JP6958122B2

JP6958122B2 - Optical module

Info

Publication number: JP6958122B2
Application number: JP2017164602A
Authority: JP
Inventors: 勇貴中村; 中西　裕美
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2017-08-29
Filing date: 2017-08-29
Publication date: 2021-11-02
Anticipated expiration: 2037-08-29
Also published as: JP2019046830A

Description

本発明は、光モジュールに関するものである。 The present invention relates to an optical module.

パッケージ内に半導体発光素子を配置した光モジュールが知られている（たとえば、特許文献１〜４参照）。このような光モジュールは、表示装置、光ピックアップ装置、光通信装置など、種々の装置の光源として用いられる。 An optical module in which a semiconductor light emitting element is arranged in a package is known (see, for example, Patent Documents 1 to 4). Such an optical module is used as a light source for various devices such as a display device, an optical pickup device, and an optical communication device.

特開２００９−９３１０１号公報JP-A-2009-93101 特開２００７−３２８８９５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-328895 特開２００７−１７９２５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-17925 特開２００７−６５６００号公報JP-A-2007-65600

ベース部材上に複数の半導体発光素子と、複数の半導体発光素子から出射される光を受けて合波するフィルタとが設けられる場合がある。複数の半導体発光素子から出射される光は、フィルタによって合波され、出力される。半導体発光素子から出射される光は発散光である。このため、フィルタによって合波された光は、ベース部材によって光の一部の進行が阻害され、減光してしまうおそれがある。そうすると、光モジュールから出力される光の量は低下することになる。 A plurality of semiconductor light emitting elements and a filter that receives light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements and combines them may be provided on the base member. The light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is combined by a filter and output. The light emitted from the semiconductor light emitting device is divergent light. Therefore, the light combined by the filter may be dimmed because the base member hinders the progress of a part of the light. Then, the amount of light output from the optical module will decrease.

そこで、出力される光の量を多くすることができる光モジュールを提供することを目的の１つとする。 Therefore, one of the purposes is to provide an optical module capable of increasing the amount of output light.

本願の光モジュールは、光を形成する光形成部を備える。光形成部は、ベース部材と、複数の半導体発光素子と、フィルタと、を含む。ベース部材は、保持面を有する。複数の半導体発光素子は、保持面上に搭載され、波長または偏光方向が異なる光を出射する。フィルタは、保持面上に搭載され、複数の半導体発光素子から出射される発散光を直接受けて合波する。保持面には、合波された発散光の光路に対応する領域に、保持面の外周の一部を含むように凹部が設けられている。半導体発光素子は、凹部の外側に位置する。 The optical module of the present application includes an optical forming unit that forms light. The light forming unit includes a base member, a plurality of semiconductor light emitting elements, and a filter. The base member has a holding surface. The plurality of semiconductor light emitting elements are mounted on the holding surface and emit light having different wavelengths or polarization directions. The filter is mounted on the holding surface and directly receives the divergent light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements to combine the waves. The holding surface is provided with a recess so as to include a part of the outer circumference of the holding surface in a region corresponding to the optical path of the combined divergent light. The semiconductor light emitting device is located outside the recess.

上記光モジュールによれば、出力される光の量を多くすることができる光モジュールを提供することができる。 According to the above optical module, it is possible to provide an optical module capable of increasing the amount of output light.

実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the structure of the optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the structure of the optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における光モジュールの概略断面図である。It is the schematic sectional drawing of the optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における光モジュールの概略断面図である。It is the schematic sectional drawing of the optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における光モジュールの第１の変形例を示す概略断面図である。It is schematic cross-sectional view which shows the 1st modification of the optical module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態２における光モジュールの第２の変形例を示す概略断面図である。It is schematic cross-sectional view which shows the 2nd modification of the optical module in Embodiment 2. FIG. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the structure of the optical module in Embodiment 2. FIG. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the structure of the optical module in Embodiment 2. FIG. 実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of the optical module in Embodiment 2. FIG.

［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。 [Explanation of Embodiments of the Invention]
First, embodiments of the present invention will be described in a list.

（１）本願の光モジュールは、光を形成する光形成部を備える。光形成部は、ベース部材と、複数の半導体発光素子と、フィルタと、を含む。ベース部材は、保持面を有する。複数の半導体発光素子は、保持面上に搭載され、波長または偏光方向が異なる光を出射する。フィルタは、保持面上に搭載され、複数の半導体発光素子から出射される発散光を直接受けて合波する。保持面には、合波された発散光の光路に対応する領域に、保持面の外周の一部を含むように凹部が設けられている。半導体発光素子は、凹部の外側に位置する。 (1) The optical module of the present application includes a light forming portion for forming light. The light forming unit includes a base member, a plurality of semiconductor light emitting elements, and a filter. The base member has a holding surface. The plurality of semiconductor light emitting elements are mounted on the holding surface and emit light having different wavelengths or polarization directions. The filter is mounted on the holding surface and directly receives the divergent light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements to combine the waves. The holding surface is provided with a recess so as to include a part of the outer circumference of the holding surface in a region corresponding to the optical path of the combined divergent light. The semiconductor light emitting device is located outside the recess.

本願の光モジュールは、ベース部材に備えられ、半導体発光素子およびフィルタを搭載する保持面に、保持面の外周の一部を含むように凹部が設けられている。凹部は、合波された発散光の光路に対応する領域に設けられている。半導体発光素子は、凹部の外側に位置するように設けられている。このような凹部により、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害を抑制することができる。そうすると、合波された発散光の減光が抑制され、出力される光の量を多くすることができる。 The optical module of the present application is provided on a base member, and a recess is provided on a holding surface on which a semiconductor light emitting element and a filter are mounted so as to include a part of the outer periphery of the holding surface. The recess is provided in a region corresponding to the optical path of the combined divergent light. The semiconductor light emitting element is provided so as to be located outside the recess. With such a recess, it is possible to suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the divergent light emitted from the semiconductor light emitting element and combined with the filter. Then, the dimming of the combined divergent light is suppressed, and the amount of output light can be increased.

このように、本願の光モジュールによれば、出力される光の量を多くすることができる。 As described above, according to the optical module of the present application, the amount of output light can be increased.

（２）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、合波された発散光の光路の外側に位置してもよい。このようにすることで、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光の凹部を構成する面による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。従って、出力される光の量をより多くすることができる。 (2) In the above optical module, the surface forming the recess may be located outside the optical path of the combined divergent light. By doing so, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the surface forming the concave portion of the divergent light emitted from the semiconductor light emitting element and combined with the filter. Therefore, the amount of output light can be increased.

（３）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面にフィルタが搭載されてもよい。このようにすることで、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 (3) In the above optical module, a filter may be mounted on the surface forming the recess. By doing so, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the divergent light emitted from the semiconductor light emitting element and combined with the filter.

（４）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、半導体発光素子が搭載される搭載面から連なる側壁面と、側壁面の搭載面が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面とから構成されおり、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面と、底面とは平行に配置され、底面上にフィルタが搭載されてもよい。このような底面上にフィルタが設けられることで、複数の半導体発光素子から出射される発散光をより容易に合波することができる。 (4) In the above optical module, the surfaces forming the recesses are from the side wall surface connected to the mounting surface on which the semiconductor light emitting element is mounted and the end portion located on the side opposite to the side on which the mounting surface of the side wall surface is located. It is composed of a continuous bottom surface, and a surface including an optical axis of light emitted from a plurality of semiconductor light emitting elements may be arranged in parallel with the bottom surface, and a filter may be mounted on the bottom surface. By providing the filter on such a bottom surface, it is possible to more easily combine the divergent light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements.

（５）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向において、凹部を構成する面と、合波された発散光の光軸との距離は、保持面の外周に近付くにしたがって長くなるようにしてもよい。このような凹部の構成は、フィルタによって合波された発散光の光路に対応する。このため、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 (5) In the above optical module, the distance between the surface forming the recess and the optical axis of the combined divergent light in the direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. May be lengthened as it approaches the outer periphery of the holding surface. The configuration of such a recess corresponds to the optical path of the divergent light combined by the filter. Therefore, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the divergent light emitted from the semiconductor light emitting element and combined with the filter.

（６）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向における合波された発散光の光軸との距離が、保持面の外周に向って長くなるように連続的に傾斜している面を含んでもよい。このようにすることで、フィルタによって合波された発散光の光路に対応して、凹部を構成する面と合波された発散光の光軸との距離を長くすることができる。 (6) In the above optical module, the surface forming the recess has a distance from the optical axis of the combined divergent light in the direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. , A surface that is continuously inclined so as to be long toward the outer periphery of the holding surface may be included. By doing so, the distance between the surface forming the recess and the optical axis of the combined divergent light can be increased corresponding to the optical path of the divergent light combined by the filter.

