JP6946554B2 - 圧縮機及び圧縮機の製造方法 - Google Patents

Description

この発明は、圧縮機及び圧縮機の製造方法に関する。

遠心圧縮機は、回転するインペラに気体を通り抜けさせ、その際に発生する遠心力を利用してそれら気体を圧縮する。遠心圧縮機としては、インペラを複数備え、気体を段階的に圧縮する多段式の遠心圧縮機が知られている。

このような遠心圧縮機では、水平方向に広がる分割面で上下に分割可能なケーシングを備える構造がある。具体的には、床面上に設置された下半ケーシングに上半ケーシングが載せられてボルト等で締結されることでケーシングが構成されている。遠心圧縮機では、このケーシングを貫通するようにロータが配置されている。ロータは、ケーシングに対して回転自在とされている。

例えば、特許文献１には、半円環状をなす上半ダイヤフラムと下半ダイヤフラムとが組み合わされて円環状に形成されたダイヤフラムを備える多段遠心圧縮機が記載されている。この多段遠心圧縮機では、組み合わされたダイヤフラムは、上下に分割可能なケーシングの内部で、軸方向に複数隣接した状態で固定されている。また、ダイヤフラムの外周面には、上下に分割可能なリング部材が設けられている。このリング部材によって、ケーシングに対するダイヤフラムの軸方向の位置が規制されている。

また、特許文献２にも、上下に分割可能なケーシングを有する圧縮機が記載されている。特許文献２に記載の圧縮機では、上下に分割可能なケーシング内に、ダイヤフラムやロータが一体に形成された内部ユニットが配置されている。内部ユニットには、ロータの軸方向の両側に複数のダイヤフラムを挟むように配置され、ケーシングの両端の開口を封止する一対のヘッドが設けられている。また、ケーシングには複数の嵌合凹部が形成されている。この嵌合凹部に、ダイヤフラムやヘッドに形成された複数の嵌合凸部が嵌め込まれることで、ケーシングに対するダイヤフラムの軸方向の位置が規制されている。

このように、上述したような圧縮機では、ケーシングの内周面と複数のダイヤフラムの外周面との間に、ケーシングに対するダイヤフラムの軸方向に位置を規制する構造が設けられている。

米国特許第７５１３７３５号明細書 特開２０１３−７２３５６号公報

ところで、ケーシングが上下に分割される構造を有しつつ、内部のダイヤフラムが一体に形成されている場合、ケーシングの内周面と、ダイヤフラムの外周面との間に隙間が形成される。特許文献１や特許文献２のように、ダイヤフラムの位置を規制する構造がこの隙間に設けられているだけでは、隙間を介して吸込口と吐出口とが連通されてしまう。その結果、吐出口と吸込口との圧力差によって、吐出口から吸込口に向かうように隙間に流体が流れこんでしまい、流体が漏れてしまう可能性がある。これに対し、ケーシングの内周面と、ダイヤフラムの外周面との間での漏れを低減させることが望まれている。

本発明は、ケーシングの内周面と、ダイヤフラムの外周面との間での漏れを低減させることが可能な圧縮機及び圧縮機の製造方法を提供する。

本発明の第一態様の圧縮機は、前記上半ケーシング分割面に当接可能な下半ケーシング分割面を有する下半ケーシング、を有し、両端が開口した筒状をなすケーシングと、軸線を中心として回転可能とされたインペラ、前記インペラが内部に収容されて流体を前記インペラの流路に導入する流路が形成された複数のダイヤフラム、及び、前記複数のダイヤフラムに対して前記軸線の延びる軸方向の両側にそれぞれ固定されて前記ケーシングの開口を閉塞する環状のヘッド、を有し、前記ケーシング内に収容されたバンドルと、流体が流入する吸込口と流体が排出される吐出口とを連通するように前記ダイヤフラムの外周面と前記ケーシングの内周面との間で前記軸方向に延びている連通隙間をシールする連通隙間シール部と、前記ケーシング及び前記ヘッドの少なくとも一方に設けられ、前記ケーシングに対する前記ヘッドの前記軸方向の位置を規制する規制部と、を備え、前記連通隙間シール部は、Ｏリングであり、前記ダイヤフラムの外周面には、前記連通隙間シール部が取り付けられる隙間シール取付溝が形成され、前記隙間シール取付溝は、前記ダイヤフラムにおける鉛直方向の上方の頂点及び鉛直方向の下方の頂点の少なくとも一方から周方向に向かうにしたがって深くなるように傾斜している。

このような構成によれば、ダイヤフラムの外周面とケーシングの内周面との間に連通隙間が形成されていることで、上下分割構造を有するケーシングとバンドルとを組み付ける際の干渉等を防ぎ、組み立て性を向上させることができる。さらに、連通隙間がシールされていることで、吐出口まで供給されてきた高圧の流体が連通隙間を通過して吸込口から漏れ出してしまうことを防ぐことができる。
また、ダイヤフラムの水平方向の両端は、ケーシングの分割面に近接している。そのため、水平方向の両端で連通隙間シール部の突出量が大きくなると、下半ケーシングに上半ケーシングを取り付けた際に、連通隙間シール部が分割面に挟まれたり、ケーシングのエッジに擦れたりすることで損傷する可能性がある。ところが、隙間シール取付溝が周方向に向かうにしたがって深くなるように形成されている。そのため、隙間シール取付溝に嵌め込まれる連隙隙間シール部は、鉛直方向の上方の頂点や鉛直方向の下方の頂点から周方向に向かうにしたがって、ダイヤフラムの外周面からの突出量が少なくなる。これにより、下半ケーシングに上半ケーシングと取り付けた際の連通隙間シール部の損傷を低減することができる。

本発明の第二態様の圧縮機では、第一態様において、前記規制部は、前記ヘッドの外周面及び前記ケーシングの内周面の一方に形成される嵌合凹部と、前記ヘッドの外周面及び前記ケーシングの内周面の他方に形成されて前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部とを有していてもよい。

このような構成によれば、簡易な構造で、ケーシングに対するヘッドの軸方向の位置を規制することができる。また、規制部が、別部材ではなく、ケーシング及びヘッドの一部として直接形成されている。そのため、組み付ける部品点数が少なくなり、ケーシングとバンドルとを組み付ける際の調整が容易になる。

本発明の第三態様の圧縮機では、第一態様において、前記規制部は、前記ケーシングにおいて、前記ヘッドに対して前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側に設けられ、前記ヘッドの前記軸方向の外側を向く面と接触していてもよい。

このような構成によれば、圧縮機の外部に位置する部分で、ケーシングに対するヘッドの軸方向の位置を規制することができる。そのため、外部から目視可能位置でケーシングに対するバンドルの位置を規制されていることを確認することができる。

本発明の第四態様の圧縮機では、第三態様において、前記ケーシングは、前記バンドルの外周面を覆うケーシング本体と、前記規制部であって、前記ケーシング本体から径方向の内側に向かって突出し、前記ヘッドの前記軸方向の外側を向く端面と接触している突出部とを有していてもよい。

このような構成によれば、突出部は圧縮機の外部に位置しているためにスペースの制限を受けづらい。そのため、圧縮する流体の種類によって、バンドルに生じるスラスト力が大きい場合であっても、バンドルに生じる力に合わせて突出部を大きくすることができる。これにより、ケーシングに対するバンドルの位置を安定して保持することができる。

本発明の第五態様の圧縮機では、第三態様又は第四態様において、前記規制部は、前記ヘッドに対して少なくとも一部が前記軸方向の外側に位置するように、前記ケーシングの内周面から窪む規制収容凹部と、前記規制収容凹部に収容されて、前記ヘッドにおける前記軸方向の外側を向く面と接触する第一規制部材と、前記第一規制部材よりも前記軸方向の外側で前記規制収容凹部に収容されて、前記規制収容凹部において前記ダイヤフラムが配置されている側である前記軸方向の内側を向く面、及び前記第一リング部材における前記軸方向の外側を向く面と接触している第二規制部材とを有していてもよい。

このような構成によれば、第一規制部材及び第二規制部材は、バンドルとケーシングとを組み付けた後に外部から取り付けることができる。そのため、下半ケーシングにバンドルを設置する場合や、バンドル上に上半ケーシングを設置する場合に、バンドルと下半ケーシング及び上半ケーシングとの軸方向の位置を細かく調整する必要がなくなる。これにより、組み立て性をより一層向上させることができる。

本発明の第六態様の圧縮機では、第一態様から第五態様のいずれか一つにおいて、前記隙間シール取付溝は、前記ダイヤフラムにおける鉛直方向の上方の頂点及び鉛直方向の下方の頂点に対して前記ダイヤフラムにおける周方向に９０度異なる水平方向の両端の位置で最も深くなるように形成されていてもよい。

このような構成によれば、水平方向の両端で最も連通隙間シール部の突出量が少なくなる。したがって、下半ケーシングに上半ケーシングと取り付けた際の連通隙間シール部の損傷をより効果的に低減することができる。

本発明の第七態様の圧縮機では、第一態様から第六態様のいずれか一つにおいて、前記吐出口に近い位置に配置された前記ヘッドである吐出側ヘッドと、前記ダイヤフラムとを固定する締結部を備え、前記締結部は、前記吐出側ヘッド及び前記ダイヤフラムの一方における前記軸方向を向く面に形成されて内部に雌ネジを有する被固定孔と、前記吐出側ヘッド及び前記ダイヤフラムの他方において、前記軸方向から見た際に、前記被固定孔と重なる位置に形成される締結貫通孔と、外周面に雄ネジを有し、前記締結貫通孔に挿通された状態で前記被固定孔に固定される軸部、及び、前記軸部の端部に形成された頭部を有するボルト部材と、前記ボルト部材の頭部と、前記締結貫通孔が形成された面との間に配置された弾性部材とを有していてもよい。

このような構成によれば、圧縮機の運転中に、圧縮されて高温高圧となった流体が吐出口付近を流通することでダイヤフラムや吐出側ヘッドが加熱され、軸方向の熱延びが生じる場合がある。その場合、ボルト部材には、軸方向の引っ張られるような力が働く。ところが、ダイヤフラムや吐出側ヘッドに軸方向の変形が生じた場合に、頭部と、締結貫通孔が形成された面との間に挟み込まれた弾性部材が圧縮されることで、ボルト部材に働く力が吸収される。これにより、ボルト部材に破断等の損傷が生じることを防ぐことができる。

本発明の第八態様の圧縮機では、第一態様から第七態様のいずれか一つにおいて、前記ヘッドと前記ケーシングとの間をシールするヘッドシール部を備え、前記ヘッドシール部は、前記ヘッド又は前記ケーシングの外部から前記軸方向に移動可能とされ、前記ヘッドの外周面と前記ケーシングの内周面との間に挿入される環状のリング挿入部と、前記リング挿入部の内周面と前記ヘッドの外周面との間をシールする内側リングシール部と、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面との間をシールする外側リングシール部と、有していてもよい。

このような構成によれば、バンドルとケーシングとが組み付けられた後に、リング挿入部を外部から移動させることで、ヘッドとケーシングとの間をシールすることができる。したがって、バンドルとケーシングとが組み付けられる前では、内側シールリングや外側シールリングをケーシングから離した状態で組み立てることができる。したがって、内側シールリングや外側シールリングが分割面に挟まれたり、ケーシングのエッジに擦られたりすることで生じる損傷を低減することができる。これにより、ヘッドとケーシングとの間のシール性を安定して確保することができる。

本発明の第九態様の圧縮機では、第八態様において、前記リング挿入部は、前記ヘッド又は前記ケーシングに対して前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側から着脱可能とされていてもよい。

このような構成によれば、バンドル上に上ケーシングが設置された後に、リング挿入部を挿入することで、ヘッドとケーシングとの間をシールすることができる。したがって、バンドルとケーシングを組み立てる際の内側シールリングや外側シールリングの損傷を防止することができる。これにより、ヘッドとケーシングとの間のシール性をより安定して確保することができる。

本発明の第十態様の圧縮機では、第八態様または第九態様において、前記外側リングシール部に対して前記軸方向にずれた位置で、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面との間の隙間を広げる挿入隙間拡径部が形成されていてもよい。

このような構成によれば、リング挿入溝の外周面とケーシングの内周面との間の隙間が大きくなる。その結果、リング挿入溝にリング挿入部を挿入させる際に、内側リングシール部や外側リングシール部がケーシングの内周面にこすれて生じる損傷を低減できる。

本発明の第十一態様の圧縮機では、第一態様から第十態様のいずれか一つにおいて、前記ケーシングに対して、前記吐出口に近い位置に配置された前記ヘッドである吐出側ヘッドを前記軸方向に相対移動可能、かつ、前記軸方向の任意の位置で前記吐出側ヘッドの位置を保持可能な移動保持部、を備え、前記移動保持部は、前記吐出側ヘッドを前記ダイヤフラムから最も離れた位置であって、前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側に向かって前記吐出側ヘッドが移動不能な位置で前記吐出側ヘッドの位置を保持していてもよい。

このような構成によれば、バンドルとケーシングとが組み付けられた後に、移動保持部を介して吐出側ヘッドを移動させることができる。そのため、圧縮機の外部から、ケーシングに対する吐出側ヘッドの軸方向の位置を定めることができる。これにより、ケーシングとバンドルとを組み付ける際に、バンドルとケーシングとの軸方向の位置を細かく調整する必要がなくなる。これにより、組み立て性をより一層向上させることができる。

本発明の第十二態様の圧縮機では、第十一態様において、前記移動保持部は、前記軸方向に連通する被固定部材連通孔が形成され、前記吐出側ヘッドに固定された被固定部材と、外周面に雄ねじが設けられ、前記被固定部材連通孔に挿通された状態で一端が前記ケーシングに固定された軸部材と、内部に雌ねじが設けられて前記軸部材を内部に挿通させた状態で前記軸部材に対して相対移動可能とされ、前記被固定部材に対して前記軸方向のケーシング側に配置されている第一ナットと、内部に雌ねじが設けられて前記軸部材を内部に挿通させた状態で前記軸部材に対して相対移動可能とされ、前記被固定部材に対して前記第一ナットと反対側に配置されている第二ナットと、を有していてもよい。

このような構成によれば、第一ナット及び第二ナットを軸方向に向かって移動させるように軸部材に対して回転させるだけで、吐出側ヘッドを移動させることができる。そのため。複雑な装置を用いることなく、簡易な構造で吐出側ヘッドを移動させることができる。

本発明の第十三態様の圧縮機では、第一態様から第十二態様のいずれか一つにおいて、前記ヘッドにおける前記鉛直方向の下端にワイヤを挿通可能なワイヤ挿通部が形成されていてもよい。

このような構成によれば、バンドルの重量が大きくなってしまっても、バンドルを安定した状態で移動させることができる。

本発明の第十四態様の圧縮機の製造方法は、鉛直方向の下方を向く水平面である上半ケーシング分割面を有する上半ケーシング、及び、前記上半ケーシング分割面に当接可能な下半ケーシング分割面を有する下半ケーシング、を有し、両端が開口した筒状をなすケーシングを準備するケーシング準備工程と、軸線を中心として回転可能とされたインペラ、前記インペラが内部に収容されて流体を前記インペラの流路に導入する流路が形成された複数のダイヤフラム、前記複数のダイヤフラムに対して前記軸線の延びる軸方向の両側にそれぞれ固定されて前記ケーシングの開口を閉塞する環状のヘッド、及び、前記ダイヤフラムの外周面に設けられた連通隙間シール部、を有するバンドルを準備するバンドル準備工程と、前記下半ケーシングに対して前記鉛直方向の上方から前記バンドルを降下させ、前記ダイヤフラムの外周面と前記下半ケーシングの内周面との間に、流体が流入する吸込口と流体が排出される吐出口とを連通するように前記軸方向に延びる隙間が形成されるように、前記下半ケーシングの内周側に前記バンドルを収容するバンドル配置工程と、前記バンドルに対して前記鉛直方向の上方から前記上半ケーシングを降下させ、前記ダイヤフラムの外周面と前記上半ケーシングの内周面との間に、前記吸込口と前記吐出口とを連通するように前記軸方向に延びる隙間が形成されるように、前記バンドルが収容された前記下半ケーシング上に前記上半ケーシングを配置し、前記下半ケーシング分割面に対して前記上半ケーシング分割面を当接させる上半ケーシング配置工程と、含み、前記バンドル配置工程では、前記下半ケーシングに対して前記ヘッドの前記軸方向の位置が規制された状態で、前記連通隙間シール部が前記下半ケーシングの内周面と接触するように前記バンドルが配置され、前記上半ケーシング配置工程では、前記上半ケーシングに対して前記ヘッドの前記軸方向の位置が規制された状態で、前記連通隙間シール部が前記上半ケーシングの内周面と接触するように前記上半ケーシングが配置され、前記連通隙間シール部は、Ｏリングであり、前記ダイヤフラムの外周面には、前記連通隙間シール部が取り付けられる隙間シール取付溝が形成され、前記隙間シール取付溝は、前記ダイヤフラムにおける前記鉛直方向の上方の頂点及び前記鉛直方向の下方の頂点の少なくとも一方から周方向に向かうにしたがって深くなるように傾斜している。

