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JP6971939B2 - Ultrasonic sensor - Google Patents
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JP6971939B2 - Ultrasonic sensor - Google Patents

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Description

本開示は、超音波センサーに関するものである。 The present disclosure relates to an ultrasonic sensor.

現在、駐車補助のためのクリアランスソナーには超音波センサーが使用されている。また、今後普及が予想されている自動運転システムや自動駐車システムでは、カメラ、ミリ波レーダー、超音波センサー(クリアランスソナー)を含む複合システムが使用される。このような超音波センサーとして、底部および該底部の外周に接続された筒状部を有する有底筒状のケースと、前記底部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記ケースの開口部に固着され、当該開口部を塞いでいる基台(蓋部)とを備えたものが知られている(例えば、特許文献1、特許文献2を参照)。 Currently, ultrasonic sensors are used in clearance sonar for parking assistance. In addition, in automatic driving systems and automatic parking systems that are expected to become widespread in the future, complex systems including cameras, millimeter-wave radars, and ultrasonic sensors (clearance sonar) will be used. As such an ultrasonic sensor, a bottomed tubular case having a bottom and a tubular portion connected to the outer periphery of the bottom, a piezoelectric element attached to the inner surface of the bottom, and an opening of the case are fixed. A base (lid portion) that closes the opening is known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

特開平5−244692号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-244692 特開2007−282058号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-282058

超音波センサーが超音波を発するとき、振動板としての底部が圧電素子からの力を受けて振動する。このとき、ケースの側面に位置する筒状部も変形するような力がかかる。ここで、ケースの開口部に基台(蓋部)が固着されていることにより、筒状部の変形は抑えられるが、ケースの底部の振幅も小さくなって音圧および感度が低下するおそれがある。 When the ultrasonic sensor emits ultrasonic waves, the bottom portion of the diaphragm vibrates by receiving the force from the piezoelectric element. At this time, a force that deforms the tubular portion located on the side surface of the case is also applied. Here, since the base (cover) is fixed to the opening of the case, the deformation of the tubular portion is suppressed, but the amplitude of the bottom of the case is also reduced, and the sound pressure and sensitivity may decrease. be.

また、超音波センサーには、より遠距離の障害物を測定できることが求められている。 In addition, ultrasonic sensors are required to be able to measure obstacles at a longer distance.

本開示は、上記事情に鑑みてなされたもので、音圧および感度に優れ、より遠距離まで検知可能な超音波センサーを提供することを目的とする。 The present disclosure has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic sensor having excellent sound pressure and sensitivity and capable of detecting a long distance.

本開示の超音波センサーは、底部および該底部の外周に接続された筒状部を有する有底筒状のケースと、前記底部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記ケースの開口部に固着され、当該開口部を塞いでいる基台とを備えている。前記筒状部は、上側に位置する相対的に内寸が大きく厚みの薄い第1領域と、下側に位置する相対的に内寸が小さく厚みの厚い第2領域とを有し、前記第1領域の内面から前記第2領域の内面にかけて段差状の内面になっている。前記基台は、平面視したときに外周部の一部において外側に向かって突出する突起部を有しているとともに、平面視したときの前記突起部を除く外周部の外寸が前記第1領域の内寸よりも小さくなっている。前記第1領域は、平面視したときに前記突起部が嵌め込まれるように前記突起部に対応して切り欠かれた切欠き部を有している。前記基台は、当該基台の側面と前記第1領域の内面との間に隙間を有するように、前記第2領域の上端に固定され、前記基台の前記突起部と前記第2領域の上端のうちの前記突起部に面する部位とが第1の接着剤で接合されるとともに、前記基台の前記突起部を除く前記外周部と前記第2領域の上端のうちの前記突起部に面していない部位とが第2の接着剤で接合されていて、前記第1の接着剤のヤング率が前記第2の接着剤のヤング率よりも大きい。 The ultrasonic sensor of the present disclosure is fixed to a bottomed tubular case having a tubular portion connected to the bottom and the outer periphery of the bottom, a piezoelectric element attached to the inner surface of the bottom, and an opening of the case. It is equipped with a base that closes the opening. The tubular portion has a first region having a relatively large inner dimension and a thin thickness located on the upper side, and a second region having a relatively small inner dimension and a thick thickness located on the lower side. From the inner surface of one region to the inner surface of the second region, there is a stepped inner surface. The base has a protrusion that protrudes outward in a part of the outer peripheral portion when viewed in a plan view, and the outer dimension of the outer peripheral portion excluding the protrusion when viewed in a plan view is the first. It is smaller than the inner dimension of the area. The first region has a notch portion corresponding to the protrusion so that the protrusion is fitted when viewed in a plan view. The base is fixed to the upper end of the second region so as to have a gap between the side surface of the base and the inner surface of the first region, and the protrusion of the base and the second region The portion of the upper end facing the protrusion is bonded with the first adhesive, and the outer peripheral portion of the base excluding the protrusion and the protrusion of the upper end of the second region are joined. The non-faced portion is bonded with the second adhesive, and the young ratio of the first adhesive is larger than the young ratio of the second adhesive.