（７）上記光モジュールにおいては、凹部を構成する面は、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向における合波された発散光の光軸との距離が、保持面の外周に向って長くなるように多段状に設けられた面を含んでもよい。このようにすることで、フィルタによって合波された発散光の光路に対応して、凹部を構成する面と合波された発散光の光軸との距離を長くすることができる。 (7) In the above optical module, the surface forming the recess has a distance from the optical axis of the combined divergent light in the direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. , A surface provided in a multi-step manner so as to become longer toward the outer periphery of the holding surface may be included. By doing so, the distance between the surface forming the recess and the optical axis of the combined divergent light can be increased corresponding to the optical path of the divergent light combined by the filter.

（８）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子から出射される光の光軸を含む面に垂直な方向から平面的に見て、合波された発散光の光軸に垂直な方向における凹部の幅は、保持面の外周に近付くにしたがって大きくなるようにしてもよい。このような凹部の形状は、フィルタによって合波された発散光の光路に対応する形状となる。このため、半導体発光素子から出射されフィルタによって合波された発散光のベース部材による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 (8) In the above optical module, when viewed in a plane from a direction perpendicular to the surface including the optical axes of light emitted from a plurality of semiconductor light emitting elements, in a direction perpendicular to the optical axis of the combined divergent light. The width of the recess may be increased as it approaches the outer periphery of the holding surface. The shape of such a recess corresponds to the optical path of the divergent light combined by the filter. Therefore, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base member of the divergent light emitted from the semiconductor light emitting element and combined with the filter.

（９）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子は、赤色の光を出射する半導体発光素子、緑色の光を出射する半導体発光素子および青色の光を出射する半導体発光素子を含むようにしてもよい。フィルタは、第１フィルタと、第１フィルタとは異なる第２フィルタと、を含むようにしてもよい。第１フィルタおよび第２フィルタは、赤色の光を出射する半導体発光素子、緑色の光を出射する半導体発光素子および青色の光を出射する半導体発光素子から出射される光を合波する。このようにすることで、３つ半導体発光素子から出射される波長の異なる３つの光を合波することができる。 (9) In the above optical module, the plurality of semiconductor light emitting elements may include a semiconductor light emitting element that emits red light, a semiconductor light emitting element that emits green light, and a semiconductor light emitting element that emits blue light. .. The filter may include a first filter and a second filter different from the first filter. The first filter and the second filter combine the light emitted from the semiconductor light emitting device that emits red light, the semiconductor light emitting element that emits green light, and the semiconductor light emitting element that emits blue light. By doing so, it is possible to combine three lights having different wavelengths emitted from the three semiconductor light emitting elements.

（１０）上記光モジュールにおいては、複数の半導体発光素子は、同一の波長で偏光方向が異なる光を出射する複数の半導体発光素子を含み、フィルタは、複数の半導体発光素子から出射される偏光方向の異なる光を合波するようにしてもよい。このように同一波長の光が合波されることで、光モジュールを高出力にすることができる。 (10) In the above optical module, the plurality of semiconductor light emitting elements include a plurality of semiconductor light emitting elements that emit light having the same wavelength and different polarization directions, and the filter is a polarization direction emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements. You may try to combine different lights. By combining light of the same wavelength in this way, the optical module can have a high output.

（１１）上記光モジュールにおいては、半導体発光素子はレーザダイオードであってもよい。このようにすることで、波長のばらつきが小さい出射光を得ることができる。 (11) In the above optical module, the semiconductor light emitting element may be a laser diode. By doing so, it is possible to obtain an emitted light having a small variation in wavelength.

（１２）上記光モジュールにおいては、光形成部からの光を透過する出射窓を有し、光形成部を取り囲むように配置される保護部材をさらに備えてもよい。このような構成とすることで、半導体発光素子を大気中の水分や塵から保護しつつ、合波された発散光を得ることができる。 (12) The optical module may further include a protective member that has an exit window that transmits light from the light forming portion and is arranged so as to surround the light forming portion. With such a configuration, it is possible to obtain the combined divergent light while protecting the semiconductor light emitting device from moisture and dust in the atmosphere.

（１３）上記光モジュールにおいては、出射窓に設置され、合波された発散光のスポットサイズを変換するレンズをさらに備えてもよい。このようにすることで、コンパクトな形状を維持しつつ、所望のスポットサイズの光を得ることができる。 (13) The optical module may further include a lens installed in the exit window to convert the spot size of the combined divergent light. By doing so, it is possible to obtain light of a desired spot size while maintaining a compact shape.

（１４）上記光モジュールにおいては、レンズはコリメートレンズであるようにしてもよい。このようにすることで、複数の光が適切に合波された平行光を得ることができる。 (14) In the above optical module, the lens may be a collimating lens. By doing so, it is possible to obtain parallel light in which a plurality of lights are appropriately combined.

［本願発明の実施形態の詳細］
次に、本願の光モジュールの一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 [Details of Embodiments of the present invention]
Next, an embodiment of the optical module of the present application will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are given the same reference number and the explanation is not repeated.

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図２は、実施の形態１における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す光モジュールからキャップを取り外した状態に対応する図である。図３は、実施の形態１における光モジュールの概略断面図である。図３は、実施の形態１における光モジュールを図２中のＩＩＩ−ＩＩＩで示すＺ軸方向に沿う平面で切断した場合の断面図である。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module according to the first embodiment. FIG. 2 is a diagram corresponding to a state in which the cap is removed from the optical module shown in FIG. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the optical module according to the first embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view of the optical module according to the first embodiment when it is cut along a plane along the Z-axis direction shown by III-III in FIG.

図１、図２および図３を参照して、本実施の形態における光モジュール１は、ステム１０と、光を形成する光形成部２０と、複数のリードピン５１と、キャップ４０と、を備えている。ステム１０は、円盤状の形状を有する。光形成部２０は、ステム１０の一方の主面１０Ａ上に配置される。リードピン５１は、ステム１０の一方の主面１０Ａ側および他方の主面１０Ｂ側の両側に突出する。キャップ４０は、光形成部２０を覆うようにステム１０の一方の主面１０Ａ上に接触して配置される。キャップ４０は、中空円筒状の形状を有する。ステム１０とキャップ４０とは、たとえばＹＡＧ（ＹｉｔｔｒｉｕｍＡｌｕｍｉｎｉｕｍＧａｒｎｅｔ）レーザ溶接、抵抗溶接などの手法により溶接され、気密状態とされている。すなわち、光形成部２０は、ステム１０とキャップ４０とによりハーメチックシールされている。 With reference to FIGS. 1, 2 and 3, the optical module 1 according to this embodiment includes a stem 10, an optical forming unit 20 for forming light, a plurality of lead pins 51, and a cap 40. There is. The stem 10 has a disk-like shape. The light forming portion 20 is arranged on one main surface 10A of the stem 10. The lead pin 51 projects on both sides of the stem 10 on one main surface 10A side and the other main surface 10B side. The cap 40 is arranged in contact with one main surface 10A of the stem 10 so as to cover the light forming portion 20. The cap 40 has a hollow cylindrical shape. The stem 10 and the cap 40 are welded by a method such as YAG (Yttrium aluminum garnet) laser welding or resistance welding to be in an airtight state. That is, the light forming portion 20 is hermetically sealed by the stem 10 and the cap 40.

ステム１０とキャップ４０とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気、乾燥窒素などの水分が低減（除去）された気体が封入されている。キャップ４０には、光形成部２０からの光を透過する出射窓４１が形成されている。出射窓４１には、光モジュール１から出射される光のスポットサイズを変換するレンズとして球レンズ４３が配置されている。球レンズ４３は、コリメートレンズである。球レンズ４３は、例えばガラスからなっている。ステム１０およびキャップ４０は、保護部材を構成する。 The space surrounded by the stem 10 and the cap 40 is filled with a gas having reduced (removed) moisture such as dry air and dry nitrogen. The cap 40 is formed with an exit window 41 that transmits light from the light forming portion 20. In the exit window 41, a spherical lens 43 is arranged as a lens for converting the spot size of the light emitted from the optical module 1. The spherical lens 43 is a collimating lens. The spherical lens 43 is made of, for example, glass. The stem 10 and the cap 40 form a protective member.