本発明の第十五態様の圧縮機の製造方法では、第十四態様において、前記ヘッドの外周面と前記ケーシングの内周面との間に挿入可能な環状のリング挿入部と、前記リング挿入部の内周面と前記ヘッドの外周面との間をシール可能な内側リングシール部と、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面との間をシール可能な外側リングシール部と、有し、前記ヘッドと前記ケーシングとの間をシールするヘッドシール部を準備するヘッドシール部準備工程と、前記上半ケーシング配置工程後に実施され、前記ヘッド又は前記ケーシングの外部から前記リング挿入部を前記軸方向に移動させることで、前記リング挿入部の内周面と前記ヘッドの外周面とに前記内側リングシール部を接触させるとともに、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面とに前記外側リングシール部を接触させるヘッドシール部移動工程と、をさらに含んでいてもよい。

本発明の第十六態様の圧縮機の製造方法では、第十五態様において、前記ヘッドシール部移動工程では、前記ヘッド又は前記ケーシングに対して前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側から、前記ヘッドの外周面と前記ケーシングの内周面との間に前記リング挿入部が挿入されてもよい。

本発明の第十七態様の圧縮機の製造方法では、第十四態様から第十六態様のいずれか一つにおいて、前記ケーシングに対して、前記吐出口に近い位置に配置された前記ヘッドである吐出側ヘッドを前記軸方向に相対移動可能、かつ、前記軸方向の任意の位置で前記吐出側ヘッドの位置を保持可能な移動保持部を準備する移動保持部準備工程と、前記バンドル配置工程後、かつ、前記上半ケーシング配置工程前に実施され、前記吐出側ヘッドと前記ダイヤフラムとの固定を解除する固定解除工程と、前記上半ケーシング配置工程後に実施され、前記吐出側ヘッドを前記ダイヤフラムから最も離れた位置であって、前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側に向かって前記吐出側ヘッドが移動不能な位置まで、前記移動保持部によって移動させた後に前記吐出側ヘッドの位置を保持する吐出側ヘッド移動工程とをさらに含んでいてもよい。

本発明の第十八態様の圧縮機の製造方法では、第十七態様において、前記バンドル準備工程では、前記下半ケーシングに対して前記バンドルが配置された状態で外部と連通する位置のみで前記吐出側ヘッドと前記ダイヤフラムとを固定してもよい。

本発明によれば、ケーシングの内周面と、ダイヤフラムの外周面との間での漏れを低減させることができる。

本発明の第一実施形態に係る圧縮機の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の第一実施形態に係る圧縮機を軸方向の一方側から見た際の様子を模式的に示す模式図である。 本発明の実施形態に係る隣接するダイヤフラムの溶接部を示す要部拡大図である。 本発明の第一実施形態に係る規制部及びヘッドシール部を示す要部拡大図である。 本発明の実施形態に係る隙間シール取付溝及び連通隙間シール部を示す断面図である。 本発明の実施形態に係る締結部を示す要部拡大図である。 本発明の第一実施形態に係る圧縮機の製造方法を説明するフロー図である。 本発明の第一実施形態に係る圧縮機の製造方法におけるバンドル配置工程を示す模式図である。 バンドルを移動させる際のアイボルトの取り付け位置を示す断面図である。 本発明の第一実施形態に係る圧縮機の製造方法における上半ケーシング配置工程を示す模式図である。 本発明の第二実施形態に係る圧縮機の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の第二実施形態に係る規制部を示す要部拡大図である。 本発明の第三実施形態に係る圧縮機の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の第三実施形態に係る規制部を示す要部拡大図である。 本発明の第四実施形態に係る圧縮機の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の第四実施形態に係るヘッドシール部を示す要部拡大図である。 本発明の第四実施形態に係る圧縮機の製造方法を説明するフロー図である。 本発明の第五実施形態に係るヘッドシール部及び移動保持部を示す要部拡大図である。 本発明の第五実施形態に係る圧縮機の製造方法を説明するフロー図である。 本発明の第五実施形態に係るバンドル配置工程を説明する要部拡大図である。 本発明の第五実施形態に係る移動前の吐出側ヘッドを説明する要部拡大図である。 本発明の第六実施形態に係るリング挿入部が移動前のヘッドシール部の様子を示す要部拡大図である。 本発明の第六実施形態に係るリング挿入部が移動後のヘッドシール部の様子を示す要部拡大図である。 本発明の第六実施形態に係る圧縮機の製造方法を説明するフロー図である。 本発明の第一変形例に係る圧縮機の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の第一変形例に係る圧縮機の製造方法を説明するフロー図である。 本発明の第二変形例に係るバンドルを移動させる際のワイヤの取付位置を示す断面図である。

《第一実施形態》
以下、図面を参照して、本発明の圧縮機の実施形態を説明する。
図１に示すように、本実施形態の圧縮機１は、複数のインペラ１１２を備える一軸多段式の遠心圧縮機（多段遠心圧縮機）である。本実施形態の圧縮機１は、図１及び図２に示すように、ケーシング２と、バンドル１０と、規制部１８と、を備えている。

なお、以下では、後述するロータ１１の軸線Ｏが延びている方向を軸方向Ｄａとする。軸線Ｏを基準にした径方向を単に径方向Ｄｒとする。この軸線Ｏに対して垂直な径方向Ｄｒのうち、図１及び図２の紙面上下方向を鉛直方向Ｄｖとする。また、軸線Ｏに対して垂直な径方向Ｄｒ及び軸方向Ｄａであって、図１及び図２の左右方向を水平方向Ｄｈとする。また、軸線Ｏを中心とするロータ１１周りの方向を周方向Ｄｃとする。

ケーシング２は、バンドル１０を外周側から覆うように配置されている。ケーシング２は、後述するロータ１１の軸線Ｏと同一に配置される中心軸を中心として、両端が開口された筒状をなしている。筒状のケーシング２は、鉛直方向Ｄｖの上方の上半ケーシング２１と、鉛直方向Ｄｖの下方の下半ケーシング２２（図２参照）とを有している。

上半ケーシング２１は、軸線Ｏと直交する断面が、軸線Ｏを中心とする半円環状をなして軸方向Ｄａに延びている。上半ケーシング２１は、バンドル１０が嵌まり込むように、鉛直方向Ｄｖの下方に向いて開口している。これにより、上半ケーシング２１は、内部に収容されたバンドル１０の外周面を上方から覆っている。本実施形態の上半ケーシング２１は、図２に示すように、周方向Ｄｃの両端に水平方向Ｄｈに延びるフランジが形成されている。上半ケーシング２１は、上半ケーシング分割面２１１を周方向Ｄｃの両端に有する。上半ケーシング分割面２１１は、ケーシング２が鉛直方向Ｄｖの上下に分割される際の一方の分割面である。上半ケーシング分割面２１１は、径方向Ｄｒ及び軸方向Ｄａに広がる平面である。つまり、上半ケーシング分割面２１１は、鉛直方向Ｄｖの下方を向く水平面である。

下半ケーシング２２は、軸線Ｏと直交する断面が、軸線Ｏを中心とする半円環状をなして軸方向Ｄａに延びている。下半ケーシング２２は、バンドル１０が嵌まり込むように、鉛直方向Ｄｖの上方に向いて開口している。これにより、下半ケーシング２２は、内部に収容されたバンドル１０の外周面を下方から覆っている。本実施形態の下半ケーシング２２は、周方向Ｄｃの両端に水平方向Ｄｈ延びるフランジが形成されている。下半ケーシング２２は、下半ケーシング分割面２２１を周方向Ｄｃの両端に有する。下半ケーシング分割面２２１は、ケーシング２が鉛直方向Ｄｖの上下に分割される際の他方の分割面である。下半ケーシング分割面２２１は、径方向Ｄｒ及び軸方向Ｄａに広がる平面である。つまり、下半ケーシング分割面２２１は、鉛直方向Ｄｖの上方を向く水平面である。また、図１にしめすように、下半ケーシング２２は、ケーシング２の内部へ圧縮すべきプロセスガス（流体）を供給する吸込ポート２３と、ケーシング２の内部から圧縮されたプロセスガスを排出する吐出ポート２４と、を有している。

バンドル１０は、ケーシング２内に収容されている。本実施形態のバンドル１０は、ロータ１１と、軸受部１２と、複数のダイヤフラム１３と、複数のヘッド１４と、ヘッドシール部１５と、連通隙間シール部１６と、締結部１７とを有している。バンドル１０では、ロータ１１、軸受部１２、複数のダイヤフラム１３、複数のヘッド１４、ヘッドシール部１５、連通隙間シール部１６、及び締結部１７は一体をなして移動可能な状態とされている。

ロータ１１は、軸線Ｏを中心として回転可能とされている。ロータ１１は、軸線Ｏを中心として軸方向Ｄａに延びているロータ軸１１１と、ロータ軸１１１とともに回転する複数のインペラ１１２と、を有している。

インペラ１１２は、ロータ軸１１１の外周面に固定されている。インペラ１１２は、ロータ軸１１１とともに回転することによって遠心力を利用してプロセスガスを圧縮する。インペラ１１２は、ロータ軸１１１に対して軸方向Ｄａに複数段設けられている。インペラ１１２は、ディスクと、ブレードとを備えた、いわゆるオープン型のインペラである。

軸受部１２は、軸線Ｏを中心としてロータ軸１１１を回転可能に支持している。軸受部１２は、後述するヘッド１４に固定されている。軸受部１２は、ロータ軸１１１の両端にそれぞれ設けられた一対のジャーナル軸受１２１と、ロータ軸１１１の一端に設けられたスラスト軸受１２２と、を有している。

一対のジャーナル軸受１２１は、ロータ軸１１１に作用する径方向Ｄｒへの荷重を受ける役割を果たすものである。これらジャーナル軸受１２１は、ボルト等の着脱可能な固定手段（不図示）を用いて一対のヘッド１４にそれぞれ固定されている。

スラスト軸受１２２は、ロータ軸１１１に作用する軸方向Ｄａへの荷重を受ける役割を果たすものである。このスラスト軸受１２２は、箱状の軸受カバー１２３の内部に取り付けられている。この軸受カバー１２３が、ボルト等の着脱可能な固定手段を用いて一方のヘッド１４に固定されている。

ダイヤフラム１３は、ロータ１１を外周側から覆うように配置されている。ダイヤフラム１３は、軸線Ｏを中心として環状をなしている。環状のダイヤフラム１３は、ロータ１１の軸線Ｏを基準に鉛直方向Ｄｖの上方で半円環状をなす上半ダイヤフラム１３１と、下方で半円環状をなす下半ダイヤフラム１３２とを有している。上半ダイヤフラム１３１と下半ダイヤフラム１３２とはボルト等の着脱可能な固定手段によって固定されている。このダイヤフラム１３は、軸方向Ｄａに積層されるように複数（本実施形態では四つ）並んでいる。複数のダイヤフラム１３は、軸方向Ｄａに延びる筒状をなしている。複数のダイヤフラム１３が相互に固定されることで、インペラ１１２の流路に導入する流路が内部に画成されている。

具体的には、隣接するダイヤフラム１３同士では、外周面が溶接によって互いに固定されている。図３に示すように、隣接するダイヤフラム１３には、外周面に面する角部に溶接部２３１が形成されている。複数のダイヤフラム１３は、溶接部２３１によって相互に固定されることで一体化されている。

また、隣接するダイヤフラム１３には、溶接部２３１を軸方向Ｄａから挟み込むように、溶接部溝２３２が形成されている。溶接部溝２３２は、上半ダイヤフラム１３１及び下半ダイヤフラム１３２の外周面から径方向Ｄｒの内側に向かって窪んでいる。溶接部溝２３２は、ダイヤフラム１３の外周面に対して周方向Ｄｃの全周にわたって形成されている。

ここで、具体的に、ダイヤフラム１３によって形成される流路について、軸方向Ｄａの一方側（第一側）である上流側から順に説明する。本実施形態では、ダイヤフラム１３は、図１に示すように、プロセスガスが流通する上流側から順に、吸込口２３６、複数のケーシング流路２３５、及び吐出口２３７をケーシング２や後述するヘッド１４とともに画成している。

吸込口２３６は、吸込ポート２３を介してケーシング２の外部から流入してきたプロセスガスをダイヤフラム１３の内部のケーシング流路２３５に流入させる。吸込口２３６は、最上流のインペラ１１２にプロセスガスを流入させる。吸込口２３６には、インレットガイドベーンが設けられている。

ケーシング流路２３５は、ダイヤフラム１３内に形成されており、吸込口２３６からのプロセスガスを最上流のインペラ１１２に供給したり、上流のインペラ１１２から排出されたプロセスガスを下流に配置されたインペラ１１２に供給したり、最下流のインペラ１１２から排出されたプロセスガスを吐出口２３７に供給させたりしている。

吐出口２３７は、ダイヤフラム１３の内部を流れてきたプロセスガスを吐出ポート２４を介してケーシング２の外部に吐出させる。吐出口２３７は、最下流のインペラ１１２から排出されたプロセスガスを外部に吐出させる。

一対のヘッド１４は、円環状の部材であって、ケーシング２の両端の開口を閉塞可能な大きさで形成されている。ヘッド１４に対し、ロータ軸１１１の両端部がそれぞれ挿通されている。本実施形態のヘッド１４として、複数のダイヤフラム１３に対して軸方向Ｄａの一方側（第一側）に配置される吸込側ヘッド１４１と、複数のダイヤフラム１３に対して軸方向Ｄａの他方側（第二側）に配置される吐出側ヘッド１４２とを有している。

吸込側ヘッド１４１は、吐出側ヘッド１４２よりも吸込口２３６に近い位置に配置されている。吸込側ヘッド１４１は、最も軸方向Ｄａの一方側に配置されたダイヤフラム１３である入口壁１３５と共に吸込口２３６を形成している。吸込側ヘッド１４１の軸方向Ｄａの一方側を向く面である吸込側ヘッド外装面２４１は、圧縮機１の外部に面している。吸込側ヘッド１４１は、一体化された複数のダイヤフラム１３と、ボルト部材１７０を用いて固定されている。具体的には、入口壁１３５の外周面から窪む溝を介してボルト部材１７０が配置されている。入口壁１３５と吸込側ヘッド１４１とは、上半ダイヤフラム１３１及び下半ダイヤフラム１３２でそれぞれ二か所ずつボルト部材１７０で固定されている。なお、ボルト部材１７０による固定箇所は、それぞれ二か所に限定されるものではなく、三か所以上あってもよい。これにより、吸込側ヘッド１４１は、ダイヤフラム１３と一体化されている。

吐出側ヘッド１４２は、吸込側ヘッド１４１よりも吐出口２３７に近い位置に配置されている。吐出側ヘッド１４２は、最も軸方向Ｄａの他方側に配置されたダイヤフラム１３である最終段ダイヤフラム１３６と共に吐出口２３７を形成している。本実施形態の吐出側ヘッド１４２は、吐出口２３７の一部を形成する出口壁部１４５と、出口壁部１４５に固定された吐出側ヘッド本体１４６とを有している。

吐出側ヘッド本体１４６は、出口壁部１４５の軸方向Ｄａの他方側に隣接している。吐出側ヘッド本体１４６の軸方向Ｄａの他方側を向く面である吐出側ヘッド外装面２４５は、圧縮機１の外部に面している。吸込側ヘッド外装面２４１から吐出側ヘッド外装面２４５までの軸方向Ｄａの距離は、ケーシング２の軸方向Ｄａの長さと同程度とされている。つまり、本実施形態では、ケーシング２の両端は、吸込側ヘッド外装面２４１及び吐出側ヘッド外装面２４５から突出していない。

ヘッドシール部１５は、ヘッド１４の外周面とケーシング２の内周面との間をシールしている。第一実施形態のヘッドシール部１５は、吸込側ヘッド１４１に設けられる第一ヘッドシール部１５１と、吐出側ヘッド１４２に設けられる第二ヘッドシール部１５２とを有している。ここで、第一ヘッドシール部１５１と第二ヘッドシール部１５２とは、同一の構造をなしているため、第一ヘッドシール部１５１を例に挙げて説明する。

