JP6941275B2 - Short arc type discharge lamp - Google Patents
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Description
この発明は、ショートアーク型放電ランプに関するものであり、特に、垂直点灯されるショートアーク型放電ランプに係わるものである。 The present invention relates to a short arc type discharge lamp, and more particularly to a short arc type discharge lamp that is vertically lit.
従来、高入力で高輝度なショートアーク型放電ランプにおいては、対向配置された一対の電極を垂直配置して点灯する垂直点灯方式が多用されている。
また、水銀を封入した発光管内に一対の陰極と陽極とが対向配置されたショートアーク型放電ランプは、点光源に近いことから、光学系と組み合わせることにより集光効率の高い露光装置の光源として利用されている。
更には、発光管内にキセノンを封入したショートアーク型放電ランプは、デジタルシネマ用光源として使用されている。
このようなショートアーク型放電ランプにおいては、点灯時に陽極にかかる熱的負荷が高いことから、陽極の過熱等に起因する電極材料の蒸発が生じ、この蒸発物が発光管の内壁に付着して光透過率が低下する、いわゆる黒化が生じることが知られている。このような黒化物は点灯中のガスの対流によって運ばれて、発光管の上部近傍に付着しやすい。
Conventionally, in a short arc type discharge lamp having a high input and a high brightness, a vertical lighting method in which a pair of electrodes arranged opposite to each other are vertically arranged and lit is often used.
In addition, a short arc type discharge lamp in which a pair of cathodes and an anode are arranged facing each other in an arc tube filled with mercury is close to a point light source, and therefore, by combining with an optical system, it can be used as a light source for an exposure device having high light collection efficiency. It's being used.
Further, a short arc type discharge lamp in which xenon is sealed in an arc tube is used as a light source for digital cinema.
In such a short arc type discharge lamp, since the thermal load applied to the anode at the time of lighting is high, the electrode material evaporates due to overheating of the anode and the like, and this evaporation adheres to the inner wall of the arc tube. It is known that so-called blackening occurs in which the light transmittance decreases. Such blackened matter is carried by the convection of the lighting gas and easily adheres to the vicinity of the upper part of the arc tube.
このような電極材料の蒸発による黒化物を対流ガス中から捕捉する工夫として、特開2005−340136号公報(特許文献1)では、上方に位置する電極(陽極)の上方に円板状部材を設けることが開示されている。
図6にその構造が示されていて、ショートアーク型放電ランプ101の発光管102内に、一対の陰極103と陽極104とが対向配置されていて、このランプ101は、陽極104を上方として垂直点灯される。上方の陽極104には、その芯線104aに円板状部材110が設けられている。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-340136 (Patent Document 1), as a device for capturing black matter due to evaporation of such an electrode material from the convection gas, a disk-shaped member is provided above the electrode (anode) located above. It is disclosed to provide.
The structure is shown in FIG. 6, in which a pair of
図6に示すように、ランプ点灯中には、発光管102内にアークによるガスの対流Xが生じるが、陽極104上方の円板状部材110に衝突し、発光管102の内壁に沿って流れる。陽極104の上方への流れが円板状部材110に衝突するため、この間に対流ガス中の黒化物はこの円板状部材110や陽極芯線104aに付着する。これにより、発光管102の内壁に沿って流れる対流中には黒化物が殆ど含まれることがなく、発光管102の黒化が抑制できるとしている。
As shown in FIG. 6, while the lamp is lit, gas convection X due to an arc is generated in the
ところが、特許文献1のように、円板状部材110を設けると、陽極104の周囲に沿って上昇する対流ガスXが、この円板状部材110によって阻止されて、発光管102内部の上端部まで流れることがなくなり、その領域で水銀の未蒸発が起こり、所望のランプ寿命(照度維持率)が得られないという問題があることが分かった。
However, as in Patent Document 1, when the disc-
この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて、発光管の内部に一対の陰極と陽極とが対向配置され、垂直点灯されるショートアーク型放電ランプにおいて、発光管内に生じる対流ガスによって電極や芯線などから蒸発した金属などが輸送されて、発光管の管壁に付着して黒化することを防止するとともに、発光管内の対流ガスが発光管の上端部にまで流れるようにして、水銀の未蒸発を抑制した構造を提供するものである。 In view of the above problems of the prior art, the present invention is a short arc type discharge lamp in which a pair of cathodes and an anode are arranged to face each other inside the arc tube and are vertically lit. Evaporated metal etc. is transported from the core wire etc. to prevent it from adhering to the tube wall of the arc tube and blackening, and the convection gas in the arc tube is made to flow to the upper end of the arc tube to prevent mercury. It provides a structure in which unevaporation is suppressed.
