JP6936980B2 - Manufacturing method of light emitting layer - Google Patents
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Description
本発明は、正孔輸送層及び/又は発光層を具備し、表示装置や照明装置等の電子機器に有用な有機発光素子の製造方法において、発光層を作製するために用いられる発光層形成用組成物に関する。また、陽極、陰極及びそれらの間にEL(Electro Luminescence0)が得られる発光性有機材料(以下、有機EL材料という)を挟んだ構造でなる発光素子(EL素子ともいう)を基板上に形成した発光装置(EL表示装置ともいう)及びその発光装置を表示部(表示ディスプレイまたは表示モニター)として有する電子機器の作製方法に関する。なお、上記発光装置はOLED(Organic Light Emitting Diodes)ともいう。 The present invention is for forming a light emitting layer, which comprises a hole transport layer and / or a light emitting layer and is used for producing a light emitting layer in a method for manufacturing an organic light emitting element useful for electronic devices such as display devices and lighting devices. Regarding the composition. Further, a light emitting element (also referred to as an EL element) having a structure in which an anode, a cathode, and a light emitting organic material (hereinafter referred to as an organic EL material) from which EL (Electro Luminescence0) can be obtained is sandwiched between them is formed on a substrate. The present invention relates to a light emitting device (also referred to as an EL display device) and a method for manufacturing an electronic device having the light emitting device as a display unit (display display or display monitor). The light emitting device is also referred to as OLED (Organic Light Emitting Diodes).
近年、発光性有機材料のEL現象を利用した発光素子としてEL素子を用いた発光装置(EL表示装置)の開発が進んでいる。EL表示装置は自発光型であるため、液晶表示装置のようなバックライトが不要であり、さらに視野角が広いため、例えば、屋外で使用する携帯型機器の表示部として有望視されている。 In recent years, the development of a light emitting device (EL display device) using an EL element as a light emitting element utilizing the EL phenomenon of a luminescent organic material has been progressing. Since the EL display device is a self-luminous type, it does not require a backlight like a liquid crystal display device, and has a wide viewing angle, so that it is promising as a display unit of a portable device used outdoors, for example.
EL素子には、正孔輸送層及び発光層が用いられており、EL素子を備えるEL表示装置にはパッシブ型(単純マトリクス型)とアクティブ型(アクティブマトリクス型)の二種類があり、どちらも盛んに開発が行われている。特に現在はアクティブマトリクス型EL表示装置が注目されている。また、EL素子の中心とも言える発光層となる有機EL材料は、低分子有機EL材料と高分子有機EL材料(ポリマー有機EL材料)とが研究されている。 A hole transport layer and a light emitting layer are used for the EL element, and there are two types of EL display devices including the EL element, a passive type (simple matrix type) and an active type (active matrix type), both of which are used. It is being actively developed. In particular, the active matrix type EL display device is currently attracting attention. Further, as an organic EL material serving as a light emitting layer which can be said to be the center of an EL element, a small molecule organic EL material and a polymer organic EL material (polymer organic EL material) are being studied.
特許文献1には、ノズルプリント法を用いて発光層等を形成することが開示されている。この手法によれば位置ずれなく精密にポリマーでなる有機EL材料を高いスループットで成膜することができる。しかしながら、真空中で加熱処理(ベーク処理または焼成処理)することにより塗布液に含まれる有機溶媒を揮発させ、有機EL材料でなる発光層等を形成するので、真空設備等が必要であり、製作工程の容易化が課題として考えられる。また、ノズルプリント法では、衝突エネルギーにより発光層等が均質に形成できない問題があった。 Patent Document 1 discloses that a light emitting layer or the like is formed by using a nozzle printing method. According to this method, it is possible to form an organic EL material made of a polymer precisely with high throughput without misalignment. However, since the organic solvent contained in the coating liquid is volatilized by heat treatment (baking treatment or firing treatment) in a vacuum to form a light emitting layer or the like made of an organic EL material, vacuum equipment or the like is required. Simplification of the process is considered as an issue. Further, in the nozzle printing method, there is a problem that the light emitting layer or the like cannot be uniformly formed due to the collision energy.
特許文献2には、真空蒸着を用いて正孔輸送層及び発光層を形成することが記載されている。しかしながら、特許文献2に記載の発明は、電子注入層の形成に特定の処理を行うことにより、電子注入効率が高く低電圧駆動が可能な有機発光素子を製造するものであり、正孔輸送層及び発光層についてはその形成手段等特に検討されておらず、また、真空設備等が必要になり、コストがかかるという問題があった。また、真空蒸着では、生産性が高くないので、容易且つ簡便に正孔輸送層及び発光層を形成する方法が待ち望まれていた。
本発明は、簡便且つ容易に、効率良く工業的有利に発光層を形成することができる発光層形成用組成物を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a composition for forming a light emitting layer, which can easily and easily and efficiently form a light emitting layer in an industrially advantageous manner.
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、金属錯体と、溶媒としての環状エステルとを含むことを特徴とする発光層形成用組成物を用いて発光層を形成すると、簡便且つ用意に、効率良く工業的有利に発光層を形成できることを知見し、このような発光層形成用組成物が上記した従来の問題を一挙に解決できるものであることを見出した。
また、本発明者らは、上記知見を得た後、さらに検討を重ねて、本発明を完成させるに至った。
As a result of diligent studies to achieve the above object, the present inventors can easily form a light emitting layer using a light emitting layer forming composition characterized by containing a metal complex and a cyclic ester as a solvent. Moreover, it has been found that the light emitting layer can be efficiently and industrially advantageously formed, and it has been found that such a light emitting layer forming composition can solve the above-mentioned conventional problems at once.
In addition, after obtaining the above findings, the present inventors have further studied and completed the present invention.
すなわち、本発明は、以下の発明に関する。
[1] 発光層を形成するのに用いられる発光層形成用組成物であって、金属錯体と、溶媒としての酸素原子含有環式化合物とを含むことを特徴とする発光層形成用組成物。
[2] 前記金属錯体が、キノリン骨格又はベンゾキノリン骨格を有する、前記[1]記載の発光層形成用組成物。
[3] 前記金属錯体が、アルミキノリノール錯体である、前記[1]又は[2]に記載の発光層形成用組成物。
[4] 前記金属錯体が、Alq3である、前記[1]〜[3]のいずれかに記載の発光層形成用組成物。
[5] 前記酸素原子含有環式化合物が、ラクトン類又はラクタム類である前記[1]〜[4]のいずれかに記載の発光層形成用組成物。
[6] 前記酸素原子含有環式化合物が、γ―ブチロラクトンである、前記[1]〜[5]のいずれかに記載の発光層形成用組成物。
[7] 原料溶液から基体上に直接又は他の層を介して発光層を形成する発光層の製造方法であって、前記原料溶液が前記[1]〜[6]のいずれかに記載の発光層形成用組成物を含むことを特徴とする発光層の製造方法。
[8] 前記発光層の形成を、前記原料溶液を霧化又は液滴化し、得られたミスト又は液滴をキャリアガスで前記基体上まで搬送し、前記基体上で前記ミスト又は液滴を反応させて、前記基体上に発光層を積層することにより行うことを特徴とする前記[7]記載の製造方法。
[9] 前記[7]又は[8]に記載の製造方法によって製造された発光層。
[10] 電極、正孔輸送層及び発光層を少なくとも有する有機発光素子であって、前記発光層が、前記[9]記載の発光層である有機発光素子。
[11] 前記[10]記載の有機発光素子を含む電子機器又はその部品。
[12] 前記[11]記載の電子機器又はその部品を備えたシステム。
That is, the present invention relates to the following invention.
[1] A composition for forming a light emitting layer used for forming a light emitting layer, which comprises a metal complex and an oxygen atom-containing cyclic compound as a solvent.
[2] The composition for forming a light emitting layer according to the above [1], wherein the metal complex has a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton.