第一ヘッドシール部１５１は、環状をなしており、吸込側ヘッド１４１を全周にわたって囲っている。図４に示すように、第一ヘッドシール部１５１は、吸込側ヘッド１４１の外周面に形成されたヘッドシール取付溝２５１に収容されたＯリングである。第一ヘッドシール部１５１は、吸込側ヘッド１４１に対して軸方向Ｄａに並んで二つ設けられている。

ヘッドシール取付溝２５１は、軸方向Ｄａに並んで二つ形成されている。ヘッドシール取付溝２５１は、ヘッド１４の外周面において、軸方向Ｄａの外側（ヘッド１４に対してダイヤフラム１３が配置されている側と反対側）に可能な限り寄った位置に形成されている。

ここで、軸方向Ｄａの外側とは、圧縮機１における外部を向く方向である。したがって、吸込側ヘッド１４１における軸方向Ｄａの外側は軸方向Ｄａの一方側であり、吐出側ヘッド１４２における軸方向Ｄａの外側は軸方向Ｄａの他方側である。同様に、軸方向Ｄａの内側とは、軸方向Ｄａの外側とは反対方向であり、圧縮機１におけるバンドル１０の軸方向Ｄａの中心位置を向く方向である。したがって、吸込側ヘッド１４１における軸方向Ｄａの内側は軸方向Ｄａの他方側であり、吐出側ヘッド１４２における軸方向Ｄａの内側は軸方向Ｄａの一方側である。

つまり、ヘッドシール取付溝２５１は、吸込側ヘッド１４１では、軸方向Ｄａの一方側に寄った位置である吸込側ヘッド外装面２４１に近い位置に形成されている。また、ヘッドシール取付溝２５１は、吐出側ヘッド本体１４６では、軸方向Ｄａの他方側に寄った位置である吐出側ヘッド外装面２４５に近い位置に形成されている。なお、ヘッドシール取付溝２５１は後述する隙間シール取付溝２６１と同一の形状をなしていてもよい。

図１に示すように、連通隙間シール部１６は、ダイヤフラム１３の外周面とケーシング２の内周面との間に形成される連通隙間Ｃをシールする。連通隙間Ｃは、ケーシング２内にバンドル１０が収容された状態で、ダイヤフラム１３の外周面とケーシング２の内周面との間に形成される。連通隙間Ｃは、吸込口２３６と吐出口２３７とを連通するように軸方向Ｄａに延びる環状の空間である。

本実施形態の連通隙間シール部１６は、入口壁１３５の外周面に形成された隙間シール取付溝２６１に収容されたＯリングである。連通隙間シール部１６は、連通隙間Ｃに対して一つのみ設けられている。具体的には、隙間シール取付溝２６１は、入口壁１３５の外周面において吸込口２３６に近い位置（可能な限り軸方向Ｄａの一方側に寄った位置）に形成されている。連通隙間シール部１６は、環状をなしており、組み合わされた上半ダイヤフラム１３１及び下半ダイヤフラム１３２の全周にわたって形成されている。

隙間シール取付溝２６１は、図５に示すように、上半ダイヤフラム１３１における鉛直方向Ｄｖの上方の頂点及び下半ダイヤフラム１３２における鉛直方向Ｄｖの下方の頂点から、周方向Ｄｃに９０度異なる水平方向Ｄｈの両端の位置に向かうにしたがって深くなるように形成されている。隙間シール取付溝２６１は、上半ダイヤフラム１３１における鉛直方向Ｄｖの上方の頂点及び下半ダイヤフラム１３２における鉛直方向Ｄｖの下方の頂点では、連通隙間シール部１６がダイヤフラム１３の外周面よりも径方向Ｄｒの外側に突出するような深さで形成されている。隙間シール取付溝２６１は、水平方向Ｄｈの両端では、連通隙間シール部１６がダイヤフラム１３の外周面より突出しないような深さで形成されている。

図１に示すように、締結部１７は、吐出側ヘッド１４２と、最終段ダイヤフラム１３６とを着脱可能に固定している。締結部１７は、吐出側ヘッド１４２に対して軸線Ｏを中心として周方向Ｄｃに均等に複数設けられている。本実施形態の締結部１７は、図６に示すように、被固定孔１７１と、ボルト取付溝１７２と、締結貫通孔１７３と、ボルト部材１７４と、弾性部材１７５とを有している。

被固定孔１７１は、吐出側ヘッド本体１４６に形成された被固定ネジ孔２７１と、出口壁部１４５に形成された被固定貫通孔２７２とを有している。

被固定ネジ孔２７１は、吐出側ヘッド本体１４６における軸方向Ｄａの一方側を向く平面である吐出側ヘッド本体内側面２４４に形成されている。被固定ネジ孔２７１は、内部に雌ネジを有するネジ孔であって、ボルト部材１７４が固定可能とされている。

被固定貫通孔２７２は、軸方向Ｄａから見た際に、被固定ネジ孔２７１と同じ位置で、出口壁部１４５を軸方向Ｄａに貫通している。被固定貫通孔２７２は、出口壁部１４５において、軸方向Ｄａの一方側を向く出口内側面２４２と、軸方向Ｄａの他方側を向く出口外側面２４３とを貫通している。出口内側面２４２は、吐出側ヘッド１４２が最終段ダイヤフラム１３６に固定された際に、最終段ダイヤフラム１３６と接触する平面である。出口外側面２４３は、出口壁部１４５が吐出側ヘッド本体１４６に固定された際に、吐出側ヘッド本体１４６と接触する平面である。

ボルト取付溝１７２は、最終段ダイヤフラム１３６の外周面が断面矩形状をなして窪んでいる。ボルト取付溝１７２は、ボルト部材１７４の長さよりも軸方向Ｄａの長さが長く形成されている。ボルト取付溝１７２は、最終段ダイヤフラム１３６の外周面に対して、周方向Ｄｃに互いに離間して複数形成されている。

締結貫通孔１７３は、最終段ダイヤフラム１３６に形成されている。締結貫通孔１７３は、軸方向Ｄａから見た際に、被固定ネジ孔２７１及び被固定貫通孔２７２と重なる位置に形成されている。締結貫通孔１７３は、最終段ダイヤフラム１３６において、軸方向Ｄａの一方側を向く溝内側面２７３と、軸方向Ｄａの他方側を向く最終段ダイヤフラム接触面２３４とを貫通している。溝内側面２７３は、ボルト取付溝１７２を形成する平面の一部である。最終段ダイヤフラム接触面２３４は、最終段ダイヤフラム１３６が出口壁部１４５に固定された際に、出口内側面２４２と接触する平面である。

ボルト部材１７４は、外周面に雄ネジを有する軸部２７４と、軸部２７４の端部に形成された頭部２７５とを有する。軸部２７４は、締結貫通孔１７３及び被固定貫通孔２７２に挿通された状態で先端が被固定ネジ孔２７１に固定されている。頭部２７５は、ボルト取付溝１７２内に収容可能な大きさで形成されている。つまり、軸部２７４が被固定ネジ孔２７１に固定された状態で、頭部２７５はボルト取付溝１７２内に配置されている。

弾性部材１７５は、頭部２７５と、溝内側面２７３との間に配置された複数の皿ばね座金である。弾性部材１７５は、複数枚積層されている。弾性部材１７５は、軸部２７４が挿通された状態で、頭部２７５の軸方向Ｄａの他方側を向く面と、溝内側面２７３とによって挟まれている。

図１に示すように、規制部１８は、ケーシング２及びヘッド１４の少なくとも一方に設けられている。規制部１８は、ケーシング２に対するヘッド１４の軸方向Ｄａの位置を規制している。第一実施形態の規制部１８は、ケーシング２及びヘッド１４の両方にわたって設けられている。規制部１８は、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド１４２に対してそれぞれ設けられている。具体的には、図４に示すように、規制部１８は、ケーシング２の内周面に形成される嵌合凹部１８１と、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６の外周面に形成されて嵌合凹部１８１と嵌合する嵌合凸部１８２とを有する。

ここで、図４は、吸込側ヘッド１４１と上半ケーシング２１との間に設けられる規制部１８を説明する要部拡大図である。規制部１８は、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド１４２に対応してそれぞれ設けられているが、以下、図４を用いて吸込側ヘッド１４１周りの規制部１８を例に挙げて説明する。

嵌合凹部１８１は、ケーシング２の内周面から断面矩形状をなして全周にわたって窪んでいる。嵌合凹部１８１は、吸込側ヘッド１４１が配置される位置に対応して軸方向Ｄａに離れて二つ形成されている。嵌合凹部１８１は、上半ケーシング２１及び下半ケーシング２２のそれぞれに形成される。

嵌合凸部１８２は、吸込側ヘッド１４１の外周面から断面矩形状をなして全周にわたって突出している。嵌合凸部１８２は、ヘッドシール取付溝２５１よりも軸方向Ｄａの内側に形成されている。嵌合凸部１８２は、吸込側ヘッド１４１に対して軸方向Ｄａに並んで二つ形成されている。

次に、第一実施形態に係る圧縮機の製造方法Ｓ１について説明する。本実施形態の圧縮機の製造方法Ｓ１は、図７に示すように、準備工程Ｓ１０と、バンドル配置工程Ｓ３０と、上半ケーシング配置工程Ｓ４０と、を含んでいる。

準備工程Ｓ１０では、圧縮機１を製造する上で必要な部品が準備される。第一実施形態の準備工程Ｓ１０では、ケーシング準備工程Ｓ１１と、バンドル準備工程Ｓ１２とが同時に実施される。

準備工程Ｓ１０では、嵌合凹部１８１が形成された上半ケーシング２１及び下半ケーシング２２が製造されて準備される。また、準備工程Ｓ１０では、ロータ１１と、軸受部１２と、上半ダイヤフラム１３１と、下半ダイヤフラム１３２と、吸込側ヘッド１４１と、吐出側ヘッド１４２と、連通隙間シール部１６と、締結部１７とがそれぞれ製造される等により準備される。

準備工程Ｓ１０では、ダイヤフラム１３は、内部にロータ１１が配置された状態で、下半ダイヤフラム１３２上に上半ダイヤフラム１３１をボルト等の固定手段により固定することで環状に形成される。その後、隣接して配置されるダイヤフラム１３同士の外周面が溶接され、溶接部２３１が形成される。これによって、複数のダイヤフラム１３が一体化される。一体化されたダイヤフラム１３の外周面に連通隙間シール部１６が取り付けられる。その後、嵌合凸部１８２が形成された吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド１４２には、ヘッドシール部１５がそれぞれ取り付けられる。また、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド１４２に軸受部１２が固定される。その後、吸込側ヘッド１４１は、ボルト部材１７０によってダイヤフラム１３に固定される。また、吐出側ヘッド１４２は、締結部１７によってダイヤフラム１３に固定される。これらにより、一つの部品として一体化されたバンドル１０が準備される。

バンドル配置工程Ｓ３０では、図８に示すように、下半ケーシング２２に対して鉛直方向Ｄｖの上方からバンドル１０が配置される。バンドル１０の外周面には、事前に、アイボルト５０１が固定される。本実施形態では、アイボルト５０１は、図９に示すように、吸込側ヘッド１４１の外周面に二か所、吐出側ヘッド１４２の外周面に二か所それぞれ取り付けられる。アイボルト５０１は、鉛直方向Ｄｖの上端から周方向Ｄｃに４５度異なる位置に取り付けられる。また、図８に示すように、下半ケーシング２２には、下半ケーシング分割面２２１から鉛直方向Ｄｖの上方に延びるように棒状のガイド棒５０３が複数取り付けられる。バンドル１０には、ガイド棒５０３が挿通されることで、ガイド棒５０３に沿って案内されるガイド板５０２が取り付けられる。ガイド板５０２は、ガイド棒５０３が設けられた位置に対応してダイヤフラム１３の外周面に取り付けられる。

バンドル配置工程Ｓ３０では、アイボルト５０１にワイヤ５０４が固定される。クレーンを使用してワイヤ５０４が巻き上げられることにより、バンドル１０は鉛直方向Ｄｖの上方に一旦吊り上げられる。その後、ガイド板５０２にガイド棒５０３が挿通するようにバンドル１０の水平位置が調整され、バンドル１０が降下される。これにより、バンドル１０は、ガイド棒５０３に沿って降下する。

バンドル１０が下半ケーシング２２の近傍まで降下すると、バンドル１０からガイド板５０２がそれぞれ取り外されとともに、下半ケーシング２２から一対のガイド棒５０３がそれぞれ取り外される。その後、バンドル１０は、下半ケーシング２２の内周側へと降下される。バンドル１０が下半ケーシング２２の内部に配置される際に、下半ケーシング２２に形成された嵌合凹部１８１に対して、吸込側ヘッド１４１に形成された嵌合凸部１８２、及び吐出側ヘッド本体１４６に形成された嵌合凸部１８２がはまり込むようにバンドル１０が降下される。これにより、下半ケーシング２２に対して吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６の軸方向Ｄａの位置が規制された状態となる。さらに、下半ダイヤフラム１３２の外周面と下半ケーシング２２の内周面との間に連通隙間Ｃが形成される。この連通隙間Ｃは、連通隙間シール部１６が下半ケーシング２２の内周面に接触することでシールされている。

上半ケーシング配置工程Ｓ４０は、バンドル配置工程Ｓ３０後に実施される。上半ケーシング配置工程Ｓ４０では、図１０に示すように、下半ケーシング２２にはめ込まれたバンドル１０に対して鉛直方向Ｄｖの上方から上半ケーシング２１が配置される。上半ケーシング２１のフランジにワイヤ５０４が固定される。クレーンを使用してワイヤ５０４を巻き上げることにより、上半ケーシング２１は鉛直方向Ｄｖの上方に一旦吊り上げられる。その後、上半ケーシング２１は、バンドル１０の上方に降下される。

上半ケーシング２１が下半ケーシング２２の近傍まで降下すると、バンドル１０が上半ケーシング２１の内周側へと収容されるように水平位置が調整される。バンドル１０が上半ケーシング２１の内部に配置される際に、上半ケーシング２１に形成された嵌合凹部１８１に対して、吸込側ヘッド１４１に形成された嵌合凸部１８２、及び吐出側ヘッド本体１４６に形成された嵌合凸部１８２がはまり込むように上半ケーシング２１が降下される。これにより、上半ケーシング２１に対して吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６の軸方向Ｄａの位置が規制された状態となる。さらに、上半ダイヤフラム１３１の外周面と上半ケーシング２１の内周面との間に連通隙間Ｃが形成される。この連通隙間Ｃは、連通隙間シール部１６が上半ケーシング２１の内周面に接触することでシールされている。その後、下半ケーシング分割面２２１に対して上半ケーシング分割面２１１が当接した状態で上半ケーシング２１と下半ケーシング２２とが固定手段で固定されて、圧縮機１が完成する。

上述したような圧縮機１及び圧縮機の製造方法Ｓ１によれば、ダイヤフラム１３の外周面とケーシング２の内周面との間に形成され、吸込口２３６と吐出口２３７とを連通させている連通隙間Ｃが連通隙間シール部１６によってシールされる。ダイヤフラム１３の外周面とケーシング２の内周面との間に連通隙間Ｃが形成されていることで、上下分割構造を有するケーシング２とバンドル１０とを組み付ける際の干渉等を防ぎ、組み立て性を向上させることができる。さらに、連通隙間Ｃがシールされていることで、吐出口２３７まで供給されてきた高圧のプロセスガスが連通隙間Ｃを通過して吸込口２３６から漏れ出してしまうことを防ぐことができる。これにより、ダイヤフラム１３の外周面との間での漏れを低減させることができる。

また、連通隙間シール部１６が、連通隙間Ｃにおいて、入口壁１３５の外周面の一か所のみに設けられている。そのため、吐出口２３７から連通隙間Ｃに流入した圧力の高いプロセスガスは、連通隙間シール部１６が設けられている位置まで流入する。そのため、全てのダイヤフラム１３の外周面のまわりの圧力が高くなる。そのため、上下分割構造を有するケーシング２の分割面に面圧がかかり、各ダイヤフラム１３におけるシール性を向上させることができる。

また、規制部１８として、ケーシング２の内周面に形成された嵌合凹部１８１と、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６の外周面に形成された嵌合凸部１８２とが設けられている。そのため、単なる凹凸形状を形成するだけの簡易な構造で、ケーシング２に対するヘッド１４の軸方向Ｄａの位置を規制することができる。また、ケーシング２に対するヘッド１４の軸方向Ｄａの位置を規制する規制部１８が、別部材ではなく、ケーシング２及びヘッド１４の一部として直接形成されている。さらに、バンドル１０とケーシング２との軸方向Ｄａの位置を規制する構造が嵌合凹部１８１及び嵌合凸部１８２のみであり、ダイヤフラム１３には設けられていない。そのため、組み付ける部品点数や軸方向Ｄａの位置決め箇所が少なくなり、ケーシング２とバンドル１０とを組み付ける際の調整が容易になる。その結果、組み立て性をより向上させることができる。