本開示の超音波センサーによれば、音圧および感度を上昇させ、より遠距離まで物体検知を行うことができる。 According to the ultrasonic sensor of the present disclosure, it is possible to increase the sound pressure and sensitivity and detect an object over a longer distance.

超音波センサーの一例を示す一部透過概略平面図である。It is a partial transmission schematic plan view which shows an example of an ultrasonic sensor. 図1に示すII−II線で切断した概略断面図である。It is a schematic cross-sectional view cut along line II-II shown in FIG. 超音波センサーの他の例を示す一部透過概略平面図である。It is a partial transmission schematic plan view which shows another example of an ultrasonic sensor. 図3に示すIV−IV線で切断した概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line IV-IV shown in FIG. 超音波センサーの他の例を示す一部透過概略平面図である。It is a partial transmission schematic plan view which shows another example of an ultrasonic sensor. 図5に示すVI−VI線で切断した概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view cut along the VI-VI line shown in FIG.

以下、添付図面を参照して、超音波センサーの実施形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the ultrasonic sensor will be described with reference to the accompanying drawings.

図1および図2に示す超音波センサーは、底部11および底部11の外周に接続された筒状部12を有する有底筒状のケース1と、底部11の内面に取り付けられた圧電素子2と、ケース1の開口部に固着され、当該開口部を塞いでいる基台3(蓋部)とを備えている。ケース1の開口部とは、基台3によって塞がれる前の状態のことを意味するものである。 The ultrasonic sensors shown in FIGS. 1 and 2 include a bottomed tubular case 1 having a bottom portion 11 and a tubular portion 12 connected to the outer periphery of the bottom portion 11, and a piezoelectric element 2 attached to the inner surface of the bottom portion 11. It is provided with a base 3 (cover portion) that is fixed to the opening of the case 1 and closes the opening. The opening of the case 1 means a state before being closed by the base 3.

なお、本実施形態におけるケース1は平面視したときの形状が円形状であるとともに、基台3の突起部31を除く外周部の形状が円形状であるが、特にこの形状に限定されるものではない。 The case 1 in the present embodiment has a circular shape when viewed in a plan view, and the outer peripheral portion of the base 3 excluding the protrusion 31 has a circular shape, but the shape is particularly limited to this shape. is not it.

ケース1を構成する筒状部12は、例えば円筒状の形状であり、底部11の外周を支持する支持体として機能する。筒状部12の高さ(長さ)は、例えば2mm〜15mmである。また、筒状部12の内径(後述の第2領域122の内径)は例えば5mm〜30mmであり、筒状部12の厚み(後述の第2領域122の厚み)は例えば0.5mm〜3.0mmである。この筒状部12は、例えばアルミニウム、チタン、マグネシウムなどの金属材料、またはABS樹脂、PBT樹脂、PPS樹脂などの樹脂材料からなる。 The tubular portion 12 constituting the case 1 has, for example, a cylindrical shape, and functions as a support for supporting the outer periphery of the bottom portion 11. The height (length) of the tubular portion 12 is, for example, 2 mm to 15 mm. Further, the inner diameter of the tubular portion 12 (the inner diameter of the second region 122 described later) is, for example, 5 mm to 30 mm, and the thickness of the tubular portion 12 (the thickness of the second region 122 described later) is, for example, 0.5 mm to 3. It is 0 mm. The tubular portion 12 is made of, for example, a metal material such as aluminum, titanium, or magnesium, or a resin material such as ABS resin, PBT resin, or PPS resin.