[3] The composition for forming a light emitting layer according to the above [1] or [2], wherein the metal complex is an aluminum quinolinol complex.
[4] The composition for forming a light emitting layer according to any one of the above [1] to [3], wherein the metal complex is Alq3.
[5] The composition for forming a light emitting layer according to any one of the above [1] to [4], wherein the oxygen atom-containing cyclic compound is a lactone or a lactam.
[6] The composition for forming a light emitting layer according to any one of the above [1] to [5], wherein the oxygen atom-containing cyclic compound is γ-butyrolactone.
[7] A method for producing a light emitting layer in which a light emitting layer is formed from a raw material solution directly on a substrate or via another layer, wherein the raw material solution emits light according to any one of [1] to [6]. A method for producing a light emitting layer, which comprises a layer-forming composition.
[8] In the formation of the light emitting layer, the raw material solution is atomized or dropleted, the obtained mist or droplet is conveyed onto the substrate by a carrier gas, and the mist or droplet is reacted on the substrate. The production method according to the above [7], wherein the light emitting layer is laminated on the substrate.
[9] A light emitting layer produced by the production method according to the above [7] or [8].
[10] An organic light emitting device having at least an electrode, a hole transport layer, and a light emitting layer, wherein the light emitting layer is the light emitting layer according to the above [9].
[11] An electronic device or a component thereof including the organic light emitting device according to the above [10].
[12] A system including the electronic device or its component according to the above [11].
本発明の発光層形成用組成物によれば、簡便且つ容易に、効率良く工業的有利に発光層を形成することができる。 According to the composition for forming a light emitting layer of the present invention, a light emitting layer can be formed easily, easily, efficiently and industrially advantageously.
本発明の発光層形成用組成物は、発光層を形成するのに用いられる発光層形成用組成物であって、金属錯体と、溶媒としての酸素原子含有環式化合物とを含むことを特長とする。 The composition for forming a light emitting layer of the present invention is a composition for forming a light emitting layer used for forming a light emitting layer, and is characterized by containing a metal complex and an oxygen atom-containing cyclic compound as a solvent. do.
前記金属錯体は、前記発光層の前駆体として用いることができ、金属―炭素結合を有する金属化合物又は配位結合を有する金属錯体であれば特に限定されない。前記金属錯体中の金属は、特に限定されないが、好ましくは、ベリリウム、マグネシウム、アルミニウム、ガリウム、亜鉛、インジウム、錫、白金、パラジウム、又はイリジウムであり、より好ましくはベリリウム、アルミニウム、ガリウム、亜鉛、又はイリジウムである。 The metal complex can be used as a precursor of the light emitting layer, and is not particularly limited as long as it is a metal compound having a metal-carbon bond or a metal complex having a coordination bond. The metal in the metal complex is not particularly limited, but is preferably beryllium, magnesium, aluminum, gallium, zinc, indium, tin, platinum, palladium, or iridium, and more preferably beryllium, aluminum, gallium, zinc, and the like. Or iridium.
前記金属錯体としては、具体的には、例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(以下、Alq3と示す)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(以下、Almq3と示す)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−(4−ヒドロキシ−ビフェニリル)−アルミニウム(以下、BAlqと示す)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−ガリウム(以下、BGaqと示す)、等のキノリン骨格を有する金属錯体、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(以下、BeBq2と示す)等のベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム(以下、Ir(ppy)3と示す)、ビス[2−(3,5−ビス(トリフルオロメチル)フェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)ピコリナート(以下、Ir(CF3ppy)2(pic)と示す)、ビス[2−(4,6−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)アセチルアセトナート(以下、FIr(acac)と示す)、ビス[2−(4,6−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’)]イリジウム(III)ピコリナート(以下、FIr(pic)と示す)等のピリジン骨格を有する金属錯体、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾオキサゾラト]亜鉛(以下、Zn(BOX)2と示す)等のオキサゾール骨格を有する金属錯体、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾチアゾラト]亜鉛(以下、Zn(BTZ)2と示す)等のチアゾール骨格を有する金属錯体、又はこれら2種以上の混合物等が挙げられる。本発明においては、前記金属錯体が、キノリン骨格又はベンゾキノリン骨格を有するのが好ましく、キノリン骨格を有するのがより好ましい。本発明においては、前記金属錯体が、アルミキノリノール錯体を含むのが、酸素原子含有環式化合物との溶解性及び取扱い性により優れるので好ましく、Alq3を含むのがより好ましく、Alq3であるのが最も好ましい。前記金属錯体は、2種類以上の金属錯体の混合物であってもよく、2種類以上の金属錯体の例としては、上記例示した金属錯体等が挙げられる。 Specific examples of the metal complex include tris (8-quinolinolato) aluminum (hereinafter referred to as Alq 3 ), tris (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum (hereinafter referred to as Almq 3 ), and bis. (2-Methyl-8-quinolinolato)-(4-hydroxy-biphenylyl) -aluminum (hereinafter referred to as BAlq), bis (2-methyl-8-quinolinolato) -4-phenylphenolato-gallium (hereinafter referred to as BGaq) ), Etc., a metal complex having a quinoline skeleton, tris (2-phenylpyridine), a metal complex having a benzoquinolin skeleton such as bis (10-hydroxybenzo [h] -quinolinato) beryllium (hereinafter referred to as BeBq 2). Iridium (hereinafter referred to as Ir (ppy) 3 ), bis [2- (3,5-bis (trifluoromethyl) phenyl) pyridinato-N, C 2 '] iridium (III) picolinate (hereinafter referred to as Ir (CF 3)) Ppy) 2 (pic)), bis [2- (4,6-difluorophenyl) pyridinato-N, C 2 '] iridium (III) acetylacetonate (hereinafter referred to as FIR (acac)), bis [ 2- (4,6-difluorophenyl) pyridinato-N, C 2 ')] A metal complex having a pyridine skeleton such as iridium (III) picolinate (hereinafter referred to as FIr (pic)), bis [2- (2- (2-) A metal complex having an oxazole skeleton such as hydroxyphenyl) -benzoxazolate] zinc (hereinafter referred to as Zn (BOX) 2 ), bis [2- (2-hydroxyphenyl) -benzothiazolato] zinc (hereinafter Zn (BTZ) ) 2 ) and the like, a metal complex having a thiazole skeleton, or a mixture of two or more of these. In the present invention, the metal complex preferably has a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton, and more preferably has a quinoline skeleton. In the present invention, it is preferable that the metal complex contains an aluminum quinolinol complex because it is excellent in solubility and handleability with an oxygen atom-containing cyclic compound, and it is more preferable that it contains Alq3, and Alq3 is the most preferable. preferable. The metal complex may be a mixture of two or more types of metal complexes, and examples of the two or more types of metal complexes include the above-exemplified metal complexes and the like.