図２を参照して、光形成部２０は、半円柱状の形状を有するベース部材であるベースブロック６０を含む。ベースブロック６０は、保持面６０Ａを有している。保持面６０Ａは、Ｙ軸方向から平面的に見て矩形状の形状を有する。ベースブロック６０は、半円形状を有する底面において、ステム１０の主面１０Ａに固定されている。保持面６０Ａは、ステム１０の一方の主面１０Ａに対して交差する（より具体的には直交する）搭載面６５を含む。ステム１０の一方の主面１０Ａおよび他方の主面１０Ｂは、Ｘ−Ｙ平面に沿う。搭載面６５は、Ｘ−Ｚ平面に沿う。なお、以下の説明において、主面１０Ａに垂直な方向をＺ軸方向、搭載面６５および主面１０Ａに平行な方向をＸ軸方向、搭載面６５に垂直な方向をＹ軸方向とする。 With reference to FIG. 2, the light forming portion 20 includes a base block 60 which is a base member having a semi-cylindrical shape. The base block 60 has a holding surface 60A. The holding surface 60A has a rectangular shape when viewed in a plane from the Y-axis direction. The base block 60 is fixed to the main surface 10A of the stem 10 on the bottom surface having a semicircular shape. The holding surface 60A includes a mounting surface 65 that intersects (more specifically, is orthogonal to) one main surface 10A of the stem 10. One main surface 10A and the other main surface 10B of the stem 10 are along the XY plane. The mounting surface 65 is along the XZ plane. In the following description, the direction perpendicular to the main surface 10A is defined as the Z-axis direction, the direction parallel to the mounting surface 65 and the main surface 10A is defined as the X-axis direction, and the direction perpendicular to the mounting surface 65 is defined as the Y-axis direction.

搭載面６５上には、平板状の第１サブマウント７１が配置されている。そして、第１サブマウント７１上に、第１レーザダイオード８１が配置されている。第１レーザダイオード８１は、赤色の光を出射する。第１レーザダイオード８１から出射される光は、発散光である。第１サブマウント７１および第１レーザダイオード８１は、Ｙ軸方向から平面的に見て第１レーザダイオード８１からの光が保持面６０Ａの一の辺に沿って出射されるように配置される。より具体的には、第１レーザダイオード８１からの光は、Ｚ軸方向に沿って出射される。 A flat plate-shaped first submount 71 is arranged on the mounting surface 65. A first laser diode 81 is arranged on the first submount 71. The first laser diode 81 emits red light. The light emitted from the first laser diode 81 is divergent light. The first submount 71 and the first laser diode 81 are arranged so that the light from the first laser diode 81 is emitted along one side of the holding surface 60A when viewed in a plane from the Y-axis direction. More specifically, the light from the first laser diode 81 is emitted along the Z-axis direction.

搭載面６５上には、平板状の第２サブマウント７２が配置されている。そして、第２サブマウント７２上に、第２レーザダイオード８２が配置されている。第２レーザダイオード８２は、緑色の光を出射する。第２レーザダイオード８２から出射される光は、発散光である。第２サブマウント７２および第２レーザダイオード８２は、Ｙ軸方向から平面的に見て第２レーザダイオード８２からの光が保持面６０Ａの上記一の辺に交差する他の辺に沿って出射されるように配置される。第２サブマウント７２および第２レーザダイオード８２は、第２レーザダイオード８２からの光が、第１レーザダイオード８１からの光と交差する方向（直交する方向）に出射されるように配置される。より具体的には、第２レーザダイオード８２からの光は、Ｘ軸方向に沿って出射される。 A flat plate-shaped second submount 72 is arranged on the mounting surface 65. A second laser diode 82 is arranged on the second submount 72. The second laser diode 82 emits green light. The light emitted from the second laser diode 82 is divergent light. In the second submount 72 and the second laser diode 82, the light from the second laser diode 82 when viewed in a plane from the Y-axis direction is emitted along the other side intersecting the one side of the holding surface 60A. Arranged so as to. The second submount 72 and the second laser diode 82 are arranged so that the light from the second laser diode 82 is emitted in a direction (or orthogonal direction) intersecting with the light from the first laser diode 81. More specifically, the light from the second laser diode 82 is emitted along the X-axis direction.

搭載面６５上には、平板状の第３サブマウント７３が配置されている。そして、第３サブマウント７３上に、第３レーザダイオード８３が配置されている。第３レーザダイオード８３は、青色の光を出射する。第３レーザダイオード８３から出射される光は、発散光である。第３サブマウント７３および第３レーザダイオード８３は、Ｙ軸方向から平面的に見て第３レーザダイオード８３からの光が保持面６０Ａの上記他の辺に沿って出射されるように配置される。第３サブマウント７３および第３レーザダイオード８３は、第３レーザダイオード８３からの光が、第１レーザダイオード８１からの光と交差する方向（直交する方向）に出射されるように配置される。第３サブマウント７３および第３レーザダイオード８３は、第３レーザダイオード８３からの光が、第２レーザダイオード８２からの光に沿った方向（第２レーザダイオード８２からの光に平行な方向）に出射されるように配置される。より具体的には、第３レーザダイオード８３からの光は、Ｘ軸方向に沿って出射される。 A flat plate-shaped third submount 73 is arranged on the mounting surface 65. A third laser diode 83 is arranged on the third submount 73. The third laser diode 83 emits blue light. The light emitted from the third laser diode 83 is divergent light. The third submount 73 and the third laser diode 83 are arranged so that the light from the third laser diode 83 is emitted along the other side of the holding surface 60A when viewed in a plane from the Y-axis direction. .. The third submount 73 and the third laser diode 83 are arranged so that the light from the third laser diode 83 is emitted in a direction (or orthogonal direction) intersecting with the light from the first laser diode 81. In the third submount 73 and the third laser diode 83, the light from the third laser diode 83 is in the direction along the light from the second laser diode 82 (direction parallel to the light from the second laser diode 82). Arranged to be emitted. More specifically, the light from the third laser diode 83 is emitted along the X-axis direction.

第１レーザダイオード８１は、Ｚ軸方向に光を出射する。このため、第１レーザダイオード８１から出射される光の光軸は、Ｚ軸方向に沿って配置される。第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３は、Ｘ軸方向に光を出射する。このため、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸は、Ｘ軸方向に沿って配置される。以上から、第１レーザダイオード８１の光の出射方向と第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の光の出射方向とは交差する。より具体的には、第１レーザダイオード８１の光の出射方向と第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の光の出射方向とは直交する。また、第３レーザダイオード８３の設置面である第３サブマウント７３の主面、第２レーザダイオード８２の設置面である第２サブマウント７２の主面および第１レーザダイオード８１の設置面である第１サブマウント７１の主面は、互いに平行である。 The first laser diode 81 emits light in the Z-axis direction. Therefore, the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81 is arranged along the Z-axis direction. The second laser diode 82 and the third laser diode 83 emit light in the X-axis direction. Therefore, the optical axes of the light emitted from the second laser diode 82 and the third laser diode 83 are arranged along the X-axis direction. From the above, the light emitting direction of the first laser diode 81 intersects with the light emitting direction of the second laser diode 82 and the third laser diode 83. More specifically, the light emitting direction of the first laser diode 81 and the light emitting direction of the second laser diode 82 and the third laser diode 83 are orthogonal to each other. Further, it is the main surface of the third submount 73 which is the installation surface of the third laser diode 83, the main surface of the second submount 72 which is the installation surface of the second laser diode 82, and the installation surface of the first laser diode 81. The main surfaces of the first submount 71 are parallel to each other.

第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の光軸の高さ（搭載面６５を基準面とした場合の基準面と光軸との距離；Ｙ軸方向における基準面との距離）は、第１サブマウント７１、第２サブマウント７２および第３サブマウント７３により調整されて一致している。 Height of the optical axis of the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 (distance between the reference plane and the optical axis when the mounting surface 65 is used as the reference plane; the reference plane in the Y-axis direction The distance) is adjusted and matched by the first submount 71, the second submount 72, and the third submount 73.

