JP6924815B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は搬送装置に関し、具体的には、ウエハーまたは基板またはカセットを搬送する搬送装置に関する。

半導体製造工程においては、ウエハーまたは基板またはカセットなどの搬送物体が各種処理装置の間に搬送され、各種の工程を実行する。また、各処理装置の配置位置により、搬送物体が前の処理装置から搬出される方向は、搬送物体が次の処理装置に搬入される方向と一致しない場合がある。例えば、第１の処理装置から第２の処理装置に搬送するにあたって、搬送物体を第２の処理装置に搬入するときには、搬送物体を９０度回転させる必要があることもある。

上記例示においては、搬送物体を直線運送装置によって第１の処理装置から第２の処理装置の直前まで搬送した後、回転装置によって搬送物体を９０度回転させてから、第２の処理装置に搬送する。

しかし、このような搬送方法は、搬送に関する装置の設置スペースが大きく、効率が低い。したがって、特許文献１には、一種のロボットアームが提案されている。該ロボットアームは、床面に固定された基部と、基部に回動可能に配置されたリンク機構と、一端部がリンク機構の先端に第１の連結軸を介して連結されるアーム部と、該アーム部の他端部に第２の連結軸を介して連結されるハンド部と、リンク機構を基部に対して回転駆動するリンクモーターと、アーム部をリンク機構に対して回転駆動するアームモーターと、ハンド部をアーム部に対して回転駆動するハンドモーターと、を具える。該ロボットアームは、複数のモーターを介して、アーム部とリンク機構を回転させ、アーム部が届く範囲内で、ハンド部を所望の角度に回転させることができる。

台湾特許第Ｉ３５０２３９号公報

しかしながら、このようなロボットアームは、複数のモーターが使用されているため、製造コストが高い。

したがって、本発明は、搬送物体を移動させると同時に回転させることができ、製造コストが低い搬送装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するための手段として、本発明は、以下の搬送装置を提供する。

本発明の搬送装置は、駆動手段と、主動アームと、受動アームと、搬送モジュールと、連動手段と、を備える搬送装置であって、前記駆動手段は、ベースと、前記ベースに対して回転可能になっていると共に、駆動力を出力する出力軸と、を有し、前記主動アームは、所定の高さ方向に沿って延伸し、前記駆動手段の前記出力軸に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第１の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第１の回転軸に固定されて接続される第１のアーム本体と、を有し、前記受動アームは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第１のアーム本体に相対回転可能に接続される第２の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される第２のアーム本体と、を有し、前記搬送モジュールは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第２のアーム本体に相対回転可能に接続される第３の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される支持盤と、を有し、前記支持盤には、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートを有し、前記連動手段は、前記第１のアーム本体に配置される第１の連動モジュールと、前記第２のアーム本体に配置される第２の連動モジュールと、を有し、前記第１の連動モジュールは、前記第１の回転軸と同軸するように配置される第１のプーリーと、前記第１の回転軸と相対回転する前記第１のプーリーに連動して前記第２の回転軸を回転駆動するように前記第２の回転軸及び前記第１のプーリーに取り付けられる第１の伝動部材と、を有し、前記第２の連動モジュールは、前記第２の回転軸と同軸するように配置される第２のプーリーと、前記第２の回転軸と相対回転する前記第２のプーリーに連動して前記第３の回転軸を回転駆動するように前記第３の回転軸及び前記第２のプーリーに取り付けられる第２の伝動部材と、を有し、前記第２の回転軸は、前記第１の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、前記第３の回転軸は、前記第２の回転軸の回転方向の逆方向へ回転する。

上記構成によれば、本発明に係る搬送装置は、前記駆動手段が前記主動アームを回転駆動して、前記受動アームが前記主動アームの回転に連動して回転すると共に、前記搬送モジュールが前記受動アームの回転に連動して回転する。つまり、該搬送モジュールは、単一の動力源により、移動しながら搬送方向を変更することができる。また、搬送物体が該搬送モジュールにより支持されるので、該搬送モジュールと共に移動し、回転する。また、本発明は、前記駆動手段が単一の動力源しか有していないことにより、従来より製造コストが低くなる。

