Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP6923372B2 - Actuator and actuator unit - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP6923372B2 - Actuator and actuator unit - Google Patents

Actuator and actuator unit Download PDF

Info

Publication number
JP6923372B2
JP6923372B2 JP2017122982A JP2017122982A JP6923372B2 JP 6923372 B2 JP6923372 B2 JP 6923372B2 JP 2017122982 A JP2017122982 A JP 2017122982A JP 2017122982 A JP2017122982 A JP 2017122982A JP 6923372 B2 JP6923372 B2 JP 6923372B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft
actuator
pneumatic device
housing
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017122982A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019005839A (en
Inventor
克也 福島
克也 福島
弘樹 丹羽
弘樹 丹羽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THK Co Ltd
Original Assignee
THK Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THK Co Ltd filed Critical THK Co Ltd
Priority to JP2017122982A priority Critical patent/JP6923372B2/en
Publication of JP2019005839A publication Critical patent/JP2019005839A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6923372B2 publication Critical patent/JP6923372B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Description

本発明は、アクチュエータ及びアクチュエータユニットに関するものである。 The present invention relates to an actuator and an actuator unit.

下記特許文献1には、アクチュエータの一つとして、空気供給部から供給される空気の空気圧を利用して移動機構を駆動させる産業機械が開示されている。この産業機械は、ワークの形状解析を行う三次元計測機であって、ワークを測定するためのプローブと、プローブを移動させる移動機構と、移動機構にエアを供給するためのエア供給部と、を有する。エア供給部は、移動機構の各駆動機構のエアベアリングにエアを送り出すエアレギュレータセットを有し、エアレギュレータセットに設けられた電磁弁を開閉させてエアの流れを制御する。 Patent Document 1 below discloses an industrial machine that drives a moving mechanism by utilizing the air pressure of air supplied from an air supply unit as one of the actuators. This industrial machine is a three-dimensional measuring machine that analyzes the shape of a work, and has a probe for measuring the work, a moving mechanism for moving the probe, and an air supply unit for supplying air to the moving mechanism. Has. The air supply unit has an air regulator set that sends air to the air bearings of each drive mechanism of the moving mechanism, and controls the air flow by opening and closing the solenoid valve provided in the air regulator set.

特開2012−68039号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-68039

上述した産業機械は、空圧制御を行うエアレギュレータセット(空圧機器)を装置本体に組み込んだアクチュエータである。空圧機器は、電磁弁やエアフィルタ等を含んでおり、これらは消耗品であるため、定期的に交換をする必要がある。従来では、消耗品の交換時に、装置本体に組み込んだ空圧機器の取り外し作業を行わなければならなかった。また、消耗品の交換後には、取り外した空圧機器の組み込み作業を行わなければならず、メンテナンスに時間がかかり、装置の稼働率の低下に繋がっていた。 The industrial machine described above is an actuator in which an air regulator set (pneumatic device) that controls pneumatic pressure is incorporated in the main body of the device. Pneumatic equipment includes solenoid valves, air filters, etc., which are consumables and need to be replaced regularly. In the past, when replacing consumables, it was necessary to remove the pneumatic equipment incorporated in the main body of the device. In addition, after the replacement of consumables, it is necessary to install the removed pneumatic equipment, which takes time for maintenance and leads to a decrease in the operating rate of the equipment.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、空圧機器の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高いアクチュエータ及びアクチュエータユニットの提供を目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an actuator and an actuator unit which can easily and quickly perform regular maintenance work of a pneumatic device and have a high operating rate of the device.

上記の課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、シャフトを駆動させる駆動部が設けられたアクチュエータ本体と、前記シャフトに設けられた中空孔の空圧を制御する空圧機器と、を有し、前記空圧機器は、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部に収容されている、という構成を採用する。 In order to solve the above problems, the actuator of the present invention includes an actuator main body provided with a drive unit for driving the shaft, and a pneumatic device for controlling the pneumatic pressure of the hollow hole provided in the shaft. However, the pneumatic device adopts a configuration in which the pneumatic device is housed in a cartridge portion that is detachably provided with respect to the actuator main body.

また、本発明のアクチュエータユニットは、先に記載のアクチュエータが、前記シャフトの軸方向と直交する方向に複数積層され、前記カートリッジ部が、前記シャフトの軸方向及び前記アクチュエータの積層方向と直交する方向において、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられている、という構成を採用する。 Further, in the actuator unit of the present invention, a plurality of the actuators described above are stacked in a direction orthogonal to the axial direction of the shaft, and the cartridge portion is in a direction orthogonal to the axial direction of the shaft and the stacking direction of the actuator. In the above, a configuration is adopted in which the actuator body is detachably provided.

本発明によれば、空圧機器の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高くなる。 According to the present invention, the periodic maintenance work of the pneumatic device can be easily and quickly completed, and the operating rate of the device is increased.

本発明の実施形態におけるアクチュエータユニットの外観斜視図である。It is external perspective view of the actuator unit in embodiment of this invention. 図1に示すアクチュエータユニットが備えるアクチュエータの内部構成図である。It is an internal block diagram of the actuator included in the actuator unit shown in FIG. 本発明の実施形態におけるシャフトハウジングの軸方向に沿った断面図である。It is sectional drawing along the axial direction of the shaft housing in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるアクチュエータ本体にカートリッジ部を装着するときの様子を示す外観斜視図である。It is an external perspective view which shows the state when the cartridge part is attached to the actuator main body in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるカートリッジ部の内部構成図である。It is an internal block diagram of the cartridge part in embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下に示す実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために、例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明に用いる図面は、本発明の特徴を分かりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、本発明の特徴を分かりやすくするために、便宜上、省略した部分がある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The embodiments shown below are described by way of example in order to better understand the gist of the invention, and are not limited to the present invention unless otherwise specified. Further, in the drawings used in the following description, in order to make the features of the present invention easy to understand, the main parts may be enlarged for convenience, and the dimensional ratios of the respective components are the same as the actual ones. Not necessarily. In addition, in order to make the features of the present invention easy to understand, some parts have been omitted for convenience.

