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JP6978346B2 - Noise suppression sheet - Google Patents
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JP6978346B2 - Noise suppression sheet - Google Patents

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Description

本発明は、高周波ノイズを抑制可能なノイズ抑制シートに関する。 The present invention relates to a noise suppression sheet capable of suppressing high frequency noise.

特許文献1には、電子機器内部の電磁干渉を抑制可能な複合磁性体が開示されている。 Patent Document 1 discloses a composite magnetic material capable of suppressing electromagnetic interference inside an electronic device.

特許文献1に開示された複合磁性体は、有機結合剤によって結合された第1の軟磁性粉末と第2の軟磁性粉末とを含んでいる。第1の軟磁性粉末は、アスペクト比が例えば10以上の扁平形状を有している。第2の軟磁性粉末は、第1の軟磁性粉末に比べて十分に小さい。上述のように形成された複合磁性体は、例えば、30〜40MHz程度の磁気共鳴周波数を有しており、800MHz程度の周波数の電磁波を抑制可能である。従って、この複合磁性体は、800MHz〜2.4GHz程度の高周波ノイズを抑制可能なノイズ抑制シートとして使用可能である。 The composite magnetic material disclosed in Patent Document 1 includes a first soft magnetic powder and a second soft magnetic powder bonded by an organic binder. The first soft magnetic powder has a flat shape having an aspect ratio of, for example, 10 or more. The second soft magnetic powder is sufficiently smaller than the first soft magnetic powder. The composite magnetic material formed as described above has, for example, a magnetic resonance frequency of about 30 to 40 MHz, and can suppress electromagnetic waves having a frequency of about 800 MHz. Therefore, this composite magnetic material can be used as a noise suppression sheet capable of suppressing high frequency noise of about 800 MHz to 2.4 GHz.

特開平10−97913号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-97913

携帯端末等の電子機器による通信データ量の増大に伴って、より高い周波数帯域を使用した高速データ通信が求められている。具体的には、3GHzを超える高周波数帯域を使用したデータ通信が検討されている。このような高周波数帯域を使用するためには、データ通信に伴って電子機器の内部に生じる高周波数帯域のノイズを抑制する必要がある。 With the increase in the amount of communication data by electronic devices such as mobile terminals, high-speed data communication using a higher frequency band is required. Specifically, data communication using a high frequency band exceeding 3 GHz is being studied. In order to use such a high frequency band, it is necessary to suppress noise in the high frequency band generated inside the electronic device due to data communication.

そこで、本発明は、3GHzを超える高周波数帯域のノイズを抑制可能なノイズ抑制シートを提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a noise suppression sheet capable of suppressing noise in a high frequency band exceeding 3 GHz.

本発明は、第1のノイズ抑制シートとして、
シート状の複合磁性体を備えたノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、バインダと、前記バインダ中に分散された軟磁性粉末とを含んでおり、
前記軟磁性粉末の全てにおいて、アスペクト比が5未満であり、真球近似したときの粒子径が300nm以下であり、
前記複合磁性体の比透磁率の実数成分は、7GHz以上の周波数帯域まで1より大きな値を維持しており、
前記複合磁性体の前記比透磁率の虚数成分は、6GHz以上の周波数帯域まで0.5以上の値を維持している
ノイズ抑制シートを提供する。
The present invention comprises the first noise suppression sheet.
A noise suppression sheet with a sheet-like composite magnetic material.
The composite magnetic material contains a binder and a soft magnetic powder dispersed in the binder.
In all of the soft magnetic powders, the aspect ratio is less than 5, and the particle size when approximated to a true sphere is 300 nm or less.
The real component of the relative permeability of the composite magnetic material maintains a value larger than 1 up to the frequency band of 7 GHz or higher.
The imaginary component of the relative permeability of the composite magnetic material provides a noise suppression sheet that maintains a value of 0.5 or more up to a frequency band of 6 GHz or more.

また、本発明は、第2のノイズ抑制シートとして、第1のノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末における前記アスペクト比が3以下である
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is a first noise suppression sheet as a second noise suppression sheet.
Provided is a noise suppression sheet having an aspect ratio of 3 or less in the soft magnetic powder.

また、本発明は、第3のノイズ抑制シートとして、第1又は第2のノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末における前記粒子径が100nm以下である
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is a first or second noise suppression sheet as the third noise suppression sheet.
Provided is a noise suppression sheet having a particle size of 100 nm or less in the soft magnetic powder.

また、本発明は、第4のノイズ抑制シートとして、第1から第3までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末は、Fe,Ni及びCoから選ばれる1種類以上の元素を含んでいる
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, according to the present invention, as the fourth noise suppression sheet, any one of the first to third noise suppression sheets is provided.
The soft magnetic powder provides a noise suppression sheet containing one or more kinds of elements selected from Fe, Ni and Co.

また、本発明は、第5のノイズ抑制シートとして、第1から第4までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記バインダは、重量平均分子量が80万以上であるポリマーからなる
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is any one of the first to fourth noise suppression sheets as the fifth noise suppression sheet.
The binder provides a noise suppression sheet made of a polymer having a weight average molecular weight of 800,000 or more.

また、本発明は、第6のノイズ抑制シートとして、第1から第5までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末の少なくとも一部は、表面を覆うシリカ膜を有しており、
前記シリカ膜の厚さは、1nm以上、且つ、10nm以下である
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is any one of the first to fifth noise suppression sheets as the sixth noise suppression sheet.
At least a part of the soft magnetic powder has a silica film covering the surface and has a silica film.
Provided is a noise suppression sheet having a thickness of 1 nm or more and 10 nm or less.

また、本発明は、第7のノイズ抑制シートとして、第1から第5までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末の少なくとも一部は、表面を覆う自然酸化膜を有しており、
前記自然酸化膜の厚さは、1nm以上、且つ、2nm以下である
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is any one of the first to fifth noise suppression sheets as the seventh noise suppression sheet.
At least a part of the soft magnetic powder has a natural oxide film covering the surface.
Provided is a noise suppression sheet having a thickness of 1 nm or more and 2 nm or less of the natural oxide film.

また、本発明は、第8のノイズ抑制シートとして、第1から第7までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体における前記軟磁性粉末の体積占有率は、30vol%以上、且つ、40vol%以下である
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is any one of the first to seventh noise suppression sheets as the eighth noise suppression sheet.
Provided is a noise suppression sheet in which the volume occupancy of the soft magnetic powder in the composite magnetic material is 30 vol% or more and 40 vol% or less.

また、本発明は、第9のノイズ抑制シートとして、第1から第8までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体の飽和磁化は、0.45T以上、且つ、0.98T以下である
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, according to the present invention, as the ninth noise suppression sheet, any one of the first to eighth noise suppression sheets is provided.
Provided is a noise suppression sheet having a saturation magnetization of 0.45 T or more and 0.98 T or less of the composite magnetic material.

また、本発明は、第10のノイズ抑制シートとして、第1から第9までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、可撓性を有する
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, according to the present invention, as the tenth noise suppression sheet, any one of the first to ninth noise suppression sheets is provided.
The composite magnetic material provides a flexible noise suppression sheet.

また、本発明は、第11のノイズ抑制シートとして、第1から第10までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、7MPa未満の引張強度を有する
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is any one of the first to tenth noise suppression sheets as the eleventh noise suppression sheet.
The composite magnetic material provides a noise suppression sheet having a tensile strength of less than 7 MPa.

また、本発明は、第12のノイズ抑制シートとして、第1から第11までのいずれかのノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、0.1mm以下の厚さを有する
ノイズ抑制シートを提供する。
Further, the present invention is any one of the first to eleventh noise suppression sheets as the twelfth noise suppression sheet.
The composite magnetic material provides a noise suppression sheet having a thickness of 0.1 mm or less.

