる前記電波強度のうちの最も強い電波強度に対応する通信デバイスを介する通信経路で、前記第２の信号を前記特定の搬送台車に送信してもよい。

これによれば、他の通信デバイスを介する通信経路のうち、電波強度の最も強い通信経路で第２の信号が送信されるため、特定の搬送台車と通信デバイスとの通信が成功する可能性を高めることができる。

また、前記通信デバイスは、前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの前記通信デバイスとは異なる特定の通信デバイスを最終送信先とする前記第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信したときに、前記特定の搬送台車から受信した前記第１の信号を前記特定の通信デバイスへ送信してもよい。

これによれば、通信デバイスは、特定の搬送台車から自身宛でない第１の信号を受信した場合には、当該第１の信号を特定の通信デバイスへ送信（転送）する。つまり、特定の通信デバイスは、通信障害により特定の搬送台車から第１の信号を直接的に受信できなくても、通信デバイスを介する通信経路で第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

また、本発明の一態様に係る通信方法は、搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムの通信方法であって、前記通信方法は、（ｄ）前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの特定の通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスと前記複数の搬送台車のうちの他の搬送台車との少なくともいずれかに送信するステップと、（ｅ）前記特定の通信デバイスが、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路及び前記他の搬送台車を介する通信経路のうちの少なくともいずれかにより前記第１の信号を受信するステップと、を含み、前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である。

これによれば、特定の通信デバイスは、通信障害により特定の搬送台車から第１の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイスを介する通信経路及び他の搬送台車を介する通信経路のうちの少なくともいずれかで第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

本発明に係る通信方法等によれば、搬送システムのインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

図１は、実施の形態１に係る搬送システムの概要を示す外観図である。 図２は、実施の形態１に係る搬送システム及び半導体製造装置の機能構成を示すブロック図である。 図３は、実施の形態１に係る搬送システムの適用例を示す図である。 図４は、実施の形態１に係る搬送システムの通信方法の第１例を示すシーケンス図である。 図５は、実施の形態１に係る搬送システムの通信方法の第２例を示すシーケンス図である。 図６は、実施の形態１に係る搬送システムの通信方法の第３例を示すシーケンス図である。

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

（実施の形態１）
以下、実施の形態１について、図１から図６を用いて説明する。

図１は、実施の形態１に係る搬送システム１の概要を示す外観図である。なお、図１は模式図であり、各構成の実際のサイズは図１に示されるものに限らない。

搬送システム１は、搬送物を移載するためのシステムであり、搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、複数の搬送台車が走行するための走行ルート２と、を備える。なお、図１には、複数の搬送台車のうちの１つの搬送台車３０を示している。また、図１には、半導体製造装置５０も示している。本実施の形態では、半導体製造装置５０は、搬送システム１の構成要素ではないが、搬送システム１の構成要素として含まれていてもよい。

本実施の形態では、設備は、載置ポートである。図１には、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄ及び複数の載置ポート２０ａ〜２０ｄを示している。通信デバイス１０ａと載置ポート２０ａとは一対一に接続され、通信デバイス１０ｂと載置ポート２０ｂとは一対一に接続され、通信デバイス１０ｃと載置ポート２０ｃとは一対一に接続され、通信デバイス１０ｄと載置ポート２０ｄとは一対一に接続されている。なお、以下では、複数の通信デバイスのそれぞれを通信デバイス１０とも呼び、複数の載置ポートのそれぞれを載置ポート２０とも呼ぶ。本実施の形態では、複数の通信デバイス１０は、３台以上の通信デバイス１０である。

図１に示される半導体製造装置５０は、半導体ウエハを加工する装置であり、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）１００を搬入及び搬出するためのＦＯＵＰ搬入搬出口５１を備える。なお、ＦＯＵＰ１００は、搬送システム１により搬送される搬送物に相当する。

載置ポート２０は、搬送物であるＦＯＵＰ１００が載置されるポートであり、半導体製造装置５０のＦＯＵＰ搬入搬出口５１付近に配置されて、半導体製造装置５０との間でＦＯＵＰ１００を受け渡しする。また、載置ポート２０は、搬送台車３０との間で、ＦＯＵＰ１００を移載する。例えば、載置ポート２０は、有線ケーブルを介して、通信デバイス１０との間で信号を送受信する。ここでは、１つの半導体製造装置５０に対して、例えば４つの載置ポート２０が設けられており、各載置ポート２０は、１つの通信デバイス１０と一対一に接続されている。このため、１つの半導体製造装置５０と複数（ここでは４つ）の通信デバイス１０とが複数（ここでは４つ）の載置ポート２０を介して接続されることになる。

搬送台車３０は、載置ポート２０との間でＦＯＵＰ１００を移載し、走行ルート２に沿って搬送する台車であり、内部にＦＯＵＰ１００を把持する把持部３１を備える。把持部３１は、例えば昇降可能に設けられており、ＦＯＵＰ１００を載置ポート２０との間で移載する際には、載置ポート２０付近まで降下される。なお、把持部３１は、水平方向に移動可能に設けられていてもよい。

通信デバイス１０は、載置ポート２０と搬送台車３０との間の搬送物を移載するために通信される信号、具体的には、インターロック処理に係る信号（第１の信号、及び、第１の信号に対する応答信号である第２の信号）の送受信を仲介する通信装置である。第１の信号及び第２の信号は、例えばパケットである。インターロック処理とは、特定の条件が成立しないと他の動作ができなくなるような処理である。搬送システム１においてインターロック処理が行われることで、搬送台車３０よりＦＯＵＰ１００を載置ポート２０に移載する際に、特定の条件が成立しないと次の工程には移行しないようにできる。特定の条件とは、例えば、特定の搬送台車３０が、ＦＯＵＰ１００の移載を行いたい特定の載置ポート２０へ現在移載を行える状態にあるかを確認させる指示（インターロック処理の実行コマンド）を含む第１の信号を送信し、特定の載置ポート２０から現在移載を行える状態にあることを示す応答（インターロック処理の実行コマンドに対する応答）を含む第２の信号を受信できたといった条件である。これにより、特定の搬送台車３０から特定の載置ポート２０へのＦＯＵＰ１００の移載を安全かつ確実に行うことができる。通信デバイス１０は、搬送台車３０と載置ポート２０との間の第１の信号及び第２の信号のやり取りを仲介する。例えば通信デバイス１０は、有線ケーブルを介して、載置ポート２０との間でインターロック処理に係る第１の信号及び第２の信号を送受信する。なお、通信デバイス１０と載置ポート２０とは、無線で当該信号の送受信をしてもよい。例えば、通信デバイス１０は、半導体製造装置５０の床側に設置されている。

