JP6963993B2 - 管継手構造 - Google Patents

Description

本発明は、管継手構造、特に石英管のための管継手構造に関する。

従来、石英管を用いた管継手構造、具体的には、シリコンウェハー洗浄用の石英タンクと薬液供給システムとの接続のための管継手構造、および、半導体製造ラインの薬液供給システムにおける管継手構造等が知られている。

この種の管継手構造としては、例えば、図８に示されるような管継手構造１０１がある（例えば、特許文献１参照）。

図８に示すように、管継手構造１０１は、石英管１０２と、継手本体１０３と、第１リング（締付けリング）１０４と、第２リング（抜止めリング）１０５と、締付けナット１０７とを備える。

この管継手構造１０１においては、継手本体１０３の一端側にある接続部１１０（その開口）に石英管１０２の軸方向一方の端部１１２が差し込まれる。

石英管１０２に外嵌されたナット１０７と継手本体１０３の接続部１１０とが螺合されて締め付けられる。

そして、第１リング１０４によりシール部が形成されて、継手本体１０３の接続部１１０と石英管１０２の軸方向一方の端部１１２とが気密状態に連通接続される。

ここでは、第１リング１０４の軸方向一方の端部に形成されたテーパ面１１５と継手本体１０３の接続部１１０に形成されたテーパ面１１６が合致させられて、第１リング１０４が石英管１０２の外周面上に圧着固定される方向に縮径変形させられる。

また、石英管１０２の外周面上に刻設された周溝１２０に、第２リング１０５が嵌着固定される。第２リング１０５は、締付けリング１０４に対して抜止作用を果たす。

特開平５−８７２８７号公報

管継手構造１０１は、第２リング１０５が石英管１０２の周溝１２０に嵌着される構成を採用する。

この構成においては、石英管１０２の軸方向において、第２リング１０５を周溝１２０に完全に嵌め込むことができるように、周溝１２０の溝幅（軸方向長さ）Ｗ１が第２リング１０５の厚み（軸方向長さ）ｔ１よりも大きく設定される。

また、周溝１２０の溝幅Ｗ１と第２リング１０５の厚みｔ１の寸法ばらつきが考慮されて、寸法誤差が設けられる。

そのため、第２リング１０５を周溝１２０に嵌着した際には、第２リング１０５と周溝１２０とに隙間１２５が生じやすくなっている。

一般的に、管継手構造１０１は、隙間１２５が生じたまま使用される。

この管継手構造１０１には、その使用時に石英管１０２に対してその軸方向に振動が加わることがある。管継手構造１０１において、隙間１２５が生じた状態で使用され、前記振動が加わると、隙間１２５に起因して第２リング１０５にがたつきが生じる。

その場合、第１リング１０４が第２リング１０５のがたつきの影響を受けて、第１リング１０４のテーパ面１１５が、継手本体３の接続部１１０に設けられたテーパ面１１６に対して移動してしまう。

その結果、第１リング１０４により形成されるシール部のシール力（テーパ面１１５・１１６の作用により第１リング１０４が石英管１０２の外周面上に圧着固定されることによるシール力によるシール力）が低下し、これが石英管１０２と継手本体１０３との間における流体の漏れに繋がるという問題が発生する可能性があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、継手本体と第２リングとの間に保持された第１リングにより形成されるシール部のシール力が第２リングのがたつきの発生により低下することを防止できる管継手構造の提供を目的とする。

本発明は、
石英管のための管継手構造において、
軸方向一方側の端部の外周部に周溝が設けられた石英管と、
前記石英管の前記端部の一部が差し込まれる受口が内周部に設けられ、雄ねじが外周部に設けられた筒状部材である継手本体と、
軸方向一方側の一部が前記継手本体の前記受口と前記石英管との周面間に配置され、前記石英管に外嵌され、当該受口と当該石英管に圧接してシールするリング状部材である第１リングと、
前記第１リングよりも軸方向他方側に配置され、前記石英管に外嵌されるリング状部材であって、前記石英管の前記周溝の軸方向一方側の端面に当接する当接部を軸方向一方側の内周部に有し、前記石英管の前記周溝の軸方向他方側の縁に係合する係合部を軸方向他方側の内周部に有し、前記第１リングを軸方向一方側に押圧する第１リング押圧面を有する第２リングと、
前記第１リングおよび前記第２リングを包囲するように配置される筒状部材であって、前記継手本体の前記雄ねじに螺合される雌ねじが内周部に設けられ、前記第２リングを直接的にまたは間接的に軸方向一方側および内周側に押圧するナットとを備えるものである。