本発明によるノイズ抑制シートにおいて、複合磁性体に含まれる軟磁性粉末の全ては、ナノサイズの略球形状を有している。このような軟磁性粉末を含むことにより、複合磁性体の比透磁率における実数成分(磁束収束成分)を7GHz以上の周波数帯域まで1よりも大きな値に維持できると共に、複合磁性体の比透磁率における虚数成分(磁気損失成分)を、6GHz以上の周波数帯域まで0.5以上の値に維持できる。また、複合磁性体の比誘電率における虚数成分(誘電損失成分)を、3GHzを超える高周波数帯域に亘って低くできる。上述の特性によれば、高い磁束収束成分によってノイズを集め、集めたノイズを低い誘電損失成分によってノイズ抑制シート内部深くまで取り込み、取り込んだノイズを磁気損失成分によって抑制できる。即ち、本発明によれば、3GHzを超える高周波数帯域のノイズを抑制可能なノイズ抑制シートを提供できる。 In the noise suppression sheet according to the present invention, all of the soft magnetic powders contained in the composite magnetic material have a nano-sized substantially spherical shape. By including such a soft magnetic powder, the real number component (magnetic flux convergence component) in the specific magnetic permeability of the composite magnetic material can be maintained at a value larger than 1 up to the frequency band of 7 GHz or higher, and the specific magnetic permeability of the composite magnetic material can be maintained. The imaginary component (magnetic loss component) in the above can be maintained at a value of 0.5 or more up to a frequency band of 6 GHz or more. Further, the imaginary component (dielectric loss component) in the relative permittivity of the composite magnetic material can be lowered over a high frequency band exceeding 3 GHz. According to the above-mentioned characteristics, noise can be collected by a high magnetic flux convergence component, the collected noise can be taken deep inside the noise suppression sheet by a low dielectric loss component, and the captured noise can be suppressed by a magnetic loss component. That is, according to the present invention, it is possible to provide a noise suppression sheet capable of suppressing noise in a high frequency band exceeding 3 GHz.

本発明の実施の形態によるノイズ抑制シートを模式的に示す斜視図である。ノイズ抑制シートの主面に入射するノイズを模式的に破線で描画している。It is a perspective view which shows typically the noise suppression sheet by embodiment of this invention. The noise incident on the main surface of the noise suppression sheet is schematically drawn by a broken line. 図1のノイズ抑制シートをII−II線に沿って模式的に示す断面図である。ノイズ抑制シートの主面に入射するノイズを模式的に破線で描画している。軟磁性粉末のうちの2つを拡大して模式的に描画している。It is sectional drawing which shows typically the noise suppression sheet of FIG. 1 along the line II-II. The noise incident on the main surface of the noise suppression sheet is schematically drawn by a broken line. Two of the soft magnetic powders are enlarged and schematically drawn. 図1のノイズ抑制シートを貼付した小型電子機器の内部空間を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the internal space of the small electronic device to which the noise suppression sheet of FIG. 1 is attached. 実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2のノイズ抑制シートの夫々における比透磁率の実数成分の周波数特性を示すグラフである。It is a graph which shows the frequency characteristic of the real number component of the relative magnetic permeability in each of the noise suppression sheets of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2. 実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2のノイズ抑制シートの夫々における比透磁率の虚数成分の周波数特性を示すグラフである。6 is a graph showing the frequency characteristics of the imaginary component of the relative permeability in each of the noise suppression sheets of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2. 実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2のノイズ抑制シートの夫々における比誘電率の虚数成分の周波数特性を示すグラフである。6 is a graph showing the frequency characteristics of the imaginary component of the relative permittivity in each of the noise suppression sheets of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2. 実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2のノイズ抑制シートの夫々における比誘電率の実数成分の周波数特性を示すグラフである。It is a graph which shows the frequency characteristic of the real number component of the relative permittivity in each of the noise suppression sheets of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2.

図1に示されるように、本発明の実施の形態によるノイズ抑制シート10は、薄いシート形状を有している。より具体的には、本実施の形態のノイズ抑制シート10は、0.1mm以下の厚さを有している。図3を参照すると、この薄いノイズ抑制シート10は、携帯電話等の小型電子機器70の内部などの限られた内部空間(小空間)74において使用可能である。但し、本発明は、これに限られず、ノイズ抑制シート10は、より大きな空間内部において使用してもよい。また、ノイズ抑制シート10は、使用される空間のサイズに応じた厚さを有していてもよい。 As shown in FIG. 1, the noise suppression sheet 10 according to the embodiment of the present invention has a thin sheet shape. More specifically, the noise suppression sheet 10 of the present embodiment has a thickness of 0.1 mm or less. Referring to FIG. 3, the thin noise suppression sheet 10 can be used in a limited internal space (small space) 74 such as the inside of a small electronic device 70 such as a mobile phone. However, the present invention is not limited to this, and the noise suppression sheet 10 may be used inside a larger space. Further, the noise suppression sheet 10 may have a thickness according to the size of the space used.

図2を参照すると、ノイズ抑制シート10は、シート状の複合磁性体20を備えている。複合磁性体20は、有機材料からなるバインダ30と、バインダ30中に分散された軟磁性粉末40とを含んでいる。軟磁性粉末40の全てにおいて、アスペクト比が5未満であり、真球近似したときの粒子径が300nm以下である。アスペクト比は、軟磁性粉末40の最も離れた2点の間を結ぶ線分の長さを長径とし、長径と直交する径のうち最も長いものを短径としたときの、短径/長径の値である。このような複合磁性体20は、例えば、下記のように作製できる。 Referring to FIG. 2, the noise suppression sheet 10 includes a sheet-shaped composite magnetic material 20. The composite magnetic material 20 contains a binder 30 made of an organic material and a soft magnetic powder 40 dispersed in the binder 30. In all of the soft magnetic powders 40, the aspect ratio is less than 5, and the particle size when approximated to a true sphere is 300 nm or less. The aspect ratio is the minor axis / major axis when the length of the line segment connecting the two most distant points of the soft magnetic powder 40 is the major axis and the longest diameter orthogonal to the major axis is the minor axis. The value. Such a composite magnetic material 20 can be manufactured, for example, as follows.

まず、軟磁性金属材料を使用して、略球形状を有するナノサイズの軟磁性粉末40を、例えば気相法(熱プラズマ法、火炎法)や液相法(液相還元法)によって作製する。次に、軟磁性粉末40を有機材料からなるゾル状のバインダ30と混合し、軟磁性粉末40がバインダ30に均一に分散するように攪拌してスラリーを作製する。次に、例えばドクターブレード法により、スラリーからシート状の薄膜を作製する。次に、作製した薄膜を複数枚に切断して積層する。次に、積層した薄膜をシート面と直交する方向に加圧する。この結果、圧縮された複数の薄膜からなるシート状の複合磁性体20が形成される。複合磁性体20においては、略球形状のナノサイズの軟磁性粉末40が、比較的高い電気抵抗率を有するバインダ30中に比較的密に且つ均一に分布している。 First, using a soft magnetic metal material, a nano-sized soft magnetic powder 40 having a substantially spherical shape is produced, for example, by a gas phase method (heat plasma method, flame method) or a liquid phase method (liquid phase reduction method). .. Next, the soft magnetic powder 40 is mixed with a sol-shaped binder 30 made of an organic material, and the mixture is stirred so that the soft magnetic powder 40 is uniformly dispersed in the binder 30 to prepare a slurry. Next, a sheet-shaped thin film is produced from the slurry by, for example, the doctor blade method. Next, the prepared thin film is cut into a plurality of sheets and laminated. Next, the laminated thin film is pressed in a direction orthogonal to the sheet surface. As a result, a sheet-like composite magnetic body 20 composed of a plurality of compressed thin films is formed. In the composite magnetic material 20, the substantially spherical nano-sized soft magnetic powder 40 is relatively densely and uniformly distributed in the binder 30 having a relatively high resistivity.