また、通信デバイス１０は、搬送台車３０との間でインターロック処理に係る第１の信号及び第２の信号を無線で送受信する。なお、通信デバイス１０と搬送台車３０との通信は、アクセスポイント等を介して間接的に行われてもよいし、アクセスポイント等を介さずに直接的に行われてもよい。

また、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄは、予め互いに通信可能に接続されており、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄ間でインターロック処理に係る第１の信号及び第２の信号を送受信する。例えば、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄは、互いに有線ケーブルで接続されている。例えば、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄ間は、有線ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、ＲＳ２３２Ｃ又はＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）等により接続されている。これにより、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄ間の通信を、無線接続の場合と比べて安定させることができる。なお、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄは、互いに無線で接続されていてもよい。

次に、本実施の形態の搬送システム１及び半導体製造装置５０の機能構成について説明する。

図２は、実施の形態１に係る搬送システム１及び半導体製造装置５０の機能構成を示すブロック図である。

まず、図２に示される搬送台車３０の機能構成について説明する。図２に示されるように、搬送台車３０は、機能的には、台車制御部３２及び台車通信部３３を含む。

台車通信部３３は、通信デバイス１０とネットワークを介して通信する通信インタフェースである。台車制御部３２は、通信デバイス１０に一対一で接続されている設備（載置ポート２０）との間で搬送物を移載するために通信される信号を台車通信部３３により通信デバイス１０へ送信する。具体的には、台車制御部３２は、載置ポート２０と搬送台車３０との間で搬送物を移載するためのインターロック処理の実行コマンドを含む第１の信号を台車通信部３３により通信デバイス１０へ送信する。台車通信部３３は、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄに対して第１の信号を例えばブロードキャストにより送信する。なお、台車通信部３３は、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄのそれぞれに対して第１の信号をユニキャストにより送信してもよい。また、台車制御部３２は、上記処理の実行結果であって、第１の信号に対する応答信号である第２の信号を台車通信部３３により受信する。

台車制御部３２は、台車通信部３３を制御すると共に、台車通信部３３を介して外部（通信デバイス）と通信することで搬送台車３０を制御する処理部である。具体的には、台車制御部３２は、第１の信号を台車通信部３３に送信し、そして、台車通信部３３から第２の信号を受信して（つまり、特定の載置ポート２０が現在移載を行える状態にあるか否かを確認して）、搬送台車３０の動作を制御する。

次に、図２に示される載置ポート２０の機能構成について説明する。図２に示されるように、載置ポート２０は、機能的には、ポート制御部２２とインタフェース２１とを含む。

ポート制御部２２は、インタフェース２１から第１の信号を受信して、載置ポート２０が現在移載を行える状態にあるか否かを確認する。また、ポート制御部２２は、載置ポート２０が現在移載を行える状態にあるか否かを示す第２の信号をインタフェース２１に送信する。

インタフェース２１は、信号を入出力する入出力部であって、例えば、パラレルケーブルが備えるコネクタ（Ｄｓｕｂ−２５ｐｉｎ等）を接続するためのレセプタクルを含む。例えば、インタフェース２１は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する。インタフェース２１が入出力する信号は、例えば、セントロニクス、ＩＥＥＥ１２８４通信規格などの方式に適合するものである。

次に、図２に示される通信デバイス１０の機能構成について説明する。図２に示されるように、通信デバイス１０は、機能的には、インタフェース１１、第１通信部１２、制御部１３及び第２通信部１４を含む。

インタフェース１１は、載置ポート２０との間で通信するインタフェースであって、例えば、片方向で８ｂｉｔ（双方向の合計で１６ｂｉｔ）のＩＯポートを含み、パラレルケーブルが接続される。インタフェース１１の通信規格は、インタフェース２１と同じものが用いられる。例えば、通信デバイス１０ａに着目すると、通信デバイス１０ａのインタフェース１１と載置ポート２０ａのインタフェース２１とが接続され、通信デバイス１０ａは、搬送台車３０と載置ポート２０ａとの間の第１の信号及び第２の信号のやり取りを仲介する。通信デバイス１０ｂ〜１０ｄについても同様である。このようにして、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄは、複数の載置ポート２０ａ〜２０ｄのそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている。

第１通信部１２は、ネットワークを介して搬送台車３０と通信する通信インタフェースである。第１通信部１２は、アンテナ及び無線信号の送受信回路等を含む。第１通信部１２は、例えば、無線通信（例えばＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ準拠の無線ＬＡＮ）の無線ネットワークを介して、搬送台車３０から第１の信号を受信し、搬送台車へ第２の信号を送信する。例えば、第１通信部１２は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する。

第２通信部１４は、他の通信デバイス１０と通信する通信インタフェースである。第２通信部１４が他の通信デバイス１０の第２通信部１４と予め接続されることで、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄは、予め互いに通信可能に接続される。また、例えば、上述したように、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄは、互いに有線ケーブルで接続されており、第２通信部１４は、当該有線ケーブルが接続されるコネクタ及び信号の送受信回路等を含む。例えば、図２に示される通信デバイス１０は、通信デバイス１０ａであり、通信デバイス１０ａの第２通信部１４は、通信デバイス１０ｂの第２通信部１４に接続される。第２通信部１４は、第１の信号及び第２の信号を他の通信デバイス１０の第２通信部１４との間で送受信する。例えば、他の通信デバイス１０のうちの一の通信デバイス１０（通信デバイス１０ｂなど）から受信した第１の信号及び第２の信号を他の通信デバイス１０のうちの他の通信デバイス１０（通信デバイス１０ｃなど）へ転送する。例えば、第２通信部１４は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づく構成を有する。

