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JP6988874B2 - Image sensor and image sensor - Google Patents
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Description

本発明は、撮像素子および撮像装置、例えば固体撮像装置および電子カメラに関する。 The present invention relates to an image sensor and an image pickup device, for example, a solid-state image pickup device and an electronic camera.

従来、電子カメラで高速AF(オートフォーカス)を実現する技術として位相差AF方式が知られている。位相差AF方式は専用の焦点検出用画素を必要とし、例えば1つの撮像素子の撮像用画素の一部に焦点検出用画素を配置する技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。また、画像用撮像素子とは別に配置された専用の焦点検出用撮像素子を用いる技術が知られている(例えば、特許文献2参照)。一方、2つの光電変換素子を積層配置する技術が知られている(例えば、特許文献3参照)。 Conventionally, the phase difference AF method is known as a technique for realizing high-speed AF (autofocus) with an electronic camera. The phase-difference AF method requires a dedicated focus detection pixel, and for example, there is known a technique of arranging a focus detection pixel in a part of an image pickup pixel of one image sensor (see, for example, Patent Document 1). Further, there is known a technique of using a dedicated focus detection image sensor arranged separately from the image image sensor (see, for example, Patent Document 2). On the other hand, a technique of stacking and arranging two photoelectric conversion elements is known (see, for example, Patent Document 3).

特開2007−282109号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-282109 特開2007−011070号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-011070 特開2009−130239号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-130239

ところが、撮像素子の画像用画素の一部に焦点検出用画素を配置する場合、縦スジや横スジの偽信号が発生しやすくなり、高度な画素補間処理が必要になるという問題があった。また、専用の焦点検出用撮像素子を用いる場合、入射光を画像用撮像素子と焦点検出用撮像素子とに分割するための複雑な光学系が必要になるという問題があった。さらに、積層配置する技術では画像撮影に特化したもので、焦点検出や効率的な色配列などについては考えられていなかった。 However, when the focus detection pixel is arranged in a part of the image pixel of the image sensor, there is a problem that false signals of vertical streaks and horizontal streaks are likely to occur, and advanced pixel interpolation processing is required. Further, when a dedicated focus detection image sensor is used, there is a problem that a complicated optical system for dividing the incident light into an image image sensor and a focus detection image sensor is required. Furthermore, the technique of stacking and arranging is specialized for image shooting, and focus detection and efficient color arrangement have not been considered.

本発明の目的は、高度な画素補間処理や複雑な光学系を用いることなく、焦点検出に適した撮像素子および撮像装置(固体撮像装置および電子カメラ)を提供することである。 An object of the present invention is to provide an image pickup device and an image pickup device (solid-state image pickup device and an electronic camera) suitable for focus detection without using advanced pixel interpolation processing or a complicated optical system.

本発明の一例としての撮像素子は、光を光電変換して電荷を生成する第1光電変換部と、第1光電変換部の一方の面に設けられ、第1光電変換部で生成された電荷を出力するための第1電極と、第1光電変換部の他方の面に設けられ、第1光電変換部で生成された電荷を出力するための第2電極と第3電極と、第1光電変換部と第1電極と第2電極と第3電極とを透過した光を光電変換して電荷を生成する第2光電変換部と、を備える。 Imaging device as one example of the present invention includes a first photoelectric conversion unit that generates an electric charge by photoelectric conversion of light, provided on one surface of the first photoelectric conversion unit, charges generated by the first photoelectric conversion unit A first electrode for outputting light, a second electrode and a third electrode provided on the other surface of the first photoelectric conversion unit and for outputting the electric charge generated by the first photoelectric conversion unit, and a first photoelectric conversion unit. It includes a conversion unit, a second photoelectric conversion unit that photoelectrically converts light transmitted through the first electrode, the second electrode, and the third electrode to generate electric charges.

本発明の他の例としての撮像装置は、上記の撮像素子を備える。 An image pickup device as another example of the present invention includes the above-mentioned image pickup device.

本発明は、高度な画素補間処理や複雑な光学系を用いることなく、焦点検出に適した撮像素子および撮像装置(固体撮像装置および電子カメラ)を提供できる。 The present invention can provide an image sensor and an image pickup device (solid-state image pickup device and electronic camera) suitable for focus detection without using advanced pixel interpolation processing or a complicated optical system.

固体撮像素子101の概要を示す図である。It is a figure which shows the outline of a solid-state image sensor 101. 画素配置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a pixel arrangement. 第一撮像素子102の回路例を示す図である。It is a figure which shows the circuit example of the 1st image pickup element 102. 第二撮像素子103の回路例を示す図である。It is a figure which shows the circuit example of the 2nd image pickup element 103. 画素の回路例を示す図である。It is a figure which shows the circuit example of a pixel. タイミングチャートの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a timing chart. レイアウト構成および断面の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a layout structure and a cross section. 断面A−Bを示す図である。It is a figure which shows the cross section AB. 断面C−Dを示す図である。It is a figure which shows the cross section CD. レイアウト構成を示す図である。It is a figure which shows the layout composition. 第二撮像素子103の受光部の配置例を示す図である。It is a figure which shows the arrangement example of the light receiving part of the 2nd image sensor 103. 画素配置の変形例1を示す図である。It is a figure which shows the modification 1 of the pixel arrangement. 画素配置の変形例2を示す図である。It is a figure which shows the modification 2 of the pixel arrangement. 電子カメラ201の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the electronic camera 201.

以下、本発明に係る固体撮像装置および電子カメラの実施形態について図面を用いて詳しく説明する。 Hereinafter, embodiments of the solid-state image sensor and the electronic camera according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本実施形態に係る固体撮像素子101の概要を示す図である。図1において、固体撮像素子101は、通常の固体撮像素子と同様にフォトダイオードにより光電変換を行う第一撮像素子102と、第一撮像素子102の入射光側の同一光路上に配置された第二撮像素子103とを有する。第二撮像素子103は、特定光を透過し、非透過光を光電変換する有機光電膜により構成され、第二撮像素子103を透過した特定光は第一撮像素子102で受光される。ここで、第一撮像素子102と第二撮像素子103は同一の半導体基板上に形成され、各画素位置は一対一に対応する。例えば第一撮像素子102の1行1列目の画素は、第二撮像素子103の1行1列目の画素に対応する。 FIG. 1 is a diagram showing an outline of the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment. In FIG. 1, the solid-state image sensor 101 is arranged on the same optical path on the incident light side of the first image sensor 102 and the first image sensor 102, which perform photoelectric conversion by a photodiode in the same manner as a normal solid-state image sensor. It has two image pickup devices 103. The second image sensor 103 is composed of an organic photoelectric film that transmits specific light and photoelectrically converts non-transmitted light, and the specific light transmitted through the second image sensor 103 is received by the first image sensor 102. Here, the first image sensor 102 and the second image sensor 103 are formed on the same semiconductor substrate, and each pixel position has a one-to-one correspondence. For example, the pixels in the first row and first column of the first image sensor 102 correspond to the pixels in the first row and first column of the second image sensor 103.

