JP6969744B2 - 真空冷却装置 - Google Patents
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Description
2 処理槽
3 冷水ユニット
4 温度検出装置
5 圧力検出装置
6 運転制御装置
7 被冷却物
8 熱交換器
9 真空配管
10 真空解除弁
Claims (1)
- 被冷却物を収容する処理槽と、処理槽内の気体を吸引する真空発生装置を持ち、処理槽内を真空化することで処理槽内に収容している被冷却物の冷却を行う真空冷却装置であって、処理槽内の圧力を検出する圧力検出装置を設けておき、被冷却物の冷却を行う冷却工程時には、前記圧力検出装置での検出圧力が目標圧力となるまで処理槽内部を減圧し、冷却工程を終了すると処理槽内を大気圧に戻す真空解除工程を行うようにしている真空冷却装置において、前記処理槽内の圧力を検出する圧力検出装置は絶対圧を検出する圧力検出装置とし、圧力検出装置によって冷却運転開始時における気圧を検出して保存するようにしておき、処理槽内を減圧する冷却工程時には処理槽内圧力を絶対圧で検出して圧力制御を行い、真空解除工程では処理槽内圧力が前記の保存しておいた運転開始時圧力から余裕度を減算した値に到達した場合に終了判定を行うものであることを特徴とする真空冷却装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2018012124A JP6969744B2 (ja) | 2018-01-29 | 2018-01-29 | 真空冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2018012124A JP6969744B2 (ja) | 2018-01-29 | 2018-01-29 | 真空冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019132435A JP2019132435A (ja) | 2019-08-08 |
| JP6969744B2 true JP6969744B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=67544787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018012124A Active JP6969744B2 (ja) | 2018-01-29 | 2018-01-29 | 真空冷却装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP6969744B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP2019132435A (ja) | 2019-08-08 |
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