ノイズ抑制シート10の複合磁性体20は、磁性材料(軟磁性粉末40)を含んでおり、磁束収束成分と、磁気損失成分と、誘電損失成分とを有している。磁束収束成分は、複合磁性体20の複素比透磁率(μr=μ′−jμ″:以下、単に「比透磁率μr」という。)の実数成分(μ′)であり、磁気損失成分は、比透磁率μrの虚数成分(μ″)である。誘電損失成分は、複合磁性体20の複素比誘電率(εr=ε′−jε″:以下、単に「比誘電率εr」という。)の虚数成分(ε″)である。 The composite magnetic material 20 of the noise suppression sheet 10 contains a magnetic material (soft magnetic powder 40), and has a magnetic flux convergence component, a magnetic loss component, and a dielectric loss component. The magnetic flux convergence component is a real component (μ') of the complex relative magnetic permeability (μr = μ'−jμ ″: hereinafter simply referred to as “specific magnetic permeability μr”) of the composite magnetic material 20, and the magnetic loss component is It is an imaginary component (μ ″) of the relative permeability μr. The dielectric loss component is the complex relative dielectric constant (εr = ε ′ −jε ″: hereinafter simply referred to as “specific dielectric constant εr”) of the composite magnetic material 20. It is an imaginary component (ε ″).

本実施の形態によるノイズ抑制シート10において、複合磁性体20に含まれる軟磁性粉末40の全ては、ナノサイズの略球形状を有している。このような軟磁性粉末40を含むことにより、複合磁性体20の磁束収束成分μ′を7GHz以上の周波数帯域まで1よりも大きな値に維持できると共に、複合磁性体20の磁気損失成分μ″を、6GHz以上の周波数帯域まで0.5以上の値に維持できる。また、複合磁性体20の誘電損失成分ε″を、3GHzを超える高周波数帯域に亘って低くできる。 In the noise suppression sheet 10 according to the present embodiment, all of the soft magnetic powders 40 contained in the composite magnetic material 20 have a nano-sized substantially spherical shape. By including such a soft magnetic powder 40, the magnetic flux convergence component μ'of the composite magnetic body 20 can be maintained at a value larger than 1 up to a frequency band of 7 GHz or higher, and the magnetic loss component μ "of the composite magnetic body 20 can be maintained. , The value can be maintained at 0.5 or more up to the frequency band of 6 GHz or more. Further, the dielectric loss component ε ″ of the composite magnetic material 20 can be lowered over the high frequency band of 3 GHz or more.

詳しくは、図4の実施例1、2を参照すると、複合磁性体20の磁束収束成分μ′は、100MHzから7GHzまで、全体として徐々に低下しつつ、1よりも大きな値に維持される。図5の実施例1、2を参照すると、複合磁性体20の磁気損失成分μ″は、100MHzから6GHzまで、全体として徐々に上昇し、2GHz以上の周波数帯域において0.5以上の値に維持される。また、図6の実施例1、2を参照すると、複合磁性体20の誘電損失成分ε″は、100MHzから7GHzまで、25以下の低い値に維持される。特に、複合磁性体20の誘電損失成分ε″は、100MHzから9GHzまで、2以下の低い値に維持される。一方、図7の実施例1、2を参照すると、複合磁性体20の比誘電率の実数成分ε′は、100MHzから7GHzまで、殆ど一定の値(11〜25程度)に維持される。 For details, referring to Examples 1 and 2 of FIG. 4, the magnetic flux convergence component μ'of the composite magnetic material 20 is maintained at a value larger than 1 while gradually decreasing as a whole from 100 MHz to 7 GHz. Referring to Examples 1 and 2 of FIG. 5, the magnetic loss component μ ″ of the composite magnetic material 20 gradually increases as a whole from 100 MHz to 6 GHz and is maintained at a value of 0.5 or more in the frequency band of 2 GHz or more. Further , referring to Examples 1 and 2 of FIG. 6, the dielectric loss component ε ″ of the composite magnetic material 20 is maintained at a low value of 25 or less from 100 MHz to 7 GHz. In particular, the dielectric loss component ε ″ of the composite magnetic material 20 is maintained at a low value of 2 or less from 100 MHz to 9 GHz. On the other hand, referring to Examples 1 and 2 of FIG. 7, the relative dielectric constant of the composite magnetic material 20 is maintained. The real component ε'of the rate is maintained at an almost constant value (about 11 to 25) from 100 MHz to 7 GHz.

図1及び図2を参照すると、ノイズ抑制シート10は、水平面(XY平面)と平行な平面上を延びている。詳しくは、ノイズ抑制シート10は、XY平面と平行な入射面12及び反対面14を有している。入射面12及び反対面14は、所定方向(Z方向)において互いに反対側に位置している。図3を参照すると、ノイズ抑制シート10は、例えば、小型電子機器70のアンテナ78の近傍に配置される。詳しくは、反対面14は、小型電子機器70の筐体72の内面に貼りつけられる。このとき、入射面12は、小型電子機器70の小空間74の内部に露出しており、小型電子機器70の様々な電子部品76から生じた電磁波(ノイズ)80は、入射面12に入射する。 Referring to FIGS. 1 and 2, the noise suppression sheet 10 extends on a plane parallel to a horizontal plane (XY plane). Specifically, the noise suppression sheet 10 has an incident surface 12 and an opposite surface 14 parallel to the XY plane. The incident surface 12 and the opposite surface 14 are located on opposite sides of each other in a predetermined direction (Z direction). Referring to FIG. 3, the noise suppression sheet 10 is arranged in the vicinity of the antenna 78 of the small electronic device 70, for example. Specifically, the opposite surface 14 is attached to the inner surface of the housing 72 of the small electronic device 70. At this time, the incident surface 12 is exposed inside the small space 74 of the small electronic device 70, and the electromagnetic wave (noise) 80 generated from various electronic components 76 of the small electronic device 70 is incident on the incident surface 12. ..

本実施の形態において、小型電子機器70の小空間74は、電磁波80の波源からの距離をr、電磁波80の波長をλとするとき、2πr/λ<1となる空間である。このような小空間74においては、3GHzを超える高周波数帯域のノイズ80が生じ易い。本実施の形態のノイズ抑制シート10は、この高周波数帯域においても1よりも大きな(即ち、小空間74の磁束収束成分μ′よりも大きな)磁束収束成分μ′を有するため、小空間74内を伝播する高周波数帯域のノイズ80を集め易い。 In the present embodiment, the small space 74 of the small electronic device 70 is a space where 2πr / λ <1 when the distance of the electromagnetic wave 80 from the wave source is r and the wavelength of the electromagnetic wave 80 is λ. In such a small space 74, noise 80 in a high frequency band exceeding 3 GHz is likely to occur. Since the noise suppression sheet 10 of the present embodiment has a magnetic flux convergence component μ ′ larger than 1 (that is, larger than the magnetic flux convergence component μ ′ of the small space 74) even in this high frequency band, it is inside the small space 74. It is easy to collect the noise 80 in the high frequency band propagating.

ノイズ抑制シート10に集められたノイズ80は、入射面12に入射する。複合磁性体20は、高周波数帯域においても低い誘電損失成分ε″を有するため、入射面12におけるノイズ80の反射を抑制できる。また、本実施の形態の複合磁性体20は、誘電体としても機能するため、誘電損失成分ε″及びノイズ80の周波数fと導電率σとの間には、σ=2π・ε″・fという関係がある。加えて、ノイズ80の複合磁性体20への電磁波80の侵入深さ(即ち、表皮深さ)δは、δ=√{1/(π・μ′・σ・f)}との式によって表される。従って、δ=√{1/(2π・μ′・ε″・f)}となり、表皮深さδは、電磁波80の周波数fに反比例して小さくなる。但し、所定の周波数fにおける表皮深さδは、係数であるε″を小さくすることで大きくできる。複合磁性体20の誘電損失成分ε″は低いため、表皮深さは大きい。このため、入射面12に入射したノイズ80は、ノイズ抑制シート10の内部深くまで侵入する。 The noise 80 collected on the noise suppression sheet 10 is incident on the incident surface 12. Since the composite magnetic material 20 has a low dielectric loss component ε ″ even in a high frequency band, reflection of noise 80 on the incident surface 12 can be suppressed. Further, the composite magnetic material 20 of the present embodiment can also be used as a dielectric material. In order to function, there is a relationship of σ = 2π · ε ″ · f between the frequency f of the dielectric loss component ε ″ and the noise 80 and the conductivity σ. The penetration depth (that is, the skin depth) δ of the electromagnetic wave 80 is expressed by the equation δ = √ {1 / (π ・ μ ′ ・ σ ・ f)}. Therefore, δ = √ {1 / ( 2π 2・ μ ′ ・ ε ″ ・ f 2 )}, and the skin depth δ becomes smaller in inverse proportion to the frequency f of the electromagnetic wave 80. However, the skin depth δ at a predetermined frequency f can be increased by reducing the coefficient ε ″. Since the dielectric loss component ε ″ of the composite magnetic material 20 is low, the skin depth is large. Therefore, the noise 80 incident on the incident surface 12 penetrates deep inside the noise suppression sheet 10.