図2(a)は、第二撮像素子103の画素配列の一例を示す図である。図2(a)において、水平方向をx軸、垂直方向をy軸とし、画素Pの座標をP(x,y)と表記する。図2(a)の第二撮像素子103の例では、奇数行の各画素にMg(マジェンタ)とYe(イエロー)の光を光電変換する有機光電膜を交互に配置し、偶数行の各画素にCy(シアン)とMg(マジェンタ)の光を光電変換する有機光電膜を交互に配置している。そして、各画素で受光されない光は透過される。例えば画素P(1,1)はMgの光を光電変換してMgの補色(G:グリーン)の光を透過する。同様に、画素P(2,1)はYeの光を光電変換してYeの補色(B:ブルー)の光を透過し、画素P(1,2)はCyの光を光電変換してCyの補色(R:レッド)の光を透過する。尚、後で詳しく説明するが、第二撮像素子103の各画素は、位相差AF方式に対応するペアとなる焦点検出用画素で構成される。 FIG. 2A is a diagram showing an example of the pixel arrangement of the second image pickup device 103. In FIG. 2A, the horizontal direction is the x-axis, the vertical direction is the y-axis, and the coordinates of the pixel P are expressed as P (x, y). In the example of the second image sensor 103 of FIG. 2A, organic photoelectric films that photoelectrically convert Mg (magenta) and Ye (yellow) light are alternately arranged in each pixel in the odd-numbered rows, and each pixel in the even-numbered rows. Organic photoelectric films that photoelectrically convert Cy (cyan) and Mg (magenta) light are alternately arranged. Then, the light that is not received by each pixel is transmitted. For example, the pixels P (1,1) photoelectrically convert the light of Mg and transmit the light of the complementary color (G: green) of Mg. Similarly, the pixels P (2, 1) photoelectrically convert the light of Ye to transmit the light of the complementary color (B: blue) of Ye, and the pixels P (1, 2) photoelectrically convert the light of Cy to Cy. Light of the complementary color (R: red) of is transmitted. As will be described in detail later, each pixel of the second image sensor 103 is composed of a pair of focus detection pixels corresponding to the phase difference AF method.

図2(b)は、第一撮像素子102の画素配列の一例を示す図である。尚、図2(b)の各画素位置は、図2(a)と同じである。例えば第二撮像素子103の画素(1,1)は、第一撮像素子102の画素(1,1)に対応する。図2(b)おいて、第一撮像素子102には、カラーフィルターなどは設けられておらず、第二撮像素子103を透過する特定光(有機光電膜で吸収されて光電変換される光の補色)を光電変換する。従って、図2(c)に示すように、第一撮像素子102により、奇数行の各画素にG(グリーン)とB(ブルー)の色成分、偶数行の各画素にR(レッド)とG(グリーン)の色成分の画像が得られる。例えば画素P(1,1)では第二撮像素子103のMgの補色のG成分の画像が得られる。同様に、画素P(2,1)ではYeの補色のB成分の画像、画素P(1,2)ではCyの補色のR成分の画像がそれぞれ得られる。 FIG. 2B is a diagram showing an example of the pixel arrangement of the first image pickup device 102. The pixel positions in FIG. 2B are the same as those in FIG. 2A. For example, the pixels (1,1) of the second image sensor 103 correspond to the pixels (1,1) of the first image sensor 102. In FIG. 2B, the first image sensor 102 is not provided with a color filter or the like, and the specific light transmitted through the second image sensor 103 (light absorbed by the organic photoelectric film and converted to photoelectric) is obtained. Complementary color) is photoelectrically converted. Therefore, as shown in FIG. 2C, the first image sensor 102 causes G (green) and B (blue) color components for each pixel in the odd-numbered rows, and R (red) and G for each pixel in the even-numbered rows. An image of the (green) color component is obtained. For example, in the pixel P (1,1), an image of the complementary color G component of Mg of the second image sensor 103 can be obtained. Similarly, the pixel P (2, 1) obtains an image of the complementary color B component of Ye, and the pixel P (1, 2) obtains an image of the complementary color R component of Cy.

このように、本実施形態に係る固体撮像素子101は、有機光電膜で構成される第二撮像素子103が従来のカラーフィルタの役割を果たし、第一撮像素子102により第二撮像素子103の補色画像を得ることができる。図2の例では、第一撮像素子102からベイヤー配列の画像が得られる。尚、図2ではベイヤー配列の例を示したが、他の配列であっても第一撮像素子102と第二撮像素子103の各画素が補色関係になるように配置することにより、同様に実現できる。 As described above, in the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment, the second image sensor 103 composed of an organic photoelectric film serves as a conventional color filter, and the first image sensor 102 complements the color of the second image sensor 103. You can get an image. In the example of FIG. 2, an image of the Bayer array is obtained from the first image sensor 102. Although an example of the Bayer arrangement is shown in FIG. 2, the same can be achieved by arranging the pixels of the first image pickup element 102 and the second image pickup element 103 so as to have a complementary color relationship even if the arrangement is another. can.

特に、本実施形態に係る固体撮像素子101では、従来の単板式の撮像素子で必要であったカラーフィルタの代わりに有機光電膜を用いるため、カラーフィルタで吸収されてしまっていた入射光を第二撮像素子103により有効に利用することができる。 In particular, in the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment, since an organic photoelectric film is used instead of the color filter required in the conventional single-plate image sensor, the incident light absorbed by the color filter is the first. (Ii) It can be effectively used by the image sensor 103.

また、本実施形態に係る固体撮像素子101では、第一撮像素子102に画像用画素を配置し、第二撮像素子103に焦点検出用画素を全面に均等に配置しているので、画像用画素の一部に焦点検出用画素を配置する従来技術のように複雑な画素補間処理を行う必要がなく、第二撮像素子103からは焦点検出用信号、第一撮像素子102からはカラー画像信号をそれぞれ独立して得ることができる。 Further, in the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment, the image pixels are arranged on the first image sensor 102, and the focus detection pixels are evenly arranged on the second image sensor 103, so that the image pixels are evenly arranged on the entire surface. There is no need to perform complicated pixel interpolation processing as in the prior art in which focus detection pixels are arranged in a part of the image sensor 103, and a focus detection signal is output from the second image sensor 103 and a color image signal is output from the first image sensor 102. Each can be obtained independently.

図3は、第一撮像素子102の回路例を示す図である。図3において、第一撮像素子102は、二次元状に配置された画素P(x,y)と、垂直走査回路151と、水平出力回路152と、電流源PWとを有する。尚、図3の例では、わかり易いように、2行2列の4画素の構成を示したが、実際には1000万画素程度の画素が二次元状に配置されている。 FIG. 3 is a diagram showing a circuit example of the first image sensor 102. In FIG. 3, the first image pickup element 102 has pixels P (x, y) arranged two-dimensionally, a vertical scanning circuit 151, a horizontal output circuit 152, and a current source PW. In the example of FIG. 3, for the sake of clarity, a configuration of 4 pixels in 2 rows and 2 columns is shown, but in reality, about 10 million pixels are arranged two-dimensionally.

