JP6962179B2 - Method for manufacturing conductive paste and conductive pattern forming substrate - Google Patents
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Description
本発明は、導電ペーストおよびそれを用いた導電パターン形成基板とその製造方法、電極付きタッチパネルに関するものである。 The present invention relates to a conductive paste, a conductive pattern forming substrate using the conductive paste, a method for manufacturing the same, and a touch panel with electrodes.
近年、入力手段としてタッチパネルが広く用いられている。タッチパネルは、液晶パネルなどの表示部と、特定の位置に入力された情報を検出するタッチパネルセンサー等から構成される。タッチパネルの方式は、入力位置の検出方法により、抵抗膜方式、静電容量方式、光学方式、電磁誘導方式、超音波方式などに大別される。中でも、光学的に明るいこと、意匠性に優れること、構造が簡易であることおよび機能的に優れること等の理由により、静電容量方式のタッチパネルが広く用いられている。静電容量方式のタッチパネルセンサーは、第一電極と絶縁層を介して直行する第二電極を有し、タッチパネル面の電極に電圧をかけて、指などの導電体が触れた際の静電容量変化を検知することにより得られた接触位置を信号として出力する。静電容量方式に用いられるタッチパネルセンサーとしては、例えば、一対の対向する透明基板上に電極および外部接続端子を形成した構造や、一枚の透明基板の両面に電極および外部接続端子をそれぞれ形成した構造などが知られている。タッチパネルセンサーに用いられる配線電極としては、配線電極を見えにくくする観点から透明配線電極が用いられることが一般的であったが、近年、高感度化や画面の大型化・高精細化により、金属材料を用いた配線電極が広まっており、より微細なパターンが求められている。 In recent years, a touch panel has been widely used as an input means. The touch panel is composed of a display unit such as a liquid crystal panel and a touch panel sensor or the like that detects information input at a specific position. The touch panel method is roughly classified into a resistive film method, a capacitance method, an optical method, an electromagnetic induction method, an ultrasonic method, and the like, depending on the input position detection method. Among them, a capacitance type touch panel is widely used because of its optical brightness, excellent design, simple structure, and excellent functionality. The capacitance type touch panel sensor has a first electrode and a second electrode orthogonal to each other via an insulating layer, and a voltage is applied to the electrodes on the touch panel surface to generate capacitance when a conductor such as a finger touches the sensor. The contact position obtained by detecting the change is output as a signal. As the touch panel sensor used in the capacitance method, for example, a structure in which electrodes and external connection terminals are formed on a pair of opposing transparent substrates, or electrodes and external connection terminals are formed on both sides of one transparent substrate, respectively. The structure is known. As the wiring electrode used for the touch panel sensor, a transparent wiring electrode is generally used from the viewpoint of making the wiring electrode difficult to see. Wiring electrodes using materials are widespread, and finer patterns are required.
金属材料を用いた配線電極を有するタッチパネルセンサーは、配線電極の金属光沢により配線電極が視認される課題があった。配線電極を視認されにくくする方法としては、金属の黒化処理により反射を抑制することが考えられる。金属黒化処理液としては、例えば、テルルが溶解された塩酸溶液が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、導電回路パターンの反射率を低減するために、に黒色材料を含有する感光性導電樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献2参照)。 A touch panel sensor having a wiring electrode made of a metal material has a problem that the wiring electrode is visually recognized due to the metallic luster of the wiring electrode. As a method of making the wiring electrodes difficult to see, it is conceivable to suppress reflection by blackening the metal. As the metal blackening treatment liquid, for example, a hydrochloric acid solution in which tellurium is dissolved has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Further, in order to reduce the reflectance of the conductive circuit pattern, a photosensitive conductive resin composition containing a black material has been proposed (see, for example, Patent Document 2).
しかしながら、特許文献1に記載される金属黒化技術をタッチパネルセンサーに適用すると、金属の酸化により配線電極の導電性が低下する課題があった。また、特許文献2に記載される技術は、顔料系の黒色材料は金属粒子同士の接触を阻害し、導電性を低下させること、染料系の黒色材料は発色が不十分で、金属光沢を十分に抑制することが困難であることなどの課題があった。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、視認されにくい微細パターン形成が可能で、高い導電性を発現する導電ペーストを提供することを目的とする。
However, when the metal blackening technique described in
上記課題を解決するため、本発明は、主として以下の構成を有する。
導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)およびC.I.ソルベントブラック3(D)を含有し、前記C.I.ソルベントブラック3(D)の含有量が前記導電性粒子(A)100重量部に対して0.5〜15重量部であり、前記導電性粒子(A)が銀の粒子である導電ペースト。
In order to solve the above problems, the present invention mainly has the following configurations.
Conductive particles (A), compounds with unsaturated double bonds (B), photopolymerization initiators (C) and C.I. I. Solvent Black 3 (D) is contained, and the above-mentioned C.I. I. Solvent Black 3 (D) of the content of Ri is 0.5 to 15 parts by weight der respect to the conductive particles (A) 100 parts by weight of the conductive particles (A) is Ah with particles of silver Rushirubeden paste ..
本発明の導電ペーストによれば、視認されにくく、導電性に優れた微細パターンの導電パターンを形成することができる。 According to the conductive paste of the present invention, it is possible to form a conductive pattern having a fine pattern that is difficult to see and has excellent conductivity.
本発明の導電ペーストは、導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)およびC.I.ソルベントブラック3(D)を含有し、前記導電性粒子(A)が銀の粒子である。本発明の導電ペーストにより得られる導電パターンは、有機成分と無機成分との複合物となっており、導電性粒子(A)同士が、熱キュア時の硬化収縮によって互いに接触することにより導電性が発現するものである。不飽和二重結合を有する化合物(B)および光重合開始剤(C)により、フォトリソグラフィー法を用いた微細パターン形成が可能となる。さらに、黒色染料であるC.I.ソルベントブラック3(D)により、導電パターンの反射を抑制し、導電パターンを視認されにくくすることができる。さらに、黒色染料の中でも、C.I.ソルベントブラック3(D)は熱キュア時の導電性粒子(A)同士の接触阻害しにくいことから、C.I.ソルベントブラック3(D)を選択することにより、導電性を向上させることができる。
The conductive paste of the present invention comprises conductive particles (A), a compound having an unsaturated double bond (B), a photopolymerization initiator (C) and C.I. I.
(導電性粒子(A))
本発明における「導電性」とは、20℃における電気抵抗率が500μΩ・cm以下であることをいう。導電性粒子(A)としては、例えば、金、銀、銅、白金、鉛、錫、ニッケル、ビスマス、亜鉛、パラジウム、アルミニウム、タングステン、モリブデン、クロム、チタン、インジウムやこれらの合金などの粒子が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、導電性をより向上させる観点から、金、銀、銅、白金、鉛、錫、ニッケル、アルミニウムの粒子が好ましく、銀の粒子がより好ましい。
(Conductive particles (A))
"Conductivity" in the present invention means that the electrical resistivity at 20 ° C. is 500 μΩ · cm or less. Examples of the conductive particles (A) include particles such as gold, silver, copper, platinum, lead, tin, nickel, bismuth, zinc, palladium, aluminum, tungsten, molybdenum, chromium, titanium, indium, and alloys thereof. Can be mentioned. Two or more of these may be contained. Among these, gold, silver, copper, platinum, lead, tin, nickel, and aluminum particles are preferable, and silver particles are more preferable, from the viewpoint of further improving conductivity.