したがって、本発明は、上述の構成によって、搬送物体を移動させると同時に回転させることができ、製造コストが低い搬送装置を提供することができる。

本発明に係る搬送装置の一実施形態の構成を示す斜視図である。 本実施形態のスタート位置を示す平面図である。 本実施形態の主動アームが駆動されて、時計回りに３０度回転することを示す平面図である。 本実施形態の主動アームが駆動されて、時計回りに１６０度回転することを示す平面図である。 本実施形態の主動アームが駆動されて、時計回りに１８０度回転することを示す平面図である。

以下、本発明に係る搬送装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。

図１と図２に示されているように、本実施形態は、駆動手段１と、主動アーム２と、受動アーム３と、搬送モジュール４と、連動手段５と、を備える。

駆動手段１は、ベース１３と、ベース１３に配置されるベルト１２と、ベース１３に配置されるモーター１１と、ベース１３に対して回転可能になっていると共に、モーター１１の駆動力を出力する出力軸１１１と、を有する。

主動アーム２は、ベース１３に相対回転可能に配置されると共に、所定の高さ方向Ｄ１に沿って延伸し、駆動手段１の出力軸１１１に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第１の回転軸２１と、高さ方向Ｄ１と直交する方向に沿って延伸し、第１の回転軸２１に固定されて接続される第１のアーム本体２２と、を有する。本実施形態において、ベルト１２は、出力軸１１１の回転に連動して第１の回転軸２１を回転駆動するように第１の回転軸２１及び出力軸１１１に取り付けられる。

受動アーム３は、高さ方向Ｄ１に沿って延伸し、第１のアーム本体２２に相対回転可能に接続される第２の回転軸３１と、高さ方向Ｄ１と直交する方向に沿って延伸し、第２の回転軸３１に固定されて接続される第２のアーム本体３２と、を有する。

搬送モジュール４は、高さ方向Ｄ１に沿って延伸し、第２のアーム本体３２に相対回転可能に接続される第３の回転軸４１と、高さ方向Ｄ１と直交する方向に沿って延伸し、第２の回転軸３１に固定されて接続される支持盤４２と、を有する。該支持盤４２は、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートＰを有し、搬送物体は、例えば、基板または複数の基板を収容するカセットである。また、本実施形態において、支持盤４２は、長さ方向がルートＰに平行する長方形の支持盤本体４２１と、支持盤本体４２１の四角に配置されると共に、ルートＰの方向に平行するように延伸する４つの係止ブロック４２２と、を有する。

連動手段５は、第１のアーム本体２２に配置される第１の連動モジュール５１と、第２のアーム本体３２に配置される第２の連動モジュール５２と、を有する。

第１の連動モジュール５１は、第１の回転軸２１と同軸するように配置される第１のプーリー５１１と、第１の回転軸２１と相対回転する第１のプーリー５１１に連動して第２の回転軸３１を回転駆動するように第２の回転軸３１及び第１のプーリー５１１に取り付けられる第１の伝動部材５１２と、を有する。第２の回転軸３１は、第１の回転軸２１の回転方向の逆方向へ回転する。

また、本実施形態において、第１のプーリー５１１と第２の回転軸３１は、それぞれ第１のアーム本体２２の延伸した両端部に配置されており、第１のプーリー５１１は、ベース１３に固定接続されており、第１の伝動部材５１２は、第２の回転軸３１及び第１のプーリー５１１にそれぞれ掛けられた第１の伝動ベルト５１２ａから構成されている。

主動アーム２が駆動手段１の出力軸１１１に駆動されて、第１の回転軸２１が回転すると共に、第１の回転軸２１に固定された第１のアーム本体２２が回転するとき、第１のプーリー５１１は、ベース１３に固定されて回転しないため、第１の伝動ベルト５１２ａは、第２の回転軸３１を第１の回転軸２１の回転方向の逆方向へ回転させる。例えば、第１の回転軸２１が時計回りに回転するとき、第１のプーリー５１１が回転しないので、第１のプーリー５１１は、第１の回転軸２１に対して、反時計回りに回転する。そのため、第１の伝動ベルト５１２ａは、第２の回転軸３１を反時計回りに回転させる。また、他の実施形態において、第１の伝動部材５１２は、複数のギアから構成されてもよい。