図3において、垂直走査回路151は、各画素から信号を読み出すためのタイミング信号(φTx(y)、φR(y)、φSEL(y))を出力する。例えば1行目の画素P(1,1)、P(2,1)にタイミング信号φTx(1)、φR(1)、φSEL(1)が与えられる。そして、各列に配置された電流源PW(1)およびPW(2)にそれぞれ接続される垂直信号線VLINE(1)、VLINE(2)各画素から信号が読み出され、水平出力回路152に一時的保持される。そして、水平出力回路152に行毎に一時的保持された各画素の信号は、順番に外部に出力される(出力信号Vout)。尚、図3では描いていないが、各画素から垂直信号線VLINE(x)を介して水平出力回路152に読み出すときに、画素間の信号のバラつきを除去するための相関二重サンプリング回路(CDS回路)を配置してもよい。 In FIG. 3, the vertical scanning circuit 151 outputs a timing signal (φTx (y), φR (y), φSEL (y)) for reading a signal from each pixel. For example, the timing signals φTx (1), φR (1), and φSEL (1) are given to the pixels P (1,1) and P (2,1) in the first row. Then, signals are read from each pixel of the vertical signal lines VLINE (1) and VLINE (2) connected to the current sources PW (1) and PW (2) arranged in each row, and the horizontal output circuit 152. Temporarily retained. Then, the signals of each pixel temporarily held in the horizontal output circuit 152 for each row are sequentially output to the outside (output signal Vout). Although not drawn in FIG. 3, a correlated double sampling circuit (CDS) for eliminating signal variation between pixels when reading from each pixel to the horizontal output circuit 152 via the vertical signal line VLINE (x). Circuit) may be arranged.

図4は、第二撮像素子103の回路例を示す図である。図4において、第二撮像素子103は、二次元状に配置された画素P(x,y)と、垂直走査回路161と、水平出力回路162と、水平出力回路163と、電流源PW_Aと、電流源PW_Bとを有する。尚、図4の例では、図3と同様に、2行2列の4画素で構成されるが、実際には1000万画素程度の画素が二次元状に配置されている。また、図4の各画素P(x,y)は、図3の各画素P(x,y)に対応する。特に、第二撮像素子103は、1つの画素位置に受光部PC_A(x,y)と受光部PC_B(x,y)の2つの有機光電膜による光電変換部を有し、位相差AF方式のペアとなる一対の画素を構成する。 FIG. 4 is a diagram showing a circuit example of the second image sensor 103. In FIG. 4, the second image pickup element 103 includes pixels P (x, y) arranged in a two-dimensional manner, a vertical scanning circuit 161, a horizontal output circuit 162, a horizontal output circuit 163, a current source PW_A, and the like. It has a current source PW_B. In the example of FIG. 4, similar to FIG. 3, it is composed of 4 pixels in 2 rows and 2 columns, but in reality, about 10 million pixels are arranged two-dimensionally. Further, each pixel P (x, y) in FIG. 4 corresponds to each pixel P (x, y) in FIG. In particular, the second image sensor 103 has a photoelectric conversion unit composed of two organic photoelectric films, a light receiving unit PC_A (x, y) and a light receiving unit PC_B (x, y), at one pixel position, and is of a phase difference AF method. A pair of pixels is configured.

図4において、垂直走査回路161は、各画素から信号を読み出すためのタイミング信号(φR_A(y)、φR_B(y)、φSEL_A(y)、φSEL_B(y))が出力される。例えば1行目の受光部PC_A(1,1)とP_A(2,1)にタイミング信号φR_A(1)、φSEL_A(1)が与えられ、受光部PC_B(1,1)とP_B(2,1)にタイミング信号φR_B(1)、φSEL_B(1)が与えられる。そして、受光部PC_A(1,1)およびP_A(2,1)の信号は、各列に配置された電流源PW_A(1)およびPW_A(2)にそれぞれ接続される垂直信号線VLINE_A(1)およびVLINE_A(2)に読み出され、水平出力回路_A162に一時的保持される。水平出力回路_A162に行毎に一時的保持された各画素の信号は、順番に外部に出力される(出力信号Vout_A)。同様に、受光部PC_B(1,1)およびP_B(2,1)の信号は、各列に配置された電流源PW_B(1)およびPW_B(2)にそれぞれ接続される垂直信号線VLINE_B(1)およびVLINE_B(2)に読み出され、水平出力回路_B162に一時的保持される。水平出力回路_B162に行毎に一時的保持された各画素の信号は、順番に外部に出力される(出力信号Vout_B)。 In FIG. 4, the vertical scanning circuit 161 outputs a timing signal (φR_A (y), φR_B (y), φSEL_A (y), φSEL_B (y)) for reading a signal from each pixel. For example, the timing signals φR_A (1) and φSEL_A (1) are given to the light receiving units PC_A (1,1) and P_A (2,1) on the first line, and the light receiving units PC_B (1,1) and P_B (2,1) are given. ) Is given timing signals φR_B (1) and φSEL_B (1). The signals of the light receiving units PC_A (1,1) and P_A (2,1) are the vertical signal lines VLINE_A (1) connected to the current sources PW_A (1) and PW_A (2) arranged in each row, respectively. And VLINE_A (2) are read out and temporarily held in the horizontal output circuit_A162. The signals of each pixel temporarily held for each row in the horizontal output circuit_A162 are sequentially output to the outside (output signal Vout_A). Similarly, the signals of the light receiving units PC_B (1,1) and P_B (2,1) are the vertical signal lines VLINE_B (1) connected to the current sources PW_B (1) and PW_B (2) arranged in each row, respectively. ) And VLINE_B (2), and are temporarily held in the horizontal output circuit_B162. The signals of each pixel temporarily held for each row in the horizontal output circuit_B162 are sequentially output to the outside (output signal Vout_B).

以上、第一撮像素子102および第二撮像素子103の回路例を図3および図4でそれぞれ別々に説明したが、実際には同一の半導体基板上に形成され、1つの固体撮像素子101を構成する。
[固体撮像素子101の画素の回路例]
次に、固体撮像素子101の画素の回路例について説明する。図5は、二次元状に配置された1つの画素P(x,y)の回路例を示す図である。図5において、画素P(x,y)は、第一撮像素子102を構成するための回路として、フォトダイオードPDと、転送トランジスタTxと、リセットトランジスタRと、出力トランジスタSFと、選択トランジスタSELとを有する。フォトダイオードPDは、入射光の光量に応じた電荷を蓄積し、転送トランジスタTxは、フォトダイオードPDに蓄積された電荷を出力トランジスタSF側の浮遊拡散領域(FD部)に転送する。出力トランジスタSFは選択トランジスタSELを介して電流源PWとソースホロワを構成し、FD部に蓄積された電荷に応じた電気信号を出力信号OUTとして垂直信号線VLINEに出力する。尚、リセットトランジスタRは、FD部の電荷を電源電圧Vccにリセットする。
Although the circuit examples of the first image sensor 102 and the second image sensor 103 have been described separately in FIGS. 3 and 4, they are actually formed on the same semiconductor substrate to form one solid-state image sensor 101. do.
[Circuit example of pixels of solid-state image sensor 101]
Next, a circuit example of the pixels of the solid-state image sensor 101 will be described. FIG. 5 is a diagram showing a circuit example of one pixel P (x, y) arranged two-dimensionally. In FIG. 5, the pixel P (x, y) includes a photodiode PD, a transfer transistor Tx, a reset transistor R, an output transistor SF, and a selection transistor SEL as circuits for forming the first image pickup element 102. Has. The photodiode PD accumulates electric charges according to the amount of incident light, and the transfer transistor Tx transfers the electric charges accumulated in the photodiode PD to the floating diffusion region (FD unit) on the output transistor SF side. The output transistor SF constitutes a current source PW and a source hollower via the selection transistor SEL, and outputs an electric signal corresponding to the electric charge accumulated in the FD unit to the vertical signal line VLINE as an output signal OUT. The reset transistor R resets the electric charge of the FD portion to the power supply voltage Vcc.