光形成部２０は、第１フィルタ９１と、第２フィルタ９２と、を含む。第１フィルタ９１は、第１レーザダイオード８１の出射した光と第２レーザダイオード８２の出射した光とが交差する位置に対応する保持面６０Ａ上の領域に配置される。第２フィルタ９２は、第１レーザダイオード８１の出射した光と第３レーザダイオード８３の出射した光とが交差する位置に対応する保持面６０Ａ上の領域に配置される。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、たとえば波長選択性フィルタである。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、誘電体多層膜フィルタである。 The light forming unit 20 includes a first filter 91 and a second filter 92. The first filter 91 is arranged in a region on the holding surface 60A corresponding to a position where the light emitted by the first laser diode 81 and the light emitted by the second laser diode 82 intersect. The second filter 92 is arranged in a region on the holding surface 60A corresponding to a position where the light emitted by the first laser diode 81 and the light emitted by the third laser diode 83 intersect. The first filter 91 and the second filter 92 each have a flat plate shape having parallel main surfaces. The first filter 91 and the second filter 92 are, for example, wavelength selective filters. The first filter 91 and the second filter 92 are dielectric multilayer filters.

第１フィルタ９１は、赤色の光を透過し、緑色の光を反射する。第２フィルタ９２は、赤色の光および緑色の光を透過し、青色の光を反射する。このように、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、特定の波長の光を選択的に透過および反射する。第１フィルタ９１および第２フィルタ９２の主面は、Ｚ軸方向およびＸ軸方向に対して傾斜している。より具体的には、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２の主面は、Ｚ軸方向（第１レーザダイオード８１の出射方向）およびＸ軸方向（第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３の出射方向）に対して４５°傾斜している。 The first filter 91 transmits red light and reflects green light. The second filter 92 transmits red light and green light and reflects blue light. As described above, the first filter 91 and the second filter 92 selectively transmit and reflect light having a specific wavelength. The main surfaces of the first filter 91 and the second filter 92 are inclined with respect to the Z-axis direction and the X-axis direction. More specifically, the main surfaces of the first filter 91 and the second filter 92 are in the Z-axis direction (emission direction of the first laser diode 81) and in the X-axis direction (second laser diode 82 and third laser diode 83). It is tilted 45 ° with respect to the emission direction).

図３を参照して、第１レーザダイオード８１から出射された赤色の光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第１フィルタ９１は赤色の光を透過するため、第１レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_２に沿ってさらに進行し、第２フィルタ９２に入射する。そして、第２フィルタ９２は赤色の光を透過するため、第１レーザダイオード８１から出射された光は光路Ｌ_３に沿ってさらに進行する。 Referring to FIG. 3, the light of red emitted from the first laser diode 81, along the optical path L ₁ proceeds, it is incident on the first filter 91. The first filter 91 is for transmitting the red light, the light emitted from the first laser diode 81 further proceeds along the optical path L _2, is incident on the second filter 92. The second filter 92 for transmitting the red light, the light emitted from the first laser diode 81 further proceeds along the optical path L _3.

第２レーザダイオード８２から出射された緑色の光は、光路Ｌ_４に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第１フィルタ９１は緑色の光を反射するため、第２レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_２に合流する。その結果、緑色の光は赤色の光と同軸に合波され、光路Ｌ_２に沿って進行し、第２フィルタ９２に入射する。そして、第２フィルタ９２は緑色の光を透過するため、第２レーザダイオード８２から出射された光は光路Ｌ_３に沿ってさらに進行する。 Green light emitted from the second laser diode 82, along the optical path L ₄ proceeds, is incident on the first filter 91. The first filter 91 for reflecting green light, the light emitted from the second laser diode 82 joins the optical path L _2. As a result, green light are multiplexed to a red light and a coaxial, along the optical path L ₂ progresses, is incident on the second filter 92. The second filter 92 for transmitting the green light, the light emitted from the second laser diode 82 further proceeds along the optical path L _3.

第３レーザダイオード８３から出射された青色の光は、光路Ｌ_５に沿って進行し、第２フィルタ９２に入射する。第２フィルタ９２は青色の光を反射するため、第３レーザダイオード８３から出射された光は光路Ｌ_３に合流する。その結果、青色の光は赤色の光および緑色の光と同軸に合波され、光路Ｌ_３に沿って進行する。 The blue light emitted from the third laser diode 83, along the optical path L ₅ proceeds, is incident on the second filter 92. The second filter 92 for reflecting the blue light, the light emitted from the third laser diode 83 joins the optical path L _3. As a result, the blue light are multiplexed into red light and green light and a coaxial, travels along the optical path L _3.

上記のように合波された光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、キャップ４０の出射窓４１に配置された球レンズ４３を通って光モジュール１の外部へと出射する。なお、合波された光の光軸は、Ｚ軸方向に沿って配置される。キャップ４０の出射窓４１からは、赤色、緑色および青色の光が合波されて形成された光が出射することとなる。 Light combined as described above, along the optical path L ₃ proceeds through the spherical lens 43 disposed in the exit window 41 of the cap 40 is emitted to the outside of the optical module 1. The optical axis of the combined light is arranged along the Z-axis direction. Light formed by combining red, green, and blue lights is emitted from the exit window 41 of the cap 40.

第１レーザダイオード８１から出射される光は、レンズを通過することなく第１フィルタ９１および第２フィルタ９２に直接到達する。第２レーザダイオード８２から出射される光は、レンズを通過することなく第１フィルタ９１および第２フィルタ９２に直接到達する。第３レーザダイオード８３から出射される光は、レンズを通過することなく第２フィルタ９２に直接到達する。すなわち、第１レーザダイオード８１と第１フィルタ９１との間には、レンズは配置されない。また、第２レーザダイオード８２と第１フィルタ９１との間には、レンズは配置されない。さらに、第３レーザダイオード８３と第２フィルタ９２との間には、レンズは配置されない。第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３からの光は、レンズを通過することなく出射窓４１に到達する。 The light emitted from the first laser diode 81 reaches the first filter 91 and the second filter 92 directly without passing through the lens. The light emitted from the second laser diode 82 reaches the first filter 91 and the second filter 92 directly without passing through the lens. The light emitted from the third laser diode 83 reaches the second filter 92 directly without passing through the lens. That is, no lens is arranged between the first laser diode 81 and the first filter 91. Further, no lens is arranged between the second laser diode 82 and the first filter 91. Further, no lens is arranged between the third laser diode 83 and the second filter 92. The light from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 reaches the exit window 41 without passing through the lens.

保持面６０Ａには、保持面６０Ａの第１フィルタ９１が搭載されている領域を避けて、第１フィルタ９１により合波された光の出射方向側の所定の位置からベースブロック６０のステム１０の主面１０Ａが位置する側とは反対側に位置する端部６１にまで至る凹部６２が設けられている。凹部６２は、Ｙ軸方向に凹むように設けられている。凹部６２は、保持面６０Ａの外周６０Ｂの一部を含むように設けられている。凹部６２は、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された光の光路に対応する領域に設けられる。より具体的には、凹部６２は、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された光の光路に沿って設けられている。凹部６２は、Ｙ軸方向から平面的に見て、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された光の光路と交差する保持面６０Ａの外周６０Ｂを含むように設けられている。凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６５から連なる側壁面６３と、側壁面６３の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６４とから構成されている。 On the holding surface 60A, avoiding the region where the first filter 91 of the holding surface 60A is mounted, the stem 10 of the base block 60 is placed from a predetermined position on the emission direction side of the light combined by the first filter 91. A recess 62 is provided that extends to the end 61 located on the side opposite to the side on which the main surface 10A is located. The recess 62 is provided so as to be recessed in the Y-axis direction. The recess 62 is provided so as to include a part of the outer circumference 60B of the holding surface 60A. The recess 62 is provided in a region corresponding to an optical path of light combined by the first filter 91 and the second filter 92. More specifically, the recess 62 is provided along the optical path of the light combined by the first filter 91 and the second filter 92. The recess 62 is provided so as to include the outer circumference 60B of the holding surface 60A that intersects the optical path of the light waved by the first filter 91 and the second filter 92 when viewed in a plane from the Y-axis direction. The surface 621 constituting the recess 62 is composed of a side wall surface 63 connected to the mounting surface 65 and a bottom surface 64 connected from an end portion of the side wall surface 63 opposite to the side on which the mounting surface 65 is located.

Ｙ軸方向から平面的に見て、凹部６２は、保持面６０Ａの外周６０Ｂに近付くにしたがって、Ｘ軸方向の幅が大きくなるテーパ状の形状を有する。Ｙ軸方向から平面的に見て、合波された光の光路のＸ軸方向の幅よりも凹部６２のＸ軸方向の幅は大きく設けられている。 When viewed in a plane from the Y-axis direction, the recess 62 has a tapered shape in which the width in the X-axis direction increases as it approaches the outer circumference 60B of the holding surface 60A. When viewed in a plane from the Y-axis direction, the width of the recess 62 in the X-axis direction is larger than the width of the optical path of the combined light in the X-axis direction.

