JP6973421B2 - 回転検出装置 - Google Patents
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Description
請求項1に記載の発明では、検出部は、第3磁気素子(104)及び第4磁気素子(105)を有する。第3磁気素子及び第4磁気素子は、回転体の回転方向において、第1磁気素子を挟むように配置されている。信号処理部は、第2磁気素子、第3磁気素子、及び第4磁気素子の検出結果に基づいて差動信号に対して位相を持った信号を回転体の回転態様情報として取得する。
請求項2に記載の発明では、検出部は、第3磁気素子(105)及び第4磁気素子(106)を有する。第3磁気素子及び第4磁気素子は、回転体の回転方向において、第2磁気素子を挟むように配置されている。信号処理部は、第1磁気素子、第3磁気素子、及び第4磁気素子の検出結果に基づいて差動信号に対して位相を持った信号を回転体の回転態様情報として取得する。
以下、第1実施形態について図を参照して説明する。回転検出装置は、例えば、車両のトランスミッションに組み込まれたギアの回転を検出する。図1に示されるように、回転検出装置100は、ギア200の外周部201に対向するように配置される。ギア200は歯車型の回転体である。
本実施形態では、主に、第1実施形態と異なる部分について説明する。図4に示されるように、検出部103は、さらに、第4磁気検出素子130及び第5磁気検出素子131を有する。第4磁気検出素子130及び第5磁気検出素子131の構成は、各磁気検出素子104〜106と同様に、磁気抵抗素子対として構成されている。
本実施形態では、主に、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図12に示されるように、検出部103は、ホール素子を用いた磁気検出方式を採用している。したがって、5つの素子104〜106、130、131は、ホール素子として構成されている。
本実施形態では、主に、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図13に示されるように、検出部103は、第1磁気検出素子104、第2磁気検出素子105、第3磁気検出素子106、及び第5磁気検出素子131を有する。第5磁気検出素子131は、ギア200の回転方向において、第2磁気検出素子105と第3磁気検出素子106との間に配置されている。つまり、検出部103は、4つの素子を有する。
本実施形態では、主に、第1〜第4実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、回転検出装置100は、2つの素子によってギア200の回転位置を検出する。このため、図15及び図16に示されるように、検出部103は、第4磁気検出素子130及び第5磁気検出素子131を有する。第4磁気検出素子130及び第5磁気検出素子131の配置及び信号は、第2実施形態と同じである。
本実施形態では、主に、第5実施形態と異なる部分について説明する。図17に示されるように、検出部103は、第1磁気検出素子104、第2磁気検出素子105、第4磁気検出素子130、及び第5磁気検出素子131を有する。第4磁気検出素子130は、ギア200の回転方向において、第1磁気検出素子104と第2磁気検出素子105との間に配置されている。つまり、検出部103は、4つの素子を有する。
本実施形態では、主に、上記各実施形態と異なる部分について説明する。図19に示されるように、本実施形態では、検出対象である回転体は着磁ロータ204である。着磁ロータ204は、第1磁極205と第2磁極206とを有する。第1磁極205はN極である。第2磁極206はS極である。着磁ロータ204は、外周部207の周方向にN極とS極とが交互に磁化された円板状の回転体である。
本実施形態では、主に、第7実施形態と異なる部分について説明する。図22に示されるように、第3実施形態と同様に、検出部103は、ホール素子を用いた磁気検出方式を採用している。
上記各実施形態で示された構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、実施可能な他の構成とすることもできる。例えば、ギア200や着磁ロータ204は、回転の基準位置を示す部分が設けられていても良い。
103 検出部
104〜106、130、131 磁気検出素子
120 信号処理部
200 ギア
201、207 外周部
204 着磁ロータ
Claims (14)
- 外周部(201、207)に回転位置情報が一定間隔で周期的に設けられた回転体(200、204)の前記外周部に対して所定のギャップを持って配置され、前記回転体の回転によって前記回転体の回転位置が変化することに伴って前記外周部から受ける磁気的変化を検出する検出部(103)と、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記回転体の前記回転位置情報を取得する信号処理部(120)と、
を含み、
前記検出部は、第1磁気素子(130)及び第2磁気素子(131)を有し、
前記一定間隔をaと定義すると、前記第1磁気素子及び前記第2磁気素子は、前記回転体の回転方向においてa/2の間隔を持って配置され、前記第1磁気素子は前記一定間隔と同じ周期の第1信号(L)を出力し、前記第2磁気素子は、前記第1信号と逆相であると共に前記一定間隔と同じ周期の第2信号(R)を出力し、
前記信号処理部(120)は、前記第1信号と前記第2信号との差動信号を前記一定間隔と同じ周期の前記回転位置情報として取得し、
前記検出部は、第3磁気素子(104)及び第4磁気素子(105)を有し、
前記第3磁気素子及び前記第4磁気素子は、前記回転体の回転方向において、前記第1磁気素子を挟むように配置されており、