底部11の内面には圧電素子2が取り付けられていて、底部11は圧電素子2の振動によって振動する振動板として機能する。また、底部11は、圧電素子2から超音波を発する際に、圧電素子2と空間との音響インピーダンスを整合する音響整合層として機能する。ここで、図2では底部11と筒状部12とが一体に表されているが、一体に形成されたものでなくてもよい。例えば、筒状部12の開口部に底部11が挿着された構成とすることができる。底部11は、圧電素子2の貼り付けられた面に垂直な方向の厚みが例えば0.5mm〜5mmとされる。底部11の材質としては、例えば上述の合成樹脂の他、ゴム状弾性体、カーボン材料などを用いることができる。なお、底部11が筒状部12に挿着される場合の固定方法としては、底部11を開口部に押し込むことによる圧縮力,摩擦力による固定の他、接着剤による固定などが挙げられる。 A piezoelectric element 2 is attached to the inner surface of the bottom portion 11, and the bottom portion 11 functions as a diaphragm vibrating due to the vibration of the piezoelectric element 2. Further, the bottom portion 11 functions as an acoustic matching layer that matches the acoustic impedance between the piezoelectric element 2 and the space when the piezoelectric element 2 emits ultrasonic waves. Here, in FIG. 2, the bottom portion 11 and the tubular portion 12 are integrally represented, but they do not have to be integrally formed. For example, the bottom portion 11 may be inserted into the opening of the tubular portion 12. The bottom portion 11 has a thickness of, for example, 0.5 mm to 5 mm in the direction perpendicular to the surface to which the piezoelectric element 2 is attached. As the material of the bottom portion 11, for example, in addition to the above-mentioned synthetic resin, a rubber-like elastic body, a carbon material, or the like can be used. Examples of the fixing method when the bottom portion 11 is inserted into the tubular portion 12 include fixing by a compressive force and a frictional force by pushing the bottom portion 11 into the opening, and fixing by an adhesive.

基台3は、例えば筒状部12と同様の材料からなる。基台3には、例えば2本の端子4が挿通されていて、この端子4および配線を経て圧電素子2の表面電極と外部回路とが電気的に接続されている。端子4は、例えば直径0.2mm〜3.0mm、長さ5.0mm〜15.0mmの金属製の棒状体である。 The base 3 is made of, for example, the same material as the tubular portion 12. For example, two terminals 4 are inserted through the base 3, and the surface electrodes of the piezoelectric element 2 and an external circuit are electrically connected via the terminals 4 and wiring. The terminal 4 is, for example, a metal rod-shaped body having a diameter of 0.2 mm to 3.0 mm and a length of 5.0 mm to 15.0 mm.

圧電素子2は、例えば接着剤を介して底部11に貼り付けられている。圧電素子2は、例えば平面視長方形状、正方形状、円形状などの形状をした板状体である。例えば、平面視したときに一辺が4.0mm〜6.0mmの正方形状で、厚み0.1mm〜3.0mm
のものを用いることができる。
The piezoelectric element 2 is attached to the bottom portion 11 via, for example, an adhesive. The piezoelectric element 2 is, for example, a plate-shaped body having a rectangular shape, a square shape, a circular shape, or the like in a plan view. For example, when viewed in a plan view, it has a square shape with a side of 4.0 mm to 6.0 mm and a thickness of 0.1 mm to 3.0 mm.
Can be used.