この構成によれば、前記継手本体の雄ねじに前記ナットの雌ねじを螺合して締め付けることによって、前記ナットが前記第２リングを直接的にまたは間接的に軸方向一方側および内周側に押圧し、この第２リングの第１リング押圧面により前記第１リングを軸方向一方側に押圧することが可能となる。これにより、前記石英管の軸方向一方側の端部の一部が前記継手本体の受口に差し込まれた状態を保持できる。

また、前記第２リングを軸方向一方側および内周側に押圧した状態で、前記第２リングの当接部を前記石英管の周溝の軸方向一方側の端面に当接させるとともに、前記第２リングの係合部を前記石英管の周溝の軸方向他方側の縁に係合することが可能となる。そのため、前記石英管の周溝に対する前記第２リングの寸法公差にかかわらず、前記第２リングを、前記石英管に外嵌した状態で安定して固定することができる。前記石英管に対してその軸方向に振動が加わった場合に、前記第２リングのがたつきが発生することを阻止できる。

したがって、前記第１リングが前記第２リングのがたつきの影響を受けることを回避できる。その結果、前記石英管の軸方向一方側の端部の一部が前記継手本体の受口に差し込まれた状態で、前記第１リングにより前記石英管と前記受口との間にシール部が形成された場合に、前記シール部のシール力が前記第２リングのがたつきの影響を受けて低下することを抑制して、前記シール部を良好に維持することが可能となる。よって、前記石英管と前記継手本体との間における流体の漏れを効果的に防止することが可能となる。

本発明の別の態様によれば、
前記管継手構造は、前記第２リングよりも軸方向他方側に配置され、前記第２リングに外嵌されるリング状部材であって、前記第２リングを軸方向一方側および内周側に押圧する第２リング押圧面を有する第３リングを備え、
前記ナットは、前記第３リングを包囲するように配置され、前記第３リングを
軸方向一方側に押圧する第３リング押圧面を有する。

本発明の更なる態様によれば、
前記第２リングは、軸方向一方側に向かって外径が拡大する傾斜面または湾曲面からなる第２リング被押圧面を有し、
前記第３リングの前記第２リング押圧面は、軸方向一方側に向かって内径が拡大する傾斜面または湾曲面からなり、前記第２リング被押圧面と当接する。

本発明のまた別の態様によれば、
前記ナットは、前記第２リングを軸方向一方側および内周側に押圧する第２リング押圧面を有する。

本発明のまた別の態様によれば、
前記第２リングは、軸方向一方側に向かって外径が拡大する傾斜面または湾曲面からなる第２リング被押圧面を有し、
前記ナットの前記第２リング押圧面は、軸方向一方側に向かって内径が拡大する傾斜面または湾曲面からなり、前記第２リング被押圧面と当接する。

本発明によれば、継手本体と第２リングとの間に保持された第１リングにより形成されるシール部のシール力が第２リングのがたつきの発生により低下することを防止できる管継手構造を提供できる。

本発明の一実施形態に係る管継手構造を示す断面図である。 図１の部分拡大図である。 図１の管継手構造の分解状態を示す斜視図である。 図１の管継手構造における石英管と継手本体との接続途中の状態を示す一部断面斜視図である。 図１の管継手構造における石英管と継手本体との接続状態を示す一部断面斜視図である。 本発明の別の実施形態に係る管継手構造を示す断面図である。 本発明のまた別の実施形態に係る管継手構造を示す断面図である。 従来の管継手構造を示す断面図である。

本発明の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る管継手構造１を示す軸方向断面図である。図２は、図１の部分拡大図である。図３は、管継手構造１の分解状態を示す斜視図である。図４は、管継手構造１における石英管２と継手本体３との接続途中の状態を示す一部断面斜視図である。図５は、石英管２と継手本体３との接続状態を示す一部断面斜視図である。

以下の説明において、軸方向一方側とは、図１における右側（継手本体３側）を指す。軸方向他方側とは、図１における左側（石英管２側）を指す。

管継手構造１は、図１、図２、図３、図４および図５に示すように、石英管２を連結するためのものであり、石英管２と図示しない所定の管（例えば、樹脂管）または流体機器（例えば、タンク）とを連通接続するために用いられる。