導電性粒子(A)の一次粒子径は、微細パターン加工性をより向上させる観点から、0.1μm以上が好ましい。一方、導電性粒子(A)の一次粒子径は、導電性をより向上させる観点から、1.0μm以下が好ましく、0.4μm以下がより好ましい。ここで、導電性粒子(A)の一次粒子径とは、無作為に選択した100個の導電性粒子(A)の一次粒子の粒子径の数平均値をいう。導電ペーストから導電性粒子(A)を採取し、電子顕微鏡を用いて倍率25000倍で観察し、無作為に選択した100個の導電性粒子(A)の一次粒子について、それぞれ長径と短径を測定してその平均値を一次粒子径とし、その数平均値から導電性粒子(A)の一次粒子径を算出することができる。なお、導電ペーストから導電性粒子(A)を採取する方法としては、例えば、有機溶剤により樹脂成分を溶解し、沈降した導電性粒子(A)を回収し、ボックスオーブンを用いて70℃で10分間乾燥する方法が挙げられる。 The primary particle size of the conductive particles (A) is preferably 0.1 μm or more from the viewpoint of further improving the fine pattern processability. On the other hand, the primary particle size of the conductive particles (A) is preferably 1.0 μm or less, more preferably 0.4 μm or less, from the viewpoint of further improving the conductivity. Here, the primary particle size of the conductive particles (A) means a number average value of the particle sizes of the primary particles of 100 randomly selected conductive particles (A). Conductive particles (A) were collected from the conductive paste, observed at a magnification of 25,000 using an electron microscope, and the major and minor diameters of 100 randomly selected primary particles of the conductive particles (A) were determined, respectively. The primary particle diameter of the conductive particles (A) can be calculated from the measured and average value of the primary particle diameter. As a method of collecting the conductive particles (A) from the conductive paste, for example, the resin component is dissolved with an organic solvent, the precipitated conductive particles (A) are recovered, and 10 at 70 ° C. using a box oven. A method of drying for a minute can be mentioned.
本発明の導電ペースト中における導電性粒子(A)の含有量は、導電性をより向上させる観点から、全固形分中60重量%以上が好ましく、65重量%以上がより好ましく、70重量%以上がさらに好ましい。一方、導電性粒子(A)の含有量は、微細パターン加工性をより向上させる観点から、全固形分中95重量%以下が好ましく、90重量%以下がより好ましく、85重量%以下がさらに好ましい。ここで全固形分とは、導電ペーストの溶剤を除く全構成成分をいう。 The content of the conductive particles (A) in the conductive paste of the present invention is preferably 60% by weight or more, more preferably 65% by weight or more, and 70% by weight or more in the total solid content from the viewpoint of further improving the conductivity. Is even more preferable. On the other hand, the content of the conductive particles (A) is preferably 95% by weight or less, more preferably 90% by weight or less, still more preferably 85% by weight or less, based on the total solid content, from the viewpoint of further improving the fine pattern processability. .. Here, the total solid content means all the constituent components excluding the solvent of the conductive paste.
(不飽和二重結合を有する化合物(B))
本発明における不飽和二重結合を有する化合物(B)としては、例えば、スチレン類、アクリル系モノマー、アクリル系重合体、不飽和二重結合を有するカルボキシル化合物とエポキシ化合物との反応生成物であるエポキシカルボキシレート化合物、1−ビニル−2−ピロリドンなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。
(Compound (B) having an unsaturated double bond)
The compound (B) having an unsaturated double bond in the present invention is, for example, a reaction product of styrenes, an acrylic monomer, an acrylic polymer, a carboxyl compound having an unsaturated double bond and an epoxy compound. Examples thereof include epoxy carboxylate compounds and 1-vinyl-2-pyrrolidone. Two or more of these may be contained.
スチレン類としては、例えば、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレン等が挙げられる。 Examples of styrenes include styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene and the like.
アクリル系モノマーとしては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、n−ブチルアクリレート、iso−ブチルアクリレート、iso−プロパンアクリレート、グリシジルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコールアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメルカプタンアクリレート、アリル化シクロヘキシルジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、アクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−n−ブトキシメチルアクリルアミド、N−イソブトキシメチルアクリルアミド、エポキシ基を不飽和酸で開環させた水酸基を有するエチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、グリセリンジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ビスフェノールAジグリシジルエーテルのアクリル酸付加物、ビスフェノールFのアクリル酸付加物、クレゾールノボラックのアクリル酸付加物等のエポキシアクリレートモノマー、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシランやそれらのアクリル基をメタクリル基に置換した化合物等が挙げられる。 Examples of acrylic monomers include methyl acrylate, ethyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-butyl acrylate, iso-butyl acrylate, iso-propane acrylate, glycidyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, dicyclopentanyl acrylate, and dicyclopentanyl acrylate. Cyclopentenyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluororo Pentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, thiophenol acrylate, benzyl mercaptan acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, Cyclohexyl methoxylated diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, Propropylene glycol diacrylate, Polypropylene glycol diacrylate, Triglycerol diacrylate, Trimethylol propanetriacrylate, Ditrimethylol propanetetraacrylate, Dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, Dipentaerythritol hexaacrylate, acrylamide, N-methoxymethylacrylamide, N -Ethoxymethylacrylamide, Nn-butoxymethylacrylamide, N-isobutoxymethylacrylamide, acrylic acid adduct of ethylene glycol diglycidyl ether having a hydroxyl group in which the epoxy group is opened with unsaturated acid, diethylene glycol diglycidyl ether Acrylate adduct, Acrylate adduct of neopentyl glycol diglycidyl ether, Acrylate adduct of glycerin diglycidyl ether, Bisphenol A Epoxy acrylate monomers such as diglycidyl ether acrylic acid adduct, bisphenol F acrylic acid adduct, cresol novolac acrylic acid adduct, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane and compounds in which their acrylic groups are replaced with methacrylic groups. And so on.
アクリル系重合体とは、アクリル系モノマーを含むモノマーの重合体または共重合体をいう。アクリル系重合体は、カルボキシル基を有することが好ましく、前述のアクリル系モノマーと、不飽和酸またはその酸無水物との共重合体がより好ましい。不飽和酸またはその酸無水物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、酢酸ビニルやこれらの酸無水物などが挙げられる。不飽和酸の共重合比により、アクリル系共重合体の酸価を調整することができる。 The acrylic polymer means a polymer or copolymer of a monomer containing an acrylic monomer. The acrylic polymer preferably has a carboxyl group, and a copolymer of the above-mentioned acrylic monomer and an unsaturated acid or an acid anhydride thereof is more preferable. Examples of unsaturated acids or acid anhydrides thereof include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetate and acid anhydrides thereof. The acid value of the acrylic copolymer can be adjusted by the copolymerization ratio of the unsaturated acid.
エポキシカルボキシレート化合物の原料であるエポキシ化合物としては、例えば、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールSジグリシジルエーテル、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル、ビフェノールジグリシジルエーテル、テトラメチルビフェノールグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルなどのグリシジルエーテル;3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートなどの脂環式エポキシ樹脂;tert−ブチルグリシジルアミンなどのグリシジルアミン;グリシジルエステルなどが挙げられる。また、エポキシカルボキシレートの原料である不飽和二重結合を有するカルボキシル化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、α−シアノ桂皮酸などが挙げられる。 Examples of the epoxy compound that is a raw material of the epoxy carboxylate compound include methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, and tripropylene glycol diglycidyl ether. , Neopentyl glycol diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol S diglycidyl ether, bisphenol full orange glycidyl ether, biphenol diglycidyl ether, tetramethyl biphenol glycidyl ether , Glycidyl ethers such as trimethylolpropane triglycidyl ethers; alicyclic epoxy resins such as 3', 4'-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate; glycidylamines such as tert-butylglycidylamines; glycidyl esters And so on. Examples of the carboxyl compound having an unsaturated double bond, which is a raw material for epoxy carboxylate, include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, and α-cyanocinnamic acid.
不飽和二重結合を有する化合物(B)は、ウレタン結合を有することが好ましい。不飽和二重結合を有する化合物(B)にウレタン結合を導入する方法としては、例えば、水酸基を有するアクリル系重合体やエポキシカルボキシレート化合物の場合、これらの水酸基にジイソシアネート化合物を反応させる方法が挙げられる。ジイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリデンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、アリルシアンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。 The compound (B) having an unsaturated double bond preferably has a urethane bond. Examples of the method for introducing a urethane bond into the compound (B) having an unsaturated double bond include a method in which a diisocyanate compound is reacted with these hydroxyl groups in the case of an acrylic polymer having a hydroxyl group or an epoxy carboxylate compound. Be done. Examples of the diisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, tetramethylxylylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, tridendiisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, allylcyandiisocyanate, and norbornane diisocyanate. Two or more of these may be used.