第２の連動モジュール５２は、第２の回転軸３１と同軸するように配置される第２のプーリー５２１と、第２の回転軸３１と相対回転する第２のプーリー５２１に連動して第３の回転軸４１を回転駆動するように第３の回転軸４１及び第２のプーリー５２１に取り付けられる第２の伝動部材５２２と、を有する。第３の回転軸４１は、第２の回転軸３１の回転方向の逆方向へ回転する。

また、本実施形態において、第２のプーリー５２１と第３の回転軸４１は、それぞれ第２のアーム本体３２の延伸した両端部に配置されており、第２のプーリー５２１は、第１のアーム本体２２に固定接続されており、第２の伝動部材５２２は、第３の回転軸４１及び第２のプーリー５２１にそれぞれ掛けられた第２の伝動ベルト５２２ａから構成されている。

受動アーム３が第１の伝動ベルト５１２ａに連動されて、第２の回転軸３１が第１のアーム本体２２に対して相対回転すると共に、第２の回転軸３１に固定された第２のアーム本体３２が回転するとき、第２のプーリー５２１は、第１のアーム本体２２に固定されて第１のアーム本体２２に対して不動になるため、第２の伝動ベルト５２２ａは、第３の回転軸４１を第２の回転軸３１の回転方向の逆方向へ回転させる。例えば、第２の回転軸３１が反時計回りに回転するとき、第２のプーリー５２１が回転しないので、第２のプーリー５２１は、第２の回転軸３１に対して、時計回りに回転する。そのため、第２の伝動ベルト５２２ａは、第３の回転軸４１を時計回りに回転させる。即ち、第３の回転軸４１は、第１の回転軸２１と同じ方向へ回転し、第２の回転軸３１は、第１の回転軸２１及び第３の回転軸４１の回転方向の逆方向へ回転する。また、他の実施形態において、第２の伝動部材５２２は、複数のギアから構成されてもよい。

ここで、説明の便宜のため、以下のように各数値を定義する。

第１の回転軸２１の軸心Ｘ１と第２の回転軸３１の軸心Ｘ２を通る直線を、第１の軸線Ｌ１とする。また、第２の回転軸３１の軸心Ｘ２と第３の回転軸４１の軸心Ｘ３を通る直線を、第２の軸線Ｌ２とする。そして第３の回転軸４１の軸心Ｘ３を通ると共に、支持盤４２のルートＰに平行する直線を、第３の軸線Ｌ３とする。

第１のプーリー５１１の外周面の半径をｗｒ１とし、第２のプーリー５２１の外周面の半径をｗｒ２とする。第２の回転軸３１の第１の伝動ベルト５１２ａに接続されている部位の半径を、ｓｒ２とし、第３の回転軸４１の第２の伝動ベルト５２２ａに接続されている部位の半径を、ｓｒ３とする。

時計回りに回転した角度を正の数値とし、反時計回りに回転した角度を負の数値とする。また、本実施形態のスタート位置においては、図２に示されるように第１の軸線Ｌ１と第２の軸線Ｌ２と第３の軸線Ｌ３が共に所定の参照軸線ＬＢを画成する。主動アーム２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度（即ち、第１の軸線Ｌ１の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）を、θ１とし、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）を、θ２とし、更に、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）を、θ３とする。また、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度を、Ａ１とし、第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度を、Ａ２とする。

以上のように定義すると、本実施形態において各数値は、以下の条件を満たす。
Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２
θ２＝Ａ１＋θ１
Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３
θ３＝Ａ２＋θ２＝（−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３）＋（Ａ１＋θ１）
＝Ａ１×（１−ｗｒ２／ｓｒ３）＋θ１
＝（−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２）×（１−ｗｒ２／ｓｒ３）＋θ１
＝θ１×（１−ｗｒ１／ｓｒ２＋ｗｒ１ｗｒ２／ｓｒ２ｓｒ３）