図４は、実施の形態１における光モジュール１の概略断面図である。図４は、実施の形態１における光モジュール１を図２中のＹ−Ｚ平面に沿う平面で切断した場合の断面図である。図４を参照して、発散光である合波された光の光路Ｓの外縁は、外縁Ｓ_１と外縁Ｓ_２とによって示される。凹部６２は、合波された光の光路Ｓの外縁Ｓ_１およびＳ_２よりも外側に位置するように設けられている。より具体的には、凹部６２の底面６４は、合波された光の光路Ｓの外縁Ｓ_１およびＳ_２よりも外側に位置するように設けられている。なお、側壁面６３についても、合波された光の光路Ｓの外縁Ｓ_１およびＳ_２よりも外側に位置する。 FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the optical module 1 according to the first embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view of the optical module 1 according to the first embodiment when the optical module 1 is cut along a plane along the YY plane in FIG. Referring to FIG. 4, the outer edge of the optical path S of the multiplexed is divergent light is represented by an outer edge S ₁ and the outer edge S _2. Recess 62 is provided so as to be located outside the outer edge S ₁ and S ₂ of the optical path S of the multiplexed light. More specifically, the bottom surface 64 of the recess 62 is provided so as to be located outside the outer edge S ₁ and S ₂ of the optical path S of the multiplexed light. Note that the side wall surface 63, located outside the outer edge S ₁ and S ₂ of the optical path S of the multiplexed light.

このように、実施の形態１の光モジュール１は、ベースブロック６０に備えられ、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３と、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２とを搭載する保持面６０Ａに、保持面６０Ａの外周６０Ｂの一部を含むように凹部６２が設けられている。凹部６２は、合波された発散光の光路に対応する領域に設けられている。第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３は、凹部６２の外側に位置するように設けられている。このような凹部６２により、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害を抑制することができる。そうすると、合波された発散光の減光が抑制され、出力される光の量を多くすることができる。このように、実施の形態１の光モジュール１によれば、出力される光の量が多くなる。 As described above, the optical module 1 of the first embodiment is provided in the base block 60, and includes the first laser diode 81, the second laser diode 82, the third laser diode 83, the first filter 91, and the second filter 92. A recess 62 is provided on the holding surface 60A on which the holding surface 60A is mounted so as to include a part of the outer circumference 60B of the holding surface 60A. The recess 62 is provided in a region corresponding to the optical path of the combined divergent light. The first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 are provided so as to be located outside the recess 62. With such a recess 62, the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92 by the base block 60 of the divergent light. Inhibition of progression can be suppressed. Then, the dimming of the combined divergent light is suppressed, and the amount of output light can be increased. As described above, according to the optical module 1 of the first embodiment, the amount of output light is increased.

上記実施の形態では、凹部６２を構成する面６２１は、合波された発散光の光路Ｓの外側に位置する。このようにすることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の凹部６２を構成する面６２１による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。従って、出力される光の量をより多くすることができる。 In the above embodiment, the surface 621 constituting the recess 62 is located outside the optical path S of the combined divergent light. By doing so, the surface forming the recess 62 of the divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92. The inhibition of light progression by 621 can be further suppressed. Therefore, the amount of output light can be increased.

上記実施の形態では、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸を含む面（Ｘ−Ｚ平面）に垂直な方向（Ｙ軸方向）から平面的に見て、合波された発散光の光軸に垂直な方向（Ｘ軸方向）における凹部６２の幅は、保持面６０Ａの外周６０Ｂに近付くにしたがって大きくなる。このような凹部６２の形状は、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の光路Ｓに対応する形状となる。このため、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 In the above embodiment, from the direction (Y-axis direction) perpendicular to the plane (XX plane) including the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83. When viewed in a plan view, the width of the recess 62 in the direction perpendicular to the optical axis of the combined divergent light (X-axis direction) increases as it approaches the outer circumference 60B of the holding surface 60A. The shape of such a recess 62 corresponds to the optical path S of the divergent light combined by the first filter 91 and the second filter 92. Therefore, the base block 60 of the divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92 hinders the progress of light. It can be further suppressed.

上記実施の形態では、凹部６２を構成する面６２１に第２フィルタ９２が搭載されている。このようにすることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 In the above embodiment, the second filter 92 is mounted on the surface 621 forming the recess 62. By doing so, the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92 by the base block 60 of the divergent light is emitted. Inhibition of progression can be further suppressed.

上記実施の形態では、凹部６２を構成する面６２１は、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３が搭載される搭載面６５から連なる側壁面６３と、側壁面６３の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６４とから構成されている。第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸を含む面（Ｘ−Ｚ平面）と、底面６４とは平行に配置されており、底面６４上に第２フィルタ９２が設けられている。このような底面６４に第２フィルタ９２が設けられることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される発散光をより容易に合波することができる。 In the above embodiment, the surface 621 forming the recess 62 is a side wall surface 63 connected to a mounting surface 65 on which the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 are mounted, and the side wall surface 63. It is composed of a bottom surface 64 connected from an end portion located on the side opposite to the side on which the mounting surface 65 is located. The surface (XZ plane) including the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 is arranged in parallel with the bottom surface 64, and is arranged on the bottom surface 64. A second filter 92 is provided in the. By providing the second filter 92 on such a bottom surface 64, the divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 can be more easily combined.

上記実施の形態では、半導体発光素子はレーザダイオードであるため、波長のばらつきが小さい出射光を得ることができる。 In the above embodiment, since the semiconductor light emitting device is a laser diode, it is possible to obtain emitted light having a small variation in wavelength.

上記実施の形態では、光形成部２０からの光を透過する出射窓４１を有し、光形成部２０を取り囲むように配置されるキャップ４０をさらに備えるため、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３を大気中の水分や塵から保護しつつ、合波された発散光を得ることができる。 In the above embodiment, the first laser diode 81 and the second laser have a first laser diode 81 and a second laser in order to have an exit window 41 that transmits light from the light forming unit 20 and further include a cap 40 arranged so as to surround the light forming unit 20. The combined divergent light can be obtained while protecting the diode 82 and the third laser diode 83 from moisture and dust in the atmosphere.

上記実施の形態では、出射窓４１に設置され、合波された発散光のスポットサイズを変換する球レンズ４３、をさらに備えるため、コンパクトな形状を維持しつつ、所望のスポットサイズの光を得ることができる。 In the above embodiment, since the spherical lens 43, which is installed in the exit window 41 and converts the spot size of the combined divergent light, is further provided, light of a desired spot size is obtained while maintaining a compact shape. be able to.

上記実施の形態では、球レンズ４３はコリメートレンズであるため、複数の光が適切に合波された平行光を得ることができる。 In the above embodiment, since the spherical lens 43 is a collimated lens, it is possible to obtain parallel light in which a plurality of lights are appropriately combined.

上記実施の形態では、底面６４に第２フィルタ９２が配置される構成としたが、これに限らず、第２フィルタ９２は、凹部６２の外側の保持面６０Ａ上に搭載されるようにしてもよい。 In the above embodiment, the second filter 92 is arranged on the bottom surface 64, but the present invention is not limited to this, and the second filter 92 may be mounted on the holding surface 60A outside the recess 62. good.

上記実施の形態では、第１フィルタ９１は、凹部６２の外側に位置する構成としたが、これに限らず、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２は、底面６４上に搭載されるようにしてもよい。このようにすることで、第１フィルタ９１によって合波された発散光のベースブロック６０による光の進行の阻害をさらに抑制することができる。 In the above embodiment, the first filter 91 is configured to be located outside the recess 62, but the present invention is not limited to this, and the first filter 91 and the second filter 92 are mounted on the bottom surface 64. May be good. By doing so, it is possible to further suppress the inhibition of the progress of light by the base block 60 of the divergent light combined by the first filter 91.

上記実施の形態では、凹部６２は、合波された光の光路のＸ軸方向の幅よりも凹部６２のＸ軸方向の幅は大きく設けられている構成としたが、これに限らず、例えばＹ軸方向から平面的に見て、凹部６２のＸ軸方向の幅は、合波された光の光路のＸ軸方向の幅と一致するように設けてもよい。 In the above embodiment, the recess 62 is configured such that the width of the recess 62 in the X-axis direction is larger than the width of the combined light path in the X-axis direction, but the present invention is not limited to this, for example. When viewed in a plane from the Y-axis direction, the width of the recess 62 in the X-axis direction may be provided so as to match the width of the optical path of the combined light in the X-axis direction.