不飽和二重結合を有する化合物(B)は、フェノール性水酸基を有することが好ましい。不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、現像液への溶解性の観点から、30mgKOH/g以上が好ましい。一方、不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、未露光部の過度の溶解を抑制する観点から、250mgKOH/g以下が好ましい。なお、不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、JIS K 0070(1992)に準じて測定することができる。 The compound (B) having an unsaturated double bond preferably has a phenolic hydroxyl group. The acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond is preferably 30 mgKOH / g or more from the viewpoint of solubility in a developing solution. On the other hand, the acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond is preferably 250 mgKOH / g or less from the viewpoint of suppressing excessive dissolution of the unexposed portion. The acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond can be measured according to JIS K 0070 (1992).
不飽和二重結合を有する化合物(B)の酸価は、例えば、アクリル系重合体の場合、構成成分中の不飽和酸の割合により、所望の範囲に調整することができる。エポキシカルボレート化合物の場合、多塩基酸無水物を反応させることにより、所望の範囲に調整することができる。多塩基酸無水物としては、例えば、無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸、3−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、4−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水マレイン酸などが挙げられる。 In the case of an acrylic polymer, for example, the acid value of the compound (B) having an unsaturated double bond can be adjusted to a desired range by the ratio of the unsaturated acid in the constituent components. In the case of the epoxy carbolate compound, it can be adjusted to a desired range by reacting with a polybasic acid anhydride. Examples of the polybasic acid anhydride include succinic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride, 3-methyltetrahydrophthalic anhydride, 4-methyl-hexahydrophthalic anhydride, and anhydrous. Examples thereof include trimellitic acid and maleic anhydride.
また、上記のアクリル系重合体やエポキシカルボキシレート化合物が有するカルボキシル基と、グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和二重結合を有する化合物とを反応させることにより、側鎖に反応性の不飽和二重結合を導入することができ、反応させる不飽和二重結合を有する化合物の割合により、反応性の不飽和二重結合の量を所望の範囲に調整することができる。 Further, by reacting the carboxyl group of the above acrylic polymer or epoxy carboxylate compound with a compound having an unsaturated double bond such as glycidyl (meth) acrylate, the side chain is reactive unsaturated. A heavy bond can be introduced and the amount of reactive unsaturated double bond can be adjusted to the desired range depending on the proportion of the compound having the unsaturated double bond to be reacted.
(光重合開始剤(C))
光重合開始剤(C)としては、例えば、ベンゾフェノン、O−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルケトン、フルオレノン等のベンゾフェノン誘導体;p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,2’−ジエトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体;チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン等のチオキサントン誘導体;ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール等のベンジル誘導体;ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル等のベンゾイン誘導体;1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、1−フェニル−1,2−ブタンジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパントリオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム等のオキシム系化合物;2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン系化合物;2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)ブタン−1−オン等のα−アミノアルキルフェノン系化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等のフォスフィンオキサイド系化合物;ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物;アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン等のアントラキノン化合物;アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン等のアントロン化合物;2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、N−フェニルチオアクリドン、4,4’−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、四臭化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイル等が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、光感度の高いオキシム系化合物が好ましい。
(Photopolymerization Initiator (C))
Examples of the photopolymerization initiator (C) include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4'-dichloro. Benzophenone derivatives such as benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylketone, fluorenone; pt-butyldichloroacetophenone, 4-azidobenzalacetophenone, acetophenone derivatives such as 2,2'-diethoxyacetophenone; thioxanthone, 2 -Thioxanthone derivatives such as methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone; benzyl derivatives such as benzyl, benzyl dimethyl ketal, benzyl-β-methoxyethyl acetal; benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether Derivatives; 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], etanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole- 3-Il] -1- (O-acetyloxime), 1-phenyl-1,2-butandion-2- (O-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propandion-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime , 1-Phenyl-propanedione-2- (O-benzoyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanthrion-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanthrion-2- ( Oxyme compounds such as O-benzoyl) oxime; 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2- Α-Hydroxyketone compounds such as methyl-1-propane-1-one; 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-one Α such as (4-morpholinophenyl) -butane-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) butane-1-one, etc. -Aminoalkylphenone compounds; phosphs such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide Inoxide compounds; Aromatic sulfonyl chloride compounds such as naphthalene sulfonyl chloride and quinoline sulfonyl chloride; Anthracinone compounds such as anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, 2-amyl anthraquinone and β-chloroanthraquinone; Antron compounds such as beron and methyleneanthron; 2,6-bis (p-azidobenzylene) cyclohexanone, 6-bis (p-azidobenzylene) -4-methylcyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylene) cyclohexanone, 6-Bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, N-phenylthioacridone, 4,4'-azobisisobutyronitrile, diphenyldisulfide, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, four odors Examples thereof include carbonized carbon, tribromophenyl sulfone, and benzoyl peroxide. Two or more of these may be contained. Among these, oxime compounds having high photosensitivity are preferable.
本発明の導電ペースト中における光重合開始剤(C)の含有量は、露光部を十分に硬化させる観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して0.05重量部以上が好ましく、1.0重量部以上がより好ましい。一方、光重合開始剤(C)の含有量は、高感度化による配線太りを抑制する観点から、30重量部以下が好ましく、10重量部以下がより好ましい。 The content of the photopolymerization initiator (C) in the conductive paste of the present invention is 0.05 weight by weight with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond from the viewpoint of sufficiently curing the exposed portion. More than parts are preferable, and 1.0 part by weight or more is more preferable. On the other hand, the content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 30 parts by weight or less, more preferably 10 parts by weight or less, from the viewpoint of suppressing the wiring thickening due to high sensitivity.
C.I.ソルベントブラック3(D)としては、例えば、オイルブラック803、オイルブラックBS、オイルブラックNO5、オイルブラックHBB、オイルブラック860(以上、オリエント化学工業(株)製)、NeptunブラックX60(BASF社製)、ファットブラックHB01(ヘキスト社製)、オイルカラーブラック141(中央合成化学(株)製)などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。 C. I. Examples of Solven Black 3 (D) include Oil Black 803, Oil Black BS, Oil Black NO5, Oil Black HBB, Oil Black 860 (all manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.), and Neptun Black X60 (manufactured by BASF). , Fat Black HB01 (manufactured by Hext), Oil Color Black 141 (manufactured by Chuo Synthetic Chemical Co., Ltd.) and the like. Two or more of these may be contained.
本発明の導電ペースト中におけるC.I.ソルベントブラック3(D)の含有量は、黒色化により、より視認されにくくする観点から、導電性粒子(A)100重量部に対して0.5重量部以上が好ましい。一方、C.I.ソルベントブラック3(D)の含有量は、導電ペーストの塗布膜上部における過剰な光吸収を抑制し、微細パターン加工性および導電性をより向上させる観点から、導電性粒子(A)100重量部に対して15重量部以下が好ましく、5重量部以下がより好ましい。 C.I. in the conductive paste of the present invention. I. The content of the solvent black 3 (D) is preferably 0.5 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the conductive particles (A) from the viewpoint of making it more difficult to see due to blackening. On the other hand, C.I. I. The content of Solvent Black 3 (D) is 100 parts by weight of the conductive particles (A) from the viewpoint of suppressing excessive light absorption in the upper part of the coating film of the conductive paste and further improving fine pattern processability and conductivity. On the other hand, 15 parts by weight or less is preferable, and 5 parts by weight or less is more preferable.