ダイヤフラム１３の水平方向Ｄｈの両端は、ケーシング２の分割面に近接している。そのため、水平方向Ｄｈの両端で連通隙間シール部１６の突出量が大きくなると、下半ケーシング２２に上半ケーシング２１を取り付けた際に、Ｏリングが分割面に挟まれたり、エッジに擦れたりすることで損傷する可能性がある。ところが、隙間シール取付溝２６１が水平方向Ｄｈの両端に向かうにしたがって深くなるように形成されている。そのため、隙間シール取付溝２６１に嵌め込まれる連通隙間シール部１６は、鉛直方向Ｄｖの上方の頂点や鉛直方向Ｄｖの下方の頂点から水平方向Ｄｈの両端に向かうにしたがって、ダイヤフラム１３の外周面からの突出量が少なくなる。これにより、下半ケーシング２２に上半ケーシング２１と取り付けた際の連通隙間シール部１６であるＯリングの損傷を低減することができる。特に、本実施形態の隙間シール取付溝２６１によれば、水平方向Ｄｈの両端で最も連通隙間シール部１６の突出量が少なくなる。したがって、下半ケーシング２２に上半ケーシング２１と取り付けた際の連通隙間シール部１６の損傷をより効果的に低減することができる。

また、圧縮機１の運転中に、圧縮されて高温高圧となったプロセスガスが吐出口２３７付近を流通することで最終段ダイヤフラム１３６や出口壁部１４５が加熱され、軸方向Ｄａの熱延びが生じる場合がある。その場合、被固定貫通孔２７２に先端が固定されているボルト部材１７４には、先端と頭部２７５の間で最終段ダイヤフラム１３６や出口壁部１４５が軸方向Ｄａに延びる。これにより、ボルト部材１７４の軸部２７４と頭部２７５の境界には、軸方向Ｄａの引っ張られるような力が働く。ところが、最終段ダイヤフラム１３６や出口壁部１４５に軸方向Ｄａの変形が生じた場合に、頭部２７５と溝内側面２７３との間に挟み込まれた弾性部材１７５である複数の皿ばね座金が圧縮されることで、頭部２７５に働く力が吸収される。これにより、ボルト部材１７４が軸部２７４と頭部２７５との間で破断する等の損傷が生じることを防ぐことができる。

なお、締結部１７は、吐出側ヘッド１４２と最終段ダイヤフラム１３６との固定に用いられることに限定されるものではない。例えば、第一実施形態において、吸込側ヘッド１４１と入口壁１３５との固定に締結部１７が用いられていてもよい。

また、締結部１７において、弾性部材１７５は、皿ばね座金であることに限定されるものではない。弾性部材１７５は、ゴム材やバネ部材であってもよい。

また、締結部１７において、被固定孔１７１は、吐出側ヘッド１４２に形成される構造に限定されるものではない。例えば、被固定孔１７１は、最終段ダイヤフラム１３６に形成されていてもよい。

また、隣接するダイヤフラム１３同士の固定は、溶接に限られず、他の固定手段を用いてもよい。また、本実施形態では、四つのダイヤフラム１３を設けたが、ダイヤフラム１３の個数はこれに限られず、インペラ１１２の段数に応じて適宜設計変更が可能である。

連通隙間シール部１６は、バンドル１０の一部としてダイヤフラム１３の外周面に設けられることに限定されるものではない。連通隙間シール部１６は、連通隙間Ｃをシールすることができれば、ケーシング２側に設けられていてもよく、別部材として設けられていてもよい。

《第二実施形態》
次に、本発明の圧縮機の第二実施形態について、図１１及び図１２を参照して説明する。第二実施形態で示す圧縮機１Ａは、規制部の構造が第一実施形態と異なっている。したがって、第二実施形態の説明においては、第一実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。

図１１に示すように、第二実施形態の圧縮機１Ａでは、規制部１８Ａは、ケーシング２Ａに設けられている。第二実施形態のケーシング２Ａでは、上半ケーシング２１Ａは、上半ケーシング本体３１と、上半突出部３２とを有している。また、下半ケーシング２２Ａは、下半ケーシング本体３５と、下半突出部３６とを有している。上半突出部３２及び下半突出部３６は、本実施形態における規制部１８Ａを構成している。つまり、第二実施形態の規制部１８Ａは、ケーシング２Ａのみに形成されている。

上半ケーシング本体３１は、軸線Ｏと直交する断面が、軸線Ｏを中心とする半円環状をなして軸方向Ｄａに延びている。上半ケーシング本体３１は、バンドル１０が嵌まり込むように、鉛直方向Ｄｖの下方を向いて開口している。これにより、上半ケーシング本体３１は、内部に収容されたバンドル１０の外周面の上側を覆っている。上半ケーシング本体３１は、上半ケーシング分割面２１１を周方向Ｄｃの両端に有する。つまり、上半ケーシング本体３１は、第一実施形態の上半ケーシング２１と同じ形状をなしている。

下半ケーシング本体３５は、軸線Ｏと直交する断面が、軸線Ｏを中心とする半円環状をなして軸方向Ｄａに延びている。下半ケーシング本体３５は、バンドル１０が嵌まり込むように、鉛直方向Ｄｖの上方を向いて開口している。これにより、下半ケーシング本体３５は、内部に収容されたバンドル１０の外周面の下側を覆っている。下半ケーシング本体３５は、下半ケーシング分割面２２１を周方向Ｄｃの両端に有する。つまり、下半ケーシング本体３５は、第一実施形態の下半ケーシング２２と同じ形状をなしている。したがって、下半ケーシング２２Ａと上半ケーシング２１Ａとが組み合わさることで、両端が開口された筒状を形成している。

上半突出部３２は、上半ケーシング本体３１の軸方向Ｄａの両端にそれぞれ形成されている。上半突出部３２は、軸方向Ｄａから見た際に、半環状をなすように上半ケーシング本体３１から径方向Ｄｒの内側に向かって突出している。具体的には、上半突出部３２は、吸込側ヘッド１４１Ａに対して軸方向Ｄａの外側に設けられている第一上半突出部３２１と、吐出側ヘッド１４２Ａに対して軸方向Ｄａの外側に設けられている第二上半突出部３２２とを有している。

第一上半突出部３２１は、上半ケーシング本体３１の軸方向Ｄａの一方側の端部に形成されている。図１２に示すように、第一上半突出部３２１の軸方向Ｄａの他方側を向く面は、吸込側ヘッド１４１Ａにおいて軸方向Ｄａの外側を向く端面である吸込側ヘッド外装面２４１Ａに接触している。

図１１に示すように、第二上半突出部３２２は、上半ケーシング本体３１の軸方向Ｄａの他方側の端部に形成されている。第二上半突出部３２２の軸方向Ｄａの一方側を向く面は、吐出側ヘッド本体１４６Ａにおいて軸方向Ｄａの外側を向く端面である吐出側ヘッド外装面２４５Ａに接触している。

下半突出部３６は、下半ケーシング本体３５の軸方向Ｄａの両端にそれぞれ形成されている。下半突出部３６は、軸方向Ｄａから見た際に、半環状をなすように下半ケーシング本体３５から径方向Ｄｒの内側に向かって突出している。具体的には、下半突出部３６は、吸込側ヘッド１４１Ａに対して軸方向Ｄａの外側に設けられている第一下半突出部３６１と、吐出側ヘッド１４２Ａに対して軸方向Ｄａの外側に設けられている第二下半突出部３６２とを有している。

第一下半突出部３６１は、下半ケーシング本体３５の軸方向Ｄａの一方側の端部に形成されている。第一下半突出部３６１の軸方向Ｄａの他方側を向く面は、吸込側ヘッド１４１Ａにおいて軸方向Ｄａの外側を向く端面である吸込側ヘッド外装面２４１Ａに接触している。第一下半突出部３６１の軸方向Ｄａの他方側を向く面は、第一上半突出部３２１の軸方向Ｄａの他方側を向く面と軸方向Ｄａの位置が同じ位置に形成されている。

第二下半突出部３６２は、下半ケーシング本体３５の軸方向Ｄａの他方側の端部に形成されている。第二下半突出部３６２の軸方向Ｄａの一方側を向く面は、吐出側ヘッド１４２Ａにおいて軸方向Ｄａの外側を向く端面である吐出側ヘッド外装面２４５Ａに接触している。第二下半突出部３６２の軸方向Ｄａの一方側を向く面は、第二上半突出部３２２の軸方向Ｄａの一方側を向く面と軸方向Ｄａの位置が同じ位置に形成されている。

また、図１２に示すように、第二実施形態のヘッド１４Ａには、嵌合凸部１８２が形成されていない。ヘッド１４Ａの外周面のヘッドシール取付溝２５１よりも軸方向Ｄａの内側（ヘッド１４Ａに対してダイヤフラム１３が配置されている側）に隙間拡大凹部３７０が形成されている。隙間拡大凹部３７０では、ケーシング２Ａの内周面との隙間を大きくするように、ヘッド１４Ａの外周面から窪んでいる。

上述したような圧縮機１Ａによれば、上半突出部３２及び下半突出部３６によって、圧縮機１Ａの外部に位置する部分で、ケーシング２Ａに対する吸込側ヘッド１４１Ａ及び吐出側ヘッド１４２Ａの軸方向Ｄａの位置を規制することができる。上半突出部３２及び下半突出部３６は圧縮機１Ａの外部に位置しているためにスペースの制限を受けづらい。そのため、圧縮するプロセスガスの種類によって、バンドル１０に生じるスラスト力が大きい場合であっても、バンドル１０に生じる力に合わせて上半突出部３２及び下半突出部３６を大きくすることができる。これにより、ケーシング２Ａに対するバンドル１０の位置を安定して保持することができる。また、外部から目視可能位置でケーシング２Ａに対するバンドル１０の位置を規制されていることを確認することができる。

《第三実施形態》
次に、本発明の圧縮機の第三実施形態について、図１３及び図１４を参照して説明する。第三実施形態で示す圧縮機１Ｂは、規制部の構造が第一実施形態及び第三実施形態と異なっている。したがって、第三実施形態の説明においては、第一実施形態及び第二実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。

図１３に示すように、第三実施形態の圧縮機１Ｂでは、ケーシング２Ｂの両端は、吸込側ヘッド１４１Ｂ及び吐出側ヘッド１４２Ｂよりも軸方向Ｄａの外側に突出するように形成されている。つまり、第三実施形態のケーシング２Ｂの軸方向Ｄａの長さは、吸込側ヘッド外装面２４１Ｂから吐出側ヘッド外装面２４５Ｂまでの軸方向Ｄａの距離よりも長く形成されている。

第三実施形態の規制部１８Ｂは、ケーシング２Ｂ及びヘッド１４Ｂ以外に別部材を有している。具体的には、規制部１８Ｂは、規制収容凹部４１０と、ヘッド規制収容溝４２０と、第一規制部材４３０と、第二規制部材４４０と、を有している。

ここで、図１４は、吸込側ヘッド１４１Ｂと上半ケーシング２１Ｂとの間に設けられる規制部１８Ｂを説明する要部拡大図である。第三実施形態の規制部１８Ｂは、吸込側ヘッド１４１Ｂ及び吐出側ヘッド１４２Ｂに対応してそれぞれ設けられているが、以下、図１４を用いて吸込側ヘッド１４１Ｂ周りの規制部１８Ｂを例に挙げて説明する。

規制収容凹部４１０は、ケーシング２Ｂの端部における吸込側ヘッド１４１Ｂよりも軸方向Ｄａの外側に突出した部分に形成されている。規制収容凹部４１０は、吸込側ヘッド１４１Ｂに対して一部が軸方向Ｄａの外側に位置するように、ケーシング２Ｂの内周面から断面矩形状をなして窪んでいる。規制収容凹部４１０は、径方向Ｄｒの内側を向く規制収容凹部底面４１１と、軸方向Ｄａの内側を向く規制収容凹部第一面４１２と、軸方向Ｄａの外側を向く規制収容凹部第二面４１３とから構成されている。規制収容凹部底面４１１は、ケーシング２Ｂの内周面と平行な面である。規制収容凹部第一面４１２は、ケーシング２Ｂの内周面と規制収容凹部底面４１１における軸方向Ｄａの外側の短辺とを繋ぐ平面である。規制収容凹部第二面４１３は、ケーシング２Ｂの内周面と規制収容凹部底面４１１における軸方向Ｄａの内側の短辺とを繋ぐ平面である。

ヘッド規制収容溝４２０は、吸込側ヘッド１４１Ｂにおける外周面と吸込側ヘッド外装面２４１Ｂ（軸方向Ｄａの外側を向く面）とで形成される角部に形成されている。ヘッド規制収容溝４２０は、ヘッドシール取付溝２５１よりも軸方向Ｄａの外側に形成されている。ヘッド規制収容溝４２０は、径方向Ｄｒの外側を向く規制収容溝第一面４２１と、軸方向Ｄａの外側を向く規制収容溝第二面４２２とから構成されている。規制収容溝第一面４２１は、吸込側ヘッド１４１Ｂの外周面と平行な面であって、吸込側ヘッド外装面２４１Ｂと繋がっている。規制収容溝第二面４２２は、吸込側ヘッド外装面２４１Ｂと平行な平面であって、吸込側ヘッド１４１Ｂの外周面と規制収容溝第一面４２１とを繋ぐ面である。

第一規制部材４３０は、第二規制部材４４０とともに、規制収容凹部４１０に収容されることで、ケーシング２Ｂに対する吸込側ヘッド１４１Ｂの軸方向Ｄａの位置を規制する部材である。第一規制部材４３０は、断面Ｌ字状をなしている。具体的には、第一規制部材４３０は、規制収容凹部４１０に収容される第一収容部４３１と、ヘッド規制収容溝４２０に収容される第二収容部４３２とが一体に形成されている。

第一収容部４３１は、直方状をなしている。第二収容部４３２は、第一収容部４３１から直方状をなして軸方向の内側に向かって突出するように形成されている。

第二規制部材４４０は、第一規制部材４３０よりも軸方向Ｄａの外側で第一規制部材４３０と隣接した状態で、規制収容凹部４１０に収容される。第二規制部材４４０は、直方状をなしている。

このような第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０を取り付ける際には、第一規制部材４３０は、第一収容部４３１が規制収容凹部４１０に挿入された状態で軸方向Ｄａの内側に移動され、第二収容部４３２がヘッド規制収容溝４２０に挿入される。その後、第一規制部材４３０に対して軸方向Ｄａの外側で、第二規制部材４４０が規制収容凹部４１０に圧入される。その結果、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０は、規制収容凹部４１０かつヘッド規制収容溝４２０に収容された状態で、互いに接触した状態となる。この際、第二収容部４３２が規制収容溝第二面４２２と接触し、第二規制部材４４０が規制収容凹部第一面４１２と接触した状態なる。これにより、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０は、規制収容凹部第一面４１２と規制収容溝第二面４２２とで挟まれて脱落不能な状態となる。

上述したような圧縮機１Ｂによれば、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０が規制収容凹部４１０及びヘッド規制収容溝４２０に収容されている。これにより、圧縮機１Ｂの外部から、ケーシング２Ｂに対する吸込側ヘッド１４１Ｂ及び吐出側ヘッド１４２Ｂの軸方向Ｄａの位置を規制することができる。さらに、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０は、バンドル１０上に上半ケーシング２１Ｂを設置した後に外部から取り付けることができる。そのため、下半ケーシング２２Ｂにバンドル１０を設置する場合や、バンドル１０上に上半ケーシング２１Ｂを設置する場合に、バンドル１０と下半ケーシング２２Ｂ及び上半ケーシング２１Ｂとの軸方向Ｄａの位置を細かく調整する必要がなくなる。これにより、組み立て性をより一層向上させることができる。

《第四実施形態》
次に、本発明の圧縮機の第四実施形態について、図１５から図１７を参照して説明する。第四実施形態で示す圧縮機１Ｃは、ヘッドシール部の構成が第一実施形態と異なっている。したがって、第四実施形態の説明においては、第一実施形態から第三実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。

図１５に示すように、第四実施形態の圧縮機１Ｃでは、ヘッド１４Ｃとケーシング２Ｃとの間をシールするための別部材を有するヘッドシール部１５Ｃを備えている。図１６に示すように、第四実施形態のヘッドシール部１５Ｃは、シールリング６００と、シールリング固定孔６５０と、リング挿入溝６６０と、内側リングシール部６７０と、を有している。

