JP6928404B2 - 高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置 - Google Patents

Description

本発明は、高圧ガス筒の取り替えに際して、ガスケットの歪みに応じて気密が保たれるように新たなガスケットに入れ替える高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置に係り、さらに詳しくは、連結ユニットのコネクタホルダから使用済みのガスケットを抜き外した後、新たなガスケットを自動的に嵌入できるようにする高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置に関する。

一般に、半導体を製造する製造工程には、用途に応じて多種多様なガスが供給されて用いられるが、これらのガスは、多くが人体に吸い込まれたり大気中に露出されたりする場合、安全事故および環境汚染などの甚だしい被害を蒙らせるため、細心の注意を必要とする。

例えば、イオン注入工程に用いられるガスの種類としては、水素化ヒ素（ＡｓＨ_３：Ａｒｓｉｎｅ）、リン化水素（ＰＨ_３：Ｐｈｏｓｐｈｉｎｅ）または三フルオロ化ホウ素（ＢＦ_３：Ｂｏｒｏｎ Ｆｌｕｏｒｉｄｅ）などの有毒性ガスが挙げられるが、これらのガスは、毒性が非常に強いため、作業者が呼吸器で吸い込む場合に致命的な結果を招き、それ故に、生産ラインに供給する過程で漏出しないように細かく管理せねばならない。

このような半導体の製造工程に用いられるガスは、その管理が非常に重要であるが、これらのガスは、ガス筒（以下、「高圧ガス筒」という。）に高圧にて充填された状態でキャビネットに取り付けられて、ガス供給ラインを介して生産ラインに供給され、ガスが約９０％ほど使い尽くされれば、高圧ガス筒の内部に残留する異物がウェーハの加工工程に供給されないように作業者が新たな高圧ガス筒に取り替えることにより、ガスを供給し続ける。

図１は、従来の技術による半導体装備のガス供給装置を概略的に示す斜視図であって、ＦＡＢ ７の外部の所定の場所には、ＦＡＢ ７内の色々な装備８において必要とするＳｉＨ_４、ＰＨ_３、ＮＦ_３、ＣＦ_４などの工程ガスがそれぞれ充填された複数の高圧ガス筒（図示略）を載置できるようにキャビネット１が位置しており、前記キャビネット１の一方の側には、前記高圧ガス筒にそれぞれ連結されたガス供給ライン３を案内できるようにダクト４が設けられている。

前記ダクト４の他方の側には、ガス供給ライン３に沿って流れ込んだ工程ガスを供給できるように高圧ガス筒に対応する数でレギュレータボックス５が設けられており、前記それぞれのレギュレータボックス５の上端部には、ＦＡＢ ７内の各装備８に対応して連結できるように装備８の数と同数の供給管９が連結されている。

したがって、キャビネット１に載置されているそれぞれの高圧ガス筒から工程ガスが供給されれば、それぞれの工程ガスは、ダクト４の内部を通過するガス供給ライン３に沿ってそれぞれのレギュレータボックス５に流れ込む。

次いで、それぞれのレギュレータボックス５の内部に流れ込んだそれぞれの工程ガスは、フィルタ（図示略）を介して浄化された後、ＦＡＢ ７内の装備８に対応する数に分岐されて連結されているそれぞれの供給管９に沿って流れて供給されるので、ウェーハを加工することが可能になる。

前述したように、ガスをガス供給ライン３に供給していて、ガスが使い尽くされて高圧ガス筒の取り替え時期が制御部（図示略）により検出されれば、作業者が使用済みの高圧ガス筒のバルブを閉めた後に、外部のガスラインから取り外す。

次いで、作業者がガスラインから取り外された高圧ガス筒をキャビネット１からアンローディングした後、新たな高圧ガス筒に取り替えた後に前記高圧ガス筒を再び外部のガスラインに連結した後、ガス噴射ノズルを閉じているバルブハンドルを開けば（オープンすれば）、高圧ガス筒の取り替えが完了する。

大韓民国登録特許公報第１０−０２４２９８２号公報（１９９８年１１月１５日付けで登録） 大韓民国登録特許公報第１０−０６４９１１２号公報（２００６年１１月１６日付けで登録） 大韓民国登録特許公報第１０−０９８５５７５号公報（２０１０年０９月２９日付けで登録）