上記課題を解決するために、この発明では、上方位置にある電極の上方に対流誘導部材が設けられ、該対流誘導部材には、管軸方向の貫通孔が形成されていることを特徴とする。
また、前記対流誘導部材は、円板形状であることを特徴とする。
また、前記貫通孔は、管軸を中心とする同一円周上に等ピッチで設けられていることを特徴とする。
また、前記上方位置にある電極の後端に、後方に向かって縮径する傾斜部が設けられていることを特徴とする。
また、前記貫通孔は、前記傾斜部を延長した仮想線よりも管軸からみて外方側に位置していることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention is characterized in that a convection guiding member is provided above the electrode located at an upper position, and the convection guiding member is formed with a through hole in the pipe axis direction. ..
Further, the convection guiding member is characterized in that it has a disk shape.
Further, the through holes are provided at equal pitches on the same circumference centered on the pipe axis.
Further, the rear end of the electrode located at the upper position is provided with an inclined portion whose diameter is reduced toward the rear.
Further, the through hole is characterized in that it is located on the outer side of the pipe axis with respect to the virtual line extending the inclined portion.
本発明によれば、上方位置の電極の上方に、貫通孔を有する対流誘導部材を設けたことにより、発光管内の対流ガスがこの対流誘導部材の貫通孔を通過して発光管の上端部まで流れることになり、この領域で温度低下を引き起こすことがなく、水銀の未蒸発を抑制できる。また、対流誘導部材から下方に折り返されるガスの流れが生じることにより、発光管内の対流ガスに乱れが生じることが少なくなり、アークの揺らぎが低減し、安定的に点灯維持される。更に、上方へ流れる対流ガス中の黒化物は、この対流誘導部材や電極芯線に付着し、更には、貫通孔の内表面にも付着して、対流ガス中から除去されて、黒化物の発光管内壁への付着が防止できるものである。
また、上方電極の後端に縮径する傾斜部が設けられたことで、対流ガスはこの傾斜部により電極芯線側に沿った流れとなり、これが対流誘導部材の貫通孔に効果的に流れることとなり、発光管の上端部における水銀の未蒸発をより一層抑制することができる。
According to the present invention, by providing the convection guiding member having a through hole above the electrode at the upper position, the convection gas in the arc tube passes through the through hole of the convection guiding member to the upper end of the arc tube. It will flow, and the unevaporation of mercury can be suppressed without causing a temperature drop in this region. Further, due to the flow of gas that is folded downward from the convection induction member, the convection gas in the arc tube is less likely to be disturbed, the fluctuation of the arc is reduced, and the lighting is stably maintained. Further, the blackened matter in the convection gas flowing upward adheres to the convection guiding member and the electrode core wire, and further adheres to the inner surface of the through hole, is removed from the convection gas, and emits light of the blackened matter. It can prevent adhesion to the inner wall of the pipe.
Further, since the inclined portion having a reduced diameter is provided at the rear end of the upper electrode, the convection gas flows along the electrode core wire side by this inclined portion, and this effectively flows through the through hole of the convection guiding member. , The unevaporation of mercury at the upper end of the arc tube can be further suppressed.
図1は、この発明の垂直点灯されるショートアーク型放電ランプ1を示し、発光管2内に陰極3と、陽極4とが対向配置されていて、それぞれ、陰極3の芯線5および陽極4の芯線6が、封止部7、8において封止されている。
点灯時に上方に位置する電極、この実施例では陽極4の上方には、対流誘導部材10が設けられている。
この対流誘導部材10は円板状部材からなり、陽極4の芯線6に取付け部材9により取付けられている。そして、この対流誘導部材10には複数の管軸方向の貫通孔11が形成されている。
FIG. 1 shows a short arc type discharge lamp 1 that is vertically lit according to the present invention, in which a
A
The
図2に対流誘導部材10の詳細が示されていて、図2(B)に示すように、この円板状の対流誘導部材10には、管軸(発光管2の中心軸、即ち、陰極3、陽極4の中心軸)Yを中心として同一円周上に等ピッチで複数の貫通孔11が形成されている。この例では6つの貫通孔11が形成されたものが示されているが、その数は、対流誘導部材10の大きさ(直径)や、貫通孔11の開口径などにより適宜に選択される。
一方、陽極4の後端には、後方(上方)に向かって縮径する傾斜部4aが設けられている。この縮径部4aは、典型的にはテーパー部で形成される。