管継手構造１は、石英管２と、継手本体３と、第１リング４と、第２リング５と、第３リング６と、ナット７とを備えている。

石英管２は、周溝１１を有している。この周溝１１は、石英管２の軸方向一方側の端部１２の外周部に設けられている。

継手本体３は、筒状部材である。継手本体３の内周部に、石英管２の軸方向一方側の端部１２の一部が差し込まれる受口１３が設けられている。継手本体３の外周部に、第１螺合部（本実施形態においては、雄ねじ）１４が設けられている。

第１リング４は、リング状部材である。第１リング４は、石英管２に外嵌されている。第１リング４の軸方向一方側の一部が、継手本体３の受口１３と石英管２との周面間に配置されている。ナット７が締め付けられた際、第１リング４は、受口１３の内周面および石英管２の軸方向一方側の一部の外周面の各々に圧接して両周面間をシールする。

第２リング５は、リング状部材である。第２リング５は、第１リング４よりも軸方向他方側に配置され、石英管２に外嵌されている。第２リング５は、石英管２の周溝１１の軸方向一方側の端面（溝側面）１５に当接する当接部１６を軸方向一方側の内周部に有している。より詳しくは、第２リング５は、軸方向一方側の端面の内周側に当接部１６を有している。ナット７が締め付けられた際、当接部１６は、軸方向一方側に押され、軸方向一方側の端面１５に当接する。第２リング５は、石英管２の周溝１１の軸方向他方側の縁１７に係合する係合部１８を軸方向他方側の内周部に有している。より詳しくは、第２リング５は、内周面の軸方向他方側に係合部１８を有している。ナット７が締め付けられた際、係合部１８が内周側に押され、周溝１１の軸方向他方側の縁１７すなわち軸方向他方側の開口縁である角部が係合部１８に角当たりして食い込むように接触することにより、係合部１８は、縁１７に係合する。第２リング５は、第１リング４を軸方向一方側に押圧する第１リング押圧面１９を軸方向一方側の端面に有している。

第３リング６は、リング状部材である。第３リング６は、第２リング５よりも軸方向他方側に配置され、第２リング５に外嵌されている。第３リング６は、第２リング５を軸方向一方側および内周側に押圧する第２リング押圧面２１を内周面の軸方向一方側に有している。

ナット７は、筒状部材である。ナット７は、第１リング４、第２リング５および第３リング６を包囲するように配置され、石英管２に外嵌されている。ナット７は、第３リング６を軸方向一方側に押圧する第３リング押圧面２３を、軸方向他方側の端部において内周側に延びるように形成されている第２筒状部（底部）６２の軸方向一方側の端面に有している。ナット７の内周部には、第１螺合部１４に対応する第２螺合部（本実施形態においては、継手本体３の雄ねじ１４に螺合される雌ねじ）２２が設けられている。

このような構成により、継手本体３の雄ねじ１４にナット７の雌ねじ２２を螺合して締め付けることによって、ナット７の第３リング押圧面２３により第３リング６を軸方向一方側に押圧することが可能となる。そしてこの第３リング６の第２リング押圧面２１により第２リング５を軸方向一方側および内周側に押圧し、この第２リング５の第１リング押圧面１９により第１リング４を軸方向一方側に押圧することが可能となる。これにより、石英管２の軸方向一方側の端部１２の一部が継手本体３の受口１３に差し込まれた状態を保持できる。

また、第２リング５を軸方向一方側および内周側に押圧した状態で、第２リング５の当接部１６を石英管２の周溝１１の軸方向一方側の端面１５に当接させるとともに、第２リング５の係合部１８を石英管２の周溝１１の軸方向他方側の縁１７に係合することが可能となる。そのため、石英管２の周溝１１に対する第２リング５の寸法公差にかかわらず、第２リング５を、石英管２に外嵌した状態で安定して固定することができる。石英管２に対してその軸方向に振動が加わった場合に、第２リング５のがたつきが発生することを阻止できる。

したがって、第１リング４が第２リング５のがたつきの影響を受けることを回避できる。その結果、石英管２の軸方向一方側の端部１２の一部が継手本体３の受口１３に差し込まれた状態で、第１リング４により石英管２と受口１３との間にシール部が形成された場合に、前記シール部のシール力が第２リング５のがたつきの影響を受けて低下することを抑制して、前記シール部を良好に維持することが可能となる。よって、石英管２と継手本体３との間における流体の漏れを効果的に防止することが可能となる。