前記信号処理部は、前記第2磁気素子、前記第3磁気素子、及び前記第4磁気素子の検出結果に基づいて前記差動信号に対して位相を持った信号を前記回転体の回転態様情報として取得する回転検出装置。 - 外周部(201、207)に回転位置情報が一定間隔で周期的に設けられた回転体(200、204)の前記外周部に対して所定のギャップを持って配置され、前記回転体の回転によって前記回転体の回転位置が変化することに伴って前記外周部から受ける磁気的変化を検出する検出部(103)と、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記回転体の前記回転位置情報を取得する信号処理部(120)と、
を含み、
前記検出部は、第1磁気素子(130)及び第2磁気素子(131)を有し、
前記一定間隔をaと定義すると、前記第1磁気素子及び前記第2磁気素子は、前記回転体の回転方向においてa/2の間隔を持って配置され、前記第1磁気素子は前記一定間隔と同じ周期の第1信号(L)を出力し、前記第2磁気素子は、前記第1信号と逆相であると共に前記一定間隔と同じ周期の第2信号(R)を出力し、
前記信号処理部(120)は、前記第1信号と前記第2信号との差動信号を前記一定間隔と同じ周期の前記回転位置情報として取得し、
前記検出部は、第3磁気素子(105)及び第4磁気素子(106)を有し、
前記第3磁気素子及び前記第4磁気素子は、前記回転体の回転方向において、前記第2磁気素子を挟むように配置されており、
前記信号処理部は、前記第1磁気素子、前記第3磁気素子、及び前記第4磁気素子の検出結果に基づいて前記差動信号に対して位相を持った信号を前記回転体の回転態様情報として取得する回転検出装置。 - 前記第1磁気素子及び前記第2磁気素子は、前記回転体の回転方向における前記第1磁気素子の中心位置と前記第2磁気素子の中心位置とがa/2の間隔を持って配置されている請求項1または2に記載の回転検出装置。
- 外周部(201、207)に回転位置情報が一定間隔で周期的に設けられた回転体(200、204)の前記外周部に対して所定のギャップを持って配置され、前記回転体の回転によって前記回転体の回転位置が変化することに伴って前記外周部から受ける磁気的変化を検出する検出部(103)と、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記回転体の回転位置情報を取得する信号処理部(120)と、
を含み、
前記検出部は、第1磁気素子(104)、第2磁気素子(105)、及び第3磁気素子(106)を有し、
前記一定間隔をaと定義すると、前記第1磁気素子及び前記第3磁気素子は、前記回転体の回転方向においてaの間隔を持って配置され、前記第1磁気素子は第1信号(A)を出力し、前記第3磁気素子は、前記第1信号と同相の第3信号(C)を出力し、
前記第2磁気素子は、前記回転体の回転方向において前記第1磁気素子と前記第3磁気素子との間に配置され、前記第1信号及び前記第3信号に対して位相を持つと共に前記回転位置情報と同じ周期の第2信号(B)を出力し、
前記信号処理部は、前記第2信号に基づくと共に前記第2信号と同じ周期の第1演算信号と、前記第1信号及び前記第3信号に基づくと共に前記第1演算信号に対して位相を持つ第2演算信号と、の差動信号を前記一定間隔と同じ周期の前記回転位置情報として取得する回転検出装置。 - 前記第2磁気素子は、前記回転体の回転方向において前記第1磁気素子と前記第3磁気素子との中間の位置に配置されている請求項4に記載の回転検出装置。
- 前記検出部は、第4磁気素子(130)及び第5磁気素子(131)を有し、
前記第4磁気素子及び前記第5磁気素子は、前記回転体の回転方向において、前記第1磁気素子と前記第3磁気素子との間に配置されていると共に、a/2の間隔を持って配置されており、
前記第2磁気素子は、前記回転体の回転方向において、前記第4磁気素子と前記第5磁気素子との間に配置されており、
前記信号処理部は、前記第4磁気素子及び前記第5磁気素子の検出結果に基づいて前記差動信号に対して位相を持った信号を前記回転体の回転態様情報として取得する請求項4または5に記載の回転検出装置。 - 前記第1磁気素子、前記第2磁気素子、前記第3磁気素子、前記第4磁気素子、及び前記第5磁気素子は、前記回転体の回転に伴って抵抗値が変化する磁気抵抗素子対であり、
前記検出部は、前記磁気抵抗素子対にバイアス磁界を印加するバイアス磁石(101)を備え、
前記第2磁気素子は、前記第1磁気素子、前記第3磁気素子、前記第4磁気素子、及び前記第5磁気素子よりも前記回転体の前記外周部から離れた位置に配置される請求項6に記載の回転検出装置。 - 前記第4磁気素子及び前記第5磁気素子は、前記回転体の回転方向における前記第4磁気素子の中心位置と前記第5磁気素子の中心位置とがa/2の間隔を持って配置されている請求項6または7に記載の回転検出装置。
- 前記検出部は、第4磁気素子(131)を有し、
前記第4磁気素子は、前記回転体の回転方向において、前記第2磁気素子と前記第3磁気素子との間に配置されており、
前記信号処理部は、前記第1磁気素子及び前記第4磁気素子の検出結果に基づいて前記差動信号に対して位相を持った信号を前記回転体の回転態様情報として取得する請求項4または5に記載の回転検出装置。 - 前記検出部は、第4磁気素子(130)を有し、
前記第4磁気素子は、前記回転体の回転方向において、前記第1磁気素子と前記第2磁気素子との間に配置されており、
前記信号処理部は、前記第3磁気素子及び前記第4磁気素子の検出結果に基づいて前記差動信号に対して位相を持った信号を前記回転体の回転態様情報として取得する請求項4または5に記載の回転検出装置。 - 前記第1磁気素子及び前記第3磁気素子は、前記回転体の回転方向における前記第1磁気素子の中心位置と前記第3磁気素子の中心位置とがaの間隔を持って配置されている請求項4ないし10のいずれか1つに記載の回転検出装置。
- 前記信号処理部は、前記回転位置情報及び前記回転態様情報に基づいて前記回転体の回転方向が正転であるかまたは逆転であるかを判定する請求項1、2、6、9、10のいずれか1つに記載の回転検出装置。
- 前記回転体は、凸部(202)と凹部(203)とが前記回転体の回転方向に沿って前記外周部に交互に設けられたギア(200)であり、