前記酸素原子含有環式化合物は、溶媒として用いることができ、置換基を有していてもよい環式化合物であって、ヘテロ原子または置換基の中に1又は2以上の酸素原子を含むものであれば、特に限定されない。前記酸素原子含有環式化合物としては、環状エステルまたは環状アミドが好適な例として挙げられる。前記環状エステルは、溶媒として用いることができ、且つエステル官能基を環内に含む環状エステル化合物であれば特に限定されないが、本発明においては、より効率良く発光層を形成することができるので、前記環状エステルが、ラクトン類であるのが好ましい。前記ラクトン類としては、例えば、β―ラクトン類、γ―ラクトン類、δ―ラクトン類、ε―ラクトン類などのラクトン類などが挙げられ、具体的には、例えば、γ―ブチロラクトン、γ―バレロラクトン、γ―カプロラクトン、γ―カプリロラクトン、γ―ラウロラクトンなどのγ―ラクトン類、δ―バレロラクトンなどのδ―ラクトン類、又はε―カプロラクトンなどのε―ラクトン類等が挙げられるが、本発明においては、前記ラクトン類が、γ―ラクトン類であるのが好ましく、γ―ブチロラクトンであるのがより好ましい。前記環状アミドは、溶媒として用いることができ、且つアミド基を環内に含む環状アミド化合物であれば特に限定されないが、本発明においては、より効率良く発光層を形成することができるので、前記環状アミドが、ラクタム類であるのが好ましい。前記ラクタム類としては、例えば、β―ラクタム類、γ―ラクタム類、δ―ラクタム類などが挙げられ、より具体的には例えば、γ−ブチロラクタム、ε−カプロラクタム、オキシドロール、イチサン、グリコシアニジンなどが挙げられる。前記酸素原子含有環式化合物は、2種類以上の酸素原子含有環式化合物の混合液であってもよく、2種類以上の酸素原子含有環式化合物の例としては、上記例示したラクトン類またはラクタム類等が挙げられる。 The oxygen atom-containing cyclic compound is a cyclic compound that can be used as a solvent and may have a substituent, and contains one or more oxygen atoms in the hetero atom or the substituent. If so, there is no particular limitation. As the oxygen atom-containing cyclic compound, a cyclic ester or a cyclic amide can be mentioned as a preferable example. The cyclic ester is not particularly limited as long as it can be used as a solvent and is a cyclic ester compound containing an ester functional group in the ring, but in the present invention, the light emitting layer can be formed more efficiently. The cyclic ester is preferably a lactone. Examples of the lactones include lactones such as β-lactones, γ-lactones, δ-lactones, and ε-lactones. Specifically, for example, γ-butyrolactone and γ-valero. Examples thereof include γ-lactones such as lactone, γ-caprolactone, γ-caprylolactone and γ-laurolactone, δ-lactones such as δ-valerolactone, and ε-lactones such as ε-caprolactone. In the present invention, the lactones are preferably γ-lactones, more preferably γ-butyrolactone. The cyclic amide is not particularly limited as long as it can be used as a solvent and is a cyclic amide compound containing an amide group in the ring, but in the present invention, the light emitting layer can be formed more efficiently. The cyclic amide is preferably a lactam. Examples of the lactams include β-lactams, γ-lactams, δ-lactams and the like, and more specifically, for example, γ-butyrolactam, ε-caprolactam, oxidol, ichisan, glycocanidin and the like. Can be mentioned. The oxygen atom-containing cyclic compound may be a mixed solution of two or more types of oxygen atom-containing cyclic compounds, and examples of the two or more types of oxygen atom-containing cyclic compounds include the above-exemplified lactones or lactams. Kind and the like.
前記発光層形成用組成物には、前記酸素原子含有環式化合物以外の溶媒が含まれていてもよい。このような溶媒は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されず、前記酸素原子含有環式化合物以外の有機溶媒であってもよいし、無機溶媒であってもよい。有機溶媒と無機溶媒の混合溶媒であってもよい。前記有機溶媒としては、例えば、アルコール類、エステル類、エーテル類等があげられる。前記無機溶媒としては、水等が挙げられ、より具体的には、例えば、純水、超純水、水道水、井戸水鉱泉水、鉱水、温泉水、湧水、淡水、海水などが挙げられる。本発明においては、前記の酸素原子含有環式化合物以外の溶媒を用いる場合には、当該溶媒が有機溶媒であるのが好ましい。 The composition for forming a light emitting layer may contain a solvent other than the oxygen atom-containing cyclic compound. Such a solvent is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and may be an organic solvent other than the oxygen atom-containing cyclic compound or an inorganic solvent. It may be a mixed solvent of an organic solvent and an inorganic solvent. Examples of the organic solvent include alcohols, esters, ethers and the like. Examples of the inorganic solvent include water and the like, and more specific examples thereof include pure water, ultrapure water, tap water, well water mineral spring water, mineral water, hot spring water, spring water, fresh water, seawater and the like. In the present invention, when a solvent other than the oxygen atom-containing cyclic compound is used, it is preferable that the solvent is an organic solvent.
前記発光層形成用組成物中の前記金属錯体の配合割合は、特に限定されないが、0.0001モル%〜90モル%が好ましく、0.001モル%〜50モル%がより好ましい。前記発光層形成用組成物中の溶媒としての酸素原子含有環式化合物の配合割合は、特に限定されないが、好ましくは、0.01モル%〜99モル%であり、より好ましくは、1モル%〜95モル%である。 The blending ratio of the metal complex in the light emitting layer forming composition is not particularly limited, but is preferably 0.0001 mol% to 90 mol%, more preferably 0.001 mol% to 50 mol%. The blending ratio of the oxygen atom-containing cyclic compound as a solvent in the composition for forming a light emitting layer is not particularly limited, but is preferably 0.01 mol% to 99 mol%, and more preferably 1 mol%. ~ 95 mol%.
また、前記発光層形成用組成物に添加剤を混合してもよい。前記添加剤は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されず、公知の添加剤であってよい。前記発光層形成用組成物中の前記添加剤の配合割合は、特に限定されないが、0.00001モル%〜30モル%が好ましく、0.0001モル%〜10モル%がより好ましい。 Further, an additive may be mixed with the composition for forming a light emitting layer. The additive is not particularly limited and may be a known additive as long as the object of the present invention is not impaired. The blending ratio of the additive in the light emitting layer forming composition is not particularly limited, but is preferably 0.00001 mol% to 30 mol%, more preferably 0.0001 mol% to 10 mol%.
前記発光層形成用組成物は、前記金属錯体を、例えば、前記酸素原子含有環式化合物に混合することにより得られる。混合手段は、特に限定されず、公知の混合手段であってよい。より具体的には、例えば、前記金属錯体を、前記酸素原子含有環式化合物を含む溶媒に溶解させることにより得られる。 The composition for forming a light emitting layer is obtained by mixing the metal complex with, for example, the oxygen atom-containing cyclic compound. The mixing means is not particularly limited and may be a known mixing means. More specifically, for example, it can be obtained by dissolving the metal complex in a solvent containing the oxygen atom-containing cyclic compound.
本発明の発光層形成用組成物によれば、工業的有利に発光層を製造することができる。より具体的には、例えば、前記発光層形成用組成物を含む原料溶液から基体上に直接又は他の層を介して、公知の成膜手段を用いて、発光層を形成することができる。成膜手段は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されないが、本発明においては、ミストCVD法が好ましく、より具体的には、前記発光層形成用組成物を含む原料溶液を霧化又は液滴化し(霧化・液滴化工程)、得られたミスト又は液滴をキャリアガスで前記基体上まで搬送し(搬送工程)、前記基体上で前記ミスト又は液滴を反応させて、前記基体上に前記発光層を積層する(成膜工程)ことにより製造するのが好ましい。以下、このような好ましい製造方法についてより詳細に説明する。 According to the composition for forming a light emitting layer of the present invention, a light emitting layer can be produced industrially advantageously. More specifically, for example, a light emitting layer can be formed from a raw material solution containing the composition for forming a light emitting layer directly on a substrate or via another layer by using a known film forming means. The film forming means is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, but in the present invention, the mist CVD method is preferable, and more specifically, the raw material solution containing the light emitting layer forming composition is atomized. Alternatively, it is atomized (atomization / droplet formation step), and the obtained mist or droplet is conveyed onto the substrate with a carrier gas (transportation step), and the mist or droplet is reacted on the substrate. It is preferably produced by laminating the light emitting layer on the substrate (deposition step). Hereinafter, such a preferable manufacturing method will be described in more detail.