そして、前記対流誘導部材10の貫通孔11は、管軸Yからみて、前記傾斜部4aを延長した仮想線Lよりも外方側(上方側)に位置するように設けられることが好適である。
また、貫通孔11の形状は図2(B)に示された円形状のみならず、図3に示すように、円周方向に延びる複数のスリット状の長穴形状であってもよい。
The details of the
On the other hand, the rear end of the
The through
Further, the shape of the
図4に基づき、本発明における発光管2内でのガスの対流を説明すると以下のようである。
発光管2内で、陰極3と陽極4間でのアークにより温められたガスXは、陽極4に沿うように発光管2内を上昇し、対流誘導部材10に至る。ここで、その一部X1は流れを反転して発光管2の内壁面に沿うように下方に流れる。
また、対流誘導部材10には貫通孔11が形成されていることから、対流ガスXの一部X2がこの貫通孔11を通って発光管2内の上端部にまで流れる。
このとき、貫通孔11の位置が、管軸Yからみて、陽極4後端の傾斜部4aを延長した仮想線Lよりも外方側(上方側)にあることで、上昇する対流ガスXの一部X2がより円滑に貫通孔11に流れやすくする。
Based on FIG. 4, the convection of gas in the
The gas X warmed by the arc between the
Further, since the
At this time, the position of the
このようにして、対流誘導部材10を通過したガスX2により発光管2の上部領域全体が加熱されて最冷点を形成することがなく、水銀の未蒸発が抑制される。また、対流誘導部材10から下方に折り返されるガスX1により、発光管2内の対流ガスに乱れが生じることが少なくなり、アークの揺らぎが低減し、安定的に点灯維持される。
そして、この間に、対流ガスX中の黒化物は、陽極芯線6や対流誘導部材10に衝突して付着し、更には、貫通孔11の内表面にも付着して、対流ガス中から除去される。
In this way, the entire upper region of the
During this period, the blackened material in the convection gas X collides with the
本発明のショートアーク型放電ランプの一仕様例を以下に示す。
<実施例>
・入力:定格入力12kW、定格電流100A
・点灯姿勢:陽極上方の垂直点灯
・陰極:
陰極材料:トリエーテッドタングステン
陰極寸法:φ25mm、全長30mm
陰極芯線:φ8mm
・陽極:
陽極材料:タングステン
陽極寸法:φ35mm、全長50mm
先端部直径:8mm
先端部テーパー角:120°
後端部テーパー角:90°
後端部の直径:25mm
陽極芯線:φ8mm
陽極胴部には、レーザ溝
・極間:11mm
・対流誘導部材:
材料:タングステン
形状:円板に6個の貫通孔
円板の寸法:φ32mm、厚さ2mm
貫通孔の配置:φ20mmの円周上に同一ピッチ(60°)で6個
固定位置:陽極後端部の後方(上方)20mm
固定方法:タングステン製コイルで上下から挟持
A specification example of the short arc type discharge lamp of the present invention is shown below.
<Example>
・ Input: Rated input 12kW, rated current 100A
・ Lighting posture: Vertical lighting above the anode ・ Cathode:
Cathode material: Triated tungsten Cathode dimensions: φ25 mm, total length 30 mm
Cathode core wire: φ8 mm
·anode:
Anode material: Tungsten Anode dimensions: φ35 mm, total length 50 mm
Tip diameter: 8 mm
Tip taper angle: 120 °
Rear end taper angle: 90 °
Rear end diameter: 25 mm
Anode core wire: φ8 mm
Laser groove on the anode body ・ Between poles: 11 mm
・ Convection induction member:
Material: Tungsten Shape: 6 through holes in the disk Dimensions of the disk: φ32 mm,
Arrangement of through holes: 6 at the same pitch (60 °) on the circumference of φ20 mm Fixed position: 20 mm behind (upper) the rear end of the anode
Fixing method: Hold from above and below with a tungsten coil
<比較例>
図6に示す構造で、円板状部材には、貫通孔がない。それ以外の仕様は実施例と同様。
<Comparison example>
In the structure shown in FIG. 6, the disk-shaped member has no through hole. Other specifications are the same as in the examples.
実施例と比較例のランプについて照度維持率を測定した。その結果が図5に示されている。
比較例においては、点灯時間1000時間で初期照度の76%程度まで低下しているのに対して、本発明の実施例では初期照度の93%に維持されていることが分かる。
The illuminance maintenance rate was measured for the lamps of Examples and Comparative Examples. The result is shown in FIG.
In the comparative example, it can be seen that the lighting time is reduced to about 76% of the initial illuminance after 1000 hours, whereas in the embodiment of the present invention, it is maintained at 93% of the initial illuminance.
本発明のショートアーク型放電ランプにおいて、上記のように照度維持率が改善された理由は以下のように推測される。
実施例のショートアーク型放電ランプにおいて、発光管の上部領域で水銀未蒸発が生じないため、この領域では水銀は蒸発と凝縮を繰り返すことがない。この水銀の蒸発/凝縮サイクルはアークを不安定にさせ、電極の蒸発や損耗を促進してしまうものであるが、実施例のショートアーク型放電ランプではこのような現象が生じることがない。その結果、実施例のショートアーク型放電ランプの方が、比較例よりも照度維持率が良好に推移したものである。
In the short arc type discharge lamp of the present invention, the reason why the illuminance maintenance rate is improved as described above is presumed as follows.
