JP6950285B2 - Manufacturing method of optical equipment - Google Patents
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Description
本発明は、光学装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical device.
特許文献1には、複数個の発光素子アレイチップが主走査方向に直線状に配列されているヘッド基板の上方に、上部にロッド光学部材が挿入される矩形状の枠体を有したハウジングを配設してなる光プリンタヘッドが記載されている。
本発明は、矯正された状態で光学部材が接着剤を用いて筐体に取り付けられている光学装置を得ることを目的とする。 An object of the present invention is to obtain an optical device in which an optical member is attached to a housing by using an adhesive in a corrected state.
第1態様の光学装置の製造方法は、開口部に光学部材が挿入された長尺状の筐体を治具に取り付けた状態で、前記筐体に矯正力を付与して該筐体を前記治具に対して矯正する筐体矯正状態、及び前記筐体に短手方向から挟持する挟持力を付与して前記光学部材を前記筐体に対して矯正する光学部材矯正状態を形成する矯正工程と、前記光学部材矯正状態で前記光学部材を前記筐体に接着剤で固定する固定工程と、を備えている。 In the method for manufacturing an optical device according to the first aspect , in a state where a long housing having an optical member inserted in an opening is attached to a jig, a correction force is applied to the housing to obtain the housing. A straightening step of forming a housing straightening state for correcting the jig and an optical member straightening state for correcting the optical member with respect to the housing by applying a holding force to the housing from the lateral direction. And a fixing step of fixing the optical member to the housing with an adhesive in the state of correcting the optical member.
第2態様の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記光学部材矯正状態を形成する。 In the method of manufacturing the optical device of the second aspect, the straightening step forms the optical member straightening state after forming the housing straightening state.
第3態様の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記矯正力を解除してから前記光学部材矯正状態を形成する。 In the method of manufacturing the optical device according to the third aspect, in the straightening step, after forming the housing straightening state, the straightening force is released, and then the optical member straightening state is formed.
第4態様の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を維持したまま前記光学部材矯正状態を形成する。 In the method of manufacturing the optical device of the fourth aspect, the straightening step forms the optical member straightening state while maintaining the housing straightening state.
第5態様の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる押圧力を前記筐体の短手方向の両側部に加えて前記筐体矯正状態及び前記光学部材矯正状態を形成する。 In the method for manufacturing an optical device according to a fifth aspect, in the straightening step, a pressing force generated by the straightening force and the holding force as a component force is applied to both side portions of the housing in the lateral direction, and the housing is corrected. And the optical member corrected state is formed.
第6態様の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体の前記両側部に形成された傾斜面に対して交差する方向へ押圧力を加えて前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる。 In the method of manufacturing the optical device of the sixth aspect, in the straightening step, a pressing force is applied in a direction intersecting the inclined surfaces formed on both side portions of the housing to divide the straightening force and the holding force. Generate as a force.
第1態様の光学装置の製造方法では、矯正された状態で接着剤を用いて筐体に取り付けられている光学部材を得ることができる。 In the method for manufacturing an optical device of the first aspect , it is possible to obtain an optical member attached to a housing by using an adhesive in a straightened state.
第2態様の光学装置の製造方法では、治具に対してずれた状態で筐体が短手方向から挟持される場合と比して、光学部材の矯正不良を抑制することができる。 In the method of manufacturing the optical device of the second aspect , it is possible to suppress the correction failure of the optical member as compared with the case where the housing is sandwiched from the lateral direction in a state of being displaced from the jig.
第3態様の光学装置の製造方法では、筐体矯正状態を形成した後に矯正力を解除しない場合と比して、小さな挟持力で光学部材の矯正不良を抑制することができる。 In the method for manufacturing the optical device of the third aspect , it is possible to suppress the correction failure of the optical member with a small holding force as compared with the case where the correction force is not released after the housing correction state is formed.
第4態様の光学装置の製造方法では、筐体矯正状態を解除してから光学部材矯正状態を形成する場合と比して、筐体に対する光学部材の位置精度を高めることができる。 In the method of manufacturing the optical device of the fourth aspect , the positional accuracy of the optical member with respect to the housing can be improved as compared with the case where the optical member straightening state is formed after the housing straightening state is released.
第5態様の光学装置の製造方法では、筐体矯正状態を形成する機構と光学部材矯正状態を形成する機構とを用いる場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。 In the method for manufacturing the optical device according to the fifth aspect , the configuration can be simplified as compared with the case where the mechanism for forming the housing straightening state and the mechanism for forming the optical member straightening state are used.
第6態様の光学装置の製造方法では、筐体を斜めに押す場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。 In the method for manufacturing an optical device according to the sixth aspect , the configuration can be simplified as compared with the case where the housing is pushed diagonally.