しかし、かかる従来の高圧ガス筒の連結箇所には、使用済みのガスケットはガス噴射ノズルの入口に形成された環状の突出帯により押されて歪みされて凹溝が形成されるため、高圧ガス筒の取り替え時ごとに作業者が使用済みのガスケットを抜き外した後、新たなガスケットに入れ替える作業を作業者によりマニュアルで行うことにより、高圧ガス筒の取り替え時間が長引いて高価な装備の稼働率を低下させるだけではなく、作業者の熟練度及び疲労度に応じて不注意によりガスケットのない状態で高圧ガス筒を連結したり、ガスケットの方向を間違って嵌入させたりするヒューマンエラー（ｈｕｍａｎ ｅｒｒｏｒ）が生じる場合、有害ガスが漏れ出てしまうという問題があった。

本発明は、従来のこのような問題を解消するために案出されたものであり、ガス配管と連結されたコネクタホルダの一方の側にガスケットを自動的に入れ替える装置を配設して、高圧ガス筒の取り替えに際してコネクタホルダから使用済みのガスケットを抜き外した後、ガスケット抜脱カートリッジに収納・保管するとともに、ガスケット嵌入カートリッジにあった新たなガスケットをコネクタホルダに嵌入できるようにすることで、ガスケットの入れ替えの自動化が実現できるようにするところにその目的がある。

本発明の他の目的は、使用済みのガスケット及び新たなガスケットをカートリッジにそれぞれ保管するようにして、ガスケットの入れ替えに伴うパーティクルの発生を未然に防止できるようにするところにある。

前記目的を達成するための本発明の態様によれば、高圧ガス筒連結ユニットのコネクタホルダの一方の側に位置するようにメインプレートに固設されたホルダと、前記ホルダに回動自在に配設された可動部材と、前記メインプレートに固定されたブラケット及びホルダにロッドがそれぞれ連結されるようにホルダに配設されて可動部材を回動させる２段アクチュエータと、前記ホルダから可動部材をコネクタホルダに向かって進退運動させるドッキングアクチュエータと、前記可動部材に配設されてコネクタホルダから使用済みのガスケットを自動的に抜き外して次第に収容するガスケット抜脱カートリッジと、前記ガスケット抜脱カートリッジの上部に位置する可動部材に配設されて収容していた新たなガスケットをコネクタホルダに嵌入させるガスケット嵌入カートリッジと、を備えることを特徴とする高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置が提供される。

本発明は、高圧ガス筒を取り替えるとき、コネクタホルダから使用済みのガスケットを抜き外した後、新たなガスケットに自動的に入れ替えるので、高圧ガス筒の取り替えに伴い、作業者の不注意により有毒ガスが高圧ガス筒の連結箇所から漏れ出てしまう（リークされてしまう）ヒューマンエラーを未然に防ぐことが可能になる。

従来の技術による半導体装備のガス供給装置を概略的に示す斜視図。 本発明が設置された状態を示す斜視図。 本発明の要部を分解して示す斜視図。 図３の組立て状態の斜視図。 本発明のガスケット抜脱カートリッジの斜視図及び縦断面図。 コネクタホルダに使用済みのガスケットが嵌入した状態の斜視図及びガスケット抜脱カートリッジの係止片が使用済みのガスケットを保持した状態の斜視図。 本発明のガスケット嵌入カートリッジの斜視図及び縦断面図。 可動部材に嵌入したガスケット抜脱カートリッジ及びガスケット嵌入カートリッジをワンタッチノブが支持している状態の縦断面図。 （ａ）から（ｃ）は、本発明の作動状態を説明するための縦断面図。

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施の形態について本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は、種々の異なる形態に具体化でき、ここで説明する実施の形態に何ら限定されない。図面は概略的であり、縮尺に合うように示されていないことに留意されたい。図面にある部分の相対的な寸法および比率は、図面における明確性および便宜のために大きさにおいて誇張もしくは縮小されて示されており、任意の寸法は、単に例示的なものに過ぎず、限定的なものではない。なお、２以上の図面に現れる同じ構造物、要素または部品には、同じ参照符号が同じ特徴を示すために用いられる。

図２は、本発明が設置された状態を示す斜視図であり、図３は、本発明の要部を分解して示す斜視図であり、図４は、図３の組立て状態の斜視図であって、本発明は、図６に示すように、ガスケット５０をコネクタホルダ１１の内部にはめ込み、高圧ガス筒４０のガス噴射ノズル（図示略）を締め付けると、ガスケットの両面がコネクタホルダ１１及びガス噴射ノズルの入口に形成された環状の突出帯１１ｃにより押されて歪まされて凹溝５０ｂが形成されるため、高圧ガス筒４０を取り替える度に使用済みのガスケット５０ａを抜き外した後、新たなガスケット５０に入れ替えることを余儀なくされる。