複合磁性体20は、高周波数帯域においても0よりも大きな(0.5以上の)磁気損失成分μ″を有するため、複合磁性体20の内部深くまで侵入したノイズ80は減衰する。減衰したノイズ80は、筐体72に反射されて、更に減衰しつつ複合磁性体20の内部を通過し、入射面12から小空間74内に放射される。入射面12から放射されるノイズ80は、大きく減衰している。従って、仮にノイズ80がアンテナ78に入射したとしても、アンテナ78は、殆ど影響を受けない。即ち、小型電子機器70の通信品質は、殆ど劣化しない。 Since the composite magnetic material 20 has a magnetic loss component μ ″ larger than 0 (0.5 or more) even in the high frequency band, the noise 80 that has penetrated deep inside the composite magnetic material 20 is attenuated. The 80 is reflected by the housing 72, passes through the inside of the composite magnetic body 20 while being further attenuated, and is radiated from the incident surface 12 into the small space 74. The noise 80 radiated from the incident surface 12 is large. Therefore, even if the noise 80 is incident on the antenna 78, the antenna 78 is hardly affected. That is, the communication quality of the small electronic device 70 is hardly deteriorated.

上述したように、本実施の形態の複合磁性体20の特性によれば、高い磁束収束成分μ′によって3GHzを超える高周波数帯域のノイズ80を集め、集めたノイズ80を低い誘電損失成分ε″によってノイズ抑制シート10内部深くまで取り込み、取り込んだノイズ80を磁気損失成分μ″によって抑制できる。即ち、本発明によれば、3GHzを超える高周波数帯域のノイズ80を抑制可能なノイズ抑制シートを提供できる。 As described above, according to the characteristics of the composite magnetic material 20 of the present embodiment, the noise 80 in the high frequency band exceeding 3 GHz is collected by the high magnetic flux convergence component μ ′, and the collected noise 80 is used as the low dielectric loss component ε ″. The noise 80 taken in can be suppressed by the magnetic loss component μ ". That is, according to the present invention, it is possible to provide a noise suppression sheet capable of suppressing noise 80 in a high frequency band exceeding 3 GHz.

例えば、周波数3GHzのノイズ80の波長λは、10cmであり、近傍界を規定する波源からの距離r=λ/2πは、16mm未満である。即ち、小空間74は、波動インピーダンスが、微小ダイポールアンテナ(電界成分)が波源である高インピーダンス界と、微小ループアンテナ(磁界成分)が波源である低インピーダンス界とに分離した近傍界にある。このため、小空間74のインピーダンスとノイズ抑制シート10の入射面12のインピーダンスとを整合させることは困難である。 For example, the wavelength λ of the noise 80 having a frequency of 3 GHz is 10 cm, and the distance r = λ / 2π from the wave source defining the near field is less than 16 mm. That is, the small space 74 is in the vicinity of the high impedance field where the wave impedance is the wave source of the minute dipole antenna (electric field component) and the low impedance field where the minute loop antenna (magnetic field component) is the wave source. Therefore, it is difficult to match the impedance of the small space 74 with the impedance of the incident surface 12 of the noise suppression sheet 10.

一方、小空間74のノイズ80の発生源(波源)は微小ループアンテナ(磁界成分)である事例が大多数である。本実施の形態によるノイズ抑制シート10は、磁界成分のノイズ80を、磁束収束成分μ′によって集めて磁気損失成分μ″によって抑制する。加えて、本実施の形態によれば、磁界成分のノイズ80の侵入深さδを大きくすることで、より大きなノイズ抑制効果が得られる。本実施の形態によるノイズ抑制シート10は、入射面12の界面インピーダンスを小空間74のインピーダンスと整合させることなく、近傍界を伝播するノイズ80を抑制できる。 On the other hand, in most cases, the source (wave source) of the noise 80 in the small space 74 is a small loop antenna (magnetic field component). The noise suppression sheet 10 according to the present embodiment collects the noise 80 of the magnetic field component by the magnetic flux convergence component μ ′ and suppresses it by the magnetic loss component μ ″. In addition, according to the present embodiment, the noise of the magnetic field component is suppressed. A larger noise suppression effect can be obtained by increasing the penetration depth δ of 80. The noise suppression sheet 10 according to the present embodiment does not match the interface impedance of the incident surface 12 with the impedance of the small space 74. The noise 80 propagating in the near field can be suppressed.

図2を参照すると、本実施の形態において、バインダ30の材料、軟磁性粉末40の形状、組成、体積充填率等の様々な特徴は、特に限定されない。但し、以下に説明するように、これらの特徴を好ましい範囲にすることで、本実施の形態による効果を高めることができる。 With reference to FIG. 2, in the present embodiment, various features such as the material of the binder 30, the shape, composition, and volume filling rate of the soft magnetic powder 40 are not particularly limited. However, as described below, by setting these features in a preferable range, the effect of the present embodiment can be enhanced.

複合磁性体20の誘電損失成分ε″をできるだけ低くするという観点から、軟磁性粉末40は、できるだけ真球形状に近い形状を有することが好ましい。より具体的には、軟磁性粉末40におけるアスペクト比は、3以下であることが好ましい。このように、軟磁性粉末40の形状を真球形状に近づけることで、3軸(X軸、Y軸及びZ軸)における反磁界係数が等方的になり、複合磁性体20のシート面と平行な平面(XY平面)における比透磁率μrが低くなる。比透磁率μrが低くなると、比透磁率μr、磁気共鳴周波数fr及び飽和磁化Msとの間の関係式、μr・fr∝Msにより、磁気共鳴周波数frが高くなる。この結果、高周波数帯域において強磁性共鳴を発現することができ、大きな磁気損失成分μ″が得られる。 From the viewpoint of reducing the dielectric loss component ε ″ of the composite magnetic material 20 as much as possible, the soft magnetic powder 40 preferably has a shape as close to a true spherical shape as possible. More specifically, the aspect ratio of the soft magnetic powder 40. Is preferably 3 or less. In this way, by making the shape of the soft magnetic powder 40 closer to a true spherical shape, the demagnetizing coefficient on the three axes (X-axis, Y-axis and Z-axis) is isotropic. Therefore, the specific magnetic permeability μr in the plane parallel to the sheet surface (XY plane) of the composite magnetic material 20 becomes low. When the specific magnetic permeability μr becomes low, the specific magnetic permeability μr, the magnetic resonance frequency fr, and the saturation magnetization Ms The magnetic resonance frequency fr is increased by the relational expression μr · fr∝Ms. As a result, ferromagnetic resonance can be exhibited in the high frequency band, and a large magnetic loss component μ ″ can be obtained.