また、第二撮像素子103を構成するための回路として、有機光電膜による受光部PCと、リセットトランジスタR_A,R_Bと、出力トランジスタSF_A,SF_Bと、選択トランジスタSEL_A,SEL_Bとを有する。有機光電膜による受光部PCは、図2(a)で説明したように、非透過光の光量に応じた電気信号に変換し、選択トランジスタSEL_A,SEL_Bを介して電流源PW_AおよびPW_Bとそれぞれソースホロワを構成する出力トランジスタSF_A,SF_Bを介して出力信号OUT_A,OUT_Bとして垂直信号線VLINE_A,VLINE_Bにそれぞれ出力する。尚、リセットトランジスタR_A,R_Bは、受光部PCの出力信号をリファレンス電圧Vrefにリセットする。また、有機光電膜の動作用として高電圧Vpcが与えられている。ここで、各トランジスタはMOS_FETで構成される。 Further, as a circuit for forming the second image pickup element 103, it has a light receiving unit PC made of an organic photoelectric film, reset transistors R_A and R_B, output transistors SF_A and SF_B, and selection transistors SEL_A and SEL_B. As described with reference to FIG. 2A, the light receiving unit PC using the organic photoelectric film converts an electric signal according to the amount of non-transmitted light, and the current sources PW_A and PW_B and the source hollower respectively via the selection transistors SEL_A and SEL_B. Is output to the vertical signal lines VLINE_A and VLINE_B as output signals OUT_A and OUT_B via the output transistors SF_A and SF_B constituting the above, respectively. The reset transistors R_A and R_B reset the output signal of the light receiving unit PC to the reference voltage Vref. Further, a high voltage Vpc is given for the operation of the organic photoelectric film. Here, each transistor is composed of MOS_FET.

ここで、図5の回路の動作について、図6のタイミングチャートを用いて説明する。図6は、図5のタイミング信号の一例を示した図である。図6(a)は、第一撮像素子102の動作タイミングを示す図で、先ずタイミングT1で選択信号φSELが”High”になり、選択トランジスタSELがオンする。次にタイミングT2でリセット信号φRが”High”になり、FD部で電源電圧Vccにリセットされ、出力信号OUTもリセットレベルになる。そして、リセット信号φRが”Low”になった後、タイミングT3で転送信号φTxが”High”になり、フォトダイオードPDに蓄積された電荷がFD部に転送され、出力信号OUTが電荷量に応じて変化し始め、安定する。そして、転送信号φTxが”Low”になり、画素から垂直信号線VLINEに読み出される出力信号OUTの信号レベルが確定する。そして、垂直信号線VLINEに読み出された各画素の出力信号OUTは、水平出力回路_152に行毎に一時的に保持された後、出力信号Voutとして固体撮像素子101から出力される。このようにして、第一撮像素子102の各画素から信号が読み出される。 Here, the operation of the circuit of FIG. 5 will be described with reference to the timing chart of FIG. FIG. 6 is a diagram showing an example of the timing signal of FIG. FIG. 6A is a diagram showing the operation timing of the first image pickup device 102. First, the selection signal φSEL becomes “High” at the timing T1, and the selection transistor SEL is turned on. Next, at the timing T2, the reset signal φR becomes “High”, the FD unit resets to the power supply voltage Vcc, and the output signal OUT also becomes the reset level. Then, after the reset signal φR becomes “Low”, the transfer signal φTx becomes “High” at the timing T3, the charge accumulated in the photodiode PD is transferred to the FD unit, and the output signal OUT corresponds to the amount of charge. It begins to change and stabilizes. Then, the transfer signal φTx becomes “Low”, and the signal level of the output signal OUT read from the pixel to the vertical signal line VLINE is determined. Then, the output signal OUT of each pixel read out to the vertical signal line VLINE is temporarily held in the horizontal output circuit_152 line by line, and then output from the solid-state image sensor 101 as an output signal Vout. In this way, the signal is read out from each pixel of the first image sensor 102.

図6(b)は、第二撮像素子103の動作タイミングを示す図で、先ずタイミングT11で選択信号φSEL_A(またはφSEL_B)が”High”になり、選択トランジスタSEL_A(またはSEL_B)がオンする。次にタイミングT12でリセット信号φR_A(またはφR_B)が”High”になり、出力信号OUT_A(またはφOUT_B)もリセットレベルになる。そして、タイミングT13でリセット信号φR_A(またはφR_B)が”Low”になった直後から有機光電膜による受光部PCの電荷蓄積が開始され、電荷量に応じて出力信号OUT_A(または出力信号OUT_B)が変化する。そして、水平出力回路_A162(または水平出力回路_B163)に行毎に一時的に保持された後、出力信号Vout_A(または出力信号Vout_B)として固体撮像素子101から出力される。このようにして、第二撮像素子103の各画素から信号が読み出される。 FIG. 6B is a diagram showing the operation timing of the second image pickup device 103. First, the selection signal φSEL_A (or φSEL_B) becomes “High” at the timing T11, and the selection transistor SEL_A (or SEL_B) is turned on. Next, at the timing T12, the reset signal φR_A (or φR_B) becomes “High”, and the output signal OUT_A (or φOUT_B) also becomes the reset level. Immediately after the reset signal φR_A (or φR_B) becomes “Low” at the timing T13, the charge accumulation of the light receiving unit PC by the organic photoelectric film is started, and the output signal OUT_A (or the output signal OUT_B) is generated according to the amount of charge. Change. Then, after being temporarily held row by row in the horizontal output circuit_A162 (or horizontal output circuit_B163), it is output from the solid-state image sensor 101 as an output signal Vout_A (or output signal Vout_B). In this way, the signal is read out from each pixel of the second image pickup device 103.

図7(a)は、固体撮像素子101の半導体レイアウトの一例である。尚、図7(a)は、先に説明した図2および図4の各画素P(1,1)から画素P(2,2)に対応する。 FIG. 7A is an example of the semiconductor layout of the solid-state image sensor 101. Note that FIG. 7A corresponds to the pixels P (2, 2) from the pixels P (1, 1) of FIGS. 2 and 4 described above.