また、上記実施形態においては、出射窓４１にコリメートレンズとして球レンズ４３が配置されている例を説明したが、光モジュール１はコリメートレンズなどのレンズを有していなくてもよい。例えば出射窓４１には球レンズ４３の代わりに平板ガラスが配置されていてもよい。また光モジュール１から出射される光の進行経路上にある、光モジュール１とは別の部材にコリメートレンズを配置することもできる。また上記光モジュールにおいては、集光位置を無限遠として設計してもよい。この場合、集光位置を無限遠として設計するために、コリメートレンズ以外の構造を採用してもよい。 Further, in the above embodiment, the example in which the spherical lens 43 is arranged as the collimating lens in the exit window 41 has been described, but the optical module 1 does not have to have a lens such as a collimating lens. For example, flat glass may be arranged in the exit window 41 instead of the spherical lens 43. Further, the collimating lens may be arranged on a member different from the optical module 1 on the traveling path of the light emitted from the optical module 1. Further, in the above optical module, the condensing position may be designed to be infinity. In this case, a structure other than the collimating lens may be adopted in order to design the focusing position at infinity.

上記実施形態においては、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、および第３レーザダイオード８３から出射される光は、それぞれ波長の異なる複数の色であったが、これらのレーザダイオードのうち任意の２つまたは３つが同一の波長を有する同色の色を出射するものであってもよい。 In the above embodiment, the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 has a plurality of colors having different wavelengths, but any of these laser diodes is arbitrary. Two or three of the above may emit the same color having the same wavelength.

また、これらのレーザダイオードのうち任意の２つまたは３つが同一の波長で偏光方向が異なる光を出射するものであってもよい。例えば、任意の２つのレーザダイオードについて、偏光方向が垂直に交差するように配置してもよい。この場合、フィルタとしては２つのレーザダイオードから出射される偏光方向の異なる光を合波するフィルタを用いるとよい。すなわち、フィルタは偏波合成フィルタを含む構成としてもよい。このように同一波長の光が合波されることで、光モジュールを高出力にすることができる。 Further, any two or three of these laser diodes may emit light having the same wavelength and different polarization directions. For example, any two laser diodes may be arranged so that the polarization directions intersect vertically. In this case, as the filter, it is preferable to use a filter that combines light emitted from two laser diodes with different polarization directions. That is, the filter may be configured to include a polarization synthesis filter. By combining light of the same wavelength in this way, the optical module can have a high output.

次に変形例について説明する。図５は、実施の形態１における光モジュール１の第１の変形例を示す概略断面図である。図５を参照して、凹部６２を構成する面６２１は、Ｙ軸方向における合波された発散光の光軸Ｔとの距離が、外周６０Ｂに向って長くなるように連続的に傾斜している面を含む。より具体的には、凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６５から連なる側壁面６３と、傾斜面６４４と、を含む。傾斜面６４４は、Ｚ軸方向に対して連続的に傾斜するテーパ面である。Ｙ軸方向における傾斜面６４４と合波された発散光の光軸Ｔとの距離Ｄ_１は、外周６０Ｂに向って長くなる。このようにすることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２、および第３レーザダイオード８３から出射され第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の光路Ｓに対応して、凹部６２を構成する面６２１と合波された発散光の光軸Ｔとの距離を長くすることができる。 Next, a modified example will be described. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a first modification of the optical module 1 according to the first embodiment. With reference to FIG. 5, the surface 621 constituting the recess 62 is continuously inclined so that the distance of the combined divergent light in the Y-axis direction from the optical axis T becomes longer toward the outer circumference 60B. Including the surface that is. More specifically, the surface 621 constituting the recess 62 includes a side wall surface 63 connected to the mounting surface 65 and an inclined surface 644. The inclined surface 644 is a tapered surface that is continuously inclined in the Z-axis direction. Distance D ₁ of the optical axis T of the inclined surface 644 and which have been multiplexed divergent light in the Y-axis direction is longer toward the outer periphery 60B. By doing so, it corresponds to the optical path S of the divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 and combined by the first filter 91 and the second filter 92. Therefore, the distance between the surface 621 constituting the recess 62 and the optical axis T of the divergent light combined can be increased.

図６は、実施の形態１における光モジュール１の第２の変形例を示す概略断面図である。図６を参照して、凹部６２を構成する面６２１は、Ｙ軸方向における合波された発散光の光軸Ｔとの距離が、外周６０Ｂに向って長くなるように多段状に設けられた面を含む。より具体的には、凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６５から連なる側壁面６３と、側壁面６３の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６４とから構成される。底面６４は、第一の面６４１と、第二の面６４２と、第三の面６４３とを含む。第一の面６４１および第二の面６４２は、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される光の光軸を含む面（Ｘ−Ｚ平面）に平行に配置されている。第二の面６４２は、第一の面６４１よりも保持面６０Ａの外周６０Ｂ側に位置する。第三の面６４３は、第一の面６４１と、第二の面６４２とを繋ぐように配置される。第三の面６４３は、第一の面６４１および第二の面６４２に交差する（直交する）ように配置される。なお、第２フィルタ９２は、第二の面６４２上に搭載されている。 FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a second modification of the optical module 1 according to the first embodiment. With reference to FIG. 6, the surface 621 constituting the recess 62 is provided in a multi-stage shape so that the distance of the combined divergent light in the Y-axis direction from the optical axis T becomes longer toward the outer circumference 60B. Including faces. More specifically, the surface 621 constituting the recess 62 includes a side wall surface 63 connected to the mounting surface 65 and a bottom surface 64 connected to the end portion of the side wall surface 63 opposite to the side on which the mounting surface 65 is located. Consists of. The bottom surface 64 includes a first surface 641, a second surface 642, and a third surface 643. The first surface 641 and the second surface 642 are parallel to the surface (XZ plane) including the optical axis of the light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83. Have been placed. The second surface 642 is located closer to the outer circumference 60B of the holding surface 60A than the first surface 641. The third surface 643 is arranged so as to connect the first surface 641 and the second surface 642. The third surface 643 is arranged so as to intersect (orthogonally) the first surface 641 and the second surface 642. The second filter 92 is mounted on the second surface 642.

Ｙ軸方向における合波された発散光の光軸Ｔと第二の面６４２との距離Ｄ_３は、合波された発散光の光軸Ｔと第一の面６４１との距離Ｄ_２よりも大きくなるように構成される。すなわち、第一の面６４１と、第二の面６４２とは、段差状に設けられている。この場合、凹部６２を構成する面６２１は２段からなる面を含む。このような構成によっても、第１フィルタ９１および第２フィルタ９２によって合波された発散光の光路Ｓに対応して、凹部６２を構成する面６２１と合波された発散光の光軸Ｔとの距離を長くすることができる。また、Ｘ−Ｚ平面に平行な第二の面６４２に第２フィルタ９２が搭載されることで、第１レーザダイオード８１、第２レーザダイオード８２および第３レーザダイオード８３から出射される発散光をより容易に合波することができる。なお、上記変形例においては、凹部６２を構成する面６２１は２段からなる面を含む構成としたが、これに限らず、３段以上の多段状に設けられた面を含む構成としてもよい。 _{The distance D 3} between the optical axis T of the combined divergent light and the second surface 642 in the Y-axis direction is larger than _{the distance D 2} between the optical axis T of the combined divergent light and the first surface 641. It is configured to be large. That is, the first surface 641 and the second surface 642 are provided in a stepped shape. In this case, the surface 621 constituting the recess 62 includes a surface having two steps. Even with such a configuration, the optical axis T of the divergent light combined with the surface 621 constituting the recess 62 corresponds to the optical path S of the divergent light combined by the first filter 91 and the second filter 92. The distance can be increased. Further, by mounting the second filter 92 on the second surface 642 parallel to the XZ plane, the divergent light emitted from the first laser diode 81, the second laser diode 82, and the third laser diode 83 can be emitted. It is possible to combine waves more easily. In the above modified example, the surface 621 constituting the recess 62 is configured to include a surface composed of two steps, but the present invention is not limited to this, and a configuration including a surface provided in a multi-step shape of three or more steps may be used. ..

（実施の形態２）
次に、本願の光モジュール１の実施の形態２について説明する。実施の形態２は、ステムと、ベース部材と、レーザダイオードおよびフィルタの数とを除いて、実施の形態１と同様の構成を有する。すなわち、実施の形態２においては、ステムおよびベース部材の構造と、レーザダイオードおよびフィルタの数が、実施の形態１の場合と異なっている。以下、実施の形態１の場合とは異なる点について主に説明する。 (Embodiment 2)
Next, the second embodiment of the optical module 1 of the present application will be described. The second embodiment has the same configuration as the first embodiment except for the stem, the base member, and the number of laser diodes and filters. That is, in the second embodiment, the structure of the stem and the base member and the number of the laser diodes and the filters are different from those in the first embodiment. Hereinafter, the points different from the case of the first embodiment will be mainly described.