また、本実施形態においては、第２リング５が、軸方向一方側に向かって外径が拡大する傾斜面からなる第２リング被押圧面２５を有している。

そして、第３リング６の第２リング押圧面２１が、軸方向一方側に向かって内径が拡大する傾斜面からなり、第２リング被押圧面２５と接するように形成されている。

なお、本実施形態における第２リング押圧面２１および第２リング被押圧面２５の形状は、それぞれ、これに限定するものではなく、例えば、図６に示すように、径方向内方へ凸となる湾曲面からなる第２リング押圧面２１ａおよび略平坦な面である傾斜面からなる第２リング被押圧面２５としてもよい。また、図示しないが、略平坦な面である傾斜面からなる第２リング押圧面２１および径方向外方へ凸となる湾曲面からなる第２リング被押圧面としてもよいし、各々が湾曲面からなる第２リング押圧面２１ａおよび第２リング被押圧面としてもよい。

また、本実施形態においては、第２リング５は、第３リング６を介して、つまりナット７により間接的に軸方向一方側および内周側に押圧される構成としているが、これに限定するものではなく、図７に示すように、第２リング５が、ナット７により直接的に軸方向一方側および内周側に押圧される構成としてもよい。すなわち、ナット７において、第１筒状部６１の径方向内側から第２筒状部（底部）６２の軸方向一方側にかけて凸部２９を設け、第２リング５を軸方向一方側および内周側に押圧する第２リング押圧面２１を凸部２９に形成してもよい。この場合、ナット７が前述の実施形態における第３リング６の役割を担うため、別途第３リング６を設ける必要はない。

次に、本実施形態に係る管継手構造１について、図１、図２、図３、図４および図５を用いて詳細に説明する。

石英管２は、軸心３０をもつ円筒形状に形成されている。石英管２の周溝１１は、石英管２の周方向に関して、石英管２の全周にわたって延びるように設けられている。周溝１１は、石英管２の外周面に刻設されており、その径方向外方に向かって開口する断面凹形状を有している。

石英管２において、周溝１１の軸方向一方側の端面（溝側面）１５は、石英管２の軸方向他方側を向くように、周溝１１の内部に設けられている。

周溝１１の軸方向他方側の縁１７は、周溝１１の開口縁のうちの石英管２の軸方向他方側に位置する部分から構成されている。

継手本体３は、接続部３１を有している。

接続部３１は、円筒形状に形成されている。接続部３１は、継手本体３の本体部３２に設けられている。接続部３１は、石英管２の軸方向一方側の一部に対して、同軸心上に配置された状態で、石英管２にその開口部３３を介して連通接続されている。

接続部３１は、受口１３および雄ねじ１４を含んでおり、受口１３は、内径縮小面３４を含んでいる。

受口１３は、接続部３１の内周部の軸方向他方側に設けられている。受口１３は、石英管２の軸方向一方側の端部１２が差し込まれるように構成されている。受口１３は、軸方向他方側における、石英管２の軸方向一方側の端部１２の外径と略同じ内径となるまで軸方向一方側に向かって徐々に内径が縮小する内径縮小部分と、軸方向一方側における、当該端部１２の外径と略同じ内径が一定して続く内径一定部分とに分けられ、両者が連続して形成されている。前者の内径縮小部分における内周面は、後述する内径縮小面３４に形成されている。

雄ねじ１４は、接続部３１の軸方向他方側の外周部に設けられている。

内径縮小面３４は、受口１３の軸方向他方側の内周部のうちの最も軸方向他方側の部分に設けられている。この部分において、内径縮小面３４は、受口１３の内径を軸方向他方側から軸方向一方側へ向かうに従って徐々に縮小させるように環状の傾斜面に形成されている。なお、内径縮小面３４は、直線状のテーパ面でなくてもよく、例えば、湾曲面に形成されていてもよい。

なお、継手本体３は、適宜の接続手段により前記所定の管または前記流体機器とも接続される。

第１リング４は、石英管２（軸方向一方側の端部１２）と継手本体３（受口１３）との間をシールすることができるように構成されている。第１リング４は、受口１３の内周面と石英管２の外周面とに挟まれた状態で設けられている。

第１リング４は、弾性を有している。第１リング４は、周溝１１よりも石英管２の軸方向一方側に配置されている。第１リング４は、石英管２の軸方向一方側の一部の外周面に接する内周面に加えて、外径縮小面３５を有している。