制御部１３は、インタフェース１１、第１通信部１２及び第２通信部１４を制御する処理部である。制御部１３は、載置ポート２０と搬送台車３０との間でＦＯＵＰ１００を移載するためのインターロック処理を実行させるための処理を行う。

第１の信号には、特定の搬送台車３０からのインターロック処理の実行コマンドの最終送信先である特定の通信デバイス１０を示す宛先（例えばＭＡＣ（Ｍｅｄｉａ Ａｃｃｅｓｓ Ｃｏｎｔｒｏｌ）アドレス又は論理アドレス等のアドレス情報）が含まれている。制御部１３は、第１通信部１２が特定の搬送台車３０から受信した第１の信号に含まれている宛先が自身宛てであるか否かを確認する。また、制御部１３は、第１通信部１２が特定の搬送台車３０から第１の信号を受信する際の電波強度（例えばＲＳＳＩ（Ｒｅｃｅｉｖｅｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｓｔｒｅｎｇｔｈ Ｉｎｄｉｃａｔｉｏｎ））を測定する。また、制御部１３は、第２通信部１４が他の通信デバイス１０から受信した第１の信号に含まれる電波強度を比較する。

なお、制御部１３は、プロセッサが所定のプログラムを実行することで実現されてもよいし、専用のハードウェアにより実現されてもよい。

次に、インターロック処理に係る信号を無線通信により行うことで発生する問題とその解決方法について図３及び図４を用いて説明する。

図３は、実施の形態１に係る搬送システムの適用例を示す図である。なお、図３は模式図であり、各構成の実際のサイズは図３に示されるものに限らない。

半導体製造工場等には、例えば、半導体製造装置５０が複数設置される。例えば、図３には、半導体製造装置５０ａ〜５０ｃを示している。図３に示される半導体製造装置５０ａが図１に示される半導体製造装置５０に対応している。また、複数の搬送台車３０として、搬送台車３０ａ及び３０ｂを示している。半導体製造装置５０ａは、載置ポート２０ａ〜２０ｄのそれぞれとＦＯＵＰ１００の受け渡しを行い、半導体製造装置５０ｂは、載置ポート２０ｅ〜２０ｈのそれぞれとＦＯＵＰ１００の受け渡しを行い、半導体製造装置５０ｃは、載置ポート２０ｉ〜２０ｍのそれぞれとＦＯＵＰ１００の受け渡しを行う。載置ポート２０ａ〜２０ｍのそれぞれに、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｍのそれぞれが一対一で接続されている。

半導体製造工場等において、インターロック処理に係る信号を無線通信により行う場合、周囲環境等による電波の反射、複数の半導体製造装置５０を含む様々な装置からの電波の放射、及び、電波の重ね合わせによる通信のデッドポイントの発生等により通信障害が発生する可能性があり、インターロック通信における無線通信を冗長化する必要がある。そこで、本発明では、かかる冗長化の一手段例として、複数の通信デバイス１０をグループ単位で予め互いに通信可能に接続する。例えば、図３に示されるように、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄが予め互いに通信可能に接続されてグループＡを構成し、複数の通信デバイス１０ｅ〜１０ｈが予め互いに通信可能に接続されてグループＢを構成し、複数の通信デバイス１０ｉ〜１０ｍが予め互いに通信可能に接続されてグループＣを構成する。このように、複数の通信デバイス１０をグループ化することによりインターロック通信における無線通信を冗長化できる。これについて、図４を用いて、搬送システム１の全体処理の具体例を示しつつ説明する。

図４は、実施の形態１に係る搬送システム１の通信方法の第１例を示すシーケンス図である。ここでは、インターロック処理を行う特定の搬送台車３０を搬送台車３０ａとしている。また、特定の搬送台車３０ａが、ＦＯＵＰ１００の移載を行う載置ポート２０を載置ポート２０ｄとしている。つまり、第１の信号に含まれる宛先である特定の通信デバイス１０は、載置ポート２０ｄと一対一に接続されている通信デバイス１０ｄとなる。以下では、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄのうちの特定の通信デバイス１０ｄを除く通信デバイス１０を他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃとも呼ぶ。

まず、複数の搬送台車３０のうちの特定の搬送台車３０ａが、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄのうちの特定の通信デバイス１０ｄを最終送信先とする第１の信号を複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄに送信する（ステップＳ１１）。ここでは、特定の搬送台車３０ａは、ブロードキャストにより第１の信号を複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄに送信する。図４に示されるように、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃは、特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できているが、最終送信先である通信デバイス１０ｄは、通信障害により特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できていない。

なお、特定の搬送台車３０ａからブロードキャスト等により送信された第１の信号を複数の通信デバイス１０ｅ〜１０ｍも受信し得るが、複数の通信デバイス１０ｅ〜１０ｍは、第１の信号に含まれる宛先（通信デバイス１０ｄ）が、自身が属するグループＢ又はＣに属していない通信デバイス１０であることを確認して、受信した第１の信号を破棄（無視）する。

次に、第１の信号を受信した他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃの各制御部１３は、第１通信部１２が特定の搬送台車３０ａから受信した第１の信号に含まれている宛先が自身宛てであるか否かを確認する（ステップＳ１２ａ、ステップＳ１２ｂ、ステップＳ１２ｃ）。ここでは、当該宛先は通信デバイス１０ｄであるため、各制御部１３は、当該宛先が自身宛てでなく通信デバイス１０ｄ宛てであることを確認する。これにより、複数の搬送台車３０のうちの特定の搬送台車３０ａが、複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄのうちの他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃとは異なる特定の通信デバイス１０ｄを最終送信先とする第１の信号を複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄに送信したときに、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃは、後述するステップＳ１４において、それぞれ他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路で特定の搬送台車３０ａから受信した第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄへ送信する。

また、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃの各制御部１３は、第１通信部１２が特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信する際の電波強度を確認する（ステップＳ１３ａ、ステップＳ１３ｂ、ステップＳ１３ｃ）。例えば、通信デバイス１０ａは第１の信号を受信する際に電波強度Ｒ１として測定し、通信デバイス１０ｂは第１の信号を受信する際に電波強度Ｒ２として測定し、通信デバイス１０ｃは第１の信号を受信する際に電波強度Ｒ３として測定する。そして、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃの各制御部１３は、測定した電波強度を第１の信号に含めるように、第１通信部１２が受信した第１の信号を処理する。これにより、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのそれぞれが後述するステップＳ１４において送信する第１の信号は、当該受信の際の電波強度を含むことになる。