本発明の導電ペーストは、さらに熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。熱硬化性樹脂を含有することにより、基板への密着性が向上するため、より微細な配線パターンを形成することができる。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタンなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、基板密着性がより高いことから、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂としては、例えば、エチレングリコール変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂のエポキシ当量は、密着性向上によりパターン加工性をより向上させる観点から、500g/当量以下が好ましい。一方、エポキシ樹脂のエポキシ当量は、熱硬化による未露光部溶解性低下を抑制する観点から、150g/当量以上が好ましい。ここで、エポキシ当量とは、1当量のエポキシ基を含むエポキシ樹脂の質量をいい、分子構造から求めた分子量を、その構造中に含まれるエポキシ基の数で除算することにより求めることができる。分子構造は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)分析、赤外分光(IR)分析、プロトン核磁気共鳴分光(1H−NMR)分析、熱分解ガスクロマトグラフィー/質量(GC/MS)分析、マトリックス支援レーザー脱離イオン化/飛行時間型質量分析(MALDI/TOFMS)、ガスクロマトグラフィー(GC)分析、CHN元素分析など分析方法から、構造に応じた分析方法を選択して分析することにより特定することができる。なお、エポキシ樹脂を2種以上含有する場合、前記範囲のエポキシ当量を有するエポキシ樹脂を1種以上含有することが好ましい。 The conductive paste of the present invention preferably further contains a thermosetting resin. By containing the thermosetting resin, the adhesion to the substrate is improved, so that a finer wiring pattern can be formed. Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, silicon resin, polyurethane and the like. Two or more of these may be contained. Among these, epoxy resin is preferable because it has higher substrate adhesion. Examples of the epoxy resin include ethylene glycol-modified epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, novolak type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, and glycidyl ether type. Examples thereof include epoxy resins and heterocyclic epoxy resins. The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 500 g / equivalent or less from the viewpoint of further improving the pattern processability by improving the adhesion. On the other hand, the epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 150 g / equivalent or more from the viewpoint of suppressing a decrease in solubility of the unexposed portion due to heat curing. Here, the epoxy equivalent means the mass of an epoxy resin containing one equivalent of an epoxy group, and can be obtained by dividing the molecular weight obtained from the molecular structure by the number of epoxy groups contained in the structure. Molecular structure, determined by gel permeation chromatography (GPC), infrared spectroscopy (IR) analysis, proton nuclear magnetic resonance spectroscopy (1 H-NMR) analysis, the pyrolysis gas chromatography / mass (GC / MS) analysis, matrix-assisted It can be specified by selecting and analyzing an analysis method according to the structure from analysis methods such as laser desorption / ionization / time-of-flight mass analysis (MALDI / TOFMS), gas chromatography (GC) analysis, and CHN element analysis. can. When two or more kinds of epoxy resins are contained, it is preferable to contain one or more kinds of epoxy resins having an epoxy equivalent in the above range.
本発明の導電ペースト中における熱硬化性樹脂の含有量は、密着性向上により微細パターン加工性をより向上させる観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して1重量部以上が好ましく、30重量部以上がより好ましい。一方、熱硬化性樹脂の含有量は、熱硬化による未露光部溶解性低下を抑制する観点から、100重量部以下が好ましく、80重量部以下がより好ましい。 The content of the thermosetting resin in the conductive paste of the present invention is 1 weight per 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond from the viewpoint of further improving the fine pattern processability by improving the adhesion. More than 30 parts by weight is preferable, and 30 parts by weight or more is more preferable. On the other hand, the content of the thermosetting resin is preferably 100 parts by weight or less, more preferably 80 parts by weight or less, from the viewpoint of suppressing a decrease in solubility of the unexposed portion due to heat curing.
本発明の導電ペーストは、さらに増感剤を含有することができる。増感剤としては、例えば、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニルビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、3,3−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾール、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。 The conductive paste of the present invention can further contain a sensitizer. Examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, and 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2. , 6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler ketone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone , P-Dimethylaminocinnamylidene indanone, p-dimethylaminobenzylene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) isonaftthiazole, 1,3-bis (4-dimethylaminophenylvinylene) isonaftthiazole, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonylbis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethyl Examples thereof include ethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. Two or more of these may be contained.
本発明の導電ペースト中における増感剤の含有量は、光感度を向上させる観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して0.05重量部以上が好ましい。一方、増感剤の含有量は、高感度化による配線太りを抑制する観点から、不飽和二重結合を有する化合物(B)100重量部に対して10重量部以下が好ましい。 The content of the sensitizer in the conductive paste of the present invention is preferably 0.05 parts by weight or more with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond from the viewpoint of improving the photosensitivity. On the other hand, the content of the sensitizer is preferably 10 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the compound (B) having an unsaturated double bond from the viewpoint of suppressing the wiring thickening due to high sensitivity.
本発明の導電ペーストは、さらに溶剤を含有することができる。溶剤としては、例えば、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジアセトンアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、「DMEA」)、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、2,2,4,−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。溶剤の沸点は150℃以上が好ましい。沸点が150℃以上であると、溶剤の揮発が抑制され、導電ペーストの増粘を抑制することができる。 The conductive paste of the present invention can further contain a solvent. Examples of the solvent include N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylimidazolidinone, dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, ethyl lactate, 1-methoxy-2-propanol. , 1-ethoxy-2-propanol, ethylene glycol mono-n-propyl ether, diacetone alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate (hereinafter , "DMEA"), diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate and the like. Two or more of these may be contained. The boiling point of the solvent is preferably 150 ° C. or higher. When the boiling point is 150 ° C. or higher, volatilization of the solvent is suppressed, and thickening of the conductive paste can be suppressed.
本発明の導電ペーストは、その所望の特性を損なわない範囲で、不飽和二重結合を有しない非感光性ポリマー、可塑剤、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤、消泡剤、顔料等の添加剤を含有することができる。 The conductive paste of the present invention is a non-photosensitive polymer, a plasticizer, a leveling agent, a surfactant, a silane coupling agent, a defoaming agent, a pigment, which does not have an unsaturated double bond, as long as the desired properties are not impaired. Etc. can be contained.
非感光性ポリマーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド前駆体、既閉環ポリイミドなどが挙げられる。 Examples of the non-photosensitive polymer include polyethylene terephthalate, a polyimide precursor, and a closed ring polyimide.
可塑剤としては、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。 Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.
レベリング剤としては、例えば、特殊ビニル系重合物、特殊アクリル系重合物などが挙げられる。 Examples of the leveling agent include a special vinyl-based polymer and a special acrylic-based polymer.
シランカップリング剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシランなどが挙げられる。 Examples of the silane coupling agent include methyltrimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenyltriethoxysilane, hexamethyldisilazane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and vinyltri. Examples thereof include methoxysilane.
本発明の導電ペーストは、導電性粒子(A)、不飽和二重結合を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)C.I.ソルベントブラック3(D)および必要に応じて溶剤や添加剤を混合することにより得ることができる。混合装置としては、例えば、三本ローラーミル、ボールミル、遊星式ボールミル等の分散機や混練機などが挙げられる。 The conductive paste of the present invention comprises conductive particles (A), a compound having an unsaturated double bond (B), and a photopolymerization initiator (C) C.I. I. It can be obtained by mixing Solvent Black 3 (D) and, if necessary, a solvent or an additive. Examples of the mixing device include a disperser such as a three-roller mill, a ball mill, and a planetary ball mill, and a kneader.
本発明の導電パターン形成基板は、前述の導電ペーストの硬化物からなる導電パターンを有する。基板上に導電パターンを有することが好ましい。 The conductive pattern forming substrate of the present invention has a conductive pattern made of a cured product of the above-mentioned conductive paste. It is preferable to have a conductive pattern on the substrate.
基板としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)などのポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、エポキシ樹脂基板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ガラス基板、シリコンウエハー、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板、加飾層形成基板、絶縁層形成基板などが挙げられる。 Examples of the substrate include polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), polyimide film, aramid film, epoxy resin substrate, polyetherimide resin substrate, polyetherketone resin substrate, polysulfone resin substrate, glass substrate, silicon wafer, alumina. Examples thereof include a substrate, an aluminum nitride substrate, a silicon carbide substrate, a decorative layer forming substrate, and an insulating layer forming substrate.