<第一実施形態>
以下、図1から図14を参照しつつ、第一実施形態に係る光学装置の製造方法について説明する。
<First Embodiment>
Hereinafter, a method for manufacturing an optical device according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 14.
図1は、本実施形態に係る画像形成装置10を示す概略図であり、この画像形成装置10は、長尺の媒体に画像を形成する装置である。なお、図中に示す矢印Hは装置上下方向(鉛直方向)を示し、矢印Wは装置幅方向(水平方向)を示し、矢印Dは装置奥行方向(水平方向)を示す。
FIG. 1 is a schematic view showing an
(全体構成)
画像形成装置10の装置本体10Aには、転写ユニット32を構成すると共に、複数のローラ12に張架され、モータ(図示省略)の駆動により矢印A方向に周回される無端ベルト状の中間転写体ベルト14が設けられている。
(overall structure)
A
この画像形成装置10は、カラー画像の形成に対応しており、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(K)の4色に対応するトナー画像を形成する画像形成ユニット28Y、28M、28C、28Kが、中間転写体ベルト14の周回方向に沿って配置され、装置本体10Aに脱着可能に支持されている。
The
なお、各色に設けられた部材については、符号の末尾に各々の色を示すアルファベット(Y/M/C/K)を付与して示すが、特に色を区別せずに説明する場合は、この末尾のアルファベットを省略して説明する。 The members provided for each color are indicated by adding an alphabet (Y / M / C / K) indicating each color to the end of the code, but when the explanation is given without distinguishing the colors, this is used. The explanation will be made by omitting the alphabet at the end.
〔画像形成ユニット〕
画像形成ユニット28は、図示しないモータ及びギアからなる駆動手段によって時計方向へ回転する像保持体16を備えている。さらに、像保持体16の周面には、像保持体16の表面を所定の電位に一様に帯電させる帯電ローラ18が配置されている。
[Image formation unit]
The image forming unit 28 includes an image holder 16 that is rotated clockwise by a driving means including a motor and a gear (not shown). Further, on the peripheral surface of the image holder 16, a
また、像保持体16の回転方向において帯電ローラ18よりも下流側には、像保持体16上に光を照射して静電潜像を形成する露光装置20が像保持体16の軸方向に延びている。この露光装置20は、画像データに応じて光ビームを像保持体16に照射することにより、像保持体16上に静電潜像を形成する。なお、露光装置20については詳細を後述する。
Further, on the downstream side of the
さらに、像保持体16の回転方向において露光装置20よりも下流側には、像保持体16上に形成された静電潜像を所定色(イエロー/マゼンタ/シアン/ブラック)のトナーによって現像してトナー画像を形成させる現像装置22が配置されている。
Further, an electrostatic latent image formed on the image holder 16 is developed with toner of a predetermined color (yellow / magenta / cyan / black) on the downstream side of the
〔転写ユニット〕
像保持体16の回転方向において現像装置22よりも下流側には、転写ユニット32を構成する転写ローラ30が、中間転写体ベルト14を挟んで像保持体16の反対側に配置されている。
[Transfer unit]
A
これに対して、中間転写体ベルト14の周回方向において各色の像保持体16よりも下流側には、対向する2つのローラ34A、34Bを含んで構成される転写装置34が配置されている。そして、画像形成装置10の底部に設けられた用紙トレイ36から取り出されて、このローラ34A、34Bの間に搬送されてきた記録媒体としてのシート部材Pに、中間転写体ベルト14上に形成された最終トナー画像が転写される。
On the other hand, a
〔定着ユニット〕
また、最終トナー画像が転写されたシート部材Pの搬送経路には、定着装置40が設けられている。定着装置40に搬送されたシート部材Pは、加熱ローラ40Aと加圧ローラ40Bとによって挟持搬送されることにより、シート部材P上のトナーが、溶融すると共にシート部材Pに圧着されてシート部材Pに定着される。
[Fixing unit]
Further, a fixing
(全体構成の作用)
この画像形成装置10では、次のようにして画像が形成される。
(Action of the whole composition)
In this
先ず、帯電ローラ18が、像保持体16の表面を予定の帯電部電位で一様にマイナス帯電する。さらに、帯電された像保持体16上の画像部分が予定の露光部電位になるように露光装置20で露光を行ない像保持体16上に静電潜像が形成される。そして、回転する像保持体16上の静電潜像が現像装置22によってトナー画像として可視化される。