図７は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図８は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図８は、図７に示す光モジュールからキャップを取り外した状態に対応する図である。図９は、実施の形態２における光モジュールの構造を示す概略平面図である。 FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module according to the second embodiment. FIG. 8 is a schematic perspective view showing the structure of the optical module according to the second embodiment. FIG. 8 is a diagram corresponding to a state in which the cap is removed from the optical module shown in FIG. FIG. 9 is a schematic plan view showing the structure of the optical module according to the second embodiment.

図７および図８を参照して、本実施の形態における光モジュール１００は、ステム１１０と、光を形成する光形成部１２０と、キャップ１４０と、複数のリードピン１５１とを備えている。ステム１１０は、矩形平板状の形状を有する。光形成部１２０は、ステム１１０の一方の主面１１０Ａ上に配置されている。キャップ１４０は、光形成部１２０を覆うようにステム１１０の一方の主面１１０Ａ上に接触して配置される。リードピン１５１は、ステム１１０の他方の主面１１０Ｂ側から一方の主面１１０Ａ側まで貫通し、一方の主面１１０Ａ側および他方の主面１１０Ｂ側の両側に突出する。光形成部１２０は、実施の形態１の場合と同様に、ステム１１０とキャップ１４０とによりハーメチックシールされている。キャップ１４０には、光形成部１２０からの光を透過する出射窓１４１が形成されている。 With reference to FIGS. 7 and 8, the optical module 100 in this embodiment includes a stem 110, an optical forming unit 120 for forming light, a cap 140, and a plurality of lead pins 151. The stem 110 has a rectangular flat plate shape. The light forming portion 120 is arranged on one main surface 110A of the stem 110. The cap 140 is arranged in contact with one of the main surfaces 110A of the stem 110 so as to cover the light forming portion 120. The lead pin 151 penetrates from the other main surface 110B side of the stem 110 to one main surface 110A side, and projects to both sides of one main surface 110A side and the other main surface 110B side. The light forming portion 120 is hermetically sealed by the stem 110 and the cap 140 as in the case of the first embodiment. The cap 140 is formed with an exit window 141 that transmits light from the light forming unit 120.

図８を参照して、光形成部１２０は、ベース部材であるベース板１６０を含む。ベース板１６０は、Ｚ軸方向から平面的に見て、長方形状の形状を有する。ベース板１６０は、保持面１６０Ａを有する。保持面１６０Ａは、Ｚ軸方向から平面的に見て、矩形状の形状を有する。ベース板１６０の保持面１６０Ａが位置する側とは反対側の面は、ステム１１０の主面１１０Ａに固定されている。保持面１６０Ａは、搭載面６９を含む。搭載面６９は、ステム１０の主面１１０Ａと平行な面である。搭載面６９およびステム１１０の主面１１０Ａは、いずれもＸ−Ｙ平面に沿う。なお、以下の説明において、主面１１０Ａに垂直な方向をＺ軸方向、ベース板１６０のＺ軸方向から見た時の長辺方向をＸ軸方向、ベース板１６０のＺ軸方向から見た時の短辺方向をＹ軸方向とする。 With reference to FIG. 8, the light forming unit 120 includes a base plate 160 which is a base member. The base plate 160 has a rectangular shape when viewed in a plane from the Z-axis direction. The base plate 160 has a holding surface 160A. The holding surface 160A has a rectangular shape when viewed in a plane from the Z-axis direction. The surface of the base plate 160 opposite to the side on which the holding surface 160A is located is fixed to the main surface 110A of the stem 110. The holding surface 160A includes a mounting surface 69. The mounting surface 69 is a surface parallel to the main surface 110A of the stem 10. Both the mounting surface 69 and the main surface 110A of the stem 110 are along the XY plane. In the following description, the direction perpendicular to the main surface 110A is the Z-axis direction, the long side direction when viewed from the Z-axis direction of the base plate 160 is the X-axis direction, and the direction when viewed from the Z-axis direction of the base plate 160. The short side direction of is the Y-axis direction.

図８および図９を参照して、搭載面６９上には、平板状の第１サブマウント７１と、平板状の第２サブマウント７２と、第１フィルタ９１とが搭載されている。第１サブマウント７１上には、第１レーザダイオード８１が配置されている。第１レーザダイオード８１は、Ｘ軸方向に光を出射する。第１レーザダイオード８１は、赤色の光を出射する。第２サブマウント７２上には、第２レーザダイオード８２が配置されている。第２レーザダイオード８２は、Ｙ軸方向に光を出射する。第２レーザダイオード８２は、緑色の光を出射する。 With reference to FIGS. 8 and 9, a flat plate-shaped first submount 71, a flat plate-shaped second submount 72, and a first filter 91 are mounted on the mounting surface 69. A first laser diode 81 is arranged on the first submount 71. The first laser diode 81 emits light in the X-axis direction. The first laser diode 81 emits red light. A second laser diode 82 is arranged on the second submount 72. The second laser diode 82 emits light in the Y-axis direction. The second laser diode 82 emits green light.

第１フィルタ９１は、それぞれ互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第１フィルタ９１の主面は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して傾斜している。より具体的には、第１フィルタ９１の主面は、Ｘ軸方向（第１レーザダイオード８１の出射方向）およびＹ軸方向（第２レーザダイオード８２の出射方向）に対して４５°傾斜している。 The first filter 91 has a flat plate shape having main surfaces parallel to each other. The main surface of the first filter 91 is inclined with respect to the X-axis direction and the Y-axis direction. More specifically, the main surface of the first filter 91 is inclined by 45 ° with respect to the X-axis direction (emission direction of the first laser diode 81) and the Y-axis direction (emission direction of the second laser diode 82). There is.

第１レーザダイオード８１から出射された光は、光路Ｌ_１に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第２レーザダイオード８２から出射された光は、光路Ｌ_２に沿って進行し、第１フィルタ９１に入射する。第１フィルタ９１において合波された光は、光路Ｌ_３に沿って進行し、キャップ１４０の出射窓１４１を通って光モジュール１の外部へと出射する。なお、合波された光の光軸は、Ｘ軸方向に沿って配置されている。 Light emitted from the first laser diode 81, along the optical path L ₁ proceeds, is incident on the first filter 91. Light emitted from the second laser diode 82, along the optical path L ₂ progresses, is incident on the first filter 91. Light combined in the first filter 91 along the optical path L ₃ proceeds through the exit window 141 of the cap 140 is emitted to the outside of the optical module 1. The optical axis of the combined light is arranged along the X-axis direction.

図８および図９を参照して、ベース板１６０は、保持面１６０Ａの外周１６０Ｂの一部を含むように凹部６６が設けられている。凹部６６は、Ｚ軸方向に凹むように設けられている。凹部６６は、保持面１６０Ａの１つの隅を含むように設けられている。凹部６６は、合波された光の光路に対応する領域に設けられる。より具体的には、凹部６６は、合波された光の光路に沿って設けられている。凹部６６は、Ｚ軸方向から平面的に見て、合波された光の光路と交差する保持面１６０Ａの外周１６０Ｂを含むように設けられている。凹部６２を構成する面６２１は、搭載面６９から連なる側壁面６７と、側壁面６７の搭載面６５が位置する側とは反対側に位置する端部から連なる底面６８とから構成されている。 With reference to FIGS. 8 and 9, the base plate 160 is provided with a recess 66 so as to include a part of the outer circumference 160B of the holding surface 160A. The recess 66 is provided so as to be recessed in the Z-axis direction. The recess 66 is provided so as to include one corner of the holding surface 160A. The recess 66 is provided in a region corresponding to the optical path of the combined light. More specifically, the recess 66 is provided along the optical path of the combined light. The recess 66 is provided so as to include the outer circumference 160B of the holding surface 160A that intersects the optical path of the combined light when viewed in a plane from the Z-axis direction. The surface 621 forming the recess 62 is composed of a side wall surface 67 connected to the mounting surface 69 and a bottom surface 68 connected to the end portion of the side wall surface 67 opposite to the side on which the mounting surface 65 is located.