導電パターンの厚さは、より微細な導電パターン配線を形成する観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、2μm以下がさらに好ましい。一方、導電性をより向上させる観点から、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましい。なお、導電パターンの厚さは、“サーフコム”(登録商標)1400((株)東京精密製)などの触針式段差計を用いて測定することができる。より具体的には、導電パターンから無作為に選択した3つの位置の厚さを、触針式段差計(測長:1mm、走査速度:0.3mm/秒)を用いてそれぞれ測定し、それらの平均値を算出することにより求めることができる。 The thickness of the conductive pattern is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 2 μm or less, from the viewpoint of forming finer conductive pattern wiring. On the other hand, from the viewpoint of further improving the conductivity, 0.1 μm or more is preferable, 0.2 μm or more is more preferable, and 0.3 μm or more is further preferable. The thickness of the conductive pattern can be measured using a stylus type profilometer such as "Surfcom" (registered trademark) 1400 (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). More specifically, the thicknesses of three positions randomly selected from the conductive pattern were measured using a stylus type step meter (measurement length: 1 mm, scanning speed: 0.3 mm / sec), and they were measured. It can be obtained by calculating the average value of.
導電パターンの波長550nmにおける反射率は、30%以下が好ましい。可視光線の反射率を小さくすることにより、導電パターンの光反射をより抑制し、導電パターンをより視認されにくくすることができる。本発明においては、可視光線の反射率の指標として波長550nmにおける反射率に着目した。波長550nmにおける反射率を30%以下とすることにより、導電パターンをより視認されにくくすることができる。なお、反射率は、0.1mm角以上の導電パターンについて、反射率計(VSR−400:日本電色工業(株)製)を用いて測定することができる。導電パターンの波長550nmにおける反射率は、例えば、導電ペースト中におけるC.I.ソルベントブラック3(D)の含有量を前述の好ましい範囲にすることなどにより、30%以下にすることができる。 The reflectance of the conductive pattern at a wavelength of 550 nm is preferably 30% or less. By reducing the reflectance of visible light, it is possible to further suppress the light reflection of the conductive pattern and make the conductive pattern less visible. In the present invention, attention is paid to the reflectance at a wavelength of 550 nm as an index of the reflectance of visible light. By setting the reflectance at a wavelength of 550 nm to 30% or less, the conductive pattern can be made less visible. The reflectance can be measured using a reflectance meter (VSR-400: manufactured by Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd.) for a conductive pattern having a size of 0.1 mm square or more. The reflectance of the conductive pattern at a wavelength of 550 nm is determined by, for example, C.I. I. The content of the solvent black 3 (D) can be set to 30% or less by setting the content in the above-mentioned preferable range or the like.
導電パターンの体積抵抗率は100μΩ・cm未満が好ましい。体積抵抗率を100μΩ・cm未満とすることにより、導電性をより向上させ、タッチパネルに用いた場合のタッチ感度を向上させることができる。なお、導電パターンの体積抵抗率は、直線上の導電パターンについて、BKプレシジョン社製2407Aなどの抵抗測定用テスターを用いて抵抗値を測定し、測定した導電パターンの膜厚(μm)、線幅(μm)、パターン長さ(μm)を測定し、下記式(1)から算出することができる。
体積抵抗率(μΩ・cm)=抵抗値(Ω)×膜厚(μm)×線幅(μm)×100/パターン長さ(μm)・・・(1)。
The volume resistivity of the conductive pattern is preferably less than 100 μΩ · cm. By setting the volume resistivity to less than 100 μΩ · cm, the conductivity can be further improved and the touch sensitivity when used for a touch panel can be improved. Regarding the volume resistivity of the conductive pattern, the resistivity value of the linear conductive pattern was measured using a resistance measuring tester such as 2407A manufactured by BK Precision Co., Ltd., and the film thickness (μm) and line width of the measured conductive pattern were measured. (Μm) and the pattern length (μm) can be measured and calculated from the following formula (1).
Volume resistivity (μΩ · cm) = resistance value (Ω) × film thickness (μm) × line width (μm) × 100 / pattern length (μm) ... (1).
導電パターンの体積抵抗率は、例えば、導電ペースト中における導電性粒子(A)の含有量を前述の好ましい範囲にすること、導電パターン形成基板の製造方法における加熱温度を後述する好ましい範囲にすることなどにより、100μΩ・cm未満にすることができる。 For the volume resistivity of the conductive pattern, for example, the content of the conductive particles (A) in the conductive paste is set to the above-mentioned preferable range, and the heating temperature in the method for manufacturing the conductive pattern-forming substrate is set to the above-mentioned preferable range. It can be made less than 100 μΩ · cm by such means.
導電パターンの線幅は、導電性をより向上させる観点から、1μm以上が好ましく、1.5μm以上がより好ましく、2μm以上がさらに好ましい。一方、導電パターンの線幅は、より視認されにくくする観点から、10μm以下が好ましく、7μm以下が好ましく、6μm以下がさらに好ましい。 The line width of the conductive pattern is preferably 1 μm or more, more preferably 1.5 μm or more, still more preferably 2 μm or more, from the viewpoint of further improving the conductivity. On the other hand, the line width of the conductive pattern is preferably 10 μm or less, preferably 7 μm or less, and even more preferably 6 μm or less from the viewpoint of making it more difficult to see.
次に、本発明の導電パターン形成基板の製造方法について説明する。前述の導電ペーストを基板上に塗布し、露光し、現像した後に、100〜250℃の温度で加熱することが好ましい。 Next, a method for manufacturing the conductive pattern forming substrate of the present invention will be described. It is preferable to apply the above-mentioned conductive paste on a substrate, expose it, develop it, and then heat it at a temperature of 100 to 250 ° C.
導電ペーストの塗布方法としては、例えば、スピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、活版印刷、フレキソ印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーターまたはバーコーターを用いた塗布などが挙げられる。これらの中でも、導電ペーストの塗布膜の表面平坦性に優れ、スクリーン版の選択により膜厚調整が容易であることから、スクリーン印刷が好ましい。 Examples of the method of applying the conductive paste include rotary coating using a spinner, spray coating, roll coating, screen printing, offset printing, gravure printing, letterpress printing, flexographic printing, blade coater, die coater, calendar coater, meniscus coater or Examples include application using a bar coater. Among these, screen printing is preferable because the surface flatness of the coating film of the conductive paste is excellent and the film thickness can be easily adjusted by selecting the screen plate.
導電ペーストが溶剤を含有する場合には、塗布膜を乾燥して溶剤を揮発除去することが好ましい。乾燥方法としては、例えば、オーブン、電磁波紫外線ランプ、赤外線ヒーター、ハロゲンヒーター等による加熱乾燥や、真空乾燥などが挙げられる。乾燥温度は50〜130℃が好ましく、乾燥時間は1分間〜数時間が好ましい。 When the conductive paste contains a solvent, it is preferable to dry the coating film to volatilize and remove the solvent. Examples of the drying method include heating and drying with an oven, an electromagnetic wave ultraviolet lamp, an infrared heater, a halogen heater, and the like, and vacuum drying. The drying temperature is preferably 50 to 130 ° C., and the drying time is preferably 1 minute to several hours.
導電ペーストの塗布膜または乾燥膜に、任意のパターン形成用マスクを介して、フォトリソグラフィー法により露光することが好ましい。露光光は、導電ペースト組成物が含有する光重合開始剤(C)の吸収波長と合致する紫外領域、すなわち、200nm〜450nmの波長域に発光を有することが好ましい。そのような露光光を得るための光源としては、例えば、水銀ランプ、ハロゲンランプ、キセノンランプ、LEDランプ、半導体レーザー、KrF、ArFエキシマレーザーなどが挙げられる。これらの中でも、水銀ランプのi線(波長365nm)が好ましい。露光量は、露光部の現像液への溶解性の観点から、波長365nm換算で50mJ/cm2以上が好ましく、200mJ/cm2以上がより好ましい。 It is preferable to expose the coating film or the dry film of the conductive paste by a photolithography method through an arbitrary pattern forming mask. The exposure light preferably emits light in an ultraviolet region that matches the absorption wavelength of the photopolymerization initiator (C) contained in the conductive paste composition, that is, in a wavelength region of 200 nm to 450 nm. Examples of the light source for obtaining such exposure light include mercury lamps, halogen lamps, xenon lamps, LED lamps, semiconductor lasers, KrF, ArF excimer lasers, and the like. Among these, the i-line (wavelength 365 nm) of the mercury lamp is preferable. The exposure amount is preferably 50 mJ / cm 2 or more, and more preferably 200 mJ / cm 2 or more in terms of wavelength 365 nm, from the viewpoint of solubility of the exposed part in the developing solution.