First, the charging
可視化された各色のトナー画像は、転写ローラ30の静電気力で中間転写体ベルト14へ順次転写され、中間転写体ベルト14上にカラーの最終トナー画像が形成される。
The visualized toner images of each color are sequentially transferred to the intermediate
この最終トナー画像は転写装置34に設けられたローラ34A、34Bの間に送り込まれる。そして、この最終トナー画像は、用紙トレイ36から取り出されてローラ34A、34Bの間に搬送されてきたシート部材Pに転写される。
This final toner image is sent between the
さらに、シート部材Pへ転写されたトナー画像は定着装置40でシート部材Pに定着され、シート部材Pは装置外へ排出される。
Further, the toner image transferred to the sheet member P is fixed to the sheet member P by the fixing
(要部構成)
次に、露光装置20の構成について説明する。
(Main part composition)
Next, the configuration of the
〔露光装置の構成〕
像保持体16の下方に配置された露光装置20は、図2及び図3に示すように、装置奥行方向Dへ延びるLEDプリントヘッドであり、露光装置20は、光学装置の一例である。
[Structure of exposure equipment]
As shown in FIGS. 2 and 3, the
露光装置20は、筐体58と、筐体58に取り付けられた実装基板50と、筐体58に固定された光学部材54を備えている。光学部材54は、図4に示すように、接着剤82によって筐体58に固定されており、接着剤82の表面は、封止剤84で覆われている。
The
[実装基板]
実装基板50は、図2及び図3に示したように、プリント配線基板であって、装置奥行方向Dに延びている。実装基板50は、基板本体52と、基板本体52に実装された複数の発光ダイオード62Aで構成された発光ダイオードアレイ62と、基板本体52に実装された電子部品64(図4参照)とを備えている。
[Mounting board]
As shown in FIGS. 2 and 3, the mounting
基板本体52は、板面が上下方向を向くように配置され、上方から見て、装置奥行方向Dに延びる矩形状とされている。
The substrate
発光ダイオード62Aは、発光素子の一例であって、基板本体52の上面に、装置奥行方向に延びるように、千鳥状に実装されている。
The
電子部品64は、図4に示したように、基板本体52の下面に実装されており、電子部品64は、各発光ダイオード62Aの発光を制御する。
As shown in FIG. 4, the
[光学部材]
光学部材54は、レンズアレイを構成し、図2及び図3に示したように、実装基板50の上方に配置され装置奥行方向Dに延びる直方体状とされている。そして、光学部材54は、装置奥行方向Dに延びるように、千鳥状に配置された複数のロッドレンズ56を備えており、発光ダイオードアレイ62の発光ダイオード62Aからの光がロッドレンズ56を透過する。
[Optical member]
The
また、本実施形態では、光学部材54が筐体58に取り付けられておらず、かつ、荷重が負荷されていない自由状態において、光学部材54には、1.5°程度の小さな捻れが生じている。この場合の光学部材54の捻れとは、光学部材54の長手方向NHに対して直交する断面において、光学部材54の一端から他端までの間で、光学部材54が傾くように変化する変形である。なお、各図において、光学部材54の捻れについては、捻れが小さいため省略する。
Further, in the present embodiment, in a free state in which the
この構成において、後述する筐体58に、光学部材54、及び実装基板50が取り付けられた状態で、光学部材54のロッドレンズ56と発光ダイオードアレイ62とが対向する。さらに、光学部材54の上方側の部分は、筐体58から突出する。そして、発光ダイオード62Aから出射された光は、ロッドレンズ56を透過し、像保持体16(図1参照)に結像する。
In this configuration, the
[筐体]
筐体58は、樹脂材料で一体的に形成され、装置奥行方向Dに延びる長尺状に形成されている。また、筐体58には、図3及び図4に示したように、上下方向に貫通する開口部74が装置奥行方向Dに延設されており、開口部74には、光学部材54の下方側の部分が挿入されている。そして、筐体58は、実装基板50が取り付けられた本体部70と、光学部材54を保持するレンズ保持部76とを有している。
[Case]
The
開口部74は、図4に示したように、光学部材54が挿入される挿入部74Aと、挿入部74Aの下部に設けられ挿入部74Aより幅広の幅広部74Bと、幅広部74Bの下部に設けられ幅広部74Bより幅広で下方へ開放された開放部74Cとを備える。幅広部74Bと開放部74Cとの間には、段部70Aが形成されており、段部70Aには、実装基板50の外周部分が支持された状態で図示せぬ接着剤等で固定されている。
As shown in FIG. 4, the
レンズ保持部76には、開口部74の挿入部74Aが形成されると共に、図3に示したように、光学部材54を装置幅方向Wから挟む一対の内壁面76Aが形成されている。また、レンズ保持部76には、装置幅方向Wの外側(光学部材54の反対側)を向く一対の外壁面76Bが形成されている。また、レンズ保持部76には、上方を向いた上向き面76Cが形成されている。
The
この上向き面76Cには、図2及び図3に示したように、光学部材54を筐体58に取り付けるための接着剤82が付与される付与部80が、複数形成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, a plurality of imparting