(霧化・液滴化工程)
霧化・液滴化工程は、前記原料溶液を霧化または液滴化する。霧化手段または液滴化手段は、原料溶液を霧化または液滴化できさえすれば特に限定されず、公知の手段であってよいが、本発明においては、超音波を用いる霧化手段または液滴化手段が好ましい。超音波を用いて得られたミストまたは液滴は、初速度がゼロであり、空中に浮遊するので好ましく、例えば、スプレーのように吹き付けるのではなく、空間に浮遊してガスとして搬送することが可能なミストであるので衝突エネルギーによる損傷がないため、非常に好適である。液滴サイズは、特に限定されず、数mm程度の液滴であってもよいが、好ましくは50μm以下であり、より好ましくは100nm〜10μmである。
(Atomization / droplet formation process)
In the atomization / droplet atomization step, the raw material solution is atomized or dropletized. The atomizing means or the droplet forming means is not particularly limited as long as the raw material solution can be atomized or dropletized, and may be a known means. However, in the present invention, the atomizing means or the atomizing means using ultrasonic waves or Dropletization means is preferred. The mist or droplet obtained by using ultrasonic waves has a zero initial velocity and is preferable because it floats in the air. Since it is a possible mist, it is not damaged by collision energy, so it is very suitable. The droplet size is not particularly limited and may be a droplet of about several mm, but is preferably 50 μm or less, and more preferably 100 nm to 10 μm.
(原料溶液)
前記原料溶液は、前記発光層形成用組成物を含んでおり、霧化または液滴化が可能であれば特に限定されない。本発明においては、前記発光層形成用組成物をそのまま原料溶液として用いてもよいし、他の材料をさらに含む混合液を原料溶液として用いてもよい。他の材料としては、例えば、無機材料、有機材料等が挙げられ、前記原料溶液は、本発明の目的を阻害しない限り、さらに、無機材料を含んでいてもよいし、有機材料を含んでいてもよい。また、前記原料溶液は、無機材料および有機材料の両方の材料をさらに含んでいてもよい。
(Raw material solution)
The raw material solution contains the composition for forming a light emitting layer, and is not particularly limited as long as it can be atomized or atomized. In the present invention, the composition for forming a light emitting layer may be used as it is as a raw material solution, or a mixed solution further containing other materials may be used as a raw material solution. Examples of other materials include inorganic materials, organic materials, and the like, and the raw material solution may further contain an inorganic material or an organic material as long as the object of the present invention is not impaired. May be good. In addition, the raw material solution may further contain both inorganic and organic materials.
(搬送工程)
搬送工程では、キャリアガスでもって前記ミストまたは前記液滴を成膜部(例えば、成膜室)内に設置されている基体まで搬送する。前記キャリアガスとしては、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されず、例えば、酸素、オゾン、窒素やアルゴン等の不活性ガス、または水素ガスやフォーミングガス等の還元ガスなどが好適な例として挙げられる。また、キャリアガスの種類は1種類であってよいが、2種類以上であってもよく、流量を下げた希釈ガス(例えば10倍希釈ガス等)などを、第2のキャリアガスとしてさらに用いてもよい。また、キャリアガスの供給箇所も1箇所だけでなく、2箇所以上あってもよい。キャリアガスの流量は、特に限定されないが、0.01〜20L/分であるのが好ましく、1〜10L/分であるのがより好ましい。希釈ガスの場合には、希釈ガスの流量が、0.001〜2L/分であるのが好ましく、0.1〜1L/分であるのがより好ましい。
(Transport process)
In the transport step, the mist or the droplets are transported to the substrate installed in the film forming portion (for example, the film forming chamber) by the carrier gas. The carrier gas is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and for example, an inert gas such as oxygen, ozone, nitrogen or argon, or a reducing gas such as hydrogen gas or forming gas is a suitable example. Can be mentioned. Further, the type of the carrier gas may be one type, but may be two or more types, and a diluted gas having a reduced flow rate (for example, a 10-fold diluted gas) or the like is further used as the second carrier gas. May be good. Further, the carrier gas may be supplied not only at one location but also at two or more locations. The flow rate of the carrier gas is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 20 L / min, and more preferably 1 to 10 L / min. In the case of a diluting gas, the flow rate of the diluting gas is preferably 0.001 to 2 L / min, more preferably 0.1 to 1 L / min.
(成膜工程)
成膜工程では、基体上で前記ミストまたは液滴を反応させることによって、基体上に、成膜する。前記反応は、乾燥による反応であってもよいが、熱による熱反応が好ましく、熱反応は、熱でもって前記ミストまたは液滴が反応すればそれでよく、反応条件等も本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。本工程では、前記熱反応を、通常、250℃以下で行うが、本発明においては、200℃以下が好ましく、180℃以下が、より好ましく、140℃以下が最も好ましい。本発明においては、低温でも良好に成膜できるので、様々な種類の基板に適用することができ、特に、基板を損傷することなく、より密着性に優れ、且つ膜本来の性質をより良好に発揮できる。下限については、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されないが、80℃以上が好ましく、100℃以上がより好ましく、110℃以上が最も好ましい。また、前記反応は、本発明の目的を阻害しない限り、真空下、非酸素雰囲気下、還元ガス雰囲気下および酸素雰囲気下のいずれの雰囲気下で行われてもよいが、非酸素雰囲気下または酸素雰囲気下で行われるのが好ましい。また、大気圧下、加圧下および減圧下のいずれの条件下で行われてもよいが、本発明においては、大気圧下で行われるのが好ましい。なお、膜厚は、成膜時間を調整することにより、設定することができる。また、例えば、リニアソース式の成膜装置を用いる場合には、成膜のスキャン往復回数等を調整することにより、膜厚を適宜設定することができる。また、例えば、ロール・トゥ・ロール式の成膜装置を用いる場合には、ノズルの本数等を調整することにより、膜厚を適宜設定することができる。
(Film formation process)
In the film forming step, the mist or droplets are reacted on the substrate to form a film on the substrate. The reaction may be a reaction by drying, but a thermal reaction by heat is preferable, and the thermal reaction may be any reaction as long as the mist or droplets react with heat, and the reaction conditions and the like also hinder the object of the present invention. Unless otherwise limited. In this step, the thermal reaction is usually carried out at 250 ° C. or lower, but in the present invention, 200 ° C. or lower is preferable, 180 ° C. or lower is more preferable, and 140 ° C. or lower is most preferable. In the present invention, since a good film can be formed even at a low temperature, it can be applied to various types of substrates, and in particular, it has better adhesion without damaging the substrate and better the original properties of the film. Can be demonstrated. The lower limit is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 80 ° C. or higher is preferable, 100 ° C. or higher is more preferable, and 110 ° C. or higher is most preferable. Further, the reaction may be carried out in any of a vacuum, a non-oxygen atmosphere, a reducing gas atmosphere and an oxygen atmosphere as long as the object of the present invention is not impaired, but the reaction may be carried out in a non-oxygen atmosphere or oxygen. It is preferably performed in an atmosphere. Further, it may be carried out under any conditions of atmospheric pressure, pressurization and depressurization, but in the present invention, it is preferably carried out under atmospheric pressure. The film thickness can be set by adjusting the film formation time. Further, for example, when a linear source type film forming apparatus is used, the film thickness can be appropriately set by adjusting the number of reciprocating scans of the film formation. Further, for example, when a roll-to-roll type film forming apparatus is used, the film thickness can be appropriately set by adjusting the number of nozzles and the like.
また、本発明においては、前記基体上に、直接、成膜してもよいし、バッファ層(緩衝層)や応力緩和層等の他の層を介して成膜してもよい。バッファ層(緩衝層)や応力緩和層等の他の層の形成手段は、特に限定されず、公知の手段であってよいが、本発明においては、ミストCVD法が好ましい。 Further, in the present invention, a film may be formed directly on the substrate, or may be formed via another layer such as a buffer layer (buffer layer) or a stress relaxation layer. The means for forming other layers such as the buffer layer (buffer layer) and the stress relaxation layer is not particularly limited and may be known means, but in the present invention, the mist CVD method is preferable.