この圧電素子2は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミックスからなる単板の圧電体と、当該圧電体の上面および下面に設けられた銀などの金属からなる表面電極とを備えたものでよい。また、圧電素子2は、例えば圧電体層と内部電極層とが積層された積層体と、当該積層体の上面および下面に設けられた表面電極とを備えたものでもよい。接着剤には、例えばエポキシ系、アクリル系などの接着剤を用いることができる。 The piezoelectric element 2 includes a single-plate piezoelectric body made of piezoelectric ceramics such as lead zirconate titanate, and a surface electrode made of a metal such as silver provided on the upper and lower surfaces of the piezoelectric body. good. Further, the piezoelectric element 2 may include, for example, a laminate in which a piezoelectric layer and an internal electrode layer are laminated, and surface electrodes provided on the upper and lower surfaces of the laminate. As the adhesive, for example, an epoxy-based adhesive or an acrylic-based adhesive can be used.

筒状部12は、上側に位置する相対的に内寸が大きく厚みの薄い第1領域121と、下側に位置する相対的に内寸が小さく厚みの厚い第2領域122とを有している。そして、第1領域121の内面から第2領域122の内面にかけて段差状の内面になっている。ここで、第2領域122の上端の径方向の幅((第1領域121の内径−第2領域122の内径)/2)との差は、例えば0.25mm〜2.0mmとされる。 The tubular portion 12 has a first region 121 having a relatively large inner dimension and a thin thickness located on the upper side, and a second region 122 having a relatively small inner dimension and a thick thickness located on the lower side. There is. Then, from the inner surface of the first region 121 to the inner surface of the second region 122, there is a stepped inner surface. Here, the difference from the radial width of the upper end of the second region 122 ((inner diameter of the first region 121 − inner diameter of the second region 122) / 2) is, for example, 0.25 mm to 2.0 mm.

第1領域121の外面と第2領域122の外面とは通常は面一にされるが、特に限定はない。また、第1領域121の厚みt1は、第2領域122の厚みt2の例えば30〜70%の範囲で設定され、第2領域122の厚みt2と第1領域121の厚みt1との差(t2−t1)は例えば0.15〜2.1mmとされる。 The outer surface of the first region 121 and the outer surface of the second region 122 are usually flush with each other, but are not particularly limited. Further, the thickness t1 of the first region 121 is set in the range of, for example, 30 to 70% of the thickness t2 of the second region 122, and the difference between the thickness t2 of the second region 122 and the thickness t1 of the first region 121 (t2). -T1) is set to, for example, 0.15 to 2.1 mm.

基台3は、平面視したときに外周部の一部において外側に向かって突出する突起部31を有しているとともに、平面視したときの突起部31を除く外周部の外寸が第1領域121の内寸よりも小さくなっている。また、第1領域121は、平面視したときに突起部31が嵌め込まれるように突起部31に対応して切り欠かれた切欠き部1210を有している。さらに、基台3は、当該基台3の側面と第1領域121の内面との間に隙間を有するように、第2領域122の上端に固定されている。突起部31は、基台3の周方向に沿った幅が例えば2.0mm〜4.0mmとされ、突出距離が例えば0.5mm〜3.0mmとされる。 The base 3 has a protrusion 31 that protrudes outward in a part of the outer peripheral portion when viewed in a plan view, and the outer dimension of the outer peripheral portion excluding the protrusion 31 when viewed in a plan view is the first. It is smaller than the inner dimension of the region 121. Further, the first region 121 has a notch portion 1210 notched corresponding to the protrusion 31 so that the protrusion 31 is fitted when viewed in a plan view. Further, the base 3 is fixed to the upper end of the second region 122 so as to have a gap between the side surface of the base 3 and the inner surface of the first region 121. The width of the protrusion 31 along the circumferential direction of the base 3 is, for example, 2.0 mm to 4.0 mm, and the protrusion distance is, for example, 0.5 mm to 3.0 mm.