ここで、図１６は、吐出側ヘッド１４２Ｃと上半ケーシング２１Ｃとの間に設けられるヘッドシール部１５Ｃを説明する要部拡大図である。第四実施形態のヘッドシール部１５Ｃは、吸込側ヘッド１４１Ｃ及び吐出側ヘッド１４２Ｃに対応してそれぞれ設けられているが、以下、図１６を用いて吐出側ヘッド１４２Ｃ周りのヘッドシール部１５Ｃを例に挙げて説明する。

シールリング６００は、吐出側ヘッド本体１４６Ｃに対して軸方向Ｄａの外側から着脱可能とされている。つまり、シールリング６００は、吐出側ヘッド本体１４６Ｃ及びケーシング２Ｃの外部から軸方向Ｄａに移動可能とされている。シールリング６００は、バンドル１０に対してケーシング２Ｃが取り付けられた後に外部から取り付けられる。シールリング６００は、軸線Ｏを中心とする環状部材である。本実施形態のシールリング６００は、リング本体６１０と、リング挿入部６２０と、外側リングシール部６３０と、リング固定部材６４０とを有している。

シールリング固定孔６５０は、シールリング６００が固定される。シールリング固定孔６５０は、吐出側ヘッド外装面２４５Ｃに形成されている。シールリング固定孔６５０は、内部に雌ネジを有するネジ孔ある。

リング挿入溝６６０は、リング挿入部６２０が挿入可能とされている。リング挿入溝６６０は、吐出側ヘッド本体１４６Ｃにおける外周面と吐出側ヘッド外装面２４５Ｃ（軸方向Ｄａの外側を向く面）とで形成される角部に形成されている。リング挿入溝６６０は、吐出側ヘッド外装面２４５Ｃ及び吐出側ヘッド本体１４６Ｃの外周面から断面矩形状をなして窪んでいる。リング挿入溝６６０は、ケーシング２Ｃの内周面との間にリング挿入部６２０が挿入可能な空間を形成している。リング挿入溝６６０は、嵌合凸部１８２よりも軸方向Ｄａの外側に形成されている。リング挿入溝６６０は、シールリング固定孔６５０よりも径方向Ｄｒの外側に形成されている。リング挿入溝６６０は、径方向Ｄｒの外側を向くリング挿入溝第一面６６１と、軸方向Ｄａの外側を向くリング挿入溝第二面６６２とから構成されている。リング挿入溝第一面６６１は、吐出側ヘッド本体１４６Ｃの外周面と平行な面であって、吐出側ヘッド外装面２４５Ｃと繋がっている。リング挿入溝第二面６６２は、吐出側ヘッド外装面２４５Ｃと平行な平面であって、吐出側ヘッド本体１４６Ｃの外周面とリング挿入溝第一面６６１とを繋ぐ面である。

内側リングシール部６７０は、リング挿入部６２０の内周面とリング挿入溝第一面６６１との間をシール可能とされている。内側リングシール部６７０は、環状をなしており、吐出側ヘッド本体１４６Ｃを全周にわたって囲っている。本実施形態の内側リングシール部６７０は、リング挿入溝第一面６６１に形成された内側取付溝６７１に収容されたＯリングである。内側リングシール部６７０は、リング挿入溝第一面６６１に対して軸方向Ｄａに並んで二つ設けられている。

内側取付溝６７１は、軸方向Ｄａに並んで二つ形成されている。内側取付溝６７１は、リング挿入溝第一面６６１において、軸方向Ｄａの外側に可能な限り寄った位置に形成されている。

リング本体６１０は、断面板状をなし、軸線Ｏを中心とする円環状に形成されている。

リング挿入部６２０は、リング本体６１０から断面矩形状をなして全周にわたって突出している。つまり、リング挿入部６２０は、リング本体６１０から円環状をなして突出している。リング挿入部６２０は、リング挿入溝６６０に挿入可能な形状とされている。リング挿入部６２０のリング本体６１０からの突出量は、リング挿入溝６６０の軸方向Ｄａの深さ（吐出側ヘッド外装面２４５Ｃとリング挿入溝第二面６６２との軸方向Ｄａの距離）よりも短くされている。

また、リング本体６１０では、リング挿入部６２０が突出している位置よりも径方向Ｄｒの外側においてリング挿入部６２０が突出している側の面が切り欠かれている。これにより、リング本体６１０は、リング挿入部６２０が突出している位置に対して径方向Ｄｒの内側の厚みが、リング挿入部６２０が突出している位置に対して径方向Ｄｒの外側の厚みに比べて厚く形成されている。リング本体６１０には、リング本体貫通孔６１１が形成されている。

リング本体貫通孔６１１は、リング挿入溝６６０にリング挿入部６２０が挿入された状態で、軸方向Ｄａから見た際に、シールリング固定孔６５０と重なる位置に形成されている。

外側リングシール部６３０は、リング挿入部６２０の外周面とケーシング２Ｃの内周面との間をシール可能とされている。外側リングシール部６３０は、環状をなしており、リング挿入部６２０を全周にわたって囲っている。本実施形態の外側リングシール部６３０は、リング挿入部６２０の外周面に形成された外側取付溝６３１に収容されたＯリングである。外側リングシール部６３０は、リング挿入部６２０の外周面に対して軸方向Ｄａに並んで二つ設けられている。

外側取付溝６３１は、軸方向Ｄａに並んで二つ形成されている。外側取付溝６３１は、リング挿入溝６６０にリング挿入部６２０が挿入された状態で、内側取付溝６７１よりも軸方向Ｄａの内側に配置される位置に形成されている。

リング固定部材６４０は、外周面に雄ネジを有するリング固定軸部６４１と、リング固定軸部６４１の端部に形成されたリング固定頭部６４２とを有するボルトである。リング固定軸部６４１は、リング本体貫通孔６１１に挿通された状態で先端がシールリング固定孔６５０に固定されている。リング固定頭部６４２は、リング本体６１０よりも軸方向Ｄａの外側に配置されている。

また、外側リングシール部６３０に対して軸方向Ｄａの外側にずれた位置において、リング挿入部６２０の外周面とケーシング２Ｃの内周面との間隔を広げる挿入隙間拡径部６８０が形成されている。具体的には、挿入隙間拡径部６８０は、外側リングシール部６３０よりも軸方向Ｄａの外側であるケーシング２Ｃの端部に形成されている。挿入隙間拡径部６８０は、リング挿入部６２０の外周面とケーシング２Ｃの内周面との隙間を大きくするように、ケーシング２Ｃの内周面から窪んでいる。具体的には、外側リングシール部６３０が設けられている位置でのリング挿入部６２０の外周面とケーシング２Ｃの内周面との隙間が０．１５ｍｍ〜０．３５ｍｍの場合、挿入隙間拡径部６８０は、リング挿入部６２０の外周面との隙間を１．０ｍｍ以上に広げている。挿入隙間拡径部６８０は、ケーシング２Ｃの軸方向Ｄａの両端において、全周にわたって形成されている。

次に、第四実施形態に係る圧縮機の製造方法Ｓ１４について説明する。本実施形態の圧縮機の製造方法Ｓ１４は、図１７に示すように、準備工程Ｓ１０４と、バンドル配置工程Ｓ３０と、上半ケーシング配置工程Ｓ４０と、ヘッドシール部移動工程Ｓ６０とを含んでいる。以下、第一実施形態での圧縮機の製造方法Ｓ１と異なる点を説明する。

第四実施形態における準備工程Ｓ１０４では、ケーシング準備工程Ｓ１１４と、バンドル準備工程Ｓ１２４と、ヘッドシール部準備工程Ｓ５０とが同時に実施される。

第四実施形態における準備工程Ｓ１０４では、上半ケーシング２１Ｃ及び下半ケーシング２２Ｃが準備される。その際、上半ケーシング２１Ｃ及び下半ケーシング２２Ｃの軸方向Ｄａの両端に挿入隙間拡径部６８０がそれぞれ形成される。また、準備工程Ｓ１０４では、ロータ１１と、軸受部１２と、上半ダイヤフラム１３１と、下半ダイヤフラム１３２と、吸込側ヘッド１４１Ｃと、吐出側ヘッド１４２Ｃと、連通隙間シール部１６と、締結部１７と、シールリング６００とがそれぞれ製造される等により準備される。その際、吸込側ヘッド１４１Ｃ及び吐出側ヘッド１４２Ｃには、第一実施形態と異なり、リング挿入溝６６０が形成され、内側リングシール部６７０が取り付けられている。

ヘッドシール部移動工程Ｓ６０は、上半ケーシング配置工程Ｓ４０を実施後に実施される。ヘッドシール部移動工程Ｓ６０では、吸込側ヘッド１４１Ｃ及び吐出側ヘッド１４２Ｃに対して外部から、シールリング６００が取り付けられて、リング挿入部６２０が吸込側ヘッド１４１Ｃの外周面とケーシング２Ｃの内周面の間や、吐出側ヘッド１４２Ｃの外周面とケーシング２Ｃの内周面の間で移動させられる。具体的には、リング挿入溝６６０に対して軸方向Ｄａの外側からリング挿入部６２０が挿入され、リング固定部材６４０によってリング本体６１０が吸込側ヘッド１４１Ｃや吐出側ヘッド１４２Ｃに対して固定される。リング挿入部６２０がリング挿入溝６６０に挿入されることで、内側取付溝６７１に収容された内側リングシール部６７０がリング挿入部６２０の内周面と接触する。また、外側取付溝６３１に収容された外側リングシール部６３０がケーシング２Ｃの内周面と接触する。

上述したような圧縮機１Ｃ及び圧縮機の製造方法Ｓ１４によれば、バンドル１０とケーシング２Ｃとが組み付けられた後に、シールリング６００が取り付けられる。これにより、吸込側ヘッド１４１Ｃ及び吐出側ヘッド１４２Ｃと、ケーシング２Ｃとの間をシールすることができる。したがって、バンドル１０とケーシング２Ｃとが組み付けられた前には、外側リングシール部６３０は設けられておらず、内側リングシール部６７０は吸込側ヘッド１４１Ｃ及び吐出側ヘッド１４２Ｃの外周面から窪んだリング挿入溝６６０内に設けられている。したがって、下半ケーシング２２Ｃにバンドル１０を設置する場合や、バンドル１０上に上半ケーシング２１Ｃを設置する場合には、外側リングシール部６３０や内側リングシール部６７０が、分割面に挟まれたり、ケーシング２Ｃのエッジに擦られたりすることで生じるＯリングの損傷を低減することができる。これにより、ヘッド１４Ｃとケーシング２Ｃとの間のシール性を安定して確保することができる。

特に、シールリング６００が外部から着脱可能とされていることで、外側リングシール部６３０や内側リングシール部６７０の損傷を確実に防止することができる。これにより、ヘッド１４Ｃとケーシング２Ｃとの間のシール性をより安定して確保することができる。

また、ケーシング２Ｃの両端に挿入隙間拡径部６８０が形成されている。これにより、リング挿入溝６６０の外周面とケーシング２Ｃの内周面との間の隙間が大きくなる。その結果、リング挿入溝６６０にリング挿入部６２０を挿入させる際に、外側リングシール部６３０がケーシング２Ｃの内周面に擦れて生じる損傷を低減できる。

また、外側リングシール部６３０及び内側リングシール部６７０がそれぞれ軸方向Ｄａに並んで二重に設けられている。これにより、ヘッド１４Ｃとケーシング２Ｃとの間のシール性を向上させることができる。

なお、シールリング６００は、第四実施形態のようにヘッド１４Ｃのみに固定される構造に限定されるものではない。シールリング６００は、ケーシング２Ｃのみに固定される構造であってもよく、ヘッド１４Ｃとケーシング２Ｃとにそれぞれ固定される構造であってもよい。

また、リング挿入溝６６０はヘッド１４Ｃのみに形成されることに限定されるものではない。リング挿入溝６６０は、ケーシング２Ｃのみに形成されていてもよく、ヘッド１４Ｃ及びケーシング２Ｃにまたがって形成されていてもよい。また、ヘッド１４Ｃとケーシング２Ｃとの間にリング挿入部６２０が挿入可能な空間が形成されていれば、リング挿入溝６６０を形成しなくてもよい。

また、挿入隙間拡径部６８０は、外側リングシール部６３０側のみに設けられていることに限定されるものではない。例えば、挿入隙間拡径部６８０は、内側リングシール部６７０側に形成されていてもよい。この際、挿入隙間拡径部６８０は、例えば、リング挿入溝第一面６６１と吐出側ヘッド外装面２４５Ｃとの角部に形成される。

また、内側リングシール部６７０は、本実施形態のようにヘッド１４Ｃに取り付けられることに限定されるものではない、内側リングシール部６７０は、例えば、リング挿入部６２０の内周面に取り付けられていてもよい。

また、外側リングシール部６３０は、本実施形態のようにリング挿入部６２０に取り付けられることに限定されるものではない、外側リングシール部６３０は、例えば、ケーシング２Ｃの内周面に取り付けられていてもよい。

《第五実施形態》
次に、本発明の圧縮機の第五実施形態について、図１８から図２１を参照して説明する。第五実施形態で示す圧縮機１Ｄは、ケーシングに対してヘッドを相対移動させる移動保持部を有している点が第四実施形態と異なっている。したがって、第五実施形態の説明においては、第一実施形態から第四実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。

図１８に示すように、第五実施形態の圧縮機１Ｄでは、最終段ダイヤフラム１３６は、吐出側ヘッド１４２Ｄに対して固定されていない。したがって、吐出側ヘッド１４２Ｄは、ケーシング２Ｄに収容された状態で、最終段ダイヤフラム１３６に対して軸方向Ｄａに相対移動可能とされている。具体的には、吐出側ヘッド本体１４６Ｄに形成された嵌合凸部１８２Ｄの軸方向Ｄａの長さが、ケーシング２Ｄに形成された嵌合凹部１８１Ｄの軸方向Ｄａの長さよりも短く形成されている。

圧縮機１Ｄは、移動保持部７００をさらに備えている。移動保持部７００は、ケーシング２Ｄに対して、吐出側ヘッド１４２Ｄを軸方向Ｄａに相対移動可能、かつ、軸方向Ｄａの任意の位置で吐出側ヘッド１４２Ｄの位置を保持可能とされている。移動保持部７００は、吐出側ヘッド１４２Ｄを最終段ダイヤフラム１３６から最も離れた位置であって、軸方向Ｄａの外側に向かって移動不能な位置で移動不能に保持している。最終段ダイヤフラム１３６から最も離れた位置であって、軸方向Ｄａの外側に向かって移動不能な位置とは、吐出側ヘッド本体１４６Ｄに形成された嵌合凸部１８２Ｄの軸方向Ｄａの外側を向く面がケーシング２Ｄに形成された嵌合凹部１８１Ｄの軸方向Ｄａの内側を面と接触する位置である。移動保持部７００は、被固定部材７１０と、軸部材７２０と、第一ナット７３０と、第二ナット７４０とを有している。

被固定部材７１０は、吐出側ヘッド本体１４６Ｄに固定されている。本実施形態における被固定部材７１０は、シールリング６００Ｄのリング本体６１０Ｄであって、リング挿入部６２０と一体をなしている。リング本体６１０Ｄには、軸方向Ｄａに連通する被固定部材連通孔７１１が形成されている。

被固定部材連通孔７１１は、リング挿入部６２０がリング挿入溝６６０に挿入された状態で、軸方向Ｄａから見た際に、ケーシング２Ｄと重なる位置に形成されている。具体的には、被固定部材連通孔７１１は、リング挿入部６２０が突出している位置に対して、リング本体貫通孔６１１と径方向Ｄｒの反対側に形成されている。つまり、被固定部材連通孔７１１は、リング本体６１０Ｄにおいて、厚みが薄い部分に形成されている。

軸部材７２０は、外周面に雄ねじが設けられたネジ軸である。軸部材７２０は、被固定部材連通孔７１１に挿通された状態で一端がケーシング２Ｄに形成された軸部材固定孔７２１に固定されている。軸部材固定孔７２１は、ケーシング２Ｄの軸方向Ｄａを向く端面に形成されている。軸部材固定孔７２１は、内部に雌ネジを有するネジ孔である。軸部材固定孔７２１は、軸方向Ｄａから見た際に、被固定部材連通孔７１１と重なる位置に形成されている。軸部材７２０の他端は、リング本体６１０Ｄから軸方向Ｄａの外側に向かって突出している。

第一ナット７３０は、内部に軸部材７２０の雄ねじに螺合する雌ねじが設けられている。第一ナット７３０は、軸部材７２０を内部に挿通させた状態で、軸部材７２０の延びる方向に沿って、軸部材７２０に対して相対移動可能とされている。第一ナット７３０は、リング本体６１０Ｄに対して軸方向Ｄａの内側（ケーシング２Ｄ側）に配置されている。第一ナット７３０は、リング本体６１０Ｄのケーシング２Ｄ側を向く面に接触した状態で配置されている。