軟磁性粉末40の粒子径を表皮深さよりも小さくすることで、渦電流による磁束収束成分μ′の低下を抑制できる。加えて、軟磁性粉末40の粒子形状が略球形状であり等方形状であるため、ノイズ抑制シート面内の反磁界係数は、1/3と大きくなり、μ′が小さくなるため、式δ=√{1/(2π・μ′・ε″・f)}により高周波での表皮深さδは小さくなる。これにより、磁気共鳴周波数frを高くできる。上述したように、磁気共鳴周波数frを高くすることで、高周波数帯域において強磁性共鳴損失が得られる。従って、軟磁性粉末40は、できるだけ粒子径が小さく、球形状であることが好ましい。より具体的には、軟磁性粉末40における粒子径は、100nm以下であることが好ましい。 By making the particle size of the soft magnetic powder 40 smaller than the skin depth, it is possible to suppress a decrease in the magnetic flux convergence component μ'due to the eddy current. In addition, since the particle shape of the soft magnetic powder 40 is substantially spherical and isotropic, the demagnetic field coefficient in the noise suppression sheet surface is as large as 1/3 and μ'is small, so that the equation δ = √ {1 / (2π 2・ μ ′ ・ ε ″ ・ f 2 )} reduces the skin depth δ at high frequencies. This makes it possible to increase the magnetic resonance frequency fr. As described above, the magnetic resonance frequency. By increasing fr, ferromagnetic resonance loss can be obtained in the high frequency band. Therefore, it is preferable that the soft magnetic powder 40 has a particle size as small as possible and is spherical. More specifically, the soft magnetic powder. The particle size at 40 is preferably 100 nm or less.

軟磁性粉末40は、様々な磁性材料から作製できる。例えば、軟磁性粉末40は、Fe,Ni及びCoから選ばれる1種類以上の元素を含んでいてもよい。例えば、軟磁性粉末40は、不可避不純物を除いてMg,Al,Si,Ca,Zr,Ti,Hf、Zn,Mn,ランタノイド,Ba及びSrを全く含まないFe−Ni合金やFe−Co合金から作製できる。上述の組成によれば、1GHzのノイズ80に対する複合磁性体20の表皮深さは300nm程度であり、粒子径以上である。 The soft magnetic powder 40 can be made from various magnetic materials. For example, the soft magnetic powder 40 may contain one or more elements selected from Fe, Ni and Co. For example, the soft magnetic powder 40 is made from Fe-Ni alloys and Fe-Co alloys that do not contain Mg, Al, Si, Ca, Zr, Ti, Hf, Zn, Mn, lanthanoids, Ba and Sr at all except for unavoidable impurities. Can be made. According to the above composition, the skin depth of the composite magnetic material 20 with respect to the noise 80 of 1 GHz is about 300 nm, which is equal to or larger than the particle size.

軟磁性粉末40を上述の組成で作製することで、軟磁性粉末40の飽和磁歪λsを20×10−6以上にでき、且つ、軟磁性粉末40の飽和磁化Msを、1.5T以上、且つ、2.45Tにできる。この軟磁性粉末40を、バインダ30中に多数分散させることで、複合磁性体20の飽和磁化Msは、0.45T以上、且つ、0.98T以下になる。また、軟磁性粉末40の飽和磁化Msを、1.7T以上、且つ、2.45Tにすることで、複合磁性体20の飽和磁化Msを、0.51T以上、且つ、0.98T以下にできる。このように軟磁性粉末40の飽和磁化Msを高めてことで、磁気共鳴周波数frを高めて3GHzを超える高周波数帯域における磁束収束成分μ′を1より大きくできる。飽和磁化Msを高くするという観点から、複合磁性体20における軟磁性粉末40の体積占有率は、30vol%以上であることが好ましく、複合磁性体20を容易に作製するという観点から、40vol%以下であることが好ましい。 By producing the soft magnetic powder 40 with the above composition, the saturated magnetostriction λs of the soft magnetic powder 40 can be 20 × 10 -6 or more, and the saturation magnetization Ms of the soft magnetic powder 40 can be 1.5 T or more and It can be 2.45T. By dispersing a large amount of the soft magnetic powder 40 in the binder 30, the saturation magnetization Ms of the composite magnetic material 20 becomes 0.45 T or more and 0.98 T or less. Further, by setting the saturation magnetization Ms of the soft magnetic powder 40 to 1.7 T or more and 2.45 T, the saturation magnetization Ms of the composite magnetic material 20 can be set to 0.51 T or more and 0.98 T or less. .. By increasing the saturation magnetization Ms of the soft magnetic powder 40 in this way, the magnetic resonance frequency fr can be increased and the magnetic flux convergence component μ'in the high frequency band exceeding 3 GHz can be made larger than 1. From the viewpoint of increasing the saturation magnetization Ms, the volume occupancy of the soft magnetic powder 40 in the composite magnetic material 20 is preferably 30 vol% or more, and from the viewpoint of easily producing the composite magnetic material 20, 40 vol% or less. Is preferable.

軟磁性粉末40の粒子径が小さくなるにつれ、体積に対する表面積(比表面積)が大きくなる。本実施の形態による軟磁性粉末40の比表面積は、8〜18m/g程度である。比表面積が大きな多数の軟磁性粉末40を被覆して亀裂等を生じさせることなくシート状の複合磁性体20を形成するという観点から、バインダ30は、大きな重量平均分子量を有するポリマー(即ち、被覆面積が大きなポリマー)であることが好ましい。より具体的には、バインダ30は、重量平均分子量が80万以上であるポリマーからなることが好ましく、重量平均分子量が100万以上であるポリマーからなることが更に好ましい。このようなバインダ30を備える複合磁性体20は、7MPa未満の引張強度を有する。 As the particle size of the soft magnetic powder 40 becomes smaller, the surface area (specific surface area) with respect to the volume increases. The specific surface area of the soft magnetic powder 40 according to this embodiment is about 8 to 18 m 2 / g. From the viewpoint of covering a large number of soft magnetic powders 40 having a large specific surface area to form a sheet-like composite magnetic body 20 without causing cracks or the like, the binder 30 is a polymer having a large weight average molecular weight (that is, a coating). It is preferably a polymer having a large area). More specifically, the binder 30 is preferably made of a polymer having a weight average molecular weight of 800,000 or more, and more preferably made of a polymer having a weight average molecular weight of 1,000,000 or more. The composite magnetic material 20 provided with such a binder 30 has a tensile strength of less than 7 MPa.

より具体的には、バインダ30は、例えば、アクリルゴム、アクリル酸アルキル共重合体等の(メタ)アクリル系ポリマー、アクリロニトリル−ブタジエンゴム(NBR)、シリコーンゴム、ポリウレタン、ポリエチレン、エチレン・プロピレンゴム(EPM)やエチレン・プロピレン・ジエンゴム(EPDM)などのオレフィン系ゴム、ポリフェニレンオキシド(PPO)、ビスマストリアジンレジン等の様々な材料を単独で又は2以上組み合わせて形成すればよい。 More specifically, the binder 30 is, for example, a (meth) acrylic polymer such as acrylic rubber or an alkyl acrylate copolymer, acrylonitrile-butadiene rubber (NBR), silicone rubber, polyurethane, polyethylene, ethylene / propylene rubber ( Various materials such as olefin rubber such as EPM), ethylene propylene diene rubber (EPDM), polyphenylene oxide (PPO), and bismastriazine resin may be formed alone or in combination of two or more.

本実施の形態によれば、略球形状の多数の軟磁性粉末40が、誘電体からなるバインダ30に分散されている。従って、複合磁性体20のシート面と平行な面(XY平面)内において、誘電体を導電体である金属によって挟んだキャパシタが多数形成され直列に接続されている。本実施の形態によれば、この構造によって、XY平面内における誘電損失成分ε″(即ち、複合磁性体20の内部を通過するノイズ80の振幅方向における誘電損失成分ε″)を更に低くできる。 According to this embodiment, a large number of substantially spherical soft magnetic powders 40 are dispersed in a binder 30 made of a dielectric. Therefore, in the plane parallel to the sheet plane (XY plane) of the composite magnetic material 20, a large number of capacitors having the dielectric sandwiched between the metal as the conductor are formed and connected in series. According to this embodiment, the dielectric loss component ε ″ in the XY plane (that is, the dielectric loss component ε ″ in the amplitude direction of the noise 80 passing through the inside of the composite magnetic material 20) can be further reduced by this structure.