図1は、本発明の実施形態におけるアクチュエータユニット100の外観斜視図である。図2は、図1に示すアクチュエータユニット100が備えるアクチュエータ1の内部構成図である。
図1に示すように、アクチュエータユニット100は、複数のアクチュエータ1が積層されて構成されている。アクチュエータ1は、シャフト10を移動させるアクチュエータ本体2と、シャフト10にエアを供給するカートリッジ部3と、を有する。
FIG. 1 is an external perspective view of the actuator unit 100 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is an internal configuration diagram of the actuator 1 included in the actuator unit 100 shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the actuator unit 100 is configured by stacking a plurality of actuators 1. The actuator 1 has an actuator main body 2 for moving the shaft 10 and a cartridge unit 3 for supplying air to the shaft 10.

なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明することがある。シャフト10が延びる軸方向をZ軸方向、シャフト10の軸方向と直交したアクチュエータ1の積層方向をY軸方向、シャフト10の軸方向及びアクチュエータ1の積層方向とそれぞれ直交する方向をX軸方向とする。 In the following description, the XYZ Cartesian coordinate system may be set, and the positional relationship of each member may be described with reference to the XYZ Cartesian coordinate system. The axial direction in which the shaft 10 extends is the Z-axis direction, the stacking direction of the actuator 1 orthogonal to the axial direction of the shaft 10 is the Y-axis direction, and the axial direction of the shaft 10 and the direction orthogonal to the stacking direction of the actuator 1 are the X-axis directions. do.

アクチュエータ本体2は、図2に示すように、シャフト10と、シャフト10をその軸線O回りに回転させる回転モータ20(駆動部)と、シャフト10を軸線Oに沿った軸方向(X軸方向)に直動させる直動モータ30(駆動部)と、回転モータ20及び直動モータ30を収容する駆動部ハウジング40と、駆動部ハウジング40のZ軸方向の下端面40aに接続され、シャフト10が摺動可能に挿通されたシャフトハウジング50と、を有する。 As shown in FIG. 2, the actuator main body 2 includes a shaft 10, a rotary motor 20 (driving unit) that rotates the shaft 10 around its axis O, and an axial direction (X-axis direction) along the axis O of the shaft 10. The shaft 10 is connected to the linear motion motor 30 (drive unit), the drive unit housing 40 accommodating the rotary motor 20 and the linear motion motor 30, and the lower end surface 40a of the drive unit housing 40 in the Z-axis direction. It has a shaft housing 50 that is slidably inserted.

シャフト10は、鉛直方向(Z軸方向)に延びており、回転モータ20及び直動モータ30によって、鉛直方向に直動すると共に、鉛直方向に延びる軸線O回りに回転する。シャフト10の先端部10Aには、中空孔11が設けられている。このシャフト10の先端部10Aには、工具や吸着パッド等の図示しないアプリケーション装置が取り付けられる。本実施形態では、シャフト10の先端部10Aに図示しない吸着パッドが取り付けられ、ワークWをピックアップし、所定の場所に載置する所謂ピック&プレイス動作を行うようになっている。 The shaft 10 extends in the vertical direction (Z-axis direction), and is linearly moved in the vertical direction by the rotary motor 20 and the linear motion motor 30, and is rotated around the axis O extending in the vertical direction. A hollow hole 11 is provided in the tip portion 10A of the shaft 10. An application device (not shown) such as a tool or a suction pad is attached to the tip portion 10A of the shaft 10. In the present embodiment, a suction pad (not shown) is attached to the tip portion 10A of the shaft 10, and a so-called pick-and-place operation of picking up the work W and placing it in a predetermined place is performed.

シャフト10の先端部10Aと反対の基端部10B側は、駆動部ハウジング40に収容されている。駆動部ハウジング40に収容されたシャフト10の基端部10B側には、例えば、軸方向に延びる図示しないスプライン溝が設けられている。回転モータ20は、当該スプライン溝に係合する図示しないスプラインナット(回転子)と、当該スプラインナットを回転させる固定子とを有する。回転モータ20の固定子は、駆動部ハウジング40に固定され、シャフト10のスプライン軸に係合したスプラインナット(回転子)を回転させることで、シャフト10の軸方向の移動を許容しつつ、シャフト10を軸線O回りに回転させるようになっている。 The base end portion 10B side opposite to the tip end portion 10A of the shaft 10 is housed in the drive unit housing 40. For example, a spline groove (not shown) extending in the axial direction is provided on the base end portion 10B side of the shaft 10 housed in the drive portion housing 40. The rotary motor 20 has a spline nut (rotor) (not shown) that engages with the spline groove and a stator that rotates the spline nut. The stator of the rotary motor 20 is fixed to the drive unit housing 40, and by rotating a spline nut (rotor) engaged with the spline shaft of the shaft 10, the shaft 10 is allowed to move in the axial direction. 10 is rotated around the axis O.

直動モータ30は、駆動部ハウジング40に固定された固定子31と、固定子31によって鉛直方向(Z軸方向)に移動する可動子32と、を有する。例えば、固定子31には図示しない複数のコイルが設けられ、可動子32には図示しない複数の永久磁石が設けられている。コイルは、鉛直方向に沿って所定ピッチで配置され、且つ、U、V、W相の3つのコイルを一組として複数組設けられている。本実施形態では、これらU、V、W相のコイルに三相電機子電流を流すことによって直線的に移動する移動界磁を発生させ、固定子31に対して可動子32を直線的に移動させるようになっている。 The linear motor 30 has a stator 31 fixed to the drive unit housing 40 and a mover 32 that is moved in the vertical direction (Z-axis direction) by the stator 31. For example, the stator 31 is provided with a plurality of coils (not shown), and the mover 32 is provided with a plurality of permanent magnets (not shown). The coils are arranged at a predetermined pitch along the vertical direction, and a plurality of sets of three U, V, and W phase coils are provided as one set. In the present embodiment, a moving field that moves linearly is generated by passing a three-phase armature current through these U, V, and W phase coils, and the mover 32 moves linearly with respect to the stator 31. It is designed to let you.