図7(b)は、図7(a)の画素P(1,1)および画素(2,1)を水平方向に切断線A−Bで切断したときの断面図である。また、図8(b)は、切断線A−Bの画素位置がわかり易いように描いた図で、図4の受光部PC_A(1,1)および受光部P_A(2,1)の部分を切断する。図8(a)は、図7(b)を拡大した図で、第一撮像素子102および第二撮像素子103の同じ位置の画素P(1,1)は、同一のマイクロレンズML(1,1)から入射する被写体光を受光する。ここで、図8(a)において、配線層301は3層構造になっているが2層構造であってもよい。そして、第二撮像素子103の出力信号は、配線層301を介して信号出力端302から取り出される。尚、信号出力端302の両側は分離層303,304が配置されている。また、分離層303,304を隔ててフォトダイオードPD(1,1)およびPD(2,1)が配置されている。 7 (b) is a cross-sectional view when the pixels P (1, 1) and the pixels (2, 1) of FIG. 7 (a) are cut in the horizontal direction along the cutting lines AB. Further, FIG. 8B is a diagram drawn so that the pixel positions of the cutting lines AB can be easily understood, and the light receiving portion PC_A (1,1) and the light receiving portion P_A (2,1) in FIG. 4 are cut. do. 8 (a) is an enlarged view of FIG. 7 (b), and the pixels P (1, 1) at the same positions of the first image sensor 102 and the second image sensor 103 are the same microlens ML (1, 1). Receives the subject light incident from 1). Here, in FIG. 8A, the wiring layer 301 has a three-layer structure, but may have a two-layer structure. Then, the output signal of the second image pickup device 103 is taken out from the signal output end 302 via the wiring layer 301. Separation layers 303 and 304 are arranged on both sides of the signal output end 302. Further, the photodiodes PD (1,1) and PD (2,1) are arranged so as to be separated from the separation layers 303 and 304.

図7(c)は、図7(a)の画素P(2,1)および画素(2,2)を垂直方向に切断線C−Dで切断したときの断面図である。また、図9(b)は、切断線C−Dの画素位置がわかり易いように描いた図で、図4の受光部PC_A(2,1),PC_B(2,1),PC_A(2,2)およびPC_B(2,2)の部分を切断する。図9(a)は、図7(c)を拡大した図で、第一撮像素子102および第二撮像素子103の同じ位置の画素P(2,1)および画素P(2,2)は、同一のマイクロレンズML(2,1)およびML(2,2)から入射する被写体光をそれぞれ受光する。ここで、図8(b)と異なる部分は、第二撮像素子103の画素P(2,1)は、受光部PC_A(2,1)と受光部PC_B(2,1)とに分割され、画素P(2,2)は、受光部PC_A(2,2)と受光部PC_B(2,2)とに分割されていることである。そして、受光部PC_A(2,1)と受光部PC_B(2,1)はペアとなる光学系の瞳位置の像をそれぞれ受光し、位相差AF方式による焦点検出を行うことができる。同様に、受光部PC_A(2,2)と受光部PC_B(2,2)はペアとなる光学系の瞳位置の像をそれぞれ受光する。尚、位相差AF方式については周知の技術なので詳細な説明は省略する。 7 (c) is a cross-sectional view when the pixel P (2, 1) and the pixel (2, 2) of FIG. 7 (a) are cut in the vertical direction along the cutting line CD. Further, FIG. 9B is a diagram drawn so that the pixel positions of the cutting lines CD can be easily understood, and the light receiving portions PC_A (2,1), PC_B (2,1), and PC_A (2,2) in FIG. ) And the parts of PC_B (2, 2) are cut. 9 (a) is an enlarged view of FIG. 7 (c), and the pixels P (2, 1) and the pixels P (2, 2) at the same positions of the first image sensor 102 and the second image sensor 103 are The subject light incident from the same microlenses ML (2,1) and ML (2,2) is received, respectively. Here, the portion different from FIG. 8B is that the pixel P (2, 1) of the second image sensor 103 is divided into a light receiving unit PC_A (2, 1) and a light receiving unit PC_B (2, 1). The pixel P (2, 2) is divided into a light receiving unit PC_A (2, 2) and a light receiving unit PC_B (2, 2). Then, the light receiving unit PC_A (2,1) and the light receiving unit PC_B (2,1) can receive an image of the pupil position of the paired optical system, respectively, and can perform focus detection by the phase difference AF method. Similarly, the light receiving unit PC_A (2, 2) and the light receiving unit PC_B (2, 2) receive an image of the pupil position of the paired optical system, respectively. Since the phase difference AF method is a well-known technique, detailed description thereof will be omitted.

ここで、図9(b)において、図8(b)の配線層301は、配線層301Aと配線層301Bとを有し、配線層301Aは有機光電膜の受光部PC_A(2,1)の信号を信号出力端305Aに出力し、配線層301Bは有機光電膜の受光部PC_B(2,1)の信号を信号出力端305Bに出力する。図8(b)の配線層301では、配線層301Aと配線層301Bとが重なっているため1つしか見えていない。同様に、画素P(2,2)の有機光電膜の受光部PC_A(2,2)の信号は信号出力端306Aに出力され、受光部PC_B(2,2)の信号は信号出力端306Bに出力される。そして、読み出し回路307には、出力トランジスタ、選択トランジスタ、リセットトランジスタなどの読み出し回路が配置され、固体撮像素子101から外部に各画素の信号が出力される。 Here, in FIG. 9B, the wiring layer 301 of FIG. 8B has the wiring layer 301A and the wiring layer 301B, and the wiring layer 301A is the light receiving portion PC_A (2, 1) of the organic photoelectric film. The signal is output to the signal output terminal 305A, and the wiring layer 301B outputs the signal of the light receiving unit PC_B (2, 1) of the organic photoelectric film to the signal output end 305B. In the wiring layer 301 of FIG. 8B, since the wiring layer 301A and the wiring layer 301B overlap each other, only one is visible. Similarly, the signal of the light receiving unit PC_A (2, 2) of the organic photoelectric film of the pixel P (2, 2) is output to the signal output terminal 306A, and the signal of the light receiving unit PC_B (2, 2) is output to the signal output terminal 306B. It is output. A readout circuit such as an output transistor, a selection transistor, and a reset transistor is arranged in the readout circuit 307, and a signal of each pixel is output from the solid-state image pickup device 101 to the outside.

図10は、図7(a)の画素P(1,1)のレイアウト図を拡大した図である。図10において、フォトダイオードPDの周辺に配置される回路は、斜線で示した部分がゲート電極、ゲート電極の両側の白い部分がn領域で構成されるNMOS型のトランジスタを示している。図10において、第一撮像素子102のフォトダイオードPDに蓄積された電荷は、転送信号φTxが転送トランジスタのゲート電極に与えられると、FD部に転送される。FD部は出力トランジスタSFのゲート電極に接続されて電気信号に変換され、選択信号φSELが選択トランジスタSELのゲート電極に与えられると、垂直信号線VLINEに読み出される。尚、リセット信号φRがリセットトランジスタRのゲート電極に与えられると、FD部の電荷を電源電圧Vccにリセットする。 FIG. 10 is an enlarged view of the layout diagram of the pixel P (1,1) of FIG. 7A. In FIG. 10, in the circuit arranged around the photodiode PD, the part shown by the diagonal line is the gate electrode, and the white part on both sides of the gate electrode is an NMOS type transistor composed of n regions. In FIG. 10, the electric charge stored in the photodiode PD of the first image sensor 102 is transferred to the FD unit when the transfer signal φTx is applied to the gate electrode of the transfer transistor. The FD unit is connected to the gate electrode of the output transistor SF and converted into an electric signal, and when the selection signal φSEL is given to the gate electrode of the selection transistor SEL, it is read out to the vertical signal line VLINE. When the reset signal φR is given to the gate electrode of the reset transistor R, the electric charge of the FD portion is reset to the power supply voltage Vcc.