そして、通信デバイス１０ａは、自身が属するグループＡに属する最終送信先である通信デバイス１０ｄに向けて電波強度Ｒ１を含む第１の信号を送信する。同じように、通信デバイス１０ｂは、通信デバイス１０ｄに向けて電波強度Ｒ２を含む第１の信号を送信する。同じように、通信デバイス１０ｃは、通信デバイス１０ｄに向けて電波強度Ｒ３を含む第１の信号を送信する。

なお、特定の搬送台車３０ａが複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄに向けて送信する第１の信号は、最終送信先である特定の通信デバイス１０ｄのアドレス情報の他に、特定の通信デバイス１０ｄと同じグループＡに属する他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのそれぞれが第１の信号を受信した際に第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄに送信するための時間を特定する時間情報を含む。

例えば、搬送システム１において、各搬送台車３０及び各通信デバイス１０のシステムクロックは同期している。例えば、特定の搬送台車３０ａが複数の通信デバイス１０ａ〜１０ｄに向けて送信する第１の信号は、時間情報として、現時刻から何秒後に第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄに送信するかを示す情報を含む。具体的には、当該第１の信号は、通信デバイス１０ａは現時刻から１．０ｍｓ後、通信デバイス１０ｂは現時刻から１．５ｍｓ後、通信デバイス１０ｃは現時刻から２．０ｍｓ後に第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄに送信させるといったコマンドを含む。

これにより、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのそれぞれが同じタイミングで第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄに送信することを抑制できるため、コリジョンの発生を抑制できる。

このようにして、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのそれぞれが、第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄに送信することで、具体的には、上記時間情報によって特定される時間に第１の信号を特定の通信デバイス１０ｄに送信することで、特定の通信デバイス１０ｄは、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのそれぞれから第１の信号を受信する。つまり、特定の通信デバイス１０ｄは、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路で特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信する（ステップＳ１４）。他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路とは、特定の搬送台車３０ａと他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃとが通信する経路、及び、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃと特定の通信デバイス１０ｄとが通信する経路からなる通信経路である。つまり、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路は、特定の通信デバイス１０ｄが他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介さないで直接特定の搬送台車３０ａと通信する経路ではない。

これにより、特定の通信デバイス１０ｄは、通信障害により特定の搬送台車３０ａから第１の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路で第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システム１のインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

特定の通信デバイス１０ｄは、一対一に接続されている特定の載置ポート２０ｄへ第１の信号を送信する。第１の信号を受信した載置ポート２０ｄは、載置ポート２０ｄが現在移載を行える状態にあるか否かを確認する。そして、載置ポート２０ｄは、載置ポート２０ｄが現在移載を行える状態にあるか否かを示す第２の信号を特定の通信デバイス１０ｄに返信する。

インターロック処理では、インターロック処理の実行コマンド（つまり第１の信号）に対する応答（つまり第２の信号）を特定の搬送台車３０ａに返信する必要があるため、特定の通信デバイス１０ｄは、載置ポート２０ｄから受信した第１の信号に対する応答信号である第２の信号を特定の搬送台車３０ａに向けて送信する。その際に、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃからそれぞれ送信された第１の信号に含まれる電波強度Ｒ１〜Ｒ３を比較する。例えば、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、電波強度Ｒ１〜Ｒ３のうち電波強度Ｒ２が最も強いと判定する。

特定の通信デバイス１０ｄは、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのうち、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃのそれぞれから送信された第１の信号に含まれる電波強度Ｒ１〜Ｒ３のうちの最も強い電波強度Ｒ２に対応する通信デバイス１０ｂを介する通信経路で、第２の信号を特定の搬送台車３０ａに送信する。つまり、特定の通信デバイス１０ｄは、第２の信号を通信デバイス１０ｂへ送信し（ステップＳ１６）、通信デバイス１０ｂは、特定の通信デバイス１０ｄから送信された第２の信号を特定の搬送台車３０ａへ送信する（ステップＳ１７）。

これにより、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路のうち、電波強度の最も強い通信経路で第２の信号が送信されるため、特定の搬送台車３０ａと特定の通信デバイス１０ｄとの通信が成功する可能性を高めることができる。

搬送システム１の通信方法の第１例では、特定の通信デバイス１０ｄが特定の搬送台車３０ａから直接的に第１の信号を受信できない場合の搬送システム１の通信方法について説明した。以下では、図５を用いて、ステップＳ１１において特定の通信デバイス１０ｄが特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できた場合について説明する。

図５は、実施の形態１に係る搬送システム１の通信方法の第２例を示すシーケンス図である。第２例は、ステップＳ１１において特定の通信デバイス１０ｄが特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できていること、及び、それに伴う特定の通信デバイス１０ｄの動作が第１例と異なる。このため、同じ点については説明を適宜省略し、異なる点を中心に説明する。

特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃと同じように、第１通信部１２が特定の搬送台車３０から受信した第１の信号に含まれている宛先が自身宛てであるか否かを確認する（ステップＳ１２ｄ）。ここでは、当該宛先は通信デバイス１０ｄであるため、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、当該宛先が自身宛てであることを確認する。

また、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃと同じように、第１通信部１２が特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信する際の電波強度を確認する（ステップＳ１３ｄ）。例えば、特定の通信デバイス１０ｄは第１の信号を受信する際に電波強度Ｒ４として測定する。

ここで、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、測定した電波強度Ｒ４が、特定の通信デバイス１０ｄと特定の搬送台車３０ａとが通信するにあたり通信障害が発生しない程度の所定の電波強度閾値以上であるか否かを判定する。