また、本実施形態において、第１の回転軸２１の軸心Ｘ１から第２の回転軸３１の軸心Ｘ２までの距離（即ち、主動アーム２の長さ）は、第２の回転軸３１の軸心Ｘ２から第３の回転軸４１の軸心Ｘ３までの距離（即ち、受動アーム３の長さ）と同じであり、更に、第１のプーリー５１１の外周面の半径ｗｒ１と第２の回転軸３１の第１の伝動部材５１２に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率は、２：１であり、第２のプーリー５２１の外周面の半径ｗｒ２と第３の回転軸４１の第２の伝動部材５２２に接続されている部位の半径ｓｒ３との比率は、３：４である。つまり、ｗｒ１：ｓｒ２＝２：１、ｗｒ２：ｓｒ３＝３：４（即ち、ｗｒ１／ｓｒ２＝２、ｗｒ２／ｓｒ３＝３／４）となる。

図２に示されているように、本実施形態がスタート位置に位置するときには、第１の軸線Ｌ１と第２の軸線Ｌ２と第３の軸線Ｌ３が参照軸線ＬＢにある。つまり、主動アーム２と受動アーム３と搬送モジュール４は直線に並んでおり、支持盤４２のルートＰと参照軸線ＬＢとの角度は０度である。

図３に示されているように、主動アーム２が駆動されて時計回りに３０度回転すると（つまり、θ１＝３０）、受動アーム３が連動されて、主動アーム２に対して反時計回りに６０度回転し、参照軸線ＬＢに対して反時計回りに３０度回転する。同時に、搬送モジュール４が連動されて、受動アーム３に対して時計回りに４５度回転し、参照軸線ＬＢに対して時計回りに１５度回転する。具体的には、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度Ａ１（即ち、受動アーム３の主動アーム２に対する相対回転角度）は、Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２＝−３０×２＝−６０である（即ち、反時計回りに６０度回転する）。また、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ２（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ２＝Ａ１＋θ１＝−６０＋３０＝−３０である（即ち、反時計回りに３０度回転する）。第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度Ａ２（即ち、搬送モジュール４の受動アーム３に対する相対回転角度）は、Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３＝−（−６０）×３／４＝４５である（即ち、時計回りに４５度回転する）。また、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ３（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ３＝Ａ２＋θ２＝４５＋（−３０）＝１５である（即ち、時計回りに１５度回転する）。

図４に示されているように、主動アーム２が駆動されて時計回りに１６０度回転すると（つまり、θ１＝１６０）、受動アーム３が連動されて、主動アーム２に対して反時計回りに３２０度回転し、参照軸線ＬＢに対して反時計回りに１６０度回転する。同時に、搬送モジュール４が連動されて、受動アーム３に対して時計回りに２４０度回転し、参照軸線ＬＢに対して時計回りに８０度回転する。具体的には、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度Ａ１（即ち、受動アーム３の主動アーム２に対する相対回転角度）は、Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２＝−１６０×２＝−３２０である（即ち、反時計回りに３２０度回転する）。また、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ２（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ２＝Ａ１＋θ１＝−３２０＋１６０＝−１６０である（即ち、反時計回りに１６０度回転する）。第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度Ａ２（即ち、搬送モジュール４の受動アーム３に対する相対回転角度）は、Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３＝−（−３２０）×３／４＝２４０である（即ち、時計回りに２４０度回転する）。また、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ３（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ３＝Ａ２＋θ２＝２４０＋（−１６０）＝８０である（即ち、時計回りに８０度回転する）。