直動モータ30とシャフト10は、直動テーブル33を介して連結されている。直動テーブル33は、複数の直動案内装置34によって鉛直方向(Z軸方向)に案内されている。直動案内装置34は、駆動部ハウジング40に固定された軌道レール34aと、軌道レール34aに組み付けられたスライダブロック34bと、を有する。軌道レール34aは、鉛直方向に延びており、スライダブロック34bは、軌道レール34aに沿って鉛直方向に移動可能とされている。 The linear motion motor 30 and the shaft 10 are connected via a linear motion table 33. The linear motion table 33 is guided in the vertical direction (Z-axis direction) by a plurality of linear motion guide devices 34. The linear motion guide device 34 has a track rail 34a fixed to the drive unit housing 40 and a slider block 34b assembled to the track rail 34a. The track rail 34a extends in the vertical direction, and the slider block 34b is movable in the vertical direction along the track rail 34a.

直動テーブル33は、スライダブロック34bに固定され、スライダブロック34bと共に鉛直方向に移動可能とされている。この直動テーブル33は、直動モータ30の可動子32と連結アーム35を介して連結されている。また、直動テーブル33は、シャフト10と連結アーム36を介して連結されている。なお、連結アーム36には、シャフト10を回転可能に支持する図示しない軸受が設けられ、シャフト10の基端部10Bには、シャフト10の落下を防止する抜け止め37が設けられている。 The linear motion table 33 is fixed to the slider block 34b and is movable in the vertical direction together with the slider block 34b. The linear motion table 33 is connected to the mover 32 of the linear motion motor 30 via a connecting arm 35. Further, the linear motion table 33 is connected to the shaft 10 via a connecting arm 36. The connecting arm 36 is provided with a bearing (not shown) that rotatably supports the shaft 10, and the base end portion 10B of the shaft 10 is provided with a retaining 37 for preventing the shaft 10 from falling.

駆動部ハウジング40は、図1に示すように、鉛直方向に延びる板状の直方体形状を有する。具体的に、駆動部ハウジング40は、Z軸方向の寸法がX軸方向の寸法よりも長く、X軸方向の寸法がY軸方向の寸法よりも長い。すなわち、駆動部ハウジング40は、アクチュエータ1の積層方向(Y軸方向)における寸法が最も小さくなっている。この駆動部ハウジング40のZ軸方向の上端面40cには、回転モータ20や直動モータ30を駆動させる電源や信号線等を含んだコネクタ41が接続されている。また、この駆動部ハウジング40のX軸方向の側端面40bには、カートリッジ部3のカートリッジハウジング60が着脱可能に固定されている。 As shown in FIG. 1, the drive unit housing 40 has a plate-shaped rectangular parallelepiped shape extending in the vertical direction. Specifically, the drive unit housing 40 has a dimension in the Z-axis direction longer than the dimension in the X-axis direction and a dimension in the X-axis direction longer than the dimension in the Y-axis direction. That is, the drive unit housing 40 has the smallest dimensions in the stacking direction (Y-axis direction) of the actuator 1. A connector 41 including a power supply, a signal line, and the like for driving the rotary motor 20 and the linear motor 30 is connected to the upper end surface 40c of the drive unit housing 40 in the Z-axis direction. Further, the cartridge housing 60 of the cartridge unit 3 is detachably fixed to the side end surface 40b of the drive unit housing 40 in the X-axis direction.

カートリッジハウジング60は、駆動部ハウジング40と同様に、鉛直方向に延びる板状の直方体形状を有する。カートリッジハウジング60は、Z軸方向の寸法が駆動部ハウジング40のZ軸方向の寸法よりも短いが、駆動部ハウジング40と同様に、Z軸方向の寸法がX軸方向の寸法よりも長く、X軸方向の寸法がY軸方向の寸法よりも長い。すなわち、カートリッジハウジング60は、アクチュエータ1の積層方向(Y軸方向)における寸法が最も小さくなっている。このカートリッジハウジング60のY軸方向の寸法は、駆動部ハウジング40のY軸方向の寸法以下とされている。 The cartridge housing 60 has a plate-shaped rectangular parallelepiped shape extending in the vertical direction, similarly to the drive unit housing 40. The cartridge housing 60 has a dimension in the Z-axis direction shorter than the dimension in the Z-axis direction of the drive unit housing 40, but like the drive unit housing 40, the dimension in the Z-axis direction is longer than the dimension in the X-axis direction. The axial dimension is longer than the Y-axis dimension. That is, the cartridge housing 60 has the smallest dimensions in the stacking direction (Y-axis direction) of the actuator 1. The dimension of the cartridge housing 60 in the Y-axis direction is equal to or less than the dimension of the drive unit housing 40 in the Y-axis direction.

カートリッジハウジング60の内部には、図2に示すように、空圧機器61が収容されている。空圧機器61は、図示しない複数の電磁弁(後述)を有し、シャフト10の先端部10Aからの中空孔11を介したエアの吸引、また、ワークWの脱着のためのエアの吐出または真空破壊等を制御するようになっている。空圧機器61は、カートリッジハウジング60のZ軸方向の上端面60cに設けられたエア用コネクタ62と接続されると共に、カートリッジハウジング60のZ軸方向の下端面60aに設けられたエアチューブコネクタ63と接続されている。エア用コネクタ62は、エアを吸引する図示しないポンプと接続され、エアチューブコネクタ63は、エアチューブ64を介してシャフトハウジング50に設けられたエアチューブ接続孔51と接続されている。 As shown in FIG. 2, a pneumatic device 61 is housed inside the cartridge housing 60. The pneumatic device 61 has a plurality of solenoid valves (described later) (not shown), and sucks air from the tip portion 10A of the shaft 10 through the hollow hole 11 and discharges air for attaching / detaching the work W. It is designed to control vacuum breakage and the like. The pneumatic device 61 is connected to the air connector 62 provided on the upper end surface 60c of the cartridge housing 60 in the Z-axis direction, and the air tube connector 63 provided on the lower end surface 60a of the cartridge housing 60 in the Z-axis direction. Is connected to. The air connector 62 is connected to a pump (not shown) that sucks air, and the air tube connector 63 is connected to an air tube connection hole 51 provided in the shaft housing 50 via the air tube 64.