具体的には、付与部80は、開口部74を挟んで、装置幅方向Wに対向するように形成され、対向した一対の付与部80が、装置奥行方向Dに間隔を空けて複数配置されている。そして、夫々の付与部80は、上方側の部分が開いたテーパー形状とされている。
Specifically, the granting
この構成において、光学部材54の下方側の部分を、筐体58の開口部74に挿入し、光学部材54を筐体58に取り付ける前の状態では、装置幅方向Wにおいて、内壁面76Aと光学部材54との間に隙が生じている(隙間を誇張して記載した図12参照)。
In this configuration, in the state before the lower portion of the
[接着剤・封止剤]
接着剤82は、紫外線硬化型の接着剤である。この接着剤82は、図2及び図3に示したように、筐体58のレンズ保持部76に形成された付与部80に充填されている。接着剤82は、自由状態で、捻れが生じている光学部材54の形状が矯正された状態で、光学部材54を筐体58に接着して取り付けている。
[Adhesive / Sealant]
The adhesive 82 is an ultraviolet curable adhesive. As shown in FIGS. 2 and 3, the adhesive 82 is filled in the applying
ここで、「捻れが生じている光学部材54の形状が矯正された状態で、光学部材54を筐体58に接着して取り付けている」とは、接着剤82による光学部材54の拘束を解除すると、光学部材54の捻れが再現されることである。具体的には、筐体58に取り付けられている光学部材54を筐体58から取り外すと、光学部材54の装置幅方向Wを向く側面54A(図3参照)の平面度(JISB0419 1991)が、0.05以上悪化し、光学部材54の捻れが再現されることである。
Here, "the
封止剤84は、図4に示したように、光学部材54と筐体58との間を封止するように塗布されている。そして、封止剤84は、埃等が、露光装置20の外部から露光装置20の内部に侵入するのを防止している。
As shown in FIG. 4, the sealing
〔露光装置の製造装置〕
次に、図5から図7を参照しつつ、露光装置20を製造するための露光装置の製造装置100について説明する。
[Manufacturing equipment for exposure equipment]
Next, the
製造装置100は、露光装置20がセットされる治具102を備えている。製造装置100は、図5及び図6に示したように、露光装置20の筐体58に矯正力F1を付与して筐体58の治具102への取付状態を矯正する筐体矯正部104を備えている。また、製造装置100は、図7に示したように、筐体58に短手方向THから挟持する挟持力F2を付与して光学部材54の筐体58への取付状態を矯正する光学部材矯正部106とを備えている。
The
[治具]
治具102は、図5から図7に示すように、露光装置20より長さ寸法が長い平板状のベース102Aと、ベース102Aの中央部に突設された凸部102Bと、凸部102Bの中央部より延出した板状の延出部102Cとを有している。
[jig]
As shown in FIGS. 5 to 7, the
凸部102Bは、図6に示したように、セットされた筐体58の開口部74における幅広部74Bに嵌め込める大きさに形成されている。凸部102Bの上面102Dは、筐体58の段部70Aを面接触させた状態で筐体58への治具102の挿入量(装置上下方向H方向の位置)を規定する基準面を構成する。すなわち、凸部102Bは、開口部74における挿入部74Aへの光学部材54の挿入量を定める基準を構成し、凸部102Bからの延出部102Cの延出量は、筐体58の段部70Aから光学部材54の下面54Bまでの離間距離を定めた規定値と同寸法に設定されている。
As shown in FIG. 6, the
[筐体矯正部]
筐体矯正部104は、図5及び図6に示すように、矩形長尺状に形成されており、筐体58に形成された開口部74の両側の上向き面76Cに対応して一対設けられている。夫々の筐体矯正部104の下面104Aは、平坦面で構成されており、開口部74の両脇の上向き面76Cに面接触して矯正力F1を付与する。
[Case correction part]
As shown in FIGS. 5 and 6, the
筐体矯正部104は、昇降装置108で昇降され、昇降装置108は、一例として複数のソレノイドで構成されている。昇降装置108は、図示しない制御部に接続され、制御部からの制御信号に従って動作する。
The
昇降装置108は、制御部からの制御信号に応じ、筐体矯正部104を下降して筐体58の上向き面76Cを下方へ矯正力F1で押圧した筐体矯正状態110と(図11参照)、筐体矯正部104を上昇して筐体58の上向き面76Cから離間させた筐体矯正解除状態112とを形成する(図5及び図6参照)。
The elevating
筐体矯正状態110では、図11に示したように、筐体矯正部104が筐体58を下方へ押圧し筐体58の段部70Aを治具102の凸部102Bの上面102Dに押し付け、筐体58を治具102に対して矯正する。これにより、治具102への筐体58の取付状態を矯正する。
In the
筐体58の取付状態の矯正としては、筐体58の取付位置や姿勢の矯正が挙げられる。図8(筐体58がずれた状態を誇張した図)に示すように、筐体58がずれた状態で治具102に取り付けられている場合には、筐体58の段部70Aが全域に渡って治具102の凸部102Bの上面102Dに面接するように矯正する。また、筐体58の取付状態の矯正としては、筐体58の形状の矯正が挙げられる。例えば図9に示すように、筐体58に上方へ湾曲する反りがある場合には、筐体58の段部70Aが全域に渡って治具102の凸部102Bの上面102Dに面接するようにして、反りが無くなるように矯正する。