図５に示されているように、主動アーム２が駆動されて時計回りに１８０度回転すると（つまり、θ１＝１８０）、受動アーム３が連動されて、主動アーム２に対して反時計回りに３６０度回転し、参照軸線ＬＢに対して反時計回りに１８０度回転する。同時に、搬送モジュール４が連動されて、受動アーム３に対して時計回りに２７０度回転し、参照軸線ＬＢに対して時計回りに９０度回転する。具体的には、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度Ａ１（即ち、受動アーム３の主動アーム２に対する相対回転角度）は、Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２＝−１８０×２＝−３６０である（即ち、反時計回りに３６０度回転する）。また、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ２（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ２＝Ａ１＋θ１＝−３６０＋１８０＝−１８０である（即ち、反時計回りに１８０度回転する）。第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度Ａ２（即ち、搬送モジュール４の受動アーム３に対する相対回転角度）は、Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３＝−（−３６０）×３／４＝２７０である（即ち、時計回りに２７０度回転する）。また、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ３（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ３＝Ａ２＋θ２＝２７０＋（−１８０）＝９０である（即ち、時計回りに９０度回転する）。

図２〜図５に示されているように、本実施形態は、１つのモーター１１が出力軸１１１を介して第１の回転軸２１を駆動して回転させることによって、搬送モジュール４の支持盤４２を移動させると同時に回転させることができる。また、本実施形態において、主動アーム２を１８０度回転させたとき、支持盤４２のスタート位置から移動された距離は、主動アーム２の長さと受動アーム３の長さとを加算した長さの２倍であり、且つ、支持盤４２のスタート位置に対する回転角度は、９０度である。そのため、支持盤４２のルートＰが９０度回転することで、支持盤４２により支持されている搬送物体は、移動しながら搬送方向を変更する。

また、本実施形態において、主動アーム２の長さが、受動アーム３の長さと同じであり、且つ、第１のプーリー５１１の外周面の半径ｗｒ１と第２の回転軸３１の第１の伝動部材５１２に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率が、２：１であることにより、第３の回転軸４１の軸心Ｘ３は、参照軸線ＬＢに沿って移動する。つまり、支持盤４２は、参照軸線ＬＢに沿って直線移動する。

第１のプーリー５１１の外周面の半径ｗｒ１と第２の回転軸３１の第１の伝動部材５１２に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率（即ち、ｗｒ１／ｓｒ２）、及び第２のプーリー５２１の外周面の半径ｗｒ２と第３の回転軸４１の第２の伝動部材５２２に接続されている部位の半径ｓｒ３との比率（即ち、ｗｒ２／ｓｒ３）は、使用者の需求によって調整することができる。つまり、主動アーム２の回転角度と受動アーム３の回転角度との比率を所望の比率に設定するために、適切なｗｒ１／ｓｒ２の比率を決定し、受動アーム３の回転角度と搬送モジュール４の回転角度との比率を所望の比率に設定するために、適切なｗｒ２／ｓｒ３の比率を決定することができる。また、上述した比率は、本実施形態における比率に限定されない。

以上のような構成とされた実施形態によれば、本発明に係る搬送装置は、駆動手段１が主動アーム２を回転駆動することで、受動アーム３が主動アーム２の回転に連動して回転すると共に、搬送モジュール４が受動アーム３の回転に連動して回転する。つまり、該搬送モジュール４は、単一の動力源により、移動すると同時に回転することができる。また、本実施形態は、１つのモーター１１のみが使用されていることにより、従来より、製造コストが低い。

以上、本発明の好ましい実施形態及び変化例を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。

本発明に係る搬送装置は、搬送物体を移動させると同時に回転させることができ、製造コストが低いので、基板またはカセットを搬送する搬送装置に対する様々な応用が可能である。

１ 駆動手段
１１ モーター
１１１ 出力軸
１２ ベルト
１３ ベース
２ 主動アーム
２１ 第１の回転軸
２２ 第１のアーム本体
３ 受動アーム
３１ 第２の回転軸
３２ 第２のアーム本体
４ 搬送モジュール
４１ 第３の回転軸
４２ 支持盤
４２１ 支持盤本体
４２２ 係止ブロック
５ 連動手段
５１ 第１の連動モジュール
５１１ 第１のプーリー
５１２ 第１の伝動部材
５１２ａ 第１の伝動ベルト
５２ 第２の連動モジュール
５２１ 第２のプーリー
５２２ 第２の伝動部材
５２２ａ 第２の伝動ベルト
Ｌ１ 第１の軸線
Ｌ２ 第２の軸線
Ｌ３ 第３の軸線
ＬＢ 参照軸線
Ｘ１ 第１の回転軸の軸心
Ｘ２ 第２の回転軸の軸心
Ｘ３ 第３の回転軸の軸心
Ｐ ルート
Ｄ１ 高さ方向
Ａ１ 第２の軸線の第１の軸線に対する相対回転角度
Ａ２ 第３の軸線の第２の軸線に対する相対回転角度
θ１ 主動アームの参照軸線に対する相対回転角度
θ２ 受動アームの参照軸線に対する相対回転角度
θ３ 支持盤の参照軸線に対する相対回転角度