凹部６６は、Ｚ軸方向から平面的に見て、矩形状の形状を有する。Ｚ軸方向から平面的に見て、合波された光の光路のＹ軸方向の幅よりも凹部６６のＹ軸方向の幅は大きく設けられている。 The recess 66 has a rectangular shape when viewed in a plane from the Z-axis direction. When viewed in a plane from the Z-axis direction, the width of the recess 66 in the Y-axis direction is larger than the width of the optical path of the combined light in the Y-axis direction.

第１レーザダイオード８１および第２レーザダイオード８２は、凹部６６の外側に位置するように設けられている。第１フィルタ９１は、底面６８上に搭載されている。 The first laser diode 81 and the second laser diode 82 are provided so as to be located outside the recess 66. The first filter 91 is mounted on the bottom surface 68.

上記実施の形態２の構造を有する光モジュール１００によっても、実施の形態１と同様に、出力される光の量が多くなる。 The optical module 100 having the structure of the second embodiment also increases the amount of light output as in the first embodiment.

上記実施の形態では、凹部６６は、合波された光の光路のＹ軸方向の幅よりも凹部６６のＹ軸方向の幅は大きく設けられている構成としたが、これに限らず、Ｚ軸方向から平面的に見て、凹部６６のＹ軸方向の幅は、合波された光の光路のＹ軸方向の幅と一致するように設けてもよい。 In the above embodiment, the recess 66 is configured such that the width of the recess 66 in the Y-axis direction is larger than the width of the combined light path in the Y-axis direction, but the present invention is not limited to this. When viewed in a plane from the axial direction, the width of the recess 66 in the Y-axis direction may be provided so as to coincide with the width of the optical path of the combined light in the Y-axis direction.

なお、上記サブマウントは、サブマウント上に搭載される素子等に熱膨張係数が近い材料からなるものとされ、たとえばＡｌＮ、ＳｉＣ、Ｓｉ、ダイヤモンドなどからなるものとすることができる。また、ステムおよびキャップを構成する材料としては、たとえば熱伝導率の高い材料である鉄、銅などを採用してもよいし、ＡｌＮ、ＣｕＷ、ＣｕＭｏなどを採用してもよい。 The submount is made of a material having a coefficient of thermal expansion close to that of an element mounted on the submount, and can be made of, for example, AlN, SiC, Si, diamond, or the like. Further, as the material constituting the stem and the cap, for example, iron, copper or the like having high thermal conductivity may be adopted, or AlN, CuW, CuMo or the like may be adopted.

上記実施の形態の構造は、本願の光モジュールの構造の一例である。上記実施の形態においては、２個または３個のレーザダイオードからの光が合波される場合について説明したが、４個以上のレーザダイオードからの光が合波されてもよい。また、上記実施の形態では、半導体発光素子の一例としてレーザダイオードが採用される場合について説明したが、半導体発光素子として発光ダイオードが採用されてもよい。またこの場合においても、これらの半導体発光素子のうち任意の２つ以上が同一の波長を有する同色の色を出射するものであってもよい。 The structure of the above embodiment is an example of the structure of the optical module of the present application. In the above embodiment, the case where the light from two or three laser diodes is combined has been described, but the light from four or more laser diodes may be combined. Further, in the above embodiment, the case where the laser diode is adopted as an example of the semiconductor light emitting element has been described, but the light emitting diode may be adopted as the semiconductor light emitting element. Also in this case, any two or more of these semiconductor light emitting devices may emit the same color having the same wavelength.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments disclosed here are exemplary in all respects and are not restrictive in any way. The scope of the present invention is not defined as described above, but is indicated by the scope of claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

本願の光モジュールは、出力される光の量を多くすることが求められる光モジュールに、特に有利に適用される。 The optical module of the present application is particularly advantageously applied to an optical module that requires a large amount of output light.

１，１００光モジュール
１０，１１０ステム
１０Ａ，１１０Ａ主面
１０Ｂ，１１０Ｂ主面
２０，１２０光形成部
４０，１４０キャップ
４１，１４１出射窓
４３球面レンズ
５１，１５１リードピン
６０ベースブロック
６０Ａ保持面
６０Ｂ外周
６１端部
６２凹部
６２１面
６３側壁面
６４底面
６４１第一の面
６４２第二の面
６４３第三の面
６４４傾斜面
６５搭載面
６６凹部
６７側壁面
６８底面
６９搭載面
７１第１サブマウント
７２第２サブマウント
７３第３サブマウント
８１第１レーザダイオード
８２第２レーザダイオード
８３第３レーザダイオード
９１第１フィルタ
９２第２フィルタ
１６０ベース板
１６０Ａ保持面
１６０Ｂ外周
Ｓ光路
Ｔ光軸 1,100 Optical module 10,110 Stem 10A, 110A Main surface 10B, 110B Main surface 20,120 Optical forming part 40, 140 Cap 41, 141 Exit window 43 Spherical lens 51, 151 Lead pin 60 Base block 60A Holding surface 60B Outer circumference 61 End 62 Recess 621 Surface 63 Side wall surface 64 Bottom surface 641 First surface 642 Second surface 643 Third surface 644 Inclined surface 65 Mounting surface 66 Recession 67 Side wall surface 68 Bottom surface 69 Mounting surface 71 First submount 72 Second Submount 73 3rd submount 81 1st laser diode 82 2nd laser diode 83 3rd laser diode 91 1st filter 92 2nd filter 160 Base plate 160A Holding surface 160B Outer circumference S Optical path T Optical axis

Claims

An optical module having a light forming portion that forms light.
The light forming part is
A base member with a holding surface and
A plurality of semiconductor light emitting elements mounted on the holding surface and emitting light having different wavelengths or polarization directions.
A filter mounted on the holding surface and directly receiving and merging divergent light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is included.
The holding surface has a recess so as to include a part of the outer periphery of the holding surface in a region corresponding to the optical path of the divergent light in which all types of light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements are combined. It is provided,
The semiconductor light emitting device is located outside the recess and is located outside the recess .
In a direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements, the distance between the surface forming the recess and the optical axis of the combined divergent light is determined by the holding surface. An optical module that becomes longer as it approaches the outer circumference.

The optical module according to claim 1, wherein the surface forming the recess is located outside the optical path of the divergent light that has been combined.

The optical module according to claim 1 or 2, wherein the filter is mounted on a surface forming the recess.

The surface forming the recess is composed of a side wall surface connected to the mounting surface on which the semiconductor light emitting element is mounted and a bottom surface connected from an end portion located on the side opposite to the side on which the mounting surface of the side wall surface is located. And
The surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements and the bottom surface are arranged in parallel.
The optical module according to claim 3, wherein the filter is mounted on the bottom surface.

The surface forming the recess is such that the distance from the optical axis of the divergent light combined in the direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is the outer circumference of the holding surface. The optical module according to claim 1 , wherein the optical module includes a surface that is continuously inclined so as to be elongated toward.

The surface forming the recess is such that the distance from the optical axis of the divergent light combined in the direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is the outer circumference of the holding surface. The optical module according to claim 1 , further comprising a surface provided in a multi-step manner so as to be elongated toward the surface.

The width of the recess in the direction perpendicular to the optical axis of the divergent light when viewed in a plane from the direction perpendicular to the surface including the optical axis of the light emitted from the plurality of semiconductor light emitting elements is the said. The optical module according to any one of claims 1 to 6 , which becomes larger as it approaches the outer periphery of the holding surface.

The plurality of semiconductor light emitting devices include the semiconductor light emitting device that emits red light, the semiconductor light emitting element that emits green light, and the semiconductor light emitting element that emits blue light.
The filter includes a first filter and a second filter different from the first filter.
The first filter and the second filter combine the semiconductor light emitting element that emits red light, the semiconductor light emitting element that emits green light, and the light emitted from the semiconductor light emitting element that emits blue light. The optical module according to any one of claims 1 to 7, which undulates.

The plurality of semiconductor light emitting devices include a plurality of the semiconductor light emitting devices that emit light having the same wavelength and different polarization directions.
The optical module according to any one of claims 1 to 8 , wherein the filter combines light emitted from a plurality of semiconductor light emitting devices having different polarization directions.

The optical module according to any one of claims 1 to 9 , wherein the semiconductor light emitting device is a laser diode.

The optical module according to any one of claims 1 to 10 , further comprising a protective member having an exit window for transmitting light from the light forming portion and being arranged so as to surround the light forming portion. ..

The optical module according to claim 11 , further comprising a lens installed in the exit window and converting the spot size of the combined divergent light.

The optical module according to claim 12 , wherein the lens is a collimating lens.