Examples of the correction of the mounting state of the
[光学部材矯正部]
光学部材矯正部106は、図7に示すように、装置奥行方向Dに延び、筐体58の外壁面76Bを装置幅方向Wから挟むように、一対設けられている。また、夫々の光学部材矯正部106は、筐体58の外壁面76B側に突出した複数の突出部106Aを有している。この突出部106Aは、装置奥行方向Dに間隔を空け、かつ、装置奥行方向Dにおいて、筐体58の付与部80とは異なる位置に配置されている。
[Optical member straightening part]
As shown in FIG. 7, a pair of optical
光学部材矯正部106は、移動装置114で装置幅方向Wへ移動され、移動装置114は、一例としての複数のソレノイドで構成されている。移動装置114は、図示しない制御部に接続され、制御部からの制御信号に従って動作する。
The optical
移動装置114は、制御部からの制御信号に応じ、一対の光学部材矯正部106を近接する方向へ移動した光学部材矯正状態116と(図13参照)、一対の光学部材矯正部106を離れる方向へ移動した光学部材矯正解除状態118とを形成する(図7及び図11参照)。
The moving
光学部材矯正状態116では、光学部材矯正部106の突出部106Aがレンズ保持部76の外壁面76Bを両側から押圧し、筐体58を介して光学部材54を挟んで光学部材54を筐体58に対して矯正する。これにより、光学部材54の取付状態を矯正する。
In the optical
光学部材54の取付状態の矯正としては、光学部材54の形状(捻れ)の矯正が挙げられる。また、光学部材54の取付状態の矯正としては、光学部材54を筐体58の中心に移動させる光学部材54の取付位置の矯正が挙げられる。
Examples of the correction of the attached state of the
一方、光学部材矯正解除状態118では、一対の光学部材矯正部106の突出部106Aが外壁面76Bから離間する。
On the other hand, in the optical member straightening
〔露光装置の製造方法〕
次に、製造装置100を用いて、露光装置20を製造する露光装置の製造方法について説明する。なお、製造装置100の非稼働状態において、筐体矯正部104は筐体矯正解除状態112とされており、光学部材矯正部106は、光学部材矯正解除状態118とされている。また、露光装置の製造方法を説明する上で用いる方向については、露光装置20を説明で用いた方向を使用する。
[Manufacturing method of exposure equipment]
Next, a method of manufacturing the exposure apparatus for manufacturing the
先ず、図6に示したように、筐体58を治具102に取り付け、光学部材54の下方側の部分を筐体58の開口部78における挿入部74Aへ挿入する。具体的には、光がロッドレンズ56を透過する方向が装置上下方向となるように、光学部材54を開口部78に挿入し、光学部材54の下面54Bを延出部102Cの頂面102Eに面接触した状態で支持する。なお、この状態では、光学部材54は、筐体58に対して拘束されておらず、筐体58に対して装置幅方向Wにガタついている。
First, as shown in FIG. 6, the
このとき、図8に示すように、治具102に対して筐体58が傾斜して取り付けられることがあり、この場合、図8(B)に示すように、筐体58の段部70Aが治具102の凸部102Bの上面102Dから浮いた状態となる。
At this time, as shown in FIG. 8, the
また、図9に示すように、上方へ湾曲する反りが筐体58に生じている場合、図9(B)に示すように、筐体58の段部70Aが治具102の凸部102Bの上面102Dから部分的に浮いた状態となり、筐体58の一部にずれを生ずる。
Further, as shown in FIG. 9, when the
このような状態で、光学部材矯正部106を作動して光学部材矯正状態116とすると、図10(筐体矯正状態110を形成しない比較例)に示すように、光学部材矯正部106の突出部106Aが筐体58のレンズ保持部76以外の部位を押圧することがある。この場合、光学部材54の矯正不良が生じたり、光学部材矯正部106の突出部106Aの破損を生じたりすることがあり得る。
In such a state, when the optical
そこで、本実施形態では矯正工程において、図11に示すように、筐体58に矯正力F1を付与して筐体58を治具102に対して矯正する筐体矯正状態110を形成する。
Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 11, in the straightening step, a straightening force F1 is applied to the
具体的には、昇降装置108で筐体矯正部104を下降して筐体58の上向き面76Cを下方へ押圧し、筐体58の段部70Aが、全域に渡って治具102の凸部102Bの上面102Dに面接触した状態を形成する。
Specifically, the elevating
これにより、治具102に対して筐体58がずれていた場合には、ずれを矯正することができる。また、筐体58に反りが生じていた場合には、反りが無くなるように矯正することができる。
As a result, if the
そして、図12に示すように、昇降装置108で筐体矯正部104を上昇して筐体58の上向き面76Cから離間させた筐体矯正解除状態112を形成する。
Then, as shown in FIG. 12, the elevating
この状態において、接着剤82を付与部80に付与し、接着剤82を光学部材54の側面54Aと筐体58の内壁面76Aとの隙間に充填する。