ここで、基台3は第2領域122の上端に固定されることから、基台3の突起部31を除く外周部の外径は、第1領域121の内径よりも短く、第2領域122の内径よりも長くなっている。基台3の側面と第1領域121の内面との間に形成される隙間は、例えば第2領域122の厚みと第1領域121の厚みとの差の5〜50%の幅とされる。 Here, since the base 3 is fixed to the upper end of the second region 122, the outer diameter of the outer peripheral portion of the base 3 excluding the protrusion 31 is shorter than the inner diameter of the first region 121, and the second region 122 It is longer than the inner diameter of. The gap formed between the side surface of the base 3 and the inner surface of the first region 121 is, for example, a width of 5 to 50% of the difference between the thickness of the second region 122 and the thickness of the first region 121.

そして、基台3の突起部31と第2領域122の上端のうちの突起部31に面する部位とが第1の接着剤51で接合されている。また、基台3の突起部31を除く外周部と第2領域122の上端のうちの突起部31に面していない部位とが第2の接着剤52で接合されている。さらに、第1の接着剤51のヤング率が第2の接着剤52のヤング率よりも大きい。 Then, the protrusion 31 of the base 3 and the portion of the upper end of the second region 122 facing the protrusion 31 are joined with the first adhesive 51. Further, the outer peripheral portion of the base 3 excluding the protrusion 31 and the portion of the upper end of the second region 122 that does not face the protrusion 31 are bonded with the second adhesive 52. Further, the Young's modulus of the first adhesive 51 is larger than the Young's modulus of the second adhesive 52.

従来、基台3(蓋部)の側面と第1領域121の内面との間には隙間がなく、基台3を側面から押さえ込む構造とした従来の超音波センサーにおいては、ケースの変形を妨げるような構造であった。 Conventionally, there is no gap between the side surface of the base 3 (cover portion) and the inner surface of the first region 121, and in the conventional ultrasonic sensor having a structure in which the base 3 is pressed from the side surface, deformation of the case is hindered. It was a structure like this.

これに対し、基台3の側面と第1領域121の内面との間に隙間を有し、基台3の外周部と第2領域122の上端とを接着剤で接合する構造の超音波センサーは、ケースの変形を妨げにくい構造となる。ところが、基台3の側面と第1領域121の内面との間に隙間を有し、基台3の外周部と第2領域122の上端とを接着剤で接合する構造においては、接合強度が低く、外れやすいという問題もある。 On the other hand, an ultrasonic sensor having a gap between the side surface of the base 3 and the inner surface of the first region 121 and having a structure in which the outer peripheral portion of the base 3 and the upper end of the second region 122 are bonded with an adhesive. Has a structure that does not hinder the deformation of the case. However, in a structure in which a gap is provided between the side surface of the base 3 and the inner surface of the first region 121, and the outer peripheral portion of the base 3 and the upper end of the second region 122 are joined with an adhesive, the joining strength is high. There is also the problem that it is low and easy to come off.

そこで、基台3の外周部の一部において外側に向かって突出する突起部31を有し、突
起部31と切欠き部1210とを対応させて接合させ、その部分だけ他の部分よりもヤング率の大きな(硬い)接着剤で接合することで、部分的に強固な接合にして接合強度を高められるとともに、それ以外の部位を変形しやすくすることができる。
Therefore, a part of the outer peripheral portion of the base 3 has a protrusion 31 protruding outward, and the protrusion 31 and the notch 1210 are joined in correspondence with each other, and only that portion is younger than the other parts. By joining with a high-ratio (hard) adhesive, it is possible to make a partially strong bond and increase the joint strength, and at the same time, it is possible to easily deform other parts.

相対的にヤング率の大きな硬化後に硬い第1の接着剤51としては、例えばエポキシ系接着剤、アクリル系接着剤などを用いることができる。第1の接着剤51としては、例えばヤング率が1GPa以上のものを用いるのがよい。 As the first adhesive 51 that is hard after curing with a relatively large Young's modulus, for example, an epoxy adhesive, an acrylic adhesive, or the like can be used. As the first adhesive 51, for example, one having a Young's modulus of 1 GPa or more may be used.