一方、図10において、有機光電膜の受光部PC_A(1,1)の透明電極から出力される電気信号は、出力トランジスタSF_Aのゲート電極に接続され、選択信号φSEL_Aが選択トランジスタSEL_Aのゲート電極に与えられると、垂直信号線VLINE_Aに読み出される。同様に、受光部PC_B(1,1)の透明電極から出力される電気信号は、出力トランジスタSF_Bのゲート電極に接続され、選択信号φSEL_Bが選択トランジスタSEL_Bのゲート電極に与えられると、垂直信号線VLINE_Bに読み出される。尚、リセット信号φR_A(またはφR_B)がリセットトランジスタR_A(またはR_B)のゲート電極に与えられると、受光部PC_A(1,1)(またはPC_B(1,1))の信号電圧をリファレンス電圧Vrefにリセットする。尚、有機光電膜は、対向する透明電極から入射光量に応じた電気信号を取り出すための高電圧Vpcが入射光側の透明電極に与えられる。 On the other hand, in FIG. 10, the electric signal output from the transparent electrode of the light receiving portion PC_A (1,1) of the organic photoelectric film is connected to the gate electrode of the output transistor SF_A, and the selection signal φSEL_A is connected to the gate electrode of the selection transistor SEL_A. If given, it is read out to the vertical signal line VLINE_A. Similarly, the electric signal output from the transparent electrode of the light receiving unit PC_B (1,1) is connected to the gate electrode of the output transistor SF_B, and when the selection signal φSEL_B is given to the gate electrode of the selection transistor SEL_B, the vertical signal line. Read to VLINE_B. When the reset signal φR_A (or φR_B) is given to the gate electrode of the reset transistor R_A (or R_B), the signal voltage of the light receiving unit PC_A (1,1) (or PC_B (1,1)) is set to the reference voltage Vref. Reset. In the organic photoelectric film, a high voltage Vpc for extracting an electric signal according to the amount of incident light is applied to the transparent electrode on the incident light side from the facing transparent electrodes.

以上説明したように、本実施形態に係る固体撮像素子101は、従来のフォトダイオードによる光電変換を行う第一撮像素子102と、有機光電膜による光電変換を行う第二撮像素子103とを有し、第一撮像素子102から画像用信号を取得し、第二撮像素子103から位相差AF方式に対応する焦点検出用信号を取得することができる。 As described above, the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment includes a first image sensor 102 that performs photoelectric conversion by a conventional photodiode and a second image sensor 103 that performs photoelectric conversion by an organic photoelectric film. , The image signal can be acquired from the first image sensor 102, and the focus detection signal corresponding to the phase difference AF method can be acquired from the second image sensor 103.

これにより、固体撮像素子101は、従来のように画像用画素の一部に焦点検出用画素を配置する必要がなく、縦スジや横スジの偽信号による画質の劣化や高度な画素補間処理が不要になる。また、画像用の第一撮像素子102と焦点検出用の第二撮像素子103とを同じマイクロレンズの入射光を用いるように積層して配置するので、従来のように入射光を画像用撮像素子と焦点検出用撮像素子とに分割するための複雑な光学系が不要になる。特に、本実施形態に係る固体撮像素子101は、第一撮像素子102と第二撮像素子103の2つの撮像素子を用いながら、プリズムやミラーなどの光学装置を必要としないため、カメラを構成する場合の光学系の配置や設計が容易である。また、プリズムやミラー等を用いる2板式撮像装置では、2枚の撮像素子までの光路長の調整などが必須であったが、本実施形態に係る固体撮像素子101では光路が1つであるため、調整が不要である。 As a result, the solid-state image sensor 101 does not need to arrange the focus detection pixel in a part of the image pixel as in the conventional case, and the deterioration of the image quality due to the false signal of the vertical streak and the horizontal streak and the advanced pixel interpolation processing are performed. It becomes unnecessary. Further, since the first image sensor 102 for images and the second image sensor 103 for focus detection are stacked and arranged so as to use the incident light of the same microlens, the incident light is used as the image pickup element for images as in the conventional case. It eliminates the need for a complicated optical system for dividing the image into a focus detection image sensor. In particular, the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment constitutes a camera because it uses two image sensors, the first image sensor 102 and the second image sensor 103, and does not require an optical device such as a prism or a mirror. The arrangement and design of the optical system in the case is easy. Further, in a two-panel image pickup device using a prism, a mirror, or the like, it is essential to adjust the optical path lengths up to two image pickup elements, but the solid-state image pickup device 101 according to the present embodiment has only one optical path. , No adjustment required.

さらに、第二撮像素子103と第一撮像素子102とは互いに補色関係にある色成分を検出し、第二撮像素子103の有機光電膜を第一撮像素子102のカラーフィルタとして兼用することができ、入射光を無駄にすることなく効率良く活用することができる。 Further, the second image sensor 103 and the first image sensor 102 can detect color components having a complementary color relationship with each other, and the organic photoelectric film of the second image sensor 103 can also be used as a color filter of the first image sensor 102. , The incident light can be used efficiently without wasting it.

このように、本実施形態に係る固体撮像素子101は、高度な画素補間処理や複雑な光学系を用いることなく、高速動作が可能な位相差AF方式を実現できる。 As described above, the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment can realize a phase-difference AF method capable of high-speed operation without using advanced pixel interpolation processing or a complicated optical system.

尚、上記の例では、図11(a)に示すように、位相差AF方式に対応するペアとなる受光部PC_A(x,y)およびPC_B(x,y)を第二撮像素子103の各画素P(x,y)に配置するようにしたが、別の方法として図11(b)に示すように、受光部PC_A(x,y)または受光部PC_B(x,y)を片側だけを1つの画素P(x,y)に配置するようにしてもよい。或いは、図11(c)に示すように、瞳分割方向が縦方向、横方向、斜め方向など様々な方向の焦点検出用画素が混在するようにしてもよい。いずれの場合であっても、本実施形態に係る固体撮像素子101は、画像用信号を第一撮像素子102で撮像し、焦点検出用信号を第二撮像素子103で取得するので、撮影画像の画質に影響することなく、撮影画面内のどの位置でも高速な位相差AFによるフォーカス検出を行うことができる。 In the above example, as shown in FIG. 11A, the light receiving units PC_A (x, y) and PC_B (x, y), which are pairs corresponding to the phase difference AF method, are each of the second image sensor 103. The pixels P (x, y) are arranged, but as another method, as shown in FIG. 11B, the light receiving unit PC_A (x, y) or the light receiving unit PC_B (x, y) is placed on only one side. It may be arranged in one pixel P (x, y). Alternatively, as shown in FIG. 11C, focus detection pixels in various directions such as a vertical direction, a horizontal direction, and an oblique direction may be mixed in the pupil division direction. In any case, the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment captures the image signal by the first image sensor 102 and acquires the focus detection signal by the second image sensor 103, so that the captured image can be captured. Focus detection can be performed by high-speed phase-difference AF at any position on the shooting screen without affecting the image quality.