In this state, the adhesive 82 is applied to the applying
次に、図13に示すように、筐体58に短手方向THから挟持する挟持力F2を付与して54光学部材を筐体58に対して矯正した光学部材矯正状態116を形成する。
Next, as shown in FIG. 13, a holding force F2 for holding the
具体的には、移動装置114で一対の光学部材矯正部106を近接する方向へ移動し、一対の光学部材矯正部106の各突出部106Aで装置幅方向Wの両側から外壁面76Bを押圧し筐体58を介して光学部材54を挟んで取付状態を矯正する。これにより、光学部材54の形状(捻れ)を矯正する。また、光学部材54を筐体58の中心へ移動して光学部材54の取付位置を矯正する。
Specifically, the moving
この状態において、昇降装置108で筐体矯正部104を再度下降して筐体58の上向き面76Cを下方へ押圧し、筐体58に挟持力F2と矯正力F1とが同時に付与された状態を形成する。そして、固定工程において、制御部が図示せぬ照射部材を制御して接着剤82に紫外線を照射し、接着剤82を硬化させる。これにより、光学部材54を接着剤82で筐体58に固定する。
In this state, the elevating
ここで、本実施形態では、筐体58に挟持力F2と矯正力F1とを同時に付与した状態で光学部材54を接着剤82で筐体58に固定した場合について説明するが、これに限定されるものではない。例えば、治具102に対する筐体58のずれを矯正する場合など、筐体58に矯正力F1を加えた状態で固定しなくても良い場合には、筐体58に矯正力F1のみを付与した状態で光学部材54を接着剤82で筐体58に固定してもよい。
Here, in the present embodiment, the case where the
次に、制御部が、移動装置114を制御して、図7に示したように、一対の光学部材矯正部106を離間する方向へ移動して光学部材矯正解除状態118を形成する。このとき、接着剤82は、既に硬化しているため、光学部材矯正部106からの挟持力F2を解除しても、光学部材54の形状(捻れ)が矯正されている状態は維持される。
Next, the control unit controls the moving
そして、光学部材54が取り付けられた筐体58を治具102から取り外し、図14に示すように、光学部材54と筐体58との間に封止剤84を塗布して接着剤82の表面を覆う。これにより、光学部材54と筐体58との間を封止する。また、この筐体58の段部70Aに実装基板50の外周側の部分を接触させ、実装基板50を接着剤120で筐体58に固定する。これにより、露光装置20が製造される。
Then, the
(作用・効果)
本実施形態の作用を説明する。
(Action / effect)
The operation of this embodiment will be described.
このように製造された露光装置20では、光学部材矯正状態116に維持された光学部材54が接着剤82で筐体58に固定されている。
In the
よって、矯正された状態で接着剤82を用いて筐体58に取り付けられている光学部材の一例である露光装置20を得ることができる。
Therefore, it is possible to obtain the
また、矯正工程では、筐体矯正状態110を形成した後に光学部材矯正状態116を形成する。
Further, in the straightening step, the optical
このため、治具102に対してずれた状態で筐体58が短手方向THから挟持される場合と比して、光学部材54の矯正不良を抑制することができる。
Therefore, it is possible to suppress the correction failure of the
そして、矯正工程は、筐体矯正状態110を形成した後に矯正力F1を解除してから光学部材矯正状態116を形成する。
Then, in the straightening step, after the
このため、治具102に対してずれた状態で筐体58が短手方向THから挟持される場合と比して、光学部材54の矯正不良や治具等の破損を抑制することができる。
Therefore, as compared with the case where the
また、光学部材矯正状態116を形成した後に筐体矯正状態110を形成する場合と比して、例えば筐体矯正状態110と同時に光学部材54を上面から付勢しても光学部材54の横移動に起因したレンズ面の傷つきを抑制することができる。さらに、筐体矯正状態110を形成した後に矯正力F1を解除しない場合と比して、小さな挟持力F2で光学部材54の矯正不良を抑制することができる。
Further, as compared with the case where the
なお、本実施形態では、筐体矯正状態110を形成した後に矯正力F1を解除してから光学部材矯正状態116を形成したが、これに限定されるものではない。例えば、次に示す実施形態の露光装置の製造方法としても良い。
In the present embodiment, after the
<第二実施形態>
図15は、第二実施形態を示す図であり、第一実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
<Second embodiment>
FIG. 15 is a diagram showing a second embodiment, and the same or equivalent parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and description thereof will be omitted, and only different parts will be described.