本実施の形態によれば、複合磁性体20には、無機充填材や炭素系充填材が含まれていない。このため、複合磁性体20は、高い可撓性を有し、様々な箇所に取り付け可能である。但し、本発明は、これに限られない。例えば、複合磁性体20は、可撓性を大きく低下させない範囲において、メラミンシアヌレート、赤燐、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ホスファゼン等の難燃剤を1種又は2種類以上含んでいてもよい。これらの難燃剤は、バインダ30中に分散されていればよい。 According to the present embodiment, the composite magnetic material 20 does not contain an inorganic filler or a carbon-based filler. Therefore, the composite magnetic material 20 has high flexibility and can be attached to various places. However, the present invention is not limited to this. For example, the composite magnetic material 20 may contain one or more flame retardants such as melamine cyanurate, red phosphorus, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, and phosphazene as long as the flexibility is not significantly reduced. .. These flame retardants may be dispersed in the binder 30.

軟磁性粉末40の表面には、基材元素の酸化膜が形成されていてもよい。換言すれば、軟磁性粉末40の少なくとも一部は、表面を覆う自然酸化膜46を有していてもよい。但し、複合磁性体20における磁性材料の体積占有率の低下を防止するという観点から、自然酸化膜46の厚さは薄い方がよい。より具体的には、自然酸化膜46の厚さは、1nm以上、且つ、2nm以下であることが好ましい。 An oxide film of a base element may be formed on the surface of the soft magnetic powder 40. In other words, at least a part of the soft magnetic powder 40 may have a natural oxide film 46 covering the surface. However, from the viewpoint of preventing a decrease in the volume occupancy of the magnetic material in the composite magnetic material 20, the thickness of the natural oxide film 46 should be thin. More specifically, the thickness of the natural oxide film 46 is preferably 1 nm or more and 2 nm or less.

軟磁性粉末40の表面には、母合金に予めシリコン元素(Si)を仕込んで置き、酸素分圧を調整した雰囲気で熱処理する熱酸化法や、アルコキシシランを使ったゾルゲル法等によって酸化ケイ素からなる高抵抗膜を形成してもよい。換言すれば、軟磁性粉末40の少なくとも一部は、表面を覆うシリカ膜48を有していてもよい。軟磁性粉末40の表面をシリカ膜48で覆うことにより、複合磁性体20の誘電損失成分ε″を更に低くできる。加えて、ノイズ抑制シート10の表面抵抗率が大きくなるため、ノイズ抑制シート10を貼付可能な場所が広がる。上述の効果を得るという観点から、シリカ膜48の厚さは、厚い方が好ましい。一方、複合磁性体20における磁性材料の体積占有率の低下を防止するいう観点から、シリカ膜48の厚さは薄い方がよい。より具体的には、シリカ膜48の厚さは、1nm以上、且つ、10nm以下であることが好ましい。 Silicon element (Si) is preliminarily charged in the mother alloy on the surface of the soft magnetic powder 40 and heat-treated in an atmosphere where the oxygen partial pressure is adjusted. From silicon oxide by a thermal oxidation method, a sol-gel method using alkoxysilane, or the like. A high resistance film may be formed. In other words, at least a part of the soft magnetic powder 40 may have a silica film 48 covering the surface. By covering the surface of the soft magnetic powder 40 with the silica film 48, the dielectric loss component ε ″ of the composite magnetic material 20 can be further lowered. In addition, the surface resistivity of the noise suppression sheet 10 becomes large, so that the noise suppression sheet 10 The thickness of the silica film 48 is preferably thick from the viewpoint of obtaining the above-mentioned effects, while the viewpoint of preventing a decrease in the volume occupancy of the magnetic material in the composite magnetic material 20. Therefore, the thickness of the silica film 48 should be thin. More specifically, the thickness of the silica film 48 is preferably 1 nm or more and 10 nm or less.

本実施の形態のノイズ抑制シート10は、複合磁性体20のみを備えている。但し、本発明は、これに限られない。例えば、入射面12は、絶縁フィルムによって覆われていてもよい。即ち、ノイズ抑制シート10は、絶縁フィルム等の層を備えていてもよい。 The noise suppression sheet 10 of the present embodiment includes only the composite magnetic material 20. However, the present invention is not limited to this. For example, the incident surface 12 may be covered with an insulating film. That is, the noise suppression sheet 10 may include a layer such as an insulating film.

以下、本発明の効果について、具体的な実施例及び比較例を使用して更に詳しく説明する。 Hereinafter, the effects of the present invention will be described in more detail with reference to specific examples and comparative examples.

(実施例1のノイズ抑制シート)
Fe−Ni合金からなり略球形状を有する軟磁性粉末を、気相法によって作製した。軟磁性粉末は、50質量%のNiを含んでおり、軟磁性粉末の表面は、自然酸化膜によって覆われていた。軟磁性粉末のアスペクト比は1〜1.5程度であり、軟磁性粉末の粒子径は100nm以下だった。また、軟磁性粉末の比表面積は8.3m/gだった。軟磁性粉末を、バインダが溶解されたトルエンの中に分散して磁性塗料を作製した。バインダとしては、特殊官能基としてカルボン酸を有するアクリル酸アルキル共重合体を使用した。バインダの重量平均分子量(Mw)は約100万だった。ドクターブレード法により、磁性塗料からグリーンシートを成膜した。グリーンシートを複数枚に切断した。複数枚のグリーンシートを積層して加熱冷却プレスし、これによりシート状の複合磁性体からなる実施例1のノイズ抑制シートを作製した。
(Noise suppression sheet of Example 1)
A soft magnetic powder made of an Fe—Ni alloy and having a substantially spherical shape was produced by a vapor phase method. The soft magnetic powder contained 50% by mass of Ni, and the surface of the soft magnetic powder was covered with a natural oxide film. The aspect ratio of the soft magnetic powder was about 1 to 1.5, and the particle size of the soft magnetic powder was 100 nm or less. The specific surface area of the soft magnetic powder was 8.3 m 2 / g. The soft magnetic powder was dispersed in toluene in which the binder was dissolved to prepare a magnetic paint. As the binder, an alkyl acrylate copolymer having a carboxylic acid as a special functional group was used. The weight average molecular weight (Mw) of the binder was about 1 million. A green sheet was formed from a magnetic paint by the doctor blade method. The green sheet was cut into multiple pieces. A plurality of green sheets were laminated and heat-cooled and pressed to prepare a noise suppression sheet of Example 1 made of a sheet-shaped composite magnetic material.

実施例1の飽和磁化Msを、試料振動型磁力計によって測定した。実施例1の飽和磁化Msは、0.53Tだった。また、この測定により、実施例1に含まれている軟磁性粉末の体積占有率が35vol%であることが分かった。 The saturation magnetization Ms of Example 1 was measured by a sample vibration type magnetometer. The saturation magnetization Ms of Example 1 was 0.53T. Further, by this measurement, it was found that the volume occupancy of the soft magnetic powder contained in Example 1 was 35 vol%.

(実施例2のノイズ抑制シート)
Fe−Co合金からなり略球形状を有する軟磁性粉末を、気相法(熱プラズマ法)によって作製した。軟磁性粉末は、30質量%のNiを含んでおり、軟磁性粉末の表面は、自然酸化膜によって覆われていた。軟磁性粉末のアスペクト比は1〜1.5程度であり、軟磁性粉末の粒子径は100nm以下だった。また、軟磁性粉末の比表面積は17.7m/gだった。軟磁性粉末を、バインダが溶解されたトルエンの中に分散して磁性塗料を作製した。バインダとしては、特殊官能基としてカルボン酸を有するアクリル酸アルキル共重合体を使用した。バインダの重量平均分子量(Mw)は約100万だった。ドクターブレード法により、磁性塗料からグリーンシートを成膜した。グリーンシートを複数枚に切断した。複数枚のグリーンシートを積層して加熱冷却プレスし、これによりシート状の複合磁性体からなる実施例2のノイズ抑制シートを作製した。
(Noise suppression sheet of Example 2)
A soft magnetic powder made of an Fe—Co alloy and having a substantially spherical shape was produced by a vapor phase method (thermal plasma method). The soft magnetic powder contained 30% by mass of Ni, and the surface of the soft magnetic powder was covered with a natural oxide film. The aspect ratio of the soft magnetic powder was about 1 to 1.5, and the particle size of the soft magnetic powder was 100 nm or less. The specific surface area of the soft magnetic powder was 17.7 m 2 / g. The soft magnetic powder was dispersed in toluene in which the binder was dissolved to prepare a magnetic paint. As the binder, an alkyl acrylate copolymer having a carboxylic acid as a special functional group was used. The weight average molecular weight (Mw) of the binder was about 1 million. A green sheet was formed from a magnetic paint by the doctor blade method. The green sheet was cut into multiple pieces. A plurality of green sheets were laminated and heat-cooled and pressed to prepare a noise suppression sheet of Example 2 made of a sheet-shaped composite magnetic material.