本発明は、前記高圧ガス筒連結ユニット１０のコネクタホルダ１１の一方の側に位置するようにメインプレート２０に固設されたホルダ３０と、前記ホルダ３０に回動自在に配設された可動部材３１と、前記メインプレート２０に固定されたブラケット３２及びホルダ３０にロッドがそれぞれ連結されるようにホルダ３０に配設されて可動部材３１を回動させる２段アクチュエータ３３と、前記ホルダ３０から可動部材３１をコネクタホルダ１１に向かって進退運動させるドッキングアクチュエータ３４と、前記可動部材３１に配設されてコネクタホルダ１１から使用済みのガスケット５０ａを自動的に抜き外して次第に収容するガスケット抜脱カートリッジ６０と、前記ガスケット抜脱カートリッジ６０の上部に位置する可動部材３１に配設されて収容していた新たなガスケット５０をコネクタホルダ１１に嵌入させるガスケット嵌入カートリッジ７０と、を備えている。

前記可動部材３１に着脱自在に配設されるガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０は、図３及び図８に示すように、可動部材３１の上部に形成された嵌込孔３５に嵌まり込むワンタッチノブ３６の周面により支持されるように構成されていて、可動部材３１からガスケット抜脱カートリッジ６０又はガスケット嵌入カートリッジ７０を入れ替えるときに利便性を与える。

図５は、本発明のガスケット抜脱カートリッジの斜視図及び縦断面図であり、前記コネクタホルダ１１から使用済みのガスケット５０ａを抜き外して収容する前記ガスケット抜脱カートリッジ６０は、図５に示すように、円筒状に形成されて使用済みのガスケット５０ａを次第に収容する第１のスリーブ６１と、前記第１のスリーブ６１内に配設されてエア圧により移動する第１のピストン６２と、前記第１のスリーブ６１の先端に等間隔にて形成されてガスケット５０ａを保持する係止片６３と、を備えている。

前記コネクタホルダ１１は、図６及び図７に示すように、内部に係止突起１１ａが形成されており、入口には、前記第１のスリーブ６１の先端に形成された各係止片６３が通過されるように切欠き部１１ｂが形成されていて、前記係止片６３が切欠き部１１ｂを介して移動して使用済みのガスケット５０ａの背面を図６に示すように保持するようになっている。

本発明の一実施形態においては、切欠き部１１ｂ及び係止片６３により使用済みのガスケット５０ａをガスケット抜脱カートリッジ６０が保持するように説明しているが、当該分野の専門家により種々の形態に変形して使用済みのガスケット５０ａを保持してもよいということは理解できる筈である。

図７は、本発明のガスケット嵌入カートリッジの斜視図及び縦断面図であり、未使用の複数のガスケット５０を収容していて、コネクタホルダ１１から使用済みのガスケット５０ａを抜き外し終えると、新たなガスケット５０をコネクタホルダ１１に次第に嵌入させるガスケット嵌入カートリッジ７０は、図７に示すように、円筒状に形成されて未使用のガスケット５０を収容する第２のスリーブ７１と、前記第２のスリーブ７１内に配設されてエア圧により移動する第２のピストン７２と、前記第２のスリーブ７１の出口の内周面に形成されてガスケット５０の移動を制限する突出爪７３と、を備えている。

前記第２のスリーブ７１の先端には、コネクタホルダ１１の入口が接続される傾斜面７４が形成されているが、これは、ガスケット嵌入カートリッジ７０に収容されていたガスケット５０をコネクタホルダ１１の内部に嵌入させるために第２のスリーブ７１の入口がコネクタホルダ１１と接続するとき、傾斜面７４によりこれらのアラインメントが正確に行われるようにしてガスケット５０を正確にコネクタホルダ１１の嵌入できるようにするためである。

前記ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０の第１及び第２のスリーブ６１、７１の長さは、ガスケット５０、５０ａが約１０〜１５個ほど収容されるように適度に調節できるので、別途に限定する必要はない。

このとき、本発明に用いられるガスケット５０の材質としては、金属材質や、合成樹脂材質又はこれらの複合材質が適用可能であるということは理解できる筈である。

前記ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０は、使用後に洗浄して再使用してもよいが、パーティクルによる汚染などを考慮して使い捨てとして用いることがさらに好ましい。