例えば、電波強度Ｒ４が所定の電波強度閾値未満である場合、特定の通信デバイス１０ｄと特定の搬送台車３０ａとが直接通信を行うと、通信障害により第１の信号及び第２の信号の送受信に失敗するおそれがある。そこで、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、電波強度Ｒ４が所定の電波強度閾値未満である場合、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃから第１の信号が転送されてくるのを所定の時間待つ。所定の時間は、例えば、第１の信号に含まれている時間情報に基づいて決定される時間であってもよいし、予め決められていてもよい。以降は、第１例と同じように処理が行われる。例えば、電波強度Ｒ１〜Ｒ４のうち、電波強度Ｒ４が最も強い場合には、特定の通信デバイス１０ｄは、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介さない通信経路で、つまり、特定の通信デバイス１０ｄから直接、第２の信号を特定の搬送台車３０ａに送信する（ステップＳ１８）。

例えば、電波強度Ｒ４が所定の電波強度閾値以上である場合、特定の通信デバイス１０ｄと特定の搬送台車３０ａとが直接通信を行っても、通信障害により第１の信号及び第２の信号の送受信に失敗する可能性は低い。そこで、特定の通信デバイス１０ｄの制御部１３は、電波強度Ｒ４が所定の電波強度閾値以上である場合、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃから第１の信号が転送されてくるのを待たない。つまり、図５に示されるステップＳ１４及びステップＳ１５での処理は行われなくてもよい。以降は、特定の通信デバイス１０ｄは、特定の通信デバイス１０ｄから直接、第２の信号を特定の搬送台車３０ａに送信する（ステップＳ１８）。

なお、図４及び図５を用いて説明した搬送システム１の通信方法では、特定の通信デバイス１０ｄは、同じグループＡに属する他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路で特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信したが、他の通信デバイス１０ａ〜１０ｃを介する通信経路とは異なる他の通信経路を介して第１の信号を受信してもよい。これについて、図３及び図６を用いて説明する。

図６は、実施の形態１に係る搬送システム１の通信方法の第３例を示すシーケンス図である。ここでは、インターロック処理を行う特定の搬送台車３０を搬送台車３０ａとしている。また、特定の搬送台車３０ａが、ＦＯＵＰ１００の移載を行う載置ポート２０を図３に示す載置ポート２０ｍとしている。つまり、第１の信号に含まれる宛先である特定の通信デバイス１０は、載置ポート２０ｍと一対一に接続されている通信デバイス１０ｍとなる。以下では、図３に示す複数の通信デバイス１０ｉ〜１０ｍのうちの特定の通信デバイス１０ｍを除く通信デバイス１０を他の通信デバイス１０ｉ〜１０ｋとも呼ぶ。また、複数の搬送台車３０のうちの特定の搬送台車３０ａを除く搬送台車３０を他の搬送台車３０ｂとも呼ぶ。例えば、他の搬送台車３０ｂは、特定の通信デバイス１０ｍとの通信において、特定の搬送台車３０ａよりも通信障害が発生しにくい位置にあるとする。複数の搬送台車３０は、予め互いに通信可能に接続されている。例えば、ここでは、搬送台車３０ａ及び３０ｂが１つのグループに属しているとする。

第３例では、台車制御部３２は、インターロック処理の実行コマンドを含む第１の信号を台車通信部３３により他の搬送台車３０ｂへ送信する機能を有する。また、台車制御部３２は、特定の搬送台車３０ａから送信された第１の信号を台車通信部３３により受信した場合に、当該第１の信号を特定の通信デバイス１０ｍへ送信する機能を有する。第１の信号には、上述したように、最終送信先のアドレス情報が含まれているため、他の搬送台車３０ｂは、第１の信号を特定の通信デバイス１０へ送信することができる。

まず、複数の搬送台車３０のうちの特定の搬送台車３０ａは、複数の通信デバイス１０ｉ〜１０ｍのうちの特定の通信デバイス１０ｍを最終送信先とする第１の信号を複数の通信デバイス１０ｉ〜１０ｍと他の搬送台車３０ｂとのうちの少なくともいずれかに送信する（ステップＳ２１）。ここでは、特定の搬送台車３０ａは、第１の信号を複数の通信デバイス１０ｉ〜１０ｍと他の搬送台車３０ｂとの両方に対して、ブロードキャストにより送信する。例えば、他の通信デバイス１０ｉの第１通信部１２は、特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できている。しかし、最終送信先である通信デバイス１０ｍは、通信障害により特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できていない。また、他の搬送台車３０ｂは、特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信できている。

次に、第１の信号を受信した他の搬送台車３０ｂの台車制御部３２は、台車通信部３３が特定の搬送台車３０ａから受信した第１の信号に含まれている宛先を確認し（ステップＳ２２ａ）、他の通信デバイス１０ｉの制御部１３は、第１通信部１２が特定の搬送台車３０ａから受信した第１の信号に含まれている宛先が自身宛てであるか否かを確認する（ステップＳ２２ｂ）。ここでは、当該宛先は通信デバイス１０ｍであるため、台車制御部３２は当該宛先が通信デバイス１０ｍ宛てであることを確認し、制御部１３は、当該宛先が自身宛てでなく通信デバイス１０ｍ宛てであることを確認する。これにより、他の搬送台車３０ｂ及び他の通信デバイス１０ｉは、後述するステップＳ２４において、それぞれ他の搬送台車３０ｂ及び他の通信デバイス１０ｉを介する通信経路で特定の搬送台車３０ａから受信した第１の信号を特定の通信デバイス１０ｍへ送信する。

また、他の搬送台車３０ｂの台車制御部３２は、台車通信部３３が特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信する際の電波強度を確認し（ステップＳ２３ａ）、他の通信デバイス１０ｉの制御部１３は、第１通信部１２が特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信する際の電波強度を確認する（ステップＳ２３ｂ）。例えば、他の搬送台車３０ｂは第１の信号を受信する際に電波強度Ｒ５として測定し、他の通信デバイス１０ｉは第１の信号を受信する際に電波強度Ｒ６として測定する。そして、他の搬送台車３０ｂの台車制御部３２は、測定した電波強度Ｒ５を第１の信号に含めるように、台車通信部３３が受信した第１の信号を処理する。また、他の通信デバイス１０ｉの制御部１３は、測定した電波強度Ｒ６を第１の信号に含めるように、第１通信部１２が受信した第１の信号を処理する。これにより、他の搬送台車３０ｂ及び他の通信デバイス１０ｉのそれぞれが後述するステップＳ２４において送信する第１の信号は、当該受信の際の電波強度を含むことになる。