第二ナット７４０は、内部に軸部材７２０の雄ねじに螺合する雌ねじが設けられている。第二ナット７４０は、第一ナット７３０と同様に、軸部材７２０を内部に挿通させた状態で、軸部材７２０の延びる方向に沿って、軸部材７２０に対して相対移動可能とされている。第二ナット７４０は、リング本体６１０Ｄに対して軸方向Ｄａの外側に配置されている。第二ナット７４０は、リング本体６１０Ｄにおいて軸方向Ｄａの外側を向く面に接触した状態で配置されている。

次に、第五実施形態に係る圧縮機の製造方法Ｓ１５について説明する。本実施形態の圧縮機の製造方法Ｓ１５は、図１９に示すように、準備工程Ｓ１０５と、バンドル配置工程Ｓ３０と、固定解除工程Ｓ８０と、上半ケーシング配置工程Ｓ４０と、ヘッドシール部移動工程Ｓ６５と、吐出側ヘッド移動工程Ｓ９０を含んでいる。以下、第四実施形態での圧縮機の製造方法Ｓ１５と異なる点を説明する。

第五実施形態の準備工程Ｓ１０５では、ケーシング準備工程Ｓ１１５と、バンドル準備工程Ｓ１２５と、ヘッドシール部準備工程Ｓ５５と、移動保持部準備工程Ｓ７０とが同時に実施される。

第五実施形態における準備工程Ｓ１０５では、上半ケーシング２１Ｄ及び下半ケーシング２２Ｄが準備される。その際、上半ケーシング２１Ｄ及び下半ケーシング２２Ｄの軸方向Ｄａの両端面に軸部材固定孔７２１がそれぞれ形成される。また、軸方向Ｄａの長さが、嵌合凸部１８２Ｄに比べて数ｍｍ程度長くなるように嵌合凹部１８１Ｄが形成される。また、ロータ１１と、軸受部１２と、上半ダイヤフラム１３１と、下半ダイヤフラム１３２と、吸込側ヘッド１４１と、吐出側ヘッド１４２Ｄと、連通隙間シール部１６と、締結部１７と、シールリング６００Ｄと、軸部材７２０と、第一ナット７３０、第二ナット７４０とがそれぞれ製造される等により準備される。その際、シールリング６００Ｄには、第四実施形態と異なり、被固定部材連通孔７１１が形成される。また、吐出側ヘッド１４２Ｄと入口壁１３５とは、下半ダイヤフラム１３２は固定せずに、上半ダイヤフラム１３１のみで固定する。具体的には、図２０に示すように、入口壁１３５の上半ダイヤフラム１３１と、吐出側ヘッド本体１４６Ｄに固定されている出口壁部１４５Ｄとが密着した状態で、ボルト部材１７４を締結貫通孔１７３及び被固定貫通孔２７２に挿通させて被固定ネジ孔２７１に固定する。これにより、最終段ダイヤフラム接触面２３４と出口内側面２４２とが接触した状態となる。これらにより、一つの部品として一体化されたバンドル１０が準備される。

バンドル配置工程Ｓ３０後の固定解除工程Ｓ８０では、図２１に示すように、被固定ネジ孔２７１に固定されたボルト部材１７４が外されて、ボルト取付溝１７２から取り出される。その結果、出口壁部１４５Ｄ及び、吐出側ヘッド本体１４６Ｄと最終段ダイヤフラム１３６との固定が解除され、吐出側ヘッド１４２Ｄが軸方向Ｄａに相対移動可能となる。

最終段ダイヤフラム１３６に対して吐出側ヘッド１４２Ｄが軸方向Ｄａに相対移動可能となった後に、上半ケーシング配置工程Ｓ４０が実施される。上半ケーシング配置工程Ｓ４０では、バンドル１０に対して鉛直方向Ｄｖの上方から上半ケーシング２１Ｄが配置される。嵌合凹部１８１Ｄの軸方向Ｄａの長さが、嵌合凸部１８２Ｄに比べて長くされていることで、バンドル１０上に上半ケーシング２１Ｄが配置されても、吐出側ヘッド１４２Ｄは軸方向Ｄａに相対移動可能な状態のままとなる。

その後、図１９に示すように、ヘッドシール部移動工程Ｓ６５が実施された後に吐出側ヘッド移動工程Ｓ９０が実施される。図２１に示すように、吐出側ヘッド移動工程Ｓ９０では、リング本体６１０Ｄの被固定部材連通孔７１１に軸部材７２０を挿通させる。この状態で、リング本体６１０Ｄとケーシング２Ｄとの間で第一ナット７３０に軸部材７２０を螺合させる。第一ナット７３０が取り付けられた軸部材７２０の先端は軸部材固定孔７２１に固定される。軸部材７２０における軸方向Ｄａの外側の先端に第二ナット７４０を螺合させる。その後、第一ナット７３０は、リング本体６１０Ｄのケーシング２Ｄ側を向く面に接触する位置まで移動される。また、第二ナット７４０は、リング本体６１０Ｄにおいて軸方向Ｄａの外側を向く面に接触する位置まで移動される。

軸部材７２０、第一ナット７３０、及び第二ナット７４０が取り付けられた状態で、第一ナット７３０及び第二ナット７４０を軸方向Ｄａの外側に向かって移動させるように軸部材７２０に対して回転させる。これにより、リング本体６１０Ｄが軸方向Ｄａの外側に向かって移動する。シールリング６００Ｄは、リング固定部材６４０がシールリング固定孔６５０に固定されていることで、吐出側ヘッド本体１４６Ｄに固定されている。そのため、リング本体６１０Ｄが軸方向Ｄａの外側に向かって移動することで、吐出側ヘッド本体１４６Ｄと、吐出側ヘッド本体１４６Ｄに固定された出口壁部１４５Ｄとが軸方向Ｄａの外側に移動する。嵌合凸部１８２Ｄの軸方向Ｄａの外側を向く面が嵌合凹部１８１Ｄの軸方向Ｄａの内側を面と接触する位置まで吐出側ヘッド本体１４６Ｄが移動されることで、吐出側ヘッド本体１４６Ｄ及び出口壁部１４５Ｄは、それ以上軸方向Ｄａの外側に向かって移動することができなくなる。吐出側ヘッド本体１４６Ｄ及び出口壁部１４５Ｄが移動不能となった状態で、第一ナット７３０及び第二ナット７４０はリング本体６１０Ｄに密着する位置まで移動される。これにより、リング本体６１０Ｄの位置が保持され、吐出側ヘッド１４２Ｄの位置が固定される。

上述したような圧縮機１Ｄ及び圧縮機の製造方法Ｓ１５によれば、バンドル１０とケーシング２Ｄとが組み付けられた後に、シールリング６００Ｄを介して吐出側ヘッド１４２Ｄを外部から移動させることができる。そのため、圧縮機１Ｄの外部から、ケーシング２Ｄに対する吐出側ヘッド１４２Ｄの軸方向Ｄａの位置を定めることができる。これにより、下半ケーシング２２Ｄにバンドル１０を設置する場合や、バンドル１０上に上半ケーシング２１Ｄを設置する場合に、バンドル１０と下半ケーシング２２Ｄ及び上半ケーシング２１Ｄとの軸方向Ｄａの位置を細かく調整する必要がなくなる。また、第一ナット７３０及び第二ナット７４０を軸方向Ｄａの外側に向かって移動させるように軸部材７２０に対して回転させるだけで、吐出側ヘッド１４２Ｄを移動させることができる。そのため。複雑な装置を用いることなく、簡易な構造で吐出側ヘッド１４２Ｄを移動させることができる。これにより、組み立て性をより一層向上させることができる。

特に、移動保持部７００によって吐出側ヘッド１４２Ｄは軸方向Ｄａの最も外側に寄った位置で保持されている。圧縮機１Ｄでは、内部でプロセスガスが圧縮されることで吐出口２３７での圧力が高くなり、吐出側ヘッド１４２Ｄには軸方向Ｄａの外側に向かうような力が生じる。ところが、移動保持部７００によって、軸方向Ｄａの最も外側に寄った位置で保持されていることで、圧縮機１Ｄの運転中に吐出側ヘッド１４２Ｄが移動してしまうことを防ぐことができる。これにより、圧縮機１Ｄを安定して運転することができる。

なお、移動保持部７００は、本実施形態のようにシールリング６００Ｄと一体構造とされていることに限定されるものではない。つまり、移動保持部７００は、ヘッドシール部とは独立して設けられていてもよい。

また、移動保持部７００は、本実施形態のように、軸部材７２０、第一ナット７３０、及び第二ナット７４０を有する構造に限定されるものではない。移動保持部７００は、吐出側ヘッド１４２Ｄを軸方向Ｄａに移動させることができるものであればよい。したがって、移動保持部７００は、例えば、油圧や圧縮空気式のジャッキによって、吐出側ヘッド１４２Ｄを軸方向Ｄａに移動させる構造であってもよい。

《第六実施形態》
次に、本発明の圧縮機の第六実施形態について、図２２から図２４を参照して説明する。第六実施形態で示す圧縮機１Ｅは、ヘッドシール部の構成が第四実施形態と異なっている。したがって、第六施形態の説明においては、第一実施形態から第五実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。

図２２に示すように、第六実施形態の圧縮機１Ｅでは、リング挿入部６２０Ｅが予めヘッド１４Ｅ及びケーシング２Ｅの間に配置された状態で外部から軸方向Ｄａに移動可能とされている。第六実施形態のヘッドシール部１５Ｅは、リング収容部８００と、リング挿入部６２０Ｅと、外側リングシール部６３０Ｅと、内側リングシール部６７０Ｅと、リング軸部材挿通孔８３０と、リング軸部材８４０と、リング軸部材保持部８５０と、保持部固定孔８６０と、保持部固定部材８７０と、リング第一ナット８８０と、リング第二ナット８９０と、を有している。

ここで、図２２は、吐出側ヘッド１４２Ｅと上半ケーシング２１Ｅとの間に設けられるヘッドシール部１５Ｅを説明する要部拡大図である。第六実施形態のヘッドシール部１５Ｅは、吸込側ヘッド１４１Ｅ及び吐出側ヘッド１４２Ｅに対応してそれぞれ設けられているが、以下、図２２を用いて吐出側ヘッド１４２Ｅ周りのヘッドシール部１５Ｅを例に挙げて説明する。

リング収容部８００は、吐出側ヘッド本体１４６Ｅとケーシング２Ｅとの間にリング挿入部６２０Ｅを配置可能な空間を形成している。リング収容部８００は、第一位置（図２２におけるリング挿入部６２０Ｅの位置）と、第二位置（図２３におけるリング挿入部６２０Ｅの位置）との間で、リング挿入部６２０Ｅを移動可能に収容している。第一位置は、リング挿入部６２０Ｅの内周面と内側リングシール部６７０Ｅとが接触せず、かつケーシング２Ｅの内周面と外側リングシール部６３０Ｅとが接触しない位置である。第二位置は、リング挿入部６２０Ｅの内周面とヘッド１４Ｅの外周面とが内側リングシール部６７０Ｅに接触し、リング挿入部６２０Ｅの外周面とケーシング２Ｅの内周面とが外側リングシール部６３０Ｅに接触する位置である。第二位置は、第一位置に対して軸方向Ｄａの外側ずれた位置である。

リング収容部８００は、吐出側ヘッド本体１４６Ｅに形成されたリング収容溝８１０と、ケーシング２Ｅの内周面に形成されたリング支持部８２０とを有している。

リング収容溝８１０は、吐出側ヘッド本体内側面２４４Ｅ（吐出側ヘッド本体１４６Ｅにおいて軸方向Ｄａの内側を向く面）と吐出側ヘッド本体１４６Ｅの外周面とで形成される角部に形成されている。リング収容溝８１０は、吐出側ヘッド本体内側面２４４Ｅ及び吐出側ヘッド１４２Ｅの外周面から断面矩形状をなして窪んでいる。リング収容溝８１０は、径方向Ｄｒの外側を向くリング収容溝第一面８１１と、軸方向Ｄａの内側を向くリング収容溝第二面８１２とから構成されている。リング収容溝第一面８１１は、吐出側ヘッド本体１４６Ｅの外周面と平行な面であって、吐出側ヘッド本体内側面２４４Ｅと繋がっている。リング収容溝第二面８１２は、吐出側ヘッド本体内側面２４４Ｅと平行な平面であって、吐出側ヘッド本体１４６Ｅの外周面とリング収容溝第一面８１１とを繋ぐ面である。

リング支持部８２０は、ケーシング２Ｅの内周面から断面矩形状をなして突出している。リング支持部８２０は、嵌合凹部１８１に対して軸方向Ｄａの内側に形成されている。リング支持部８２０は、径方向Ｄｒの内側を向くリング支持面８２１がリング収容溝第一面８１１と平行になるように形成されている。リング支持部８２０は、ケーシング２Ｅとバンドル１０とが組まれた際に、リング支持面８２１とリング収容溝第一面８１１との径方向Ｄｒの距離がリング挿入部６２０Ｅの径方向Ｄｒの幅とほぼ同一となるように突出している。

ケーシング２Ｅの内周面におけるリング支持部８２０の軸方向Ｄａの内側には、ケーシング２Ｅとバンドル１０とが組まれた際に、リング支持面８２１とリング収容溝第一面８１１との径方向Ｄｒの距離に比べて、リング収容溝８１０とケーシング２Ｅの内周面との径方向Ｄｒの距離が広い空間が形成されている。具体的には、リング支持部８２０は、ケーシング２Ｅとバンドル１０とが組まれた際に、吐出側ヘッド本体内側面２４４Ｅが形成されている軸方向Ｄａの位置よりも、軸方向Ｄａに離れた位置に形成されている。

リング挿入部６２０Ｅは、断面矩形状をなす円環状の部材である。リング挿入部６２０Ｅは、リング収容溝８１０とリング支持部８２０との間に挿入可能な形状とされている。リング挿入部６２０Ｅに軸方向Ｄａの長さは、リング収容溝８１０の軸方向Ｄａの深さ（吐出側ヘッド本体内側面２４４Ｅとリング収容溝第二面８１２との軸方向Ｄａの距離）よりも短くされている。リング挿入部６２０Ｅの軸方向Ｄａの外側を向く端面には、リング軸部材固定孔６２１Ｅが形成されている。リング軸部材固定孔６２１Ｅは、内部に雌ネジを有するネジ孔である。

外側リングシール部６３０Ｅは、リング挿入部６２０Ｅの外周面とリング支持面８２１との間をシール可能とされている。外側リングシール部６３０Ｅは、環状をなしており、リング挿入部６２０Ｅを全周にわたって囲っている。本実施形態の外側リングシール部６３０Ｅは、リング挿入部６２０Ｅの外周面に形成された外側取付溝６３１Ｅに収容されたＯリングである。外側リングシール部６３０Ｅは、リング挿入部６２０Ｅの外周面に対して軸方向Ｄａに並んで二つ設けられている。

外側取付溝６３１Ｅは、軸方向Ｄａに並んで二つ形成されている。外側取付溝６３１Ｅは、リング挿入部６２０Ｅの軸方向Ｄａの中心位置よりも内側に形成されている。

内側リングシール部６７０Ｅは、リング挿入部６２０Ｅの内周面とリング収容溝第一面８１１との間をシール可能とされている。内側リングシール部６７０Ｅは、環状をなしており、吐出側ヘッド本体１４６Ｅを全周にわたって囲っている。本実施形態の内側リングシール部６７０Ｅは、リング収容溝第一面８１１に形成された内側取付溝６７１Ｅに収容されたＯリングである。内側リングシール部６７０Ｅは、リング収容溝第一面８１１に対して軸方向Ｄａに並んで二つ設けられている。

内側取付溝６７１Ｅは、軸方向Ｄａに並んで二つ形成されている。内側取付溝６７１Ｅは、リング収容溝第一面８１１において、軸方向Ｄａの外側に可能な限り寄った位置（リング収容溝第二面８１２に近接した位置）に形成されている。

リング軸部材挿通孔８３０は、リング挿入部６２０Ｅがリング収容部８００に収容された状態で、軸方向Ｄａから見た際に、リング挿入部６２０Ｅと重なる位置に形成されている。具体的には、リング軸部材挿通孔８３０は、リング収容溝第二面８１２と吐出側ヘッド外装面２４５Ｅと軸方向Ｄａに貫通する孔である。リング軸部材挿通孔８３０は、後述するリング軸部材８４０が挿通可能な大きさの断面円形状をなしている。

リング軸部材８４０は、外周面に雄ねじが設けられたネジ軸である。リング軸部材８４０は、リング軸部材挿通孔８３０に挿通された状態で一端がリング軸部材固定孔６２１Ｅに固定されている。これにより、リング軸部材８４０は、リング挿入部６２０Ｅと一体をなして移動可能とされている。