前記可動部材３１には、ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０の入れ替え時期を検出する第１及び第２の検出手段がさらに配備されているが、前記第１及び第２の検出手段は、前記第１及び第２のピストン６２、７２に配設された磁石６４、７５と、前記磁石６４、７５を感知して前記ガスケット抜脱カートリッジ６０又はガスケット嵌入カートリッジ７０の入れ替え時期を報知する第１及び第２の感知センサ３７ａ、３７ｂと、を備えていて、前記ガスケット抜脱カートリッジ６０に使用済みのガスケット５０ａがいっぱい装填されるか、あるいは、ガスケット嵌入カートリッジ７０に装填されていた新たなガスケット５０をコネクタホルダ１１にすべて供給し終えると、前記第１及び第２の感知センサ３７ａ、３７ｂがこの旨を検出するため、前記ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０をまるごと入れ替える。

このとき、前記ガスケット抜脱カートリッジ６０とガスケット嵌入カートリッジ７０との間に位置する可動部材３１には反射型センサ３８が配設されていて、前記コネクタホルダ１１から使用済みのガスケット５０ａを抜き外した後、新たなガスケット５０を嵌入させる前に前記コネクタホルダ１１に使用済みのガスケット５０ａが残っているか否かを検出して、使用済みのガスケット５０ａをコネクタホルダ１１から抜き外すことなく、新たなガスケット５０を嵌入させることに伴うエラーが生じてしまうという現象を防ぐ。

本発明の作用について説明すれば、次の通りである。

まず、高圧ガス筒４０内のガスをコネクタホルダ１１を介してガスラインに供給し終えると、新たな高圧ガス筒に取り替えなければならないが、高圧ガス筒の取り替えに際して前記コネクタホルダ１１に嵌入していたガスケット５０ａは、ガス噴射ノズル及びコネクタホルダ１１の突出帯１１ｃにより歪まれて両面に凹溝５０ｂが形成されていて、気密を保つことができないため、新たなガスケット５０に入れ替えなければならない。

図９（ａ）から図９（ｃ）は、本発明の作動状態を説明するための縦断面図であり、２段アクチュエータ３３が作動しない初期の状態では、図９（ａ）に示すように、ガスケット抜脱カートリッジ６０がコネクタホルダ１１と同一の水平線の上に位置している。

このような状態で、ドッキングアクチュエータ３４が駆動されて可動部材３１をコネクタホルダ１１に向かって移動させると、図６に示すように、ガスケット抜脱カートリッジ６０の先端に形成された複数の係止片６３がコネクタホルダ１１に形成された切欠き部１１ｂに嵌入しながら同時に拡開されていて、使用済みのガスケット５０ａの後端に達すると、復元力により内側に縮まりながら使用済みのガスケット５０ａを保持（ホルド）する。

前述したように、ガスケット抜脱カートリッジ６０の係止片６３が使用済みのガスケット５０ａを保持し終えると、第１のスリーブ６１の内部にエアが供給されるため、第１のピストン６２が図中の左側に移動して抜き外すべきガスケット５０ａの一方の面に接続される。

しかし、ガスケット抜脱カートリッジ６０の第１のスリーブ６１に使用済みのガスケット５０ａが装填されていると、最先端に位置するガスケット５０ａが抜き外すべきガスケットと密着するということは理解できる筈である。

前述したように、係止片６３が抜き外すべきガスケット５０ａを保持した状態で、ドッキングアクチュエータ３４により可動部材３１が初期の位置に戻ると、使用済みのガスケット５０ａがコネクタホルダ１１から抜き外されて第１のスリーブ６１内に収容される。

前記コネクタホルダ１１から使用済みのガスケット５０ａを抜き外し終えると、前記コネクタホルダ１１に新たなガスケット５０を嵌入させなければならない。

前記コネクタホルダ１１に新たなガスケット５０を嵌入させるために２段アクチュエータ３３が１段駆動されて、図９（ｂ）に示すように、可動部材３１を回動させると、ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０の間に配設された反射型センサ３８がコネクタホルダ１１と水平線の上に位置するため、コネクタホルダ１１の内部に使用済みのガスケット５０ａがあるか否かを検出する。