そして、他の搬送台車３０ｂは、最終送信先である通信デバイス１０ｍに向けて電波強度Ｒ５を含む第１の信号を送信する。また、通信デバイス１０ｉは、自身が属するグループＣに属する最終送信先である通信デバイス１０ｍに向けて電波強度Ｒ６を含む第１の信号を送信する。

なお、図４で説明した第１例と同じように、特定の搬送台車３０ａが複数の通信デバイス１０ｉ〜１０ｍ及び他の搬送台車３０ｂに向けて送信する第１の信号は、最終送信先である特定の通信デバイス１０ｍのアドレス情報の他に、特定の通信デバイス１０ｍと同じグループＣに属する他の通信デバイス１０ｉ〜１０ｋ及び特定の搬送台車３０ａと同じグループに属する他の搬送台車３０ｂのそれぞれが第１の信号を受信した際に第１の信号を特定の通信デバイス１０ｍに送信するための時間を特定する時間情報を含んでいてもよい。

これにより、他の通信デバイス１０ｉ〜１０ｋ及び他の搬送台車３０ｂのそれぞれが同じタイミングで第１の信号を特定の通信デバイス１０ｍに送信することを抑制できるため、コリジョンの発生を抑制できる。

このようにして、他の通信デバイス１０ｉ及び他の搬送台車３０ｂのそれぞれが、第１の信号を特定の通信デバイス１０ｍに送信することで、特定の通信デバイス１０ｍは、他の通信デバイス１０ｉ及び他の搬送台車３０ｂのそれぞれから第１の信号を受信する。つまり、特定の通信デバイス１０ｍは、他の通信デバイス３０ｉを介する通信経路と他の搬送台車３０ｂを介する通信経路とのうちの少なくともいずれか（ここでは両方）により第１の信号を受信する（ステップＳ２４）。他の搬送台車３０ｂを介する通信経路とは、特定の搬送台車３０ａと他の搬送台車３０ｂとが通信する経路、及び、他の搬送台車３０ｂと特定の通信デバイス１０ｍとが通信する経路からなる通信経路であり、特定の通信デバイス１０ｍが直接特定の搬送台車３０ａと通信する経路とは別経路である。

これにより、特定の通信デバイス１０ｍは、通信障害により特定の搬送台車３０ａから第１の信号を直接的に受信できなくても、他の通信デバイス１０ｉを介する通信経路及び他の搬送台車３０ｂを介する通信経路のうちの少なくともいずれかで第１の信号を間接的に受信できる。このため、搬送システム１のインターロック通信における無線通信を冗長化できる。

特定の通信デバイス１０ｍは、一対一に接続されている特定の載置ポート２０ｍへ第１の信号を送信する。第１の信号を受信した載置ポート２０ｍは、載置ポート２０ｍが現在移載を行える状態にあるか否かを確認する。そして、載置ポート２０ｍは、載置ポート２０ｍが現在移載を行える状態にあるか否かを示す第２の信号を特定の通信デバイス１０ｍに返信する。

特定の通信デバイス１０ｍは、載置ポート２０ｍから受信した第１の信号に対する応答信号である第２の信号を特定の搬送台車３０ａに向けて送信する。その際に、特定の通信デバイス１０ｍの制御部１３は、他の通信デバイス１０ｉ及び他の搬送台車３０ｂからそれぞれ送信された第１の信号に含まれる電波強度Ｒ５及びＲ６を比較する（ステップＳ２５）。そして、例えば、特定の通信デバイス１０ｍの制御部１３は、電波強度Ｒ５及びＲ６のうち電波強度Ｒ５が最も強いと判定する。

特定の通信デバイス１０ｍは、電波強度Ｒ５及びＲ６のうちの最も強い電波強度Ｒ５に対応する他の搬送台車３０ｂを介する通信経路で、第２の信号を特定の搬送台車３０ａに送信する。つまり、特定の通信デバイス１０ｍは、第２の信号を他の搬送台車３０ｂへ送信し（ステップＳ２６）、他の搬送台車３０ｂは、特定の通信デバイス１０ｍから送信された第２の信号を特定の搬送台車３０ａへ送信する（ステップＳ２７）。

これにより、他の通信デバイス１０ｉ及び他の搬送台車３０ｂを介する通信経路のうち、電波強度の最も強い通信経路で第２の信号が送信されるため、特定の搬送台車３０ａと特定の通信デバイス１０ｍとの通信が成功する可能性を高めることができる。

（実施の形態２）
本発明の実施の形態２について説明する。本実施の形態では、予め互いに通信可能に接続された複数の通信デバイスとして、２つの通信デバイス１０を備えている。このように、複数の通信デバイスは、実施の形態１で説明したような３つ以上でなくともよく、本実施の形態のように２つであってもよい。この場合、１つの通信デバイス１０が特定の通信デバイス１０となり、残りの他の通信デバイス１０は１つになる。したがって、他の通信デバイス１０が第１の信号を特定の通信デバイス１０へ送信する際にコリジョンが発生するおそれがないため、第１の信号は、時間情報を含んでいなくてもよい。また、他の通信デバイス１０が１つの場合、２つ以上の他の通信デバイス１０間での電波強度比較をすることもできないため、第１の信号は、電波強度を含んでいなくてもよい。

（その他の実施の形態）
以上、本発明の通信方法、搬送システム１及び通信デバイス１０について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。

例えば、上記実施の形態では、通信デバイス１０は、半導体製造装置５０の床側に設置されていたが、天井側に設置されていてもよい。この場合、半導体製造工場等における天井側に設けられた走行ルート２を走行する搬送台車３０と通信デバイス１０との通信において、搬送台車３０と通信デバイス１０との距離が近くなり周囲環境等からの影響が減るため、電波強度を強くすることができる。ただし、本発明によれば、通信デバイス１０と搬送台車３０との間の電波強度が弱くても（つまり、通信障害が発生し得る状態であっても）、搬送システム１のインターロック通信における無線通信を冗長化できる。したがって、本発明によれば、通信デバイス１０の設置位置に制約を設けないようにすることができるため、設置の自由度を高めることができ、かつ、通信障害についての問題も解消できる。