ここで、第二撮像素子103は、図2で説明したように、Mg,YeおよびCyの三色に対応する画素が混在しているので、異なる色成分の画素から得られる焦点検出用信号が異なる場合が考えられる。そこで、焦点検出を行う際に、同じ色成分の画素から得られる焦点検出用信号を利用して位相差AF方式によるフォーカス検出を行うようにしてもよい。例えば図2(a)の場合は、画素数の多いMgの画素(奇数行の場合は奇数列の画素、偶数行の場合は偶数列の画素)から得られる焦点検出用信号だけを利用する。或いは、Mg,YeおよびCyの三色に対応する画素間の誤差を予め測定しておき、位相差AF処理を行うときに誤差補正を行うようにしてもよい。 Here, as described in FIG. 2, the second image sensor 103 contains pixels corresponding to the three colors of Mg, Ye, and Cy, so that the focus detection signal obtained from the pixels of different color components can be obtained. It may be different. Therefore, when performing focus detection, focus detection may be performed by the phase difference AF method using a focus detection signal obtained from pixels having the same color component. For example, in the case of FIG. 2A, only the focus detection signal obtained from Mg pixels having a large number of pixels (odd-numbered column pixels in the case of odd-numbered rows and even-numbered column pixels in the case of even-numbered rows) is used. Alternatively, the error between the pixels corresponding to the three colors of Mg, Ye, and Cy may be measured in advance, and the error may be corrected when the phase difference AF process is performed.

また、第二撮像素子103の出力信号を焦点検出用だけでなく、ホワイトバランス制御に利用するようにしてもよい。 Further, the output signal of the second image sensor 103 may be used not only for focus detection but also for white balance control.

(変形例1)
図12は、図2で説明した画素の色配列の変形例1を示す図である。図2の例では、第二撮像素子103の有機光電膜をMg,YeおよびCyの三色に対応するようにし、第一撮像素子102でR,GおよびBの三色の画像信号を検出できるようにしたが、図12に示すように、第二撮像素子103の有機光電膜をR,GおよびBの三色に対応するようにし、第一撮像素子102でMg,YeおよびCyの三色の画像信号を検出できるようにしてもよい。尚、この場合でも、第一撮像素子102と第二撮像素子103が光電変換する色成分は互いに補色関係になっている。
(Modification 1)
FIG. 12 is a diagram showing a modification 1 of the color arrangement of the pixels described with reference to FIG. In the example of FIG. 2, the organic photoelectric film of the second image sensor 103 is made to correspond to the three colors of Mg, Ye, and Cy, and the image signal of the three colors of R, G, and B can be detected by the first image sensor 102. However, as shown in FIG. 12, the organic photoelectric film of the second image sensor 103 is made to correspond to the three colors of R, G, and B, and the first image sensor 102 is made to correspond to the three colors of Mg, Ye, and Cy. It may be possible to detect the image signal of. Even in this case, the color components to be photoelectrically converted by the first image sensor 102 and the second image sensor 103 are complementary colors to each other.

(変形例2)
図13は、図2で説明した画素の色配列の変形例2を示す図である。図2の例では、第二撮像素子103の各画素に位相差AF方式に対応するペアとなる受光部を配置したが、図13の変形例では、第二撮像素子103の画素の一部に位相差AF方式に対応するペアとなる受光部を配置している。これにより、固体撮像素子101の回路規模を小さくすることができる。
(Modification 2)
FIG. 13 is a diagram showing a modification 2 of the color arrangement of the pixels described with reference to FIG. In the example of FIG. 2, a light receiving unit that is a pair corresponding to the phase difference AF method is arranged in each pixel of the second image sensor 103, but in the modified example of FIG. 13, a part of the pixels of the second image sensor 103 is arranged. A pair of light receiving units corresponding to the phase difference AF method is arranged. As a result, the circuit scale of the solid-state image sensor 101 can be reduced.

(電子カメラの例)
次に、固体撮像素子101を搭載する電子カメラ201の一例を図14に示す。図14において、電子カメラ201は、光学系202と、固体撮像素子101と、画像バッファ203と、画像処理部204と、制御部205と、表示部206と、メモリ207と、操作部208と、メモリカードIF209とで構成される。
(Example of electronic camera)
Next, an example of the electronic camera 201 equipped with the solid-state image sensor 101 is shown in FIG. In FIG. 14, the electronic camera 201 includes an optical system 202, a solid-state image sensor 101, an image buffer 203, an image processing unit 204, a control unit 205, a display unit 206, a memory 207, an operation unit 208, and the like. It is composed of a memory card IF209.

光学系202は、固体撮像素子101に被写体像を結像する。固体撮像素子101は、先に説明したように、第一撮像素子102と第二撮像素子103とを有し、第一撮像素子102で撮影される画像用信号は、画像バッファ203に取り込まれ、第二撮像素子103で取得される焦点検出用信号は、制御部205に入力される。制御部205は、操作部208によるユーザの操作に応じて電子カメラ201全体の制御を行う。例えば操作部208のレリーズボタンが半押しされると、制御部205は、第二撮像素子103から取得した焦点検出信号により位相差AF方式によるフォーカス検出を行って光学系202のフォーカス位置を制御する。そして、ユーザが操作部208のレリーズボタンを全押しすると、制御部205は、フォーカス制御後に第一撮像素子102により撮影され画像を画像バッファ203に取り込む。さらに、画像バッファ203に取り込まれた画像は、画像処理部204によりホワイトバランス処理、色補間処理、輪郭強調処理、ガンマ補正処理などが施され、表示部206に表示されたり、メモリカードIF209を介してメモリカード209aに保存される。 The optical system 202 forms a subject image on the solid-state image sensor 101. As described above, the solid-state image sensor 101 has a first image sensor 102 and a second image sensor 103, and an image signal captured by the first image sensor 102 is taken into the image buffer 203. The focus detection signal acquired by the second image sensor 103 is input to the control unit 205. The control unit 205 controls the entire electronic camera 201 according to the user's operation by the operation unit 208. For example, when the release button of the operation unit 208 is pressed halfway, the control unit 205 controls the focus position of the optical system 202 by performing focus detection by the phase difference AF method using the focus detection signal acquired from the second image sensor 103. .. Then, when the user fully presses the release button of the operation unit 208, the control unit 205 captures the image taken by the first image sensor 102 after the focus control and takes the image into the image buffer 203. Further, the image captured in the image buffer 203 is subjected to white balance processing, color interpolation processing, contour enhancement processing, gamma correction processing, etc. by the image processing unit 204, and is displayed on the display unit 206 or via the memory card IF209. Is saved in the memory card 209a.

このように、本実施形態に係る固体撮像素子101を電子カメラ201に搭載することにより、画像処理部204で高度な画素補間処理を行ったり、光学系202を入射光を分割するような複雑な構成にする必要がなく、高速動作が可能な位相差AF方式を実現できる。 As described above, by mounting the solid-state image sensor 101 according to the present embodiment on the electronic camera 201, the image processing unit 204 performs advanced pixel interpolation processing, and the optical system 202 divides the incident light. A phase difference AF method capable of high-speed operation can be realized without the need for a configuration.