外径縮小面３５は、第１リング４の軸方向一方側の外周部のうちの最も軸方向一方側の部分に設けられている。外径縮小面３５は、第１リング４の外径を軸方向他方側から軸方向一方側へ向かう従って徐々に縮小させるように環状の傾斜面に形成されている。なお、外径縮小面３５は、直線状のテーパ面でなくてもよく、例えば、湾曲面に形成されていてもよい。外径縮小面３５は、第１リング４の内周面が石英管２の軸方向一方側の一部の外周面に接した状態で、内径縮小面３４に接するように形成されている。

第１リング４は、また、第１リング被押圧面３７を有している。第１リング被押圧面３７は、第１リング４の軸方向他方側の端面に設けられている。

第２リング５は、受口１３の内周面と石英管２の軸方向一方側の一部の外周面との間からの第１リング４の抜け止めを図ることができるように構成されている。第２リング５は、軸方向において接続部３１（受口１３）との間に第１リング４を挟むように、石英管２における周溝１１およびその近傍に外嵌されている。

第２リング５は、その軸方向一方側の部分が周溝１１の内部に位置するように、石英管２に外嵌されている。より詳しくは、第２リング５は、当接部１６を含む軸方向一方側の内周側の部分が周溝１１に嵌り、係合部１８を含む軸方向他方側の内周側の部分が周溝１１からその外方にはみ出すように、石英管２に外嵌されている。

このように第２リング５が石英管２における周溝１１およびその近傍に外嵌された状態では、第２リング５の当接部１６が、周溝１１内において軸方向他方側から周溝１１の軸方向一方側の端面（溝側面）１５に当接する。ナット７が締め付けられた際、当接部１６は、軸方向一方側に押され、軸方向一方側の端面１５に当接する。また、第２リング５の係合部１８が、径方向外側から周溝１１の軸方向他方側の縁１７に係合する（当たる）。ナット７が締め付けられた際、係合部１８が内周側に押され、周溝１１の軸方向他方側の縁１７すなわち軸方向他方側の開口縁である角部が係合部１８に角当たりして食い込むように接触することにより、係合部１８は、縁１７に係合する。

本実施形態において、当接部１６は、周溝１１の軸方向一方側の端面１５に応じて、第２リング５の軸方向一方側の端面の内周側において周方向に延びるように設けられている。

係合部１８は、周溝１１の軸方向他方側の縁１７に応じて、第２リング５の内周面の軸方向他方側において周方向に延びるように設けられている。係合部１８は、第２リング５の軸方向他方側の内周面であって、内径を軸方向他方側から軸方向一方側へ向かうに従って徐々に縮小させるように形成されている環状の傾斜面から構成されている。

また、第１リング押圧面１９は、軸方向において第１リング被押圧面３７と接するように形成されている。第１リング押圧面１９は、第２リング５の軸方向一方側の端面に設けられている。第１リング押圧面１９は、第１リング被押圧面３７に応じて、第２リング５の軸方向一方側の端面において周方向に延びるように設けられている。

第２リング被押圧面２５は、第２リング５の軸方向他方側の外周面に設けられている。第２リング被押圧面２５は、第２リング押圧面２１に応じて、第２リング５の外周面の軸方向他方側において周方向に延びるように設けられている。第２リング被押圧面２５は、第２リング５の軸方向他方側の外周面であって、外径を軸方向他方側から軸方向一方側へ向かうに従って徐々に拡大させるように形成されている環状の傾斜面から構成されている。なお、第２リング被押圧面２５は、直線状のテーパ面でなくてもよく、例えば、湾曲面に形成されていてもよい。

第２リング５は、また、可撓性を有し、第２リング５の内径を変化させ得るよう構成されている。本実施形態においては、第２リング５は、分割溝４７と、連結部４８とを有している（図３参照）。

分割溝４７は、第２リング５の周方向の一部が軸方向に切断されることで形成されている。また、連結部４８は、第２リング５の周方向の別の一部が軸方向に部分的に切り欠かれることで形成されている。

第３リング６は、軸方向において第１リング４との間に第２リング５を挟むように、石英管２を包囲した状態で第２リング５に外嵌されている。第３リング６は、石英管２の周溝１１に対して軸方向他方側寄りに配置されている。