上記構成の空圧機器61は、シャフト10に対して駆動部(回転モータ20及び直動モータ30)が動力を伝達する動力伝達領域Aと、シャフト10の軸方向において少なくとも一部がオーバーラップする位置に配置されている。動力伝達領域Aとは、シャフト10の軸線O上において、シャフト10に対して駆動部(回転モータ20及び直動モータ30)から動力が伝達される領域であって、具体的には、回転モータ20のスプラインナット(回転子)が配置される領域A1や、連結アーム36がシャフト10に連結される領域A2,A3を指す。本実施形態の空圧機器61は、シャフト10の軸方向において、回転モータ20や直動モータ30と並列に配置され、シャフト10の先端部10Aからの距離が、回転モータ20の動力伝達領域A1までの距離と略同じになっている。 In the pneumatic device 61 having the above configuration, at least a part of the pneumatic device 61 overlaps the power transmission region A in which the drive unit (rotary motor 20 and the linear motor 30) transmits power to the shaft 10 in the axial direction of the shaft 10. It is placed in position. The power transmission region A is a region on the axis O of the shaft 10 in which power is transmitted from the drive unit (rotary motor 20 and the linear motor 30) to the shaft 10, and specifically, the rotary motor. It refers to the area A1 in which the spline nut (rotor) of 20 is arranged and the areas A2 and A3 in which the connecting arm 36 is connected to the shaft 10. The pneumatic device 61 of the present embodiment is arranged in parallel with the rotary motor 20 and the linear motion motor 30 in the axial direction of the shaft 10, and the distance from the tip portion 10A of the shaft 10 is the power transmission region A1 of the rotary motor 20. It is almost the same as the distance to.

図3は、本発明の実施形態におけるシャフトハウジング50の軸方向に沿った断面図である。
図3に示すように、シャフトハウジング50には、シャフト10が摺動可能に挿通されている。このシャフトハウジング50には、エアチューブ接続孔51と、エアチューブ接続孔51と連通してシャフト10の外周面10aを囲う内部空間52と、が設けられている。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the shaft housing 50 according to the embodiment of the present invention along the axial direction.
As shown in FIG. 3, the shaft 10 is slidably inserted into the shaft housing 50. The shaft housing 50 is provided with an air tube connection hole 51 and an internal space 52 that communicates with the air tube connection hole 51 and surrounds the outer peripheral surface 10a of the shaft 10.

シャフトハウジング50は、ハウジング本体53と、一対の蓋体54と、シール体55と、摺動リング56と、を有する。ハウジング本体53は、貫通孔53aが設けられた筒状体である。この貫通孔53aには、その径方向においてエアチューブ接続孔51が連通している。エアチューブ接続孔51は、ハウジング本体53の長手方向(Z軸方向)における中央部に設けられており、ハウジング本体53の内外を連通させている。 The shaft housing 50 includes a housing body 53, a pair of lids 54, a seal 55, and a sliding ring 56. The housing body 53 is a tubular body provided with a through hole 53a. An air tube connection hole 51 communicates with the through hole 53a in the radial direction thereof. The air tube connection hole 51 is provided in the central portion of the housing body 53 in the longitudinal direction (Z-axis direction), and communicates the inside and outside of the housing body 53.

一対の蓋体54は、ハウジング本体53の両端開口部を閉塞し、内部空間52を形成するものである。ハウジング本体53の両端開口部には、貫通孔53aよりも径が大きい円環状の段付き溝53bが設けられている。一方、蓋体54には、段付き溝53bに嵌合する円環状の嵌合突起54bが設けられている。この蓋体54の中央部には、シャフト10が挿通される貫通孔54aが、嵌合突起54bを貫通して設けられている。一対の蓋体54は、嵌合突起54bによってハウジング本体53の両端開口部に嵌合し、また、図示しないボルト等によってハウジング本体53に対し固定されている。 The pair of lids 54 close the openings at both ends of the housing body 53 to form an internal space 52. The openings at both ends of the housing body 53 are provided with an annular stepped groove 53b having a diameter larger than that of the through hole 53a. On the other hand, the lid 54 is provided with an annular fitting projection 54b that fits into the stepped groove 53b. A through hole 54a through which the shaft 10 is inserted is provided in the central portion of the lid 54 so as to penetrate the fitting projection 54b. The pair of lids 54 are fitted to the openings at both ends of the housing body 53 by fitting protrusions 54b, and are fixed to the housing body 53 by bolts or the like (not shown).

シール体55は、ハウジング本体53と一対の蓋体54との間に介在し、両者の隙間を気密にシールするものである。本実施形態のシール体55は、円環状のOリングであり、ハウジング本体53の段付き溝53bに配置され、蓋体54の嵌合突起54bによって軸方向(Z軸方向)に押しつぶされる。このシール体55の内径側には、摺動リング56が設けられている。摺動リング56は、シャフト10を摺動可能に支持するものであり、シール体55が軸方向に押しつぶされることによって、シャフト10の外周面10aに押圧される。これによって、シャフト10の外周面10aと摺動リング56との隙間からの空気漏れが抑制される。 The seal body 55 is interposed between the housing body 53 and the pair of lids 54, and airtightly seals the gap between the two. The seal body 55 of the present embodiment is an annular O-ring, is arranged in the stepped groove 53b of the housing body 53, and is crushed in the axial direction (Z-axis direction) by the fitting projection 54b of the lid body 54. A sliding ring 56 is provided on the inner diameter side of the seal body 55. The sliding ring 56 slidably supports the shaft 10, and when the seal body 55 is crushed in the axial direction, the sliding ring 56 is pressed against the outer peripheral surface 10a of the shaft 10. As a result, air leakage from the gap between the outer peripheral surface 10a of the shaft 10 and the sliding ring 56 is suppressed.