本実施形態は、第一実施形態と比較して、矯正工程が異なる。 The correction step of this embodiment is different from that of the first embodiment.
本実施形態の矯正工程では、図15に示すように、筐体矯正部104で筐体58の上向き面76Cを押圧した筐体矯正状態110を維持したまま、光学部材矯正部106で筐体58を短手方向THから挟持して光学部材矯正状態116を形成する。
In the straightening step of the present embodiment, as shown in FIG. 15, the optical
本実施形態においても、筐体矯正解除状態112を形成する際の作用効果を除いて、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
Also in the present embodiment, the same effects as those in the first embodiment can be obtained except for the effects when the housing
また、筐体矯正状態110を解除してから光学部材矯正状態116を形成する場合と比して、筐体58に対する光学部材54の位置精度を高めることができる。
Further, the positional accuracy of the
なお、第一及び第二本実施形態では、昇降される筐体矯正部104で筐体矯正状態110を形成するとともに、光学部材矯正部106で光学部材矯正状態116を形成したが、これに限定されるものではない。例えば、次に示す実施形態の露光装置の製造方法としても良い。
In the first and second embodiments, the
<第三実施形態>
図16は、第三実施形態を示す図であり、第一実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
<Third Embodiment>
FIG. 16 is a diagram showing a third embodiment, and the same or equivalent parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and description thereof will be omitted, and only different parts will be described.
本実施形態は、第一及び第二実施形態と比較して、矯正工程において筐体58への矯正力F1の付与と挟持力F2の付与とを同一装置で同時に行う点が異なる。
This embodiment is different from the first and second embodiments in that the straightening force F1 and the holding force F2 are simultaneously applied to the
本実施形態に係る製造装置100は、図16に示すように、筐体58の治具102への取付状態の矯正と、光学部材54の筐体58への取付状態の矯正とを同時に行うプッシャー130を備えている。
As shown in FIG. 16, the
プッシャー130は、筐体58のレンズ保持部76の両脇に設けられており、プッシャー130は、筐体58の長さ方向に延在する長尺の板状に形成されている。筐体58側に位置するプッシャー130の一縁部は、一縁130Aへ向かうに従って薄肉とされており、その縁は、丸められている。
そして、プッシャー130は、筐体58のレンズ保持部76の外壁面76B及び本体部70の上面70Bに対して傾斜して配置されており、外壁面76B及び本体部70の上面70Bに対する傾斜角度は、一例として45度に設定されている。
The
プッシャー130は、駆動装置132で移動され、駆動装置132は、一例としての複数のソレノイドで構成されている。駆動装置132は、図示しない制御部に接続され、制御部からの制御信号に従って動作する。
The
プッシャー130は、駆動装置132で筐体58側へ移動されると、一縁130Aが筐体58の本体部70の上面70Bとレンズ保持部76の外壁面76Bとに当たる。すると、プッシャー130からの押圧力F3は、筐体58を下方へ付勢する矯正力F1と、筐体58のレンズ保持部76を短手方向THから挟持する挟持力F2とを分力として生じさせる。これにより、前述した筐体矯正状態110及び光学部材矯正状態116を形成する。
When the
本実施形態においても、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。 Also in this embodiment, the same effects as those in the first embodiment can be obtained.
また、プッシャー130を作動して矯正工程を実施することで、矯正力F1及び挟持力F2を分力として生じさせ、一動作で筐体矯正状態110及び光学部材矯正状態116を形成することができる。
Further, by operating the
このため、筐体矯正状態110を形成する機構と光学部材矯正状態116を形成する機構とを備える場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
Therefore, the configuration can be simplified as compared with the case where the mechanism for forming the
<第四実施形態>
図17は、第四実施形態を示す図であり、第三実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
<Fourth Embodiment>
FIG. 17 is a diagram showing a fourth embodiment, and the same or equivalent parts as those in the third embodiment are designated by the same reference numerals and description thereof will be omitted, and only different parts will be described.