リング軸部材保持部８５０は、ケーシング２Ｅに固定されている。リング軸部材保持部８５０は、ケーシング２Ｅに接触する第一保持部８５１と、吐出側ヘッド本体１４６Ｅから離れた配置される第二保持部８５２とを有している。

第一保持部８５１は、断面板状をなし、軸線Ｏを中心とする円環状に形成されている。リング軸部材保持部８５０がケーシング２Ｅに固定された際に、第一保持部８５１の軸方向Ｄａの内側を向く面は、ケーシング２Ｅの軸方向Ｄａの外側を向く端面と接触可能とされている。第一保持部８５１には、軸方向Ｄａに連通する第一保持部連通孔８５５が形成されている。第一保持部連通孔８５５は、リング軸部材保持部８５０がケーシング２Ｅに固定された状態で、軸方向Ｄａから見た際に、ケーシング２Ｅの端面と重なる位置に形成されている。

第二保持部８５２は、第一保持部８５１から径方向Ｄｒの内側に向かって突出している。第二保持部８５２は、軸方向Ｄａの厚みが第一保持部８５１よりも薄い断面板状をなし、軸線Ｏを中心とする円環状に形成されている。第二保持部８５２の軸方向Ｄａの外側を向く面は、第一保持部８５１の軸方向Ｄａの外側を向く面と連続する平面である。リング軸部材保持部８５０がケーシング２Ｅに固定された際に、第二保持部８５２の軸方向Ｄａの内側を向く面は、吐出側ヘッド外装面２４５Ｅと離れた位置で対向している。第二保持部８５２には、軸方向Ｄａに連通する第二保持部連通孔８５６が形成されている。第二保持部連通孔８５６は、リング軸部材保持部８５０がケーシング２Ｅに固定された状態で、軸方向Ｄａから見た際に、リング軸部材挿通孔８３０と重なる位置に形成されている。

保持部固定孔８６０は、ケーシング２Ｅの軸方向Ｄａの外側を向く端面に形成されている。保持部固定孔８６０は、内部に雌ネジを有するネジ孔ある。保持部固定孔８６０は、リング軸部材保持部８５０がケーシング２Ｅに固定された状態で、軸方向Ｄａから見た際に、第一保持部連通孔８５５と重なる位置に形成されている。

保持部固定部材８７０は、外周面に雄ネジを有する保持部固定軸部８７１と、保持部固定軸部８７１の端部に形成された保持部固定頭部８７２とを有するボルトである。保持部固定軸部８７１は、第一保持部連通孔８５５に挿通された状態で先端が保持部固定孔８６０に固定されている。保持部固定頭部８７２は、第一保持部８５１よりも軸方向Ｄａの外側に配置されている。

リング第一ナット８８０は、内部にリング軸部材８４０の雄ねじに螺合する雌ねじが設けられている。リング第一ナット８８０は、リング軸部材８４０を内部に挿通させた状態で、リング軸部材８４０の延びる方向に沿って、リング軸部材８４０に対して相対移動可能とされている。リング第一ナット８８０は、第二保持部８５２に対して軸方向Ｄａの内側（ケーシング２Ｅ側）に配置されている。リング第一ナット８８０は、第二保持部８５２におけるケーシング２Ｅ側を向く面に接触した状態で配置されている。

リング第二ナット８９０は、内部にリング軸部材８４０の雄ねじに螺合する雌ねじが設けられている。リング第二ナット８９０は、リング第一ナット８８０と同様に、リング軸部材８４０の延びる方向に沿って、リング軸部材８４０に対して相対移動可能とされている。リング第二ナット８９０は、第二保持部８５２に対して軸方向Ｄａの外側に配置されている。リング第二ナット８９０は、第二保持部８５２における軸方向Ｄａの外側を向く面に接触した状態で配置されている。

次に、第六実施形態に係る圧縮機の製造方法Ｓ１６について説明する。本実施形態の圧縮機の製造方法Ｓ１６は、図２４に示すように、第四実施形態と同様に、準備工程Ｓ１０６と、バンドル配置工程Ｓ３０と、上半ケーシング配置工程Ｓ４０と、ヘッドシール部移動工程Ｓ６６とを含んでいる。以下、第四実施形態での圧縮機の製造方法Ｓ１４と異なる点を説明する。

第六実施形態における準備工程Ｓ１０６では、上半ケーシング２１Ｅ及び下半ケーシング２２Ｅが準備される。その際、上半ケーシング２１Ｅ及び下半ケーシング２２Ｅの内周面にリング支持部８２０がそれぞれ形成される。また、上半ケーシング２１Ｅ及び下半ケーシング２２Ｅの軸方向Ｄａの外側を向く端面に保持部固定孔８６０が形成される。また、準備工程Ｓ１０６では、ロータ１１と、軸受部１２と、上半ダイヤフラム１３１と、下半ダイヤフラム１３２と、吸込側ヘッド１４１Ｅと、吐出側ヘッド１４２Ｅと、連通隙間シール部１６と、締結部１７と、リング挿入部６２０Ｅと、外側リングシール部６３０Ｅと、内側リングシール部６７０Ｅと、リング軸部材８４０と、リング軸部材保持部８５０と、リング第一ナット８８０と、リング第二ナット８９０と、がそれぞれ製造される等により準備される。その際、吸込側ヘッド１４１Ｅ及び吐出側ヘッド本体１４６Ｅには、リング収容溝８１０、内側取付溝６７１Ｅ、及びリング軸部材挿通孔８３０が形成される。形成された内側取付溝６７１Ｅには、内側リングシール部６７０Ｅが取り付けられる。また、リング挿入部６２０Ｅには、外側取付溝６３１Ｅ及びリング軸部材固定孔６２１Ｅが形成される。リング軸部材固定孔６２１Ｅにリング軸部材８４０が固定されたリング挿入部６２０Ｅは、リング軸部材８４０がリング軸部材挿通孔８３０に挿入された状態で、リング収容溝８１０において、第一位置に配置される。第一位置では、リング挿入部６２０Ｅと内側リングシール部６７０Ｅとは接触していない。この状態で、一つの部品として一体化されたバンドル１０が準備される。なお、このバンドル１０は、軸方向Ｄａの両端からリング軸部材８４０が突出した状態で準備される。

ヘッドシール部移動工程Ｓ６６は、上半ケーシング配置工程Ｓ４０を実施後に実施される。ヘッドシール部移動工程Ｓ６６では、第二保持部連通孔８５６にリング軸部材８４０が挿入された状態で、保持部固定部材８７０によって、ケーシング２Ｅに対してリング軸部材保持部８５０が固定される。この状態で、第二保持部８５２とケーシング２Ｅとの間でリング第一ナット８８０にリング軸部材８４０を螺合させる。また、リング軸部材８４０における軸方向Ｄａの外側の先端にリング第二ナット８９０を螺合させる。その後、リング第一ナット８８０は、第二保持部８５２のケーシング２Ｅ側を向く面に接触する位置まで移動される。また、リング第二ナット８９０は、第二保持部８５２において軸方向Ｄａの外側を向く面に接触する位置まで移動される。

その後、ヘッドシール部移動工程Ｓ６６では、リング第一ナット８８０及びリング第二ナット８９０を軸方向Ｄａの外側に向かって移動させるようにリング軸部材８４０に対して回転させる。これにより、リング軸部材８４０が軸方向Ｄａの外側に向かって移動する。リング軸部材８４０が移動することで、リング挿入部６２０Ｅも軸方向Ｄａの外側に移動される。その結果、リング挿入部６２０Ｅは、第一位置から第二位置に移動する。リング本体６１０が軸方向Ｄａの外側に向かって第二位置まで移動することで、内側取付溝６７１Ｅに収容された内側リングシール部６７０Ｅがリング挿入部６２０Ｅの内周面と接触する。また、外側取付溝６３１Ｅに収容された外側リングシール部６３０Ｅがケーシング２Ｅの内周面と接触する。この状態で、リング第一ナット８８０及びリング第二ナット８９０は第二保持部８５２に密着する位置まで移動される。これにより、リング軸部材８４０の位置が保持され、リング挿入部６２０Ｅの位置が第二位置に固定される。

上述したような圧縮機１Ｅ及び圧縮機の製造方法Ｓ１６によれば、バンドル１０とケーシング２Ｅとが組み付けられた後に、リング軸部材８４０を外部から移動させることで、ケーシング２Ｅとバンドル１０とによって閉塞された空間内に配置されたリング挿入部６２０Ｅを移動させることができる。その結果、リング挿入部６２０Ｅが第一位置から第二位置まで移動し、吸込側ヘッド１４１Ｅ及び吐出側ヘッド１４２Ｅと、ケーシング２Ｅとの間をシールすることができる。したがって、第四実施形態と同様に、下半ケーシング２２Ｅにバンドル１０を設置する場合や、バンドル１０上に上半ケーシング２１Ｅを設置する場合に、分割面に挟まれたり、ケーシング２Ｅにこすられたりすることで生じるＯリングの損傷を低減することができる。これにより、ヘッド１４Ｅとケーシング２Ｅとの間のシール性を安定して確保することができる。

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。

即ち、本発明の圧縮機は、上述した実施形態のいずれかが組み合わされた構成であってもよい。例えば、実施形態の第一変形例の圧縮機１Ｆは、第二実施形態の構造と第三実施形態の構造とが組み合わされた構造を有していてもよい。図２５に示すように、第一変形例の圧縮機１Ｆは、軸方向Ｄａの一方側と他方側とで異なる構造を有する規制部１８Ｆを備えている。

規制部１８Ｆは、軸方向Ｄａの一方側では第三実施形態の規制部１８Ｂと同様の構成を有し、軸方向Ｄａの他方側では第二実施形態の規制部１８Ａと同様の構造を有している。

したがって、第一変形例のケーシング２Ｆの軸方向Ｄａの一方側の端部は、吸込側ヘッド１４１Ｂよりも軸方向Ｄａの外側に突出するように形成されている。ケーシング２Ｆの軸方向Ｄａの一方側の端部には、規制収容凹部４１０が形成されている。また、吸込側ヘッド１４１Ｂには、ヘッド規制収容溝４２０が形成されている。圧縮機１Ｆにおける軸方向Ｄａの一方側で、規制収容凹部４１０及びヘッド規制収容溝４２０に、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０が取り付けられている。

また、第一変形例のケーシング２Ｆの他方側の端部には、上半ケーシング２１Ｆにおいて吐出側ヘッド１４２Ａに対して軸方向Ｄａの外側に設けられている第二上半突出部３２２と、下半ケーシング２２Ｆにおいて吐出側ヘッド１４２Ａに対して軸方向Ｄａの外側に設けられている第二下半突出部３６２とが形成されている。

次に、第一変形例に係る圧縮機の製造方法Ｓ１７について説明する。本実施形態の圧縮機の製造方法Ｓ１７は、図２６に示すように、準備工程Ｓ１０７と、バンドル配置工程Ｓ３０と、上半ケーシング配置工程Ｓ４０と、バンドル位置調整工程Ｓ９５と、規制部材配置工程Ｓ９７とを含んでいる。

第一変形例における準備工程Ｓ１０７では、上半ケーシング２１Ｆ及び下半ケーシング２２Ｆが準備される（ケーシング準備工程Ｓ１１７）。その際、上半ケーシング２１Ｆ及び下半ケーシング２２Ｆの軸方向Ｄａの他方側の端部には、第二上半突出部３２２及び第二下半突出部３６２がそれぞれ形成される。また、上半ケーシング２１Ｆ及び下半ケーシング２２Ｆの軸方向Ｄａの一方側の端部には、規制収容凹部４１０がそれぞれ形成される。また、準備工程Ｓ１０７では、ロータ１１と、軸受部１２と、上半ダイヤフラム１３１と、下半ダイヤフラム１３２と、吸込側ヘッド１４１Ｂと、吐出側ヘッド１４２Ａと、連通隙間シール部１６と、締結部１７と、がそれぞれ製造される等により準備される（バンドル準備工程Ｓ１２７）。その際、吸込側ヘッド１４１Ｂには、ヘッド規制収容溝４２０が形成される。

また、第一変形例に係る圧縮機の製造方法Ｓ１７では、上半ケーシング配置工程Ｓ４０後に、バンドル位置調整工程Ｓ９５が実施される。バンドル位置調整工程Ｓ９５では、第二上半突出部３２２及び第二下半突出部３６２に吐出側ヘッド外装面２４５Ａが接触するように、ケーシング２Ｆ内のバンドル１０が軸方向Ｄａの一方側から他方側に向かって押される。この状態で、規制収容凹部４１０及びヘッド規制収容溝４２０に対して、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０が収容可能となる位置までバンドル１０の軸方向Ｄａの位置が調整される。

バンドル位置調整工程Ｓ９５後に、規制部材配置工程Ｓ９７が実施される。バンドル１０の軸方向Ｄａの位置が調整された状態で、第一規制部材４３０は、規制収容凹部４１０に挿入された後に、軸方向Ｄａの内側に移動されてヘッド規制収容溝４２０に挿入される。その後、第一規制部材４３０に対して軸方向Ｄａの外側で、第二規制部材４４０が規制収容凹部４１０に圧入される。その結果、第一規制部材４３０及び第二規制部材４４０は、規制収容凹部４１０及びヘッド規制収容溝４２０に収容された状態で、互いに接触した状態となる。これにより、第一変形例の圧縮機１Ｆによっても第二実施形態や第三実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

また、例えば、上述した各実施形態では、各部品を一から形成して組み立てて圧縮機を製造する製造方法を説明したが。圧縮機の製造方法Ｓ１，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７は、一から圧縮機を製造する場合のみに限定されるものではない。例えば、圧縮機の製造方法Ｓ１，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７は、修理や検査を行う際に圧縮機を分解して再度組み立てる際に用いられてもよい。この際、使用済みのバンドルとバンドル準備工程Ｓ１２，Ｓ１２４，Ｓ１２５，Ｓ１２６で新たに準備されたバンドルとが交換される。また、修理や検査を行う際には、事前に上半ケーシングを取り外す工程や、使用済みのバンドルを取り外す工程をさらに含むこととなる。

また、圧縮機の製造方法Ｓ１，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７では、準備工程において、ケーシング準備工程、バンドル準備工程、ヘッドシール部準備工程、及び移動保持部準備工程は、上記のように同時に実施されることに限定されるものではない。例えば、ケーシング準備工程、バンドル準備工程、ヘッドシール部準備工程、及び移動保持部準備工程は、それぞれ別々に異なるタイミングで実施されてもよい。

また、上述した各実施形態において、バンドル１０を持ち上げたりおろしたりする際に、アイボルト５０１を用いたがこのような方法に限定されるものではない。例えば、第二変形例として、図２７に示すように、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６における鉛直方向Ｄｖの下端にワイヤ５０４を挿通可能なワイヤ挿通部９００が形成されていてもよい。ワイヤ挿通部９００は、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６の外周面から窪む溝として形成されていてよく、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体１４６を貫通する孔として形成されていてもよい。また、ワイヤ挿通部９００は、吸込側ヘッド１４１及び吐出側ヘッド本体だけでなく、任意のダイヤフラム１３に形成されていてもよい。

このようにワイヤ挿通部９００を設けることで、バンドル１０の重量が大きくなってしまっても、バンドル１０を安定した状態で移動させることができる。

また、上記各実施形態では、圧縮機として、一軸多段遠心圧縮機を例示したが、本発明の圧縮機はこれに限られるものではない。例えば、圧縮機は、軸流の圧縮機であってもよい。

また、バンドルの構成は、本実施形態の構成に限定されるものではない。バンドルは、圧縮機の構成要素のうち、ケーシングを除いた他の構成要素を含んでいてもよく、本実施形態の構成の一部が含まれていなくてもよい。