したがって、反射型センサ３８が使用済みのガスケット５０ａを検出すると、エラーを生じさせるとともに、報知手段を用いて作業者にこの旨を報知して、使用済みのガスケット５０ａをマニュアルで抜き外すが、使用済みのガスケットがなければ、２段アクチュエータ３３が、図９（ｃ）に示すように、２段駆動されて、ガスケット嵌入カートリッジ７０がコネクタホルダ１１と同一の水平線の上に位置する箇所まで可動部材３１を回動させる。

その後、前述したように、ドッキングアクチュエータ３４が可動部材３１をコネクタホルダ１１に向かって移動させて第２のスリーブ７１の先端がコネクタホルダ１１と接続されるようにすると、第２のスリーブ７１の先端に傾斜面７４が形成されていて、第２のスリーブ７１とコネクタホルダ１１とのアライメント（位置合わせ）が正確に行われる。

このような状態で、ガスケット嵌入カートリッジ７０にエアが供給されると、第２のピストン７２がコネクタホルダ１１に向かって移動するため、最先端に位置していた新たなガスケット５０をコネクタホルダ１１の内部に嵌入させるが、このとき、前記コネクタホルダ１１の入口には係止突起１１ａが形成されていて、たとえガスケット嵌入カートリッジ７０が初期の位置に戻るとしても、コネクタホルダ１１に嵌入したガスケット５０が抜脱することはない。

前述したように、コネクタホルダ１１に新たなガスケット５０を嵌入させ終えると、ドッキングアクチュエータ３４により可動部材３１は初期の位置に戻った後、２段アクチュエータ３３の駆動により可動部材３１が図９（ａ）に示すように戻った後、ガスケットの入れ替え時点まで待機する。

前述したようなガスケット５０の入れ替えは、できる限り新たな高圧ガス筒４０をコネクタホルダ１１に連結する直前に行うことがさらに好ましい。

これは、入れ替えられた新たなガスケット５０が大気中に晒されることにより、微細なほこりなどに汚染される虞があるためである。

一方、使用済みのガスケット５０ａがガスケット抜脱カートリッジ６０にいっぱい装填されることが第１の検出手段である第１の感知センサ３７ａにより検出されることにより、あるいは、新たなガスケット５０をすべて供給してガスケット嵌入カートリッジ７０にガスケットがないことを第２の検出手段である第２の感知センサ３７ｂが検出することにより、可動部材３１からガスケット抜脱カートリッジ６０又はガスケット嵌入カートリッジ７０を入れ替えなければならないが、本発明は、前記ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０が可動部材３１に形成された嵌込孔３５にはまり込んだワンタッチノブ３６の周面により支持されていて、可動部材３１からワンタッチノブ３６を抜脱さえすれば、可動部材３１からガスケット抜脱カートリッジ６０又はガスケット嵌入カートリッジ７０の抜き外すことが可能であるため、これらの入れ替え作業を速やかにかつ簡単に行うことが可能になる。

このように、入れ替え終えた前記ガスケット抜脱カートリッジ６０及びガスケット嵌入カートリッジ７０は洗浄して再使用してもよいが、再使用に伴いガスケットがパーティクルなどに汚染されないように使い捨てとして用いることがさらに好ましい。

以上、添付図面に基づいて本発明の実施の形態について説明したが、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明の技術的な思想や必須的な特徴を変更することなく、他の具体的な形態へと容易に歪みできることが理解できる筈である。

よって、上述した実施の形態は、あらゆる面において例示的なものに過ぎず、限定的ではないものと理解すべきであり、上記の詳細な説明の欄において述べられた本発明の範囲は、後述する特許請求の範囲によって開示され、特許請求の範囲の意味および範囲並びにその等価概念から導き出されるあらゆる変更または歪みされた形態が本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。

１０：高圧ガス筒連結ユニット
１１：コネクタホルダ
１１ａ：係止突起
１１ｂ：切欠き部
１１ｃ：突出帯
２０：メインプレート
３０：ホルダ
３１：可動部材
３３：２段アクチュエータ
３４：ドッキングアクチュエータ
３６：ワンタッチノブ
３７ａ、３７ｂ：第１及び第２の感知センサ
３８：反射型センサ
４０：高圧ガス筒
５０：ガスケット
５０ｂ：凹溝
６０：ガスケット抜脱カートリッジ
６１：第１のスリーブ
６２：第１のピストン
６３：係止片
６４、７５：磁石
７０：ガスケット嵌入カートリッジ
７１：第２のスリーブ
７２：第２のピストン
７３：突出爪
７４：傾斜面