露光後、現像液を用いて現像することにより、未露光部を溶解除去して、所望のパターンを得る。アルカリ現像を行う場合の現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類;エチルアミン、n−プロピルアミン等の1級アミン類;ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン等の2級アミン類;トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の3級アミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類;コリン等の4級アンモニウム塩;トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、ジエチルアミノエタノール等のアルコールアミン類;ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノナン、モルホリン等の環状アミン類等の有機アルカリ類などのアルカリ性物質を水に溶解したアルカリ水溶液が挙げられる。これらにエタノール、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶剤や界面活性剤などを1種以上添加してもよい。 After the exposure, the unexposed portion is dissolved and removed by developing with a developing solution to obtain a desired pattern. Examples of the developing solution for alkaline development include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and aqueous ammonia; 1 such as ethylamine and n-propylamine. Secondary amines; Secondary amines such as diethylamine and di-n-propylamine; Tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine; Tetraalkylammonium hydroxides such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH); Quadratic ammonium salts; alcohol amines such as triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, dimethylaminoethanol, diethylaminoethanol; pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene, 1, Examples thereof include an alkaline aqueous solution in which an alkaline substance such as an organic alkali such as 5-diazabicyclo [4,3,0] -5-nonane and cyclic amines such as morpholin is dissolved in water. One or more kinds of water-soluble organic solvents such as ethanol, γ-butyrolactone, dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, and surfactants may be added thereto.
現像方法として、例えば、導電ペーストの塗布膜を形成した基板を静置、回転または搬送させながら現像液を前記導電ペーストの塗布膜の表面にスプレーする方法、導電ペーストの塗布膜を現像液中に浸漬する方法、導電ペーストの塗布膜を現像液中に浸漬させながら超音波をかける方法などが挙げられる。 As a developing method, for example, a method of spraying a developer on the surface of the conductive paste coating film while allowing, rotating or transporting a substrate on which a conductive paste coating film is formed, or a method of spraying the conductive paste coating film into the developing solution. Examples thereof include a method of immersing and a method of applying ultrasonic waves while immersing a coating film of a conductive paste in a developing solution.
現像後、リンス液によるリンス処理を施してもよい。リンス液としては、例えば、水;エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類の水溶液;乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類の水溶液などが挙げられる。 After development, rinsing treatment with a rinsing liquid may be performed. Examples of the rinsing solution include water; an aqueous solution of alcohols such as ethanol and isopropyl alcohol; and an aqueous solution of esters such as ethyl lactate and propylene glycol monomethyl ether acetate.
得られたパターンを加熱することにより、導電パターンを得ることができる。加熱雰囲気、温度および時間は、導電ペーストの組成や、塗布膜の厚さに応じて適宜設定することができる。本発明においては、空気中で加熱することが好ましい。加熱温度は、硬化を十分に進め、導電性をより向上させる観点から、100℃以上が好ましく、120℃以上がより好ましい。一方、基板の耐熱性の観点から、加熱温度は、200℃以下が好ましく、150℃以下がより好ましい。加熱装置としては、塗布膜の加熱乾燥において例示した装置が挙げられる。 A conductive pattern can be obtained by heating the obtained pattern. The heating atmosphere, temperature and time can be appropriately set according to the composition of the conductive paste and the thickness of the coating film. In the present invention, it is preferable to heat in air. The heating temperature is preferably 100 ° C. or higher, more preferably 120 ° C. or higher, from the viewpoint of sufficiently advancing curing and further improving conductivity. On the other hand, from the viewpoint of heat resistance of the substrate, the heating temperature is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or lower. Examples of the heating device include the devices exemplified in the heating and drying of the coating film.
本発明の導電パターン形成基板は、導電パターンが視認されにくいことが必要な用途に好適に用いることができる。例えば、タッチパネル用部材、電磁シールド用部材、透明LEDライト用部材などが挙げられる。中でも、微細化および導電パターンを視認されにくくすることがより高く要求されるタッチパネル用部材として好適に用いることができる。 The conductive pattern forming substrate of the present invention can be suitably used for applications in which the conductive pattern is difficult to see. For example, a touch panel member, an electromagnetic shield member, a transparent LED light member, and the like can be mentioned. Above all, it can be suitably used as a touch panel member for which miniaturization and making the conductive pattern less visible are more highly required.
以下、実施例を挙げて、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
各実施例における評価方法は、次のとおりである。 The evaluation method in each example is as follows.
<微細パターン加工性>
PETフィルム上に、各実施例および比較例により得られた導電ペーストを、乾燥後の膜厚が2μmになるように塗布し、100℃の乾燥オーブン内で10分間乾燥した。メッシュ形状の開口部を有するフォトマスクを介して、露光装置(PEM−6M;ユニオン光学(株)製)を用いて、露光量500mJ/cm2(波長365nm換算)で露光した。なお、メッシュ形状のピッチは300μmとし、メッシュ部のマスク開口幅は、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0μmの7種類とした。端子間の距離は20mm、幅は2mmとし、パッド部は4mm2の正方形とした。露光後、0.1重量%のNa2CO3水溶液を用いて、20秒間スプレー現像し、超純水によりリンス処理を行った。その後、140℃の乾燥内で120分間加熱し、線幅の異なる7種類の導電パターンをそれぞれ得た。図1に、微細パターン加工性評価用導電パターンの概略図を示す。メッシュ部の両端にパッド部1を有し、端子間距離2は20mm、パッド部幅3は2mmであった。得られた導電パターンを光学顕微鏡で観察し、パターン剥がれの有無を観察した。パターン剥がれが観察されない最小のマスク開口幅から、以下の評価基準に従って微細パターン加工性を評価した。1以上を合格とした。
5:マスク開口幅1.5μm以上でパターン剥がれ無し
4:マスク開口幅2.0μm以上でパターン剥がれ無し
3:マスク開口幅3.0μm以上でパターン剥がれ無し
2:マスク開口幅4.0μm以上でパターン剥がれ無し
1:マスク開口幅5.0μm以上でパターン剥がれ無し
0:マスク開口幅6.0μm以上でパターン剥がれ有り。
<Fine pattern workability>
The conductive pastes obtained from each Example and Comparative Example were applied onto a PET film so that the film thickness after drying was 2 μm, and dried in a drying oven at 100 ° C. for 10 minutes. An exposure was made at an exposure amount of 500 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm conversion) using an exposure apparatus (PEM-6M; manufactured by Union Optical Co., Ltd.) through a photomask having a mesh-shaped opening. The pitch of the mesh shape was set to 300 μm, and the mask opening width of the mesh portion was set to 7 types of 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, and 7.0 μm. .. The distance between the terminals was 20 mm, the width was 2 mm, and the pad portion was a 4 mm 2 square. After the exposure, the mixture was spray-developed for 20 seconds using a 0.1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and rinsed with ultrapure water. Then, it was heated in the drying of 140 degreeC for 120 minutes, and 7 kinds of conductive patterns having different line widths were obtained respectively. FIG. 1 shows a schematic view of a conductive pattern for evaluating fine pattern workability. The
5: No pattern peeling when the mask opening width is 1.5 μm or more 4: No pattern peeling when the mask opening width is 2.0 μm or more 3: No pattern peeling when the mask opening width is 3.0 μm or more 2: Pattern when the mask opening width is 4.0 μm or more No peeling 1: No pattern peeling when the mask opening width is 5.0 μm or more 0: Pattern peeling when the mask opening width is 6.0 μm or more.