前記発光層の厚さは、特に限定されないが、1nm〜100μmであるのが好ましく、5nm〜50μmであるのがより好ましく、10nm〜10μmであるのが最も好ましい。 The thickness of the light emitting layer is not particularly limited, but is preferably 1 nm to 100 μm, more preferably 5 nm to 50 μm, and most preferably 10 nm to 10 μm.
(基体)
前記基体は、成膜する膜を支持できるものであれば特に限定されない。伸縮性のある基体であってもよい。前記基体の材料も、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されず、公知の基体であってよく、有機化合物であってもよいし、無機化合物であってもよい。多孔質構造体であってもよい。前記基体の形状としては、どのような形状のものであってもよく、あらゆる形状に対して有効であり、例えば、平板や円板等の板状、繊維状、棒状、円柱状、角柱状、筒状、螺旋状、球状、リング状などが挙げられるが、本発明においては、基板が好ましい。基板の厚さは、本発明においては特に限定されないが、0.5μm〜100mmが好ましく、1μm〜10mmがより好ましい。
(Hypokeimenon)
The substrate is not particularly limited as long as it can support the film to be formed. It may be a stretchable substrate. The material of the substrate is not particularly limited as long as it does not interfere with the object of the present invention, and may be a known substrate, an organic compound, or an inorganic compound. It may be a porous structure. The shape of the substrate may be any shape and is effective for any shape, for example, plate-like, fibrous, rod-like, columnar, prismatic, such as a flat plate or a disk. Cylindrical, spiral, spherical, ring-shaped and the like can be mentioned, but in the present invention, a substrate is preferable. The thickness of the substrate is not particularly limited in the present invention, but is preferably 0.5 μm to 100 mm, more preferably 1 μm to 10 mm.
前記基板は、板状であって、成膜する膜の支持体となるものであれば特に限定されない。絶縁体基板であってもよいし、半導体基板であってもよいし、金属基板や導電性基板であってもよい。また、これらの表面の一部または全部の上に、金属膜、半導体膜、導電性膜および絶縁性膜の少なくとも1種の膜が形成されているものも、前記基板として好適に用いることができる。本発明においては、前記基板が、ガラス基板であるのが好ましく、また、金属膜、半導体膜、導電性膜および絶縁性膜の少なくとも1種の膜を表面に有するガラス基板であるのがより好ましい。前記金属膜の構成金属としては、例えば、ガリウム、鉄、インジウム、アルミニウム、バナジウム、チタン、クロム、ロジウム、ニッケル、コバルト、亜鉛、マグネシウム、カルシウム、シリコン、イットリウム、ストロンチウムおよびバリウムから選ばれる1種または2種以上の金属などが挙げられる。半導体膜の構成材料としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムのような元素単体、周期表の第3族〜第5族、第13族〜第15族の元素を有する化合物、金属酸化物、金属硫化物、金属セレン化物、または金属窒化物等が挙げられる。また、前記導電性膜の構成材料としては、例えば、スズドープ酸化インジウム(ITO)、フッ素ドープ酸化インジウム(FTO)、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)、酸化亜鉛(ZnO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)、酸化スズ(SnO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化タングステン(WO3)などが挙げられるが、本発明においては、導電性酸化物からなる導電性膜であるのが好ましく、スズドープ酸化インジウム(ITO)膜又はフッ素ドープ酸化インジウム(FTO)膜であるのがより好ましく、スズドープ酸化インジウム(ITO)膜であるのが最も好ましい。前記絶縁性膜の構成材料としては、例えば、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、酸化シリコン(SiO2)、窒化シリコン(Si3N4)、酸窒化シリコン(Si4O5N3)などが挙げられるが、絶縁性酸化物からなる絶縁性膜であるのが好ましく、チタニア膜であるのがより好ましい。
The substrate is not particularly limited as long as it has a plate shape and serves as a support for a film to be formed. It may be an insulator substrate, a semiconductor substrate, a metal substrate, or a conductive substrate. Further, those in which at least one kind of film of a metal film, a semiconductor film, a conductive film and an insulating film is formed on a part or all of these surfaces can also be suitably used as the substrate. .. In the present invention, the substrate is preferably a glass substrate, and more preferably a glass substrate having at least one of a metal film, a semiconductor film, a conductive film and an insulating film on the surface. .. As the constituent metal of the metal film, for example, one selected from gallium, iron, indium, aluminum, vanadium, titanium, chromium, rhodium, nickel, cobalt, zinc, magnesium, calcium, silicon, yttrium, strontium and barium, or one of them. Two or more kinds of metals and the like can be mentioned. Examples of the constituent materials of the semiconductor film include elemental substances such as silicon and germanium, compounds having elements of
なお、金属膜、半導体膜、導電性膜および絶縁性膜の形成手段は、特に限定されず、公知の手段であってよい。このような形成手段としては、例えば、ミストCVD法、スパッタ法、CVD法(気相成長法)、SPD法(スプレー熱分解堆積法)、蒸着法、ALD(原子層堆積)法、塗布法(例えばディッピング、滴下、ドクターブレード、インクジェット、スピンコート、刷毛塗り、スプレー塗装、ロールコーター、エアーナイフコート、カーテンコート、ワイヤーバーコート、グラビアコート、インクジェット塗布等)などが挙げられる。 The means for forming the metal film, the semiconductor film, the conductive film and the insulating film is not particularly limited and may be a known means. Examples of such forming means include a mist CVD method, a sputtering method, a CVD method (vapor deposition method), an SPD method (spray thermal decomposition deposition method), a vapor deposition method, an ALD (atomic layer deposition) method, and a coating method ( For example, dipping, dripping, doctor blade, inkjet, spin coating, brush coating, spray coating, roll coater, air knife coating, curtain coating, wire bar coating, gravure coating, inkjet coating, etc.).
また、本発明においては、前記基板上に、陽極が形成されていてもよい。前記陽極は、公知のものであってよく、前記陽極としては、例えば、前記導電性膜、前記金属膜等が挙げられる。 Further, in the present invention, an anode may be formed on the substrate. The anode may be a known one, and examples of the anode include the conductive film, the metal film, and the like.
前記陽極の形成手段は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されず、本発明においては、前記陽極の形成手段として、公知の手段を用いることができる。陽極の形成手段としては、例えば、ミストCVD法、スパッタ法やCVD法(気相成長法)、SPD法(スプレー熱分解堆積法)、蒸着法などが挙げられる。 The means for forming the anode is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and in the present invention, known means can be used as the means for forming the anode. Examples of the anode forming means include a mist CVD method, a sputtering method, a CVD method (gas phase growth method), an SPD method (spray pyrolysis deposition method), and a vapor deposition method.
前記陽極の厚さは、特に限定されず、陽極を構成する材料により適宜選択することができるが、通常、10nm〜500μmであり、50nm〜200μmであるのが好ましい。 The thickness of the anode is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the material constituting the anode, but is usually 10 nm to 500 μm, preferably 50 nm to 200 μm.