第２リング押圧面２１は、軸方向および径方向において第２リング被押圧面２５と接するように形成されている。第２リング押圧面２１は、第３リング６の軸方向一方側の内周面に設けられている。第２リング押圧面２１は、第２リング被押圧面２５に応じて、第３リング６の内周面の軸方向一方側において周方向に延びるように設けられている。第２リング押圧面２１は、第３リング６の軸方向一方側の内周面であって、内径を軸方向他方側から軸方向一方側へ向かうに従って徐々に拡大させるように形成されている環状の傾斜面から構成されている。なお、第２リング押圧面２１は、直線状のテーパ面でなくてもよく、例えば、湾曲面に形成されていてもよい。

第３リング６は、また、第３リング被押圧面５３を有している。第３リング被押圧面５３は、第３リング６の軸方向他方側の端面に設けられている。

ナット７は、軸方向において第２リング５との間に第３リング６を挟むように、石英管２に外嵌されるとともに、継手本体３の接続部３１に接続されている。

ナット７は、第１筒状部６１と、第２筒状部６２と、第３リング押圧面２３とを有している。

第１筒状部６１は、円筒形状に形成されており、接続部３１の少なくとも軸方向他方側の一部、第１リング４、第２リング５および第３リング６を包囲するように構成されている。

第１筒状部６１の内周部に、雌ねじ２２が設けられている。

第２筒状部６２は、第１筒状部６１と同軸上に円筒形状に形成されており、第１筒状部６１の軸方向他方側の端部に連続して内周側に延びるように形成されている。第２筒状部６２は、石英管２の周溝１１よりも軸方向他方側に配置されている。第２筒状部６２は、石英管２の軸方向一方側の端部１２の外径に対して略同じまたは若干大きい内径を有している。

第３リング押圧面２３は、軸方向において第３リング被押圧面５３と接するように形成されている。第３リング押圧面２３は、第２筒状部６２の軸方向一方側の端面に設けられている。第３リング押圧面２３は、第３リング被押圧面５３に応じて、第２筒状部６２の軸方向一方側の端面において周方向に延びるように設けられている。

以上のような構成において、互いに分離した状態にある石英管２と継手本体３との連通接続を実現する（管継手構造１について図３に示されるような分解状態を図５に示される接続状態に切り替える）ためには、まず、石英管２をその軸方向一方側の端部１２からナット７の開口に通し、ナット７（第２筒状部６２）を周溝１１よりも石英管２の軸方向他方側へ移動させる。

次に、図４に示すように、石英管２をその軸方向一方側の端部１２から第３リング６の開口に通し、第３リング６を石英管２に外嵌された状態にあるナット７内（第１筒状部６１の径方向内側）に向かって周溝１１よりも石英管２の軸方向他方側へ移動させる。次に、石英管２をその軸方向一方側の端部１２から第２リング５の開口に通し、第２リング５を周溝１１まで石英管２の軸方向他方側へ移動させる。

この際には、第２リング５を撓ませて（拡径変形させて）、その一部を石英管２に取り付ける。より詳しくは、第２リング５の軸方向一方側の部分を周溝１１に嵌めつつ第２リング５の軸方向他方側の部分を周溝１１からはみ出させた状態で、第２リング５を石英管２に固定する。その固定状態においては、当接部１６を周溝１１の軸方向一方側の端面１５に軸方向他方側から当接させるとともに、係合部１８を周溝１１の開口付近で石英管２の径方向外方から周溝１１の軸方向他方側の縁１７に係合させる（当てる）。

次に、石英管２をその軸方向一方側の端部１２から第１リング４の開口に通し、第１リング４を石英管２の軸方向他方側へ移動させる。次に、石英管２の軸方向一方側の端部１２の一部を、継手本体３における受口１３に差し込む。このとき、第１リング４の軸方向一方側の一部を、受口１３の内周面と石英管２の軸方向一方側の一部の外周面との間に挿入する。

次に、ナット７が石英管２に沿って軸方向一方側へ移動するように、ナット７の雌ねじ２２を継手本体３の接続部３１の雄ねじ１４に螺合する。そして、ナット７を人手または工具を用いて回転操作して締め付ける。

ナット７の締付時には、ナット７の第３リング押圧面２３により第３リング被押圧面５３を介して第３リング６を軸方向一方側に押圧する。押圧された第３リング６の第２リング押圧面２１により第２リング被押圧面２５を介して第２リング５を軸方向一方側および内周側に押圧し、その押圧された第２リングの第１リング押圧面１９により第１リング被押圧面３７を介して第１リング４を軸方向一方側に押圧する。