Claims (3)

1. 駆動手段と、主動アームと、受動アームと、搬送モジュールと、連動手段と、を備える搬送装置であって、
   前記駆動手段は、ベースと、前記ベースに対して回転可能になっていると共に、駆動力を出力する出力軸と、を有し、
   前記主動アームは、所定の高さ方向に沿って延伸し、前記駆動手段の前記出力軸に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第１の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第１の回転軸に固定されて接続される第１のアーム本体と、を有し、
   前記受動アームは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第１のアーム本体に相対回転可能に接続される第２の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される第２のアーム本体と、を有し、
   前記搬送モジュールは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第２のアーム本体に相対回転可能に接続される第３の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される支持盤と、を有し、
   前記支持盤には、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートを有し、
   前記連動手段は、前記第１のアーム本体に配置される第１の連動モジュールと、前記第２のアーム本体に配置される第２の連動モジュールと、を有し、
   前記第１の連動モジュールは、前記第１の回転軸と同軸するように配置される第１のプーリーと、前記第１の回転軸と相対回転する前記第１のプーリーに連動して前記第２の回転軸を回転駆動するように前記第２の回転軸及び前記第１のプーリーに取り付けられる第１の伝動部材と、を有し、
   前記第２の連動モジュールは、前記第２の回転軸と同軸するように配置される第２のプーリーと、前記第２の回転軸と相対回転する前記第２のプーリーに連動して前記第３の回転軸を回転駆動するように前記第３の回転軸及び前記第２のプーリーに取り付けられる第２の伝動部材と、を有し、
   前記第２の回転軸は、前記第１の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、
   前記第３の回転軸は、前記第２の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、
   前記主動アームは、前記ベースに相対回転可能に配置されており、
   前記第１のプーリーは、前記ベースに固定接続されており、
   前記第２のプーリーは、前記第１のアーム本体に固定接続されており、
   前記第１のプーリーの外周面の半径をｗｒ１とし、
   前記第２のプーリーの外周面の半径をｗｒ２とし、
   前記第２の回転軸の前記第１の伝動部材に接続されている部位の半径をｓｒ２とし、
   前記第３の回転軸の前記第２の伝動部材に接続されている部位の半径をｓｒ３とした場合、
   前記第１のプーリーの外周面の半径ｗｒ１と前記第２の回転軸の前記第１の伝動部材に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率が、下記式１により示される通りに、且つ、
   前記第２のプーリーの外周面の半径ｗｒ２と前記第３の回転軸の前記第２の伝動部材に接続されている部位の半径ｓｒ３との比率が、下記式２により示される通りになるよう構成されている
   式１： ｗｒ１：ｓｒ２＝２：１
   式２： ｗｒ２：ｓｒ３＝３：４
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記主動アームの所定の参照軸線に対する相対回転角度をθ１とし、
   前記支持盤の前記参照軸線に対する相対回転角度をθ３とした場合、
   θ３が、下記式３となるように構成される
   式３： θ３＝θ１×（１−ｗｒ１／ｓｒ２＋ｗｒ１ｗｒ２／ｓｒ２ｓｒ３）
   ことを特徴とする請求項１に搬送装置。
3. 前記第１の回転軸の軸心から前記第２の回転軸の軸心までの距離は、前記第２の回転軸の軸心から前記第３の回転軸の軸心までの距離と同じである
   ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。

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