In the short arc type discharge lamp of the embodiment, since mercury non-evaporation does not occur in the upper region of the arc tube, mercury does not repeatedly evaporate and condense in this region. This mercury evaporation / condensation cycle destabilizes the arc and promotes evaporation and wear of the electrodes, but such a phenomenon does not occur in the short arc type discharge lamp of the embodiment. As a result, the short arc type discharge lamp of the example had a better illuminance maintenance rate than the comparative example.
なお、以上の説明においては、陽極が上方位置にある垂直点灯方式の場合を説明したが、陰極が上方位置にある垂直点灯方式であってもよく、その場合は、対流誘導部材は、上方位置にある陰極の上方に取り付けられる。
また、垂直点灯としたが、その点灯姿勢は、厳密に水平に対して90°であることだけに限られず、略90°(垂直)での点灯方式であればよい。
In the above description, the case of the vertical lighting method in which the anode is in the upper position has been described, but the vertical lighting method in which the cathode is in the upper position may be used. In that case, the convection guiding member is in the upper position. It is mounted above the cathode at.
Further, although vertical lighting is used, the lighting posture is not limited to strictly 90 ° with respect to the horizontal, and a lighting method of approximately 90 ° (vertical) may be used.
以上のように、本発明によれば、垂直点灯されるショートアーク型放電ランプにおいて、発光管内の上方位置にある電極の上方に、軸方向の貫通孔を有する対流誘導部材を設けたことにより、発光管内の対流ガスの一部をこの貫通孔を経て上方に導くので、発光管内の上端部の温度が高温状態に保たれて、最冷点を形成することがなく、この領域での水銀の未蒸発が抑制できる。
また、対流誘導部材から下方に折り返されるガスの流れが生じることにより、発光管内の対流ガスに乱れが生じることが少なくなり、アークの揺らぎが低減し、安定的に点灯維持される。
また、対流ガス中に含まれる黒化物は、上方電極の芯線や対流誘導部材に衝突して付着し、また、貫通孔を通過する間にその内表面に付着することで対流ガス中から除去される。
そして、上方電極の後端部に傾斜部を形成し、対流誘導部材の貫通孔の位置を、該傾斜部の延長線よりも外方側に配置することで、上方電極に沿って上昇する対流ガスが円滑に対流誘導部材の貫通孔に導かれる。
As described above, according to the present invention, in the vertically lit short arc type discharge lamp, a convection guiding member having an axial through hole is provided above the electrode located at an upper position in the arc tube. Since a part of the convection gas in the arc tube is guided upward through this through hole, the temperature of the upper end portion in the arc tube is kept at a high temperature state and the coldest point is not formed, and mercury in this region is not formed. Unevaporation can be suppressed.
Further, due to the flow of gas that is folded downward from the convection induction member, the convection gas in the arc tube is less likely to be disturbed, the fluctuation of the arc is reduced, and the lighting is stably maintained.
Further, the blackened matter contained in the convection gas collides with the core wire of the upper electrode and the convection guiding member and adheres to the convection gas, and is removed from the convection gas by adhering to the inner surface thereof while passing through the through hole. NS.
Then, by forming an inclined portion at the rear end portion of the upper electrode and arranging the position of the through hole of the convection guiding member on the outer side of the extension line of the inclined portion, the convection rising along the upper electrode The gas is smoothly guided to the through hole of the convection guiding member.
1 :ショートアーク型放電ランプ
2 :発光管
3 :陰極
4 :陽極
4a :傾斜部
5 :陰極芯線
6 :陽極芯線
7、8:封止部
9 :取付け部材
10 :対流誘導部材
11 :貫通孔
X :対流ガス
X1 :対流ガスの一部
X2 :対流ガスの上昇一部
Y :管軸中心(電極軸中心)
L :傾斜部の延長線
1: Short arc type discharge lamp 2: Light arc tube 3: Cathode 4:
L: Extension line of the inclined part
Claims (5)
上方位置にある電極の後端部よりも上方に対流誘導部材が設けられ、
該対流誘導部材には、管軸方向の貫通孔が形成されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。 In a short arc type discharge lamp in which a pair of cathodes and an anode are arranged to face each other inside the arc tube and are vertically lit.
A convection guiding member is provided above the rear end of the electrode located above.
A short arc type discharge lamp characterized in that a through hole in the pipe axis direction is formed in the convection induction member.
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