また、例えば、上記実施の形態では、図１及び図３に示されるように、通信デバイス１０は、載置ポート２０の近傍に設置されたが、載置ポート２０と一対一に接続されていれば、近傍に設置されなくてもよい。

また、例えば、上記実施の形態では、通信デバイス１０に一対一に接続されている設備は載置ポート２０であったが、これに限らない。例えば、設備は、半導体製造装置５０であってもよい。つまり、複数の通信デバイス１０のそれぞれは、複数の半導体製造装置５０のそれぞれと一対一に接続され、一台の通信デバイス１０が複数の載置ポート２０を受け持ってもよい。この場合、第１の信号には、最終送信先である特定の通信デバイス１０のアドレス情報だけでなく、特定の半導体製造装置５０における複数の載置ポート２０のうちの移載を行う載置ポート２０のアドレス情報等も含まれる。

また、例えば、設備は、複数の半導体製造装置５０の集まりを１つの単位とする半導体製造装置５０群であってもよい。つまり、複数の通信デバイス１０のそれぞれは、複数の半導体製造装置５０群のそれぞれと一対一に接続され、一台の通信デバイス１０が複数の半導体製造装置５０を受け持ってもよい。この場合、第１の信号には、最終送信先である特定の通信デバイス１０のアドレス情報だけでなく、特定の半導体製造装置５０群における、移載を行う載置ポート２０が設けられた半導体製造装置５０のアドレス情報、及び、当該載置ポート２０のアドレス情報等も含まれる。

また、例えば、設備は、複数の載置ポート２０の集まりを１つの単位とする載置ポート２０群であってもよい。つまり、複数の通信デバイス１０のそれぞれは、複数の載置ポート２０群のそれぞれと一対一に接続されていてもよい。言い換えると、１つの通信デバイス１０は、複数の載置ポート２０の集まりと一対一に接続されていてもよい。

さらに、例えば、設備は、半導体製造に関する載置ポート２０又は半導体製造装置５０等でなくてもよい。例えば、設備は、半導体製造と関係のないものであってもよく、置き台等であってもよい。

また、例えば、上記実施の形態では、第１の信号は、他の通信デバイス１０のそれぞれが第１の信号を特定の通信デバイス１０に送信するための時間を特定する時間情報を含んでいたが、含んでいなくてもよい。

また、例えば、上記実施の形態では、第１の信号は、他の通信デバイス１０のそれぞれが、特定の搬送台車３０から第１の信号を受信する際の電波強度を含んでいたが、含んでいなくてもよい。この場合、例えば、特定の通信デバイス１０は、第１の信号を特定の通信デバイス１０へ送信した他の通信デバイス１０のそれぞれを介する通信経路で、第２の信号を特定の搬送台車３０に送信してもよい。つまり、特定の通信デバイス１０は、電波強度に関係なく、特定の搬送台車３０との直接通信に成功している全ての通信デバイス１０のそれぞれの通信経路で第２の信号を特定の搬送台車３０に送信してもよい。この場合、第２の信号は、他の通信デバイス１０のそれぞれが第２の信号を特定の搬送台車３０に送信するための時間を特定する時間情報を含み、他の通信デバイス１０のそれぞれが、当該時間情報によって特定される時間に第２の信号を特定の搬送台車３０に送信してもよい。これにより、他の通信デバイス１０のそれぞれが同じタイミングで第２の信号を特定の搬送台車３０に送信することを抑制できるため、コリジョンの発生を抑制できる。

また、例えば、上記実施の形態における第３例では、特定の搬送台車３０は、第１の信号を複数の通信デバイス１０及び他の搬送台車３０の両方に送信したが、複数の通信デバイス１０に送信せずに、他の搬送台車３０にのみ送信してもよい。

また、例えば、上記実施の形態における第３例では、他の搬送台車３０は、１つの搬送台車３０ｂのみであったが、複数あってもよい。この場合、第１の信号を受信した複数の他の搬送台車３０の台車制御部３２は、台車通信部３３が特定の搬送台車３０ａから受信した第１の信号に含まれている宛先を確認し、複数の他の搬送台車３０の台車制御部３２は、台車通信部３３が特定の搬送台車３０ａから第１の信号を受信する際の電波強度を確認し、特定の通信デバイス１０ｍは、他の通信デバイス３０ｉを介する通信経路と複数の他の搬送台車３０を介する通信経路のうちの少なくともいずれかにより第１の信号を受信する。

また、例えば、搬送システム１の通信方法におけるステップは、コンピュータ（コンピュータシステム）によって実行されてもよい。そして、本発明は、それらの方法に含まれるステップを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして実現できる。さらに、本発明は、そのプログラムを記録したＣＤ−ＲＯＭ等である非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現できる。

例えば、本発明が、プログラム（ソフトウェア）で実現される場合には、コンピュータのＣＰＵ、メモリ及び入出力回路等のハードウェア資源を利用してプログラムが実行されることによって、各ステップが実行される。つまり、ＣＰＵがデータをメモリ又は入出力回路等から取得して演算したり、演算結果をメモリ又は入出力回路等に出力したりすることによって、各ステップが実行される。

また、上記実施の形態の搬送システム１に含まれる複数の構成要素は、それぞれ、専用又は汎用の回路として実現されてもよい。これらの構成要素は、１つの回路として実現されてもよいし、複数の回路として実現されてもよい。

また、上記実施の形態の搬送システム１に含まれる複数の構成要素は、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）として実現されてもよい。これらの構成要素は、個別に１チップ化されてもよいし、一部又は全てを含むように１チップ化されてもよい。ＬＳＩは、集積度の違いにより、システムＬＳＩ、スーパーＬＳＩ又はウルトラＬＳＩと呼称される場合がある。

また、集積回路はＬＳＩに限られず、専用回路又は汎用プロセッサで実現されてもよい。上述したように、プログラム可能なＦＰＧＡ、又は、ＬＳＩ内部の回路セルの接続及び設定が再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサが、利用されてもよい。

さらに、半導体技術の進歩又は派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて、搬送システム１に含まれる各構成要素の集積回路化が行われてもよい。