一方、相対的にヤング率の小さな硬化後に柔らかい第2の接着剤52としては、例えばブチルゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、変性シリコーン系接着剤などを用いることができる。第2の接着剤52としては、例えばヤング率が100MPa以下のものを用いるのがよい。 On the other hand, as the second adhesive 52 that is soft after curing with a relatively small Young's modulus, for example, a butyl rubber adhesive, an acrylic adhesive, a modified silicone adhesive, or the like can be used. As the second adhesive 52, for example, one having a Young's modulus of 100 MPa or less may be used.

ここで、図3および図4に示すように、第2領域122の上端は突起部31に面していない部位に周方向に沿って第1の溝1221を有しており、第2の接着剤52が第1の溝1221に埋め込まれるように設けられていてもよい。このとき、第2の接着剤52が第1の溝1221に埋め込まれるとともに、第1の溝1221の周囲に当該第1の溝1221に沿って設けられるのがよい。第1の溝1221の開口幅(径方向の幅)は、例えば0.1mm〜1.8mmとされる。また、第1の溝1221の深さは、例えば0.1mm〜1.5mmとされる。 Here, as shown in FIGS. 3 and 4, the upper end of the second region 122 has a first groove 1221 along the circumferential direction at a portion not facing the protrusion 31, and a second bond is formed. The agent 52 may be provided so as to be embedded in the first groove 1221. At this time, it is preferable that the second adhesive 52 is embedded in the first groove 1221 and is provided around the first groove 1221 along the first groove 1221. The opening width (diameter width) of the first groove 1221 is, for example, 0.1 mm to 1.8 mm. The depth of the first groove 1221 is, for example, 0.1 mm to 1.5 mm.

第1の溝1221に第2の接着剤52が埋め込まれるように設けられることにより、ヤング率の小さな硬化後に柔らかい第2の接着剤52をより多く設けることができ、またケース1を変形させやすくすることができる。 By providing the second adhesive 52 so as to be embedded in the first groove 1221, more soft second adhesive 52 can be provided after curing with a small Young's modulus, and the case 1 can be easily deformed. can do.

また、図5および図6に示すように、突起部31に面していない部位に周方向に沿って設けられた第1の溝1221と分離されて、突起部31に面する部位にも第2の溝1222が設けられており、突起部31に面する部位に設けられた第2の溝1222に第1の接着剤51が設けられ、突起部31に面していない部位に設けられた第1の溝1221に第2の接着剤52が設けられていてもよい。第2の溝1222の開口幅(径方向の幅)は、例えば0.1mm〜2.5mmとされる。また、第2の溝1222の深さは、例えば0.1mm〜1.5mmとされる。 Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the portion facing the protrusion 31 is also separated from the first groove 1221 provided along the circumferential direction in the portion not facing the protrusion 31. The groove 1222 of 2 is provided, and the first adhesive 51 is provided in the second groove 1222 provided in the portion facing the protrusion 31, and is provided in the portion not facing the protrusion 31. The second adhesive 52 may be provided in the first groove 1221. The opening width (diameter width) of the second groove 1222 is, for example, 0.1 mm to 2.5 mm. The depth of the second groove 1222 is, for example, 0.1 mm to 1.5 mm.

この構成により、第1の接着剤51の設けられる領域と第2の接着剤52の設けられる領域とを区画でき、ヤング率の大きな硬い接着剤とヤング率の小さな柔らかい接着剤とが混ざり合うのを抑制し、より変形ばらつきのない精度が高い超音波センサーを実現することができる。 With this configuration, the region where the first adhesive 51 is provided and the region where the second adhesive 52 is provided can be partitioned, and the hard adhesive having a large Young's modulus and the soft adhesive having a small Young's modulus are mixed. It is possible to realize a highly accurate ultrasonic sensor with less deformation variation.