本発明においては、前記の陽極が形成された基体上に、さらに、他の層を形成するのが好ましく、前記の陽極が形成された基体上に、さらに、正孔輸送層が形成されているのがより好ましい。前記正孔輸送層の構成材料は、特に限定されず、公知のものであってよい。本発明においては、前記正孔輸送層の構成材料が、アミン誘導体であるのが好ましく、アリールアミン誘導体であるのがより好ましく、第3級アリールアミン誘導体またはベンジジン系アミン誘導体であるのが最も好ましい。前記第3級アリールアミン誘導体としては、例えば、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:α−NPD)やN,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(略称:BSPB)、N,N’−ビス(4−メチルフェニル)(p−トリル)−N,N’−ジフェニル−p−フェニレンジアミン(略称:DTDPPA)、4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DPAB)、4,4’−ビス(N−{4−[N’−(3−メチルフェニル)−N’−フェニルアミノ]フェニル}−N−フェニルアミノ)ビフェニル(略称:DNTPD)、1,3,5−トリス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ベンゼン(略称:DPA3B)又はこれら2種以上の混合物等が挙げられ、前記ベンジジン系アミン誘導体としては、例えば、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:α− NPD)やN,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、N,N’−ビス(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(略称:BSPB)、N,N,N’,N’−テトラナフチル−ベンジジン(略称:TNB)又はこれら2種以上の混合物等が挙げられる。 In the present invention, it is preferable to further form another layer on the substrate on which the anode is formed, and a hole transport layer is further formed on the substrate on which the anode is formed. Is more preferable. The constituent material of the hole transport layer is not particularly limited and may be a known one. In the present invention, the constituent material of the hole transport layer is preferably an amine derivative, more preferably an arylamine derivative, and most preferably a tertiary arylamine derivative or a benzidine-based amine derivative. .. Examples of the tertiary arylamine derivative include 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: α-NPD) and N, N'-bis (3-). Methylphenyl) -N, N'-diphenyl- [1,1'-biphenyl] -4,4'-diamine (abbreviation: TPD), 4,4', 4 "-tris (N, N-diphenylamino) Triphenylamine (abbreviation: TDATA), 4,4', 4''-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine (abbreviation: MTDATA), N, N'-bis (abbreviation: MTDATA) Spiro-9,9'-bifluoren-2-yl) -N, N'-diphenylbenzidine (abbreviation: BSPB), N, N'-bis (4-methylphenyl) (p-tolyl) -N, N'- Diphenyl-p-phenylenediamine (abbreviation: DTDPPA), 4,4'-bis [N- (4-diphenylaminophenyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: DPAB), 4,4'-bis (N-) {4- [N'-(3-Methylphenyl) -N'-phenylamino] phenyl} -N-phenylamino) biphenyl (abbreviation: DNTPD), 1,3,5-tris [N- (4-diphenylamino] N- (4-diphenylamino) Examples thereof include phenyl) -N-phenylamino] benzene (abbreviation: DPA3B) or a mixture of two or more thereof, and examples of the benzidine amine derivative include 4,4'-bis [N- (1-naphthyl)). -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: α-NPD) and N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-diphenyl- [1,1'-biphenyl] -4,4'-diamine (Abbreviation: TPD), N, N'-bis (spiro-9,9'-bifluoren-2-yl) -N, N'-diphenylbenzidine (abbreviation: BSPB), N, N, N', N'- Examples thereof include tetranaphthyl-benzidine (abbreviation: TNB) or a mixture of two or more of these.
前記正孔輸送層の形成手段は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されず、公知の手段であってよい。前記正孔輸送層の形成手段としては、例えば、ミストCVD法、スパッタ法、CVD法(気相成長法)、SPD法(スプレー熱分解堆積法)、蒸着法、ALD(原子層堆積)法、塗布法(例えばディッピング、滴下、ドクターブレード、インクジェット、スピンコート、刷毛塗り、スプレー塗装、ロールコーター、エアーナイフコート、カーテンコート、ワイヤーバーコート、グラビアコート、インクジェット塗布等)などが挙げられる。 The means for forming the hole transport layer is not particularly limited and may be a known means as long as the object of the present invention is not impaired. Examples of the means for forming the hole transport layer include a mist CVD method, a sputtering method, a CVD method (vapor deposition method), an SPD method (spray thermal decomposition deposition method), a vapor deposition method, and an ALD (atomic layer deposition) method. Examples thereof include coating methods (for example, dipping, dripping, doctor blade, inkjet, spin coating, brush coating, spray coating, roll coater, air knife coating, curtain coating, wire bar coating, gravure coating, inkjet coating, etc.).
前記正孔輸送層の厚さは、特に限定されないが、駆動電圧低下、外部量子効率向上、耐久性向上の観点から、厚さが1nm〜5μmであるのが好ましく、5nm〜1μmであるのがより好ましく、10nm〜500nmであるのが最も好ましい。 The thickness of the hole transport layer is not particularly limited, but is preferably 1 nm to 5 μm, preferably 5 nm to 1 μm, from the viewpoint of reducing the driving voltage, improving the external quantum efficiency, and improving the durability. More preferably, it is 10 nm to 500 nm, and most preferably.
本発明においては、表面に、前記陽極及び前記正孔輸送層がこの順に形成された基板上に、前記発光層を形成するのが好ましく、このようにして前記発光層を形成することにより、より効率的に有機発光素子を得ることができる。 In the present invention, it is preferable to form the light emitting layer on a substrate on which the anode and the hole transport layer are formed in this order on the surface, and by forming the light emitting layer in this way, the light emitting layer is further formed. An organic light emitting device can be efficiently obtained.
上記のようにして製造することで、簡便且つ容易に、効率良く工業的有利に発光層を得ることができる。また、得られる発光層の膜厚も、成膜時間を調整することにより、容易に調整することができる。 By manufacturing as described above, a light emitting layer can be easily and easily, efficiently and industrially advantageously obtained. Further, the film thickness of the obtained light emitting layer can be easily adjusted by adjusting the film formation time.
前記発光層は、有機発光素子等に有用である。本発明においては、前記発光層を有機発光素子に用いる場合、例えば、陽極、正孔輸送層、発光層、所望により電子輸送層、及び陰極を少なくとも有する有機発光素子の発光層として、好適に用いることができる。この場合、例えば、前記基板上に、陽極、正孔輸送層、発光層、所望により電子輸送層、及び陰極をこの順に形成した有機発光素子等が好適な例として挙げられるが、これに限定されない。 The light emitting layer is useful for an organic light emitting element or the like. In the present invention, when the light emitting layer is used for an organic light emitting device, it is preferably used as, for example, an anode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer if desired, and a light emitting layer of an organic light emitting device having at least a cathode. be able to. In this case, for example, an organic light emitting device in which an anode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer if desired, and a cathode are formed in this order on the substrate can be mentioned as a preferable example, but the present invention is not limited thereto. ..
以下、前記発光層を有機発光素子に用いた場合の好適な例を説明する。前記基体上に、前記陽極、前記正孔輸送層、前記発光層、所望により電子輸送層、及び陰極をこの順に形成する。 Hereinafter, a suitable example when the light emitting layer is used for the organic light emitting element will be described. The anode, the hole transport layer, the light emitting layer, optionally an electron transport layer, and a cathode are formed on the substrate in this order.
(電子輸送層)
前記電子輸送層は、通常、陰極から電子を注入する機能、電子を輸送する機能、陽極から注入され得た正孔を障壁する機能のいずれかを有している。前記電子輸送層の構成材料は、特に限定されず、公知の材料であってよい。前記電子輸送層の構成材料としては、例えば、ピリジン、ピリミジン、トリアジン、イミダゾール、トリアゾ−ル、オキサゾ−ル、オキサジアゾ−ル、フルオレノン、アントラキノジメタン、アントロン、ジフェニルキノン、チオピランジオキシド、カルボジイミド、フルオレニリデンメタン、ジスチリルピラジン、フッ素置換芳香族化合物、ナフタレンペリレン等の複素環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン、およびそれらの誘導体(他の環と縮合環を形成してもよい)、8−キノリノ−ル誘導体の金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾ−ルやベンゾチアゾ−ルを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体等が挙げられる。
(Electronic transport layer)
The electron transport layer usually has one of a function of injecting electrons from a cathode, a function of transporting electrons, and a function of blocking holes obtained from an anode. The constituent material of the electron transport layer is not particularly limited and may be a known material. Examples of the constituent materials of the electron transport layer include pyridine, pyrimidine, triazine, imidazole, triazol, oxazol, oxadiazol, fluorenone, anthracinodimethane, anthron, diphenylquinone, thiopyrandioxide, and carbodiimide. , Fluolenilidenemethane, distyrylpyrazine, fluorine-substituted aromatic compounds, heterocyclic tetracarboxylic acid anhydrides such as naphthalene perylene, phthalocyanine, and derivatives thereof (may form fused rings with other rings), 8 Examples thereof include metal complexes of quinolinol derivatives, metal phthalocyanines, and various metal complexes typified by metal complexes having benzoxazole or benzothiazol as ligands.