Claims (10)

1. 高圧ガス筒連結ユニット（１０）のコネクタホルダ（１１）の一方の側に位置するようにメインプレート（２０）に固設されたホルダ（３０）と、
   前記ホルダ（３０）に回動自在に配設された可動部材（３１）と、
   前記メインプレート（２０）に固定されたブラケット（３２）及びホルダ（３０）にロッドがそれぞれ連結されるようにホルダ（３０）に配設されて可動部材（３１）を回動させる２段アクチュエータ（３３）と、
   前記ホルダ（３０）から可動部材（３１）をコネクタホルダ（１１）に向かって進退運動させるドッキングアクチュエータ（３４）と、
   前記可動部材（３１）に配設されてコネクタホルダ（１１）から使用済みのガスケット（５０ａ）を自動的に抜き外して次第に収容するガスケット抜脱カートリッジ（６０）と、 前記ガスケット抜脱カートリッジ（６０）の上部に位置する可動部材（３１）に配設されて収容していた新たなガスケット（５０）をコネクタホルダ（１１）に嵌入させるガスケット嵌入カートリッジ（７０）と、
   を備えることを特徴とする高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
2. 前記可動部材（３１）に着脱自在に配設されるガスケット抜脱カートリッジ（６０）及びガスケット嵌入カートリッジ（７０）は、ワンタッチノブ（３６）により支持されることを特徴とする請求項１に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
3. 前記ガスケット抜脱カートリッジ（６０）は、円筒状に形成されて使用済みのガスケット（５０ａ）を次第に収容する第１のスリーブ（６１）と、前記第１のスリーブ（６１）内に配設されてエア圧により移動する第１のピストン（６２）と、前記第１のスリーブ（６１）の先端に等間隔にて形成されてガスケット（５０ａ）を保持する係止片（６３）と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
4. 前記コネクタホルダ（１１）の内部に係止突起（１１ａ）を形成し、前記コネクタホルダ（１１）の入口には、前記第１のスリーブ（６１）に形成された各係止片（６３）が通過されるように切欠き部（１１ｂ）を形成して、前記係止片（６３）が切欠き部（１１ｂ）を介して移動してガスケット（５０ａ）を保持した状態で、ドッキングアクチュエータ（３４）により可動部材（３１）が後退することにより、使用済みのガスケット（５０ａ）が抜き外されるようにしたことを特徴とする請求項３に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
5. 前記ガスケット嵌入カートリッジ（７０）は、円筒状に形成されて未使用のガスケット（５０）を収容する第２のスリーブ（７１）と、前記第２のスリーブ（７１）内に配設されてエア圧により移動する第２のピストン（７２）と、前記第２のスリーブ（７１）の出口の内周面に形成されてガスケット（５０）の移動を制限する突出爪（７３）と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
6. 前記第２のスリーブ（７１）の先端に、コネクタホルダ（１１）の入口が接続される傾斜面（７４）が形成されたことを特徴とする請求項５に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
7. 前記可動部材（３１）に、ガスケット抜脱カートリッジ（６０）及びガスケット嵌入カートリッジ（７０）の入れ替え時期を検出する第１及び第２の検出手段がさらに配備されたことを特徴とする請求項１に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
8. 前記第１及び第２の検出手段は、前記第１及び第２のピストン（６２）（７２）に配設された磁石（６４）（７５）と、前記磁石（６４）（７５）を感知して前記ガスケット抜脱カートリッジ（６０）又はガスケット嵌入カートリッジ（７０）の入れ替え時期を報知する第１及び第２の感知センサ（３７ａ）（３７ｂ）と、を備えることを特徴とする請求項７に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
9. 前記ガスケット抜脱カートリッジ（６０）とガスケット嵌入カートリッジ（７０）との間に位置する可動部材（３１）に反射型センサ（３８）を配設して、前記コネクタホルダ（１１）から使用済みのガスケット（５０ａ）を抜き外した後、新たなガスケット（５０）を嵌入させる前に前記コネクタホルダ（１１）に使用済みのガスケット（５０ａ）が残っているか否かを検出できるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
10. 前記可動部材（３１）から入れ替えられたガスケット抜脱カートリッジ（６０）又はガスケット嵌入カートリッジ（７０）は、廃棄処理することを特徴とする請求項１に記載の高圧ガス筒のガスケット自動入れ替え装置。
    

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