そして、第１リング４の軸方向一方側の一部を、継手本体３の接続部１０（受口１３）と石英管２との間に圧入して、受口１３の内周面および石英管２の軸方向一方側の一部の外周面の各々に圧接させる。すなわち、第１リング４の外周面に含まれる外径縮小面３５を接続部３１（受口１３）の内径縮小面３４に密着させるとともに、第１リング４の内周面を石英管２の軸方向一方側の一部の外周面に密着させる。

こうして、接続部３１（受口１３）と、受口１３に差し込まれた石英管２の軸方向一方側の一部との周面間に、第１リング４を用いてシール部を形成する。そして、前述のように、軸方向一方側のみが周溝１１に嵌められた第２リング５により、このシール部を形成する第１リング４が受口１３の内周面と石英管２の軸方向一方側の一部の外周面との間から抜けないように、第１リング４を安定して保持することが可能となる。

上述の教示を考慮すれば、本発明が多くの変更形態および変形形態をとり得ることは明らかである。したがって、本発明が、添付の特許請求の範囲内において、本明細書に記載された以外の方法で実施され得ることを理解されたい。

１ 管継手構造
２ 石英管
３ 継手本体
４ 第１リング
５ 第２リング
６ 第３リング
７ ナット
１１ 周溝
１２ 石英管の端部
１３ 受口
１４ 雄ねじ（第１螺合部）
１５ 周溝の軸方向一方側の端面
１６ 当接部
１７ 周溝の軸方向他方側の縁
１８ 係合部
１９ 第１リング押圧面
２１ 第２リング押圧面
２２ 雌ねじ（第２螺合部）
２３ 第３リング押圧面
２５ 第２リング被押圧面

Claims (5)

1. 石英管のための管継手構造であって、
   軸方向一方側の端部の外周部に周溝が設けられた石英管と、
   前記石英管の前記端部の一部が差し込まれる受口が内周部に設けられ、雄ねじが外周部に設けられた筒状部材である継手本体と、
   軸方向一方側の一部が前記継手本体の前記受口と前記石英管との周面間に配置され、前記石英管に外嵌され、当該受口と当該石英管に圧接してシールするリング状部材である第１リングと、
   前記第１リングよりも軸方向他方側に配置され、前記石英管に外嵌されるリング状部材であって、前記石英管の前記周溝の軸方向一方側の端面に当接する当接部を軸方向一方側の内周部に有し、前記石英管の前記周溝の軸方向他方側の縁に係合する係合部を軸方向他方側の内周部に有し、前記第１リングを軸方向一方側に押圧する第１リング押圧面を有する第２リングと、
   前記第１リングおよび前記第２リングを包囲するように配置される筒状部材であって、前記継手本体の前記雄ねじに螺合される雌ねじが内周部に設けられ、前記第２リングを直接的にまたは間接的に軸方向一方側および内周側に押圧するナットと
   を備え、
   前記石英管の前記周溝の前記縁には角があり、前記継手本体の前記雄ねじに前記ナットの前記雌ねじが螺合された際、前記角に前記第２リングの前記係合部が押し付けられて係合する
   ことを特徴とする管継手構造。
2. 前記第２リングよりも軸方向他方側に配置され、前記第２リングに外嵌されるリング状部材であって、前記第２リングを軸方向一方側および内周側に押圧する第２リング押圧面を有する第３リングを備え、
   前記ナットは、前記第３リングを包囲するように配置され、前記第３リングを軸方向一方側に押圧する第３リング押圧面を有する、
   請求項１に記載の管継手構造。
3. 前記第２リングは、軸方向一方側に向かって外径が拡大する傾斜面または湾曲面からなる第２リング被押圧面を有し、
   前記第３リングの前記第２リング押圧面は、軸方向一方側に向かって内径が拡大する傾斜面または湾曲面からなり、前記第２リング被押圧面と当接する、
   請求項２に記載の管継手構造。
4. 前記ナットは、前記第２リングを軸方向一方側および内周側に押圧する第２リング押圧面を有する、
   請求項１に記載の管継手構造。
5. 前記第２リングは、軸方向一方側に向かって外径が拡大する傾斜面または湾曲面からなる第２リング被押圧面を有し、
   前記ナットの前記第２リング押圧面は、軸方向一方側に向かって内径が拡大する傾斜面または湾曲面からなり、前記第２リング被押圧面と当接する、
   請求項４に記載の管継手構造。

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