実施例2の飽和磁化Msを、試料振動型磁力計によって測定した。実施例2の飽和磁化Msは、0.66Tだった。また、この測定により、実施例2に含まれている軟磁性粉末の体積占有率が35vol%であることが分かった。 The saturation magnetization Ms of Example 2 was measured by a sample vibration type magnetometer. The saturation magnetization Ms of Example 2 was 0.66T. Further, by this measurement, it was found that the volume occupancy of the soft magnetic powder contained in Example 2 was 35 vol%.

(比較例1のノイズ抑制シート)
3.5質量%のSiを含み且つ4.5質量%のCrを含むFe−Si−Cr合金からなり略球形状を有する軟磁性粉末を、気相法(熱プラズマ法)によって作製した。軟磁性粉末をボールミルを使用して扁平化し、扁平形状の軟磁性粉末を作製した。軟磁性粉末のアスペクト比は46であり、軟磁性粉末の粒子径は23μmだった。作製した軟磁性粉末を使用して、実施例1、2と同様な方法によりシート状の複合磁性体からなる比較例1のノイズ抑制シートを作製した。
(Noise suppression sheet of Comparative Example 1)
A soft magnetic powder having a substantially spherical shape, which was made of an Fe—Si—Cr alloy containing 3.5% by mass of Si and 4.5% by mass of Cr, was produced by a vapor phase method (thermal plasma method). The soft magnetic powder was flattened using a ball mill to prepare a flat-shaped soft magnetic powder. The aspect ratio of the soft magnetic powder was 46, and the particle size of the soft magnetic powder was 23 μm. Using the prepared soft magnetic powder, a noise suppression sheet of Comparative Example 1 made of a sheet-shaped composite magnetic material was prepared by the same method as in Examples 1 and 2.

比較例1の飽和磁化Msを、試料振動型磁力計によって測定した。比較例1の飽和磁化Msは、0.85Tだった。また、この測定により、比較例1に含まれている軟磁性粉末の体積占有率は、50vol%であることが分かった。 The saturation magnetization Ms of Comparative Example 1 was measured by a sample vibration type magnetometer. The saturation magnetization Ms of Comparative Example 1 was 0.85T. Further, by this measurement, it was found that the volume occupancy of the soft magnetic powder contained in Comparative Example 1 was 50 vol%.

(比較例2のノイズ抑制シート)
市販の略球形状を有するカルボニル鉄粉を用意した。カルボニル鉄粉の粒子径は4μm(=4000nm)であり、カルボニル鉄粉の比表面積は0.3m/gだった。カルボニル鉄粉を、バインダが溶解されたトルエンの中に分散して磁性塗料を作製した。バインダとしては、特殊官能基としてカルボン酸を有するアクリル酸アルキル共重合体を使用した。バインダの重量平均分子量(Mw)は約100万だった。ドクターブレード法により、磁性塗料からグリーンシートを成膜した。グリーンシートを複数枚に切断した。複数枚のグリーンシートを積層して加熱冷却プレスし、これによりシート状の複合磁性体からなる比較例2のノイズ抑制シートを作製した。
(Noise suppression sheet of Comparative Example 2)
A commercially available carbonyl iron powder having a substantially spherical shape was prepared. The particle size of the carbonyl iron powder was 4 μm (= 4000 nm), and the specific surface area of the carbonyl iron powder was 0.3 m 2 / g. The carbonyl iron powder was dispersed in toluene in which the binder was dissolved to prepare a magnetic paint. As the binder, an alkyl acrylate copolymer having a carboxylic acid as a special functional group was used. The weight average molecular weight (Mw) of the binder was about 1 million. A green sheet was formed from a magnetic paint by the doctor blade method. The green sheet was cut into multiple pieces. A plurality of green sheets were laminated and heat-cooled and pressed to produce a noise suppression sheet of Comparative Example 2 made of a sheet-shaped composite magnetic material.

比較例2の飽和磁化Msを、試料振動型磁力計によって測定した。比較例2の飽和磁化Msは、0.78Tだった。また、この測定により、比較例2に含まれている軟磁性粉末の体積占有率は、39vol%であることが分かった。 The saturation magnetization Ms of Comparative Example 2 was measured by a sample vibration type magnetometer. The saturation magnetization Ms of Comparative Example 2 was 0.78T. Further, by this measurement, it was found that the volume occupancy of the soft magnetic powder contained in Comparative Example 2 was 39 vol%.

(複素透磁率及び複素誘電率の測定)
実施例1、実施例2、比較例1及び比較例2の夫々について、シートと平行な面内における比透磁率μr(複素比透磁率)及び比誘電率εr(複素比誘電率)を測定した。この測定は、ネットワークアナライザを使用して同軸管法によって行った。図4から図7までの夫々に測定結果を示す。
(Measurement of complex magnetic permeability and complex permittivity)
For each of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2, the relative permeability μr (complex relative permeability) and the relative permittivity εr (complex relative permittivity) in the plane parallel to the sheet were measured. .. This measurement was made by the coaxial tube method using a network analyzer. The measurement results are shown in FIGS. 4 to 7, respectively.

図4及び図5を参照すると、比較例1は、高い磁気損失成分μ″を有する一方、周波数が2GHzを超えて高くなるにつれて磁束収束成分μ′が急速に低下する。比較例1の磁束収束成分μ′は、6GHzを超える周波数帯において、実施例1や実施例2の磁束収束成分μ′よりも小さくなり、十分なノイズ抑制効果が得られない。比較例2の粒子径は、表皮深さよりも大きい。このため、渦電流による磁気損失により、磁束収束成分μ′が徐々に低下し、3GHz〜6GHzの高周波数帯域において、実施例1や実施例2よりも小さくなり、7GHzにおいて1以下となる。 Referring to FIGS. 4 and 5, Comparative Example 1 has a high magnetic loss component μ ″, while the magnetic flux convergence component μ ′ rapidly decreases as the frequency increases beyond 2 GHz. The magnetic flux convergence of Comparative Example 1 The component μ'is smaller than the magnetic flux convergence component μ'of Examples 1 and 2 in the frequency band exceeding 6 GHz, and a sufficient noise suppression effect cannot be obtained. The particle size of Comparative Example 2 is the depth of the skin. Therefore, the magnetic flux convergence component μ ′ gradually decreases due to the magnetic loss due to the eddy current, and becomes smaller than that of Examples 1 and 2 in the high frequency band of 3 GHz to 6 GHz, and is 1 or less at 7 GHz. Will be.

実施例1は180MHzで磁気共鳴する。実施例1の磁束収束成分μ′は、比較例2と同様に、7GHzにおいて1以下となる。また、実施例1の磁気損失成分μ″は、3GHzを超える高周波数帯域の2つの周波数においてピークになる。実施例1の磁気損失成分μ″は、6GHzを超える周波数帯域において、比較例2と略同じである。但し、実施例1の磁気損失成分μ″は、200MHzから徐々に上昇する。このため、実施例1のローパスフィルタ性能は、比較例2よりも高い。実施例2は1.1GHzで磁気共鳴する。実施例2の磁束収束成分μ′は、9GHzにおいても1よりも大きい。また、実施例2の磁気損失成分μ″は、3GHzを超える高周波数帯域の2つの周波数においてピークになる。実施例2の磁気損失成分μ″は、9GHzにおいて比較例2と略同じであり、9GHzを超える周波数帯域においても上昇して比較例2よりも大きくなる傾向がある。 Example 1 magnetically resonates at 180 MHz. The magnetic flux convergence component μ'of Example 1 is 1 or less at 7 GHz, as in Comparative Example 2. Further, the magnetic loss component μ ″ of Example 1 peaks at two frequencies in a high frequency band exceeding 3 GHz. The magnetic loss component μ ″ of Example 1 is different from Comparative Example 2 in a frequency band exceeding 6 GHz. It is almost the same. However, the magnetic loss component μ ″ of Example 1 gradually increases from 200 MHz. Therefore, the low-pass filter performance of Example 1 is higher than that of Comparative Example 2. In Example 2, magnetic resonance occurs at 1.1 GHz. The magnetic flux convergence component μ ′ of Example 2 is larger than 1 even at 9 GHz. Further, the magnetic loss component μ ″ of Example 2 peaks at two frequencies in the high frequency band exceeding 3 GHz. The magnetic loss component μ ″ of Example 2 is substantially the same as that of Comparative Example 2 at 9 GHz, and tends to increase even in a frequency band exceeding 9 GHz and become larger than that of Comparative Example 2.