シャフトハウジング50の内部空間52に囲まれたシャフト10の外周面10aには、中空孔11と連通する連通孔12が設けられている。連通孔12は、シャフト10を径方向に十字に貫通しており、シャフト10の外周面10aに4つ開口している。なお、連通孔12は、1つであってもよい。中空孔11は、シャフト10を軸方向に貫通しておらず、シャフト10の先端部10Aから連通孔12が設けられた位置まで軸方向に延在している。これによって、中空孔11が連通孔12を介して内部空間52に連通し、さらに内部空間52を介してエアチューブ接続孔51と連通する。 A communication hole 12 that communicates with the hollow hole 11 is provided on the outer peripheral surface 10a of the shaft 10 surrounded by the internal space 52 of the shaft housing 50. The communication holes 12 penetrate the shaft 10 in a cross direction in the radial direction, and have four openings on the outer peripheral surface 10a of the shaft 10. The number of communication holes 12 may be one. The hollow hole 11 does not penetrate the shaft 10 in the axial direction, and extends axially from the tip portion 10A of the shaft 10 to the position where the communication hole 12 is provided. As a result, the hollow hole 11 communicates with the internal space 52 via the communication hole 12, and further communicates with the air tube connection hole 51 via the internal space 52.

シャフトハウジング50の内部空間52は、シャフト10の外径よりも一回り大きな円筒状の空間である。すなわち、ハウジング本体53の内部空間52において、ハウジング本体53の貫通孔53aとシャフト10の外周面10aとの間には、隙間が形成されている。この内部空間52は、シャフト10の軸方向において、直動モータ30(図2参照)によるシャフト10のストロークS以上の長さLを有する。すなわち、シャフト10のストロークSの全範囲において、連通孔12と内部空間52とが連通するようになっている。なお、シャフト10のストロークSは、駆動部ハウジング40の内部に設けられた図示しないストッパーによって設定することができる。 The internal space 52 of the shaft housing 50 is a cylindrical space that is one size larger than the outer diameter of the shaft 10. That is, in the internal space 52 of the housing body 53, a gap is formed between the through hole 53a of the housing body 53 and the outer peripheral surface 10a of the shaft 10. The internal space 52 has a length L equal to or greater than the stroke S of the shaft 10 by the linear motor 30 (see FIG. 2) in the axial direction of the shaft 10. That is, the communication hole 12 and the internal space 52 communicate with each other in the entire range of the stroke S of the shaft 10. The stroke S of the shaft 10 can be set by a stopper (not shown) provided inside the drive unit housing 40.

この構成によれば、図2に示すように、シャフト10が軸方向に移動したとしても、内部空間52と連通孔12との連通状態が維持されるため、シャフト10の先端部10Aに設けられた中空孔11に負圧を発生させることができる。また、この構成によれば、シャフト10が軸線O回りに回転したとしても、内部空間52と連通孔12との連通状態が維持されるため、シャフト10の先端部10Aに設けられた中空孔11に負圧を発生させ、これによりワークWをピックアップすることができる。 According to this configuration, as shown in FIG. 2, even if the shaft 10 moves in the axial direction, the communication state between the internal space 52 and the communication hole 12 is maintained, so that the shaft 10 is provided at the tip portion 10A of the shaft 10. A negative pressure can be generated in the hollow hole 11. Further, according to this configuration, even if the shaft 10 rotates around the axis O, the communication state between the internal space 52 and the communication hole 12 is maintained, so that the hollow hole 11 provided in the tip portion 10A of the shaft 10 is maintained. A negative pressure is generated in the work W, whereby the work W can be picked up.

図4は、本発明の実施形態におけるアクチュエータ本体2にカートリッジ部3を装着するときの様子を示す外観斜視図である。図5は、本発明の実施形態におけるカートリッジ部3の内部構成図である。
図4に示すように、カートリッジ部3は、シャフト10の軸方向(Z軸方向)及びアクチュエータ1の積層方向(Y軸方向)と直交するX軸方向において、アクチュエータ本体2に対して着脱可能に設けられている。
FIG. 4 is an external perspective view showing a state when the cartridge portion 3 is mounted on the actuator main body 2 according to the embodiment of the present invention. FIG. 5 is an internal configuration diagram of the cartridge unit 3 according to the embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 4, the cartridge portion 3 can be attached to and detached from the actuator main body 2 in the X-axis direction orthogonal to the axial direction (Z-axis direction) of the shaft 10 and the stacking direction (Y-axis direction) of the actuator 1. It is provided.

駆動部ハウジング40のX軸方向の側端面40bには、配線用ジャック70が設けられている。この配線用ジャック70には、図5に示すカートリッジ部3の配線用プラグ71(コネクタ)が接続される。配線用プラグ71は、駆動部ハウジング40の側端面40bに対向するカートリッジハウジング60の側端面60bに設けられている。この配線用プラグ71は、図5に示すように、空圧機器61を構成する複数の電磁弁65と電気的に接続されている。 A wiring jack 70 is provided on the side end surface 40b of the drive unit housing 40 in the X-axis direction. The wiring plug 71 (connector) of the cartridge unit 3 shown in FIG. 5 is connected to the wiring jack 70. The wiring plug 71 is provided on the side end surface 60b of the cartridge housing 60 facing the side end surface 40b of the drive unit housing 40. As shown in FIG. 5, the wiring plug 71 is electrically connected to a plurality of solenoid valves 65 constituting the pneumatic device 61.

複数の電磁弁65は、アクチュエータ本体2から供給される電力及び制御信号によって動作するようになっている。つまり、複数の電磁弁65は、回転モータ20や直動モータ30を駆動させるドライバによって動作するようになっている。なお、複数の電磁弁65は、コネクタ41(図4参照)に接続された図示しない上位の制御装置及び電源によって動作する構成であってもよい。 The plurality of solenoid valves 65 are operated by the electric power and the control signal supplied from the actuator main body 2. That is, the plurality of solenoid valves 65 are operated by a driver that drives the rotary motor 20 and the linear motor 30. The plurality of solenoid valves 65 may be configured to be operated by a higher-level control device and a power supply (not shown) connected to the connector 41 (see FIG. 4).

複数の電磁弁65は、図5に示すように、マニホールド67と接続されている。マニホールド67には、複数の流路が接続されており、電磁弁65aが開かれると、エア用コネクタ62がエアフィルタ68を介してエアチューブ64と連通する。これにより、エアチューブ64内のエアが引かれて、負圧が発生する。この電磁弁65aは、吸引制御用である。 As shown in FIG. 5, the plurality of solenoid valves 65 are connected to the manifold 67. A plurality of flow paths are connected to the manifold 67, and when the solenoid valve 65a is opened, the air connector 62 communicates with the air tube 64 via the air filter 68. As a result, the air in the air tube 64 is pulled, and a negative pressure is generated. The solenoid valve 65a is for suction control.