尚、本発明に係る固体撮像装置について、各実施形態で例を挙げて説明してきたが、その精神またはその主要な特徴から逸脱することなく他の多様な形で実施することができる。そのため、上述した実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明は、特許請求の範囲によって示されるものであって、本発明は明細書本文にはなんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内である。 Although the solid-state image sensor according to the present invention has been described by way of examples in each embodiment, it can be carried out in various other forms without departing from its spirit or its main characteristics. Therefore, the embodiments described above are merely exemplary in all respects and should not be construed in a limited way. The present invention is shown by the scope of claims, and the present invention is not bound by the text of the specification. Further, all modifications and modifications belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.

101・・・固体撮像素子;102・・・第一撮像素子;103・・・第二撮像素子;151,161・・・垂直走査回路;152・・・水平出力回路;162・・・水平出力回路_A;163・・・水平出力回路_B;201・・・電子カメラ;202・・・光学系;203・・・画像バッファ;204・・・画像処理部;205・・・制御部;206・・・表示部;207・・・メモリ;208・・・操作部;209・・・メモリカードIF;209a・・・メモリカード;P・・・画素;PC_A,PC_B・・・受光部;PD・・・フォトダイオード;PW,PW_A,PW_B・・・電流源;SEL,SEL_A,SEL_B・・・選択トランジスタ;SF,SF_A,SF_B・・・出力トランジスタ;R,R_A,R_B・・・リセットトランジスタ;Tx・・・転送トランジスタ;φSEL,φSEL_A,φSEL_B・・・選択信号;φR,φR_A,φR_B・・・リセット信号;φTx・・・転送信号;ML・・・マイクロレンズ;VLINE・・・垂直信号線 101 ... Solid-state image sensor; 102 ... First image sensor; 103 ... Second image sensor; 151,161 ... Vertical scanning circuit; 152 ... Horizontal output circuit; 162 ... Horizontal output Circuit_A; 163 ... Horizontal output circuit_B; 201 ... Electronic camera; 202 ... Optical system; 203 ... Image buffer; 204 ... Image processing unit; 205 ... Control unit; 206. Display unit; 207 ... Memory; 208 ... Operation unit; 209 ... Memory card IF; 209a ... Memory card; P ... Pixel; PC_A, PC_B ... Light receiving unit; PD.・ ・ Photo diode; PW, PW_A, PW_B ... Current source; SEL, SEL_A, SEL_B ... Selected transistor; SF, SF_A, SF_B ... Output transistor; R, R_A, R_B ... Reset transistor; Tx ... Transfer transistor; φSEL, φSEL_A, φSEL_B ... Selection signal; φR, φR_A, φR_B ... Reset signal; φTx ... Transfer signal; ML ... Microlens; VLINE ... Vertical signal line

Claims (10)

を光電変換して電荷を生成する第1光電変換部と、
前記第1光電変換部の一方の面に設けられ、前記第1光電変換部で生成された電荷を出力するための第1電極と、前記第1光電変換部の他方の面に設けられ、前記第1光電変換部で生成された電荷を出力するための第2電極と第3電極と、
前記第1光電変換部と前記第1電極と前記第2電極と前記第3電極とを透過した光を光電変換して電荷を生成する第2光電変換部と、
を備える撮像素子。
A first photoelectric conversion unit for generating a charge of light photoelectrically converted,
The first electrode provided on one surface of the first photoelectric conversion unit and for outputting the electric charge generated by the first photoelectric conversion unit, and the other surface of the first photoelectric conversion unit are provided. A second electrode and a third electrode for outputting the electric charge generated by the first photoelectric conversion unit, and
A second photoelectric conversion unit that generates charges the light transmitted through the first photoelectric conversion portion and the first electrode and the second electrode and the third electrode by photoelectric conversion,
An image sensor comprising.
請求項に記載の撮像素子において、
記第2電極および前記第3電極は、焦点検出に用いる信号を出力する撮像素子。
In the image pickup device according to claim 1,
Before Stories second electrode and the third electrode, an imaging device for outputting a signal used for focus detection.
請求項またはに記載の撮像素子において、
前記第1電極および前記第2電極の少なくとも1つは、画像生成に用いる信号を出力する撮像素子。
In the image pickup device according to claim 1 or 2,
At least one of the first electrode and the second electrode is an image pickup device that outputs a signal used for image generation.
請求項1から3のいずれか一項に記載の撮像素子において、The image pickup device according to any one of claims 1 to 3.
前記第1光電変換部は、第1の色の光を光電変換し、The first photoelectric conversion unit photoelectrically converts light of the first color into light.
前記第2光電変換部は、前記第1の色の補色の色の光を光電変換する撮像素子。The second photoelectric conversion unit is an image pickup device that photoelectrically converts light of a complementary color of the first color.
請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第1光電変換部は、マジェンタまたはイエローまたはシアンの光を光電変換し、
前記第2光電変換部は、グリーンまたはブルーまたはレッドの光を光電変換する撮像素子。
In the image pickup device according to any one of claims 1 to 4.
The first photoelectric conversion unit photoelectrically converts magenta or yellow or cyan light.
The second photoelectric conversion unit is an image sensor that photoelectrically converts green, blue, or red light.
請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第1光電変換部は、グリーンまたはブルーまたはレッドの光を光電変換し、
前記第2光電変換部は、マジェンタまたはイエローまたはシアンの光を光電変換する撮像素子。
In the image pickup device according to any one of claims 1 to 4.
The first photoelectric conversion unit photoelectrically converts green, blue, or red light.
The second photoelectric conversion unit is an image sensor that photoelectrically converts magenta or yellow or cyan light.
請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
第2の色の光を光電変換して電荷を生成する第3光電変換部と、
前記第3光電変換部の一方の面に設けられ、前記第3光電変換部で生成された電荷を出力するための前記第1電極と、前記第3光電変換部の他方の面に設けられ、前記第3光電変換部で生成された電荷を出力するための第4電極と第5電極と、
前記第3光電変換部と前記第1電極と前記第4電極と前記第5電極とを透過した、前記第2の色の補色の光を光電変換して電荷を生成する第4光電変換部と、を備える撮像素子。
In the image pickup device according to any one of claims 1 to 6.
A third photoelectric conversion unit that photoelectrically converts light of the second color to generate an electric charge,
It is provided on one surface of the third photoelectric conversion unit, the first electrode for outputting the charge generated by the third photoelectric conversion unit, and the other surface of the third photoelectric conversion unit. The fourth electrode and the fifth electrode for outputting the electric charge generated by the third photoelectric conversion unit, and
With the third photoelectric conversion unit , the first electrode, the fourth electrode, and the fourth photoelectric conversion unit that photoelectrically converts the complementary color light of the second color transmitted through the fourth electrode and the fifth electrode to generate an electric charge. An image pickup element comprising.
請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第1光電変換部は、有機光電膜により構成される撮像素子。
In the image pickup device according to any one of claims 1 to 7.
The first photoelectric conversion unit is an image pickup device composed of an organic photoelectric film.
請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第2光電変換部は、シリコン基板に設けられる撮像素子。
The image pickup device according to any one of claims 1 to 8.
The second photoelectric conversion unit is an image pickup device provided on a silicon substrate.
請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子を備える撮像装置。 An image pickup apparatus comprising the image pickup device according to any one of claims 1 to 9.
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