1 ケース
11 底部
12 筒状部
121 第1領域
122 第2領域
1221 第1の溝
1222 第2の溝
2 圧電素子
3 基台
31 突起部
4 端子
51 第1の接着剤
52 第2の接着剤
1 Case 11 Bottom 12 Cylindrical part 121 First area 122 Second area 1221 First groove 1222 Second groove 2 Piezoelectric element 3 Base 31 Projection part 4 Terminal 51 First adhesive 52 Second adhesive

Claims (4)

底部および該底部の外周に接続された筒状部を有する有底筒状のケースと、前記底部の内面に取り付けられた圧電素子と、前記ケースの開口部に固着され、当該開口部を塞いでいる基台とを備え、前記筒状部は、上側に位置する相対的に内寸が大きく厚みの薄い第1領域と、下側に位置する相対的に内寸が小さく厚みの厚い第2領域とを有し、前記第1領域の内面から前記第2領域の内面にかけて段差状の内面になっており、前記基台は、平面視したときに外周部の一部において外側に向かって突出する突起部を有しているとともに、平面視したときの前記突起部を除く外周部の外寸が前記第1領域の内寸よりも小さくなっており、前記第1領域は、平面視したときに前記突起部が嵌め込まれるように前記突起部に対応して切り欠かれた切欠き部を有しており、前記基台は、当該基台の側面と前記第1領域の内面との間に隙間を有するように、前記第2領域の上端に固定され、前記基台の前記突起部と前記第2領域の上端のうちの前記突起部に面する部位とが第1の接着剤で接合されるとともに、前記基台の前記突起部を除く前記外周部と前記第2領域の上端のうちの前記突起部に面していない部位とが第2の接着剤で接合され、前記第1の接着剤のヤング率が前記第2の接着剤のヤング率よりも大きいことを特徴とする超音波センサー。 A bottomed tubular case having a bottom and a tubular portion connected to the outer periphery of the bottom, a piezoelectric element attached to the inner surface of the bottom, and a piezoelectric element attached to the inner surface of the bottom are fixed to the opening of the case to close the opening. The cylindrical portion is provided with a first region having a relatively large inner size and a thin thickness located on the upper side, and a second region having a relatively small inner size and a thick thickness located on the lower side. The base has a stepped inner surface from the inner surface of the first region to the inner surface of the second region, and the base protrudes outward in a part of the outer peripheral portion when viewed in a plan view. In addition to having a protrusion, the outer dimension of the outer peripheral portion excluding the protrusion when viewed in a plan view is smaller than the inner dimension of the first region, and the first region is when viewed in a plan view. It has a notch corresponding to the protrusion so that the protrusion can be fitted, and the base has a gap between the side surface of the base and the inner surface of the first region. Is fixed to the upper end of the second region, and the protrusion of the base and the portion of the upper end of the second region facing the protrusion are bonded with the first adhesive. At the same time, the outer peripheral portion of the base excluding the protrusion and the portion of the upper end of the second region that does not face the protrusion are joined with the second adhesive, and the first adhesive is used. The ultrasonic sensor is characterized in that the young ratio of the second adhesive is larger than the young ratio of the second adhesive. 前記第2領域の上端は前記突起部に面していない部位に周方向に沿って溝を有しており、前記第2の接着剤が前記溝に埋め込まれるように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサー。 The upper end of the second region has a groove along the circumferential direction in a portion not facing the protrusion, and the second adhesive is provided so as to be embedded in the groove. The ultrasonic sensor according to claim 1. 前記突起部に面していない部位に周方向に沿って設けられた溝と分離されて、前記突起部に面する部位にも溝が設けられており、前記突起部に面する部位に設けられた溝に前記第1の接着剤が設けられ、前記突起部に面していない部位に設けられた溝に前記第2の接着剤が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の超音波センサー。 The groove is separated from the groove provided along the circumferential direction in the portion not facing the protrusion, and the groove is also provided in the portion facing the protrusion, and is provided in the portion facing the protrusion. The second aspect of claim 2, wherein the first adhesive is provided in the groove, and the second adhesive is provided in the groove provided in a portion not facing the protrusion. Ultrasonic sensor. 前記ケースは平面視したときの形状が円形状であるとともに、前記基台の前記突起部を除く外周部の形状が円形状であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちのいずれかに記載の超音波センサー。 Any of claims 1 to 3, wherein the case has a circular shape when viewed in a plan view, and the outer peripheral portion of the base excluding the protrusion is circular. Ultrasonic sensor described in Crab.
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