本実施形態は、第二及び第三実施形態と比較して、筐体58の本体部70とレンズ保持部76との間に傾斜面140が形成されている点が異なる。各プッシャー130は、筐体58の両側部に形成された対応する傾斜面140に対して交差する短手方向THから押圧力F3を加えて矯正力F1及び挟持力F2を分力として生じさせる。
This embodiment is different from the second and third embodiments in that an
本実施形態においても、第二実施形態と同様の作用効果を得ることができる。 Also in this embodiment, the same effects as those in the second embodiment can be obtained.
また、本実施形態では、第三実施形態と同様に、筐体矯正状態110を形成する機構と光学部材矯正状態116を形成する機構とを備える場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
Further, in the present embodiment, as in the third embodiment, the configuration is simplified as compared with the case where the mechanism for forming the
<第五実施形態>
図18は、第五実施形態を示す図であり、第四実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
<Fifth Embodiment>
FIG. 18 is a diagram showing a fifth embodiment, and the same or equivalent parts as those in the fourth embodiment are designated by the same reference numerals and description thereof will be omitted, and only different parts will be described.
本実施形態は、第四実施形態と比較して、プッシャー130による押圧方向が異なり、各プッシャー130は、筐体58の両側部の傾斜面140に対して交差する上方から下方へ向けて押圧力F3を加えて矯正力F1及び挟持力F2を分力として生じさせる。
In the present embodiment, the pressing direction by the
本実施形態においても、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。 Also in this embodiment, the same effects as those in the first embodiment can be obtained.
また、本実施形態では、第四実施形態と同様に、筐体矯正状態110を形成する機構と光学部材矯正状態116を形成する機構とを備える場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
Further, in the present embodiment, as in the fourth embodiment, the configuration is simplified as compared with the case where the mechanism for forming the
なお、各実施形態では、光学装置を露光装置20として説明したが、光学装置を読取ユニット(例えば、Contact Image Sensor)としてもよい。
In each embodiment, the optical device is described as the
また、第一実施形態では、複数の突出部106Aを有する光学部材矯正部106で筐体58の外壁面76Bを挟持したが、突出部106Aを有しない光学部材矯正部106で筐体58を挟持しても良い。
Further, in the first embodiment, the
また、上記実施形態では、筐体58の付与部80に接着剤82を充填した後に、光学部材矯正状態116を形成したが、光学部材矯正状態116を形成してから付与部80に接着剤82を充填してもよい。
Further, in the above embodiment, the optical
54 光学部材
58 筐体
74 開口部
82 接着剤
102 治具
104 筐体矯正部
106 光学部材矯正部
110 筐体矯正状態
112 筐体矯正解除状態
116 光学部材矯正状態
118 光学部材矯正解除状態
140 傾斜面
F1 矯正力
F2 挟持力
54
Claims (2)
前記光学部材矯正状態で前記光学部材を前記筐体に接着剤で固定する固定工程と、
を有し、
前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記矯正力を解除してから前記光学部材矯正状態を形成する光学装置の製造方法。 A housing straightening state in which a long housing having an optical member inserted in an opening is attached to a jig, and a straightening force is applied to the housing to correct the housing with respect to the jig. , And a straightening step of forming an optical member straightening state in which a holding force for holding the housing from the lateral direction is applied to correct the optical member with respect to the housing.
A fixing step of fixing the optical member to the housing with an adhesive in the state of correcting the optical member, and
Have,
The straightening step is a method for manufacturing an optical device that forms the housing straightening state, then releases the straightening force, and then forms the optical member straightening state.
前記光学部材矯正状態で前記光学部材を前記筐体に接着剤で固定する固定工程と、
を有し、
前記矯正工程は、前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる押圧力を前記筐体の短手方向の両側部に形成された傾斜面に対して交差する方向へ加えて前記筐体矯正状態及び前記光学部材矯正状態を形成する光学装置の製造方法。
A housing straightening state in which a long housing having an optical member inserted in an opening is attached to a jig, and a straightening force is applied to the housing to correct the housing with respect to the jig. , And a straightening step of forming an optical member straightening state in which a holding force for holding the housing from the lateral direction is applied to correct the optical member with respect to the housing.
A fixing step of fixing the optical member to the housing with an adhesive in the state of correcting the optical member, and
Have,
In the straightening step, the straightening force and the pressing force generated by the holding force as a component force are applied in a direction intersecting the inclined surfaces formed on both sides in the lateral direction of the housing to correct the housing. A method for manufacturing an optical device that forms a state and a corrected state of the optical member.
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