<導電性評価>
前記微細パターン加工性の評価方法により得られた導電パターンのうち、パターン剥がれが観察されない最小のマスク開口幅の導電パターンについて、抵抗測定用テスター(2407A;BKプレシジョン社製)を用いて端子間の抵抗値を測定した。また、同じ導電パターンについて、表面粗さ形状測定機(“サーフコム”(登録商標)1400D;(株)東京精密製)を用いて厚さを測定した。また、光学顕微鏡を用いて、同じ導電パターンを倍率1000倍で拡大観察して線幅を測定した。下記式(2)に従って、体積抵抗率(μΩ・cm)を算出し、以下の評価基準に従って導電性を評価した。1以上を合格とした。ただし、全てのパターンが剥がれた比較例3については評価できなかった。
体積抵抗率(μΩ・cm)={抵抗値(Ω)×膜厚(μm)×線幅(μm)×パッド部幅(μm)}/{端子間距離(μm)/ピッチ(μm)}×100 ・・・(2)
5:50μΩ・cm未満
4:50μΩ・cm以上60μΩ・cm未満
3:60μΩ・cm以上70μΩ・cm未満
2:70μΩ・cm以上80μΩ・cm未満
1:80μΩ・cm以上100μΩ・cm未満
0:100μΩ・cm以上。
<Evaluation of conductivity>
Among the conductive patterns obtained by the above-mentioned evaluation method of fine pattern processability, the conductive pattern having the smallest mask opening width in which pattern peeling is not observed is used between terminals using a resistance measurement tester (2407A; manufactured by BK Precision Co., Ltd.). The resistance value was measured. Further, the thickness of the same conductive pattern was measured using a surface roughness shape measuring machine (“Surfcom” (registered trademark) 1400D; manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.). Further, using an optical microscope, the same conductive pattern was magnified and observed at a magnification of 1000 times to measure the line width. The volume resistivity (μΩ · cm) was calculated according to the following formula (2), and the conductivity was evaluated according to the following evaluation criteria. 1 or more was accepted. However, Comparative Example 3 in which all the patterns were peeled off could not be evaluated.
Volume resistivity (μΩ · cm) = {resistance value (Ω) x film thickness (μm) x line width (μm) x pad width (μm)} / {distance between terminals (μm) / pitch (μm)} x 100 ... (2)
5: 50 μΩ ・ cm or less 4: 50 μΩ ・ cm or more and less than 60 μΩ ・ cm 3: 60 μΩ ・ cm or more and less than 70 μΩ ・ cm 2: 70 μΩ ・ cm or more and less than 80 μΩ ・ cm 1: 80 μΩ ・ cm or more and less than 100 μΩ ・ cm 0: 100 μΩ ・cm or more.
<視認性(視認されにくさ)(目視)>
前記微細パターン加工性の評価方法により得られた導電パターン形成基板を、黒色フィルム上に設置し、投光機を用いて光を投射し、30cm離れた位置から10人がそれぞれ目視し、メッシュ状の電極部分が視認可能か否か、以下の評価基準に従って評価した。2以上を合格とした。ただし、全てのパターンが剥がれた比較例3については評価できなかった。
5:10人が視認不可
4:8人以上10人未満が視認不可
3:6人以上8人未満が視認不可
2:4人以上6人未満が視認不可
1:2人以上4人未満が視認不可
0:2人未満が視認不可。
<Visibility (difficult to see) (visual)>
The conductive pattern forming substrate obtained by the above fine pattern processability evaluation method was placed on a black film, light was projected using a floodlight, and 10 people visually observed each from a position 30 cm away to form a mesh. Whether or not the electrode portion of the above was visible was evaluated according to the following evaluation criteria. 2 or more was passed. However, Comparative Example 3 in which all the patterns were peeled off could not be evaluated.
5:10 invisible 4: 8 or more and less than 10 invisible 3: 6 or more and less than 8 invisible 2: 4 or more and less than 6 invisible 1: 2 or more and less than 4 invisible Impossible 0: Less than 2 people cannot see.
<視認性(視認されにくさ)(反射率)>
前記微細パターン加工性の評価方法により得られた導電パターン形成基板のパッド部について、反射率計(VSR400:日本電色工業(株)製)を用いて、波長550nmにおける反射率を測定した。以下の評価基準に従って評価した。3以上を合格とした。
5:20%未満
4:20%超25%以下
3:25%超30%以下
2:30%超35%以下
1:35%超40%以下
0:40%超。
<Visibility (difficult to see) (reflectance)>
The reflectance of the pad portion of the conductive pattern forming substrate obtained by the above fine pattern processability evaluation method was measured at a wavelength of 550 nm using a reflectance meter (VSR400: manufactured by Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd.). Evaluation was made according to the following evaluation criteria. 3 or more was passed.
Less than 5: 20% More than 4: 20% More than 25% less than 3: 25% more than 30% less than 2:30% More than 35% less than 1: 35% more than 40% less than 0: 40%.
各実施例で用いた材料は、次のとおりである。
[導電性粒子(A)]
A−1:一次粒子径0.3μmの銀粒子(20℃における電気抵抗率3μΩ・cm以下)
A−2:一次粒子径0.8μmの銀粒子(20℃における電気抵抗率3μΩ・cm以下)
なお、導電性粒子の一次粒子径は、導電性粒子を、電子顕微鏡を用いて倍率25000倍で観察し、無作為に選択した100個の導電性粒子の一次粒子について、それぞれ長径と短径を測定してその平均値を一次粒子径とし、その数平均値から算出した。
The materials used in each example are as follows.
[Conductive particles (A)]
A-1: Silver particles with a primary particle size of 0.3 μm (electric resistivity at 20 ° C. of 3 μΩ · cm or less)
A-2: Silver particles with a primary particle size of 0.8 μm (electric resistivity at 20 ° C. of 3 μΩ · cm or less)
The primary particle diameter of the conductive particles was determined by observing the conductive particles at a magnification of 25,000 using an electron microscope, and determining the major axis and the minor axis of 100 randomly selected primary particles of the conductive particles, respectively. It was measured and the average value was taken as the primary particle size, and it was calculated from the number average value.
[不飽和二重結合を有する化合物(B)]
(合成例1)カルボキシル基含有アクリル系共重合体(B−1)
窒素雰囲気の反応容器中に、150gのジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、「DMEA」)を仕込み、オイルバスを用いて80℃まで昇温した。これに、20gのエチルアクリレート(以下、「EA」)、40gのメタクリル酸2−エチルヘキシル(以下、「2−EHMA」)、20gのスチレン(以下、「St」)、15gのアクリル酸(以下、「AA」)、0.8gの2,2−アゾビスイソブチロニトリル及び10gのDMEAからなる混合物を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で6時間撹拌して重合反応を行った。その後、1gのハイドロキノンモノメチルエーテルを添加して、重合反応を停止した。引き続き、5gのグリシジルメタクリレート(以下、「GMA」)、1gのトリエチルベンゼンアンモニウムクロライド及び10gのDMEAからなる混合物を、0.5時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに80℃で2時間撹拌して付加反応を行った。得られた反応溶液をメタノールで精製することにより未反応不純物を除去し、さらに24時間真空乾燥して、共重合比率(質量基準):EA/2−EHMA/St/GMA/AA=20/40/20/5/15のカルボキシル基含有アクリル系共重合体を得た。得られた共重合体の酸価を測定したところ、103mgKOH/gであった。なお、酸価はJIS K 0070(1992)に準じて測定した。
[Compound with unsaturated double bond (B)]
(Synthesis Example 1) Carboxyl Group-Containing Acrylic Copolymer (B-1)
150 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate (hereinafter, “DMEA”) was charged in a reaction vessel having a nitrogen atmosphere, and the temperature was raised to 80 ° C. using an oil bath. To this, 20 g of ethyl acrylate (hereinafter, "EA"), 40 g of 2-ethylhexyl methacrylate (hereinafter, "2-EHMA"), 20 g of styrene (hereinafter, "St"), and 15 g of acrylic acid (hereinafter, "St"). "AA"), a mixture of 0.8
[光重合開始剤(C)]
C−1:“IRGACURE”(登録商標)369(チバジャパン(株)製、α−アミノアルキルフェノン系化合物)
C−2“IRGACURE”(登録商標)OXE02(チバジャパン(株)製、オキシム系化合物)
[C.I.ソルベントブラック3(D)]
D−1:オイルブラック(登録商標)HBB(オリエント化学工業(株)製)
D−2:オイルブラック(登録商標)860(オリエント化学工業(株)製)
D−3:Neptunブラック(登録商標)X60(BASF社製)
[エポキシ樹脂]
E−1:“JER”(登録商標)828(三菱化学(株)製、エポキシ当量188)
E−2:“アデカレジン”(登録商標)EPR−4030((株)ADEKA製、エポキシ当量380)
E’−3:“JER”(登録商標)1002(三菱化学(株)製、エポキシ当量650)。
[Photopolymerization Initiator (C)]
C-1: "IRGACURE" (registered trademark) 369 (manufactured by Ciba Japan Co., Ltd., α-aminoalkylphenone compound)
C-2 "IRGACURE" (registered trademark) OXE02 (Oxime compound manufactured by Ciba Japan Co., Ltd.)