上記した圧縮機によれば、ケーシングの内周面と、ダイヤフラムの外周面との間での漏れを低減させることができる。

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ・・・圧縮機
Ｄａ・・・軸方向
Ｄｒ・・・径方向
Ｄｖ・・・鉛直方向
Ｄｈ・・・水平方向
Ｄｃ・・・周方向
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ，２Ｆ・・・ケーシング
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｆ・・・上半ケーシング
２１１・・・上半ケーシング分割面
２２，２２Ａ，２２Ｆ・・・下半ケーシング
２２１・・・下半ケーシング分割面
２３・・・吸込ポート
２４・・・吐出ポート
１０・・・バンドル
１１・・・ロータ
Ｏ・・・軸線
１１１・・・ロータ軸
１１２・・・インペラ
１２・・・軸受部
１２１・・・ジャーナル軸受
１２２・・・スラスト軸受
１２３・・・軸受カバー
１３・・・ダイヤフラム
１３１・・・上半ダイヤフラム
１３２・・・下半ダイヤフラム
２３１・・・溶接部
２３２・・・溶接部溝
１３５・・・入口壁
２３３・・・シール取付溝
１３６・・・最終段ダイヤフラム
２３４・・・最終段ダイヤフラム接触面
２３５・・・ケーシング流路
２３６・・・吸込口
２３７・・・吐出口
１４，１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄ，１４Ｅ・・・ヘッド
１４１，１４１Ａ、１４１Ｂ，１４１Ｃ・・・吸込側ヘッド
２４１，２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ・・・吸込側ヘッド外装面
１４２，１４２Ａ，１４２Ｂ，１４２Ｃ，１４２Ｄ，１４２Ｅ・・・吐出側ヘッド
１４５，１４５Ｄ・・・出口壁部
２４２・・・出口内側面
２４３・・・出口外側面
１４６，１４６Ａ，１４６Ｂ，１４６Ｃ，１４６Ｄ，１４６Ｅ・・・吐出側ヘッド本体
２４４，２４４Ｅ・・・吐出側ヘッド本体内側面
２４５，２４５Ａ，２４５Ｂ，２４５Ｃ，２４５Ｄ，２４５Ｅ・・・吐出側ヘッド外装面
１５，１５Ｃ，１５Ｄ、１５Ｅ・・・ヘッドシール部
１５１・・・第一ヘッドシール部
１５２・・・第二ヘッドシール部
２５１・・・ヘッドシール取付溝
１６・・・連通隙間シール部
２６１・・・隙間シール取付溝
Ｃ・・・連通隙間
１７０・・・ボルト部材
１７・・・締結部
１７１・・・被固定孔
２７１・・・被固定ネジ孔
２７２・・・被固定貫通孔
１７２・・・ボルト取付溝
２７３・・・溝内側面
１７３・・・締結貫通孔
１７４・・・ボルト部材
２７４・・・軸部
２７５・・・頭部
１７５・・・弾性部材
１８，１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｄ，１８Ｆ・・・規制部
１８１，１８１Ｄ・・・嵌合凹部
１８２，１８２Ｄ・・・嵌合凸部
Ｓ１，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７・・・圧縮機の製造方法
Ｓ１０，Ｓ１０４，Ｓ１０５，Ｓ１０６，Ｓ１０７・・・準備工程
Ｓ１１，Ｓ１１４，Ｓ１１５，Ｓ１１６，Ｓ１１７・・・ケーシング準備工程
Ｓ１２，Ｓ１２４，Ｓ１２５，Ｓ１２６，Ｓ１２７・・・バンドル準備工程
Ｓ３０・・・バンドル配置工程
５０１・・・アイボルト
５０２・・・ガイド板
５０３・・・ガイド棒
５０４・・・ワイヤ
Ｓ４０・・・上半ケーシング配置工程
３１・・・上半ケーシング本体
３２・・・上半突出部
３２１・・・第一上半突出部
３２２・・・第二上半突出部
３５・・・下半ケーシング本体
３６・・・下半突出部
３６１・・・第一下半突出部
３６２・・・第二下半突出部
３７０・・・隙間拡大凹部
４１０・・・規制収容凹部
４１１・・・規制収容凹部底面
４１２・・・規制収容凹部第一面
４１３・・・規制収容凹部第二面
４２０・・・ヘッド規制収容溝
４２１・・・規制収容溝第一面
４２２・・・規制収容溝第二面
４３０・・・第一規制部材
４３１・・・第一収容部
４３２・・・第二収容部
４４０・・・第二規制部材
６００，６００Ｄ・・・シールリング
６１０，６１０Ｄ・・・リング本体
６１１・・・リング本体貫通孔
６２０，６２０Ｅ・・・リング挿入部
６３０，６３０Ｅ・・・外側リングシール部
６３１，６３１Ｅ・・・外側取付溝
６４０・・・リング固定部材
６４１・・・リング固定軸部
６４２・・・リング固定頭部
６５０・・・シールリング固定孔
６６０・・・リング挿入溝
６６１・・・リング挿入溝第一面
６６２・・・リング挿入溝第二面
６７０，６７０Ｅ・・・内側リングシール部
６７１，６７１Ｅ・・・内側取付溝
６８０・・・挿入隙間拡径部
Ｓ５０，Ｓ５５，Ｓ５６・・・ヘッドシール部準備工程
Ｓ６０，Ｓ６５，Ｓ６６・・・ヘッドシール部移動工程
７００・・・移動保持部
７１０・・・被固定部材
７１１・・・被固定部材連通孔
７２０・・・軸部材
７２１・・・軸部材固定孔
７３０・・・第一ナット
７４０・・・第二ナット
Ｓ７０・・・移動保持部準備工程
Ｓ８０・・・固定解除工程
Ｓ９０・・・吐出側ヘッド移動工程
８００・・・リング収容部
８１０・・・リング収容溝
８１１・・・リング収容溝第一面
８１２・・・リング収容溝第二面
８２０・・・リング支持部
８２１・・・リング支持面
６２１Ｅ・・・リング軸部材固定孔
８３０・・・リング軸部材挿通孔
８４０・・・リング軸部材
８５０・・・リング軸部材保持部
８５１・・・第一保持部
８５５・・・第一保持部連通孔
８５２・・・第二保持部
８５６・・・第二保持部連通孔
８６０・・・保持部固定孔
８７０・・・保持部固定部材
８７１・・・保持部固定軸部
８７２・・・保持部固定頭部
８８０・・・リング第一ナット
８９０・・・リング第二ナット
９００・・・ワイヤ挿通部
Ｓ９５・・・バンドル位置調整工程
Ｓ９７・・・規制部材配置工程

Claims (18)

1. 鉛直方向の下方を向く水平面である上半ケーシング分割面を有する上半ケーシング、及び、前記上半ケーシング分割面に当接可能な下半ケーシング分割面を有する下半ケーシング、を有し、両端が開口した筒状をなすケーシングと、
   軸線を中心として回転可能とされたインペラ、前記インペラが内部に収容されて流体を前記インペラの流路に導入する流路が形成された複数のダイヤフラム、及び、前記複数のダイヤフラムに対して前記軸線の延びる軸方向の両側にそれぞれ固定されて前記ケーシングの開口を閉塞する環状のヘッド、を有し、前記ケーシング内に収容されたバンドルと、
   流体が流入する吸込口と流体が排出される吐出口とを連通するように前記ダイヤフラムの外周面と前記ケーシングの内周面との間で前記軸方向に延びている連通隙間をシールする連通隙間シール部と、
   前記ケーシング及び前記ヘッドの少なくとも一方に設けられ、前記ケーシングに対する前記ヘッドの前記軸方向の位置を規制する規制部と、を備え、
   前記連通隙間シール部は、Ｏリングであり、
   前記ダイヤフラムの外周面には、前記連通隙間シール部が取り付けられる隙間シール取付溝が形成され、
   前記隙間シール取付溝は、前記ダイヤフラムにおける鉛直方向の上方の頂点及び鉛直方向の下方の頂点の少なくとも一方から周方向に向かうにしたがって深くなるように傾斜している圧縮機。
2. 前記規制部は、
   前記ヘッドの外周面及び前記ケーシングの内周面の一方に形成される嵌合凹部と、
   前記ヘッドの外周面及び前記ケーシングの内周面の他方に形成されて前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部とを有する請求項１に記載の圧縮機。
3. 前記規制部は、前記ケーシングにおいて、前記ヘッドに対して前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側に設けられ、前記ヘッドの前記軸方向の外側を向く面と接触している請求項１に記載の圧縮機。
4. 前記ケーシングは、
   前記バンドルの外周面を覆うケーシング本体と、
   前記規制部であって、前記ケーシング本体から径方向の内側に向かって突出し、前記ヘッドの前記軸方向の外側を向く端面と接触している突出部とを有する請求項３に記載の圧縮機。
5. 前記規制部は、
   前記ヘッドに対して少なくとも一部が前記軸方向の外側に位置するように、前記ケーシングの内周面から窪む規制収容凹部と、
   前記規制収容凹部に収容されて、前記ヘッドにおける前記軸方向の外側を向く面と接触する第一規制部材と、
   前記第一規制部材よりも前記軸方向の外側で前記規制収容凹部に収容されて、前記規制収容凹部において前記ダイヤフラムが配置されている側である前記軸方向の内側を向く面、及び前記第一規制部材における前記軸方向の外側を向く面と接触している第二規制部材とを有する請求項３又は請求項４に記載の圧縮機。
6. 前記隙間シール取付溝は、前記ダイヤフラムにおける鉛直方向の上方の頂点及び鉛直方向の下方の頂点に対して前記ダイヤフラムにおける周方向に９０度異なる水平方向の両端の位置で最も深くなるように形成されている請求項１から請求項５の何れか一項に記載の圧縮機。
7. 前記吐出口に近い位置に配置された前記ヘッドである吐出側ヘッドと、前記ダイヤフラムとを固定する締結部を備え、
   前記締結部は、
   前記吐出側ヘッド及び前記ダイヤフラムの一方における前記軸方向を向く面に形成されて内部に雌ネジを有する被固定孔と、
   前記吐出側ヘッド及び前記ダイヤフラムの他方において、前記軸方向から見た際に、前記被固定孔と重なる位置に形成される締結貫通孔と、
   外周面に雄ネジを有し、前記締結貫通孔に挿通された状態で前記被固定孔に固定される軸部、及び、前記軸部の端部に形成された頭部を有するボルト部材と、
   前記ボルト部材の頭部と、前記締結貫通孔が形成された面との間に配置された弾性部材とを有する請求項１から請求項６の何れか一項に記載の圧縮機。
8. 前記ヘッドと前記ケーシングとの間をシールするヘッドシール部を備え、
   前記ヘッドシール部は、
   前記ヘッド又は前記ケーシングの外部から前記軸方向に移動可能とされ、前記ヘッドの外周面と前記ケーシングの内周面との間に挿入される環状のリング挿入部と、
   前記リング挿入部の内周面と前記ヘッドの外周面との間をシールする内側リングシール部と、
   前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面との間をシールする外側リングシール部と、有する請求項１から請求項７の何れか一項に記載の圧縮機。
9. 前記リング挿入部は、前記ヘッド又は前記ケーシングに対して前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側から着脱可能とされている請求項８に記載の圧縮機。
10. 前記外側リングシール部に対して前記軸方向にずれた位置で、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面との間の隙間を広げる挿入隙間拡径部が形成されている請求項８又は請求項９に記載の圧縮機。
11. 前記ケーシングに対して、前記吐出口に近い位置に配置された前記ヘッドである吐出側ヘッドを前記軸方向に相対移動可能、かつ、前記軸方向の任意の位置で前記吐出側ヘッドの位置を保持可能な移動保持部、を備え、
    前記移動保持部は、
    前記吐出側ヘッドを前記ダイヤフラムから最も離れた位置であって、前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側に向かって前記吐出側ヘッドが移動不能な位置で前記吐出側ヘッドの位置を保持している請求項１から請求項１０の何れか一項に記載の圧縮機。
12. 前記移動保持部は、
    前記軸方向に連通する被固定部材連通孔が形成され、前記吐出側ヘッドに固定された被固定部材と、
    外周面に雄ねじが設けられ、前記被固定部材連通孔に挿通された状態で一端が前記ケーシングに固定された軸部材と、
    内部に雌ねじが設けられて前記軸部材を内部に挿通させた状態で前記軸部材に対して相対移動可能とされ、前記被固定部材に対して前記軸方向のケーシング側に配置されている第一ナットと、
    内部に雌ねじが設けられて前記軸部材を内部に挿通させた状態で前記軸部材に対して相対移動可能とされ、前記被固定部材に対して前記第一ナットと反対側に配置されている第二ナットと、を有する請求項１１に記載の圧縮機。
13. 前記ヘッドにおける前記鉛直方向の下端にワイヤを挿通可能なワイヤ挿通部が形成されている請求項１から請求項１２の何れか一項に記載の圧縮機。
14. 鉛直方向の下方を向く水平面である上半ケーシング分割面を有する上半ケーシング、及び、前記上半ケーシング分割面に当接可能な下半ケーシング分割面を有する下半ケーシング、を有し、両端が開口した筒状をなすケーシングを準備するケーシング準備工程と、
    軸線を中心として回転可能とされたインペラ、前記インペラが内部に収容されて流体を前記インペラの流路に導入する流路が形成された複数のダイヤフラム、前記複数のダイヤフラムに対して前記軸線の延びる軸方向の両側にそれぞれ固定されて前記ケーシングの開口を閉塞する環状のヘッド、及び、前記ダイヤフラムの外周面に設けられた連通隙間シール部、を有するバンドルを準備するバンドル準備工程と、
    前記下半ケーシングに対して前記鉛直方向の上方から前記バンドルを降下させ、前記ダイヤフラムの外周面と前記下半ケーシングの内周面との間に、流体が流入する吸込口と流体が排出される吐出口とを連通するように前記軸方向に延びる隙間が形成されるように、前記下半ケーシングの内周側に前記バンドルを収容するバンドル配置工程と、
    前記バンドルに対して前記鉛直方向の上方から前記上半ケーシングを降下させ、前記ダイヤフラムの外周面と前記上半ケーシングの内周面との間に、前記吸込口と前記吐出口とを連通するように前記軸方向に延びる隙間が形成されるように、前記バンドルが収容された前記下半ケーシング上に前記上半ケーシングを配置し、前記下半ケーシング分割面に対して前記上半ケーシング分割面を当接させる上半ケーシング配置工程と、含み、
    前記バンドル配置工程では、前記下半ケーシングに対して前記ヘッドの前記軸方向の位置が規制された状態で、前記連通隙間シール部が前記下半ケーシングの内周面と接触するように前記バンドルが配置され、
    前記上半ケーシング配置工程では、前記上半ケーシングに対して前記ヘッドの前記軸方向の位置が規制された状態で、前記連通隙間シール部が前記上半ケーシングの内周面と接触するように前記上半ケーシングが配置され、
    前記連通隙間シール部は、Ｏリングであり、
    前記ダイヤフラムの外周面には、前記連通隙間シール部が取り付けられる隙間シール取付溝が形成され、
    前記隙間シール取付溝は、前記ダイヤフラムにおける前記鉛直方向の上方の頂点及び前記鉛直方向の下方の頂点の少なくとも一方から周方向に向かうにしたがって深くなるように傾斜している圧縮機の製造方法。
15. 前記ヘッドの外周面と前記ケーシングの内周面との間に挿入可能な環状のリング挿入部と、前記リング挿入部の内周面と前記ヘッドの外周面との間をシール可能な内側リングシール部と、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面との間をシール可能な外側リングシール部と、有し、前記ヘッドと前記ケーシングとの間をシールするヘッドシール部を準備するヘッドシール部準備工程と、
    前記上半ケーシング配置工程後に実施され、前記ヘッド又は前記ケーシングの外部から前記リング挿入部を前記軸方向に移動させることで、前記リング挿入部の内周面と前記ヘッドの外周面とに前記内側リングシール部を接触させるとともに、前記リング挿入部の外周面と前記ケーシングの内周面とに前記外側リングシール部を接触させるヘッドシール部移動工程と、をさらに含む請求項１４に記載の圧縮機の製造方法。
16. 前記ヘッドシール部移動工程では、前記ヘッド又は前記ケーシングに対して前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側から、前記ヘッドの外周面と前記ケーシングの内周面との間に前記リング挿入部が挿入される請求項１５に記載の圧縮機の製造方法。
17. 前記ケーシングに対して、前記吐出口に近い位置に配置された前記ヘッドである吐出側ヘッドを前記軸方向に相対移動可能、かつ、前記軸方向の任意の位置で前記吐出側ヘッドの位置を保持可能な移動保持部を準備する移動保持部準備工程と、
    前記バンドル配置工程後、かつ、前記上半ケーシング配置工程前に実施され、前記吐出側ヘッドと前記ダイヤフラムとの固定を解除する固定解除工程と、
    前記上半ケーシング配置工程後に実施され、前記吐出側ヘッドを前記ダイヤフラムから最も離れた位置であって、前記ダイヤフラムが配置されている側と反対側である前記軸方向の外側に向かって前記吐出側ヘッドが移動不能な位置まで、前記移動保持部によって移動させた後に前記吐出側ヘッドの位置を保持する吐出側ヘッド移動工程とをさらに含む請求項１４から請求項１６の何れか一項に記載の圧縮機の製造方法。
18. 前記バンドル準備工程では、前記下半ケーシングに対して前記バンドルが配置された状態で外部と連通する位置のみで前記吐出側ヘッドと前記ダイヤフラムとを固定する請求項１７に記載の圧縮機の製造方法。

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