前記一定間隔は、前記ギアのギアピッチである請求項1ないし12のいずれか1つに記載の回転検出装置。 - 前記回転体は、第1磁極(205)と第2磁極(206)とが前記回転体の回転方向に沿って交互に設けられた着磁ロータ(204)であり、
前記一定間隔は、前記着磁ロータの回転方向における前記第1磁極の中心位置から次の前記第1磁極の中心位置まで、あるいは、前記第2磁極の中心位置から次の前記第2磁極の中心位置まで、あるいは、前記第1磁極と前記第2磁極との境界から次の前記第1磁極と前記第2磁極との境界まで長さである請求項1ないし12のいずれか1つに記載の回転検出装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019003975A JP6973421B2 (ja) | 2019-01-14 | 2019-01-14 | 回転検出装置 |
| PCT/JP2019/049726 WO2020149088A1 (ja) | 2019-01-14 | 2019-12-19 | 回転検出装置 |
| CN201980088699.2A CN113316709B (zh) | 2019-01-14 | 2019-12-19 | 旋转检测装置 |
| CN202310806777.6A CN116817979A (zh) | 2019-01-14 | 2019-12-19 | 旋转检测装置 |
| US17/331,722 US11519756B2 (en) | 2019-01-14 | 2021-05-27 | Rotation detection device having detector and signal processor |
| US18/054,265 US11796350B2 (en) | 2019-01-14 | 2022-11-10 | Rotation detection device having detector and signal processor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019003975A JP6973421B2 (ja) | 2019-01-14 | 2019-01-14 | 回転検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020112457A JP2020112457A (ja) | 2020-07-27 |
| JP6973421B2 true JP6973421B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=71613293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019003975A Active JP6973421B2 (ja) | 2019-01-14 | 2019-01-14 | 回転検出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US11519756B2 (ja) |
| JP (1) | JP6973421B2 (ja) |
| CN (2) | CN113316709B (ja) |
| WO (1) | WO2020149088A1 (ja) |
Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51151568A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-27 | Ono Sokki Co Ltd | Detector |
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-
2019
- 2019-01-14 JP JP2019003975A patent/JP6973421B2/ja active Active
- 2019-12-19 CN CN201980088699.2A patent/CN113316709B/zh active Active
- 2019-12-19 WO PCT/JP2019/049726 patent/WO2020149088A1/ja not_active Ceased
- 2019-12-19 CN CN202310806777.6A patent/CN116817979A/zh active Pending
-
2021
- 2021-05-27 US US17/331,722 patent/US11519756B2/en active Active
-
2022
- 2022-11-10 US US18/054,265 patent/US11796350B2/en active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116817979A (zh) | 2023-09-29 |
| US20210285797A1 (en) | 2021-09-16 |
| US20230065022A1 (en) | 2023-03-02 |
| CN113316709B (zh) | 2023-07-14 |
| US11796350B2 (en) | 2023-10-24 |
| WO2020149088A1 (ja) | 2020-07-23 |
| CN113316709A (zh) | 2021-08-27 |
| JP2020112457A (ja) | 2020-07-27 |
| US11519756B2 (en) | 2022-12-06 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
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|
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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