[C. I. Solvent Black 3 (D)]
D-1: Oil Black (registered trademark) HBB (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
D-2: Oil Black (registered trademark) 860 (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
D-3: Neptun Black (registered trademark) X60 (manufactured by BASF)
[Epoxy resin]
E-1: "JER" (registered trademark) 828 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 188)
E-2: "Adeka Resin" (registered trademark) EPR-4030 (manufactured by ADEKA Corporation, epoxy equivalent 380)
E'-3: "JER" (registered trademark) 1002 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 650).
[黒色材料]
CB:カーボンブラック#240(三菱化学(株)製、平均粒子径45nm)
NH805:C.I.ソルベントブラック5 NUBIAN BLACK(登録商標)NH−805(オリエント化学工業(株)製)
[実施例1]
100mLクリーンボトルに、10.0gの不飽和二重結合を有する化合物(B−1)、0.50gの光重合開始剤(C−2)、0.24gのC.I.ソルベントブラック3(D−1)および5.0gのDMEAを入れ、自転−公転真空ミキサー“あわとり錬太郎”(登録商標)ARE−310((株)シンキー製)を用いて混合して、15.74gの樹脂溶液(固形分68.2質量%)を得た。
[Black material]
CB: Carbon Black # 240 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, average particle size 45 nm)
NH805: C.I. I. Solvent Black 5 NUBIAN BLACK (registered trademark) NH-805 (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.)
[Example 1]
In a 100 mL clean bottle, 10.0 g of the compound having an unsaturated double bond (B-1), 0.50 g of the photopolymerization initiator (C-2), 0.24 g of C.I. I. Add Solvent Black 3 (D-1) and 5.0 g of DMEA, mix using a rotation-revolution vacuum mixer "Awatori Rentaro" (registered trademark) ARE-310 (manufactured by Shinky Co., Ltd.), and 15 A resin solution (solid content 68.2% by mass) of .74 g was obtained.
得られた15.74gの樹脂溶液と40.4gの導電性粒子(A−1)を混ぜ合わせ、三本ローラーミル(EXAKT M−50;EXAKT社製)を用いて混練し、55.78gの導電ペーストを得た。表1に導電ペーストの組成を示す。 The obtained 15.74 g of the resin solution and 40.4 g of the conductive particles (A-1) were mixed and kneaded using a three-roller mill (EXAKT M-50; manufactured by EXAKT) to obtain 55.78 g. A conductive paste was obtained. Table 1 shows the composition of the conductive paste.
得られた導電ペーストを用いて、前述の方法により、微細パターン加工性、導電性、視認性(視認されにくさ)(目視)および視認性(視認されにくさ)(反射率)をそれぞれ評価した。微細パターン加工性は「5」、導電性は「4」と良好であった。視認性(視認されにくさ)(目視)、視認性(視認されにくさ)(反射率)はいずれも「2」であったが、問題なく使用できる範囲であった。評価結果を表2に示す。 Using the obtained conductive paste, fine pattern processability, conductivity, visibility (difficult to see) (visual) and visibility (difficult to see) (reflectance) were evaluated by the above-mentioned methods. .. The fine pattern processability was "5" and the conductivity was "4", which were good. The visibility (difficult to see) (visual) and visibility (difficult to see) (reflectance) were all "2", but they were within the range in which they could be used without any problem. The evaluation results are shown in Table 2.
[実施例2〜14]
表1に示す組成の導電ペーストを実施例1と同じ方法で作製し、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Examples 2 to 14]
A conductive paste having the composition shown in Table 1 was prepared by the same method as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.
[比較例1〜5]
表1に示す組成の導電ペーストを、実施例1と同じ方法で製造し、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。
[Comparative Examples 1 to 5]
The conductive paste having the composition shown in Table 1 was produced by the same method as in Example 1, and evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.
[比較例6]
表1に示す組成の感光性導電ペーストを、実施例1と同じ方法で製造し、各評価用の導電パターンを形成した。
[Comparative Example 6]
The photosensitive conductive paste having the composition shown in Table 1 was produced by the same method as in Example 1 to form a conductive pattern for each evaluation.
水50gに36質量%塩酸40gを加えて塩酸の水溶液を調製した。次いで、この塩酸水溶液90gに酸化テルル3gを加えた。酸化テルルが塩酸水溶液に完全に溶解したことを目視にて確認した後、この塩酸水溶液に酢酸5gを加え、さらに水を加えて全量を100gとして、黒色化溶液を調製した。得られた黒色化溶液に、前記導電パターンを形成した基板を10秒間浸漬させ黒色化し、導電パターン形成基板を形成した。実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表2に示す。 An aqueous solution of hydrochloric acid was prepared by adding 40 g of 36 mass% hydrochloric acid to 50 g of water. Then, 3 g of tellurium oxide was added to 90 g of this aqueous hydrochloric acid solution. After visually confirming that tellurium oxide was completely dissolved in the aqueous hydrochloric acid solution, 5 g of acetic acid was added to the aqueous hydrochloric acid solution, and water was further added to bring the total amount to 100 g to prepare a blackening solution. The substrate on which the conductive pattern was formed was immersed in the obtained blackening solution for 10 seconds to blacken the substrate to form a conductive pattern-forming substrate. The evaluation was performed in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.
表2に示されるように、実施例1〜14の導電ペーストにより得られる導電パターンは、いずれも微細パターン加工性、導電性は「1」以上、視認性(視認されにくさ)(目視)、視認性(視認されにくさ)(反射率)は「2」以上で問題なく使用できる範囲であった。一方、比較例1〜6の導電ペーストにより得られる導電パターンは、微細パターン加工性、導電性、視認性(視認されにくさ)(目視)または視認性(視認されにくさ)(反射率)のいずれかが不十分であった。 As shown in Table 2, the conductive patterns obtained by the conductive pastes of Examples 1 to 14 all have fine pattern processability, conductivity of "1" or more, visibility (difficult to see) (visual), and. The visibility (difficult to see) (reflectance) was "2" or higher, which was within the range in which it could be used without problems. On the other hand, the conductive patterns obtained by the conductive pastes of Comparative Examples 1 to 6 have fine pattern processability, conductivity, visibility (difficult to see) (visual) or visibility (difficult to see) (reflectance). Either was inadequate.
本発明の導電ペーストは、微細化および配線電極を視認されにくくすることがより高く要求されるタッチパネル用部材として好適に用いることができる。 The conductive paste of the present invention can be suitably used as a member for a touch panel, which is required to be finer and the wiring electrodes to be less visible.
1 パッド部
2 端子間距離
3 パッド部幅
1 Pad
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