その他、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

本発明は、無線通信によりインターロック処理を行う搬送システム等に利用可能である。

１ 搬送システム
２ 走行ルート
１０、１０ａ〜１０ｍ 通信デバイス
１１、２１ インタフェース
１２ 第１通信部
１３ 制御部
１４ 第２通信部
２０、２０ａ〜２０ｍ 載置ポート（設備）
２２ ポート制御部
３０、３０ａ、３０ｂ 搬送台車
３１ 把持部
３２ 台車制御部
３３ 台車通信部
５０、５０ａ〜５０ｃ 半導体製造装置
５１ ＦＯＵＰ搬入搬出口
１００ ＦＯＵＰ

Claims (17)

1. 搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムの通信方法であって、
   前記複数の通信デバイスは、予め互いに通信可能に接続されており、
   前記通信方法は、
   （ａ）前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの特定の通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信するステップと、
   （ｂ）前記特定の通信デバイスが、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信するステップと、を含み、
   前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である、
   通信方法。
2. 前記複数の通信デバイスは、互いに有線ケーブルで接続されている、
   請求項１に記載の通信方法。
3. 前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、
   前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信するための時間を特定する時間情報を含み、
   前記（ｂ）では、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記時間情報によって特定される時間に前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信する、
   請求項１又は２に記載の通信方法。
4. 前記（ｂ）では、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信し、
   前記通信方法は、さらに、（ｃ）前記特定の通信デバイスが、前記他の通信デバイスを介する通信経路で、前記第１の信号に対する応答信号である第２の信号を前記特定の搬送台車に送信するステップを含む、
   請求項１から３のいずれか一項に記載の通信方法。
5. 前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、
   前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する際の電波強度を含み、
   前記（ｂ）では、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記電波強度を含む前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信し、
   前記（ｃ）では、前記特定の通信デバイスが、前記他の通信デバイスのうち、前記他の通信デバイスのそれぞれから送信された前記第１の信号に含まれる前記電波強度のうちの最も強い電波強度に対応する通信デバイスを介する通信経路で、前記第２の信号を前記特定の搬送台車に送信する、
   請求項４に記載の通信方法。
6. 搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムであって、
   前記複数の通信デバイスは、予め互いに通信可能に接続されており、
   前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車は、前記複数の通信デバイスのうちの特定の通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信し、
   前記特定の通信デバイスは、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、
   前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である、
   搬送システム。
7. 前記複数の通信デバイスは、互いに有線ケーブルで接続されている、
   請求項６に記載の搬送システム。
8. 前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、
   前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信するための時間を特定する時間情報を含み、
   前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記時間情報によって特定される時間に前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信することで、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する、
   請求項６又は７に記載の搬送システム。
9. 前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信することで、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、
   前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で、前記第１の信号に対する応答信号である第２の信号を前記特定の搬送台車に送信する、
   請求項６から８のいずれか一項に記載の搬送システム。
10. 前記複数の通信デバイスは、３台以上のデバイスであり、
    前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する際の電波強度を含み、
    前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記電波強度を含む前記第１の信号を前記特定の通信デバイスに送信することで、前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、
    前記特定の通信デバイスは、前記他の通信デバイスのうち、前記他の通信デバイスのそれぞれから送信された前記第１の信号に含まれる前記電波強度のうちの最も強い電波強度に対応する通信デバイスを介する通信経路で、前記第２の信号を前記特定の搬送台車に送信する、
    請求項９に記載の搬送システム。
11. 搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムにおける通信デバイスであって、
    前記複数の通信デバイスは、予め互いに通信可能に接続されており、
    前記通信デバイスは、前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの前記通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信したときに、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、
    前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である、
    通信デバイス。
12. 前記複数の通信デバイスは、互いに有線ケーブルで接続されている、
    請求項１１に記載の通信デバイス。
13. 前記複数の通信デバイスは、３台以上の通信デバイスであり、
    前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが前記第１の信号を前記通信デバイスに送信するための時間を特定する時間情報を含み、
    前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記時間情報によって特定される時間に前記第１の信号を前記通信デバイスに送信することで、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する、
    請求項１１又は１２に記載の通信デバイス。
14. 前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記第１の信号を前記通信デバイスに送信することで、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、
    前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で、前記第１の信号に対する応答信号である第２の信号を前記特定の搬送台車に送信する、
    請求項１１から１３のいずれか一項に記載の通信デバイス。
15. 前記複数の通信デバイスは、３台以上のデバイスであり、
    前記第１の信号は、前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信する際の電波強度を含み、
    前記他の通信デバイスのそれぞれが、前記電波強度を含む前記第１の信号を前記通信デバイスに送信することで、前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスを介する通信経路で前記特定の搬送台車から前記第１の信号を受信し、
    前記通信デバイスは、前記他の通信デバイスのうち、前記他の通信デバイスのそれぞれから送信された前記第１の信号に含まれる前記電波強度のうちの最も強い電波強度に対応する通信デバイスを介する通信経路で、前記第２の信号を前記特定の搬送台車に送信する、
    請求項１４に記載の通信デバイス。
16. 前記通信デバイスは、前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの前記通信デバイスとは異なる特定の通信デバイスを最終送信先とする前記第１の信号を前記複数の通信デバイスに送信したときに、前記特定の搬送台車から受信した前記第１の信号を前記特定の通信デバイスへ送信する、
    請求項１１から１５のいずれか一項に記載の通信デバイス。
17. 搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記搬送物が載置される複数の設備のそれぞれに、それぞれが一対一で接続されている複数の通信デバイスと、を備える搬送システムの通信方法であって、
    前記通信方法は、
    （ｄ）前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記複数の通信デバイスのうちの特定の通信デバイスを最終送信先とする第１の信号を前記複数の通信デバイスと前記複数の搬送台車のうちの他の搬送台車との少なくともいずれかに送信するステップと、
    （ｅ）前記特定の通信デバイスが、前記複数の通信デバイスのうちの他の通信デバイスを介する通信経路及び前記他の搬送台車を介する通信経路のうちの少なくともいずれかにより前記第１の信号を受信するステップと、を含み、
    前記第１の信号は、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスに一対一で接続されている特定の設備との間で前記搬送物を移載するために通信される信号である、
    通信方法。

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