前記電子輸送層の厚さは、特に限定されないが、駆動電圧低下、外部量子効率向上、耐久性向上の観点から、厚さが1nm〜5μmであるのが好ましく、5nm〜1μmであるのがより好ましく、10nm〜500nmであるのが最も好ましい。 The thickness of the electron transport layer is not particularly limited, but is preferably 1 nm to 5 μm, more preferably 5 nm to 1 μm, from the viewpoint of reducing the driving voltage, improving the external quantum efficiency, and improving the durability. It is preferably 10 nm to 500 nm, most preferably 10 nm to 500 nm.
前記電子輸送層の形成手段は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されず、公知の手段であってよい。前記電子輸送層の形成手段としては、例えば、ミストCVD法、スパッタ法、CVD法(気相成長法)、SPD法(スプレー熱分解堆積法)、蒸着法、ALD(原子層堆積)法、塗布法(例えばディッピング、滴下、ドクターブレード、インクジェット、スピンコート、刷毛塗り、スプレー塗装、ロールコーター、エアーナイフコート、カーテンコート、ワイヤーバーコート、グラビアコート、インクジェット塗布等)などが挙げられる。本発明においては、前記電子輸送層の形成手段が、ミストCVD法であるのが好ましい。 The means for forming the electron transport layer is not particularly limited and may be a known means as long as the object of the present invention is not impaired. Examples of the means for forming the electron transport layer include a mist CVD method, a sputtering method, a CVD method (vapor deposition method), an SPD method (spray thermal decomposition deposition method), a vapor deposition method, an ALD (atomic layer deposition) method, and coating. Methods (eg, dipping, dripping, doctor blade, inkjet, spin coating, brush coating, spray coating, roll coater, air knife coating, curtain coating, wire bar coating, gravure coating, inkjet coating, etc.) can be mentioned. In the present invention, it is preferable that the means for forming the electron transport layer is a mist CVD method.
(陰極)
陰極は、導電性を有するものであって、電極として機能するものであれば、特に限定されず、公知の陰極であってよい。例えば、絶縁性材料であっても、電子輸送層に面している側に導電性物質層が設けてあり、電極として使用可能であれば、これを陰極として用いることができる。本発明においては、陰極は、電子輸送層との接触性が良いことが好ましい。陰極は、電子輸送層との仕事関数の差が小さく、化学的に安定であることも好ましい。このような材料としては、特に限定されないが、金、銀、銅、アルミニウム、白金、ロジウム、マグネシウム、インジウム等の金属薄膜、炭素、カーボンブラック、導電性高分子、導電性の金属酸化物(インジウム−スズ複合酸化物、酸化錫にフッ素をドープしたもの等)などの有機導電体などが挙げられる。また、陰極の平均厚みもまた、特に限定されないが、約10〜1000nmであるのが好ましい。また、陰極の表面抵抗は、特に限定されないが、低いのが好ましく、具体的には、陰極の表面抵抗の範囲は、好ましくは80Ω/□以下であり、より好ましくは20Ω/□以下である。なお、陰極の表面抵抗の下限は、可能な限り低いことが好ましいため、特に限定されないが、0.1Ω/□以上であればよい。
(cathode)
The cathode is not particularly limited as long as it has conductivity and functions as an electrode, and may be a known cathode. For example, even if it is an insulating material, if a conductive substance layer is provided on the side facing the electron transport layer and can be used as an electrode, this can be used as a cathode. In the present invention, it is preferable that the cathode has good contact with the electron transport layer. It is also preferable that the cathode has a small difference in work function from the electron transport layer and is chemically stable. Such materials are not particularly limited, but are metal thin films such as gold, silver, copper, aluminum, platinum, rhodium, magnesium, and indium, carbon, carbon black, conductive polymers, and conductive metal oxides (indium). − Organic conductors such as tin composite oxides, tin oxide doped with fluorine, etc.). The average thickness of the cathode is also not particularly limited, but is preferably about 10 to 1000 nm. The surface resistance of the cathode is not particularly limited, but is preferably low. Specifically, the range of the surface resistance of the cathode is preferably 80 Ω / □ or less, and more preferably 20 Ω / □ or less. The lower limit of the surface resistance of the cathode is preferably as low as possible, and is not particularly limited, but may be 0.1 Ω / □ or more.
陰極の形成方法は、本発明の目的を阻害しない限り、特に限定されず、公知の手段を用いることができる。陰極の形成手段としては、例えば、ミストCVD法、スパッタ法やCVD法(気相成長法)、SPD法(スプレー熱分解堆積法)、蒸着法などが挙げられる。 The method for forming the cathode is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and known means can be used. Examples of the cathode forming means include a mist CVD method, a sputtering method, a CVD method (gas phase growth method), an SPD method (spray pyrolysis deposition method), and a vapor deposition method.
前記有機発光素子は、表示装置又は照明装置等に用いられる発光素子として有用であり、前記表示装置又は照明装置等を備えた電子機器又はその部品に、好適に用いられる。前記電子機器又はその部品は、公知の手段を用いて作製することができる。 The organic light emitting element is useful as a light emitting element used in a display device, a lighting device, or the like, and is preferably used in an electronic device or a component thereof provided with the display device, the lighting device, or the like. The electronic device or its parts can be manufactured by using known means.
以下、本発明の有機発光素子を電子機器又はその部品に用いた場合の好適な態様を示す。図2に示すモジュールは、駆動用基板105の一辺に、封止用の基板から露出した領域121を設け、この領域121に信号線駆動回路112および走査線駆動回路113の配線を延長して外部接続端子(図示せず)を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブル・プリント配線基板122が設けられている。
Hereinafter, preferred embodiments will be shown when the organic light emitting device of the present invention is used in an electronic device or a component thereof. In the module shown in FIG. 2, a
図3に示す駆動用基板105には、例えば、表示領域111と、映像表示用のドライバである信号線駆動回路112及び走査線駆動回路113が形成されている。表示領域111内には画素駆動回路114が形成されている。表示領域111は、有機発光素子101R、101G、101Bを全体としてマトリックス状に配置したものである。有機発光素子101R、101G、101Bは短冊状の平面形状で構成され、有機発光素子101R、101G、101Bの組み合わせで1つの画素(ピクセル)が構成されている。
The
画素駆動回路114は、電極の下層に形成され、駆動トランジスタ及び書込みトランジスタと、キャパシタ(保持容量)Csと、有機発光素子とを備えるアクティブ型の駆動回路である。画素駆動回路114では、信号線112Aが列方向に複数配置され、走査線113Aが行方向に複数配置されている。各信号線112Aと各走査線113Aとの交差点が、有機発光素子101R、101G、101Bのいずれか一つ(サブピクセル)に対応している。各信号線112Aは、信号線駆動回路112に接続され、この信号線駆動回路112から信号線112Aを介して書き込みトランジスタのソース電極に画像信号が供給されるようになっている。各走査線113Aは走査線駆動回路113に接続され、この走査線駆動回路113から走査線113Aを介して書き込みトランジスタのゲート電極に走査信号が順次供給されるようになっている。
The
前記モジュールは、種々の電子機器又はその部品に組み込まれて例えば表示装置等として用いられる。前記電子機器としては、前記有機発光素子が用いられている電子機器であれば特に限定されないが、例えば、テレビ、カメラ、パソコン、携帯電話機、スマートフォン、ディスプレイなどが挙げられる。また、前記モジュールの前記電子機器又はその部品への組み込み手段は、特に限定されず、公知の手段であってよい。 The module is incorporated into various electronic devices or parts thereof and used as, for example, a display device. The electronic device is not particularly limited as long as it is an electronic device in which the organic light emitting element is used, and examples thereof include a television, a camera, a personal computer, a mobile phone, a smartphone, and a display. Further, the means for incorporating the module into the electronic device or its components is not particularly limited and may be a known means.