また、マニホールド67に接続された電磁弁65bが開かれると、マニホールド67に空圧系外のエアが流れ込み、エアチューブ64内の真空を破壊する。この電磁弁65bは、真空破壊用である。
なお、ピック&プレイス動作の高タクト化を図る場合、エアを押し込むもう一つのエア用コネクタ62をマニホールド67に接続し、真空破壊用の電磁弁65bによって開閉制御してもよい。また、ピック&プレイス動作の高タクト化を考えない場合、エア用コネクタ62は一本で、電磁弁65も吸引制御用の一つであってもよい。
When the solenoid valve 65b connected to the manifold 67 is opened, air outside the pneumatic system flows into the manifold 67, destroying the vacuum inside the air tube 64. The solenoid valve 65b is for vacuum breaking.
In order to increase the tact of the pick-and-place operation, another air connector 62 for pushing air may be connected to the manifold 67 and opened / closed controlled by a vacuum breaking solenoid valve 65b. Further, when considering the high tact of the pick and place operation, the air connector 62 may be one and the solenoid valve 65 may be one for suction control.

エアフィルタ68は、マニホールド67に対し着脱可能に接続されている。エアフィルタ68は、電磁弁65、マニホールド67と共に、カートリッジハウジング60の内部に収容されている。なお、カートリッジハウジング60には、圧力を設定するレギュレータ、真空を発生させるエジェクタ、エア排出時騒音防止用のサイレンサ、その他、圧力センサや流量センサ等の制御用の各種センサ類が収容されていてもよい。 The air filter 68 is detachably connected to the manifold 67. The air filter 68 is housed inside the cartridge housing 60 together with the solenoid valve 65 and the manifold 67. Even if the cartridge housing 60 contains a regulator for setting pressure, an ejector for generating a vacuum, a silencer for preventing noise when discharging air, and various other sensors for control such as a pressure sensor and a flow rate sensor. good.

カートリッジハウジング60は、図4に示すように、駆動部ハウジング40の側端面40bに取り付けられるため、カートリッジ部3をアクチュエータ本体2に固定するための図示しない固定部(例えば、スナップフィット、ボルト等により固定される部分)は、アクチュエータ1の積層方向(Y軸方向)に飛び出ないように配置することが好ましい。例えば、カートリッジハウジング60の下端面60aから駆動部ハウジング40の下端面40aまで固定部を延ばしボルト止めすると共に、カートリッジハウジング60の側端面60bの上端から上方に固定部を延ばし、駆動部ハウジング40の側端面40bにボルト止めしてもよい。 As shown in FIG. 4, since the cartridge housing 60 is attached to the side end surface 40b of the drive unit housing 40, a fixing portion (for example, snap fit, bolt, etc.) (for example, snap fit, bolt, etc.) for fixing the cartridge portion 3 to the actuator main body 2 is used. The portion to be fixed) is preferably arranged so as not to protrude in the stacking direction (Y-axis direction) of the actuator 1. For example, the fixed portion is extended from the lower end surface 60a of the cartridge housing 60 to the lower end surface 40a of the drive unit housing 40 and bolted, and the fixed portion is extended upward from the upper end of the side end surface 60b of the cartridge housing 60 to form the drive unit housing 40. It may be bolted to the side end surface 40b.

上記構成のアクチュエータ1によれば、シャフト10に設けられた中空孔11の空圧を制御する空圧機器61が、図4に示すように、アクチュエータ本体2に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部3に収容されている。この構成によれば、電磁弁65やエアフィルタ68等の消耗品を含む空圧機器61を、駆動部(回転モータ20や直動モータ30)等を取り外すことなくアクチュエータ本体2から容易に分離し、交換することができる。このように空圧機器61をまとめてカートリッジ化することによって、空圧機器61の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済む。したがって、アクチュエータ1及びアクチュエータユニット100を停止する時間が短くなり、装置の稼働率が高くなる。 According to the actuator 1 having the above configuration, the pneumatic device 61 for controlling the pneumatic pressure of the hollow hole 11 provided in the shaft 10 is detachably provided with respect to the actuator main body 2 as shown in FIG. It is housed in part 3. According to this configuration, the pneumatic device 61 including consumables such as the solenoid valve 65 and the air filter 68 can be easily separated from the actuator main body 2 without removing the drive unit (rotary motor 20 or linear motor 30) or the like. , Can be replaced. By collectively forming the pneumatic device 61 into a cartridge in this way, the periodic maintenance work of the pneumatic device 61 can be easily and quickly completed. Therefore, the time for stopping the actuator 1 and the actuator unit 100 is shortened, and the operating rate of the device is increased.

また、本実施形態では、図2に示すように、シャフト10の軸線O上には、シャフト10に対して駆動部が動力を伝達する動力伝達領域Aが設けられており、空圧機器61は、シャフト10の軸線Oに沿う軸方向において、動力伝達領域Aの少なくとも一部とオーバーラップする位置に配置されている。この構成によれば、空圧機器61(具体的には、電磁弁65)からシャフト10の先端部10Aの中空孔11までの経路を短くでき、その経路内の空気の体積を少なくすることで、電磁弁65が開いてから負圧が発生するまでの時間を短くし、ピック&プレイス動作の高タクト化を実現させることができる。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, a power transmission region A in which the drive unit transmits power to the shaft 10 is provided on the axis O of the shaft 10, and the pneumatic device 61 is provided with the pneumatic device 61. , Is arranged at a position overlapping with at least a part of the power transmission region A in the axial direction along the axis O of the shaft 10. According to this configuration, the path from the pneumatic device 61 (specifically, the solenoid valve 65) to the hollow hole 11 of the tip portion 10A of the shaft 10 can be shortened, and the volume of air in the path can be reduced. , The time from the opening of the solenoid valve 65 to the generation of negative pressure can be shortened, and high tact of the pick-and-place operation can be realized.