図6及び図7を参照すると、比較例1は、誘電損失成分ε″及び比誘電率εrの実数成分ε′が大きく、3GHzを超える高周波数帯域において、ノイズを大きく反射する。比較例1、実施例1及び実施例2は、誘電損失成分ε″及び比誘電率εrの実数成分ε′がが比較例1に比べて1/5程度であり、3GHzを超える高周波数帯域においても、ノイズ抑制シートの内部にノイズを侵入させることができる。 Referring to FIGS. 6 and 7, Comparative Example 1 has a large dielectric loss component ε ″ and a real number component ε ′ of a relative permittivity εr, and largely reflects noise in a high frequency band exceeding 3 GHz. In Examples 1 and 2, the dielectric loss component ε ″ and the real number component ε ′ of the relative permittivity εr are about 1/5 of that of Comparative Example 1, and noise is suppressed even in a high frequency band exceeding 3 GHz. Noise can be introduced inside the sheet.

図4から図7までから理解されるように、実施例1及び実施例2は、比較例1や比較例2よりも高い周波数までノイズを抑制できる。即ち、小型電子機器の小空間において磁気損失成分μ″によるノイズ吸収効果を得るためには、3GHzを超える高周波数帯域において磁束収束成分μ′を1よりも大きな値に維持し、且つ、誘電損失成分ε″を小さくするという本発明が有効である。 As can be understood from FIGS. 4 to 7, Noise 1 and Example 2 can suppress noise to a higher frequency than Comparative Example 1 and Comparative Example 2. That is, in order to obtain the noise absorption effect of the magnetic loss component μ ″ in the small space of a small electronic device, the magnetic flux convergence component μ ′ is maintained at a value larger than 1 in the high frequency band exceeding 3 GHz, and the dielectric loss The present invention of reducing the component ε ″ is effective.

10 ノイズ抑制シート
12 入射面
14 反対面
20 複合磁性体
30 バインダ
40 軟磁性粉末
46 自然酸化膜
48 シリカ膜
70 小型電子機器
72 筐体
74 内部空間(小空間)
76 電子部品
78 アンテナ
80 電磁波(ノイズ)
10 Noise suppression sheet 12 Incident surface 14 Opposite surface 20 Composite magnetic material 30 Binder 40 Soft magnetic powder 46 Natural oxide film 48 Silica film 70 Small electronic equipment 72 Housing 74 Internal space (small space)
76 Electronic components 78 Antenna 80 Electromagnetic waves (noise)

Claims (13)

シート状の複合磁性体を備えたノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、バインダと、前記バインダ中に分散された軟磁性粉末とを含んでおり、
前記軟磁性粉末の全てにおいて、アスペクト比が5未満であり、真球近似したときの粒子径が100nm以下であり、
前記複合磁性体の比透磁率の実数成分は、少なくとも7GHzの周波数帯域まで1より大きな値を維持しており、
前記複合磁性体の前記比透磁率の前記実数成分は、1GHzの周波数帯域において3より小さく、
前記複合磁性体の前記比透磁率の虚数成分は、2GHzから少なくとも6GHzの周波数帯域まで0.5以上の値を維持しており、
前記複合磁性体の比誘電率の虚数成分は、少なくとも7GHzの周波数帯域まで25以下の値を維持している
ノイズ抑制シート。
A noise suppression sheet with a sheet-like composite magnetic material.
The composite magnetic material contains a binder and a soft magnetic powder dispersed in the binder.
In all of the soft magnetic powders, the aspect ratio is less than 5, and the particle size when approximated to a true sphere is 100 nm or less.
The real component of the relative permeability of the composite magnetic material maintains a value larger than 1 up to a frequency band of at least 7 GHz.
The real component of the relative permeability of the composite magnetic material is less than 3 in the frequency band of 1 GHz.
The imaginary component of the relative permeability of the composite magnetic material maintains a value of 0.5 or more from 2 GHz to at least 6 GHz in the frequency band.
A noise suppression sheet in which the imaginary component of the relative permittivity of the composite magnetic material maintains a value of 25 or less up to a frequency band of at least 7 GHz.
請求項1記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体の比誘電率の虚数成分は、少なくとも9GHzの周波数帯域まで2以下の値を維持している
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to claim 1.
A noise suppression sheet in which the imaginary component of the relative permittivity of the composite magnetic material maintains a value of 2 or less up to a frequency band of at least 9 GHz.
請求項1又は請求項2記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体の比誘電率の実数成分は、少なくとも7GHzの周波数帯域まで11〜25の値を維持している
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to claim 1 or 2.
A noise suppression sheet in which the real number component of the relative permittivity of the composite magnetic material maintains a value of 11 to 25 up to a frequency band of at least 7 GHz.
請求項1から請求項3までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末における前記アスペクト比が3以下である
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 3.
A noise suppression sheet having an aspect ratio of 3 or less in the soft magnetic powder.
請求項1から請求項までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末は、Fe,Ni及びCoから選ばれる1種類以上の元素を含んでいる
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 4.
The soft magnetic powder is a noise suppression sheet containing one or more elements selected from Fe, Ni and Co.
請求項1から請求項までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記バインダは、重量平均分子量が80万以上であるポリマーからなる
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 5.
The binder is a noise suppression sheet made of a polymer having a weight average molecular weight of 800,000 or more.
請求項1から請求項までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末の少なくとも一部は、表面を覆うシリカ膜を有しており、
前記シリカ膜の厚さは、1nm以上、且つ、10nm以下である
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 6.
At least a part of the soft magnetic powder has a silica film covering the surface and has a silica film.
A noise suppression sheet having a thickness of 1 nm or more and 10 nm or less.
請求項1から請求項までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記軟磁性粉末の少なくとも一部は、表面を覆う自然酸化膜を有しており、
前記自然酸化膜の厚さは、1nm以上、且つ、2nm以下である
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 6.
At least a part of the soft magnetic powder has a natural oxide film covering the surface.
A noise suppression sheet having a thickness of 1 nm or more and 2 nm or less of the natural oxide film.
請求項1から請求項までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体における前記軟磁性粉末の体積占有率は、30vol%以上、且つ、40vol%以下である
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 8.
A noise suppression sheet in which the volume occupancy of the soft magnetic powder in the composite magnetic material is 30 vol% or more and 40 vol% or less.
請求項1から請求項までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体の飽和磁化は、0.45T以上、且つ、0.98T以下である
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 9.
A noise suppression sheet having a saturation magnetization of 0.45 T or more and 0.98 T or less of the composite magnetic material.
請求項1から請求項10までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、可撓性を有する
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 10.
The composite magnetic material is a flexible noise suppression sheet.
請求項1から請求項11までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、7MPa未満の引張強度を有する
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 11.
The composite magnetic material is a noise suppression sheet having a tensile strength of less than 7 MPa.
請求項1から請求項12までのいずれかに記載のノイズ抑制シートであって、
前記複合磁性体は、0.1mm以下の厚さを有する
ノイズ抑制シート。
The noise suppression sheet according to any one of claims 1 to 12.
The composite magnetic material is a noise suppression sheet having a thickness of 0.1 mm or less.
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