また、本発明の有機発光素子は、前記モジュールの例に特に限定されることはなく、あらゆる態様をとることができ、前記モジュールや前記電子機器などが用いられたシステムも本発明に包含される。前記システムとしては、前記有機発光素子が用いられているシステムであれば特に限定されないが、例えば、照明システム、通信システム等が挙げられる。 Further, the organic light emitting device of the present invention is not particularly limited to the example of the module, and can take any aspect, and a system in which the module, the electronic device, or the like is used is also included in the present invention. .. The system is not particularly limited as long as it is a system in which the organic light emitting element is used, and examples thereof include a lighting system and a communication system.
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.
(実施例1)
1.成膜装置
図1を用いて、本実施例で用いたミストCVD装置1を説明する。ミストCVD装置1は、キャリアガスを供給するキャリアガス源2と、キャリアガス源2から送り出されるキャリアガスの流量を調節するための流量調節弁3と、原料溶液4aが収容されるミスト発生源4と、水5aが入れられる容器5と、容器5の底面に取り付けられた超音波振動子6と、ホットプレート8と、ホットプレート8上に載置された基板10と、ミスト発生源4から基板10近傍までをつなぐ供給管9とを備えている。
(Example 1)
1. 1. Film formation device The mist CVD device 1 used in this embodiment will be described with reference to FIG. The mist CVD apparatus 1 includes a
2.原料溶液の作製
α―NPDをγ-ブチロラクトンに混合し、これを原料溶液とした。なお、溶液中のα―NPDの濃度は0.0020mol/Lとした。
2. Preparation of raw material solution α-NPD was mixed with γ-butyrolactone and used as a raw material solution. The concentration of α-NPD in the solution was 0.0020 mol / L.
3.成膜準備
上記2.で得られた原料溶液4aを、ミスト発生源4内に収容した。次に、基板10として、15mm角のガラス/ITO基板をホットプレート8上に設置し、ホットプレート8を作動させて基板10の温度を180℃にまで昇温させた。次に、流量調節弁3を開いて、キャリアガス源であるキャリアガス供給手段2から供給されるキャリアガスの流量を4L/分に調節した。なお、キャリアガスとして窒素を用いた。
3. 3. Preparation for
4.正孔輸送層の形成
次に、超音波振動子6を2.4MHzで振動させ、その振動を、水5aを通じて原料溶液4aに伝播させることによって、原料溶液4aを霧化させてミスト4bを生成させた。このミスト4bが、キャリアガスによって、供給管9内を通って、基板10へと搬送され、大気圧下、180℃にて、基板10近傍でミストが熱反応して、基板10上に正孔輸送層が形成された。なお、得られた正孔輸送層の膜厚は約50nmであり、成膜時間は、10分間であった。また、得られた積層体の蛍光スペクトルを、励起波長300nmにおいて測定した。図4にその結果を示す。図4からわかるように、得られた積層体は、波長430〜450nmに発光ピークを有していた。
4. Formation of hole transport layer Next, the
5.発光層の形成
α―NPDの代わりにAlq3を用いて、溶液中のAlq3の濃度を0.0025mol/Lとして混合溶液を作製し、これを原料溶液としたこと、基板として、上記4.で得られた積層体を用いたこと以外は、前記正孔輸送層の形成と同様に、上記4.で形成した正孔輸送層上に発光層を形成した。また、得られた発光層の膜厚は約50nmであり、成膜時間は10分間であった。また、得られた積層体の蛍光スペクトルを、励起波長300nmにおいて測定した。図5にその結果を示す。図5からわかるように、得られた積層体は、波長500〜520nmに発光ピークを有していた。
5. Formation of light emitting layer Alq3 was used instead of α-NPD to prepare a mixed solution with a concentration of Alq3 in the solution of 0.0025 mol / L, and this was used as a raw material solution. In the same manner as in the formation of the hole transport layer, the above 4. A light emitting layer was formed on the hole transport layer formed in 1. The film thickness of the obtained light emitting layer was about 50 nm, and the film forming time was 10 minutes. Moreover, the fluorescence spectrum of the obtained laminate was measured at an excitation wavelength of 300 nm. The result is shown in FIG. As can be seen from FIG. 5, the obtained laminate had an emission peak at a wavelength of 500 to 520 nm.
6.陰極の形成
上記5.で形成された発光層上に、真空蒸着法を用いて、陰極としてアルミニウムを形成し、有機発光素子を作製した。
6. Formation of
(実施例2)
正孔輸送層及び発光層形成時の成膜温度を140℃にしたこと以外は、実施例1と同様にして有機発光素子を作製した。また、正孔輸送層形成工程(実施例1の4.に対応)および発光層形成工程(実施例1の5.に対応)で得られたそれぞれの積層体について蛍光スペクトルを測定した。その結果を図4および図5に示す。図4および図5からわかるように、発光ピークが見られた波長の範囲は、実施例1の4.および5.で得られた積層体とそれぞれ同様であった。また、発光強度は、実施例1の4.および5.で得られた積層体よりもそれぞれ高く、より良好な発光特性を有していた。
(Example 2)
An organic light emitting device was produced in the same manner as in Example 1 except that the film formation temperature at the time of forming the hole transport layer and the light emitting layer was set to 140 ° C. In addition, the fluorescence spectra of the laminates obtained in the hole transport layer forming step (corresponding to 4. of Example 1) and the light emitting layer forming step (corresponding to 5. of Example 1) were measured. The results are shown in FIGS. 4 and 5. As can be seen from FIGS. 4 and 5, the range of wavelengths at which the emission peak was observed is 4. And 5. It was the same as each of the laminates obtained in. Further, the emission intensity is 4. And 5. Each of them was higher than the laminates obtained in 1 and had better light emission characteristics.
本発明の発光層形成用組成物を用いると、簡便且つ容易に、効率良く工業的有利に発光層を製造することができるので、種々の産業に利用することができる。特に、表示装置や照明装置等を備えた電子機器等の産業分野に利用することができる。 When the composition for forming a light emitting layer of the present invention is used, a light emitting layer can be easily, easily, efficiently and industrially advantageously produced, and thus can be used in various industries. In particular, it can be used in industrial fields such as electronic devices equipped with display devices and lighting devices.
1 ミストCVD装置
2 キャリアガス源
3 流量調節弁
4 ミスト発生源
4a 原料溶液
4b ミスト
5 容器
5a 水
6 超音波振動子
8 ホットプレート
9 供給管
10 基板
101R 有機発光素子
101G 有機発光素子
101B 有機発光素子
105 駆動用基板
111 表示領域
112 信号線駆動回路
112A 信号線
113 走査線駆動回路
113A 走査線
114 画素駆動回路
121 領域
122 フレキシブル・プリント配線基板
1
Claims (6)
浮遊させたミストまたは液滴にキャリアガスを供給して前記ミスト又は前記液滴を前記キャリアガスで基体上まで搬送し、
前記基体上で前記ミスト又は液滴を熱反応させて、前記基体上に直接又は他の層を介して発光層を積層して形成する発光層の製造方法であって、
前記原料溶液は、金属錯体と、溶媒としての酸素原子含有環式化合物とを含むことを特徴とする発光層の製造方法。 Atomize or dropletize the raw material solution
To the suspended mists or droplets by supplying carrier gas to transport the mist or the droplets to the substrate on the said carrier gas,
A method for producing a light emitting layer, which is formed by thermally reacting the mist or droplets on the substrate and laminating a light emitting layer directly on the substrate or via another layer.
A method for producing a light emitting layer, wherein the raw material solution contains a metal complex and an oxygen atom-containing cyclic compound as a solvent.
The method for producing a light emitting layer according to any one of claims 1 to 5, wherein the oxygen atom-containing cyclic compound is γ-butyrolactone.
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