仮に、空圧機器61をアクチュエータ本体2に組み込んだ形態では、設置スペースの制限から、空圧機器61をシャフト10の軸線O上乃至シャフト10の近傍に配置しなければならない。この場合、空圧機器61を動力伝達領域Aの一部とオーバーラップして配置することが困難になり、シャフト10の先端部10Aからの距離が、空圧機器61及び動力伝達領域Aで異なる(前後する)こととなる。例えば、シャフト10の先端部10Aに対し、空圧機器61が動力伝達領域A3よりも後ろ(遠く)に配置された場合、先端部10Aから電磁弁65までの空気の経路が長くなり、上述した高タクト化が困難になる。一方、シャフト10の先端部10Aに対し、動力伝達領域A2が空圧機器61よりも後ろ(遠く)に配置された場合、先端部10Aから動力伝達領域A2までの距離が長くなり、シャフト10の軸直度や振れ精度が悪くなる。対して、本実施形態によれば、図2に示すように、シャフト10の先端部10Aに対する空圧機器61及び動力伝達領域Aまでの距離が略同じになるため、高タクト化と、シャフト10の軸直度や振れ精度の向上を両立させることができる。 If the pneumatic device 61 is incorporated in the actuator main body 2, the pneumatic device 61 must be arranged on the axis O of the shaft 10 or in the vicinity of the shaft 10 due to the limitation of the installation space. In this case, it becomes difficult to arrange the pneumatic device 61 so as to overlap a part of the power transmission area A, and the distance of the shaft 10 from the tip portion 10A differs between the pneumatic device 61 and the power transmission area A. It will be (before and after). For example, when the pneumatic device 61 is arranged behind (far) from the power transmission region A3 with respect to the tip portion 10A of the shaft 10, the air path from the tip portion 10A to the solenoid valve 65 becomes long, as described above. High tact becomes difficult. On the other hand, when the power transmission region A2 is arranged behind (far) from the pneumatic device 61 with respect to the tip portion 10A of the shaft 10, the distance from the tip portion 10A to the power transmission region A2 becomes longer, and the shaft 10 Axial straightness and runout accuracy deteriorate. On the other hand, according to the present embodiment, as shown in FIG. 2, the distances to the pneumatic device 61 and the power transmission region A with respect to the tip portion 10A of the shaft 10 are substantially the same, so that the tact is increased and the shaft 10 is increased. It is possible to improve both the axial straightness and the runout accuracy.

また、本実施形態では、図5に示すように、カートリッジ部3には、電磁弁65とアクチュエータ本体2とを電気的に接続する配線用プラグ71が設けられているため、省配線化でき、空圧機器61の取り付け作業を容易且つ短時間に行うことができる。
さらに、本実施形態では、図4に示すように、カートリッジ部3が、シャフト10の軸方向(Z軸方向)及びアクチュエータ1の積層方向(Y軸方向)と直交するX軸方向において、アクチュエータ本体2に対して着脱可能に設けられているため、アクチュエータ1を積層して使用する形態であっても、他のアクチュエータ1をアクチュエータユニット100の図示しない固定面から取り外すことなく、空圧機器61を交換することが可能となる。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, since the cartridge unit 3 is provided with the wiring plug 71 for electrically connecting the solenoid valve 65 and the actuator main body 2, wiring can be saved. The installation work of the pneumatic device 61 can be performed easily and in a short time.
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, the cartridge portion 3 is the actuator main body in the X-axis direction orthogonal to the axial direction (Z-axis direction) of the shaft 10 and the stacking direction (Y-axis direction) of the actuator 1. Since the actuators 1 are detachably provided with respect to 2, the pneumatic device 61 can be mounted without removing the other actuator 1 from the fixed surface (not shown) of the actuator unit 100 even in the form of stacking the actuators 1. It can be replaced.

このように、上述の本実施形態によれば、シャフト10を駆動させる駆動部(回転モータ20及び直動モータ30)が設けられたアクチュエータ本体2と、シャフト10に設けられた中空孔11の空圧を制御する空圧機器61と、を有し、空圧機器61は、アクチュエータ本体2に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部3に収容されている、という構成を採用することによって、空圧機器61の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高くなるアクチュエータ1及びアクチュエータユニット100が得られる。 As described above, according to the above-described embodiment, the actuator main body 2 provided with the drive unit (rotary motor 20 and the linear motor 30) for driving the shaft 10 and the hollow hole 11 provided in the shaft 10 are emptied. By adopting a configuration in which the pneumatic device 61 has a pneumatic device 61 for controlling the pressure, and the pneumatic device 61 is housed in a cartridge unit 3 detachably provided with respect to the actuator main body 2, the pneumatic device 61 is emptied. It is possible to obtain the actuator 1 and the actuator unit 100 in which the periodic maintenance work of the pressure device 61 can be easily and quickly completed and the operating rate of the device is high.

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。 Although the preferred embodiment of the present invention has been described above with reference to the drawings, the present invention is not limited to the above embodiment. The various shapes and combinations of the constituent members shown in the above-described embodiment are examples, and can be variously changed based on design requirements and the like within a range that does not deviate from the gist of the present invention.

例えば、上記実施形態では、アクチュエータ1が回転モータ20及び直動モータ30を有する構成について例示したが、アクチュエータ1が回転モータ20のみを有する構成であってもよいし、アクチュエータ1が直動モータ30のみを有する構成であってもよい。 For example, in the above embodiment, the configuration in which the actuator 1 has the rotary motor 20 and the linear motion motor 30 has been illustrated, but the actuator 1 may have only the rotary motor 20 or the actuator 1 may have the linear motion motor 30. It may be a configuration having only.

また、上記実施形態では、回転モータ20がスプラインナットを介してシャフト10を回転させる構成を例示したが、例えば、回転モータ20がベルト及びプーリーを介してシャフト10を回転させる構成であってもよい。この場合、シャフト10に固定されたプーリーが動力伝達領域Aとなる。 Further, in the above embodiment, the configuration in which the rotary motor 20 rotates the shaft 10 via the spline nut is illustrated, but for example, the rotary motor 20 may be configured to rotate the shaft 10 via the belt and the pulley. .. In this case, the pulley fixed to the shaft 10 becomes the power transmission region A.

また、例えば、上記実施形態では、ワークWをピック&プレイスするアクチュエータ1に本発明を適用したが、例えば、他の空圧のアクチュエータにも本発明を適用することができる。 Further, for example, in the above embodiment, the present invention is applied to the actuator 1 that picks and places the work W, but for example, the present invention can be applied to other pneumatic actuators.

1…アクチュエータ、2…アクチュエータ本体、3…カートリッジ部、10…シャフト、11…中空孔、20…回転モータ(駆動部)、30…直動モータ(駆動部)、40…駆動部ハウジング、60…カートリッジハウジング、61…空圧機器、65…電磁弁、67…マニホールド、68…エアフィルタ、71…配線用プラグ(コネクタ)、100…アクチュエータユニット、A…動力伝達領域、O…軸線 1 ... Actuator, 2 ... Actuator body, 3 ... Cartridge part, 10 ... Shaft, 11 ... Hollow hole, 20 ... Rotating motor (drive part), 30 ... Linear motor (drive part), 40 ... Drive part housing, 60 ... Cartridge housing, 61 ... Pneumatic equipment, 65 ... Solenoid valve, 67 ... Manifold, 68 ... Air filter, 71 ... Wiring plug (connector), 100 ... Actuator unit, A ... Power transmission area, O ... Axis

Claims (4)

シャフトを駆動させる駆動部が設けられたアクチュエータ本体と、
前記シャフトに設けられた中空孔の空圧を制御する空圧機器と、を有し、
前記空圧機器は、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部に収容され
前記シャフトの軸線上には、前記シャフトに対して前記駆動部が動力を伝達する動力伝達領域が設けられており、
前記空圧機器は、前記シャフトの軸線に沿う軸方向において、前記動力伝達領域の少なくとも一部とオーバーラップする位置に配置されている、ことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator body provided with the drive unit that drives the shaft, and
It has a pneumatic device that controls the pneumatic pressure of the hollow hole provided in the shaft.
The pneumatic device is housed in a cartridge portion that is detachably provided with respect to the actuator body .
A power transmission region in which the drive unit transmits power to the shaft is provided on the axis of the shaft.
An actuator characterized in that the pneumatic device is arranged at a position overlapping with at least a part of the power transmission region in an axial direction along an axis of the shaft .
前記空圧機器は、電磁弁を含み、
前記カートリッジ部には、前記電磁弁と前記アクチュエータ本体とを電気的に接続する
コネクタが設けられている、ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
The pneumatic device includes a solenoid valve.
The actuator according to claim 1 , wherein the cartridge portion is provided with a connector for electrically connecting the solenoid valve and the actuator main body.
前記空圧機器には、電磁弁、エアフィルタの少なくとも一つが含まれている、ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 1 or 2 , wherein the pneumatic device includes at least one of a solenoid valve and an air filter. 請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータが、前記シャフトの軸方向と直交する方向に複数積層され、
前記カートリッジ部が、前記シャフトの軸方向及び前記アクチュエータの積層方向と直交する方向において、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられている、ことを特徴とするアクチュエータユニット。
A plurality of actuators according to any one of claims 1 to 3 are stacked in a direction orthogonal to the axial direction of the shaft.
An actuator unit characterized in that the cartridge portion is detachably provided with respect to the actuator main body in a direction orthogonal to the axial direction of the shaft and the stacking direction of the actuator.
JP2017122982A 2017-06-23 2017-06-23 Actuator and actuator unit Active JP6923372B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017122982A JP6923372B2 (en) 2017-06-23 2017-06-23 Actuator and actuator unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017122982A JP6923372B2 (en) 2017-06-23 2017-06-23 Actuator and actuator unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019005839A JP2019005839A (en) 2019-01-17
JP6923372B2 true JP6923372B2 (en) 2021-08-18

Family

ID=65025633

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017122982A Active JP6923372B2 (en) 2017-06-23 2017-06-23 Actuator and actuator unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6923372B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7188850B2 (en) * 2018-08-01 2022-12-13 Thk株式会社 actuator
JP1724248S (en) 2022-01-21 2022-09-08 Robot arm for sticker application system
WO2025032846A1 (en) 2023-08-08 2025-02-13 ミネベアミツミ株式会社 Vacuum generation device and suction device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5210904B2 (en) * 2009-01-30 2013-06-12 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ Electronic component mounting head, suction nozzle, electronic component mounting apparatus, and air filter insertion jig
JP6131041B2 (en) * 2012-12-20 2017-05-17 Juki株式会社 Electronic component mounting equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019005839A (en) 2019-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6923372B2 (en) Actuator and actuator unit
JP5251880B2 (en) Internal pressure explosion-proof robot
KR101932512B1 (en) Pick-up apparatus
EP3262320B2 (en) High speed rod-style linear actuator
TWI558523B (en) Industrial robots
CA3184263A1 (en) Integrated motor linear actuator
US8030813B2 (en) Servo motor
US9559566B2 (en) Coupled capacitive and magnetic servo motor systems
EP2790306A2 (en) Rotor-linear actuator
KR102593375B1 (en) actuator
JP6229651B2 (en) Chuck device
JP4475710B2 (en) Linear drive
JP6133666B2 (en) Automatic threading device
KR102151386B1 (en) Reducer with position feedback apparatus
US20220388154A1 (en) Improved delta robot
EP3255305B1 (en) Power transmission device
JP6918598B2 (en) Actuator and actuator unit
JP6487570B2 (en) Mounting shaft device, mounting head, surface mounting machine
CN107251377B (en) Motors, drivers, semiconductor manufacturing equipment, and flat panel display manufacturing equipment
JP2021183360A (en) Gripping device and gripping system including the same
US12195286B2 (en) Negative pressure-generating structure and actuator
JP2004340376A (en) Uni-axial two-degree-of-freedom actuator
WO2020080253A1 (en) Actuator unit and actuator
JP2023118600A (en) Actuator and magnetic pole position estimation method
JP2025532757A (en) Apparatus for holding, positioning and/or moving objects in a vacuum

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20181116

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200606

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210406

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210603

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210629

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210729

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6923372

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250